KR101293705B1 - Seed chuck used in ingot grower and ingot grower using the same - Google Patents

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Abstract

원료가 용융된 도가니에서 시드를 점진적으로 상승시켜, 시드에 잉곳을 성장시키는 잉곳성장기의 시드척이 개시된다. 잉곳 성장기의 시드척은 일단은 상기 시드를 상승시키는 승강장치의 로드에 결합되며, 타단은 상기 시드가 결합되는 시드결합부가 형성된 시드 샤프트;를 포함하고, 상기 시드 결합부는, 상기 시드의 일단이 끼워지는 시드 끼움홈이 형성되며, 상기 시드의 마주 보는 양 측면에 각각 접하도록 상기 시드 끼움홈의 양 측면에 형성된 양 측면 파지면;을 포함하고, 양 상기 측면 파지면은 끝단으로 갈수록 서로 마주보는 간격이 좁아지도록 형성된다. 시드와 측면 파지면의 결합에 의해 고정함으로써, 종래와 같이 고온의 환경에서 와이어가 늘어나 시드의 위치가 변화하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 시드를 보다 안정적으로 고정할 수 있다. A seed chuck of an ingot growing phase is disclosed in which a seed is gradually raised in a crucible in which raw materials are melted to grow an ingot in a seed. The seed chuck of the ingot growth stage is coupled to the rod of the lifting device for raising the seed, and the other end includes a seed shaft having a seed coupling portion to which the seed is coupled, wherein the seed coupling portion, the one end of the seed is fitted Seed fitting groove is formed, both sides of the gripping surface formed on both sides of the seed fitting groove so as to be in contact with each of the opposite sides of the seed; both, the side gripping surface is spaced facing each other toward the end It is formed to be narrow. By fixing by the combination of the seed and the side gripping surface, it is possible to prevent the wire from being stretched and the position of the seed is changed in a high temperature environment as in the prior art. Therefore, the seed can be fixed more stably.

Description

잉곳 성장기의 시드척 및 이를 포함하는 잉곳 성장기{SEED CHUCK USED IN INGOT GROWER AND INGOT GROWER USING THE SAME}Seed chuck for ingot growth phase and ingot growth phase including same {SEED CHUCK USED IN INGOT GROWER AND INGOT GROWER USING THE SAME}

본 발명은 잉곳 성장기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 원료가 용융된 도가니에서 시드를 점진적으로 상승시켜, 시드에 잉곳을 성장시키는 잉곳성장기 및 이에 사용되는 시드척에 관한 것이다.The present invention relates to an ingot growth machine, and more particularly, to an ingot growth machine for growing an ingot on a seed by gradually raising the seed in a crucible in which a raw material is melted, and a seed chuck used therein.

반도체 직접회로, 발광 다이오드, 데이터 저장 장치, 광 탐지기등 현대의 정밀한 전자 제품에 소요되는 많은 소자들은 일반적으로 단결정으로부터 제조된다. 예를 들면, 반도체 직접회로는 단결정 실리콘 기판에서 제조되며, 발광다이오드, 데이터 저장장치, 광 탐지기 등과 같은 소자들은 일반적으로 사파이어 단결정 기판으로 부터 제조된다. Many devices for modern precision electronics, such as semiconductor integrated circuits, light emitting diodes, data storage devices, and photodetectors, are typically manufactured from single crystals. For example, semiconductor integrated circuits are fabricated on single crystal silicon substrates, and devices such as light emitting diodes, data storage devices, photodetectors and the like are generally fabricated from sapphire single crystal substrates.

이러한, 기판들은 잉곳이라고 불리는 덩어리를 절단하여 형성되며, 이러한 잉곳을 제조하는 방법으로 초크랄스키 및 키로풀러스 방법이 널리 알려져 있다. 이들 방법은 원재료가 용융되어 충진된 도가니에 실리콘 혹은 사파이어 시드(seed)를 용융물로 하향하게 후, 제어된 속도로 들어올려 시드에 용융물이 점진적으로 부착되어 잉곳이 형성되도록 하는 방법이다. 이와 같이 잉곳을 점진적으로 상승시켜 잉곳을 생산하는 장비를 잉곳 성장기라 부른다.Such substrates are formed by cutting agglomerates called ingots, and Czochralski and Kyropulus methods are widely known as methods for producing such ingots. These methods are a method in which the raw material is melted and filled with a silicon or sapphire seed (seed) into the melt, and then lifted at a controlled rate so that the melt gradually attaches to the seed to form an ingot. As such, the equipment for producing an ingot by gradually raising the ingot is called an ingot growing period.

