KR101424784B1 - 표시장치 및 그의 제조방법 - Google Patents

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가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼
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Abstract

공정 수 및 비용을 증가시키지 않고 모니터 소자부에서의 광 누출을 방지하는 표시장치를 제공한다. 이 표시장치는, 온도 변화, 경시 변화에 의한 발광 소자의 영향을 억제하기 위한 모니터 소자와, 이 모니터 소자를 구동하기 위한 TFT를 포함하고, 모니터 소자를 구동하기 위한 TFT는 모니터 소자와 겹치지 않도록 제공되어 있다. 또한, 이 표시장치는 제1 차광막과 제2 차광막을 가지고, 제1 차광막이 모니터 소자의 제1 전극과 겹치도록 제공되어 있고, 제2 차광막은 층간절연막에 형성된 콘택트 홀을 통하여 제1 차광막에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 콘택트 홀은 모니터 소자의 제1 전극의 외측 엣지를 둘러싸도록 형성되어 있다.
표시장치, 발광 소자, 모니터 소자, 차광막, 층간절연막

Description

표시장치 및 그의 제조방법{Display device and manufacturing method thereof}
도 1은 본 발명의 모니터 화소의 레이아웃을 나타낸 도면.
도 2(A) 및 도 2(B)는 본 발명의 모니터 화소의 단면도.
도 3(A) 및 도 3(B)는 본 발명의 모니터 화소의 단면도.
도 4(A)∼도 4(D)는 본 발명의 모니터 소자의 제조공정을 설명하는 단면도.
도 5(A)∼도 5(C)는 본 발명의 모니터 소자의 제조공정을 설명하는 단면도.
도 6은 본 발명의 모니터 소자의 제조공정을 설명하는 단면도.
도 7(A)∼도 7(D)는 본 발명의 모니터 소자의 제조공정을 설명하는 상면도.
도 8은 본 발명의 표시장치에서의 발광방향을 나타낸 도면.
도 9는 본 발명의 표시장치의 화소부와 모니터 소자부와의 관계를 나타낸 도면.
도 10(A) 및 도 10(B)는 본 발명의 표시장치의 구조를 설명하는 상면도 및 단면도.
도 11(A)∼도 11(F)는 본 발명의 표시장치를 구비하는 전자기기를 나타낸 도면.
도 12는 모니터 화소의 레이아웃을 나타낸 도면(비교예).
도 13(A) 및 도 13(B)는 모니터 화소의 단면도(비교예).
도 14는 모니터 화소의 레이아웃을 나타낸 도면(비교예).
본 발명은 반도체 소자(반도체 박막을 포함하는 소자)를 사용한 표시장치에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 일렉트로루미네슨스(Electro Luminescence : EL) 소자, 및 박막트랜지스터(이하, "TFT"라고 표기)를 사용한 액티브 매트릭스형 표시장치에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 표시장치를 표시부에 사용한 전자기기에 관한 것이다.
근년, 화소를 발광 다이오드(LED) 등의 발광 소자로 형성한 소위 자기발광형 표시장치가 주목을 받고 있다. 이와 같은 자기발광형 표시장치에 사용되는 발광 소자로서는, 유기 발광 다이오드(OLED)(유기 EL 소자, 일렉트로루미네슨스(EL) 소자 등이라고도 하고, 본 명세서에서는 EL 소자라 칭함)가 주목을 모으고 있고, 유기 EL 디스플레이 등에 사용되어오고 있다.
EL 소자는, 한 쌍의 전극 사이에 전계 발광층을 가지고, 이들 전극 사이에 전류를 흘림으로써 발광하는 자기발광형이므로, 액정 디스플레이에 비하여 화소의 시인성(視認性)이 높고, 백라이트가 필요 없고, 응답 속도가 빠르다는 점에서 유리하다. 또한, 발광 소자의 휘도는 이 발광 소자로 흐르는 전류값에 의해 제어된다.
발광 소자는 그 저항값(내부 저항값)이 환경 온도(이하, "주위 온도"라고 함)에 의해 변화하는 성질을 가진다. 구체적으로는, 실온을 통상의 온도로 하였을 때, 온도가 통상의 온도보다 높아지면 저항값이 저하하고, 온도가 통상의 온도보다 낮아지면 저항값이 상승한다. 따라서, 정(定)전압 구동에서는, 온도가 높아지면 전류값이 증가하여 소망의 휘도보다 높은 휘도가 얻어지고, 온도가 낮아지면 전류값이 저하하여 소망의 휘도보다 낮은 휘도가 얻어진다. 또한, 근년 사용되고 있는 발광 소자는 소정의 전압을 인가하여도 경시적으로 전류값이 감소하는 성질을 가진다.
상기한 바와 같은 발광 소자의 성질 때문에, 주위 온도가 변화하거나, 경시 변화가 발생하면, 휘도에 변동이 생기게 된다. 이 주위 온도의 변화와 경시 변화에 기인하는 발광 소자의 휘도 변동의 문제를 해결하기 위해, 모니터 소자를 제공하는 것이 제안되어 있다(예를 들어, 일본국 특허 제3696116호 참조). 모니터 소자의 전극들 중 한쪽 전극은 정전류원과 증폭 회로의 입력(입력 단자)에 접속되고, 증폭 회로의 출력(출력 단자)은 화소부의 화소에 제공되어 있는 발광 소자의 전극들 중 한쪽 전극에 접속되어 있다. 이와 같은 구성에 따라, 화소의 발광 소자를 통해 흐르는 전류는 모니터 소자의 온도 특성에 기초하여 일정하게 유지된다. 본 명세서에서, "접속되어 있다"라는 것은 직접 접속되어 있는 경우뿐만 아니라, 전기적으로 접속되어 있는 경우도 포함하는 것으로 한다. 따라서, 서로 접속될 대상물들 사이에 다른 소자나 배선 등이 추가로 형성되어 있어도 좋다. 또한, 본 명세서에서, "겹친다"란, 표시장치에 포함되는 요소들(예를 들어, 절연막이나 배선 등)이 서로 직접 접하여 겹치는 경우뿐만 아니라, 다른 요소를 사이에 두고 서로 겹치는 경우도 포함하는 것으로 한다.
상기 구성에 의해, 화소의 발광 소자를 통해 흐르는 전류는 발광 소자(전계 발광층)의 온도가 변화하여도 일정하게 유지될 수 있다. 따라서, 표시장치의 주위 온도가 상승하여도 표시장치의 소비전력이 크게 되는 것을 억제할 수 있고, 휘도도 일정하게 유지될 수 있다.
모니터 소자는 화상의 표시에 사용하는 것이 아니기 때문에, 모니터 소자가 제공되어 있는 영역(모니터 소자부)은 모니터 소자에서 발생하는 광이 누출되지 않도록 차광될 필요가 있다. 광 누출을 해결하는 방법으로서는, 차광막을 제공하는 방법이 있다. 또는, 모니터 소자의 음극의 반사면(발광층 측에 접하는 면)에 요철부를 제공하여 음극의 반사면에서 반사광을 산란시키는 방법이 있다.
모니터 소자부에 제공되는 차광막의 구성 예에 대하여 도 12∼도 14를 참조하여 설명한다. 도 12는 모니터 소자부의 레이아웃(layout)을 나타내고, 도 13(A)는 도 12의 점선 A-A'를 따라 절단한 단면 구조를 나타낸다. 또한, 도 14는 도 12와 같은 모니터 소자부를 나타내지만, 모니터 소자를 구동하는 TFT의 위치 등을 이해하기 쉽게 설명하기 위해, 점선 212로 둘러싸인 영역에서는 제1 전극(207)이 생략되고, 점선 213으로 둘러싸인 영역에서는 제1 전극(207), 전류 공급선(202), 차광막(214), 드레인 전극(215)이 생략되어 있다.
이 모니터 소자부에서, 모니터 소자를 구동하는 TFT(221)의 게이트선에 전위를 부여하는 제어선(201)과, 화소부의 발광 소자에 제공된 TFT의 게이트선(206)으로 둘러싸인 영역 각각에는 모니터 소자와 이 모니터 소자를 구동하는 TFT가 제공 되어 있다(도 14). 모니터 소자는 제1 전극(207)(양극 또는 음극)과, 전계 발광층(208)과, 제2 전극(209)(음극 또는 양극)을 포함하고 있다(도 13(A)). 도 12∼도 14의 점선으로 둘러싸인 영역(204)은, 양극과 전계 발광층(208)과 음극을 포함하는 모니터 소자가 발광하는 영역을 나타내고 있다. 또한, 모니터 소자를 구동하는 TFT의 게이트선(205)은 모니터 소자부의 제1 전극(207)과 겹쳐있다(도 12). 또한, 제어선(201)과 게이트선(206)으로 둘러싸인 영역에 TFT(221)가 형성되어 있고, TFT(221)의 게이트선(205)은 차광막(203)과 동일 층에 형성되어 있기 때문에, 차광막(203)은 TFT(221)와 겹치지 않도록 형성될 필요가 있다(도 14). 따라서, 광을 차단하기에 충분한 크기와 형상을 가지는 차광막(203)을 형성하는 것이 곤란하였다. 그 결과, 모니터 소자에서 발생한 광이 TFT(221)와 차광막(203) 사이의 간극으로부터 누출된다. 또한, 도 13(A)에 도시된 바와 같이, 모니터 소자를 구동하는 TFT의 소스 영역과 정전류원을 접속하는 전류 공급선(202)과, 모니터 소자를 구동하는 TFT의 게이트선에 전위를 부여하는 제어선(201) 사이의 간극에 상당하는 영역으로부터도 광이 누출된다. 또한, 도 13(A) 및 도 13(B)에서, 부호 210은 층간절연막을 나타내고, 부호 211은 절연막을 나타낸다. 또한, 2개의 층간절연막(210, 220)이 제공되어 있는, 도 13(B)에 도시된 구조를 고려할 수 있으나, 그 경우, 전류 공급선(202)과 제어선(201) 사이의 간극에 상당하는 영역으로부터도 광이 누출된다.
이 광 누출은 모니터 소자부의 개구율을 낮춤으로써 방지할 수 있지만, 발광 소자의 열화(劣化) 특성을 고려하면 모니터 소자부의 개구율과 화소부의 개구율을 같은 정도로 하는 것이 바람직하다. 따라서, 모니터 소자부의 개구율을 낮추는 구성을 채용하는 것은, 발광 소자의 온도 변화와 발광 소자의 특성의 경시 열화에 기인한 발광 소자를 통해 흐르는 전류의 변화를 보상한다는 본래의 목적을 달성하는 데 있어서 바람직한 것은 아니다.
상기한 문제를 감안하여, 본 발명은 공정 수 및 비용을 증가시키지 않고 모니터 소자부의 광 누출을 방지하는 표시장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명의 표시장치는, 온도 변화 및 발광 소자의 경시 열화에 기인한 발광 소자의 영향을 억제하기 위한 모니터 소자와, 이 모니터 소자를 구동하기 위한 TFT를 포함하고, 모니터 소자를 구동하기 위한 TFT는 모니터 소자와 겹치지 않도록 제공되어 있다. 또한, 본 발명의 표시장치는 제1 차광막 및 제2 차광막을 가지고, 제1 차광막이 모니터 소자의 제1 전극과 겹치도록 제공되어 있고, 제2 차광막은 층간절연막에 형성된 콘택트 홀을 통하여 제1 차광막에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 콘택트 홀은 모니터 소자의 제1 전극의 외측 엣지(edge)를 둘러싸도록 형성되어 있다. 본 명세서에서, "모니터 소자부"란, 모니터 소자가 제공되어 있는 영역 전체를 가리키는 것이다.
또한, 본 발명이 적용 가능한 발광 소자를 가지는 표시장치는 액티브 매트릭스형이다. 또한, 발광 소자로부터의 발광 방식으로서는, 하면 출사형 또는 양면 출사형이 적용 가능하다.
또한, 제1 차광막은 모니터 소자의 게이트선 및 화소부에 제공된 발광 소자의 게이트선과 동일 제조 조건으로 동시에 형성되고, 제2 차광막은 모니터 소자의 소스선 및 화소부에 제공된 발광 소자의 소스선과 동일한 제조 조건으로 동시에 형성된다.
