KR101354062B1 - 인쇄회로기판용 플라즈마 처리장치의 윈도우프레임 공급장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 인쇄회로기판과 같은 피가공물용 플라즈마 장치의 피가공물 공급장치에 관한 것이다. 그 구성은; 피가공물(W)을 파지하기 위한 윈도우프레임(100); 상기 윈도우프레임(100)을 대기시키기 위한 대기 안착부(1); 상기 대기 안착부(1)에 안착된 윈도우프레임(100)을 촬영하는 비젼부(5); 상기 대기 안착부(1)에 안착된 윈도우프레임(100)을 홀딩하기 위한 픽업부(21); 상기 픽업부(21)를 상기 플라즈마 챔버(3) 내부로 이동시키기 위한 픽업구동부(23); 상기 픽업부(21)를 평면상에서 미세 조정하기 위한 픽업조정부(45); 상기 픽업조정부(45)를 위치제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

인쇄회로기판용 플라즈마 처리장치의 윈도우프레임 공급장치{Apparatus For Supplying Window Frame Into Plasma Chamber Of Plasma Processing Machine}

본 발명은 플라즈마 처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 인쇄회로기판과 같은 피가공물의 표면에 점착되거나 비아홀 내부에 잔존하는 불순물, 수분 등을 제거하기 위한 플라즈마 처리장치의 피가공물 공급장치에 관한 것이다.

일반적으로 플라즈마는 부분적으로 또는 전체적으로 이온화된 상태로서, 고체, 액체, 기체에 포함되지 않는 물질의 제4상태라고 언급되는 물질상태를 일컫는다. 플라즈마 처리장치라 함은 이러한 플라즈마를 이용하여 피가공물을 세정, 개질 또는 에칭하기 위한 장치이다. 본 발명은 특히 인쇄회로기판의 표면이나 비아홀 내부로부터 불순물, 수분 또는 잔사(smear)를 제거하기 위한 세정장치를 대상으로 하여 안출되었지만, 본 발명의 권리범위가 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

플라즈마 처리장치와 관련하여 특허출원 제10-2007-0133325호는 PCB의 플라즈마 연속 자동 처리장치를 제시하고 있다. 본 처리장치는 피가공물을 연속처리함으로써 생산성을 극히 향상시키는 것을 내용으로 한다. 그리고 위 특허출원의 내용을 보면, 매거진에 실장된 것으로서 PCB와 같은 판형상의 피가공물을 장착하게 되는 다수의 윈도우프레임(Window framw)을 한꺼번에 플라즈마 챔버로 이동시켜 가공하는 구조로 되어 있다.

이처럼 종래에는 매거진에 여러 장의 인쇄회로기판을 장입 설치한 다음 이를 한꺼번에 플라즈마 챔버에 투입하여 처리하는 시스템이 일반적이었다. 그러나 인쇄회로기판을 한 장씩 챔버에 투입하여 처리한 다음 반출하는 시스템도 제안되고 있다. 새롭게 제안되는 이 시스템은 작업품질을 향상시키며 결과적으로는 생산성까지 높일 수 있는 장점을 가지고 있다.

언급된 것처럼 인쇄회로기판(이하, '기판'이라 한다)은 윈도우프레임이라고 하는 고정수단에 고정된 상태로 챔버에 투입된다. 윈도우프레임은 용어에서 알 수 있는 바와 같이 중간에 구멍이 뚫려있는 4각의 틀체이며 중간 구멍을 향해 클램프수단이 설치되고 있다. 기판은 이 클램프수단에 의해 윈도우프레임에 고정된다.

기판의 두께가 지속적으로 얇아지는 추세에서 이러한 기판 지지구조는 필수적이라 할 수 있다. 도 1은 기판이 장착된 윈도우프레임의 개략적 평면도이며, 이하에서는 도 1을 참조하여 설명한다.

종래 기판을 윈도우프레임(100)에 고정시키기는 작업은 개별적으로 인력에 의해 수작업으로 이루어져 왔다. 이러한 과정에서 기판(W)이 윈도우프레임(100)의 일정한 위치에 고정되지 않고 도 1과 같이 조금씩 오차를 갖고 장착되었다.

