KR101404069B1 - Heat Treatment Chamber and Method of Substrate with Easy Maintenance, and Heat Treatment Apparatus of Substrate Having the Same - Google Patents

Heat Treatment Chamber and Method of Substrate with Easy Maintenance, and Heat Treatment Apparatus of Substrate Having the Same Download PDF

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Abstract

Disclosed are a substrate heat treatment chamber with easy maintenance and a method, and a substrate heat treatment apparatus having the same. A substrate heat treatment chamber according to the present invention includes an upper and a lower operation plate housing which are respectively detachable from a heat treatment chamber housing. The upper and the lower operation plate housing includes a heater unit which comprises lamp heaters which are detachable along cut-off parts which are formed at regular intervals; and a lift pin unit which comprises lift pins for mounting a substrate which are respectively provided to the upper part of the lower operation plate housing. The heat treatment housing and the upper and the lower operation plate housing form a heat treatment space for heat-treating the substrate and perform maintenance operations after the lower operation plate housing is detached from the heat treatment chamber housing when the maintenance of the lamp heater is required.

Description

유지보수가 용이한 기판 열처리 챔버 및 방법, 및 이를 구비한 기판 열처리 장치{Heat Treatment Chamber and Method of Substrate with Easy Maintenance, and Heat Treatment Apparatus of Substrate Having the Same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate heat treatment chamber and method for easily performing maintenance, and a substrate heat treatment apparatus having the same,

본 발명은 유지보수가 용이한 기판 열처리 챔버 및 방법, 및 이를 구비한 기판 열처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate heat treatment chamber and method that are easy to maintain, and a substrate heat treatment apparatus having the same.

좀 더 구체적으로, 본 발명은 열처리 챔버 내에서 각각이 복수의 램프를 포함하는 램프 유닛이 착탈 가능하게 장착되고, 복수의 램프 사이에 복수의 냉각홀(cooling hole)이 형성되는 복수의 플레이트 하우징(plate housing)을 제공하고, 복수의 플레이트 하우징 사이에 복수의 기판을 장착하며, 상기 복수의 램프가 장착되는 방향의 기판의 양 단부 상에 별도의 하나 이상의 램프를 제공함으로써, 복수의 램프 히터 간의 열간섭이 배제되고, 흄 제거와 같은 세정 공정 및 복수의 램프의 고장 발생 시의 교체 공정과 같은 유지보수(maintenance)가 매우 용이하게 이루어지는 기판 열처리 챔버 및 방법, 및 이를 구비한 기판 열처리 장치에 관한 것이다.More specifically, the present invention relates to a plasma processing apparatus comprising a plurality of plate housings (1, 2, 3, 4) each having a lamp unit including a plurality of lamps detachably mounted in a heat treatment chamber and having a plurality of cooling holes plate housings, mounting a plurality of substrates between a plurality of plate housings, and providing at least one lamp on both ends of the substrate in the direction in which the plurality of lamps are mounted, The present invention relates to a substrate heat treatment chamber and method in which interference is eliminated and maintenance such as a cleaning process such as fume removal and a replacement process when a plurality of lamps are broken occurs is very easy and a substrate heat treatment apparatus having the same .

반도체, 평판 디스플레이 및 태양전지 제조에 사용되는 어닐링(annealing) 장치는 실리콘 웨이퍼나 글래스와 같은 기판 상에 증착되어 있는 소정의 필름에 대하여 결정화, 상 변화 등의 공정을 위하여 필수적인 열처리를 수행하는 장치이다.An annealing apparatus used for manufacturing semiconductors, flat panel displays, and solar cells is an apparatus for performing heat treatment necessary for crystallization, phase change, and the like on a predetermined film deposited on a substrate such as a silicon wafer or glass .

대표적인 어닐링 장치로는 액정 디스플레이 또는 박막형 결정질 실리콘 태양전지를 제조하는 경우 글래스 기판 상에 증착된 비정질 실리콘을 폴리 실리콘으로 결정화시키는 실리콘 결정화 장치가 있다.A typical annealing apparatus is a silicon crystallization apparatus for crystallizing amorphous silicon deposited on a glass substrate into polysilicon when a liquid crystal display or a thin film crystalline silicon solar cell is manufactured.

이와 같은 결정화 공정을 수행하기 위해서는 소정의 박막 필름(이하 "필름"이라 함)이 형성되어 있는 기판의 히팅이 가능한 열처리 장치가 있어야 한다. 예를 들어, 비정질 실리콘의 결정화를 위해서는 최소한 550 내지 600℃의 온도가 필요하다.In order to perform such a crystallization process, a heat treatment apparatus capable of heating a substrate on which a predetermined thin film (hereinafter referred to as a "film") is formed must be provided. For example, for crystallization of amorphous silicon, a temperature of at least 550 to 600 DEG C is required.

통상적으로 열처리 장치에는 하나의 기판에 대하여 열처리를 수행할 수 있는 매엽식과 복수의 기판에 대하여 열처리를 수행할 수 있는 배치식이 있다. 매엽식은 장치의 구성이 간단한 이점이 있으나 생산성이 떨어지는 단점이 있어서 최근의 대량 생산용으로는 배치식이 각광을 받고 있다.Generally, a heat treatment apparatus includes a single-wafer type in which heat treatment can be performed on one substrate, and a batch type in which heat treatment can be performed on a plurality of substrates. There is a merit of simple configuration of the apparatus, but there is a disadvantage that the productivity is low, and the batch formula is getting popular for the mass production in recent years.

도 1은 종래 기술에 따른 배치식 열처리 장치의 구성을 도시한 사시도이고, 도 2a는 도 1에 도시된 종래 기술에 따른 배치식 열처리 장치의 챔버의 구성을 도시한 사시도이며, 도 2b는 종래 기술에 따른 배치식 열처리 장치의 기판, 메인 히터 유닛 및 보조 히터 유닛의 배치 상태를 도시한 사시도이다. 이러한 종래 기술에 따른 배치식 열처리 장치는 예를 들어, 허판선 등에 의해 2008년 7월 16일자에 "배치식 열처리 장치"라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허출원 제10-2008-0069329로 출원된 후, 2011년 2월 11일자로 등록된 대한민국 특허 제10-1016048호에 상세히 기술되어 있다.FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a batch type heat treatment apparatus according to the prior art, FIG. 2 (a) is a perspective view showing a configuration of a chamber of a batch type heat treatment apparatus according to the prior art shown in FIG. 1, Fig. 5 is a perspective view showing the arrangement of the substrate, the main heater unit, and the auxiliary heater unit of the batch type heat treatment apparatus according to the first embodiment. Such a batch heat treatment apparatus according to the prior art is filed in Korean Patent Application No. 10-2008-0069329, entitled " Batch Heat Treatment Apparatus ", filed July 16, 2008 by Huh, Are described in detail in Korean Patent No. 10-1016048, filed on February 11,

도 1 내지 도 2b를 참조하면, 종래 기술에 따른 배치식 열처리 장치(1)에서는 열처리 공간을 제공하는 직육면체 형상의 챔버(100)와, 챔버(100)를 지지하는 프레임(110)을 포함하여 구성된다.1 to 2B, a batch type thermal processing apparatus 1 according to the related art includes a chamber 100 having a rectangular parallelepiped shape for providing a heat treatment space and a frame 110 for supporting the chamber 100, do.

챔버(100)의 일측에는 챔버(100)에 기판(10)을 로딩하기 위하여 상하 방향으로 개폐되는 도어(140)가 설치된다. 도어(140)가 개방된 상태에서 트랜스퍼 암과 같은 기판 로딩 장치(미도시)를 이용하여 기판(10)을 챔버(100)로 로딩할 수 있다. 한편, 열처리가 종료된 후 도어(140)를 통하여 챔버(100)로부터 기판(10)을 언로딩할 수도 있다.A door 140 is installed at one side of the chamber 100 to open and close the chamber 100 in order to load the substrate 10 into the chamber 100. The substrate 10 can be loaded into the chamber 100 by using a substrate loading device (not shown) such as a transfer arm in a state where the door 140 is opened. On the other hand, after the heat treatment is completed, the substrate 10 may be unloaded from the chamber 100 through the door 140.

챔버(100)의 상측에는 챔버(100)의 내부에 설치되는, 예를 들어 보트(120), 가스 공급관(300) 및 가스 배출관(미도시) 등의 수리 및 교체를 위하여 커버(160)가 개폐 가능하도록 설치된다.A cover 160 is provided on the upper side of the chamber 100 for repairing and replacing the boat 120, the gas supply pipe 300 and the gas discharge pipe (not shown) .

챔버(100)의 내부에는 기판(10)을 직접 가열하기 위한 메인 히터 유닛(200)과, 챔버(100) 내부의 열 손실을 방지하기 위한 보조 히터 유닛(220)과, 열처리가 종료된 후 챔버(100) 내부를 신속하게 냉각시키기 위한 냉각관(250)이 설치된다.A main heater unit 200 for directly heating the substrate 10 in the chamber 100, an auxiliary heater unit 220 for preventing heat loss in the chamber 100, A cooling pipe 250 for rapidly cooling the inside of the cooling pipe 100 is installed.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 메인 히터 유닛(200)은 기판(10)의 단변 방향과 평행하게 일정한 간격을 가지면서 단위 메인 히터(210)를 포함한다. 단위 메인 히터(210)는 길이가 긴 원통형의 히터로서 석영관 내부에 발열체가 삽입되어 있고 양단에 설치된 단자를 통하여 외부의 전원을 인가받아 열을 발생시키는 메인 히터 유닛(200)을 구성하는 단위체이다. 메인 히터 유닛(200)은 기판(10)의 적층 방향을 따라 일정 간격을 가지면서 복수개가 배치된다. 기판(10)은 복수의 메인 히터 유닛(200) 사이에 배치된다.Referring to FIGS. 2A and 2B, the main heater unit 200 includes a unit main heater 210 having a predetermined interval in parallel with the short side direction of the substrate 10. The unit main heater 210 is a unitary body that constitutes a main heater unit 200 having a long cylindrical heater and having a heating element inserted into a quartz tube and generating external heat by receiving external power through terminals provided at both ends . A plurality of main heater units 200 are arranged at regular intervals along the stacking direction of the substrates 10. The substrate 10 is disposed between a plurality of main heater units 200.

상술한 바와 같이 종래 기술에 따른 배치식 열처리 장치(1)에서는 기판(10)의 상부 및 하부에 기판(10)의 전면적을 커버할 수 있는 단위 메인 히터(210)로 구성되는 메인 히터 유닛(200)이 설치됨으로써, 기판(10)은 단위 메인 히터(210)로부터 전면적에 걸쳐서 균일하게 열을 인가받아 열처리가 균일하게 이루어질 수 있다.As described above, in the batch type thermal processing apparatus 1 according to the related art, a main heater unit 200 (hereinafter, referred to as " main heater ") 200 composed of a unit main heater 210 capable of covering the entire surface of the substrate 10, The substrate 10 can uniformly receive heat from the unit main heater 210 over the entire surface thereof, thereby uniformly performing the heat treatment.

