KR100803728B1 - Boat transferring apparatus for unloading handler for semiconductor package - Google Patents

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KR100803728B1
KR100803728B1 KR1020060114075A KR20060114075A KR100803728B1 KR 100803728 B1 KR100803728 B1 KR 100803728B1 KR 1020060114075 A KR1020060114075 A KR 1020060114075A KR 20060114075 A KR20060114075 A KR 20060114075A KR 100803728 B1 KR100803728 B1 KR 100803728B1
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handler
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심무섭
김기원
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한미반도체 주식회사
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Abstract

A boat transfer apparatus of a semiconductor package unloading handler is provided to minimize error occurrence in separating a semiconductor package of a boat by an unloading picker by continuously transferring the boat to a work position and a boat collect position of the unloading picker while semiconductor packages are lifted upward by a carrier block. At least one transfer block(45,46) transfers horizontally between first and second positions of the main body of a handler, capable of transferring vertically. At least one carrier block(40a,40b) is coupled to a boat by an ascending operation in the first position of the main body and pulls the boat to transfer horizontally, fixed to the transfer block. The carrier block descends in the second position of the main body to be decoupled from the boat. A guide pin(43) is installed in the transfer block, capable of transferring vertically and elastically and frequently appearing to the upper surface of the carrier block. When a plurality of guide pins are placed on the carrier block while being separated from the carrier block by a predetermined distance, the guide pin guides the boats, coming in contact with the inner sides of the boats. The transfer block and the carrier block can be incorporated.

Description

반도체 패키지 언로딩 핸들러의 보트 반송장치{Boat Transferring Apparatus for Unloading Handler for Semiconductor Package}Boat Transferring Apparatus for Unloading Handler for Semiconductor Package
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 보트 반송장치가 적용된 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 전체 구성을 개략적으로 나타낸 평면도1 is a plan view schematically showing the overall configuration of a semiconductor package unloading handler to which the boat transport apparatus according to an embodiment of the present invention is applied
도 2는 도 1의 핸들러의 정렬부의 구성을 확대하여 나타낸 평면도2 is an enlarged plan view illustrating a configuration of an alignment unit of the handler of FIG. 1;
도 3a와 도 3b는 도 1의 핸들러의 정렬부의 구성을 나타내는 측면도3A and 3B are side views illustrating a configuration of an alignment unit of the handler of FIG. 1.
도 4는 도 1의 핸들러의 정렬부에서 이루어지는 정렬 작동을 설명하는 평면도4 is a plan view illustrating an alignment operation performed in the alignment unit of the handler of FIG. 1.
도 5a와 도 5b는 도 1의 핸들러의 정렬부에서 이루어지는 정렬 작동을 순차적으로 나타낸 정면도5A and 5B are front views sequentially illustrating alignment operations performed in the alignment unit of the handler of FIG. 1.
도 6과 도 7은 도 1의 핸들러에서 보트 반송장치를 구성하는 캐리어 블록과 보트가 결합되는 상태를 나타낸 측면도6 and 7 are side views showing a state in which the boat is coupled to the carrier block constituting the boat transport apparatus in the handler of FIG.
도 8은 도 1의 핸들러의 보트 반송장치의 구성을 나타낸 평면도8 is a plan view showing the configuration of the boat transport apparatus of the handler of FIG.
도 9는 도 8의 A-A' 단면도9 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 8;
도 10은 도 1의 핸들러의 보트 반송장치에서 이루어지는 다른 동작 상태를 나타낸 평면도10 is a plan view showing another operating state of the boat conveying apparatus of the handler of FIG.
도 11은 도 10의 B-B'선 단면도11 is a cross-sectional view taken along the line B-B 'of FIG.
도 12는 도 11과 대응하는 도면으로, 대형 보트를 취급하기 위한 캐리어 블록으로 컨버젼된 상태를 나타낸 단면도FIG. 12 is a cross-sectional view corresponding to FIG. 11 and showing a state converted into a carrier block for handling a large boat; FIG.
도 13은 도 1의 핸들러의 보트회수부의 구성을 나타낸 측면도13 is a side view showing the configuration of the boat recovery portion of the handler of FIG.
도 14는 도 13과 유사한 도면으로, 보트회수부의 보트피딩유닛의 작동을 보여주는 측면도Figure 14 is a view similar to Figure 13, a side view showing the operation of the boat feeding unit of the boat recovery unit
도 15는 보트회수부의 보트피딩유닛의 승강 작동을 나타낸 측면도Figure 15 is a side view showing the lifting operation of the boat feeding unit of the boat recovery unit
도 16은 도 1의 핸들러의 보트회수부의 평면도16 is a plan view of the boat recovery portion of the handler of FIG.
도 17은 도 1의 핸들러의 보트회수부의 평면도로, 매거진 장착부의 수평 이동 작동을 보여주는 도면17 is a plan view of the boat recovery portion of the handler of FIG. 1, showing a horizontal movement operation of the magazine mounting portion.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
1 : 경화장치 2 : 보트 튜입용 컨베이어1: curing device 2: boat pipe conveyor
3 : 게이트 스톱퍼 4 : 보트감지센서3: gate stopper 4: boat detection sensor
5 : 공압실린더 10 : 본체5: pneumatic cylinder 10: main body
20 : 정렬부 21, 22 : 제 1,2정렬부20: alignment unit 21, 22: first and second alignment unit
23 : 베이스블록 24 : Y축 가이드프레임23: Base block 24: Y-axis guide frame
25a, 25b : 제 1,2컨베이어벨트 26a, 26b : 제 1,2정렬바아25a, 25b: 1st and 2nd conveyor belt 26a, 26b: 1st and 1st alignment bar
26c : 정렬기준바아 27a, 27b : 제 1,2공압실린더26c: alignment bar 27a, 27b: first and second pneumatic cylinders
29 : 스톱퍼 30 : 전달부29: stopper 30: transfer unit
31, 32 : 제 1,2가이드레일 33 : 중앙 가이드레일31, 32: 1st and 2nd guide rail 33: Central guide rail
35 : 레일고정판 40a, 40b : 제 1,2캐리어 블록35: rail fixing plate 40a, 40b: first and second carrier blocks
41 : 부양지그 42 : 지지리브41: support jig 42: support rib
43 : 가이드핀 44 : 스프링43: guide pin 44: spring
45, 46 : 제 1,2이동블록 51, 52 : 제 1,2언로딩 픽커45, 46: first and second moving blocks 51, 52: first and second unloading picker
53, 54 : 제 1,2픽커프레임 55 : 픽업노즐53, 54: 1,2 picker frame 55: pickup nozzle
70 : 촬상장치 80 : 언로딩부70: imaging device 80: unloading unit
90 : 보트회수부 91 : 보트피딩유닛90: boat recovery unit 91: boat feeding unit
95 : 매거진 장착부 96 : 매거진95: magazine mounting portion 96: magazine
911 : 승강블록 912 : 레일부911: lifting block 912: rail
913a, 913b : 피딩롤러 913c : 피딩롤러모터913a, 913b: feeding roller 913c: feeding roller motor
914 : 푸셔 916 : 푸셔블록914: Pusher 916: Pusher Block
917 : 공압실린더 918 : 인장스프링917: pneumatic cylinder 918: tension spring
919 : 푸셔가압핀 921 : 승강 가이드프레임919: pusher push pin 921: elevating guide frame
922 : 승강 슬라이드블록 971 : 수평 가이드프레임922: lifting slide block 971: horizontal guide frame
972 : 수평 슬라이드블록 B : 보트972: horizontal slide block B: boat
P : 반도체 패키지 T : 트레이P: Semiconductor Package T: Tray
본 발명은 반도체 패키지를 트레이에 언로딩하는 핸들러에 관한 것으로, 더 욱 상세하게는 반도체 패키지의 제조 공정에서 보트에 장착된 완성 반도체 패키지를 트레이에 옮겨 수납시키는 반도체 패키지 언로딩 핸들러에 있어서, 반도체 패키지가 수납된 보트(boat)를 핸들러 상의 소정 위치로 신속하고 효율적으로 전달할 수 있도록 한 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 보트 반송장치에 관한 것이다. The present invention relates to a handler for unloading a semiconductor package into a tray. More particularly, the present invention relates to a semiconductor package unloading handler for transferring a completed semiconductor package mounted on a boat to a tray in a semiconductor package manufacturing process. The present invention relates to a boat conveying apparatus for a semiconductor package unloading handler, which enables to quickly and efficiently transfer a housed boat to a predetermined position on the handler.
일반적으로, 반도체 패키지는 실리콘으로 된 반도체기판 상에 트랜지스터 및 커패시터 등과 같은 고집적회로가 형성된 반도체칩(chip)을 부착한 후에 반도체 기판의 상면에 레진수지로 몰딩하는 공정을 거치게 된다. 몰딩공정후, 절단장치를 이용하여 개별의 반도체 패키지 단위로 절단하는 공정, 즉 싱귤레이션(Singulation) 공정을 거치게 된다. 싱귤레이션 공정이 끝난 반도체 패키지들은 반도체기판의 하면에 리드프레임의 역할을 하는 솔더볼(BGA; Ball Grid Array)들이 접착되어 칩과 통전되도록 만들어진 다음, 보트(boat)라고 하는 내열성 금속재로 된 임시 트레이 상에 장착되어 경화장치에 투입되고, 경화장치 내에서 가열되어 경화됨으로써 완성된다. 완성된 반도체 패키지들은 반도체 패키지 언로딩 핸들러에 투입되어 트레이에 수납된 다음, 검사장치에서 성능 테스트를 검사받은 후 출하된다.In general, a semiconductor package is subjected to a process of molding a resin paper on an upper surface of a semiconductor substrate after attaching a semiconductor chip having a high integrated circuit such as a transistor and a capacitor formed on a semiconductor substrate made of silicon. After the molding process, a cutting device is cut into individual semiconductor package units, that is, a singulation process. After the singulation process, the semiconductor packages are made of a ball grid array (BGA), which acts as a lead frame on the lower surface of the semiconductor substrate, to be energized with the chip, and then placed on a temporary tray made of a heat-resistant metal called a boat. It is attached to the curing apparatus, and is completed by heating and curing in the curing apparatus. The completed semiconductor packages are placed in a semiconductor package unloading handler, stored in a tray, and shipped after being tested for performance by an inspection apparatus.
