KR102595771B1 - Pxe 기반의 반도체생산설비 제어 장치 및 방법 - Google Patents

Pxe 기반의 반도체생산설비 제어 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는 메모리(memory) 및 상기 메모리와 연결된 프로세서(processor)를 포함하고, 상기 프로세서는, 관리자단말로부터 상기 관리자단말에 대응하는 반도체생산설비의 제어를 위한 가상머신생성정보를 수신하고, 상기 가상머신생성정보에 기반하여 내부저장장치에 제1 가상머신을 생성하고, 상기 제1 가상머신에 상기 반도체생산설비를 제어하기 위한 운영체제를 설치하고, 상기 관리자단말로부터 상기 반도체생산설비에서 생산할 반도체에 관한 생산프로그램을 수신하여 상기 운영체제에 설치하고, 상기 제1 가상머신 및 상기 생산프로그램의 제어를 위한 컨트롤패널을 상기 관리자단말에게 송신할 수 있다.

Description

PXE 기반의 반도체생산설비 제어 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING SEMICONDUCTOR PRODUCTION FACILITY BASED ON PXE}
본 발명은 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 명세서에서 달리 표시되지 않는 한, 이 섹션에 설명되는 내용들은 이 출원의 청구항들에 대한 종래 기술이 아니며, 이 섹션에 포함된다고 하여 종래 기술이라고 인정되는 것은 아니다.
종래 반도체생산설비에 사용되는 IPC(Industrial Personal Computer)는 반도체생산설비와 직접 연결되어 반도체생산설비를 직접적으로 제어하는 방식으로 이루어졌었다.
그러나, 이러한 경우, 해당 IPC에 문제가 발생하는 경우, 이를 해결하기 위해서는 반도체생산설비도 동작을 중단해야 한다는 문제점이 있었다.
이에, 본 발명에서는 네트워크 인터페이스를 통해 반도체생산설비를 제어할 수 있는 PXE(Pre-boot eXecution Environment)기반으로 반도체생산설비를 제어하는 기술을 제안하고자 한다.
한국등록특허 제10-1418158호 (2014.07.03.)
본 발명의 일 실시예는 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치는 메모리(memory) 및 상기 메모리와 연결된 프로세서(processor)를 포함하고, 상기 프로세서는, 관리자단말로부터 상기 관리자단말에 대응하는 반도체생산설비의 제어를 위한 가상머신생성정보를 수신하고, 상기 가상머신생성정보에 기반하여 내부저장장치에 제1 가상머신을 생성하고, 상기 제1 가상머신에 상기 반도체생산설비를 제어하기 위한 운영체제를 설치하고, 상기 관리자단말로부터 상기 반도체생산설비에서 생산할 반도체에 관한 생산프로그램을 수신하여 상기 운영체제에 설치하고, 상기 제1 가상머신 및 상기 생산프로그램의 제어를 위한 컨트롤패널을 상기 관리자단말에게 송신할 수 있다.
또한, 상기 프로세서는, 상기 관리자단말로부터 상기 컨트롤패널에 대응하는 제어신호를 수신하고, 상기 제어신호를 상기 반도체생산설비에게 송신할 수 있다.
이 때, 상기 프로세서는, 상기 내부저장장치에 포함되는 복수개의 저장매체 중에서, 현재 생성되어 있는 가상머신이 없는 제1 저장매체와 현재 생성되어 있는 가상머신이 있는 제2 저장매체를 구분하고, 상기 제1 저장매체가 존재하는 경우, 상기 제1 저장매체에 상기 제1 가상머신을 생성하는 제1 생성모드로 동작하고, 상기 제1 저장매체가 존재하지 않는 경우, 상기 제2 저장매체 중에서 내부잔여용량이 가장 큰 제3 저장매체에 상기 제1 가상머신을 생성하는 제2 생성모드로 동작할 수 있다.
이 때, 상기 프로세서는, 상기 생성프로그램을 포함하는 상기 운영체제를 기설정된 백업기간 마다 백업을 진행하여 백업파일을 생성하고, 상기 백업파일을 기설정된 보관기간동안 보관할 수 있다.
