KR101361495B1 - Carrier board transfer and rotator for test handler - Google Patents

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Abstract

본 발명은 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치, 이송시스템 및 자세변환장치에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier board conveying device, a conveying system and a posture converting device for a test handler.

본 발명에 따르면, 언로딩 부근에서 캐리어보드를 이송하기 위한 이송장치를 자세변환장치에 일체로 결합하여 구성시킬 수 있기 때문에, 언로딩 공간에 존재하는 각종 장치에 대한 설계의 자유도가 증가하는 이점이 있다.According to the present invention, since the transfer device for transporting the carrier board in the vicinity of the unloading can be integrally combined with the posture converting device, the freedom of design for various devices existing in the unloading space is increased. have.

테스트핸들러, 핸들러, 이송장치, 자세변환장치 Test handler, handler, feeder, posture changer

Description

테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치 및 자세변환장치{CARRIER BOARD TRANSFER AND ROTATOR FOR TEST HANDLER}Carrier board transfer device and posture changer for test handlers {CARRIER BOARD TRANSFER AND ROTATOR FOR TEST HANDLER}

본 발명은 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치, 이송시스템 및 자세변환장치에 관한 것으로, 특히 캐리어보드에 적재된 반도체소자를 언로딩하는 경우에 적용될 수 있는 기술에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier board conveying apparatus, a conveying system, and a posture converting apparatus for a test handler, and more particularly, to a technique that can be applied when unloading a semiconductor device mounted on a carrier board.

전자부품(특히, 반도체소자)의 테스트를 위해서는 전기적으로 연결된 전자부품을 테스트하는 테스터(TESTER)와 테스터에 전자부품을 전기적으로 연결시키기 위한 장비인 테스트핸들러(TEST HANDLER)가 필요하다.In order to test electronic components (especially semiconductor devices), a tester for testing an electrically connected electronic component and a test handler, a device for electrically connecting the electronic component to the tester, are required.

테스트핸들러에서는 처리 용량을 늘리기 위해 다수의 반도체소자를 행렬 형태로 적재한 상태에서 한꺼번에 운반하기 위한 캐리어보드가 사용된다. 그리고 반도체소자는 캐리어보드(CARRIER BOARD)에 적재된 상태에서 테스터의 테스트소켓(TEST SOCKET)에 전기적으로 접속되고 테스트된다.In the test handler, a carrier board is used to transport a large number of semiconductor devices in a matrix form in order to increase processing capacity. The semiconductor device is electrically connected to and tested by a test socket of a tester in a state of being loaded on a carrier board.

한편, 테스트핸들러로 테스트될 반도체소자의 공급은 고객트레이(USER TRAY) 에 적재된 상태로 이루어진다.On the other hand, the supply of the semiconductor device to be tested by the test handler is made to be loaded in the user tray (USER TRAY).

따라서 테스트핸들러에는 고객트레이에 적재된 미테스트된 반도체소자들을 캐리어보드로 이동시키거나 캐리어보드에 적재된 테스트 완료된 반도체소자를 고객트레이로 이동시키기 위한 픽앤플레이스장치(PICK AND PLACE APPARATUS)가 구성되어야 한다.Therefore, the test handler must be configured with a pick and place device for moving untested semiconductor devices loaded on the customer tray to the carrier board or moving the tested semiconductor devices loaded on the carrier board to the customer tray. .

도1은 종래의 일 예에 따른 테스트핸들러에 대한 개념적인 평면도를 도시한 것으로서 이를 참조하여 더 구체적으로 설명한다.1 is a conceptual plan view of a test handler according to a conventional example, which will be described in more detail with reference to the drawing.

도1에 따른 종래의 테스트핸들러(TH)는, 캐리어보드(CB), 로딩용 픽앤플레이스장치(LH), 한 벌의 소팅 테이블(STa, STb), 소팅용 픽앤플레이스장치(SHa, SHb), 언로딩용 픽앤플레이스장치(UH) 등을 포함하여 구성된다.The conventional test handler TH according to Fig. 1 includes a carrier board CB, a pick and place device for loading LH, a pair of sorting tables STa and STb, a pick and place device for sorting SHa and SHb, And an unloading pick and place device (UH).

캐리어보드(CB)는 로딩위치(LP)에서 테스트위치(TP) 및 언로딩위치(UP)를 거쳐 다시 로딩위치(LP)로 이어지는 순환경로(C) 상을 순환한다.The carrier board CB circulates on the circulation path C from the loading position LP to the loading position LP via the test position TP and the unloading position UP.

로딩용 픽앤플레이스장치(LH)는, 로더 등으로도 불리며, 고객트레이(CT1)에 적재되어 있는 반도체소자를 로딩위치(LP)에 있는 캐리어보드(CB)로 로딩(loading)시킨다.The loading pick-and-place device LH, also called a loader, etc., loads the semiconductor elements loaded in the customer tray CT 1 onto the carrier board CB at the loading position LP.

한 벌의 소팅 테이블(STa, STb) 각각은, 전후 방향으로 스텝 왕복 운동이 가능하며, 다수의 반도체소자를 행렬 형태로 적재시키기 위해 구비된다.Each of the pair of sorting tables STa and STb is capable of step reciprocating motion in the front-rear direction and is provided for stacking a plurality of semiconductor elements in a matrix form.

소팅용 픽앤플레이스장치(SHa, SHb)는, 소터 등으로도 불리며, 언로딩위치(UP)에 있는 캐리어보드(CB)에 적재된 테스트 완료된 반도체소자를 소팅 테이 블(STa, STb)로 이동 적재시킨다. 이러한 소팅용 픽앤플레이스장치(SHa, SHb)는 기동성을 위한 경량화 또는 언로딩용 픽앤플레이스장치(UH)와의 동작 간섭 제거 등의 목적으로 좌우 방향으로만 이동 가능하게 구비되며, 이를 보충하기 위해 상기한 소팅 테이블(STa, STb)이 전후 스텝 왕복 운동하도록 되어 있다.The sorting pick and place device SHa or SHb is also called a sorter or the like, and transfers the tested semiconductor elements loaded on the carrier board CB at the unloading position UP to the sorting tables STa and STb. Let's do it. The sorting pick and place devices SHa and SHb are provided to be movable only in the left and right directions for the purpose of weight reduction for maneuverability or to remove operation interference with the unloading pick and place device UH. The sorting tables STa and STb move forward and backward step reciprocatingly.

언로딩용 픽앤플레이스장치(UH)는, 언로더 등으로도 불리며, 소팅 테이블(STa, STb)에 적재되어 있는 반도체소자를 빈 고객트레이(CT2)로 이동 적재시킨다.The unloading pick and place device UH, also called an unloader or the like, moves and loads the semiconductor elements loaded on the sorting tables STa and STb to the empty customer tray CT 2 .

즉, 위에서 예를 든 테스트핸들러(TH)에서는 언로딩(unloading)의 신속성을 담보하기 위해서 로딩 측과는 달리 소팅용 픽앤플레이스장치(SH), 소팅 테이블(STa, STb) 및 언로딩용 픽앤플레이스장치(UH)로 세분화하고 각각이 분업하여 언로딩작업을 수행할 수 있도록 하고 있다.That is, in the test handler TH described above, unlike the loading side, the pick and place device for sorting (SH), the sorting table (STa, STb) and the unloading pick and place are different from each other in order to ensure the unloading speed. It is subdivided into a device (UH) and each can be divided into unloading operations.

계속하여 본 발명과 관련된 부분에 대하여 더 구체적으로 설명한다.Subsequently, parts related to the present invention will be described in more detail.

