KR101365726B1

KR101365726B1 - 화학적 기계연마장치의 리테이너 링의 제조방법 및 제조금형

Info

Publication number: KR101365726B1
Application number: KR1020130130734A
Authority: KR
Inventors: 유승열
Original assignee: 유승열
Priority date: 2013-10-31
Filing date: 2013-10-31
Publication date: 2014-02-20

Abstract

본 발명은 내측링부재와 외피부재로 형성되는 리테이너 링의 성형시 원주의 뒤틀림 및 내부 균열이 없는 내측링부재의 1차 성형과 내측링부재의 외측에 수축과 균열이 없고 결합력 및 평탄도가 좋은 외피부재를 2차 성형할 수 있도록 하는 금형 구조를 제시하여 만들어진 화학적 기계연마장치의 리테이너 링의 제조방법 및 제조금형에 관한 것으로, 내측링부재 하부금형을 준비하는 단계, 내측링부재 상부금형을 준비하는 단계, 내측링부재를 성형하는 단계, 외피부재 하부금형을 준비하는 단계, 외피부재 상부금형을 준비하는 단계, 내측링부재를 쐐기식으로 설치하는 단계, 외피부재를 성형하는 단계, 탭홈을 성형하는 단계를 포함하는 리테이너 링의 제조방법을 특징으로 한다.

Description

화학적 기계연마장치의 리테이너 링의 제조방법 및 제조금형{Manufacturing method for retainer ring of chemical mechanical polishing apparatus and manufacturing mold thereof}

본 발명은 화학적 기계연마장치의 리테이너 링의 제조방법 및 제조금형에 관한 것으로, 보다 상세하게는 내측링부재와 외피부재로 형성되는 리테이너 링의 성형시 원주의 뒤틀림 및 내부 균열이 없는 내측링부재의 1차 성형과 내측링부재의 외측에 수축과 균열이 없고 결합력 및 평탄도가 좋은 외피부재를 2차 성형할 수 있도록 하는 금형 구조를 제시하여 만들어진 화학적 기계연마장치의 리테이너 링의 제조방법 및 제조금형에 관한 것이다.

반도체웨이퍼의 고밀도 및 고기능화, 그리고 배선구조의 다층화에 따라서 반도체웨이퍼의 표면 단차가 점차 증가되고 있다. 이와 같이, 표면 단차가 발생된 반도체웨이퍼의 표면을 평탄화하기 위한 화학적 연마와 기계적 연마를 동시에 수행하는 화학적 기계연마장치(Chemical Mechanical Polishing: CMP)가 마련되어 있다.

이러한 화학적 기계연마장치(이하 'CMP장치'라고도 함)의 일례가 도 6에 도시되어 있다.

도시된 바와 같이, 상기 CMP장치는 캐리어(100a)가 구비된 연마헤드(100)와, 외부로부터 공급되는 진공압에 의하여 반도체웨이퍼(500)를 흡착하기 위하여 캐리어(100a)의 내측에 설치되는 멤브레인(200)과, 캐리어(100a)의 하단에 설치되며 반도체웨이퍼(500)가 연마 도중 외측으로 이탈되는 것을 방지하기 위한 리테이너 링(300)을 포함한다.

이러한 CMP장치는, 연마패드(400)의 상면에 반도체웨이퍼(500)의 하면이 밀착되도록 놓이고, 이 연마패드(400) 상면에 연마제가 공급된다.

상기 CMP장치에 설치되는 종래의 리테이너 링(300)은, 재질이 스테인레스강(SUS)과 같은 금속재로 형성되는 내측링부재(300a)와, 이 내측링부재(300a)의 하부에 감싸듯이 결합되고, 연마제가 유통되는 연마제 유통홈이 형성된 하면이 연마패드(4)에 접촉되는 외피부재(300b)를 포함한다.

이러한 리테이너 링(300)은, 금속제인 내측링부재(300a)가 외부로 노출됨으로써 연마작업 중 금속재인 내측링부재(300a)에 양전하 또는 음전하가 발생하여, 화학연마제인 슬러리가 들러붙게 되고, 이 들러붙은 슬러리가 굳어서 작업 중 이탈되면서 반도체웨이퍼(500)의 불량을 유발시키는 문제점이 있었다.

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 대한민국 공개특허 제2008-0028392호에는, 금속제인 내측링부재(내측 링)가 외부로 노출되지 않도록 내측링부재의 외면 전체를 수지재로 된 외피부재(외장 링)로 감싸서 구성하는 리테이너 링의 제조방법이 개시되어 있다.

그러나, 개시된 공개특허의 리테이너 링은, 제조시에 금속제인 내측링부재가 수축되지 않고 변형되지 않는 대신에, 내측링부재의 외면을 감싸는 외피부재가 몰딩 후 냉각시 수축에 의하여 균열이 발생하는 문제점이 있었다.

또한, 외피부재의 몰딩시 내부에 내부응력이 잔류하게 되어, 사용시에 잔류된 응력으로 인하여 내구성이 크게 저하되어 파손되거나 반도체웨이퍼를 오염시키게 되므로, 자주 교체해야 하는 문제점이 발생하였다.

이에, 본원 출원인은 대한민국 등록특허 제10-1285308호에 내측링부재와 외피부재를 갖는 리테이너 링 및 그 제조방법을 개시한 바 있지만, 기존 공지된 단순한 측면 주입방식의 하부금형 및 상부금형의 성형틀로는 불량률이 높아짐에 따라 제품의 완성도를 높이고 불량률을 최소화할 수 있는 리테이너 링의 제조방법 및 제조금형의 연구가 요구되었다.

대한민국 공개특허 제2008-0028392호"화학적 기계연마장치의 리테이너 링 구조물 및 그 제조방법"(2008.03.31) 대한민국 등록특허 제10-1285308호"화학적 기계연마장치의 리테이너 링 제조방법"(2013.07.05)

이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위한 안출된 것으로,

본 발명은, 내측링부재와 외피부재로 형성되는 리테이너 링의 성형시 원주의 뒤틀림 및 내부 균열이 없는 내측링부재의 1차 성형과 내측링부재의 외측에 수축과 균열이 없고 결합력 및 평탄도가 좋은 외피부재를 2차 성형할 수 있도록 하는 화학적 기계연마장치의 리테이너 링 제조방법 및 제조금형을 제시하는데 그 목적이 있다.

또한 본 발명의 다른 목적은, 내측링부재를 감싸는 외피부재를 성형하는 과정에서 내측링부재의 안쪽 둘레와 바깥쪽 둘레의 다수 부분에서 사출액을 동시에 투입함으로써 외피부재를 균열없이 신속하게 성형할 수 있도록 하는 화학적 기계연마장치의 리테이너 링 제조방법 및 제조금형을 제공함에 있다.

