KR101313795B1 - 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형 - Google Patents

화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형 Download PDF

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이재복
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Abstract

본 발명은 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형에 관한 것으로, 금형 본체 내에 형성된 링 형상의 성형 공간부로 금형 본체가 분리되는 방향으로 형성된 공급 유로부가 상기 성형 공간부의 외주면 또는 내주면과 이격되게 배치되고, 상기 공급 유로부와 상기 성형 공간부를 연결하는 주입 유로부로 상기 성형 공간부 내로 원료를 주입시켜 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링의 외측면에 자국이 형성되는 것을 방지하여 리테이너 링의 품질을 향상시키고, 자국에 의한 불량률을 저하시킨다.

Description

화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형{Metalic Pattern for Retainner Ring of Chemical Mechanical Polishing Apparatus}
본 발명은 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형에 관한 것으로, 더 상세하게는 리테이너 링 제조 시 외주면 또는 내주면에 자국이 형성되는 것을 방지하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼는 화학적 기계 연마 장치(Chemical Mechanical Polishing, CMP)에 의해 표면 평탄화 작업을 거치게 된다.
상기 화학적 기계 연마 장치는 화학적 작용과 물리적 작용을 이용하여 반도체 웨이퍼 상에 도포된 산화막이나 금속 박막을 연마하여 평탄화 또는 제거하는 장치이다. 상기 화학적 기계 연마 장치는 모터에 연결되어 회전하는 연마 헤드 내부에 수용된 반도체의 웨이퍼의 표면을 연마 패드에 화학적 연마제를 공급하면서 연마한다.
리테이너 링은 상기 연마 헤드의 하부면에 장착되어 반도체 웨이퍼가 수용되는 수용부를 형성하고, 연마 중 반도체 웨이퍼가 상기 수용부 내에서 이탈되지 않도록 방지하는 역할을 한다.
상기 리테이너 링은 금형 내에 용융된 액상의 원료를 주입한 후 냉각 과정을 통해 제조된다.
화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형은 금형 내의 공간 내에 원료액을 주입하는 주입 유로가 하나의 직선으로 형성되고, 단일 직선형 주입 유로로 공간 내에 원료액을 주입하여 공간 내에서 주입 시간 동안 제조된 리테이너 링의 외측면에 자국이 남는 문제점이 있었던 것이다. 특히, 공간 내로 주입된 원료액이 하나로 연결되는 지점에서 선형의 자국이 형성되는 문제점이 있었던 것이다.
상기 리테이너 링은 자국이 형성된 부위의 응고체의 조직이 불안정하여 자국이 형성된 부위에서 충격 강도가 낮아져 기계적 강도의 결함이 발생된다.
또한, 상기 리테이너 링의 외주면에 형성된 자국은 외관 품질 문제를 발생시켜 상품성을 저하시키는 문제가 있었던 것이다.
관련 선행 기술로는 한국 특허 공개 10-2004-0047261 '화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링'(2004.06.05 공개)가 있다.
본 발명의 목적은 제조된 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링의 외측면에 자국이 형성되는 것을 방지하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형을 제공하는 데 있다.
이러한 본 발명의 목적은 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링을 제조하기 위한 금형이며,
내부에 링 형상의 성형 공간부와 상기 성형 공간부 내로 용융된 원료를 주입하는 원료 공급 유로부가 구비되며, 제 1 금형 몸체부과 제 2 금형 몸체부로 분리되어 상기 성형 공간부를 개방하는 금형 본체를 포함하고,
상기 원료 공급 유로부는,
상기 성형 공간부의 외주면 또는 내주면과 이격되고 상기 제 1 금형 몸체부와 상기 제 2 금형 몸체부가 분리되는 방향으로 형성되는 공급 유로부와;
상기 공급 유로부와 상기 성형 공간부를 연결하여 상기 성형 공간부 내로 용융된 원료를 유입시키는 주입 유로부를 포함한다.
본 발명은 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링의 외측면에 자국이 형성되는 것을 방지하여 리테이너 링의 품질을 향상시키고, 자국에 의한 불량률을 저하시키는 효과가 있다.
본 발명은 제조 시 응고체의 조직을 균일하게 하여 기계적 강도를 일정하게 유지하고, 제품의 외관 및 강도의 품질을 향상시키는 효과가 있다.