상기와 같이 반도체 패키지를 제조하는 과정에서 완성된 반도체 패키지를 트레이에 수납하는 종래의 반도체 패키지 언로딩 핸들러는, 경화장치를 통해 반도체 패키지들을 장착한 보트를 전달받으면서 정렬하고, 보트를 보트 반송장치를 이용하여 별도의 위치로 투입하여 정렬시킨 다음, 정렬된 보트를 다시 보트 반송장치를 이용하여 컨베이어라인 상에 투입하여 언로딩 픽커의 작업 위치로 반송한 다음, 상기 언로딩픽커를 이용하여 보트에 장착된 반도체 패키지들을 트레이에 옮겨서 장착 하는 작업을 수행한다. The conventional semiconductor package unloading handler for accommodating the semiconductor package completed in the process of manufacturing the semiconductor package in the tray as described above, aligns while receiving the boat equipped with the semiconductor packages through the curing device, and arranges the boat carrier After aligning by putting them in a separate position, the aligned boat is put back on the conveyor line using the boat conveying device and returned to the working position of the unloading picker, and then mounted on the boat using the unloading picker. The semiconductor packages are moved to a tray and mounted.
그런데, 상술한 것과 같이 종래의 반도체 패키지 언로딩 핸들러는, 경화장치로부터 전달된 보트의 위치 정렬을 수행하고 보트를 언로딩 픽커의 작업 위치와 보트 회수 위치로 전달하는 과정이 복잡할 뿐만 아니라, 정렬의 정확도를 보장하기가 어려운 문제를 가지고 있다. However, as described above, the conventional semiconductor package unloading handler is not only complicated to perform the alignment of the boat delivered from the curing apparatus and transfer the boat to the working position and the boat recovery position of the unloading picker, but also the alignment. It is difficult to guarantee the accuracy of the problem.
또한, 종래의 반도체 패키지 언로딩 핸들러는 한 종류의 반도체 패키지에 대한 보트만 취급하도록 구성되어 있기 때문에, 다른 종류의 반도체 패키지에 대한 트레이 수납 작업을 수행하기 위해서는 다른 핸들러를 사용하여 반도체 패키지의 언로딩 작업을 수행할 수 밖에 없었다.In addition, since the conventional semiconductor package unloading handler is configured to handle only a boat for one type of semiconductor package, in order to perform tray storing operation for another type of semiconductor package, the other package is used to unload the semiconductor package. I had to do the job.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 반도체 패키지를 수납한 보트를 언로딩픽커의 작업 위치 및 보트 회수 위치로 효율적으로 반송하고, 언로딩 픽커에 의한 보트의 반도체 패키지 분리 작업시 에러 발생을 최소화할 수 있는 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 보트 반송장치를 제공하는 것이다. The present invention is to solve the above problems, an object of the present invention is to efficiently transport the boat containing the semiconductor package to the working position and the boat recovery position of the unloading picker, the semiconductor package of the boat by the unloading picker It is to provide a boat conveying device of the semiconductor package unloading handler that can minimize the occurrence of errors in the separation operation.
본 발명의 다른 목적은 구성요소의 단순 제거 또는 교체를 통해 하나의 핸들러에서 서로 다른 크기를 갖는 2개의 보트를 취급하여 패키지 언로딩 작업을 수행할 수 있도록 하여 핸들러의 호환성을 향상시킬 수 있는 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 보트 반송장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a semiconductor package that can improve the compatibility of the handler by handling the two boats having different sizes in one handler through the simple removal or replacement of components It is to provide a boat carrier of the unloading handler.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 한 실시형태에 따르면, 핸들러의 본체의 제 1위치와 제 2위치 사이의 임의의 위치로 수평 이동함과 더불어 상하로 이동 가능하게 설치되는 적어도 1개의 이동블록과; 상기 이동블록 상에 고정되게 결합되어, 본체의 제 1위치에서 상승하는 동작에 의해 상기 보트와 결합되어 보트를 끌고 수평 이동하고, 본체의 제 2위치에서 하강하여 보트와의 결합이 해제되도록 한 적어도 1개의 캐리어 블록과; 상기 이동블록에 상하로 탄성적으로 이동가능하게 설치되며, 상기 캐리어 블록의 상면으로 출몰되도록 형성되어, 캐리어 블록의 상면에 복수개의 가이드핀이 소정 거리 이격되게 안착될 때, 상기 보트들의 사이에서 보트들의 내측 변부와 접촉하면서 보트들을 가이드하는 가이드핀을 포함하여 구성된 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 보트 반송장치가 제공된다.According to one embodiment of the present invention for achieving the above object, at least one movement that is horizontally moved to any position between the first position and the second position of the main body of the handler and installed to move up and down A block; Fixedly coupled to the moving block, coupled with the boat by an ascending operation in the first position of the main body, and dragging and moving the boat horizontally, and descending at a second position of the main body so that the engagement with the boat is released; One carrier block; It is installed to be movable up and down elastically in the movable block, and is formed to be floated on the upper surface of the carrier block, when a plurality of guide pins seated on the upper surface of the carrier block a predetermined distance apart, the boat between the boats Provided is a boat conveying apparatus for a semiconductor package unloading handler comprising a guide pin for guiding boats in contact with an inner edge of the field.
본 발명의 다른 한 실시형태에 따르면, 핸들러의 본체에 X축 방향을 따라 연장되며, 서로 일정 거리 이격되게 나란하게 설치되어, 반도체 패키지가 장착된 보트의 이동을 안내하는 제 1가이드레일 및 제 2가이드레일과; 상기 제 1,2가이드레일 사이에서 본체의 제 1위치와 제 2위치 사이의 임의의 위치로 X축 방향을 따라 수평 이동함과 더불어 상하로 이동 가능하게 설치되는 적어도 1개의 이동블록과; 상기 이동블록 상에 고정되게 결합되어, 상기 제 1위치에서 상승하는 동작에 의해 상기 보트와 결합되어 보트를 제 1,2가이드레일을 따라 수평 이동시키고, 상기 제 2위치에서 하강하여 보트와의 결합이 해제되도록 한 적어도 1개의 캐리어 블록과; 상기 이동블록에 상하로 탄성적으로 이동가능하게 설치되며, 상기 캐리어 블록의 상면으로 출몰되도록 형성되어, 캐리어 블록의 상면에 복수개의 가이드핀이 소정 거리 이격되게 안착될 때, 상기 보트들의 사이에서 보트들의 내측 변부와 접촉하면서 보트들을 가이드하는 가이드핀을 포함하여 구성된 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 보트 반송장치가 제공된다.According to another embodiment of the present invention, the first guide rail and the second extending along the X-axis direction to the main body of the handler and installed side by side with a predetermined distance apart to guide the movement of the boat on which the semiconductor package is mounted. Guide rails; At least one movable block installed horizontally along the X-axis direction to an arbitrary position between the first and second positions of the main body between the first and second guide rails; It is fixedly coupled to the moving block, coupled to the boat by the operation of ascending in the first position to move the boat horizontally along the first and second guide rails, descending at the second position to engage with the boat At least one carrier block for disengaging; It is installed to be movable up and down elastically in the movable block, and is formed to be floated on the upper surface of the carrier block, when a plurality of guide pins seated on the upper surface of the carrier block a predetermined distance apart, the boat between the boats Provided is a boat conveying apparatus for a semiconductor package unloading handler comprising a guide pin for guiding boats in contact with an inner edge of the field.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a semiconductor package unloading handler according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
먼저, 본 발명에 따른 반도체 패키지 언로딩 핸들러는 서로 다른 2개의 사이즈의 보트를 단순한 컨버젼(conversion) 작업에 의해 취급할 수 있도록 구성되는데, 이하의 설명에서 편의상 상대적으로 큰 사이즈의 보트를 '대형 보트'라 명하며, 상대적으로 작은 사이즈의 보트를 '소형 보트'라 명하여 설명한다. First, the semiconductor package unloading handler according to the present invention is configured to handle two different sizes of boats by a simple conversion operation. In the following description, a relatively large size boat is referred to as a 'large boat'. The small boat is described as 'small boat'.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 보트 반송장치가 적용되는 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 전체 구성을 나타낸 것으로, 이 도면에 도시된 반도체 패키지 언로딩 핸들러는 소형 보트를 취급하기 위한 구성을 예시하고 있다. 1 is a view showing an overall configuration of a semiconductor package unloading handler to which a boat conveying apparatus according to an embodiment of the present invention is applied. The semiconductor package unloading handler shown in this figure illustrates a configuration for handling a small boat. have.
도 1을 참조하면, 본체(10)의 일측에 외부 장치, 예컨대 경화장치(1)로부터 반도체 패키지(P)가 장착된 보트(B)(도 2참조)들이 반송되는 보트 투입용 컨베이어(2)가 배치된다. 그리고, 상기 본체(10)의 일측에 상기 보트 투입용 컨베이어(2)로부터 반송되는 보트(B)가 안착된 후 정렬되는 정렬부(20)가 배치되고, 이 정렬부(20)의 일측에 정렬부(20)로부터 전달된 보트(B)가 후술하는 제 1,2캐리어 블록(40a, 40b) 상으로 전달되는 전달부(30)가 인라인 상으로 설치된다. 상기 정렬부(20)와 전달부(30) 사이에는 보트(B)가 비정렬상태로 전달부(30)로 반송되지 않 고 정렬부(20) 상에서 정지하도록 보트(B)의 이동을 제한하는 스톱퍼(29)가 모터(29a)에 의해 상하로 회동 가능하게 설치된다. Referring to FIG. 1, a boat-injection conveyor 2 in which boats B (see FIG. 2), in which a semiconductor package P is mounted, are mounted from an external device, for example, the curing apparatus 1, on one side of the main body 10. Is placed. And the alignment part 20 which is aligned after the boat B conveyed from the said boat input conveyor 2 is seated on one side of the said main body 10 is arrange | positioned, and is aligned to one side of this alignment part 20 The transmission part 30 which the boat B transmitted from the part 20 transfers on the 1st and 2nd carrier blocks 40a and 40b mentioned later is installed in an inline shape. Between the alignment unit 20 and the delivery unit 30 to limit the movement of the boat (B) to stop on the alignment unit 20 without being transported to the transfer unit 30 in an unaligned state The stopper 29 is installed so that the motor 29a can rotate up and down.