이 때, 상기 프로세서는, 상기 제1 가상머신이 생성된 저장매체의 사용이력에 기반하여, 동일한 생성프로그램이 설치된 제2 가상머신에 의하여 제어되는 반도체생산설비의 기설정된 임시기간별 불량률의 변화률이 기설정된 임계변화률을 초과하는 임시기간의 평균기간간격으로 상기 백업기간을 설정할 수 있다.
이 때, 상기 프로세서는, 전체 저장매체의 사용이력에 기반하여, 상기 백업파일에 의하여 복원된 제1 시점과 상기 백업파일이 생성된 제2 시점의 차이기간의 평균값으로 상기 보관기간을 설정할 수 있다.
이 때, 상기 프로세서는, 상기 관리자단말로부터 상기 백업기간마다 상기 반도체생산설비의 불량률을 수신하고, 상기 불량률이 기설정된 제1 임계불량률을 초과하는 경우, 기존에 생성된 복수개의 상기 백업파일 중에서 복원을 추천하는 추천백업파일을 도출하여 상기 관리자단말로 상기 추천백업파일 및 복원의 추천을 나타내는 정보를 송신할 수 있다.
이 때, 상기 프로세서는, 복수개의 상기 백업파일 중에서 동일한 상기 생산프로그램이 실행되던 제1 백업파일을 도출하고, 상기 제1 백업파일 중에서 상기 제1 백업파일이 생성되는 시점의 제1 불량률이 상기 제1 임계불량률 이하인 제2 백업파일을 도출하고, 상기 제2 백업파일에 대하여 복원추천도를 산출하고, 상기 제2 백업파일 중에서 상기 복원추천도가 기설정된 임계추천도를 초과하는 제3 백업파일을 도출하고, 상기 제3 백업파일을 상기 추천백업파일로 도출할 수 있다.
이 때, 상기 복원추천도는, 아래 수학식에 의하여 산출되되,
DoRR(Degree of Recommendation for Restoration)은 상기 복원추천도를 의미하고, NoTP(Number of Total Parameters)는 상기 생산프로그램에서 제어할 수 있는 설정파라미터의 전체수를 의미하고, NoDP(Number of Different Parameters)는 상기 설정파라미터 중에서 상기 제2 백업파일을 생성하는 시점의 제1 설정파라미터와 상기 추천백업파일을 도출하는 시점의 제2 설정파라미터를 비교할때 차이나는 설정파라미터의 수를 의미하고, DR2(Defect Rate)는 상기 제2 백업파일이 생성되는 시점의 제2 불량률을 의미하고, EADR(External Average Defect Rate)는 상기 제2 백업파일이 생성되는 시점에, 상기 반도체생산설비와 같은 공간에 위치하는 다른반도체생산설비의 평균불량률을 의미할 수 있다.
이와 같이 본 발명의 일 실시예에 따르면, PXE 기반의 반도체생산설비 제어 장치 및 방법을 제공할 수 있다.
본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 특정한 바람직한 실시예들의 상기에서 설명한 바와 같은 또한 다른 측면들과, 특징들 및 이득들은 첨부 도면들과 함께 처리되는 하기의 설명으로부터 보다 명백하게 될 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 장치의 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부저장장치를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 백업파일의 보관기간의 도출을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 백업파일의 백업기간의 도출을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 EADR(External Average Defect Rate)의 개념을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 방법의 흐름도이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 서비스 제공 내용이 디스플레이를 통해 출력되는 화면을 나타내는 도면이다.
상기 도면들을 통해, 유사 참조 번호들은 동일한 혹은 유사한 엘리먼트들과, 특징들 및 구조들을 도시하기 위해 사용된다는 것에 유의해야만 한다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다.