잉곳 성장기는 시드를 점진적으로 상승시키기 위한 승강장치가 구비되며, 시드를 승강장치에 고정하기 위한 시드척이 구비된다. 종래의 시드척은 샤프트에 시드를 와이어로 권선하여 고정하는 방식을 사용하고 있다. 그러나 이와 같은 방식으로 고온의 환경에서 작동될 경우, 와이어의 열변형이 발생하여, 시드의 높낮이가 변화되어 잉곳 성장의 불안정 원인이 된다. 심한 경우에는 와이어가 끊어져 어렵게 성장시킨 잉곳을 모두 포기해야 하는 문제점도 있다.The ingot grower is equipped with a lift device for gradually raising the seed, and a seed chuck for securing the seed to the lift device. Conventional seed chucks employ a method of winding a seed on a shaft with wire. However, when operated in a high temperature environment in this manner, the thermal deformation of the wire occurs, the height of the seed is changed, causing instability of ingot growth. In severe cases, there is a problem in that all the ingots are difficult to grow due to broken wires.

그리고, 샤프트를 통해서 시드가 냉각되어, 시드를 통해서 잉곳이 성장되나,종래의 방법은 시드가 샤프트에 비해서 편심이 될 수 밖에 없는 구조를 하고 있다. 따라서, 시드를 중심으로 온도 분포가 대칭이 되지 않고 편심되어, 잉곳이 편심되어 성장한다는 단점이 있다.The seed is cooled through the shaft, and the ingot grows through the seed, but the conventional method has a structure in which the seed must be eccentric than the shaft. Therefore, there is a disadvantage that the temperature distribution is not symmetrical about the seed and is eccentric, so that the ingot grows eccentrically.

또한, 냉각량의 조절을 위해 샤프트의 직경을 일정 크기 이하로 유지하여야 한다. 그러나, 고온의 환경에서 작은 직경의 샤프트는 열변형이 발생하여, 1회 사용으로 폐기하여야 한다는 문제점이 있다.In addition, the diameter of the shaft should be kept below a certain size to control the amount of cooling. However, in a high temperature environment, a small diameter shaft has a problem that heat deformation occurs, so that it must be disposed of in a single use.

본 발명의 실시예는 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 도출된 것으로서, 시드의 안정적 고정으로 양질의 잉곳을 생산할 수 있으며, 샤프트의 직경을 크게 할 수 있는 구조를 채택함으로써, 샤프트를 반복하여 사용할 수 있어, 제조 원가를 절감할 수 있는 잉곳 성장기의 시드척을 제공하고자 한다. Embodiment of the present invention is derived to solve the above problems, it is possible to produce a high quality ingot by the stable fixing of the seed, by adopting a structure that can increase the diameter of the shaft, the shaft can be used repeatedly Therefore, it is intended to provide a seed chuck of the ingot growth stage that can reduce the manufacturing cost.

본 발명의 실시예는 상기와 같은 과제를 해결하고자, 용융된 도가니에서 시드를 점진적으로 상승시켜, 시드에 잉곳을 성장시키는 잉곳성장기의 시드척에 있어서, 일단은 상기 시드를 상승시키는 승강장치의 로드에 결합되며, 타단은 상기 시드가 결합되는 시드결합부가 형성된 시드 샤프트;를 포함하고, 상기 시드 결합부는, 상기 시드의 일단이 끼워지는 시드 끼움홈이 형성되며, 상기 시드의 마주 보는 양 측면에 각각 접하도록 상기 시드 끼움홈의 양 측면에 형성된 양 측면 파지면; 을 포함하고, 양 상기 측면 파지면은 끝단으로 갈수록 서로 마주보는 간격이 좁아지도록 형성된 것을 특징으로 하는 잉곳 성장기의 시드척을 제공한다.Embodiment of the present invention, in order to solve the above problems, in the seed chuck of the ingot growth machine to gradually raise the seed in the molten crucible to grow the ingot on the seed, one end of the rod of the lifting device for raising the seed And a seed shaft having a seed coupling portion to which the seed is coupled, and the other end of the seed coupling portion, wherein the seed coupling portion is formed with a seed fitting groove into which one end of the seed is fitted, and is in contact with each of opposite sides of the seed. Both side gripping surfaces formed on both sides of the seed fitting groove to be provided; It includes, the both sides of the gripping surface provides a seed chuck of the ingot growth phase, characterized in that formed to narrow the gap facing each other toward the end.

상기 시드 결합부의 외주면에는 고정용 와이어가 삽입될 수 있는 와이어 고정용 홈이 요입되어 형성된다.The outer circumferential surface of the seed coupling portion is formed by recessing a wire fixing groove into which the fixing wire can be inserted.