상기 전달부(30)의 일측 상부에는 상기 제 1,2캐리어 블록(40a, 40b)에 의해 반송되는 보트(B)의 반도체 패키지들의 특정 표시를 비전 검사함으로써 각 반도체 패키지들의 장착 방향을 검출하는 촬상장치(70)가 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 상기 촬상장치는 예컨대 CCD카메라 등을 이용하여 구성할 수 있다. Imaging to detect the mounting direction of each semiconductor package by vision inspection of a specific display of the semiconductor packages of the boat B carried by the first and second carrier blocks 40a and 40b on one side of the transfer unit 30. The device 70 is installed to be movable in the Y-axis direction. The imaging device can be configured using, for example, a CCD camera or the like.
그리고, 상기 본체(10)의 중간부에는 상기 제 1,2캐리어 블록(40a, 40b)에 의해 반송되는 보트(B)에서 반도체 패키지를 진공 흡착 방식으로 픽업(pick-up)하여 언로딩부(80)의 빈 트레이(T)에 수납시키는 제 1,2언로딩 픽커(51,52)가 설치된다.In the middle of the main body 10, the semiconductor package is picked up by a vacuum suction method from the boat B carried by the first and second carrier blocks 40a and 40b, and the unloading part ( The first and second unloading pickers 51 and 52 which are accommodated in the empty tray T of 80 are provided.
상기 제 1,2언로딩 픽커(51,52)는 각각 Y축 방향으로 연장된 제 1,2픽커프레임(53, 54)을 따라 수평 이동하면서 제 1,2캐리어 블록(40a, 40b) 상의 반도체 패키지를 언로딩부(80)로 반송한다. The first and second unloading pickers 51 and 52 are horizontally moved along the first and second picker frames 53 and 54 extending in the Y-axis direction, respectively, and the semiconductors are disposed on the first and second carrier blocks 40a and 40b. The package is returned to the unloading unit 80.
또한, 상기 제 1,2언로딩 픽커(51,52)는 하나의 픽커 헤드에 2개씩의 픽업노즐(55)이 상호 반대로 승강하면서 반도체 패키지를 픽업하거나 내려 놓는 작업을 수행하며, 각 픽업노즐(55)들이 90도로 왕복 회전하면서 반도체 패키지의 방향을 가로/세로로 전환시키도록 구성될 수 있다. In addition, the first and second unloading pickers 51 and 52 pick up or lower the semiconductor package while two pick-up nozzles 55 are lifted up and down on one picker head. 55 may be configured to reverse the orientation of the semiconductor package horizontally / vertically while reciprocating 90 degrees.
한편, 상기 본체(10)의 다른 일측부에는 상기 제 1,2언로딩 픽커(51,52)에 의해 반도체 패키지가 분리된 후 이송된 빈 보트(B)가 보트 수납용 매거진(96)에 수납되는 보트회수부(90)가 설치된다. Meanwhile, on the other side of the main body 10, the empty boat B, which is transported after the semiconductor packages are separated by the first and second unloading pickers 51 and 52, is stored in the boat storage magazine 96. The boat recovery unit 90 is installed.
상기 보트회수부(90)는 보트(B)를 수납하기 위한 복수개의 매거진(96)이 Y축방향으로 수평이동 가능하게 설치된 매거진 장착부(95)와, 상기 매거진 장착부(95)의 일측에 상하로 이동 가능하게 설치되어 상기 캐리어 블록 상의 빈 보트를 매거진에 차례로 수납시키는 보트피딩유닛(91)으로 구성된다. The boat recovery unit 90 includes a magazine mounting unit 95 in which a plurality of magazines 96 for accommodating the boat B are horizontally movable in the Y-axis direction, and up and down on one side of the magazine mounting unit 95. It is configured to be movable so that the boat feeding unit 91 for receiving the empty boat on the carrier block in a magazine in turn.
상기 제 1,2캐리어 블록(40a, 40b)은 상하로 일정 높이로 이동이 가능하도록 구성되며, 서로 교차 이동하면서 보트(B)들을 반송한다. The first and second carrier blocks 40a and 40b are configured to be movable at a predetermined height up and down, and carry boats B while crossing each other.
한편, 상기 보트 투입용 컨베이어(2)와 정렬부(20) 사이에는 보트 투입용 컨베이어(2)로부터 정렬부(20)로의 보트(B) 이동을 허용 또는 제한하는 복수개(이 실시예에서 4개)의 게이트 스톱퍼(3)가 상하로 이동 가능하게 설치된다. 그리고, 상기 각 게이트 스톱퍼(3)에는 상기 보트 투입용 컨베이어(2)로부터 반송된 보트(B)(도 2참조)가 게이트 스톱퍼(3)에 접촉되어 대기하는 것을 감지하여 상기 각 게이트 스톱퍼(3)들의 작동을 제어하는 보트감지센서(4)가 설치된다. On the other hand, between the boat input conveyor 2 and the alignment unit 20, a plurality (4 in this embodiment) for allowing or restricting the movement of the boat B from the boat input conveyor 2 to the alignment unit 20 Gate stopper (3) is provided to be movable up and down. Each of the gate stoppers 3 detects that the boat B (refer to FIG. 2) conveyed from the boat feeding conveyor 2 is in contact with the gate stopper 3 and waits for the respective gate stoppers 3. Boat detection sensor 4 for controlling the operation of the) is installed.
상기 본체(10)의 중간부에는 상기 전달부(30)에서부터 상기 보트회수부(90)까지 X축 방향을 따라 연장되는 제 1,2가이드레일(31, 32)이 소정 간격으로 설치된다. 상기 제 1,2가이드레일(31, 32)에는 상기 제 1,2캐리어 블록(40a, 40b)에 의해 반송되는 보트(B)들의 일측 단부가 삽입되어 안내되는 가이드홈(31a, 32a)(도 8 및 도 9 참조)들이 형성된다. 상기 제 1,2가이드레일(31, 32)은 핸들러에서 취급하는 보트들 대형 보트의 폭에 대응하는 간격을 갖는다. The first and second guide rails 31 and 32 extending along the X-axis direction from the transmission part 30 to the boat recovery part 90 are installed at an intermediate portion of the main body 10 at predetermined intervals. Guide grooves 31a and 32a in which one end portions of the boats B carried by the first and second carrier blocks 40a and 40b are inserted and guided to the first and second guide rails 31 and 32 (FIG. 8 and FIG. 9) are formed. The first and second guide rails 31 and 32 have an interval corresponding to the width of the boats large boats handled by the handler.
상기 정렬부(20)는 핸들러에서 취급하는 보트 중 소형 보트가 안착되어 정렬되는 제 1정렬부(21)와, 다른 하나의 소형 보트(B)가 안착되어 정렬되는 제 2정렬 부(22)로 구획된다. The alignment unit 20 is a first alignment unit 21 in which a small boat is seated and aligned among the boats handled by the handler, and a second alignment unit 22 in which another small boat B is seated and aligned. Compartment.
상기 제 1정렬부(21)와 제 2정렬부(22)의 사이에는 보트(B)들의 정렬을 위한 정렬기준바아(26c)(도 2참조)가 탈부착이 가능하게 설치되는데, 만약 사용자가 핸들러에서 대형 보트를 취급하고자 할 경우에는 상기 정렬기준바아(26c)를 분리시켜 제거하여 사용하면 된다. 이 정렬부(20)의 세부 구성 및 작용에 대해서는 아래에 상세히 설명할 것이다. An alignment reference bar 26c (see FIG. 2) for detaching the boats B is installed between the first alignment unit 21 and the second alignment unit 22 in a detachable manner. If you want to handle a large boat in the alignment bar bar (26c) can be used to remove the separation. The detailed configuration and operation of this alignment unit 20 will be described in detail below.
한편, 상기 언로딩부(80)는 빈 트레이(T)들이 적재되는 공트레이 적재부(81)와, 상기 제 1,2언로딩 픽커(51,52)에 의해 반송된 반도체 패키지(P)가 트레이(T)에 수납되는 패키지 수납위치(82)와, 반도체 패키지들이 모두 수납된 트레이(T)가 적재되는 트레이 적재부(83)로 이루어진다. On the other hand, the unloading unit 80 is the empty tray stacking unit 81, the empty tray (T) is loaded, and the semiconductor package (P) conveyed by the first and second unloading pickers (51, 52) The package accommodating position 82 accommodated in the tray T and the tray stacking unit 83 in which the tray T in which the semiconductor packages are all accommodated are stacked.
상기 공트레이 적재부(81)에서는 적재된 빈 트레이 중 최하측 트레이부터 하나씩 분리하여 상기 패키지 수납위치(82)로 반송한다. 그리고, 상기 트레이 적재부(83)에서는 상기 패키지 수납위치(82)에서 반송된 트레이(T)를 하측에서부터 하나씩 적재한다. The empty tray stacking unit 81 separates one from the lowermost tray among the stacked empty trays and transfers it to the package storage position 82. And the said tray loading part 83 loads the tray T conveyed by the said package accommodation position 82 one by one from a lower side.
이하, 상기와 같이 구성된 핸들러의 각 구성부에 대해 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, each component of the handler configured as described above will be described in more detail.
도 2 내지 도 3b를 참조하면, 보트 투입용 컨베이어(2)는 경화장치(1)와 같은 외부 장치로부터 상기 정렬부(20)로 복수개의 보트(B)를 비정렬 상태로 반송하도록 경화장치(1)의 일단부에서부터 상기 정렬부(20)의 일단부로 수평하게 연장되는 보트 투입용 컨베이어로 구성된다. 여기서, 상기 보트 투입용 컨베이어(2)는 상 기 정렬부(20)에 구성되는 제 1,2컨베이어벨트(25a, 25b)와 동일한 높이로 형성되는 것이 바람직하다. 2 to 3B, the boat input conveyor 2 is configured to transfer a plurality of boats B in an unaligned state from an external device such as the hardening device 1 to the alignment unit 20. It consists of a boat input conveyor extending horizontally from one end of 1) to one end of the alignment unit 20. Here, the boat input conveyor 2 is preferably formed at the same height as the first and second conveyor belts (25a, 25b) configured in the alignment unit (20).