또한, 본 발명의 표시장치는 복수의 화소와, 소스 신호선 구동회로(소스 드라이버)와, 게이트 신호선 구동회로(게이트 드라이버)를 포함한다. 그리고, 복수의 화소 각각은 발광 소자, 화소에의 비디오 신호의 입력을 제어하는 제1 박막트랜지스터, 발광 소자의 점등 또는 비점등을 제어하는 제2 박막트랜지스터, 및 비디오 신호를 보유하는 용량 소자를 가진다. 용량 소자는 반드시 제공될 필요는 없고, 제2 박막트랜지스터의 게이트 용량이 용량 소자 대신 사용될 수 있다.
또한, 모니터 소자부(모니터 소자가 제공되어 있는 영역)는 화소부 내에 제공되어도 좋고, 화소부 이외의 영역에 제공되어도 좋다. 그러나, 화상 표시에 영향을 미치지 않도록 하고, 또한, 모니터 소자부와 화소부의 발광 소자를 가능한 한 같은 환경 하에 두기 위해, 모니터 소자부는 화소부에 근접하여 제공되는 것이 바람직하다.
또한, 모니터 소자의 수는 적절히 선택될 수 있다. 즉, 모니터 소자는 1개만 제공되는 구성이어도 좋고, 복수 제공되는 구성이어도 좋다. 모니터 소자를 1개만 사용하는 경우, 정전류원에 인가되는 전류값은 각 화소의 발광 소자에 인가되는 전류값이도록 설정되기 때문에, 소비전력을 삭감할 수 있다. 또한, 복수의 모니터 소자가 제공되는 경우에는, 모니터 소자마다의 특성 편차를 평균화할 수 있다.
또한, 발광 소자를 포함하는 패널을 사용하여 컬러 표시를 행하는 경우, 발광 파장대가 다른 전계 발광층들이 화소마다 제공되는 것이 바람직하고, 전형적으로는, 적(R), 녹(G), 청(B)의 각 색에 대응한 전계 발광층이 제공되는 것이 바람직하다. 이 경우, 적, 녹, 청의 각 색에 대응한 모니터 소자를 각각 제공하여, 각 색마다 전원 전압을 보정할 수 있도록 하면 좋다. 이 경우에도, 각 색마다 모니터 소자를 1개씩 제공하는 구성으로 하여도 좋지만, 바람직하게는, 각 색마다 각각 복수 제공하는 구성이 바람직하다.
본 명세서에 개시된 본 발명의 표시장치의 구성은, 발광 소자와 이 발광 소자를 구동하는 제1 박막트랜지스터를 가지고 매트릭스 형태로 배열된 복수의 화소를 포함하는 화소부와; 제1 전극, 이 제1 전극 위에 형성된 전계 발광층, 및 이 전계 발광층 위에 형성된 제2 전극을 가지는 모니터 소자와; 이 모니터 소자를 구동하는 제2 박막트랜지스터와; 모니터 소자로 일정 전류를 흐르게 하는 정전류원과; 증폭 회로를 포함한다. 이 구성에서, 정전류원은 제2 박막트랜지스터의 소스 전극과 드레인 전극 중 하나 및 증폭 회로의 입력에 전기적으로 접속되어 있고, 제2 박막트랜지스터의 소스 전극과 드레인 전극 중 다른 하나는 모니터 소자의 제1 전극에 전기적으로 접속되어 있고, 발광 소자의 전극들 중 하나는 제1 박막트랜지스터를 통해 증폭 회로의 출력에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 이 구성에서, 모니터 소자와 제2 박막트랜지스터는 서로 겹치지 않도록 제공되고, 모니터 소자의 제1 전극과 겹치도록 제1 차광막이 제공되고, 제1 차광막과 겹치도록 제2 차광막이 제공되어 있으며, 제2 차광막은 모니터 소자의 제1 전극의 외측 엣지를 둘러싸도록 층간절연막에 형성된 콘택트 홀을 통하여 제1 차광막에 전기적으로 접속되어 있다.
본 명세서에 개시된 본 발명의 표시장치의 다른 구성은, 발광 소자와 이 발광 소자를 구동하는 제1 박막트랜지스터를 가지고 매트릭스 형태로 배열된 복수의 화소를 포함하는 화소부와; 제1 전극, 이 제1 전극 위에 형성된 전계 발광층, 및 이 전계 발광층 위에 형성된 제2 전극을 가지는 모니터 소자와, 이 모니터 소자를 구동하는 제2 박막트랜지스터를 포함하는 모니터 소자부와; 모니터 소자로 일정 전류를 흐르게 하는 정전류원과; 증폭 회로를 포함한다. 이 구성에서, 정전류원은 제2 박막트랜지스터의 소스 전극과 드레인 전극 중 하나 및 증폭 회로의 입력에 전기적으로 접속되어 있고, 제2 박막트랜지스터의 소스 전극과 드레인 전극 중 다른 하나는 모니터 소자의 제1 전극에 전기적으로 접속되어 있고, 발광 소자의 전극들 중 하나는 제1 박막트랜지스터를 통해 증폭 회로의 출력에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 모니터 소자부는 게이트선과 동일 재료로 형성된 제1 차광막과, 이 제1 차광막 위에 형성된 층간절연막과, 소스 전극 또는 드레인 전극과 동일 재료로 형성되고 층간절연막 위에 형성된 제2 차광막과, 층간절연막 위에 형성된 모니터 소자를 포함한다. 또한, 모니터 소자와 제2 박막트랜지스터는 서로 겹치지 않도록 제공되고, 제1 차광막은 층간절연막을 사이에 두고 모니터 소자의 제1 전극과 겹치도록 제공되고, 모니터 소자의 제1 전극은 층간절연막에 형성된 콘택트 홀을 통하여 제1 차광막에 전기적으로 접속되고, 제2 차광막은 층간절연막을 사이에 두고 제1 차광막과 겹치도록 제공되고, 제2 차광막은 모니터 소자의 제1 전극의 외측 엣지를 둘러싸도록 층간절연막에 형성된 콘택트 홀을 통하여 제1 차광막에 전기적으로 접속되어 있다.
본 명세서에 개시된 본 발명의 표시장치의 또 다른 구성은, 발광 소자와 이 발광 소자를 구동하는 제1 박막트랜지스터를 가지고 매트릭스 형태로 배열된 복수의 화소를 포함하는 화소부와; 제1 전극, 이 제1 전극 위에 형성된 전계 발광층, 및 이 전계 발광층 위에 형성된 제2 전극을 가지는 모니터 소자와, 이 모니터 소자를 구동하는 제2 박막트랜지스터를 포함하는 모니터 소자부와; 모니터 소자로 일정 전류를 흐르게 하는 정전류원과; 증폭 회로를 포함한다. 이 구성에서, 정전류원은 제2 박막트랜지스터의 소스 전극과 드레인 전극 중 하나 및 증폭 회로의 입력에 전기적으로 접속되어 있고, 제2 박막트랜지스터의 소스 전극과 드레인 전극 중 다른 하나는 모니터 소자의 제1 전극에 전기적으로 접속되어 있고, 발광 소자의 전극들 중 하나는 제1 박막트랜지스터를 통해 증폭 회로의 출력에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 모니터 소자부는 게이트선과 동일 재료로 형성된 제1 차광막과, 이 제1 차광막 위에 형성된 제1 층간절연막과, 소스 전극 또는 드레인 전극과 동일 재료로 형성되고 제1 층간절연막 위에 형성된 제2 차광막과, 제2 차광막과 소스 전극 또는 드레인 전극 위에 형성된 제2 층간절연막과, 제2 층간절연막 위에 형성된 모니터 소자를 포함한다. 또한, 모니터 소자와 제2 박막트랜지스터는 서로 겹치지 않도록 제공되고, 제1 차광막은 제1 층간절연막 및 제2 층간절연막을 사이에 두고 모니터 소자의 제1 전극과 겹치도록 제공되고, 모니터 소자의 제1 전극은 제1 층간절연막 및 제2 층간절연막에 형성된 콘택트 홀을 통하여 제1 차광막에 전기적으로 접속되고, 제2 차광막은 제1 층간절연막을 사이에 두고 제1 차광막과 겹치도록 제공되고, 제2 차광막은 모니터 소자의 제1 전극의 외측 엣지를 둘러싸도록 제1 층간절연막에 형성된 콘택트 홀을 통하여 제1 차광막에 전기적으로 접속되어 있다.
본 발명의 상기 구성에서, 모니터 소자 및 제2 박막트랜지스터는 게이트선을 사이에 두고 상이한 영역에 제공되어 있다.
본 발명의 상기 구성에서, 제2 차광막은 환형 형상을 가진다.
본 발명의 상기 구성에서, 모니터 소자 및 제2 박막트랜지스터는 화소부에 근접하여 제공되어 있다.
본 발명의 상기 구성에서, 화소부는 적색을 발광하는 복수의 화소와, 녹색을 발광하는 복수의 화소와, 청색을 발광하는 복수의 화소를 가지고, 모니터 소자와 이 모니터 소자를 구동하는 박막트랜지스터가 각 색마다 제공되어 있다.
본 발명의 상기 구성에서, 모니터 소자와 발광 소자는 EL 소자이다.
본 발명의 상기 구성에서, 모니터 소자와 발광 소자는 동일 재료를 사용하여 동일 공정에서 형성된다.
본 발명의 상기 구성에서, 증폭 회로는 전압 폴로어(follower) 회로이다
본 발명의 상기 구성에서, 표시장치는 하면 출사형 또는 양면 출사형이다.
본 명세서에 개시된 본 발명의 표시장치의 또 다른 구성은 상기한 표시장치를 가지는 EL 텔레비전이다.
본 명세서에 개시된 본 발명의 표시장치 제조방법의 구성은, 기판 위에 하지막을 형성하는 공정; 하지막 위에 반도체층을 형성하여, 모니터 소자를 구동하는 박막트랜지스터를 형성하는 공정; 반도채층 위에 게이트 절연막을 형성하는 공정; 게이트 절연막 위에 게이트선과 제1 차광막을 동시에 형성하는 공정; 및 게이트선을 마스크로 하여 반도체층에 불순물을 도핑함으로써, 소스 영역과 드레인 영역을 형성하는 공정을 포함한다. 또한, 게이트 절연막과 게이트선 및 제1 차광막 위에 층간절연막을 형성한다. 그 다음, 소스 영역에 접속되는 소스선을 형성함과 동시에, 드레인 영역에 접속되고, 또한 모니터 소자의 제1 전극의 외측 엣지를 둘러싸도록 층간절연막에 형성된 콘택트 홀을 통하여 제1 차광막에 전기적으로 접속되도록 제2 차광막을 형성한다. 그리고, 층간절연막을 사이에 두고 제1 차광막과 겹치도록 제1 전극을 형성함으로써 층간절연막 위에 모니터 소자를 형성한다. 그리고, 제1 전극 위에 전계 발광층을 형성하고, 전계 발광층 위에 제2 전극을 형성한다. 상기 구성에서, 모니터 소자는 이 모니터 소자를 구동하는 박막트랜지스터와 겹치지 않는다.
본 발명에서는, 제1 차광막이 모니터 소자의 제1 전극과 겹치도록 제공되어 있고, 제2 차광막이 층간절연막에 형성된 콘택트 홀을 통하여 제1 차광막에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 콘택트 홀은 모니터 소자의 제1 전극의 외측 엣지를 둘러싸도록 형성되어 있다. 따라서, 제1 차광막 및 제2 차광막에 의해 광 누출을 방지함과 동시에, 제1 차광막과 제2 차광막 사이의 간극으로부터 광 누출이 발생하는 것도 방지할 수 있다.
또한, 제1 차광막은 모니터 소자를 구동하는 TFT의 게이트선을 형성하기 위해 사용되는 도전막을 사용하여 형성된다. 또한, 제1 차광막에 전기적으로 접속되 는 제2 차광막은 소스 전극 또는 드레인 전극을 형성하기 위해 사용되는 도전막을 사용하여 형성된다. 이와 같이 다른 배선과 동시에 차광막을 형성하기 때문에, 공정 수를 증가시키지 않고 차광막을 형성할 수 있다. 또한, 수율 및 신뢰성의 높은 표시장치를 저렴하게 제공할 수 있다.
본 발명을 실시하기 위한 실시형태를 도면을 사용하여 설명한다. 그러나, 본 발명은 아래의 설명에 한정되지 않고, 본 발명의 취지 및 그 범위에서 벗어나지 않고 그 형태 및 상세한 사항을 다양하게 변경할 수 있다는 것은 당업자라면 용이하게 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명은 아래에 나타낸 실시형태의 기재 내용에 한정하여 해석되는 것은 아니다. 또한, 아래에 설명하는 본 발명의 구성에서, 동일 부분 또는 같은 기능을 가지는 부분에는 동일 부호를 다른 도면 사이에서 공통하여 사용하고, 그 반복 설명은 생략한다.