또한, 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 보조 히터 유닛(220)은 기판(10)의 단변 방향을 따라 평행하게 배치되는 제1 보조 히터유닛(220a)과 기판(10)의 장변 방향을 따라 배치되는 제2 보조 히터 유닛(220b)을 포함한다. 제1 보조 히터 유닛(220a)은 메인 히터 유닛(200)의 양측에 단위 메인 히터(210)와 평행하게 배치되는 복수의 제1 단위 보조 히터(230a)를 포함한다.2A and 2B, the auxiliary heater unit 220 includes a first auxiliary heater unit 220a disposed parallel to the short side direction of the substrate 10 and a second auxiliary heater unit 220b disposed along the long side direction of the substrate 10 And a second auxiliary heater unit 220b. The first auxiliary heater unit 220a includes a plurality of first unit auxiliary heaters 230a disposed on both sides of the main heater unit 200 in parallel with the unit main heaters 210. [

또한, 종래 기술에서는 복수의 기판(10)을 지지하기 위한 보트(120)가 사용된다. Further, in the prior art, a boat 120 for supporting a plurality of substrates 10 is used.

좀 더 구체적으로, 도 3a 및 도 3b는 종래 기술에 따른 배치식 열처리 장치에 사용되는 보트의 구성을 도시한 사시도 및 단면도이다.More specifically, FIGS. 3A and 3B are a perspective view and a cross-sectional view showing a configuration of a boat used in a batch type heat treatment apparatus according to the prior art.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 챔버(100)의 내부에는 챔버(100)로 로딩된 기판(10)을 지지하기 위한 보트(120)가 설치되어 있다. 보트(120)는 기판(10)의 장변측을 지지하도록 설치되는 것이 바람직하다.Referring to FIGS. 3A and 3B, a boat 120 for supporting a substrate 10 loaded into a chamber 100 is installed in a chamber 100. The boat 120 is preferably installed to support the long side of the substrate 10.

또한, 기판(10)은 홀더(12)에 장착된 상태로 보트(120)에 로딩되는 것이 바람직하다. 열처리 과정 중에 열처리 온도가 복수의 기판(10)의 연화(softening) 온도에 도달하면 기판 자체의 무게 때문에 기판의 아래 방향으로의 휨 현상이 발생하는데, 특히 이러한 휨 현상은 기판이 대면적화 됨에 따라 더 큰 문제가 된다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 종래 기술에서는 기판(10)을 홀더(12)에 장착한 상태로 열처리를 진행한다.Further, the substrate 10 is preferably loaded on the boat 120 while being mounted on the holder 12. When the heat treatment temperature reaches the softening temperature of the plurality of substrates 10 during the heat treatment process, the substrate may be warped downward due to the weight of the substrate itself. In particular, It becomes a big problem. In order to solve such a problem, in the prior art, the substrate 10 is mounted on the holder 12 and the heat treatment proceeds.

상술한 종래 기술에 따른 배치식 열처리 장치(1)는 챔버에 로딩되는 복수의 기판에 대해 동시에 열처리가 가능함으로써 기판의 생산성을 향상시키는 효과가 달성되지만, 여전히 다음과 같은 문제점을 갖는다.The above-described batch type thermal processing apparatus 1 according to the related art can achieve heat treatment at the same time on a plurality of substrates loaded in the chamber, thereby achieving the effect of improving the productivity of the substrate, but still has the following problems.

1. 기판(10)을 가열하기 위한 메인 히터 유닛(200)과 챔버(100) 내부의 열 손실을 방지하기 위한 보조 히터 유닛(220)이 모두 챔버(100)를 가로질러 제공되고 메인 히터 유닛(200)과 보조 히터 유닛(220)의 양단부는 모두 챔버(100)의 외부에 돌출되어 체결된다. 이러한 상태에서, 열처리에 의해 기판(10) 및 기판(10) 상의 필름에서 발생하는 흄(fume)이 메인 히터 유닛(200) 및 보조 히터 유닛(220) 상에 증착된다. 그에 따라, 시간이 경과함에 따라 메인 히터 유닛(200)과 보조 히터 유닛(220)의 열효율이 크게 저하된다. 따라서, 메인 히터 유닛(200)과 보조 히터 유닛(220)의 열효율을 유지하기 위해서는 흄을 제거하여야 한다. 이를 위해, 챔버(100)의 외부에 돌출되어 체결된 메인 히터 유닛(200)과 보조 히터 유닛(220)의 양단부를 모두 해제한 후, 흄을 제거하고, 다시 챔버(100)의 외부에 돌출되도록 체결하여야 한다. 통상적으로, 챔버(100)의 사이즈는 가로, 세로, 및 높이가 각각 수 미터로 상당히 크고, 사용되는 메인 히터 유닛(200)과 보조 히터 유닛(220)을 구성하는 복수의 단위 메인 히터(210) 및 복수의 제1 단위 보조 히터(230a)의 길이도 수 미터로 상당히 길어, 작업자가 챔버(100) 내부로 진입하여 복수의 단위 메인 히터(210) 및 복수의 제1 단위 보조 히터(230a)를 일일이 해제, 흄 제거, 및 재체결 공정을 수행하여야 한다. 또한, 작업자가 챔버(100) 내부로 진입하여 복수의 단위 메인 히터(210) 및 복수의 제1 단위 보조 히터(230a)를 일일이 해제할 때, 챔버(100) 내에 장착된 보트(120)의 존재로 인하여 해제 공정 도중 고장이 발생하지 않은 단위 메인 히터(210) 및 제1 단위 보조 히터(230a)가 파손되는 등의 문제가 발생할 수 있으며, 이를 방지하기 위해 작업자의 상당한 주의력이 요구된다. 1. Both the main heater unit 200 for heating the substrate 10 and the auxiliary heater unit 220 for preventing heat loss inside the chamber 100 are provided across the chamber 100 and the main heater unit 200 200 and the auxiliary heater unit 220 are both protruded to the outside of the chamber 100. In this state, fumes generated in the film on the substrate 10 and the substrate 10 are deposited on the main heater unit 200 and the auxiliary heater unit 220 by the heat treatment. As a result, the thermal efficiency of the main heater unit 200 and the auxiliary heater unit 220 significantly decreases with time. Therefore, in order to maintain the thermal efficiency of the main heater unit 200 and the auxiliary heater unit 220, the fume must be removed. To this end, both ends of the main heater unit 200 and the auxiliary heater unit 220 protruded and coupled to the outside of the chamber 100 are released, and then the fume is removed. Should be tightened. Generally, the size of the chamber 100 is considerably large in the order of several meters in width, height, and height, and a plurality of unit main heaters 210, which constitute the main heater unit 200 and the auxiliary heater unit 220, And the length of the plurality of first unit auxiliary heaters 230a is also considerably long as several meters so that the operator enters the inside of the chamber 100 and the plurality of unit main heaters 210 and the plurality of first unit auxiliary heaters 230a Release, fume removal, and re-tightening processes should be performed. In addition, when the operator enters the inside of the chamber 100 and releases the plurality of unit main heaters 210 and the plurality of first unit auxiliary heaters 230a, the presence of the boat 120 mounted in the chamber 100 The unit main heater 210 and the first unit auxiliary heater 230a, which have not failed during the release process, may be damaged. To prevent this, a great deal of attention is required by the operator.

따라서. 흄 세정에 따른 전체 공정 시간 및 비용이 크게 증가한다.therefore. The overall process time and cost due to the fume cleaning are greatly increased.

2. 또한, 메인 히터 유닛(200)과 보조 히터 유닛(220)을 구성하는 복수의 단위 메인 히터(210) 및 복수의 제1 단위 보조 히터(230a) 중 하나 이상이 고장이 발생한 경우, 고장이 발생한 단위 메인 히터(210) 또는 제1 단위 보조 히터(230a)를 교체하기 위해서는 상술한 바와 같이 해제, 교체, 및 재체결 공정을 수행하여야 한다. 이 때, 고장이 발생한 단위 메인 히터(210) 또는 제1 단위 보조 히터(230a)가 챔버(100)의 도어를 기준으로 내측에 위치된 경우, 도어와 고장이 발생한 단위 메인 히터(210) 또는 제1 단위 보조 히터(230a) 사이의 정상 상태의 단위 메인 히터(210) 또는 제1 단위 보조 히터(230a)를 해제, 교체, 및 재체결 공정을 수행하여야 한다. 따라서, 복수의 단위 메인 히터(210) 및 복수의 제1 단위 보조 히터(230a) 중 하나 이상의 고장 발생에 따른 교체 공정에 소요되는 시간이 지나치게 길어지게 되어 전체 공정 시간 및 비용이 크게 증가한다.2. When a failure occurs in one or more of the plurality of unit main heaters 210 and the plurality of first unit auxiliary heaters 230a constituting the main heater unit 200 and the auxiliary heater unit 220, In order to replace the generated unit main heater 210 or the first unit auxiliary heater 230a, the releasing, replacing, and re-fastening processes must be performed as described above. At this time, if the unit main heater 210 or the first unit auxiliary heater 230a in which the failure occurs is located inside the chamber 100 with respect to the door, The unit main heater 210 or the first unit auxiliary heater 230a in the steady state between the one unit auxiliary heaters 230a must be released, replaced, and re-tightened. Accordingly, the time required for the replacement process due to the occurrence of one or more of the plurality of unit main heaters 210 and the plurality of first unit auxiliary heaters 230a becomes excessively long, which increases the overall process time and cost.

따라서, 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다. Therefore, there is a need for a new method for solving the problems of the above-described conventional techniques.

대한민국 특허 제10-1016048호Korean Patent No. 10-1016048

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 열처리 챔버 내에서 각각이 복수의 램프를 포함하는 램프 유닛이 착탈 가능하게 장착되고, 복수의 램프 사이에 복수의 냉각홀(cooling hole)이 형성되는 복수의 플레이트 하우징(plate housing)을 제공하고, 복수의 플레이트 하우징 사이에 복수의 기판을 장착하며, 상기 복수의 램프가 장착되는 방향의 기판의 양 단부 상에 별도의 하나 이상의 램프를 제공함으로써, 복수의 램프 히터 간의 열간섭이 배제되고, 흄 제거와 같은 세정 공정 및 복수의 램프의 고장 발생 시의 교체 공정과 같은 유지보수(maintenance)가 매우 용이하게 이루어지는 기판 열처리 챔버 및 방법, 및 이를 구비한 기판 열처리 장치를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a heat treatment apparatus and a method of manufacturing the same, in which a lamp unit including a plurality of lamps is detachably mounted in a heat treatment chamber, By providing a plurality of plates between a plurality of plate housings and by providing one or more separate lamps on both ends of the substrate in the direction in which the plurality of lamps are mounted, A substrate heat treatment chamber and method in which heat interference between lamp heaters is eliminated and maintenance such as a cleaning process such as fume removal and a replacement process when a plurality of lamps are broken occurs is very easy, Device.

