KR101379872B1 - 금속 시트를 프로세싱하기 위한 레이저 프로세싱 노즐 - Google Patents

금속 시트를 프로세싱하기 위한 레이저 프로세싱 노즐 Download PDF

Info

Publication number
KR101379872B1
KR101379872B1 KR1020117012192A KR20117012192A KR101379872B1 KR 101379872 B1 KR101379872 B1 KR 101379872B1 KR 1020117012192 A KR1020117012192 A KR 1020117012192A KR 20117012192 A KR20117012192 A KR 20117012192A KR 101379872 B1 KR101379872 B1 KR 101379872B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
nozzle
laser processing
mouse
laser
region
Prior art date
Application number
KR1020117012192A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20110090969A (ko
Inventor
아른트 스첼라고우스키
플로리안 젭프
폴커 멧쉬
Original Assignee
트룸프 베르크초이그마쉬넨 게엠베하 + 코. 카게
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 트룸프 베르크초이그마쉬넨 게엠베하 + 코. 카게 filed Critical 트룸프 베르크초이그마쉬넨 게엠베하 + 코. 카게
Publication of KR20110090969A publication Critical patent/KR20110090969A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101379872B1 publication Critical patent/KR101379872B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1464—Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
    • B23K26/1476—Features inside the nozzle for feeding the fluid stream through the nozzle
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/142—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor for the removal of by-products
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36—Removing material
    • B23K26/38—Removing material by boring or cutting
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/46—Details, e.g. noise reduction means
    • F23D14/48—Nozzles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/02—Iron or ferrous alloys
    • B23K2103/04—Steel or steel alloys
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/02—Iron or ferrous alloys
    • B23K2103/04—Steel or steel alloys
    • B23K2103/05—Stainless steel

Abstract

본원 발명은 특히 두께가 8 mm보다 두꺼운 고급 스틸 시트를 절단하기 위한, 금속 시트(8) 프로세싱용 레이저 프로세싱 노즐(17a-17d)에 관한 것으로서, 레이저 비임(6) 및 프로세싱 가스(10)를 위한 공급 챔버(24) 그리고 마우스 영역(25)을 포함하고, 상기 마우스 영역은 노즐 종축(23)을 따라서 상기 공급 챔버(24)와 인접하며 상기 공급 챔버(24)에 비해서 상대적으로 좁다. 단차부(26)가 프로세싱 가스(10)의 스월 발생을 위해서 상기 공급 챔버(24)와 상기 마우스 영역(25) 사이에서 형성되고 상기 마우스 영역(25)에 비해서 확장되는 개구부 영역(28)이 노즐 종축(23)을 따라서 상기 마우스 영역(25)과 인접한다.

