KR101418158B1 - 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템 및 그 방법 - Google Patents

반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템 및 그 방법 Download PDF

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Abstract

반도체 생산을 위한 부대 장비를 제어하는 시스템 및 방법에 관한 기술이 개시된다. 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템은, 메시지를 수신하고 수신한 메시지에 기반하여 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보를 포함하는 생산 장비 정보를 추출하는 메시지 관리부와, 수신한 메시지 및 생산 장비 정보에 기반하여 장비 제어 장치가 부대 장비를 제어하도록 하는 시스템 명령을 생성하는 시스템 명령 생성부와, 시스템 명령을 장비 제어 장치로 전송하는 장치 연결부를 포함한다. 따라서, 반도체를 생산하는 장비를 운용하는 사용자는 장비 제어 시스템을 이용하여 반도체 생산 장비의 작동 상태에 상응하여 다수의 부대 장비를 효과적으로 관리함으로써 에너지를 절감할 수 있다.

Description

반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템 및 그 방법{SYSTEM FOR CONTROLLING SUPPLEMENTARY EQUIPMENT OF SEMICONDUCTOR PRODUCTION AND METHOD THEREOF}
본 발명은 장비를 제어하는 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 생산을 위한 부대 장비를 제어하는 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.
반도체를 생산하는 공장에서는 반도체 디바이스를 대량 생산하기 위하여 다수의 생산 장비를 병렬로 연결하여 작업을 하고 있다. 또한, 반도체 생산 장비의 원활한 동작을 지원하기 위한 다양한 부대 장비들이 활용되고 있다. 따라서, 반도체 생산 장비와 부대 장비 간의 유기적인 동작이 필요하다.
예컨대, 반도체 생산 장비의 작동 상태에 따라 부대 장비를 제어할 필요가 있다.
특히, 지구 온난화 등과 같은 환경 문제가 즉각적인 위협이 되고 있고, 화석 에너지 자원 고갈에 따른 에너지 절감에 대한 요구가 커짐에 따라 에너지를 효율적으로 사용하는 기술에 대한 필요성이 증대되고 있다.
이에, 반도체, 디스플레이 등의 첨단 제품 산업에서도 온실 가스 및 에너지 감축을 선언하고 각 산업의 표준을 통하여 에너지, 유틸리티 및 소재 등의 자원에 대한 효율적인 사용과 환경 오염 감소를 권고하고 있는 실정이다.
따라서, 반도체 생산 업체는 작업의 실행 상태에 따라 실시간으로 부대 장비의 출력 등을 효율적으로 제어하여 생산성의 증대뿐만 아니라 에너지를 절감해야 하는 실정에 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 반도체 생산 장비의 작동 상태에 상응하여 부대 장비를 제어할 수 있는 시스템을 제공하는데 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 다른 목적은, 반도체 생산 장비의 작동 상태에 상응하여 부대 장비를 제어할 수 있는 방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템은, 장비 제어 장치를 통하여 반도체 생산 장비의 부대 장비를 제어하는 장비 제어 시스템에 있어서, 메시지를 수신하고 수신한 메시지에 기반하여 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보를 포함하는 생산 장비 정보를 추출하는 메시지 관리부와, 수신한 메시지 및 생산 장비 정보에 기반하여 장비 제어 장치가 부대 장비를 제어하도록 하는 시스템 명령을 생성하는 시스템 명령 생성부 및 시스템 명령을 장비 제어 장치로 전송하는 장치 연결부를 포함한다.
여기에서, 상기 부대 장비는, 펌프(pump), 칠러(chiller) 또는 스크러버(scrubber) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
여기에서, 상기 시스템 명령 생성부는, 장비 제어 장치의 상태를 확인하기 위한 체크 메시지를 생성하고, 상기 장치 연결부는, 체크 메시지를 주기적으로 장비 제어 장치로 전송할 수 있다.
여기에서, 상기 수신한 메시지가 상기 장비 제어 장치에 대한 업데이트 정보를 포함하는 경우에 있어서, 상기 메시지 관리부는 수신한 메시지에서 업데이트 정보를 추출하고, 상기 시스템 명령 생성부는 업데이트 정보에 상응하여 장비 제어 장치를 업데이트하도록 하는 업데이트 명령을 생성하며, 상기 장치 연결부는 업데이트 명령을 장비 제어 장치에 전송할 수 있다.