한편, 본 발명의 다른 실시예로서, 일단은 상기 시드를 상승시키는 승강장치의 로드에 결합되며, 타단은 상기 시드가 결합되는 시드결합부가 형성된 시드 샤프트; 를 포함하고, 상기 시드 결합부는, 상기 시드의 일단이 끼워질 수 있는 시드 끼움 홈이 형성되며, 상기 시드 끼움 홈을 형성하는 면의 적어도 일부에는 상기 시드에 형성된 시드 걸림턱에 결합되도록 시드 결합부 걸림턱이 형성된 것을 특징으로 하는 잉곳 성장기의 시드척이 제공된다.On the other hand, as another embodiment of the present invention, one end is coupled to the rod of the lifting device for raising the seed, the other end is a seed shaft formed with a seed coupling portion to which the seed is coupled; The seed coupling portion includes a seed fitting groove to which one end of the seed is fitted, and at least a portion of a surface forming the seed fitting groove is coupled to a seed engaging jaw formed in the seed. The seed chuck of the ingot growth phase is provided, characterized in that the locking step is formed.

상기 시드 결합부는, 상기 시드 끼움 홈의 상기 측면 파지면을 제외한 한 면은 상기 시드가 끼워질 수 있도록 개방되며, 나머지 한 면은 상기 시드가 삽입되는 깊이를 조절하기 위한 바닥면으로 형성되어, 전체적으로 상기 시드의 네 측면 중 삼면을 감싸는 것을 특징으로 한다.The seed coupling part, one side except the side gripping surface of the seed fitting groove is open so that the seed can be fitted, the other side is formed as a bottom surface for adjusting the depth to which the seed is inserted, as a whole It surrounds three sides of the four sides of the seed.

상기 시드 끼움 홈에 상기 시드 샤프트의 축 중심이 위치하는 것이 효과적이다.It is effective that the axis center of the seed shaft is located in the seed fitting groove.

또한, 상기 로드와 상기 시드 샤프트를 연결하는 홀더;를 더 포함하고, 상기 홀더는, 일단에 상기 로드가 삽입되어 결합되는 로드 결합공이 형성되고, 타단에는 상기 시드 샤프트가 삽입되어 결합되는 샤프트 결합공이 형성되며, 상기 로드 결합공과 상기 샤프트 결합공 사이에는 열 전도판이 형성되며, 상기 열 전도판에는 전도량 조절공이 관통되어 형성된 것이 효과적이다.In addition, the rod and the holder for connecting the seed shaft; further comprising a rod coupling hole is formed at one end of the rod is inserted and coupled, the other end of the shaft coupling hole is inserted and coupled to the seed shaft Is formed, a heat conduction plate is formed between the rod coupling hole and the shaft coupling hole, it is effective that the heat conduction plate is formed through the conductivity adjustment hole.

여기서, 상기 시드 샤프트의 상기 시드 결합부의 직경이 상기 시드 샤프트의 나머지 부분 보다 큰 것이 바람직하다.Here, the diameter of the seed coupling portion of the seed shaft is preferably larger than the rest of the seed shaft.

이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 과제해결 수단에 의하면 다음과 같은 사항을 포함하는 다양한 효과를 기대할 수 있다. 다만, 본 발명이 하기와 같은 효과를 모두 발휘해야 성립되는 것은 아니다.As described above, according to the present invention, various effects including the following can be expected. However, the present invention does not necessarily achieve the following effects.

먼저, 종래와 같이 단순히 와이어로 권선하지 않고, 시드와 측면 파지면의 결합에 의해 고정함으로써, 종래와 같이 고온의 환경에서 와이어가 늘어나 시드의 위치가 변화하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 시드를 보다 안정적으로 고정할 수 있다. First, it is possible to prevent the wire from being stretched in a high temperature environment and changing the position of the seed by fixing by combining the seed and the side gripping surface, instead of simply winding the wire as in the related art. Therefore, the seed can be fixed more stably.

또한, 고정용 와이어를 사용하여 시드가 개방된 한 면으로 이탈하는 것을 방지하여 주며, 와이어 고정용 홈 및 와이어 삽입홈으로 인해 보다 견고하게 시드를 고정할 수 있도록 한다.In addition, the use of the fixing wire to prevent the seed from being separated to the open side, it is possible to fix the seed more firmly due to the wire fixing groove and the wire insertion groove.

그리고, 시드에 성장되는 잉곳의 무게 중심이 시드 샤프트의 중심과 최대한 일치되도록 하여, 장비에 가해지는 편심 하중을 최소화할 수 있다. In addition, the center of gravity of the ingot grown on the seed is made to be as close as possible to the center of the seed shaft, it is possible to minimize the eccentric load applied to the equipment.