[실시형태 1]
본 실시형태에서는, 모니터 소자부에 제공된 차광막의 특징에 대하여 설명한다.
모니터 소자가 제공된 영역의 레이아웃도를 도 1에 나타낸다. 또한, 도 1의 점선 A-A'를 따라 절단한 단면 구조를 도 2(A)에 나타낸다.
제1 차광막(401)은 게이트 드라이버에 접속된 게이트선(415), 및 모니터 소자를 구동하는 TFT(412)의 게이트선(413)과 동일한 재료를 사용하여 동일한 공정에서 형성된 도전막이고, 이들은 모두 기판(400) 위에 형성되어 있다. 또한, 제1 차광막(401)은 모니터 소자의 제1 전극(407)과 겹치도록 제공되어 있다. 도 1에서는 제1 차광막(401)이 정전류원에 전기적으로 접속되어 있는 전류 공급선(411)과 겹치지 않도록 제공되어 있지만, 제1 차광막(401)이 전원 공급선(411)과 겹치도록 제공되어도 좋다. 또한, 도 1에서는 제1 차광막(401)이 배선(404)과 겹치도록 제공되어 있지만, 제1 차광막(401)이 배선(404)과 겹치지 않도록 제공되어도 좋다.
제2 차광막(406)은 모니터 소자를 구동하는 TFT(412)의 소스 영역(또는 드레인 영역)과 정전류원을 전기적으로 접속하는 전류 공급선(411), 및 모니터 소자를 구동하는 TFT(412)의 게이트선(413)에 전위를 부여하는 제어선(405)과 동일한 재료를 사용하여 동일한 공정에서 형성된 도전막이다. 또한, 제2 차광막(406)은 모니터 소자를 구동하는 TFT(412)에 접속되는 드레인 전극(또는 소스 전극)으로도 기능한다. 그리고, 제2 차광막(406)은 환형(環形)의 형상을 가지고 있고, 제1 전극(407)의 외측 엣지(edge)를 둘러싸도록 제공되어 있다. 이와 같이 제2 차광막(406)을 제공함으로써, 제1 차광막(401)만으로는 완전히 덮지 못했던 제1 전극(407)의 영역도 덮을 수 있다. 또한, 도 2(A) 및 도 2(B)에서, 부호 408은 절연막(뱅크, 격벽, 장벽, 제방 등이라고 불림)을 나타내고, 410은 모니터 소자의 제2 전극을 나타내고, 431은 TFT(412)의 게이트 절연막을 나타낸다.
또한, 본 실시형태에서는, 제2 차광막(406)이 모니터 소자를 구동하는 TFT(412)에 접속되는 드레인 전극(또는 소스 전극)으로도 기능하고 있지만, 본 발명이 이 구성에 한정되는 것은 아니다. 즉, 도 3(A)에 도시된 바와 같이, TFT(412)에 접속되는 드레인 전극(또는 소스 전극)(432)과 제1 차광막(401)을 서로 다른 막으로 형성하고, 드레인 전극(또는 소스 전극)(432)이 제1 차광막(401)을 통 하여 제2 차광막(406)에 전기적으로 접속되는 구성으로 하여도 좋다. 제2 차광막(406)은 도 2(A)와 마찬가지로 환형의 형상을 가지고 있고, 제1 전극(407)의 외측 엣지를 둘러싸도록 제공되어 있다. 또한, 드레인 전극(또는 소스 전극)(432)과 제1 차광막(401)은 동일한 재료를 사용하여 동일한 공정에서 형성될 수도 있다.
제1 전극(407)은 전계 발광층(409)에 전위를 부여하기 위한 전극들 중 한쪽 전극이고, 양극 또는 음극으로서 기능한다. 도 2(A) 및 도 3(A)에서, 점선으로 나타낸 발광 영역(421)은 제1 전극(407)과 제2 전극(410) 각각에 전위를 부여했을 때 발광 소자가 발광하는 영역이다.
본 실시형태에서는, 하면 출사형의 표시장치에서, 복수의 화소를 포함하는 화소부에서, 복수의 모니터 소자가 짝수 행(또는 홀수 행) 각각에 인접한 영역에 형성되고, 복수의 모니터 소자를 구동하는 복수의 TFT가 홀수 행(또는 짝수 행) 각각에 인접한 영역에 형성되어 있다. 또한, 모니터 소자와 모니터 소자를 구동하는 TFT는 게이트선을 사이에 두고 서로 다른 영역에 제공되어 있다. 즉, 모니터 소자와 모니터 소자를 구동하는 TFT는 서로 겹치지 않도록 제공되어 있다. 또한, 모니터 소자로부터 방사되는 광의 누출을 방지하기 위해, 제1 차광막(401)이 제1 전극(407)과 겹침과 동시에, 층간절연막에 형성된 콘택트 홀(417)을 통하여 제1 차광막(401)과 제2 차광막(406)이 전기적으로 접속되어 있다. 이 구조에 의해, 모니터 소자로부터 방사되는 광이 기판(400) 측으로 누출되지 않고, 충분히 차광될 수 있다.
또한, 제1 차광막(401)과 제2 차광막(406) 각각은 모니터 소자를 구동하는 TFT(412)를 형성하기 위해 사용되는 배선과 동일한 재료를 사용하여 동일한 공정에서 형성되어 있다. 따라서, 불필요한 비용이나 공정 수를 늘리지 않고 차광막을 형성할 수 있다.
여기서, 모니터 소자부와 동일 기판 위에 형성되어 있고 화소부에 제공된 하면 출사 구조(또는 하면 출사형)를 가지는 발광 소자에 대하여 도 8을 사용하여 설명한다.
도 8은 하면 출사형 발광 소자의 단면도를 나타낸다. 양극으로서 기능하는 제1 전극(1302)에 사용하는 재료로서는, 일 함수가 큰 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 예를 들어, ITO(인듐 주석 산화물)막, 인듐 아연 산화물(IZO)막 등의 투광성 도전막을 사용할 수 있다. 투광성 도전막을 사용함으로써, 광을 투과시킬 수 있는 양극을 형성할 수 있다. 또한, 제1 전극(1302)은 TFT(1301)에 접속되어 있다.
또한, 음극으로서 기능하는 제2 전극(1304)에 사용하는 재료로서는, 일 함수가 작은 재료(Al, Ag, Li, Ca 또는 이들의 합금인 MgAg, MgIn, AlLi, 불화칼슘, 또는 질화칼슘)으로 된 금속막을 사용할 수 있다. 이와 같이, 광을 반사하는 금속막을 사용함으로써, 광이 투과하지 않는 음극을 형성할 수 있다. 도 8에서, 부호 1303은 전계 발광층을 나타낸다.
이렇게 하여, 도 8에서 화살표로 나타낸 바와 같이, 화소부에 제공된 발광 소자로부터의 광을 하면으로 취출할 수 있게 된다. 또한, 화소부에 제공된 하면 출사 구조의 발광 소자를 표시장치에 사용하는 경우에는, 기판(1300)으로서 투광성을 가지는 기판을 사용한다. 또한, 광학 필름을 제공하는 경우에는, 기판(1300)에 광학 필름을 제공할 수도 있다.
[실시형태 2]
본 실시형태에서는, 모니터 소자부에서 층간절연막을 2층 형성하는 경우의 차광막을 가지는 표시장치의 구성에 대하여 도 2(B)를 사용하여 설명한다. 또한, 본 실시형태에서는, 실시형태 1과 상이한 점에 대해서만 설명한다.
실시형태 1에서는, 도 2(A)에 도시된 바와 같이, 층간절연막이 1층만 형성되어 있기 때문에, 제1 층간절연막(402)에 형성된 콘택트 홀을 통하여 제1 전극(407)과 제2 차광막(406) 각각이 제1 차광막(401)에 접속되어 있다. 이에 대하여, 본 실시형태에서는 층간절연막이 2층 형성되어 있고, 제1 층간절연막(402)에 형성된 콘택트 홀(417)을 통하여 제2 차광막(406)이 제1 차광막(401)에 접속되어 있음과 동시에, 제1 층간절연막(402) 및 제2 층간절연막(416)에 형성된 콘택트 홀을 통하여 제1 전극(407)이 제1 차광막(401)에 접속되어 있다. 또한, 도 2(B)에서는, 제2 차광막(406)이 환형의 형상을 가지는 예를 나타내고 있지만, 본 발명이 이것에 한정되는 것은 아니다. 즉, 모니터 소자로부터 발광되는 광이 기판(400) 측으로부터 누출되지 않도록, 제1 전극(407)의 외측 엣지를 둘러싸도록 형성된 콘택트 홀(417)을 통하여 제1 차광막(401)과 제2 차광막(406)이 서로 접속되도록 하면 된다.
또한, 본 실시형태에서는, 제2 차광막(406)이 모니터 소자를 구동하는 TFT(412)에 접속되는 드레인 전극(또는 소스 전극)으로도 기능하고 있지만, 본 발명이 이 구성에 한정되는 것은 아니다. 즉, 도 3(B)에 도시된 바와 같이, TFT(412)에 접속되는 드레인 전극(또는 소스 전극)(432)과 제1 차광막(401)을 서로 다른 막으로 형성하고, 드레인 전극(또는 소스 전극)(432)이 제1 차광막(401)을 통하여 제2 차광막(406)에 전기적으로 접속되는 구성으로 하여도 좋다. 제2 차광막(406)은 도 2(B)와 마찬가지로 환형의 형상을 가지고 있고, 제1 전극(407)의 외측 엣지를 둘러싸도록 제공되어 있다. 또한, 드레인 전극(또는 소스 전극)(432)과 제1 차광막(401)은 동일한 재료를 사용하여 동일한 공정에서 형성될 수도 있다.
[실시형태 3]
본 실시형태에서는, 표시장치의 모니터 소자부의 제조공정에 대하여 설명한다. 또한, 표시장치의 화소부에 제공되는 박막트랜지스터 및 발광 소자는 모니터 소자에 제공되는 박막트랜지스터 및 모니터 소자와 동일 제조조건으로 동일 제조공정을 통해 형성될 수 있기 때문에, 여기서는 화소부의 제조공정의 설명에 대해서는 생략한다.
도 4(A)∼도 4(D), 도 5(A)∼도 5(C), 및 도 6은 모니터 소자부의 상면도를 나타낸 도 7(D)의 점선 B-B'를 따라 취한 단면도이다. 도 7(A)∼도 7(D)에서는, 전계 발광층(112)이 생략되어 있다. 먼저, 도 4(A)에 도시된 바와 같이, 절연 기판(101) 위에 하지막(102)을 형성한다. 절연 기판(101)에는, 예를 들어, 바륨 붕규산 유리나 알루미노 붕규산 유리 등의 유리 기판, 석영 기판, 세라믹 기판 등을 사용할 수 있다. 또한, 플라스틱 등의 가요성을 가지는 합성 수지로 된 기판은 일반적으로 상기 기판과 비교하여 내열 온도가 낮은 경향이 있지만, 제조 공정에서의 처리 온도에 견딜 수 있는 것이라면 사용할 수 있다. 즉, 내열성을 가지는 플라스틱 기판을 사용하는 것도 가능하다. 또한, 절연 기판(101)의 표면을 CMP법 등에 의해 연마하여, 평탄화하여 두어도 좋다. 또한, 석영 기판을 사용하는 경우 등 절연 기판(101)으로부터의 오염을 우려할 필요가 없다면, 하지막(102)을 형성하지 않아도 좋다.
또한, 하지막(102)은 플라즈마 CVD법이나 저압 CVD법으로 대표되는 CVD법, 스퍼터링법 등의 방법에 의해 형성될 수도 있다. 또한, 하지막으로서는, 산화규소막, 질화규소막, 산화질화규소막, 질화산화규소막 중 어느 하나를 사용한 단층 구조로 하여도 좋고, 이들을 적절히 적층한 구조로 하여도 좋다. 또한, 본 명세서에서, 산화질화규소란, 산소의 조성비가 질소의 조성비보다 큰, 규소, 질소 및 산소로 이루어진 화합물을 가리키고, 질소를 함유하는 산화규소라 할 수도 있다. 또한, 본 명세서에서, 질화산화규소란, 질소의 조성비가 산소의 조성비보다 큰 물질을 가리키고, 산소를 함유하는 질화규소라 할 수도 있다. 본 실시형태에서는, 하지막은 질화산화규소막과 산화질화규소막을 순차적으로 적층한 구성을 가진다.
