KR101398488B1 - apparatus and method for transmitting cassette in the chamber - Google Patents

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KR101398488B1 KR1020120011492A KR20120011492A KR101398488B1 KR 101398488 B1 KR101398488 B1 KR 101398488B1 KR 1020120011492 A KR1020120011492 A KR 1020120011492A KR 20120011492 A KR20120011492 A KR 20120011492A KR 101398488 B1 KR101398488 B1 KR 101398488B1
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Abstract

본 발명은 챔버 내 카세트 이송 장치 및 이를 이용한 카세트 이송 방법에 관한 것으로, 특히 복수개의 챔버가 수평 방향으로 연결되어 있는 다단 챔버 내에서 1차적으로 기어 결합으로 상기 카세트를 챔버 내로 인입시키고, 2차적으로 상기 카세트에 걸림바를 자동 연결하여 상기 카세트를 상기 챔버 내를 이송시킴으로써, 챔버 내에서의 상기 카세트의 이송을 모두 자동화하고, 상기 카세트에 적재된 복수개의 기판에 대하여 다양한 공정을 신속하게 진행시킬 수 있는 챔버 내 카세트 이송장치 및 이를 이용한 챔버 내 카세트 이송 방법에 관한 것이다.
본 발명인 챔버 내 카세트 이송 장치를 이루는 구성수단은, 챔버 내 카세트 이송 장치에 있어서, 상기 챔버 바닥면에 구비되어 있는 레일에 안착되는 바퀴가 밑면에 구비되고, 측면 하단에 랙기어가 부착되며, 후면 하단에 걸림부가 구비되는 카세트, 상기 챔버 측벽에 설치되어 상기 카세트의 랙기어에 맞물려서 상기 카세트를 이송시키되, 상기 카세트가 인입되는 상기 챔버의 일단부터 일정 거리까지의 제1 이송구간에서 상기 카세트를 이송시키는 제1 이송수단, 상기 챔버의 바닥면에 길게 형성된 함몰부에 배치되어 상기 카세트의 걸림부에 걸림바를 걸어서 상기 카세트를 이송시키되, 제2 이송구간에서 상기 카세트를 이송시키는 제2 이송수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a cassette transferring apparatus in a chamber and a cassette transferring method using the cassette transferring apparatus. More particularly, the present invention relates to a cassette transferring apparatus and a cassette transferring method that draws the cassette into a chamber in a first gear- And automatically transferring the cassette in the chamber by automatically connecting the cassette to the cassette and transferring the cassette in the chamber so that various processes can be promptly advanced with respect to the plurality of substrates loaded on the cassette The present invention relates to a cassette transfer device in a chamber and a method of transferring a cassette in a chamber using the same.
The cassette transfer device according to the present invention is a cassette transfer device in a chamber. The cassette transfer device comprises: a rack mounted on a bottom surface of the chamber; a rack mounted on a bottom of the chamber; A cassette having a lower end of the cassette, a cassette provided on a side wall of the chamber to be engaged with a rack gear of the cassette to transfer the cassette, and the cassette is conveyed in a first conveyance section from the one end of the chamber into which the cassette is drawn, And a second conveying means which is disposed in a depression formed on a bottom surface of the chamber and which carries the cassette by hooking the catch on the retaining portion of the cassette and conveys the cassette in a second conveying section .

Figure R1020120011492
Figure R1020120011492

Description

챔버 내 카세트 이송장치 및 이를 이용한 챔버 내 카세트 이송 방법{apparatus and method for transmitting cassette in the chamber}[0001] The present invention relates to a cassette transfer apparatus for transferring a cassette in a chamber,

본 발명은 챔버 내 카세트 이송 장치 및 이를 이용한 카세트 이송 방법에 관한 것으로, 특히 복수개의 챔버가 수평 방향으로 연결되어 있는 다단 챔버 내에서 1차적으로 기어 결합으로 상기 카세트를 챔버 내로 인입시키고, 2차적으로 상기 카세트에 걸림바를 자동 연결하여 상기 카세트를 상기 챔버 내를 이송시킴으로써, 챔버 내에서의 상기 카세트의 이송을 모두 자동화하고, 상기 카세트에 적재된 복수개의 기판에 대하여 다양한 공정을 신속하게 진행시킬 수 있는 챔버 내 카세트 이송장치 및 이를 이용한 챔버 내 카세트 이송 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a cassette transferring apparatus in a chamber and a cassette transferring method using the cassette transferring apparatus. More particularly, the present invention relates to a cassette transferring apparatus and a cassette transferring method that draws the cassette into a chamber in a first gear- And automatically transferring the cassette in the chamber by automatically connecting the cassette to the cassette and transferring the cassette in the chamber so that various processes can be promptly advanced with respect to the plurality of substrates loaded on the cassette The present invention relates to a cassette transfer device in a chamber and a method of transferring a cassette in a chamber using the same.

LCD 등 평판패널디스플레이 제조 공정에서는 기판에 대하여 다양한 공정을 수행한다. 예를 들어, 소정의 목적을 달성하기 위하여 기판에 대하여 수세 공정, 에칭 공정, 슬리밍 공정 등을 수행한다.In flat panel display manufacturing process such as LCD, various processes are performed on the substrate. For example, a washing process, an etching process, a slimming process, and the like are performed on a substrate to achieve a predetermined object.

기판에 대한 다양한 공정을 수행함에 있어서, 공정 효율을 높이기 위하여 복수개의 기판을 카세트에 적재한 상태로 소정의 공정을 진행한다. 예를 들어, 특허출원 10-2008-0033314호(하향식 기판 박형화 장치 및 이를 이용한 박형화 방법)에 기재된 바와 같이, 기판을 박형화시키기 위하여 복수개의 기판을 카세트 기능을 수행하는 고정부에 수직방향으로 고정시킨 상태에서 소정 공정(박형화 공정)을 수행한다.In performing various processes on the substrate, a predetermined process is performed in a state where a plurality of substrates are loaded on a cassette in order to increase process efficiency. For example, as disclosed in Patent Application No. 10-2008-0033314 (a top-down type substrate thinning apparatus and a thinning method using the same), a plurality of substrates are fixed in a vertical direction to a fixing unit performing a cassette function A predetermined process (thinning process) is performed.

그리고, 수세 챔버 및 에칭 챔버들 사이에서 상기 고정부를 이동시킬 수 있도록 이동 유닛을 구비한다. 즉, 복수개의 기판이 적재된 카세트(고정부)를 이동 유닛을 이용하여 수세챔버와 에칭 챔버를 왕복 이동할 수 있도록 구성한다.A moving unit is provided to move the fixing unit between the washing chamber and the etching chambers. That is, a cassette (fixed portion) on which a plurality of substrates are stacked is configured to be able to reciprocate the washing chamber and the etching chamber using a moving unit.

상기 카세트를 챔버 내에서 이송시키는 이동 유닛은 다양한 형태로 구성될 수 있다. 예를 들어, 상기 카세트에 걸쇠를 걸어서 작업자가 상기 카세트를 밀거나 당겨서 상기 카세트를 이송시키거나, 또는 작업자가 상기 카세트에 걸쇠를 건 후, 상기 걸쇠를 구동 장치에 의하여 수평 왕복시킴으로써, 상기 카세트를 상기 챔버 내에서 이송시키는 구조로 구성할 수 있다.The moving unit for transferring the cassette in the chamber can be configured in various forms. For example, when a worker pushes or pulls the cassette by pivoting the cassette, or the operator pivots the cassette, and after the operator pinched the cassette, the pawl is horizontally reciprocated by the driving device, And transported in the chamber.

기판에 대하여 에칭 공정 또는 슬리밍 공정(박형화 공정)을 수행하기 위해서는 일반적으로, 로딩 챔버, 수세 챔버 및 공정(에칭 또는 슬리밍 공정) 챔버가 수평 방향으로 연결된 다단 챔버를 이용하게 된다.In order to perform an etching process or a slimming process (thinning process) on a substrate, a loading chamber, a flushing chamber, and a process (etching or slimming process) chamber generally use a multi-stage chamber connected in the horizontal direction.

이와 같이, 로딩 챔버, 수세 챔버 및 공정 챔버가 연결된 다단 챔버를 이용하여 기판에 대하여 에칭 공정 또는 슬리밍 공정을 수행하고자 하는 경우, 복수개의 기판이 적재된 카세트는 작업자에 의하여 거의 수세 챔버까지 인입되고, 그 후 걸쇠의 일단을 상기 카세트에 걸고, 상기 걸쇠의 타단이 연결되어 있는 구동 장치를 구동시킴으로써, 상기 카세트를 상기 수세 챔버 및 공정 챔버를 이송시켜 상기 카세트에 적재된 기판에 대하여 수세 공정 및 에칭 또는 슬리밍 공정을 수행하게 된다.In the case where an etching process or a slimming process is to be performed on the substrate using the multi-stage chamber connected to the loading chamber, the wash chamber, and the process chamber, the cassette on which the plurality of substrates are loaded is almost drawn to the wash chamber by the operator, And then the cassette is transferred to the wash chamber and the process chamber by driving one of the ends of the latch to the cassette and driving the driving device to which the other end of the latch is connected so that the substrate loaded on the cassette is washed and etched or Thereby performing a slimming process.