또한, 시드의 중심으로 온도 분포가 대칭에 가깝게 되어, 잉곳이 시드의 중심축을 중심으로 최대한 대칭으로 성장할 수 있도록 한다.In addition, the temperature distribution in the center of the seed is close to symmetry, allowing the ingot to grow as symmetrically as possible about the center axis of the seed.

그리고, 전도량 조절공으로 인해, 시드 샤프트의 직경이 증대되어도, 열 전도량을 조절할 수 있다. And, due to the conductivity adjusting hole, even if the diameter of the seed shaft is increased, the thermal conductivity can be adjusted.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예의 잉곳 성장기의 사시도
도 2는 도 1의 승강장치의 사시도
도 3은 도 2의 시드척 및 시드가 결합된 상태의 사시도이다.
도 4는 도 3의 시드 결합부의 사시도
도 5는 도 4의 절단선 Ⅴ-Ⅴ에 따른 단면도
도 6은 도 4의 확대 평면도
도 7은 도 3의 시드의 시드 결합부와 결합되는 일단의 평면도
도 8은 본 발명의 제 2 실시예의 시드척 및 시드가 결합된 부위의 평단면도
도 9는 도 2의 절단선 Ⅸ-Ⅸ에 따른 단면도
도 10은 도 8의 절단선 Ⅹ-Ⅹ에 따른 단면도1 is a perspective view of an ingot growth machine in a first embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view of the lifting device of Figure 1
3 is a perspective view of the seed chuck and seed of FIG. 2 are combined;
4 is a perspective view of the seed coupling of FIG.
5 is a cross-sectional view taken along the cutting line VV of FIG. 4.
6 is an enlarged plan view of FIG.
7 is a plan view of one end coupled with the seed bond of the seed of FIG.
8 is a cross-sectional plan view of the seed chuck and seed-coupled sites of the second embodiment of the present invention;
9 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII of FIG. 2.
10 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII of FIG. 8.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 잉곳 성장기의 사시도, 도 2는 도 1의 승강장치의 사시도, 도 3은 도 2의 시드척의 사시도이다.1 is a perspective view of an ingot growth machine, FIG. 2 is a perspective view of the lifting apparatus of FIG. 1, and FIG. 3 is a perspective view of the seed chuck of FIG. 2.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시 예의 잉곳 성장기는, 사파이어 혹은 실리콘 등의 원재료가 용융되는 도가니(100)와, 시드를 점진적은 상승시키는 승강장치(200)와, 잉곳 성장기를 제어하는 제어부(300)를 포함한다.As shown in these figures, the ingot growth apparatus of an embodiment of the present invention, the crucible 100 is melted raw materials such as sapphire or silicon, the elevating device 200 for gradually raising the seed, and the ingot growth machine It includes a control unit 300.

도가니(100)는 전기 열선 등을 이용하여, 원재료인 사파이어 혹은 실리콘 등을 원하는 온도로 용융시키는 장치이다. The crucible 100 is an apparatus for melting sapphire or silicon, which is a raw material, to a desired temperature using an electric heating wire or the like.

제어부(300)는 도가니(100)에 공급되는 전기를 제어하여, 도가니(100)의 온를 제어할 뿐만 아니라, 승강장치(200)의 구동에 필요한 기능 등, 잉곳 성장기에 필요한 다양한 기능을 제어하는 장치이다.The controller 300 controls the electricity supplied to the crucible 100 to control not only the ON of the crucible 100 but also to control various functions required for the ingot growth apparatus, such as a function required for driving the elevating device 200. to be.

승강장치(200)는 시드(1)가 고정되는 시드척(210)과, 시드척(210)이 결합되며 냉각수에 의해 냉각되는 로드(220)와, 로드(220)를 승하강시킬 뿐만 아니라, 로드셀이 장착된 승강장치 제어부(230)를 포함한다.The lifting device 200 not only lifts and lowers the rod 220 and the seed chuck 210 to which the seed 1 is fixed, the rod chuck 210 is coupled and cooled by the coolant, Lifting device control unit 230 is equipped with a load cell.

시드척(210)은 장비에 고정된 로드(220)에 착탈되어, 도가니(100)의 고온의 환경하에서 작동되는 것으로서, 몇 회 사용 후 교체되는 소모성 부품이다. 본 발명의 특징부는 시드척(210)에 관한 것으로서, 이하에서는 시드척(210)에 관해서 상술한다.The seed chuck 210 is detached from the rod 220 fixed to the equipment and is operated under a high temperature environment of the crucible 100, and is a consumable part that is replaced after several uses. A feature of the present invention relates to the seed chuck 210, which is described in detail below with respect to the seed chuck 210.

