KR101382247B1 - Mount for fixing load cell of seed chuck in ingot grower - Google Patents

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Abstract

잉곳 성장기의 로드셀을 고정하는 고정 마운트가 개시된다. 본 발명의 실시예의 고정 마운트는, 잉곳 성장기의 프레임에 고정되는 제 1 블록; 및 일단이 상기 제 1 블록에 힌지부에의해 회동가능하게 결합되며, 타단이 상기 잉곳 성장기의 시드척이 구비된 샤프트에 고정된 로드셀에 결합하는 제 2 블록;을 포함하고, 상기 힌지부와 이격된 위치에 상기 제 1 블록과 제 2 블록 사이의 간격을 조절할 수 있는 간격 조절부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 따라서, 1 이상의 방향의 오차를 조절할 수 있어, 보다 정확한 위치에 시드 샤프트를 위치시킬 수 있어, 보다 정확하게 잉곳의 무게를 측정할 수 있다.A fixed mount is disclosed for securing a load cell of an ingot growth phase. The fixed mount of the embodiment of the present invention, the first block is fixed to the frame of the ingot growth machine; And a second block, one end of which is rotatably coupled to the first block by a hinge portion and the other end of which is coupled to a load cell fixed to a shaft having a seed chuck of the ingot growth machine. The second block is spaced apart from the hinge portion. And a gap adjusting member capable of adjusting a gap between the first block and the second block at a predetermined position. Therefore, the error of one or more directions can be adjusted, the seed shaft can be positioned in a more accurate position, and the weight of the ingot can be measured more accurately.

Description

잉곳 성장기의 로드셀 고정 마운트{Mount for fixing load cell of seed chuck in ingot grower}Mount for fixing load cell of seed chuck in ingot grower}

본 발명은 잉곳 성장기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 용융된 도가니에서 시드를 점진적으로 상승시키는 잉곳 성장기의 시드척 샤프트를 고정하여 무게를 측정하는 로드셀의 고정 마운트에 관한 것이다.The present invention relates to an ingot grower, and more particularly, to a fixed mount of a load cell for measuring the weight by fixing the seed chuck shaft of the ingot grower to gradually raise the seed in the molten crucible.

반도체 집적회로, 발광 다이오드, 데이터 저장 장치, 광 탐지기등 현대의 정밀한 전자 제품에 소요되는 많은 소자들은 일반적으로 단결정으로부터 제조된다. 예를 들면, 반도체 집적회로는 단결정 실리콘 기판에서 제조되며, 발광다이오드, 데이터 저장장치, 광 탐지기 등과 같은 소자들은 일반적으로 사파이어 단결정 기판으로 부터 제조된다. Many devices for modern precision electronics, such as semiconductor integrated circuits, light emitting diodes, data storage devices, and photodetectors, are typically manufactured from single crystals. For example, semiconductor integrated circuits are manufactured on single crystal silicon substrates, and devices such as light emitting diodes, data storage devices, photodetectors, and the like are generally manufactured from sapphire single crystal substrates.

이러한, 기판들은 잉곳이라고 불리는 덩어리를 절단하여 형성되며, 이러한 잉곳을 제조하는 방법으로 초크랄스키 및 키로풀러스 방법이 널리 알려져 있다. 이러한 방법은 원재료가 용융되어 충진된 도가니에 실리콘 혹은 사파이어 시드(seed)를 용융물로 하향하게 후, 제어된 속도로 들어올려 시드에 용융물이 점진적으로 부착되어 잉곳이 형성되도록 하는 방법이다. 이와 같이 잉곳을 점진적으로 상승시켜 잉곳을 생산하는 장비를 잉곳 성장기라 부른다.Such substrates are formed by cutting agglomerates called ingots, and Czochralski and Kyropulus methods are widely known as methods for producing such ingots. This method is to lower the silicon or sapphire seed (seed) into the melt in the crucible filled with the raw material is melted, then lifted at a controlled rate to gradually attach the melt to the seed to form an ingot. As such, the equipment for producing an ingot by gradually raising the ingot is called an ingot growing period.