그리고, 상기 보트 투입용 컨베이어(2)와 정렬부(20) 사이의 각 게이트 스톱퍼(3)는 공압실린더(5)와 같은 선형 운동 장치에 의해 상하로 일정 거리만큼 이동하면서 보트 투입용 컨베이어(2)로부터 정렬부(20)로의 보트(B)의 반송을 제어한다. Then, the gate stopper 3 between the boat feeding conveyor 2 and the alignment unit 20 moves up and down by a predetermined distance by a linear motion device such as a pneumatic cylinder 5 while the boat feeding conveyor 2 ), The conveyance of the boat B to the alignment unit 20 is controlled.
도 2 내지 도 5b에 도시된 것과 같이, 상기 정렬부(20)는 본체(10)에 Y축 방향으로 연장된 Y축 가이드프레임(24)을 따라 이동하는 베이스블록(23)을 구비한다. 그리고, 전술한 것과 같이, 상기 정렬부(20)는 제 1정렬부(21)와 제 2정렬부(22)로 구획되며, 제 1,2정렬부(21, 22)는 서로 대칭적인 구조를 갖는다. 즉, 상기 정렬부(20)는, 상기 베이스블록(23)에 X축 방향으로 구동하도록 설치되는 제 1,2컨베이어벨트(25a, 25b)와, 상기 제 1,2컨베이어벨트(25a, 25b) 사이에 고정되게 설치되어 제 1정렬부(21)와 제 2정렬부(22)를 구획하는 정렬기준바아(26c)와, 상기 베이스블록(23)에 Y축 방향으로 소정 거리만큼 왕복 이동하도록 설치되어 보트(B)를 상기 정렬기준바아(26c) 쪽으로 가압하는 제 1,2정렬바아(26a, 26b)와, 상기 제 1,2컨베이어벨트(25a, 25b)의 말단부에 상하로 회동 가능하게 설치되어 보트(B)의 이동을 제한하는 스톱퍼(29)로 구성된다.2 to 5b, the alignment unit 20 includes a base block 23 moving along the Y-axis guide frame 24 extending in the Y-axis direction on the main body 10. As described above, the alignment unit 20 is divided into a first alignment unit 21 and a second alignment unit 22, and the first and second alignment units 21 and 22 have a symmetrical structure. Have That is, the alignment unit 20 includes first and second conveyor belts 25a and 25b and the first and second conveyor belts 25a and 25b which are installed to drive in the X-axis direction on the base block 23. It is fixedly installed between the alignment reference bar (26c) for partitioning the first alignment unit 21 and the second alignment unit 22, and the base block 23 is installed so as to reciprocate a predetermined distance in the Y-axis direction And the first and second alignment bars 26a and 26b for pressing the boat B toward the alignment reference bar 26c and the end portions of the first and second conveyor belts 25a and 25b so as to be rotatable up and down. It consists of a stopper 29 to limit the movement of the boat (B).
상기 제 1,2정렬바아(26a, 26b)는 제 1,2공압실린더(27a, 27b)에 의해 정해진 스트로크(stroke) 만큼 Y축으로 왕복 이동한다. The first and second alignment bars 26a and 26b reciprocate in the Y axis by a stroke defined by the first and second pneumatic cylinders 27a and 27b.
상기 정렬기준바아(26c)는 필요에 따라, 즉 대형 보트를 취급하고자 할 경우 에 상기 베이스블록(23)으로부터 분리가 가능하며, 다시 소형 보트를 취급하고자 할 경우에는 도면들에 도시된 것처럼 베이스블록(23) 상에 결합시켜 사용할 수 있다.The alignment bar 26c may be detached from the base block 23 as necessary, i.e., when handling a large boat, and when it is desired to handle a small boat again, as shown in the drawings. (23) can be used in combination.
상기 제 1,2정렬바아(26a, 26b)의 끝단부에는 모터에 의해 회전하면서 상기 제 1,2정렬부(21, 22) 상의 보트(B)들을 전달부(30)로 반송하는 롤러(28a, 28b)가 설치된다. 상기 롤러(28a, 28b)는 그 외주면이 제 1,2컨베이어벨트(25a, 25b) 상에 안착된 보트(B)의 끝단부 가장자리와 연접하여 회전력에 의해 보트(B)를 전달부(30) 쪽으로 밀어내는 작용을 한다. Rollers 28a for transporting the boats B on the first and second alignment parts 21 and 22 to the transmission part 30 while rotating by a motor at the ends of the first and second alignment bars 26a and 26b. 28b) is installed. The rollers (28a, 28b) is the outer peripheral surface of the boat (B), the outer peripheral surface is connected to the edge of the end of the boat (B) seated on the first and second conveyor belts (25a, 25b) to transfer the boat (B) by the rotational force 30 It acts to push towards.
한편, 도 6과 도 7에 도시된 것과 같이, 상기 보트(B)는 내열성의 금속 플레이트에 복수개의 통공이 형성되고, 이 통공에 반도체 패키지(P)들이 안착되어 지지되는 복수개의 가이드리브(Br)들이 상측으로 돌출 형성된 구조를 갖는다. 6 and 7, the boat B has a plurality of holes formed in a heat resistant metal plate, and the plurality of guide ribs Br in which the semiconductor package P is seated and supported therein. ) Has a structure protruding upward.
이와 같이, 반도체 패키지(P)들은 보트(B)의 통공에 안착된 상태로 가이드리브(Br)에 의해 지지되므로 제 1,2언로딩 픽커(51,52)가 보트(B)에 안착된 반도체 패키지들을 픽업할 때 상기 가이드리브(Br)에 의해 간섭되어 반도체 패키지(P)가 제대로 픽업되지 않는 경우가 발생할 수 있다.As such, the semiconductor packages P are supported by the guide ribs Br in a state of being seated in the through hole of the boat B, so that the first and second unloading pickers 51 and 52 are mounted on the boat B. When the packages are picked up, the semiconductor package P may not be picked up properly due to interference by the guide ribs Br.
따라서, 상기 제 1,2캐리어 블록(40a, 40b)의 상면에는 상기 보트(B)의 각 통공과 대응되는 위치에 반도체 패키지를 가이드리브(Br)의 상단까지 들어올림과 더불어, 제 1,2캐리어 블록(40a, 40b) 상에서 보트(B)의 위치를 고정시키는 복수개의 부양지그(41)가 돌출 형성되며, 이 부양지그(41)의 외주면에 반도체 패키지(P)의 외주연부를 지지하는 지지리브(42)가 일체로 형성된다. Accordingly, the semiconductor package is lifted up to the upper end of the guide rib Br at positions corresponding to the through holes of the boat B on the upper surfaces of the first and second carrier blocks 40a and 40b. A plurality of support jigs 41 are formed to protrude from the carrier block 40a, 40b to fix the position of the boat B, and support for supporting the outer periphery of the semiconductor package P on the outer circumferential surface of the support jig 41. The rib 42 is integrally formed.
도 8 내지 도 11에 도시된 것과 같이, 상기 전달부(30)에는 제 1,2가이드레일(31, 32)의 상측을 가로지르는 레일고정판(35)이 설치되고, 이 레일고정판(35)의 중앙부 하측에는 상기 제 1,2가이드레일(31, 32)의 가이드홈(31a, 32a)과 대응하는 2개의 가이드홈(33a)이 형성된 중앙 가이드레일(33)이 고정된다. As shown in FIGS. 8 to 11, the transmission part 30 is provided with a rail fixing plate 35 that crosses the upper side of the first and second guide rails 31 and 32, and the rail fixing plate 35 is provided with the rail fixing plate 35. A central guide rail 33 having two guide grooves 33a corresponding to the guide grooves 31a and 32a of the first and second guide rails 31 and 32 is fixed below the central portion.
또한, 상기 제 1,2캐리어 블록(40a, 40b)은 상기 제 1,2가이드레일(31, 32) 사이의 공간에서 상하로 이동 가능하게 설치됨과 더불어 서로 독립적으로 수평하게 교차 이동할 수 있도록 구성된다. In addition, the first and second carrier blocks 40a and 40b are installed to be movable up and down in the space between the first and second guide rails 31 and 32 and are configured to cross-move horizontally independently of each other. .
즉, 상기 제 1캐리어 블록(40a)은 본체(10)(도 1참조)에 설치된 선형운동장치(미도시)에 의해 X축방향을 따라 수평 이동 가능함과 더불어 소정 위치에서 상하로 이동 가능하게 구성된 제 1이동블록(45) 상에 결합되며, 제 2캐리어 블록(40b)은 상기 제 1이동블록(45)의 반대편에서 본체(10)(도 1참조)에 설치된 다른 선형운동장치(미도시)에 의해 X축방향을 따라 수평 이동 가능함과 더불어 소정 위치에서 상하로 이동 가능하게 구성된 제 2이동블록(46) 상에 결합된다. 물론, 이와 같이 제 1,2캐리어 블록(40a, 40b)은 제 1,2이동블록(45, 46)과 개별체로 구성되어 제 1,2이동블록(45, 46) 상에 분리 및 결합되는 것이 바람지하나, 이와 다르게 제 1,2캐리어 블록(40a, 40b)이 1,2이동블록(45, 46)과 일체로 성형될 수도 있을 것이다. That is, the first carrier block 40a is configured to be movable horizontally along the X-axis direction and to be moved up and down at a predetermined position by a linear motion device (not shown) installed in the main body 10 (see FIG. 1). Another linear motion device (not shown) coupled to the first moving block 45 and installed on the main body 10 (see FIG. 1) on the opposite side of the first moving block 45. It is coupled to the second moving block 46 configured to move horizontally along the X-axis direction and to move up and down at a predetermined position. Of course, the first and second carrier blocks 40a and 40b are composed of the first and second moving blocks 45 and 46 separately and separated and combined on the first and second moving blocks 45 and 46. As described above, alternatively, the first and second carrier blocks 40a and 40b may be integrally formed with the first and second moving blocks 45 and 46.
