KR101364632B1 - Electrophoretic display deivce and method of fabrication thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 제조비용이 절감되고 제조공정이 단순화된 전기영동 표시소자 제조방법에 관한 것으로, 복수의 화소를 포함하는 화상표시부 및 화상비표시부를 포함하는 제1기판 및 제2기판을 제공하는 단계와, 제1기판상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계와, 상기 박막트랜지스터가 형성된 제1기판상에 보호층을 형성하는 단계와, 상기 보호층 위의 화상표시영역에 제1화소전극을 형성하는 단계와, 하고 상기 보호층 상부의 화상비표시영역에 복수의 화소를 정의하는 격벽을 형성하는 단계와, 상기 제1화소전극 위 및 격벽의 측벽에 제2화소전극을 형성하는 단계와, 상기 보호층 상부의 격벽 내부의 단위 화소내에 전기영동물질을 충진하는 단계와, 상기 제2기판에 공통전극을 형성하는 단계와, 제1기판 및 제2기판을 합착하는 단계로 구성된다.The present invention relates to a method for manufacturing an electrophoretic display device having a reduced manufacturing cost and a simplified manufacturing process, comprising: providing a first substrate and a second substrate including an image display unit and a non-image display unit including a plurality of pixels; Forming a thin film transistor on the first substrate, forming a protective layer on the first substrate on which the thin film transistor is formed, and forming a first pixel electrode in an image display area on the protective layer; And forming a partition wall defining a plurality of pixels in an image non-display area above the passivation layer, forming a second pixel electrode on the first pixel electrode and on sidewalls of the partition wall; The method includes filling an electrophoretic material in a unit pixel in a partition wall of the barrier rib, forming a common electrode on the second substrate, and bonding the first substrate and the second substrate to each other.

Description

전기영동 표시소자 및 그 제조방법{ELECTROPHORETIC DISPLAY DEIVCE AND METHOD OF FABRICATION THEREOF}Electrophoretic display device and its manufacturing method {ELECTROPHORETIC DISPLAY DEIVCE AND METHOD OF FABRICATION THEREOF}

본 발명은 전기영동 표시소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 전기영동물질을 박막트랜지스터가 형성되는 기판에 직접 충진함으로써 제조비용을 절감하고 제조시간을 단축할 수 있는 전기영동 표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrophoretic display device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an electrophoretic display device and a method of manufacturing the same, which directly reduce an electrophoretic material on a substrate on which a thin film transistor is formed, thereby reducing manufacturing cost. It is about.

일반적으로 전기영동 표시소자는 전압이 인가되는 한쌍의 전극을 콜로이드용액에 담그면 콜로이드 입자가 어느 한쪽의 극성으로 이동하는 현상을 이용한 화상표시장치로서, 백라이트를 사용하지 않으면서 넓은 시야각, 높은 반사율, 저소비전력 등의 특성을 갖기 때문에, 전기종이(electric paper) 등의 전자기기로서 각광받고 있다.In general, an electrophoretic display device is an image display device using a phenomenon in which a pair of electrodes to which a voltage is applied is immersed in a colloid solution to move the colloid particles to either one of polarities. The electrophoretic display device has a wide viewing angle, a high reflectance, Power and the like, all kinds of electronic devices are attracting attention as electronic devices such as electric paper.

이러한 전기영동 표시소자는 2개의 기판 사이에 전기영동층이 개재된 구조를 가지며, 2개의 기판중 하나는 투명한 기판으로 이루어지고 다른 하나는 구동소자가 형성된 어레이기판으로 구성됨으로써 입력되는 광을 반사하는 반사형 모드로 화상을 표시할 수 있다. The electrophoretic display device has a structure in which an electrophoretic layer is interposed between two substrates, one of the two substrates is made of a transparent substrate and the other is made up of an array substrate on which a driving device is formed, An image can be displayed in the reflective mode.

도 1은 종래 전기영동 표시소자(1)의 구조를 나타내는 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 전기영동 표시소자(1)는 제1기판(20) 및 제2기판(40)과, 상기 제1기판(20)에 형성된 박막트랜지스터 및 화소전극(18)과, 상기 제2기판(40)에 형성된 공통전극(42)과, 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40) 사이에 형성된 전기영동층(60)과, 상기 전기영동층(60)과 화소전극(18) 사이에 형성된 접착층(56)으로 이루어진다.1 is a view showing a structure of a conventional electrophoretic display element 1. Fig. 1, the electrophoretic display element 1 includes a first substrate 20 and a second substrate 40, a thin film transistor and a pixel electrode 18 formed on the first substrate 20, A common electrode 42 formed on the second substrate 40 and an electrophoretic layer 60 formed between the first substrate 20 and the second substrate 40. The electrophoretic layer 60 and the pixel And an adhesive layer (56) formed between the electrodes (18).

박막트랜지스터는 상기 제1기판(2)에 형성된 게이트전극(11)과, 상기 게이트전극(11)이 형성된 제1기판(20) 전체에 걸쳐 형성된 게이트절연층(22)과, 상기 게이트절연층(22) 위에 형성된 반도체층(13)과, 상기 반도체층(13) 위에 형성된 소스전극(15) 및 드레인전극(16)으로 이루어진다. 상기 박막트랜지스터의 소스전극(15) 및 드레인전극(16) 위에는 보호층(24)이 형성된다.The thin film transistor includes a gate electrode 11 formed on the first substrate 2, a gate insulating layer 22 formed on the entire first substrate 20 on which the gate electrode 11 is formed, And a source electrode 15 and a drain electrode 16 formed on the semiconductor layer 13. The source electrode 15 and the drain electrode 16 are formed on the semiconductor layer 13, A protective layer 24 is formed on the source electrode 15 and the drain electrode 16 of the thin film transistor.

상기 보호층(24) 위에는 상기 전기영동층(60)에 신호를 인가하는 화소전극(18)이 형성된다. 이때, 상기 보호층(24)에는 컨택홀(28)이 형성되어 보호층(24) 상부의 화소전극(18)이 상기 컨택홀을 통해 박막트랜지스터의 드레인전극(16)에 접속된다.On the protective layer 24, a pixel electrode 18 for applying a signal to the electrophoretic layer 60 is formed. A contact hole 28 is formed in the passivation layer 24 so that the pixel electrode 18 on the passivation layer 24 is connected to the drain electrode 16 of the thin film transistor through the contact hole.

또한, 제2기판(40)에는 공통전극(42)이 형성되며, 상기 공통전극(42) 위에 전기영동층(60)이 형성되어 있다. 이때, 상기 전기영동층(60) 위에 접착층(56)이 형성되어 전기영동층(60)을 포함하는 제2기판(40)을 제1기판(20)과 합착한다. 상기 전기영동층(60)은 내부에 전기영동 특성을 갖는 화이트입자(74)와 블랙입자(76)가 채워진 캡슐(70)을 포함한다. 상기 화소전극(18)에 신호가 인가되면, 상기 공통전극(42)과 화소전극(18) 사이에 전계가 발생하며, 상기 전계에 의해 캡슐(70) 내부의 화이트입자(74)와 블랙입자(76)가 이동함으로써 화상을 구현하는 것이다.A common electrode 42 is formed on the second substrate 40 and an electrophoretic layer 60 is formed on the common electrode 42. At this time, an adhesive layer 56 is formed on the electrophoretic layer 60 to bond the second substrate 40 including the electrophoretic layer 60 to the first substrate 20. The electrophoretic layer 60 includes a capsule 70 filled with white particles 74 and black particles 76 having electrophoretic characteristics therein. When a signal is applied to the pixel electrode 18, an electric field is generated between the common electrode 42 and the pixel electrode 18, and white particles 74 and black particles 76 are moved to implement an image.

예를 들어, 화소전극(18)에 (-)전압이 인가되면, 제2기판(40)의 공통전극(42)은 상대적으로 (+)전위를 가지게 되어, (+)전하를 띄는 화이트입자(74)는 제1기판(20)쪽으로 이동하고, (-)전하를 띄는 블랙입자(76)는 제2기판(40)쪽으로 이동하게 된다. 이 상태에서 외부, 즉 제2기판(40)의 상부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 블랙입자(76)에 의해 반사되므로, 전기영동 표시소자에는 블랙이 구현된다.For example, when a negative (-) voltage is applied to the pixel electrode 18, the common electrode 42 of the second substrate 40 has a relatively positive potential, and white particles (+ 74 move toward the first substrate 20 and the black particles 76 having a negative charge move toward the second substrate 40. In this state, when light is input from the outside, that is, from the upper portion of the second substrate 40, since the input light is reflected by the black particles 76, black is realized in the electrophoretic display element.

반대로, 상기 화소전극(18)에 (+)전압이 인가되면, 제2기판(40)의 공통전극(42)은 (-)전위를 가지게 되어, (+)전하를 띄는 화이트입자(74)는 제2기판(40)으로 이동하고, (-)전하를 띄는 블랙입자(76)는 제1기판(20)으로 이동하게 된다. 이 상태에서 외부, 즉 제2기판(40)의 상부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 화이트입자(74)에 의해 반사되므로, 전기영동 표시소자에는 화이트가 구현되는 것이다.On the other hand, when a positive voltage is applied to the pixel electrode 18, the common electrode 42 of the second substrate 40 has a negative potential, and white particles 74 having a positive charge The black particles 76 moving to the second substrate 40 and having a negative charge move to the first substrate 20. In this state, when light is input from the outside, that is, from the upper portion of the second substrate 40, since the input light is reflected by the white particles 74, white is realized in the electrophoretic display element.

그러나, 상기와 같은 구조의 종래 전기영동 표시소자(1)에서는 다음과 같은 문제가 발생한다.However, in the conventional electrophoretic display element 1 having the above-described structure, the following problems arise.

종래 전기영동 표시소자(1)에서는 제1기판(20) 및 제2기판(40)을 별도로 제작한 후, 접착층(56)에 의해 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40)을 합착함으로써 완성된다. 즉, 제1기판(20) 상에 단위 화소를 구동시키는 박막트랜지스터와 전기영동층(60)에 전계를 인가하는 화소전극(18)을 형성하고 별도의 공정에서 제2기판(40) 상에 공통전극(42), 전기영동층(60) 및 접착층(56)을 형성한 후, 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40)을 합착함으로써 형성된다.In the conventional electrophoretic display device 1, the first substrate 20 and the second substrate 40 are separately manufactured, and then the first substrate 20 and the second substrate 40 are attached to each other by an adhesive layer 56 . That is, a thin film transistor for driving unit pixels on the first substrate 20 and a pixel electrode 18 for applying an electric field to the electrophoretic layer 60 are formed on the second substrate 40 in a separate process After the electrode 42, the electrophoretic layer 60 and the adhesive layer 56 are formed, the first substrate 20 and the second substrate 40 are bonded together.