잉곳 성장기는 시드를 고정하기 위한 시드척과, 시드척이 연결된 시드샤프트, 시드 샤프트를 승강하기 위한 승강장치와, 시드 샤프트를 승강장치에 고정하기 위한 로드셀 마운트를 포함한다. 또한, 마운트와 시드 샤프트 사이에 시드에 부착되는 잉곳의 무게를 측정하는 로드셀이 부착된다. The ingot grower includes a seed chuck for fixing the seed, a seed shaft to which the seed chuck is connected, a lifting device for lifting the seed shaft, and a load cell mount for fixing the seed shaft to the lifting device. In addition, a load cell for measuring the weight of the ingot attached to the seed is attached between the mount and the seed shaft.

잉곳의 품질은 시드에 부착되는 잉곳의 무게에 따라서, 시드척을 상승시키는 속도에 의해 많이 결정된다. 따라서, 로드셀이 장착된 로드 측정모듈은 시드에 부착된 잉곳의 무게를 정확하게 미세하게 측정할 수 있도록 개발되고 있다.The quality of the ingot is largely determined by the speed with which the seed chuck is raised, depending on the weight of the ingot attached to the seed. Therefore, a load measuring module equipped with a load cell has been developed to accurately and precisely measure the weight of an ingot attached to a seed.

그러나, 초기에 시드 샤프트가 마운트에 편심되어 설치되는 경우, 무게 측정치에 큰 오차가 발생하며, 이는 성장시킨 잉곳의 품질에도 큰 영향을 미치게 된다. 따라서, 시드 샤프트를 편심없이 정확하게 설치할 수 있는 로드셀 고정 마운트의 개발이 절실한 실정이다. However, when the seed shaft is initially installed eccentrically to the mount, a large error occurs in the weight measurement, which also has a great influence on the quality of the grown ingot. Therefore, there is an urgent need to develop a load cell fixing mount capable of installing the seed shaft accurately without eccentricity.

본 발명의 실시예는 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 시드 샤프트를 편심없이 정확하게 설치할 수 있는 잉곳 성장기의 로드셀 고정 마운트를 제공하고자 한다. Embodiments of the present invention have been made to solve the above problems, to provide a load cell fixed mount of the ingot growth machine that can be accurately installed seed shaft without eccentricity.

본 발명의 실시예는 상기와 같은 과제를 해결하고자, 잉곳 성장기의 프레임에 고정되는 제 1 블록; 및 일단이 상기 제 1 블록에 힌지부에의해 회동가능하게 결합되며, 타단이 상기 잉곳 성장기의 시드척이 구비된 샤프트에 고정된 로드셀에 결합하는 제 2 블록;을 포함하고, 상기 힌지부와 이격된 위치에 상기 제 1 블록과 제 2 블록 사이의 간격을 조절할 수 있는 간격 조절부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 성장기의 로드셀 고정 마운트를 제공한다.Embodiment of the present invention to solve the above problems, the first block is fixed to the frame of the ingot growth phase; And a second block, one end of which is rotatably coupled to the first block by a hinge portion and the other end of which is coupled to a load cell fixed to a shaft having a seed chuck of the ingot growth machine. The second block is spaced apart from the hinge portion. It provides a load cell fixed mount of the ingot growth machine further comprises a; spacing member for adjusting the spacing between the first block and the second block in a predetermined position.

상기 힌지부는 상기 간격 조절부재가 설치되는 위치보다 상측에 위치한 것이 바람직하다.The hinge portion is preferably located above the position where the gap adjusting member is installed.

상기 간격조절부재는, 볼트 부재이며, 상기 제 1 블록 및 상기 제 2 블록 중 어느 하나에 상기 간격조절부재가 결합되는 볼트공이 형성될 수 있다.The gap adjusting member is a bolt member, a bolt hole to which the gap adjusting member is coupled to any one of the first block and the second block may be formed.