또한 본 발명의 다른 목적은, 내측링부재의 안쪽 둘레와 바깥쪽 둘레에서 사출액을 동시에 투입함에 있어서, 안쪽 둘레와 바깥쪽 둘레의 사출액 투입 위치의 높이 차이를 둠으로써, 외피부재를 좀 더 신속하게 성형할 수 있도록 하는 화학적 기계연마장치의 리테이너 링 제조방법 및 제조금형을 제공함에 있다.

또한 본 발명의 다른 목적은, 외피부재의 성형시 외피부재 하부금형과 외피부재 상부금형의 사이에서 발생되는 배출가스를 원활하게 배출할 수 있도록 하는 화학적 기계연마장치의 리테이너 링 제조방법 및 제조금형을 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 "화학적 기계연마장치의 리테이너 링의 제조방법"은, 상부의 둘레에는 원호형으로 상부가 개방되는 제1 케비티를 형성하고, 상부에는 제1 사출액 유로를 형성하는 내측링부재 하부금형을 준비하는 단계와; 하부의 둘레에는 상기 제1 케비티와 상응되게 하부가 개방되는 제2 케비티를 형성하고, 제2 케비티의 상부에는 하부로 돌출되는 다수의 돌출핀을 등간격으로 형성하며, 하부와 내부에는 제2 사출액 유로를 형성하는 내측링부재 상부금형을 준비하는 단계와; 상기 내측링부재 하부금형과 내측링부재 상부금형을 포갠 상태에서 상기 제1 케비티와 제2 케비티로 합성수지 사출액을 주입하여 냉각시킨 후, 내측링부재 하부금형과 내측링부재 상부금형으로부터 성형품을 분리하여 성형 잔재물을 제거함에 따라 다수의 핀홈이 형성되는 내측링부재를 성형하는 단계와; 상부의 둘레에는 상기 제1 케비티와 상응되게 원호형으로 형성되고 상기 제1 케비티보다 깊이가 깊고 폭이 넓게 형성되며 상부가 개방되는 제3 케비티를 형성하고, 상기 제3 케비티의 하부에는 상기 돌출핀과 상응되는 위치에 돌출핀보다 직경이 큰 다수의 돌출 삽입핀을 형성하며, 상기 돌출 삽입핀의 상부에는 상기 핀홈이 쐐기식으로 삽입되게 상부로 갈수록 좁아지는 쐐기부를 형성하고, 상부에는 제3 사출액 유로를 형성하는 외피부재 하부금형을 준비하는 단계와; 하부의 둘레에는 상기 제2 케비티와 상응되게 원호형으로 형성되고 상기 제2 케비티보다 깊이가 깊고 폭이 넓게 형성되며 상부가 개방되는 제4 케비티를 형성하고, 하부와 내부에는 제4 사출액 유로를 형성하는 외피부재 상부금형을 준비하는 단계와; 상기 내측링부재의 핀홈들을 상기 제3 케비티에 형성된 다수의 돌출 삽입핀의 쐐기부에 삽입하여 내측링부재의 둘레와 제3 케비티의 사이에 공간이 형성되게 내측링부재를 설치하는 단계와; 상기 외피부재 하부금형의 상부에 상기 내측링부재의 둘레와 제4 케비티의 사이에 공간이 형성되게 외피부재 상부금형을 포갠 상태에서, 상기 제3 케비티와 제4 케비티로 합성수지 사출액을 주입하여 냉각시킨 후, 외피부재 하부금형과 외피부재 상부금형으로부터 성형품을 분리하여 성형 잔재물을 제거함에 따라 내측링부재를 감싸며 다수의 가공용 홀이 형성되는 외피부재를 성형하는 단계와; 상기 각각의 가공용홀과 핀홈에 탭핑을 통해 탭홈을 성형하는 단계를; 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "화학적 기계연마장치의 리테이너 링의 제조방법"의 상기 외피부재를 성형하는 단계에서는 원호형으로 형성되는 상기 제3 케비티와 제4 케비티의 안쪽과 바깥쪽 둘레의 다수의 부분에서 동시에 사출액을 투입하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "화학적 기계연마장치의 리테이너 링의 제조방법"의 상기 내측링부재와 외피부재는 동일 재질로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "화학적 기계연마장치의 리테이너 링의 제조금형"은 상부의 둘레에는 원호형으로 상부가 개방되는 하부가 평탄한 제1 케비티가 형성되고, 상부에는 제1 사출액 유로가 형성되는 내측링부재 하부금형과; 상기 내측링부재 하부금형의 상부에 포개지게 배치되고, 하부의 둘레에는 상기 제1 케비티와 상응되게 하부가 개방되며 상부가 평탄한 제2 케비티가 형성되며, 제2 케비티의 상부에는 하부로 돌출되는 다수의 돌출핀이 등간격으로 형성되고, 하부와 내부에는 제2 사출액 유로가 형성되는 내측링부재 상부금형과; 상부의 둘레에는 상기 제1 케비티와 상응되게 원호형으로 형성되고 상기 제1 케비티보다 깊이가 깊고 폭이 넓게 형성되며 상부가 개방되고 하부가 평탄한 제3 케비티가 형성되고, 상기 제3 케비티의 하부에는 상기 돌출핀과 상응되는 위치에 돌출핀보다 직경이 큰 다수의 돌출 삽입핀이 형성되며, 상기 돌출 삽입핀의 상부에는 상기 핀홈이 쐐기식으로 삽입되게 상부로 갈수록 좁아지는 쐐기부가 형성되고, 상부에는 제3 사출액 유로가 형성되는 외피부재 하부금형과; 상기 외피부재 하부금형의 상부에 포개지게 배치되고, 하부의 둘레에는 상기 제2 케비티와 상응되게 원호형으로 형성되고 상기 제2 케비티보다 깊이가 깊고 폭이 넓게 형성되며 상부가 개방되고 하부가 평탄한 제4 케비티가 형성되고, 하부와 내부에는 제4 사출액 유로가 형성되는 외피부재 상부금형을; 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "화학적 기계연마장치의 리테이너 링의 제조금형"의 상기 외피부재 하부금형은 원호형의 상기 제3 케비티를 경계로 하여 제3 케비티의 바깥쪽 둘레의 평탄면이 제3 케비티의 안쪽의 평탄면보다 상부로 더 돌출되게 형성되고, 상기 외피부재 상부금형은 원호형의 상기 제4 케비티를 경계로 하여 제4 케비티의 안쪽의 평탄면이 제3 케비티의 바깥쪽 둘레의 평탄면보다 하부로 더 돌출되게 형성되어 상기 외피부재 하부금형의 상부와 외피부재 상부금형의 하부가 상호 밀착가능하게 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "화학적 기계연마장치의 리테이너 링의 제조금형"의 상기 제3 사출액 유로는, 상기 제3 케비티의 둘레에 등간격으로 안쪽과 바깥쪽에 형성되는 다수의 하부 투입홈을, 포함하며, 상기 제4 사출액 유로는, 상기 제4 케비티의 둘레의 안쪽과 바깥쪽에 상기 하부 투입홈과 상응되는 위치에 형성되는 다수의 상부 투입홈과, 각각의 상부 투입홈과 연통되어 외부에서 사출액이 투입되는 사출액 투입유로를, 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "화학적 기계연마장치의 리테이너 링의 제조금형"의 상기 하부 투입홈은, 상부가 개방되는 구형홈과, 상기 구형홈과 제3 케비티에 연통되게 형성되고 상기 구형홈의 깊이보다 낮은 깊이로 형성되는 투입홈을, 포함하며, 상기 상부 투입홈은, 하부가 개방되는 구형홈과, 상기 구형홈과 제4 케비티에 연통되게 형성되고 상기 구형홈의 깊이보다 낮은 깊이로 형성되는 투입홈을, 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "화학적 기계연마장치의 리테이너 링의 제조금형"의 상기 외피부재 상부금형은, 중앙에서 측부로 편중되게 형성되는 가스 배출홀과, 하면에 상기 가스 배출홀과 연통되게 방사형으로 형성되어 외피부재 성형시 발생되는 배출가스를 배출하는 다수의 가스 배출홈을, 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 "화학적 기계연마장치의 리테이너 링의 제조금형"의 상기 내측링부재 상부금형은, 제2 케비티의 상부에 형성되는 평탄면에 하부로 돌출되게 형성되는 다수의 돌출부를, 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같은 본 발명은, 내측링부재와 외피부재로 형성되는 리테이너 링의 성형시 원주의 뒤틀림 및 내부 균열이 없는 내측링부재의 1차 성형과 내측링부재의 외측에 수축과 균열이 없고 결합력 및 평탄도가 좋은 외피부재를 2차 성형하여 제품 완성도가 높고 불량률을 최소화할 수 있는 효과가 있다.