그러나, 통상 전기영동표시소자의 단위 화소는 가로 및 세로의 크기가 150마이크로미터 이내의 작은 크기로 형성되기 때문에, 이 크기에 정확히 맞도록 전기영동층을 정렬시키는 것은 매우 어렵게 된다. 전기영동층과 박막트랜지스터가 형성되어 있는 제1기판이 정확히 정렬되지 못하면 전계가 전기영동입자에 정확히 전달되지 못해 구동에러의 원인이 된다.However, since the unit pixel of the electrophoretic display element is formed to have a small size such as a width and a length of less than 150 micrometers, it becomes very difficult to align the electrophoresis layer exactly to this size. If the first substrate on which the electrophoretic layer and the thin film transistor are formed is not aligned correctly, the electric field can not be accurately transferred to the electrophoretic particles, which causes a driving error.

또한, 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40)은 각각 다른 공정상에서 제작된 후, 이송수단에 의해 이송되어 합착공정에서 서로 합착해야 되므로, 인라인으로 제조공정을 형성할 수가 없었다.In addition, since the first substrate 20 and the second substrate 40 are manufactured in different processes, they must be transferred by the transfer means and adhered to each other in the adhesion process, so that the fabrication process can not be performed in-line.

한편, 제2기판(40)상에는 공통전극(42)을 형성하고 전기영동층(60)을 도포한 후 접착층(56)을 도포한다. 상기 제2기판(40)을 합착공정으로 이송하여 제1기판(20)과 합착하기 위해서는 상기 접착층(56)의 접착력이 저하되거나 접착층(56)에 이물질이 부착되는 것을 방지하기 위해, 상기 접착층(56)에 보호필름을 부착한 상태에서 이송해야만 한다. 이송된 제2기판(40)을 제1기판(20)에 부착하기 위해서는 제2기판(40)으로부터 보호필름을 박리해야만 하는데, 보호필름의 박리과정에서 정전기가 발생하게 되며, 이 발생된 정전기는 전기영동입자의 초기 배열에 오정렬을 유발시키게 되어 전기영동표시소자의 동작시 빗살무늬모양의 모아레가 발생하는 원인이 되었다.On the other hand, the common electrode 42 is formed on the second substrate 40, and the electrophoretic layer 60 is coated and then the adhesive layer 56 is applied. In order to prevent the adhesive force of the adhesive layer 56 from being lowered or adhesion of foreign matter to the adhesive layer 56 in order to bond the first substrate 20 to the second substrate 40 by transferring the second substrate 40 to the adhesion process, 56) with a protective film attached thereto. In order to attach the transferred second substrate 40 to the first substrate 20, the protective film must be peeled from the second substrate 40. In the peeling process of the protective film, static electricity is generated, Which causes misalignment in the initial arrangement of the electrophoretic particles, which causes a comb-like moire in the operation of the electrophoretic display device.

이와 같이, 종래 전기영동 표시소자에서는 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40)은 각각 다른 공정에서 제작되기 때문에, 전기영동층의 접착시 제1기판(20)과 제2기판(40) 사이에 오정렬이 발생하거나 공정이 복잡해지고, 접착층의 박리시 정전기가 발생하여 화질이 불량으로 된다는 문제 등이 있었다.As described above, in the conventional electrophoretic display device, since the first substrate 20 and the second substrate 40 are manufactured by different processes, the first substrate 20 and the second substrate 40 ) Or the process becomes complicated, static electricity is generated when the adhesive layer is peeled off, and the image quality is poor.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 전기영동층을 박막트랜지스터가 형성되는 기판에 직접 형성함으로써 전기영동층과 제1기판 사이의 오정렬을 방지하며, 제조비용을 절감하고 제조공정을 단순화할 수 있는 전기영동 표시소자 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a thin film transistor, in which an electrophoretic layer is formed directly on a substrate on which a thin film transistor is formed to prevent misalignment between the electrophoretic layer and the first substrate, And a method for producing the same.

본 발명이 다른 목적은 화소의 화상표시영역에는 제1화소전극을 형성하고 제1화소전극 위와 격벽에 제2화소전극을 형성하여 격벽 하부의 격벽과 보호층이 만나는 영역에서 전계 왜곡에 의한 화질저하를 방지할 수 있는 전기영동 표시소자 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to form a first pixel electrode in an image display area of a pixel, and to form a second pixel electrode on a first pixel electrode and a partition wall, thereby degrading image quality due to electric field distortion in an area where a partition wall and a protective layer below the partition wall meet. It is to provide an electrophoretic display device and a method of manufacturing the same that can be prevented.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자 제조방법은 복수의 화소가 배열되어 있는 화상표시영역(display region) 및 상기 화상표시영역 외곽의 화상비표시영역(non display region)을 포함하는 제1기판 및 상기 제1기판과 대응되는 제2기판을 제공하는 단계; 상기 제1기판상의 각 화소마다 박막트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막트랜지스터가 형성된 제1기판상에 보호층을 형성하는 단계; 상기 보호층 위의 각 화소마다 제1화소전극을 형성하는 단계; 상기 보호층 위의 각 화소 사이에 보호층으로부터 도출된 격벽을 형성하는 단계; 상기 보호층으로부터 돌출된 격벽의 측벽에 배치되어 상기 제1화소전극과 연결되는 제2화소전극을 형성하는 단계; 상기 격벽에 의해 정의되는 화소마다 전기영동물질을 충진하여 전기영동층을 형성하는 단계; 상기 제2기판에 공통전극을 형성하는 단계; 및 제1기판 및 제2기판을 합착하는 단계로 구성된다.In order to achieve the above object, the electrophoretic display device manufacturing method according to the present invention comprises an image display region in which a plurality of pixels are arranged and a non-display region outside the image display region. Providing a first substrate comprising a second substrate corresponding to the first substrate; Forming a thin film transistor for each pixel on the first substrate; Forming a protective layer on the first substrate on which the thin film transistor is formed; Forming a first pixel electrode for each pixel on the passivation layer; Forming a partition wall derived from the protective layer between each pixel on the protective layer; Forming a second pixel electrode disposed on a sidewall of the partition wall protruding from the protective layer and connected to the first pixel electrode; Forming an electrophoretic layer by filling an electrophoretic material for each pixel defined by the barrier rib; Forming a common electrode on the second substrate; And bonding the first substrate and the second substrate together.

상기 전기영동물질은 전하특성을 갖는 화이트입자 및 블랙입자 또는 전하특성을 갖는 컬러입자를 포함할 수 있다.The electrophoretic material may include white particles and black particles having charge characteristics or color particles having charge characteristics.

상기 격벽을 형성하는 단계는 상기 제1화소전극이 형성된 보호층 위에 절연층을 형성하는 단계와 사진식각공정, 몰드공정, 임프린트공정 중 하나의 공정에 의해 상기 절연층의 일부를 제거하는 단계로 이루어진다. 또한, 상기 전기영동층을 형성하는 단계는 적하법, 스퀴즈법, 캐스팅인쇄법, 바코팅인쇄법, 스크린인쇄법, 몰드인쇄법중 하나의 방법을 이용하여 격벽 내부에 전기영동물질을 충진하는 단계를 포함한다.The forming of the barrier layer may include forming an insulating layer on the protective layer on which the first pixel electrode is formed, and removing a part of the insulating layer by one of a photolithography process, a mold process, and an imprint process. . In addition, the step of forming the electrophoretic layer is a step of filling the electrophoretic material in the partition wall using one of the dropping method, squeeze method, casting printing method, bar coating printing method, screen printing method, mold printing method It includes.

그리고, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자는 복수의 화소를 포함하는 화상표시영역 및 화상비표시영역을 포함하는 제1기판 및 제2기판; 제1기판 위에 형성된 박막트랜지스터; 상기 박막트랜지스터가 형성된 제1기판상에 보호층; 상기 보호층 위에 보호층 위로 돌출되도록 형성되어 단위 화소를 정의하는 격벽; 상기 보호층 위의 화상표시부에 형성된 제1화소전극; 상기 보호층으로부터 돌출된 격벽의 측벽에 형성되어 상기 제1화소전극과 접속되는 제2화소전극; 격벽 사이의 단위 화소에 형성되어 상기 제1화소전극 및 제2화소전극과 접촉하는 전기영동물질; 및 제2기판 위에 형성된 공통전극으로 구성된다.The electrophoretic display device according to the present invention includes a first substrate and a second substrate including an image display area and a non-image display area including a plurality of pixels; A thin film transistor formed on the first substrate; A protective layer on the first substrate on which the thin film transistor is formed; Barrier ribs formed on the passivation layer to protrude above the passivation layer to define a unit pixel; A first pixel electrode formed on the image display portion on the protective layer; A second pixel electrode formed on a sidewall of the partition wall protruding from the protective layer and connected to the first pixel electrode; An electrophoretic material formed on the unit pixel between the barrier ribs and in contact with the first pixel electrode and the second pixel electrode; And a common electrode formed on the second substrate.

본 발명에서는 전기영동층이 박막트랜지스터가 형성되어 있는 어레이기판에 직접 도포되어 형성되므로, 별도의 기판에 전기영동층이 형성되던 종래에 비해 전기영동층을 합착하기 위한 접착층이나 접착층을 보호하기 위한 보호필름이 필요없게 되어 제조비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 기존의 박막트랜지스터 제조라인상에서 전기영동층 인라인으로 형성할 수 있기 때문에 제조공정을 단순화할 수 있게 된다. 또한, 전기영동층이 어레이기판상에 직접 형성되기 때문에 전기영동층과 어레이 기판을 정확히 정렬시키는 정렬과정이 필요없게 되므로, 제1기판과 전기영동층의 오정열 문제를 근본적으로 해결할 수 있게 된다.Since the electrophoretic layer is formed by directly applying the electrophoretic layer on the array substrate on which the thin film transistor is formed, the electrophoretic layer is formed on a separate substrate, The manufacturing cost can be reduced and the manufacturing process can be simplified because the electrophoresis layer can be formed in the in-line electrophoresis layer on the existing thin film transistor manufacturing line. In addition, since the electrophoretic layer is formed directly on the array substrate, an alignment process for accurately aligning the electrophoretic layer and the array substrate is not necessary, and thus the problem of misalignment between the first substrate and the electrophoretic layer can be fundamentally solved.