상기 제 1 블록 및 상기 제 2 블록은 서로 면 접촉하는 것이 효과적이다.It is effective that the first block and the second block are in surface contact with each other.

상기 제 2 블록은, 상기 로드셀의 하부에서 지지하는 수평지지부; 및 상기 로드셀과 상기 수평지지부 사이의 2 이상의 지점에서 접압력을 조절하는 접압 조절수단;을 더 포함하는 것이 바람직하다.The second block may include a horizontal support part supporting the lower portion of the load cell; And contact pressure adjusting means for adjusting the contact pressure at two or more points between the load cell and the horizontal support part.

접압 조절수단은, 상기 로드셀과 상기 수평지지부에 형성된 결합 나사공에 끼워지는 볼트인 것이 효과적이다.It is effective that the pressure adjustment means is a bolt fitted to the coupling screw hole formed in the load cell and the horizontal support.

상기 제 1 블록은, 상기 잉곳 성장기의 프레임에서 돌출된 암이 삽입되는 암 삽입공이 관통되어 형성되며, 상기 암삽입공을 양측에서 감싸는 접압편; 및 상기 접압편의 접압력을 조절하는 접압력 조절나사;를 포함한다.The first block may be formed by penetrating a female insertion hole through which an arm protruding from the frame of the ingot growth machine is inserted and surrounding the female insertion hole at both sides; And a contact pressure adjusting screw for adjusting a contact pressure of the contact piece.

이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 과제해결 수단에 의하면 다음과 같은 사항을 포함하는 다양한 효과를 기대할 수 있다. 다만, 본 발명이 하기와 같은 효과를 모두 발휘해야 성립되는 것은 아니다.As described above, according to the present invention, various effects including the following can be expected. However, the present invention does not necessarily achieve the following effects.

상기와 같이, 본 발명의 일실시예에 따르면, 힌지부를 중심으로, 제 2 블록이 제 1 블록에 대한 회동량(도 2의 Y축 기준의 회동량)을 조절함으로써, 일방향의 위치 오차를 조절할 수 있다.As described above, according to the exemplary embodiment of the present invention, the second block adjusts the rotation amount (rotation amount based on the Y axis of FIG. 2) with respect to the first block by adjusting the position error in one direction. Can be.

또한, 제 1 블록이 암에 대해서 회동하여 결합할 수 있으므로, 암 중심축(도 2의 X축)을 중심으로 회동하는 편심에 대해서도 대응할 수 있다.Moreover, since the 1st block can rotate and couple with respect to an arm, it can respond also to the eccentricity which rotates about an arm center axis (X-axis of FIG. 2).

따라서, 본 발명의 실시예는 2 이상의 방향의 오차를 조절할 수 있어, 보다 정확한 위치에 시드 샤프트를 위치시킬 수 있어, 보다 정확하게 잉곳의 무게를 측정할 수 있다.Therefore, the embodiment of the present invention can adjust the error in two or more directions, to position the seed shaft in a more accurate position, it is possible to measure the weight of the ingot more accurately.

그리고, 2 이상의 접압조절수단을 구비함으로써, 하중이 로드셀의 국소부위에 집중되는 것을 방지하여, 보다 정확히 하중을 측정할 수 있다.By providing two or more contact pressure adjusting means, it is possible to prevent the load from concentrating on the localized portion of the load cell and to measure the load more accurately.