Description

금속 시트를 프로세싱하기 위한 레이저 프로세싱 노즐{LASER MACHINING NOZZLE FOR MACHINING SHEET METAL}
본원 발명은 금속 시트를 프로세싱하기 위한, 특히 두께가 8 mm 보다 두꺼운 고급 스틸 시트를 절단하기 위한 레이저 프로세싱 노즐에 관한 것으로서, 상기 레이저 프로세싱 노즐은, 레이저 비임 및 프로세싱 가스를 위한 공급 챔버, 그리고 노즐의 길이방향을 따라 상기 공급 챔버와 인접하고 상기 공급 챔버에 대비하여 좁아지는 마우스 영역(mouth region)을 포함한다.
레이저 프로세싱 중에, 특히 금속 시트의 레이저 절단 중에, 프로세싱 가스 또는 절단 가스가 프로세싱 작업 중에 레이저 프로세싱 노즐에 의해서 프로세싱 위치로 공급된다. 이러한 경우에 절단 가스는 절단 작업을 기계적으로 지원하고, 즉 절단 작업 중에 생성되는 용융 매스(molten mass) 및 슬래그가 절단 시임(seam)의 외부로 배출될 수 있게 하는 압력 쿠션(pressure cushion)이 절단 중에 프로세싱 위치의 위쪽에 형성된다.
최근에, 프로세싱 가스 및 레이저 비임을 위한 원뿔형 내측 윤곽을 갖는 공급 챔버를 구비한 레이저 프로세싱 노즐이 일반적으로 사용된다. 공급 챔버의 원뿔형 내측 윤곽이 원통형 마우스 영역과 통합되고, 상기 원통형 마우스 영역의 직경은 마우스 영역과 마주하는 측부에서의 공급 챔버의 내측 윤곽의 직경에 상응한다. 서로 다른 시트 금속 두께에 대해서 서로 다른 노즐 직경들이 사용되며, 이하와 같은 대략적인 원칙(rule of thumb)이 적용된다. 즉 금속 시트가 두꺼울수록, 노즐 직경이 커진다. 보다 큰 노즐 직경은 보다 큰 질량 유동(mass flow)을 초래하고, 그러한 큰 질량 유동은 두꺼운 금속 시트에서 필요한 것인데, 이는 절단 시임으로부터 보다 많은 물질이 배출되어야 하기 때문이다.
만약 프로세스 작업 중에 물질이 단지 용융될 뿐 연소되지 않는다면(소위 "용융 절단"), 프로세싱 위치에서의 압력 쿠션 내의 압력이 높아서 용융 매스가 용이하게 배출되도록, 절단 헤드의 압력 챔버 내의 가스 압력은 대형 노즐 직경의 경우에 최소 레벨[> 15 … 25 바아(bar)]을 가져야 할 것이다.
전술한 표준형 노즐 이외에도, 특수한 목적을 위한 많은 수의 노즐들이 공지되어 있으며, 예를 들어, 레이저-지원형 열적 절단을 위한 De Laval 노즐 또는 예를 들어 US 6423928에 기재된 바와 같이 공작물과 마주하는 측부에서 원뿔형 개구부 영역을 가지는 실리콘 블록 절단용 노즐이 있다.
본원의 출원인이 출원한 WO 2007 059787에는 공급 영역으로서의 내측 원뿔, 원통형 마우스 영역 및 공동(cavity)을 구비하는 노즐이 개시되어 있으며, 상기 공동은 상기 마우스 영역에 인접하고, 공작물을 향해서 지향되며 스월(swirl) 유동을 생성하기 위한 엣지를 구비한다. 여기에서 설명되는 노즐은 두께가 8 mm 보다 두꺼운 고급 스틸 시트를 절단하는 데 적합하다. 중앙 절단 가스 비임을 안정화시키는 압력 쿠션이 공동 내에 생성된다. 결과적으로, 이는 절단 가스 비임이 용융물 전방에 더 인접하게 만들고 그에 따라 용융 매스가 연속적으로 배출될 수 있게 한다. 이는 절단 엣지에서 상당히 감소된 조도(roughness)로서 명확하게 확인된다.
그러나, 그러한 노즐의 이점은 노즐과 금속 시트 사이의 거리가 짧은 상태(0.3 mm < d < 0.5 mm)에서 실행될 때에만 유용할 수 있다는 것을 발견하였다. 만약 거리가 너무 멀어진다면, 압력 쿠션이 너무 작아져서 원하는 가스 동특성 효과를 얻을 수 없고 용융 매스의 배출을 얻을 수 없게 될 것이다.
일반적으로, 금속 레이저 프로세싱 노즐은 레이저 프로세싱 장치의 나머지로부터 전기적으로 절연되고(그리고, 그에 따라 공작물로부터, 일반적으로 금속 시트로부터 전기적으로 절연됨), 예를 들어, 유전체 물질 특히, 세라믹 물질에 의해서 레이저 프로세싱 장치에 고정된다. 시스템 즉, "노즐/금속 시트"의 커패시턴스(capacitance)가 거리 제어 센서에 의해서 계속적으로 측정된다. 커패시턴스가 증가하면 거리가 감소될 수 있을 것이다. 그러나, 0.4 mm 보다 짧은 거리에서, 공지된 거리 제어는 공지된 레이저 프로세싱 노즐과 충분히 양호하게 상호 협동하지 않는다. 거리 제어 센서는 거리 제어부에 의해서 레이저 프로세싱 노즐과 공작물 사이의 충돌 값으로서 평가되는 측정 값을 결정한다. 또한, 거리는, 예를 들어 1.0 mm인 경우보다 더 작은 값에서 훨씬 더 민감하게 제어된다. 예를 들어, 가스 플라즈마 때문에, 전기장에 약간의 장애가 발생한다면, 거리의 즉각적인 변화를 초래한다. 결과적으로, 프로세스의 가스 동특성이 상당히 방해를 받게 되고, 즉 용융 매스의 배출에 장애가 발생할 수 있으며 절단의 중단 또는 충돌이 발생할 수 있을 것이다. 그에 따라, 이러한 거리 범위에서, 레이저 프로세싱 노즐의 장애에 대한 낮은 레벨의 민감도가 절대적으로 요구된다.
본원 발명의 목적은, 프로세스 안정성과 관련하여, 금속 시트를 프로세싱하기 위한, 특히 두께가 8 mm 보다 두꺼운 고급 스틸 시트를 절단하기 위한 레이저 프로세싱 노즐을 개선하는 것이다.
이러한 목적은 본원 명세서의 도입부에서 설명한 타입의 레이저 프로세싱 노즐에 의해서 본원 발명에 따라 달성되며, 그러한 노즐은, 프로세싱 가스의 스월 생성을 위해서 공급 챔버와 마우스 영역 사이에 형성되는 단차부, 그리고 프로세싱 가스의 배출을 위한, 노즐의 종축을 따라 상기 마우스 영역에 인접하며 상기 마우스 영역에 대비하여 확장되는 개구부 영역을 추가로 포함한다.
개구부 영역의 개구부 내측 윤곽부는 층류 유동과 난류 유동 사이의 경계에서 WO 2007 059787의 노즐에서 생성되는 유동 프로파일을 실질적으로 형성하고, 그에 따라 프로세싱 위치에서 바람직한 것으로 알려진 유동 관계를 결정한다. 공급 챔버 내에서, 공급 챔버와 마우스 영역 사이의 단차부에서, 노즐 거리가 변화될 때 발생되는 바와 같이, 압력 쿠션으로 작용할 수 있고 압력의 작은 변화를 완화시킬 수 있는 난류의 발생이 이루어진다. 그러한 방식으로, 레이저 프로세싱 노즐과 금속 시트 사이의 거리가 0.8 mm 또는 0.5 mm 미만인 작은 거리일 때 작업 면에서 신뢰할 수 있는 방식으로 또한 사용될 수 있는 금속 시트 프로세싱용 레이저 프로세싱 노즐이 제공된다. 이러한 경우에, 노즐 종축에 대해서 방사상으로 대칭이고 동축이 되도록, 공급 챔버, 마우스 영역 및 개구부 영역이 보통 배치된다.