따라서, 상기 전달부(30)에서 제 1캐리어 블록(40a) 또는 제 2캐리어 블록(40b)이 상향 이동된 상태로 보트회수부(90) 쪽으로 이동하는 동안, 반대편의 보트회수부(90) 쪽에서 제 2캐리어 블록(40b) 또는 제 1캐리어 블록(40a)이 하향 이동된 상태로 전달부(30) 쪽으로 교차 이동하여 보트(B)를 연속적으로 반송할 수 있 게 된다. Accordingly, while the first carrier block 40a or the second carrier block 40b is moved upward toward the boat recovery unit 90 in the transfer unit 30, the boat recovery unit 90 on the opposite side is moved. The second carrier block 40b or the first carrier block 40a cross-moves toward the transfer part 30 in the downwardly moved state, so that the boat B can be continuously transported.
그리고, 상기 제 1캐리어 블록(40a)과 제 2캐리어 블록(40b)의 중간부에는 상하로 관통된 관통공(49)이 형성되고, 상기 제 1,2이동블록(45, 46)의 상면 중앙에는 상기 관통공(49)을 통해 제 1캐리어 블록(40a)의 상면으로 노출되는 복수개의 가이드핀(43)이 상하로 유동가능하게 설치되고, 이 가이드핀(43)의 하측에는 가이드핀(43)을 탄력적으로 지지하는 스프링(44)이 설치된다. In addition, a through hole 49 penetrating up and down is formed in an intermediate portion of the first carrier block 40a and the second carrier block 40b, and the upper and middle surfaces of the first and second moving blocks 45 and 46 are formed. The plurality of guide pins 43 exposed to the upper surface of the first carrier block 40a through the through hole 49 are installed to be movable upward and downward, and the guide pins 43 are provided below the guide pins 43. The spring 44 is elastically supported.
상기 각 가이드핀(43)들은 캐리어 블록(40a, 40b)을 전달부(30)로부터 이동시킬 때 양측면이 제 1정렬부(21)의 보트(B)의 내측 변부와 제 2정렬부(22)의 내측 변부와 각각 접촉하면서 각 보트(B)들의 외측 변부를 제 1,2가이드레일(31, 32)의 가이드홈(31a, 32a)으로 밀착시키고, 이로써 보트(B)들의 위치 이동을 방지하는 기능을 한다. Each of the guide pins 43 has an inner side portion and a second alignment portion 22 of the boat B of the first alignment portion 21 when both carrier blocks 40a and 40b are moved from the transmission portion 30. The outer edges of the respective boats B are brought into close contact with the guide grooves 31a and 32a of the first and second guide rails 31 and 32, respectively, and the inner edges of the boats B are in contact with each other. Function
이와 같이 상기 가이드핀(43)을 탄성적으로 이동 가능하게 구성한 이유는, 도 9에 도시된 것처럼 상기 제 1캐리어 블록(40a) 또는 제 2캐리어 블록(40b)이 전달부(30)의 하측에서 상측으로 이동하여 보트(B)와 결합될 때, 상기 가이드핀(43)이 중앙 가이드레일(33)의 하면에 부딪히면서 아래로 이동하여 가이드핀(43)에 의한 캐리어 블록(40a, 40b)의 상향 이동이 방해되는 것을 방지하기 위함이다. The reason why the guide pin 43 is elastically movable in this way is that, as shown in FIG. 9, the first carrier block 40a or the second carrier block 40b is located at the lower side of the transfer part 30. When moving upward and coupled with the boat B, the guide pin 43 moves downward while hitting the lower surface of the center guide rail 33 to upwardly move the carrier blocks 40a and 40b by the guide pin 43. This is to prevent the movement from interfering.
물론, 전달부(30)에 설치된 중앙 가이드레일(33)을 전달부(30)의 끝단에서부터 보트회수부(90)까지 연장시킬 경우 상기와 같이 각 캐리어 블록(40a, 40b)에 가이드핀(43)을 형성하지 않아도 되지만, 이 경우 중앙 가이드레일(33)의 길이가 길어져 휨 등의 변형이 가해질 수 있으며 재료비가 많이 들 수 있으므로, 중앙 가이 드레일(33)의 강도를 충분히 보장하고 재료비를 절감할 수 있다면 이러한 구조도 이용될 수 있을 것이다. Of course, in the case of extending the central guide rail 33 installed in the delivery unit 30 from the end of the delivery unit 30 to the boat recovery unit 90 as described above, the guide pins 43 on each carrier block 40a, 40b. However, in this case, since the length of the center guide rail 33 may be increased, deformation such as warpage may be applied, and material cost may be high, thereby ensuring sufficient strength of the center guide rail 33 and reducing material cost. If so, this structure could be used.
또한, 상기 가이드핀(43)을 탄성적으로 이동 가능하게 구성한 다른 이유는, 도 12에 도시된 것과 같이, 핸들러가 대형 보트(B')를 취급하여 제 1,2캐리어 블록(40a, 40b)을 대형 보트(B')에 대응하는 대형 캐리어 블록(40c)으로 컨버젼시키고자 할 때, 대형 캐리어 블록(40c)의 하면이 상기 가이드핀(43)을 가압하여 제 1,2이동블록(45, 46) 상에 무리없이 결합될 수 있도록 하기 위함이다. In addition, the reason why the guide pin 43 is configured to be elastically movable is that, as shown in FIG. 12, the handler handles the large boat B 'and the first and second carrier blocks 40a and 40b. To convert the large carrier block 40c corresponding to the large boat B ', the lower surface of the large carrier block 40c presses the guide pins 43 so that the first and second moving blocks 45, 46) to be combined without difficulty.
다음으로, 도 13 내지 도 17을 참조하면, 상기 보트회수부(90)는 캐리어 블록(40a, 40b) 상의 빈 보트(B)를 매거진(96) 쪽으로 반송하는 보트피딩유닛(91)과, 상기 보트피딩유닛(91)에 의해 반송되는 빈 보트(B)를 수납하는 복수개의 매거진(96)을 구비한 매거진 장착부(95)를 구비한다. 상기 보트피딩유닛(91)은 승강유닛에 의해 상하 방향으로 승강 운동하고, 상기 매거진 장착부(95)는 수평이동유닛에 의해 Y축 방향으로 수평 이동하도록 구성된다. Next, referring to FIGS. 13 to 17, the boat recovery unit 90 includes a boat feeding unit 91 for conveying the empty boat B on the carrier blocks 40a and 40b toward the magazine 96. The magazine mounting part 95 provided with the some magazine 96 which accommodates the empty boat B conveyed by the boat feeding unit 91 is provided. The boat feeding unit 91 is moved up and down by the lifting unit, and the magazine mounting portion 95 is configured to move horizontally in the Y-axis direction by the horizontal moving unit.
상기 보트피딩유닛(91)은 상기 승강유닛에 결합되어 상하로 승강운동하는 승강블록(911)과, 상기 승강블록(911)의 하단부 양측에 상기 제 1,2가이드레일(31, 32)과 대응하도록 설치된 레일부(912)와, 상기 레일부(912)의 가이드홈에 삽입된 보트(B)들의 외측 끝단부의 상,하면과 연접하여 회전력에 의해 보트(B)를 이동시키는 2쌍의 상,하부 피딩롤러(913a, 913b)와, 상기 상,하부 피딩롤러(913a, 913b)들에 의해 레일부(912)를 따라 매거진(96) 쪽으로 이동하는 보트(B)를 매거진(96)의 내측 공간으로 완전히 밀어 넣는 한 쌍의 푸셔(914)를 포함한다. The boat feeding unit 91 is coupled to the lifting unit and the lifting block 911 to move up and down, and the first and second guide rails (31, 32) on both sides of the lower end of the lifting block (911) Two pairs of phases for moving the boat B by rotational force in contact with the upper and lower ends of the rail portion 912 and the outer ends of the boats B inserted into the guide grooves of the rail portion 912, An inner space of the magazine 96 is provided with the lower feeding rollers 913a and 913b and the boat B moving along the rail portion 912 toward the magazine 96 by the upper and lower feeding rollers 913a and 913b. And a pair of pushers 914 to fully push in.
상기 상,하부 피딩롤러(913a, 913b)들은 각 레일부(912)의 가이드홈의 상,하측에 보트(B)의 두께만큼의 간격을 두고 회전 가능하게 설치되며, 양측의 각 상,하부 피딩롤러(913a, 913b) 쌍들은 피딩롤러모터(913c)에 의해 동기적으로 회전 구동하도록 구성된다. The upper and lower feeding rollers 913a and 913b are rotatably installed at intervals of the thickness of the boat B on the upper and lower sides of the guide grooves of the rail units 912, and the upper and lower feeding members on both sides. The pairs of rollers 913a and 913b are configured to drive rotation synchronously by the feeding roller motor 913c.
또한, 상기 푸셔(914)들은 상기 승강블록(911)의 양측에 Y축 방향으로 연장된 푸셔가이드레일(915)을 따라 이동하는 푸셔블록(916)에 회전축(914a)을 중심으로 탄력적으로 회전 가능하게 연결되고, 상기 푸셔블록(916)은 공압실린더(917)의 피스톤로드(917a)에 연결되어 공압실린더(917)의 작동에 의해 푸셔가이드레일(915)을 따라 Y축 방향으로 이동하게 된다. 상기 푸셔(914)는 인장스프링(918)에 의해 상기 푸셔블록(916)에 탄력적으로 연결되며, 도 13에 도시된 것과 같이 피스톤로드(917a)가 수축된 상태에서 승강블록(911)의 하면에 설치된 푸셔가압핀(919)에 의해 인장스프링(918)을 인장시키면서 상측으로 회전된 상태를 유지한다. In addition, the pushers 914 may be elastically rotated about the rotation shaft 914a to the pusher block 916 which moves along the pusher guide rail 915 extending in the Y-axis direction on both sides of the lifting block 911. The pusher block 916 is connected to the piston rod 917a of the pneumatic cylinder 917 to move in the Y-axis direction along the pusher guide rail 915 by the operation of the pneumatic cylinder 917. The pusher 914 is elastically connected to the pusher block 916 by a tension spring 918, and as shown in Figure 13 on the lower surface of the lifting block 911 in the state in which the piston rod 917a is contracted The tension spring 918 is tensioned by the pusher push pin 919 installed to maintain the state of being rotated upward.