도 1은 본 발명인 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형을 도시한 분해 사시도
도 2 내지 도 3은 본 발명인 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형에서 제 1 금형 몸체부 몸체부와 제 2 금형 몸체부 몸체부의 결합면을 도시한 도면
도 4는 본 발명인 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형의 단면도
도 5는 본 발명인 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형의 다른 실시 예를 도시한 요부 확대 사시도
도 6은 본 발명인 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형 내에 원료를 주입한 상태를 도시한 단면도
도 7은 본 발명인 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형을 분리하여 제조된 리테이너 링을 분리하는 것을 도시한 사시도
본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
이러한 본 발명의 목적은 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링을 제조하기 위한 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형이며, 하기에서 도 1 내지 도 3을 참고하여 본 발명의 실시 예를 설명한다.
본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형은 내부에 링 형상의 성형 공간부(30)와 상기 성형 공간부(30) 내로 용융된 원료를 주입하는 원료 공급 유로부(40)가 구비된 금형 본체(100)를 포함한다. 상기 금형 본체(100)는 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 제 2 금형 몸체부(20)로 분리되어 상기 성형 공간부(30)를 개방한다. 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)는 결합되어 상기 성형 공간부(30)를 밀폐시키고, 분리되면 상기 성형 공간부(30)를 개방시킨다.
상기 제 1 금형 몸체부(10)는 상기 제 2 금형 몸체부(20)와 결합되는 제 1 결합면(10a)이 구비되고, 상기 제 2 금형 몸체부(20)는 상기 제 1 결합면(10a)과 대향되는 제 2 결합면(20a)이 구비된다. 상기 제 1 결합면(10a)과 상기 제 2 결합면(20a) 중 적어도 어느 한 측에는 다른 측을 향한 방향으로 개방된 링형상의 성형 공간부(30)가 형성되어 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 결합하면 상기 성형 공간부(30)가 상기 주입 유로부(42)로만 연통된 상태로 닫히고, 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 분리되면 상기 성형 공간부(30)가 개방되는 구조를 가진다.
상기 성형 공간부(30)는 상기 제 1 결합면(10a)에 형성되는 제 1 홈부(31)와 상기 제 2 결합면(20a)에 형성되는 제 2 홈부(32)로 분할되어 형성되는 것을 일 예로 한다. 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 결합하면 상기 제 1 홈부(31)와 상기 제 2 홈부(32)가 연결되어 링형상의 성형 공간부(30)를 형성하고, 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 분리되면 상기 제 1 홈부(31) 및 상기 제 2 홈부(32)가 개방되는 것이다.
상기 금형 본체(100)는 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 결합되어 상기 성형 공간부(30)가 밀폐된 상태에서 상기 원료 공급 유로부(40)를 통해 상기 성형 공간부(30) 내로 원료를 주입한다. 그리고, 상기 금형 본체(100)는 상기 성형 공간부(30)에서 주입된 원료가 냉각된 후 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 분리되어 제조된 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링을 인출한다.
상기 원료는 폴리에텔에텔케톤(PEEK;Polyether Ether Ketone)를 용융한 것을 일 예로 하며, 이외의 합성수지 또는 엔지니어링 플라스틱으로 다양하게 변형 실시할 수 있음을 밝혀둔다.
상기 성형 공간부(30)에는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 내부에 삽입되는 금속링체(3)를 고정하기 위한 복수의 핀 결합 홈부(30a)가 형성되는 것을 일 예로 한다. 상기 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링은 중량 및 강성을 확보를 위해 내부에 스테인레스(SUS) 강과 같은 금속재로 제조된 금속링체(3)를 삽입한다.
상기 금속링체(3)는 복수의 핀 결합 구멍(3a)이 형성되고, 상기 핀 결합 구멍(3a)에는 상기 핀 결합 홈부(30a)에 삽입되는 링 장착용 핀(4)이 결합된다. 상기 링 장착용 핀(4)은 상기 핀 결합 구멍(3a)에 삽입되어 상기 금속링체(3)의 일면에 돌출되게 장착된다. 그리고, 상기 금속링체(3)는 일면에 돌출된 상기 링 장착용 핀(4)을 상기 핀 결합 홈부(30a)에 삽입하여 외측 둘레로 공간이 형성되게 상기 성형 공간부(30) 내에 배치된다. 그리고, 상기 성형 공간부(30)를 밀폐시킨 후 상기 성형 공간부(30) 내에 원료를 주입하면 상기 금속링체(3)의 둘레로 형성된 공간에 원료가 채워져 상기 금속링체(3)가 내부에 삽입된 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링이 제조된다.
