KR101367850B1 - A substrate convey track for wet process - Google Patents
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Abstract
본 발명은 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 평판표시장치의 제조를 위한 습식공정이 진행되는 베스 내에서 슬라이딩 이동되는 기판을 가이드 하는 가이드롤러에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer track for a wet process, and more particularly, to a guide roller for guiding a substrate that is slidably moved in a bath where a wet process for manufacturing a flat panel display device is performed.
본 발명의 특징은 가이드롤러의 가이드회전롤러가 회전하는 동시에 자유롭게 상하 승강운동하도록 구성하는 것으로, 상기 기판과 가이드회전롤러가 접촉되는 접촉면적이 넓게 형성되도록 하는 것이다. A feature of the present invention is to configure the guide rotary roller of the guide roller to rotate freely up and down at the same time, so that the contact area that the substrate and the guide rotary roller is in contact with the wider.
이로 인하여, 기존의 기판에 의해 가이드회전롤러에 점 또는 선 형태의 흠집이 발생하는 것을 미연에 방지하게 되며, 상기 흠집으로 인한 기판의 파손 역시 미연에 방지할 수 있다. As a result, it is possible to prevent scratches in the form of dots or lines on the guide roller by the existing substrate, and to prevent the damage of the substrate due to the scratches.
이는, 가이드롤러 교체시기를 늦출 수 있으므로 비용을 절약할 수 있는 장점이 있다. This has the advantage of saving costs because it can delay the replacement of the guide roller.
베스, 트랙, 가이드롤러, 원통캠 Beth, Track, Guide Roller, Cylindrical Cam
Description
도 1은 일반적인 습식공정에 사용되는 기판 이송용 트랙을 개략적으로 도시한 사시도. 1 is a perspective view schematically showing a substrate transfer track used in a general wet process.
도 2는 도 1의 단면을 개략적으로 도시한 단면도.2 is a cross-sectional view schematically showing the cross section of FIG.
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송용 트랙을 개략적으로 도시한 단면도.3 is a cross-sectional view schematically showing a track for transferring a substrate according to the present invention.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 가이드롤러를 개략적으로 도시한 사시단면도.Figure 4 is a perspective cross-sectional view schematically showing a guide roller according to an embodiment of the present invention.
도 5a ~ 5b는 가이드롤러의 상하 승강운동을 개략적으로 도시한 단면도. 5a to 5b are cross-sectional views schematically showing the up and down movement of the guide roller.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
140 : 가이드롤러 140: guide roller
142 : 가이드축142: guide shaft
144 : 가이드회전롤러144: guide rotation roller
146 : 가이드홈146: Guide groove
148 : 돌출단148: protrusion
본 발명은 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 평판표시장치의 제조를 위한 습식공정이 진행되는 베스 내에서 슬라이딩 이동되는 기판을 가이드 하는 가이드롤러에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer track for a wet process, and more particularly, to a guide roller for guiding a substrate that is slidably moved in a bath where a wet process for manufacturing a flat panel display device is performed.
최근 본격적인 정보화 시대에 발맞추어 각종 전기적 신호에 의한 대용량의 데이터를 시각적 화상으로 표시하는 디스플레이(display) 분야 또한 급속도로 발전하였고, 이에 부응하여 경량화, 박형화, 저소비전력화 장점을 지닌 평판표시장치(Flat Panel Display device : FPD)로서, 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display device : ELD) 등이 소개되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.In line with the recent information age, the display field for displaying a large amount of data by various electrical signals in a visual image has also been rapidly developed. In response, a flat panel display device having advantages of light weight, thinness, and low power consumption has been developed. As a display device (FPD), a liquid crystal display device (LCD), a plasma display device (PDP), a field emission display device (FED), an electroluminescence display device (Electro) luminescence display device (ELD) has been introduced to quickly replace the existing cathode ray tube (CRT).
이들 일반적인 평판표시장치는 나란한 두 기판 사이로 고유의 형광 또는 편광물질층을 개재한 형태로, 제조공정의 대부분은 기판을 대상으로 진행되는데, 상기 기판 표면에 소정의 박막을 형성하는 박막증착(deposition)공정, 상기 박막의 선택된 일부를 노출시키는 포토리소그라피(photo lithography)공정, 상기 박막의 노출된 부분을 제거하기 위해 패터닝(patterning) 하는 식각(etching)공정이 수차례 반복되며, 그밖에 세정, 합착, 절단 등의 수많은 공정이 수반된다. These general flat panel display devices have a unique fluorescent or polarizing material layer interposed between two adjacent substrates. Most of the manufacturing process is performed on a substrate, and thin film deposition, which forms a predetermined thin film on the substrate surface, A photolithography process for exposing a selected portion of the thin film and an etching process for patterning to remove the exposed portion of the thin film are repeated several times, And the like.