시드척(210)은 일단은 상기 시드(1)를 상승시키는 승강장치(200)의 로드(220)에 결합되며, 타단은 상기 시드(1)가 결합되는 시드결합부(270)가 형성된 시드 샤프트(260)와, 상기 로드(220)와 상기 시드 샤프트(260)를 연결하는 홀더(250)를 포함한다.The seed chuck 210 is coupled to the rod 220 of the elevating device 200 that raises the seed 1 at one end thereof, and the other end of the seed shaft having a seed coupling part 270 to which the seed 1 is coupled. 260 and a holder 250 connecting the rod 220 and the seed shaft 260.

상기 시드 결합부(270)는, 시드 샤프트(260) 보다 직경이 큰 원형 실린더 형상으로 형성되며, 시드의 일단을 끼울 수 있는 시드 끼움 홈(275)이 형성된다. 시드 끼움 홈(275)은 상기 시드의 마주 보는 양 측면에 각각 접하도록 형성된 양 측면 파지면(271)과, 상기 측면 파지면(271)을 제외한 한 면(272)은 상기 시드(1)가 끼워질 수 있도록 개방되며, 상기 시드가 삽이되는 깊이를 조절하기 위해 개방된 한 면(272)에 마주보고 형성된 바닥면(273)으로 형성된다. 따라서, 시드 끼움 홈(275)의 양 측면 파지면(271)과 바닥면(273)은 전체적으로 상기 시드의 네 측면 중 삼면을 감싸도록 형성된다.The seed coupling part 270 is formed in a circular cylinder shape having a diameter larger than that of the seed shaft 260, and a seed fitting groove 275 may be formed to fit one end of the seed. The seed fitting grooves 275 are formed on both side gripping surfaces 271 formed to be in contact with opposite sides of the seed, and one side 272 except for the side gripping surfaces 271 is fitted with the seed 1. It is open so that it can be formed, and the seed is formed with a bottom surface 273 formed to face an open side 272 to adjust the depth at which the seed is inserted. Accordingly, both side gripping surfaces 271 and bottom surface 273 of the seed fitting groove 275 are formed to entirely surround three surfaces of the four sides of the seed.

양 상기 측면 파지면(271)은 끝단으로 갈수록 서로 마주보는 간격이 좁아진다. 즉, 도 6과 같이, 측면 파지면(271)의 끝단이 좁아지도록 형성되며, 이에 맞춰 시드의 결합부위(2)도 도 7과 같이 테이퍼지도록 형성된다.Both side gripping surfaces 271 are narrowed to face each other toward the end. That is, as shown in FIG. 6, the end of the side gripping surface 271 is formed to be narrow, and accordingly, the coupling portion 2 of the seed is also tapered as shown in FIG. 7.

상기 시드 결합부(270)의 외주면에는 고정용 와이어(9)가 삽입될 수 있는 와이어 고정용 홈(276)이 요입되어 형성되며, 시드(1)에도 고정용 와이어(9)가 삽입될 수 있도록 와이어 삽입홈(3)이 삽입되어 형성된다. 시드 결합부(270)에 시드(1)가 결합되었을 때, 와이어 고정용 홈(276)과 와이어 삽입홈(3)은 나란하도록 배치되어야 한다.The outer circumferential surface of the seed coupling part 270 is formed by recessing the wire fixing groove 276 into which the fixing wire 9 can be inserted, and the fixing wire 9 can be inserted into the seed 1. The wire insertion groove 3 is inserted and formed. When the seed 1 is coupled to the seed coupling part 270, the wire fixing groove 276 and the wire insertion groove 3 should be arranged side by side.

상기와 같이, 본 발명의 일실시예는 시드 결합부의 측면 파지면(271)과 이에 맞닿는 시드의 결합부위(2)의 테이퍼진 면이 시드(1)가 하방으로 빠지는 것을 방지하여 준다. 즉, 종래와 같이 단순히 와이어로 권선하지 않고, 시드와 측면 파지면(217)의 결합에 의해 고정함으로써, 종래와 같이 고온의 환경에서 와이어가 늘어나 시드의 위치가 변화하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 시드(1)를 보다 안정적으로 고정할 수 있다. 또한, 고정용 와이어(9)를 사용하여 시드(1)가 개방된 한 면(272)으로 이탈하는 것을 방지하여 주며, 와이어 고정용 홈(276) 및 와이어 삽입홈(3)으로 인해 보다 견고하게 시드를 고정할 수 있도록 한다.As described above, the embodiment of the present invention prevents the seed 1 from falling down from the side grip surface 271 of the seed coupling portion and the tapered surface of the coupling portion 2 of the seed which is in contact with the seed coupling portion. That is, by fixing by the combination of the seed and the side gripping surface 217, instead of winding as a wire as in the prior art, it is possible to prevent the wire from extending in the high temperature environment as in the prior art to change the position of the seed. Therefore, the seed 1 can be fixed more stably. In addition, the use of the fixing wire (9) prevents the seed (1) is separated from the open side 272, and more firmly due to the wire fixing groove 276 and the wire insertion groove (3) Allow the seed to be fixed.