도 1은 본 발명의 일실시예의 잉곳 성장기의 사시도
도 2는 도 1의 승강장치의 사시도
도 3은 도 2의 A부분의 확대 사시도
도 4는 도 3의 배면사시도
도 5는 도 3의 고정 마운트의 사시도
도 6은 도 5의 제 1 블록의 정면도
도 7은 도 5의 제 1 블록의 평면도1 is a perspective view of an ingot growth machine in one embodiment of the present invention
Figure 2 is a perspective view of the lifting device of Figure 1
3 is an enlarged perspective view of a portion A of FIG.
4 is a rear perspective view of FIG.
5 is a perspective view of the fixing mount of FIG.
6 is a front view of the first block of FIG.
7 is a plan view of the first block of FIG.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예의 잉곳 성장기의 사시도, 도 2는 도 1의 승강장치의 사시도, 도 3은 도 2의 A부분의 확대 사시도, 도 4는 도 3의 배면사시도이다.1 is a perspective view of an ingot growth machine according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of the lifting apparatus of FIG. 1, FIG. 3 is an enlarged perspective view of part A of FIG. 2, and FIG. 4 is a rear perspective view of FIG. 3.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시 예의 잉곳 성장기는, 사파이어 혹은 실리콘 등의 원재료가 용융되는 도가니(100)와, 시드를 점진적은 상승시키는 승강장치(200)와, 잉곳 성장기를 제어하는 제어부(300)를 포함한다.As shown in these figures, the ingot growth apparatus of an embodiment of the present invention, the crucible 100 is melted raw materials such as sapphire or silicon, the elevating device 200 for gradually raising the seed, and the ingot growth machine It includes a control unit 300.

도가니(100)는 전기 열선 등을 이용하여, 원재료인 사파이어 혹은 실리콘 등을 원하는 온도로 용융시키는 장치이다. The crucible 100 is an apparatus for melting sapphire or silicon, which is a raw material, to a desired temperature using an electric heating wire or the like.

제어부(300)는 도가니(100)에 공급되는 전기를 제어하여, 도가니(100)의 온를 제어할 뿐만 아니라, 승강장치(200)의 구동에 필요한 기능 등, 잉곳 성장기에 필요한 다양한 기능을 제어하는 장치이다.The controller 300 controls the electricity supplied to the crucible 100 to control not only the ON of the crucible 100 but also to control various functions required for the ingot growth apparatus, such as a function required for driving the elevating device 200. to be.

승강장치(200)는 승강구동장치가 설치된 프레임(240)과, 상기 프레임(240)에 의해 상하로 승강하는 프레임측 암(250)과, 프레임측 암(250)에 고정된 로드셀 고정 마운트(1000)와, 시드가 고정되는 시드척(210)과, 시드척(210)이 결합되는 샤프트(220)와, 일단이 샤프트(220)에 고정되고 타단이 고정 마운트(1000)에 고정된 로드셀(230)을 포함한다.The elevating device 200 includes a frame 240 in which the elevating driving device is installed, a frame side arm 250 that is lifted up and down by the frame 240, and a load cell fixing mount 1000 fixed to the frame side arm 250. ), A seed chuck 210 to which the seed is fixed, a shaft 220 to which the seed chuck 210 is coupled, and a load cell 230 having one end fixed to the shaft 220 and the other end fixed to the fixed mount 1000. ).

시드척(210)은 장비에 고정된 로드(220)에 착탈되며, 도가니(100)의 고온의 환경하에서 작동되는 것으로서, 몇 회 사용 후 교체되는 소모성 부품이다. 로드셀(230)은 샤프트(220)에 제 1 브라켓(231)에 의해 고정되며, 고정 마운트(1000)에 제 2 브라켓(232)에 의해 고정된다. The seed chuck 210 is detached from the rod 220 fixed to the equipment and is operated under a high temperature environment of the crucible 100, and is a consumable part that is replaced after several uses. The load cell 230 is fixed to the shaft 220 by the first bracket 231, and is fixed to the fixed mount 1000 by the second bracket 232.

도 5는 도 3의 고정 마운트의 사시도이다.5 is a perspective view of the fixing mount of FIG. 3.

도 3 내지 도 5를 참조하여 고정 마운트를 아래에서 설명한다.The fixing mount will be described below with reference to FIGS. 3 to 5.