따라서, 도 14에 도시된 것과 같이, 상기 공압실린더(917)의 피스톤로드(917a)가 신장되면, 상기 푸셔블록(916)이 푸셔가이드레일(915)을 따라 매거진(96) 쪽으로 이동하게 되고, 이에 따라 상기 푸셔(914)와 푸셔가압핀(919) 간의 결합이 해제되어 푸셔(914)가 인장스프링(918)의 탄성력에 의해 하측으로 회전되고, 푸셔(914) 끝단이 레일부(912)의 보트(B) 끝단부를 밀게 되는 것이다. Therefore, as shown in FIG. 14, when the piston rod 917a of the pneumatic cylinder 917 is extended, the pusher block 916 is moved toward the magazine 96 along the pusher guide rail 915. Accordingly, the coupling between the pusher 914 and the pusher pressing pin 919 is released, and the pusher 914 is rotated downward by the elastic force of the tension spring 918, and the end of the pusher 914 of the rail part 912 is removed. The end of the boat (B) is to be pushed.
그리고, 상기 승강유닛은 본체(10)에 수직하게 설치되는 승강 가이드프레임(921)과, 상기 승강 가이드프레임(921)을 따라 상하로 이동하도록 설치되며 상기 보트피딩유닛(91)의 승강블록(911)과 고정되게 결합되는 승강 슬라이드블록(922) 과, 상기 승강 슬라이드블록(922)을 승강 가이드프레임(921)을 따라 이동시키는 선형운동장치(미도시)로 구성된다. 여기서, 상기 선형운동장치는 볼스크류와 모터, 풀리와 벨트 및 모터로 이루어진 선형운동장치, 리니어모터 등과 같이 이 기술분야에서 널리 알려진 선형운동장치를 이용하여 구성할 수 있을 것이다. In addition, the elevating unit is installed to move up and down along the elevating guide frame 921 is installed perpendicular to the main body 10, and the elevating guide frame 921 and the elevating block 911 of the boat feeding unit 91 And a lifting slide block 922 fixedly coupled to each other, and a linear movement device (not shown) for moving the lifting slide block 922 along the lifting guide frame 921. Here, the linear motion device may be configured using a linear motion device well known in the art, such as a linear motion device, a linear motor, such as a ball screw and a motor, a pulley and a belt and a motor.
한편, 상기 매거진 장착부(95)를 수평 이동시키기 위한 수평이동유닛은 본체(10)에 Y축 방향을 따라 연장되게 형성되는 수평 가이드프레임(971)과, 상기 수평 가이드프레임(971)을 따라 이동하도록 설치되며 그 위에 상기 매거진 장착부(95)가 고정되게 결합되는 수평 슬라이드블록(972)과, 상기 수평 슬라이드블록(972)을 수평 가이드프레임(971)을 따라 수평 이동시키는 선형운동장치(미도시)로 이루어진다. 이 수평이동유닛의 선형운동장치 또한 전술한 승강유닛의 선형운동장치와 마찬가지로 볼스크류와 모터 등 공지의 선형운동장치를 이용하여 구성할 수 있을 것이다. On the other hand, the horizontal moving unit for horizontally moving the magazine mounting portion 95 is a horizontal guide frame (971) is formed to extend along the Y-axis direction in the main body 10 and to move along the horizontal guide frame (971) A horizontal slide block 972 to which the magazine mounting portion 95 is fixedly coupled thereto and a linear movement device (not shown) for horizontally moving the horizontal slide block 972 along a horizontal guide frame 971. Is done. The linear motion device of the horizontal moving unit may also be configured by using a known linear motion device such as a ball screw and a motor similarly to the linear motion device of the elevating unit described above.
상기와 같이 구성된 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 작동에 대해 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the semiconductor package unloading handler configured as described above are as follows.
도 2에 도시된 것과 같이, 경화장치(1)와 같은 외부장치로부터 보트 투입용 컨베이어(2)를 통해 반도체 패키지들을 수납한 보트(B)들이 비정렬 상태로 반송된다. 반송된 보트(B)들은 보트 투입용 컨베이어(2)의 말단에 설치된 게이트 스톱퍼(3)에 부딪히면서 정렬부(20)의 바로 전방에서 정지한다. 이 때, 도 3a에 도시된 것과 같이, 상기 보트(B)가 접촉한 게이트 스톱퍼(3)의 보트감지센서(4)가 보트(B)를 감지하게 되고, 이에 따라 정렬부(20)의 베이스블록(23)이 Y축 가이드프레 임(24)을 따라 이동하여 제 1정렬부(21)가 상기 보트감지센서(4)에 의해 감지된 게이트 스톱퍼(3)로 이동한다. As shown in FIG. 2, the boats B containing the semiconductor packages are conveyed in an unaligned state from the external device such as the curing apparatus 1 through the boat feeding conveyor 2. The conveyed boats B stop just in front of the alignment unit 20 while hitting the gate stopper 3 provided at the end of the boat-loading conveyor 2. At this time, as shown in Figure 3a, the boat detection sensor 4 of the gate stopper 3 in contact with the boat (B) detects the boat (B), accordingly the base of the alignment unit 20 The block 23 moves along the Y-axis guide frame 24 so that the first alignment portion 21 moves to the gate stopper 3 detected by the boat detection sensor 4.
도 3a에 도시된 것과 같이, 상기 제 1정렬부(21)가 상기 게이트 스톱퍼(3)와 정렬되면, 도 3b에 도시된 것과 같이 공압실린더(5)가 동작하여 게이트 스톱퍼(3)가 하강하게 되고, 보트 투입용 컨베이어(2) 상의 보트(B)가 제 1정렬부(21)의 제 1컨베이어벨트(25a)로 전달된다. 이 때, 상기 제 1정렬부(21)의 폭, 즉 상기 정렬기준바아(26c)와 제 1정렬바아(26a) 간의 폭이 보트(B)의 폭보다 많이 크기 때문에 보트(B)가 어느 정도 비틀어져 공급되더라도 제 1정렬부(21) 상으로 원활하게 반송될 수 있다. As shown in FIG. 3A, when the first alignment portion 21 is aligned with the gate stopper 3, the pneumatic cylinder 5 operates as shown in FIG. 3B to lower the gate stopper 3. Then, the boat B on the boat feeding conveyor 2 is transferred to the first conveyor belt 25a of the first alignment portion 21. At this time, since the width of the first alignment portion 21, that is, the width between the alignment reference bar 26c and the first alignment bar 26a is larger than the width of the boat B, the boat B is somewhat to some extent. Even when twisted and supplied, it can be smoothly conveyed onto the first alignment unit 21.
상기 제 1정렬부(21)의 제 1컨베이어벨트(25a) 상으로 전달된 보트(B)는 스톱퍼(29)(도 2참조)에 의해 제 1정렬부(21) 상에서 이동이 제한되고 그 위에 안착된다. The boat B, which is transferred onto the first conveyor belt 25a of the first alignment portion 21, is restricted from and moved on the first alignment portion 21 by the stopper 29 (see FIG. 2). It is seated.
이어서, 베이스블록(23)은 Y축 가이드프레임(24)을 따라 이동하여 제 2정렬부(22)가 그 다음 보트(B)가 부딪힌 게이트 스톱퍼(3)와 정렬되도록 한다. 상기 제 2정렬부(22)가 게이트 스톱퍼(3)와 정렬되면, 전술한 것과 동일하게 게이트 스톱퍼(3)가 하강하여 새로운 보트(B)가 제 2정렬부(22)의 제 2컨베이어벨트(25b) 상으로 제공된다.Subsequently, the base block 23 moves along the Y-axis guide frame 24 so that the second alignment portion 22 is aligned with the gate stopper 3 on which the boat B is then hit. When the second alignment portion 22 is aligned with the gate stopper 3, the gate stopper 3 is lowered in the same manner as described above so that the new boat B is connected to the second conveyor belt of the second alignment portion 22. 25b).
상기와 같이 제 1정렬부(21)와 제 2정렬부(22)에 보트(B)가 안착되면, 도 4 내지 도 5b에 도시된 것과 같이, 제 1,2공압실린더(27a, 28b)의 작동에 의해 제 1,2정렬바아(26a, 26b)가 정렬기준바아(26c) 쪽으로 이동하여 보트(B)들을 정렬기 준바아(26c) 쪽으로 가압하고, 이로써 보트(B)들을 정렬기준바아(26c)에 대해 정렬시킨다. As described above, when the boat B is seated on the first and second alignment portions 21 and 22, the first and second pneumatic cylinders 27a and 28b may be mounted as shown in FIGS. 4 to 5B. In operation, the first and second alignment bars 26a and 26b move toward the alignment bar 26c to press the boats B toward the alignment bar 26c, thereby pushing the boats B to the alignment bar ( Align with respect to 26c).
제 1정렬부(21)와 제 2정렬부(22) 상에서 보트(B)들이 정렬되면, 제 1,2정렬부(21, 22) 후방의 스톱퍼(29)들이 회전하여 보트(B)들의 이동이 허용되고, 이어서 롤러(28a, 28b) 및 제 1,2컨베이어벨트(25a, 25b)의 작동에 의해 보트(B)들이 전달부(30)로 이동하게 된다.When the boats B are aligned on the first and second alignment units 21 and 22, the stoppers 29 behind the first and second alignment units 21 and 22 rotate to move the boats B. This is allowed, and then the boats B are moved to the delivery section 30 by the operation of the rollers 28a, 28b and the first and second conveyor belts 25a, 25b.