공급 챔버와 마우스 영역 사이의 단차부가 노즐 종축에 수직인 평면 내에서 연장될 수 있으나, 또한 노즐 종축과 90 °보다 크거나 작은 각도, 예를 들어, 약 80°내지 100°사이일 수 있는 각도를 형성하는 단차부도 가능할 것이다. 또한, 단차부는 반드시 평면적인 면을 가질 필요가 없고 그 대신에 곡면을 가질 수 있을 것이며, 특히 단차부의 외측 엣지가 둥근 코너에서 공급 챔버의 외측 표면으로 통합될 수 있을 것이다. 중요한 측면은, 레이저 프로세싱 노즐의 내측 윤곽부의 불연속성이 단차부에 의해서 생성되고 프로세싱 가스에서 난류를 초래한다는 것이다.
일 실시예에서, 단차부가 커버하는 단면적은 마우스 영역의 단면적보다 적어도 4배만큼 크다. 이러한 경우에 단차부의 단면적은 노즐 종축에 대해서 수직인 평면 내에서 단차부가 커버하는 표면적(마우스 영역 포함)으로서 규정된다. 실험에 의해서, 단차부의 단면이 마우스 영역의 단면과 비교할 때 상대적으로 커야 하고 특히 마우스 영역의 단면적의 4배보다 많이, 선택적으로 8배보다 더 많이 커야 한다는 것을 확인하였다. 기본적으로 방사상 대칭형 내측 윤곽부들이 취해진다면, 특히 단차부의 외측 직경이 원통형 마우스 영역의 직경보다 적어도 2배 이상 커야할 것이고 일반적으로 직경의 4배보다는 크지 않아야 할 것이다.
일 실시예에서, 마우스 영역에 직접적으로 인접하는 개구부 영역의, 바람직하게는 원뿔형인, 제 1 부분이 20°내지 80°, 바람직하게는 25°내지 35°인 제 1 개방 각도를 가진다. 실험을 통해서, 노즐 윤곽부가, 마우스 영역에 직접적으로 인접한 개구부 영역의 부분에서, 상응하는 치수를 가지고 개방 각도가 통상적으로 10°이하인 De Laval 노즐보다 큰 각도로 이미 개방되어 있어야 한다는 것을 확인하였다. 노즐 윤곽부가 적어도 하나의 원뿔 부분을 가진다면 레이저 프로세싱 노즐이 매우 간단하게 생산될 수 있을 것이다.
바람직한 실시예에서, 바람직하게는 원뿔형인 제 2 부분이 제 1 부분에 인접하고 100°내지 160°, 바람직하게는 135°내지 145°인 보다 큰 제 2 개방 각도를 가진다. 프로세싱 측면에서 바람직한 유동 관계는 특히 원뿔형인 두 부분들에 의해서 근접 근사치(close approximation)로서 이미 재현될 수 있을 것이다. 마우스 영역으로부터의 거리가 증가될수록 더 커지는 개방 각도를 갖는 2개보다 많은 원뿔 부분들이 개구부 영역 내에 또한 형성될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러한 경우에, 20°초과가 되도록 의도된 제 1 원뿔 부분에서의 개방 각도로부터 단지 2개의 원뿔 부분만을 가지는 경우보다 더 서서히 개방 각도들이 상기 부분들 사이에서 커질 수 있을 것이다.
부분들 사이에 연속적인 천이부를 제공하기 위해서 그리고 그에 따라 배출되는 가스 유동 내에서의 난류 형성을 방지하기 위해서, 제 1 부분과 제 2 부분 사이에 그리고 다른 부분들 사이에 둥근 부분을 형성하는 것이 유리하다는 것을 발견하였다. 노즐 길이 방향으로 짧은 길이를 가지고 마지막 원뿔 부분이 연속적인 방식으로 통합되지 않는 즉, 둥근 부분이 없는 원통형 영역이 레이저 프로세싱 노즐의 배출 개구부의 영역 내에서 원뿔 영역에 인접할 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
다른 실시예에서, 개구부 영역의 내측 윤곽부의 개방 각도는 마우스 영역으로부터의 거리가 증가될수록 특히 연속적으로 커진다. 전술한 바와 같이, 개방 각도의 증대가 둘 또는 그 이상의 원뿔 부분을 따라서 이루어질 수 있을 것이다. 원뿔 부분들의 수가 매우 크게 선택된다면, 개구부 영역의 내측 윤곽부의 반경에 대한 소정 함수가 원뿔 부분들에 의해서 근사될 수 있을 것이다. 내측 윤곽부의 반경은 또한, 단조 증가하는 바람직한 연속적 수학 함수에 직접적으로 적용될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
다른 실시예에서, 개구부 영역에 형성된 레이저 프로세싱 노즐의 배출 개구부의 직경이 노즐 종축을 따른 개구부 영역의 길이의 적어도 2배가 된다. 개구부 영역의 길이에 비해서 상대적으로 큰 직경을 가지는 배출 개구부를 선택하는 것은, 프로세싱 가스의 배출에 특히 유리하다는 것이 실험으로 확인되었다.
다른 실시예에서, 공급 챔버 및 마우스 영역이 노즐 종축에 대해서 동축으로 배치되고, 바람직하게는 원통형이 되도록 구성된다. 공급 챔버 및 마우스 영역 모두가 원통형이 되도록 구성된다면, 단차부가 원통형 공급 챔버의 기본면을 형성하고, 여기에는 원통형 마우스 영역의 외측 표면이 인접한다. 통상적으로, 마우스 영역이 원통 형태인 반면, 공급 챔버는 원통형이 되도록 또는 선택적으로 다른 형태, 예를 들어, 장방형 또는 정사각형이 되도록 구성될 수 있을 것이다. 공급 챔버에 형성된 단차부가 또한 노즐 축선에 수직으로 연장되지 않고 그 대신에 원뿔형 면이 될 수 있으며, 노즐 종축과 단차부 사이의 각도가 약 80 °내지 약 100°인 것이 바람직할 것이다. 프로세싱 가스 내의 난류 발생이 단차부에서 이루어지는 것이 보장된다면, 단차부의 곡면형 연장부도 가능할 것이다.
본원 발명의 다른 이점들이 이하의 설명 및 도면들로부터 이해될 수 있을 것이다. 전술한 특징들 및 이하의 특징들은 개별적으로 또는 조합되어 함께 이용될 수 있을 것이다. 도시되고 설명된 실시예들은 본원 발명을 한정적으로 나열한 것이 아니라 본원 발명을 설명하기 위한 예시적인 것임을 이해할 수 있을 것이다.
본원 발명에 따르면, 프로세스 안정성과 관련하여, 금속 시트를 프로세싱하기 위한, 특히 두께가 8 mm 보다 두꺼운 고급 스틸 시트를 절단하기 위한 레이저 프로세싱 노즐을 개선할 수 있다.
도 1은 레이저 절단 장치를 도시한 사시도이다.
도 2a 및 도 2b는 렌즈(도 2a)를 구비한 레이저 프로세싱 헤드, 그리고 2개의 거울(도 2b)을 구비한 레이저 프로세싱 헤드를 도시한 도면이다.
도 3은 단일 원뿔형 부분을 갖춘 개구부 영역을 구비하는 본원 발명에 따른 레이저 프로세싱 노즐의 일 실시예를 도시한 도면이다.
도 4는 2개의 원뿔형 부분을 갖춘 개구부 영역을 구비하는 레이저 프로세싱 노즐의 일 실시예를 도시한 도면이다.
도 5는 2개의 원뿔형 부분들 사이에 둥근 부분을 갖춘 도 4와 유사한 도면이다.