여기에서, 상기 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템은, 장치 연결부를 통하여 부대 장비 정보를 수집하는 장비 정보 수집부와, 부대 장비 정보를 수신하여 저장하고 관리하는 장비 정보 관리부를 더 포함할 수 있다.
여기에서, 상기 부대 장비 정보는, 장비 제어 장치가 제어하는 부대 장비의 종류, 부대 장비의 개수, 부대 장비의 상태에 대한 정보 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
여기에서, 상기 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템은, 메시지를 외부의 사용자 인터페이스로부터 수신하여 메시지 관리부에 전달하고, 부대 장비 정보를 외부의 사용자 인터페이스에 전달하는 사용자 인터페이스 연결부를 더 포함할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 장치는, 장비 제어 시스템에 연결되어 반도체 생산 장비의 부대 장비를 제어하는 장비 제어 장치에 있어서, 장비 제어 장치에 의해 제어되는 부대 장비에 대한 정보를 포함하는 부대 장비 정보를 저장하는 장비 정보 저장부와, 장비 제어 시스템으로부터 시스템 명령을 수신하여 장비 정보 저장부에 저장된 부대 장비 정보에 기반하여 상기 부대 장비를 제어할 수 있도록 상기 시스템 명령을 변환하여 장비 명령을 생성하는 장비 명령 생성부와, 장비 명령을 부대 장비로 전송하는 장비 연결부를 포함한다.
여기에서, 장비 명령 생성부는, 장비 제어 시스템이 장비 제어 장치의 상태를 확인하기 위하여 전송하는 체크 메시지에 상응하여 장비 제어 장치의 상태에 대한 정보를 포함하는 응답 메시지를 생성할 수 있다.
여기에서, 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 장치는, 부대 장비 정보 및 응답 메시지를 장비 제어 시스템으로 전송하는 시스템 연결부를 더 포함할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 측면에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 방법은, 장비 제어 시스템이 장비 제어 장치를 제어하여 반도체 생산 장비의 부대 장비를 제어하는 방법에 있어서, 메시지를 수신하고 수신한 메시지에 기반하여 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보를 포함하는 생산 장비 정보를 추출하는 단계와, 수신한 메시지 및 생산 장비 정보에 기반하여 장비 제어 장치가 부대 장비를 제어하도록 하는 시스템 명령을 생성하는 단계와, 시스템 명령을 장비 제어 장치로 전송하는 단계를 포함한다.
상기와 같은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템을 이용할 경우, 반도체 생산 장비의 작동 상태에 상응하여 실시간으로 부대 장비를 효과적으로 제어할 수 있다.
또한, 효율적으로 부대 장비를 제어함으로써 에너지를 절감할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 시스템을 설명하기 위한 개념도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 방법을 설명하는 데이터의 흐름도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 방법을 설명하는 흐름도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 시스템을 설명하기 위한 개념도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템(100)은 다수의 장비 제어 장치(200)를 이용하여 부대 장비를 제어할 수 있다.
반도체 생산 장비의 부대 장비는 반도체 생산 장비와 유기적으로 작동하는 것이 필요하다. 예컨대, 반도체 생산 장비가 유휴 상태(idle state) 등에 있을 경우, 그 부대 장비의 출력을 감소시켜 에너지를 효과적으로 절감할 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예는 반도체 생산 장비의 작동 상태에 상응하여 부대 장비를 제어할 수 있는 장비 제어 시스템을 제공할 수 있다.
사용자는 외부의 사용자 인터페이스(10)를 통하여 장비 제어 시스템(100)에 접속하여 부대 장비를 제어할 수 있다. 장비 제어 시스템(100)은 다수의 장비 제어 장치(200)에 연결되어 다수의 부대 장비의 상태를 실시간으로 모니터링하고 관리할 수 있다.
즉, 장비 제어 시스템(100)은 다수의 장비 제어 장치(200)와 연결되고, 장비 제어 장치(200)는 부대 장비들과 연결될 수 있다.
예컨대, 장비 제어 장치(200)는 반도체 생산 장비 별로 설치될 수 있어 반도체 생산 장비의 부대 장비에 대한 정보를 수집하여 장비 제어 시스템(100)에 전달할 수 있다. 또한, 장비 제어 장치(200)는 장비 제어 시스템(100)을 통하여 사용자에 의한 데이터를 수신할 수 있으며, 수신한 데이터를 부대 장비에 전달할 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따르면, 사용자는 장비 제어 시스템(100)에 접속하여 원격에서 다수의 부대 장비를 모니터링하고 제어할 수 있다. 또한, 사용자는 다수의 장비 제어 장치(200)의 실행 상태를 실시간으로 파악하여 실행 상태에 상응하는 명령 또는 업데이트를 수행할 수 있다.