또한, 내측링부재와 외피부재를 합성수지로 구성하여 성형후 냉각시 내측링부재와 외피부재의 수축률을 거의 근접하게 하여 외피부재의 균열이 발생되는 것을 방지함으로써 제품의 내구성을 향상시킬 수 있고, 내측링부재를 외피부재 하부금형에 간단하면서 신속하게 설치함으로써 제품의 생산성을 향상시킬 수 있으며, 리테이너 링의 탭홈을 정확한 위치에 형성하여 제품의 정밀도를 향상시키는 효과가 있다.

또한 본 발명은, 내측링부재를 감싸는 외피부재를 성형하는 과정에서 내측링부재의 안쪽 둘레와 바깥쪽 둘레의 다수 부분에서 사출액을 동시에 투입함에 따라. 외피부재를 균열 없이 신속하게 성형할 수 있도록 함으로써 제품의 생산성을 좀 더 향상시키는 효과도 있다.

또한 본 발명은, 내측링부재와 외피부재를 동일 재질로 구성하여 내측링부재와 외피부재의 수축률을 거의 같게 함에 따라, 외피부재의 균열이 발생되는 것을 좀 더 방지함으로써 내구성을 좀 더 향상시키는 효과도 있다.

또한 본 발명은, 내측링부재의 안쪽 둘레와 바깥쪽 둘레의 다수 부분에서 사출액을 동시에 투입함에 있어서, 안쪽 둘레와 바깥쪽 둘레의 사출액 투입 위치의 높이 차이를 둠에 따라 외피부재를 좀 더 신속하게 성형함으로써, 제품의 생산성을 좀 더 향상시키는 효과도 있다.

또한 본 발명은, 외피부재의 성형시 외피부재 하부금형과 외피부재 상부금형의 사이에서 발생되는 배출가스를 원활하게 배출할 수 있도록 함으로써, 기공이 없는 양질의 제품을 얻을 수 있는 효과도 있다.

도 1은 본 발명에 따른 리테이너 링 제조금형 중 내측링부재 하부금형과 내측링부재 상부금형을 나타낸 것으로,
도 1a는 분해 사시도이고,
도 1b는 조립 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 리테이너 링의 제조금형 중 외피부재 하부금형과 외피부재 상부금형을 나타낸 것으로,
도 2a는 분해 사시도이고,
도 2b는 조립 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 리테이너 링 제조방법을 나타낸 공정도.
도 4는 본 발명에 따른 리테이너 링 제조방법의 각 공정을 나타낸 것으로,
도 4a는 내측링부재를 성형하는 단계를 나타내고,
도 4b는 내측링부재 설치단계를 나타내며,
도 4c는 외피부재를 성형하는 단계를 나타내고,
도 4d는 탭홈을 성형하는 단계를 나타낸 사시도이고,
도 4e는 도 4d의 A-A선 단면도.
도 5a 내지 도 5c는 외피부재의 하면에 형성되는 연마제 유통홈의 예시도.
도 6은 종래의 리테이너 링이 장착된 연마헤드를 포함하는 화학적 기계연마
장치를 개략적으로 도시한 단면도.

이하 본 발명의 바람직한 실시예가 도시된 첨부 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. 그러나 본 발명은 다수의 상이한 형태로 구현될 수 있고, 기술된 실시예에 제한되지 않음을 이해하여야 한다.

도 1은 본 발명에 따른 리테이너 링 제조금형 중 내측링부재 하부금형과 내측링부재 상부금형을 나타낸 것으로, 도 1a는 분해 사시도이고, 도 1b는 조립 단면도이다. 그리고 도 2는 본 발명에 따른 리테이너 링의 제조금형 중 외피부재 하부금형과 외피부재 상부금형을 나타낸 것으로, 도 2a는 분해 사시도이고, 도 2b는 조립 단면도이다. 아울러 도 3은 본 발명에 따른 리테이너 링 제조방법을 나타낸 공정도이고, 도 4는 본 발명에 따른 리테이너 링 제조방법의 각 공정을 나타낸 것으로, 도 4a는 내측링부재를 성형하는 단계를 나타내고, 도 4b는 내측링부재 설치단계를 나타내며, 도 4c는 외피부재를 성형하는 단계를 나타내고, 도 4d는 탭홈을 성형하는 단계를 나타낸 사시도이고, 도 4e는 도 4d의 A-A선 단면도이다.