도 6은 연속적으로 증가하는 개방 각도를 갖는 개구부 영역을 구비하는 레이저 프로세싱 노즐의 일 실시예를 도시한 도면이다.
도 1은 레이저 공진기(2), 레이저 프로세싱 헤드(4) 및 공작물 지지부(5)를 구비하는 레이저 절단용 레이저 절단 장치(1)를 도시한다. 파장, 최대 비임 품질 등과 관련하여 레이저 공진기(2)에 의해서 생성되는 레이저 비임(6)에서 요구되는 파워 특성에 따라서, CO2 레이저 또는 솔리드 스테이트(solid state) 레이저, 특히 디스크, 다이오드 또는 섬유(fibre) 레이저를 레이저 공진기로서 이용할 수 있을 것이다.
레이저 공진기(2)에 의해서 생성되는 레이저 비임(6)은, 비임 안내부(3), 예를 들어 방향변경용 거울(3a)에 의해 안내되고 프로세싱 작업에 따라서 성형(shaping)된다. 비임 안내부(3)는 레이저 절단 장치(1)의 작업 중에 완전히 차폐되는데, 이는 첫 번째로 안전 상의 이유 때문이고 두 번째로 오염을 방지하기 위한 이유 때문이다.
비임 안내부(3)의 폐쇄부는 레이저 프로세싱 헤드(4)에 의해서 형성되고, 여기에서, 공작물(8)의 물질을 용융시키기 위해, 레이저 비임(6)이 프로세싱 위치(7)에 포커싱되며 공작물(8), 예를 들어 두께가 8 mm 보다 두꺼운 고급 스틸 시트의 표면(8a)에 대해서 수직으로 배향된다.
레이저 절단의 경우에, 첫 번째로, 공작물(8)이 레이저 비임(6)으로 절단되고, 다시 말해서, 공작물(8)이 해당 위치에서 포인트-유사(point-like) 방식으로 용융되거나 산화되고 이러한 경우에 생성된 용융 매스가 배출된다. 레이저 비임(6)은 공작물(8)에 대해 연속적으로 이동되며, 그에 따라 연속적인 절단 개구(9)가 생성되고, 그러한 개구를 따라서 레이저 비임(6)이 공작물(8)을 분리시킨다.
천공 및 레이저 절단 모두 레이저 절단 헤드(4)에 부가되는 프로세싱 가스에 의해서 지원될 수 있다. 이용될 수 있는 절단 가스(10)는, 절단 작업을 기계적으로 지원하고(용융 매스가 절단 가스의 존재로 인해서 절단 시임으로부터 배출됨) 선택적으로 화학적으로 지원하는(연소 지원에 의함) 산소, 질소, 압축 공기 및/또는 특수 용도의 가스를 포함할 수 있다. 최종적으로 사용되는 가스는 어떠한 물질이 절단되는가에 따라서 그리고 공작물 상에서 요구되는 품질 요건에 따라서 달라질 것이다. 절단 중에 생성되는 입자들 및 가스들이 배출 장치(11)에 의해서 배출 챔버(12)로부터 배출될 수 있을 것이다. 중앙 제어 유닛(13)은 프로세싱 작업을 자동적으로 제어하는 기능, 특히 프로세싱 위치(7)에서 레이저 절단 헤드(4)를 자동적으로 정위치시키고 레이저 비임(6)의 비임 파라미터(예를 들어, 레이저 파워) 및 장치의 프로세싱 파라미터(예를 들어, 가스 타입, 가스 압력, 노즐 거리 등)를 조정하는 기능을 한다.
렌즈식 절단 헤드(4a) 형태인 도 1의 레이저 절단 헤드(4)의 제 1 구성이 도 2a에 도시되어 있다. 렌즈식 절단 헤드(4a)는 비임 안내부(3)와 연관되는 하우징 영역(14a) 및 레이저 프로세싱 작업과 연관되는 하우징 영역(14b)을 구비하고, 상기 영역들은 중간 벽(15)에 의해서 기밀(gas-tight) 방식으로 서로 분리된다. 포커싱 렌즈(16)가 중간 벽(15) 내로 통합된다. 비임 안내부와 연관된 하우징 영역(14a)이 청정 가스로 플러싱(flush)되고 그에 따라 주변으로부터의 분진 입자들[예를 들어, 절단 연기(cutting fumes)] 및 바람직하지 못한 기체상태의 불순물로부터 보호된다. 그러나, 프로세싱을 기계적으로 그리고 선택적으로 화학적으로 지원하기 위해서, 레이저 프로세싱 영역과 연관된 하우징 영역(14b)은 프로세싱 가스(10)로, 통상적으로 질소 또는 산소로 작동된다. 레이저 프로세싱 영역과 연관된 하우징 영역(14b)에서, 프로세싱 동안에 몇 바아의 압력이 구현된다. 레이저 비임(6) 및 절단 가스(10)가 레이저 프로세싱 노즐(17a)에 의해서 공작물(8)로 안내되는데, 상기 레이저 프로세싱 노즐에 대해서는 도 3을 참조하여 이하에서 보다 구체적으로 설명된다.
도 2b는 거울식 절단 헤드(4b) 형태의 도 1의 레이저 절단 헤드(4)를 도시한 도면이다. 이는 또한, 비임 안내부(3)와 연관되고 스크린(18)에 의해서 레이저 프로세싱 작업과 연관된 제 2 하우징 부분(14b)으로부터 분리되는, 제 1 하우징 부분(14a)을 구비한다. 중간 포커스가 제 1 하우징 부분(14a) 내의 포커싱 포물면 거울(19)에 의해서 스크린(18)의 영역 내에 형성된다. 제 2 하우징 부분(14b) 내에 배치된 타원체 거울(20)이 레이저 비임(6)을 공작물(8) 상의 프로세싱 위치(7)의 초점 상에 포커싱한다.
제 1 하우징 부분(14a)은 약간 과다한 압력의 청정 가스로 플러싱되고, 제 2 하우징 부분(14b)은 가스로 플러싱되지 않는다. 거울식 절단 헤드(4b)로 레이저-절단될 수 있도록 하기 위해서, 환형 갭 노즐(17b)에 의해서 절단 가스(10)의 압력의 증가가 이루어지는데, 상기 환형 갭 노즐은 도 4에 구체적으로 도시되어 있고 그 구성에 대해서는 이하에서 보다 구체적으로 설명한다. 그러한 구성 타입의 노즐들이 역류(backflow)를 가질 수 있기 때문에, 스크린(18)과 환형 갭 노즐(17b) 사이의 충분히 큰 개구부(21)로 인해서 유출(outflow) 가능성이 확보된다. 비임 안내부(3) 내로의 누설 유동 방향의 반전을 방지하기 위해서, 비임 안내부 내의 압력 보다 높은 정압이 제 2 하우징 부분(14b) 내에서 발생하지 않도록 개구부(21)의 치수가 결정된다.
렌즈식 절단 헤드(4a)의 레이저 프로세싱 노즐(17a) 및 거울식 절단 헤드(4b)의 레이저 프로세싱 노즐(17b) 모두가 통상적으로 레이저 프로세싱 장치(1)에 대해서, 그에 따라 공작물에 대해서 전기적으로 절연된다(예를 들어, 세라믹 물질 형태의 유전체에 의함). 시스템 "노즐/금속 시트"의 커패시턴스가 거리 제어 센서(도시하지 않음)에 의해서 영구적으로 측정될 수 있고 레이저 절단 작업 중에 가능한 한 정확하게 거리를 측정할 수 있도록 거리 감소와 관련한 커패시턴스의 증가로부터 결론이 도출될 수 있다. 거리가 0.8 mm 미만인 상태에서 작동적으로 신뢰할 수 있는 방식으로 공작물(8) 상에서의 절단 프로세싱에 적합한 레이저 프로세싱 노즐(17a-17d)에 대해서 도 3 내지 도 6을 참조하여 이하에서 설명한다.