소팅용 픽앤플레이스장치(SHa, SHb)는, 도2에서 참조되는 바와 같이, 84 행렬 형태(좌우축 방향으로 8, 전후 방향으로 4)로 배열된 픽커(P, 픽커 1개당 1개의 반도체소자를 파지할 수 있음)를 가진다. 이에 반하여 캐리어보드(CB)는 도3에서 참조되는 바와 같이 1616 행렬 형태(좌우 방향으로 16, 전후 방향으로 16)로 반도체소자가 적재된다. 따라서 좌우 방향으로만 이동하는 소팅용 픽앤플레이스장치(SHa, SHb)만에 의해서는 캐리어보드(CB)의 전체 면적에 걸친 반도체소자를 언로딩하기가 곤란하다. 이러한 점을 해결하기 위해, 도4a 및 도4b에 도시된 바와 같 이, 캐리어보드(CB)를 2단계에 걸쳐 순차적으로 이송시키는 기술적 방법을 사용하고 있다. 즉, 도4a와 같은 1단계 이송시에 2개의 소팅용 픽앤플레이스장치(SHa, SHb)에 의해 앞 측의 168개의 반도체소자를 언로딩한 후, 도4b와 같은 2단계 이송 시에 나머지 뒤 측의 168개의 반도체소자를 언로딩하도록 하고 있는 것이다.As shown in Fig. 2, the sorting pick and place devices SHa and SHb use one semiconductor element per picker P, arranged in a 84 matrix form (8 in the left-right direction and 4 in the front-rear direction). Can be gripped). In contrast, as shown in FIG. 3, the carrier board CB is loaded with semiconductor elements in a 1616 matrix form (16 in the left and right directions and 16 in the front and rear directions). Therefore, it is difficult to unload the semiconductor device over the entire area of the carrier board CB only by the sorting pick and place devices SHa and SHb which move only in the left and right directions. In order to solve this problem, as illustrated in FIGS. 4A and 4B, a technical method of sequentially transferring the carrier board CB in two steps is used. That is, after unloading the 168 semiconductor elements of the front side by the two sorting pick and place devices SHa and SHb during the one-step transfer as shown in FIG. 4A, the remaining back side is transferred during the two-step transfer as shown in FIG. 4B. To unload 168 semiconductor devices.

위와 같이 도4a 및 도4b와 같은 방법을 적용하는 경우에는 캐리어보드(CB)를 적어도 2회 이상의 단계에 걸쳐서 순차적으로 이송시키기 위한 별도의 캐리어보드 이송장치가 테스트핸들러에 구성되어야 한다. 그러한 일예로 대한민국 공개특허 10-2008-8661호(발명의 명칭 : 테스트핸들러, 이하 ‘종래기술’이라 함)를 통해 제시된 기술 등이 있다.In the case of applying the method as shown in FIGS. 4A and 4B as described above, a separate carrier board transfer device for sequentially transferring the carrier board CB in at least two or more steps should be configured in the test handler. For example, the technology disclosed through the Republic of Korea Patent Publication No. 10-2008-8661 (Invention name: test handler, hereinafter referred to as "prior art").

종래기술은, 도5에서 참조되는 바와 같이, 디소크챔버(DC)에서 반출된 캐리어보드(CB)를 로딩위치(LP)로 단계적으로 이송시키는 경로(C1) 상에서 반도체소자를 언로딩시키는 기술이기 때문에 별도의 캐리어보드 이송장치를 구성하는 것에 대하여 그다지 커다란 공간적 제약은 없다.In the prior art, as shown in FIG. 5, a technique of unloading a semiconductor device on a path C 1 for transferring the carrier board CB taken out from the desock chamber DC to the loading position LP stepwise. Because of this, there is no great space limitation for configuring a separate carrier board transfer device.

그러나 도1에서 참조되는 바와 같이 디소크챔버(DC)의 전방에서 반도체소자를 언로딩시키는 기술이 적용된 테스트핸들러에서는, 앞서 살펴본 바와 같이 소팅 테이블(STa, STb), 소팅용 픽앤플레이스장치(SHa, SHb), 언로딩용 픽앤플레이스장치(UH) 등과 같은 다수의 장치가 언로딩 공간에 모두 구성되어야 하기 때문에 각 장치간의 간섭을 회피하여 캐리어보드(CB)를 2회 이상의 다단계로 이송시키기 위한 별도의 캐리어보드 이송장치를 설계하기가 많이 곤란하다. 그리고 별도의 캐리어보 드 이송장치의 설계는 캐리어보드의 이송이 1회에 이루어지도록 구성되어질 경우(이러할 경우에는 소팅용 픽앤플레이스장치가 전후 및 좌우 방향으로 모두 이동 가능하도록 구비되어야 할 것이다)에도 다단계 이송의 경우보다는 다소 떨어지지만 그 곤란함은 여전히 있다.However, in the test handler to which the technique of unloading the semiconductor device in front of the desock chamber DC is applied as shown in FIG. 1, as described above, the sorting tables STa and STb and the pick and place device SHa for sorting are described. Since a number of devices such as SHb) and an unloading pick and place device (UH) must all be configured in the unloading space, separate devices for transporting the carrier board (CB) in two or more stages to avoid interference between the devices It is very difficult to design a carrier board transfer device. In addition, the design of the separate carrier board transporting device is multi-step even when the carrier board is configured to be transported at once (in this case, the pick and place device for sorting should be provided to be movable in both front and rear and right and left directions). Although somewhat less than in the case of transfer, the difficulty is still there.

특히, 사이드도킹식 테스트핸들러(캐리어보드를 수직으로 세운 상태에서 반도체소자의 테스트가 이루어지는 방식의 테스트핸들러)에서는 소팅 테이블, 소팅용 픽앤플레이스장치, 언로딩용 픽앤플레이스장치의 후방으로 수직 상태의 캐리어보드를 수평 상태로 자세변환시키기 위한 자세변환장치가 더 구성되어야 하기 때문에 그 공간적 제약은 더욱 크다.In particular, the side docking test handler (a test handler in which the semiconductor device is tested with the carrier board standing vertically) has a vertical carrier to the rear of the sorting table, the sorting pick and place device, and the unloading pick and place device. The spatial constraints are greater because the posture changer must be configured to posture the board to the horizontal state.

본 발명은 자세변환장치에 일체로 구성되기에 적합한 캐리어보드 이송장치, 이송시스템 및 이송장치가 일체로 결합되어 있는 자세변환장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a posture converting apparatus in which a carrier board conveying apparatus, a conveying system and a conveying apparatus, which are suitable for being integrally formed in the posture converting apparatus, are integrally coupled.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치는, 캐리어보드를 밀기 위한 밀대를 가지는 밀대블럭; 상기 밀대블럭을 전후진시키기 위한 동력을 제공하는 동력제공장치; 상기 동력제공장치의 작동에 따라 상기 밀대블럭이 전진하면 상기 밀대가 캐리어보드를 밀 수 있는 상태로 조절되게 하고, 상기 밀대블럭이 후진하면 상기 밀대가 캐리어보드의 이동에 간섭되지 않는 상태로 조절되게 하는 밀대조절부재; 및 상기 밀대블럭의 전후진을 안내하는 가이더; 를 포함한다.Carrier board transfer apparatus for a test handler according to the present invention for achieving the above object, the push rod having a push rod for pushing the carrier board; A power providing device for providing power for advancing and reversing the pushing block; When the push block moves forward according to the operation of the power supply device, the push rod can be adjusted to push the carrier board, and when the push block reverses, the push rod can be adjusted so as not to interfere with the movement of the carrier board. Push rod adjustment member; And a guider for guiding forward and backward movement of the push block. .

상기 밀대블럭은, 상기 동력제공장치의 작동에 따라 전후진 가능하게 상기 가이더에 결합되는 결합부재; 및 상기 밀대가 상기 결합부재에 시소운동이 가능하게 결합된 상태에서 상기 밀대의 일 측에 탄성력을 가함으로써 상기 밀대의 타 측에 의해 캐리어보드를 밀 수 있는 상태로 되게 하는 탄성부재; 를 더 가지며, 상기 밀대조절부재는 상기 밀대블럭이 후진할 시에 상기 밀대의 일 측 부분을 가압하여 상기 탄성부재를 압축시킴으로써 상기 밀대가 캐리어보드의 이동에 간섭되지 않는 상태로 되게 한다.The push block includes a coupling member coupled to the guider so as to be movable back and forth according to the operation of the power supply device; And an elastic member that allows the carrier board to be pushed by the other side of the push rod by applying an elastic force to one side of the push rod while the push rod is coupled to the coupling member to enable the seesaw movement. Further, the push rod adjusting member presses one side of the push rod to compress the elastic member so that the push rod does not interfere with the movement of the carrier board when the push rod is reversed.

