KR101372841B1 - 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치, 복합체 합성 방법, 복합체 합성 장치용 기화기 및 복합체 - Google Patents

동시기화를 이용한 복합체 합성 장치, 복합체 합성 방법, 복합체 합성 장치용 기화기 및 복합체 Download PDF

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Abstract

본 발명은 복합체 합성 장치, 복합체 합성 방법, 복합체 합성 장치용 기화기, 기화기 가열 장치 및 복합체에 관한 것으로, 본 발명은 둘 이상의 기화기 각각을 가열기로 가열하여 기화된 시료가 반응기로 유입되어 복합체를 합성하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치를 제공한다. 그리고 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치용 기화기 및 기화기 가열장치를 제공하며, 복합체 합성 장치를 이용하여 복합체를 합성하는 방법과 복합체 합성 장치를 통해 제조된 복합체를 제공한다.
본 발명에 의하면, 다중 금속이나 금속-탄소 이종 복합체를 제조할 수 있으며, 그 적용 범위가 금속 및 탄소를 기반으로 한 각종 흡착제, 흡수제, 기체 및 액체 분리막이나 각종 촉매 공정에 광범위하게 적용이 가능하며, 금속 성분의 변화나 탄소 구조의 변화를 통해 그 적용 대상을 구체화할 수 있는 효과가 있다.

Description

동시기화를 이용한 복합체 합성 장치, 복합체 합성 방법, 복합체 합성 장치용 기화기 및 복합체{COMPOSITE SYNTHESIS INSTRUMENT, COMPOSITE SYNTHESIS METHOD, VAPORIZER AND COMPLEX USING CO-VAPORIZATION}
본 발명은 복합체 합성 장치, 복합체 합성 방법, 복합체 합성 장치용 기화기, 기화기 가열 장치 및 복합체에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 서로 다른 둘 이상의 시료를 합성하기 위한 복합체 합성 장치, 복합체 합성 방법, 복합체 합성 장치용 기화기, 기화기 가열 장치 및 복합체에 관한 것이다.
최근 촉매 연구 분야에서 다중 금속 촉매를 효과적으로 합성하기 위해 금속 촉매 입자를 효과적으로 데코레이션하는 분야나 다중 금속 촉매를 효과적으로 합금화하여 반응 활성이나 내구성을 향상시키는 분야가 주목을 받고 있다. 또한, 탄소를 기반으로 한 나노 금속 촉매 구조체를 합성하여 반응 활성이나 내구성을 향상시키고, 반응 후 탄소 성분을 소각하여 금속 성분을 회수하거나 재활용하는 기술도 주목받고 있다.
종래의 복합체를 합성하는 장치는 대한민국 공개특허 제10-201100139994호(리튬 망간 산화물-탄소 나노 복합체 및 그 제조방법, 이하 선행기술)와 같이, 이온 용액 상태에서 혼합하여 제조하는 기술이 있다. 그런데, 종래와 같이, 복합체 합성을 하기 위해서는 복합체 합성을 위한 용액반응, 결정의 성장, 템플릿 성분 제거를 위한 강산, 강알칼리 처리 공정 및 합금화를 위한 열처리 등 여러 단계를 거쳐야 하는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 종래보다 단순한 동시기화 공정을 거쳐 복합체를 효과적으로 합성할 수 있는 장치 및 그 장치를 이용하는 방법을 제공하는데 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치는, 합성하기 위한 제1시료가 기화되는 제1기화기; 상기 제1시료와 합성하기 위한 제2시료가 기화되는 제2기화기; 상기 제1기화기를 가열하는 제1가열기; 상기 제2기화기를 가열하는 제2가열기; 및 상기 제1기화기 및 제2기화기에서 각각 기화된 제1시료 및 제2시료가 유입되어 복합체를 합성하는 반응기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 반응기에 제1시료와 제2시료의 반응에 필요한 반응기체를 공급하는 반응기체 공급기를 더 포함할 수 있으며, 상기 반응기에서 유출되는 배가스를 상기 반응기로 다시 공급하는 리사이클기를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1기화기 및 제2기화기에 제1시료 및 제2시료를 기화시키기 위한 가스를 공급하는 가스 공급기를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 제1기화기는, 제1시료가 수용되는 본체부; 상기 본체부의 일 측에 형성되고, 제1시료가 공급되는 시료공급부; 상기 본체부의 일 측에 형성되고, 상기 제1시료를 기화시키기 위한 가스가 공급되는 가스공급부; 및 상기 본체부의 상부에 형성되고, 상기 제1시료가 기화되어 배출되는 배출부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 본체부는 파이렉스 또는 석영 소재의 초자류로 형성되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 가스공급부 또는 배출부에 장착되며, 제1시료 또는 제2시료가 공기와 접촉되지 않도록 하는 스톱코크(stopcock)를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 제1시료는 고체상의 전구체 또는 액체상의 전구체일 수 있으며, 상기 제1시료 및 제2시료는 서로 다른 금속일 수 있다. 그리고 상기 제1시료 및 제2시료 중 어느 하나는 금속이고, 다른 하나는 탄소일 수 있다.