본 발명의 제 1 특징에 따른 기판 열처리 챔버는 열처리 챔버 하우징에 각각 착탈가능하게 장착되는 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징을 포함하되, 상기 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징은 각각 일정 간격으로 형성된 복수의 컷오프부를 따라 착탈 가능하게 장착되는 복수의 램프 히터로 구성되는 히터 유닛; 및 상기 하부 가동 플레이트 하우징의 상부에 각각 제공되며, 기판을 장착하기 위한 복수의 리프트 핀으로 구성되는 리프트 핀 유닛을 포함하고, 상기 열처리 챔버 하우징 및 상기 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징은 상기 기판을 열처리하기 위한 열처리 공간을 형성하며, 상기 복수의 램프 히터의 유지보수가 필요한 경우 상기 하부 가동 플레이트 하우징을 상기 열처리 챔버 하우징에서 탈착시킨 후 상기 유지보수 동작을 수행하는 것을 특징으로 한다.The substrate heat treatment chamber according to the first aspect of the present invention includes upper and lower movable plate housings detachably mounted on a heat treatment chamber housing, respectively, wherein the upper and lower movable plate housings include a plurality of cut- A heater unit comprising a plurality of lamp heaters detachably mounted; And a lift pin unit, each of which is provided on an upper portion of the lower movable plate housing, the lift pin unit comprising a plurality of lift pins for mounting a substrate, wherein the heat treatment chamber housing and the upper and lower movable plate housings are heat- And when the maintenance of the plurality of lamp heaters is required, the lower movable plate housing is detached from the heat treatment chamber housing and then the maintenance operation is performed.

본 발명의 제 2 특징에 따른 기판 열처리 장치는 서로 수직 방향으로 제공되는 복수의 기판 열처리 챔버를 포함하되, 상기 복수의 기판 열처리 챔버는 각각 열처리 챔버 하우징; 상기 열처리 챔버 하우징의 최상부에 고정 장착되는 상부 고정 플레이트 하우징; 및 상기 상부 고정 플레이트 하우징의 하부에 제공되며, 상기 열처리 챔버 하우징에 각각 착탈가능하게 장착되는 복수의 하부 가동 플레이트 하우징을 포함하며, 상기 상부 고정 플레이트 하우징 및 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징은 각각 일정 간격으로 형성된 복수의 컷오프부를 따라 배열되는 복수의 램프 히터로 구성되는 히터 유닛을 포함하고, 상기 기판 열처리 장치는 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징 각각의 상부에 각각 제공되며, 기판을 장착하기 위한 복수의 리프트 핀으로 구성된 리프트 핀 유닛을 포함하며, 상기 열처리 챔버 하우징, 상기 상부 고정 플레이트 하우징, 및 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징은 각각 상기 기판을 열처리하기 위한 열처리 공간을 형성하며, 상기 복수의 램프 히터의 유지보수가 필요한 경우 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징의 일부 또는 전부를 상기 열처리 챔버 하우징에서 탈착시킨 후 상기 유지보수 동작을 수행하는 것을 특징으로 한다.A substrate heat treatment apparatus according to a second aspect of the present invention includes a plurality of substrate heat treatment chambers provided in a direction perpendicular to each other, wherein the plurality of substrate heat treatment chambers each include: a heat treatment chamber housing; An upper fixation plate housing fixedly mounted on the top of the heat treatment chamber housing; And a plurality of lower movable plate housings provided at a lower portion of the upper fixed plate housing and detachably mounted to the respective heat treatment chamber housings, wherein the upper fixed plate housing and the plurality of lower movable plate housings each have a predetermined interval And a plurality of lamp heaters arranged along a plurality of cut-off portions formed in the plurality of lower movable plate housings, wherein the substrate heat treating apparatus is provided on each of the plurality of lower movable plate housings, Wherein the heat treatment chamber housing, the upper fixing plate housing, and the plurality of lower movable plate housings each form a heat treatment space for heat-treating the substrate, and the plurality of lamp heater housings When maintenance is required And the maintenance operation is performed after part or all of the plurality of lower movable plate housings are detached from the heat treatment chamber housing.

본 발명의 제 3 특징에 따른 기판 열처리 방법은 a)열처리 챔버 하우징에 각각 착탈가능하게 장착되는 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징에 의해 열처리 공간을 형성하는 단계; b) 상기 하부 가동 플레이트 하우징의 상부에 각각 제공되는 복수의 리프트 핀으로 구성되는 리프트 핀 유닛 상에 기판을 장착하는 단계; c) 상기 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징 각각에 일정 간격으로 형성된 복수의 컷오프부를 따라 착탈 가능하게 장착되는 복수의 램프 히터를 이용하여 상기 기판을 가열하여 열처리하는 단계; 및 d) 상기 복수의 램프 히터의 유지보수가 필요한 경우 상기 하부 가동 플레이트 하우징을 상기 열처리 챔버 하우징에서 탈착시킨 후 상기 유지보수 동작을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.A substrate heat treatment method according to a third aspect of the present invention comprises the steps of: a) forming a heat treatment space by upper and lower movable plate housings respectively detachably mounted to a heat treatment chamber housing; b) mounting a substrate on a lift pin unit comprising a plurality of lift pins each provided on an upper portion of the lower movable plate housing; c) heating and heat-treating the substrate using a plurality of lamp heaters detachably mounted on a plurality of cut-off portions formed at predetermined intervals in the upper and lower movable plate housings, respectively; And d) performing a maintenance operation after detachment of the lower movable plate housing from the heat treatment chamber housing when maintenance of the plurality of lamp heaters is required.

본 발명의 제 4 특징에 따른 기판 열처리 방법은 a) 열처리 챔버 하우징의 최상부에 고정 장착되는 상부 고정 플레이트 하우징 및 상기 상부 고정 플레이트 하우징의 하부에서 상기 열처리 챔버 하우징에 각각 착탈가능하게 장착되는 복수의 하부 가동 플레이트 하우징에 의해 복수의 열처리 공간을 구비한 복수의 기판 열처리 챔버를 제공하는 단계; b) 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징 각각의 상부에 제공되며, 각각이 복수의 리프트 핀으로 구성되는 리프트 핀 유닛 상에 각각 기판을 장착하는 단계; c) 상기 상부 고정 플레이트 하우징 및 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징에 각각 일정 간격으로 형성된 복수의 컷오프부를 따라 착탈 가능하게 장착되는 복수의 램프 히터를 이용하여 상기 각각의 기판을 가열하는 단계; 및 d) 상기 복수의 램프 히터의 유지보수가 필요한 경우 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징의 일부 또는 전부를 상기 열처리 챔버 하우징에서 탈착시킨 후 상기 유지보수 동작을 수행하는 단계를 포함하되, 상기 복수의 기판 열처리 챔버는 서로 수직 방향으로 제공되는 것을 특징으로 한다.A substrate heat treatment method according to a fourth aspect of the present invention comprises the steps of: a) an upper fixation plate housing fixedly mounted on a top of a heat treatment chamber housing, and a plurality of lower portions detachably mounted on the heat treatment chamber housing from a lower portion of the upper fixation plate housing, Providing a plurality of substrate heat treatment chambers having a plurality of heat treatment spaces by a movable plate housing; b) mounting a substrate on a lift pin unit provided on each of said plurality of lower movable plate housings, each of said lift pin units being composed of a plurality of lift pins; c) heating each substrate using a plurality of lamp heaters detachably mounted along a plurality of cut-off portions formed at predetermined intervals in the upper and lower movable plate housings, respectively; And d) performing a maintenance operation after detachment of part or all of the plurality of lower movable plate housings from the heat treatment chamber housing when maintenance of the plurality of lamp heaters is required, And the heat treatment chambers are provided in directions perpendicular to each other.

본 발명에 따른 유지보수가 용이한 기판 열처리 챔버 및 방법, 및 이를 구비한 기판 열처리 장치를 사용하면 다음과 같은 효과가 달성된다.By using the substrate heat treatment chamber and method and the substrate heat treatment apparatus having the same that are easy to maintain according to the present invention, the following effects can be achieved.

1. 복수의 램프 히터 간의 열간섭이 배제되어 열처리 챔버 내부 온도 균일성이 크게 향상된다.1. Heat interference between the plurality of lamp heaters is eliminated, and the temperature uniformity inside the heat treatment chamber is greatly improved.

2. 흄 제거 공정 및 복수의 램프의 고장 발생 시의 교체 공정이 매우 편리하고 용이하게 이루어진다.2. It is very convenient and easy to perform the fume removal process and the replacement process when a plurality of lamps fail.

본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.Further advantages of the present invention can be clearly understood from the following description with reference to the accompanying drawings, in which like or similar reference numerals denote like elements.

도 1은 종래 기술에 따른 배치식 열처리 장치의 구성을 도시한 사시도이다.
도 2a는 도 1에 도시된 종래 기술에 따른 배치식 열처리 장치의 챔버의 구성을 도시한 사시도이다.
도 2b는 종래 기술에 따른 배치식 열처리 장치의 기판, 메인 히터 유닛 및 보조 히터 유닛의 배치 상태를 도시한 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 종래 기술에 따른 배치식 열처리 장치에 사용되는 보트의 구성을 도시한 사시도 및 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버를 구비한 기판 열처리 장치의 부분 절개 사시도를 도시한 도면이다.
도 4b는 도 4a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버 및 기판 열처리 장치의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4c는 도 4b에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버의 평면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4d는 도 4c에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버의 플레이트 하우징의 구체적인 구현예를 도시한 도면이다.
도 4e는 도 4d에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 플레이트 하우징의 구체적인 구현예에서 A-A 라인을 따라 절개한 B 부분의 확대 단면도를 도시한 도면이다.
도 4f는 도 4a에 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 장치의 플레이트 하우징의 부분 절개 확대 사시도를 도시한 도면이다.
도 5a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 열처리 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 5b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 열처리 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.1 is a perspective view showing a configuration of a batch type heat treatment apparatus according to the prior art.
FIG. 2A is a perspective view showing a configuration of a chamber of the batch type heat treatment apparatus according to the prior art shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 2B is a perspective view showing the arrangement of the substrate, the main heater unit, and the auxiliary heater unit of the batch type heat treatment apparatus according to the related art.
FIGS. 3A and 3B are a perspective view and a sectional view showing a configuration of a boat used in a batch type heat treatment apparatus according to the related art.
4A is a partial cutaway perspective view of a substrate heat treatment apparatus having a substrate heat treatment chamber according to an embodiment of the present invention.
4B is a schematic cross-sectional view of the substrate heat treatment chamber and substrate heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 4A.
4C is a schematic plan view of a substrate heat treatment chamber according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 4B.
FIG. 4D is a view showing a specific embodiment of the plate housing of the substrate heat treatment chamber according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 4C.
FIG. 4E is an enlarged cross-sectional view of portion B cut along AA line in a specific embodiment of the plate housing according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 4D.
FIG. 4f is an enlarged partial perspective view of the plate housing of the substrate heat treatment apparatus according to the embodiment of the present invention.
5A is a flowchart showing a substrate heat treatment method according to the first embodiment of the present invention.
5B is a flowchart showing a substrate heat treatment method according to the second embodiment of the present invention.