상기 밀대조절부재는 상기 밀대 측을 향하여 돌출됨으로써 상기 밀대의 후퇴가 완료되면 상기 밀대의 일 측 부분을 가압하는 돌출면과, 상기 밀대의 후퇴 시에 상기 밀대의 일 측 부분이 상기 돌출면으로 유연하게 이동될 수 있게 하는 경사면을 가진다.The push rod adjusting member protrudes toward the push rod side, so that when the retraction of the push rod is completed, the push rod pushes one side of the push rod, and when the push rod is retracted, one side of the push rod is flexible to the push rod. It has an inclined surface that can be moved easily.

상기 이송장치는 상기 밀대블럭의 전진에 연동하여 이동하는 캐리어보드의 과이동을 제한하기 위한 스토퍼장치를 더 포함한다.The transfer device further includes a stopper device for limiting the overtravel of the carrier board moving in conjunction with the advance of the push block.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 자세변환장치는, 캐리어보드의 양 단을 파지할 수 있는 파지대; 상기 파지대를 수평 상태 또는 수직 상태로 선택적으로 자세변환시키는 구동장치; 및 상기 파지대에 파지된 캐리어보드를 제1 행정거리만큼 이송시키기 위한 제1 이송장치; 상기 제1 이송장치에 의해 제1 행정거리만큼 이송된 캐리어보드를 제2 행정거리만큼 다시 이송시키기 위한 제2 이송장치; 및 상기 제2 이송장치에 의해 제2 행정거리만큼 이송된 캐리어보드를 제3 행정거리만큼 다시 이송시키기 위한 제3 이송장치; 를 포함하며, 상기 제1 내지 제3 이송장치는 상기 파지대에 설치된다.In addition, the posture conversion device for a test handler according to the present invention for achieving the above object, a gripper for holding both ends of the carrier board; A drive device for selectively converting the gripper into a horizontal state or a vertical state; And a first transfer device for transferring the carrier board held by the gripper by a first stroke. A second conveying device for conveying the carrier board conveyed by the first conveying device by the first conveying distance by the second conveying distance again; And a third conveying apparatus for conveying the carrier board conveyed by the second conveying device by a second stroke distance by a third stroke distance. It includes, the first to third transfer device is installed in the gripper.

상기 제2 이송장치 또는 제3 이송장치는 상기한 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치인 것이 바람직하다.Preferably, the second transfer apparatus or the third transfer apparatus is the carrier board transfer apparatus for the test handler.

상기 제1 이송장치는, 캐리어보드를 밀기 위한 밀대를 가지는 밀대블럭; 상기 밀대블럭을 전후진시키기 위한 동력을 제공하는 동력제공장치; 및 상기 밀대블럭의 전후진을 안내하는 가이더; 를 포함하며, 상기 밀대는 상기 파지대에 의해 양단이 파지되면서 진입하는 캐리어보드의 과도한 진입을 제한하는 역할을 수행한다.The first transfer device, a push rod block having a push rod for pushing the carrier board; A power providing device for providing power for advancing and reversing the pushing block; And a guider for guiding forward and backward movement of the push block. It includes, the push rod serves to limit excessive entry of the carrier board to enter while being gripped at both ends by the gripper.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송시스템은, 캐리어보드를 제1 위치까지 이송시키기 위한 제1 이송장치; 상기 제1 이송장치에 의해 제1 위치까지 이송된 캐리어보드를 제2 위치까지 다시 이송시키기 위한 제2 이송장치; 및 상기 제1 이송장치 또는 제2 이송장치의 작동에 따라 제1 위치 또는 제2 위치까지 이송되어야 하는 캐리어보드의 과이동을 제한하기 위한 스토퍼장치; 를 포함하고, 상기 제1 이송장치 또는 제2 이송장치는 상기한 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치인 것이 바람직하다.In addition, a carrier board transport system for a test handler according to the present invention for achieving the above object, the first transport device for transporting the carrier board to a first position; A second conveying apparatus for conveying the carrier board conveyed to the first position by the first conveying apparatus back to a second position; And a stopper device for limiting overtravel of the carrier board to be conveyed to the first position or the second position according to the operation of the first conveying apparatus or the second conveying apparatus; It includes, It is preferable that the first transfer device or the second transfer device is the carrier board transfer device for the test handler.

상기 스토퍼장치는, 상기 제1 이송장치 또는 제2 이송장치의 작동에 따라 제1 위치 또는 제2 위치까지 이송되어지는 캐리어보드의 과이동을 제한하기 위한 스토퍼; 상기 스토퍼가 제1 위치에서 캐리어보드의 과이동을 제한하는 위치에 있도록 하거나 제2 위치에서 캐리어보드의 과이동을 제한하는 위치에 있도록 하기 위해 상기 스토퍼를 이동시키는 이동원; 을 포함한다.The stopper device may include a stopper for limiting overtravel of the carrier board to be transported to a first position or a second position according to the operation of the first transfer apparatus or the second transfer apparatus; A moving source for moving the stopper so that the stopper is in a position to limit overtravel of the carrier board in a first position or in a position to restrict overtravel of a carrier board in a second position; .

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러의 언로딩방법은, 상기한 테스트핸들러용 자세변환장치에 파지된 캐리어보드를 상기 자세변환장치에 일체로 설치된 제1 이송장치, 제2 이송장치 및 스토퍼장치를 작동시켜 제1 언로딩위치로 이송시키는 단계; 캐리어보드의 하 측에 있는 개방기에 의해 상기 제1 언로딩위치에 있는 캐리어보드의 앞 측 부분에 적재된 절반의 반도체소자들의 홀딩상태를 해제시키는 단계; 상기 제1 언로딩위치에 위치된 캐리어보드의 앞 측 부분에 적재된 절반의 반도체소자들을 픽앤플레이스장치에 의해서 언로딩시키는 단계; 상기 자세변환장치에 일체로 설치된 제3 이송장치 및 스토퍼장치를 작동시켜 캐리어보드를 제2 언로딩위치로 이송시키는 단계; 상기 개방기에 의해 상기 제2 언로딩위치에 있는 캐리어보드의 뒤 측 부분에 적재된 나머지 절반의 반도체소자들의 홀딩상태를 해제시키는 단계; 및 상기 제2 언로딩위치에 있는 캐리어보드의 뒤 측 부분에 적재된 나머지 절반의 반도체소자들을 픽앤플레이스장치에 의해 언로딩시키는 단계; 를 포함한다.In addition, the unloading method of the test handler according to the present invention for achieving the above object, the first transfer device, the carrier board held in the posture conversion device for the test handler integrally installed in the posture conversion device, the second Operating the transfer device and the stopper device to transfer to the first unloading position; Releasing a holding state of half of the semiconductor elements loaded on the front side portion of the carrier board in the first unloading position by an opener under the carrier board; Unloading, by a pick and place device, half of the semiconductor devices loaded on the front side portion of the carrier board positioned at the first unloading position; Operating the third transfer device and the stopper device integrated in the posture converting device to transfer the carrier board to the second unloading position; Releasing the holding states of the other half of the semiconductor devices loaded on the rear side portion of the carrier board in the second unloading position by the opener; And unloading the other half of the semiconductor devices loaded on the rear side portion of the carrier board at the second unloading position by a pick and place device. .

본 발명에 따른 캐리어보드 이송장치는 자세변환장치에 일체로 구성될 수 있기 때문에 언로딩 공간에 별도의 캐리어보드 이송장치를 구성하지 않아도 되므로 언로딩 공간상에 존재하여야 하는 각종 장치에 대한 설계의 자유도가 증가하는 이점이 있다.Since the carrier board conveying apparatus according to the present invention can be integrally configured in the posture converting apparatus, it is not necessary to configure a separate carrier board conveying apparatus in the unloading space, so the degree of freedom of design for various devices that must exist in the unloading space. There is an advantage to increase.