기판(W)이 장착된 윈도우프레임(100)은 자동화 기기에 의해 자동적으로 플라즈마 챔버 내부에 공급 및 배출된다. 이 과정에서 윈도우프레임(100)에 장착된 기판(W)의 위치가 조금씩 틀려짐으로써 기판(W) 상에 실제로 플라즈마 처리되는 부분의 영역(A1)이 조금씩 달라지는 경우가 생기게 된다. 도 1에서 설계상 플라즈마처리가 되어야 하는 영역(A0)은 점선으로 표시되어 있으며, 실제 플라즈마 처리되는 영역(A1)은 일점쇄선으로 표시되어 있다.

이상적으로는 기판(W)의 가장자리 약 10mm를 제외하고는 전면에 걸쳐 고르게 플라즈마 처리가 되어야 하는데, 기판(W)의 위치가 조금씩 비뚤어짐으로써 플라즈마 처리가 되어야 할 부분이 처리되지 않거나(영역 B0) 반대로 플라즈마 처리되지 않아도 될 부분(영역 B1)이 플라즈마 처리되는 경우가 발생하였다. 기판(W)이 심하게 비뚤어진 경우에는 취급하는 과정에서 기판이 접히는 문제까지 생기기도 한다.

이러한 불량은 고가의 기판을 그대로 폐기하여야 하는 문제까지도 야기하므로 큰 손실이 아닐 수 없다.

위와 같은 문제에 대한 본 발명의 목적은, 인쇄회로기판용 플라즈마 처리장치에서 기판을 플라즈마 챔버 내부로 공급하거나 그로부터 반출하는 피가공물 공급장치를 제공하는 것에 있다. 기판의 크기가 어떻든 기판을 정확한 위치에 공급함으로써 기판의 플라즈마 처리되는 영역이 항상 일정하도록 하는 피가공물 공급장치를 제공하는 것에 있다.

위와 같은 목적은, 인쇄회로기판과 같은 평판형 피가공물을 표면처리하기 위한 플라즈마 처리장치에서 상기 피가공물을 플라즈마 챔버 내부에 공급하거나 그로부터 반출하기 위한 피가공물 공급장치에 있어서;

피가공물을 파지하기 위한 것으로서, 가운데 중공이 마련되도록 사각 틀체로 되어 있으며 상기 틀체를 따라 피가공물을 파지하기 위한 다수의 클램프 수단이 설치되어 있는 윈도우프레임; 상기 윈도우프레임을 상기 플라즈마 챔버 내부에 투입하기 전에 대기시키기 위한 대기 안착부; 상기 대기 안착부에 안착된 윈도우프레임을 촬영하여 이미지신호를 얻을 수 있도록 상기 대기 안착부의 직상부에 설치되는 비젼부; 상기 대기 안착부에 안착된 윈도우프레임을 홀딩하여 들어 올리거나 들어 올린 윈도우프레임을 내려놓기 위한 픽업부; 상기 픽업부를 대기 안착부로부터 상기 플라즈마 챔버 내부까지 이동시키며, 상기 플라즈마 챔버 내부로부터 반출부까지 이동시키기 위한 픽업구동부; 상기 픽업부를 평면상에서 미세 조정하기 위한 픽업조정부; 상기 이미지신호에 의거하여 미리 입력된 피가공물의 정위치와 상기 대기 안착부에 안착된 윈도우프레임 상의 피가공물의 현재 위치를 비교한 다음, 상기 피가공물이 상기 플라즈마 챔버 내부에 정위치로 공급될 수 있도록 상기 픽업조정부를 위치제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 플라즈마 처리장치의 피가공물 공급장치에 의해 달성된다.

상기 픽업조정부는 상기 픽업부로 하여금 수평방향 및 지면에 수직을 이루는 축을 축중심으로 한 회전방향의 운동을 가능하게 할 수 있다.