본 발명의 일실시예의 잉곳 성장기의 로드셀 고정 마운트(1000)는 잉곳 성장기의 프레임에 고정되는 제 1 블록(1100)과, 일단이 상기 제 1 블록(1100)에 힌지부(1001)에의해 회동가능하게 결합되며, 타단이 상기 잉곳 성장기의 시드척이 구비된 샤프트(220)에 고정된 로드셀(230)에 결합하는 제 2 블록(1200)을 포함한다. The load cell fixing mount 1000 of the ingot grower according to an embodiment of the present invention may be rotated by a hinge 1001 and a first block 1100 fixed to the frame of the ingot grower and one end of the first block 1100. And a second block 1200 coupled to a load cell 230 fixed to a shaft 220 having the seed chuck of the ingot growth machine.

도 6은 도 5의 제 1 블록의 정면도, 도 7은 도 5의 제 1 블록의 평면도이다.6 is a front view of the first block of FIG. 5, and FIG. 7 is a plan view of the first block of FIG. 5.

제 1 블록(1100)은 평판형상으로 형성되며, 상측에 힌지결합을 위한 제 1블록 힌지편(1110)이 돌출되어 형성된다. 또한, 간격조절부재(1300)가 결합할 수 있는 볼트공(1101)이 관통되어 형성된다. 본 발명의 실시예에서는 간격조절부재(1300)가 결합되는 볼트공(1101)이 제 1 블록(1100)에 형성되어 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 제 2 블록(1200)에 형성될 수도 있다.The first block 1100 is formed in a flat plate shape, and is formed by protruding the first block hinge piece 1110 for hinge coupling to an upper side thereof. In addition, the bolt hole 1101 to which the gap adjusting member 1300 can be coupled is formed. In the embodiment of the present invention, the bolt hole 1101 to which the gap adjusting member 1300 is coupled is formed in the first block 1100, but is not necessarily limited thereto, and may be formed in the second block 1200. .

상기 제 1 블록(1100)은, 상기 잉곳 성장기의 프레임에서 돌출된 암(250)이 삽입되는 암 삽입공(1102)이 관통되어 형성되며, 상기 암삽입공(1102)을 양측에서 감싸는 접압편(1100a, 1100b)과, 상기 접압편(1100a, 1100b)의 접압력을 조절하는 접압력 조절나사(1130)를 포함한다.The first block 1100 is formed by penetrating through the arm insertion hole 1102 into which the arm 250 protruding from the frame of the ingot growth machine is inserted, and wraps the arm insertion hole 1102 on both sides ( 1100a and 1100b, and a contact pressure adjusting screw 1130 for adjusting the contact pressure of the contact pieces 1100a and 1100b.

즉, 접압편(1100a, 1100b) 사이의 절개선(1103)이 암 삽입공(1102)에 연통되도록 형성되며, 절개선(1103)을 관통하도록 결합공(1104)이 2개의 접압편(1100a, 1100b)에 걸쳐 관통되어 형성되며, 접압력 조절나사(1130)가 결합공(1104)에 결합되어, 암 삽입공(1102)에 끼워진 암(250)에 가해지는 접압력을 조절할 수 있다. 그 결과, 암을 기준으로 도 2의 X축 회전 편심량을 조절한 후 접압력 조절나사(1130)를 죄어 샤프트(231)를 고정할 수 있다.That is, the incision line 1103 between the contact pieces 1100a and 1100b is formed to communicate with the arm insertion hole 1102, and the coupling holes 1104 are formed through the two contact pieces 1100a, so as to penetrate the incision line 1103. It is formed through the 1100b, and the contact pressure adjusting screw 1130 is coupled to the coupling hole 1104, it is possible to adjust the contact pressure applied to the arm 250 inserted into the arm insertion hole 1102. As a result, the shaft 231 may be fixed by tightening the contact pressure adjusting screw 1130 after adjusting the amount of rotation of the X axis of FIG. 2 based on the arm.