이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described with reference to embodiments and drawings of the present invention.

도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버를 구비한 기판 열처리 장치의 부분 절개 사시도를 도시한 도면이고, 도 4b는 도 4a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버 및 기판 열처리 장치의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이며, 도 4c는 도 4b에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버의 평면도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 4d는 도 4c에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버의 플레이트 하우징의 구체적인 구현예를 도시한 도면이며, 도 4e는 도 4d에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 플레이트 하우징의 구체적인 구현예에서 A-A 라인을 따라 절개한 B 부분의 확대 단면도를 도시한 도면이고, 도 4f는 도 4a에 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 장치의 플레이트 하우징의 부분 절개 확대 사시도를 도시한 도면이다.FIG. 4A is a partially cutaway perspective view of a substrate heat treatment apparatus having a substrate heat treatment chamber according to an embodiment of the present invention, FIG. 4B is a cross-sectional perspective view of a substrate heat treatment chamber according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 4C is a schematic plan view of a substrate heat treatment chamber according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 4B, and FIG. 4D is a cross-sectional view of the substrate heat treatment chamber shown in FIG. FIG. 4E is a cross-sectional view of a plate heat exchanger according to an embodiment of the present invention; FIG. 4E is a cross-sectional view taken along the line AA in a specific embodiment of the plate housing according to an embodiment of the present invention shown in FIG. FIG. 4F is an enlarged cross-sectional view of the portion B cut along the line A-A in FIG. Fig.

도 4a 내지 도 4f를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버(400)는 열처리 챔버 하우징(470)에 각각 착탈가능하게 장착되는 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징(420)을 포함하되, 상기 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징(420)은 각각 일정 간격으로 형성된 복수의 컷오프부(cut-off: 422)를 따라 착탈 가능하게 장착되는 복수의 램프 히터(412)로 구성되는 히터 유닛(410); 및 상기 하부 가동 플레이트 하우징(420)의 상부에 각각 제공되며, 기판(10)을 장착하기 위한 복수의 리프트 핀(424)으로 구성되는 리프트 핀 유닛(424a)을 포함하고, 상기 열처리 챔버 하우징(470) 및 상기 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징(420)은 상기 기판(10)을 열처리하기 위한 열처리 공간(472)을 형성하며, 상기 복수의 램프 히터(412)의 유지보수가 필요한 경우 상기 하부 가동 플레이트 하우징(420)을 상기 열처리 챔버 하우징(470)에서 탈착시킨 후 상기 유지보수 동작을 수행하는 것을 특징으로 하고 있다. 여기서, 상기 유지보수 동작은 상기 복수의 램프 히터(412)를 세정하는 동작 및 상기 복수의 램프 히터(412) 중 고장이 발생한 램프 히터를 교체하는 동작 중 어느 하나 또는 양자를 포함할 수 있다.4A to 4F, a substrate thermal processing chamber 400 according to an embodiment of the present invention includes upper and lower movable plate housings 420, respectively, which are detachably mounted in a thermal processing chamber housing 470, The upper and lower movable plate housings 420 each include a heater unit 410 including a plurality of lamp heaters 412 detachably mounted along a plurality of cut-offs 422 formed at regular intervals. And a lift pin unit (424a) provided on the upper portion of the lower movable plate housing (420) and configured with a plurality of lift pins (424) for mounting the substrate (10) And the upper and lower movable plate housings 420 and 420 form a heat treatment space 472 for heat treating the substrate 10. When maintenance of the plurality of lamp heaters 412 is required, (420) is detached from the heat treatment chamber housing (470), and then the maintenance operation is performed. Here, the maintenance operation may include one or both of an operation of cleaning the plurality of lamp heaters 412 and an operation of replacing a lamp heater in which a failure occurs among the plurality of lamp heaters 412.

상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버(400)에 사용되는 상기 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징(420)은 각각 전방의 외부면 상에 손잡이부 장착부(426) 및 상기 손잡이부 장착부(426)에 장착되는 손잡이부(428)를 추가로 포함할 수 있다.The upper and lower movable plate housings 420 used in the substrate heat treatment chamber 400 according to an embodiment of the present invention each have a handle attaching portion 426 and a handle attaching portion 426 The grip portion 428 may be formed of a metal.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버(400)는 상기 복수의 컷오프부(422) 사이의 복수의 몸체부(421) 내부를 관통하여 형성되는 복수의 냉각홀(486); 상기 복수의 냉각홀(486)의 일단부와 각각 연결되며, 냉각 매체가 유입되는 유입홀(482); 및 상기 복수의 냉각홀(486)의 타단부와 각각 연결되며, 상기 냉각 매체가 배출되는 배출홀(484)을 추가로 포함할 수 있다.In addition, the substrate heat treatment chamber 400 according to an embodiment of the present invention includes a plurality of cooling holes 486 formed through a plurality of body portions 421 between the plurality of cut-off portions 422; An inlet hole (482) connected to one end of the plurality of cooling holes (486) and through which the cooling medium flows; And a discharge hole (484) connected to the other end of the plurality of cooling holes (486) and through which the cooling medium is discharged.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 장치(401)는 서로 수직방향으로 제공되는 복수의 기판 열처리 챔버(400)를 포함하되, 상기 복수의 기판 열처리 챔버(400)는 각각 열처리 챔버 하우징(470); 상기 열처리 챔버 하우징(470)의 최상부에 고정 장착되는 상부 고정 플레이트 하우징(420a); 및 상기 상부 고정 플레이트 하우징(420a)의 하부에 제공되며, 상기 열처리 챔버 하우징(470)에 각각 착탈가능하게 장착되는 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)을 포함하며, 상기 상부 고정 플레이트 하우징(420a) 및 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)은 각각 일정 간격으로 형성된 복수의 컷오프부(422)를 따라 배열되는 복수의 램프 히터(412)로 구성되는 히터 유닛(410)을 포함하고, 상기 기판 열처리 장치(401)는 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420) 각각의 상부에 각각 제공되며, 기판(10)을 장착하기 위한 복수의 리프트 핀(424)으로 구성된 리프트 핀 유닛(424a)을 포함하며, 상기 열처리 챔버 하우징(470), 상기 상부 고정 플레이트 하우징(420a), 및 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)은 각각 상기 기판(10)을 열처리하기 위한 열처리 공간(472)을 형성하며, 상기 복수의 램프 히터(412)의 유지보수가 필요한 경우 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)의 일부 또는 전부를 상기 열처리 챔버 하우징(470)에서 탈착시킨 후 상기 유지보수 동작을 수행하는 것을 특징으로 하고 있다. 여기서, 상기 유지보수 동작은 상기 복수의 램프 히터(412)를 세정하는 동작 및 상기 복수의 램프 히터(412) 중 고장이 발생한 램프 히터를 교체하는 동작 중 어느 하나 또는 양자를 포함할 수 있다.The substrate heat treatment apparatus 401 according to an embodiment of the present invention includes a plurality of substrate heat treatment chambers 400 provided in a direction perpendicular to the substrate heat treatment chambers 400, 470); An upper fixing plate housing 420a fixedly mounted on the top of the thermal processing chamber housing 470; And a plurality of lower movable plate housings (420) provided below the upper fixed plate housings (420a) and detachably mounted to the heat processing chamber housings (470), respectively, the upper fixed plate housings (420a) And the plurality of lower movable plate housings (420) include a heater unit (410) composed of a plurality of lamp heaters (412) arranged along a plurality of cutoff portions (422) formed at regular intervals, The apparatus 401 includes a lift pin unit 424a which is provided on each of the plurality of lower movable plate housings 420 and is composed of a plurality of lift pins 424 for mounting the substrate 10, The heat treatment chamber housing 470, the upper fixing plate housing 420a, and the plurality of lower movable plate housings 420 each include a heat treatment chamber for heat treatment of the substrate 10, A plurality of the lower movable plate housings 420 may be partially or entirely detached from the heat treatment chamber housing 470 when maintenance of the plurality of lamp heaters 412 is required, Thereby performing an operation. Here, the maintenance operation may include one or both of an operation of cleaning the plurality of lamp heaters 412 and an operation of replacing a lamp heater in which a failure occurs among the plurality of lamp heaters 412.

상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버(400)에 사용되는 상기 복수의 가동 플레이트 하우징(420)은 각각 전방의 외부면 상에 손잡이부 장착부(426) 및 상기 손잡이부 장착부(426)에 장착되는 손잡이부(428)를 추가로 포함할 수 있다(도 4a 참조).The plurality of movable plate housings 420 used in the substrate thermal processing chamber 400 according to the embodiment of the present invention each include a handle attaching portion 426 and a handle attaching portion 426 on a front outer surface, (See Fig. 4A). Fig.

또한, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 장치(401)는 상기 복수의 컷오프부(422) 사이의 복수의 몸체부(421) 내부를 관통하여 형성되는 복수의 냉각홀(486); 상기 복수의 냉각홀(486)의 일단부와 각각 연결되며, 냉각 매체가 유입되는 유입홀(482); 및 상기 복수의 냉각홀(486)의 타단부와 각각 연결되며, 상기 냉각 매체가 배출되는 배출홀(484)을 추가로 포함할 수 있다.The substrate heating apparatus 401 according to an embodiment of the present invention includes a plurality of cooling holes 486 formed through a plurality of body portions 421 between the plurality of cutoff portions 422; An inlet hole (482) connected to one end of the plurality of cooling holes (486) and through which the cooling medium flows; And a discharge hole (484) connected to the other end of the plurality of cooling holes (486) and through which the cooling medium is discharged.

또한, 복수의 제 1 램프 히터(412a)로 구성되는 제 1 히터 유닛(410a) 및 각각이 복수의 제 2 램프 히터(412)로 구성되는 복수의 제 2 히터 유닛(410)의 파워 출력은 각각의 히터 유닛 단위로 그룹으로 제어되거나(그룹 제어 방식), 또는 각각의 램프 히터(412a 또는 412) 단위로 개별적으로 제어될 수 있다(개별 제어 방식).The power outputs of the first heater unit 410a constituted by the plurality of first lamp heaters 412a and the plurality of second heater units 410 constituted by the plurality of second lamp heaters 412 are respectively (Group control method), or individually controlled in units of respective lamp heaters 412a or 412 (individual control method).