또한, 본 발명에서는 보호층에 제1화소전극을 형성할 뿐만 아니라 보호층 위 및 격벽 위에 제2화소전극을 형성하여 상기 제1화소전극과 제2화소전극을 전기적으로 접속함으로써 격벽 하부의 격벽과 보호층이 만나는 지점에도 화소전극을 형성하여 전압이 인가될 때 이 영역의 전계가 왜곡되는 것을 방지할 수 있게 되며, 그 결과 화질이 저하되는 것을 방지할 수 있게 된다.In addition, in the present invention, not only the first pixel electrode is formed in the protective layer, but also the second pixel electrode is formed on the protective layer and on the barrier rib to electrically connect the first pixel electrode and the second pixel electrode, The pixel electrode is also formed at the point where the protective layer meets to prevent the electric field of the region from being distorted when a voltage is applied, thereby preventing the image quality from being deteriorated.

도 1은 종래 전기영동 표시소자를 나타내는 도면.
도 2a-2h는 본 발명의 제1실시예에 따른 전기영동 표시소자의 제조방법을 나타내는 도면.
도 3a 및 도 3b는 각각 본 발명에 따른 전기영동 표시소자의 전기영동층을 형성하는 방법을 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 전기영동 표시소자의 구조를 나타내는 도면.
1 is a view showing a conventional electrophoretic display device.
2A-2H illustrate a method of manufacturing an electrophoretic display device according to a first embodiment of the present invention.
3A and 3B illustrate a method of forming an electrophoretic layer of an electrophoretic display device according to the present invention, respectively.
4 is a diagram illustrating a structure of an electrophoretic display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 전기영동 표시소자에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, an electrophoretic display device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에서는 전기영동층을 박막트랜지스터가 형성되는 제1기판에 형성한다. 즉, 본 발명에서는 박막트랜지스터 제조공정에 연이어서 전기영동층을 형성한다. 따라서, 다른 공정상에서 제2기판상에 전기영동층을 형성한 후 제2기판을 제1기판과 합착함으로써 전기영동 표시소자를 완성하는 종래의 방법에 비해 제조공정을 대폭 간소화할 수 있게 된다.In the present invention, the electrophoretic layer is formed on the first substrate on which the thin film transistor is formed. That is, in the present invention, the electrophoretic layer is formed following the thin film transistor manufacturing process. Therefore, by forming the electrophoretic layer on the second substrate in another process and then bonding the second substrate to the first substrate, the manufacturing process can be greatly simplified compared to the conventional method of completing the electrophoretic display device.

통상적으로 제2기판에 전기영동층을 형성하는 종래의 전기영동 표시소자 제조공정에서는 전기영동층을 다른 공장, 심지어는 다른 부품회사로부터 공급받아 이를 박막트랜지스터가 형성되는 제조공장으로 이송한 후, 제1기판과 합착해야만 하기 때문에 제조공정이 지연되고 번거로울 뿐만 아니라 차량과 같은 이송수단에 의해 제2기판을 이송하는 과정에서 제2기판이 파손되는 문제도 있었다.In a conventional electrophoretic display device manufacturing process of forming an electrophoretic layer on a second substrate, the electrophoretic layer is supplied from another factory or even another part supplier and transferred to a manufacturing factory where the thin film transistor is formed, There is a problem that the manufacturing process is delayed and troublesome, and the second substrate is damaged in the process of transferring the second substrate by the transfer means such as a vehicle.

도 2a-도 2g는 본 발명의 제1실시예에 따른 전기영동 표시소자의 제조방법을 나타내는 도면이다. 실질적으로 전기영동 표시소자는 복수의 단위 화소로 이루어져 있지만, 설명의 편의를 위해 도면에서는 하나의 화소만을 도시하였다.
본 실시 예에서 사용되는 용어를 정의한다. 제 1 기판상에 화소들이 배열되는 영역을 화상표시영역이라 하고, 화상표시영역의 외곽부 즉, 화소가 형성되지 않는 영역을 화상비표시영역이라 한다.
2A to 2G illustrate a method of manufacturing an electrophoretic display device according to a first exemplary embodiment of the present invention. Although the electrophoretic display device is substantially composed of a plurality of unit pixels, only one pixel is shown in the drawing for convenience of description.
Terms used in the present embodiment are defined. An area in which pixels are arranged on the first substrate is called an image display area, and an outer portion of the image display area, that is, an area where no pixel is formed, is called an image non-display area.

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우선, 도 2a에 도시된 바와 같이, 화상표시영역과 화상비표시영역로 이루어지고 유리나 플라스틱과 같이 투명한 물질로 이루어진 제1기판(120) 위에 Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al 또는 Al합금과 같이 도전성이 좋은 불투명 금속을 스퍼터링법(sputtering process)에 의해 적층한 후 사진식각방법(photolithography process)에 의해 식각하여 게이트전극(111)을 형성한 후, 상기 게이트전극(111)이 형성된 제1기판(120) 전체에 걸쳐 CVD(Chemicla Vapor Deposition)법에 의해 SiO2나 SiNx 등과 같은 무기절연물질을 적층하여 게이트절연층(122)을 형성한다.First, as shown in FIG. 2A, a Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al, or Al alloy is formed on the first substrate 120 including an image display area and an image non-display area and made of a transparent material such as glass or plastic. After laminating a highly conductive opaque metal by a sputtering process, such as by etching by a photolithography process to form a gate electrode 111, the first gate electrode 111 is formed The gate insulating layer 122 is formed by stacking an inorganic insulating material such as SiO 2 or SiNx by the CVD (Chemicla Vapor Deposition) method over the entire substrate 120.

이어서, 도 2b에 도시된 바와 같이, 제1기판(120) 전체에 걸쳐 비정질실리콘(a-Si)과 같은 반도체물질을 CVD법에 의해 적층한 후 식각하여 반도체층(113)을 형성한다. 또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 반도체층(113)의 일부에 불순물을 도핑하거나 불순물이 첨가된 비정질실리콘을 적층하여 이후 형성되는 소스전극 및 드레인전극을 반도체층(113)과 오믹접합시키는 오믹컨택층(ohmic contact layer)을 형성한다.Subsequently, as illustrated in FIG. 2B, a semiconductor material such as amorphous silicon (a-Si) is deposited on the entire first substrate 120 by CVD and then etched to form a semiconductor layer 113. Although not shown in the drawing, an amorphous silicon doped with impurities or doped with impurities is doped in a part of the semiconductor layer 113, and the ohmic contact (not shown) in which a source electrode and a drain electrode, which will be formed later, Thereby forming an ohmic contact layer.

그후, 도 2c에 도시된 바와 같이, 제1기판(120) 상에 Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al 또는 Al합금과 같이 도전성이 좋은 불투명 금속을 스퍼터링법에 의해 적층한 후 식각하여 반도체층(113) 위, 엄밀하게 말해서 오믹컨택층 위에 소스전극(115) 및 드레인전극(116)을 형성하고, 이어서 상기 소스전극(115) 및 드레인전극(116)이 형성된 제1기판(120) 전체에 걸쳐 BCB(Benzo Cyclo Butene)이나 포토아크릴(photo acryl)과 같은 유기절연물질을 적층하여 보호층(124)을 형성한다.Thereafter, as shown in FIG. 2C, an opaque metal having good conductivity such as Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al, or Al alloy is laminated on the first substrate 120 by sputtering and then etched to form a semiconductor. On the layer 113, strictly speaking, the source electrode 115 and the drain electrode 116 are formed on the ohmic contact layer, and then the entire first substrate 120 having the source electrode 115 and the drain electrode 116 formed thereon. A protective layer 124 is formed by stacking an organic insulating material such as BCB (Benzo Cyclo Butene) or photo acryl.

또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 보호층(124)은 복수의 층으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 보호층(124)은 BCB이나 포토아크릴과 같은 유기절연물질로 이루어진 유기절연층 및 SiO2나 SiNx 등과 같은 무기절연물질로 이루어진 무기절연층의 이중의 층으로 형성될 수도 있고, 무기절연층과 유기절연층 및 무기절연층으로 형성할 수도 있을 것이다. 유기절연층을 형성함에 따라 보호층(124)의 표면이 평탄하게 형성되며, 무기절연층을 적용함에 따라 보호층(124)과의 계면특성이 향상된다.Also, although not shown in the figure, the protective layer 124 may be formed of a plurality of layers. For example, the protective layer 124 may be formed as a double layer of the inorganic insulating layer made of an inorganic insulating material such as a layer of organic insulation made of an organic insulating material such as BCB or the picture acrylic and SiO 2, or SiNx, inorganic An insulating layer, an organic insulating layer, and an inorganic insulating layer. As the organic insulating layer is formed, the surface of the protective layer 124 is formed flat and the interface characteristic with the protective layer 124 is improved by applying the inorganic insulating layer.

또한, 상기 보호층(124)에 컨택홀(117)을 형성하여 박막트랜지스터의 드레인전극(116)을 외부로 노출시킨다.In addition, a contact hole 117 is formed in the protective layer 124 to expose the drain electrode 116 of the thin film transistor to the outside.

이어서, 도 2d에 도시된 바와 같이, 상기 보호층(124) 위의 화상표시영역의 각각의 화소에 제1화소전극(118)을 형성한다. 이때, 상기 제1화소전극(118)은 컨택홀(117)을 통해 박막트랜지스터의 드레인전극(116)과 전기적으로 접속된다.Subsequently, as illustrated in FIG. 2D, a first pixel electrode 118 is formed in each pixel of the image display area on the passivation layer 124. In this case, the first pixel electrode 118 is electrically connected to the drain electrode 116 of the thin film transistor through the contact hole 117.

상기 제1화소전극(118)은 ITO(Indium Tin Oxide)나 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 투명도전물질 또는 Mo, AlNd와 같은 금속을 적층한 후, 사진식각방법에 의해 식각함으로써 형성할 수 있게 된다. 또한, 상기 제1화소전극(118)은 복수의 금속층으로 형성될 수도 있다. 즉, Cu와 MoTi와 같은 복수의 금속층을 연속 적층한 후, 사진식각방법에 의해 식각함으로써 형성될 수 있다. 그리고, 상기 제1화소전극(118)은 카본나노튜브나 수용성 도전고분자를 사용하여 형성할 수도 있다.The first pixel electrode 118 may be formed by stacking a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) or a metal such as Mo or AlNd, and then etching the same by a photolithography method. do. In addition, the first pixel electrode 118 may be formed of a plurality of metal layers. That is, it may be formed by successively stacking a plurality of metal layers, such as Cu and MoTi, and then etching by a photolithography method. The first pixel electrode 118 may be formed using carbon nanotubes or water-soluble conductive polymers.