이 같은 평판표시장치의 제조공정 중 특히 소정의 액체를 이용하여 기판 표면을 처리하는 공정을 습식공정이라 통칭하는데, 그 대표적인 예로는 습식식각과 세정 등을 들 수 있다. In particular, a process of treating a substrate surface using a predetermined liquid in the manufacturing process of such a flat panel display device is called a wet process, and representative examples thereof include wet etching and cleaning.
도 1은 일반적인 습식공정에 사용되는 기판 이송용 트랙을 개략적으로 도시한 사시도이며, 도 2는 이의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다. 1 is a perspective view schematically showing a substrate transfer track used in a general wet process, and FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a cross section thereof.
도시한 바와 같이, 평판표시장치의 제조를 위한 습식공정은 통상 밀폐된 반응조인 베스(bath : 30)에서 진행되는 것이 일반적이며, 상기 베스(30) 내에는 기판(2)을 일 방향으로 슬라이딩 이동시키기 위한 기판이송용트랙(이하, 간략하게 트랙이라 함. : 50)이 구비된다.As shown in the drawing, a wet process for manufacturing a flat panel display device is generally performed in a
즉, 상기 베스(30)는 통상 양 측면(32)과 바닥면(34)을 구비하여 내부로 소정의 습식 처리공간을 정의하고, 트랙(50)은 이 같은 처리공간을 관통하도록 설치되며, 상기 트랙(50)은 회전 가능한 다수의 샤프트축(10)을 서로 나란하게 일렬로 배열시켜 완성되며, 각각의 샤프트축(10)에는 고리형상을 갖는 복수개의 회전롤러(20)가 일정 간격을 유지하도록 둘러 장착되어 있다.That is, the
그리고 각각의 샤프트축(10) 양 말단에는 모터(미도시)와 같은 구동수단이 연결되어 회전력을 발휘하고, 필요에 따라 타이밍벨트 등이 설치되어 이웃하는 샤프트축(10)과 회전력을 공유한다. And drive shafts such as a motor (not shown) are connected to both ends of each
따라서, 처리대상물인 기판(2)은 각 샤프트축(10)에 장착된 회전롤러(20)에 얹혀져 상기 샤프트축(10)과 회전롤러(20)의 회전에 의해 슬라이딩 방식으로 이동되고, 이 같은 이동 중에 분사노즐(미도시) 등을 통해 기판(2) 표면으로 분사되는 에천트 내지는 세정액에 접촉되어 목적하는 습식공정이 진행된다.Therefore, the
한편, 이와 같은 습식공정을 진행하는 과정에서, 상기 기판(2) 표면으로 분사되는 에천트 내지는 세정액이 상기 기판(2) 상에 고이게 되는 것을 방지하기 위해 상기 트랙(50)을 일정 경사면을 이루도록 기울여, 상기 트랙(50) 상에 슬라이딩 이동되는 기판(2) 상에 분사되는 에천트 내지는 세정액이 기판(2) 밖으로 자연스럽게 흘러내리도록 한다.Meanwhile, in the process of performing the wet process, the
따라서, 상기 경사면을 이루는 트랙(50) 상에 안착되어 이동되는 기판(2) 역시, 상기 트랙(50)의 경사면에 의해 기울어진 상태로 슬라이딩 이동되므로 이때, 상기 트랙(50)의 일측 가장자리에는 기판(2)의 이탈을 방지하기 위한 가이드롤러(40)를 구비한다. Therefore, since the
상기 가이드롤러(40)는 가이드축(42)과 상기 가이드축(42)에 둘러 장착되며 회전가능한 원통형의 가이드회전롤러(44)로 구성되며, 상기 트랙(50) 경사면의 하부측의 서로 이웃하는 샤프트축(10) 사이에 구성된다.The
따라서, 상기 기판(2)은 상기 가이드롤러(40)에 의해 지지되어 상기 트랙(50) 상에서 이탈 되지 않고 슬라이딩 이동되는데, 이러한 가이드롤러(40)는 별도의 회전동력 없이, 상기 기판(2)이 이동되는 과정에서의 마찰력에 의해 회전하게 된다. Accordingly, the
그러나, 상기 기판(2)과 직접적으로 마찰되는 가이드회전롤러(44)에는 점 또는 선 형태의 흠집이 나타나게 되는데 특히, 상기 가이드회전롤러(44)의 흠집은 어느 특정지점에서 두드러지며, 다수의 기판(2)이 인라인 방식으로 상기 트랙(50) 상 에 안착되어져 슬라이딩 이동됨으로써, 상기 가이드회전롤러(44)의 흠집은 상기 트랙(50) 상에 안착되어 슬라이딩 되는 기판(2)의 수가 많아질수록 더욱 심화된다.However, spots or linear scratches appear on the
또한, 거듭된 기판(2)과의 마찰로 인해 손상된 가이드회전롤러(44)의 흠집은 상기 기판(2)과의 간섭을 일으키게 되어 기판(2)의 파손을 야기하게 되는데, 이 경우 현재로서는 가이드롤러(40) 전체를 교체하여야 하므로 자원적인 부분은 물론 비용의 낭비를 초래하게 된다. In addition, scratches of the