본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명이나 주지한 기술에 대한 설명은 가급적 생략하거나 압축하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. For simplicity of description, redundant descriptions and descriptions of well-known techniques will be omitted or compressed as much as possible.

<< 캐리어보드Carrier board 이송장치에 대한 제1 예> First example of feeder>

도6은 본 발명의 제1 예에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치(600, 이하 ‘이송장치’로 약칭 함)에 대한 사시도이고, 도7은 도6의 이송장치(600)에 대한 측면도이다.FIG. 6 is a perspective view of a carrier board conveying apparatus 600 (hereinafter, abbreviated as 'feeding apparatus') for a test handler according to a first example of the present invention, and FIG. 7 is a side view of the conveying apparatus 600 of FIG. .

이송장치(600)는, 도6 및 도7에서 참조되는 바와 같이, 밀대블럭(610), 실린더(620), 밀대조절부재(630), LM가이더(640) 및 스토퍼 장치(650) 등을 포함하여 구성된다.6 and 7, the conveying device 600 includes a push block 610, a cylinder 620, a push rod adjusting member 630, an LM guider 640, a stopper device 650, and the like. It is configured by.

밀대블럭(610)은, 실린더(620)의 작동에 따라 전후진하며, 밀대(611), 결합부재(612) 및 스프링(613) 등을 가진다.The push block 610 moves forward and backward according to the operation of the cylinder 620, and has a push rod 611, a coupling member 612, a spring 613, and the like.

밀대(611)는, 결합부재(612)에 시소운동이 가능하게 결합되어 있으며, 시소운동의 회전 기준점(S)을 기준으로 뒤 측에는 베어링(B)이 구비되어 있고 앞 측은 캐리어보드를 밀기에 적합한 형상을 가진다.The push rod 611 is coupled to the coupling member 612 so that the seesaw movement is possible, and the bearing B is provided at the rear side with respect to the rotational reference point S of the seesaw movement and the front side is suitable for pushing the carrier board. It has a shape.

결합부재(612)는 실린더(620)의 작동에 따라 LM가이더(640)의 안내를 받으며 전후진 할 수 있도록 그 하측부분이 LM가이더(640)에 미끄럼 가능하게 결합되어 있다.The coupling member 612 is slidably coupled to the LM guider 640 so that the lower part thereof is guided forward and backward while being guided by the LM guider 640 according to the operation of the cylinder 620.

스프링(613)은 밀대(611)의 뒤 측 부분에 하방향으로 탄성력을 가하기 위한 탄성부재로서 마련된다.The spring 613 is provided as an elastic member for applying an elastic force to the rear side portion of the push rod 611 in the downward direction.

실린더(620)는 밀대블럭(610)을 전후진시키기 위한 동력을 제공하는 동력제공장치로서 마련된다.The cylinder 620 is provided as a power providing device for providing power for advancing and moving the push block 610.

밀대조절부재(630)는, 밀대(611)의 후퇴 시에 밀대(611)의 뒤 측 부분을 상방향으로 가압함으로써 스프링(613)을 압축시키면서 밀대(611)의 뒤 측 부분을 상승시켜 궁극적으로 밀대(611)의 앞 측 부분이 하강할 수 있도록 하기 위해 마련된다. 이러한 밀대조절부재(630)는 상측에 있는 밀대(611) 측을 향하여 돌출되어서 밀대(611)의 후퇴가 완료되면 밀대(611)의 뒤 측 부분을 상방향으로 가압하는 면인 돌출면(a)과, 밀대(611)의 후퇴 시에 밀대(611)의 뒤 측 부분에 구비된 베어링(B)이 구르면서 돌출면(a)으로 유연하게 이동될 수 있게 하는 경사면(b)을 가진다.The push rod adjustment member 630 raises the rear side portion of the push rod 611 while compressing the spring 613 by pressing the rear side portion of the push rod 611 upward when the push rod 611 is retracted. The front side portion of the pusher 611 is provided to be able to descend. The push rod adjustment member 630 protrudes toward the push rod 611 side at the upper side, and when the retraction of the push rod 611 is completed, the protruding surface (a) which is a surface for pressing the rear side portion of the push rod 611 upwards; In the retraction of the push rod 611, the bearing B provided on the rear side of the push rod 611 has an inclined surface b that can be flexibly moved to the protruding surface a while rolling.

LM가이더(640)는 밀대블럭(610)이 적절히 전후진할 수 있도록 안내하는 역할을 수행한다.The LM guider 640 serves to guide the push block 610 to properly move forward and backward.

스토퍼장치(650)는 밀대(611)에 의해 밀려 이송되는 캐리어보드의 과이동을 제한하기 위해 마련되며, 캐리어보드의 과이동을 제한하기 위한 스토퍼(651)와 스토퍼(651)를 이동시키기 위한 이동원으로서 마련되는 실린더(652)로 구성된다. 이러한 스토퍼장치(650)의 작동에 대한 더 구체적인 설명은 후술한다.The stopper device 650 is provided to limit the overtravel of the carrier board being pushed by the pusher 611, the moving source for moving the stopper 651 and the stopper 651 for limiting the overtravel of the carrier board It is composed of a cylinder 652 provided as. A more detailed description of the operation of the stopper device 650 will be described later.

계속하여 위와 같이 구성되는 이송장치(600)의 작동에 대하여 설명한다.Next, the operation of the transfer apparatus 600 configured as described above will be described.

도8에서 참조되는 바와 같이, 캐리어보드(CB)가 후 방향으로 진입할 때에는 밀대블럭(610)이 완전히 후진하여 밀대(611)의 앞 측 부분이 하강한 상태를 유지할 수 있도록 함으로써 캐리어보드(CB)의 후 방향으로의 진입이 밀대(611)에 의해 간섭받지 않게 될뿐더러, 타 이송장치(미도시)에 의해 캐리어보드(CB)가 앞 방향으로 이송될 때에는 캐리어보드(CB)의 이동을 방해하지 않게 되어 있다.As shown in FIG. 8, when the carrier board CB enters the rearward direction, the push rod block 610 is fully retracted so that the front part of the push rod 611 can be kept lowered. ) Is not interfered with by the pusher 611, and also hinders the movement of the carrier board CB when the carrier board CB is moved forward by another transfer device (not shown). It is not supposed to be done.

도8과 같은 상태에서 다른 이송장치(미도시)에 의해, 도9에서 참조되는 바와 같이, 앞단이 제1 위치(P1)에 위치되도록 캐리어보드(CB)가 이송된다.In the same state as in FIG. 8, the carrier board CB is transported by another transport device (not shown) so that the front end is positioned in the first position P 1 .

그리고 도10에서 참조되는 바와 같이, 실린더(620)가 작동하여 밀대블럭(610)을 전진시키게 되고, 밀대블럭(610)의 전진에 따라 밀대(611)가 앞으로 나아가면서 밀대(611)의 뒤 측 부분이 밀대조절부재(630)를 벗어남과 함께 스프링(613)의 작동에 의해 밀대(611)의 뒤 측 부분은 하강하고 밀대(611)의 앞 측 부분은 상승하게 되어 밀대(611)의 전단이 캐리어보드(CB)의 후단에 접할 수 있게 된다. 그리고 계속하여 실린더(620)가 작동하여 밀대블럭(610)을 전진시킴으로써, 도11에서 참조되는 바와 같이, 캐리어보드(CB)의 전단이 제2 위치(P2)에 위치될 수 있도록 캐리어보드(CB)를 이송시킨다. 이 때, 캐리어보드(CB)의 이동 관성에 의한 캐 리어보드(CB)의 과이동을 스토퍼장치(650)가 제한함으로써 캐리어보드(CB)의 전단이 정확히 제2 위치(P2)에 위치된 상태에서 캐리어보드(CB)의 이송이 완료될 수 있게 된다. 물론 캐리어보드(CB)의 이송이 완료되고 나면 실린더(620)가 역으로 작동하여 밀대블럭(610)을 후진시켜 도8과 같은 상태로 되돌린다.And as shown in Figure 10, the cylinder 620 is operated to advance the pusher block 610, the pusher 611 moves forward in accordance with the advancement of the pusher block 610, the rear side of the pusher 611 With the part out of the push rod adjusting member 630, the back side of the push rod 611 is lowered and the front part of the push rod 611 is raised by the operation of the spring 613, so that the front end of the push rod 611 is It is possible to contact the rear end of the carrier board (CB). Then, the cylinder 620 is operated to advance the push block 610 so that the front end of the carrier board CB can be positioned at the second position P 2 , as referred to in FIG. 11. CB) is transferred. At this time, the stopper device 650 limits the overtravel of the carrier board CB due to the inertia of the carrier board CB, so that the front end of the carrier board CB is exactly positioned at the second position P 2 . In this state, the transfer of the carrier board CB can be completed. Of course, after the transfer of the carrier board (CB) is completed, the cylinder 620 is operated in reverse to reverse the push block 610 to return to the state as shown in FIG.

