KR101428657B1 - 검사 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 검사 장치는 기판의 회로 패턴에 전기적으로 연결되는 검사 유니트, 상기 회로 패턴의 출력 신호를 분석하는 분석 유니트 및 상기 검사 유니트와 상기 분석 유니트의 사이에서 상기 출력 신호를 중계하는 중계 유니트를 포함함으로써, 검사 유니트와 분석 유니트의 신호 전달을 용이하게 수행할 수 있다.

Description

검사 장치{APPARATUS FOR TESTING}

본 발명의 기판의 통전 상태를 검사하는 검사 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 인쇄회로기판(PCB : Printed Circuit Board)은 세탁기나 텔레비전 등의 가전제품은 물론 휴대폰을 포함한 생활용품, 또는 자동차, 인공위성 등과 같이 거의 모든 장비에서 기본이 되는 필수 부품 중의 하나이다.

근래 들어, 인쇄회로기판을 구성하는 각종 전자부품의 집적도가 높아짐에 따라 그 패턴(pattern)이 상당히 미세화되어 매우 정교한 패턴의 인쇄공정이 요구되고 있으며, 그에 따른 불량률의 증가에 의해 인쇄회로기판에 대한 검사의 중요성이 부각되고 있다.

한국등록특허공보 제0176627호 공보에는 납땜 불량 및 프로브 팁의 진동을 방지하여 안정된 통전 검사를 수행할 수 있고, 납땜부의 다양한 표면 형상에 대해 적응성이 향상된 인쇄회로기판의 통전검사용 프로브 장치가 개시되고 있다. 그러나, 프로브 팁과 분석기 사이의 신호선 연결 문제에 대한 방안은 제시되지 않고 있다.

한국등록특허공보 제0176627호

본 발명의 기판의 검사에 사용되는 프로브와 프로브의 출력 신호를 분석하는 분석기 사이의 용이한 신호 전달이 가능한 검사 장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 검사 장치는 기판의 회로 패턴에 전기적으로 연결되는 검사 유니트, 상기 회로 패턴의 출력 신호를 분석하는 분석 유니트 및 상기 검사 유니트와 상기 분석 유니트의 사이에서 상기 출력 신호를 중계하는 중계 유니트를 포함할 수 있다.

본 발명의 검사 장치는 검사 유니트의 출력 신호를 전달받고, 분석 유니트로 상기 출력 신호를 전달하는 중계부를 포함하고, 상기 중계부는 상기 검사 유니트 및 상기 분석 유니트와 별도로 마련될 수 있다.

본 발명의 검사 장치는 검사 유니트와 분석 유니트의 사이에서 검사 유니트의 출력 신호를 중계하는 중계 유니트를 포함함으로써, 검사 유니트와의 분석 유니트 간의 단자 호환성을 해소할 수 있다.

검사 유니트 및 분석 유니트와 별도로 중계 유니트를 마련함으로써, 중계 유니트를 용이하게 교체할 수 있다. 이에 따라 기판의 변경에 따라 변경되는 검사 유니트에 대응되는 중계 유니트를 용이하게 설치할 수 있다.

결과적으로 본 발명의 검사 장치에 의하면 검사 유니트와 분석 유니트 사이의 신호선 연결을 중계부를 통해 수행함으로써 검사 유니트와 분석 유니트의 신호 전달을 용이하게 수행할 수 있다.

도 1은 본 발명의 검사 장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 검사 장치를 구성하는 검사 유니트를 나타낸 개략도이다.
도 3은 본 발명의 다른 검사 장치를 나타낸 개략도이다.
도 4는 본 발명의 검사 장치를 구성하는 커넥터 모듈에 검사 유니트와 중계부가 장착된 상태를 나타낸 개략도이다.
도 5는 본 발명의 검사 장치에 검사 유니트가 장착되는 상태를 나타낸 개략도이다.
도 6은 제2 프로브와 제3 프로브의 관계를 나타낸 개략도이다.
도 7은 다른 방식의 제1 연결부를 갖는 검사 장치의 개략도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.