이에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 리테이너 링을 제조하기 위한 제조금형은, 내측링부재 하부금형(1)과 내측링부재 상부금형(2)으로 이루어져 내측링부재(51)을 성형 제조하는 금형과, 외피부재 하부금형(3)과 외피부재 상부금형(4)으로 이루어져 내측링부재(51)을 감싸는 외피부재(52)를 성형하는 금형을 포함한다.

그리고, 본 발명에 따른 상기 내측링부재 하부금형(1)은 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 상부의 둘레에 원호형으로 상부가 개방되게 형성되고 하부가 평탄한 제1 케비티(11)와, 상부에 형성되는 제1 사출액 유로(12)를 포함한다.

상기 제1 케비티(11)는 사출액이 유입되어 내측링부재(51)을 성형하는 역할을 하는 것으로, 하부가 평탄하게 형성되어 있고 내측 둘레가 수직되게 형성되어 있는 것이다.

상기 제1 사출액 유로(12)는 상기 제1 케비티(11)와 연통되는 것으로, 내측링부재 하부금형(1)의 상부에 형성되는 다수의 홈으로 구성되는데, 하부금형(1)의 중심부에 자리한 수지물 주입구(12a)를 영점으로 네갈래로 형성된 열십자형 홈(12b)과 열십자형 홈(12b)의 단부에서 제1 케비티(11)로 연결되도록 2갈래로 퍼지도록 넓게 형성된 브이형 홈(12c)으로 형성된다. 따라서 수지물 주입구(12a)로 투입된 수지물은 열십자형 홈(12b)과 브이형 홈(12c)을 거쳐 제1 케비티(11)의 원주방향으로 균일하게 주입된다.

이에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 리테이너 링을 제조하기 위한 제조금형은, 내측링 하부금형(1)과 내측링 상부금형(2)으로 이루어져 내측링(51)을 성형 제조하는 금형과, 외피 하부금형(3)과 외피 상부금형(4)으로 이루어져 내측링(51)을 감싸는 외피(52)를 성형하는 금형을 포함한다.

또한, 본 발명에 따른 상기 내측링 상부금형(2)은 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 상기 내측링 하부금형(1)의 상부에 합형되게 배치되는 것으로, 하부의 둘레에 상기 제1 케비티(11)와 상응되게 하부가 개방되게 형성되고 상부가 평탄한 제2 케비티(21)와, 제2 케비티(21)의 상에 하부로 돌출되게 등간격으로 형성되는 다수의 돌출핀(23)과, 하부와 내부에 형성되는 제2 사출액 유로(22)를 포함한다.

상기 제2 케비티(21)는 사출액이 유입되어 내측링(51)을 성형하는 역할을 하는 것으로, 상부가 평탄하게 형성되어 있고 내측 둘레에는 경사부가 형성되어 있고, 외측의 둘레가 수직되게 형성되어 있는 것이다.

상기 돌출핀(23)은 성형되는 내측링(51)에 다수의 핀홈(511)을 형성하는 역할을 한다. 그리고 상기 돌출핀(23)을 통해 내측링(51)에 형성되는 핀홈(511)은 내측링(51)을 외피 하부금형(3)에 용이하게 설치하기 위한 것인데, 내측링(51)을 외피 하부금형(3)에 설치하는 구체적인 과정은 후술하기로 한다.

상기 제2 사출액 유로(22)는 상기 제2 케비티(21)와 연통되는 것으로, 내측링 하부금형(1)의 상부에 형성되는 다수의 홈으로 구성된다. 즉, 이때의 홈은 상기 하부금형(1)의 제1 사출액 유로(12)와 대응되게 상부금형(2)의 중심부를 영점으로 네갈래로 형성된 열십자형 홈(22a)과 열십자형 홈(22a)의 단부에서 2갈래로 퍼지도록 넓게 형성된 브이형 홈(22b)으로 형성된다.

한편, 상기 내측링 상부금형(2)은 제2 케비티(21)의 상부에 형성되는 평탄면에 하부로 돌출되게 형성되는 다수의 돌출부(24)를 더 포함할 수 있으며, 상기 돌출부(24)는 내측링(51)의 표면에 함몰 홈부를 더 형성함으로써 상기 내측링(51)과 외피(52)의 결합력을 향상시키는 역할을 하는 것이다.

또한, 본 발명에 따른 상기 외피부재 하부금형(3)은 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 상부의 둘레에 상기 제1 케비티(11)와 상응되게 원호형으로 형성되는 제3 케비티(31)와, 상기 제3 케비티(31)의 하부에 상기 돌출핀(23)과 상응되는 위치에 형성되고 상기 돌출핀(23)보다 길이가 큰 다수의 돌출 삽입핀(33)과, 상기 돌출 삽입핀(33)의 상부에 상기 핀홈(511)이 쐐기식으로 용이하게 삽입되도록 형성되는 쐐기부(34)와, 상부에 형성되는 제3 사출액 유로(32)를 포함한다.

상기 제3 케비티(31)는 상기 제1 케비티(11)와 상응되는 원호상에 형성되는 것으로, 상기 제1 케비티(11)보다 깊이가 깊고 폭이 넓게 형성되고, 상부가 개방되어 있으며, 하부가 평탄하게 형성되고, 내측 둘레는 하부에서 안쪽으로 상향지게 형성되는 경사부 및 경사부의 상부에서 수평되게 형성되는 수평부와 수평부의 안쪽에서 수직으로 형성되는 수직부로 형성되며, 외측 둘레는 수직되게 형성되어 있는 것이다.

상기 돌출 삽입핀(33)의 상부에 형성되는 쐐기부(34)는 내측링부재(51)에 형성되는 핀홈(511)이 삽입됨으로써 내측링부재(51)을 외피부재 하부금형(3)에 용이하게 설치하는 역할을 하는 것으로, 상부로 갈수록 좁아지게 테이퍼의 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.

따라서 상기 내측링부재(51)에 형성되는 핀홈(511)들을 상기 돌출 삽입핀(33)들의 쐐기부(34)에 삽입하게 되면, 각각의 핀홈들이 쐐기식으로 상기 쐐기부(34)에 삽입됨으로써 내측링부재(51)의 수평을 용이하게 맞출 수 있고, 아울러 제3 케비티(31)의 하부와 상기 내측링부재(51)의 사이에 외피부재 성형공간을 용이하게 형성할 수 있는 것이다. 그러므로 상기와 같이 내측링부재(51)을 외피부재 하부금형(3)에 간단하면서 신속하게 설치함으로써 제품의 생산성을 향상시킬 수 있는 것이다.