제 2 블록(1200)은 제 1 블록 힌지편(1110)과 힌지결합하는 제 2 블록 힌지편(1210)이 돌출되어 형성되어, 힌지부(1001)를 형성한다. 힌지부(1001)를 중심으로 제 2 블록(1200)이 회동할 수 있다. The second block 1200 is formed by protruding a second block hinge piece 1210 hinged to the first block hinge piece 1110, thereby forming a hinge portion 1001. The second block 1200 may rotate around the hinge portion 1001.

제 2 블록(1200)은 상기 로드셀(230, 보다 정확하게는 제 2 브라켓(232))의 하부에서 지지하는 수평지지부(1220)와, 상기 로드셀(230)과 상기 수평지지부(1220) 사이의 2 이상의 지점에서 접압력을 조절하는 접압 조절수단(1230)을 더 포함한다. The second block 1200 may include two or more horizontal support parts 1220 supporting the lower part of the load cell 230, more precisely, the second bracket 232, and between the load cell 230 and the horizontal support part 1220. It further comprises a pressure adjustment means 1230 for adjusting the contact pressure at the point.

즉, 수평지지부(1220)에는 결합나사공(1221)이 서로 이격되어 형성되며, 로드셀(230, 보다 정확하게는 제 2 브라켓(232))에도 결합나사공(1221)에 맞물리도록 결합나사공이 형성되어, 2개의 볼트가 각각 끼워진다. That is, the coupling screw holes 1221 are formed to be spaced apart from each other in the horizontal support part 1220, and the coupling screw holes are formed to engage the coupling screw holes 1221 in the load cell 230 (more precisely, the second bracket 232). , Two bolts are fitted.

즉, 접압 조절수단(1230)은, 상기 로드셀(230)과 상기 수평지지부(1220)에 형성된 결합 나사공(1221)에 끼워지는 볼트(1231)이다. 이와 같은 접압조절수단(1230)인 2 이상의 볼트(1231)의 죔정도를 조절함으로써, 로드셀(230)에서 마운트로 가해지는 하중이 로드셀(230)의 폭방향으로 편심되는 것을 방지함으로써, 로드셀(230)에 가해지는 하중이 골고루 분포되게 한다. 그 결과 로드셀(230)의 측정 정확도를 보다 증가시킬 수 있다.That is, the pressure adjustment means 1230 is a bolt 1231 fitted into the coupling screw hole 1221 formed in the load cell 230 and the horizontal support portion 1220. By adjusting the fastening degree of two or more bolts 1231, which are the pressure adjusting means 1230, the load cell 230 is prevented from being eccentric in the width direction of the load cell 230, thereby preventing the load applied from the load cell 230 to the mount. Make sure that the load on) is evenly distributed. As a result, the measurement accuracy of the load cell 230 can be further increased.

상기 힌지부(1001)와 이격된 위치에 상기 제 1 블록(1100)과 제 2 블록(1200) 사이의 간격을 조절할 수 있는 간격 조절부재(1300)를 더 포함한다. 간격 조절부재(1300)는 전술한 볼트공(1101)에 끼워져 선단이 제 2 블록의 마주보는 면을 지지할 수 있다.The apparatus further includes a gap adjusting member 1300 that adjusts a gap between the first block 1100 and the second block 1200 at a position spaced apart from the hinge portion 1001. The gap adjusting member 1300 may be inserted into the above-described bolt hole 1101 so that the tip thereof may support the opposite surface of the second block.

따라서, 간격 조절부재(1300)의 죔 정도를 조절함으로써, 제 1 블록(1100)과 제 2 블록(1200) 사이의 간격을 조절할 수 있으며, 힌지부(1001)를 중심으로 제 2 블록(1200)의 회동량을 조절할 수 있다. 그 결과, 도 2의 Y축을 중심으로 회전편심량을 조절할 수 있다.Therefore, by adjusting the fastening degree of the gap adjusting member 1300, it is possible to adjust the gap between the first block 1100 and the second block 1200, the second block 1200 around the hinge portion (1001). The amount of rotation can be adjusted. As a result, the amount of rotation eccentricity can be adjusted about the Y axis of FIG. 2.