마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다. 또한, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 각 도면에서 동일한 또는 대응하는 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하였다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이때, 처리 흐름도 도면들의 각 블록과 흐름도 도면들의 조합들은 컴퓨터 프로그램 인스트럭션들에 의해 수행될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 이들 컴퓨터 프로그램 인스트럭션들은 범용 컴퓨터, 특수용 컴퓨터 또는 기타 프로그램 가능한 데이터 프로세싱 장비의 프로세서에 탑재될 수 있으므로, 컴퓨터 또는 기타 프로그램 가능한 데이터 프로세싱 장비의 프로세서를 통해 수행되는 그 인스트럭션들이 흐름도 블록(들)에서 설명된 기능들을 수행하는 수단을 생성하게 된다. 이들 컴퓨터 프로그램 인스트럭션들은 특정 방식으로 기능을 구현하기 위해 컴퓨터 또는 기타 프로그램 가능한 데이터 프로세싱 장비를 지향할 수 있는 컴퓨터 이용 가능 또는 컴퓨터 판독 가능 메모리에 저장되는 것도 가능하므로, 그 컴퓨터 이용가능 또는 컴퓨터 판독 가능 메모리에 저장된 인스트럭션들은 흐름도 블록(들)에서 설명된 기능을 수행하는 인스트럭션 수단을 내포하는 제조 품목을 생산하는 것도 가능하다. 컴퓨터 프로그램 인스트럭션들은 컴퓨터 또는 기타 프로그램 가능한 데이터 프로세싱 장비 상에 탑재되는 것도 가능하므로, 컴퓨터 또는 기타 프로그램 가능한 데이터 프로세싱 장비 상에서 일련의 동작 단계들이 수행되어 컴퓨터로 실행되는 프로세스를 생성해서 컴퓨터 또는 기타 프로그램 가능한 데이터 프로세싱 장비를 수행하는 인스트럭션들은 흐름도 블록(들)에서 설명된 기능들을 실행하기 위한 단계들을 제공하는 것도 가능하다.
또한, 각 블록은 특정된 논리적 기능(들)을 실행하기 위한 하나 이상의 실행 가능한 인스트럭션들을 포함하는 모듈, 세그먼트 또는 코드의 일부를 나타낼 수 있다. 또, 몇 가지 대체 실행 예들에서는 블록들에서 언급된 기능들이 순서를 벗어나서 발생하는 것도 가능함을 주목해야 한다. 예컨대, 잇달아 도시되어 있는 두 개의 블록들은 사실 실질적으로 동시에 수행되는 것도 가능하고 또는 그 블록들이 때때로 해당하는 기능에 따라 역순으로 수행되는 것도 가능하다.
이 때, 본 실시 예에서 사용되는 '~부'라는 용어는 소프트웨어 또는 FPGA(field-Programmable Gate Array) 또는 ASIC(Application Specific Integrated Circuit)과 같은 하드웨어 구성요소를 의미하며, '~부'는 어떤 역할들을 수행한다. 그렇지만 '~부'는 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니다. '~부'는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다. 따라서, 일 예로서 '~부'는 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들, 및 변수들을 포함한다. 구성요소들과 '~부'들 안에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성요소들 및 '~부'들로 결합되거나 추가적인 구성요소들과 '~부'들로 더 분리될 수 있다. 뿐만 아니라, 구성요소들 및 '~부'들은 디바이스 또는 보안 멀티미디어카드 내의 하나 또는 그 이상의 CPU들을 재생시키도록 구현될 수도 있다.
본 발명의 실시예들을 구체적으로 설명함에 있어서, 특정 시스템의 예를 주된 대상으로 할 것이지만, 본 명세서에서 청구하고자 하는 주요한 요지는 유사한 기술적 배경을 가지는 여타의 통신 시스템 및 서비스에도 본 명세서에 개시된 범위를 크게 벗어나지 아니하는 범위에서 적용 가능하며, 이는 당해 기술분야에서 숙련된 기술적 지식을 가진 자의 판단으로 가능할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 장치의 개념도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 장치는 반도체생산설비의 제어를 위한 장치를 가상머신으로 구현하여 반복적인 데이터의 입출력에 의한 저장공간의 파손을 방지하고, 문제가 발생한 경우, 반도체생산설비의 동작중단없이 즉각적인 복구가 가능하도록 할 수 있다.
이 때, 사용자는 상기 반도체생산설비 인근에 위치하고, 네트워크를 통해 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 장치에 연결되어 상기 반도체생산설비의 제어 및 모니터링을 할 수 있다.