도 3은 도 2a의 렌즈식 절단 헤드(4a)에 대한 레이저 프로세싱 노즐(17a)을 도시한다. 레이저 절단 노즐(17a)은 노즐 종축(23)에 대해서 실질적으로 회전 대칭적인 노즐 본체(22)를 가지고, 상기 노즐 본체는, 노즐 종축(23)을 따라서, 먼저 레이저 비임을 위한(도 2a 참조) 그리고 프로세싱 가스(10)를 위한 원통형 공급 챔버(24)를 구비하고, 상기 원통형 공급 챔버에는 원통형 마우스 영역(25)이 인접한다. 원통형 공급 챔버(24) 및 노즐 마우스(25)가 노즐 종축(23)에 대해서 동축으로 배치된다. 원통형 공급 챔버(24)는 약 8 mm의 직경(d1)을 가지고 상기 원통형 마우스 영역(25)은 약 2.8 mm의 직경(d2)을 가진다. 공급 챔버(24)와 마우스 영역(25) 사이의 천이부에는 단차부(26)가 형성되고, 상기 단차부의 단면적[마우스 영역(25)의 단면적을 포함]은 1/4π(d1)2 이고 마우스 영역(25)의 단면적 1/4π(d2)2 보다 적어도 4배만큼 크다. 단차부(26)는 프로세싱 가스(10)의 스월을 발생시키는 역할을 하고, 다시 말해서 층류 유동 영역에 인접하여 단차부(26)에서 공급 챔버(24) 내에서 난류가 형성되고 이러한 것이 도 3에서 스월(27)로서 도시되어 있다. 스월(27)은, 공작물(8)로부터 레이저 프로세싱 노즐(17a)까지의 거리가 변화될 때 발생되는 바와 같이, 압력 쿠션으로서의 역할을 하고 작은 압력 변화를 완화(attenuation)시킬 수 있다.
공급 챔버(24)로부터 먼 쪽의 측부에서, 원통형 마우스 영역(25)이 노즐 종축(23)을 따라서 개구부 영역(28)에 인접하고, 상기 개구부 영역은 상기 마우스 영역에 대해서 방사상으로 확장되며 약 75°의 개방 각도(α)를 가지는 단일 원뿔형 부분(28a)을 포함한다. 마우스 영역(25)에 대향하는 개구부 영역(28)의 측부에서, 직경(d3)이 원통형 공급 챔버(24)의 직경과 실질적으로 상응하는 레이저 프로세싱 노즐(17a)의 배출 개구부(30)가 형성된다. 개구부 영역(28)의 길이(L)는 약 3 mm이고, 다시 말해서 약 8 mm 인 배출 개구부(30)의 직경(d3)은 그 크기가 2배 넘게 크다. 개구부 영역(28)의 방사상으로 확장하는 내측 윤곽부(28a)가 유동 프로파일을 실질적으로 형성하고, 그러한 유동 프로파일은 WO 2007 059787에 따라서 노즐 내에서 그리고 층류 유동과 난류 유동 사이의 경계에서 생성되며, 그에 따라 바람직한 것으로 알려져 있는 프로세싱 위치에서의 유동 관계를 결정한다.
도 4는 개구부 영역(28)이 2개의 원뿔 부분(28a, 28b)을 구비하는 것으로서, 도 3에 도시된 레이저 프로세싱 노즐(17a)과 상이한 레이저 프로세싱 노즐(17b)을 도시하며, 상기 2개의 원뿔 부분 중 첫 번째 부분은 약 30 °의 제 1 개방 각도(α)를 갖고 상기 첫 번째 부분과 인접하는 제 2 부분(28b)은 제 1 개방 각도(α) 보다 크며 본 예에서 약 140 °인 개방 각도(β)를 가진다. 두 부분(28a, 28b)에 의해서, 프로세싱 위치(7)에서 희망하는 유동 관계를 근접 근사치(close approximation)로서 획득할 수 있을 것이다. 레이저 프로세싱 노즐(17b)은 환형 갭(배출 개구부)을 추가로 구비하고, 상기 환형 갭은 공급 챔버(24) 내로 프로세싱 가스(10)를 공급하는 역할을 한다. 이러한 방식으로 프로세싱 가스(10)를 노즐 본체(22)에서 직접적으로 공급하는 것은 도 2b에 도시된 거울식 절단 헤드(4b)에서 필수적인데, 이는 전술한 바와 같이 이러한 경우에 레이저 프로세싱 노즐(17b)에서 압력 증가가 발생되기 때문이다.
도 5는 레이저 프로세싱 노즐(17c)의 개선된 구성을 도시하며, 여기에서는 2개의 원뿔 부분(28a, 28b) 사이에 연속적인 천이부를 제공하고 그에 따라 난류를 방지하기 위해서, 둥근 부분(28c)이 제 1 원뿔 부분(28a)과 제 2 원뿔 부분(28b) 사이에 삽입된다. 노즐 종축(23) 방향으로 길이가 약 0.5 mm이고 배출 개구부(30)가 형성되는 원통형 부분(28d)이 제 2 원뿔 부분(28b)과 인접한다.
마지막으로, 도 6은 레이저 프로세싱 노즐(17d)을 도시하며, 여기에서 개구부 영역(28)은 실질적으로 트럼펫 형상이 된다. 이러한 경우에, 마우스 영역(25)에 직접 인접하고 약 20 °인 개방 각도(α)는 마우스 영역(25)에 대한 거리가 증가함에 따라 연속적으로 증가한다. 개구부 영역(28)은 또한 이러한 경우에 도 5에서와 같이 배출 개구부(30)가 형성되는 원통형 부분에 의해서 종료될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이며, 이러한 경우에 원통형 부분으로의 천이부가 반드시 연속적으로 구현될 필요는 없을 것이다.
도 3 내지 도 6에 도시된 모든 레이저 프로세싱 노즐(17a-17d)에서, 개구부 영역(28)의 제 1 부분(28a)은 20°보다 큰 개방 각도(α)를 가지고, 다시 말해서, 개구부 영역(28)이 상응하는 마우스 직경(d2)을 가지는 De Laval 노즐의 개방 각도 보다 크다. 도 3 내지 도 6의 단차부(26)가 노즐 축(23)에 대해서 수직한 평면에서 도시되어 있지만, 단차부(26)는 90°가 아닌 각도, 통상적으로 70°내지 110°를 형성할 수 있고, 다시 말해서 단차부(26)가 노즐 축(23)을 향해서 또는 그로부터 멀어지도록 경사질 수 있으며, 중요한 측면은 단차부(26)가 프로세싱 가스(10)에서 난류를 생성한다는 것이다.
도 4에 도시된 레이저 프로세싱 노즐(17b)뿐만 아니라 도 3, 도 5 및 도 6의 레이저 프로세싱 노즐(17a, 17c, 17d)도 도 2b의 거울식 절단 헤드(4b)에서 사용하기 위한 환형 갭(배출 개구부)을 구비할 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 전술한 모든 경우에서, 작업적으로 안정한 방식으로 두께가 8 mm 보다 두꺼운 고급 스틸 시트를 절단하는 데 있어서 레이저 프로세싱 노즐(17a-17d)이 이용될 수 있을 것이다.
α : 개방 각도 6 : 레이저 비임
8 : 금속 시트 10 : 프로세싱 가스
17a, 17b, 17c, 17d : 레이저 프로세싱 노즐
23 : 노즐 종축 24 : 공급 챔버
25 : 마우스 영역 26 : 단차부
28 : 개구부 영역 28a : 제1 부분
28b : 제2 부분 28c : 둥근 부분
30 : 배출 개구부