본 발명의 특징에 의하면, 상기 픽업부는

작업대에 설치되는 제1레일; 상기 제1레일을 따라 기동 가능하게끔 직립하여 설치되는 것으로서 수직방향의 제2레일이 설치되는 직립대; 상기 제2레일을 따라 수직방향으로 기동되도록 상기 직립대에 설치되는 것으로서, 수평방향의 제3레일이 설치되는 수평대; 상기 제3레일을 따라 기동 가능하도록 상기 수평대에 설치되되, 수직축을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 행거; 상기 행거를 상기 수직축을 중심으로 회전 구동시키는 행거회전구동부; 상기 행거의 하단부에 매달린 형태로 설치되는 것으로서 상기 작업대에 평행을 이루는 평면 형태의 프레임을 제공하는 픽업베이스; 흡입공이 직하방향으로 마련되도록 상기 픽업베이스 상에 다수 설치되는 것으로서 상기 윈도우프레임을 진공으로 흡착하여 상기 픽업베이스에 부착시킬 수 있도록 하는 흡착구를 포함할 수 있다.

여기서 상기 흡착구는, 상기 픽업베이스에 마련되는 1쌍의 종대와 1쌍의 횡대로 구성됨으로써 평면상 사각 틀을 구성하는 흡착구설치대에 각각 설치되되; 상기 종대 간의 간격 및 상기 횡대 간의 간격이 설치대기동부에 의해 조정 가능하게 됨으로써 상기 사각 틀의 넓이가 조정될 수 있다.

본 발명의 특징에 의하면, 상기 비젼부는 색상을 식별할 수 있는 카메라를 포함할 수 있다.

위와 같은 구성에 의하면, 인쇄회로기판과 같은 피가공물을 정확하게 위치를 잡은 상태에서 플라즈마 챔버에 공급할 수 있게 하는 피가공물 공급장치가 제공된다. 이에 의하면 설계자가 의도했던 바에 따라 기판의 정확한 영역에 플라즈마 처리를 할 수 있어 제품의 불량을 최소화할 수 있게 된다. 본 발명의 기타 효과는 이하에서 기술되는 발명의 상세한 설명을 통해 더욱 구체화될 것이다.

도 1은 종래기술에 의한 인쇄회로기판의 처리상태를 설명하기 위한 인쇄회로기판과 윈도우프레임의 평면 구성도이다.
도 2(a)(b)는 본 발명에 적용되는 윈도우프레임의 평면도와 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 플라즈마 처리장치의 개략 구성도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 비젼부의 개략적 측면 구성도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 픽업부 및 픽업구동부의 개략적 측면 구성도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 설치대 기동부의 작동원리를 설명하는 개략적 평면 구성도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 내용을 상세하게 설명한다.

본 발명의 플라즈마 처리장치의 피가공물 공급장치는 피가공물을 공급하기 위한 공급부와 플라즈마 챔버 사이에 설치된다. 현재 다양한 공급방식이 있으나 어떤 과정을 통해 피가공물을 운반하여 플라즈마 챔버 내부에 투입하고 또 반출하는 것인지 여부는 본 발명과 직접적 연관이 없다. 다만 본 발명은 피가공물로 하여금 플라즈마 챔버에 투입되기 전에 세밀하게 위치 조정되도록 하기 위한 시스템을 제공한다.

도 2를 참조하여 보면, 윈도우프레임(100)은 피가공물(W)을 파지하기 위한 수단이다. 윈도우프레임(100)은 가운데 중공이 마련되도록 사각형으로 연결된 바(101)로 구성되어 있으며 각각의 바(101)에는 피가공물(W)을 파지하기 위한 다수의 클램프(103)가 설치되어 있다.

이하, 도 3을 참조하여 개략적 구성을 설명한 다음 이하의 도면을 참조하여 구체적 구성을 설명한다.

대기 안착부(1)는 윈도우프레임(100)을 플라즈마 챔버(3) 내부에 투입하기 전에 대기시키기 위한 곳으로서 테이블 형태로 되어 있다. 비젼부(5)는 대기 안착부에 안착된 윈도우프레임(100)을 촬영하여 이미지신호를 얻을 수 있도록 대기 안착부(1)의 직상부에 설치된다.