<< 캐리어보드Carrier board 이송장치에 대한 제2 예> Second Example for Feeding Device>

도12는 본 발명의 제2 예에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치(700, 이하 ‘이송장치’라 약칭 함)에 대한 사시도이다.12 is a perspective view of a carrier board conveying apparatus 700 (hereinafter, referred to as a "conveying apparatus") for a test handler according to a second example of the present invention.

이송장치(700)는 밀대블럭(710), 실린더(720) 및 LM가이더(730) 등을 포함하여 구성된다.The conveying apparatus 700 includes a push block 710, a cylinder 720, and an LM guider 730.

밀대블럭(710)은 실린더(720)의 작동에 따라 LM가이더(730)의 안내를 받아 전후진하면서 전진 시에는 캐리어보드를 밀어 요구되는 위치로 캐리어보드를 이송시킨다. 이러한 밀대블럭(710)은 전진 시에 캐리어보드의 후단에 접하여 캐리어보드의 후단을 미는 밀대(711)를 가진다. 밀대(711)는 캐리어보드의 후단을 미는 역할을 수행하기도 하지만, 도13에서 참조되는 바와 같이, A 방향으로 진입하는 캐리어보드(CB)의 과도한 진입을 제한하는 역할도 수행한다.The push block 710 moves forward and backward while receiving the guide of the LM guider 730 according to the operation of the cylinder 720 to move the carrier board to a required position by pushing the carrier board when moving forward. The push block 710 has a push rod 711 that pushes the rear end of the carrier board in contact with the rear end of the carrier board when moving forward. The pusher 711 also serves to push the rear end of the carrier board, but also serves to limit excessive entry of the carrier board (CB) entering in the A direction, as shown in FIG.

<스토퍼장치의 작동에 대한 예><Example of the operation of the stopper device>

캐리어보드를 단계적으로 이송시키기 위해 두 개의 이송장치가 적용되어, 제 1 이송장치는 캐리어보드의 전단이 제1 위치에 위치되도록 캐리어보드를 B방향으로 이송시키고, 제2 이송장치는 전단이 제1위치에 위치된 이송된 캐리어보드를 그 전단이 제2 위치에 위치되도록 앞 방향으로 이송시키도록 되어 있는 경우를 예로 든다.Two conveying devices are applied to transfer the carrier board in stages, so that the first conveying device conveys the carrier board in the B direction so that the front end of the carrier board is located at the first position, and the second conveying device is the first conveying device. An example is a case where the conveyed carrier board positioned at a position is adapted to be conveyed forward so that its front end is positioned at the second position.

먼저 제1 이송장치에 의해 캐리어보드의 전단이 제1 위치에 위치되도록 캐리어보드를 이송시킬 경우, 도14에서 참조되는 바와 같이, 실린더(652)가 작동하여 스토퍼(651)를 제1 위치(P1)로 이동시킨다. 따라서 제1 이송장치가 요구되는 힘 이상으로 캐리어보드(CB)를 앞 방향으로 밀어 캐리어보드에 이동 관성력이 발생하더라도 제1 위치(P1)에 있는 스토퍼(651)에 의해 캐리어보드(CB)의 전단이 접하면서 캐리어보드(CB)의 과이동이 억제된다.First, when the carrier board is transferred so that the front end of the carrier board is positioned in the first position by the first transfer device, as shown in FIG. 14, the cylinder 652 is operated to move the stopper 651 in the first position (P). Move to 1 ). Therefore, even if the first conveying device pushes the carrier board CB forward by more than the required force, the carrier board CB may be moved by the stopper 651 at the first position P 1 even if a moving inertia force occurs on the carrier board. As the front end abuts, overtravel of the carrier board CB is suppressed.

그 후 제2 이송장치에 의해 캐리어보드(CB)의 전단이 제2 위치(P2)에 위치되도록 캐리어보드(CB)를 이송시킬 경우, 도15에서 참조되는 바와 같이, 실린더(152)가 작동하여 스토퍼(651)를 제2 위치(P2)로 이동시킨다. 따라서 제2 이송장치가 요구되는 힘 이상으로 캐리어보드(CB)를 앞 방향으로 밀어 캐리어보드(CB)에 이동 관성력이 있더라도 제2 위치(P2)에 있는 스토퍼(651)에 의해 캐리어보드(CB)의 전단이 접하면서 캐리어보드(CB)의 과이동이 억제된다.Then, when the carrier board CB is transferred so that the front end of the carrier board CB is positioned at the second position P 2 by the second transfer device, as shown in FIG. 15, the cylinder 152 is operated. To move the stopper 651 to the second position P 2 . Therefore, the carrier board (CB) by the stopper 651 in the second position (P 2 ) even if there is a moving inertia force on the carrier board (CB) by pushing the carrier board (CB) forward beyond the required force. ), The overtravel of the carrier board (CB) is suppressed while the front end of.

<자세변환장치에 대한 예><Example for posture converter>

자세변환장치(1600)는, 도16에서 참조되는 바와 같이, 파지대(400), 자세변환실린더(500), 제1 이송장치(700), 제2 이송장치(600A), 제3 이송장치(600B) 및 이탈방지장치(800) 등을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 16, the posture converting device 1600 includes a gripper 400, a posture converting cylinder 500, a first conveying device 700, a second conveying device 600A, and a third conveying device ( 600B) and the departure prevention device 800 and the like.

파지대(400)는, 설치판(410), 한 쌍의 안내레일(421, 422) 및 회전축 블록(423) 등을 포함한다.The gripper 400 includes an installation plate 410, a pair of guide rails 421 and 422, a rotation shaft block 423, and the like.

설치판(410)은, 자세변환장치(1600)의 밑판을 이루며, 상기한 제1 이송장치(700), 제2 이송장치(600A) 및 제3 이송장치(600B)가 설치된다. The mounting plate 410 forms the bottom plate of the posture converting apparatus 1600, and the first conveying apparatus 700, the second conveying apparatus 600A, and the third conveying apparatus 600B are installed.

한 쌍의 안내레일(421, 422)은 파지대(400)에 파지되는 캐리어보드의 양단을 파지함과 동시에 캐리어보드의 적절한 진입 및 진출을 안내한다.The pair of guide rails 421 and 422 grip both ends of the carrier board held by the gripper 400 and guide the proper entry and exit of the carrier board.

회전축 블록(423)은, 자세변환실린더(500)의 작동에 따라 파지대(400)가 수직 상태 또는 수평 상태로 자세를 변환할 시에 이루어지는 회전의 중심을 제공하는 회전축(423a)을 가진다.The rotary shaft block 423 has a rotary shaft 423a which provides a center of rotation made when the gripper 400 changes its posture to a vertical state or a horizontal state according to the operation of the posture converting cylinder 500.

자세변환실린더(500)는 파지대(400)의 자세변환에 필요한 회전구동력을 제공하기 위한 구동장치로서 마련된다.The posture converting cylinder 500 is provided as a driving device for providing a rotational driving force necessary for posture converting of the gripper 400.

제1 이송장치(700)는, 자세변환장치(1600)로 진입한 캐리어보드를 제1 행정거리만큼 이송시키기 위해 마련되는 것으로, 상술한 제 2예에 따른 이송장치로 구비된다.The first transfer device 700 is provided to transfer the carrier board entering the posture converting device 1600 by a first stroke, and is provided as a transfer device according to the second example.