또한, 상기 제1가열기는, 상기 제1기화기를 내부에 수용하여 가열하는 오븐일 수 있으며, 상기 제1가열기는, 상기 제1기화기를 내부에 수용할 수 있는 공간을 가지는 몸체부; 상기 몸체부 내측에 형성되고, 상기 제1기화기를 가열하기 위한 열선부; 및 상기 몸체부 내부의 공기를 순환시키는 팬을 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 제1기화기와 상기 반응기를 연결하는 연결관을 더 포함하고, 상기 연결관에는 상기 연결관을 통과하는 기화된 시료를 가열하기 위한 열선이 형성될 수 있다.
한편, 이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치용 기화기는, 시료가 수용되는 본체부; 상기 본체부의 일 측에 형성되고, 시료가 공급되는 시료공급부; 상기 본체부의 일 측에 형성되고, 상기 시료를 기화시키기 위한 가스가 공급되는 가스공급부; 및 상기 본체부의 상부에 형성되고 상기 시료가 기화되어 배출되는 배출부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 본체부는 파이렉스 또는 석영 소재의 초자류로 형성되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 가스공급부 또는 배출부에 장착되며, 상기 시료가 공기와 접촉되지 않도록 하는 스톱코크(stopcock)를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 시료는 고체상의 전구체 또는 액체상의 전구체일 수 있으며, 상기 시료는 금속 또는 유기물일 수 있다.
또 한편, 이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치의 기화기 가열 장치는, 시료가 수용되어 기화되는 기화기를 내부에 수용할 수 있는 공간을 가지는 몸체부; 상기 몸체부 내측에 형성되고, 상기 기화기를 가열하기 위한 열선부; 및 상기 몸체부 내부의 공기를 순환시키는 팬을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또 다른 한편, 이러한 목적을 달성하기 위하여 상기와 같은, 본 발명의 복합체는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치를 통해 합성되는 것을 특징으로 한다.
그리고 이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 동시기화를 이용한 복합체 합성 방법은, 제1시료를 가열하여 기화하는 제1시료 기화단계; 제2시료를 가열하여 기화하는 제2시료 기화단계; 및 상기 기화된 제1시료 및 제2시료를 반응기에서 합성하는 합성단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 제1시료 기화단계 및 제2시료 기화단계는 각각, 상기 제1시료 또는 제2시료가 기화기에 공급되는 시료공급단계; 상기 기화기에 시료를 기화시키기 위한 가스가 공급되는 가스 공급단계; 상기 기화기를 가열하는 가열단계; 및 가열된 제1시료 또는 제2시료가 배출되는 배출단계를 포함하는 것이 바람직하다.
이때, 상기 제1시료 및 제2시료는 밀폐된 가열장치 내부에서 가열되는 것이 바람직하고, 제1시료 및 제2시료가 유입되어 복합체 합성 반응이 진행되는 반응기에서 유출되는 배가스를 다시 상기 반응기로 공급하는 리사이클단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 다중 금속이나 금속-탄소 이종 복합체를 제조할 수 있으며, 그 적용 범위가 금속 및 탄소를 기반으로 한 각종 흡착제, 흡수제, 기체 및 액체 분리막이나 각종 촉매 공정에 광범위하게 적용이 가능하며, 금속 성분의 변화나 탄소 구조의 변화를 통해 그 적용 대상을 구체화할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치에 의하면, 두 가지 이상의 기체 상태의 전구체를 흘려주면서 반응기의 온도를 조절하는 것만으로 다중 금속 하이브리드 복합체나 금속-탄소 이종 복합체 등을 효과적으로 합성할 수 있으며, 복합체의 성상을 제어할 수 있는 효과가 있다.