한편, PXE 기반의 반도체생산설비 제어 장치는 본 발명에서 '전자 장치(100)'로 호칭될 수도 있다.
이 때, 관리자단말(200)은 통신 가능한 데스크탑 컴퓨터(desktop computer), 랩탑 컴퓨터(laptop computer), 노트북(notebook), 스마트폰(smart phone), 태블릿 PC(tablet PC), 모바일폰(mobile phone), 스마트 워치(smart watch), 스마트 글래스(smart glass), e-book 리더기, PMP(portable multimedia player), 휴대용 게임기, 네비게이션(navigation) 장치, 디지털 카메라(digital camera), DMB(digital multimedia broadcasting) 재생기, 디지털 음성 녹음기(digital audio recorder), 디지털 음성 재생기(digital audio player), 디지털 동영상 녹화기(digital video recorder), 디지털 동영상 재생기(digital video player), PDA(Personal Digital Assistant) 등을 포함할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치(100)의 블록도이다.
일 실시예에 따른 전자 장치(100)는 프로세서(110) 및 메모리(120)를 포함한다. 프로세서(110)는 전술한 적어도 하나의 방법을 수행할 수 있다. 메모리(120)는 상술한 방법과 관련된 정보를 저장하거나 상술한 방법이 구현된 프로그램을 저장할 수 있다. 메모리(120)는 휘발성 메모리 또는 비휘발성 메모리일 수 있다. 메모리(120)는 '데이터베이스', '저장부' 등으로 호칭될 수 있다.
프로세서(110)는 프로그램을 실행하고, 전자 장치(100)를 제어할 수 있다. 프로세서(110)에 의하여 실행되는 프로그램의 코드는 메모리(120)에 저장될 수 있다. 장치(100)는 입출력 장치(미도시)를 통하여 외부 장치(예를 들어, 퍼스널 컴퓨터 또는 네트워크)에 연결되고, 데이터를 교환할 수 있다.
이 때, 상기 프로세서(110)는, 관리자단말(200)로부터 상기 관리자단말(200)에 대응하는 반도체생산설비의 제어를 위한 가상머신생성정보를 수신할 수 있다.
이 때, 상기 가상머신생성정보는 상기 반도체생산설비를 위하여 사용될 PC의 저장공간 등과 같은 스펙정보를 포함할 수 있다.
또한, 상기 프로세서(110)는, 상기 가상머신생성정보에 기반하여 내부저장장치에 제1 가상머신을 생성할 수 있다. 이 때, 상기 내부저장장치는 복수개의 저장매체로 구성될 수 있으며, 이와 관련해서는 후술하도록 한다.
또한, 상기 프로세서(110)는, 상기 제1 가상머신에 상기 반도체생산설비를 제어하기 위한 운영체제를 설치할 수 있다.
이 때, 상기 운영체제는 윈도우즈, 리눅스, 맥, 안드로이드 등 다양한 운영체제를 포함할 수 있다.
또한, 상기 프로세서(110)는, 상기 관리자단말(200)로부터 상기 반도체생산설비에서 생산할 반도체에 관한 생산프로그램을 수신하여 상기 운영체제에 설치할 수 있다. 이 때, 상기 생산프로그램은 상기 반도체생산설비를 제어하기 위하여 상기 반도체생산설비에서 제공한 소프트웨어일 수 있다.
또한, 상기 프로세서(110)는, 상기 제1 가상머신 및 상기 생산프로그램의 제어를 위한 컨트롤패널을 상기 관리자단말(200)에게 송신할 수 있다.
이 때, 상기 컨트롤패널은 상기 제1 가상머신의 전체 구성을 제어할 수 있도록 프로그래밍된 GUI일 수도 있고, 상기 생산프로그램의 제어를 위하여 프로그래밍된 GUI일 수도 있다.
또한, 상기 프로세서(110)는, 상기 관리자단말(200)로부터 상기 컨트롤패널에 대응하는 제어신호를 수신할 수 있다.