이어서, 하지막(102) 위에 반도체막(103)을 형성한다. 반도체막(103)으로서는 비정질 반도체막을 형성하면 좋지만, 미(微)결정 반도체막이나 결정성 반도체막을 형성하여도 좋다. 또한, 반도체막의 재료에 한정은 없지만, 바람직하게는 규소 또는 규소 게르마늄을 사용하면 좋다. 본 실시형태에서는, 비정질 규소막을 형성한다. 또한, 반도체막을 형성한 후에, 반도체막에 함유된 수소를 제거하는 공정을 행하여도 좋다.
또한, 하지막(102)과 반도체막(103)을 형성할 때, 하지막(102)과 반도체 막(103)과의 계면이 대기에 노출되지 않도록 하면, 그 계면의 오염을 방지할 수 있게 되고, 제조되는 TFT의 특성 편차를 저감시킬 수 있다. 본 실시형태에서는, 하지막(102)과 반도체막(103)을 플라즈마 CVD법을 사용하여 대기에 노출시키지 않고 연속하여 형성한다.
다음에, 레이저 결정화법, 열 결정화법, 또는 니켈 등의 결정화를 촉진하는 원소를 사용한 열 결정화법 등을 사용하여 반도체막(103)을 결정화하여, 결정성 반도체막을 형성한다. 여기서, 결정화 후에, 붕소(B) 등의 p형 도전형을 부여하는 불순물을 결정성 반도체막의 전면(全面)에 도핑하여, TFT의 채널 형성 영역으로서 작용하는 영역에 채널 도핑을 행하여, TFT의 스레시홀드 전압을 제어하도록 하여도 좋다. 또한, 본 실시형태에서는, 반도체막(103)을 결정화하여 형성된 결정성 반도체막을 사용하고 있지만, 결정성 반도체막 대신에 비정질 반도체막을 사용하는 것도 가능하다.
다음에, 도 4(B)에 도시된 바와 같이, 결정성 반도체막을 선택적으로 에칭하여 결정성 반도체층(104)(섬 형상 반도체층)을 형성한다. 또한, 도 7(A)는 결정성 반도체층(104)의 상면도를 나타내고 있다.
그 다음, 결정성 반도체층(104) 위에 게이트 절연막(105)을 형성한다. 게이트 절연막(105)은 산화규소막, 질화규소막, 산화질화규소막, 질화산화규소막 중 어느 하나를 사용한 단층 구조로 하여도 좋고, 이들을 적절히 적층한 구조로 하여도 좋다.
그 다음, 도 4(C) 및 도 7(B)에 도시된 바와 같이, 게이트 절연막(105) 위에 제1 차광막(151)을 형성함과 동시에, 모니터 소자를 구동하는 TFT의 게이트선(게이트 전극)(106)과, 게이트 드라이버에 접속되는 게이트선(160)을 형성한다. 제1 차광막(151)은 이후 공정에서 형성되는 제1 전극(110)과 겹치도록 형성된다. 또한, 제1 차광막(151)은 모니터 소자부에 제공되는 것으로, 화소부의 발광 소자에 제공되는 것이 아니다. 게이트선(106, 160) 및 제1 차광막(151)의 재료로서는, 알루미늄, 몰리브덴, 티탄, 및 탄소 중에서 선택된 적어도 1종, 또는 복수 종을 함유하는 재료를 사용하면 좋다. 여기서, 몰리브덴 또는 티탄의 조성비는 7.0 내지 20 원자%인 것이 바람직하다.
이어서, 게이트선(106)을 마스크로 하여, 붕소(B) 등의 p형 도전형을 부여하는 불순물을 결정성 반도체층(104)에 도핑한다. 이 공정에서, TFT의 소스 영역 및 드레인 영역이 자기정합적으로 형성될 수 있다. 또한, TFT의 채널 형성 영역과 소스 영역 사이 및 채널 형성 영역과 드레인 영역 사이에, 도핑 등에 의해, 저농도 불순물 영역(LDD 영역)이 형성되는 구성으로 하여도 좋다.
또한, 도핑을 행한 후, 불순물 영역에 첨가된 불순물 원소를 활성화하기 위해, 가열 처리, 강광 조사, 또는 레이저광 조사를 행하여도 좋다. 이것에 의해, 불순물 원소의 활성화뿐만 아니라, 게이트 절연막(105)의 플라즈마 손상이나 게이트 절연막(105)과 결정성 반도체층(104)과의 계면의 플라즈마 손상을 회복할 수 있다.
다음에, 게이트 절연막(105) 및 게이트 배선(106, 160) 위에 제1 층간절연막(107)을 형성한다. 본 실시형태에서는, 질화산화규소막과 산화질화규소막을 차 례로 적층하는 구성으로 한다.
제1 층간절연막(107)을 형성한 후, 질소 분위기에서 300∼550℃(보다 바람직하게는 400∼500℃)에서 1∼12시간의 열 처리를 행하여, 결정성 반도체층(반도체층)(104)을 수소화하는 공정을 행하는 것이 바람직하다. 이 공정에서, 제1 층간절연막(107)에 함유되어 있는 수소에 의해 반도체층의 댕글링 본드(dangling bond)를 종단할 수 있다. 본 실시형태에서는, 410℃에서 1시간 가열 처리를 행한다.
그 다음, 도 4(D)에 도시된 바와 같이, TFT의 소스 영역 및 드레인 영역과, 제1 차광막(151)에 도달하도록 제1 층간절연막(107)에 콘택트 홀을 각각 형성한다. 콘택트 홀의 형상은 테이퍼 형상으로 하면 좋다.
그 다음, 도 5(A) 및 도 7(C)에 도시된 바와 같이, 콘택트 홀을 덮도록 배선(전류 공급선)(108)을 형성함과 동시에 제2 차광막(152)을 형성한다. 배선(108)은 소스 전극(또는 전류 공급선)으로서 기능하고, 제2 차광막(152)은 차광용 막뿐만 아니라 드레인 전극으로도 기능한다. 또한, 도 7(C)의 상면도에 도시된 바와 같이, 제2 차광막(152)은 상면에서 보았을 때 제1 차광막(151)과 겹치도록 제공되어 있고, 환형의 형상을 가지고 있다. 또한, 제2 차광막(152)은 모니터 소자에 제공하는 것이고, 화소부의 발광 소자에 제공되는 것은 아니다.
배선(108) 및 제2 차광막(152)의 재료로서는, Ag, Au, Cu, Ni, Pt, Pd, Ir, Rh, W, Al, Ta, Mo, Cd, Zn, Fe, Ti, Zr, Ba 등의 금속 또는 그의 합금, 또는 그의 금속 질화물을 사용하거나, Si나 Ge와 같은 반도체 재료를 사용한다. 또한, 배선(108) 및 제2 차광막(152)은 이들 재료를 포함하는 적층 구조를 가질 수도 있다. 본 실시형태에서는, 두께 100 nm의 티탄(Ti)막과, 두께 700 nm의 알루미늄과 규소의 합금(Al-Si)막과, 두께 200 nm의 티탄(Ti)막을 형성하고 소망의 형상으로 에칭한다.
그 다음, 도 5(B) 및 도 7(D)에 도시된 바와 같이, 제1 층간절연막(107)에 형성된 콘택트 홀 내에 제1 전극(110)을 형성한다. 도 7(D)의 상면도에 도시된 바와 같이, 제1 전극(110)은 상면에서 보았을 때 제1 차광막(151)과 겹쳐 있고, 또한, 제1 전극(110)의 외측 엣지를 제2 차광막(152)에 의해 둘러싸도록 제공되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 화소부의 발광 소자로부터의 광을 제1 전극(110) 측으로부터 취출하는 구조로 하기 위해, 투광성을 가지는 막을 사용하여 제1 전극(110)을 형성한다. 제1 전극(110)으로서는, 산화규소를 함유하는 산화인듐 주석(이하 "ITSO"라 칭함), 산화아연, 산화주석, 산화인듐 등을 사용할 수 있다. 또는, 산화인듐에 2∼20 원자%의 산화아연(ZnO)을 혼합한 산화인듐-산화아연 합금 등의 투명 도전막을 사용할 수도 있다. 또한, 상기 투명 도전막 외에, 질화티탄막 또는 티탄막을 사용하여도 좋다. 이 경우, 투명 도전막을 성막한 후에, 질화티탄막 또는 티탄막을 광이 투과하는 정도의 막 두께(바람직하게는 5∼30 nm 정도)로 형성한다. 본 실시형태에서는, 제1 전극(110)으로서 ITSO막을 110 nm의 두께로 형성한다.
또한, 제1 전극(110)은 그의 표면이 평탄화되도록, CMP법, 폴리비닐알코올계 다공질체로 닦아내고 연마하여도 좋다. 또한, CMP법을 사용한 연마 후에 제1 전 극(110)의 표면에 자외선 조사, 산소 플라즈마 처리 등을 행하여도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는, p채널형 TFT를 제조하는 공정에 대하여 설명하였으나, 게이트 전극을 마스크로 하여 결정성 반도체층(104)에 n형 도전형을 부여하는 불순물을 도핑함으로써 n채널형 TFT를 제조하는 경우에도 본 발명이 적용될 수 있다. 또한, 동일 기판 위에 p채널형 TFT와 n채널형 TFT를 제조하는 경우에도, 본 발명을 적용할 수 있다.
또한, TFT는 결정성 반도체층(104)에 채널 형성 영역이 하나 형성되는 싱글 게이트 구조이어도 좋고, 결정성 반도체층(104)에 채널 형성 영역이 2개 형성되는 더블 게이트 구조 또는 결정성 반도체층(104)에 채널 형성 영역이 3개 형성되는 트리플 게이트 구조이어도 좋다. 또한, 주변 구동회로 영역의 박막트랜지스터도 싱글 게이트 구조, 더블 게이트 구조 또는 트리플 게이트 구조이어도 좋다.
또한, 본 발명이 본 실시형태에서 설명한 TFT 제조방법에 한정되지 않고, 탑게이트형(플래이너형), 보텀 게이트형(역 스태거형), 또는 채널 형성 영역의 상하에 게이트 절연막을 사이에 두고 배치된 2개의 게이트 전극을 가지는 듀얼 게이트형이나 그 외의 구조에도 본 발명을 적용할 수 있다.
다음에, 도 5(C)에 도시된 바와 같이, 제1 전극(110)의 외측 엣지 및 TFT를 덮도록 절연막(111)(뱅크, 격벽, 장벽, 제방 등이라고 불림)을 형성한다.
절연막(111)은 산화규소, 질화규소, 산화질화규소, 산화알루미늄, 질화알루미늄, 산화질화알루미늄 등의 무기 절연 재료, 또는 아크릴산, 메타크릴산 및 이들의 유도체, 또는 폴리이미드, 방향족 폴리아미드, 폴리벤조이미다졸 등의 내열성 고분자 화합물, 또는 실록산계 재료를 출발 재료로 하여 형성되고 규소, 산소, 수소를 함유하는 화합물 중 Si-O-Si 결합을 포함하는 무기 실록산계 절연 재료, 규소와 결합된 수소가 메틸기나 페닐기와 같은 유기기에 의해 치환된 유기 실록산계 절연 재료로 형성될 수 있다. 또는, 절연막(111)은 아크릴, 폴리이미드 등의 감광성 또는 비감광성 재료를 사용하여 형성하여도 좋다. 본 실시형태에서는, 감광성 폴리이미드를 사용하여, 평탄하고 막 두께가 1.5 ㎛가 되도록 절연막(111)을 형성한다.
또한, 절연막(111)은 곡률 반경이 연속적으로 변화하는 형상이 바람직하고, 이것에 의해, 절연막(111) 위에 형성되는 전계 발광층(유기 화합물을 함유하는 층) 및 제2 전극의 피복성을 향상시킬 수 있다.
또한, 신뢰성을 더욱 향상시키기 위해, 전계 발광층을 형성하기 전에 가열 처리를 행하면 좋다. 이 가열 처리에 의해 제1 전극(110)이나 절연막(111)에 함유되거나 부착되어 있는 수분을 방출시키는 것이 바람직하다.
