KR20120025360A - Track for conveying substrate - Google Patents

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KR20120025360A
KR20120025360A KR1020100130157A KR20100130157A KR20120025360A KR 20120025360 A KR20120025360 A KR 20120025360A KR 1020100130157 A KR1020100130157 A KR 1020100130157A KR 20100130157 A KR20100130157 A KR 20100130157A KR 20120025360 A KR20120025360 A KR 20120025360A
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백승호
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A track for conveying a substrate is provided to use a guide rotating roller over a wide area by controlling the height of the guide rotating roller of a guide roller. CONSTITUTION: A track for conveying a substrate comprises a plurality of shaft axes and a guide roller(200). A plurality of rotation rollers are mounted on the shaft axis. The guide roller is arranged between the shaft axes and comprises a guide axis(210), a guide rotating roller(220), a pipe(230), and a height adjusting unit(240). The guide axis has a plurality of guide holes(211). The guide rotating roller is mounted on the guide axis. The pipe has a through hole(231). The height adjusting unit controls the height of the guide axis through the through hole and the guide hole.

Description

기판 이송용 트랙{Track for conveying substrate}Track for conveying substrate

본 발명은 기판 이송용 트랙에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판 이송용 트랙에 의해 이동되는 기판을 가이드하는 가이드롤러에 관한 것이다.
The present invention relates to a substrate transport track, and more particularly to a guide roller for guiding a substrate moved by the substrate transport track.

최근 본격적인 정보화 시대에 발맞추어 각종 전기적 신호에 의한 대용량의 데이터를 시각적 화상으로 표시하는 디스플레이(display) 분야 또한 급속도로 발전하였고, 이에 부응하여 경량화, 박형화, 저소비전력화 장점을 지닌 평판표시장치(Flat Panel Display device : FPD)로서, 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display device : ELD) 등이 소개되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다. In line with the recent information age, the display field for displaying a large amount of data by various electrical signals in a visual image has also been rapidly developed. In response, a flat panel display device having advantages of light weight, thinness, and low power consumption has been developed. As a display device (FPD), a liquid crystal display device (LCD), a plasma display device (PDP), a field emission display device (FED), an electroluminescence display device (Electro) luminescence display device (ELD) has been introduced to quickly replace the existing cathode ray tube (CRT).

여기서, 액정표시장치는 고유의 형광 또는 편광층을 사이에 두고 한쌍의 투명기판을 대면 합착시킨 평판표시패널(flat display panel)을 필수적인 구성요소로 갖추고 있는데, 이와 같은 패널은 소정물질의 박막을 형성하는 증착(deposition)공정, 포토리소그라피(photo lithography)공정, 식각(etching)공정을 여러 번 반복하여 구성하며 이 외에 세정, 합착, 절단 등의 여러 가지 서로 다른 공정이 수반된다. Here, the liquid crystal display device has a flat display panel in which a pair of transparent substrates are bonded to each other with a unique fluorescent or polarizing layer therebetween as an essential component. Such a panel forms a thin film of a predetermined material. The deposition process, the photolithography process, and the etching process are repeated several times. In addition, various different processes such as cleaning, bonding, and cutting are involved.

한편, 이와 같은 수많은 단위 공정들로 이루어진 액정표시장치의 제조공정은 일반적으로 클린룸에서 이루어지고 있으며, 클린룸 내부의 특정 공정장비에 의해 공정이 완료된 다수의 기판은 물류반송시스템인 기판 이송용 트랙에 의해 클린룸 내에 저장되거나, 또는 다른 공정장비로 이송된다. On the other hand, the manufacturing process of the liquid crystal display device consisting of a number of such unit processes are generally performed in a clean room, and a plurality of substrates completed by a specific process equipment inside the clean room is a transport board for transporting the substrate is a logistics transport system May be stored in a clean room or transferred to other process equipment.

도 1은 일반적인 기판 이송용 트랙을 개략적으로 도시한 사시도이다. 1 is a perspective view schematically showing a general substrate transfer track.

도시한 바와 같이, 기판 이송용 트랙(10)은 회전 가능한 다수의 샤프트축(11)을 서로 나란하게 일렬로 배열시키며, 각각의 샤프트축(11)에는 고리형상을 갖는 복수개의 회전롤러(12)가 일정 간격을 유지하도록 둘러 장착된다. As shown, the substrate transport track 10 arranges a plurality of rotatable shaft shafts 11 in parallel with each other, and each shaft shaft 11 has a plurality of rotating rollers 12 having an annular shape. It is mounted around to maintain a constant interval.

그리고 각각의 샤프트축(11) 양 말단에는 모터(미도시)와 같은 구동수단이 연결되어 회전력을 발휘하고, 필요에 따라 타이밍벨트 등이 설치되어 이웃하는 샤프트축(11)과 회전력을 공유한다. A driving means such as a motor (not shown) is connected to both ends of each shaft shaft 11 to exert rotational force, and a timing belt or the like is installed as necessary to share the rotational force with neighboring shaft shafts 11.

따라서, 처리대상물인 기판(2)은 각 샤프트축(11)에 장착된 회전롤러(12)에 얹혀져, 샤프트축(11)과 회전롤러(12)의 회전에 의해 슬라이딩 방식으로 이동된다. Therefore, the substrate 2, which is the object to be processed, is mounted on the rotary rollers 12 mounted on the respective shaft shafts 11, and is moved in a sliding manner by the rotation of the shaft shafts 11 and the rotary rollers 12. As shown in FIG.

이때, 기판(2)이 이송되는 과정에서 기판(2)의 이탈을 방지하기 위하여 기판 이송용 트랙(10)의 양측 가장자리에는 기판(2)의 이탈을 방지하기 위한 가이드롤러(20)가 구비된다. In this case, guide rollers 20 are provided at both edges of the substrate transport track 10 to prevent separation of the substrate 2 in order to prevent the substrate 2 from being separated during the transfer of the substrate 2. .

가이드롤러(20)는 기판(2)이 이송되는 방향으로 일정한 간격을 유지한 채, 샤프트축(11) 사이에 형성되며, 가이드롤러(20)는 가이드축(21)과 가이드축(21)에 둘러 장착되며 회전가능한 원통형의 가이드회전롤러(23)로 구성된다. The guide roller 20 is formed between the shaft shafts 11 while maintaining a constant interval in the direction in which the substrate 2 is transferred, and the guide rollers 20 are formed on the guide shaft 21 and the guide shaft 21. It is mounted around and consists of a rotatable cylindrical guide rotating roller 23.

따라서, 기판(2)은 가이드롤러(20)에 의해 지지되어 기판 이송용 트랙(10) 상에서 이탈 되지 않고 슬라이딩 이동되는데, 이러한 가이드롤러(20)는 별도의 회전동력 없이, 기판(2)이 이동되는 과정에서의 마찰력에 의해 회전하게 된다. Accordingly, the substrate 2 is supported by the guide roller 20 and is slidably moved without being separated from the track 10 for transporting the substrate. Such a guide roller 20 moves the substrate 2 without a separate rotational force. It is rotated by the frictional force in the process.

그러나, 기판(2)과 직접적으로 마찰되는 가이드회전롤러(23)에는 점 또는 선 형태의 흠집이 나타나게 되는데 특히, 가이드회전롤러(23)의 흠집은 어느 특정지점에서 두드러지며, 다수의 기판(2)이 인라인 방식으로 기판 이송용 트랙(10) 상에 안착되어져 슬라이딩 이동됨으로써, 가이드회전롤러(23)의 흠집은 기판 이송용 트랙(10) 상에 안착되어 슬라이딩 되는 기판(2)의 수가 많아질수록 더욱 심화된다. However, spots or linear scratches appear on the guide rotating roller 23 which is directly rubbed with the substrate 2. In particular, the scratches of the guide rotating roller 23 are prominent at a certain point, and the plurality of substrates 2 ) Is seated on the substrate transport track 10 in an inline manner and slidably moved, whereby the scratches of the guide rotating roller 23 are seated on the substrate transport track 10 and slid. The worse it gets.

또한, 거듭된 기판(2)과의 마찰로 인해 손상된 가이드회전롤러(23)의 흠집은 기판(2)과의 간섭을 일으키게 되어 기판(2)의 파손을 야기하게 되는데, 이 경우 현재로서는 가이드회전롤러(23) 만을 별도로 교체하기 어려운 실정으로, 가이드롤러(20) 전체를 교체하여야 하므로 자원적인 부분은 물론 비용의 낭비를 초래하게 된다. In addition, scratches of the damaged guide rotation roller 23 due to repeated friction with the substrate 2 cause interference with the substrate 2, which causes the breakage of the substrate 2, in which case the guide rotation roller is present. (23) In a situation where it is difficult to replace separately, the entire guide roller 20 must be replaced, resulting in waste of resources as well as resources.

또한, 가이드롤러(20)의 교체에 의한 공정상의 불편함을 초래하게 되며, 공정시간 증가의 문제점을 야기하게 된다. In addition, the process inconvenience caused by the replacement of the guide roller 20, and causes a problem of increased process time.

특히, 가이드회전롤러(23)와 기판(2)의 마찰이 발생할 시, 가이드회전롤러(23)에 의해 기판(2)에 충격이 가해지게 되는데, 이에, 기판(2)의 파손이 발생하게 되는 문제점이 발생하게 된다.
In particular, when friction occurs between the guide rotating roller 23 and the substrate 2, the substrate 2 is impacted by the guide rotating roller 23, which causes breakage of the substrate 2. Problems will arise.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판을 안정적으로 지지하면서도 기판에 가해지는 손상을 최소화할 수 있는 가이드롤러를 제공하는 것을 제 1 목적으로 한다. The present invention is to solve the above problems, and to provide a guide roller that can minimize the damage to the substrate while supporting the substrate stably.