또한, 상기 프로세서(110)는, 상기 제어신호를 상기 반도체생산설비에게 송신할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부저장장치를 나타내는 도면이다.
상술한 바와 같이 상기 내부저장장치는 복수개의 저장매체를 포함하도록 구성될 수 있다. 이 때, 상기 저장매체는 HDD, SSD, 플래시메모리 등일 수 있다.
이 때, 도 3을 참조하면, 상기 프로세서(110)는, 상기 내부저장장치에 포함되는 복수개의 저장매체 중에서, 현재 생성되어 있는 가상머신이 없는 제1 저장매체와 현재 생성되어 있는 가상머신이 있는 제2 저장매체를 구분할 수 있다.
이는, 저장매체의 균등사용으로 인하여, 특정 저장매체만 과부하가 걸리지 않도록 하여 파손을 방지하기 위함이다.
이를 위하여, 상기 프로세서(110)는, 상기 제1 저장매체가 존재하는 경우, 상기 제1 저장매체에 상기 제1 가상머신을 생성하는 제1 생성모드로 동작하고, 상기 제1 저장매체가 존재하지 않는 경우, 상기 제2 저장매체 중에서 내부잔여용량이 가장 큰 제3 저장매체에 상기 제1 가상머신을 생성하는 제2 생성모드로 동작할 수 있다.
또한, 상기 프로세서(110)는 상기 생성프로그램을 포함하는 상기 운영체제를 기설정된 백업기간 마다 백업을 진행하여 백업파일을 생성하고, 상기 백업파일을 기설정된 보관기간동안 보관할 수 있다.
이 때, 상기 프로세서(110)는 누적된 상기 제어신호도 함께 백업할 수도 있다.
이는, 가상머신에 문제가 발생한 경우, 문제가 없었던 당시의 시스템으로 복원하여 반도체생산설비의 빠른 복구를 지원하기 위함이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 백업파일의 보관기간의 도출을 나타내는 도면이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 백업파일의 백업기간의 도출을 나타내는 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 프로세서(110)는, 상기 제1 가상머신이 생성된 저장매체의 사용이력에 기반하여, 동일한 생성프로그램이 설치된 제2 가상머신에 의하여 제어되는 반도체생산설비의 기설정된 임시기간별 불량률의 변화률이 기설정된 임계변화률을 초과하는 임시기간의 평균기간간격으로 상기 백업기간을 설정할 수 있다.
이 때, 상기 임시기간별 불량률의 변화률은 이전 임시기간의 불량률에 비하여 대폭증가한 경우를 추출하기 위함이다.
이 때, 상기 임시기간은 관리자에 의하여 임의로 설정될 수 있다. 이에 따라 임시기간별 불량률을 관리자단말(200)을 통해 수신할 수도 있다.
또한, 상기 임계변화률은 급격한 불량률의 급증을 확인하기 위한 것으로써, 상기 관리자에 의하여 임의로 설정될 수 있고, 예를 들면 약 20%, 30% 등으로 설정될 수 있다.
또한, 상기 프로세서(110)는, 전체 저장매체의 사용이력에 기반하여, 상기 백업파일에 의하여 복원된 제1 시점과 상기 백업파일이 생성된 제2 시점의 차이기간의 평균값으로 상기 보관기간을 설정할 수 있다.
이를 통하여 가장 효율적인 보관기간을 도출할 수 있다.
또한, 상기 프로세서(110)는, 상기 관리자단말(200)로부터 상기 백업기간마다 상기 반도체생산설비의 불량률을 수신하고, 상기 불량률이 기설정된 제1 임계불량률을 초과하는 경우, 기존에 생성된 복수개의 상기 백업파일 중에서 복원을 추천하는 추천백업파일을 도출하여 상기 관리자단말(200)로 상기 추천백업파일 및 복원의 추천을 나타내는 정보를 송신할 수 있다.
이는, 불량률이 높아진 것은 가상머신에 문제가 발생한 것으로 볼 수 있기 때문에, 백업한 백업파일 중에서 가장 안전한 것으로 판단되는 백업파일을 추천하여 관리자가 원활하게 복구할 수 있도록 지원하기 위함이다.