이와 같은 방법에 의한 카세트 이송 방법은 챔버 내의 오염 가능성이 높아지고, 기판 처리를 위한 시간 및 노력이 매우 많이 소요되는 문제점을 안고 있다. 따라서, 챔버 내의 전 구간에서 복수개의 기판이 적재된 카세트를 자동으로 이송시킬 수 있는 장치 및 방법이 제안될 필요성이 있다.
The method of conveying a cassette by such a method has a high probability of contamination in the chamber, and requires much time and effort for substrate processing. Therefore, there is a need to propose an apparatus and method capable of automatically transferring a cassette on which a plurality of substrates are loaded in a whole section in a chamber.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 복수개의 챔버가 수평 방향으로 연결되어 있는 다단 챔버 내에서 1차적으로 기어 결합으로 상기 카세트를 챔버 내로 인입시키고, 2차적으로 상기 카세트에 걸림바를 자동 연결하여 상기 카세트를 상기 챔버 내를 이송시킴으로써, 챔버 내에서의 상기 카세트의 이송을 모두 자동화하고, 상기 카세트에 적재된 복수개의 기판에 대하여 다양한 공정을 신속하게 진행시킬 수 있는 챔버 내 카세트 이송장치 및 이를 이용한 챔버 내 카세트 이송 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art as described above, and it is an object of the present invention to provide a method and a device for feeding a cassette into a chamber by first gearing in a multistage chamber in which a plurality of chambers are connected in a horizontal direction, A cassette is automatically connected and the cassette is conveyed in the chamber so as to automate all of the conveyance of the cassette in the chamber and to rapidly advance various processes to a plurality of substrates mounted on the cassette It is an object of the present invention to provide a cassette transfer device and a cassette transfer method in a chamber using the same.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 챔버 내 카세트 이송 장치를 이루는 구성수단은, 챔버 내 카세트 이송 장치에 있어서, 상기 챔버 바닥면에 구비되어 있는 레일에 안착되는 바퀴가 밑면에 구비되고, 측면 하단에 랙기어가 부착되며, 후면 하단에 걸림부가 구비되는 카세트, 상기 챔버 측벽에 설치되어 상기 카세트의 랙기어에 맞물려서 상기 카세트를 이송시키되, 상기 카세트가 인입되는 상기 챔버의 일단부터 일정 거리까지의 제1 이송구간에서 상기 카세트를 이송시키는 제1 이송수단, 상기 챔버의 바닥면에 길게 형성된 함몰부에 배치되어 상기 카세트의 걸림부에 걸림바를 걸어서 상기 카세트를 이송시키되, 제2 이송구간에서 상기 카세트를 이송시키는 제2 이송수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-described problems, the present invention provides a cassette transfer device in a chamber, wherein the cassette transfer device is provided with a wheel mounted on a bottom surface of the chamber, A cassette having a rack gear attached to a lower side of a lower side thereof and a latching part provided on a lower side of a rear side thereof; a cassette mounted on the side wall of the chamber for engaging with the rack gear of the cassette to transfer the cassette, A first conveying unit for conveying the cassette in a first conveyance period of the chamber, a conveying unit disposed in a depression formed in a long side of the bottom surface of the chamber to convey the cassette by hooking the catching part of the cassette, And second conveying means for conveying the cassette.

여기서, 상기 챔버는 복수개의 챔버가 수평방향으로 연결되어 있는 다단 챔버인 것을 특징으로 한다.Here, the chamber is a multi-stage chamber in which a plurality of chambers are connected in a horizontal direction.

여기서, 상기 제1 이송수단은 상기 챔버 측벽에 관통되어 장착되는 관통케이스, 상기 관통케이스 내부에 배치되어 회전하는 회전로드, 상기 회전로드의 일단에 연결된 상태로 상기 챔버 외부에 배치되는 구동모터, 상기 회전로드의 타단에 연결된 상태로 상기 카세트의 랙기어에 맞물릴 수 있도록 배치되는 피니언 기어를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Here, the first conveying means may include a through-case for passing through the side wall of the chamber, a rotating rod disposed inside the through-case, a driving motor disposed outside the chamber in a state connected to one end of the rotating rod, And a pinion gear disposed so as to be engaged with the rack gear of the cassette while being connected to the other end of the rotary rod.

또한, 상기 제2 이송수단은 상기 함몰부에 길게 배치되는 가이더를 따라 슬라이딩되는 이송체, 상기 이송체에 회전 가능하게 결합되는 회전 결합부가 일단에 형성되고 타단에는 상기 카세트의 걸림부에 걸릴 수 있는 후크부가 구비되어 있는 걸림바, 상기 이송체에 배치되어 상기 걸림바의 일단을 회전시킴으로써 상기 후크부를 승하강시키는 걸림바 구동부, 상기 이송체를 상기 함몰부의 길이 방향으로 구동시키는 이송체 구동부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the second conveying means may include a conveying member sliding along a guider disposed long in the depressed portion, a rotatable coupling portion rotatably coupled to the conveying member at one end, and the other end may be engaged with the retaining portion of the cassette A latching bar provided with a hook, a latching bar driving part disposed on the conveying body for moving the hooking part up and down by rotating one end of the latching bar, and a conveying body driving part driving the conveying body in the longitudinal direction of the depressing part .

여기서, 상기 이송체는 상기 걸림바 구동부를 배치하기 위하여, 수평 플레이트와, 상기 수평 플레이트의 양측 상에 배치되는 수직 플레이트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Here, the conveying member may include a horizontal plate and a vertical plate disposed on both sides of the horizontal plate to arrange the latching bar driving unit.

여기서, 상기 걸림바 구동부는 상기 수직 플레이트 상에 양단이 회전 가능하게 안착 결합되고 중앙 부분이 상기 회전 결합부의 일측에 고정 결합되는 회전바와, 상기 수직 플레이트의 측면에 회전 가능하게 결합되어 상기 회전 결합부를 승하강시키는 회전판과, 상기 수평 플레이트 상에 배치되어 상기 회전판에 회전력을 전달하는 제1 동력전달부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The latch bar driving unit includes a rotation bar on which the both ends are rotatably seated and engaged on the vertical plate and a central portion is fixedly coupled to one side of the rotation coupling unit, And a first power transmission part disposed on the horizontal plate and transmitting a rotational force to the rotation plate.

여기서, 상기 회전판의 측면에는 상기 회전 결합부를 걸어서 상승 또는 하강시키는 상하부 걸림 돌기가 형성되는 것을 특징으로 한다.Here, upper and lower latching protrusions are formed on the side surface of the rotation plate to raise or lower the rotation coupling portion.

여기서, 상기 수평 플레이트 상에는 상기 회전 결합부가 하강한 상태에서 상기 회전 결합부 하부를 탄성 지지하는 탄성 부재가 구비되는 것을 특징으로 한다.Here, the horizontal plate is provided with an elastic member for elastically supporting the lower portion of the rotary coupling portion in a state where the rotary coupling portion is lowered.

또한, 상기 이송체 구동부는 상기 함몰부 양 끝단에 각각 회전 가능하게 배치되는 회전 풀리와, 상기 회전 풀리에 감겨져서 회전하고 상기 이송체의 수평 플레이트와 결합되는 회전 벨트와, 상기 회전 풀리에 회전력을 전달하는 제2 동력전달부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The conveyance body driving unit may include a rotation pulley rotatably disposed at both ends of the depression, a rotation belt wound around the rotation pulley and engaged with the horizontal plate of the conveyance body, And a second power transmitting unit for transmitting the power transmitted from the second power transmitting unit.

여기서, 상기 회전 벨트는 표면에 이빨이 형성되어 있는 벨트이고, 상기 회전 벨트와 결합되는 상기 이송체의 수평 플레이트 상에는 치형부가 형성되어 있으며, 상기 회전 벨트와 상기 수평 플레이트 상의 치형부의 이격을 방지하기 위한 고정판이 상기 회전 벨트 상에 결합되는 것을 특징으로 한다.In this case, the rotary belt is a belt having teeth formed on its surface, and a tooth is formed on a horizontal plate of the conveyance body coupled with the rotary belt, and the rotary belt and the teeth And a fixing plate is coupled onto the rotating belt.

한편, 상기 챔버 내 카세트 이송 장치를 이용한 챔버 내 카세트 이송 방법을 이루는 구성수단은, 챔버 내 카세트 이송 방법에 있어서, 카세트 인입 장치를 이용하여 상기 카세트를 챔버 내의 레일에 안착시키고, 상기 카세트의 랙기어가 챔버의 내측벽에 배치되는 피니언 기어에 맞물리도록 하는 카세트 로딩 단계, 제1 이송수단을 구동시켜 상기 카세트를 제1 이송구간 끝까지 이송시키는 제1 구간 이송단계, 상기 카세트의 후면 하단에 구비되는 걸림부에 제2 이송수단의 걸림바 후크부를 거는 걸림바 결합단계, 상기 제2 이송수단을 구동시켜 상기 카세트를 제2 이송구간 내에서 이송시키는 제2 구간 이송단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.Meanwhile, the constituent means constituting the intra-chamber cassette transfer method using the cassette transfer device in the chamber is characterized in that in the method of transferring the cassette in the chamber, the cassette is placed on the rail in the chamber using the cassette pull- A first section conveying step of conveying the cassette to the end of the first conveyance section by driving the first conveyance section, a second section conveying step of conveying the cassette to the lower end of the rear side of the cassette, And a second section transferring step of transferring the cassette in a second transfer section by driving the second transfer section. The second transfer section transfers the cassette in the second transfer section by engaging the latch bar hook of the second transfer section with the hook section of the second transfer section.

여기서, 상기 챔버는 복수개의 챔버가 수평방향으로 연결되어 있는 다단 챔버인 것을 특징으로 한다.Here, the chamber is a multi-stage chamber in which a plurality of chambers are connected in a horizontal direction.

여기서, 상기 제1 이송구간의 끝은 상기 카세트의 걸림부가 상기 챔버의 바닥면에 형성된 함몰부에 위치하고 있는 걸림바의 후크부를 지난 지점인 것을 특징으로 한다.Here, the end of the first transfer section may be a point past the hook portion of the latching bar located in the depression formed in the bottom surface of the chamber.

여기서, 상기 걸림바 결합 단계는 상기 제2 이송수단의 걸림바 구동부를 구동시켜 걸림바의 후크부를 승강시키는 과정, 상기 제1 이송수단을 구동시켜 상기 카세트의 걸림부가 상기 걸림바의 후크부에 대하여 수직선상 하측에 위치하도록 상기 카세트를 후진시키는 과정, 상기 제2 이송수단의 걸림바 구동부를 구동시켜 상기 걸림바의 후크부가 하강하여 상기 카세트의 걸림부에 걸어지는 과정을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Here, the engaging bar engaging step may include driving the engaging bar driving part of the second conveying device to elevate the hook part of the engaging bar, driving the first conveying device such that the engaging part of the cassette is hooked on the hook part of the engaging bar Moving the cassette backward so as to be positioned on the lower side of the vertical line, and driving the latching bar driving unit of the second feeding means so that the hook of the latching bar is lowered and hooked on the latching portion of the cassette. do.