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 기판을 안정적으로 지지하면서도 기판에 가해지는 손상을 최소한으로 하고, 마모에 따른 교체에 있어서 공정비용을 최대한 절약할 수 있는 가이드롤러를 제공하고자 하는 것을 제 1 목적으로 한다. Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above problems, to provide a guide roller that can stably support the substrate while minimizing damage to the substrate, and can maximize the process cost in replacement due to wear. It is intended as a first purpose.
또한, 기판 이송에 대한 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있는 기판 이송용 트랙을 제공하고자 하는 것을 제 2 목적으로 한다. It is also a second object of the present invention to provide a track for transporting a substrate that can greatly improve the reliability of substrate transport.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 바닥면과 양 측면으로 구비되어, 내부로 기판처리공간이 정의된 베스와; 상기 기판처리공간 내에서 서로 나란하게 배열되며, 각각 복수개의 회전롤러가 장착된 다수의 샤프트축과; 상기 샤프트축의 일측에 구성되며, 서로 이웃하는 샤프트축의 사이에 구성되는 가이드롤러를 포함하며, 상기 가이드롤러는 기판과의 마찰에 의해 일방향으로 회전하는 동시에, 상하 승강운동하는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙을 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention is provided with a bottom surface and both sides, and the substrate processing space defined therein; A plurality of shaft shafts arranged side by side in the substrate processing space, each of which has a plurality of rotating rollers; Comprising one side of the shaft shaft, comprising a guide roller between the adjacent shaft shaft, the guide roller is rotated in one direction by friction with the substrate, while the wet process characterized in that the vertical lifting To provide a substrate transfer track.
상기 가이드롤러는 가이드축과, 상기 가이드축에 둘러 장착되어 회전가능한 가이드회전롤러로 구성되는 것을 특징으로 하며, 상기 가이드축에는 소정형태의 돌출단이 구성되어 있으며, 상기 가이드회전롤러의 내면에는 가이드홈이 구성되어 있는 것을 특징으로 한다. The guide roller is characterized in that it comprises a guide shaft, and a guide rotating roller rotatably mounted around the guide shaft, the guide shaft is configured with a predetermined end of the guide shaft, the guide on the inner surface of the guide rotating roller A groove is formed.
또한, 상기 가이드홈은 상기 가이드회전롤러의 내면을 따라 일끝단과 타끝단이 서로 만나는 나선형(螺旋形)으로 구성되는 것을 특징으로 하며, 상기 돌출단은 고정된 상태로 상기 가이드홈에 유격있게 삽입되며, 상기 가이드회전롤러는 가이드홈을 통해 상하 승강운동하는 것을 특징으로 한다. In addition, the guide groove is characterized in that the one end and the other end is formed in a spiral (螺 旋 形) meet each other along the inner surface of the guide rotary roller, the protruding end is inserted into the guide groove in a fixed state The guide rotation roller is characterized in that the lifting movement up and down through the guide groove.
이때, 상기 샤프트축 말단에는 모터 등의 구동수단이 연결되는 것을 특징으로 하며, 상기 가이드축에는 가이드홈이 구성되어 있으며, 상기 가이드회전롤러에는 소정형태의 돌출단이 구성되어 있는 것을 특징으로 한다. At this time, the shaft shaft end is characterized in that the drive means such as a motor is connected, the guide shaft is configured with a guide groove, the guide rotating roller is characterized in that the projecting end of a predetermined shape is configured.