특히, 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 시스템(100)은 반도체를 생산하는 장비의 부대 장비를 제어 또는 관리하는데 활용될 수 있다. 예컨대, 본 발명은 실리콘웨이퍼 제조 공장(Fab)의 장비를 제어하는데 활용될 수 있다. 즉, 장비 제어 시스템(100)을 이용하여 Fab에서 이용되는 펌프(pump), 스크러버(scrubber) 등의 출력을 효과적으로 제어함으로써 에너지를 절감할 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템(100)은 사용자 인터페이스 연결부(110), 메시지 관리부(120), 시스템 명령 생성부(130), 장치 연결부(140), 장비 정보 수집부(150) 및 장비 정보 관리부(160)를 포함한다.
사용자 인터페이스 연결부(110)는 외부의 사용자 인터페이스(10)와 장비 제어 시스템(100)을 연결한다. 즉, 장비 제어 시스템(100)은 인터넷을 포함하는 네트워크를 통하여 사용자 인터페이스(10)와 연결될 수 있다. 따라서, 장비 제어 시스템(100)은 사용자 인터페이스 연결부(110)를 통하여 사용자 인터페이스(10)와 데이터를 교환할 수 있다. 여기서, 사용자 인터페이스(10)는 사용자에 의해 조작되는 컴퓨터 단말, 서버 또는 다른 외부 시스템을 의미할 수 있다. 예컨대, 사용자 인터페이스 연결부(110)는 메시지 및 생산 장비 정보 등을 외부의 사용자 인터페이스(10)로부터 수신하여 메시지 관리부(120)에 전달할 수 있고, 부대 장비 정보를 외부의 사용자 인터페이스(10)에 전달할 수 있다.
메시지 관리부(120)는 사용자 인터페이스 연결부(110)를 통하여 수신된 메시지에 기반하여 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보를 포함하는 생산 장비 정보를 추출할 수 있다. 예컨대, 사용자가 사용자 인터페이스(10)를 통하여 입력한 메시지는 메시지 관리부(120)로 전달되고, 메시지 관리부(120)는 수신한 메시지에 기반한 생산 장비 정보를 추출할 수 있다.
여기서 생산 장비 정보는 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보로 동작, 대기, 정지 등의 정보를 포함할 수 있다. 또한, 생산 장비 정보는 반도체 생산 장비를 제어하는 호스트 또는 후술하는 부대 장비 제어 장치(200)로부터 얻을 수 있다.
즉, 사용자가 입력한 메시지는 사용자가 제어하고자 하는 부대 장비를 제어하는 장비 제어 장치(200)의 식별정보 및 제어하고자 하는 부대 장비에 대한 정보를 포함할 수 있다. 따라서, 메시지 관리부(120)는 메시지를 분석하여 장비 제어 장치(200)의 식별정보 또는 부대 장비에 대한 정보를 추출하고, 이에 기반한 부대 장비 정보를 추출할 수 있다. 여기서, 부대 장비 정보는 장비 제어 장치(200)가 제어하는 부대 장비의 종류, 부대 장비의 개수, 부대 장비의 상태에 대한 정보를 포함할 수 있다. 또한, 부대 장비 정보는 장비 제어 장치(200)에 의해 수집되어 장비 제어 시스템(100)으로 전송되어 저장되는 정보일 수 있다.
시스템 명령 생성부(130)는 수신한 메시지 및 생산 장비 정보에 기반하여 장비 제어 장치(200)가 부대 장비를 제어하도록 하는 시스템 명령을 생성한다. 사용자 인터페이스(10)를 통하여 입력한 메시지에 포함된 모든 명령이 부대 장비에 의해 수행되지 않을 수 있다. 즉, 부대 장비의 종류 또는 부대 장비의 상태에 따라 수행될 수 있는 명령이 결정될 수 있다. 따라서, 시스템 명령 생성부(130)는 수신한 메시지에 포함된 명령에 부대 장비의 종류 및 부대 장비의 상태 등을 반영하여 시스템 명령을 생성할 수 있다. 여기서, 부대 장비의 종류는 펌프(pump), 칠러(chiller) 또는 스크러버(scrubber) 등을 의미할 수 있고, 부대 장비의 상태는 실행, 대기, 고장 등을 의미할 수 있다.