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버(400) 및 기판 열처리 장치(401)의 구체적인 구성 및 동작에 대해 상세히 기술하기로 한다.Hereinafter, the detailed configuration and operation of the substrate thermal processing chamber 400 and the substrate thermal processing apparatus 401 according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

다시 도 4a 내지 도 4f를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버(400)는 열처리 챔버 하우징(470)에 각각 착탈가능하게 장착되는 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징(420)을 포함한다. 이러한 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징(420)은 모두 동일한 가동 플레이트 하우징(420)으로 구현되므로 이하에서는 통칭하여 가동 플레이트 하우징(420)으로 지칭하기로 한다. 그러나, 당업자라면 도 4b 및 도 4d를 참조하여 후술하는 바와 같이, 상부 가동 플레이트 하우징(420)은 예를 들어 열처리 챔버 하우징(470)의 상부에 고정 장착되는 상부 고정 플레이트 하우징(420a)으로 구현될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.4A to 4F, the substrate thermal processing chamber 400 according to an embodiment of the present invention includes upper and lower movable plate housings 420, which are detachably mounted to the thermal processing chamber housing 470, respectively . Since the upper and lower movable plate housings 420 are all formed of the same movable plate housing 420, they will be collectively referred to as a movable plate housing 420 hereinafter. However, those skilled in the art will appreciate that the upper movable plate housing 420 may be embodied as an upper fixed plate housing 420a that is fixedly mounted, for example, on top of the heat treatment chamber housing 470, as described below with reference to Figures 4b and 4d. I can fully understand that it can.

상술한 가동 플레이트 하우징(420)에는 복수의 컷오프부(422)가 일정 간격으로 형성되어 있다(도 4a 및 도 4c 참조). 이러한 복수의 컷오프부(422)를 따라 복수의 램프 히터(412)가 각각 착탈 가능하게 장착된다. 복수의 램프 히터(412)는 가동 플레이트 하우징(420)의 복수의 컷오프부(422)를 따라 장착되는 히터 유닛(410)을 구성한다.A plurality of cut-off portions 422 are formed at regular intervals in the movable plate housing 420 (see Figs. 4A and 4C). A plurality of lamp heaters 412 are detachably mounted along the plurality of cutoff portions 422. The plurality of lamp heaters 412 constitute a heater unit 410 mounted along the plurality of cut-off portions 422 of the movable plate housing 420.

또한, 복수의 냉각홀(486)이 복수의 컷오프부(422) 사이의 복수의 몸체부(421) 내부를 관통하여 형성되어 있다. 이러한 복수의 냉각홀(486)의 일단부는 각각 유입홀(482)과 연결되고, 타단부는 각각 배출홀(484)과 연결된다. 유입홀(482)의 유입구(481)로 유입되는 냉각 매체는 복수의 냉각홀(486)을 통해 분산되어 흐른 후 배출홀(484)로 모아진 다음 배출구(483)를 통해 배출된다. 여기서, 냉각 매체는 예를 들어 물 또는 질소일 수 있다.A plurality of cooling holes 486 are formed through the plurality of body portions 421 between the plurality of cut-off portions 422. One end of the plurality of cooling holes 486 is connected to the inlet hole 482 and the other end is connected to the outlet hole 484, respectively. The cooling medium flowing into the inlet port 481 of the inlet hole 482 is dispersed through the plurality of the cooling holes 486, collected into the outlet hole 484, and then discharged through the outlet port 483. Here, the cooling medium may be, for example, water or nitrogen.

또한, 가동 플레이트 하우징(420)의 상부에는 각각 복수의 리프트 핀(424)이 제공된다. 복수의 리프트 핀(424)은 리프트 핀 유닛(424a)을 구성하며, 이러한 리프트 핀 유닛(424a)(또는 복수의 리프트 핀(424)) 상에는 기판(10)이 장착된다.Further, a plurality of lift pins 424 are provided on the upper portion of the movable plate housing 420, respectively. The plurality of lift pins 424 constitute a lift pin unit 424a and the substrate 10 is mounted on the lift pin unit 424a (or the plurality of lift pins 424).

또한, 열처리 챔버 하우징(470) 및 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징(420)은 기판(10)을 열처리하기 위한 열처리 공간(472)을 형성한다.The heat treatment chamber housing 470 and the upper and lower movable plate housings 420 also form a heat treatment space 472 for heat treating the substrate 10.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버(400)는 상기 기판(10)의 장변 방향의 엣지(edge) 상부에 제공되며, 상기 복수의 램프 히터(412)와 수직한 방향을 따라 상기 상부 가동 플레이트 하우징(420)의 하부에 착탈 가능하게 장착되는 하나 이상의 보조 램프 히터(414)를 추가로 포함할 수 있다.The substrate heat treatment chamber 400 according to an embodiment of the present invention is provided on an edge in the long side direction of the substrate 10 and is provided on the edge of the substrate 10 in a direction perpendicular to the plurality of lamp heaters 412 And may further include one or more auxiliary lamp heaters 414 detachably mounted on the lower portion of the upper movable plate housing 420.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버(400)는 상기 열처리 챔버 하우징(470)의 전방 내측에 제공되며, 상기 열처리 공간(472) 내로 가스를 공급하기 위한 급기 부재(490a); 및 상기 열처리 챔버 하우징(470)의 후방 내측에 제공되며, 상기 열처리 공간(472)으로부터 상기 가스를 배기하기 위한 배기 부재(490b)를 추가로 포함한다.Also, a substrate heat treatment chamber 400 according to an embodiment of the present invention is provided inside the heat treatment chamber housing 470 in front of it, and includes an air supply member 490a for supplying gas into the heat treatment space 472; And an exhaust member 490b for exhausting the gas from the heat treatment space 472, provided inside the heat treatment chamber housing 470 in the rear direction.

상술한 가동 플레이트 하우징(420)은 알루미늄(Al) 재질로 구현될 수 있으며, 복수의 램프 히터(412)와 하나 이상의 보조 램프 히터(414)는 각각 적외선(IR) 램프 히터로 구현될 수 있다.The movable plate housing 420 may be formed of aluminum (Al), and the plurality of lamp heaters 412 and one or more auxiliary lamp heaters 414 may be formed of an infrared (IR) lamp heater.

한편, 도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 장치(401)는 복수의 기판 열처리 챔버(400)를 포함한다. 이러한 복수의 기판 열처리 챔버(400)는 각각 열처리 챔버 하우징(470)을 포함한다. 열처리 챔버 하우징(470)의 상부에는 상부 고정 플레이트 하우징(420a)이 고정 장착되고, 상부 고정 플레이트 하우징(420a)의 하부에는 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)이 제공된다. 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)은 열처리 챔버 하우징(470)에 각각 착탈가능하게 장착된다. 이 경우, 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)은 도 4c에 도시된 바와 같이 좌우 방향(L 방향)으로 이동 가능한 반면, 기판(10)은 좌우 방향(L 방향)과 수직한 전진 방향(도 4c에서 H 방향)으로 이동가능하다.Referring to FIGS. 4A and 4B, a substrate thermal processing apparatus 401 according to an embodiment of the present invention includes a plurality of substrate thermal processing chambers 400. Each of the plurality of substrate heat treatment chambers 400 includes a heat treatment chamber housing 470. An upper fixing plate housing 420a is fixedly mounted on the upper portion of the heat treatment chamber housing 470 and a plurality of lower movable plate housings 420 are provided below the upper fixing plate housing 420a. A plurality of lower movable plate housings 420 are detachably mounted to the heat treatment chamber housing 470, respectively. In this case, the plurality of lower movable plate housings 420 can be moved in the lateral direction (L direction) as shown in FIG. 4C, while the substrate 10 is moved in the forward direction In the H direction).

상술한 상부 고정 플레이트 하우징(420a) 및 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)에는 각각 복수의 컷오프부(422)가 일정 간격으로 형성되어 있다(도 4a, 도 4b, 및 도 4d 참조). 복수의 램프 히터(412)는 각각 복수의 컷오프부(422)를 따라 착탈 가능하게 장착된다. 복수의 컷오프부(422)를 따라 장착되는 복수의 램프 히터(412)는 히터 유닛(410)을 구성한다. 복수의 냉각홀(486)이 복수의 컷오프부(422) 사이의 복수의 몸체부(421)의 내부를 관통하여 형성되어 있다. 이러한 복수의 냉각홀(486)의 일단부는 각각 유입홀(482)과 연결되고, 타단부는 각각 배출홀(484)과 연결된다. 유입홀(482)의 유입구(481)로 유입되는 냉각 매체는 복수의 냉각홀(486)을 통해 분산되어 흐른 후 배출홀(484)로 모아진 다음 배출구(483)를 통해 배출된다.A plurality of cutoff portions 422 are formed at predetermined intervals in the upper fixed plate housing 420a and the plurality of lower movable plate housings 420 (see FIGS. 4A, 4B, and 4D), respectively. The plurality of lamp heaters 412 are detachably mounted along the plurality of cut-off portions 422, respectively. A plurality of lamp heaters 412 mounted along the plurality of cutoff portions 422 constitute a heater unit 410. A plurality of cooling holes 486 are formed through the plurality of body portions 421 between the plurality of cutoff portions 422. One end of the plurality of cooling holes 486 is connected to the inlet hole 482 and the other end is connected to the outlet hole 484, respectively. The cooling medium flowing into the inlet port 481 of the inlet hole 482 is dispersed through the plurality of the cooling holes 486, collected into the outlet hole 484, and then discharged through the outlet port 483.

한편, 상부 고정 플레이트 하우징(420a)의 상부에는 복수의 리프트 핀(424)이 제공되지 않는다는 점에 유의하여야 한다. 반면에, 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)의 상부에는 각각 복수의 리프트 핀(424)으로 구성되는 리프트 핀 유닛(424a)이 제공된다. 이러한 각각의 하부 가동 플레이트 하우징(420)의 상부에 제공되는 리프트 핀 유닛(424a)(또는 복수의 리프트 핀(424)) 상에는 각각 기판(10)이 장착된다.It should be noted that a plurality of lift pins 424 are not provided on the upper fixing plate housing 420a. On the other hand, on the upper portion of the plurality of lower movable plate housings 420, a lift pin unit 424a composed of a plurality of lift pins 424 is provided. The substrate 10 is mounted on a lift pin unit 424a (or a plurality of lift pins 424) provided on the upper portion of each of the lower movable plate housings 420.