또한, 상기 걸림바 결합 단계는 상기 제2 이송수단의 걸림바 구동부를 구동시켜 걸림바의 후크부를 승강시키는 과정, 상기 제2 이송수단을 구동시켜 상기 걸림바의 후크부가 상기 카세트의 걸림부에 대하여 수직선상 상측에 위치하도록 상기 이송체를 전진시키는 과정, 상기 제2 이송수단의 걸림바 구동부를 구동시켜 상기 걸림바의 후크부가 하강하여 상기 카세트의 걸림부에 걸어지는 과정을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
The engaging bar engaging step may include driving the engaging bar driving part of the second conveying device to elevate the hook part of the engaging bar and driving the second conveying device so that the hook part of the engaging bar is engaged with the engaging part of the cassette Moving the conveying member to a position above the vertical line, driving the latching bar driving unit of the second conveying unit to lower the hook of the latching bar and hooking the latching unit on the cassette. .

상기와 같은 과제 및 해결 수단을 가지는 본 발명인 챔버 내 카세트 이송장치 및 이를 이용한 챔버 내 카세트 이송 방법에 의하면, 복수개의 챔버가 수평 방향으로 연결되어 있는 다단 챔버 내에서 1차적으로 기어 결합으로 상기 카세트를 챔버 내로 인입시키고, 2차적으로 상기 카세트에 걸림바를 자동 연결하여 상기 카세트를 상기 챔버 내를 이송시킬 수 있기 때문에, 챔버 내에서의 상기 카세트의 이송을 모두 자동화하고, 상기 카세트에 적재된 복수개의 기판에 대하여 다양한 공정을 신속하게 진행시킬 수 있는 장점이 있다.
According to the present invention, there is provided a cassette transferring apparatus in a chamber and a method of transferring a cassette in a chamber using the same, wherein the plurality of chambers are connected in a horizontal direction in a first gear- It is possible to automate all of the conveyance of the cassette in the chamber, and it is possible to automatically transfer the cassettes to the plurality of substrates mounted on the cassettes, So that various processes can be performed promptly.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 챔버 내 카세트 이송 장치의 정면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 챔버 내 카세트 이송 장치의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 챔버 내 카세트 이송 장치의 측면도이다.
도 4는 본 발명에 적용되는 제1 이송수단의 상세도이다.
도 5는 본 발명에 적용되는 제2 이송수단의 전체 사시도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명에 적용되는 제2 이송수단에 부분 사시도이다.
도 7 내지 도 11은 본 발명에 따른 챔버 내 카세트 이송 방법의 설명도이다.1 is a front view of a cassette transfer device in a chamber according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view of a cassette transfer device in a chamber according to an embodiment of the present invention.
3 is a side view of a cassette transfer device in a chamber according to an embodiment of the present invention.
4 is a detailed view of the first conveying means applied to the present invention.
5 is an overall perspective view of a second conveying means applied to the present invention.
6A and 6B are partial perspective views of the second conveying means applied to the present invention.
7 to 11 are explanatory diagrams of a cassette transfer method in a chamber according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 과제, 해결수단 및 효과를 가지는 본 발명인 챔버 내 카세트 이송장치 및 이를 이용한 챔버 내 카세트 이송 방법에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.The sizes and shapes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience. In addition, terms defined in consideration of the configuration and operation of the present invention may be changed according to the intention or custom of the user, the operator. Definitions of these terms should be based on the content of this specification.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 챔버 내 카세트 이송장치의 정면도이고, 도 2는 평면도이며 도 3은 측면도이다. 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 챔버 내 카세트 이송장치에 관한 구성상 특징 및 작동에 대하여 설명하면 다음과 같다.1 is a front view of a cassette transfer apparatus in a chamber according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a plan view, and Fig. 3 is a side view. 1 to 3, the constitutional features and operation of the cassette transfer apparatus in the chamber according to the embodiment of the present invention will be described as follows.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 챔버 내 카세트 이송장치는 챔버(10) 내에서 자동으로 이송되는 카세트(30), 상기 카세트를 기어 조립체를 통해 이송시키는 제1 이송수단(40) 및 상기 제1 이송수단(40)에 의하여 일정 거리만큼 이송된 상기 카세트를 걸림바를 결합시켜 이송시키는 제2 이송수단(50)을 포함하여 구성된다.1 to 3, a cassette transfer apparatus in a chamber according to the present invention includes a cassette 30 which is automatically transferred in a chamber 10, first transfer means for transferring the cassette through a gear assembly And a second conveying means (50) for conveying the cassette, which has been conveyed by a predetermined distance by the first conveying means (40), by engaging the catching bar.

본 발명에서 적용되는 상기 챔버(10)는 길이가 긴 단일 챔버일 수도 있지만, 복수개의 챔버가 수평 방향으로 연결되어 구성되는 다단 챔버인 것이 바람직하다. 예를 들어, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(10)는 로딩 챔버(1), 수세 챔버(2) 및 공정 챔버(3)로 구성되는 다단 챔버인 것이 바람직하다. 더 나아가 상기 챔버(10)는 로딩 챔버, 수세챔버, 공정챔버, 수세챔버 및 언로딩 챔버가 순서대로 연결된 다단 챔버일 수도 있다. 여기서 공정 챔버는 상기 카세트(30)에 적재된 복수개의 기판에 대하여 에칭 공정 또는 슬리밍(박형화) 공정을 수행하는 챔버를 의미한다.The chamber 10 according to the present invention may be a single chamber having a long length, but is preferably a multistage chamber having a plurality of chambers connected in the horizontal direction. For example, as shown in FIGS. 1 to 3, the chamber 10 is preferably a multi-stage chamber composed of a loading chamber 1, a wash chamber 2 and a process chamber 3. Furthermore, the chamber 10 may be a multistage chamber in which a loading chamber, a flushing chamber, a process chamber, a flushing chamber, and an unloading chamber are sequentially connected. Here, the process chamber means a chamber for performing an etching process or a slimming process (thinning process) on a plurality of substrates mounted on the cassette 30. [

상기 챔버(10)의 바닥면(13)에는 후술할 상기 카세트(30)의 밑면에 부착된 바퀴(35)가 안착되는 한 쌍의 레일(15)이 평행하게 깔려있고, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(10)의 바닥면(13) 중앙 부분에는 챔버(10)의 길이 방향으로 함몰부(11)가 형성되어 있다. 상기 함몰부(11)에는 후술하겠지만, 상기 제2 이송수단이 배치되어 있다.A pair of rails 15 on which a wheel 35 attached to the bottom of the cassette 30 to be described later is mounted are laid in parallel on a bottom surface 13 of the chamber 10, A depression 11 is formed in the center of the bottom surface 13 of the chamber 10 in the longitudinal direction of the chamber 10. The depressed portion 11 is provided with the second conveying means as will be described later.

본 발명에 적용되는 상기 카세트(30)는 에칭 또는 슬리밍 공정을 수행받을 복수개의 기판을 적재하고 있고, 상기 챔버(10) 내의 인입 공간에 안착된다. 예를 들어, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 로딩 챔버(1), 수세 챔버(2) 및 공정 챔버(30)로 챔버(10)가 구성되는 경우 로딩 챔버(1)에 우선적으로 안착된다. The cassette 30 according to the present invention is loaded with a plurality of substrates to be subjected to an etching or slimming process, and is seated in a receiving space in the chamber 10. For example, as shown in FIGS. 1 to 3, when the chamber 10 is configured with the loading chamber 1, the water wash chamber 2 and the process chamber 30, the load chamber 1 is preferentially seated do.

상기 챔버의 인입 공간으로 상기 카세트(30)의 안착은 다양한 카세트 인입 장치에 의하여 이루어진다. 예를 들어, 카세트 자동 이동 로봇 또는 카세트 자동 이동체가 상기 복수개의 기판이 적재된 카세트를 상기 챔버의 인입 공간, 즉 로딩 챔버(1)로 안착시킨다.The seating of the cassette 30 into the inlet space of the chamber is accomplished by various cassette entry devices. For example, a cassette automatic mover or a cassette automatic mover locates the cassette loaded with the plurality of substrates into the loading space of the chamber, i.e., the loading chamber 1.

상기 카세트(30)는 상기 챔버(10)의 바닥면(13)에 구비되어 있는 상기 레일(15)에 안착되는 바퀴(35)를 밑면에 구비하고 있다. 따라서, 상기 제1 이송수단(40) 또는 제2 이송수단(50)이 상기 카세트(30)에 힘을 가하면, 상기 카세트(30)는 상기 레일(15)을 따라 상기 챔버(10)의 길이 방향으로 이동할 수 있다.The cassette 30 has a wheel 35 mounted on the bottom surface 13 of the chamber 10 and mounted on the rail 15. When the first conveying means 40 or the second conveying means 50 applies a force to the cassette 30, the cassette 30 is moved along the rail 15 in the longitudinal direction of the chamber 10 . ≪ / RTI >

상기 카세트(30)의 측면 하단에는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 랙기어(33)가 부착되어 있다. 구체적으로 상기 챔버(10)의 측벽과 평행한 상태가 되도록 상기 카세트의 양 측면 하단에 각각 랙기어(33)가 부착되어 있다. 물론 상기 카세트의 한쪽 측면에만 상기 랙기어(33)가 부착될 수도 있다. 후술하겠지만, 상기 랙기어(33)는 상기 제1 이송수단(40)의 피니언 기어(47)와 맞물리도록 배치된다.A rack gear 33 is attached to the lower side of the cassette 30 as shown in FIGS. Specifically, a rack gear 33 is attached to the lower ends of both sides of the cassette so as to be in parallel with the side wall of the chamber 10. Of course, the rack gear 33 may be attached to only one side of the cassette. As will be described later, the rack gear 33 is arranged to engage with the pinion gear 47 of the first conveying means 40.

도 1에 도시된 챔버 구조에서, 왼쪽에서 카세트가 인입되어 오른쪽으로 이동하는 경우, 상기 카세트(30)의 전면은 오른쪽에 있는 면이고, 후면은 왼쪽에 있는 면이며, 측면은 상기 챔버(10)의 벽면과 마주보고 있는 면을 의미한다.1, the front surface of the cassette 30 is the surface on the right side, the rear surface is the surface on the left side, and the side surface is the side surface of the chamber 10, And the side facing the wall of the wall.

상기 카세트(30)의 후면 하단에는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 걸림부(31)가 구비된다. 상기 걸림부(31)는 후술할 제2 이송수단(50)의 걸림바(53)의 일부분인 후크부(53b)가 걸어져서 결합되는 부분이다.As shown in FIGS. 1 to 3, a catching part 31 is provided at the lower rear of the cassette 30. The hooking portion 31 is a portion to which a hook portion 53b, which is a part of the hooking bar 53 of the second feeding means 50, is engaged and engaged.