도 1은 본 발명의 검사 장치를 나타낸 개략도이다.

도 1에 도시된 검사 장치는 기판의 회로 패턴에 전기적으로 연결되는 검사 유니트(100), 회로 패턴의 출력 신호를 분석하는 분석 유니트(300) 및 검사 유니트(100)와 분석 유니트(300)의 사이에서 출력 신호를 중계하는 중계 유니트(200)를 포함할 수 있다.

기판에 형성된 회로 패턴의 이상 유무는 통전 검사를 통해 파악될 수 있다.

통전 검사는 피검체인 기판의 회로 패턴에 실제 또는 유사한 정도의 전압을 걸거나 전류를 통과시켜 회로의 상태를 검사일 수 있다. 이때, 회로 패턴에 전기적으로 접촉되는 소위 프로브가 이용될 수 있다. 회로 패턴이 복잡해질수록 사용되는 프로브의 두께는 작아지고 개수는 증가하게 된다. 회로 패턴의 측정 위치에 작은 두께의 프로브를 신뢰성 있게 접촉시키기 위해 지그가 사용될 수 있다.

검사 유니트(100)는 기판의 회로 패턴에 접촉되는 프로브, 프로브를 지지하는 지그를 포함할 수 있다.

프로브(probe)는 측정 대상인 회로 패턴의 상태를 측정하기 위한 검출기구이다. 근래, 각종 전자기기의 소형화, 고집적화 추세에 따라 기판의 회로 패턴 또한 매우 미세해지는 경향이 강하다. 이에 따라 프로브의 크기 또한 미세해지는 추세이다.

프로브를 통해 회로 패턴에 특정의 검사 신호를 인가하거나, 회로 패턴의 출력 신호를 분석하기 위해 분석 유니트(300)는 프로브에 전기적으로 연결될 필요가 있다. 그러나, 프로브의 길이, 두께, 간격 등이 작으므로 프로브에 분석 유니트(300)의 커넥터(310)를 직접 연결하기 힘들다. 따라서, 검사 유니트(100)에는 단자부가 마련될 수 있다.

단자부는 프로브와 별도로 마련되고, 신호선 등을 통해 프로브와 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 단자부에는 분석 유니트(300)의 커넥터(310)가 연결될 수 있다. 단자부는 프로브와 다른 위치에 형성됨으로써 단자부를 구성하는 각 단자 간의 간격 등이 자유롭게 설정될 수 있다. 따라서 프로브와 대비하여 큰 규모를 갖는 분석 유니트(300)의 커넥터(310)를 용이하게 설치할 수 있다. 다만, 검사될 기판의 종류가 변경될 경우 검사 유니트(100) 역시 대응되는 것으로 변경되어야 하므로, 기존 검사 유니트(100)의 각 단자에 연결된 분석 유니트(300)의 커넥터(310)를 모두 제거한 후 다시 새로운 검사 유니트(100)의 각 단자에 분석 유니트(300)의 커넥터(310)를 다시 연결시켜야 하는 불편함이 예상된다. 이러한 문제를 해소하기 위해 검사 유니트(100)는 회로 패턴에 접촉되는 프로브 및 프로브를 지지하는 지그를 단자부에 적용할 수 있다.

도 2는 본 발명의 검사 장치를 구성하는 검사 유니트(100)를 나타낸 개략도이다.

도시된 검사 유니트(100)는 회로 패턴에 접촉되는 제1 프로브(111)가 마련된 제1 지그부(110), 제1 프로브(111)에 전기적으로 연결된 제2 프로브(122)가 마련된 제2 지그부(120)를 포함할 수 있다.