한편, 도 5를 참고하면, 상기 성형 공간부(30)에는 상기 금속링체(3)의 핀 결합 구멍(3a)에 결합되는 링 장착용 돌기(30b)가 돌출될 수 있고, 상기 금속링체(3)는 상기 핀 결합 구멍(3a)에 상기 링 장착용 돌기(30b)를 결합시켜 외측 둘레로 공간이 형성되게 상기 성형 공간부(30) 내에 배치된다. 그리고, 상기 성형 공간부(30)를 밀폐시킨 후 상기 성형 공간부(30) 내에 원료를 주입하면 상기 금속링체(3)의 둘레로 형성된 공간에 원료가 채워져 상기 금속링체(3)가 내부에 삽입된 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링이 제조된다.
다시, 도 1 내지 도 3을 참고하여, 본 발명의 실시 예를 설명하면 하기와 같다.
상기 원료 공급 유로부(40)는, 상기 성형 공간부(30)의 외주면 또는 내주면과 이격되고, 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 분리되는 방향으로 형성되는 공급 유로부(41); 및
상기 공급 유로부와 상기 성형 공간부(30)를 연결하여 상기 성형 공간부(30) 내로 용융된 원료를 유입시키는 주입 유로부(42)를 포함한다.
원료는 상기 공급 유로부(41)와 상기 주입 유로부(42)를 차례로 통과하여 유로의 방향이 변경되어 상기 성형 공간부(30) 내로 유입된다. 즉, 상기 공급 유로부(41)와 상기 주입 유로부(42)는 상기 금형 본체(100) 내에서 원료의 유로를 변경하여 상기 성형 공간부(30)의 측면 방향으로 유입시킴으로써 상기 성형 공간부(30) 내에서 원료를 냉각하여 제조되는 리테이너 링의 외측면에 자국이 발생되는 것을 최소화한다.
상기 공급 유로부(41)와 상기 주입 유로부(42)는 서로 수직 방향으로 위치되는 것을 일 예로 하며, 상기 공급 유로부(41)는 상기 금형 본체(100)가 분리되는 방향으로 상기 금형 본체(100) 내에서 직선형으로 형성된다. 또한, 상기 주입 유로부(42)는 상기 제 1 결합면(10a) 및 상기 제 2 결합면(20a) 중 적어도 하나 이상에 홈 형상으로 형성되어 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 분리 시 개방되도록 형성된다. 상기 주입 유로부(42) 내에 채워진 원료는 상기 성형 공간부(30) 내의 원료가 냉각될 때 함께 냉각되어 응고된다. 상기 주입 유로부(42) 내에서 응고된 여분의 응고체는 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 분리되면 상기 주입 유로부(42) 내에서 분리되어 상기 성형 공간부(30) 내에서 제조된 리테이너 링과 함께 상기 금형 본체(100)에서 분리된다.
상기 공급 유로부(41)는 상기 성형 공간부(30)의 외주면과 이격되고 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 분리되는 방향으로 형성된 제 1 공급 유로(41a); 및 상기 성형 공간부(30)의 내주면과 이격되고 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 분리되는 방향으로 형성된 제 2 공급 유로(41b)를 포함한다.
상기 제 1 공급 유로(41a)와 상기 제 2 공급 유로(41b)는 상기 성형 공간부(30)의 중심을 지나는 직선 상에 배치되어 상기 성형 공간부(30)의 외주면과 내측면에서 동일한 방향으로 마주보고 상기 성형 공간부(30) 내로 원료액을 주입하여 원료액이 상기 성형 공간부(30)의 내측과 외측에서 균일하게 주입될 수 있도록 한다.
또한, 상기 주입 유로부(42)는 상기 제 1 공급 유로(41a)를 상기 성형 공간부(30)의 외주면으로 연결하는 제 1 주입 유로(42a); 및 상기 제 2 공급 유로(41b)를 상기 성형 공간부(30)의 외주면으로 연결하는 제 2 주입 유로(42b)를 포함한다.