그리고 기화기 및 복합체 합성 장치의 간단한 스케일 변화만으로도 별도의 설계가 없어도 복합체를 대량생산을 할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 복합체 합성 장치를 도시한 블록도이다.
도 2는 본 발명이 복합체 합성 장치용 기화기를 도시한 것으로, 액체 시료를 기화기에 주입하는 것을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 복합체 합성 장치용 기화기를 도시한 것으로, 고체 시료를 기화기에 공급하는 것을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 복합체 합성 장치용 가열기를 도시한 도면이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 첨부된 도 1 내지 도 4에 도시된 도면을 참조하여 더 구체적으로 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치(100)는 제1기화기(110), 제2기화기(120), 제1가열기(130), 제2가열기(140), 반응기(160), 반응기체 공급기(170), 가스 공급기(180) 및 리사이클기(190)를 포함하여 구성될 수 있다.
제1기화기(110) 및 제2기화기(120)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본체부(112), 시료공급부(114), 가스공급부(116), 배출부(118) 및 스톱코크(stopcock, SC)를 포함하여 구성된다.
본체부(112)는 내부에 시료가 수용될 수 있도록 공간이 형성되고, 내부 시료의 상태 및 잔량을 확인할 수 있도록 투명한 소재를 사용하는 것이 바람직하다. 그리고 본 발명에 사용되는 시료는 전구체로, 유기물이나 금속과 반응을 일으킬 수 있기 때문에 그에 적합한 안정적인 소재를 사용하는 것이 바람직하다. 그에 따라, 본 발명의 실시예에서는 파이렉스나 석영 소재 등의 초자류를 사용한 것을 예로 한다.
시료공급부(114)는 본체의 일 측에 연결 형성되고, 외부에서 시료를 공급할 수 있도록 형성된다. 그리고 시료공급부(114) 끝단에는 본체부(112) 내부를 밀폐하기 위해 밀폐기(114a)를 장착할 수 있다. 밀폐기(114a)는 테프론 소재 등의 격벽(septum)이 형성될 수 있다.
이때, 본 발명의 제1기화기(110) 및 제2기화기(120)에 공급되는 시료는 고체상의 전구체 및 액체상의 전구체가 시료로 이용될 수 있다. 이 중 고체상의 전구체를 제1기화기(110)나 제2기화기(120)에 공급되는 경우에는 밀폐기(114a)를 시료공급부(114)에서 분리한 다음에 분말 형태의 고체 전구체를 넣고 다시 밀폐기(114a)를 다시 시료공급부(114)에 장착한다. 이렇게 함으로써, 고체상의 전구체를 제1기화기(110)나 제2기화기(120)에 공급하고 본체부(112) 내부가 외부 공기와 접촉되지 않도록 한다.
그리고 액체상의 전구체를 제1기화기(110)나 제2기화기(120)에 공급되는 경우에는 본체부(112) 내부를 질소 분위기로 만든 다음에 밀폐기(114a)에 형성된 테프론 소재의 격벽(septum)을 통해 기밀 시린지 등을 이용하여 액체상의 전구체를 본체부(112) 내부로 공급할 수 있다.
그리고 가스공급부(116)는 가스공급기로부터 공급된 가스가 본체부(112) 내부로 공급되도록 하기 위한 것이다. 그에 따라 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 가스공급부(116)는 본체부(112) 상부에 연결 형성된다. 이때 공급되는 가스는 고체 상태나 액체 상태의 제1시료나 제2시료를 기화시키기 위해 공급되는 가스이다.
배출부(118)는 기화된 시료가 배출되는 곳으로, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본체부(112) 상부에 연결 형성된다. 그러므로 배출부(118)는 반응기(160)와 연결되며, 본체부(112)에서 기화된 시료가 배출부(118)를 통해 반응기(160)로 이동될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 스톱코크(SC)는 가스공급부(116) 및 배출부(118)에 각각 구비된다. 그러므로 스톱코크(SC)는 본체부(112) 내부를 가스공급기나 반응기(160)와 차단할 수 있다. 이는 시료로 사용되는 금속 또는 탄화수소계열 유기물 전구체가 공기와 접촉하면 변질될 수 있기 때문이며, 시료가 본체부(112)에 공급되는 전후에 외부 공기가 시료가 접촉하는 것을 방지한다.