이 때, 상기 제1 임계불량률은 상기 관리자에 의하여 임의로 설정될 수도 있고, 예를 들면 30%, 40% 등으로 설정될 수도 있다.
보다 상세하게 살펴보면, 상기 프로세서(110)는, 복수개의 상기 백업파일 중에서 동일한 상기 생산프로그램이 실행되던 제1 백업파일을 도출하고, 상기 제1 백업파일 중에서 상기 제1 백업파일이 생성되는 시점의 제1 불량률이 상기 제1 임계불량률 이하인 제2 백업파일을 도출하고, 상기 제2 백업파일에 대하여 복원추천도를 산출하고, 상기 제2 백업파일 중에서 상기 복원추천도가 기설정된 임계추천도를 초과하는 제3 백업파일을 도출하고, 상기 제3 백업파일을 상기 추천백업파일로 도출할 수 있다.
이 때, 상기 임계추천도는 상기 제2 백업파일의 상기 복원추천도의 평균값으로 설정될 수 있다.
이때, 상기 복원추천도는, 아래 수학식 1에 의하여 산출될 수 있다.
[수학식 1]
이 때, DoRR(Degree of Recommendation for Restoration)은 상기 복원추천도를 의미하고, NoTP(Number of Total Parameters)는 상기 생산프로그램에서 제어할 수 있는 설정파라미터의 전체수를 의미하고, NoDP(Number of Different Parameters)는 상기 설정파라미터 중에서 상기 제2 백업파일을 생성하는 시점의 제1 설정파라미터와 상기 추천백업파일을 도출하는 시점의 제2 설정파라미터를 비교할때 차이나는 설정파라미터의 수를 의미할 수 있다.
이는, 관리자가 설정해둔 파라미터의 변화가 적은 백업파일로 복원을 추천하는 것이 반도체생산설비를 보다 신속하게 복구할 수 있기 때문이다.
또한, DR2(Defect Rate)는 상기 제2 백업파일이 생성되는 시점의 제2 불량률을 의미하고, EADR(External Average Defect Rate)는 상기 제2 백업파일이 생성되는 시점에, 상기 반도체생산설비와 같은 공간에 위치하는 다른반도체생산설비의 평균불량률을 의미할 수 있다.
이는 도 6에 도시된 바와 같이 같은 공간에 있는 반도체생산설비의 불량률이 상호간에 비슷하게 높다면, 이는 가상머신의 문제가 아니라, 해당 공간에 외부적인 요인이 영향을 미친 것으로 볼 수 있기 때문에, 이에 대한 사안도 고려하여 상기 복원추천도를 산출하기 위함이다.
상술한 구성들을 통하여, 반도체생산설비의 원활한 관리와 복원이 가능할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 방법의 흐름도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 방법은 관리자단말(200)로부터 상기 관리자단말(200)에 대응하는 반도체생산설비의 제어를 위한 가상머신생성정보를 수신할 수 있다(S101).
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 방법은 상기 가상머신생성정보에 기반하여 내부저장장치에 제1 가상머신을 생성할 수 있다(S103).
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 방법은 상기 제1 가상머신에 상기 반도체생산설비를 제어하기 위한 운영체제를 설치할 수 있다(S105).
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 방법은 상기 관리자단말(200)로부터 상기 반도체생산설비에서 생산할 반도체에 관한 생산프로그램을 수신하여 상기 운영체제에 설치할 수 있다(S107).
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 방법은 상기 생산프로그램의 제어를 위한 컨트롤패널을 상기 관리자단말(200)에게 송신할 수 있다(S109).
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 방법은 상기 관리자단말(200)로부터 상기 컨트롤패널에 대응하는 제어신호를 수신할 수 있다(S111).
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 방법은 상기 제어신호를 상기 반도체생산설비에게 송신할 수 있다(S113).
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 방법은 도 1 내지 도 6에 개시된 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 장치와 동일하게 구성될 수 있다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 서비스 제공 내용이 디스플레이를 통해 출력되는 화면을 나타내는 도면이다.