그 후, 도 2e에 도시된 바와 같이, 보호층(124) 위에 격벽(180)을 형성한다. 상기 격벽(180)은 화상표시영역에서 화소와 화소 사이에 형성되어, 상기 격벽에 의해 실질적으로 화소가 정의된다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 격벽(180)은 제1기판(120) 상에 매트릭스형상으로 배열되는 화소의 경계영역을 따라 형성되므로, 상기 격벽(180) 역시 제1기판(120) 상에 매트릭스형상으로 형성된다.Thereafter, as shown in FIG. 2E, the partition wall 180 is formed on the protective layer 124. The partition wall 180 is formed between the pixel and the pixel in the image display area, so that the pixel is substantially defined by the partition wall. The barrier ribs 180 are also formed on the first substrate 120 in the form of a matrix on the first substrate 120 so that the barrier ribs 180 are formed on the first substrate 120 along the boundary regions of the pixels arranged in a matrix, .

상기 격벽(180)은 수지 등으로 이루어진 절연층을 적층한 후 포토레지스트를 이용한 사진식각방법에 의해 식각함으로써 형성할 수도 있고 감광성 수지를 적층한 후 사진식각방법에 의해 식각함으로써 형성할 수도 있다. 또한, 상기 격벽(180)은 인쇄롤 등과 같은 인쇄법에 의해 패턴화된 격벽(180)을 인쇄함으로써 형성할 수도 있으며, 격벽에 대응하는 홈이 형성된 몰드를 제작한 후, 상기 몰드의 절연물질을 제1기판(120)으로 전사함으로써 형성할 수도 있다. 그리고, 상기 격벽(180)은 임프린트(imprint)방식으로 형성될 수도 있을 것이다.The barrier ribs 180 may be formed by laminating an insulating layer made of resin or the like and then etching them by a photolithography method using a photoresist. Alternatively, the barrier ribs 180 may be formed by laminating a photosensitive resin and etching them by a photolithography method. In addition, the partition wall 180 may be formed by printing the partition wall 180 patterned by a printing method such as a printing roll, and after manufacturing a mold having grooves corresponding to the partition wall, the insulating material of the mold is formed. It may be formed by transferring to the first substrate 120. The barrier ribs 180 may be formed in an imprint manner.

실질적으로 이러한 격벽(180)의 형성은 특정한 방법에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기에서 특정한 방법을 설명한 것은 설명의 편의를 위한 것이지, 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니다. 상기 격벽(180)은 이미 알려진 다양한 방법에 의해 형성될 수 있을 것이다.The formation of such a partition wall 180 is not limited by a specific method. The above description of specific methods is for convenience of explanation and is not intended to limit the present invention. The partition 180 may be formed by various known methods.

그 후, 도 2f에 도시된 바와 같이, 상기 제1화소전극(118a) 위 및 격벽(180)의 측벽 위에 제2화소전극(118b)을 형성한다. 이때, 상기 제1화소전극(118a)과 제2화소전극(118b)는 직접 접촉하므로, 전기적으로 접속하며, 따라서 제2화소전극(118b)이 제1화소전극(118a)과 컨택홀(117)을 통해 드레인전극(116)과 전기적으로 연결되어 드레인전극(116)을 통해 화상신호가 제2화소전극(118b)으로 전달된다.Thereafter, as illustrated in FIG. 2F, a second pixel electrode 118b is formed on the first pixel electrode 118a and on the sidewall of the barrier 180. In this case, since the first pixel electrode 118a and the second pixel electrode 118b are in direct contact with each other, the first pixel electrode 118a is electrically connected to each other. Thus, the second pixel electrode 118b is connected to the first pixel electrode 118a and the contact hole 117. It is electrically connected to the drain electrode 116 through the image signal is transmitted to the second pixel electrode 118b through the drain electrode 116.

상기 제2화소전극(118b)은 제1화소전극(118a)과 마찬가지로 ITO나 IZO와 같은 투명도전물질, Mo, AlNd와 같은 금속을 제1화소전극(118a) 위 및 격벽(180) 위에 적층한 후, 사진식각방법에 의해 식각함으로써 형성할 수 있으며, 카본나노튜브나 수용성 도전고분자를 적층하여 형성할 수도 있다. 또한, Cu와 MoTi와 같은 복수의 금속층을 연속 적층한 후, 식각함으로써 상기 제2화소전극(118b)을 이중의 금속층으로 형성할 수도 있을 것이다.Like the first pixel electrode 118a, the second pixel electrode 118b is formed by stacking a transparent conductive material such as ITO or IZO, a metal such as Mo and AlNd on the first pixel electrode 118a and the partition wall 180. After that, it can be formed by etching by a photolithography method, or can be formed by laminating carbon nanotubes or water-soluble conductive polymers. In addition, the second pixel electrode 118b may be formed as a double metal layer by sequentially stacking a plurality of metal layers such as Cu and MoTi and then etching.

상기 제2화소전극(118b)은 단위 화소내에 형성된 제1화소전극(118a) 위 뿐만 아니라 격벽(180)의 측벽에도 형성된다. The second pixel electrode 118b is formed not only on the first pixel electrode 118a formed in the unit pixel but also on the sidewall of the partition wall 180.

이와 같이, 제2화소전극(118b)을 제1화소전극(118a) 위에만 형성하는 것이 아니라 격벽(180)의 측벽까지 연장하는 이유는 다음과 같은 이유 때문이다.As described above, the second pixel electrode 118b is not formed only on the first pixel electrode 118a but extends to the sidewall of the partition wall 180 for the following reasons.

첫째, 제2화소전극(118b)을 격벽(180)의 측벽까지 연장함에 따라 화질이 향상된다. 제1화소전극(118a)만을 보호층(124) 위에 형성하는 경우, 격벽(180)의 맨 아래의 제1화소전극(118a), 즉 격벽(180)과 보호층(124)의 모서리영역에서는 상기 제1화소전극(118a)이 정상적으로 형성되지 않아 전계가 인가될 때 이 영역은 전계가 비정상적으로 인가되는 사영역(dead area)이 된다. 이와 같은 사영역은 액정표시소자의 개구율을 저하시킬 뿐만 아니라 콘트라스트의 저하 등과 같은 많은 문제를 일으키게 된다.First, the image quality is improved by extending the second pixel electrode 118b to the sidewall of the partition wall 180. When only the first pixel electrode 118a is formed on the protective layer 124, the first pixel electrode 118a at the bottom of the partition wall 180, that is, in the corner regions of the partition 180 and the protection layer 124, is formed. When the first pixel electrode 118a is not normally formed and an electric field is applied, this area becomes a dead area where an electric field is abnormally applied. Such a warp region lowers the aperture ratio of the liquid crystal display element and causes many problems such as a decrease in contrast.

그러나, 본 발명과 같이 격벽(180)의 측벽에 제2화소전극(118b)을 형성하는 경우 격벽(180)과 보호층(124) 사이의 모서리영역까지 제2화소전극(118b)이 형성되기 때문에, 사영역이 발생하지 않게 되며, 그 결과 개구율이 향상되고 콘트라스트가 향상되며, 응답속도가 향상된다.However, when the second pixel electrode 118b is formed on the sidewall of the partition wall 180 as in the present invention, since the second pixel electrode 118b is formed up to the corner region between the partition wall 180 and the protective layer 124. The dead zone does not occur, and as a result, the aperture ratio is improved, the contrast is improved, and the response speed is improved.

둘째, 제2화소전극(118b)을 격벽(180)의 측벽에 형성함에 따라 공정이 용이하게 된다.Second, as the second pixel electrode 118b is formed on the sidewall of the partition wall 180, the process is easy.

이후 공정에서 언급될 것이지만, 격벽(180)과 보호층(124)에 의해 정의되는 제1기판(120) 상부 영역에는 전기영동물질이 충진된다. 보호층(124) 위에 제1화소전극(118a)만을 형성하고 격벽(180)의 측벽에는 다른 화소전극을 형성하지 않는 경우, 전기영동물질의 충진시 보호층(124) 상부의 제1화소전극(118a)의 표면 특성과 격벽(180)의 표면 특성이 다르기 때문에, 전기영동물질의 충진시 격벽(180)의 표면에 전기영동물질이 잘 도포되지 않게 되어 전기영동물질의 주입이 용이하게 이루어지지 않게 된다. 이를 방지하기 위해, 격벽의 표면을 플라즈마 처리하거나 화학처리하여 표면특성을 향상시킬 수는 있지만, 이 경우 공정이 복잡해지고 비용이 증가하게 된다.As will be mentioned later in the process, the electrophoretic material is filled in the upper region of the first substrate 120 defined by the partition wall 180 and the protective layer 124. When only the first pixel electrode 118a is formed on the passivation layer 124 and no other pixel electrode is formed on the sidewall of the partition wall 180, the first pixel electrode on the passivation layer 124 is filled when the electrophoretic material is filled. Since the surface characteristics of 118a and the barrier 180 are different from each other, the electrophoretic material is hardly applied to the surface of the barrier 180 when filling the electrophoretic material, so that the electrophoretic material is not easily injected. do. In order to prevent this, the surface of the barrier rib can be plasma-treated or chemically treated to improve the surface characteristics, but in this case, the process becomes complicated and the cost increases.

그러나, 본 발명과 같이 제2화소전극(118b)을 보호층(124) 위에 형성된 제1화소전극(118a) 위 뿐만 아니라 격벽(180)의 측벽까지 연장하는 경우 별도의 표면처리 없이도 격벽(180)의 측면, 즉 제2화소전극(118b)이 형성된 측벽에 전기영동물질이 용이하게 도포되므로, 전기영동물질을 격벽(180) 내부로 원활하게 충진할 수 있게 된다.However, when the second pixel electrode 118b extends not only on the first pixel electrode 118a formed on the protective layer 124 but also to the sidewall of the partition wall 180 as in the present invention, the partition wall 180 does not need any surface treatment. Since the electrophoretic material is easily applied to the side surface of the sidewall, that is, the sidewall on which the second pixel electrode 118b is formed, the electrophoretic material can be smoothly filled into the partition 180.