또한, 마모에 따른 교체에 있어서 공정비용을 절감할 수 있으며, 공정시간을 단축할 수 있는 가이드롤러를 제공하고자 하는 것을 제 2 목적으로 하며, 이를 통해 기판 이송에 대한 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있는 기판 이송용 트랙을 제공하고자 하는 것을 제 3 목적으로 한다.
In addition, the second object is to provide a guide roller that can reduce the process cost in the replacement due to wear, and shorten the process time, through which a substrate that can greatly improve the reliability of substrate transfer It is a third object to provide a transport track.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 나란하게 배열되며, 각각 복수개의 회전롤러가 장착된 다수의 샤프트축과; 서로 이웃하는 상기 샤프트축의 사이에 구성되며, 일정간 간격을 두고 길이방향을 따라 형성된 복수개의 가이드홀이 구비된 가이드축과 상기 가이드축에 둘러 장착되는 가이드회전롤러와, 그리고 상기 가이드축이 삽입되며 관통홀이 형성된 파이프와 상기 관통홀과 상기 가이드홀을 관통하여, 상기 가이드축의 높이를 조절하는 높이조절수단을 포함하는 가이드롤러를 포함하는 기판 이송용 트랙을 제공한다. In order to achieve the object as described above, the present invention is arranged side by side, each of the plurality of shaft shaft is equipped with a plurality of rotary rollers; Comprising between the shaft shafts adjacent to each other, the guide shaft with a plurality of guide holes formed in the longitudinal direction at intervals of a certain interval, and a guide rotating roller mounted around the guide shaft, and the guide shaft is inserted It provides a substrate transport track comprising a pipe formed with a through hole and a guide roller including a height adjusting means for adjusting the height of the guide shaft through the through hole and the guide hole.

이때, 상기 가이드회전롤러는 상기 가이드축과 연결되는 내륜과, 상기 내륜의 외주면에 형성되는 외륜과, 그리고 상기 내륜 및 상기 외륜 사이에 개재되는 베어링으로 이루어지며, 상기 외륜의 외측에는 기판과 집적으로 맞닿는 캡이 형성되며, 상기 외륜과 상기 캡 사이에는 실리콘러버가 개재되며, 상기 캡은 상기 가이드회전롤러로부터 탈부착이 가능하다. At this time, the guide rotating roller is composed of an inner ring connected to the guide shaft, an outer ring formed on the outer circumferential surface of the inner ring, and a bearing interposed between the inner ring and the outer ring, and the outer ring of the outer ring and the substrate An abutting cap is formed, and a silicon rubber is interposed between the outer ring and the cap, and the cap is detachable from the guide rotating roller.

그리고, 상기 가이드축은 상기 파이프의 길이방향을 따라 상하로 승강운동하며, 상기 관통홀에 대응되는 상기 파이프의 내측면에는 상기 높이조절수단의 일끝단이 삽입되는 홈이 형성된다. The guide shaft moves up and down along the longitudinal direction of the pipe, and a groove into which one end of the height adjusting means is inserted is formed on an inner surface of the pipe corresponding to the through hole.

또한, 상기 높이조절수단이 삽입되는 상기 관통홀의 입구에는 걸림부가 구성되며, 상기 높이조절수단은 머리부가 구비된 핀 형상이며, 상기 핀의 외주면에는 스프링이 끼워진다. In addition, the inlet of the through-hole in which the height adjusting means is inserted, the locking portion is configured, the height adjusting means is a pin shape having a head, the spring is fitted to the outer peripheral surface of the pin.

그리고, 상기 스프링은 상기 높이조절수단에 외력을 가해 상기 파이프의 외측으로 잡아 당길 때 상기 걸림부에 의해 압착되며, 상기 높이조절수단에 가해진 외력이 제거되면 상기 스프링의 탄성력에 의해 상기 높이조절수단이 상기 가이드홀을 관통하며, 상기 파이프에는 멈춤볼트가 구비되어, 상기 멈춤볼트의 일끝단은 상기 파이프에 구비된 멈춤볼트홀을 통해 상기 파이프에 삽입되어 있는 상기 가이드축에 외력을 가한다. And, when the spring is applied by the external force to the height adjusting means and pulled out of the pipe, the spring is compressed by the locking portion, when the external force applied to the height adjusting means is removed by the elastic force of the spring Passing through the guide hole, the pipe is provided with a stop bolt, one end of the stop bolt exerts an external force on the guide shaft inserted into the pipe through the stop bolt hole provided in the pipe.

이때, 상기 가이드축의 높이에 의해 상기 가이드회전롤러와 기판이 서로 접촉되는 영역이 달라진다. At this time, the area where the guide rotating roller and the substrate are in contact with each other is changed by the height of the guide shaft.

또한, 본 발명은 나란하게 배열되며, 각각 복수개의 회전롤러가 장착된 다수의 샤프트축과; 서로 이웃하는 상기 샤프트축의 사이에 구성되며, 일정간 간격을 두고 길이방향을 따라 형성된 가이드축과 상기 가이드축에 둘러 장착되며, 상기 가이드축에 둘러 장착되는 가이드회전롤러를 포함하는 가이드롤러를 포함하며, 상기 가이드회전롤러는 탈부착에 의해 상부 또는 하부가 기판과 접촉되는 캡을 포함하는 기판 이송용 트랙을 제공한다. In addition, the present invention is arranged side by side, and each of the plurality of shaft shaft is equipped with a plurality of rotary rollers; Comprising between the shaft shafts adjacent to each other, the guide shaft formed in the longitudinal direction at a predetermined interval and mounted around the guide shaft, including a guide roller including a guide rotating roller mounted around the guide shaft The guide rotating roller provides a substrate transfer track including a cap having a top or a bottom in contact with a substrate by detachment.

이때, 상기 가이드회전롤러는 상기 가이드축과 연결되는 내륜과, 상기 내륜의 외주면에 형성되는 외륜과, 그리고 상기 내륜 및 상기 외륜 사이에 개재되는 베어링으로 이루어지며, 상기 외륜이 외측에는 상기 기판과 집적으로 맞닿는 상기 캡을 포함하며, 상기 외륜과 상기 캡 사이에는 실리콘러버가 개재되며, 상기 캡과 상기 외륜의 체결부위를 통해 상기 기판과 상기 캡이 접촉되는 영역이 달라진다. At this time, the guide rotation roller is composed of an inner ring connected to the guide shaft, an outer ring formed on the outer circumferential surface of the inner ring, and a bearing interposed between the inner ring and the outer ring, the outer ring is integrated with the substrate on the outside And a cap contacting with the cap, wherein a silicon rubber is interposed between the outer ring and the cap, and a region where the cap contacts the cap through a fastening portion of the cap and the outer ring is changed.

그리고, 상기 캡의 내주면에는 상기 캡의 길이방향의 상부측에 제 1 돌출턱이 형성되어 있으며, 상기 캡의 길이방향의 하부측에 제 2 돌출턱이 형성되어 있으며, 상기 외륜의 외주면의 길이방향의 하부측에 상기 제 1 돌출턱 또는 상기 제 2 돌출턱이 끼움 삽입되는 걸림홈이 형성되며, 상기 캡의 제 1 돌출턱이 상기 외륜의 상기 걸림홈에 끼움 삽입될 경우, 상기 캡의 A 영역은 상부측에 위치하며, 상기 제 2 돌출턱이 상기 외륜의 상기 걸림홈에 끼움 삽입될 경우, 상기 캡의 A 영역은 하부측에 위치한다. In addition, a first protruding jaw is formed on an inner circumferential surface of the cap at an upper side in the longitudinal direction of the cap, and a second protruding jaw is formed at a lower side of the cap in a longitudinal direction, and a longitudinal direction of an outer circumferential surface of the outer ring is provided. A locking groove is formed in the lower side of the first projection jaw or the second projection jaw is inserted, when the first projection jaw of the cap is inserted into the locking groove of the outer ring, the area A of the cap Is located at the upper side, and when the second protruding jaw is inserted into the engaging groove of the outer ring, the region A of the cap is located at the lower side.

또한, 상기 캡의 내주면에는 상기 캡의 길이방향의 상부측에 제 1 결합홈이 형성되어 있으며, 상기 캡의 길이방향의 하부측에 제 2 결합홈이 형성되어 있으며, 상기 외륜의 외주면의 길이방향의 하부측에 상기 제 1 결합홈 또는 상기 제 2 결합홈에 끼움 삽입되는 돌출부가 형성된다.
In addition, the inner peripheral surface of the cap has a first coupling groove is formed in the upper side of the longitudinal direction of the cap, the second coupling groove is formed in the lower side of the longitudinal direction of the cap, the longitudinal direction of the outer peripheral surface of the outer ring On the lower side of the protrusion is inserted into the first coupling groove or the second coupling groove is formed.

위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 전술한 바와 같이, 가이드롤러의 가이드회전롤러의 높낮이를 조절할 수 있도록 함으로써, 가이드회전롤러를 넓은 면적에 걸쳐 사용할 수 있으므로, 가이드롤러의 교체주기를 줄일 수 있는 효과가 있다. As described above, as described above according to the present invention, by adjusting the height of the guide roller of the guide roller, the guide roller can be used over a large area, it is possible to reduce the replacement cycle of the guide roller It works.

이를 통해, 비용의 낭비를 줄일 수 있으며, 가이드롤러 교체에 따른 공정의 효율성을 향상시키게 되는 효과가 있다. Through this, it is possible to reduce the waste of cost, thereby improving the efficiency of the process according to the guide roller replacement.

또한, 가이드회전롤러의 회전부와 캡 사이에 실리콘러버를 더욱 구비함으로써, 가이드회전롤러와 기판과의 충돌에 의해 발생되는 충격을 흡수하여, 기판으로 충격이 전달되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다. In addition, the silicon rubber is further provided between the cap and the rotating part of the guide rotating roller, thereby absorbing the shock generated by the collision between the guide rotating roller and the substrate, it is possible to prevent the shock is transmitted to the substrate.