Claims (10)

  1. 금속 시트(8) 프로세싱용 레이저 프로세싱 노즐(17a-17d)로서, 레이저 비임(6) 및 프로세싱 가스(10)를 위한 공급 챔버(24) 그리고 마우스 영역(25)을 포함하고, 상기 마우스 영역은 노즐 종축(23)을 따라서 상기 공급 챔버(24)에 직접적으로 연결되며 상기 공급 챔버(24)에 비해서 좁고, 상기 마우스 영역(25)은 레이저 프로세싱 노즐(17a-17d)의 최소 직경(d2)을 정의하는 것인 레이저 프로세싱 노즐에 있어서,
    프로세싱 가스(10)의 스월(swirl)을 발생시키기 위해 상기 공급 챔버(24)와 상기 마우스 영역(25) 사이에 형성되는 단차부(26), 및 노즐 종축(23)을 따라서 상기 마우스 영역(25)과 인접하고 상기 마우스 영역(25)로부터 연속적으로 확장되는 개구부 영역(28)을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 프로세싱 노즐.
  2. 제1항에 있어서, 상기 단차부(26)가 커버하는 단면적은 상기 마우스 영역(25)의 단면적보다 적어도 4배만큼 큰 것인 레이저 프로세싱 노즐.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 마우스 영역(25)과 직접적으로 연결되는 상기 개구부 영역(28)의 제 1 부분(28a)은, 20 °내지 80°의 제 1 개방 각도(α)를 갖는 것인 레이저 프로세싱 노즐.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제 1 부분(28a)과 연결되는 상기 개구부 영역(28)의 제 2 부분(28b)은, 100 °내지 160°의 제 2 개방 각도(β)를 갖는 것인 레이저 프로세싱 노즐.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제 1 부분(28a)과 상기 제 2 부분(28b) 사이에 둥근 부분(28c)이 형성되는 것인 레이저 프로세싱 노즐.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 개구부 영역(28)의 개방 각도(α)는, 상기 마우스 영역(25)으로부터의 거리가 증가함에 따라 커지는 것인 레이저 프로세싱 노즐.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 개구부 영역(28)에 형성된 레이저 프로세싱 노즐(17a-17d)의 배출 개구부(30)의 직경(d3)은, 노즐 종축(23)을 따른 개구부 영역(28)의 길이(L)의 적어도 2배인 것인 레이저 프로세싱 노즐.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 공급 챔버(24)와 상기 마우스 영역(25)은 노즐 종축(23)에 대해서 동축으로 배치되는 것인 레이저 프로세싱 노즐.
  9. 제1항에 있어서, 상기 노즐 종축(23)과 단차부(26) 사이의 각도는 80°내지 100°인 것인 레이저 프로세싱 노즐.
  10. 제1항에 따른 레이저 프로세싱 노즐(17a-17d) 및 상기 레이저 프로세싱 노즐에 프로세싱 가스(10)를 제공하는 프로세싱 가스 공급기를 포함하는 레이저 절단 장치(1).
KR1020117012192A 2008-10-29 2009-09-08 금속 시트를 프로세싱하기 위한 레이저 프로세싱 노즐 KR101379872B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008053729.2 2008-10-29
DE102008053729A DE102008053729C5 (de) 2008-10-29 2008-10-29 Laserbearbeitungsdüse zum Bearbeiten von Blechen
PCT/EP2009/006493 WO2010049032A1 (de) 2008-10-29 2009-09-08 Laserbearbeitungsdüse zum bearbeiten von blechen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110090969A KR20110090969A (ko) 2011-08-10
KR101379872B1 true KR101379872B1 (ko) 2014-04-02