한편, 상기 제2화소전극(118b)은 격벽(180)의 상부에는 형성되지 않는다. 격벽(180)의 상부에 제2화소전극(118b)이 형성되는 경우, 서로 인접하는 화소에 형성되는 제2화소전극(118b)이 서로 전기적으로 접속되기 때문에, 인접하는 화소간에 전기적으로 단락되므로, 상기 제2화소전극(118b)을 형성할 때 격벽(180)상부의 제2화소전극(118b)을 제거하는 것이 바람직하다.Meanwhile, the second pixel electrode 118b is not formed on the partition wall 180. When the second pixel electrode 118b is formed on the partition 180, since the second pixel electrodes 118b formed in the pixels adjacent to each other are electrically connected to each other, they are electrically shorted between the adjacent pixels. When the second pixel electrode 118b is formed, the second pixel electrode 118b on the partition 180 may be removed.

이러한 관점에서, 제2화소전극(118b)은 격벽(180) 상부의 일부 영역까지 형성될 수 있을 것이다. 즉, 제2화소전극(118b)이 격벽(180)의 상부에서 일정 영역이 제거되어 인접하는 화소의 제2화소전극(118b)가 전기적으로 분리될 수만 있다면 상기 제2화소전극(118b)이 격벽(180)의 상부까지 연장될 수 있을 것이다.In this regard, the second pixel electrode 118b may be formed to a part of the upper portion of the partition wall 180. That is, the second pixel electrode 118b is partitioned if the second pixel electrode 118b is removed from the upper portion of the partition 180 so that the second pixel electrode 118b of the adjacent pixel can be electrically separated. It may extend to the top of 180.

그 후, 도 2g에 도시된 바와 같이, 격벽(180) 사이의 화소에 전기영동물질을 충진하여 전기영동층(160)을 형성한다.Thereafter, as shown in FIG. 2G, the electrophoretic material is filled in the pixels between the partition walls 180 to form the electrophoretic layer 160.

상기 전기영동물질은 양전하 및 음전하 특성을 갖는 입자로 이루어진다. 이때, 상기 입자는 화이트입자(164)와 블랙입자(165)일 수도 있고, 시안(cyan), 마젠타(Magenta), 옐로우(yellow)와 같은 컬러입자 또는 R(Red), G(Green), B(Blue)와 같은 컬러입자일 수도 있다.The electrophoretic material is composed of particles having positive and negative charge characteristics. The particles may be white particles 164 and black particles 165 or may be color particles such as cyan, magenta and yellow or red (R), green (G), and blue (Blue). ≪ / RTI >

화이트입자(164)의 경우 TiO2와 같은 반사율이 좋은 입자를 사용하며, 블랙입자(165)의 경우 카본블랙(canbon black) 등과 같은 블랙특성을 갖는 입자를 사용한다. 이때, 화이트입자(164)가 음전하특성을 갖고 블랙입자(165)가 양전하특성을 가질 수도 있고 화이트입자(164)가 양전하특성을 갖고 블랙입자(165)가 음양전하특성을 가질 수도 있을 것이다.In the case of white particles 164, particles having good reflectance such as TiO 2 are used. In the case of black particles 165, particles having black characteristics such as carbon black are used. At this time, the white particles 164 may have a negative charge characteristic, the black particles 165 may have a positive charge characteristic, the white particles 164 may have a positive charge characteristic, and the black particles 165 may have positive and negative charge characteristics.

또한, 컬러입자의 경우 전하특성을 갖는 색소로서, 이때 컬러입자는 음전하를 가질 수도 있고 음전하를 가질 수도 있을 것이다.Also, in the case of color particles, coloring matter having charge characteristics, color particles may have a negative charge or a negative charge.

상기 전기영동물질에는 액상폴리머와 같은 분산매질이 포함될 수 있다. 이 분산매질은 블랙입자나 화이트입자, 컬러입자가 분포되는 것으로, 액상 폴리머와 같은 액체일 수도 있고 공기 자체일 수도 있다. 상기와 같이 분산매질이 공기 자체라는 것은 분산매질이 없어도 전압이 인가됨에 따라 입자가 공기중에서 움직인다는 것을 의미한다.The electrophoretic material may include a dispersion medium such as a liquid polymer. This dispersion medium is a black particle, a white particle, or a colored particle, and may be a liquid such as a liquid polymer or air itself. As described above, when the dispersion medium is the air itself, it means that the particles move in the air as the voltage is applied without the dispersion medium.

상기 분산매질로서 액상폴리머를 사용하는 경우, 상기 분산매질로서 블랙 분산매질이나 컬러 분산매질을 사용할 수 있다. 블랙 분산매질을 사용하는 경우 외부로부터 입사되는 광을 흡수하기 때문에, 블랙구현시 선명한 블랙을 표시하게 되어 콘트라스트를 향상시킬 수 있게 된다. 또한, 컬러 분산매질은 전기영동물질에 의해 컬러를 구현하는 경우 사용되는데, 각각의 컬러화소에는 대응하는 컬러의 분산매질이 포함되므로, 컬러구현시 더욱 선명한 컬러를 표현할 수 있게 되는 것이다.When a liquid polymer is used as the dispersion medium, a black dispersion medium or a color dispersion medium may be used as the dispersion medium. In the case of using the black dispersion medium, since the light incident from the outside is absorbed, a clear black is displayed in the black implementation, and the contrast can be improved. In addition, the color dispersion medium is used when the electrophoretic material realizes color, and each color pixel includes a dispersion medium of a corresponding color, so that it becomes possible to express a clearer color in a color implementation.

또한, 상기 전기영동물질은 폴리머중합체(polymer binder)에 전자잉크를 충진한 캡슐을 분포시킨 물질일 수도 있다. 이때, 상기 캡슐내에 분포하는 전자잉크는 화이트입자(또는 화이트잉크)와 블랙입자(또는 블랙잉크)로 이루어져 있다. 이때, 상기 화이트입자와 블랙입자는 각각 양전하와 음전하 특성을 가진다.In addition, the electrophoretic material may be a material in which capsules filled with a polymer binder are filled with an electronic ink. At this time, the electronic ink distributed in the capsule is composed of white particles (or white ink) and black particles (or black ink). At this time, the white particles and the black particles have positive and negative charge characteristics, respectively.

한편, 화이트입자나 블랙입자, 그리고 컬러입자는 특정한 물질만 사용되는 것이 아니라 현재 알려진 모든 입자가 사용될 수 있을 것이다.On the other hand, white particles, black particles, and color particles may not be used for only specific materials, but all known particles may be used.

격벽(180) 내로의 상기 전기영동물질의 충전은 다양한 방법에 의해 이루어질 수 있는데, 이러한 전기영동물질의 충전방법을 설명하면 다음과 같다.The filling of the electrophoretic material into the barrier ribs 180 may be performed by various methods. A method of filling the electrophoretic material will be described below.

도 3a 및 도 3b는 제1기판(120)에 형성된 격벽(180) 내부로 전기영동물질을 충진하여 전기영동층(160)을 형성하는 방법을 나타내는 도면이다.3A and 3B illustrate a method of forming an electrophoretic layer 160 by filling an electrophoretic material into the partition wall 180 formed on the first substrate 120.

도 3a에 도시된 방법은 잉크젯방식 또는 노즐방식에 관한 것으로, 도 3a에 도시된 바와 같이 실린지(또는 노즐)(185) 내부에 전기영동물질(160a)을 충진한 후, 상기 제1기판(120) 상부에 상기 실린지(185)를 위치시킨다. 이후, 외부의 공기공급장치(도면표시하지 않음)에 의해 실린지(185)에 압력을 인가한 상태에서 상기 실린지(185)를 제1기판(120) 상에서 이동시킴에 따라 상기 격벽(180) 사이의 화소에 전기영동물질(160a)이 적하되어 제1기판(120) 상에 전기영동층(160)이 형성된다.The method illustrated in FIG. 3A relates to an inkjet method or a nozzle method. As shown in FIG. 3A, an electrophoretic material 160a is filled in a syringe (or nozzle) 185 and then the first substrate ( 120) The syringe 185 is positioned on the top. Thereafter, the partition wall 180 is moved by moving the syringe 185 on the first substrate 120 in a state where pressure is applied to the syringe 185 by an external air supply device (not shown). The electrophoretic material 160a is dropped on the pixels therebetween to form the electrophoretic layer 160 on the first substrate 120.

도 3b에 도시된 방법은 스퀴즈방법에 관한 것으로, 도 3b에 도시된 바와 같이 복수의 격벽(180)이 형성된 제1기판(120) 상부에 전기영동물질(160a)을 도포한 후, 스퀴즈바(187)에 의해 제1기판(120) 상에서 이동시킴으로써 스퀴즈바(187)의 압력에 의해 전기영동물질(160a)이 단위 화소내의 격벽(180) 사이의 화소로 충진되어 전기영동층(160)이 형성되는 것이다.The method illustrated in FIG. 3B relates to a squeeze method, and as shown in FIG. 3B, after the electrophoretic material 160a is applied to an upper portion of the first substrate 120 on which the plurality of partition walls 180 are formed, a squeeze bar ( By moving on the first substrate 120 by 187, the electrophoretic material 160a is filled with pixels between the partition walls 180 in the unit pixel by the pressure of the squeeze bar 187 to form the electrophoretic layer 160. Will be.

물론, 본 발명이 상술한 바와 같은 방법에만 한정되는 것은 아니다. 상술한 방법은 본 발명에서 사용될 수 있는 전기영동층(160)의 형성공정의 일례를 나타내는 것으로서, 본 발명이 이러한 특정 공정에만 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 캐스팅인쇄법, 바코팅인쇄법, 스크린인쇄법, 몰드인쇄법과 같은 다양한 전기영동층(160) 형성공정이 본 발명에 적용될 수 있을 것이다.Of course, the present invention is not limited to the above-described method. The above-described method shows an example of a process of forming the electrophoretic layer 160 that can be used in the present invention, and the present invention is not limited to this specific process. For example, various electrophoresis layer forming processes such as cast printing, bar coating printing, screen printing, and mold printing may be applied to the present invention.

이어서, 도 2h에 도시된 바와 같이, 상기와 같이 전기영동층(160) 위에 실링재를 도포하여 실링층(168)을 형성하여 상기 전기영동층(160)을 실링한 후, 제1기판(120)을 제2기판(140)과 합착하여 전기영동 표시소자를 완성한다. 이때, 상기 실링층(168)에는 컬러필터층(169)이 형성될 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 2H, a sealing material is coated on the electrophoretic layer 160 as described above to form a sealing layer 168 to seal the electrophoretic layer 160, and then the first substrate 120. Is bonded to the second substrate 140 to complete the electrophoretic display device. In this case, a color filter layer 169 may be formed on the sealing layer 168.