또한, 기판과 접촉하는 가이드회전롤러의 캡의 위치를 변경할 수 있어, 가이드롤러의 교체주기를 줄일 수 있는 효과가 있다. In addition, it is possible to change the position of the cap of the guide rotating roller in contact with the substrate, there is an effect that can reduce the replacement cycle of the guide roller.

이를 통해, 비용의 낭비를 줄일 수 있으며, 가이드롤러 교체에 따른 공정의 효율성을 향상시키게 되는 효과가 있다.
Through this, it is possible to reduce the waste of cost, thereby improving the efficiency of the process according to the guide roller replacement.

도 1은 일반적인 기판 이송용 트랙을 개략적으로 도시한 사시도.
도 2및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송용 트랙의 일부를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 4a는 본 발명의 실시예에 따른 가이드롤러를 개략적으로 도시한 사시도.
도 4b는 도 4a 가이드회전롤러를 개략적으로 도시한 분해사시도.
도 4c는 도 4a 와 도 4b의 조립된 가이드롤러의 단면을 개략적으로 도시한 단면도.
도 5a ~ 5d는 본 발명의 실시예에 따른 가이드롤러의 높이조절 모습을 개략적으로 도시한 단면도.
1 is a perspective view schematically showing a track for transferring a general substrate.
2 and 3 are perspective views schematically showing a part of the substrate transport track according to the embodiment of the present invention.
Figure 4a is a perspective view schematically showing a guide roller according to an embodiment of the present invention.
Figure 4b is an exploded perspective view schematically showing the guide rotating roller of Figure 4a.
4C is a schematic cross-sectional view of the assembled guide roller of FIGS. 4A and 4B.
5a to 5d are cross-sectional views schematically showing the height adjustment of the guide roller according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

-제 1 실시예-- First Embodiment -

도 2및 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 이송용 트랙의 일부를 개략적으로 나타낸 사시도이다. 2 and 3 are perspective views schematically showing a part of the substrate transport track according to the first embodiment of the present invention.

도 2에 도시한 바와 같이, 회전 가능한 다수의 샤프트축(112)을 서로 나란하게 일렬로 배열시키며, 각각의 샤프트축(112)에는 고리형상을 갖는 복수개의 회전롤러(114)가 일정 간격을 유지하도록 둘러 장착된다. As shown in FIG. 2, a plurality of rotatable shaft shafts 112 are arranged side by side in parallel with each other, and each shaft shaft 112 has a plurality of rotating rollers 114 having an annular shape to maintain a predetermined interval. It is mounted around.

이때, 각각의 샤프트축(112)의 양 말단에는 모터(미도시)와 같은 구동수단이 연결되어 회전력을 발휘하고, 필요에 따라 타이밍벨트 등이 설치되어 이웃하는 샤프트축(112)과 회전력을 공유한다. At this time, driving means such as a motor (not shown) are connected to both ends of each shaft shaft 112 to exert a rotational force, and a timing belt or the like is installed as necessary to share the rotational force with a neighboring shaft shaft 112. do.

따라서, 처리대상물인 기판(102)은 각 샤프트축(112)에 장착된 회전롤러(114)에 얹혀져, 샤프트축(112)과 회전롤러(114)의 회전에 의해 슬라이딩 방식으로 이동된다. Therefore, the substrate 102 to be processed is mounted on the rotary rollers 114 mounted on the respective shaft shafts 112 and is moved in a sliding manner by the rotation of the shaft shafts 112 and the rotary rollers 114.

이때, 기판(102)이 이송되는 과정에서 기판(102)의 이탈을 방지하기 위하여 기판 이송용 트랙(100)의 양측 가장자리에는 기판(102)의 이탈을 방지하기 위한 가이드롤러(200)가 구비된다.In this case, guide rollers 200 are provided at both edges of the substrate transport track 100 to prevent the substrate 102 from being separated in order to prevent the substrate 102 from being separated in the process of transferring the substrate 102. .

가이드롤러(200)는 도 3에 도시한 바와 같이 기판(102)이 이송되는 방향으로 일정한 간격을 유지한 체, 서로 이웃하는 샤프트축(112) 사이에 위치하며, 기판(102)이 이동될 때 스치듯이 지날 수 있게 기판(102)과 소정 거리 이격되도록 위치한다. As shown in FIG. 3, the guide roller 200 is positioned between the shaft shafts 112 that are adjacent to each other, and are spaced apart at regular intervals in the direction in which the substrate 102 is conveyed, and when the substrate 102 is moved. The substrate 102 is positioned to be spaced apart from the substrate 102 so as to pass by.

이때, 본 발명의 가이드롤러(200)는 가이드축(210)과 가이드회전롤러(220)로 이루어지며, 가이드축(210)이 파이프(230)에 삽입되어, 가이드회전롤러(220)의 높낮이를 조절할 수 있는 것을 특징으로 한다. At this time, the guide roller 200 of the present invention is made of a guide shaft 210 and the guide rotation roller 220, the guide shaft 210 is inserted into the pipe 230, the height of the guide rotation roller 220 Characterized in that can be adjusted.

이를 통해, 가이드회전롤러(220)의 교체주기를 늘릴 수 있어, 가이드롤러(200)에 의한 공정비용을 절감할 수 있으며, 이를 통해 가이드롤러(200)의 교체에 의한 공정상의 불편함이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 교체에 따른 공정시간이 증가하는 문제점 또한 방지할 수 있다. Through this, it is possible to increase the replacement cycle of the guide rotation roller 220, can reduce the process cost by the guide roller 200, through which process inconvenience caused by the replacement of the guide roller 200 Can be prevented. The problem of an increase in processing time due to replacement can also be prevented.

이에 대해 아래 도 4a ~ 4c를 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다. This will be described in more detail with reference to FIGS. 4A to 4C below.

도 4a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 가이드롤러를 개략적으로 도시한 사시도이며, 도 4b는 도 4a 가이드회전롤러를 개략적으로 도시한 분해사시도이다. Figure 4a is a perspective view schematically showing a guide roller according to a first embodiment of the present invention, Figure 4b is an exploded perspective view schematically showing the guide rotating roller of Figure 4a.

그리고, 도 4c는 도 4a 와 도 4b의 결합된 가이드롤러의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다. 4C is a cross-sectional view schematically illustrating a cross section of the combined guide roller of FIGS. 4A and 4B.

도시한 바와 같이, 가이드롤러(200)는 파이프(230)와 파이프(230)에 삽입되는 가이드축(210) 그리고 가이드축(210)에 둘러 장착되며 회전가능한 원통형의 가이드회전롤러(220)로 구성된다. As shown in the drawing, the guide roller 200 includes a pipe 230, a guide shaft 210 inserted into the pipe 230, a guide shaft 210 mounted around the guide shaft 210, and a rotatable cylindrical guide rotating roller 220. do.

이때, 가이드축(210)에 둘러 장착되는 가이드회전롤러(220)는 자유롭게 회전하게 된다. At this time, the guide rotating roller 220 mounted around the guide shaft 210 is free to rotate.

특히 본 발명의 가이드회전롤러(220)는 실리콘러버(225)를 더욱 포함함으로써, 기판(도 3의 102)에 충격이 가해지는 것을 방지하게 된다. 이에 대해 도 4b ~ 4c를 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 보면, 도 4b ~ 4c에 도시한 바와 같이, 가이드회전롤러(220)는 가이드축(210)과 연결되는 회전부(221)와 회전부(221)의 외주면에 형성되어 기판(도 3의 102)과 직접적으로 맞닿는 캡(223)으로 이루어진다. In particular, the guide rotary roller 220 of the present invention further includes a silicon rubber 225, thereby preventing the impact of the substrate (102 in Figure 3). This will be described in more detail with reference to FIGS. 4B to 4C, as shown in FIGS. 4B to 4C, the guide rotating roller 220 includes the rotating part 221 and the rotating part 221 connected to the guide shaft 210. The cap 223 is formed on the outer circumferential surface and directly contacts the substrate 102 (FIG. 3).

여기서, 회전부(221)는 중앙에 통공이 형성된 원통형상의 내륜(221a)과 내륜(221a)의 외주면에 형성되는 외륜(221b)으로 이루어지며, 이때, 내륜(221a)의 통공에 가이드축(210)이 삽입된다. Here, the rotating part 221 is composed of a cylindrical inner ring 221a having a hole formed in the center and an outer ring 221b formed on the outer circumferential surface of the inner ring 221a, wherein the guide shaft 210 is formed in the through hole of the inner ring 221a. Is inserted.

이러한 내륜(221a)과 외륜(221b) 사이에는 베어링(221c)이 개재되며, A bearing 221c is interposed between the inner ring 221a and the outer ring 221b.

베어링(221c)에 의해 외륜(221b)과 내륜(221a)은 서로의 회전에 대해 간섭받지 않고 서로 독립적으로 회전하게 된다. The outer ring 221b and the inner ring 221a are rotated independently of each other by the bearing 221c without being interfered with each other.

이러한, 내륜(221a)과 외륜(221b)의 회전에 의해 가이드회전롤러(220)가 가이드축(210)을 기준으로 회전하게 되는 것이다. By the rotation of the inner ring 221a and the outer ring 221b, the guide rotating roller 220 is rotated based on the guide shaft 210.

이때, 내륜(221a)과 외륜(221b) 간에 마찰에 의한 마모 및 열변형이 방지되도록 윤활유(미도시)가 주입될 수 있다. In this case, lubricating oil (not shown) may be injected to prevent wear and thermal deformation due to friction between the inner ring 221a and the outer ring 221b.