한편, 상기 외피부재 하부금형(3)은 원호형의 상기 제3 케비티(31)를 경계로 하여 제3 케비티(31)의 바깥쪽 둘레의 평탄면이 제3 케비티(31)의 안쪽의 평탄면보다 상부로 더 돌출되게 형성된다. 그리고 상기 제3 사출액 유로(32)는 상기 제3 케비티(31)의 둘레에 등간격으로 안쪽과 바깥쪽에 각각 형성되는 다수의 하부 투입홈(321)을 포함한다.

각각의 상기 하부 투입홈(321)은 상부가 개방되는 구형홈(321a)과, 상기 구형홈(321a)과 제3 케비티(31)에 연통되게 형성되고 상기 구형홈(321a)의 깊이보다 낮은 깊이로 형성되는 투입홈(321b)으로 구성되는 것이 바람직하다. 그 이유로 상기 구형홈(321a)은 투입되는 사출액을 저장하는 역할을 하며, 상기 투입홈(321b)은 저장된 사출액을 균일하게 케비티로 투입시키는 역할을 할 수 있기 때문이다.

또한, 본 발명에 따른 상기 외피부재 상부금형(4)은 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 외피부재 하부금형(3)의 상부에 합형되게 배치되는 것으로, 하부의 둘레에 상기 제2 케비티(21)와 상응되게 원호형으로 형성되는 제4 케비티(41)와, 하부와 내부에 형성되는 제4 사출액 유로(42)를 포함한다.

상기 제4 케비티(41)는 상기 제2 케비티(21)와 상응되는 원호상에 형성되는 것으로, 상기 제2 케비티(21)보다 깊이가 깊고 폭이 넓게 형성되고, 상부가 개방되어 있으며, 하부가 평탄하게 형성되고, 내측 둘레와 외측 둘레가 수직되게 형성되어 있는 것이다.

아울러 상기 외피부재 상부금형(4)은 원호형의 상기 제4 케비티(41)를 경계로 하여 제4 케비티(41)의 안쪽의 평탄면이 제3 케비티(31)의 바깥쪽 둘레의 평탄면보다 하부로 더 돌출되게 형성됨으로써, 상기 외피부재 하부금형(3)의 상부와 외피부재 상부금형(4)의 하부가 상호 밀착가능하게 형성되는 것이다. 따라서 상기 내측링부재(51)의 안쪽 둘레와 바깥쪽 둘레의 다수 부분에서 사출액을 동시에 투입함에 있어서, 안쪽 둘레와 바깥쪽 둘레의 사출액 투입 위치의 높이 차이를 둠에 따라 외피부재(52)를 좀 더 신속하게 성형함으로써, 제품의 생산성을 좀 더 향상시킬 수도 있는 것이다.

상기 제4 사출액 유로(42)는, 상기 제4 케비티(41)의 둘레의 안쪽과 바깥쪽에 상기 하부 투입홈(321)과 상응되는 위치에 형성되는 다수의 상부 투입홈(421)과, 각각의 상부 투입홈(421)과 연통되어 외부에서 사출액이 투입되는 사출액 투입유로(422)를 포함한다.

각각의 상기 상부 투입홈(421)은 하부가 개방되는 구형홈(421a)과, 상기 구형홈(421a)과 제4 케비티(41)에 연통되게 형성되고 상기 구형홈(421a)의 깊이보다 낮은 깊이로 형성되는 투입홈(421b)으로 구성되는 것이 바람직하다. 왜냐 하면 상기 구형홈(421a)은 투입되는 사출액을 저장하는 역할을 하며, 상기 투입홈(421b)은 저장된 사출액을 균일하게 케비티로 투입시키는 역할을 하기 때문이다.

한편 상기 외피부재 상부금형(4)은, 중앙에서 측부로 편중되게 형성되는 가스 배출홀(43)과, 하면에 상기 가스 배출홀(43)과 연통되게 방사형으로 형성되어 외피부재(52) 성형시 발생되는 배출가스를 배출하는 다수의 가스 배출홈(44)을 더 포함한다. 따라서 외피부재(52)의 성형시 외피부재 하부금형(3)과 외피부재 상부금형(4)의 사이에서 발생되는 배출가스를 상기 가스 배출홀(43)과 가스 배출홈(44)을 통해 원활하게 배출함으로써, 기공이 없는 양질의 제품을 제조할 수 있는 것이다.

이하, 상기와 같이 구성된 제조금형을 사용하여 본 발명에 따른 리테이너 링의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.

도 3 내지 도 4e에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 제조방법은, 먼저 내측링부재 하부금형(1)을 준비하는 단계(S10)를 진행한다. 즉 상기 내측링부재 하부금형(1)을 준비하는 단계(S10)에서는 상술한 내측링부재 하부금형(1)을 준비하는 것으로, 상부의 둘레에는 원호형으로 상부가 개방되는 제1 케비티(11)가 형성되고, 상부에는 제1 사출액 유로(12)가 형성되는 내측링부재 하부금형(1)을 준비하는 것이다.

다음, 내측링부재 상부금형(2)을 준비하는 단계(S20)를 진행한다. 즉 상기 내측링부재 상부금형(2)을 준비하는 단계(S20)에서는 상술한 내측링부재 상부금형(2)을 준비하는 것으로, 하부의 둘레에는 상기 제1 케비티(11)와 상응되게 하부가 개방되는 제2 케비티(21)가 형성되고, 제2 케비티(21)의 상부에는 하부로 돌출되는 다수의 돌출핀(23)이 등간격으로 형성되며, 하부와 내부에는 제2 사출액 유로(22)가 형성되는 내측링부재 상부금형(2)을 준비하는 것이다.

다음, 내측링부재를 성형하는 단계(S30)를 진행한다. 즉 상기 내측링부재를 성형하는 단계(S30)에서는, 상기 내측링부재 하부금형(1)과 내측링부재 상부금형(2)을 포갠 상태에서 상기 제1 케비티(11)와 제2 케비티(21)로 합성수지 사출액을 주입하여 냉각시킨 후, 내측링부재 하부금형(1)과 내측링부재 상부금형(2)으로부터 성형품을 분리하여 성형 잔재물을 제거함에 따라 다수의 핀홈(511)이 형성되는 내측링부재(51)을 성형하는 것이다.