이어서, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 전극(110) 위에 전계 발광층(112)을 형성한다. 도 6에서는 1개의 모니터 소자만을 나타내지만, 본 실시형태에서는 적(R), 녹(G), 청(B)의 각 색에 대응한 전계 발광층을 나누어 형성하고 있다. 본 실시형태에서는, 전계 발광층(112)을, 적(R), 녹(G), 청(B)의 발광을 나타낸 재료를 사용하여 증착 마스크를 사용한 증착법에 의해 선택적으로 형성한다. 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 발광을 나타낸 재료는 증착 마스크를 사용한 증착법에 의해 선택적으로 형성되거나, 액적 토출법에 의해 형성될 수 있다. 액적 토출법은, 마스크를 사용하지 않고 RGB로 나누어 칠할 수 있다는 이점이 있다. 본 실시형태에서는, 적(R), 녹(G), 청(B)의 발광을 나타낸 재료를 증착법에 의해 각각 형성한다.
전계 발광층에는 유기 발광 재료 또는 무기 발광 재료를 사용할 수 있다. 유기 발광 재료에는 저분자계(모노머계) 재료와 고분자계(폴리머계) 재료가 있지만, 어떤 것을 사용하여도 좋다. 또한, 전계 발광층의 구조는 정공 주입층, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층 또는 전자 주입층 등을 자유롭게 조합시켜 적층 구조 또는 단층 구조로 하면 좋다.
또한, 전계 발광층의 증착 전에, 불활성 가스를 주성분으로 하고 산소의 농도가 5% 이하이고 수소의 농도가 1% 이하인 분위기에서 가열 처리를 행하여, 수분 등을 제거하는 것이 바람직하다. 본 실시형태에서는, 300℃에서 1시간 가열 처리를 행한다.
그 다음, 전계 발광층(112) 위에 도전막으로 된 제2 전극(113)을 형성한다. 또한, 제1 전극(110)이 양극으로서 기능할 때는 제2 전극(113)은 음극으로서 기능하고, 제1 전극(110)이 음극으로서 기능할 때는 제2 전극(113)은 양극으로서 기능한다. 또한, 제2 전극(113)의 재료로서는, 일 함수가 작은 재료(Al, Ag, Li, Ca 또는 이들의 합금 MgAg, MgIn, AlLi, CaF2 또는 질화칼슘)을 사용하면 좋다.
이상의 공정에 의해, 제1 전극(110), 전계 발광층(112) 및 제2 전극(113)으로 된 모니터 소자가 형성된다. 이 모니터 소자가 발광하는 영역은 도 7(D)에서 발광 영역(153)으로서 나타내어져 있다. 발광 영역(153)은 제1 차광막(151) 및 제2 차광막(152)에 의해, 기판(101) 측으로부터 광이 누출되지 않도록 차폐되어 있다.
도 6에 도시된 표시장치에서, 모니터 소자에서 발생된 광은 기판(101)과 제1 전극(110) 사이에 형성된 제1 층간절연막을 투과하여, 제1 전극(110) 측으로부터 화살표 방향으로 사출되지만, 제1 차광막(151) 및 제2 차광막(152)에 의해 차광된다.
또한, 제2 전극(113)을 덮도록 패시베이션막을 제공하는 것은 유효하다. 패시베이션막으로서는, 질화규소, 산화규소, 산화질화규소, 질화산화규소, 질화알루미늄, 산소 함유량이 질소 함유량보다 많은 산화질화알루미늄(AlON), 질소 함유량이 산소 함유량보다 많은 질화산화알루미늄(AlNO), 산화알루미늄, 다이아몬드와 닮은 탄소(DLC: diamond-like carbon), 또는 질소 함유 탄소막(CN)을 함유하는 절연막으로 이루어지고, 이 절연막을 단층 또는 조합시킨 적층을 사용할 수 있다. 또한, 규소(Si)와 산소(O)와의 결합으로 골격 구조가 구성되고, 치환기에 적어도 수소를 포함하는 재료, 또는 치환기에 불소, 알킬기, 또는 방향족 탄화수소 중 적어도 1종을 가지는 재료를 사용하여도 좋다.
이때, 커버리지가 좋은 막을 패시베이션막으로서 사용하는 것이 바람직하고, 탄소막, 특히 DLC막을 사용하는 것은 바람직하다. DLC막은 실온 내지 100℃ 이하의 온도 범위에서 성막 가능하기 때문에, 내열성이 낮은 전계 발광층(112) 상방에도 용이하게 성막될 수 있다. 또한, DLC막은 산소에 대한 블로킹 효과가 높고, 전 계 발광층(112)의 산화를 억제할 수 있다. 따라서, 이 후에 행해지는 봉지(封止) 공정을 행하는 동안에 전계 발광층(112)이 산화되는 것과 같은 문제를 방지할 수 있다.
이어서, 발광 소자 및 모니터 소자가 형성된 기판(101)과, 봉지 기판을 밀봉재에 의해 고착하여, 발광 소자와 모니터 소자를 봉지한다. 끝면으로부터의 수분의 침입이 밀봉재에 의해 차단되므로, 발광 소자의 열화를 방지할 수 있고, 표시장치의 신뢰성이 향상된다. 또한, 밀봉재로 둘러싸인 영역에는 충전재를 충전하여도 좋고, 질소 분위기에서 봉지함으로써 질소 등을 봉입하여도 좋다. 또한, 충전재는 액체 상태로 적하하여 표시장치 내에 충전할 수도 있다. 본 실시형태의 발광 소자는 하면 출사형이기 때문에, 투광성을 가지는 충전재를 사용할 필요는 없지만, 충전재를 투과하여 광을 취출하는 구조의 경우에는 투광성을 가지는 재료를 사용하여 충전재를 형성할 필요가 있다. 충전재의 예로서는, 가시광 경화, 자외선 경화 또는 열 경화 에폭시 수지를 들 수 있다. 이상의 공정에 따라, 발광 소자를 가지는 표시장치가 완성된다.
또한, 밀봉재로서는, 자외선 경화 수지, 열 경화 수지, 실리콘 수지, 에폭시 수지, 아크릴 수지, 폴리이미드 수지, 페놀 수지, PVC(폴리비닐클로라이드), PVB(폴리비닐부티릴) 또는 EVA(에틸렌비닐아세테이트)가 사용될 수도 있다. 또한, 밀봉재에는 충전재(봉 형상 또는 섬유 형상의 스페이서)나 구형(球形) 스페이서를 첨가하여도 좋다.
또한, 수분에 의한 소자의 열화를 방지하기 위해, 표시 패널 내에 건조제를 제공하는 것이 바람직하다. 본 실시형태에서는, 화소 영역과 모니터 소자부를 둘러싸도록 봉지 기판에 형성된 오목부에 건조제를 설치하여, 표시장치의 박형화를 방해하지 않는 구성으로 한다. 또한, 게이트선 층에 대응하는 영역에도 건조제를 설치함으로써 흡습 면적을 넓게 할 수 있고, 이것은 흡습 효과가 높다. 또한, 직접 발광하지 않는 게이트선 층 위에 건조제를 형성하고 있으므로, 화소부의 광 취출 효율을 저하시키는 일도 없다.
또한, 본 실시형태에서는, 커버재로서 유리 기판을 사용하여 발광 소자를 봉지한 경우를 설명하지만, 봉지 처리는 발광 소자를 수분으로부터 보호하기 위한 처리이고, 커버재로 발광 소자를 기계적으로 봉입하는 방법, 열 경화성 수지 또는 자외광 경화성 수지로 발광 소자를 봉입하는 방법, 금속 산화물이나 질화물 등의 배리어 능력이 높은 박막에 의해 발광 소자를 봉지하는 방법 중 어느 하나를 사용한다. 커버재로서는, 유리, 세라믹, 플라스틱 또는 금속을 사용할 수 있지만, 커버재 측으로 광을 사출시키는 경우에는 커버재가 투광성을 가져야 한다. 또한, 커버재와 상기 발광 소자가 형성된 기판은 열 경화성 수지 또는 자외광 경화성 수지 등의 밀봉재를 사용하여 부착시키고, 열 처리 또는 자외광 조사 처리에 의해 수지를 경화시켜 밀폐 공간을 형성한다. 이 밀폐 공간 내에 산화바륨으로 대표되는 흡습재를 제공하는 것도 유효하다. 이 흡습재는 밀봉재에 접하여 그 밀봉재 위에 제공되어도 좋고, 발광 소자로부터의 광을 막지 않도록 격벽 위나 주변부에 제공되어도 좋다. 또한, 커버재와 발광 소자가 형성된 기판과 사이의 공간을 열 경화성 수지나 자외광 경화성 수지로 충전하는 것도 가능하다. 이 경우, 열 경화성 수지 또는 자외광 경화성 수지 중에 산화바륨으로 대표되는 흡습재를 첨가하여 두는 것은 유효하다.
또한, 커버재로서 유리 기판 또는 플라스틱 기판을 사용한다. 플라스틱 기판으로서는, 폴리이미드, 폴리아미드, 아크릴 수지, 에폭시 수지, PES(폴리에틸렌 술폰), PC(폴리카보네이트), PET(폴리에틸렌 테레프탈레이트) 또는 PEN(폴리에틸렌 나프탈레이트)를 판 형상 또는 필름 형상으로 하여 사용할 수 있다.
또한, 밀폐 공간에는 건조한 불활성 가스가 충전되어 있다. 밀봉재로 둘러싸인 내측의 밀폐 공간은 건조제에 의해 미량의 수분이 제거되어, 충분히 건조되어 있다. 또한, 건조제로서는, 산화칼슘이나 산화바륨으로 대표되는 알칼리토류 금속의 산화물과 같은 화학 흡착에 의해 수분을 흡수하는 물질을 사용할 수도 있다. 또한, 다른 건조제로서, 제올라이트나 실리카 겔 등의 물리 흡착에 의해 수분을 흡착하는 물질을 사용하여도 좋다.
또한, 필요하다면, 발광 소자로부터의 광의 출사면에, 편광판 또는 원형 편광판(타원형 편광판을 포함), 위상차판(1/4 파장판, 1/2 파장판), 컬러 필터 등의 광학 필름을 적절히 제공하여도 좋다. 또한, 편광판 또는 원형 편광판에 반사방지 필름을 제공하여도 좋다. 예를 들어, 표면의 요철에 의해 반사광을 확산하고, 번쩍임(glare)을 저감할 수 있는 안티글래어(anti-glare) 처리를 할 수 있다. 또는, 편광판 또는 원형 편광판에 가열 처리를 하는 반사방지 처리를 하는 것도 좋다. 그 후, 외부 충격으로부터 보호하기 위해 하드 코트(hard coat) 처리를 하는 것이 바람직하다.
[실시형태 4]
본 실시형태에서는, 화소부에 제공된 발광 소자와, 모니터 소자부에 제공된 모니터 소자를 가지는 표시장치의 구성에 대하여 도 9를 사용하여 설명한다. 본 실시형태에서의 표시장치는 게이트 드라이버(2107), 소스 드라이버(2108), 화소부(2109)를 가진다. 또한, 화소부(2109)의 옆에 근접하여 제공된 모니터 소자부(2110)도 가진다. 모니터 소자부(2110)에는, RGB의 각 색에 대응하여 3열의 모니터 소자가 제공되어 있다. 또한, RGB의 각 색에 대응하는 모니터 소자의 각 열에서, 모니터 소자와 이 모니터 소자를 구동하는 TFT가 번갈아 배열되어 있다. 즉, RGB의 각 색에 대응하는 모니터 소자와 이 모니터 소자를 구동하는 TFT는 서로 겹치지 않도록 제공되어 있고, 매트릭스 형상으로 제공된 화소부의 발광 소자의 1 열분의 반 정도에 상당하는 개수가 각각 제공되어 있다. 또한, 모니터 소자를 구동하는 TFT에는 n채널형 TFT와 p채널형 TFT의 어느 쪽을 사용하여도 좋지만, 본 실시형태에서는 p채널형 TFT를 사용한다.
본 실시형태의 표시장치에서는, 모니터 소자부(2110)에 제공된 모니터 소자와 화소부에 제공된 발광 소자가 동일 기판 위에 제공되어 있고, 동일한 제작 조건과 동일한 공정으로 제조되므로, 주위 온도의 변화와 경시 변화에 대하여 대략 같은 특성을 가질 수 있다. 또한, 발광 소자와 모니터 소자부의 개구율을 같은 정도로 하고 있기 때문에, 같은 열화 특성을 가진다.