또한, 시스템 명령 생성부(130)는 장비 제어 장치(200)의 상태를 확인하기 위한 체크 메시지를 생성하여 장비 제어 장치(200)로 주기적으로 전달할 수 있다. 체크 메시지를 수신한 장비 제어 장치(200)는 자신의 상태에 대한 정보를 포함한 응답 메시지를 장비 제어 시스템(100)으로 전송할 수 있다.
장치 연결부(140)는 장비 제어 시스템(100)이 다수의 장비 제어 장치(200)와 연결되도록 한다. 즉, 장비 제어 시스템(100)은 장치 연결부(140)를 통하여 유선 또는 무선으로 장비 제어 장치(200)와 연결될 수 있다. 따라서, 장비 제어 시스템(100)은 장치 연결부(140)를 통하여 장비 제어 장치(200)와 데이터를 교환할 수 있다. 예컨대, 장치 연결부(140)는 시스템 명령, 체크 메시지 또는 업데이트 명령을 장비 제어 장치(200)로 전송할 수 있다.
장비 정보 수집부(150)는 장치 연결부(140)를 통하여 부대 장비 정보를 수집할 수 있다. 즉, 장비 제어 장치(200)는 자신이 제어하는 부대 장비의 종류, 부대 장비의 개수, 부대 장비의 상태에 대한 정보를 포함하는 부대 장비 정보를 수집하여 저장할 수 있으며, 이러한 부대 장비 정보를 장치 연결부(140)를 통하여 장비 제어 시스템(100)으로 전송할 수 있다. 따라서, 장비 정보 수집부(150)는 다수의 장비 제어 장치(200)에 의해 수집된 각각의 부대 장비 정보를 수집할 수 있다.
장비 정보 관리부(160)는 장비 정보 수집부(150)에 의해 수집된 부대 장비 정보를 저장하고 관리한다. 예컨대, 장비 정보 관리부(160)는 다수의 장비 제어 장치(200)에 의해 수집된 각각의 부대 장비 정보를 장비 제어 장치(200)의 식별 정보를 기준으로 하여 분류하고 정리하여 저장할 수 있다.
또한, 사용자는 장비 제어 장치(200)를 업데이트하고자 할 때, 메시지에 업데이트 정보를 포함하여 입력할 수 있다. 이러한 경우, 메시지 관리부(120)는 수신한 메시지에서 업데이트 정보를 추출할 수 있다. 또한, 시스템 명령 생성부(130)는 업데이트 정보에 상응하여 장비 제어 장치(200)를 업데이트하도록 하는 업데이트 명령을 생성할 수 있으며, 장치 연결부(140)는 업데이트 명령을 해당 장비 제어 장치(200)에 전송할 수 있다.
따라서, 사용자는 업데이트가 필요한 장비 제어 장치(200)를 선택적으로 원격에서 업데이트할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템(100)은 상술한 사용자 인터페이스 연결부(110), 메시지 관리부(120), 시스템 명령 생성부(130), 장치 연결부(140), 장비 정보 수집부(150) 및 장비 정보 관리부(160)가 유기적으로 동작할 수 있도록 제어하는 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있음은 당업자에 자명하다.
상술한 본 발명에서의 사용자 인터페이스 연결부(110), 메시지 관리부(120), 시스템 명령 생성부(130), 장치 연결부(140), 장비 정보 수집부(150) 및 장비 정보 관리부(160)는 서로 독립적으로 개시되지만, 사용자 인터페이스 연결부(110), 메시지 관리부(120), 시스템 명령 생성부(130), 장치 연결부(140), 장비 정보 수집부(150) 및 장비 정보 관리부(160)는 하나의 단일한 형태, 하나의 물리적 장치로 구현될 수 있다. 이뿐만 아니라, 사용자 인터페이스 연결부(110), 메시지 관리부(120), 시스템 명령 생성부(130), 장치 연결부(140), 장비 정보 수집부(150) 및 장비 정보 관리부(160)가 각각 하나의 물리적인 장치 또는 집단이 아닌 복수의 물리적 장치 또는 집단으로 구현될 수 있다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 장치(200)는 시스템 연결부(210), 장비 명령 생성부(220), 장비 연결부(230) 및 장비 정보 저장부(240)를 포함한다.