또한, 상기 가이드홈은 상기 가이드축에 일끝단과 타끝단이 서로 만나는 나선형(螺旋形)으로 구성되는 것을 특징으로 한다. In addition, the guide groove is characterized in that the one end and the other end of the guide shaft is composed of a spiral (meet) each other.
이하 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송용 트랙을 개략적으로 도시한 단면도이다. 3 is a cross-sectional view schematically showing a substrate transfer track according to the present invention.
도시한 바와 같이, 베스(130)는 통상 양 측면(132)과 바닥면(134)을 구비하여 내부로 소정의 습식 처리공간을 정의하고, 트랙(150)은 이 같은 처리공간을 관 통하도록 설치되며, 상기 트랙(150)은 회전 가능한 다수의 샤프트축(110)을 서로 나란하게 일렬로 배열시켜 완성되며, 각각의 샤프트축(110)에는 고리형상을 갖는 복수개의 회전롤러(120)가 일정 간격을 유지하도록 둘러 장착되어 있다.As shown, the
그리고 각각의 샤프트축(110) 양 말단에는 모터(미도시)와 같은 구동수단이 연결되어 회전력을 발휘하고, 필요에 따라 타이밍벨트 등이 설치되어 이웃하는 샤프트축(110)과 회전력을 공유한다. And drive shafts such as a motor (not shown) are connected to both ends of each
이때, 상기 트랙(150)은 일정 경사면을 이루도록 기울어져 구성되며, 상기 트랙(150)의 일측 가장자리에는 기판(102)의 이탈을 방지하기 위해 가이드축(142)과 가이드회전롤러(144)로 구성되는 가이드롤러(140)가 구비된다. At this time, the
한편, 목적에 따라 처리공간 상단에는 분사노즐(미도시)이 구비되어 트랙(150)에 의해 슬라이딩 이동되는 기판(102) 표면으로 소정의 액체를 분사할 수 있는데, 습식공정 종류에 따라 습식식각인 경우에 에천트, 세정인 경우에 세정액이 분사된다.Meanwhile, according to the purpose, a spray nozzle (not shown) may be provided at the upper end of the processing space to spray a predetermined liquid onto the surface of the
따라서, 처리대상물인 기판(102)은 각 샤프트축(110)에 장착된 회전롤러(120)에 얹혀져 상기 샤프트축(110)과 회전롤러(120)의 회전에 의해 슬라이딩 방식으로 이동되고, 이 같은 이동 중에 분사노즐(미도시) 등을 통해 기판(102) 표면으로 분사되는 에천트 내지는 세정액에 접촉되어 목적하는 습식공정이 진행된다.Therefore, the
이때, 상기 트랙(150)을 일정 경사면을 이루도록 기울여 구성함으로써, 상기 경사면을 이루는 트랙(150) 상에 안착되어 기울어진 상태로 슬라이딩 이동되는 기판(102) 표면으로 분사되는 에천트 내지는 세정액이 상기 기판(102) 상에 고이지 않고 기판(102) 밖으로 자연스럽게 흘러내리게 된다. In this case, the
또한, 상기 기울어진 상태로 슬라이딩 이동되는 기판(102)은 상기 가이드롤러(140)에 의해 일 가장자리가 지지되어 트랙(150) 외부로 이탈되지 않게 되는데 이때, 상기 가이드롤러(140)의 가이드회전롤러(144)는 상기 기판(102)과 접하면 자유롭게 상하 승강운동하면서 회전하게 되는 것을 특징으로 한다. 이는 도 4를 참조하여 좀더 자세히 설명하도록 하겠다.In addition, the
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 가이드롤러를 개략적으로 도시한 사시단면도이다. Figure 4 is a perspective cross-sectional view schematically showing a guide roller according to an embodiment of the present invention.