다음, 외피부재 하부금형(3)을 준비하는 단계(S40)를 진행한다. 즉 상기 외피부재 하부금형(3)을 준비하는 단계(S40)에서는, 상술한 외피부재 하부금형(3)을 준비하는 것으로, 상부의 둘레에는 상기 제1 케비티(11)와 상응되게 원호형으로 형성되고 상기 제1 케비티(11)보다 깊이가 깊고 폭이 넓게 형성되며 상부가 개방되는 제3 케비티(31)가 형성되고, 상기 제3 케비티(31)의 하부에는 상기 돌출핀(23)과 상응되는 위치에 돌출핀(23)보다 직경이 큰 다수의 돌출 삽입핀(33)이 형성되며, 상기 돌출 삽입핀(33)의 상부에는 상기 핀홈(511)이 쐐기식으로 삽입되게 상부로 갈수록 좁아지는 쐐기부(34)가 형성되고, 상부에는 제3 사출액 유로(32)가 형성되는 외피부재 하부금형(3)을 준비하는 것이다.

상기 쐐기부(34)는 내측링부재(51)에 형성되는 핀홈(511)이 삽입됨으로써 내측링부재(51)을 외피부재 하부금형(3)에 이격되도록 용이하게 설치하는 역할을 하는 것으로, 상부로 갈수록 좁아지게 형성되는 것이다.

다음, 외피부재 상부금형(4)을 준비하는 단계(S50)를 진행한다. 즉 상기 외피부재 상부금형(4)을 준비하는 단계(S50)에서는, 상술한 외피부재 상부금형(4)을 준비하는 것으로, 하부의 둘레에는 상기 제2 케비티(21)와 상응되게 원호형으로 형성되고 상기 제2 케비티(21)보다 깊이가 깊고 폭이 넓게 형성되며 상부가 개방되는 제4 케비티(41)가 형성되고, 하부와 내부에는 제4 사출액 유로(42)가 형성되는 외피부재 상부금형(4)을 준비하는 것이다.

다음, 상기 내측링부재를 설치하는 단계(S60)를 진행한다. 즉 상기 내측링부재를 설치하는 단계(S60)에서는, 상기 내측링부재(51)의 핀홈(511)들을 상기 제3 케비티(31)에 형성된 다수의 돌출 삽입핀(33)의 쐐기부(34)에 삽입하여 내측링부재(51)의 둘레와 제3 케비티(31)의 사이에 공간이 형성되게 하는 것이다.

따라서 상기 내측링부재(51)에 형성되는 핀홈(511)들을 상기 돌출 삽입핀(33)들의 쐐기부(34)에 삽입하게 되면, 각각의 핀홈들이 쐐기식으로 상기 쐐기부(34)에 삽입됨으로써 삽입핀의 길이에 따른 내측링부재(51)의 수평을 동일하면서 용이하게 맞출 수 있고, 아울러 제3 케비티(31)의 하부와 상기 내측링부재(51)의 사이에 외피부재(52) 성형공간을 용이하게 형성할 수 있는 것이다. 그러므로 상기와 같이 내측링부재(51)을 외피부재 하부금형(3)에 간단하면서 신속하게 설치함으로써 제품의 생산성을 향상시킬 수 있는 것이다. 아울러 상기 핀홈(511)들을 쐐기부(34)에 견고하게 고정함으로써, 외피부재(52)의 성형시 내측링부재(51)이 유동되는 것을 방지하여 제품의 불량을 사전에 예방할 수 있는 장점도 있다.

다음, 외피부재를 성형하는 단계(S70)를 진행한다. 즉 상기 외피부재를 성형하는 단계(S70)에서는, 상기 외피부재 하부금형(3)의 상부에 상기 내측링부재(51)의 둘레와 제4 케비티(41)의 사이에 공간이 형성되게 외피부재 상부금형(4)을 포갠 상태에서, 상기 제3 케비티(31)와 제4 케비티(41)로 합성수지 사출액을 주입하여 냉각시킨 후, 외피부재 하부금형(3)과 외피부재 상부금형(4)으로부터 성형품을 분리하여 성형 잔재물을 제거함에 따라 내측링부재(51)을 감싸며 다수의 가공용 홀(521)이 형성되는 외피부재(52)를 성형하는 것이다.

한편 상기 외피부재를 성형하는 단계(S70)에서는 원호형으로 형성되는 상기 제3 케비티(31)와 제4 케비티(41)의 안쪽과 바깥쪽 둘레의 다수의 부분에서 동시에 사출액을 투입하는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 내측링부재(51)을 감싸는 외피부재(52)를 성형하는 과정에서 내측링부재(51)의 안쪽 둘레와 바깥쪽 둘레의 다수 부분에서 사출액을 동시에 투입함에 따라. 외피부재(52)를 균열 없이 신속하게 성형할 수 있도록 함으로써 제품의 생산성을 향상시킬 수 있기 때문이다.

그리고 최종적으로, 탭홈을 성형하는 단계(S80)를 진행한다. 즉 상기 탭홈을 성형하는 단계(S80)에서는, 상기 각각의 가공용홀과 핀홈(511)에 탭을 가공하기 위한 탭핑공구를 회전 삽입시켜 탭홈(53)을 형성하는 것이다. 아울러 상기 탭홈(53)은 리테이너 링(5)을 CMP장치에 장착할 때의 예컨대 나사결합을 쉽게 하는데 이용되는 것이다.

따라서 상기와 같이 외피부재(52)를 성형함에 있어서 상기 돌출 삽입핀(33)의 쐐기부(34)를 통해 각각의 가공용홀과 핀홈(511)을 정확하게 일치시킴으로써, 리테이너 링(5)의 탭홈(53)을 정확한 위치에 형성함에 따라 제품의 정밀도를 향상시킬 수도 있는 것이다.

한편, 상기와 같이 본 발명에 따른 리테이너 링(5)을 제조함에 있어서, 상기 내측링부재(51)과 외피부재(52)는 동일 재질의 합성수지로 구성하는 것이 바람직하다. 왜냐하면 상기 내측링부재(51)과 외피부재(52)를 동일 재질로 구성하게 되면, 내측링부재(51)과 외피부재(52)의 수축률을 거의 같게 함에 따라 외피부재(52)의 균열이 발생되는 것을 최소로 줄일 수 있기 때문이다.

그리고 상기 내측링부재(51)과 외피부재(52)는, 합성수지로 형성되는데, 이 합성수지는, 폴리아마이드인 것을 일례로 하고, 폴리페닐설파이드(PPS), 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리벤지미다졸(PBI), 폴라카보네이트, 아세탈, 폴리에테르아미드(PEI), 폴리에스터수지(PBT), 폴리페닐렌옥사이드 등과 같은 공지의 엔지니어링 플라스틱 중 어느 하나를 선택하여 사용할 수 있는 것이 바람직하다.