제2 이송장치(600A)는, 제1 이송장치(700)에 의해 제1 행정거리만큼 이송된 캐리어보드를 제2 행정거리만큼 이송시키기 위해 마련되는 것으로, 상술한 제1 예 에 따른 이송장치로 구비된다.The second transfer device 600A is provided to transfer the carrier board transferred by the first transfer device 700 by the first stroke distance by the second stroke distance, and the transfer device according to the first example described above. It is provided.

제3 이송장치(600B)는, 제2 이송장치(600A)에 의해 제2 행정거리만큼 이송된 캐리어보드를 제3 행정거리만큼 이송시키기 위해 마련되는 것으로, 상술한 제1 예에 따른 이송장치로 구비된다. 여기서 제3 이송장치(600B)는 밀대블럭의 이동 안내를 위한 LM가이더(LM)를 제1 이송장치와 공유한다.The third transfer device 600B is provided to transfer the carrier board transferred by the second transfer device 600A by the second stroke distance by the third stroke distance. The third transfer device 600B may be a transfer device according to the first example. It is provided. Here, the third transfer device 600B shares the LM guider LM for guiding the movement of the push block with the first transfer device.

이탈방지장치(800)는 자세변환장치(1600)가 수직 상태로 있을 때 캐리어보드의 하방 이탈을 방지하기 위해 마련되는 것으로, 이탈방지대(810)와 구동기(820)를 구비한다.The departure prevention device 800 is provided to prevent downward departure of the carrier board when the posture converting device 1600 is in a vertical state, and includes a departure preventing member 810 and a driver 820.

이탈방지대(810)는 그 끝단에 수직 상태의 캐리어보드 하단을 걸 수 있는 형상으로 구비된다.Departure preventing member 810 is provided in a shape that can hang the bottom of the carrier board in a vertical state at its end.

구동기(820)는 이탈방지대(810)를 회전시킴으로써 이탈방지대(810)가 캐리어보드를 걸거나 걸림을 해제시킬 수 있도록 하는 역할을 수행한다.The driver 820 serves to allow the release preventing member 810 to hang or release the carrier board by rotating the release preventing member 810.

계속하여 도17 내지 도22의 개략도를 참조하여 위와 같은 자세변환장치(1600)의 작동에 대하여 설명한다.Subsequently, the operation of the attitude change apparatus 1600 as described above will be described with reference to the schematic diagrams of FIGS. 17 to 22.

도17에서와 같이 디소크챔버(DC)에서 수직 상태로 있는 캐리어보드(CB)는 별도의 이송장치(미도시)에 의해 수직 상태로 상승하게 되고, 도18에서 참조되는 바와 같이 상승하는 캐리어보드(CB)는 수직 상태로 자세변환 되어있는 자세변환장치(1600)로 진입하게 된다. 이 때 이탈방지장치(800)는 캐리어보드(CB)의 진입을 허용하는 상태로 되어 있으며, 캐리어보드(CB)의 상승은 제1 이송장치(700)에 구비된 밀대(711)에 의해 그 상승이 제한될 때까지 지속된다. 그리고 캐리어보드(CB)가 자세변환장치(1600)로 완전히 진입되면 이탈방지장치(800)가 작동하여 캐리어보드(CB)가 하방으로 이탈되는 것을 방지한다.As shown in FIG. 17, the carrier board CB in a vertical state in the desock chamber DC is raised in a vertical state by a separate transfer device (not shown), and as shown in FIG. 18, the carrier board rises. CB enters the posture converting device 1600 which is converted into a posture in a vertical state. At this time, the departure prevention device 800 is in a state to allow the entry of the carrier board (CB), the rise of the carrier board (CB) is raised by the push rod 711 provided in the first transfer device (700). It lasts until it is limited. And when the carrier board (CB) is completely entered into the posture converting device 1600, the departure prevention device 800 is operated to prevent the carrier board (CB) is separated downward.

도18에서와 같이 캐리어보드(CB)가 자세변환장치(1600)로 완전히 진입되면, 도19에서 참조되는 바와 같이, 자세변환실린더(500)가 작동하여 자세변환장치(1600)를 수평상태로 자세변환시킴으로써 궁극적으로 자세변환장치(1600)에 파지된 캐리어보드(CB)를 수평상태로 자세변환시킨다.When the carrier board CB completely enters the posture converting device 1600 as shown in FIG. 18, as shown in FIG. 19, the posture converting cylinder 500 operates to posture the posture converting device 1600 in a horizontal state. The conversion ultimately transforms the carrier board CB held by the posture converting apparatus 1600 into a horizontal state.

이어서 도20에서 참조되는 바와 같이 제1 이송장치(700)가 작동하여 캐리어보드(CB)를 제1 행정거리(L1)만큼 이송시킨 다음, 도21에서 참조되는 바와 같이 제2 이송장치(600A)가 작동하여 캐리어보드(CB)를 제2 행정거리(L2)만큼 이송시킴으로써 캐리어보드(CB)를 제1 언로딩위치(UP1)까지 이송시킨다. 이 때, 스토퍼장치(650)의 작용에 의해 캐리어보드(CB)는 정확하게 제1 언로딩위치(UP1)로 이송되어진다. 그리고 도21과 같은 상태에서 캐리어보드(CB)의 앞 측 부분에 적재된 절반의 반도체소자들이 픽앤플레이스장치(미도시)에 의해서 캐리어보드(CB)로부터 언로딩되면서 타 적재요소로 이동되어진다.Subsequently, as shown in FIG. 20, the first transport apparatus 700 operates to transport the carrier board CB by the first stroke distance L 1 , and then as shown in FIG. 21, the second transport apparatus 600A. ) Is operated to transfer the carrier board CB to the first unloading position UP 1 by transferring the carrier board CB by the second stroke distance L 2 . At this time, the carrier board CB is accurately transferred to the first unloading position UP 1 by the action of the stopper device 650. In the state as shown in FIG. 21, half of the semiconductor devices loaded on the front side of the carrier board CB are moved to other loading elements while being unloaded from the carrier board CB by a pick and place device (not shown).

물론, 제1 이송장치에 의해 캐리어보드를 제1 언로딩위치까지 한꺼번에 이송시키는 것을 고려할 수는 있으나, 자세변환장치의 전체 길이의 한계 및 실린더의 적용이라는 한계 때문에 제1 이송장치만에 의해서는 캐리어보드를 제1 언로딩위치까지 이송시키는 것이 곤란하다. 따라서 본 실시예에 따른 자세변환장치(1600)에서와 같이 제2 이송장치(600A)가 추가적으로 구성되어질 필요가 있는 것이다.Of course, it may be considered to transfer the carrier board all at once to the first unloading position by the first transfer device, but due to the limitation of the overall length of the posture changer and the application of the cylinder, the carrier may be used only by the first transfer device. It is difficult to transport the board to the first unloading position. Therefore, as in the posture converting apparatus 1600 according to the present embodiment, the second transfer apparatus 600A needs to be additionally configured.

계속하여 캐리어보드(CB)의 앞 측 부분에 적재된 절반의 반도체소자들에 대한 언로딩이 완료되면, 도22에서 참조되는 바와 같이 제3 이송장치(600B)가 작동하여 제3 행정거리(L3)만큼 캐리어보드(CB)를 이송시킴으로써 캐리어보드(CB)를 제2 언로딩위치(UP2)까지 이송시킨다. 이때에도 스토퍼장치(650)의 작용에 의해 캐리어보드(CB)는 정확히 제2 언로딩위치(UP2)로 이송되어진다. 그리고 도22와 같은 상태에서 캐리어보드(CB)의 뒤 측에 있는 나머지 절반의 반도체소자들이 픽앤플레이스장치에 의해 캐리어보드(CB)로부터 언로딩되어지면서 타 적재요소로 이동되어 진다.Subsequently, when unloading is completed for the half of the semiconductor elements loaded on the front side of the carrier board CB, the third transfer device 600B is operated as shown in FIG. The carrier board CB is transferred to the second unloading position UP 2 by transferring the carrier board CB by 3 ). At this time, the carrier board CB is precisely transferred to the second unloading position UP 2 by the action of the stopper device 650. In the state as shown in Fig. 22, the other half of the semiconductor elements on the rear side of the carrier board CB is moved to another loading element while being unloaded from the carrier board CB by the pick and place device.