상기 힌지부(1001)는 상기 간격 조절부재(1300)가 설치되는 위치보다 상측에 위치한 것이 바람직하다. 따라서, 잉곳의 자체 무게 만으로 안정적인 구조를 구현할 수 있다. 즉, 힌지부(1001)가 간격 조절부재(1300) 보다 하측에 위치하는 경우 잉곳의 무게로 인해 제 1 블록과 제 2 블록이 벌어지려는 막대한 모멘트를 간격 조절부재(1300)가 지지하여야 하므로, 구조적으로 불안정하다.The hinge portion 1001 is preferably located above the position where the gap adjusting member 1300 is installed. Therefore, it is possible to implement a stable structure only by the weight of the ingot itself. That is, when the hinge portion 1001 is positioned below the gap adjusting member 1300, the gap adjusting member 1300 must support the enormous moment to open the first block and the second block due to the weight of the ingot, Structurally unstable.

상기 간격조절부재(1300)는, 볼트 부재이며, 상기 제 1 블록(1100) 및 상기 제 2 블록(1200) 중 어디에도 볼트공이 형성되어도 무방하다.The gap adjusting member 1300 may be a bolt member, and a bolt hole may be formed in any of the first block 1100 and the second block 1200.

상기 제 1 블록(1100) 및 상기 제 2 블록(1200)은 서로 면 접촉하도록 판상으로 형성됨으로써, 힌지부의 길이를 증대시킬 수 있으며, 간격조절부재(1300)가 제 2 블록(1200)과 접하지 않았을 때, 제 1 블록이 제 2 블록(1200)을 안정적으로 지지할 수 있다.The first block 1100 and the second block 1200 are formed in a plate shape so as to be in surface contact with each other, it is possible to increase the length of the hinge portion, the spacing member 1300 is not in contact with the second block 1200. If not, the first block can stably support the second block 1200.

상기와 같이, 본 발명의 일실시예에 따르면, 힌지부(1001)를 중심으로, 제 2 블록(1200)이 제 1 블록(1100)에 대한 회동량(도 2의 Y축 기준의 회동량)을 조절함으로써, 일방향의 위치 오차를 조절할 수 있다.As described above, according to the exemplary embodiment of the present invention, the rotation amount of the second block 1200 with respect to the hinge part 1001 with respect to the first block 1100 (the amount of rotation based on the Y axis of FIG. 2) By adjusting the position error in one direction can be adjusted.

또한, 제 1 블록(1100)이 암에 대해서 회동하여 결합할 수 있으므로, 암 중심축(도 2의 X축)을 중심으로 회동하는 편심에 대해서도 대응할 수 있다.In addition, since the first block 1100 can rotate and engage with the arm, the first block 1100 can cope with an eccentricity that rotates around the center axis of the arm (the X axis of FIG. 2).

따라서, 본 발명의 실시예는 2 이상의 방향의 오차를 조절할 수 있어, 보다 정확한 위치에 시드 샤프트를 위치시킬 수 있어, 보다 정확하게 잉곳의 무게를 측정할 수 있다.Therefore, the embodiment of the present invention can adjust the error in two or more directions, to position the seed shaft in a more accurate position, it is possible to measure the weight of the ingot more accurately.

그리고, 2 이상의 접압조절수단을 구비함으로써, 하중이 로드셀의 국소부위에 집중되는 것을 방지하여, 보다 정확히 하중을 측정할 수 있다.By providing two or more contact pressure adjusting means, it is possible to prevent the load from concentrating on the localized portion of the load cell and to measure the load more accurately.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

1100: 제 1 블록 1001: 힌지부
1200: 제 2 블록 1300: 간격 조절부재
1220: 수평지지부 1230: 접압 조절수단
1221: 결합 나사공 1231: 볼트
1102: 암 삽입공 1100a, 1100b: 접압편
1130: 접압력 조절나사1100: first block 1001: hinge portion
1200: second block 1300: gap adjusting member
1220: horizontal support 1230: pressure adjustment means
1221: screwdriver 1231: bolts
1102: female insertion hole 1100a, 1100b: contact piece
1130: contact pressure adjusting screw