상기 주입 유로부(42)는 상기 성형 공간부(30)의 외주면 또는 내주면에 비스듬하게 형성되어 상기 공급 유로부(41)와 상기 성형 공간부(30)를 연결한다. 상기 주입 유로부(42)는 상기 성형 공간부(30)의 외주면 또는 내주면에 비스듬하게 형성되어 상기 성형 공간부(30) 내의 내측면 즉, 외주면 또는 내주면을 향해 비스듬하게 유로를 공급하여 원료가 링형상의 성형 공간부(30) 둘레를 감싸도록 원활하게 공급되도록 한다. 상기 주입 유로부(42)는 비스듬하게 형성되어 상기 원료를 상기 성형 공간부(30) 내로 비스듬한 방향으로 유입시킨다. 상기 원료는 상기 성형 공간부(30) 내에서 원주 방향으로 원활하게 유동하여 상기 성형 공간부(30) 내로 채워진다. 상기 제 1 주입 유로(42a)와 상기 제 2 주입 유로(42b)는 대응되는 각도로 서로 마주보고 상기 성형 공간부(30)의 외주면 또는 내주면에 비스듬하게 형성된다. 상기 성형 공간부(30)의 원주 방향으로 상기 제 1 주입 유로(42a) 및 상기 제 2 주입 유로(42b)를 통해 각각 상기 성형 공간부(30) 내로 공급되는 원료는 상기 성형 공간부(30) 내의 중앙부분에서 서로 연결되고, 상기 성형 공간부(30) 내에서 원주 방향으로 원활하게 유동하여 상기 성형 공간부(30) 내에 채워진다.
또한, 상기 공급 유로부(41)와 상기 주입 유로부(42)는 상기 성형 공간부(30)의 둘레로 이격되게 복수로 구비되어 상기 성형 공간부(30) 내로 원료를 복수의 유로로 주입하여 최대한 빠르고 균일하게 상기 성형 공간부(30) 내로 원료가 유입되어 채워지도록 하는 것이 바람직하다.
즉, 상기 제 1 공급 유로(41a)와 상기 제 2 공급 유로(41b)는 상기 성형 공간부(30)의 둘레로 복수개 형성되고, 상기 제 1 주입 유로(42a) 및 상기 제 2 주입 유로(42b)는 상기 제 1 공급 유로(41a)와 상기 제 2 공급 유로(41b)와 대응되게 구비되어 각각의 상기 제 1 공급 유로(41a)와 상기 제 2 공급 유로(41b)를 상기 성형 공간부(30)로 연결하는 것이다.
한편, 상기 원료 공급 유로부(40)는 상기 성형 공간부(30)의 중심부에서 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 분리되는 방향으로 상기 제 1 금형 몸체부(10) 내부에 외측면으로 관통되게 형성된 메인 유로부(43)와;
상기 메인 유로부(43)와 상기 공급 유로부(41)를 연결하는 연결 유로부(44)를 더 포함한다.
상기 제 1 금형 몸체부(10)는 제 1 몸체(11)와 제 2 몸체(12)로 분리되어 상기 연결 유로부(44)를 개방하도록 형성된다. 상기 제 1 몸체(11)와 상기 제 2 몸체(12)는 결합되어 상기 연결 유로부(44)를 밀폐시키고, 분리되면 상기 연결 유로부(44)를 개방시킨다.
상기 제 1 몸체(11)는 상기 제 2 몸체(12)는 서로 대향되어 결합되는 장착면이 각각 구비되며, 상기 제 1 몸체(11)의 장착면 또는 상기 제 2 몸체(12)의 장착면 중 적어도 어느 한 측에는 다른 측을 향한 방향으로 개방된 연결 유로부(44)가 형성되어 상기 제 1 몸체(11)와 상기 제 2 몸체(12)가 결합하면 상기 연결 유로부(44)가 밀폐되고, 상기 제 1 몸체(11)와 상기 제 2 몸체(12)가 분리되면 상기 연결 유로부(44)가 개방되는 구조를 가진다.
상기 연결 유로부(44)는 상기 제 1 몸체(11)의 장착면 또는 상기 제 2 몸체(12)의 장착면에 각각 홈 형상으로 분할되어 형성되는 것을 일 예로 한다. 상기 제 1 몸체(11)와 상기 제 2 몸체(12)가 결합하면 분할된 상기 연결 유로부(44)가 연결되어 상기 연결 유로부(44)를 형성하고, 상기 제 1 몸체(11)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 분리되면 상기 제 1 홈부(31) 및 상기 제 2 홈부(32)가 개방되는 것이다.