정전류원(2201a)은 모니터 소자(2202a)의 한쪽 전극(양극)과 전압 폴로어(voltage follower) 회로(2203a)의 비반전 입력 단자에 접속되어 있다. 또한, 모니터 소자(2202a)의 다른 쪽 전극(음극)은 접지 전위(2111)에 접속되어 있다. 또한, 전압 폴로어 회로(2203a)의 출력 단자는 화소부(2109)의 화소(2106)에 제공된 발광 소자를 구동하는 TFT를 통하여 발광 소자의 한쪽 전극에 접속되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 증폭 회로로서 전압 폴로어 회로를 사용하고 있지만, 본 발명이 이 구성에 한정되는 것은 아니다. 또한, 입력된 전위에 대응하여 일정한 전위를 출력하는 전압 폴로어 회로(2203a)의 출력 단자와, 화소부(2109)에 제공된 발광 소자를 구동하는 TFT와의 사이에 가산(adder) 회로를 제공하는 구성으로 하여도 좋다. 즉, 전압 폴로어 회로(2203a)의 출력 단자에 가산 회로의 입력(단자)이 접속되고, 가산 회로의 출력이 발광 소자를 구동하는 TFT의 소스 전극과 드레인 전극 중의 한쪽에 접속되는 구성으로 하여도 좋다.
신호선(S1)에 접속되어 있는 화소가 R의 발광을 하는 화소, 신호선(S2)에 접속되어 있는 화소가 G의 발광을 하는 화소, 신호선(S3)에 접속되어 있는 화소가 B의 발광을 하는 화소로 한다. 정전류원(2201a)은 모니터 소자(2202a)에 전류를 공급하고, 전압 폴로어 회로(2203a)가 모니터 소자(2202a)의 양극의 전위를 검출하고, 이 전위를 전원선(V1)에 설정한다. 정전류원(2201b)은 모니터 소자(2202b)에 전류를 공급하고, 전압 폴로어 회로(2203b)가 모니터 소자(2202b)의 양극의 전위를 검출하고, 이 전위를 전원선(V2)에 설정한다. 정전류원(2201c)은 모니터 소자(2202a)에 전류를 공급하고, 전압 폴로어 회로(2203c)가 모니터 소자(2202c)의 양극의 전위를 검출하고, 이 전위를 전원선(V3)에 설정한다. 이와 같은 구성을 가짐으로써, RGB 각 색마다 전위를 따로따로 설정할 수 있다. 따라서, RGB마다 EL 재료의 온도 특성이나 열화의 정도가 다를 때에도, 각 색마다 발광 소자에 각각 소망의 전위를 따로따로 설정할 수 있고, RGB마다 전원 전위를 보정할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는 정전류원에 접속되어 있는 모니터 소자의 한쪽 전극을 양극으로서 설명하였지만, 음극이어도 좋다. 또한, 본 실시형태에서는 모니터 소자의 다른 쪽 전극인 음극의 전압을 접지 전위로 하고 있지만, 이 구성에 한정되는 것은 아니다.
[실시형태 5]
본 실시형태에서는, 발광 표시 패널의 일 예에 대하여 도 10(A) 및 도 10(B)을 참조하여 설명한다. 도 10(A)는 제1 기판과 제2 기판 사이 공간을 제1 밀봉재(1205) 및 제2 밀봉재(1206)에 의해 봉지하여 얻어진 패널의 상면도이고, 도 10(B)은 도 10(A)의 점선 C-C' 및 D-D'을 따라 취한 단면도이다.
도 10(A)에서, 점선으로 나타낸 부호 1202는 화소부를 나타내고, 부호 1230은 모니터 소자부를 나타내고, 부호 1203은 주사선(게이트선) 구동회로를 나타낸다. 본 실시형태에서, 화소부(1202), 주사선 구동회로(1203), 및 접속 영역(1210)은 제1 밀봉재 및 제2 밀봉재로 봉지되어 있는 영역 내에 있다. 또한, 부호 1201은 신호선(소스선) 구동회로이고, 이 신호선 구동회로는 칩 형상이고, 제1 기판(1200) 위에 제공되어 있다. 제1 밀봉재로서는, 충전재를 포함하고 점성이 높은 에폭시계 수지를 사용하는 것이 바람직하다. 한편, 제2 밀봉재는 점성이 낮은 에폭시계 수지인 것이 바람직하다. 또한, 제1 밀봉재(1205) 및 제2 밀봉재(1206)는 가능한 한 수분이나 산소를 투과하지 않는 재료인 것이 바람직하다.
또한, 화소부(1202)와 제1 밀봉재(1205)와의 사이에 건조제를 제공하여도 좋다. 또한, 화소부(1202)에서, 주사선 또는 신호선 위에 건조제를 제공하여도 좋다. 건조제로서는, 산화칼슘(CaO)이나 산화바륨(BaO)과 같은 알칼리토류 금속의 산화물과 같은 화학 흡착에 의해 물(H2O)을 흡착하는 물질을 사용하는 것이 바람직하다. 그러나, 본 발명이 이것에 한정되지 않고, 제올라이트나 실리카 겔 등의 물리 흡착에 의해 물을 흡착하는 물질을 사용하여도 상관없다.
또한, 투습성이 높은 수지에 입상(粒狀) 건조제를 포함시킨 것을 제2 기판(1204)에 고정시킬 수도 있다. 또한, 투습성이 높은 수지 대신에, 실록산 폴리머, 폴리이미드, 포스포실리케이트 유리(PSG), 보로포스포실리케이트 유리(BPSG) 등의 무기물을 사용하여도 상관없다.
상기한 건조제를 제공함으로써, 발광 소자에의 수분의 침입 및 그것에 기인하는 열화를 개구율을 저하시키지 않고 억제할 수 있다. 따라서, 화소부(1202)의 주변부와 중앙부에서의 발광 소자의 열화의 편차를 억제할 수 있다.
또한, 도 10(A)에서, 부호 1210은 신호선 구동회로(1201) 및 주사선 구동회로(1203)에 입력되는 신호를 전송하기 위한 접속 배선 영역이고, 이 접속 배선 영역은 외부 입력 단자로서 작용하는 가요성 인쇄 배선(1209)(FPC)으로부터 접속 배선(1208)을 통하여 비디오 신호나 클록 신호를 받는다.
다음에, 단면 구조에 대하여 도 10(B)를 참조하여 설명한다. 제1 기판(1200) 위에는, 구동회로 및 화소부가 형성되어 있고, 이들은 TFT로 대표되는 반도체 소자를 복수 가지고 있다. 도 10(B)는 구동회로로서 신호선 구동회로(1201)와 화소부(1202)를 나타낸다. 신호선 구동회로(1201)는 n채널형 TFT(1221)와 p채널형 TFT(1222)를 조합시킨 CMOS 회로를 가진다.
본 실시형태에서는, 주사선 구동회로, 및 화소부의 TFT가 동일 기판 위에 형성되어 있기 때문에, 발광 표시장치의 용적을 축소할 수 있다.
또한, 화소부(1202)는 스위칭용 TFT(1211)와 복수의 화소를 포함하고, 각각의 화소는 구동용 TFT(1212)와, 그 구동용 TFT(1212)의 드레인 전극 또는 소스 전극에 전기적으로 접속된 투광성 도전막으로 형성된 제1 화소 전극(양극)(1213)을 가지고 있다.
또한, 제1 화소 전극(양극)(1213)의 양 끝 상에는 절연층(1214)(뱅크, 격벽, 장벽, 제방 등이라고 불림)이 형성되어 있다. 절연층(1214) 위에 형성되는 막의 피복성(커버리지)을 향상시키기 위해, 절연층(1214)은 상단부 또는 하단부에 곡률을 가지는 곡면이 되도록 형성된다. 또한, 절연층(1214)의 표면을 질화알루미늄막, 질화산화알루미늄막, 탄소를 주성분으로 하는 박막, 또는 질화규소막으로 된 보호막으로 덮어도 좋다. 또한, 절연층(1214)으로서, 검은색 안료, 색소 등의 가시광을 흡수하는 재료를 용해 또는 분산시킨 유기 재료를 사용하면, 후에 형성되는 발광 소자로부터의 미광(迷光)을 흡수할 수 있다. 따라서, 각 화소의 콘트라스트가 향상된다.
또한, 제1 화소 전극(양극)(1213) 위에는 유기 화합물 재료를 증착하여 전계 발광층(1215)을 선택적으로 형성한다. 또한, 전계 발광층(1215) 위에 제2 화소 전 극(음극)(1216)을 형성한다.
이렇게 하여, 제1 화소 전극(양극)(1213), 전계 발광층(1215) 및 제2 화소 전극(음극)(1216)을 포함하는 발광 소자(1217)가 형성된다. 발광 소자(1217)는 제1 기판(1200) 측으로 발광한다.
또한, 발광 소자(1217)를 봉지하기 위해 보호막(1218)을 형성한다. 보호막은, 예를 들어, 제1 무기 절연막과, 응력 완화막과, 제2 무기 절연막과의 적층으로 이루어진다. 그 다음, 보호막(1218)과 제2 기판(1204)을 제1 밀봉재(1205) 및 제2 밀봉재(1206)로 접착한다. 제2 밀봉재는 밀봉재를 적하하는 장치를 사용하여 적하되는 것이 바람직하다. 밀봉재를 디스펜서로부터 적하 또는 토출시켜 밀봉재를 액티브 매트릭스 기판에 도포한 후, 진공 중에서 제2 기판과 액티브 매트릭스 기판을 부착시키고, 자외선 경화를 행하여 봉지를 행한다.
또한, 제2 기판(1204)의 표면에는, 외광이 기판 표면에서 반사하는 것을 방지하기 위한 반사방지막(1226)을 제공한다. 또한, 제2 기판과 반사방지막과의 사이에, 편광판 및 위상차판 중의 어느 한쪽 또는 양쪽을 제공하여도 좋다. 위상차판 또는 편광판을 제공함으로써, 외광이 제1 화소 전극(1213)에서 반사하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제1 화소 전극(1213) 및 제2 화소 전극(1216)을 투광성의 도전막 또는 반투광성(조사된 광의 반 정도가 투과되는 특성)의 도전막으로 형성하고, 절연층(1214)을 가시광을 흡수하는 재료, 또는 가시광을 흡수하는 재료를 용해 또는 분산시킨 유기 재료를 사용하여 형성하면, 각 화소 전극에서 외광이 반사하지 않으므로, 위상차판 및 편광판을 사용하지 않아도 된다.
접속 배선(1208)과 가요성 인쇄 배선(1209)은 이방 도전성 수지 또는 이방 도전성 필름(1227)을 통해 서로 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 각 배선층과 접속 단자와의 접속부를 봉지 수지로 봉지하는 것이 바람직하다. 그러한 구조에 의해, 단면부로부터 수분이 발광 소자에 침입하여, 열화하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 제2 기판(1204)과 보호막(1218)과의 사이 공간에는, 제2 밀봉재(1206) 대신에, 불활성 가스, 예를 들어, 질소가스를 충전하여도 좋다. 이것에 의해, 수분이나 산소의 침입을 효과적으로 방지할 수 있다.
또한, 제2 기판과 편광판의 사이에 착색층을 제공할 수도 있다. 이 경우, 화소부에서 백색 발광이 가능한 발광 소자를 제공하고, RGB의 착색층을 추가로 제공함으로써, 풀 컬러 표시를 행할 수 있다. 또는, 화소부에 청색 발광이 가능한 발광 소자를 제공하고, 색 변환층 등을 추가로 제공함으로써, 풀 컬러 표시를 행할 수 있다. 또는, 각 화소부에, 적색, 녹색, 청색의 발광을 나타낸 발광 소자를 형성하고, 착색층을 사용할 수도 있다. 이와 같은 표시 모듈은 각 RGB의 색순도가 높고, 고정세한 표시를 가능하게 한다.
또한, 제1 기판(1200)과 제2 기판(1204) 중의 어느 한쪽 또는 모두로서 필름 또는 수지 등의 기판을 사용하여 발광 표시 모듈을 형성하여도 좋다. 이와 같이 대향 기판을 사용하지 않고 봉지하면, 표시장치의 경량화, 소형화, 박형화를 달성할 수 있다.
또한, 외부 입력 단자로서 작용하는 가요성 인쇄 배선(1209)의 표면 또는 엣지에 콘트롤러, 메모리, 화소 구동회로와 같은 IC 칩을 제공하여 발광 표시 모듈을 형성하여도 좋다.
본 실시형태는 실시형태 1 내지 실시형태 4 중 어느 것과도 적절히 조합될 수 있다.
[실시형태 6]
본 발명의 표시장치는 다양한 전자 기기의 표시부에 사용될 수 있다. 특히, 본 발명의 표시장치는 박형, 경량이 요구되는 모바일 기기에 사용되는 것이 바람직하다.