따라서, 본 발명에 따른 화학적 기계연마장치의 리테이너 링의 제조방법과 제조금형은, 내측링부재(51)과 외피부재(52)를 합성수지로 구성하여 성형후 냉각시 내측링부재(51)과 외피부재(52)의 수축률을 거의 근접하게 하여 외피부재(52)의 균열이 발생되는 것을 방지함으로써 제품의 내구성을 향상시킬 수 있는 유용한 발명이다.

다시말해 본 발명에 따른 제조방법은, 1차 사출공정으로 내측링부재(51)을 성형한 후에, 이 내측링부재(51)의 외면에 외피부재(52)를 2차 사출공정으로 성형하는 방식이다. 그런데, 이와는 달리, 가령 리테이너 링의 성형시에, 단순히 단 한번의 사출공정으로 한꺼번에 리테이너 링을 성형하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 이와 같이 하게 되면 사출성형 후 냉각시에, 수축, 뒤틀림, 또는 평탄도 불량 등이 발생되는 문제가 발생되는 것이다.

그러므로 본원발명에서는, 외피부재와 동일한 재질로 된 합성수지로 내측링부재(51)을 사출성형한 후에, 이 내측링부재(51)의 외면 둘레에 외피부재(52)를 사출공정으로 성형하여, 일체화된 리테이너 링(5)을 성형하게 되는 것이다. 즉, 내측링부재(51)과 외피부재(52)로 구성되는 리테이너 링(5)의 제작시에, 외피부재(52)와 동일 재질로 사출성형되는 내측링부재(51)의 외측 둘레에 외피부재(52)를 사출공정으로 성형함으로써, 외피부재(52)의 사출 성형시에 외피부재(52)와 내측링부재(51) 사이의 결합력이 향상되고, 냉각시에 외피부재(52)의 수축과 균열이 발생되는 것을 확실히 방지할 수 있는 것이다.

한편, 도 5a 내지 도 5c는 외피부재의 하면에 형성되는 연마제 유통홈의 예시도이다.

본 발명의 제조방법에 따라 제조되는 리테이너 링(5)의 외피부재(52)의 외면 중 반도체 웨이퍼의 연마가공시 연마패드에 밀착되는 하면에는, 도 5a 내지 도 5c에 도시된 바와 같이, 연마제인 슬러리가 공급 배출되는 연마제 유통홈(54)이 형성된다. 그리고 상기 연마제 유통홈(54)은, 외피부재(52)의 사출성형을 마친 후에, 외피부재(52)의 하면에 선반가공 공정을 가함으로써 성형할 수 있다. 즉, 연마제 유통홈(54)은 정밀도 가공을 위하여 선반가공 중 선삭가공으로 성형하는 것이 바람직하다. 또한 상기 연마제 유통홈(54)은 예컨대, 상기 외피부재(52)의 사출성형시 일체로 형성될 수도 있다.

그리고 연마제 유통홈(54)은 상기 직선형 형상의 연마제 유통홈(54)을 일례로 하며, 사선형상, 원호형상, S곡선형상 등으로 다양한 형상으로도 형성될 수 있는 것이다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 다양한 변화와 변경 및 균등물을 사용할 수 있다. 본 발명은 상기 실시예를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.

한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함을 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다 할 것이다.

1 : 내측링부재 하부금형
11 : 제1 케비티
12 : 제1 사출액 유로
2 : 내측링부재 상부금형
21 : 제2 케비티
22 : 제2 사출액 유로
23 : 돌출핀
24 : 돌출부
3 : 외피부재 하부금형
31 : 제3 케비티
32 : 제3 사출액 유로
321 : 하부 투입홈
33 : 돌출 삽입핀
34 : 쐐기부
4 : 외피부재 상부금형
41 : 제4 케비티
42 : 제4 사출액 유로
421 : 상부 투입홈, 422 : 사출액 투입유로
43 : 가스 배출홀
44 : 가스 배출홈
5 : 리테이너 링
51 : 내측링부재
511 : 핀홈
52 : 외피부재
521 : 가공용 홀
53 : 탭홈
54 : 연마제 유통홈

