JP2009048624A - 半導体処理装置の制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】制御器、及び該制御器により制御される少なくともひとつのデバイスを含む半導体処理装置であって、該制御器は該デバイスと通信するためのインターフェイスを備え、該インターフェイスは通信用の時間インターバルを測定するための内部クロックを有するところの装置を制御する方法が与えられる。当該方法は、インターフェイスへ命令を送信するために使用される制御器のオペレーティングシステムのシステムクロックを、インターフェイスの内部クロックと置換する工程と、システムクロックと置換された内部クロックにより測定された時間インターバルを使って制御器からインターフェイスへ命令を送信する工程と、インターフェイス内の内部クロックにより測定された時間インターバルを使ってインターフェイスからデバイスへ命令を送信しデバイスを制御する工程を含む。
【選択図】図1
Description
PMC(Process Module Controller) 2:処理モジュール制御器
TMC(Transfer Module Controller) 7:搬送モジュール制御器
MMF_WATCH->nModuleCond[MDL_DNADS]=MDL_COND_DEAD;
DnAns=m_Ads.Init(BOARDID_MASTER);
if(DnAns)DnAns=m_Ads.SetScanTimeValue(SCANCYCLE);
if(DnAns)DnAns=m_Ads.GetScanTimeValue(&STime);
if(DnAns)DnAns=m_Ads.RegScanEvtNotifyMessage(0,hWnd,WM_DNADS);
if(DnAns)DnAdsActive=TRUE;
else m_Ads.GetLastErrorString(errstr);
if(DnAdsActive)MMF_WATCH-nModuleCond[MDL_DNADS]=MDL_COND_IDLE;
elseMMF_WATCH->nModuleCond[MDL_DNADS]=MDL_COND_READY:
DnAns=m_Ads.GetInData(&InD, TRUE)
信号出力ユニットに関連するAPI関数として
DnAns=m_Ads.SetOutData(&OutD, TRUE)
Claims (16)
- 制御器及び前記制御器により制御される少なくともひとつのデバイスを含む装置を制御するための方法であって、前記制御器は前記デバイスと通信するためのインターフェイスを備え、前記インターフェイスは通信用の時間インターバルを測定するための内部クロックを有し、当該方法は、
前記インターフェイスに命令を送信するのに使用される前記制御器のオペレーティングシステムのシステムクロックを、前記インターフェイスの内部クロックと置換する工程と、
前記システムクロックと置換された前記内部クロックにより測定される時間インターバルを使って、前記制御器から前記インターフェイスへ命令を送信する工程と、
前記インターフェイス内の内部クロックにより測定された時間インターバルを使って前記インターフェイスから前記デバイスへ命令を送信しそれにより前記デバイスを制御する工程と、
を備えたことを特徴とする方法。 - 前記命令は周期的に前記インターフェイスへ送信される、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記少なくともひとつのデバイスは前記インターフェイスに対して並列に配置された複数のデバイスから成る、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記インターフェイスはPCIボードである、ことを特徴とする請求項3記載の方法。
- 前記PCIボードは前記複数のデバイスを接続するDeviceNetシステム用の通信ボードである、ことを特徴とする請求項4記載の方法。
- 前記装置は半導体処理装置である、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記制御器は、レシピの実行を制御する制御器であるか、または、ウエハの搬送を制御する制御器である、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記装置は、さらに、少なくとも他の制御器及び、前記制御器及び前記他の制御器を制御する主制御器を含み、さらに、
前記主制御器により前記制御器及び前記他の制御器を制御する工程を含む、
ことを特徴とする請求項1記載の方法。 - 前記制御器はレシピの実行を制御する制御器であり、前記他の制御器はウエハの搬送を制御する制御器である、
ことを特徴とする請求項8記載の方法。 - 前記主制御器並びに前記制御器及び前記他の制御器はイーサーネットを通じて接続されている、
ことを特徴とする請求項8記載の方法。 - 主制御器、PCIボードを備えた少なくともひとつのサブコントローラ、及び少なくともひとつのデバイスを含む半導体処理装置を制御するための方法であって、前記主制御器は前記デバイスを制御するサブコントローラを制御し、当該方法は、
PCIボードとの信号の入力/出力を制御する、前記サブコントローラの周期的命令の時間インターバルの設定を、前記PCIボードの内部クロック用に前記PCIボードにより与えられるAPIを使うことにより初期化する工程と、
前記PCIボードにより与えられる前記APIを使って、前記サブコントローラと前記PCIボードとの間での信号の入力/出力を制御する工程と、
前記PCIボードにより与えられる前記APIを使って、前記PCIボードと前記デバイスとの間での信号の入力/出力を制御する工程と、
を備えたことを特徴とする方法。 - 前記少なくともひとつのデバイスは、前記PCIボードに対して並列に配置された複数のデバイスから成る、
ことを特徴とする請求項11記載の方法。 - 前記PCIボードは、前記複数のデバイスを接続するDeviceNetシステム用の通信ボードである、
ことを特徴とする請求項12記載の方法。 - 前記少なくともひとつのサブコントローラは、レシピの実行を制御するサブコントローラから成る、
ことを特徴とする請求項11記載の方法。 - 前記少なくともひとつのサブコントローラは、複数のサブコントローラから成る、
ことを特徴とする請求項11記載の方法。 - 前記主制御器及び前記サブコントローラは、イーサーネットを通じて接続されている、
ことを特徴とする請求項11記載の方法。
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