상기한 실시형태들에서 설명한 표시장치를 케이스에 조립한 전자 기기의 예로서, 텔레비전 장치(단순히 TV, 텔레비전, 또는 텔레비전 수상기라고도 부름), 카메라(비디오 카메라, 디지털 카메라 등), 고글형 디스플레이, 내비게이션 시스템, 음향 재생 장치(카 오디오, 오디오 컴포넌트 등), 컴퓨터, 게임 기기, 휴대형 정보 단말기(모바일 컴퓨터, 휴대 전화기, 휴대형 게임기, 전자 서적 등), 기록 매체를 구비한 화상 재생 장치(구체적으로는, DVD(Digital Versatile Disc)나 HD DVD(High Definition DVD), 블루레이 디스크(Blu-ray Disk) 등의 기록 매체를 재생하고, 그의 화상을 표시할 수 있는 디스플레이를 구비한 장치), 그 외에, 표시부를 가지는 전자 제품(예를 들어, 프론트형 프로젝터 또는 리어형 프로젝터) 등이 있다. 이들 전자 기기의 구체예를 도 11(A)∼도 11(E)에 나타낸다.
도 11(A)에 도시된 휴대형 정보 단말기는 본체(9201), 표시부(9202) 등을 포함하고 있다. 표시부(9202)에 실시형태 1∼실시형태 5에서 나타낸 표시장치를 적용할 수 있다. 본 발명의 일 양태에 따른 표시장치를 사용함으로써, 고신뢰성을 가지는 휴대형 정보 단말기를 저렴하게 제공할 수 있다.
도 11(B)에 도시된 디지털 비디오 카메라는 표시부(9701), 표시부(9702) 등을 포함하고 있다. 표시부(9701)에 실시형태 1∼실시형태 5에서 나타낸 표시장치를 적용할 수 있다. 본 발명의 일 양태에 따른 표시장치를 사용함으로써, 고신뢰성을 가지는 디지털 비디오 카메라를 저렴하게 제공할 수 있다.
도 11(C)에 도시된 휴대 전화기는 본체(9101), 표시부(9102) 등을 포함하고 있다. 표시부(9102)에 실시형태 1∼실시형태 5에서 나타낸 표시장치를 적용할 수 있다. 본 발명의 일 양태에 따른 표시장치를 사용함으로써, 고신뢰성을 가지는 휴대 전화기를 저렴하게 제공할 수 있다.
도 11(D)에 도시된 휴대형 텔레비전 장치는 본체(9301), 표시부(9302) 등을 포함하고 있다. 표시부(9302)에 실시형태 1∼실시형태 5에서 나타낸 표시장치를 적용할 수 있다. 본 발명의 일 양태에 따른 표시장치를 사용함으로써, 고신뢰성을 가지는 휴대형 텔레비전 장치를 저렴하게 제공할 수 있다. 이와 같은 텔레비전 장치는 휴대 전화기 등의 휴대형 단말기에 탑재되는 소형 텔레비전 장치부터, 가지고 다닐 수 있는 중형의 것, 또는 대형의 것(예를 들어, 40 인치 이상)까지 폭넓게 적용될 수 있다.
도 11(E)에 도시된 휴대형 컴퓨터는 본체(9401), 표시부(9402) 등을 포함하고 있다. 표시부(9402)에 실시형태 1∼실시형태 5에서 나타낸 표시장치를 적용할 수 있다. 본 발명의 일 양태에 따른 표시장치를 사용함으로써, 고신뢰성을 가지는 휴대형 컴퓨터를 저렴하게 제공할 수 있다.
도 11(F)에 도시된 텔레비전 장치는 본체(9501), 표시부(9502) 등을 포함하고 있다. 표시부(9502)에 실시형태 1∼실시형태 5에서 나타낸 표시장치를 적용할 수 있다. 본 발명의 일 양태에 따른 표시장치를 사용함으로써, 고신뢰성을 가지는 텔레비전 장치를 저렴하게 제공할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명은 광범위하게 적용될 수 있고, 모든 분야의 전자 기기에 사용될 수 있다.
본 발명에서는, 제1 차광막이 모니터 소자의 제1 전극과 겹치도록 제공되어 있고, 제2 차광막이 층간절연막에 형성된 콘택트 홀을 통하여 제1 차광막에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 콘택트 홀은 모니터 소자의 제1 전극의 외측 엣지를 둘러싸도록 형성되어 있다. 따라서, 제1 차광막 및 제2 차광막에 의해 광 누출을 방지함과 동시에, 제1 차광막과 제2 차광막 사이의 간극으로부터 광 누출이 발생하는 것도 방지할 수 있다.
또한, 제1 차광막은 모니터 소자를 구동하는 TFT의 게이트선을 형성하기 위해 사용되는 도전막을 사용하여 형성된다. 또한, 제1 차광막에 전기적으로 접속되는 제2 차광막은 소스 전극 또는 드레인 전극을 형성하기 위해 사용되는 도전막을 사용하여 형성된다. 이와 같이 다른 배선과 동시에 차광막을 형성하기 때문에, 공정 수를 증가시키지 않고 차광막을 형성할 수 있다. 또한, 수율 및 신뢰성의 높은 표시장치를 저렴하게 제공할 수 있다.

Claims (42)

  1. 복수의 화소를 포함하는 화소부;
    기판 위의 제1 차광막;
    상기 제1 차광막 위의 절연막;
    상기 절연막을 사이에 두고 상기 제1 차광막과 적어도 부분적으로 겹쳐 있는 제2 차광막;
    상기 절연막 위의 제1 전극;
    상기 제1 전극 위의 전계 발광층; 및
    상기 전계 발광층 위의 제2 전극을 포함하고;
    상기 제1 전극이 상기 제1 차광막과 겹쳐 있고,
    상기 제2 차광막이 상기 제1 전극을 둘러싸고 있고,
    상기 제2 차광막이 상기 절연막에 형성된 콘택트 홀을 통해 상기 제1 차광막에 접속되어 있는, 표시장치.
  2. 복수의 화소를 포함하는 화소부;
    기판 위의 제1 도전막;
    상기 제1 도전막 위의 절연막;
    상기 절연막을 사이에 두고 상기 제1 도전막과 적어도 부분적으로 겹쳐 있는 제2 도전막;
    상기 절연막 위의 제1 전극;
    상기 제1 전극 위의 전계 발광층; 및
    상기 전계 발광층 위의 제2 전극을 포함하고;
    상기 제1 전극이 상기 제1 도전막과 겹쳐 있고,
    상기 제2 도전막이 상기 제1 전극을 둘러싸고 있고,
    상기 제2 도전막이 상기 절연막에 형성된 콘택트 홀을 통해 상기 제1 도전막에 접속되어 있는, 표시장치.
  3. 복수의 화소를 포함하는 화소부;
    기판 위의 제1 차광막;
    상기 제1 차광막 위의 제1 절연막;
    상기 제1 절연막을 사이에 두고 상기 제1 차광막과 적어도 부분적으로 겹쳐 있는 제2 차광막;
    상기 제2 차광막 위의 제2 절연막;
    상기 제2 절연막 위의 제1 전극;
    상기 제1 전극 위의 전계 발광층; 및
    상기 전계 발광층 위의 제2 전극을 포함하고;
    상기 제1 전극이 상기 제1 차광막과 겹쳐 있고,
    상기 제2 차광막이 상기 제1 절연막에 형성된 제1 콘택트 홀을 통해 상기 제1 차광막에 접속되어 있고,
    상기 제1 전극이 상기 제1 절연막 및 상기 제2 절연막에 형성된 제2 콘택트 홀을 통해 상기 제1 차광막에 접속되어 있고,
    상기 제2 차광막이 상기 제2 콘택트 홀을 둘러싸고 있는, 표시장치.
  4. 복수의 화소를 포함하는 화소부;
    기판 위의 제1 도전막;
    상기 제1 도전막 위의 제1 절연막;
    상기 제1 절연막을 사이에 두고 상기 제1 도전막과 적어도 부분적으로 겹쳐 있는 제2 도전막;
    상기 제2 도전막 위의 제2 절연막;
    상기 제2 절연막 위의 제1 전극;
    상기 제1 전극 위의 전계 발광층; 및
    상기 전계 발광층 위의 제2 전극을 포함하고;
    상기 제1 전극이 상기 제1 도전막과 겹쳐 있고,
    상기 제2 도전막이 상기 제1 절연막에 형성된 제1 콘택트 홀을 통해 상기 제1 도전막에 접속되어 있고,
    상기 제1 전극이 상기 제1 절연막 및 상기 제2 절연막에 형성된 제2 콘택트 홀을 통해 상기 제1 도전막에 접속되어 있고,
    상기 제2 도전막이 상기 제2 콘택트 홀을 둘러싸고 있는, 표시장치.
  5. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 복수의 화소가 매트릭스 형태로 배열되어 있고,
    상기 복수의 화소들 각각이 발광 소자와, 상기 발광 소자를 구동하는 제1 박막트랜지스터를 포함하고,
    상기 제1 전극, 상기 전계 발광층, 및 상기 제2 전극이 모니터 소자를 형성하고,
    상기 표시장치가, 상기 모니터 소자를 구동하는 제2 박막트랜지스터와, 상기 모니터 소자로 일정 전류를 흐르게 하는 정전류원, 및 증폭 회로를 더 포함하고,
    상기 정전류원은 상기 제2 박막트랜지스터에 접속된 소스 전극과 드레인 전극 중 하나와 상기 증폭 회로의 입력 단자에 전기적으로 접속되어 있고,
    상기 제2 박막트랜지스터에 접속된 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 중 다른 하나는 상기 제1 전극에 전기적으로 접속되어 있고,
    상기 발광 소자의 전극들 중 하나는 상기 제1 박막트랜지스터를 통해 상기 증폭 회로의 출력 단자에 전기적으로 접속되어 있고,
    상기 모니터 소자와 상기 제2 박막트랜지스터는 서로 겹치지 않도록 제공되어 있는, 표시장치.
  6. 제 2 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 복수의 화소가 매트릭스 형태로 배열되어 있고,
    상기 복수의 화소들 각각이 발광 소자와, 상기 발광 소자를 구동하는 제1 박막트랜지스터를 포함하고,
    상기 제1 전극, 상기 전계 발광층, 및 상기 제2 전극이 모니터 소자를 형성하고,
    상기 표시장치가, 상기 모니터 소자를 구동하는 제2 박막트랜지스터와, 상기 모니터 소자로 일정 전류를 흐르게 하는 정전류원, 및 증폭 회로를 더 포함하고,
    상기 정전류원은 상기 제2 박막트랜지스터에 접속된 소스 전극과 드레인 전극 중 하나와 상기 증폭 회로의 입력 단자에 전기적으로 접속되어 있고,
    상기 제2 박막트랜지스터에 접속된 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 중 다른 하나는 상기 제1 전극에 전기적으로 접속되어 있고,
    상기 발광 소자의 전극들 중 하나는 상기 제1 박막트랜지스터를 통해 상기 증폭 회로의 출력 단자에 전기적으로 접속되어 있고,
    상기 모니터 소자와 상기 제2 박막트랜지스터는 서로 겹치지 않도록 제공되어 있는, 표시장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1 차광막이 상기 제2 박막트랜지스터의 게이트선과 동일 재료로 형성되어 있고,
    상기 제2 차광막이 상기 제2 박막트랜지스터의 상기 소스 전극 또는 상기 드레인 전극과 동일 재료로 형성되어 있는, 표시장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1 도전막이 상기 제2 박막트랜지스터의 게이트선과 동일 재료로 형성되어 있고,
    상기 제2 도전막이 상기 제2 박막트랜지스터의 상기 소스 전극 또는 상기 드레인 전극과 동일 재료로 형성되어 있는, 표시장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 모니터 소자와 상기 제2 박막트랜지스터가 상기 게이트선을 사이에 두고 상이한 영역들에 제공되어 있는, 표시장치.
  10. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 제2 차광막이 환형(環形) 형상을 가지는, 표시장치.
  11. 제 2 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 제2 도전막이 환형(環形) 형상을 가지는, 표시장치.
  12. 제 5 항에 있어서,
    상기 화소부는 적색을 발광하는 복수의 화소, 녹색을 발광하는 복수의 화소, 및 청색을 발광하는 복수의 화소를 가지고,
    상기 모니터 소자 및 상기 모니터 소자를 구동하는 상기 제2 박막트랜지스터가 각 색마다 제공되어 있는, 표시장치.