상기 보트(B)들이 제 1,2정렬부(21, 22)에서 전달부(30)로 이동될 때, 도 9에 도시된 것과 같이, 각 보트(B)의 외측 변부는 전달부(30)의 제 1,2가이드레일(31, 32)에 형성된 가이드홈(31a, 32a)에 삽입되어 안내되고, 보트(B)들의 내측 변부는 중앙 가이드레일(33)의 가이드홈(33a)에 삽입되어 안내된다.When the boats B are moved from the first and second alignment parts 21 and 22 to the delivery part 30, as shown in FIG. 9, the outer edge of each boat B is the delivery part 30. It is inserted into the guide grooves (31a, 32a) formed in the first and second guide rails (31, 32) of the guide, the inner edge of the boat (B) is inserted into the guide groove (33a) of the center guide rail 33 You are guided.
상기 보트(B)들이 전달부(30)에 정위치되면, 전달부(30)의 하측에서 대기하고 있던 제 1캐리어 블록(40a)이 상승하여 보트(B)에 결합된다. 이 때, 도 7에 도시된 것처럼, 제 1캐리어 블록(40a)의 부양지그(41)가 보트(B)의 통공을 통해 삽입되면서 반도체 패키지(P)들을 가이드리브(Br)의 상단부까지 상승시킨다. When the boats B are positioned in the transfer unit 30, the first carrier block 40a waiting at the lower side of the transfer unit 30 is raised to be coupled to the boat B. In this case, as shown in FIG. 7, the support jig 41 of the first carrier block 40a is inserted through the through hole of the boat B, thereby raising the semiconductor packages P to the upper end of the guide rib Br. .
또한, 상기 제 1캐리어 블록(40a)이 상승하여 보트(B)에 결합될 때, 도 9에 도시된 것처럼 제 1캐리어 블록(40a)의 가이드핀(43)은 중앙 가이드레일(33)의 하면에 접촉되어 눌리게 되고, 스프링(44)이 압축된다. In addition, when the first carrier block 40a is lifted up and coupled to the boat B, as shown in FIG. 9, the guide pin 43 of the first carrier block 40a has a lower surface of the center guide rail 33. It is pressed in contact with the spring, the spring 44 is compressed.
상기와 같이 전달부(30)의 보트(B)들이 제 1캐리어 블록(40a) 상에 안착되어 결합되면, 도 8 내지 도 11에 도시된 것과 같이 제 1이동블록(45)이 본체(10)의 X축 방향으로 수평 이동하고 되고, 이에 따라 제 1캐리어 블록(40a)이 보트(B)를 고 정한 상태로 제 1,2언로딩 픽커(51,52)(도 1참조)의 하측으로 이동하게 된다. 이 때, 상기 촬상장치(70)(도 1참조)가 Y축방향으로 왕복 이동하면서 제 1캐리어 블록(40a) 상의 반도체 패키지(P)들에 새겨진 소정의 방향표시마크(미도시)를 촬영하여, 반도체 패키지(P)들이 보트(B)에 어느 방향으로 안착되어 있는지를 검출한다. As described above, when the boats B of the transmission unit 30 are seated and coupled to the first carrier block 40a, the first moving block 45 is the main body 10 as shown in FIGS. 8 to 11. Of the first and second unloading pickers 51 and 52 (see Fig. 1), with the first carrier block 40a holding the boat B fixed. Done. At this time, the imaging device 70 (refer to FIG. 1) reciprocates in the Y-axis direction and photographs predetermined direction marking marks (not shown) engraved on the semiconductor packages P on the first carrier block 40a. The semiconductor package P is detected in which direction the boat B is seated.
상기 제 1캐리어 블록(40a)이 전달부(30)를 벗어나게 되면, 제 1캐리어 블록(40a)의 가이드핀(43)과 중앙 가이드레일(33) 간의 접촉이 해제되고, 가이드핀(43)이 스프링(44)의 탄성력에 의해 복원되면서 보트(B)의 내측 변부를 가이드하게 된다. 물론, 이 때 각 보트(B)의 외측 변부는 여전히 제 1,2가이드레일(31, 32)의 가이드홈(31a, 32a)에 의해 안정적으로 가이드될 것이다. When the first carrier block 40a is out of the transmission unit 30, the contact between the guide pin 43 and the center guide rail 33 of the first carrier block 40a is released, and the guide pin 43 is The inner edge of the boat B is guided while being restored by the elastic force of the spring 44. Of course, at this time the outer edge of each boat (B) will still be stably guided by the guide grooves (31a, 32a) of the first and second guide rails (31, 32).
한편, 상기와 같이 제 1캐리어 블록(40a)이 제 1,2언로딩 픽커(51, 52) 쪽으로 이동하게 되면, 제 2캐리어 블록(40b)은 전달부(30) 쪽으로 이동하게 된다. 이 때, 상기 제 2캐리어 블록(40b)은 하향 이동된 상태이므로 제 1캐리어 블록(40a)과 제 2캐리어 블록(40b)은 서로 다른 높이에 위치되고, 따라서 제 1캐리어 블록(40a)과 제 2캐리어 블록(40b)의 교차 이동이 가능하다. On the other hand, when the first carrier block 40a moves toward the first and second unloading pickers 51 and 52 as described above, the second carrier block 40b moves toward the transfer part 30. At this time, since the second carrier block 40b is moved downward, the first carrier block 40a and the second carrier block 40b are located at different heights, and thus the first carrier block 40a and the first carrier block 40b are positioned at different heights. The cross movement of the two carrier blocks 40b is possible.
다시 도 1을 참조하면, 상기 제 1캐리어 블록(40a)이 보트(B)를 고정시킨 상태로 제 1언로딩 픽커(51)와 제 2언로딩 픽커(52)의 하측 위치로 이동하면, 제 1,2언로딩 픽커(51, 52)들이 제 1,2픽커프레임(53, 54)을 따라 독립적으로 이동하면서 제 1캐리어 블록(40a) 상의 반도체 패키지(P)들을 픽업하여 패키지 수납위치(82)에서 대기하는 트레이(T)에 반도체 패키지(P)를 수납시킨다. Referring back to FIG. 1, when the first carrier block 40a moves to a lower position of the first unloading picker 51 and the second unloading picker 52 with the boat B fixed, The first and second unloading pickers 51 and 52 move independently along the first and second picker frames 53 and 54, and pick up the semiconductor packages P on the first carrier block 40a to receive the package storage position 82. The semiconductor package P is accommodated in the tray T waiting in the tray.
이 때, 상기 제 1,2언로딩 픽커(51,52)의 픽업노즐(55)은 상기 촬상장치(70) 에 의해 검출된 각 반도체 패키지(P)들의 안착 방향에 따라 시계방향 또는 반시계방향으로 90도 또는 180도로 회전하여 반도체 패키지(P)들을 가로/세로 전환시켜 트레이(T)에 안착시킨다. 물론, 보트(B)에 놓여지는 반도체 패키지의 방향과 트레이(T)에 형성된 각 반도체 패키지 안착홈의 방향이 동일한 경우에는 픽업노즐(55)을 회전시킬 필요없이 바로 트레이(T)에 반도체 패키지들을 안착시킬 수 있을 것이다. At this time, the pick-up nozzles 55 of the first and second unloading pickers 51 and 52 are clockwise or counterclockwise according to the mounting directions of the respective semiconductor packages P detected by the imaging device 70. 90 degrees or 180 degrees to rotate the semiconductor package (P) horizontally / vertically to seat on the tray (T). Of course, when the direction of the semiconductor package placed on the boat B and the direction of each semiconductor package seating groove formed in the tray T are the same, the semiconductor packages may be directly placed on the tray T without the need to rotate the pickup nozzle 55. You will be able to rest.
상기와 같이, 제 1,2언로딩 픽커(51,52)에 의해 제 1캐리어 블록(40a)의 보트(B)들에 안착된 반도체 패키지(P)들이 모두 분리되면, 제 1캐리어 블록(40a)은 Y축 방향으로 이동하여 보트회수부(90)로 이동한다.As described above, when the semiconductor packages P mounted on the boats B of the first carrier block 40a are separated by the first and second unloading pickers 51 and 52, the first carrier block 40a is separated. ) Moves in the Y-axis direction to the boat recovery unit 90.
이 때, 도 13에 도시된 것과 같이, 제 1캐리어 블록(40a) 상의 보트(B)들은 외측 변부가 보트피딩유닛(91)의 레일부(912)에 삽입되어 지지되고, 제 1캐리어 블록(40a)은 하강하여 보트(B)와의 결합이 해제된다. In this case, as shown in FIG. 13, the boats B on the first carrier block 40a have the outer edge portion inserted into and supported by the rail portion 912 of the boat feeding unit 91, and the first carrier block ( 40a) is lowered to release the coupling with the boat (B).
이 상태에서 도 14에 도시된 것처럼, 양측의 상,하부 피딩롤러(913a, 913b)가 피딩롤러모터(913c)의 작동에 의해 회동하여 보트(B)들을 매거진(96) 쪽으로 진행시킨다. 이어서, 보트(B)의 후단부가 상,하부 피딩롤러(913a, 913b)를 빠져나가게 되면, 상기 공압실린더(917)의 피스톤로드(917a)가 신장되면서 푸셔(914)가 매거진(96) 방향으로 이동하게 된다. 이에 따라 푸셔(914)와 푸셔가압핀(919) 간의 접촉이 해제되면서 푸셔(914)가 인장스프링(918)의 작용에 의해 하측으로 회동하게 되고, 푸셔(914) 끝단이 각 보트(B)의 후단부와 접촉하여 보트(B)를 매거진(96) 내측으로 완전히 밀어 넣게 된다. In this state, as shown in FIG. 14, the upper and lower feeding rollers 913a and 913b on both sides rotate by the operation of the feeding roller motor 913c to advance the boats B toward the magazine 96. Subsequently, when the rear end of the boat B exits the upper and lower feeding rollers 913a and 913b, the piston rod 917a of the pneumatic cylinder 917 extends and the pusher 914 moves toward the magazine 96. Will move. Accordingly, while the contact between the pusher 914 and the pusher pressing pin 919 is released, the pusher 914 is rotated downward by the action of the tension spring 918, the end of the pusher 914 of each boat (B) In contact with the rear end, the boat B is completely pushed into the magazine 96.