즉, 액체상의 전구체를 본체부(112)에 공급할 때, 본체부(112) 내부를 질소 분위기로 만들 때, 가스공급기로부터 공급된 질소가 가스공급부(116)를 통해 본체부(112) 내부로 공급된 다음에는 가스공급부(116)에 장착된 스톱코크(SC)가 잠겨 더 이상 질소가 공급되지 않도록 한다. 이때, 배출부(118)에 장착된 스톱코크(SC)는 잠긴 상태인 것이 바람직하다.
그리고 시료가 기화된 다음에는 배출부(118)에 장착된 스톱코크(SC)는 개방되어, 기화된 시료가 반응기(160)로 이동될 수 있도록 한다.
여기서, 제1기화기(110)에 공급되는 시료를 제1시료, 제2기화기(120)에 공급되는 제2시료라 하고, 제1시료 및 제2시료는 서로 바뀌어 공급될 수 있으며, 서로 다른 금속이나 금속, 탄화수소계열 유기물 성분을 가지는 시료일 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 제1가열기(130) 및 제2가열기(140)는 제1기화기(110) 및 제2기화기(120)를 가열하기 위해 구비되는 것으로, 본 발명에는 오븐(oven)형의 가열기가 이용된다. 즉, 제1가열기(130) 및 제2가열기(140)는 몸체부(132), 열선부(134) 및 팬(136)을 포함하여 구성된다.
몸체부(132)는 제1기화기(110)나 제2기화기(120)를 내부에 수용할 수 있는 공간을 가진다.
열선부(134)는 몸체부(132) 내부 측면에 형성되며, 외부로부터 전력을 공급받아 열을 발생시켜 몸체부(132) 내부를 가열한다.
팬(136)은 몸체부(132) 내부의 공기를 순환시킨다. 그에 따라 몸체부(132) 내부의 온도가 항상 일정하게 유지될 수 있도록 한다.
상기와 같이, 제1가열기(130) 및 제2가열기(140) 내부에 제1기화기(110) 및 제2기화기(120)를 각각 위치시켜 가열함으로써, 가열로나 자켓 형식으로 제작된 heating mantle, 등온으로 유지되는 heating bath에 기화기를 담가서 사용하는 경우보다 제1기화기(110) 및 제2기화기(120)의 본체부(112) 뿐만 아니라, 시료공급부(114), 가스공급부(116) 및 배출부(118)까지도 일정한 온도로 가열할 수 있다. 더욱이, 가열로와 같이 온도편차가 발생하지 않도록 하여 기화기 소재에 따라 비열차이에 의한 온도 변동이 발생하지 않도록 할 수 있으며, 약 100도 이하의 낮은 온도에서도 쉽게 온도를 제어할 수 있다.
그리고 제1기화기(110) 및 제2기화기(120)에서 반응기(160)로 연결관(150)으로 연결된다. 즉, 연결관(150)의 일 측은 제1기화기(110) 및 제2기화기(120)의 배출구와 연결되며, 타 측은 반응기(160)와 연결된다. 그리고 연결관(150)에는 열선(HL)이 형성되어 연결관(150)을 가열함으로써, 제1기화기(110) 및 제2기화기(120)에서의 온도가 유지된 상태로 반응기(160)까지 이동할 수 있다.
이는 기체 상태로 연결관(150)을 통해 이동될 때, 이동하는 과정에서 응축 현상이 없이 반응기(160)까지 이동되어야하기 때문이다. 그러므로 연결관(150)의 온도는 제1가열기(130) 및 제2가열기(140)에서 가열한 온도와 동일한 것이 바람직하다. 그리고 이 연결관(150)은 최대한 짧게 형성되는 것이 바람직하다.
반응기(160)는 제1기화기(110) 및 제2기화기(120)에서 기화된 기체 상태의 시료가 포집되는 곳으로, 반응기(160) 입구에는 제1기화기(110) 및 제2기화기(120)로부터 기화된 시료들 이외에 시료를 반응시키기 위한 반응기체가 반응기체 공급기(170)로부터 공급된다. 이 반응기체는 산소나 수소 등이 이용되며, 산소나 수소 등의 반응기체에 의해 응집 또는 부반응이 일어날 수 있는 경우에는 질소가 사용될 수도 있다.