상기 제 1 금형 몸체부(10)는 상기 제 1 몸체(11)와 상기 제 2 몸체(12)가 결합되어 상기 연결 유로부(44)가 밀폐된 상태에서 상기 연결 유로부(44)를 통해 상기 공급 유로부(41)로 원료를 공급한다. 그리고, 상기 제 1 금형 몸체부(10)는 상기 성형 공간부(30)에서 주입된 원료가 냉각된 후 상기 제 1 몸체(11)와 상기 제 2 몸체(12)가 분리되어 상기 메인 유로부(43), 상기 연결 유로부(44), 상기 공급 유로부(41) 내에 채워진 원료가 응고된 유로 응고체를 분리할 수 있게 한다. 상기 유로 응고체가 분리되면 상기 메인 유로부(43), 상기 연결 유로부(44), 상기 공급 유로부(41)는 개방되어 내부로 다시 원료를 주입할 수 있게 된다.
상기 공급 유로부(41)는 상기 제 1 금형 몸체부(10) 내에서 유로가 일부분 좁게 형성되는 것이 바람직하다. 상기 공급 유로부(41) 내에 채워진 원료가 응고된 응고체는 상기 제 1 몸체(11)와 상기 제 2 몸체(12)가 분리될 때 두 개의 몸체로 분리되어 상기 성형 공간부(30) 내에서 제조된 리테이너 링을 상기 성형 공간부(30) 내에서 용이하게 분리할 수 있게 한다. 또한, 상기 메인 유로부(43), 상기 연결 유로부(44), 상기 공급 유로부(41) 내에 채워진 원료가 응고된 유로 응고체를 용이하게 분리할 수 있게 한다.
상기 연결 유로부(44)는 상기 성형 공간부(30)의 중심을 향해 형성된 상기 메인 유로부(43)에서 복수로 분기되어 복수의 상기 공급 유로부(41)에 연결된다. 그리고, 상기 제 1 공급 유로(41a)와 상기 제 2 공급 유로(41b)를 연결하여 상기 제 1 공급 유로(41a)와 상기 제 2 공급 유로(41b)에 각각 원료를 공급한다.
상기 메인 유로부(43)은 상기 성형 공간부(30)의 중심을 향해 형성되고, 상기 연결 유로부(44)는 상기 메인 유로부(43)에서 복수로 분기되어 복수의 상기 공급 유로부(41)로 원료를 균일하게 공급한다. 또한, 상기 제 1 공급 유로(41a)와 상기 제 2 공급 유로(41b)는 상기 성형 공간부(30)의 중심을 지나는 직선 상에 배치되어 상기 연결 유로부(44)로 연결되고, 하나의 상기 연결 유로부(44)를 통해 각각 원료를 공급받아 상기 제 1 주입 유로(42a) 및 상기 제 2 주입 유로(42b)를 통해 상기 성형 공간부(30)의 내주면과 외주면 측에서 균일하게 상기 성형 공간부 내로 원료를 주입한다.
한편, 상기 금형 본체(100)는 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 분리, 결합될 때의 이동을 안내하는 가이드부(50)를 더 포함하며, 상기 가이드부(50)는 상기 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)를 관통하는 복수의 가이드 바(51)를 포함한다. 상기 가이드 바(51)는 상기 성형 공간부(30)의 외측으로 이격되게 배치되고, 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)의 이동 방향으로 배치되어 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20) 중 이동되는 한 측의 이동을 안내하여 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 정확한 위치에서 결합 및 분리가 이루어질 수 있도록 한다.
한편, 본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형을 이용하여 리테이너 링을 제조하는 방법을 설명하면 하기와 같다.
상기 제 1 금형 몸체부(10)는 상기 제 1 몸체(11)와 상기 제 2 몸체(12)가 결합되어 상기 연결 유로부(44)가 밀폐된다. 그리고, 상기 제 1 금형 몸체부(10)는 상기 제 2 금형 몸체부(20)와 결합되어 상기 성형 공간부(30)가 밀폐된다. 상기 성형 공간부(30) 내에 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 분리된 상태에서 상기 성형 공간부(30) 내에 금속링체(3)를 외측 둘레로 공간이 형성되게 배치할 수도 있다.