여기서, 외륜(221b)과 내륜(221a) 사이의 베어링(221c)은 볼 형상의 세라믹재질로 이루어지는데, 이러한 베어링(221c)에 의해 가이드회전롤러(220)가 이송되는 기판(도 3의 102)을 가이드하는 과정에서 가이드회전롤러(220)와 기판(도 3의 102)과의 충돌에 의해 발생되는 충격을 그대로 기판(도 3의 102)에 전달하게 된다. Here, the bearing 221c between the outer ring 221b and the inner ring 221a is made of a ceramic material having a ball shape, and the substrate to which the guide rotating roller 220 is transferred by the bearing 221c (102 in FIG. 3). In the process of guiding the shock generated by the collision between the guide rotation roller 220 and the substrate (102 of FIG. 3) is transmitted to the substrate (102 of FIG. 3) as it is.

이로 인하여, 기판(도 3의 102)의 파손이 발생할 수 있는데, 본 발명은 기판(도 3의 102)과 직접적으로 맞닿는 캡(223)과 외륜(221b) 사이에 실리콘러버(225)를 더욱 구비하여, 기판(도 3의 102)의 파손을 방지하는 것을 특징으로 한다. As a result, breakage of the substrate (102 in FIG. 3) may occur, and the present invention further includes a silicon rubber 225 between the cap 223 and the outer ring 221b that directly contact the substrate (102 in FIG. 3). This prevents damage to the substrate (102 in FIG. 3).

즉, 실리콘러버(225)는 가이드회전롤러(220)와 기판(도 3의 102)과의 충돌에 의해 발생되는 충격을 흡수하게 됨으로써, 기판(도 3의 102)으로 충격이 전달되는 것을 방지하게 된다. That is, the silicon rubber 225 absorbs the shock generated by the collision between the guide rotating roller 220 and the substrate (102 of FIG. 3), thereby preventing the impact from being transmitted to the substrate (102 of FIG. 3). do.

따라서, 가이드회전롤러(220)에 의한 기판(도 3의 102)의 파손을 방지할 수 있게 되는 것이다. Therefore, it is possible to prevent the breakage of the substrate (102 in FIG. 3) by the guide rotating roller 220.

한편, 가이드회전롤러(220)는 기판(도 3의 102)과의 충돌에 의해 캡(223)의 흔들림이 발생할 수 있으며, 이를 통해 캡(223)이 회전부(221)로부터 쉽게 분리될 수 있다. 이에 이를 해결하기 위하여 스냅링(227)을 이용하여 캡(223)의 이탈을 방지하는 것이 바람직하다.따라서, 캡(223)은 스냅링(227)의 장착여부에 의해 손쉽게 회전부(221)로부터 탈부착이 가능하다. 이를 통해, 캡(223)만을 분리하여 교체할 수 있게 됨으로써, 가이드롤러(200)의 유지 보수 비용을 절감시킬 수 있다.On the other hand, the guide rotation roller 220 may cause the shaking of the cap 223 due to the collision with the substrate (102 in Figure 3), through which the cap 223 can be easily separated from the rotating part 221. In order to solve this problem, it is preferable to prevent the detachment of the cap 223 using the snap ring 227. Accordingly, the cap 223 can be easily detached from the rotating part 221 by the mounting of the snap ring 227. Do. Through this, only the cap 223 can be removed and replaced, thereby reducing the maintenance cost of the guide roller 200.

즉, 가이드회전롤러(220)의 캡(223)은 폴리에테르에테르케톤(PEEK) 등의 합성 수지 재질로 마련되는데, 이렇듯 캡이 합성 수지 재질로 마련되기 때문에, 가이드회전롤러(220)는 기판(도 3의 102)의 측면을 지지할 때 기판(도 3의 102)과의 접촉에 의해 마모될 수 있다. That is, the cap 223 of the guide rotating roller 220 is made of a synthetic resin material such as polyether ether ketone (PEEK), as described above, since the cap is made of a synthetic resin material, the guide rotating roller 220 is a substrate ( It may be worn by contact with the substrate (102 in FIG. 3) when supporting the side of 102 in FIG.

이 경우, 가이드회전롤러(220)를 주기적으로 교체해 주어야 하나, 본 발명의 가이드회전롤러(220)는 캡(223)만을 분리하여 교체할 수 있는 것이다. In this case, the guide rotation roller 220 should be replaced periodically, the guide rotation roller 220 of the present invention is to replace only the cap 223 can be replaced.

또한, 기존에는 가이드회전롤러(220) 만을 별도로 교체하기도 어려운 실정으로, 가이드롤러(200) 전체를 교체해야 하므로, 가이드회전롤러(220)의 캡(223)만을 분리하여 교체할 수 있는 본 발명은 기존에 비해 자원적인 부분은 물론 비용의 낭비를 효과적으로 줄일 수 있다. In addition, in the conventional situation, it is difficult to replace only the guide rotating roller 220 separately, and thus, the entire guide roller 200 needs to be replaced, so that the present invention which can separate and replace only the cap 223 of the guide rotating roller 220 is Compared to the conventional one, it can effectively reduce the waste of resources as well as resources.

따라서, 공정의 효율성을 향상시키게 된다. Thus, the efficiency of the process is improved.

특히, 본 발명의 가이드롤러(200)는 가이드회전롤러(220)의 높낮이를 조절할 수 있으므로, 가이드회전롤러(220)를 보다 넓은 면적에 걸쳐 사용할 수 있다. In particular, the guide roller 200 of the present invention can adjust the height of the guide rotation roller 220, it is possible to use the guide rotation roller 220 over a larger area.

즉, 본 발명의 가이드롤러(200)는 가이드축(210)이 파이프(230)와 함께 실린더(cylinder)와 같은 형상으로 이루어져, 가이드축(210)이 파이프(230)의 길이방향을 따라 상하로 승강운동하는 것을 특징으로 한다. That is, the guide roller 200 of the present invention, the guide shaft 210 is formed in the shape of a cylinder (cylinder) together with the pipe 230, the guide shaft 210 vertically up and down along the longitudinal direction of the pipe 230 It is characterized by lifting and lifting.

여기서, 가이드축(210)의 높이를 조절한 후, 조절된 가이드축(210)의 높이를 고정하기 위해 가이드축(210)에는 다수개의 가이드홀(211)이 형성되며, 가이드축(210)은 가이드홀(211)을 관통하는 높이조절수단(240)을 통해 그 높이가 고정된다. Here, after adjusting the height of the guide shaft 210, a plurality of guide holes 211 is formed in the guide shaft 210 to fix the height of the adjusted guide shaft 210, the guide shaft 210 The height is fixed through the height adjusting means 240 penetrating the guide hole 211.

이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 파이프(230)의 일측에는 관통홀(231)이 형성되어 있으며, 관통홀(231)에 대응되는 파이프(230)의 타측 내면으로는 홈(233)이 형성되어 있다. In more detail, a through hole 231 is formed at one side of the pipe 230, and a groove 233 is formed at the other inner surface of the pipe 230 corresponding to the through hole 231.

그리고, 파이프(230)에 삽입되는 가이드축(210)에는 가이드축(210)의 길이방향을 따라 가이드축(210)을 관통하는 다수개의 가이드홀(211)이 형성되어 있다. In addition, the guide shaft 210 inserted into the pipe 230 has a plurality of guide holes 211 penetrating the guide shaft 210 along the longitudinal direction of the guide shaft 210.

이에, 파이프(230)에 가이드축(210)을 삽입한 상태에서, 높이조절수단(240)을 파이프(230)의 외측으로부터 관통홀(231)을 통해 가이드축(210)의 가이드홀(211)을 관통시켜, 높이조절수단(240)의 끝단부가 파이프(230)의 홈(233)에 삽입되도록 함으로써, 파이프(230) 내에서 가이드축(210)의 높이를 고정할 수 있다. Thus, in the state in which the guide shaft 210 is inserted into the pipe 230, the guide hole 211 of the guide shaft 210 through the through hole 231 from the outside of the height adjusting means 240. By passing through, the end of the height adjusting means 240 is inserted into the groove 233 of the pipe 230, it is possible to fix the height of the guide shaft 210 in the pipe 230.

여기서, 가이드축(210)의 높이 조절은 가이드축(210)에 형성된 가이드홀(211)의 개수 및 간격 등을 통해 조절할 수 있다. 이에 대해 차후 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다. Here, the height of the guide shaft 210 may be adjusted by the number and spacing of the guide holes 211 formed in the guide shaft 210. We will discuss this in more detail later.

한편, 높이조절수단(240)은 머리부가 구비된 핀 형상으로 이루어지며, 핀의 외주면에는 탄성력을 제공하는 스프링(250)이 끼워져 구성되는데, 스프링(250)의 탄성력에 의해 높이조절수단(240)은 별도의 압력을 가하지 않아도, 손쉽게 높이조절수단(240)이 가이드축(210)의 가이드홀(211)을 관통 삽입되도록 할 수 있다. On the other hand, the height adjusting means 240 is made of a pin shape provided with a head, the outer circumferential surface of the pin is provided with a spring 250 for providing an elastic force, the height adjusting means 240 by the elastic force of the spring 250 The height adjustment means 240 can be easily inserted through the guide hole 211 of the guide shaft 210 without applying a separate pressure.

이때, 파이프(230)의 관통홀(231)의 내측으로는 걸림부(236)가 형성되어, 높이조절수단(240)의 핀의 외주면에 끼워져 구성된 스프링(250)에 선택적으로 탄성력을 부여한다. At this time, the engaging portion 236 is formed inside the through hole 231 of the pipe 230, and selectively provides elastic force to the spring 250 that is fitted to the outer circumferential surface of the pin of the height adjusting means 240.