그리고 반응기(160)에는 가열부가 구비되어 기화된 시료들의 반응이 이루어질 수 있도록 반응온도를 조절할 수 있다. 그러므로 반응기(160)는 고온에서도 안정적으로 시료가 반응할 수 있으면서 반응기(160) 내부를 관찰할 수 있도록 석영 유리 또는 파이렉스 소재가 사용되는 것이 바람직하다. 반응기(160)의 크기는 다양한 크기를 가질 수 있으며, 수직으로 세우거나 수평으로 뉘어서 사용할 수 있다.
그리고 반응기(160) 내부에는 반응 생성물을 포집하기 위한 필터(F)가 구비될 수 있으며, 필터(F)는 석영 유리나 파이렉스 소재가 이용될 수 있다.
반응기체 공급기(170)는 반응기(160)에 반응기체를 공급하기 위해 구비된다. 이때의 반응기체는 기화된 시료의 반응을 활성화하기 위해 산소, 수소 또는 질소일 수 있다.
가스 공급기(180)는 제1기화기(110) 및 제2기화기(120)의 가스공급부(116)와 연결되며, 시료를 기화시키기 위한 가스가 공급된다. 이때, 공급되는 가스는 질소가 공급될 수 있다.
즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 제1기화기(110) 및 제2기화기(120)에서 기화된 시료는 반응기(160)에 도달하기 전에 합쳐지며, 별도의 경로를 통해 반응기체가 반응기체 공급부를 통해 유입된다. 반응기(160)의 반응 온도는 상온에서 약 1100도 범위의 온도로 상승시켜 금속-탄소 이종복합체나 다중 금속 하이브리드 복합체를 합성할 수 있다. 이때, 약 1100도 범위의 반응 온도는 반응기가 석영 유리 소재로 제조된 경우이며, 반응기가 알루미나 또는 그라파이트 소재의 반응기인 경우에는 더 높은 온도까지 반응 온도를 높이는 것이 가능할 것이다.
그런데, 반응기(160)를 통과하여 반응기(160) 외부로 배가스가 배출될 수 있다. 이는 통상적으로 화학기상증착이나 기상 합성에 이용되는 전구체의 비용이 고가이기 때문에 이를 그대로 배출시키는 것은 바람직하지 않다. 그러므로 본 발명에서는 반응기(160)에서 배출되는 배가스를 다시 반응기(160)로 공급하는 리사이클기(190)가 구비된다.
리사이클기(190)는 미니펌프(recycling pump)나 솔레노이드 밸브(solenoid valve)가 이용되며, 이러한 리사이클기(190)를 통해 배출되는 배가스를 다시 반응기(160)로 공급하여 배출되는 배가스를 다시 반응시킬 수 있다. 이때, 압력의 유지를 위해 릴리즈 밸브(release valve) 등이 추가로 장착될 수 있다.
위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이므로, 본 발명이 상기 실시예에만 국한되는 것으로 이해돼서는 안 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어야 할 것이다.
100: 복합체 합성 장치
110: 제1기화기 120: 제2기화기
112: 본체부 114: 시료공급부
114a: 밀폐기 116: 가스공급부
118: 배출부 SC: 스톱코크
130: 제1가열기 140: 제2가열기
132: 몸체부 134: 열선부
136: 팬
150: 연결관 HL: 열선
160: 반응기 F: 필터
170: 반응기체 공급기 180: 가스 공급기
190: 리사이클기

Claims (24)

  1. 합성하기 위한 제1시료가 기화되는 제1기화기;
    상기 제1시료와 합성하기 위한 제2시료가 기화되는 제2기화기;
    상기 제1기화기를 가열하는 제1가열기;
    상기 제2기화기를 가열하는 제2가열기; 및
    상기 제1기화기 및 제2기화기에서 각각 기화된 제1시료 및 제2시료가 유입되어 복합체를 합성하는 반응기;
    상기 반응기에 제1시료와 제2시료의 반응에 필요한 반응기체를 공급하는 반응기체 공급기; 및
    상기 제1기화기 및 제2기화기에 제1시료 및 제2시료를 기화시키기 위한 가스를 공급하는 가스 공급기를 포함하는 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 반응기에서 유출되는 배가스를 상기 반응기로 다시 공급하는 리사이클기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치.