도 6을 참고하면, 상기 연결 유로부(44)가 밀폐된 상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)가 결합되어 상기 성형 공간부(30)가 밀폐되고, 상기 메인 유로부(43)로 원료를 공급한다.
상기 원료는 상기 메인 유로부(43)를 통해 각각의 상기 연결 유로부(44)로 이동하고, 상기 연결 유로부(44)에서 상기 제 1 공급 유로(41a)와 상기 제 2 공급 유로(41b)로 이동한다. 그리고, 상기 원료는 상기 제 1 주입 유로(42a)와 상기 제 2 주입 유로(42b)를 통해 상기 성형 공간부(30)의 외주면 측과 내주면 측으로 각각 주입되어 상기 성형 공간부(30) 내로 채워진다. 상기 원료가 상기 성형 공간부(30) 내로 완전하게 채워진 후 상기 원료를 냉각시키면 상기 성형 공간부(30) 내에서 냉각되어 응고됨으로써 상기 성형 공간부(30) 내에서 리테이너링이 제조된다. 상기한 바와 같이 상기 금속 링체를 상기 성형 공간부(30) 내에 장착한 상태로 상기 성형 공간부(30) 내로 원료를 주입하여 냉각하면 내부에 금속링체(3)가 삽입된 리테이너 링을 제조할 수 있다.
상기한 바와 같이 리테이너 링이 제조된 후에는 도 7에서 도시한 바와 같이 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)를 분리하고, 상기 제 1 금형 몸체부(10)의 제 1 몸체(11)와 상기 제 2 몸체(12)를 분리한다. 상기 제 1 몸체(11)와 상기 제 2 몸체(12)를 분리하면서 상기 공급 유로부(41) 내에서 응고된 응고체는 두 개의 몸체로 분리된다.
상기 제 1 금형 몸체부(10)와 상기 제 2 금형 몸체부(20)의 사이에서 상기 성형 공간부(30)가 개방되어 상기 성형 공간부(30) 내에서 제조된 리테이너 링(1)이 간단하게 분리된다.
또한, 상기 제 1 몸체(11)와 상기 제 2 몸체(12)의 사이에서 상기 연결 유로부(44)가 개방되어 상기 메인 유로부(43), 상기 연결 유로부(44), 상기 공급 유로부(41) 내에 채워진 원료로 응고된 유로 응고체(2)가 간단하게 분리된다. 상기 리테이너 링(1)과 상기 유로 응고체(2)가 분리되면서 상기 메인 유로부(43), 상기 연결 유로부(44), 상기 공급 유로부(41), 상기 성형 공간부(30)는 다시 빈 공간으로 형성된다.
본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형은 원료를 금형 본체(100)가 열리는 방향에서 상기 성형 공간부(30)의 측면 방향으로 주입 방향을 변경 공급하여 상기 성형 공간부(30) 내에서 제조되는 리테이너 링(1)의 외측면에 자국이 형성되는 것을 방지한다.
본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형은 비스듬하게 형성된 주입 유로부를 통해 원료를 상기 성형 공간부(30) 내로 주입시켜 원료가 상기 성형 공간부(20) 내에서 원주 방향으로 원활하게 유동되면서 상기 성형 공간부(20) 내로 채워지게 되어 상기 성형 공간부(30) 내에서 제조되는 리테이너 링(1)의 외측면에 자국이 형성되는 것을 더 방지한다.
본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형은 상기 성형 공간부(30)의 내주면과 외주면에서 상기 성형 공간부(30) 내로 원료를 주균일 하게 주입시켜 상기 성형 공간부(30) 내에서 원주 방향으로 더 원활하게 유동되어 상기 성형 공간부(30) 내에서 제조되는 리테이너 링(1)의 외측면에 자국이 형성되는 것을 더 방지한다.
본 발명에 따른 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형은 상기 공급 유로부(41)와 상기 주입 유로부(42)가 상기 성형 공간부(30) 둘레로 복수로 구비되어 상기 성형 공간부(30) 내로 원료가 더 균일하고 빠르게 공급되고, 상기 성형 공간부(30) 내에서 원주 방향으로 더 원활하게 유동되어 상기 성형 공간부(30) 내에서 제조되는 리테이너 링(1)의 외측면에 자국이 형성되는 것을 더 방지한다.