도 8을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 PXE 기반의 반도체생산설비 제어 장치, 즉 전자 장치(100)는 반도체 공정 관리 프로그램 시작을 위하여 사용자 로그인 정보를 입력 받을 수 있다. 반도체생산설비(및/또는 전자 장치(100))의 오류가 발생했을 경우 시스템을 복구, 복원, 데이터를 저장하기 위한 아이콘을 포함하는 인터페이스(및/또는 UI, UX)를 생성하여 관리자단말(200)을 통해 제공할 수 있다.
도 9를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치(100)는 반도체생산설비를 모니터링하고, 관리하기 위한 기능을 수행하는 다양한 아이콘을 포함하는 인터페이스(및/또는 UI, UX)를 생성하여 관리자단말(200)을 통해 제공할 수 있다.
이상에서 설명된 실시예들은 하드웨어 구성요소, 소프트웨어 구성요소, 및/또는 하드웨어 구성요소 및 소프트웨어 구성요소의 조합으로 구현될 수 있다. 예를 들어, 실시예들에서 설명된 장치, 방법 및 구성요소는, 예를 들어, 프로세서, 컨트롤러, ALU(arithmetic logic unit), 디지털 신호 프로세서(digital signal processor), 마이크로컴퓨터, FPGA(field programmable gate array), PLU(programmable logic unit), 마이크로프로세서, 또는 명령(instruction)을 실행하고 응답할 수 있는 다른 어떠한 장치와 같이, 하나 이상의 범용 컴퓨터 또는 특수 목적 컴퓨터를 이용하여 구현될 수 있다. 처리 장치는 운영 체제(OS) 및 상기 운영 체제 상에서 수행되는 하나 이상의 소프트웨어 애플리케이션을 수행할 수 있다. 또한, 처리 장치는 소프트웨어의 실행에 응답하여, 데이터를 접근, 저장, 조작, 처리 및 생성할 수도 있다. 이해의 편의를 위하여, 처리 장치는 하나가 사용되는 것으로 설명된 경우도 있지만, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는, 처리 장치가 복수 개의 처리 요소(processing element) 및/또는 복수 유형의 처리 요소를 포함할 수 있음을 알 수 있다. 예를 들어, 처리 장치는 복수 개의 프로세서 또는 하나의 프로세서 및 하나의 콘트롤러를 포함할 수 있다. 또한, 병렬 프로세서(parallel processor)와 같은, 다른 처리 구성(processing configuration)도 가능하다.
실시예에 따른 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체에 기록되는 프로그램 명령은 실시예를 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다. 상기된 하드웨어 장치는 실시예의 동작을 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.
소프트웨어는 컴퓨터 프로그램(computer program), 코드(code), 명령(instruction), 또는 이들 중 하나 이상의 조합을 포함할 수 있으며, 원하는 대로 동작하도록 처리 장치를 구성하거나 독립적으로 또는 결합적으로(collectively) 처리 장치를 명령할 수 있다. 소프트웨어 및/또는 데이터는, 처리 장치에 의하여 해석되거나 처리 장치에 명령 또는 데이터를 제공하기 위하여, 어떤 유형의 기계, 구성요소(component), 물리적 장치, 가상 장치(virtual equipment), 컴퓨터 저장 매체 또는 장치, 또는 전송되는 신호 파(signal wave)에 영구적으로, 또는 일시적으로 구체화(embody)될 수 있다. 소프트웨어는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템 상에 분산되어서, 분산된 방법으로 저장되거나 실행될 수도 있다. 소프트웨어 및 데이터는 하나 이상의 컴퓨터 판독 가능 기록 매체에 저장될 수 있다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.