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1기화기는,
    제1시료가 수용되는 본체부;
    상기 본체부의 일 측에 형성되고, 제1시료가 공급되는 시료공급부;
    상기 본체부의 일 측에 형성되고, 상기 제1시료를 기화시키기 위한 가스가 공급되는 가스공급부; 및
    상기 본체부의 상부에 형성되고, 상기 제1시료가 기화되어 배출되는 배출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 본체부는 파이렉스 또는 석영 소재의 초자류로 형성되는 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 가스공급부 또는 배출부에 장착되며, 제1시료 또는 제2시료가 공기와 접촉되지 않도록 하는 스톱코크(stopcock)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1시료는 고체상의 전구체 또는 액체상의 전구체인 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1시료 및 제2시료는 서로 다른 금속인 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1시료 및 제2시료 중 어느 하나는 금속이고, 다른 하나는 유기물인 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1가열기는, 상기 제1기화기를 내부에 수용하여 가열하는 오븐인 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1가열기는,
    상기 제1기화기를 내부에 수용할 수 있는 공간을 가지는 몸체부;
    상기 몸체부 내측에 형성되고, 상기 제1기화기를 가열하기 위한 열선부; 및
    상기 몸체부 내부의 공기를 순환시키는 팬을 포함하는 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치.
  13. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1기화기와 상기 반응기를 연결하는 연결관을 더 포함하고,
    상기 연결관에는 상기 연결관을 통과하는 기화된 시료를 가열하기 위한 열선이 형성되는 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치.
  14. 시료가 수용되는 본체부;
    상기 본체부의 일 측에 형성되어 시료가 공급되며, 끝단에 본체부 내부를 밀폐하기 위한 밀폐기가 장착된 시료공급부;
    상기 본체부의 일 측에 형성되고, 상기 시료를 기화시키기 위한 가스가 공급되는 가스공급부; 및
    상기 본체부의 상부에 형성되고 상기 시료가 기화되어 배출되는 배출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치용 기화기.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 본체부는 파이렉스 또는 석영 소재의 초자류로 형성되는 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치용 기화기.
  16. 청구항 14에 있어서,
    상기 가스공급부 또는 배출부에 장착되며, 상기 시료가 공기와 접촉되지 않도록 하는 스톱코크(stopcock)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치용 기화기.
  17. 청구항 14에 있어서,
    상기 시료는 고체상의 전구체 또는 액체상의 전구체인 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치용 기화기.
  18. 청구항 14에 있어서,
    상기 시료는 금속 또는 유기물인 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치용 기화기.
  19. 삭제
  20. 청구항 1, 청구항 3, 청구항 5 내지 청구항 13 중 어느 한 항에 기재된 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치를 통해 합성된 복합체.
  21. 청구항 1, 청구항 3, 청구항 5 내지 청구항 13 중 어느 한 항에 기재된 동시기화를 이용한 복합체 합성 장치를 통한 동시기화를 이용한 복합체 합성 방법에 있어서,
    제1시료를 가열하여 기화하는 제1시료 기화단계;
    제2시료를 가열하여 기화하는 제2시료 기화단계; 및
    상기 기화된 제1시료 및 제2시료를 반응기에서 합성하는 합성단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 방법.
  22. 청구항 21에 있어서,
    상기 제1시료 및 제2시료는 밀폐된 가열장치 내부에서 가열되는 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 방법.
  23. 청구항 21에 있어서,
    상기 제1시료 기화단계 및 제2시료 기화단계는 각각,
    상기 제1시료 또는 제2시료가 기화기에 공급되는 시료공급단계;
    상기 기화기에 시료를 기화시키기 위한 가스가 공급되는 가스 공급단계;
    상기 기화기를 가열하는 가열단계; 및
    가열된 제1시료 또는 제2시료가 배출되는 배출단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 방법.
  24. 청구항 21에 있어서,
    상기 반응기에서 유출되는 배가스를 다시 상기 반응기로 공급하는 리사이클단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 동시기화를 이용한 복합체 합성 방법.
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