Family

ID=41334377

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020117012192A KR101379872B1 (ko) 2008-10-29 2009-09-08 금속 시트를 프로세싱하기 위한 레이저 프로세싱 노즐

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20110210109A1 (ko)
EP (1) EP2349636B1 (ko)
KR (1) KR101379872B1 (ko)
CN (1) CN102256738B (ko)
DE (1) DE102008053729C5 (ko)
WO (1) WO2010049032A1 (ko)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202010016854U1 (de) 2010-12-22 2011-12-29 Anton W. HUBERT Schneidvorrichtung
DE102013210844B3 (de) * 2013-06-11 2014-09-25 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren zum Bilden eines Durchgangslochs in einem metallischen Werkstück, Laserbearbeitungsmaschine und Computerprogrammprodukt
US10226841B2 (en) 2015-08-04 2019-03-12 GM Global Technology Operations LLC Aperture plate for overheating prevention and wire nozzle protection
KR101946898B1 (ko) 2016-02-25 2019-02-11 주식회사 에이치케이 레이저 가공용 노즐
DE102016215019C5 (de) * 2016-08-11 2023-04-06 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren zum Laserschneiden mit optimierter Gasdynamik
DE102016220459B3 (de) * 2016-10-19 2018-03-29 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren und Maschine zum schneidenden Bearbeiten eines Werkstücks
KR20180072124A (ko) 2016-12-21 2018-06-29 곽현만 레이저 가공장치의 압전용량센서
DE102018125620A1 (de) * 2018-10-16 2020-04-16 Schuler Pressen Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Schneiden einer Blechplatine aus einem kontinuierlich geförderten Blechband
DE102019103659B4 (de) * 2019-02-13 2023-11-30 Bystronic Laser Ag Gasführung, Laserschneidkopf und Laserschneidmaschine
DE102022104791A1 (de) * 2022-03-01 2023-09-07 TRUMPF Werkzeugmaschinen SE + Co. KG Verfahren zur Bearbeitung eines platten- oder rohrförmigen Werkstücks
CN114952033A (zh) * 2022-06-22 2022-08-30 安徽东海裕祥智能装备科技有限公司 一种新型激光切割喷嘴及具有该喷嘴的激光切割装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58157587A (ja) * 1982-03-16 1983-09-19 Toshiba Corp レ−ザ切断方法およびその装置
KR20030064791A (ko) * 2000-11-21 2003-08-02 하이퍼썸, 인크. 통합형 노즐 배플 장치 및 방법
JP2004122173A (ja) * 2002-10-02 2004-04-22 Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd レーザマイクロジェット加工装置
KR20070114356A (ko) * 2005-03-18 2007-12-03 시부야 코교 가부시키가이샤 하이브리드 레이저 가공 장치