도시한 바와 같이, 가이드롤러(140)는 가이드축(142)과 상기 가이드축(142)에 둘러 장착되며 회전가능한 원통형의 가이드회전롤러(144)로 구성되는데, 상기 가이드회전롤러(144)는 기판(도 3의 102)과 충돌하여도 기판(도 3의 102)에 파손을 주지 않는 테프론(teflon) 계열의 고분자 재료를 사용하여 구성한다. As shown, the
이때, 상기 가이드축(142)에는 소정형태의 돌출단(148)을 구성하며, 상기 가이드축(142)에 둘러 장착되는 가이드회전롤러(144) 내면에는 상기 돌출단(148)이 유격있게 삽입되어 상기 가이드회전롤러(144)가 상하 승강운동을 할 수 있도록 유도(誘導)하는 가이드홈(146)을 구성한다. At this time, the
이러한, 가이드롤러(140)는 회전하는 원통(종동절)의 표면에 흠(또는 돌기)을 만들어 그것에 끼워지는 피동절을 움직이는 원통캠(cam)의 구동원리와 유사하게 동작하는데 즉, 상기 돌출단(148)이 구성된 가이드축(142)이 고정된 종동절이 되며, 상기 가이드축(142)에 둘러 장착되어 회전하며 상기 돌출단(148)이 유격있게 삽입되는 가이드홈(146)이 구성된 가이드회전롤러(144)가 피동절이 되는 것이다. The
이때, 상기 가이드홈(146)은 상기 가이드회전롤러(144) 내면을 따라 일끝단과 타끝단이 서로 만나는 나선형(螺旋形)으로 구성하며, 상기 돌출단(148)은 고정된 상태로 상기 가이드홈(146)에 유격있게 삽입되도록 구성한다. At this time, the
이로 인하여, 상기 가이드홈(146)에 상기 돌출단(148)이 삽입된 가이드회전롤러(144)는 외부의 힘에 의해 일 방향으로 회전하는 동시에, 상기 나선형의 가이드홈(146)을 통해 상하로 승강운동하게 되며, 상기 가이드홈(146)을 일끝단과 타끝단이 서로 만나는 형태로 구성함으로써, 상기 가이드회전롤러(144)는 회전하면서 상하로 왕복하여 승강운동을 하게 된다. For this reason, the guide
따라서, 상기 기판(도 3의 102)은 상기 가이드롤러(140)에 의해 지지되어 상기 트랙(도 3의 130) 상에서 이탈 되지 않고 슬라이딩 이동되는 과정에서, 상기 기판(도 3의 102)이 가이드회전롤러(144)의 특정부위에서만 마찰되었던 기존과 달리, 상기 가이드회전롤러(144)의 상하 승강운동에 의해 상기 기판(도 3의 102)과 상기 가이드회전롤러(144)가 접촉되는 접촉면적을 넓게 형성할 수 있게 된다. Accordingly, the substrate (102 of FIG. 3) is supported by the
이는, 상기 가이드회전롤러(144) 상의 점 또는 선 형태의 흠집의 발생을 미연에 방지할 수 있으며, 상기 흠집으로 인한 기판(도 3의 102)의 파손 역시 미연에 방지하게 된다. 이러한, 가이드롤러의 상하 승강운동을 도 5a ~ 5b를 참조하여 좀더 자세히 설명하도록 하겠다. This can prevent the occurrence of spot or line scratches on the
도 5a ~ 5b는 가이드롤러의 상하 승강운동을 개략적으로 도시한 단면도이다. 5a to 5b are cross-sectional views schematically showing the up and down movement of the guide roller.
본 발명에 따른 가이드롤러(140)는 별도의 회전동력 없이, 상기 기판(도 3의 102)이 이동되는 과정에서의 상기 기판(도 3의 102)과의 마찰력에 의해 회전하게 된다. The
따라서, 상기 트랙(도 3의 130) 상에 안착되어 기판(도 3의 102)이 이동되는 과정에서, 상기 기판(도 3의 102)과 상기 가이드롤러(140)의 가이드축(142)에 둘러 장착된 가이드회전롤러(144)가 마찰됨으로써, 상기 가이드회전롤러(144)는 상기 기판(도 3의 102) 이동방향과 동일한 방향으로 회전하게 된다. Thus, in the process of being seated on the track 130 (FIG. 3) and moving the substrate 102 (FIG. 3), the substrate (102 of FIG. 3) and the
이때, 상기 가이드축(142)에 구성된 돌출단(148)은 상기 가이드회전롤러(144)의 내면에 구성된 나선형의 가이드홈(146)에 유격있게 삽입된 상태로, 상기 고정된 돌출단(148)을 통해 상기 가이드회전롤러(144)는 상기 기판(도 3의 102) 이동방향과 동일한 방향으로 회전하는 동시에, 도 5a에 도시한 바와 같이, 상기 가이드축(142)의 상측으로 승강운동하게 된다.At this time, the
즉, 상기 가이드회전롤러(144)가 상기 가이드축(142)의 최고점으로 승강운동하게 되면, 상기 돌출단(148)은 상기 가이드회전롤러(144)의 내면의 가이드홈(146)의 최하단부에 위치하게 되는 것이다. That is, when the guide
또한, 상기 가이드홈(146)의 최하단부에 돌출단(148)이 위치하게 되면, 상기 가이드홈(146)의 일끝단과 타끝단이 서로 만나도록 구성되므로 도 5b에 도시한 바와 같이, 상기 가이드회전롤러(144)는 계속해서 회전하면서 상기 가이드축(142)의 하측으로 승강운동하게 된다. In addition, when the