즉, 가이드축(210)의 높이를 조절하기 위하여, 사용자가 높이조절수단(240)에 외력을 가하여 잡아당기면 높이조절수단(240)은 파이프(230)의 외측으로 전진됨과 동시에 스프링(250)은 관통홀(231)의 걸림부(236)에 의해 압착된다. That is, in order to adjust the height of the guide shaft 210, when the user pulls by applying an external force to the height adjusting means 240, the height adjusting means 240 is advanced to the outside of the pipe 230 and at the same time the spring 250 It is compressed by the locking portion 236 of the through hole 231.

이 상태에서 가이드축(210)을 조절하여 원하는 높이에 맞춘 다음 가이드축(210)의 가이드홀(211)과 파이프(230)의 관통홀(231)을 수평상태로 일치시킨 후, 높이조절수단(240)에 가해진 외력을 제거하면 스프링(250)으로부터 탄성력을 제공받은 높이조절수단(240)이 파이프(230)의 홈(233) 측으로 후진하면서 가이드축(210)의 가이드홀(211)을 관통하게 되고 높이조절수단(240)의 일끝단이 파이프(230)의 홈(233)에 삽입된다. After adjusting the guide shaft 210 in this state to the desired height and then match the guide hole 211 of the guide shaft 210 and the through hole 231 of the pipe 230 in a horizontal state, the height adjusting means ( When the external force applied to the 240 is removed, the height adjusting means 240, which is provided with the elastic force from the spring 250, retreats to the groove 233 side of the pipe 230 and passes through the guide hole 211 of the guide shaft 210. One end of the height adjusting means 240 is inserted into the groove 233 of the pipe 230.

이를 통해, 가이드축(210)은 높이조절수단(240)에 지지되어 승하강되지 않도록 고정된다. Through this, the guide shaft 210 is fixed so as not to be raised and lowered by the height adjusting means 240.

이때, 파이프(230)의 일측에는 가이드축(210)의 유동성을 보다 안정적으로 지지하기 위하여, 멈춤볼트(260)를 구비하는 것이 바람직하다. At this time, one side of the pipe 230, in order to more stably support the fluidity of the guide shaft 210, it is preferable to have a stop bolt 260.

멈춤볼트(260)는 파이프(230)에 형성된 멈춤볼트홀(235)에 끼워진 후, 가이드축(210)이 적정높이로 조절이 되면 그 위치에서 더 이상의 유동성을 가지지 못하게 가이드축(210)의 일측을 고정하게 된다.The stop bolt 260 is inserted into the stop bolt hole 235 formed in the pipe 230, and when the guide shaft 210 is adjusted to an appropriate height, one side of the guide shaft 210 does not have any fluidity at that position. Will be fixed.

이때, 멈춤볼트(260)는 크게 헤드부분과 이의 전면으로 돌출된 환봉 형상의 샤프트로 구분될 수 있는데, 헤드는 사용자가 손쉽게 조이거나 풀 수 있도록 나비형상을 갖도록 형성되며, 샤프트 외면을 따라서는 적어도 하나 이상의 나선형상 홈이 파여 나사산을 형성하고 있다. At this time, the stop bolt 260 may be largely divided into a head portion and an annular shaft projecting toward the front thereof, the head is formed to have a butterfly shape so that the user can easily tighten or loosen, at least along the outer surface of the shaft One or more helical grooves are dug to form threads.

그리고, 멈춤볼트홀(235) 내면을 따라서는 멈춤볼트(260)의 샤프트 외면에 형성된 나사산과 맞물리는 나사홈이 형성되어 있다.In addition, along the inner surface of the stop bolt hole 235, a screw groove is formed to engage with a thread formed on the outer surface of the shaft of the stop bolt 260.

따라서, 멈춤볼트(260)는 파이프(230)의 외측으로부터 멈춤나사홀(235)을 통해 파이프(230)의 내측으로 샤프트의 말단부터 삽입되도록 하여, 샤프트가 가이드축(210)에 외력을 가하게 된다. Accordingly, the stop bolt 260 is inserted from the end of the shaft into the inside of the pipe 230 through the stop screw hole 235 from the outside of the pipe 230, so that the shaft exerts an external force on the guide shaft 210. .

따라서, 높이가 고정된 가이드축(210)은 멈춤볼트(260)를 통해 보다 안정적으로 지지된다. Thus, the guide shaft 210 fixed in height is more stably supported by the stop bolt 260.

이렇게, 가이드축(210)의 높낮이를 조절함으로써, 가이드축(210)에 둘러 장착된 가이드회전롤러(220)를 많은 면적에 걸쳐 사용할 수 있다.In this way, by adjusting the height of the guide shaft 210, the guide rotary roller 220 mounted around the guide shaft 210 can be used over a large area.

즉, 본 발명은 기판 이송용 트랙(도 2의 100)을 통해 이동중인 기판(도 3의 102)을 가이드하는 과정에서 가이드회전롤러(220)의 특정지점에 흠집이 발생되어도 가이드축(210)의 높이 조절을 통해 흠집이 발생되지 않은 가이드회전롤러(220)의 특정지점을 통해 기판(도 3의 102)을 가이드하도록 할 수 있다. That is, the present invention guides the guide shaft 210 even if a scratch is generated at a specific point of the guide rotating roller 220 in the process of guiding the substrate (102 in FIG. 3) moving through the substrate transfer track (100 in FIG. 2). By adjusting the height of the guide rotation roller 220 that is not generated scratches can be guided to the substrate (102 of FIG. 3).

이에, 기판(도 3의 102)을 이송하는 과정에서 가이드회전롤러(220)의 특정지점에 흠집이 발생될 경우, 가이드롤러(200) 전체를 교체해야만 했던 기존에 비해 본 발명은 가이드롤러(200)의 교체주기를 줄일 수 있다. Thus, when a scratch is generated at a specific point of the guide rotating roller 220 in the process of transferring the substrate (102 in Figure 3), the present invention compared to the guide roller 200 had to replace the entire guide roller 200 Can reduce the replacement cycle.

따라서, 비용의 낭비를 줄일 수 있으며, 가이드롤러(200) 교체에 따른 공정의 효율성을 향상시키게 된다. Therefore, it is possible to reduce the waste of the cost, thereby improving the efficiency of the process according to the guide roller 200 replacement.

특히, 가이드회전롤러(220)의 기판(도 3의 102)과 직접적으로 맞닿는 캡(223)만을 별도로 분리하여 교체할 수 있으므로, 위와 같은 효과를 더욱 극대화할 수 있다. In particular, since only the cap 223 directly contacting the substrate (102 of FIG. 3) of the guide rotating roller 220 can be separated and replaced separately, the above effects can be further maximized.

도 5a ~ 5d는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 가이드롤러의 높이조절 모습을 개략적으로 도시한 단면도이다. 5a to 5d are cross-sectional views schematically showing the height adjustment of the guide roller according to the first embodiment of the present invention.

도시한 바와 같이, 가이드축(210)에 형성된 가이드홀(211a, 211b, 211c, 211d)을 통해 제 1 내지 제 4 단계로 가이드회전롤러(220)의 높이를 조절할 수 있다. As shown, the height of the guide rotation roller 220 in the first to fourth steps can be adjusted through the guide holes (211a, 211b, 211c, 211d) formed in the guide shaft 210.

즉, 도 5a에 도시한 바와 같이, 높이조절수단(240)에 외력을 가해 높이조절수단(240)을 파이프(230)의 외측으로 뺀 후, 가이드축(210)의 제 1 가이드홀(211a)이 파이프(230)의 관통홀(231)과 수평상태로 일치시킨 후, 높이조절수단(240)에 가해진 외력을 제거하여 높이조절수단(240)이 가이드축(210)의 제 1가이드홀(211a)을 관통하여 높이조절수단(240)의 일끝단이 파이프(230)의 내측 홈(233)에 삽입되도록 함으로써, 가이드회전롤러(220)를 제 1 단계의 높이로 조절하게 된다. That is, as shown in Figure 5a, by applying an external force to the height adjusting means 240 to remove the height adjusting means 240 to the outside of the pipe 230, the first guide hole (211a) of the guide shaft 210 After matching the through-hole 231 of the pipe 230 in a horizontal state, the external force applied to the height adjusting means 240 is removed so that the height adjusting means 240 is the first guide hole 211a of the guide shaft 210. One end of the height adjusting means 240 is inserted into the inner groove 233 of the pipe 230, thereby adjusting the guide rotating roller 220 to the height of the first step.

이후, 멈춤볼트(260)를 조여 가이드축(210)을 지지하도록 한다. Thereafter, the stop bolt 260 is tightened to support the guide shaft 210.

이때, 높이조절수단(240)은 스프링(250)에 의해 별도의 압력을 가하지 않아도, 손쉽게 제 1 가이드홀(211a)을 관통하게 된다. At this time, the height adjusting means 240 easily penetrates through the first guide hole 211a without applying a separate pressure by the spring 250.

따라서, 제 1 단계로 높이 조절된 가이드롤러(200)는 기판(102)을 가이드하는 과정에서 가이드회전롤러(220)의 제 1 영역(A)이 기판(102)과 접촉된다. Therefore, in the guide roller 200 having the height adjusted in the first step, the first region A of the guide rotating roller 220 is in contact with the substrate 102 in the process of guiding the substrate 102.

이후, 가이드회전롤러(220)의 제 1 영역(A)에 점 또는 선 형태의 흠집이 발생하게 되면, 도 5b에 도시한 바와 같이, 높이조절수단(240)이 가이드축(210)의 제 2 가이드홀(211b)을 관통하도록 하여, 가이드회전롤러(220)를 제 2 단계의 높이로 조절한다. Thereafter, when a point or line flaw is generated in the first area A of the guide rotating roller 220, as shown in FIG. 5B, the height adjusting means 240 is the second of the guide shaft 210. The guide rotating roller 220 is adjusted to the height of the second step by passing through the guide hole 211b.