또한, 열처리 챔버 하우징(470)과 상부 고정 플레이트 하우징(420a) 및 최상부 하부 가동 플레이트 하우징(420), 및 열처리 챔버 하우징(470)과 서로 인접한 하부 가동 플레이트 하우징(420)은 각각 기판(10)을 열처리하기 위한 열처리 공간(472)을 형성한다.The upper movable plate housing 420 and the upper movable plate housing 420 and the lower movable plate housing 420 adjacent to the heat treatment chamber housing 470 and the upper fixed plate housing 420 and the heat treatment chamber housing 470 respectively support the substrate 10 A heat treatment space 472 for heat treatment is formed.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 장치(401)는 상기 기판(10)의 장변 방향의 엣지(edge) 상부에 제공되며, 상기 복수의 램프 히터(412)에 대해 수직한 방향을 따라 상기 상부 고정 플레이트 하우징(420), 및 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)의 각각의 하부에 착탈 가능하게 장착되는 하나 이상의 보조 램프 히터(414)를 추가로 포함할 수 있다.The substrate heating apparatus 401 according to an embodiment of the present invention is provided on an edge in the long side direction of the substrate 10 and is provided along the direction perpendicular to the plurality of the lamp heaters 412 The upper fixing plate housing 420 and the plurality of lower movable plate housings 420 may further include one or more auxiliary lamp heaters 414 detachably mounted on the lower portion of each of the plurality of lower movable plate housings 420.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 장치(401)는 상기 열처리 챔버 하우징(470)의 전방 내측에 제공되며, 상기 복수의 열처리 공간(472) 내로 각각 가스를 공급하기 위한 복수의 급기 부재(490a); 및 상기 열처리 챔버 하우징(470)의 후방 내측에 제공되며, 상기 복수의 열처리 공간(472)으로부터 각각 상기 가스를 배기하기 위한 복수의 배기 부재(490b)를 추가로 포함한다.The substrate heat treatment apparatus 401 according to an embodiment of the present invention is provided inside the heat treatment chamber housing 470 and includes a plurality of supply members 472 for supplying gas into the plurality of heat treatment spaces 472, (490a); And a plurality of exhaust members (490b) provided inside the heat treatment chamber housing (470) and exhausting the gas from the plurality of heat treatment spaces (472), respectively.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 고정 플레이트 하우징(420a) 및 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)은 각각 알루미늄(Al) 재질로 구현될 수 있으며, 복수의 램프 히터(412)는 각각 적외선(IR) 램프 히터로 구현될 수 있다.The upper fixing plate housing 420a and the plurality of lower movable plate housings 420 may be made of aluminum (Al), and the plurality of lamp heaters 412 may be formed of infrared (IR) lamp heater.

상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버(400) 및 기판 열처리 장치(401)에서는, 복수의 램프 히터(412)가 각각 상부 고정 플레이트 하우징(420a) 및 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)에 각각 형성된 복수의 컷오프부(422) 내에 착탈가능하게 제공된다. 이 경우, 복수의 컷오프부(422)의 사이에 구비된 복수의 몸체부(421)에 의해 복수의 램프 히터(412) 간의 열간섭이 배제되고, 아울러 알루미늄으로 구현될 수 있는 상부 고정 플레이트 하우징(420a) 및 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)은 각각 복수의 램프 히터(412)에서 방출되는 열에너지를 반사하여 기판(10)에 대한 가열 효율이 증가된다. 또한, 복수의 램프 히터(412)에 의한 기판(10)의 열처리 공정이 완료된 직후, 복수의 냉각홀(486)을 통해 냉각 매체가 제공되므로, 냉각 효율이 향상된다.In the substrate heat treatment chamber 400 and the substrate heat treatment apparatus 401 according to the embodiment of the present invention described above, a plurality of lamp heaters 412 are provided on the upper fixing plate housing 420a and the plurality of lower movable plate housings 420 Off portions 422 formed in the cut-off portions 422, respectively. In this case, thermal interference between the plurality of lamp heaters 412 is eliminated by the plurality of body portions 421 provided between the plurality of cut-off portions 422, and an upper fixing plate housing (not shown) 420a and the plurality of lower movable plate housings 420 reflect the heat energy emitted from the plurality of lamp heaters 412, respectively, so that the heating efficiency for the substrate 10 is increased. Further, since the cooling medium is provided through the plurality of cooling holes 486 immediately after the heat treatment process of the substrate 10 by the plurality of lamp heaters 412 is completed, the cooling efficiency is improved.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 열처리 챔버(400) 및 기판 열처리 장치(401)에서는, 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징(420) 또는 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)(이하 통칭하여 "가동 플레이트 하우징(420)"이라 합니다)은 각각 열처리 챔버 하우징(470)에 착탈 가능하게 장착된다. 좀 더 구체적으로, 가동 플레이트 하우징(420)은 각각 열처리 챔버 하우징(470)에 슬라이딩 방식으로 착탈 가능하게 장착된다. 이를 위해, 가동 플레이트 하우징(420)은 전방의 외부면 상에 손잡이부 장착부(426) 및 상기 손잡이부 장착부(426)에 장착되는 손잡이부(428)를 추가로 포함할 수 있다(도 4a 참조). 따라서, 복수의 램프 히터(412) 상에 증착된 흄을 제거(세정)하거나 또는 복수의 램프 히터(412) 중 일부에 고장이 발생하여 교체가 필요한 경우와 같은 유지보수가 필요한 경우, 작업자는 손잡이부(428)를 이용하여 가동 플레이트 하우징(420)을 열처리 챔버 하우징(470)로부터 예를 들어 슬라이딩 방식으로 탈착시켜(도 4f에 도시된 양방향 화살표 참조) 흄 제거(세정 공정) 또는 고장이 발생한 램프 히터만을 교체할 수 있다. 그에 따라, 종래 기술과는 달리 작업자가 기판 열처리 챔버(400) 내로 진입할 필요가 없이 기판 열처리 챔버(400)의 외부에서 유지보수 작업을 매우 용이하게 수행할 수 있다. 특히, 본 발명에서는 종래 기술의 배치형 보트(120)를 사용하는 대신 가동 플레이트 하우징(420)의 상부에 제공되는 복수의 리프트 핀(424)을 사용하므로, 유지보수 작업 시 램프 히터의 파손 등의 문제 발생이 최소화되거나 제거된다.In the substrate heat treatment chamber 400 and the substrate heat treatment apparatus 401 according to an embodiment of the present invention, the upper and lower movable plate housings 420 or the plurality of lower movable plate housings 420 Plate housing 420 ") are detachably mounted to the heat treatment chamber housing 470, respectively. More specifically, the movable plate housing 420 is detachably mounted in the heat treatment chamber housing 470, respectively, in a sliding manner. To this end, the movable plate housing 420 may further include a handle mounting portion 426 on the front outer surface and a handle 428 mounted on the handle mounting portion 426 (see FIG. 4A) . Therefore, when maintenance such as the case where the fumes deposited on the plurality of lamp heaters 412 are removed (cleaned) or a part of the plurality of lamp heaters 412 is broken and needs to be replaced is required, The movable plate housing 420 is detached from the heat treatment chamber housing 470, for example, in a sliding manner (see the double arrows shown in FIG. 4F) by using the heater 428 to remove the fume (cleaning process) Only the heater can be replaced. Accordingly, unlike the prior art, the maintenance work can be performed very easily outside the substrate heat treatment chamber 400 without the operator having to enter the substrate heat treatment chamber 400. Particularly, in the present invention, since the plurality of lift pins 424 provided on the upper portion of the movable plate housing 420 are used in place of the conventional arrangement type boat 120, damage to the lamp heater Problems are minimized or eliminated.

상술한 바와 같이 본 발명에서는 세정 공정 및 교체 공정과 같은 유지보수 동작이 매우 편리하고 용이하게 이루어질 수 있다. 그에 따라, 전체 공정 시간 및 비용이 크게 감소된다.As described above, in the present invention, maintenance operations such as a cleaning process and a replacement process can be performed very conveniently and easily. As a result, the overall process time and cost are greatly reduced.

도 5a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 열처리 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.5A is a flowchart showing a substrate heat treatment method according to the first embodiment of the present invention.

도 5a를 도 4a 내지 도 4f와 함께 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 열처리 방법(500)은 a) 열처리 챔버 하우징(470)에 각각 착탈가능하게 장착되는 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징(420)에 의해 열처리 공간(472)을 형성하는 단계(510); b) 상기 하부 가동 플레이트 하우징(420)의 상부에 각각 제공되는 복수의 리프트 핀(424)으로 구성되는 리프트 핀 유닛(424a) 상에 기판(10)을 장착하는 단계(520); c) 상기 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징(420) 각각에 일정 간격으로 형성된 복수의 컷오프부(422)를 따라 착탈 가능하게 장착되는 복수의 램프 히터(412)를 이용하여 상기 기판(10)을 가열하여 열처리하는 단계(530); 및 d) 상기 복수의 램프 히터(412)의 유지보수가 필요한 경우 상기 하부 가동 플레이트 하우징(420)을 상기 열처리 챔버 하우징(470)에서 탈착시킨 후 상기 유지보수 동작을 수행하는 단계(540)를 포함한다.Referring to FIG. 5A, with reference to FIGS. 4A through 4F, a substrate thermal processing method 500 according to a first embodiment of the present invention includes a) an upper and a lower movable plate housing (not shown) detachably mounted in a heat treatment chamber housing 470, (510) the heat treatment space (472) by the heat treatment chamber (420); b) mounting (520) the substrate (10) on a lift pin unit (424a) consisting of a plurality of lift pins (424) each provided on top of the lower movable plate housing (420); c) The substrate 10 is heated using a plurality of lamp heaters 412 detachably mounted along a plurality of cut-off portions 422 formed at predetermined intervals in the upper and lower movable plate housings 420 Heat treating step 530; And d) removing the lower movable plate housing 420 from the heat treatment chamber housing 470 and performing the maintenance operation 540 when the maintenance of the plurality of lamp heaters 412 is required do.

상술한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 열처리 방법(500)의 상기 d) 단계에서 상기 탈착 동작은 상기 하부 가동 플레이트 하우징(420)의 전방의 외부면 상에 제공되는 손잡이부(428)를 이용하여 상기 하부 가동 플레이트 하우징(420)을 상기 열처리 챔버 하우징(470)으로부터 슬라이딩 방식으로 탈착시켜 수행될 수 있다.In the d) step of the substrate heat treatment method 500 according to the first embodiment of the present invention, the detachment operation is performed by moving the handle 428 provided on the outer surface of the front side of the lower movable plate housing 420 The lower movable plate housing 420 may be detached from the heat treatment chamber housing 470 in a sliding manner.

또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 열처리 방법(500)에서, 상기 유지보수 동작은 상기 복수의 램프 히터(412)를 세정하는 동작 및 상기 복수의 램프 히터(412) 중 고장이 발생한 램프 히터를 교체하는 동작 중 어느 하나 또는 양자를 포함할 수 있다.In the substrate heating method 500 according to the first embodiment of the present invention, the maintenance operation may include an operation of cleaning the plurality of lamp heaters 412, and an operation of cleaning the plurality of lamp heaters 412 And an operation of replacing the heater, or both of them.

도 5b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 열처리 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.5B is a flowchart showing a substrate heat treatment method according to the second embodiment of the present invention.