상기 실링층(168)은 점도가 낮은 염료로 이루어진 전기영동층(160)이 유동하여 염료가 외부 혹은 인접하는 화소로 넘치는 것을 방지하기 위한 것이다. 또한, 상기 실링층(168)은 상기 전기영동층(160) 내부로 수분이 침투하여 전기영동층(160)이 불량으로 되는 것을 방지한다.
상기 실링층(168)은 전기영동층(160)의 상면 및 실링층(168)의 상단 모두에 형성될 수 있다. 그러나 이 경우, 전하를 띠고 있는 전기영동입자의 일부가 실리층(168)에 전기적으로 달라붙어 전기영동입자의 최초 배열에 에러를 일으킬 수 있어, 상기 실링층(168)이 전기영동층(160)의 상면 전체에 걸쳐 형성되지 않고 격벽(160)의 상단에만 형성될 수도 있다.
반면, 실링층(168)에 전기영동입자가 전기적으로 달라붙는 문제를 해결하기 위해 서브화소마다 전기영동층이 충진되고 나면 전기영동층 상에 interlayer를 더 형성하여 전기영동입자가 실리층과 직접 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 이 경우, 전기영동입자가 실리층에 달라붙지 않아 불량화소 발생을 줄일 수 있다.
상기 interlayer는 격벽과 같은 감광성 유기물질일 수 있고 특히, Methyl Ethyl Ketone 일 수 있다. 상기 interlayer는 전기영동층 및 격벽 상단에 수 나노미터의 두께로 코팅되어 형성된다. 상기 interlayer는 전기영동층을 임시로 완전히 밀봉하여 실리층의 형성을 용하게 할 뿐 아니라, 전기영동입자가 실링층에 달라붙는 문제를 해결할 수 있다.
The sealing layer 168 is intended to prevent the electrophoretic layer 160 made of a dye having a low viscosity flows so that the dye overflows to an external or adjacent pixel. In addition, the sealing layer 168 prevents moisture from penetrating into the electrophoretic layer 160 and the electrophoretic layer 160 becomes defective.
The sealing layer 168 may be formed on both an upper surface of the electrophoretic layer 160 and an upper end of the sealing layer 168. However, in this case, some of the charged electrophoretic particles may be electrically attached to the silicide layer 168 to cause an error in the initial arrangement of the electrophoretic particles, so that the sealing layer 168 may be the electrophoretic layer 160. It may not be formed over the entire upper surface of the partition wall 160 may be formed only on the top.
On the other hand, in order to solve the problem that the electrophoretic particles are electrically stuck to the sealing layer 168, after the electrophoretic layer is filled in each subpixel, an interlayer is further formed on the electrophoretic layer to directly contact the electrophoretic particles with the silicide layer. Can be prevented. In this case, the electrophoretic particles do not stick to the silicide layer, thereby reducing the occurrence of defective pixels.
The interlayer may be a photosensitive organic material such as a partition wall, and in particular, Methyl Ethyl Ketone. The interlayer is formed by coating a nanometer thickness on top of the electrophoretic layer and the partition wall. The interlayer not only allows the formation of the silicide layer by temporarily sealing the electrophoretic layer temporarily, but also solves the problem of the electrophoretic particles sticking to the sealing layer.

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또한, 도면에서는 상기 실링층(168)에 의해 제1기판(120) 및 제2기판(140)이 합착되지만, 제1기판(120) 및 제2기판(140)의 합착력을 향상시키기 위해 접착층을 형성할 수도 있다. 상기 접착층은 전기영동 표시소자의 외곽영역, 즉 격벽(180) 상부의 실링층(168)에만 형성할 수도 있고 전기영동층(160) 상부의 실링층(168) 전체에 형성할 수도 있을 것이다.Although the first substrate 120 and the second substrate 140 are bonded together by the sealing layer 168 in order to improve the bonding strength between the first substrate 120 and the second substrate 140, May be formed. The adhesive layer may be formed only on the outer region of the electrophoretic display device, that is, on the sealing layer 168 above the barrier ribs 180, or on the entire sealing layer 168 above the electrophoretic layer 160.

유리나 플라스틱과 같이 투명한 물질로 이루어진 제2기판(140)에는 공통전극(142)이 형성된다. 상기 공통전극(142)은 ITO나 IZO와 같이 투명한 도전물질을 적층함으로써 형성된다.The common electrode 142 is formed on the second substrate 140 made of a transparent material such as glass or plastic. The common electrode 142 is formed by stacking a transparent conductive material such as ITO or IZO.

또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 제2기판(140)에는 컬러필터층이 형성될 수도 있다. 이 컬러필터층은 R(Red), G(Green), B(Blue) 컬러필터로 이루어져 있으며, 전기영동물질이 블랙입자와 화이트입자로 이루어진 경우 컬러를 구현한다.Although not shown in the drawings, a color filter layer may be formed on the second substrate 140. This color filter layer is composed of R (Red), G (Green), B (Blue) color filter, and the color is realized when the electrophoretic material is composed of black particles and white particles.

상기 방법에 의해 제작된 전기영동 표시소자의 구조를 도 2h를 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.The structure of the electrophoretic display device manufactured by the above method will be described in detail with reference to FIG. 2H.

도 2h에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자는 격벽(180)이 제1기판(120)상에 직접 형성되고 전기영동층(160)이 역시 제1기판(120)의 격벽(180) 사이에 충진되어 상기 전기영동층(160)이 직접적으로 화소전극(118) 위에 형성되어 상기 화소전극(118)과 직접 접촉한다. 따라서, 종래 전기영동 표시장치와는 달리 전기영동층(160)과 화소전극(118) 및 보호층(124) 사이에 전기영동층(160)을 부착하기 위한 별도의 접착층이 필요없게 된다.As shown in FIG. 2H, in the electrophoretic display device according to the present invention, the barrier rib 180 is directly formed on the first substrate 120 and the electrophoretic layer 160 is also the barrier rib of the first substrate 120. Filled between 180, the electrophoretic layer 160 is directly formed on the pixel electrode 118 to directly contact the pixel electrode 118. Therefore, unlike the conventional electrophoretic display device, a separate adhesive layer for attaching the electrophoretic layer 160 between the electrophoretic layer 160, the pixel electrode 118, and the protective layer 124 is not required.

또한, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자에서는 화소전극이 제1화소전극(118a)과 제2화소전극(118b)의 이중의 층으로 형성되며, 이때 제1화소전극(118a)은 단위화소에만 형성되고 제2화소전극(118b)은 단위화소 및 격벽(180)의 측벽에도 형성된다. 상기 제1화소전극(118a)과 제2화소전극(118b)은 보호층 (124) 상부에서 서로 접촉하여 전기적으로 접속되기 때문에, 박막트랜지스터를 거쳐 제1화소전극(118a)에 인가된 전압이 제2화소전극(118b)에도 전달되므로, 격벽(180)과 보호층(124) 사이의 제2화소전극(118b)에도 전압이 인가되어 이 영역이 사영역으로 되어 화질이 저하되는 것을 방지할 수 있게 된다.In the electrophoretic display device according to the present invention, the pixel electrode is formed of a double layer of the first pixel electrode 118a and the second pixel electrode 118b, and the first pixel electrode 118a is formed only in the unit pixel. The second pixel electrode 118b is also formed on the sidewalls of the unit pixel and the partition wall 180. Since the first pixel electrode 118a and the second pixel electrode 118b are electrically connected to each other in contact with each other on the passivation layer 124, the voltage applied to the first pixel electrode 118a through the thin film transistor is applied. Since it is also transmitted to the two pixel electrode 118b, a voltage is also applied to the second pixel electrode 118b between the partition wall 180 and the protective layer 124 so that the area becomes a dead area so that the image quality can be prevented from being degraded. do.

이러한 구조의 전기영동 표시소자 구동을 살펴보면 다음과 같다. 전기영동물질이 화이트입자(164)와 블랙입자(165)로 이루어진 경우, 화이트입자(164)가 양전하 또는 음전하 특성을 갖고 있기 때문에, 외부로부터 신호가 입력되어 제1기판(120)에 형성된 박막트랜지스터를 거쳐 화소전극(118)에 신호가 인가되면, 화소전극(118)과 공통전극(142) 사이에 발생하는 전계에 의해 화이트입자(164)와 전기영동층(160) 내에서 이동하게 된다.The driving of the electrophoretic display device having such a structure will be described below. When the electrophoretic material is composed of the white particles 164 and the black particles 165, since the white particles 164 have a positive charge or negative charge characteristics, a thin film transistor formed on the first substrate 120 by receiving a signal from the outside When a signal is applied to the pixel electrode 118 through the pixel electrode 118, the white particles 164 and the electrophoretic layer 160 are moved by an electric field generated between the pixel electrode 118 and the common electrode 142.

예를 들어, 화이트입자(164)가 (+)전하를 갖는 경우, 제1화소전극(118a) 및 제2화소전극(118b)에 (+)전압이 인가되면 제2기판(140)의 공통전극(142)은 상대적으로 (-)전위를 가지게 되므로 (+)전하를 띄는 화이트입자(164)는 제2기판(140)쪽으로 이동하게 된다. 따라서, 외부, 즉 제2기판(140)의 상부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 화이트입자(164)에 의해 대부분 반사되므로 전기영동 표시소자에는 화이트가 구현된다.For example, when the white particles 164 have a positive charge, when a positive voltage is applied to the first pixel electrode 118a and the second pixel electrode 118b, the common electrode of the second substrate 140 is applied. Since 142 has a relatively negative potential, the white particles 164 having a positive charge are moved toward the second substrate 140. Therefore, when light is input from the outside, that is, from the upper portion of the second substrate 140, the inputted light is mostly reflected by the white particles 164, so that white is realized in the electrophoretic display element.

이때, 제1화소전극(118a) 및 제2화소전극(118b)에 인가되는 전압의 세기에 따라 제2기판(140)쪽으로 이동하는 화이트입자(164)의 밀도 또는 제2기판(140)과의 간격이 달라지기 때문에, 외부로부터 입력되어 화이트입자(164)에 의해 반사되는 광의 세기도 달라지게 되므로, 원하는 휘도의 구현할 수 있게 된다.At this time, according to the intensity of the voltage applied to the first pixel electrode 118a and the second pixel electrode 118b, the density of the white particles 164 moving toward the second substrate 140 or the second substrate 140 Since the interval is different, the intensity of the light input from the outside and reflected by the white particles 164 is also changed, it is possible to achieve the desired brightness.