Claims (5)

  1. 전자 장치에 있어서,
    내부저장장치; 및
    프로세서(processor); 를 포함하고,
    상기 프로세서는:
    관리자단말로부터 상기 관리자단말에 대응하는 반도체생산설비의 제어를 위한 가상머신생성정보를 수신하되, 상기 가상머신생성정보는 내부저장장치의 저장공간을 나타내는 스펙정보를 포함하고,
    상기 반도체생산설비에서 생산할 반도체에 관한 생산프로그램을 상기 관리자단말로부터 수신하고,
    상기 생산프로그램의 제어를 위한 컨트롤패널을 상기 관리자단말에게 송신하고,
    상기 관리자단말로부터 상기 컨트롤패널에 대응하는 제어신호를 수신하고,
    상기 제어신호를 상기 반도체생산설비에게 송신하고,
    상기 프로세서는:
    상기 내부저장장치에 포함되는 복수개의 저장매체 중에서, 현재 생성되어 있는 가상머신이 없는 제1 저장매체와 현재 생성되어 있는 가상머신이 있는 제2 저장매체를 구분하고,
    상기 제1 저장매체가 존재하는 경우, 상기 제1 저장매체에 제1 가상머신을 상기 가상머신생성정보에 기반하여 생성하는 제1 생성모드로 동작하고,
    상기 제1 저장매체가 존재하지 않는 경우, 상기 제2 저장매체 중에서 내부잔여용량이 가장 큰 제3 저장매체에 상기 제1 가상머신을 상기 가상머신생성정보에 기반하여 생성하는 제2 생성모드로 동작하고,
    상기 프로세서는:
    상기 생산프로그램 및 누적된 상기 제어신호를 기설정된 백업기간 마다 백업을 진행하여 백업파일을 생성하고,
    상기 백업파일을 기설정된 보관기간동안 보관하고,
    상기 제1 가상머신이 생성된 저장매체의 사용이력에 기반하여, 동일한 생산프로그램이 설치된 제2 가상머신에 의하여 제어되는 반도체생산설비의 기설정된 임시기간별 불량률의 변화률이 기설정된 임계변화률을 초과하는 임시기간의 평균기간간격으로 상기 백업기간을 설정하되, 상기 임시기간은 상기 관리자단말의 관리자에 의하여 임의로 설정되고,
    상기 관리자단말로부터 상기 백업기간마다 상기 반도체생산설비의 불량률을 수신하고,
    상기 불량률이 기설정된 제1 임계불량률을 초과하는 경우, 기존에 생성된 복수개의 상기 백업파일 중에서 복원을 추천하는 추천백업파일을 도출하여 상기 관리자단말로 상기 추천백업파일 및 복원의 추천을 나타내는 정보를 송신하고,
    상기 프로세서는:
    복수개의 상기 백업파일 중에서 동일한 상기 생산프로그램이 실행되던 제1 백업파일을 도출하고,
    상기 제1 백업파일 중에서 상기 제1 백업파일이 생성되는 시점의 제1 불량률이 상기 제1 임계불량률 이하인 제2 백업파일을 도출하고,
    상기 제2 백업파일에 대하여 복원추천도를 산출하고,
    상기 제2 백업파일 중에서 상기 복원추천도가 기설정된 임계추천도를 초과하는 제3 백업파일을 도출하고,
    상기 제3 백업파일을 상기 추천백업파일로 도출하고,
    상기 복원추천도는, 아래 수학식에 의하여 산출되되,
    [수학식]

    DoRR(Degree of Recommendation for Restoration)은 상기 복원추천도를 의미하고, NoTP(Number of Total Parameters)는 상기 생산프로그램에서 제어할 수 있는 설정파라미터의 전체수를 의미하고, NoDP(Number of Different Parameters)는 상기 설정파라미터 중에서 상기 제2 백업파일을 생성하는 시점의 제1 설정파라미터와 상기 추천백업파일을 도출하는 시점의 제2 설정파라미터를 비교할때 차이나는 설정파라미터의 수를 의미하고, DR2(Defect Rate)는 상기 제2 백업파일이 생성되는 시점의 제2 불량률을 의미하고, EADR(External Average Defect Rate)는 상기 제2 백업파일이 생성되는 시점에, 상기 반도체생산설비와 같은 공간에 위치하는 다른반도체생산설비의 평균불량률을 의미하는 것을 특징으로 하는, 전자 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 프로세서는,
    상기 백업파일에 의하여 복원한 제1 시점과 상기 백업파일이 생성된 제2 시점의 차이기간의 평균값으로 상기 보관기간을 설정하는 것을 특징으로 하는, 전자 장치.
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