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS607593B2 (ja) * 1980-03-28 1985-02-26 三菱電機株式会社 レ−ザ切断ヘツド
US4780592A (en) * 1985-09-17 1988-10-25 Bias Forschungs-und Entwicklungs-Labor fur Angewandte Strahltechnik GmbH Apparatus for cutting workpieces by means of a high-energy beam
WO1993009909A1 (de) * 1991-11-19 1993-05-27 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum abtragen von werkstoff von relativbewegten metallenen werkstücken
JP2622350B2 (ja) * 1993-11-30 1997-06-18 三菱重工業株式会社 水中レーザ切断装置
DE4402000C2 (de) * 1994-01-25 1996-04-11 Fraunhofer Ges Forschung Düsenanordnung für das Laserstrahlschneiden
JP3159593B2 (ja) * 1994-02-28 2001-04-23 三菱電機株式会社 レーザ加工方法及びその装置
JPH09239577A (ja) * 1996-03-04 1997-09-16 Fanuc Ltd レーザ加工装置の加工ノズル
JP3664904B2 (ja) * 1999-01-14 2005-06-29 三菱重工業株式会社 レーザ加工ヘッド
US6207923B1 (en) * 1998-11-05 2001-03-27 Hypertherm, Inc. Plasma arc torch tip providing a substantially columnar shield flow
US6423928B1 (en) 2000-10-12 2002-07-23 Ase Americas, Inc. Gas assisted laser cutting of thin and fragile materials
WO2005067195A1 (fr) * 2004-01-05 2005-07-21 Huawei Technologies Co., Ltd. Procede de synchroniser les generateurs horloges dans un reseau
US6969819B1 (en) * 2004-05-18 2005-11-29 The Esab Group, Inc. Plasma arc torch
EP1657020A1 (de) * 2004-11-10 2006-05-17 Synova S.A. Verfahren und Vorrichtung zur Optimierung der Kohärenz eines Flüssigkeitsstrahls für eine Materialbearbeitung und Flüssigkeitsdüse für eine solche Vorrichtung
CN101321601B (zh) 2005-11-25 2011-05-11 通快机床两合公司 激光加工喷嘴
DE202007003451U1 (de) * 2007-03-06 2007-05-03 Trumpf Laser Gmbh + Co. Kg Düse zur Lasermaterialbearbeitung
US8134098B2 (en) * 2007-09-28 2012-03-13 Sugino Machine Limited Laser machining apparatus using laser beam introduced into jet liquid column
CN101284333A (zh) * 2008-05-08 2008-10-15 上海交通大学 用于数控激光切割的简易折线缩放超音速喷嘴

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58157587A (ja) * 1982-03-16 1983-09-19 Toshiba Corp レ−ザ切断方法およびその装置
KR20030064791A (ko) * 2000-11-21 2003-08-02 하이퍼썸, 인크. 통합형 노즐 배플 장치 및 방법
JP2004122173A (ja) * 2002-10-02 2004-04-22 Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd レーザマイクロジェット加工装置
KR20070114356A (ko) * 2005-03-18 2007-12-03 시부야 코교 가부시키가이샤 하이브리드 레이저 가공 장치

Also Published As

Publication number Publication date
US20110210109A1 (en) 2011-09-01
CN102256738B (zh) 2015-06-10
WO2010049032A1 (de) 2010-05-06
DE102008053729A1 (de) 2010-05-12
CN102256738A (zh) 2011-11-23
EP2349636B1 (de) 2014-11-05
KR20110090969A (ko) 2011-08-10
DE102008053729C5 (de) 2013-03-07
DE102008053729B4 (de) 2011-07-07
EP2349636A1 (de) 2011-08-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101379872B1 (ko) 금속 시트를 프로세싱하기 위한 레이저 프로세싱 노즐
CA2330426C (en) Material shaping device with a laser beam which is injected into a stream of liquid
JP3658406B2 (ja) レーザビームカッティング用のノズル装置
JP5931947B2 (ja) ノズルおよび積層造形装置
US10926352B2 (en) Laser nozzle with mobile element
JP6388986B2 (ja) 最適化されたガスダイナミックスを用いてレーザ切断する方法
JP6224121B2 (ja) 内部モバイル要素及び外部カバーを有するレーザノズル
JPH0284288A (ja) レーザー切断装置
CN110153554B (zh) 激光加工头
CN110170743B (zh) 激光加工头
JP5039050B2 (ja) レーザ加工ノズル
DK160136B (da) Dyse til laserbearbejdning
JPH01228694A (ja) レーザー切断ノズル、そのノズルを含む切断ヘッド及びそれらを用いるレーザー切断方法
JP2010234373A (ja) レーザ加工用ノズル及びレーザ加工装置
JP2007021505A (ja) レーザ加工機のレーザ照射用ノズル装置及びこの照射用ノズルによるブロー方法。
US9610652B2 (en) Laser nozzle having an external mobile element made of electrically insulating material and an insert made of electrically conductive material
JPH0740056A (ja) プラズマトーチ
RU2350445C1 (ru) Способ резки толстых металлических листов
IT9083400A1 (it) Dispositivo per un laser di potenza soprattutto per la saldatura
JPH11245077A (ja) レーザ加工ヘッド
JP6004711B2 (ja) レーザー加工装置
JP6589016B1 (ja) レーザ加工ヘッド及びレーザ加工装置
JP2010284666A (ja) アーク溶接用トーチ
WO2022249831A1 (ja) レーザ加工機、及び、レーザ加工機用のノズルユニット
RU2121912C1 (ru) Устройство формирования струи для лазерной резки

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170316

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180316

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190314

Year of fee payment: 6