Claims

상부의 둘레에는 원호형으로 상부가 개방되는 제1 케비티를 형성하고, 상부에는 제1 사출액 유로를 형성하는 내측링부재 하부금형을 준비하는 단계(S10)와;
하부의 둘레에는 상기 제1 케비티와 상응되게 하부가 개방되는 제2 케비티를 형성하고, 제2 케비티의 상부에는 하부로 돌출되는 다수의 돌출핀을 등간격으로 형성하며, 하부와 내부에는 제2 사출액 유로를 형성하는 내측링부재 상부금형을 준비하는 단계(S20)와;
상기 내측링부재 하부금형과 내측링부재 상부금형을 포갠 상태에서 상기 제1 케비티와 제2 케비티로 합성수지 사출액을 주입하여 냉각시킨 후, 내측링부재 하부금형과 내측링부재 상부금형으로부터 성형품을 분리하여 성형 잔재물을 제거함에 따라 다수의 핀홈이 형성되는 내측링부재를 성형하는 단계(S30)와;
상부의 둘레에는 상기 제1 케비티와 상응되게 원호형으로 형성되고 상기 제1 케비티보다 깊이가 깊고 폭이 넓게 형성되며 상부가 개방되는 제3 케비티를 형성하고, 상기 제3 케비티의 하부에는 상기 돌출핀과 상응되는 위치에 돌출핀보다 직경이 큰 다수의 돌출 삽입핀을 형성하며, 상기 돌출 삽입핀의 상부에는 상기 핀홈이 쐐기식으로 삽입되게 상부로 갈수록 좁아지는 쐐기부를 형성하고, 상부에는 제3 사출액 유로를 형성하는 외피부재 하부금형을 준비하는 단계(S40)와;
하부의 둘레에는 상기 제2 케비티와 상응되게 원호형으로 형성되고 상기 제2 케비티보다 깊이가 깊고 폭이 넓게 형성되며 상부가 개방되는 제4 케비티를 형성하고, 하부와 내부에는 제4 사출액 유로를 형성하는 외피부재 상부금형을 준비하는 단계(S50)와;
상기 내측링부재의 핀홈들을 상기 제3 케비티에 형성된 다수의 돌출 삽입핀의 쐐기부에 삽입하여 내측링부재의 둘레와 제3 케비티의 사이에 공간이 형성되게 내측링부재를 설치하는 단계(S60)와;
상기 외피부재 하부금형의 상부에 상기 내측링부재의 둘레와 제4 케비티의 사이에 공간이 형성되게 외피부재 상부금형을 포갠 상태에서, 상기 제3 케비티와 제4 케비티로 합성수지 사출액을 주입하여 냉각시킨 후, 외피부재 하부금형과 외피부재 상부금형으로부터 성형품을 분리하여 성형 잔재물을 제거함에 따라 내측링부재를 감싸며 다수의 가공용 홀이 형성되는 외피부재를 성형하는 단계(S70)와;
상기 각각의 가공용홀과 핀홈에 탭핑을 통해 탭홈을 성형하는 단계(S80)를;
포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계연마장치의 리테이너 링 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 외피부재를 성형하는 단계(S70)에서는 원호형으로 형성되는 상기 제3 케비티와 제4 케비티의 안쪽과 바깥쪽 둘레의 다수의 부분에서 동시에 사출액을 투입하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계연마장치의 리테이너 링 제조방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 내측링부재와 외피부재는 동일 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학적 기계연마장치의 리테이너 링 제조방법.
상부의 둘레에는 원호형으로 상부가 개방되는 하부가 평탄한 제1 케비티(11)가 형성되고, 상부에는 제1 사출액 유로(12)가 형성되는 내측링부재 하부금형(1)과;
상기 내측링부재 하부금형(1)의 상부에 포개지게 배치되고, 하부의 둘레에는 상기 제1 케비티(11)와 상응되게 하부가 개방되며 상부가 평탄한 제2 케비티(21)가 형성되며, 제2 케비티(21)의 상부에는 하부로 돌출되는 다수의 돌출핀(23)이 등간격으로 형성되고, 하부와 내부에는 제2 사출액 유로(22)가 형성되는 내측링부재 상부금형(2)과;
상부의 둘레에는 상기 제1 케비티(11)와 상응되게 원호형으로 형성되고 상기 제1 케비티(11)보다 깊이가 깊고 폭이 넓게 형성되며 상부가 개방되고 하부가 평탄한 제3 케비티(31)가 형성되고, 상기 제3 케비티(31)의 하부에는 상기 돌출핀(23)과 상응되는 위치에 돌출핀(23)보다 길이가 긴 다수의 돌출 삽입핀(33)이 형성되며, 상부에는 제3 사출액 유로(32)가 형성되는 외피부재 하부금형(3)과;
상기 외피부재 하부금형(3)의 상부에 포개지게 배치되고, 하부의 둘레에는 상기 제2 케비티(21)와 상응되게 원호형으로 형성되고 상기 제2 케비티(21)보다 깊이가 깊고 폭이 넓게 형성되며 상부가 개방되고 하부가 평탄한 제4 케비티(41)가 형성되고, 하부와 내부에는 제4 사출액 유로(42)가 형성되는 외피부재 상부금형(4)을;
포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계연마장치의 리테이너 링 제조금형.
제4항에 있어서,
상기 외피부재 하부금형(3)은 원호형의 상기 제3 케비티(31)를 경계로 하여 제3 케비티(31)의 바깥쪽 둘레의 평탄면이 제3 케비티(31)의 안쪽의 평탄면보다 상부로 더 돌출되게 형성되고,
상기 외피부재 상부금형(4)은 원호형의 상기 제4 케비티(41)를 경계로 하여 제4 케비티(41)의 안쪽의 평탄면이 제3 케비티(31)의 바깥쪽 둘레의 평탄면보다 하부로 더 돌출되게 형성되어 상기 외피부재 하부금형(3)의 상부와 외피부재 상부금형(4)의 하부가 상호 밀착가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 화학적 기계연마장치의 리테이너 링 제조금형.
제4항 또는 제5항에 있어서,
상기 제1 사출액 유로(12)는 상기 제1 케비티(11)와 연통되는 것으로, 내측링부재 하부금형(1)의 상부에 형성되는 다수의 홈으로 구성고, 하부금형(1)의 중심부에 자리한 수지물 주입구(12a)를 영점으로 네갈래로 형성된 열십자형 홈(12b)과 열십자형 홈(12b)의 단부에서 제1 케비티(11)로 연결되도록 2갈래로 퍼지도록 넓게 형성된 브이형 홈(12c)으로 형성되며,
상기 제2 사출액 유로(22)는 상기 제2 케비티(21)와 연통되는 것으로, 내측링 하부금형(1)의 상부에 형성되는 다수의 홈으로 구성하되, 상기 하부금형(1)의 제1 사출액 유로(12)와 대응되게 상부금형(2)의 중심부를 영점으로 네갈래로 형성된 열십자형 홈(22a)과 열십자형 홈(22a)의 단부에서 2갈래로 퍼지도록 넓게 형성된 브이형 홈(22b)으로 형성된 것을 특징으로 하는 화학적 기계연마장치의 리테이너 링 제조금형.
제4항 또는 제5항에 있어서,
상기 제3 사출액 유로(32)는, 상기 제3 케비티(31)의 둘레에 등간격으로 안쪽과 바깥쪽에 형성되는 다수의 하부 투입홈(321)을, 포함하며,
상기 제4 사출액 유로(42)는, 상기 제4 케비티(41)의 둘레의 안쪽과 바깥쪽에 상기 하부 투입홈(321)과 상응되는 위치에 형성되는 다수의 상부 투입홈(421)과, 각각의 상부 투입홈(421)과 연통되어 외부에서 사출액이 투입되는 사출액 투입유로(422)를, 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계연마장치의 리테이너 링 제조금형.
제7항에 있어서,
상기 하부 투입홈(321)은, 상부가 개방되는 구형홈(321a)과, 상기 구형홈(321a)과 제3 케비티(31)에 연통되게 형성되고 상기 구형홈(321a)의 깊이보다 낮은 깊이로 형성되는 투입홈(321b)을, 포함하며,
상기 상부 투입홈(421)은, 하부가 개방되는 구형홈(421a)과, 상기 구형홈(421a)과 제4 케비티(41)에 연통되게 형성되고 상기 구형홈(421a)의 깊이보다 낮은 깊이로 형성되는 투입홈(421b)을, 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계연마장치의 리테이너 링 제조금형.
제7항에 있어서,
상기 외피부재 상부금형(4)은,
중앙에서 측부로 편중되게 형성되는 가스 배출홀(43)과,
하면에 상기 가스 배출홀(43)과 연통되게 방사형으로 형성되어 외피부재(52) 성형시 발생되는 배출가스를 배출하는 다수의 가스 배출홈(44)을,
포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계연마장치의 리테이너 링 제조금형.
제4항에 있어서, 상기 내측링부재 상부금형(2)은,
제2 케비티(21)의 상부에 형성되는 평탄면에 하부로 돌출되게 형성되는 다수의 돌출부(24)를, 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계연마장치의 리테이너 링 제조금형.