검사 유니트(100)의 출력 단자부로 제2 지그부(120)가 마련되고 있으며, 이에 따라 제2 지그부(120)의 제2 프로브(122)와 접촉되는 수단이 필요하다. 이러한 수단은 분석 유니트(300)에 마련될 수도 있으나 제2 프로브(122)의 변경을 고려할 경우 바람직하지 못하다. 따라서, 검사 유니트(100)와 분석 유니트(300)의 사이에 배치되는 중계 유니트(200)에 제2 프로브(122)와 접촉되는 수단을 마련하는 것이 좋다. 이때, 제2 지그부(120)는 중계 유니트(200)에 착탈될 수 있다. 이에 따르면 중계 유니트(200)의 교체 또는 제2 지그부(120)가 마련된 검사 유니트(100)의 원활한 교체가 가능하다.

중계 유니트(200)에는 검사 유니트(100) 중 제2 지그부(120)가 착탈될 수 있다. 중계 유니트(200)에 제2 지그부(120)가 장착되면 제2 프로브(122)는 중계 유니트(200)에 전기적으로 연결될 수 있다.

중계 유니트(200)에 제2 지그부(120)만 장착하는 경우 장착 과정 또는 장착 해제 과정에서 제1 지그부(110)와 제2 지그부(120)를 연결하는 제1 신호선(130) 및 각 지그부의 접점 부위에 가해진 압력으로 제1 지그부(110)와 제2 지그부(120) 사이의 전기적 연결이 해제될 수 있다. 이를 방지하기 위해 제1 지그부(110), 제2 지그부(120), 제1 신호선(130)의 유동이 없는 것이 좋다. 이는 제1 지그부(110)와 제2 지그부(120)를 소정의 고정물에 고정시킴으로써 달성될 수 있다. 이때의 고정물은 이하에서 설명되는 베이스판(150)일 수 있다. 이 경우 검사 유니트(100) 전체가 중계 유니트(200)에 착탈되고, 중계 유니트(200)에 대한 검사 유니트(100)의 장착시 제2 지그부(120)는 전기적으로 중계 유니트(200)에 연결될 수 있다.

도 1 및 도 2에는 중계 유니트(200)에 착탈되는 베이스판(150), 회로 패턴에 접촉되는 제1 프로브(111)가 마련되고 베이스판(150)에 설치되는 제1 지그부(110), 제2 프로브(122)가 마련되고 베이스판(150)에 설치되는 제2 지그부(120), 제1 프로브(111)와 상기 제2 프로브(122)를 전기적으로 연결시키는 제1 신호선(130)을 포함하는 검사 유니트(100)가 개시된다. 이때, 베이스판(150)이 중계 유니트(200)에 장착되면 제2 프로브(122)는 중계 유니트(200)에 전기적으로 연결될 수 있다.

분석 유니트(300)는 검사 유니트(100)로부터 출력되는 출력 신호를 분석함으로써 회로 패턴의 이상 유무를 판별하는 분석 회로(330), 분석 회로(330)에 일단이 전기적으로 연결되는 제3 신호선(320), 제3 신호선(320)의 타단에 연결되는 것으로 중계 유니트(200)에서 중계된 출력 신호를 제3 신호선(320)으로 전달하고 중계 유니트(200)에 착탈되는 커넥터(310)를 포함할 수 있다. 검사 유니트(100)로부터 출력되는 출력 신호는 검사 유니트(100)에서 생성되고 검사 유니트(100)로 전달된 검사 신호의 응답 신호일 수 있다. 이 경우 검사 유니트(100)는 검사 신호를 생성하는 신호 회로(미도시)를 더 포함할 수 있으며, 중계 유니트(200)는 분석 유니트(300)로부터 검사 신호를 전달받고, 검사 유니트(100)로 전달하는 중계 역할도 겸할 수 있다. 참고로, 도 1에는 분석 회로(330) 대신 분석 회로(330)가 내부에 실장된 본체가 개시된다.

본 발명의 검사 장치에 의하면 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다.

중계 유니트(200)를 포함하는 본 발명의 검사 장치를 ①이라 하고, 검사 유니트(100)와 분석 유니트(300)만 마련된 검사 장치를 ②라 하기로 한다.