시스템 연결부(210)는 장비 제어 장치(200)와 장비 제어 시스템(100)이 연결될 수 있도록 한다. 즉, 장비 제어 장치(200)는 시스템 연결부(210)를 통하여 유선 또는 무선으로 장비 제어 시스템(100)과 연결될 수 있다.
장비 명령 생성부(220)는 장비 제어 시스템(100)으로부터 시스템 명령을 수신하여 장비 정보 저장부(240)에 저장된 부대 장비 정보에 기반하여 부대 장비를 제어할 수 있도록 시스템 명령을 변환하여 장비 명령을 생성할 수 있다. 예컨대, 장비에 따라 적용될 수 있는 명령이 다를 수 있으므로, 장비 제어 장치(200)는 장비 제어 시스템(100)으로부터 수신한 시스템 명령을 각각의 부대 장비에 적응적으로 변환할 수 있다. 또한, 장비 명령 생성부(220)는 장비 제어 시스템(100)이 장비 제어 장치(200)의 상태를 확인하기 위하여 전송하는 체크 메시지에 상응하여 장비 제어 장치(200)의 상태에 대한 정보를 포함하는 응답 메시지를 생성할 수 있다.
장비 정보 저장부(240)는 장비 연결부(230)를 통하여 수집된 부대 장비 정보를 저장할 수 있다. 즉, 장비 정보 저장부(240)는 장비 제어 장치(200)에 의해 제어되는 부대 장비에 대한 정보를 포함하는 부대 장비 정보를 저장할 수 있다. 따라서, 장비 명령 생성부(220)는 장비 정보 저장부(240)에 저장된 부대 장비 정보를 활용할 수 있다. 또한, 장비 정보 저장부(240)에 저장된 부대 장비 정보는 시스템 연결부(210)를 통하여 장비 제어 시스템(100)으로 전달될 수 있다.
장비 연결부(230)는 장비 제어 장치(200)와 다수의 부대 장비를 연결하며, 장비 제어 장치(200)는 장비 연결부(230)를 통하여 다수의 부대 장비와 데이터를 교환할 수 있다.
상술한 본 발명에서의 시스템 연결부(210), 장비 명령 생성부(220), 장비 연결부(230) 및 장비 정보 저장부(240)는 서로 독립적으로 개시되지만, 시스템 연결부(210), 장비 명령 생성부(220), 장비 연결부(230) 및 장비 정보 저장부(240)는 하나의 단일한 형태, 하나의 물리적 장치로 구현될 수 있다. 이뿐만 아니라, 시스템 연결부(210), 장비 명령 생성부(220), 장비 연결부(230) 및 장비 정보 저장부(240)가 각각 하나의 물리적인 장치 또는 집단이 아닌 복수의 물리적 장치 또는 집단으로 구현될 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 방법을 설명하는 데이터의 흐름도이다.
도 4를 참조하면, 사용자 인터페이스(10)를 통하여 입력된 메시지는 장비 제어 시스템(100)으로 전달되고, 장비 제어 시스템(100)은 수신한 메시지와 생산 장비 정보에 기반한 시스템 명령을 생성하여 장비 제어 장치(200)로 전송할 수 있다. 또한, 장비 제어 장치(200)는 시스템 명령을 수신하여 장비 제어 장치(200)가 제어하는 부대 장비의 상태 등에 대한 정보에 기반하여 시스템 명령을 변환한 장비 명령을 생성하여 해당 부대 장비에 전송할 수 있다.
또한, 사용자 인터페이스(10)를 통하여 입력된 메시지에 업데이트 정보가 포함되어 있는 경우, 장비 제어 시스템(100)은 업데이트 정보를 추출하여 장비 제어 장치(200)로 전송할 수 있고, 장비 제어 장치(200)는 수신한 업데이트 정보를 이용하여 업데이트될 수 있다.
즉, 사용자는 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 방법을 이용하여 원격에서 다수의 부대 장비를 제어할 수 있다. 또한, 업데이트가 필요한 장비 제어 장치(200)가 있는 경우, 업데이트 정보가 포함된 메시지를 장비 제어 시스템(100)에 전송하여 해당 장비 제어 장치(200)에 전달하도록 하여 원격에서 장비 제어 장치(200)를 업데이트할 수 있다.