또한, 시드(1)가 하방으로 빠지는 것을 지탱하는 것이, 측면 파지면(271) 및 이에 맞닿는 시드(1)의 테이퍼 진 면이므로, 와이어로 견고하게 고정하기 위해 시드가 홈(275)에서 많이 돌출되지 않아도 된다는 장점이 있다. 따라서, 시드(1)를 시드 샤프트의 중심축과 가능한 최소의 편심으로 설치할 수 있다는 장점이 있다. 즉, 시드(1)에 성장되는 잉곳의 무게 중심이 시드 샤프트의 중심과 최대한 일치되도록 하여, 장비에 가해지는 편심 하중을 최소화할 수 있다. 또한, 시드의 중심으로 온도 분포가 대칭에 가깝게 되어, 잉곳이 시드의 중심축을 중심으로 최대한 대칭으로 성장할 수 있도록 한다.In addition, since supporting the seed 1 falling downward is a tapered surface of the side gripping surface 271 and the seed 1 abutting the seed, the seed protrudes a lot from the groove 275 in order to be firmly fixed with a wire. There is an advantage that does not have to. Therefore, there is an advantage that the seed 1 can be installed with the center axis of the seed shaft as small as possible. That is, the center of gravity of the ingot grown on the seed 1 can be matched with the center of the seed shaft as much as possible, thereby minimizing the eccentric load applied to the equipment. In addition, the temperature distribution in the center of the seed is close to symmetry, allowing the ingot to grow as symmetrically as possible about the center axis of the seed.

양 상기 측면 파지면(271)과 상기 바닥면(277)으로 형성된 홈(275)에 상기 시드 샤프트의 축 중심(277)이 위치하는 것이 바람직하다. 즉, 홈(275)을 가능한 깊게 파서, 시드 샤프트의 축 중심(277)이 홈(275) 내부에 형성되도록 함으로써, 홈(275)에 끼워지는 시드(1)의 편심량을 최대한 줄여줄 수 있다.Preferably, the shaft center 277 of the seed shaft is positioned in the groove 275 formed by both the side gripping surfaces 271 and the bottom surface 277. That is, by digging the groove 275 as deep as possible, the axial center 277 of the seed shaft is formed in the groove 275, thereby reducing the amount of eccentricity of the seed 1 fitted into the groove 275 as much as possible.

상기 홀더(250)는, 일단에 상기 로드(220)가 삽입되어 결합되는 로드 결합공이(251) 형성되고, 타단에는 상기 시드 샤프트(260)가 삽입되어 결합되는 샤프트 결합공(252)이 형성되며, 상기 로드 결합공(251)과 상기 샤프트 결합공(252) 사이에는 열 전도판(253)이 형성되며, 상기 열 전도판(253)에는 전도량 조절공(254)이 관통되어 형성된다.The holder 250 has a rod coupling hole 251 to which the rod 220 is inserted and coupled to one end thereof, and a shaft coupling hole 252 to which the seed shaft 260 is inserted and coupled is formed at the other end thereof. The heat conduction plate 253 is formed between the rod coupling hole 251 and the shaft coupling hole 252, and the conductivity adjusting hole 254 is formed through the heat conduction plate 253.

로드 결합공(252)의 내주면 및 샤프트 결합공(252)의 내주면에는 나사산이 형성되며, 이에 맞물릴 수 있도록 로드(220) 및 시드 샤프트(260)의 외주면에도 나나산이 형성된다.Threads are formed on the inner circumferential surface of the rod coupling hole 252 and the inner circumferential surface of the shaft coupling hole 252, and the Nanasan is also formed on the outer circumferential surfaces of the rod 220 and the seed shaft 260 so as to be engaged therewith.