첫째, 검사될 기판의 변경시 필요한 공정이 간소화될 수 있다.

기판의 변경은 곧 검사 유니트(100)의 변경을 의미한다.

②의 경우 기존 검사 유니트(100)의 단자부에 연결된 분석 유니트(300)의 제3 신호선(320)들을 모두 장착 해제시킨 후 교체된 검사 유니트(100)의 단자부에 다시 장착시키는 과정이 필요하다. 회로 패턴에 따라 차이는 있으나 회로 패턴이 고집적화되는 추세에 따라 분석 유니트(300)에는 제3 신호선(320) 전체 무게에 대한 대책을 요구할 만큼 많은 개수의 제3 신호선(320)이 마련된다. 따라서, 무수한 제3 신호선(320)을 장착 해제시키고 다시 장착시키는데 막대한 시간이 소요될 것은 자명하다. 그러나 ①에 따르면 제2 지그부(120) 또는 검사 유니트(100)를 중계 유니트(200)에 착탈시키는 것만으로 원하는 목적을 달성할 수 있다. 이를 위한 중계 유니트(200)의 구체적인 구성은 후술하기로 한다.

둘째, 검사 유니트(100)와 분석 유니트(300) 간의 호환성 문제를 완화시킬 수 있다. 검사 유니트(100)의 제조자와 분석 유니트(300)의 제조자 간의 규격 차이로 검사 유니트(100)의 단자부와 분석 유니트(300)의 커넥터(310)가 서로 대응되지 못할 수 있다. 이러한 경우 특정 검사 유니트(100)와 분석 유니트(300)를 함께 사용하지 못할 수 있다. 이러한 문제는 기존의 검사 유니트(100)의 사용시에도 동일하게 나타날 수 있다. 많은 개수의 프로브를 포함하는 검사 유니트(100)는 고가인 경우가 대부분이다. 따라서, 기존의 검사 유니트(100)를 가능한 다시 사용하는 것이 좋은데, ②의 경우 새로 적용된 분석 유니트(300)가 기존의 검사 유니트(100)의 단자부를 지원하지 않는다면 기존 검사 유니트(100)를 그대로 사용하기 어렵다. 그러나 ①에 따르면 중계 유니트(200)를 적절하게 형성하는 것으로 검사 유니트(100)의 단자부와 분석 유니트(300)의 커넥터(310) 간의 호환성 문제를 해소할 수 있다. 이를 위해서는 중계 유니트(200)의 교체가 용이하도록 할 필요가 있다.

도 3은 본 발명의 다른 검사 장치를 나타낸 개략도이고, 도 4는 본 발명의 검사 장치를 구성하는 커넥터 모듈(230)에 검사 유니트(100)와 중계부(210)가 장착된 상태를 나타낸 개략도이다.

도 3 및 도 4에 도시된 검사 장치는 도 1 및 도 2의 검사 유니트(100)일 수 있다.

도 3의 검사 장치는 검사 유니트(100)의 출력 신호를 전달받고, 분석 유니트(300)로 출력 신호를 전달하는 중계부(210)를 포함할 수 있다. 이때, 중계부(210)는 검사 유니트(100) 및 분석 유니트(300)와 별도로 마련될 수 있다.

중계부(210)가 검사 유니트(100)에 일체로 마련되거나 분석 유니트(300)에 일체로 마련된다면 중계부(210)만의 교체가 어렵다. 이에 따르면 앞에서 언급된 효과가 약화되므로 중계부(210)는 별도로 마련되는 것이 좋다.

중계부(210)는 검사 유니트(100)의 출력 신호를 전달받는 제1 연결부(211), 분석 유니트(300)로 출력 신호를 전달하는 제2 연결부(212), 제1 연결부(211)와 제2 연결부(212)를 전기적으로 연결시키는 제2 신호선(미도시)을 포함할 수 있다. 도면에서 제2 연결부(212)에는 분석 유니트(300)의 커넥터(310)가 착탈되는 어댑터(미도시)가 마련될 수 있다.