  13. 제 5 항에 있어서,
    상기 모니터 소자와 상기 발광 소자가 동일 재료를 사용하여 동일 공정에서 형성되는, 표시장치.
  14. 제 5 항에 있어서,
    상기 증폭 회로가 전압 폴로어(follower) 회로인, 표시장치.
  15. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 표시장치가 하면 출사형 또는 양면 출사형인, 표시장치.
  16. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 표시장치를 포함하는 EL 텔레비전.
  17. 화상을 표시하는 화소부와;
    구동회로와;
    상기 화소부와 상기 구동회로 사이의 반도체층과;
    상기 구동회로에 전기적으로 접속된 게이트선과;
    상기 화소부와 상기 구동회로 사이의 제1 도전막으로서, 상기 제1 도전막은 상기 게이트선과 동일 재료를 포함하는 제1 도전막과;
    상기 제1 도전막 위의 제2 도전막으로서, 상기 제2 도전막은 상기 반도체층과 상기 제1 도전막에 전기적으로 접속되어 있는 제2 도전막과;
    상기 제1 도전막 위의 제3 도전막과;
    상기 제3 도전막 위의 전계 발광층; 및
    상기 전계 발광층 위의 제4 도전막을 포함하는, 표시장치.
  18. 화상을 표시하는 화소부와;
    구동회로와;
    상기 화소부와 상기 구동회로 사이의 반도체층과;
    상기 구동회로에 전기적으로 접속된 제1 게이트선과;
    상기 구동회로에 전기적으로 접속된 제2 게이트선과;
    상기 화소부와, 상기 구동회로와, 상기 제1 게이트선과, 상기 제2 게이트선에 둘러싸인 제1 도전막으로서, 상기 제1 도전막은 상기 제1 게이트선과 동일 재료를 포함하는 제1 도전막과;
    상기 제1 도전막 위의 제2 도전막으로서, 상기 제2 도전막은 상기 반도체층과 상기 제1 도전막에 전기적으로 접속되어 있는 제2 도전막과;
    상기 제1 도전막 위의 제3 도전막과;
    상기 제3 도전막 위의 전계 발광층; 및
    상기 전계 발광층 위의 제4 도전막을 포함하는, 표시장치.
  19. 기판 위의 반도체층으로서, 상기 반도체층은 화상을 표시하기 위한 화소부의 외측에 구비되어 있는 반도체층과;
    상기 반도체층 위의 게이트 절연막과;
    상기 게이트 절연막과 접하여 그 위에 있는 게이트선과;
    상기 게이트 절연막과 접하여 그 위에 있는 제1 도전막으로서, 상기 제1 도전막은 상기 화소부의 외측에 구비되어 있는 제1 도전막과;
    상기 게이트선과 상기 제1 도전막 위의 제1 층간절연막과;
    상기 제1 층간절연막 위의 제2 도전막으로서, 상기 제2 도전막은 상기 화소부의 외측에 구비되어 있는 제2 도전막과;
    상기 제2 도전막 위의 제2 층간절연막과;
    상기 제2 층간절연막 위의 제3 도전막으로서, 상기 제3 도전막은 상기 화소부의 외측에 구비되어 있는 제3 도전막과;
    상기 제2 층간절연막 위의 전계 발광층; 및
    상기 전계 발광층 위의 제4 도전막을 가지고,
    상기 제2 도전막은 상기 제1 도전막과 상기 반도체층에 전기적으로 접속되어 있고,
    상기 제3 도전막은 상기 제1 도전막과 겹쳐 있는, 표시장치.
  20. 기판 위의 반도체층으로서, 상기 반도체층은 화상을 표시하기 위한 화소부의 외측에 구비되어 있는 반도체층과;
    상기 반도체층 위의 게이트 절연막과;
    상기 게이트 절연막과 접하여 그 위에 있는 게이트선과;
    상기 게이트 절연막과 접하여 그 위에 있는 제1 도전막으로서, 상기 제1 도전막은 상기 화소부의 외측에 구비되어 있는 제1 도전막과;
    상기 게이트선과 상기 제1 도전막 위의 제1 층간절연막과;
    상기 제1 층간절연막 위의 제2 도전막으로서, 상기 제2 도전막은 상기 화소부의 외측에 구비되어 있는 제2 도전막과;
    상기 제2 도전막 위의 제2 층간절연막과;
    상기 제2 층간절연막 위의 제3 도전막으로서, 상기 제3 도전막은 상기 화소부의 외측에 구비되어 있는 제3 도전막과;
    상기 제2 층간절연막 위의 전계 발광층으로서, 상기 전계 발광층의 일부는 상기 제3 도전막과 접하여 있는 전계 발광층; 및
    상기 전계 발광층 위의 제4 도전막을 가지고,
    상기 제2 도전막은 상기 제1 층간절연막 내의 제1 콘택트 홀을 통하여 상기 제1 도전막과 접하고,
    상기 제2 도전막은 상기 제1 층간절연막과 상기 게이트 절연막 내의 제2 콘택트 홀을 통하여 상기 반도체층과 접하고,
    상기 제3 도전막은 상기 제1 도전막과 겹치는, 표시장치.
  21. 화상을 표시하는 회소부와;
    구동회로와;
    상기 화소부와 상기 구동회로 사이의 반도체층과;
    상기 구동회로에 전기적으로 접속된 게이트선과;
    상기 화소부와 상기 구동회로 사이의 제1 도전막으로서, 상기 제1 도전막은 상기 게이트선과 동일 재료를 포함하는 제1 도전막과;
    상기 제1 도전막 위의 제2 도전막으로서, 상기 제2 도전막은 상기 반도체층과 상기 제1 도전막에 전기적으로 접속되어 있는 제2 도전막과;
    상기 제2 도전막에 전기적으로 접속된 제3 도전막으로서, 상기 제3 도전막은 상기 제1 도전막과 겹쳐져 있는 제3 도전막과;
    상기 제3 도전막 위의 전계 발광층; 및
    상기 전계 발광층 위의 제4 도전막을 포함하는, 표시장치.
  22. 기판의 제1 영역 위의, 화상을 표시하는 화소부와;
    상기 기판의 제2 영역 위의 구동회로와;
    상기 기판의 제3 영역 위의 반도체층으로서, 상기 제3 영역은 상기 제1 영역과 상기 제2 영역 사이에 개재하는 반도체층과;
    상기 반도체층 위의 제1 도전막과;
    상기 제1 도전막 위의 제2 도전막으로서, 상기 제2 도전막은 상기 반도체층과 상기 제1 도전막에 전기적으로 접속되어 있는 제2 도전막과;
    상기 제1 도전막 위의 제3 도전막과;
    상기 제3 도전막 위의 전계 발광층과;
    상기 전계 발광층 위의 제4 도전막을 가지는, 표시장치.
  23. 기판의 제1 영역 위의, 화상을 표시하는 화소부와;
    상기 기판의 제2 영역 위의 구동회로와;
    상기 기판의 제3 영역 위의 반도체층으로서, 상기 제3 영역은 상기 제1 영역과 상기 제2 영역 사이에 개재하는 반도체층과;
    상기 반도체층 위의 제1 도전막과;
    상기 제1 도전막 위의 제2 도전막으로서, 상기 제2 도전막은 상기 반도체층과 상기 제1 도전막에 전기적으로 접속되어 있는 제2 도전막과;
    상기 제2 도전막에 전기적으로 접속된 제3 도전막으로서, 상기 제3 도전막은 상기 제1 도전막과 겹쳐져 있는 제3 도전막과;
    상기 제3 도전막 위의 전계 발광층과;
    상기 전계 발광층 위의 제4 도전막을 가지는, 표시장치.
  24. 제 17 항 내지 제 23 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 도전막은 몰리브덴을 함유하는, 표시장치.
  25. 제 17 항 내지 제 23 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 도전막은 티타늄을 함유하는 제1 막과, 상기 제1 막 위의, 알루미늄을 함유하는 제2 막과, 상기 제2 막 위의, 티타늄을 함유하는 제3 막을 포함하는, 표시장치.
  26. 제 17 항 내지 제 23 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제3 도전막은 투명 도전막을 포함하는, 표시장치.
  27. 제 17 항 내지 제 23 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제4 도전막은 Ag를 함유하는, 표시장치.
  28. 제 19 항 또는 제 20 항에 있어서,
    상기 기판과 접하여 그 위에 있는 하지막을 더 구비하고, 상기 하지막은 질화규소막과 산화규소막을 가지는, 표시장치.
  29. 제 8 항에 있어서,
    상기 모니터 소자와 상기 제2 박막트랜지스터가 상기 게이트선을 사이에 두고 상이한 영역들에 제공되어 있는, 표시장치.
  30. 제 6 항에 있어서,
    상기 화소부는 적색을 발광하는 복수의 화소, 녹색을 발광하는 복수의 화소, 및 청색을 발광하는 복수의 화소를 가지고,
    상기 모니터 소자 및 상기 모니터 소자를 구동하는 상기 제2 박막트랜지스터가 각 색마다 제공되어 있는, 표시장치.
  31. 제 6 항에 있어서,
    상기 모니터 소자와 상기 발광 소자가 동일 재료를 사용하여 동일 공정에서 형성되는, 표시장치.
  32. 제 6 항에 있어서,
    상기 증폭 회로가 전압 폴로어 회로인, 표시장치.
  33. 화소부와;
    게이트 드라이버; 및
    상기 화소부에 가깝고 상기 화소부와 상기 게이트 드라이버 사이에 있으며, 복수의 섬 형상 막들을 포함하는 영역을 포함하고,
    상기 게이트 드라이버에 제1 게이트선이 전기적으로 접속되고,
    상기 게이트 드라이버에 제2 게이트선이 전기적으로 접속되고,
    상기 복수의 섬 형상 막들은 상기 제1 게이트선과 상기 제2 게이트선 사이의 제1 막을 포함하고,
    전계 발광층이 상기 제1 막과 겹치고,
    상기 제1 막은 상기 제1 게이트선과 동일 재료를 포함하고,
    상기 영역에서 상기 제1 게이트선과 상기 제2 게이트선 위에서 배선이 연장하고,
    상기 배선은 상기 복수의 섬 형상 막들과 접촉하지 않는, 표시장치.
  34. 화소부와;
    게이트 드라이버; 및
    상기 화소부에 가깝고 상기 화소부와 상기 게이트 드라이버 사이에 있으며, 복수의 섬 형상 막들을 포함하는 영역을 포함하고,
    상기 게이트 드라이버에 제1 게이트선이 전기적으로 접속되고,
    상기 게이트 드라이버에 제2 게이트선이 전기적으로 접속되고,
    상기 복수의 섬 형상 막들은 상기 제1 게이트선과 상기 제2 게이트선 사이의 제1 막과, 상기 제1 막과 겹치는 제2 막을 포함하고,
    전계 발광층이 상기 제1 막과 겹치고,
    상기 제1 막은 상기 제1 게이트선과 동일 재료를 포함하고,
    상기 영역에서, 배선과 상기 제1 게이트선 사이 및 상기 배선과 상기 제2 게이트선 사이에 절연막을 두고, 상기 제1 게이트선과 상기 제2 게이트선 위에서 상기 배선이 연장하고,
    상기 제2 막은 상기 배선과 동일 재료를 포함하고,
    상기 배선은 상기 복수의 섬 형상 막들과 접촉하지 않는, 표시장치.
  35. 제 34 항에 있어서,
    상기 절연막은 상기 영역 내의 콘택트 홀을 포함하는, 표시장치.
  36. 제 35 항에 있어서,
    상기 제1 막은 상기 영역 내의 상기 콘택트 홀을 통해 상기 제2 막과 전기적으로 접속되는, 표시장치.
  37. 제 33 항 또는 제 34 항에 있어서,
    상기 영역은 전계 발광층을 포함하는 모니터 소자를 포함하는, 표시장치.
  38. 제 33 항 또는 제 34 항에 있어서,
    상기 제1 막은 차광막인, 표시장치.
  39. 제 34 항에 있어서,
    상기 제2 막은 차광막인, 표시장치.
  40. 제 33 항 또는 제 34 항에 있어서,
    상기 제1 막은 전계 발광층에 전기적으로 접속되는, 표시장치.
  41. 제 33 항 또는 제 34 항에 있어서,
    상기 영역은 박막 트랜지스터를 포함하는, 표시장치.
  42. 제 33 항 또는 제 34 항에 있어서,
    상기 영역은 발광 영역을 포함하는, 표시장치.
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