상기 걸림부(31)는 상기 후크부(53b)가 걸릴 수 있는 구조이면 다양한 형상으로 구성될 수 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 걸림부(31)는 요홈 형상을 가질 수 있고, 상기 후크부(53b)는 "T"자 형상을 가짐으로써, 상기 후크부(53b)를 상기 걸림부(31)에 걸 수 있다. 이와 같은 구조를 통하여, 상기 걸림바(53)를 당기면 후크부가 걸림부에 걸려서 상기 카세트가 당겨지고, 상기 걸림바(53)를 밀면 상기 후크부가 상기 카세트의 프레임에 지지되어 상기 카세트가 밀리게 된다.The hooking part 31 may have various shapes as long as the hooking part 53b can be hooked. For example, as shown in FIG. 3, the hook portion 31 may have a groove shape, and the hook portion 53b may have a "T" shape so that the hook portion 53b And can be hooked to the locking portion 31. Through this structure, when the latching bar 53 is pulled, the hook portion is caught by the latching portion and the cassette is pulled. When the latching bar 53 is pushed, the hook portion is supported by the frame of the cassette so that the cassette is pushed .

상기와 같은 구조로 이루어진 상기 카세트(30)가 상기 챔버(10)의 인입 공간, 즉 로딩 챔버(1)로 안착되면, 상기 제1 이송수단(40)에 의하여 1차적으로 상기 카세트(30)를 소정 거리만큼 이송시킨다. 후술하겠지만, 상기 제1 이송수단(40)은 상기 카세트(30)의 걸림부(31)가 상기 함몰부(11)에 위치하고 있는 걸림바(53)의 후크부(53b)를 지난 지점, 즉 상기 후크부(53b)가 상기 걸림부(31)에 방해받지 않고 상승할 수 있는 지점까지 상기 카세트를 이송시킨다. 이와 같은 상기 제1 이송수단(40)에 의한 상기 카세트(30)의 이송구간을 제1 이송구간이라 정의한다. 상기 제1 이송구간은 상기 걸림바의 위치에 따라 변경되는 구간이다.When the cassette 30 having the above structure is seated in the loading space of the chamber 10, that is, the loading chamber 1, the cassette 30 is primarily moved by the first transfer means 40 And transports it by a predetermined distance. The first conveying means 40 is configured such that the catching portion 31 of the cassette 30 is positioned at a point past the hook portion 53b of the catching bar 53 located in the depression 11, The cassette is transported to a point where the hook portion 53b can be lifted without being disturbed by the catching portion 31. [ The conveyance period of the cassette 30 by the first conveyance means 40 is defined as a first conveyance period. The first transfer section is a section that changes according to the position of the latching bar.

상기 제1 이송수단(40)은 상기 챔버 측벽에 설치되어 상기 카세트(30)의 랙기어(33)에 맞물려서 상기 카세트(30)를 이송시키되, 상기 카세트(30)가 인입되는 상기 챔버(10)의 일단부터 일정 거리까지의 제1 이송구간에서 상기 카세트(30)를 이송시킨다.The first transfer means 40 is installed on a side wall of the chamber so as to engage with the rack gear 33 of the cassette 30 to transfer the cassette 30. The first transfer means 40 transfers the cassette 30 to the chamber 10, The cassette 30 is transported in a first transporting period from one end of the cassette 30 to a certain distance.

즉, 상기 제1 이송수단(40)은 상기 카세트(30)가 챔버의 인입 공간, 즉 로딩 챔버(1)에 인입되면 상기 카세트(30)를 이송시키고, 상기 제1 이송구간의 끝 지점에 해당하는 지점, 즉 상기 후크부(53b)가 상기 걸림부(31)에 방해받지 않고 상승할 수 있는 지점까지 상기 카세트를 이송시킬 수 있다. 정리하면, 상기 제1 이송수단(40)은 상기 제1 이송구간 내에서 상기 카세트(30)를 수평 왕복운동시킬 수 있다.That is, the first transfer means 40 transfers the cassette 30 when the cassette 30 is drawn into the loading space of the chamber, that is, the loading chamber 1, and the cassette 30 is moved to the end of the first transfer section That is, the hook portion 53b can be moved up to a point where it can be raised without being disturbed by the latching portion 31. [ In summary, the first transfer means 40 can horizontally reciprocate the cassette 30 within the first transfer section.

상기 제1 이송수단(40)에 의하여 상기 카세트(30)를 이동시키기 위하여, 상기 카세트(30)는 상기 랙기어(33)가 상기 제1 이송수단(40)의 피니언 기어(47)에 맞물린 상태가 되도록 상기 챔버의 인입 공간, 즉 로딩 챔버(1)에 안착된다.In order to move the cassette 30 by the first conveying means 40, the cassette 30 is moved in a state in which the rack gear 33 is engaged with the pinion gear 47 of the first conveying means 40 I.e., the loading chamber 1, of the chamber.

이와 같이, 상기 카세트(30)의 한쪽 측면 또는 양 측면 하단에 부착되는 상기 랙기어(33)가 상기 제1 이송수단(40)의 피니언 기어(47)에 맞물린 상태가 되면, 상기 제1 이송수단(40)을 구동시켜 상기 카세트(30)를 상기 제1 이송구간 내에서 수평 왕복이동시킬 수 있고, 수세 공정 및 에칭(슬리밍) 공정을 수행하기 위하여 상기 카세트를 상기 제1 이송구간 끝 지점까지 이송시킨다.When the rack gear 33 attached to the lower side of one side or both sides of the cassette 30 is engaged with the pinion gear 47 of the first conveying means 40, The cassette 30 can be horizontally reciprocated within the first transfer section by driving the cassette 30 and the cassette 30 is transported to the end point of the first transfer section in order to perform a washing process and an etching (slimming) process .

도 4는 상기 제1 이송수단(40)의 배치구조를 보여주는 상세도이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1 이송수단(40)은 상기 챔버(10) 측벽에 관통되어 장착되는 관통케이스(41), 상기 관통케이스(41) 내부에 배치되어 회전하는 회전로드(43), 상기 회전로드(43)의 일단에 연결된 상태로 상기 챔버(10) 외부에 배치되는 구동모터(45), 상기 회전로드(43)의 타단에 연결된 상태로 상기 카세트(30)의 랙기어(33)에 맞물릴 수 있도록 배치되는 피니언 기어(47)를 포함하여 구성된다.4 is a detailed view showing the arrangement structure of the first transfer means 40. As shown in FIG. 4, the first transfer means 40 includes a through-case 41 which is inserted through the side wall of the chamber 10, a rotating rod 43 disposed inside the through- A driving motor 45 disposed outside the chamber 10 in a state of being connected to one end of the rotary rod 43, a rack gear 43 of the cassette 30 connected to the other end of the rotary rod 43, 33 of the pinion gear 47. As shown in Fig.

이와 같은 구조를 가지는 상기 제1 이송수단(40)은 상기 챔버(10)의 양 측벽에 설치되어 상기 카세트(30)의 양 측면 하단에 각각 부착되는 랙기어(33)에 맞물려서 상기 카세트(30)를 이송시킨다. 물론 상기 제1 이송수단(40)은 상기 챔버(10)의 한쪽 측벽에 설치되어 상기 카세트(30)의 한쪽 측면 하단에 부착되는 랙기어(33)에 맞물려서 상기 카세트(30)를 이송시킬 수도 있다.The first conveying means 40 having such a structure is mounted on both side walls of the chamber 10 and is engaged with a rack gear 33 attached to the lower ends of both sides of the cassette 30, . Of course, the first conveying means 40 may be provided on one side wall of the chamber 10 and may be engaged with a rack gear 33 attached to the lower side of one side of the cassette 30 to convey the cassette 30 .

구체적으로, 상기 구동모터(45)를 구동하여 상기 회전로드(43)를 회전시키면, 상기 피니언 기어(47)가 회전하고, 결과적으로 상기 피니언 기어(47)에 맞물려 있는 랙기어(33)에 힘이 가해져서 상기 카세트가 직선 운동을 할 수 있다.More specifically, when the driving motor 45 is driven to rotate the rotation rod 43, the pinion gear 47 rotates, and consequently, the rack gear 33 engaged with the pinion gear 47 is subjected to a force So that the cassette can perform linear motion.

상기 제1 이송수단(40)에 의하여 상기 카세트(30)가 제1 이송구간의 끝지점, 즉 상기 후크부(53b)가 상기 걸림부(31)에 방해받지 않고 상승할 수 있는 지점까지 이송되면, 상기 카세트(30)는 상기 제2 이송수단(50)에 의하여 본격적으로 이송된다.When the cassette 30 is transported to a point where the end of the first transporting section, that is, the hook portion 53b can be raised without being disturbed by the latching portion 31 by the first transfer means 40 , The cassette 30 is fully transferred by the second transfer means 50.

상기 제2 이송수단(50)은 상기 챔버(10)의 바닥면(13)에 길게 형성된 함몰부(11)에 배치되어 상기 카세트(30)의 걸림부(31)에 걸림바(53)를 걸어서 상기 카세트(30)를 이송시킨다. 상기 제2 이송수단(50)은 상기 걸림바(53)가 상기 걸림부(31)에 결합된 지점부터 상기 챔버(10)의 끝단(가장 오른쪽에 위치하고 있는 챔버의 끝단)까지 구간에 해당하는 제2 이송구간에서 상기 카세트(30)를 이송시킨다.The second conveying means 50 is disposed in a depression 11 formed on a bottom surface 13 of the chamber 10 so as to engage the latching bar 53 with the latching portion 31 of the cassette 30 And the cassette 30 is transported. The second conveying means 50 is provided at a position corresponding to the section from the position where the latching bar 53 is coupled to the latching portion 31 to the end of the chamber 10 2 transporting section.

후술하겠지만, 상기 제1 이송구간과 제2 이송구간은 서로 분리된 이송 구간에 해당되나, 상기 걸림바(53)의 후크부(53b)를 상기 카세트의 걸림부(31)에 걸기 위하여 서로 중복되는 구간이 다소 발생한다.As described later, the first transfer section and the second transfer section correspond to transfer sections separated from each other. However, in order to hook the hook section 53b of the latching bar 53 to the latch section 31 of the cassette, The section occurs somewhat.