제1 연결부(211)는 검사 유니트(100)에 제1 방향으로 대면되고, 제2 연결부(212)는 제1 방향과 다른 제2 방향으로 노출될 수 있다. 이때의 제1 방향은 z축 방향일 수 있으며, 제2 방향은 x축 방향일 수 있다. 제2 연결부(212)를 제2 방향으로 노출시킴으로써, 작업자가 제2 연결부(212)에 분석 유니트(300)의 커넥터를 용이하게 연결시킬 수 있다.

제1 연결부(211)는 제3 지그부(217)를 포함할 수 있다.

제3 지그부(217)에는 검사 유니트(100)의 제2 프로브(122)와 접촉되는 제3 프로브(213)가 마련될 수 있다. 제2 프로브(122)의 일단과 제3 프로브(213)의 일단은 서로 접촉될 수 있으며, 이때 제3 프로브(213)에 접촉되는 제2 프로브(122)의 접촉 단부의 면적과 제2 프로브(122)에 접촉되는 제3 프로브(213)의 접촉 단부의 면적은 서로 다를 수 있다.

도 6은 제2 프로브(122)와 제3 프로브(213)의 관계를 나타낸 개략도이다.

살펴보면, 제3 프로브(213)의 접촉 단부의 면적이 제2 프로브(122)의 접촉 단부의 면적보다 크게 형성되고 있다. 이에 따르면 xyz 공간에서 제3 프로브(213)와 제2 프로브(122)가 x 또는 y 방향으로 어긋난 경우라 하더라도 신뢰성 있게 접촉될 수 있다. 물론 어긋난 경우가 큰 경우라면 접촉 단부의 면적으로 해소가 어려우나 이 정도의 큰 어긋남은 제3 지그부(217)에 형성된 제3 정렬부(219)에 의해 방지되므로 별다른 무리가 없다. 제3 정렬부(219)에 대응하여 제2 지그부(120)에는 제4 정렬부(미도시)가 형성될 수 있다. 제3 정렬부(219)는 돌기 또는 홈일 수 있으며, 이에 대응하여 제4 정렬부는 홈 또는 돌기일 수 있다.

제2 프로브(122)와 제3 프로브(213)를 접촉시키기 위해 검사 유니트(100)에 중계부(210)를 대면시키는 수단이 필요하다. 이러한 수단으로 커넥터 모듈(230)이 이용될 수 있다.

커텍터 모듈에는 검사 유니트(100)가 착탈되며, 중계부(210)가 착탈될 수 있다. 이때, 중계부(210)는 커넥터 모듈(230)에 장착됨으로써 검사 유니트(100)에 전기적으로 연결될 수 있다. 중계부(210)의 착탈 방향은 다양할 수 있다.

도 5는 본 발명의 검사 장치에 검사 유니트(100)가 장착되는 상태를 나타낸 개략도로, 커넥터 모듈(230)에 대한 중계부(210)의 장착 방향(x축)과 검사 유니트(100)의 장착 방향(x축)이 동일한 예가 개시되고 있다. 이와 다르게 중계부(210)의 장착 방향을 z축으로 형성하는 것과 같이 중계부(210)와 검사 유니트(100)의 장착 방향이 다르도록 커넥터 모듈(230)을 형성할 수도 있다.

도 3 내지 도 5에는 중계부(210) 뿐만 아니라 검사 유니트(100)도 착탈되는 구조의 커넥터 모듈(230)이 개시되는데, 이때의 커넥터 모듈(230)은 제1 착탈부(231), 제2 착탈부(232) 및 조정부(233)를 포함할 수 있다.