이와 같이 보트피딩유닛(91)은 상기 상,하부 피딩롤러(913a, 913b) 및 푸셔(914)의 작동에 의해 빈 보트(B)를 매거진(96) 내에 밀어넣게 된다. 여기서, 상기 보트피딩유닛(91)은, 도 15에 도시된 것과 같이, 승강유닛의 작용에 의해 승강 가이드프레임(921)을 따라 상하로 이동하면서 매거진(96)의 최하측에서부터 차례로 보트(B)를 밀어 넣어 적재한다. 물론, 경우에 따라 상기 보트피딩유닛(91)은 상하로 승강하면서 매거진(96)의 최상측부터 보트(B)를 적재하도록 제어될 수 도 있을 것이다. As such, the boat feeding unit 91 pushes the empty boat B into the magazine 96 by the operation of the upper and lower feeding rollers 913a and 913b and the pusher 914. Here, the boat feeding unit 91, as shown in Figure 15, while moving up and down along the lifting guide frame 921 by the action of the lifting unit from the bottom of the magazine 96 in order (B) Push to load. Of course, in some cases, the boat feeding unit 91 may be controlled to load the boat B from the uppermost side of the magazine 96 while lifting up and down.
한편, 상기 매거진 장착부(95)의 매거진(96) 중 어느 한쪽의 매거진(96)들에 보트(B)가 모두 채워지면, 도 17에 도시된 것과 같이, 매거진 장착부(95)는 수평 가이드프레임(971)을 따라 수평 이동하여 측방의 비어 있는 매거진(96)에 보트(B)를 채워 넣는 작업을 연속적으로 수행하게 된다. 이 때, 작업자는 상기 채워진 매거진(96)들을 매거진 장착부(95)에서 분리하고, 새로운 빈 매거진(96)을 그 자리에 설치하여 다음 작업을 준비한다. On the other hand, if the boat (B) is filled in the magazine 96 of any one of the magazine 96 of the magazine mounting portion 95, as shown in Figure 17, the magazine mounting portion 95 is a horizontal guide frame ( A horizontal movement along 971 is performed to continuously fill the boat B in the lateral empty magazine 96. At this time, the worker removes the filled magazines 96 from the magazine mounting portion 95, and installs a new empty magazine 96 in place to prepare for the next work.
한편, 전술한 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 실시예에서는 2개의 소형 보트(B)들을 동시에 취급하여 보트(B)에서 반도체 패키지들을 분리하고 트레이(T)에 수납시키는 것으로 설명하였다. Meanwhile, in the above-described embodiment of the semiconductor package unloading handler, two small boats B are handled at the same time to separate the semiconductor packages from the boat B and stored in the tray T.
하지만, 이러한 핸들러로 대형 보트를 취급하고자 할 경우에는, 상기 정렬부(20)의 정렬기준바아(26c)와, 전달부(30)의 중앙 가이드레일(33)을 제거하고, 제 1,2캐리어 블록(40a, 40b), 매거진 장착부(95)의 매거진(96)를 대형 보트에 상응하는 것으로 교체하여 주면 간단히 대형 보트를 취급할 수 있다. However, when handling the large boat with such a handler, the alignment reference bar 26c of the alignment unit 20 and the center guide rail 33 of the transmission unit 30 are removed, and the first and second carriers are removed. If the magazines 96 of the blocks 40a and 40b and the magazine mounting portion 95 are replaced with those corresponding to the large boats, the large boats can be handled simply.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 캐리어 블록에 의해 반도체 패키지들이 상측으로 들려진 상태로 보트가 언로딩픽커의 작업 위치 및 보트 회수 위치로 연속적으로 반송되므로, 언로딩 픽커에 의한 보트의 반도체 패키지 분리 작업시 에러 발생이 최소화되며, 보트들을 신속하고 용이하게 반송할 수 있는 이점이 있다.As described above, according to the present invention, since the boat is continuously conveyed to the working position and the boat recovery position of the unloading picker while the semiconductor packages are lifted upward by the carrier block, the semiconductor package of the boat is separated by the unloading picker. The occurrence of errors in the operation is minimized and there is an advantage that the boats can be transported quickly and easily.
또한, 캐리어 블록을 이동블록 상에서 교체하는 간단한 작업에 의해 소형 보트와 대형 보트를 선택적으로 취급할 수 있으므로, 핸들러의 호환성이 향상되고, 장비 구입에 따른 비용 증가를 방지할 수 있는 이점도 있다. In addition, since the small boat and the large boat can be selectively handled by a simple operation of replacing the carrier block on the moving block, the compatibility of the handler can be improved and the cost of purchasing the equipment can be prevented.

Claims (6)

  1. 핸들러의 본체의 제 1위치와 제 2위치 사이의 임의의 위치로 수평 이동함과 더불어 상하로 이동 가능하게 설치되는 적어도 1개의 이동블록과;At least one movable block which is horizontally moved to an arbitrary position between the first position and the second position of the main body of the handler and installed to be movable up and down;
    상기 이동블록 상에 고정되게 결합되어, 본체의 제 1위치에서 상승하는 동작에 의해 상기 보트와 결합되어 보트를 끌고 수평 이동하고, 본체의 제 2위치에서 하강하여 보트와의 결합이 해제되도록 한 적어도 1개의 캐리어 블록과;Fixedly coupled to the moving block, coupled with the boat by an ascending operation in the first position of the main body, and dragging and moving the boat horizontally, and descending at a second position of the main body so that the engagement with the boat is released; One carrier block;
    상기 이동블록에 상하로 탄성적으로 이동가능하게 설치되며, 상기 캐리어 블록의 상면으로 출몰되도록 형성되어, 캐리어 블록의 상면에 복수개의 가이드핀이 소정 거리 이격되게 안착될 때, 상기 보트들의 사이에서 보트들의 내측 변부와 접촉하면서 보트들을 가이드하는 가이드핀을 포함하여 구성된 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 보트 반송장치.It is installed to be movable up and down elastically in the movable block, and is formed to be floated on the upper surface of the carrier block, when a plurality of guide pins seated on the upper surface of the carrier block a predetermined distance apart, the boat between the boats Boat transport apparatus of a semiconductor package unloading handler comprising a guide pin for guiding the boats in contact with the inner side of the field.
  2. 핸들러의 본체에 X축 방향을 따라 연장되며, 서로 일정 거리 이격되게 나란하게 설치되어, 반도체 패키지가 장착된 보트의 이동을 안내하는 제 1가이드레일 및 제 2가이드레일과;A first guide rail and a second guide rail extending along the X-axis direction and installed side by side to be spaced apart from each other by the handler to guide the movement of the boat on which the semiconductor package is mounted;
    상기 제 1,2가이드레일 사이에서 본체의 제 1위치와 제 2위치 사이의 임의의 위치로 X축 방향을 따라 수평 이동함과 더불어 상하로 이동 가능하게 설치되는 적어도 1개의 이동블록과;At least one movable block installed horizontally along the X-axis direction to an arbitrary position between the first and second positions of the main body between the first and second guide rails;
    상기 이동블록 상에 고정되게 결합되어, 상기 제 1위치에서 상승하는 동작에 의해 상기 보트와 결합되어 보트를 제 1,2가이드레일을 따라 수평 이동시키고, 상기 제 2위치에서 하강하여 보트와의 결합이 해제되도록 한 적어도 1개의 캐리어 블록과;It is fixedly coupled to the moving block, coupled to the boat by the operation of ascending in the first position to move the boat horizontally along the first and second guide rails, descending at the second position to engage with the boat At least one carrier block for disengaging;
    상기 이동블록에 상하로 탄성적으로 이동가능하게 설치되며, 상기 캐리어 블록의 상면으로 출몰되도록 형성되어, 캐리어 블록의 상면에 복수개의 가이드핀이 소정 거리 이격되게 안착될 때, 상기 보트들의 사이에서 보트들의 내측 변부와 접촉하면서 보트들을 가이드하는 가이드핀을을 포함하여 구성된 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 보트 반송장치.It is installed to be movable up and down elastically in the movable block, and is formed to be floated on the upper surface of the carrier block, when a plurality of guide pins seated on the upper surface of the carrier block a predetermined distance apart, the boat between the boats Boat transport apparatus of a semiconductor package unloading handler comprising a guide pin for guiding the boats in contact with the inner side of the field.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 이동블록 및 캐리어블록은 복수개가 독립적으로 수평 이동 및 상하 이동하도록 설치되어, 상기 제 1위치와 제 2위치 사이의 공간에서 서로 교차 이동하면서 보트를 반송하도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 보트 반송장치.According to claim 1 or 2, wherein the movable block and the carrier block is installed so that a plurality of independently move horizontally and vertically, so as to convey the boat while crossing each other in the space between the first position and the second position. Boat transport apparatus for a semiconductor package unloading handler, characterized in that the.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 보트에는 각각의 반도체 패키지가 안착되는 복수개의 통공이 형성되고;3. The boat according to claim 1 or 2, wherein the boat is formed with a plurality of through holes in which each semiconductor package is seated;
    상기 각 캐리어 블록의 상면에는 상기 보트의 각 통공을 통해 반도체 패키지 를 소정 높이로 상승시키는 부양지그가 돌출되게 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 보트 반송장치.And a support jig protruding from the upper surface of each carrier block to raise the semiconductor package to a predetermined height through each hole of the boat.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 부양지그의 외측부에 각 반도체 패키지의 외주연부를 지지하는 복수개의 지지리브가 돌출 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 보트 반송장치.5. The boat conveying apparatus of claim 4, wherein a plurality of support ribs protruding the outer periphery of each semiconductor package are formed on an outer side of the support jig.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 이동블록과 캐리어 블록은 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 보트 반송장치.The boat transport apparatus of claim 1, wherein the moving block and the carrier block are integrally formed.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH088317A (en) * 1994-06-16 1996-01-12 Nec Corp Semiconductor device transfer system
JPH1087047A (en) 1996-09-17 1998-04-07 Okura Yusoki Co Ltd Carrying device
JPH11286315A (en) 1998-03-30 1999-10-19 Tamagawa Seiki Co Ltd In-tray ic handler

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