도 5b를 도 4a 내지 도 4f와 함께 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 열처리 방법(500)은 a) 열처리 챔버 하우징(470)의 최상부에 고정 장착되는 상부 고정 플레이트 하우징(420a) 및 상기 상부 고정 플레이트 하우징(420a)의 하부에서 상기 열처리 챔버 하우징(470)에 각각 착탈가능하게 장착되는 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)에 의해 복수의 열처리 공간(472)을 구비한 복수의 기판 열처리 챔버(400)를 제공하는 단계(510); b) 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420) 각각의 상부에 제공되며, 각각이 복수의 리프트 핀(424)으로 구성되는 리프트 핀 유닛(424a) 상에 각각 기판(10)을 장착하는 단계(520); c) 상기 상부 고정 플레이트 하우징(420a) 및 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)에 각각 일정 간격으로 형성된 복수의 컷오프부(422)를 따라 착탈 가능하게 장착되는 복수의 램프 히터(412)를 이용하여 상기 각각의 기판(10)을 가열하여 열처리하는 단계(530); 및 d) 상기 복수의 램프 히터(412)의 유지보수가 필요한 경우 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420)의 일부 또는 전부를 상기 열처리 챔버 하우징(470)에서 탈착시킨 후 상기 유지보수 동작을 수행하는 단계(540)를 포함하되, 상기 복수의 기판 열처리 챔버(400)는 서로 수직방향으로 제공되는 것을 특징으로 한다.Referring to FIG. 5B together with FIGS. 4A through 4F, a substrate heat treatment method 500 according to a second embodiment of the present invention includes a) an upper fixation plate housing 420a fixedly mounted on the top of a heat treatment chamber housing 470, And a plurality of heat treatment chambers 472 by a plurality of lower movable plate housings 420 detachably mounted on the heat treatment chamber housing 470 from the lower portion of the upper fixing plate housing 420a, Providing 510 a heat treatment chamber 400; b) mounting a substrate 10 on a lift pin unit 424a, each of which is provided on top of each of the plurality of lower movable plate housings 420 and each comprising a plurality of lift pins 424, ); c) using a plurality of lamp heaters 412 detachably mounted along a plurality of cut-off portions 422 formed at predetermined intervals in the upper and lower fixed plate housings 420a and 420, respectively, (530) heating and heating the respective substrates (10); And d) when maintenance of the plurality of lamp heaters (412) is required, part or all of the plurality of lower movable plate housings (420) are detached from the heat treatment chamber housing (470) (540), wherein the plurality of substrate heat treatment chambers (400) are provided in a direction perpendicular to each other.

상술한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 열처리 방법(500)의 상기 d) 단계에서 상기 탈착 동작은 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420) 각각의 전방의 외부면 상에 제공되는 손잡이부(428)를 이용하여 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징(420) 중 일부 또는 전부를 상기 열처리 챔버 하우징(470)으로부터 슬라이딩 방식으로 탈착시켜 수행될 수 있다.In the d) step of the substrate heat treatment method 500 according to the second embodiment of the present invention described above, the detachment operation is performed on the handle portion (not shown) provided on the outer surface on the front side of each of the plurality of lower movable plate housings 420 428 may be used to slidably and partially remove some or all of the plurality of lower movable plate housings 420 from the heat treatment chamber housing 470.

또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 열처리 방법(500)에서, 상기 유지보수 동작은 상기 복수의 램프 히터(412)를 세정하는 동작 및 상기 복수의 램프 히터(412) 중 고장이 발생한 램프 히터를 교체하는 동작 중 어느 하나 또는 양자를 포함할 수 있다.In the substrate heat treatment method 500 according to the second embodiment of the present invention, the maintenance operation may include an operation of cleaning the plurality of lamp heaters 412 and an operation of cleaning the plurality of lamp heaters 412 And an operation of replacing the heater, or both of them.

다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.Various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims. It is not. Accordingly, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be determined only in accordance with the following claims and their equivalents.

1,401: 기판 열처리 장치 10: 기판 12: 홀더 100,400: 챔버
110,410: 프레임 120: 보트 140: 도어 160: 커버
122: 지지 부재 200: 메인 히터 유닛 210: 단위 메인 히터
220,220a,220b: 보조 히터 유닛 230a: 제1 단위 보조 히터
250: 냉각관 300: 가스 공급관 410,410a: 히터 유닛
412,412a: 램프 히터 414: 보조 램프 히터
420: 가동 플레이트 하우징 420a: 고정 플레이트 하우징
421,421a: 몸체부 422,422a: 컷오프부 424: 리프트 핀
424: 리프트 핀 424a: 리프트 핀 유닛 426: 손잡이부 장착부
428: 손잡이부 470: 챔버 하우징 472: 열처리 공간 481: 유입구
482: 유입홀 483: 배출구 484: 배출홀 486: 냉각홀
490a: 급기 부재 490b: 배기 부재1.401: substrate heat treatment apparatus 10: substrate 12: holder 100, 400: chamber
110, 410: frame 120: boat 140: door 160: cover
122: support member 200: main heater unit 210: unit main heater
220, 220a, 220b: auxiliary heater unit 230a: first unit auxiliary heater
250: cooling pipe 300: gas supply pipe 410, 410a: heater unit
412,412a: Lamp heater 414: Auxiliary lamp heater
420: movable plate housing 420a: fixed plate housing
421, 42a: body portion 422, 422a: cut-off portion 424: lift pin
424: Lift pin 424a: Lift pin unit 426: Handle mounting part
428: handle 470: chamber housing 472: heat treatment space 481: inlet
482: inlet hole 483: outlet port 484: outlet hole 486: cooling hole
490a: an air supply member 490b:

Claims (16)