제1 착탈부(231)에는 검사 유니트(100)가 착탈되는 제1 가이드가 형성될 수 있으며, 제2 착탈부(232)에는 중계부(210)가 착탈되는 제2 가이드가 형성될 수 있다. 사용자가 검사 유니트(100) 및 중계부(210)를 장착하거나 장착 해제하는 과정에서 검사 유니트(100) 또는 중계부(210)를 떨어뜨릴 수 있다. 이런 현상을 최소화시키기 위해 제1 가이드와 제2 가이드는 중력의 수직 방향으로 형성될 수 있다. 이 경우 검사 유니트(100) 또는 중계부(210)의 일부분이라도 각 가이드에 의해 지지된다면 낙하 문제를 방지할 수 있다. 도면에서는 x축 방향을 따라 각 가이드가 형성된 예가 개시된다.

제2 프로브(122)와 제3 프로브(213) 중 적어도 하나는 서로 대면하는 방향으로 돌출될 수 있다. 도면에는 중력 방향인 z축 방향을 따라 제3 프로브(213)가 돌출된 경우가 개시된다. 앞의 제2 가이드에 따르면 중계부(210)는 x축 방향을 따라 제2 착탈부(232)에 슬라이딩되는데, 이 과정에서 제3 프로브(213)가 검사 유니트(100) 또는 제2 프로브(122)와 간섭되어 훼손될 수 있다. 이를 방지하기 위해서 검사 유니트(100) 또는 중계부(210)를 커넥터 모듈(230)에 장착시키거나 장착 해제시키는 경우 둘 사이의 거리를 충분하게 이격시켜 제2 프로브(122) 또는 제3 프로브(213)의 훼손을 방지할 수 있다. 물론, 검사 유니트(100)와 중계부(210) 모두 장착이 완료된 상태에서 제2 프로브(122)와 제3 프로브(213)가 서로 접촉되도록 검사 유니트(100)와 중계부(210) 사이의 거리를 좁힐 필요가 있다. 다시 말해 각 착탈부에 장착이 완료된 검사 유니트(100)와 중계부(210) 간의 거리를 조정할 필요가 있으며, 이를 위해 검사 장치는 조정부(233)를 포함할 수 있다.

조정부(233)는 제1 착탈부(231)와 제2 착탈부(232) 사이의 거리를 조정할 수 있다.

도 3과 같이 제1 착탈부(231)에 x축 방향으로 슬라이딩된 검사 유니트(100)와 제2 착탈부(232)에 x축 방향으로 슬라이딩된 중계부(210)는 z축 방향으로 서로 대면한다. 이때, 중계부(210)는 z축 방향으로 각 착탈부 간의 거리를 조정함으로써 검사 유니트(100)와 중계부(210) 간의 거리를 조정할 수 있다.

검사 유니트(100)를 착탈하는 과정 또는 중계부(210)를 착탈하는 과정과 같이 검사 유니트(100) 또는 중계부(210)가 x축의 양 또는 음의 방향으로 이동할 가능성이 있으면 조정부(233)는 각 착탈부 간의 간격을 충분히 이격시켜 제2 프로브(122) 또는 제3 프로브(213)의 훼손을 방지한다. 검사 유니트(100)와 중계부(210)의 장착이 완료되면 조정부(233)는 각 착탈부 간의 간격을 좁혀 제2 프로브(122)와 제3 프로브(213)가 서로 접촉되도록 한다.

조정부(233)는 모터, 공압 실린더, 액츄에이터 등 다양한 수단이 이용될 수 있다.

도 3에서는 제2 착탈부(232)가 고정되고 제1 착탈부(231)가 조정부(233)에 의해 움직이는 구성이 개시되고 있으나 제2 착탈부(232)가 움직이고 제1 착탈부(231)가 고정되거나 양자가 모두 움직이는 구성 또한 가능하다.