Claims (7)

잉곳 성장기의 프레임에 고정되는 제 1 블록; 및
일단이 상기 제 1 블록에 힌지부에의해 회동가능하게 결합되며, 타단이 상기 잉곳 성장기의 시드척이 구비된 샤프트에 고정된 로드셀에 결합하는 제 2 블록;
을 포함하고,
상기 힌지부와 이격된 위치에 상기 제 1 블록과 제 2 블록 사이의 간격을 조절할 수 있는 간격 조절부재;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 성장기의 로드셀 고정 마운트.
A first block fixed to the frame of the ingot growth phase; And
A second block of which one end is rotatably coupled to the first block by a hinge portion and the other end of which is coupled to a load cell fixed to a shaft provided with a seed chuck of the ingot growth machine;
/ RTI >
A gap adjusting member capable of adjusting a gap between the first block and the second block at a position spaced apart from the hinge portion;
The load cell fixed mount of the ingot growth phase further comprising a.
제 1 항에 있어서,
상기 힌지부는 상기 간격 조절부재가 설치되는 위치보다 상측에 위치한 것을 특징으로 하는 잉곡 성장기의 로드셀 고정 마운트.
The method according to claim 1,
The hinge portion of the load cell fixed mount of the ingot growth machine, characterized in that located above the position where the gap adjusting member is installed.
제 1 항에 있어서,
상기 간격조절부재는, 볼트 부재이며,
상기 제 1 블록 및 상기 제 2 블록 중 어느 하나에 상기 간격조절부재가 결합되는 볼트공이 형성된 것을 특징으로 하는 잉곳 성장기의 로드셀 고정 마운트.
The method according to claim 1,
The gap adjusting member is a bolt member,
The load cell fixed mount of the ingot growth machine, characterized in that the bolt hole to which the gap adjusting member is coupled to any one of the first block and the second block.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 블록 및 상기 제 2 블록은 서로 면 접촉하는 것을 특징으로 하는 잉곳 성장기의 로드셀 고정 마운트.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
And the first block and the second block are in surface contact with each other.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 2 블록은,
상기 로드셀의 하부에서 지지하는 수평지지부; 및
상기 로드셀과 상기 수평지지부 사이의 2 이상의 지점에서 접압력을 조절하는 접압 조절수단;
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 성장기의 로드셀 고정 마운트.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the second block includes:
A horizontal support part supporting the lower part of the load cell; And
Contact pressure adjusting means for adjusting a contact pressure at two or more points between the load cell and the horizontal support part;
The load cell fixed mount of the ingot growth phase further comprising a.
제 5 항에 있어서,
접압 조절수단은, 상기 로드셀과 상기 수평지지부에 형성된 결합 나사공에 끼워지는 볼트인 것을 특징으로 하는 잉곳 성장기의 로드셀 고정 마운트.
6. The method of claim 5,
The pressure adjustment means is a load cell fixed mount of the ingot growth machine, characterized in that the bolt is fitted into the coupling screw hole formed in the load cell and the horizontal support.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 블록은,
상기 잉곳 성장기의 프레임에서 돌출된 암이 삽입되는 암 삽입공이 관통되어 형성되며,
상기 암삽입공을 양측에서 감싸는 접압편; 및
상기 접압편의 접압력을 조절하는 접압력 조절나사;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 성장기의 로드셀 고정 마운트.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The first block includes:
A female insertion hole through which the arm protruding from the frame of the ingot growth phase is inserted is formed,
A contact piece surrounding the female insertion hole at both sides; And
A contact pressure adjusting screw for adjusting a contact pressure of the contact piece;
Load cell fixed mount of the ingot growth period comprising a.
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