이때, 기판(102)은 가이드회전롤러(220)의 제 2 영역(B)과 접촉된다. At this time, the substrate 102 is in contact with the second region B of the guide rotating roller 220.

그리고, 가이드회전롤러(220)의 제 2 영역(B)에도 흠집이 발생하게 되면 도 5c ~ 5d에 도시한 바와 같이, 가이드회전롤러(220)를 제 3 및 제 4 가이드홀(211c, 211d)을 통해 제 3, 제 4 단계로 높이를 조절함으로써, 기판(102)은 가이드회전롤러(220)의 제 3 영역(C), 제 4 영역(D)과 접촉되도록 한다. If a scratch occurs in the second region B of the guide rotating roller 220, as shown in FIGS. 5C to 5D, the guide rotating roller 220 is formed in the third and fourth guide holes 211c and 211d. By adjusting the height in the third and fourth steps through, the substrate 102 is in contact with the third region (C), the fourth region (D) of the guide rotary roller 220.

전술한 바와 같이, 본 발명의 가이드롤러(200)는 가이드회전롤러(220)의 높낮이를 조절할 수 있으므로, 가이드회전롤러(220)를 보다 넓은 면적에 걸쳐 사용할 수 있으므로, 가이드롤러(200)의 교체주기를 줄일 수 있다. As described above, since the guide roller 200 of the present invention can adjust the height of the guide rotary roller 220, since the guide rotary roller 220 can be used over a larger area, the replacement of the guide roller 200 The cycle can be reduced.

따라서, 비용의 낭비를 줄일 수 있으며, 가이드롤러(200) 교체에 따른 공정의 효율성을 향상시키게 된다. Therefore, it is possible to reduce the waste of the cost, thereby improving the efficiency of the process according to the guide roller 200 replacement.

또한, 가이드회전롤러(220)의 캡(223)과 회전부(221) 사이에 실리콘러버(225)를 더욱 구비함으로써, 가이드회전롤러(220)와 기판(102)과의 충돌에 의해 발생되는 충격을 흡수하게 됨으로써, 기판(102)으로 충격이 전달되는 것을 방지하게 된다. In addition, by further providing a silicon rubber 225 between the cap 223 and the rotating portion 221 of the guide rotating roller 220, the impact generated by the collision between the guide rotating roller 220 and the substrate 102 is reduced. By absorbing, the shock is prevented from being transmitted to the substrate 102.

또한, 가이드회전롤러(220)의 캡(223)만을 분리하여 교체할 수 있어, 위와 같은 효과를 보다 극대화시킬 수 있다.
In addition, only the cap 223 of the guide rotating roller 220 can be removed and replaced, thereby maximizing the above effects.

-제 2 실시예-- Second Embodiment -

도 6a는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 가이드회전롤러를 개략적으로 도시한 분해사시도이며, 도 6b는 도 6a의 결합된 가이드회전롤러의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다. Figure 6a is an exploded perspective view schematically showing a guide rotary roller according to a second embodiment of the present invention, Figure 6b is a cross-sectional view schematically showing a cross section of the combined guide rotary roller of Figure 6a.

도시한 바와 같이, 가이드회전롤러(320)는 가이드축(210)과 연결되는 회전부(321)와 회전부(321)의 외주면에 형성되어 기판(도 3의 102)과 직접적으로 맞닿는 캡(323)으로 이루어진다. As shown, the guide rotary roller 320 is formed on the outer peripheral surface of the rotating part 321 and the rotating part 321 connected to the guide shaft 210 as a cap 323 directly in contact with the substrate (102 in Figure 3) Is done.

여기서, 회전부(321)는 중앙에 통공이 형성된 원통형상의 내륜(321a)과 내륜(321a)의 외주면에 형성되는 외륜(321b)으로 이루어지며, 이때, 내륜(321a)의 통공에 가이드축(210)이 삽입된다. Here, the rotating part 321 is composed of a cylindrical inner ring 321a having a hole formed in the center and an outer ring 321b formed on the outer circumferential surface of the inner ring 321a, wherein the guide shaft 210 is formed in the through hole of the inner ring 321a. Is inserted.

이러한 내륜(321a)과 외륜(321b) 사이에는 베어링(321c)이 개재되며, 베어링(321c)에 의해 외륜(321b)과 내륜(321a)은 서로의 회전에 대해 간섭받지 않고 서로 독립적으로 회전하게 된다. A bearing 321c is interposed between the inner ring 321a and the outer ring 321b, and the outer ring 321b and the inner ring 321a are rotated independently of each other without being interfered with each other by the bearing 321c. .

이러한, 내륜(321a)과 외륜(321b)의 회전에 의해 가이드회전롤러(320)가 가이드축(210)을 기준으로 회전하게 되는 것이다. 이때, 내륜(321a)과 외륜(321b) 간에 마찰에 의한 마모 및 열변형이 방지되도록 윤활유(미도시)가 주입될 수 있다. By the rotation of the inner ring 321a and the outer ring 321b, the guide rotating roller 320 is rotated based on the guide shaft 210. In this case, lubricating oil (not shown) may be injected to prevent wear and thermal deformation due to friction between the inner ring 321a and the outer ring 321b.

여기서, 외륜(321b)과 내륜(321a) 사이의 베어링(321c)은 볼 형상의 세라믹재질로 이루어지는데, 이러한 베어링(321c)에 의해 가이드회전롤러(320)가 이송되는 기판(도 3의 102)을 가이드하는 과정에서 가이드회전롤러(320)와 기판(도 3의 102)과의 충돌에 의해 발생되는 충격을 그대로 기판(도 3의 102)에 전달하게 된다. Here, the bearing 321c between the outer ring 321b and the inner ring 321a is made of a ceramic material having a ball shape, and the substrate to which the guide rotating roller 320 is transferred by the bearing 321c (102 in FIG. 3). In the process of guiding the shock generated by the collision between the guide rotation roller 320 and the substrate (102 of FIG. 3) is transferred to the substrate (102 of FIG. 3) as it is.

이로 인하여, 기판(도 3의 102)의 파손이 발생할 수 있는데, 본 발명은 기판(도 3의 102)과 직접적으로 맞닿는 캡(323)과 외륜(321b) 사이에 실리콘러버(325)를 더욱 구비하여, 기판(도 3의 102)의 파손을 방지하는 것을 특징으로 한다. As a result, breakage of the substrate (102 in FIG. 3) may occur, and the present invention further includes a silicon rubber 325 between the cap 323 and the outer ring 321b that directly contact the substrate (102 in FIG. 3). This prevents damage to the substrate (102 in FIG. 3).

즉, 실리콘러버(325)는 가이드회전롤러(320)와 기판(도 3의 102)과의 충돌에 의해 발생되는 충격을 흡수하게 됨으로써, 기판(도 3의 102)으로 충격이 전달되는 것을 방지하게 된다. That is, the silicon rubber 325 absorbs the shock generated by the collision between the guide rotation roller 320 and the substrate (102 of FIG. 3), thereby preventing the impact from being transmitted to the substrate (102 of FIG. 3). do.

따라서, 가이드회전롤러(320)에 의한 기판(도 3의 102)의 파손을 방지할 수 있게 되는 것이다. Therefore, it is possible to prevent the breakage of the substrate (102 in FIG. 3) by the guide rotating roller 320.

한편, 가이드회전롤러(320)는 기판(도 3의 102)과의 충돌에 의해 캡(323)의 흔들림이 발생할 수 있으며, 이를 통해 캡(323)이 회전부(321)로부터 쉽게 분리될 수 있다. 따라서, 이를 해결하기 위하여 캡(323)과 회전부(321)에는 서로를 조립 체결하기 위한 체결부(327a, 327b, 329a, 329b, 329c, 329d)가 마련되는 것이 바람직하다. On the other hand, the guide rotation roller 320 may be shaken of the cap 323 by the collision with the substrate (102 in Figure 3), through which the cap 323 can be easily separated from the rotating part 321. Therefore, in order to solve this problem, the cap 323 and the rotating part 321 may be provided with fastening parts 327a, 327b, 329a, 329b, 329c, and 329d for assembling and fastening each other.

이때, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 체결부(327a, 327b, 329a, 329b, 329c, 329d)는 캡(323)에 형성되는 제 1및 제 2 돌출턱(329a, 329b)과 제 1및 제 2 결합홈(329c, 329d)과 외륜(321b)에 캡(323)의 제 1 및 제 2 돌출턱(329a, 329b)이 끼움 삽입되는 걸림홈(327b)과 캡(323)의 제 1 및 제 2 결합홈(329c, 329d)에 끼움 삽입되는 돌출부(327a)로 이루어진다. In this case, the fastening parts 327a, 327b, 329a, 329b, 329c, and 329d according to the second embodiment of the present invention may include the first and second protruding jaws 329a and 329b and the first and second protrusions formed in the cap 323. The first and second locking grooves 327b and the cap 323, into which the first and second protruding jaws 329a and 329b of the cap 323 are inserted and inserted into the second coupling grooves 329c and 329d and the outer ring 321b. The protrusion 327a is inserted into the second coupling grooves 329c and 329d.

이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 외륜(321b)을 향하는 캡(323)의 내주면에는 캡(323)의 길이방향을 따라 상하부측에 각각 제 1 및 제 2 돌출턱(329a, 329b)과 제 1 및 제 2 결합홈(329c, 329d)이 형성되어 있다. In more detail, on the inner circumferential surface of the cap 323 facing the outer ring 321b, the first and second protruding jaws 329a and 329b and the first and second are respectively located on the upper and lower sides along the longitudinal direction of the cap 323. Coupling grooves 329c and 329d are formed.