제3 프로브(213)는 제2 프로브(122)의 개수 이상일 수 있다. 구체적으로 제3 프로브(213)의 개수는 검사 대상인 기판으로부터 예상되는 최대 개수 이상인 것이 좋다. 예를 들어 서로 다른 회로 패턴을 갖는 n개의 기판에 적용되는 검사 장치의 경우 n개의 기판 중 제i 기판이 최대로 많은 제2 프로브(122)를 요구하는 경우 제3 프로브(213)의 개수는 제i 기판이 요구하는 제2 프로브(122)의 개수 이상일 수 있다. 이에 따르면 기판의 변경에 따라 검사 유니트(100)가 교체되더라도 중계부(210)는 교체될 필요가 없다. 제2 프로브(122)와 제3 프로브(213)는 제1 프로브(111)와 달리 회로 패턴에 따라 위치가 결정되지 않는다. 즉 제2 프로브(122)와 제3 프로브(213)는 서로 접촉만 시킬 수 있다면 위치, 간격, 크기와 상관없이 마련될 수 있다. 따라서, 설정 위치에 균일 간격으로 형성되도 무방하다. 이러한 경우 제i 기판 외의 다른 기판의 검사시에 제2 프로브(122)와 접촉되지 않는 잉여의 제3 프로브(213)가 존재할 것이나 별 문제가 없다. 분석 유니트(300)에서 잉여의 제3 프로브(213)를 null로 처리하면 충분하다. 이런 경우라 하더라도 중계부(210)는 커넥터 모듈(230)에 착탈되는 구조인 것이 바람직하다. 중계부(210)의 유지 보수가 용이해지기 때문이다. 또한, 검사 유니트(100) 간의 호환성 문제를 해소할 수 있다.

도 7은 다른 방식의 제1 연결부(211)를 갖는 검사 장치의 개략도이다.

도 7을 살펴보면, 중계부(210)의 제1 연결부(211)가 도 3의 제1 연결부(211)와 전혀 다른 것을 알 수 있다. 이러한 현상은 검사 유니트(100)의 제조자가 다른 규격으로 검사 유니트(100)를 제조함으로써 파생되는 현상일 수 있다. 도 3의 제1 연결부(211)를 사용하는 중에 도 7의 제1 연결부(211)를 교체할 필요가 발생한 경우 중계부(210)가 커넥터 모듈(230)에 고정되어 있으며 중계부(210)의 교체가 어렵다. 그러나 본 발명의 검사 장치를 구성하는 중계부(210)는 커넥터 모듈(230)에 착탈되는 구조를 가지므로 용이하게 교체될 수 있다. 이에 따라 규격과 상관없이 다양한 검사 유니트(100)를 동일한 분석 유니트(300)에 대해 적용할 수 있다.

커넥터 모듈(230)은 다양하게 형성될 수 있다. 일예로 도면에서는 제1 가이드와 제2 가이드가 z축 방향으로 대면하여 형성된 지지대가 중계부(210) 또는 검사 유니트(100)의 장착 방향의 양측에 각각 마련되고 있다. 각 지지대에 형성된 제1 가이드가 연합하여 검사 유니트(100)가 슬라이딩될 수 있는 제1 착탈부(231)를 형성한다. 마찬가지로 각 지지대에 형성된 제2 가이드가 연합하여 중계부(210)가 슬라이딩될 수 있는 제2 착탈부(232)를 형성한다.

xy 평면 상에서 중계부(210)의 면적은 검사 유니트(100)의 면적 이하일 수 있다. 중계부(210)에서 제1 연결부(211)가 검사 유니트(100)의 제2 지그부(120)에 대면되면 충분하기 때문이다. 중계부(210)의 면적이 검사 유니트(100)의 면적보다 작은 경우 별도의 가이드판(250)이 마련될 수 있다. 가이드판(250)은 제2 착탈부(232)에 착탈되거나 고정되는 것으로, 가이드판(250)의 면적은 검사 유니트(100)의 면적에서 중계부(210)의 면적을 뺀 면적일 수 있다.