열전도판(253)은 시드 샤프트(260)의 열을 로드(220)로 전도해서 전달해주는 역할을 한다. 이때, 열전도량이 너무 많은 경우, 적절하게 조절하여 잉곳을 성장시키기 어렵다. 이러한 이유로 시드 샤프트(260)의 직경을 크게 하는 데 어려움이 있었다. 이러한 문제점을 해소하기 위해서, 전도량 조절공(254)을 열 전도판(253)에 형성하였다. 그 결과, 시드 샤프트(260)의 직경이 증대되어도, 전도량 조절공(254)의 크기를 증대시킴으로써, 열 전도량을 조절할 수 있다. 따라서, 시드 샤프트의 내구성이 증대되어, 수차례 반복 사용할 수 있어, 제조 원가를 절감할 수 있다. The heat conduction plate 253 serves to conduct heat to the rod 220 by conducting heat from the seed shaft 260. At this time, when the thermal conductivity is too large, it is difficult to grow the ingot by appropriately adjusting. For this reason, it is difficult to increase the diameter of the seed shaft 260. In order to solve this problem, the conductivity adjusting holes 254 are formed in the heat conduction plate 253. As a result, even if the diameter of the seed shaft 260 is increased, the thermal conductivity can be adjusted by increasing the size of the conductivity adjusting hole 254. Therefore, the durability of the seed shaft is increased and can be used repeatedly several times, thereby reducing the manufacturing cost.

도 8은 제 2 실시예의 시드 결합부를 도시한 단면도이다.8 is a sectional view showing the seed coupling portion of the second embodiment.

상기 시드 결합부(1270)는, 상기 시드(1)의 일단이 끼워질 수 있는 시드 끼움 홈(1275)이 형성되며, 상기 시드 끼움 홈(1275)을 형성하는 면의 적어도 일부에는 상기 시드(1)에 형성된 시드 걸림턱(4)에 결합되도록 시드 결합부 걸림턱(1276)이 형성된 것을 특징으로 한다. 시드 걸림턱(4) 및 시드 결합부 걸림턱(1276)은 도 8과 같이 측면에 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 바닥면 등에도 형성될 수 있다.The seed coupling part 1270 is formed with a seed fitting groove 1275 into which one end of the seed 1 may be fitted, and the seed 1 is formed on at least a portion of a surface forming the seed fitting groove 1275. It is characterized in that the seed engaging portion engaging jaw (1276) is formed to be coupled to the seed engaging jaw (4) formed in the). The seed catching jaw 4 and the seed coupler engaging jaw 1276 may be formed on the side surface as shown in FIG. 8, but are not limited thereto and may be formed on the bottom surface.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
100: 도가니 1: 시드
210: 시드척 230: 승강장치
220: 로드 260: 시드 샤프트
270: 시드 결합부 275, 1275: 시드 끼움홈
271: 측면 파지면 276, 1277: 와이어 고정용 홈
4: 시드 걸림턱 1276: 시드 결합부 걸림턱
273: 바닥면 250: 홀더
251: 로드 결합공 252: 샤프트 결합공
253: 열 전도판 254: 전도량 조절공DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS
100: crucible 1: seed
210: seed chuck 230: lifting device
220: rod 260: seed shaft
270: seed coupling portion 275, 1275: seed fitting groove
271: side gripping surface 276, 1277: wire fixing groove
4: seed jaw 1276: seed coupling jaw
273: bottom 250: holder
251: rod coupling hole 252: shaft coupling hole
253: heat conduction plate 254: conductivity control hole

Claims (10)