반대로, 상기 제1화소전극(118a) 및 제2화소전극(118b)에 (-)전압이 인가되면, 제2기판(140)의 공통전극(142)은 (+)전위를 가지게 되어, (+)전하를 띄는 화이트입자(164)는 제1기판(120)으로 이동하게 되어 외부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 거의 반사되지 않게 되므로, 블랙을 구현하게 된다.On the contrary, when a negative voltage is applied to the first pixel electrode 118a and the second pixel electrode 118b, the common electrode 142 of the second substrate 140 has a positive potential. The charged white particles 164 are moved to the first substrate 120 so that when the light is input from the outside, the input light is hardly reflected, thereby realizing black.

한편, 화이트입자(164)가 (-)전하를 갖는 경우, 제1화소전극(118a) 및 제2화소전극(118b)에 (+)전압이 인가되면 제2기판(140)의 공통전극(142)은 상대적으로 (-)전위를 가지게 되므로 (-)전하를 띄는 화이트입자(164)는 제1기판(120)쪽으로 이동하게 된다. 따라서, 외부, 즉 제2기판(140)의 상부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 대부분 반사되지 않으므로 전기영동 표시소자에는 블랙이 구현된다.On the other hand, when the white particles 164 have a negative charge, when a positive voltage is applied to the first pixel electrode 118a and the second pixel electrode 118b, the common electrode 142 of the second substrate 140 is applied. ) Has a relatively (-) potential, so that the white particles 164 having a (-) charge are moved toward the first substrate 120. Therefore, when light is input from the outside, that is, from the upper part of the second substrate 140, most of the input light is not reflected, so that black is implemented in the electrophoretic display device.

반대로, 상기 제1화소전극(118a) 및 제2화소전극(118b)에 (-)전압이 인가되면, 제2기판(140)의 공통전극(142)은 (+)전위를 가지게 되어, (-)전하를 띄는 화이트입자(164)는 제2기판(140)으로 이동하게 되어 외부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 화이트입자(164)에 의해 반사되므로, 화이트를 구현하게 된다.On the contrary, when a negative voltage is applied to the first pixel electrode 118a and the second pixel electrode 118b, the common electrode 142 of the second substrate 140 has a positive potential. The charged white particles 164 are moved to the second substrate 140 so that when the light is input from the outside, the input light is reflected by the white particles 164, thereby implementing white.

전기영동물질이 컬러입자로 이루어진 경우, 제1화소전극(118a) 및 제2화소전극(118b)에 인가되는 신호에 따라 R,G,B 컬러입자나 시안(cyan), 마젠타(Magenta), 옐로우(yellow)와 같은 컬러입자가 제2기판(140)을 이동하여 해당 컬러 혹은 다른 화소와 혼합된 컬러를 구현할 수 있게 된다.When the electrophoretic material is formed of color particles, R, G, B color particles, cyan, magenta, magenta, yellow, etc., are applied to the first pixel electrode 118a and the second pixel electrode 118b. Color particles such as yellow may move the second substrate 140 to implement a color mixed with the corresponding color or other pixels.

전기영동물질이 화이트입자 및 블랙입자가 충진된 캡슐이 분포된 폴리머중합체로 이루어진 경우, 상기 캡슐내에 분포하는 전자잉크에 포함된 화이트입자와 블랙입자가 각각 양전하와 음전하 특성을 갖기 때문에, 외부로부터 신호가 입력되어 제1화소전극(118a) 및 제2화소전극(118b)에 신호가 인가되면, 제1화소전극(118a) 및 제2화소전극(118b)과 공통전극(142) 사이에 발생하는 전계에 의해 화이트입자와 블랙입자가 캡슐내에서 분리된다. 예를 들어, 제1화소전극(118a) 및 제2화소전극(118b)에 (-)전압이 인가되면, 제2기판(140)의 공통전극(142)은 상대적으로 (+)전위를 가지게 되어, (+)전하를 띄는 화이트입자는 제1기판(120)쪽으로 이동하고, (-)전하를 띄는 블랙입자는 제2기판(140)쪽으로 이동하게 된다. 이 상태에서 외부, 즉 제2기판(140)의 상부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 블랙입자에 의해 반사되므로, 전기영동 표시소자에는 블랙이 구현된다.When the electrophoretic material is composed of a polymer filled with white particles and a capsule filled with black particles, since the white particles and the black particles included in the electron ink distributed in the capsule have positive and negative charge characteristics, signals from outside When a signal is applied to the first pixel electrode 118a and the second pixel electrode 118b, an electric field generated between the first pixel electrode 118a and the second pixel electrode 118b and the common electrode 142 is input. White particles and black particles are separated by the capsule. For example, when a negative voltage is applied to the first pixel electrode 118a and the second pixel electrode 118b, the common electrode 142 of the second substrate 140 has a relatively positive potential. The white particles with (+) charge move toward the first substrate 120, and the black particles with (−) charge move toward the second substrate 140. In this state, when light is input from the outside, that is, from the upper portion of the second substrate 140, since the inputted light is reflected by the black particles, black is realized in the electrophoretic display element.

반대로, 상기 제1화소전극(118a) 및 제2화소전극(118b)에 (+)전압이 인가되면, 제2기판(140)의 공통전극(142)은 (-)전위를 가지게 되어, (+)전하를 띄는 화이트입자는 제2기판(140)으로 이동하고, (-)전하를 띄는 블랙입자는 제1기판(140)으로 이동하게 된다.On the contrary, when a positive voltage is applied to the first pixel electrode 118a and the second pixel electrode 118b, the common electrode 142 of the second substrate 140 has a negative potential, The charged white particles move to the second substrate 140, and the black particles carrying the negative charge move to the first substrate 140.

이 상태에서 외부, 즉 제2기판(140)의 상부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 화이트입자에 의해 반사되므로, 화이트가 구현되는 것이다.In this state, when light is input from the outside, that is, from the upper part of the second substrate 140, since the input light is reflected by the white particles, white is realized.

이때, 캡슐내의 화이트입자와 블랙입자가 각각 음전하와 양전하 특성을 갖는 경우, 반대의 동작으로 화이트 및 블랙을 구현할 수 있게 된다.At this time, when the white particles and the black particles in the capsule have negative charge and positive charge characteristics, white and black can be realized by the opposite operation.

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 전기영동 표시소자의 구조를 나타내는 도면이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 이 실시예의 전기영동 표시소자는 도 2h에 도시된 전기영동 표시소자와는 화소전극의 형상만이 다를 뿐, 다른 구조는 동일하다. 따라서, 이하의 설명에서는 상이한 구조에 대해서 주로 설명하도록 한다.4 is a diagram illustrating a structure of an electrophoretic display device according to a second exemplary embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4, the electrophoretic display device of this embodiment differs from the electrophoretic display device shown in FIG. 2H only in the shape of the pixel electrode, and the other structure is the same. Therefore, in the following description, different structures will mainly be described.

도 4에 도시된 바와 같이, 제1화소전극(218a)은 보호층(224) 위에 형성되고 제2화소전극(218b)는 격벽(280)의 측벽 위에만 형성된다. 도 2h에 도시된 구조에서는 제2화소전극이 제1화소전극 위에 형성되어 격벽의 측벽까지 연장되는데 반해, 이 실시예에서는 제2화소전극(218b)이 제1화소전극(218a) 위에는 형성되지 않고 격벽(280) 위에만 형성된다. 그러나, 이 구조에서도 제1화소전극(218a)과 제2화소전극(218b)은 격벽(280)의 하부에서 서로 오버랩되어 전기적으로 접속되어, 이 영역이 사영역으로 되는 것을 방지한다.As shown in FIG. 4, the first pixel electrode 218a is formed on the passivation layer 224, and the second pixel electrode 218b is formed only on the sidewall of the partition wall 280. In the structure shown in FIG. 2H, the second pixel electrode is formed on the first pixel electrode and extends up to the sidewall of the partition wall. In this embodiment, the second pixel electrode 218b is not formed on the first pixel electrode 218a. It is formed only on the partition 280. However, even in this structure, the first pixel electrode 218a and the second pixel electrode 218b overlap each other at the lower portion of the partition wall 280 to be electrically connected to each other, thereby preventing the area from becoming a dead area.

상기 제1화소전극(218a)은 격벽(280)의 형성 전 또는 형성 후에 형성될 수 있다. 제1화소전극(218a)은 격벽(280)의 형성 전에 형성하는 경우, 투명도전층이나 금속층을 적층하고 식각하여 제1화소전극(218a)을 형성한 후 보호층(224)의 화상비표시영역에 격벽(280)을 형성하며, 이어서 투명도전층이나 금속층을 적층하고 식각함으로서 상기 격벽(280)의 측벽 위에 제2화소전극(218b)를 형성한다.The first pixel electrode 218a may be formed before or after the formation of the barrier rib 280. When the first pixel electrode 218a is formed before the partition wall 280 is formed, the transparent conductive layer or the metal layer is stacked and etched to form the first pixel electrode 218a, and then, in the image non-display area of the protective layer 224. The partition wall 280 is formed, and then the second pixel electrode 218b is formed on the sidewall of the partition wall 280 by laminating and etching the transparent conductive layer or the metal layer.

제1화소전극(218a)은 격벽(280)의 형성 후에 형성하는 경우,보호층(224)의 화상비표시영역에 격벽(280)을 형성한 후, 투명도전층이나 금속층을 적층하고 식각하여 보호층(224) 위의 화상표시영역에 제1화소전극(218a)을 형성한 후, 다시 투명도전층이나 금속층을 적층하고 식각함으로써 격벽(280)의 측벽위에 제2화소전극(218b)를 형성한다.When the first pixel electrode 218a is formed after the formation of the barrier rib 280, the barrier rib 280 is formed in the image non-display area of the protective layer 224, and then the transparent conductive layer or the metal layer is laminated and etched to protect the protective layer. After forming the first pixel electrode 218a in the image display area on the upper side of the image display panel 224, the second pixel electrode 218b is formed on the sidewall of the partition wall 280 by laminating and etching the transparent conductive layer or the metal layer.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 전기영동층이 직접 제1기판에 형성되므로, 전기영동층이 제2기판에 형성되는 종래에 비해 전기영동층을 제2기판에 부착하기 위한 접착층이나 접착층을 보호하기 위한 보호필름 등이 필요없게 된다. 또한, 본 발명에서는 전기영동층을 기존의 박막트랜지스터 형성공정라인, 예를 들면 절연층 형성 등과 같은 공정라인에서 형성할 수 있기 때문에, 별도의 공정라인이 필요없게 되므로 제조비용을 더욱 절감할 수 있게 된다.As described above, in the present invention, since the electrophoretic layer is directly formed on the first substrate, the electrophoretic layer is formed on the second substrate to protect the adhesive layer or the adhesive layer for attaching the electrophoretic layer to the second substrate. There is no need for a protective film. In addition, in the present invention, since the electrophoretic layer can be formed in a process line such as an existing thin film transistor forming process line, for example, an insulation layer, etc., a separate process line is not required, thereby further reducing manufacturing costs. do.