이와 같이 중계부(210)의 면적이 검사 유니트(100)의 면적보다 작은 경우 가이드판(250)을 마련하는 것은 검사 유니트(100)의 정렬을 위한 것이다. 검사 유니트(100)의 베이스판(150)에서 제1 지그부(110)가 설치되는 면의 반대면에는 설치시의 정렬 기능을 수행하는 홈 또는 돌기 등의 제1 정렬부(151)가 형성될 수 있다. 이에 대응하여 중계부(210)에도 베이스판(150)에 대면하는 면에 돌기 또는 홈 등의 제2 정렬부(259)가 형성될 수 있다. 그런데 중계부(210)의 면적이 작은 경우 제2 정렬부(259)를 형성하는 것이 곤란하다. 이 경우 제2 정렬부(259)는 가이드판(250)에 형성될 수 있다.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

100...검사 유니트 110...제1 지그부
111...제1 프로브 120...제2 지그부
122...제2 프로브 130...제1 신호선
150...베이스판 151...제1 정렬부
200...중계 유니트
210...중계부 211...제1 연결부
212...제2 연결부 213...제3 프로브
217...제3 지그부 219...제3 정렬부
230...커넥터 모듈 231...제1 착탈부
232...제2 착탈부 233...조정부
250...가이드판 259...제2 정렬부
300...분석 유니트 310...커넥터
320...제3 신호선 330...분석 회로

Claims (12)

1. 기판의 회로 패턴에 전기적으로 연결되는 검사 유니트;
   상기 회로 패턴의 출력 신호를 분석하는 분석 유니트; 및
   제3 신호선을 통해 상기 분석 유니트에 전기적으로 연결된 중계 유니트;를 포함하고,
   상기 검사 유니트는, 상기 중계 유니트에 착탈되는 베이스판, 상기 회로 패턴에 접촉되는 제1 프로브가 마련되고 상기 베이스판에 설치되는 제1 지그부, 제2 프로브가 마련되고 상기 베이스판에 설치되는 제2 지그부, 상기 제1 프로브와 상기 제2 프로브를 전기적으로 연결시키는 제1 신호선을 포함하고,
   상기 베이스판이 상기 중계 유니트에 장착되면 상기 제2 프로브는 상기 중계 유니트에 전기적으로 연결되며, 상기 제2 프로브와 상기 중계 유니트의 전기적 연결을 통해 상기 제1 프로브는 상기 분석 유니트에 전기적으로 연결되는 검사 장치.
   
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 제1항에 있어서,
   상기 제3 신호선의 단부에는 커넥터가 마련되고,
   상기 커넥터는 상기 중계 유니트에 착탈되는 검사 장치.
   
6. 검사 유니트의 출력 신호를 전달받고, 분석 유니트로 상기 출력 신호를 전달하는 중계부;
   상기 중계부 및 상기 검사 유니트가 착탈되는 커넥터 모듈;을 포함하고,
   상기 커넥터 모듈은 상기 검사 유니트가 착탈되는 제1 착탈부, 상기 중계부가 착탈되는 제2 착탈부, 상기 제1 착탈부와 상기 제2 착탈부 사이의 거리를 조정하는 조정부를 포함하는 검사 장치.
   
7. 제6항에 있어서,
   상기 중계부는 상기 검사 유니트의 출력 신호를 전달받는 제1 연결부, 상기 분석 유니트로 상기 출력 신호를 전달하는 제2 연결부, 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부를 전기적으로 연결시키는 제2 신호선을 포함하는 검사 장치.
   
8. 제7항에 있어서,
   상기 제1 연결부는 상기 검사 유니트에 제1 방향으로 대면되고,
   상기 제2 연결부는 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 노출되는 검사 장치.
   
9. 제6항에 있어서,
   상기 중계부는 상기 검사 유니트의 출력 신호를 전달받는 제1 연결부를 포함하고,
   상기 제1 연결부는 상기 검사 유니트의 제2 프로브와 접촉되는 제3 프로브가 마련된 제3 지그부를 포함하는 검사 장치.
   
10. 제9항에 있어서,
    상기 제2 프로브의 접촉 단부의 면적과 상기 제3 프로브의 접촉 단부의 면적이 서로 다른 검사 장치.
    
11. 삭제
12. 삭제

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