상기 제2 이송수단(50)은 상기 카세트(30)가 상기 챔버(10) 내에서 이동하는 과정에서 장애가 되지 않도록, 상기 챔버의 바닥면(13)에 형성된 함몰부(11)에 배치된다. 그리고, 상기 카세트(30)의 걸림부(31)에 상기 후크부(53b)를 걸어서 이송시키는 경우에만, 상기 걸림바(53)를 상기 챔버 바닥면(13) 위로 상승시킨다.The second conveying means 50 is disposed in the depression 11 formed in the bottom surface 13 of the chamber so that the cassette 30 does not obstruct the movement of the cassette 30 in the chamber 10. The latching bar 53 is raised above the chamber bottom surface 13 only when the hook portion 53b is hooked to the latching portion 31 of the cassette 30. [

도 5 및 도 6a, 도 6b는 상기 제2 이송수단(50)의 전체적인 사시도와 상세도이다. 상기 제2 이송수단(50)은 상기 함몰부(11)에 길게 배치되는 가이더(11a)를 따라 슬라이딩되는 이송체(51), 상기 이송체(51)에 회전 가능하게 결합되는 회전 결합부(53a)가 일단에 형성되고 타단에는 상기 카세트(30)의 걸림부(31)에 걸릴 수 있는 후크부(53b)가 구비되어 있는 걸림바(53), 상기 이송체(51)에 배치되어 상기 걸림바(53)의 일단을 회전시킴으로써 상기 후크부(53b)를 승하강시키는 걸림바 구동부(55), 상기 이송체(51)를 상기 함몰부(11)의 길이 방향으로 구동시키는 이송체 구동부(57)를 포함하여 이루어진다.Figs. 5 and 6A and 6B are a perspective view and a detailed view of the second conveying means 50, respectively. The second conveying means 50 includes a conveying body 51 slidable along a guider 11a disposed in the depression 11, a rotation engaging portion 53a rotatably coupled to the conveying body 51, A catching bar 53 provided at one end with a hook portion 53b capable of being hooked to the catching portion 31 of the cassette 30, A hook bar driving part 55 for moving up and down the hook part 53b by rotating one end of the hook 53 and a conveyor driving part 57 for driving the conveying part 51 in the longitudinal direction of the depressed part 11, .

상기 이송체(51)는 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 함몰부(11)에 길게 배치되어 있는 가이더(11a)를 따라 슬라이딩된다. 상기 가이더(11a)는 레일 형태로 구성되어 상기 이송체의 밑면 또는 측면 또는 밑면과 측면에 슬라이딩 구조로 결합된다.As shown in FIGS. 1 and 3, the conveying body 51 is slid along a guider 11a that is long in the depression 11. The guider 11a is formed in a rail shape and is coupled to a bottom surface, a side surface, a bottom surface and a side surface of the conveyance body in a sliding structure.

상기 이송체(51)는 도 5 및 도 6a, 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 걸림바 구동부(55)를 배치시키고, 상기 이송체 구동부(57)와 결합될 수 있으며, 상기 가이더(11a)와 결합될 수 있는 구조로 이루어져 있다.5, 6A and 6B, the conveying body 51 may be disposed with the catching bar driving part 55 and may be coupled to the conveying body driving part 57, and the guiding part 11a, And the like.

구체적으로, 상기 이송체(51)는 상기 걸림바 구동부(55)를 배치하기 위하여, 수평 플레이트(51a)와 상기 수평 플레이트(51a)의 양측 상에 배치되는 수직 플레이트(51b)를 포함하여 구성된다. 그리고, 상기 가이더(11a)와 슬라이딩 구조로 결합되는 슬라이딩부(51e)가 상기 수평 플레이트(51a)의 하부에 결합된다.Specifically, the conveying member 51 includes a horizontal plate 51a and a vertical plate 51b disposed on both sides of the horizontal plate 51a in order to arrange the latching bar driving unit 55 . A sliding portion 51e coupled to the guider 11a in a sliding manner is coupled to the lower portion of the horizontal plate 51a.

상기 이송체(51) 상에 상기 걸림바 구동부(55)의 배치 구조를 살펴보면 다음과 같다. 상기 걸림바 구동부(55)는 상기 수직 플레이트(51b) 상에 양단이 회전 가능하게 안착 결합되고 중앙 부분이 상기 걸림바(53)의 회전 결합부(53a)의 일측에 고정 결합되는 회전바(55a)와, 상기 수직 플레이트(51b)의 측면에 회전 가능하게 결합되어 상기 회전 결합부(53a)를 승하강시키는 회전판(55c)과, 상기 수평 플레이트(51a) 상에 배치되어 상기 회전판(55c)에 회전력을 전달하는 제1 동력전달부(55b)를 포함하여 구성된다.The arrangement of the latching bar driving unit 55 on the conveying member 51 will be described below. The latching bar driving unit 55 includes a rotation bar 55a having both ends rotatably seated on the vertical plate 51b and a center portion fixedly coupled to one side of the rotation engaging part 53a of the latching bar 53, A rotating plate 55c rotatably coupled to a side surface of the vertical plate 51b to move the rotating engaging portion 53a up and down and a rotating plate 55c disposed on the horizontal plate 51a, And a first power transmitting portion 55b for transmitting a rotational force.

상기 회전바(55a)는 상기 수직 플레이트(51b) 상에 형성된 "U"자형의 장착홈에 베어링을 통하여 회전 가능하게 안착 결합될 수 있고, 도 5 및 도 6a, 6b에 도시된 바와 같이, 중앙 부분이 상기 걸림바(53)의 회전 결합부(53a) 일단에 고정결합된다. 그리고, 상기 회전판(55c)은 상기 제1 동력전달부(55b)에 의하여 상기 걸림바(53)의 타단인 후크부(53b)가 승하강되도록 상기 회전 결합부(53a)를 걸어서 승하강시킬 수 있도록 구성된다.The rotary bar 55a can be rotatably and seated in a U-shaped mounting groove formed on the vertical plate 51b, and as shown in FIGS. 5 and 6a and 6b, Is fixedly coupled to one end of the rotation engaging portion (53a) of the latching bar (53). The rotary plate 55c can be moved up and down by hooking the rotary engaging portion 53a such that the hook portion 53b at the other end of the engaging bar 53 is moved up and down by the first power transmitting portion 55b .

상기 제1 동력 전달부(55b)는 동력을 발생하여 상기 회전판(55c)에 회전력을 전달하는 구성요소로서, 다양한 조합체로 형성할 수 있다. 예를 들어, 모터 또는 실린더를 이용하여 동력을 발생하고, 상기 회전판(55c)과 기어 결합 또는 축 결합 또는 회동구조결합을 통하여 상기 발생된 동력을 상기 회전판(55c)에 전달할 수 있다.The first power transmission portion 55b generates power and transmits rotational force to the rotation plate 55c. The first power transmission portion 55b may be formed of various combinations. For example, the power may be generated by using a motor or a cylinder, and the generated power may be transmitted to the rotary plate 55c through gear engagement with the rotary plate 55c, or shaft engagement or pivotal engagement.

상기 회전판(55c)은 회전을 통하여 상기 회전 결합부(53a)에 힘을 가하게 되는데, 상방향 또는 하방향으로 힘을 가하게 된다. 상기 회전 결합부(53a)의 일단이 상기 회전바(55a)에 회전 가능하게 결합되어 있기 때문에, 상기 회전 결합부(53a)의 측단 쪽에서 상기 회전판(55c)이 상기 회전 결합부를 상방향 또는 하방향으로 힘을 가하게 되면, 상기 걸림바(53)의 후크부(53b)는 상방향 또는 하방향으로 이동될 수 있다.The rotation plate 55c applies a force to the rotation engaging portion 53a through rotation, and exerts an upward force or a downward force. The one end of the rotary coupling portion 53a is rotatably coupled to the rotary bar 55a so that the rotary plate 55c can move the rotary coupling portion upward or downward from the side of the rotary coupling portion 53a The hook portion 53b of the latching bar 53 can be moved upward or downward.

상기 회전판(55c)의 측면에는 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 회전 결합부(53a)를 걸어서 상승 또는 하강시키는 상하부 걸림 돌기(55c1)가 형성되어 있다. 즉, 상기 회전판(55c)이 상기 제1 동력전달부(55b)의 구동에 의하여 회전하게 되면, 상기 상하부 걸림 돌기(55c1)가 상기 회전 결합부(53a)에 걸려서, 상기 회전 결합부(53a)에 대하여 상방향 또는 하방향으로 힘을 가하게 될 수 있다. 결과적으로 상기 걸림바의 후크부는 상방향 또는 하방향으로 이동될 수 있다.As shown in FIGS. 6A and 6B, upper and lower latching protrusions 55c1 are formed on the side surface of the rotary plate 55c to move the rotary coupling portion 53a upward or downward. That is, when the rotation plate 55c is rotated by driving the first power transmitting portion 55b, the upper and lower engaging projections 55c1 are caught by the rotation engaging portion 53a, A force may be applied in the upward direction or the downward direction. As a result, the hook portion of the latching bar can be moved upward or downward.

상기 회전 결합부(53a)는 다양한 형상으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, "ㅁ"자 형상으로 이루어져, 후단이 상기 회전바(55a)에 회전 가능하도록 결합되고, 측단이 상기 회전판(55c)의 걸림돌기(55c1)에 걸려서 힘을 받게 되며, 전단이 상기 후크부와 연결됨으로써 상승 또는 하강된다.The rotationally coupled portion 53a may have various shapes. For example, as shown in Figs. 6A and 6B, the rear end of the swash plate 55c is connected to the swash bar 55a so as to be rotatable, So that the front end thereof is connected to the hook portion to be raised or lowered.

한편, 상기 수평 플레이트 상에는 상기 회전 결합부(53a)의 측단이 하강한 상태에서 상기 회전 결합부 하부를 탄성 지지하는 탄성부재(55d)가 구비될 수 있다. 이와 같은 탄성부재(55d)는 상기 후크부(53b)가 하강한 상태에서는 상기 회전 결합부(53a)를 탄성 지지한다. 결과적으로, 상기 회전판(55c)을 회전시켜 상기 후크부를 상승하는 과정에서 상기 후크부는 상기 탄성부재의 탄성력에 의하여 용이하게 상승될 수 있고, 상기 회전판(55c)을 반대로 회전시켜 상기 후크부를 하강하는 과정에서 상기 탄성부재에 의하여 상기 걸림부는 안정적으로 하강될 수 있고, 하강하는 과정에서 파손될 가능성이 없다.On the other hand, an elastic member 55d may be provided on the horizontal plate so as to elastically support the lower portion of the rotary coupling portion in a state where a side end of the rotary coupling portion 53a is lowered. The elastic member 55d elastically supports the rotation engaging portion 53a when the hook portion 53b is lowered. As a result, the hook portion can be easily raised by the elastic force of the elastic member in the process of rotating the rotation plate 55c to raise the hook portion, and the hook portion is lowered by rotating the rotation plate 55c in the reverse direction The engaging portion can be stably lowered by the elastic member and there is no possibility of breakage in the process of descending.