장비 제어 시스템(100)은 장비 제어 장치(200)의 실행 상태를 확인하기 위한 체크 메시지를 장비 제어 장치(200)로 주기적으로 전송할 수 있다. 체크 메시지를 수신한 장비 제어 장치(200)는 자신의 실행 상태에 대한 정보를 포함하는 응답 메시지를 장비 제어 시스템(100)을 통하여 사용자 인터페이스(10)로 전송할 수 있다. 이를 통하여 사용자는 장비 제어 장치(200)의 실행 상태(예: 실행, 대기, 다운 등)를 실시간으로 모니터링할 수 있다.
또한, 장비 제어 장치(200)는 부대 장비의 상태에 대한 정보 등을 포함하는 부대 장비 정보를 수집하여 장비 제어 시스템(100)으로 전송할 수 있으며, 장비 제어 시스템(100)으로 전송된 부대 장비 정보는 사용자 인터페이스(10)로 전송될 수 있다. 따라서, 사용자는 부대 장비의 상태에 대한 정보를 실시간으로 모니터링할 수 있다.
즉, 사용자는 장비 제어 시스템(100)을 통하여 원격에서 다수의 장비 제어 장치(200) 및 해당 장비 제어 장치(200)가 제어하는 부대 장비의 상태를 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 모니터링 결과에 따른 메시지를 입력할 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 방법을 설명하는 흐름도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 방법은 생산 장비 정보를 추출하는 단계, 시스템 명령을 생성하는 단계 및 시스템 명령을 장비 제어 장치로 전송하는 단계를 포함한다.
생산 장비 정보를 추출하는 단계는 사용자 인터페이스를 통하여 입력된 메시지를 수신하고 수신한 메시지에 기반하여 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보를 포함하는 생산 장비 정보를 추출할 수 있다.
시스템 명령을 생성하는 단계는 수신한 메시지 및 생산 장비 정보에 기반하여 장비 제어 장치(200)가 부대 장비를 제어하도록 하는 시스템 명령을 생성할 수 있다. 또한, 장비 제어 장치(200)의 상태를 확인하기 위한 체크 메시지를 생성할 수 있다.
시스템 명령을 장비 제어 장치(200)로 전송하는 단계는 시스템 명령을 장비 제어 장치(200)로 전송하여 사용자가 원격에서 장비를 제어할 수 있도록 한다. 또한, 체크 메시지를 주기적으로 장비 제어 장치(200)로 전송할 수 있다.
또한, 수신한 메시지가 장비 제어 장치(200)에 대한 업데이트 정보를 포함하는 경우, 수신한 메시지에서 업데이트 정보를 추출하고, 추출한 업데이트 정보에 상응하여 장비 제어 장치(200)를 업데이트하도록 하는 업데이트 명령을 생성하며, 업데이트 명령을 장비 제어 장치(200)에 전송할 수 있다.
또한, 장비 제어 장치(200)를 통하여 상기 부대 장비 정보를 수집하여 저장하는 단계를 더 포함할 수 있다.
도 5를 참조하여, 장비 제어 시스템(100)이 장비 제어 장치(200)를 제어하여 반도체 생산 장비의 부대 장비를 제어하는 방법을 설명하면 다음과 같다. 본 발명의 실시예에 따른 장비 제어 방법은 상술한 장비 제어 시스템(100)에 의해 수행될 수 있는 방법으로 상술한 장비 제어 시스템(100)의 설명과 중복되는 실시예는 생략하여 설명하기로 한다.
장비 제어 시스템(100)은 사용자 인터페이스(10)를 통하여 입력된 메시지를 수신한다(S100).
사용자 인터페이스(10)를 통하여 입력된 메시지를 수신하여 수신된 메시지에 업데이트 정보가 포함되어 있는지 확인할 수 있다(S200).
수신한 메시지가 업데이트 정보를 포함하지 않은 경우, 수신한 메시지에 기반하여 생산 장비 정보를 추출할 수 있다(S210). 여기서, 생산 장비 정보는 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보를 포함할 수 있다.
장비 제어 시스템(100)은 수신한 메시지 및 생산 장비 정보에 기반한 시스템 명령을 생성하여(S220), 장비 제어 장치(200)로 전송할 수 있다.
또한, 수신한 메시지가 업데이트 정보를 포함하는 경우, 업데이트 정보를 추출할 수 있고(S300), 추출한 업데이트 정보에 상응하는 업데이트 명령을 생성하여(S310), 장비 제어 장치(200)로 전송할 수 있다(S320).