기판 열처리 챔버에 있어서,
열처리 챔버 하우징에 각각 착탈가능하게 장착되는 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징을 포함하되,
상기 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징은 각각 일정 간격으로 형성된 복수의 컷오프부를 따라 착탈 가능하게 장착되는 복수의 램프 히터로 구성되는 히터 유닛; 및 상기 하부 가동 플레이트 하우징의 상부에 각각 제공되며, 기판을 장착하기 위한 복수의 리프트 핀으로 구성되는 리프트 핀 유닛을 포함하고,
상기 열처리 챔버 하우징 및 상기 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징은 상기 기판을 열처리하기 위한 열처리 공간을 형성하며,
상기 복수의 램프 히터의 유지보수가 필요한 경우 상기 하부 가동 플레이트 하우징을 상기 열처리 챔버 하우징에서 탈착시킨 후 상기 유지보수 동작을 수행하는
기판 열처리 챔버. In the substrate heat treatment chamber,
And upper and lower movable plate housings detachably mounted to the heat treatment chamber housings, respectively,
Wherein the upper and lower movable plate housings each comprise a plurality of lamp heaters detachably mounted along a plurality of cut-off portions formed at regular intervals; And a lift pin unit, each of which is provided on an upper portion of the lower movable plate housing, the lift pin unit being composed of a plurality of lift pins for mounting the substrate,
The heat treatment chamber housing and the upper and lower movable plate housings form a heat treatment space for heat treating the substrate,
When the maintenance of the plurality of lamp heaters is required, the lower movable plate housing is detached from the heat treatment chamber housing and then the maintenance operation is performed
Substrate heat treatment chamber. 제 1항에 있어서,
상기 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징은 각각 전방의 외부면 상에 손잡이부 장착부 및 상기 손잡이부 장착부에 장착되는 손잡이부를 추가로 포함하는 기판 열처리 챔버.The method according to claim 1,
Wherein the upper and lower movable plate housings each further include a handle portion mounting portion on a front outer surface and a handle portion mounted on the handle portion mounting portion. 제 1항에 있어서,
상기 기판 열처리 챔버는
상기 복수의 컷오프부 사이의 복수의 몸체부 내부를 관통하여 형성되는 복수의 냉각홀;
상기 복수의 냉각홀의 일단부와 각각 연결되며, 냉각 매체가 유입되는 유입홀; 및
상기 복수의 냉각홀의 타단부와 각각 연결되며, 상기 냉각 매체가 배출되는 배출홀
을 추가로 포함하는 기판 열처리 챔버.The method according to claim 1,
The substrate heat treatment chamber
A plurality of cooling holes formed through a plurality of body portions between the plurality of cutoff portions;
An inlet hole connected to one end of the plurality of cooling holes and through which the cooling medium flows; And
A plurality of cooling holes communicating with the other ends of the plurality of cooling holes,
Further comprising a substrate heating chamber. 제 1항에 있어서,
상기 기판 열처리 챔버는 상기 기판의 장변 방향의 엣지(edge) 상부에 제공되며, 상기 복수의 램프 히터와 수직한 방향을 따라 상기 상부 가동 플레이트 하우징의 하부에 착탈 가능하게 장착되는 하나 이상의 보조 램프 히터를 추가로 포함하는 기판 열처리 챔버.The method according to claim 1,
Wherein the substrate heat treatment chamber is provided on an edge in the long side direction of the substrate and is detachably mounted on a lower portion of the upper movable plate housing along a direction perpendicular to the plurality of lamp heaters, Further comprising a substrate heat treatment chamber. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유지보수 동작은 상기 복수의 램프 히터를 세정하는 동작 및 상기 복수의 램프 히터 중 고장이 발생한 램프 히터를 교체하는 동작 중 어느 하나 또는 양자를 포함하는 기판 열처리 챔버. 5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the maintenance operation includes either or both of an operation of cleaning the plurality of lamp heaters and an operation of replacing a lamp heater in which a failure occurs among the plurality of lamp heaters. 기판 열처리 장치에 있어서,
서로 수직 방향으로 제공되는 복수의 기판 열처리 챔버를 포함하되,
상기 복수의 기판 열처리 챔버는 각각 열처리 챔버 하우징; 상기 열처리 챔버 하우징의 최상부에 고정 장착되는 상부 고정 플레이트 하우징; 및 상기 상부 고정 플레이트 하우징의 하부에 제공되며, 상기 열처리 챔버 하우징에 각각 착탈가능하게 장착되는 복수의 하부 가동 플레이트 하우징을 포함하며,
상기 상부 고정 플레이트 하우징 및 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징은 각각 일정 간격으로 형성된 복수의 컷오프부를 따라 배열되는 복수의 램프 히터로 구성되는 히터 유닛을 포함하고,
상기 기판 열처리 장치는 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징 각각의 상부에 각각 제공되며, 기판을 장착하기 위한 복수의 리프트 핀으로 구성된 리프트 핀 유닛을 포함하며,
상기 열처리 챔버 하우징, 상기 상부 고정 플레이트 하우징, 및 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징은 각각 상기 기판을 열처리하기 위한 열처리 공간을 형성하며,
상기 복수의 램프 히터의 유지보수가 필요한 경우 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징의 일부 또는 전부를 상기 열처리 챔버 하우징에서 탈착시킨 후 상기 유지보수 동작을 수행하는
기판 열처리 장치.In the substrate heat treatment apparatus,
A plurality of substrate heat treatment chambers provided in mutually perpendicular directions,
The plurality of substrate heat treatment chambers each include a heat treatment chamber housing; An upper fixation plate housing fixedly mounted on the top of the heat treatment chamber housing; And a plurality of lower movable plate housings provided at a lower portion of the upper fixed plate housing, the lower movable plate housings being detachably mounted to the thermal processing chamber housings, respectively,
The upper fixed plate housing and the plurality of lower movable plate housings each include a heater unit including a plurality of lamp heaters arranged along a plurality of cutoff portions formed at regular intervals,
The substrate heating apparatus includes a lift pin unit provided on each of the plurality of lower movable plate housings, each of the lift pin units being composed of a plurality of lift pins for mounting the substrate,
The heat treatment chamber housing, the upper fixing plate housing, and the plurality of lower movable plate housings each form a heat treatment space for heat-treating the substrate,
When maintenance of the plurality of lamp heaters is required, part or all of the plurality of lower movable plate housings are detached from the heat treatment chamber housing and then the maintenance operation is performed
Substrate heat treatment apparatus. 제 6항에 있어서,
상기 복수의 가동 플레이트 하우징은 각각 전방의 외부면 상에 손잡이부 장착부 및 상기 손잡이부 장착부에 장착되는 손잡이부를 추가로 포함하는 기판 열처리 장치.The method according to claim 6,
Wherein each of the plurality of movable plate housings further comprises a handle portion mounting portion on a front outer surface and a handle portion mounted on the handle portion mounting portion. 제 6항에 있어서,
상기 복수의 기판 열처리 챔버는 각각
상기 복수의 컷오프부 사이의 복수의 몸체부 내부를 관통하여 형성되는 복수의 냉각홀;
상기 복수의 냉각홀의 일단부와 각각 연결되며, 냉각 매체가 유입되는 유입홀; 및
상기 복수의 냉각홀의 타단부와 각각 연결되며, 상기 냉각 매체가 배출되는 배출홀
을 추가로 포함하는 기판 열처리 장치.The method according to claim 6,
The plurality of substrate heat treatment chambers
A plurality of cooling holes formed through a plurality of body portions between the plurality of cutoff portions;
An inlet hole connected to one end of the plurality of cooling holes and through which the cooling medium flows; And
A plurality of cooling holes communicating with the other ends of the plurality of cooling holes,
Further comprising a substrate heating device for heating the substrate. 제 6항에 있어서,
상기 기판 열처리 장치는 상기 기판의 장변 방향의 엣지(edge) 상부에 제공되며, 상기 복수의 램프 히터와 수직한 방향을 따라 상기 상부 고정 플레이트 하우징 및 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징의 각각의 하부에 착탈 가능하게 장착되는 하나 이상의 보조 램프 히터를 추가로 포함하는 기판 열처리 장치.The method according to claim 6,
The substrate heat treatment apparatus is provided on an edge of the substrate in the long side direction and is detachably attached to the lower portion of each of the upper and lower movable plate housings along a direction perpendicular to the plurality of lamp heaters Further comprising one or more auxiliary lamp heaters that are mounted as far as possible. 제 6항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유지보수 동작은 상기 복수의 램프 히터를 세정하는 동작 및 상기 복수의 램프 히터 중 고장이 발생한 램프 히터를 교체하는 동작 중 어느 하나 또는 양자를 포함하는 기판 열처리 장치. 10. The method according to any one of claims 6 to 9,
Wherein the maintenance operation includes either or both of an operation of cleaning the plurality of lamp heaters and an operation of replacing a lamp heater in which a failure occurs among the plurality of lamp heaters. 기판 열처리 방법에 있어서,
a) 열처리 챔버 하우징에 각각 착탈가능하게 장착되는 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징에 의해 열처리 공간을 형성하는 단계;
b) 상기 하부 가동 플레이트 하우징의 상부에 각각 제공되는 복수의 리프트 핀으로 구성되는 리프트 핀 유닛 상에 기판을 장착하는 단계;
c) 상기 상부 및 하부 가동 플레이트 하우징 각각에 일정 간격으로 형성된 복수의 컷오프부를 따라 착탈 가능하게 장착되는 복수의 램프 히터를 이용하여 상기 기판을 가열하여 열처리하는 단계; 및
d) 상기 복수의 램프 히터의 유지보수가 필요한 경우 상기 하부 가동 플레이트 하우징을 상기 열처리 챔버 하우징에서 탈착시킨 후 상기 유지보수 동작을 수행하는 단계
를 포함하는 기판 열처리 방법. In the substrate heat treatment method,
a) forming a heat treatment space by upper and lower movable plate housings, each of which is detachably mounted in a heat treatment chamber housing;
b) mounting a substrate on a lift pin unit comprising a plurality of lift pins each provided on an upper portion of the lower movable plate housing;
c) heating and heat-treating the substrate using a plurality of lamp heaters detachably mounted on a plurality of cut-off portions formed at predetermined intervals in the upper and lower movable plate housings, respectively; And
d) removing the lower movable plate housing from the heat treatment chamber housing and performing the maintenance operation when maintenance of the plurality of lamp heaters is required;
/ RTI > 제 11항에 있어서,
상기 d) 단계에서 상기 탈착 동작은 상기 하부 가동 플레이트 하우징의 전방의 외부면 상에 제공되는 손잡이부를 이용하여 상기 하부 가동 플레이트 하우징을 상기 열처리 챔버 하우징으로부터 슬라이딩 방식으로 탈착시켜 수행되는 기판 열처리 방법.12. The method of claim 11,
Wherein the detachment operation is performed by slidingly detaching the lower movable plate housing from the heat treatment chamber housing using a handle provided on an outer surface of the front side of the lower movable plate housing in step d). 제 11항 또는 제 12항에 있어서,
상기 유지보수 동작은 상기 복수의 램프 히터를 세정하는 동작 및 상기 복수의 램프 히터 중 고장이 발생한 램프 히터를 교체하는 동작 중 어느 하나 또는 양자를 포함하는 기판 열처리 방법.13. The method according to claim 11 or 12,
Wherein the maintenance operation includes either or both of an operation of cleaning the plurality of lamp heaters and an operation of replacing a lamp heater in which a failure occurs among the plurality of lamp heaters. 기판 열처리 방법에 있어서,
a) 열처리 챔버 하우징의 최상부에 고정 장착되는 상부 고정 플레이트 하우징 및 상기 상부 고정 플레이트 하우징의 하부에서 상기 열처리 챔버 하우징에 각각 착탈가능하게 장착되는 복수의 하부 가동 플레이트 하우징에 의해 복수의 열처리 공간을 구비한 복수의 기판 열처리 챔버를 제공하는 단계;
b) 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징 각각의 상부에 제공되며, 각각이 복수의 리프트 핀으로 구성되는 리프트 핀 유닛 상에 각각 기판을 장착하는 단계;
c) 상기 상부 고정 플레이트 하우징 및 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징에 각각 일정 간격으로 형성된 복수의 컷오프부를 따라 착탈 가능하게 장착되는 복수의 램프 히터를 이용하여 상기 각각의 기판을 가열하는 단계; 및
d) 상기 복수의 램프 히터의 유지보수가 필요한 경우 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징의 일부 또는 전부를 상기 열처리 챔버 하우징에서 탈착시킨 후 상기 유지보수 동작을 수행하는 단계
를 포함하되,
상기 복수의 기판 열처리 챔버는 서로 수직 방향으로 제공되는
기판 열처리 방법.In the substrate heat treatment method,
a) an upper fixed plate housing fixedly mounted on a top of a heat treatment chamber housing, and a plurality of lower movable plate housings detachably mounted in the heat treatment chamber housing at a lower portion of the upper fixed plate housing, Providing a plurality of substrate heat treatment chambers;
b) mounting a substrate on a lift pin unit provided on each of said plurality of lower movable plate housings, each of said lift pin units being composed of a plurality of lift pins;
c) heating each substrate using a plurality of lamp heaters detachably mounted along a plurality of cut-off portions formed at predetermined intervals in the upper and lower movable plate housings, respectively; And
d) removing the part or all of the plurality of lower movable plate housings from the heat treatment chamber housing and performing the maintenance operation when maintenance of the plurality of lamp heaters is required
, ≪ / RTI &
The plurality of substrate heat treatment chambers are provided vertically to each other
A method for heat treatment of a substrate. 제 14항에 있어서,
상기 d) 단계에서 상기 탈착 동작은 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징 각각의 전방의 외부면 상에 제공되는 손잡이부를 이용하여 상기 복수의 하부 가동 플레이트 하우징 중 일부 또는 전부를 상기 열처리 챔버 하우징으로부터 슬라이딩 방식으로 탈착시켜 수행되는 기판 열처리 방법.15. The method of claim 14,
In the step d), the detachment operation may be performed by sliding some or all of the plurality of lower movable plate housings from the heat treatment chamber housing using a handle provided on the outer surface of the front side of each of the plurality of lower movable plate housings Wherein the heat treatment is performed by desorption. 제 14항 또는 제 15항에 있어서,
상기 유지보수 동작은 상기 복수의 램프 히터(를 세정하는 동작 및 상기 복수의 램프 히터 중 고장이 발생한 램프 히터를 교체하는 동작 중 어느 하나 또는 양자를 포함하는 기판 열처리 방법.16. The method according to claim 14 or 15,
Wherein the maintenance operation includes either or both of an operation of cleaning the plurality of lamp heaters and an operation of replacing a lamp heater in which a failure occurs among the plurality of lamp heaters.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150140443A (en) * 2014-06-05 2015-12-16 주식회사 나래나노텍 Size-Variable Heat Treatment Chamber of Substrates and Manufacturing Method thereof, and Heat Treatment Apparatus Having the Same
KR101992378B1 (en) 2018-12-05 2019-06-25 (주)앤피에스 Substrate processing apparatus

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09289175A (en) * 1996-04-19 1997-11-04 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Light irradiation thermal treatment device of substrate
JP2000323486A (en) 1999-05-07 2000-11-24 Toshiba Ceramics Co Ltd Wafer heat treatment device and method therefor
KR20030088504A (en) * 2001-04-17 2003-11-19 맛선 테크놀러지, 인코포레이티드 Rapid thermal processing system for integrated circuits
KR20050026708A (en) * 2002-08-12 2005-03-15 맷슨 써멀 프로덕츠 게엠베하 Device and method for thermally treating semiconductor wafers

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09289175A (en) * 1996-04-19 1997-11-04 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Light irradiation thermal treatment device of substrate
JP2000323486A (en) 1999-05-07 2000-11-24 Toshiba Ceramics Co Ltd Wafer heat treatment device and method therefor
KR20030088504A (en) * 2001-04-17 2003-11-19 맛선 테크놀러지, 인코포레이티드 Rapid thermal processing system for integrated circuits
KR20050026708A (en) * 2002-08-12 2005-03-15 맷슨 써멀 프로덕츠 게엠베하 Device and method for thermally treating semiconductor wafers

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150140443A (en) * 2014-06-05 2015-12-16 주식회사 나래나노텍 Size-Variable Heat Treatment Chamber of Substrates and Manufacturing Method thereof, and Heat Treatment Apparatus Having the Same
KR101599045B1 (en) * 2014-06-05 2016-03-03 주식회사 나래나노텍 Size-Variable Heat Treatment Chamber of Substrates and Manufacturing Method thereof, and Heat Treatment Apparatus Having the Same
KR101992378B1 (en) 2018-12-05 2019-06-25 (주)앤피에스 Substrate processing apparatus

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