상기와 같은 구조로 이루어진 걸림바 구동부(55)를 구동시켜 상기 후크부(53b)를 승하강시킴으로써, 상기 후크부(53b)를 상기 카세트(30)의 걸림부(31)에 걸 수 있다. 이와 같이, 상기 후크부(53b)를 상기 카세트(30)의 걸림부(31)에 건 다음, 상기 카세트를 이동시키기 위해서는 상기 이송체(51)를 이송시켜야 한다. 이와 같은 이송체(51)의 이송은 이송체 구동부(57)에 의하여 이루어진다.The hook portion 53b can be hooked to the hook portion 31 of the cassette 30 by moving the hook portion 53b up and down by driving the hook portion driving portion 55 having the above structure. In this way, the hook 53b is hooked on the hook 31 of the cassette 30, and then the feeder 51 is moved to move the cassette. The conveying body 51 is conveyed by the conveying body driving unit 57. [

상기 이송체 구동부(57)은 도 5 및 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 함몰부(11) 양 끝단에 각각 회전 가능하게 배치되는 회전 풀리(57a)와, 상기 회전 풀리(57a)에 감겨져서 회전하고 상기 이송체(51)의 수평 플레이트(51a)와 결합되는 회전 벨트(57b)와, 상기 회전 풀리(57a)에 회전력을 전달하는 제2 동력전달부(57c)를 포함하여 구성된다.5 and 6A and 6B, the conveyance body driving unit 57 includes a rotation pulley 57a rotatably disposed at both ends of the depression 11, And a second power transmitting part 57c for transmitting a rotational force to the rotating pulley 57a. The rotating belt 57b is wound around the rotating shaft 57a and is engaged with the horizontal plate 51a of the conveying body 51, do.

상기 회전 벨트(57b)는 표면에 이빨이 형성되어 있는 벨트이고, 상기 회전 벨트(57b)와 결합되는 상기 이송체(51)의 수평 플레이트(51a) 상에는 치형부(51c)가 형성되어 있으며, 상기 회전 벨트(57b)와 상기 수평 플레이트(51a) 상의 치형부(51c)의 이격을 방지하기 위한 고정판(51d)이 상기 회전 벨트 상에 결합된다.A tooth 51c is formed on the horizontal plate 51a of the conveying body 51 to be engaged with the rotary belt 57b. A fixing plate 51d for preventing separation of the rotary belt 57b and the teeth 51c on the horizontal plate 51a is engaged on the rotary belt.

즉, 상기 표면에 이빨이 형성되어 있는 회전 벨트(57b)의 소정 부분과 상기 이송체(51)의 수평 플레이트(51a) 상에 형성된 치형부(51c)가 맞물려 결합되고, 상기 회전 벨트(57b)의 소정 부분이 상기 치형부(51c)를 압박하여, 상호 맞물림이 유지되도록 상기 회전 벨트(57b) 상에 고정판(51d)를 결합한다.That is, a predetermined portion of the rotating belt 57b having teeth formed on the surface thereof is engaged with the teeth 51c formed on the horizontal plate 51a of the conveying body 51, Is engaged with the fixing plate 51d on the rotating belt 57b so that the predetermined portion of the pressing roller 51c presses the tooth portion 51c and the mutual engagement is maintained.

한편, 상기 회전벨트(57b)의 표면에 이빨이 형성되어 있기 때문에, 상기 회전 풀리(57a)에도 치형이 형성되는 것이 바람직하다. 따라서, 미끄럼이 발생하지 않고, 회전 벨트에 강한 회전력을 부가할 수 있다.On the other hand, since teeth are formed on the surface of the rotary belt 57b, it is preferable that a tooth is formed also on the rotary pulley 57a. Therefore, no slip occurs, and a strong rotational force can be applied to the rotating belt.

이와 같은 구조를 가지는 제2 이송수단(50)에 의하여 상기 카세트(30)는 제2 이송구간 내에서 직선 왕복운동을 할 수 있다. 구체적으로, 상기 카세트(30)가 상기 제1 이송수단(40)에 의하여 제1 이송구간 끝지점까지 이송되면, 상기 걸림바(53)의 후크부(53b)는 상기 카세트(30)의 걸림부(31)에 방해받지 않고 상승될 수 있다.The cassette 30 can reciprocate linearly in the second conveying section by means of the second conveying means 50 having such a structure. When the cassette 30 is transferred to the end of the first transfer section by the first transfer means 40, the hook portion 53b of the latching bar 53 is inserted into the latching portion of the cassette 30, And can be raised without being disturbed by the motor 31.

따라서, 상기 걸림바 구동부(55)를 구동시켜, 상기 함몰부(11)에 숨어 있는(내려 앉아 있는) 상기 후크부(53b)가 상기 걸림부(31)보다 더 높은 위치가 되도록 상승시킨다. 그런 다음, 상기 제1 이송수단(40)을 이용하여 상기 카세트(30)를 후진시킨다. 즉, 상기 제1 이송수단(40)은 상기 카세트(30)의 걸림부(31)가 상기 후크부(53b)의 바로 아래(거의 동일한 수직선 상에서의 아래) 위치하도록 상기 카세트를 후진시킨다. 그런 다음, 상기 걸림바 구동부(55)를 다시 구동시켜 상기 후크부를 하강시키면, 상기 후크부는 상기 걸림부에 걸리게 된다.The hook portion driving portion 55 is driven to raise the hook portion 53b hiding in the depression 11 to a position higher than the hook portion 31. [ Then, the cassette 30 is moved backward by using the first conveying means 40. That is, the first conveying means 40 moves the cassette backward so that the latching portion 31 of the cassette 30 is positioned just under the hook portion 53b (on the almost same vertical line). Then, when the hook portion is lowered by driving the hook bar driving portion 55 again, the hook portion is caught by the hook portion.

또는 상기 제1 이송수단(40)을 이용하여 상기 카세트를 후진시키지 않고, 상기 제2 이송수단(50)을 구동하여 상기 이송체를 이송시킴으로써, 상기 후크부가 사기 걸림부의 바로 윗쪽에 위치하도록 상기 이송체를 전진시킨 후, 상기 걸림바 구동부를 구동시켜 상기 후크부를 하강시키면서 상기 걸림부에 걸리게 할 수도 있다.Or the conveying unit is driven by driving the second conveying unit (50) without moving the cassette backward by using the first conveying unit (40) so that the hook unit is positioned just above the scraping unit After the sieve is advanced, the hook bar driving part may be driven to lower the hook part and hook the hook part.

이 상태에서, 상기 이송체 구동부(57)를 구동시키면, 상기 회전 벨트(57b)에 견고하게 맞물려 있는 이송체에 힘이 가해지면서 상기 이송체가 움직이게 되고, 결과적으로 상기 이송체에 결합되어 있는 걸림바에 힘이 전달되면서 상기 카세트가 이송된다.
In this state, when the conveying member driving unit 57 is driven, a force is applied to the conveying member firmly engaged with the rotary belt 57b, and the conveying member is moved. As a result, The cassette is transferred while the force is transmitted.

다음은 상술한 챔버 내 카세트 이송 장치를 이용하여 카세트를 이송하는 방법에 대하여 구체적으로 설명한다.Next, a method of conveying a cassette using the above-described cassette transfer device in a chamber will be described in detail.

도 7 내지 도 11은 본 발명에 따른 챔버 내 카세트 이송 방법을 설명하기 위한 개략도이다.7 to 11 are schematic views for explaining a cassette transfer method in a chamber according to the present invention.

본 발명에 따른 챔버 내 카세트 이송 장치는 길이가 긴 하나의 챔버 내에서도 적용될 수 있지만, 복수개의 챔버가 수평 방향으로 결합된 다단 챔버에 적용하는 것이 바람직하다. 따라서, 로딩 챔버(1), 수세 챔버(2) 및 공정 챔버(3)가 순서대로 연결된 챔버 내에서 카세트 이송 방법에 대하여 설명한다.The apparatus for transferring a cassette in a chamber according to the present invention may be applied to a chamber having a long length, but is preferably applied to a multistage chamber in which a plurality of chambers are coupled in a horizontal direction. Therefore, the cassette transfer method in the chamber in which the loading chamber 1, the water wash chamber 2 and the process chamber 3 are connected in order will be described.

먼저, 챔버 내에서 카세트를 자동 이송시키기 위해서는 상기 카세트가 챔버의 인입 공간, 즉 로딩 챔버(1)로 안착되어야 한다. 구체적으로, 카세트 인입 장치를 이용하여 상기 카세트를 챔버 내의 레일에 안착시키고, 상기 카세트의 랙기어가 챔버의 내측벽에 배치되는 피니언 기어에 맞물리도록 하는 카세트 로딩 단계를 진행한다(도 7 참조).First, in order to automatically transport the cassette in the chamber, the cassette must be seated into the loading space of the chamber, i.e., the loading chamber 1. Specifically, a cassette loading step is carried out, in which the cassette is mounted on a rail in the chamber using a cassette drawing device and the rack gear of the cassette is engaged with a pinion gear disposed on the inner wall of the chamber (see FIG. 7).

상기 카세트 인입 장치는 자동 이송 로봇 또는 자동 이송체로서, 상기 카세트를 들어서 상기 챔버 내의 레일에 안착시킨다. 상기 카세트가 상기 레일에 안착되면서 동시에 상기 카세트의 랙기어가 상기 피니언 기어에 맞물리 수도 있지만, 우선적으로 상기 카세트를 상기 레일에 안착시킨 후, 상기 카세트를 전진 방향으로 밀어서 상기 랙기어가 상기 피니언 기어에 맞물린 상태가 되도록 할 수 있다.The cassette feeding device is an automatic feeding robot or an automatic feeding device, which picks up the cassette and places it on the rails in the chamber. The rack gear of the cassette can be engaged with the pinion gear while the cassette is seated on the rail. However, after the cassette is first placed on the rail, the cassette is pushed in the forward direction, As shown in Fig.