한편, 캐리어보드에 적재된 반도체소자들을 언로딩하기 위해서는 반도체소자들의 홀딩상태를 해제하여야 한다.Meanwhile, in order to unload the semiconductor devices loaded on the carrier board, the holding state of the semiconductor devices must be released.

캐리어보드의 반도체소자들의 홀딩상태를 해제하기 위한 장치로서 공개특허 10-2009-0077400(발명의 명칭 : 테스트핸들러용 개방기)호로 개시된 바와 같은 개방기를 적용할 수 있다.As an apparatus for releasing holding states of semiconductor devices of a carrier board, an opener as disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2009-0077400 (name of the invention: an opener for a test handler) may be applied.

개방기는, 캐리어보드의 하방에 위치하며, 캐리어보드가 제1 언로딩위치에 있을 때는 캐리어보드의 앞 측 부분에 적재된 절반의 반도체소자들의 홀딩상태를 해제하고, 캐리어보드가 제2 언로딩위치에 있을 때는 캐리어보드의 뒤 측 부분에 적재된 나머지 절반의 반도체소자들의 홀딩상태를 해제함으로써 픽앤플레이스장치에 의한 반도체소자들의 언로딩을 가능하게 한다.The opener is located below the carrier board, and when the carrier board is in the first unloading position, the holding state of the half semiconductor elements loaded on the front side of the carrier board is released, and the carrier board is in the second unloading position. When in the position of the carrier board by releasing the holding state of the remaining half of the semiconductor device is loaded by the pick-and-place device enables the unloading of the semiconductor device.

그런데, 근자에는 테스트핸들러의 처리용량이 커지면서 그에 비례하여 캐리 어보드에 적재된 반도체소자의 개수가 늘어 자연히 캐리어보드의 크기도 커지게 되었다. 따라서 개방판이 상승하여 캐리어보드에 접하게 되면 개방판이 캐리어보드를 미는 힘 때문에 캐리어보드가 휘어서 개방기에 의해 요구되는 모든 반도체소자들의 홀딩상태를 해제시킬 수 없는 경우가 발생한다. However, in recent years, as the processing capacity of the test handler increases, the number of semiconductor devices loaded on the carrier board increases in proportion to the size of the carrier board. Therefore, when the open plate is raised and comes into contact with the carrier board, the carrier plate is bent due to the force pushing the carrier board, so that the holding state of all the semiconductor devices required by the opener cannot be released.

따라서 도23의 평면도에서 참조되는 바와 같이, 상하 방향(도23에서 지면을 수직하게 관통하는 방향)으로 개방판(FP)에 중첩되지 않는 부분에 2개의 휨방지대(23a, 23b)를 설치하여 개방판(FP)이 캐리어보드(CB)를 미는 힘에 의해 캐리어보드(CB)가 휘어지는 현상을 방지할 수 있게 하는 것이 바람직하다.Therefore, as shown in the plan view of FIG. 23, two warp guards 23a and 23b are provided at portions not overlapped with the open plate FP in the vertical direction (the direction perpendicularly penetrating the ground in FIG. 23). Preferably, the open plate FP can prevent the carrier board CB from being bent due to the force pushing the carrier board CB.

상기 예에서는 캐리어보드가 제1언로딩위치로 이동을 하였을 때, 캐리어보드의 앞 측 부분에 적재된 절반의 반도체소자들(1행~8행)이 픽앤플레이스장치(미도시)에 의해서 캐리어보드로부터 언로딩되고, 제2언로딩위치에서 캐리어보드의 뒤 측에 있는 나머지 절반의 반도체소자들(9행~16행)이 픽앤플레이스장치에 의해서 캐리어보드로보터 언로딩되는 것을 설명하였다. 그러나 픽앤플레이스장치의 배치에 따라서 제1언로딩위치에서는 캐리어보드의 1행~4행 및 9행~12행에 적재된 반도체소자들이 언로딩되고, 제2언로딩위치에서는 캐리어보드의 5행~8행 및 13행~16행에 적재된 반도체소자들이 언로딩 될 수도 있다.In the above example, when the carrier board is moved to the first unloading position, half of the semiconductor elements (rows 1 to 8) loaded on the front side of the carrier board are picked up by a pick and place device (not shown). The other half of the semiconductor elements (rows 9 to 16) on the back side of the carrier board at the second unloading position was unloaded from the carrier board by the pick and place device. However, depending on the arrangement of the pick and place device, the semiconductor devices loaded in rows 1 to 4 and 9 to 12 of the carrier board are unloaded at the first unloading position, and 5 rows to the carrier board at the second unloading position. Semiconductor devices stacked on 8 rows and 13 to 16 rows may be unloaded.

즉. 픽앤플레이스의 장치의 배열과 언로딩위치에 따라, 언로딩되는 반도체소자들의 위치가 변경될 수 있는 것이다.In other words. Depending on the arrangement of the pick and place device and the unloading position, the positions of the unloaded semiconductor elements may be changed.

이상과 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예 를 통해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.As described above, the detailed description of the present invention has been made through the embodiments with reference to the accompanying drawings. However, since the above-described embodiments have only been described with reference to preferred examples of the present invention, the present invention is limited to the above embodiments. It should not be understood that the scope of the present invention is to be understood by the claims and equivalent concepts described below.

도1 내지 도5는 종래의 일반적인 테스트핸들러의 설명을 위한 참조도이다.1 to 5 are reference diagrams for explaining a conventional general test handler.

도6은 본 발명의 제1 예에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 대한 사시도이다.6 is a perspective view of a carrier board conveying apparatus for a test handler according to a first example of the present invention.

도7은 도6의 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 대한 측면도이다.FIG. 7 is a side view of a carrier board feeder for the test handler of FIG.

도8 내지 도11은 도7의 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 대한 작동을 설명하기 위한 참조도이다.8 to 11 are reference views for explaining an operation of the carrier board conveying apparatus for the test handler of FIG.

도12 및 도13은 본 발명의 제2 예에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 대한 사시도이다.12 and 13 are perspective views of a carrier board conveying apparatus for a test handler according to a second example of the present invention.

도14 및 도15는 도6의 스토퍼장치의 작동을 설명하기 위한 참조도이다.14 and 15 are reference diagrams for explaining the operation of the stopper device of FIG.

도16은 본 발명의 실시에에 따른 자세변환장치에 대한 사시도이다.16 is a perspective view of a posture converting apparatus according to an embodiment of the present invention.

도17 내지 도22는 도16의 자세변환장치의 작동을 설명하기 위한 참조도이다.17 to 22 are reference diagrams for explaining the operation of the posture converting apparatus of FIG.

도23은 캐리어보드 휨방지를 위한 구성을 설명하는데 참조하기 위한 평면도이다. Fig. 23 is a plan view for reference in explaining the configuration for preventing the carrier board bending.