본 발명은 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링의 외측면에 자국이 형성되는 것을 방지하여 리테이너 링의 품질을 향상시키고, 자국에 의한 불량률을 저하시키는 효과가 있다.
본 발명은 제조 시 응고체의 조직을 균일하게 하여 기계적 강도를 일정하게 유지하고, 제품의 외관 및 강도의 품질을 향상시키는 효과가 있다.
본 발명은 상기한 실시 예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지에 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있으며 이는 본 발명의 구성에 포함됨을 밝혀둔다.
1 : 리테이너 링 2 : 유로 응고체
10 : 제 1 금형 몸체부 11 : 제 1 몸체
12 : 제 2 몸체 20 : 제 2 금형 몸체부
30 : 성형 공간부 40 : 원료 공급 유로부
41 : 공급 유로부 42 : 주입 유로부
43 : 메인 유로부 44 : 연결 유로부

Claims (10)

  1. 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링을 제조하기 위한 금형이며,
    내부에 링 형상의 성형 공간부와 상기 성형 공간부 내로 용융된 원료를 주입하는 원료 공급 유로부가 구비되며, 제 1 금형 몸체부과 제 2 금형 몸체부로 분리되어 상기 성형 공간부를 개방하는 금형 본체를 포함하고,
    상기 원료 공급 유로부는,
    상기 성형 공간부의 외주면 또는 내주면과 이격되고 상기 제 1 금형 몸체부와 상기 제 2 금형 몸체부가 분리되는 방향으로 형성되는 공급 유로부; 및
    상기 공급 유로부와 상기 성형 공간부를 연결하여 상기 성형 공간부 내로 용융된 원료를 유입시키는 주입 유로부를 포함한 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 주입 유로부는 상기 성형 공간부의 외주면 또는 내주면에 비스듬하게 형성되어 상기 공급 유로부와 상기 성형 공간부를 연결하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제 1 금형 몸체부는 상기 제 2 금형 몸체부와 결합되는 제 1 결합면이 구비되고,
    상기 제 2 금형 몸체부는 상기 제 1 결합면과 대향되는 제 2 결합면이 구비되고,
    상기 주입 유로부는 상기 제 1 결합면 및 상기 제 2 결합면 중 적어도 어느 하나 이상에 홈 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 원료 공급 유로부는 이격되게 복수로 구비된 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 공급 유로부는,
    상기 성형 공간부의 외주면과 이격되고 상기 제 1 금형 몸체부와 상기 제 2 금형 몸체부가 분리되는 방향으로 형성된 제 1 공급 유로; 및
    상기 성형 공간부의 내주면과 이격되고 상기 제 1 금형 몸체부와 상기 제 2 금형 몸체부가 분리되는 방향으로 형성된 제 2 공급 유로를 포함하고,
    상기 주입 유로부는,
    상기 제 1 공급 유로를 상기 성형 공간부의 외주면으로 연결하는 제 1 주입 유로; 및
    상기 제 2 공급 유로를 상기 성형 공간부의 외주면으로 연결하는 제 2 주입 유로를 포함한 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 제 1 공급 유로와 상기 제 2 공급 유로는 상기 성형 공간부의 중심을 지나는 직선 상에 배치된 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 제 1 주입 유로와 상기 제 2 주입 유로는 서로 마주보고 상기 성형 공간부의 외주면과 내주면에 비스듬하게 형성된 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형.
  8. 청구항 5에 있어서,
    상기 제 1 공급 유로와 상기 제 2 공급 유로는 복수 개로 구비되고,
    상기 제 1 주입 유로 및 상기 제 2 주입 유로는 상기 제 1 공급 유로와 상기 제 2 공급 유로와 대응되게 구비된 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 원료 공급 유로부는,
    상기 성형 공간부의 중심부에서 상기 제 1 금형 몸체부와 상기 제 2 금형 몸체부가 분리되는 방향으로 상기 제 1 금형 몸체부 내부에 외측면으로 관통되게 형성된 메인 유로부; 및
    상기 메인 유로부와 상기 공급 유로부를 연결하는 연결 유로부를 더 포함한 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 제 1 금형 몸체부는,
    분리되어 상기 연결 유로부를 개방하는 제 1 몸체와 제 2 몸체를 포함한 것을 특징으로 하는 화학적 기계 연마 장치의 리테이너 링 제조용 금형.
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