또한, 장비 제어 시스템(100)은 장비 제어 장치(200)가 저장하는 부대 장비 정보를 수집하여 저장할 수 있다(S400). 즉, 장비 제어 시스템(100)은 수집된 부대 장비 정보를 시스템 명령의 생성 등에 활용할 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따르면, 사용자는 장비 제어 시스템(100)을 통하여 원격에서 다수의 장비 제어 장치(200) 및 해당 장비 제어 장치(200)가 제어하는 부대 장비의 상태를 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 모니터링 결과에 따른 메시지를 입력할 수 있다. 또한, 업데이트가 필요한 장비 제어 장치(200)를 선택적으로 업데이트할 수 있다.
상술한 본 발명의 실시예에 따르면, 반도체를 생산하는 장비를 운용하는 사용자는 장비 제어 시스템을 이용하여 다수의 장비 제어 장치를 모니터링하고 제어함으로써 다수의 부대 장비를 효과적으로 관리할 수 있다. 또한, 반도체 생산 장비의 작업 상태에 상응한 효율적인 부대 장비의 운용을 통하여 작업 효율을 향상시킴과 동시에 에너지를 절감할 수 있는 효과가 있다. 이에 본 발명에 따른 장비 제어 시스템은 그린 에너지 제어 시스템(gECS: green Energy Control System)으로 명명될 수 있고, 장비 제어 장치(200)는 그린 에너지 제어 유닛(gECU: green Energy Control Unit)으로 명명될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 장비 제어 시스템 및 장비 제어 장치는 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 프로그램 또는 코드로서 구현하는 것이 가능하다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 시스템에 의해 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록장치를 포함한다. 또한 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어 분산방식으로 컴퓨터로 읽을 수 있는 프로그램 또는 코드가 저장되고 실행될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10: 사용자 인터페이스
100: 장비 제어 시스템 110: 사용자 인터페이스 연결부
120: 메시지 관리부 130: 시스템 명령 생성부
140: 장치 연결부 150: 장비 정보 수집부
160: 장비 정보 관리부
200: 장비 제어 장치 210: 시스템 연결부
220: 장비 명령 생성부 230: 장비 연결부
240: 장비 정보 저장부

Claims (18)

  1. 장비 제어 장치를 통하여 반도체 생산 장비의 부대 장비를 제어하는 장비 제어 시스템에 있어서,
    메시지를 수신하고 상기 수신한 메시지에 기반하여 상기 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보를 포함하는 생산 장비 정보를 추출하는 메시지 관리부;
    상기 수신한 메시지 및 상기 생산 장비 정보에 기반하여 상기 장비 제어 장치가 상기 부대 장비를 제어하도록 하는 시스템 명령을 생성하는 시스템 명령 생성부; 및
    상기 시스템 명령을 상기 장비 제어 장치로 전송하는 장치 연결부를 포함하고,
    상기 시스템 명령 생성부는 상기 장비 제어 장치의 상태를 확인하기 위한 체크 메시지를 생성하고, 상기 장치 연결부는 상기 체크 메시지를 주기적으로 상기 장비 제어 장치로 전송하는 것인,
    반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 부대 장비는,
    펌프(pump), 칠러(chiller) 또는 스크러버(scrubber) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템.
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 수신한 메시지가 상기 장비 제어 장치에 대한 업데이트 정보를 포함하는 경우에 있어서,
    상기 메시지 관리부는 상기 수신한 메시지에서 상기 업데이트 정보를 추출하고,
    상기 시스템 명령 생성부는 상기 업데이트 정보에 상응하여 상기 장비 제어 장치를 업데이트하도록 하는 업데이트 명령을 생성하며,
    상기 장치 연결부는 상기 업데이트 명령을 상기 장비 제어 장치에 전송하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 장치 연결부를 통하여 부대 장비 정보를 수집하는 장비 정보 수집부; 및
    상기 부대 장비 정보를 수신하여 저장하고 관리하는 장비 정보 관리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템.
  6. 청구항 5에 있어서, 상기 부대 장비 정보는,
    상기 장비 제어 장치가 제어하는 부대 장비의 종류, 부대 장비의 개수, 부대 장비의 상태에 대한 정보 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 메시지를 외부의 사용자 인터페이스로부터 수신하여 상기 메시지 관리부에 전달하고, 상기 부대 장비 정보를 상기 외부의 사용자 인터페이스에 전달하는 사용자 인터페이스 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 시스템.