*도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명*[Description of Reference Numerals]

1600 : 자세변환장치1600: attitude change device

400 : 파지대 500 : 자세변환실린더400: gripper 500: posture change cylinder

600A : 제2 이송장치 600B : 제3 이송장치600A: 2nd transfer device 600B: 3rd transfer device

700 : 제1 이송장치700: first transfer device

600 : 이송장치600: feeder

610 : 밀대블럭610: block stick

611 : 밀대 612 : 결합부재611: push rod 612: coupling member

613 : 스프링613: spring

620 : 실린더620: Cylinder

630 : LM가이더630: LM Guider

640 : 밀대조절부재640: rod adjustment member

650 : 스토퍼장치650: stopper device

651 : 스토퍼 652 : 실린더651: stopper 652: cylinder

Claims (7)

삭제delete 캐리어보드를 밀기 위한 밀대를 가지는 밀대블럭;A push block having a push rod for pushing the carrier board; 상기 밀대블럭을 전후진시키기 위한 동력을 제공하는 동력제공장치;A power providing device for providing power for advancing and reversing the pushing block; 상기 동력제공장치의 작동에 따라 상기 밀대블럭이 전진하면 상기 밀대가 캐리어보드를 밀 수 있는 상태로 조절되게 하고, 상기 밀대블럭이 후진하면 상기 밀대가 캐리어보드의 이동에 간섭되지 않는 상태로 조절되게 하는 밀대조절부재; 및When the push block moves forward according to the operation of the power supply device, the push rod can be adjusted to push the carrier board, and when the push block reverses, the push rod can be adjusted so as not to interfere with the movement of the carrier board. Push rod adjustment member; And 상기 밀대블럭의 전후진을 안내하는 가이더; 를 포함하고,A guider for guiding forward and backward movement of the pushing block; Including, 상기 밀대블럭은,The push block is, 상기 동력제공장치의 작동에 따라 전후진 가능하게 상기 가이더에 결합되는 결합부재; 및A coupling member coupled to the guider so as to be able to move back and forth according to the operation of the power supply device; And 상기 밀대가 상기 결합부재에 시소운동이 가능하게 결합된 상태에서 상기 밀대의 일 측에 탄성력을 가함으로써 상기 밀대의 타 측에 의해 캐리어보드를 밀 수 있는 상태로 되게 하는 탄성부재; 를 더 가지며,An elastic member which allows the carrier board to be pushed by the other side of the push rod by applying an elastic force to one side of the push rod while the push rod is coupled to the coupling member to enable the seesaw movement; Has more, 상기 밀대조절부재는 상기 밀대블럭이 후진할 시에 상기 밀대의 일 측 부분을 가압하여 상기 탄성부재를 압축시킴으로써 상기 밀대가 캐리어보드의 이동에 간섭되지 않는 상태로 되게 하는 것을 특징으로 하는The push rod control member is characterized in that the push rod is pressed to one side of the push rod to compress the elastic member so that the push rod does not interfere with the movement of the carrier board when the push block is reversed. 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.Carrier board feeder for test handler. 제2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 밀대조절부재는 상기 밀대 측을 향하여 돌출됨으로써 상기 밀대의 후퇴가 완료되면 상기 밀대의 일 측 부분을 가압하는 돌출면과, 상기 밀대의 후퇴 시에 상기 밀대의 일 측 부분이 상기 돌출면으로 유연하게 이동될 수 있게 하는 경사면을 가지는 것을 특징으로 하는The push rod adjusting member protrudes toward the push rod side, so that when the retraction of the push rod is completed, the push rod pushes one side of the push rod, and when the push rod is retracted, one side of the push rod is flexible to the push rod. Characterized in that it has an inclined surface that can be moved 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.Carrier board feeder for test handler. 캐리어보드를 밀기 위한 밀대를 가지는 밀대블럭;A push block having a push rod for pushing the carrier board; 상기 밀대블럭을 전후진시키기 위한 동력을 제공하는 동력제공장치;A power providing device for providing power for advancing and reversing the pushing block; 상기 동력제공장치의 작동에 따라 상기 밀대블럭이 전진하면 상기 밀대가 캐리어보드를 밀 수 있는 상태로 조절되게 하고, 상기 밀대블럭이 후진하면 상기 밀대가 캐리어보드의 이동에 간섭되지 않는 상태로 조절되게 하는 밀대조절부재;When the push block moves forward according to the operation of the power supply device, the push rod can be adjusted to push the carrier board, and when the push block reverses, the push rod can be adjusted so as not to interfere with the movement of the carrier board. Push rod adjustment member; 상기 밀대블럭의 전후진을 안내하는 가이더; 및A guider for guiding forward and backward movement of the pushing block; And 상기 밀대블럭의 전진에 연동하여 이동하는 캐리어보드의 과이동을 제한하기 위한 스토퍼장치; 를 포함하는 것을 특징으로 하는A stopper device for limiting over-movement of the carrier board moving in association with the advance of the pushing block; &Lt; RTI ID = 0.0 &gt; 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.Carrier board feeder for test handler. 캐리어보드의 양 단을 파지할 수 있는 파지대;Grippers capable of gripping both ends of the carrier board; 상기 파지대를 수평 상태 또는 수직 상태로 선택적으로 자세변환시킴으로써 상기 파지대에 파지된 캐리어보드를 수평 상태 또는 수직 상태로 선택적으로 자세변환시키는 구동장치; 및A drive device that selectively transforms the carrier board held by the gripper into a horizontal state or a vertical state by selectively shifting the gripper into a horizontal state or a vertical state; And 상기 파지대에 파지된 캐리어보드를 제1 행정거리만큼 이송시키기 위한 제1 이송장치;A first transfer device for transferring the carrier board held by the gripper by a first stroke; 상기 제1 이송장치에 의해 제1 행정거리만큼 이송된 캐리어보드를 제2 행정거리만큼 다시 이송시키기 위한 제2 이송장치; 및A second conveying device for conveying the carrier board conveyed by the first conveying device by the first conveying distance by the second conveying distance again; And 상기 제2 이송장치에 의해 제2 행정거리만큼 이송된 캐리어보드를 제3 행정거리만큼 다시 이송시키기 위한 제3 이송장치; 를 포함하며,A third conveying device for conveying the carrier board conveyed by the second conveying device by a second stroke distance by a third stroke distance; / RTI &gt; 상기 제1 내지 제3 이송장치 중 적어도 어느 하나는 상기 파지대에 설치되고,At least one of the first to third transfer devices is installed in the gripper, 상기 제1 이송장치는,The first transfer device, 캐리어보드를 밀기 위한 밀대를 가지는 밀대블럭;A push block having a push rod for pushing the carrier board; 상기 밀대블럭을 전후진시키기 위한 동력을 제공하는 동력제공장치; 및A power providing device for providing power for advancing and reversing the pushing block; And 상기 밀대블럭의 전후진을 안내하는 가이더; 를 포함하며,A guider for guiding forward and backward movement of the pushing block; / RTI &gt; 상기 밀대는 상기 파지대에 의해 양단이 파지되면서 진입하는 캐리어보드의 과도한 진입을 제한하는 역할을 수행하는 것을 특징으로 하는The push rod serves to limit excessive entry of the carrier board into which both ends are gripped by the gripper. 테스트핸들러용 자세변환장치.Posture changer for test handler. 캐리어보드의 양 단을 파지할 수 있는 파지대;Grippers capable of gripping both ends of the carrier board; 상기 파지대를 수평 상태 또는 수직 상태로 선택적으로 자세변환시킴으로써 상기 파지대에 파지된 캐리어보드를 수평 상태 또는 수직 상태로 선택적으로 자세변환시키는 구동장치; 및A drive device that selectively transforms the carrier board held by the gripper into a horizontal state or a vertical state by selectively shifting the gripper into a horizontal state or a vertical state; And 상기 파지대에 파지된 캐리어보드를 제1 행정거리만큼 이송시키기 위한 제1 이송장치;A first transfer device for transferring the carrier board held by the gripper by a first stroke; 상기 제1 이송장치에 의해 제1 행정거리만큼 이송된 캐리어보드를 제2 행정거리만큼 다시 이송시키기 위한 제2 이송장치; 및A second conveying device for conveying the carrier board conveyed by the first conveying device by the first conveying distance by the second conveying distance again; And 상기 제2 이송장치에 의해 제2 행정거리만큼 이송된 캐리어보드를 제3 행정거리만큼 다시 이송시키기 위한 제3 이송장치; 를 포함하며,A third conveying device for conveying the carrier board conveyed by the second conveying device by a second stroke distance by a third stroke distance; / RTI &gt; 상기 제1 내지 제3 이송장치 중 적어도 어느 하나는 상기 파지대에 설치되고,At least one of the first to third transfer devices is installed in the gripper, 상기 제2 이송장치 또는 제3 이송장치는 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치인 것을 특징으로 하는The second conveying device or the third conveying device is characterized in that the carrier board conveying device for a test handler according to any one of claims 2 to 4. 테스트핸들러용 자세변환장치.Posture changer for test handler. 삭제delete
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