원료가 용융된 도가니에서 시드를 점진적으로 상승시켜, 시드에 잉곳을 성장시키는 잉곳성장기의 시드척에 있어서,
일단은 상기 시드를 상승시키는 승강장치의 로드에 결합되며, 타단은 상기 시드가 결합되는 시드결합부가 형성된 시드 샤프트;
를 포함하고,
상기 시드 결합부는,
상기 시드의 일단이 끼워지는 시드 끼움홈이 형성되며, 상기 시드의 마주 보는 양 측면에 각각 접하도록 상기 시드 끼움홈의 양 측면에 형성된 양 측면 파지면;
을 포함하고,
양 상기 측면 파지면은 끝단으로 갈수록 서로 마주보는 간격이 좁아지도록 형성되며,
상기 시드 결합부의 외주면에는 고정용 와이어가 삽입될 수 있는 와이어 고정용 홈이 요입되어 형성된 것을 특징으로 하는 잉곳 성장기의 시드척.
In the seed chuck of the ingot growing machine which gradually raises the seed in the crucible in which the raw material is melted and grows the ingot on the seed,
A seed shaft having one end coupled to a rod of a lifting device for raising the seed, and the other end having a seed coupling part to which the seed is coupled;
Lt; / RTI >
The seed bond portion,
Seed fitting grooves are formed in which one end of the seed is fitted, and both side gripping surfaces formed on both sides of the seed fitting groove so as to be in contact with opposite sides of the seed, respectively;
/ RTI >
Both sides of the gripping surface is formed so as to narrow the gap facing each other toward the end,
The seed chuck of the ingot growth machine, characterized in that formed on the outer circumferential surface of the seed coupling portion is a groove for fixing the wire into which the fixing wire can be inserted.
삭제delete 원료가 용융된 도가니에서 시드를 점진적으로 상승시켜, 시드에 잉곳을 성장시키는 잉곳성장기의 시드척에 있어서,
일단은 상기 시드를 상승시키는 승강장치의 로드에 결합되며, 타단은 상기 시드가 결합되는 시드결합부가 형성된 시드 샤프트;
를 포함하고,
상기 시드 결합부는,
상기 시드의 일단이 끼워질 수 있는 시드 끼움 홈이 형성되며,
상기 시드 끼움 홈을 형성하는 면의 적어도 일부에는 상기 시드에 형성된 시드 걸림턱에 결합되도록 시드 결합부 걸림턱이 형성되며,
상기 시드 결합부의 외주면에는 고정용 와이어가 삽입될 수 있는 와이어 고정용 홈이 요입되어 형성된 것을 특징으로 하는 잉곳 성장기의 시드척.
In the seed chuck of the ingot growing machine which gradually raises the seed in the crucible in which the raw material is melted and grows the ingot on the seed,
A seed shaft having one end coupled to a rod of a lifting device for raising the seed, and the other end having a seed coupling part to which the seed is coupled;
Lt; / RTI >
The seed bond portion,
A seed fitting groove may be formed to which one end of the seed may be fitted.
At least a part of the surface forming the seed fitting groove is formed with a seed engaging portion engaging jaw to be coupled to the seed engaging jaw formed in the seed,
The seed chuck of the ingot growth machine, characterized in that formed on the outer circumferential surface of the seed coupling portion is a groove for fixing the wire into which the fixing wire can be inserted.
삭제delete 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 시드 결합부는,
상기 시드 끼움 홈의 상기 측면 파지면을 제외한 한 면은 상기 시드가 끼워질 수 있도록 개방되며, 나머지 한 면은 상기 시드가 삽입되는 깊이를 조절하기 위한 바닥면으로 형성되어, 전체적으로 상기 시드의 네 측면 중 삼면을 감싸는 것을 특징으로 하는 잉곳 성장기의 시드척.
The method according to claim 1 or 3,
The seed bond portion,
One side except the side gripping surface of the seed fitting groove is opened to allow the seed to be fitted, and the other side is formed as a bottom surface for adjusting the depth into which the seed is inserted, and thus the four sides of the seed as a whole. Seed chuck during the ingot growth phase, characterized by surrounding the middle three sides.
제 5 항에 있어서,
상기 시드 끼움 홈에 상기 시드 샤프트의 축 중심이 위치하는 것을 특징으로 하는 잉곳 성장기의 시드척.
The method of claim 5, wherein
The seed chuck of the ingot growth machine, characterized in that the axis center of the seed shaft is located in the seed fitting groove.
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 로드와 상기 시드 샤프트를 연결하는 홀더;
를 더 포함하고,
상기 홀더는,
일단에 상기 로드가 삽입되어 결합되는 로드 결합공이 형성되고,
타단에는 상기 시드 샤프트가 삽입되어 결합되는 샤프트 결합공이 형성되며,
상기 로드 결합공과 상기 샤프트 결합공 사이에는 열 전도판이 형성되며,
상기 열 전도판에는 전도량 조절공이 관통되어 형성된 것을 특징으로 하는 잉곳 성장기의 시드척.
The method according to claim 1 or 3,
A holder connecting the rod and the seed shaft;
Further comprising:
Wherein the holder comprises:
A rod coupling hole is formed at one end thereof to which the rod is inserted and coupled;
The other end is formed with a shaft coupling hole to which the seed shaft is inserted and coupled,
A heat conduction plate is formed between the rod coupling hole and the shaft coupling hole,
Seed chuck of the ingot growth machine, characterized in that the heat conduction plate is formed through the conductivity control hole.
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 시드 샤프트의 상기 시드 결합부의 직경이 상기 시드 샤프트의 나머지 부분 보다 큰 것을 특징으로 하는 잉곳 성장기의 시드척.
The method according to claim 1 or 3,
The seed chuck of the ingot growth machine, characterized in that the diameter of the seed coupling portion of the seed shaft is larger than the rest of the seed shaft.
제 1 항 또는 제 3 항의 시드척을 포함하는 잉곳 성장기.
An ingot growth phase comprising the seed chuck of claim 1.
제 7 항의 시드척을 포함하는 잉곳 성장기.Ingot growth phase comprising the seed chuck of claim 7.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004026527A (en) 2002-06-21 2004-01-29 Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp Seed chuck for pulling up single crystal

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