  8. 장비 제어 시스템에 연결되어 반도체 생산 장비의 부대 장비를 제어하는 장비 제어 장치에 있어서,
    상기 장비 제어 장치에 의해 제어되는 부대 장비에 대한 정보를 포함하는 부대 장비 정보를 저장하는 장비 정보 저장부;
    상기 장비 제어 시스템으로부터 시스템 명령을 수신하여 상기 장비 정보 저장부에 저장된 상기 부대 장비 정보에 기반하여 상기 부대 장비를 제어할 수 있도록 상기 시스템 명령을 변환하여 장비 명령을 생성하는 장비 명령 생성부; 및
    상기 장비 명령을 상기 부대 장비로 전송하는 장비 연결부를 포함하고,
    상기 장비 명령 생성부는 상기 장비 제어 시스템이 장비 제어 장치의 상태를 확인하기 위하여 전송하는 체크 메시지에 상응하여 장비 제어 장치의 상태에 대한 정보를 포함하는 응답 메시지를 생성하는 것인,
    반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 장치.
  9. 삭제
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 부대 장비 정보 및 상기 응답 메시지를 상기 장비 제어 시스템으로 전송하는 시스템 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 장치.
  11. 청구항 8에 있어서, 상기 부대 장비 정보는,
    상기 장비 제어 장치가 제어하는 부대 장비의 종류, 부대 장비의 개수, 부대 장비의 상태에 대한 정보 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 장치.
  12. 청구항 8에 있어서, 상기 부대 장비는,
    펌프(pump), 칠러(chiller) 또는 스크러버(scrubber) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 장치.
  13. 장비 제어 시스템이 장비 제어 장치를 제어하여 반도체 생산 장비의 부대 장비를 제어하는 방법에 있어서,
    메시지를 수신하고 상기 수신한 메시지에 기반하여 상기 반도체 생산 장비의 작동 상태에 대한 정보를 포함하는 생산 장비 정보를 추출하는 단계;
    상기 수신한 메시지 및 상기 생산 장비 정보에 기반하여 상기 장비 제어 장치가 상기 부대 장비를 제어하도록 하는 시스템 명령을 생성하는 단계; 및
    상기 시스템 명령을 상기 장비 제어 장치로 전송하는 단계를 포함하고,
    상기 시스템 명령을 생성하는 단계는 상기 장비 제어 장치의 상태를 확인하기 위한 체크 메시지를 생성하고, 상기 시스템 명령을 상기 장비 제어 장치로 전송하는 단계는 상기 체크 메시지를 주기적으로 상기 장비 제어 장치로 전송하는 것인,
    반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 방법.
  14. 청구항 13에 있어서, 상기 부대 장비는,
    펌프(pump), 칠러(chiller) 또는 스크러버(scrubber) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 방법.
  15. 삭제
  16. 청구항 13에 있어서, 상기 수신한 메시지가 상기 장비 제어 장치에 대한 업데이트 정보를 포함하는 경우에 있어서,
    상기 수신한 메시지에서 상기 업데이트 정보를 추출단계;,
    상기 업데이트 정보에 상응하여 상기 장비 제어 장치를 업데이트하도록 하는 업데이트 명령을 생성단계;
    상기 업데이트 명령을 상기 장비 제어 장치에 전송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산 장비 제어 방법.
  17. 청구항 13에 있어서,
    상기 장비 제어 장치를 통하여 상기 부대 장비 정보를 수집하여 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 방법.
  18. 청구항 17에 있어서, 상기 부대 장비 정보는,
    상기 장비 제어 장치가 제어하는 부대 장비의 종류, 부대 장비의 개수, 부대 장비의 상태에 대한 정보 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산을 위한 부대 장비 제어 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030065051A (ko) * 2002-01-29 2003-08-06 삼성전자주식회사 대화 포커스 추적 기능을 가진 음성명령 해석장치 및 방법
JP2009048624A (ja) * 2007-08-21 2009-03-05 Asm Japan Kk 半導体処理装置の制御方法
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Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030065051A (ko) * 2002-01-29 2003-08-06 삼성전자주식회사 대화 포커스 추적 기능을 가진 음성명령 해석장치 및 방법
JP2009048624A (ja) * 2007-08-21 2009-03-05 Asm Japan Kk 半導体処理装置の制御方法
KR20090123474A (ko) * 2008-05-28 2009-12-02 한미아이티 주식회사 복수의 단말 장치의 원격 관리 시스템과 방법, 복수의 단말장치 및 복수의 관리 장치와 접속하는 인터페이스 장치와방법, 및, 그 방법들을 실행시키기 위한 프로그램이 기록된컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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