또한, 별도의 공장이나 제조업체에서 전기영동층을 제작하여 이를 운송하여 제2기판에 부착하고 이 제2기판을 다시 제1기판과 합착하는 종래에 비해, 본 발명에서는 전기영동층의 이송이나 전기영동층이 부착 등의 공정이 필요없게 되므로 제조공정을 단순화할 수 있게 된다.In addition, compared with the prior art in which an electrophoresis layer is manufactured by a separate factory or a manufacturer, and the electrophoresis layer is transported and attached to the second substrate and the second substrate is bonded to the first substrate again, It is possible to simplify the manufacturing process since the process such as adhesion of layers is not required.

한편, 상술한 설명에서는 전기영동 표시소자의 구조에 대하여 특정 구조를 한정하여 설명하고 있지만, 본 발명의 전기영동 표시소자가 이러한 특정 구조에만 한정되는 것은 아니다. 특히, 전기영동층으로서 현재 사용하는 다양한 전기영동층이 적용될 수 있을 것이다. 즉, 제1기판에 형성될 수 있는 모든 구조의 전기영동층에 적용될 수 있을 것이다.In the above description, the structure of the electrophoretic display device is limited to a specific structure, but the electrophoretic display device of the present invention is not limited to the specific structure. In particular, various electrophoretic layers currently used as electrophoretic layers may be applied. That is, it may be applied to the electrophoretic layer of any structure that can be formed on the first substrate.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments.

따라서, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것이 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다. Therefore, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concept of the present invention defined in the following claims are also within the scope of the present invention.

120,140 : 기판 111 : 게이트전극
113 : 반도체층 115 : 소스전극
116 : 드레인전극 118a,118b : 화소전극
124 : 보호층 142 : 공통전극
160 : 전기영동층 164 : 화이트입자
165 : 블랙입자 168 : 실링층
120, 140: substrate 111: gate electrode
113: semiconductor layer 115: source electrode
116: drain electrode 118a, 118b: pixel electrode
124: protective layer 142: common electrode
160: electrophoresis layer 164: white particles
165 black particles 168 sealing layer

Claims (20)

복수의 화소가 배열되어 있는 화상표시영역(display region) 및 상기 화상표시영역 외곽의 화상비표시영역(non display region)을 포함하는 제1기판 및 상기 제1기판과 대응되는 제2기판을 제공하는 단계;
상기 제1기판상의 각 화소마다 박막트랜지스터를 형성하는 단계;
상기 박막트랜지스터가 형성된 제1기판상에 보호층을 형성하는 단계;
상기 보호층 위의 각 화소마다 제1화소전극을 형성하는 단계;
상기 보호층 위의 각 화소 사이에 보호층으로부터 도출된 격벽을 형성하는 단계;
상기 보호층으로부터 돌출된 격벽의 측벽에 배치되어 상기 제1화소전극과 연결되는 제2화소전극을 형성하는 단계;
상기 격벽에 의해 정의되는 화소마다 전기영동물질을 충진하여 전기영동층을 형성하는 단계;
상기 제2기판에 공통전극을 형성하는 단계; 및
제1기판 및 제2기판을 합착하는 단계로 구성된 전기영동 표시소자 제조방법.
A first substrate including a display region in which a plurality of pixels are arranged and a non display region outside the image display region, and a second substrate corresponding to the first substrate are provided. step;
Forming a thin film transistor for each pixel on the first substrate;
Forming a protective layer on the first substrate on which the thin film transistor is formed;
Forming a first pixel electrode for each pixel on the passivation layer;
Forming a partition wall derived from the protective layer between each pixel on the protective layer;
Forming a second pixel electrode disposed on a sidewall of the partition wall protruding from the protective layer and connected to the first pixel electrode;
Forming an electrophoretic layer by filling an electrophoretic material for each pixel defined by the barrier rib;
Forming a common electrode on the second substrate; And
And bonding the first substrate and the second substrate to each other.
제1항에 있어서, 전기영동층을 실링하는 실링층을 형성하는 단계로 추가포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.The method of claim 1, further comprising forming a sealing layer for sealing the electrophoretic layer. 제2항에 있어서, 상기 실링층은 화상표시영역 전체에 걸쳐 형성되는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.The method of claim 2, wherein the sealing layer is formed over the entire image display area. 제2항에 있어서, 상기 실링층은 격벽 상부에 형성되는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.The method of claim 2, wherein the sealing layer is formed on the partition wall. 제1항에 있어서, 제1기판을 제2기판을 합착하는 단계는 제1기판 및 제2기판중 적어도 하나의 기판에 접착층을 형성하는 단계를 포함하는 전기영동 표시소자 제조방법.The method of claim 1, wherein the bonding of the first substrate to the second substrate comprises forming an adhesive layer on at least one of the first substrate and the second substrate. 제1항에 있어서, 상기 전기영동물질은 하전된 화이트입자 및 블랙입자를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.The method of claim 1, wherein the electrophoretic material comprises charged white particles and black particles. 제1항에 있어서, 상기 전기영동물질은 하전된 컬러입자를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.The method of claim 1, wherein the electrophoretic material comprises charged color particles. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 전기영동물질은 분산매질을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법. The method of claim 6, wherein the electrophoretic material further comprises a dispersion medium. 제1항에 있어서, 상기 격벽을 형성하는 단계는,
상기 제1화소전극이 형성된 보호층 위에 절연층을 형성하는 단계; 및
사진식각공정, 몰드공정, 임프린트공정 중 하나의 공정에 의해 상기 절연층의 일부를 제거하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.
The method of claim 1, wherein the forming of the partition wall comprises:
Forming an insulating layer on the protective layer on which the first pixel electrode is formed; And
And removing a portion of the insulating layer by one of a photolithography process, a mold process, and an imprint process.
제1항에 있어서, 상기 전기영동층을 형성하는 단계는 적하법, 스퀴즈법, 캐스팅인쇄법, 바코팅인쇄법, 스크린인쇄법, 몰드인쇄법중 하나의 방법을 이용하여 격벽 사이의 화소내에 전기영동물질을 충진하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.The method of claim 1, wherein the forming of the electrophoretic layer is performed by using one of a dropping method, a squeeze method, a casting printing method, a bar coating printing method, a screen printing method, and a mold printing method. Electrophoretic display device manufacturing method comprising the step of filling the electrophoretic material. 제1항에 있어서, 상기 제2화소전극은 제1화소전극 위까지 연장되는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.The method of claim 1, wherein the second pixel electrode extends over the first pixel electrode. 제1항에 있어서, 상기 박막트랜지스터를 형성하는 단계는,
제1기판 위에 게이트전극을 형성하는 단계;
상기 게이트전극 위에 반도체층을 형성하는 단계;
상기 반도체층 위에 소스전극 및 드레인전극을 형성하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.
The method of claim 1, wherein the forming of the thin film transistor comprises:
Forming a gate electrode on the first substrate;
Forming a semiconductor layer on the gate electrode;
Forming a source electrode and a drain electrode on the semiconductor layer.
복수의 화소를 포함하는 화상표시영역 및 화상비표시영역을 포함하는 제1기판 및 제2기판;
제1기판 위에 형성된 박막트랜지스터;
상기 박막트랜지스터가 형성된 제1기판상에 보호층;
상기 보호층 위에 보호층 위로 돌출되도록 형성되어 단위 화소를 정의하는 격벽;
상기 보호층 위의 화상표시부에 형성된 제1화소전극;
상기 보호층으로부터 돌출된 격벽의 측벽에 형성되어 상기 제1화소전극과 접속되는 제2화소전극;
격벽 사이의 단위 화소에 형성되어 상기 제1화소전극 및 제2화소전극과 접촉하는 전기영동물질; 및
제2기판 위에 형성된 공통전극으로 구성된 전기영동 표시소자.
A first substrate and a second substrate including an image display area including a plurality of pixels and an image non-display area;
A thin film transistor formed on the first substrate;
A protective layer on the first substrate on which the thin film transistor is formed;
Barrier ribs formed on the passivation layer to protrude above the passivation layer to define a unit pixel;
A first pixel electrode formed on the image display portion on the protective layer;
A second pixel electrode formed on a sidewall of the partition wall protruding from the protective layer and connected to the first pixel electrode;
An electrophoretic material formed on the unit pixel between the barrier ribs and in contact with the first pixel electrode and the second pixel electrode; And
An electrophoretic display device comprising a common electrode formed on a second substrate.
제13항에 있어서, 상기 박막트랜지스터는,
제1기판 위에 형성된 게이트전극;
상기 게이트전극 위에 형성된 반도체층; 및
상기 반도체층 위에 형성된 소스전극 및 드레인전극으로 이루어진 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.
The method of claim 13, wherein the thin film transistor,
A gate electrode formed on the first substrate;
A semiconductor layer formed on the gate electrode; And
And a source electrode and a drain electrode formed on the semiconductor layer.
제13항에 있어서, 상기 전기영동물질은 하전된 화이트입자 및 블랙입자를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.The electrophoretic display device of claim 13, wherein the electrophoretic material comprises charged white particles and black particles. 제13항에 있어서, 상기 전기영동물질은 하전된 컬러입자를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.The electrophoretic display device of claim 13, wherein the electrophoretic material comprises charged color particles. 제15항 또는 제16항에 있어서, 상기 전기영동물질은 분산매질을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자. 17. The electrophoretic display device of claim 15 or 16, wherein the electrophoretic material further comprises a dispersion medium. 제17항에 있어서, 상기 전기영동물질 상부에 형성되어 전기영동물질을 밀봉하는 실링층을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.18. The electrophoretic display device of claim 17, further comprising a sealing layer formed on the electrophoretic material to seal the electrophoretic material. 제13항에 있어서, 상기 제2화소전극은 제1화소전극 위까지 연장되는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.The electrophoretic display device of claim 13, wherein the second pixel electrode extends over the first pixel electrode. 제13항에 있어서, 상기 제2화소전극은 격벽의 상부 일부 영역까지 연장되는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.


The electrophoretic display device of claim 13, wherein the second pixel electrode extends to an upper portion of the partition wall.


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