이와 같이 상기 카세트가 레일에 안착되고, 랙기어가 피니언 기어에 맞물린 상태가 되면, 제1 이송수단을 구동시켜 상기 카세트를 제1 이송구간 끝까지 이송시키는 제1 구간 이송단계를 수행한다(도 8 참조).When the cassette is seated on the rail and the rack gear is engaged with the pinion gear, the first conveying means is driven to convey the cassette to the end of the first conveying section (see Fig. 8 ).

여기서, 상기 제1 이송구간의 끝은 상기 카세트의 걸림부가 상기 함몰부(11)에 숨어 있는 후크부(53b)를 지난 지점에 해당한다. 따라서, 상기 후크부가 상승하더라도 상기 걸림부에 방해받지 않고 승강할 수 있다. 그런 다음, 상기 카세트의 후면 하단에 구비되는 걸림부(31)에 제2 이송수단(50)의 걸림바(53) 후크부(53b)를 거는 걸림바 결합단계를 수행한다(도 9 참조).Here, the end of the first transfer section corresponds to a point past the hook 53b, which is latched by the depression 11, of the cassette. Therefore, even if the hook portion is raised, it can be raised and lowered without being disturbed by the engagement portion. Then, a latching bar attaching step of hooking the latching bar 53 hook portion 53b of the second conveying means 50 to the latching portion 31 provided at the lower rear side of the cassette is performed (see FIG. 9).

그런 다음, 상기 제2 이송수단(50)을 구동시켜 상기 카세트(30)를 제2 이송구간 내에서 이송시키는 제2 구간 이송단계를 수행한다(도 10 및 도 11 참조). 도 10은 상기 제2 이송수단(50)을 구동시켜 상기 카세트(30)를 수세 챔버(2) 내로 이송시킨 것을 보여주고, 도 11은 상기 카세트(30)를 공정 챔버(3) 내로 이송시킨 상태를 보여주고 있다.Then, the second conveying means 50 is driven to carry out the second section conveying step in which the cassette 30 is conveyed within the second conveying section (see FIGS. 10 and 11). 10 shows that the cassette 30 is moved into the washing and flushing chamber 2 by driving the second conveying means 50 and Fig. 11 shows a state in which the cassette 30 is transferred into the processing chamber 3 Respectively.

상술한 바와 같이, 상기 챔버는 단일의 챔버일 수도 있지만, 복수개의 챔버가 수평 방향으로 연결되어 있는 다단 챔버인 것이 바람직하다. As described above, the chamber may be a single chamber, but is preferably a multistage chamber having a plurality of chambers connected in a horizontal direction.

또한, 상기 제1 이송수단(40)에 의하여 이송될 수 있는 상기 제1 이송구간의 끝은 상기 카세트(30)의 걸림부(31)가 상기 챔버(10)의 바닥면에 형성된 함몰부(11)에 위치하고 있는 걸림바(53)의 후크부(53b)를 지난 지점이다. 즉, 상기 후크부가 상승하더라도 상기 걸림부에 방해받지 않을 정도로 상기 카세트가 이송한 지점을 의미한다.The end of the first conveyance section which can be conveyed by the first conveying means 40 is connected to the depression 31 of the cassette 30 by a depression 11 formed on the bottom surface of the chamber 10 And the hook portion 53b of the latching bar 53 located at the rear end of the latching bar 53. [ That is, even if the hook portion rises, it means the point where the cassette is transferred to the extent that it is not disturbed by the latching portion.

상기 걸림바 결합 단계는 상기 제1 이송구간 끝 지점에서 상기 제2 이송수단의 걸림바 구동부를 구동시켜 걸림바의 후크부를 승강시키는 과정, 상기 제1 이송수단을 구동시켜 상기 카세트의 걸림부가 상기 걸림바의 후크부에 대하여 수직선상 하측에 위치하도록 상기 카세트를 후진시키는 과정, 상기 제2 이송수단의 걸림바 구동부를 구동시켜 상기 걸림바의 후크부가 하강하여 상기 카세트의 걸림부에 걸어지는 과정을 포함하여 구성된다.Wherein the engaging bar engaging step includes driving a hooking bar driving part of the second conveying device at an end point between the first conveying device to elevate the hooking part of the hooking bar and driving the first conveying device, A process of moving the cassette backward so as to be positioned below the vertical line with respect to the hook portion of the bar, and driving the hooking bar driving portion of the second feeding means so that the hook portion of the hooking bar is lowered and hooked to the hooking portion of the cassette .

즉, 일단 상기 제1 이송수단에 의하여 상기 걸림바의 후크부가 상기 걸림부에 의하여 방해받지 않고 상승할 수 있도록, 상기 카세트를 제1 이송구간 끝지점까지 이동시키고, 그런 다음, 상기 걸림바의 후크부를 상승시킨다. 상승된 상기 걸림바의 후크부를 상기 걸림부에 걸기 위하여 상기 제1 이송수단을 구동시켜 상기 카세트를 후진시켜, 상기 걸림부가 상기 걸림바의 후크부 바로 아래 위치하도록 한다. 그리고, 상기 걸림바의 후크부를 하강시켜 상기 걸림부에 걸리게 한다.That is, once the cassette is moved to the end of the first conveying section so that the hook portion of the catching bar can be raised by the first conveying means without being disturbed by the catching portion, Thereby raising the wealth. The cassette is moved backward by driving the first feeding means to hook the hook portion of the raised hooking bar to the hooking portion so that the hooking portion is positioned directly below the hook portion of the hooking bar. Then, the hook portion of the latching bar is lowered to be caught by the latching portion.

이와 같이, 제1 이송구간은 상기 걸림바의 후크부가 상승할 때 상기 걸림부에 방해받지 않도록 상기 카세트가 이동해야 하는 지점까지이고, 제2 이송구간은 상술한 바와 같이, 걸림바의 후크부가 걸림부에 걸리게 되는 지점부터 시작하기 때문에, 상기 제1 이송구간과 제2 이송구간은 다소 중복되는 구간이 발생한다.As described above, the first conveying section is located up to the point where the cassette should move so as not to be disturbed by the engaging portion when the hook portion of the engaging bar is raised, and the second conveying section is engaged with the hook portion of the engaging bar The first transfer section and the second transfer section have a somewhat overlapping section.

한편, 상기 제1 이송구간과 제2 이송구간이 서로 중복되지 않고 구간이 명확하게 구분되는 경우도 있다. 이 경우, 상기 걸림바 결합 단계는 상기 제2 이송수단의 걸림바 구동부를 구동시켜 걸림바의 후크부를 승강시키는 과정, 상기 제2 이송수단을 구동시켜 상기 걸림바의 후크부가 상기 카세트의 걸림부에 대하여 수직선상 상측에 위치하도록 상기 이송체를 전진시키는 과정, 상기 제2 이송수단의 걸림바 구동부를 구동시켜 상기 걸림바의 후크부가 하강하여 상기 카세트의 걸림부에 걸어지는 과정을 포함하여 구성된다.Meanwhile, the first transfer section and the second transfer section may not be overlapped with each other and the sections may be clearly divided. In this case, the engaging bar engaging step may include driving the engaging bar driving part of the second conveying device to move the hook part of the engaging bar up and down, and driving the second conveying device such that the hook part of the engaging bar engages with the engaging part of the cassette Moving the conveying member so that the conveying member is positioned on a vertical line with respect to the first conveying unit; driving the latching bar driving unit of the second conveying unit to lower the hook of the latching bar to hook the latching unit of the cassette.

즉, 상기 걸림바의 후크부가 상승한 이후에, 카세트가 후진된 후 걸림바의 후크부가 상기 걸림부에 걸리게 되는 것이 아니라, 걸림바의 후크부가 상승한 이후에 상기 이송체가 전진한 후 상기 걸림부에 걸리게 될 수도 있다. 이 경우에는 제1 이송구간과 제2 이송구간이 명확하게 구분된다.That is, after the hook portion of the catch bar is raised, the hook portion of the catch bar is not caught by the catch portion after the cassette is moved back, but after the hook portion of the catch bar is raised, . In this case, the first transfer section and the second transfer section are clearly distinguished.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the following claims.

1 : 로딩 챔버 2 : 수세 챔버
3 : 공정 챔버 10 : 챔버
11 : 함몰부 11a : 가이더
13 : 챔버 바닥면 15 : 레일
30 : 카세트 31 : 걸림부
33 : 랙기어 35 : 바퀴
40 : 제1 이송수단 41 : 관통케이스
43 : 회전로드 45 : 구동모터
47 : 피니언 기어 50 : 제2 이송수단
51 : 이송체 51a : 수평 플레이트
51b : 수직 플레이트 51c : 치형부
51d : 고정판 51e : 슬라이딩부
53 : 걸림바 53a : 걸림바의 회전 결합부
53b : 걸림바의 후크부 55 : 걸림바 구동부
55a : 회전바 55b : 제1 동력전달부
55c : 회전판 55c1 : 상하부 걸림돌기
55d : 탄성 부재 55d1 : 지지판
57 : 이송체 구동부 57a : 회전풀리
57b : 회전벨트 57c : 제2 동력전달부1: Loading chamber 2: Washing chamber
3: process chamber 10: chamber
11: depression 11a: guider
13: chamber bottom surface 15: rail
30: cassette 31:
33: Rack gear 35: Wheel
40: first conveying means 41: penetrating case
43: rotating rod 45: driving motor
47: Pinion gear 50: Second conveying means
51: conveying member 51a: horizontal plate
51b: vertical plate 51c:
51d: Fixing plate 51e: Sliding part
53: Retaining bar 53a: Rotating engaging portion of the retention bar
53b: hook portion of the latching bar 55: latching bar driving portion
55a: rotating bar 55b: first power transmitting portion
55c: a rotary plate 55c1:
55d: elastic member 55d1:
57: feeder driving unit 57a:
57b: rotating belt 57c: second power transmitting portion

Claims (15)