즉, 캡(323)의 내주면 상부측에는 제 1 돌출턱(329a)과 제 1 결합홈(329c)이 형성되어 있으며, 캡(323)의 내주면 하부측에는 제 2 돌출턱(329b)과 제 2 결합홈(329d)이 형성되어 있다.That is, the first projection jaw 329a and the first coupling groove 329c are formed on the upper side of the inner peripheral surface of the cap 323, and the second projection jaw 329b and the second coupling groove are formed on the lower side of the inner peripheral surface of the cap 323. 329d is formed.

그리고, 외륜(321b)의 외주면의 길이방향의 하부측에는 캡(323)의 내주면에 형성된 제 1 및 제 2 결합홈(329c, 329d) 중 하나에 끼움 삽입되는 돌출부(327a)와 캡(323)의 내주면에 형성된 제 1 및 제 2 돌출턱(329a, 329b) 중 하나가 끼움 삽입되는 걸림홈(327b)이 형성되어 있다. Then, the lower side of the outer peripheral surface of the outer ring 321b in the longitudinal direction of the protrusion 327a and the cap 323 inserted into one of the first and second coupling grooves 329c and 329d formed on the inner circumferential surface of the cap 323. A locking groove 327b into which one of the first and second protruding jaws 329a and 329b formed on the inner circumferential surface is inserted is formed.

즉, 회전부(321)의 외륜(321b)과 캡(323)은 외륜(321b)의 하부측에서 형성된 돌출부(327a)와 걸림홈(327b)에 캡(323)의 제 1 및 제 2 돌출턱(329a, 329b) 중 하나와 제 1 및 제 2 결합홈(329c, 329d) 중 하나를 각각 끼움 삽입함으로써, 서로 조립 체결된다. That is, the outer ring 321b and the cap 323 of the rotating part 321 may have the first and second protruding jaws of the cap 323 in the protrusion 327a and the locking groove 327b formed at the lower side of the outer ring 321b. By inserting one of the 329a and 329b and one of the first and the second coupling grooves 329c and 329d, respectively, it is assembled and fastened to each other.

이를 통해, 캡(323)은 가이드회전롤러(320)와 기판(도 3의 102)과의 충돌에 의해 흔들림이 발생하여도, 회전부(321)로부터 쉽게 분리되지 않는다. Through this, the cap 323 is not easily separated from the rotating part 321 even if shaking occurs due to the collision between the guide rotating roller 320 and the substrate (102 of FIG. 3).

특히, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 가이드회전롤러(320)는 캡(323)의 상하부에 회전부(321)와의 체결을 위한 제 1 및 제 2 돌출턱(329a, 329b)과 제 1 및 제 2 결합홈(329c, 329d)을 형성함으로써, 가이드회전롤러(320)의 사용주기를 늘릴 수 있다. In particular, the guide rotary roller 320 according to the second embodiment of the present invention is the first and second protruding jaw (329a, 329b) and the first and second for fastening with the rotating part 321 in the upper and lower portions of the cap 323 By forming two coupling grooves 329c and 329d, the period of use of the guide rotating roller 320 can be increased.

즉, 가이드회전롤러(320)의 캡(323)은 폴리에테르에테르케톤(PEEK) 등의 합성 수지 재질로 마련되는데, 이렇듯 캡(323)이 합성 수지 재질로 마련되기 때문에, 기판 이송용 트랙(도 2의 100)을 통해 이동중인 기판(도 3의 102)을 가이드하는 과정에서 가이드회전롤러(320)의 캡(323)은 기판(도 3의 102)의 측면을 지지할 때 기판(도 3의 102)과의 접촉에 의해 마모될 수 있다. That is, the cap 323 of the guide rotary roller 320 is made of a synthetic resin material such as polyether ether ketone (PEEK), as described above, because the cap 323 is made of a synthetic resin material, the track for transporting the substrate (Fig. In the process of guiding the substrate (102 of FIG. 3) moving through 100 of 2, the cap 323 of the guide rotating roller 320 supports the side surface of the substrate (102 of FIG. 3). May be worn by contact with 102).

이 경우, 가이드회전롤러(320)를 주기적으로 교체해 주어야 하나, 본 발명의 가이드회전롤러(320)는 기판(도 3의 102)과 접촉되는 캡(323)의 위치를 변경할 수 있어, 캡(323)의 사용주기를 늘릴 수 있는 것이다. In this case, the guide rotation roller 320 should be replaced periodically, the guide rotation roller 320 of the present invention can change the position of the cap 323 in contact with the substrate (102 in FIG. 3), the cap 323 ) Can increase the frequency of use.

즉, 가이드회전롤러(320)의 캡(323)의 제 1 돌출턱(329a) 및 제 1 결합홈(329c)과 외륜(321b)의 돌출부(327a) 및 걸림홈(327b)이 조립 체결되도록 하거나, 또는 캡(323)의 제 2 돌출턱(329b) 및 제 2 결합홈(329d)과 외륜(321b)의 돌출부(327a) 및 걸림홈(327b)이 조립 체결되도록 함으로써, 기판(도 3의 102)과 캡(323)이 접촉되는 위치를 변경할 수 있는 것이다. That is, the first protruding jaw 329a and the first coupling groove 329c of the cap 323 of the guide rotating roller 320 and the protrusion 327a and the locking groove 327b of the outer ring 321b are assembled or fastened. Alternatively, the substrate (102 of FIG. 3) is formed by assembling and engaging the second protruding jaw 329b and the second coupling groove 329d of the cap 323 with the protrusion 327a and the locking groove 327b of the outer ring 321b. ) And the position where the cap 323 is in contact.

따라서, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 가이드회전롤러(320)는 보다 넓은 면적에 걸쳐 사용할 수 있어, 가이드롤러(200)의 교체주기를 줄일 수 있다. Therefore, the guide rotary roller 320 according to the second embodiment of the present invention can be used over a larger area, it is possible to reduce the replacement cycle of the guide roller 200.

이에 대해 도 7a ~ 7b를 참조하여 좀더 자세히 살펴보면, 도 7a에 도시한 바와 같이 캡(323)의 제 1 돌출턱(329a) 및 제 1 결합홈(329c)과 외륜(321b)의 돌출부(327a) 및 걸림홈(327b)이 조립 체결되도록 함으로써, 캡(323)의 S 영역이 상부로 향하도록 캡(323)이 회전부(321)와 조립 체결되어 있을 경우, 기판(도 3의 102)을 가이드하는 과정에서 캡(323)의 제 1 영역(A')이 기판(도 3의 102)과 접촉된다. 7A to 7B, the protrusion 327a of the first protruding jaw 329a and the first coupling groove 329c and the outer ring 321b of the cap 323 is illustrated in FIG. 7A. And the locking groove 327b is assembled and fastened to guide the substrate (102 of FIG. 3) when the cap 323 is assembled and fastened to the rotating part 321 so that the S region of the cap 323 faces upward. In the process, the first region A ′ of the cap 323 is in contact with the substrate 102 of FIG. 3.

이후, 캡(323)의 제 1 영역(A')에 점 또는 선 형태의 흠집이 발생하게 되면, 도 7b에 도시한 바와 같이, 캡(323)의 제 2 돌출턱(329b) 및 제 2 결합홈(329d)과 외륜(321b)의 돌출부(327a) 및 걸림홈(327b)이 조립 체결되도록 함으로써, 캡(323)의 S 영역이 하부로 향하도록 캡(323)을 회전부(321)와 조립 체결한다. Subsequently, when a point or line flaw occurs in the first area A 'of the cap 323, as shown in FIG. 7B, the second protruding jaw 329b and the second coupling of the cap 323 are formed. By assembling and engaging the protrusion 327a and the locking groove 327b of the groove 329d with the outer ring 321b, the cap 323 is assembled with the rotary part 321 so that the S region of the cap 323 faces downward. do.

따라서, 기판(도 3의 102)을 가이드하는 과정에서 기판(도 3의 102)은 캡(323)의 제 2 영역(B')과 접촉하게 된다. Therefore, in the process of guiding the substrate 102 of FIG. 3, the substrate 102 102 is in contact with the second region B ′ of the cap 323.

전술한 바와 같이, 본 발명의 가이드롤러(200)는 기판(도 3의 102)과 접촉하는 캡(323)의 위치를 변경하여 기판(도 3의 102)을 가이드할 수 있으므로, 가이드회전롤러(320)를 보다 넓은 면적에 걸쳐 사용할 수 있으므로, 가이드롤러(200)의 교체주기를 줄일 수 있다. As described above, the guide roller 200 of the present invention can guide the substrate (102 of FIG. 3) by changing the position of the cap 323 in contact with the substrate (102 of FIG. 3). 320 can be used over a larger area, it is possible to reduce the replacement cycle of the guide roller 200.

따라서, 비용의 낭비를 줄일 수 있으며, 가이드롤러(200) 교체에 따른 공정의 효율성을 향상시키게 된다. Therefore, it is possible to reduce the waste of the cost, thereby improving the efficiency of the process according to the guide roller 200 replacement.

그리고, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 가이드회전롤러(320)는 캡(323)과 회전부(321)를 쉽게 분리할 수 있으므로, 마모된 캡(323)만을 분리하여 교체할 수 있게 됨으로써, 가이드롤러(200)의 유지 보수 비용을 절감시킬 수 있어, 위와 같은 효과를 더욱 극대화할 수 있다. 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
And, since the guide rotating roller 320 according to the second embodiment of the present invention can easily separate the cap 323 and the rotating part 321, it is possible to separate and replace only the worn cap 323, the guide Maintenance cost of the roller 200 can be reduced, thereby further maximizing the above effects. The invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the invention.