이때는 상기 돌출단(148)이 상기 가이드회전롤러(144)의 가이드홈(146)의 최상단부에 위치하게 된다. In this case, the
이렇듯, 상기 가이드회전롤러(144)는 상기 가이드축(142)을 중심으로 계속해서 일 방향으로 회전하는 동안, 상기 가이드홈(146)을 통해 상하로 계속하여 승강운동을 반복하게 되는 것이다.As such, while the
한편, 도면에 도시하지는 않았지만 이러한 가이드롤러(140)의 가이드홈(146)과 돌출단(148)의 위치는 서로 반대로 구성할 수도 있는데 즉, 상기 가이드축(142)에 가이드홈(146)을 구성하고, 상기 가이드회전롤러(144)의 내면에 돌출단(148)을 구성하는 것이다. On the other hand, although not shown in the drawings, the position of the
이렇게, 가이드홈(146)과 돌출단(148)의 위치를 반대로 구성하면, 상기 가이드축(142)에 둘러 장착된 가이드회전롤러(144)가 회전하는 동시에, 상기 가이드회전롤러(144)에 구성된 돌출단(148)이 상기 가이드축(142)에 구성된 가이드홈(146)을 따라 상하로 승강운동하게 되는 것이다. Thus, when the positions of the
전술한 바와 같이, 경사면을 갖도록 구성된 트랙(도 3의 130)의 일측 가장자리에 기판(도 3의 102)의 이탈을 방지하기 위해 구비되는 가이드롤러(140)의 가이드회전롤러(144)를 자유롭게 상하 승강운동하면서 회전하도록 구성하여, 상기 기판(도 3의 102)과 가이드회전롤러(144)가 접촉되는 접촉면적을 넓게 형성함으로써, 기존의 기판(도 3의 102)에 의해 가이드회전롤러(144) 상의 점 또는 선 형태의 흠집의 발생을 미연에 방지하게 되며, 상기 흠집으로 인한 기판(도 3의 102)의 파손 역시 미연에 방지하게 된다. As described above, the
이는, 전술한 문제점을 해결하기 위해 기존의 가이드롤러(140)를 교체함으로써 비용의 낭비를 초래하였던 문제점 역시 해결하게 된다. This also solves the problem that caused waste of cost by replacing the existing
또한, 기판(도 3의 102) 이송에 대한 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있다. In addition, the reliability of transporting the substrate 102 (in FIG. 3) can be greatly improved.
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다. The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 경사면을 갖도록 구성된 트랙의 일측 가장자리에 기판의 이탈을 방지하기 위해 구비되는 가이드롤러의 가이드회전롤러를 자유롭게 상하 승강운동하면서 회전하도록 구성하여, 상기 기판과 가이드회전롤러가 접촉되는 접촉면적을 넓게 형성함으로써, 기존의 기판에 의해 가이드회전롤러 상의 점 또는 선 형태의 흠집의 발생을 미연에 방지하게 되는 효과가 있으며, 상기 흠집으로 인한 기판의 파손 역시 미연에 방지하게 되는 효과가 있다. As described above, by rotating the guide rotation roller of the guide roller provided to prevent the separation of the substrate on one side edge of the track configured to have an inclined surface in accordance with the present invention while lifting freely up and down, the substrate and the guide rotation By forming a large contact area in contact with the roller, there is an effect of preventing the occurrence of spot or line scratches on the guide rotation roller by the existing substrate, and also to prevent damage to the substrate due to the scratch It is effective.
따라서 기판 이송에 대한 신뢰성이 크게 향상되는 효과가 있다. Therefore, the reliability of substrate transfer is greatly improved.
이는, 기존의 가이드롤러를 교체함으로써 비용의 낭비를 초래하였던 문제점 역시 해결하게 되는 효과가 있으며, 기판 이송에 대한 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다. This has the effect of solving the problem that caused the waste of costs by replacing the existing guide roller, there is an effect that can greatly improve the reliability for substrate transfer.
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