챔버 내 카세트 이송 장치에 있어서,
상기 챔버 바닥면에 구비되어 있는 레일에 안착되는 바퀴가 밑면에 구비되고, 측면 하단에 랙기어가 부착되며, 후면 하단에 걸림부가 구비되는 카세트;
상기 챔버 측벽에 설치되어 상기 카세트의 랙기어에 맞물려서 상기 카세트를 이송시키되, 상기 카세트가 인입되는 상기 챔버의 일단부터 일정 거리까지의 제1 이송구간에서 상기 카세트를 이송시키는 제1 이송수단;
상기 챔버의 바닥면에 길게 형성된 함몰부에 배치되어 상기 카세트의 걸림부에 걸림바를 걸어서 상기 카세트를 이송시키되, 상기 제1 이송수단에 의하여 일정 거리만큼 이송된 상기 카세트에 대하여 제2 이송구간에서 상기 카세트를 이송시키는 제2 이송수단을 포함하여 이루어지되,
상기 제2 이송수단은 상기 함몰부에 길게 배치되는 가이더를 따라 슬라이딩되는 이송체, 상기 이송체에 회전 가능하게 결합되는 회전 결합부가 일단에 형성되고 타단에는 상기 카세트의 걸림부에 걸릴 수 있는 후크부가 구비되어 있는 걸림바, 상기 이송체에 배치되어 상기 걸림바의 일단을 회전시킴으로써 상기 후크부를 승하강시키는 걸림바 구동부, 상기 이송체를 상기 함몰부의 길이 방향으로 구동시키는 이송체 구동부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 챔버 내 카세트 이송장치.
In a cassette transferring apparatus in a chamber,
A cassette having a lower surface mounted with a rack mounted on a rail provided on the bottom surface of the chamber, a rack gear attached to a lower surface of the chamber, and a hook at a lower surface of the rear surface;
A first conveying means installed on a side wall of the chamber for engaging with a rack gear of the cassette to convey the cassette, the first conveying means for conveying the cassette in a first conveyance interval from a first end of the chamber into which the cassette is drawn;
Wherein the cassette is disposed in a depression formed on a bottom surface of the chamber so that the cassette is carried by hooking the catching portion of the cassette and the cassette is transported by a predetermined distance by the first transporting means, And second conveying means for conveying the cassette,
The second conveying means may include a conveying member slidable along a guider disposed in the depression, a rotatable coupling portion rotatably coupled to the conveying member at one end thereof, and a hook portion engageable with the retaining portion of the cassette at the other end thereof, A latching bar disposed on the conveying member to rotate the hooking part to move the hooking part up and down, and a conveying body driving part for driving the conveying body in the longitudinal direction of the depressing part Wherein the cassette conveying device comprises:
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 제1 이송수단은 상기 챔버 측벽에 관통되어 장착되는 관통케이스, 상기 관통케이스 내부에 배치되어 회전하는 회전로드, 상기 회전로드의 일단에 연결된 상태로 상기 챔버 외부에 배치되는 구동모터, 상기 회전로드의 타단에 연결된 상태로 상기 카세트의 랙기어에 맞물릴 수 있도록 배치되는 피니언 기어를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 챔버 내 카세트 이송장치.
The method according to claim 1,
Wherein the first transfer means comprises a penetrating case which is inserted through the side wall of the chamber, a rotating rod which is arranged and rotated in the penetrating case, a driving motor which is disposed outside the chamber in a state of being connected to one end of the rotating rod, And a pinion gear disposed so as to be engaged with the rack gear of the cassette while being connected to the other end of the cassette.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 이송체는 상기 걸림바 구동부를 배치하기 위하여, 수평 플레이트와, 상기 수평 플레이트의 양측 상에 배치되는 수직 플레이트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 챔버 내 카세트 이송장치.
The method according to claim 1,
Wherein the conveying member comprises a horizontal plate and a vertical plate disposed on both sides of the horizontal plate to arrange the latching bar driving unit.
청구항 5에 있어서,
상기 걸림바 구동부는 상기 수직 플레이트 상에 양단이 회전 가능하게 안착 결합되고 중앙 부분이 상기 회전 결합부의 일측에 고정 결합되는 회전바와, 상기 수직 플레이트의 측면에 회전 가능하게 결합되어 상기 회전 결합부를 승하강시키는 회전판과, 상기 수평 플레이트 상에 배치되어 상기 회전판에 회전력을 전달하는 제1 동력전달부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 챔버 내 카세트 이송장치.
The method of claim 5,
The latch bar driving unit includes a rotation bar on which the both ends are rotatably seated on the vertical plate and a center part is fixedly coupled to one side of the rotation engaging part, And a first power transmission part disposed on the horizontal plate and transmitting a rotational force to the rotation plate.
청구항 6에 있어서,
상기 회전판의 측면에는 상기 회전 결합부를 걸어서 상승 또는 하강시키는 상하부 걸림 돌기가 형성되는 것을 특징으로 하는 챔버 내 카세트 이송장치.
The method of claim 6,
Wherein upper and lower latching protrusions are formed on a side surface of the rotary plate to raise or lower the rotary coupling portion.
청구항 6에 있어서,
상기 수평 플레이트 상에는 상기 회전 결합부가 하강한 상태에서 상기 회전 결합부 하부를 탄성 지지하는 탄성 부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 챔버 내 카세트 이송장치.
The method of claim 6,
And an elastic member for elastically supporting the lower portion of the rotary coupling portion in a state in which the rotary coupling portion is lowered is provided on the horizontal plate.
청구항 5에 있어서,
상기 이송체 구동부는 상기 함몰부 양 끝단에 각각 회전 가능하게 배치되는 회전 풀리와, 상기 회전 풀리에 감겨져서 회전하고 상기 이송체의 수평 플레이트와 결합되는 회전 벨트와, 상기 회전 풀리에 회전력을 전달하는 제2 동력전달부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 챔버 내 카세트 이송장치.
The method of claim 5,
The conveyance body driving unit includes a rotation pulley rotatably disposed at both ends of the depression, a rotation belt wound around the rotation pulley and engaged with the horizontal plate of the conveyance body, And a second power transmission unit.
청구항 9에 있어서,
상기 회전 벨트는 표면에 이빨이 형성되어 있는 벨트이고, 상기 회전 벨트와 결합되는 상기 이송체의 수평 플레이트 상에는 치형부가 형성되어 있으며, 상기 회전 벨트와 상기 수평 플레이트 상의 치형부의 이격을 방지하기 위한 고정판이 상기 회전 벨트 상에 결합되는 것을 특징으로 하는 챔버 내 카세트 이송장치.
The method of claim 9,
Wherein the rotary belt is a belt having teeth formed on its surface and a tooth is formed on a horizontal plate of the conveyance body coupled with the rotary belt and a fixing plate for preventing the rotation belt and the teeth of the horizontal plate from being separated from each other And the second conveying member is coupled onto the rotating belt.
챔버 내 카세트 이송 방법에 있어서,
카세트 인입 장치를 이용하여 상기 카세트를 챔버 내의 레일에 안착시키고, 상기 카세트의 랙기어가 챔버의 내측벽에 배치되는 피니언 기어에 맞물리도록 하는 카세트 로딩 단계;
제1 이송수단을 구동시켜 상기 카세트를 제1 이송구간 끝까지 이송시키는 제1 구간 이송단계;
상기 카세트의 후면 하단에 구비되는 걸림부에 제2 이송수단의 걸림바 후크부를 거는 걸림바 결합단계;
상기 제2 이송수단을 구동시켜 상기 카세트를 제2 이송구간 내에서 이송시키는 제2 구간 이송단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 챔버 내 카세트 이송 방법.
A method for transferring a cassette in a chamber,
A cassette loading step for placing the cassette on a rail in a chamber using a cassette drawing device and for engaging a rack gear of the cassette with a pinion gear disposed on an inner wall of the chamber;
A first section transfer step of driving the first transfer means to transfer the cassette to the end of the first transfer section;
Engaging a hook bar hook portion of the second feeding means with a hook provided at a lower end of the cassette;
And a second section transferring step of transferring the cassette in a second transfer section by driving the second transfer section.
청구항 11에 있어서,
상기 챔버는 복수개의 챔버가 수평방향으로 연결되어 있는 다단 챔버인 것을 특징으로 하는 챔버 내 카세트 이송 방법.
The method of claim 11,
Wherein the chamber is a multi-stage chamber having a plurality of chambers connected in a horizontal direction.
청구항 12에 있어서,
상기 제1 이송구간의 끝은 상기 카세트의 걸림부가 상기 챔버의 바닥면에 형성된 함몰부에 위치하고 있는 걸림바의 후크부를 지난 지점인 것을 특징으로 하는 챔버 내 카세트 이송 방법.
The method of claim 12,
Wherein the end of the first transfer section is a point past the hook portion of the latching bar located in the depression formed in the bottom surface of the chamber.
청구항 13에 있어서,
상기 걸림바 결합 단계는 상기 제2 이송수단의 걸림바 구동부를 구동시켜 걸림바의 후크부를 승강시키는 과정, 상기 제1 이송수단을 구동시켜 상기 카세트의 걸림부가 상기 걸림바의 후크부에 대하여 수직선상 하측에 위치하도록 상기 카세트를 후진시키는 과정, 상기 제2 이송수단의 걸림바 구동부를 구동시켜 상기 걸림바의 후크부가 하강하여 상기 카세트의 걸림부에 걸어지는 과정을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 챔버 내 카세트 이송 방법.
14. The method of claim 13,
Wherein the engaging bar engaging step includes driving the engaging bar driving part of the second conveying device to move the hook part of the engaging bar up and down; driving the first conveying device so that the engaging part of the cassette engages with the hook part of the engaging bar, Moving the cassette backward so as to be positioned on the lower side, and driving the latching bar driving unit of the second conveying means so that the hook of the latching bar descends and hooks on the latching portion of the cassette. My cassette transfer method.
청구항 13에 있어서,
상기 걸림바 결합 단계는 상기 제2 이송수단의 걸림바 구동부를 구동시켜 걸림바의 후크부를 승강시키는 과정, 상기 제2 이송수단을 구동시켜 상기 걸림바의 후크부가 상기 카세트의 걸림부에 대하여 수직선상 상측에 위치하도록 이송체를 전진시키는 과정, 상기 제2 이송수단의 걸림바 구동부를 구동시켜 상기 걸림바의 후크부가 하강하여 상기 카세트의 걸림부에 걸어지는 과정을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 챔버 내 카세트 이송 방법.14. The method of claim 13,
Wherein the engaging bar engaging step comprises driving the engaging bar driving part of the second conveying device to move the hook part of the engaging bar up and down and driving the second conveying device so that the hook part of the engaging bar engages with the engaging part of the cassette, Moving the conveying member forward to a position above the second conveying unit, and driving the latching bar driving unit of the second conveying unit so that the hook of the latching bar descends to hook on the latching unit of the cassette. My cassette transfer method.
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