200 : 가이드롤러, 210 : 가이드축, 211 : 가이드홀
220 : 가이드회전롤러, 221 : 회전부(221a : 내륜, 221b : 외륜, 221c : 베어링)
223 : 캡, 225 : 실리콘러버
227 : 스냅링
230: 파이프, 231 : 관통홀, 233 : 홈, 235 : 멈춤볼트홀, 236 : 걸림부
240 : 높이조절수단, 250 : 스프링, 260 : 멈춤볼트
200: guide roller, 210: guide shaft, 211: guide hole
220: guide rotating roller, 221: rotating part (221a: inner ring, 221b: outer ring, 221c: bearing)
223: cap, 225: silicon rubber
227 snap ring
230: pipe, 231: through hole, 233: groove, 235: stop bolt hole, 236: locking portion
240: height adjustment means, 250: spring, 260: stop bolt

Claims (16)

나란하게 배열되며, 각각 복수개의 회전롤러가 장착된 다수의 샤프트축과;
서로 이웃하는 상기 샤프트축의 사이에 구성되며, 일정간 간격을 두고 길이방향을 따라 형성된 복수개의 가이드홀이 구비된 가이드축과 상기 가이드축에 둘러 장착되는 가이드회전롤러와, 그리고 상기 가이드축이 삽입되며 관통홀이 형성된 파이프와 상기 관통홀과 상기 가이드홀을 관통하여, 상기 가이드축의 높이를 조절하는 높이조절수단을 포함하는 가이드롤러
를 포함하는 기판 이송용 트랙.
A plurality of shaft shafts arranged side by side and equipped with a plurality of rotary rollers, respectively;
Comprising between the shaft shafts adjacent to each other, the guide shaft with a plurality of guide holes formed in the longitudinal direction at intervals of a certain interval, and a guide rotating roller mounted around the guide shaft, and the guide shaft is inserted A guide roller including a height adjusting means for adjusting a height of the guide shaft through a pipe having a through hole and the through hole and the guide hole;
Substrate transfer track comprising a.
제 1 항에 있어서,
상기 가이드회전롤러는 상기 가이드축과 연결되는 내륜과, 상기 내륜의 외주면에 형성되는 외륜과, 그리고 상기 내륜 및 상기 외륜 사이에 개재되는 베어링으로 이루어지며, 상기 외륜의 외측에는 기판과 집적으로 맞닿는 캡이 형성되며, 상기 외륜과 상기 캡 사이에는 실리콘러버가 개재되는 기판 이송용 트랙.
The method of claim 1,
The guide rotating roller is composed of an inner ring connected to the guide shaft, an outer ring formed on an outer circumferential surface of the inner ring, and a bearing interposed between the inner ring and the outer ring, and an outer cap of the outer ring which contacts the substrate. And a silicon rubber is interposed between the outer ring and the cap.
제 2 항에 있어서,
상기 캡은 상기 가이드회전롤러로부터 탈부착이 가능한 기판 이송용 트랙.
The method of claim 2,
The cap is a substrate transfer track detachable from the guide rotation roller.
제 1 항에 있어서,
상기 가이드축은 상기 파이프의 길이방향을 따라 상하로 승강운동하는 기판 이송용 트랙.
The method of claim 1,
And the guide shaft moves up and down along the longitudinal direction of the pipe.
제 1 항에 있어서,
상기 관통홀에 대응되는 상기 파이프의 내측면에는 상기 높이조절수단의 일끝단이 삽입되는 홈이 형성되는 기판 이송용 트랙.
The method of claim 1,
And a groove into which one end of the height adjusting means is inserted in an inner surface of the pipe corresponding to the through hole.
제 1 항에 있어서,
상기 높이조절수단이 삽입되는 상기 관통홀의 입구에는 걸림부가 구성된 기판 이송용 트랙.
The method of claim 1,
The substrate transfer track is configured with a locking portion at the inlet of the through hole into which the height adjustment means is inserted.
제 6 항에 있어서,
상기 높이조절수단은 머리부가 구비된 핀 형상이며, 상기 핀의 외주면에는 스프링이 끼워진 기판 이송용 트랙.
The method according to claim 6,
The height adjustment means is a pin-shaped with a head, the substrate transfer tracks are fitted with a spring on the outer peripheral surface of the pin.
제 7 항에 있어서,
상기 스프링은 상기 높이조절수단에 외력을 가해 상기 파이프의 외측으로 잡아 당길 때 상기 걸림부에 의해 압착되며, 상기 높이조절수단에 가해진 외력이 제거되면 상기 스프링의 탄성력에 의해 상기 높이조절수단이 상기 가이드홀을 관통하는 기판 이송용 트랙.
The method of claim 7, wherein
The spring is squeezed by the locking part when the spring is pulled out of the pipe by applying external force to the height adjusting means, and when the external force applied to the height adjusting means is removed, the height adjusting means is guided by the elastic force of the spring. Track for transporting substrate through holes.
제 1 항에 있어서,
상기 파이프에는 멈춤볼트가 구비되어, 상기 멈춤볼트의 일끝단은 상기 파이프에 구비된 멈춤볼트홀을 통해 상기 파이프에 삽입되어 있는 상기 가이드축에 외력을 가하는 기판 이송용 트랙.
The method of claim 1,
The pipe is provided with a stop bolt, one end of the stop bolt is a substrate transfer track for applying an external force to the guide shaft inserted into the pipe through the stop bolt hole provided in the pipe.
제 1 항에 있어서,
상기 가이드축의 높이에 의해 상기 가이드회전롤러와 기판이 서로 접촉되는 영역이 달라지는 기판 이송용 트랙.
The method of claim 1,
And a region for transferring the guide roller and the substrate in contact with each other by the height of the guide shaft.
나란하게 배열되며, 각각 복수개의 회전롤러가 장착된 다수의 샤프트축과;
서로 이웃하는 상기 샤프트축의 사이에 구성되며, 일정간 간격을 두고 길이방향을 따라 형성된 가이드축과 상기 가이드축에 둘러 장착되며, 상기 가이드축에 둘러 장착되는 가이드회전롤러를 포함하는 가이드롤러
를 포함하며, 상기 가이드회전롤러는 탈부착에 의해 상부 또는 하부가 기판과 접촉되는 캡을 포함하는 기판 이송용 트랙.
A plurality of shaft shafts arranged side by side and equipped with a plurality of rotary rollers, respectively;
Guide rollers are formed between the adjacent shaft shafts, the guide shaft is formed around the guide shaft and the guide shaft formed in the longitudinal direction at intervals of a predetermined interval, and including a guide rotating roller mounted around the guide shaft.
And a guide rotating roller including a cap on which the upper or lower part is in contact with the substrate by detachment.
제 11 항에 있어서,
상기 가이드회전롤러는 상기 가이드축과 연결되는 내륜과, 상기 내륜의 외주면에 형성되는 외륜과, 그리고 상기 내륜 및 상기 외륜 사이에 개재되는 베어링으로 이루어지며, 상기 외륜이 외측에는 상기 기판과 집적으로 맞닿는 상기 캡을 포함하며, 상기 외륜과 상기 캡 사이에는 실리콘러버가 개재되는 기판 이송용 트랙.
The method of claim 11,
The guide rotating roller is composed of an inner ring connected to the guide shaft, an outer ring formed on an outer circumferential surface of the inner ring, and a bearing interposed between the inner ring and the outer ring, and the outer ring is in contact with the substrate on the outside. And a cap, wherein a silicon rubber is interposed between the outer ring and the cap.
제 12 항에 있어서,
상기 캡과 상기 외륜의 체결부위를 통해 상기 기판과 상기 캡이 접촉되는 영역이 달라지는 기판 이송용 트랙.
The method of claim 12,
The substrate transfer track, the area where the substrate and the cap is in contact with each other through the fastening portion of the cap and the outer ring.
제 12 항에 있어서,
상기 캡의 내주면에는 상기 캡의 길이방향의 상부측에 제 1 돌출턱이 형성되어 있으며, 상기 캡의 길이방향의 하부측에 제 2 돌출턱이 형성되어 있으며, 상기 외륜의 외주면의 길이방향의 하부측에 상기 제 1 돌출턱 또는 상기 제 2 돌출턱이 끼움 삽입되는 걸림홈이 형성된 기판 이송용 트랙.
The method of claim 12,
A first protruding jaw is formed on an inner circumferential surface of the cap in the upper side in the longitudinal direction of the cap, and a second protruding jaw is formed on a lower side in the longitudinal direction of the cap, and a lower portion in the longitudinal direction of the outer circumferential surface of the outer ring The substrate transport track is formed with a locking groove in which the first projection jaw or the second projection jaw is inserted.
제 13 항에 있어서,
상기 캡의 제 1 돌출턱이 상기 외륜의 상기 걸림홈에 끼움 삽입될 경우, 상기 캡의 A 영역은 상부측에 위치하며, 상기 제 2 돌출턱이 상기 외륜의 상기 걸림홈에 끼움 삽입될 경우, 상기 캡의 A 영역은 하부측에 위치하는 기판 이송용 트랙.
The method of claim 13,
When the first protruding jaw of the cap is inserted into the locking groove of the outer ring, the A region of the cap is located on the upper side, and when the second protruding jaw is fitted into the locking groove of the outer ring, A region of the cap is a track for transporting the substrate located on the lower side.
제 12 항에 있어서,
상기 캡의 내주면에는 상기 캡의 길이방향의 상부측에 제 1 결합홈이 형성되어 있으며, 상기 캡의 길이방향의 하부측에 제 2 결합홈이 형성되어 있으며, 상기 외륜의 외주면의 길이방향의 하부측에 상기 제 1 결합홈 또는 상기 제 2 결합홈에 끼움 삽입되는 돌출부가 형성된 기판 이송용 트랙.
The method of claim 12,
The inner peripheral surface of the cap has a first coupling groove is formed on the upper side in the longitudinal direction of the cap, the second coupling groove is formed on the lower side in the longitudinal direction of the cap, the lower portion in the longitudinal direction of the outer peripheral surface of the outer ring The substrate transfer track formed with a protrusion to be inserted into the first coupling groove or the second coupling groove on the side.
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