비젼부(5)는 도 4에 도시된 바와 같이 직립 설치되며 연장방향을 따라 가이드 레일(9)을 제공하는 포스트(7)와, 상기 가이드 레일(9)에 결합함으로써 포스트(7)의 연장방향을 따라 상하방향으로 기동 가능하게 설치되는 카메라 설치대(11)와, 직하방향의 물체를 촬영할 수 있도록 상기 카메라 설치대(11)의 단부에 도립하여 설치되는 카메라(13)와, 상기 카메라 설치대(13)를 상하기동시키기 위한 카메라 기동부를 포함한다.

카메라 기동부는 포스트(7)의 상단에 고정 설치되는 제1모터(15)와, 포스트(7) 내부에 직립설치되며 상기 제1모터(15)에 의해 축회전되는 나사봉(17)과, 상기 나사봉(17)에 나사결합되며 상기 카메라 설치대(11)에 연결됨으로써 상기 나사봉(17)의 회전에 의해 수직방향으로 승하강되는 이동블럭(19)을 포함한다. 이러한 구성에 의해 카메라(13)는 초점거리 조절 등을 위해 수직방향으로 승하강될 수 있게 된다.

이하, 도 5를 주로 참조하여 픽업부(21)를 설명한다.

픽업부(21)는 대기 안착부(1)에 안착된 윈도우프레임(100)을 홀딩하여 들어 올리거나 들어 올린 윈도우프레임(100)을 내려놓기 위한 것이다. 픽업구동부(23)는 픽업부(21)를 대기 안착부(1)로부터 플라즈마 챔버(3) 내부까지 이동시키며, 이와 반대로 플라즈마 챔버(3) 내부로부터 반출부(미도시됨)까지 이동시키기 위한 구동장치이다. 플라즈마 챔버(3)는 도 3에 도시된 바와 같이 덮개가 선택적으로 개방됨으로써 윈도우프레임(100)의 출입을 허용하게 되며, 본 실시예에 의하면 플라즈마 챔버(3)는 한 번에 한 장의 피가공물(W)을 처리할 수 있는 구성을 가진다. 그러므로 픽업부(21)는 한 번에 1개의 윈도우프레임(100)을 플라즈마 챔버(3) 내부에 공급한다. 플라즈마 챔버(3)의 구성 역시 본 발명과는 직접적 연관이 없는 사항이므로 더 이상의 설명은 이를 생략한다.

픽업부(21)는 프레임으로 기능하는 픽업베이스(25)와, 픽업베이스(25)에 평면적으로 볼 때 사각 형태로 배치되며(도 6 참조), 막대 형태를 갖는 4개의 흡착구설치대(27,29,31,33)와, 각각의 흡착구 설치대(27,29,31,33)의 연장방향을 따라 다수 설치되는 흡착구(35)를 포함한다. 흡착구(35)의 선단은 스프링(36)에 의해 상하방향으로 탄성적으로 유동될 수 있는데, 이는 완충효과를 위한 것이다. 흡착구(35)는 막대형으로서 직하방향으로 흡입공이 개구되어 있다. 흡착구(35)는 진공압(또는 부압)에 의해 소정의 물체를 홀딩할 수 있으며 진공 해제시 물체를 자유낙하에 의해 하방으로 떨어뜨리는 구조로 되어 있다. 이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.

본 실시예에 의하면 피흡착물인 피가공물(W)에 면적 변화에 적응할 수 있도록 흡착구 설치대(27,29,31,33)의 설치면적을 조정할 수 있게 하는 구성을 포함한다. 흡착구 설치대(27,29,31,33)는 설치대기동부에 의해 설치넓이가 조정될 수 있다. 흡착구 설치대(27,29,31,33)는 한 쌍의 종대(27,29)와 한 쌍의 횡대(31,33)로 구성되며, 종대(27,29) 간의 간격(L1) 및 횡대(31,33) 간의 간격(L2)을 조정함으로써 설치 면적이 조정될 수 있다. 종대(27,29)와 횡대(31,33)는 도 5에 도시된 바와 같이 상하방향으로 단차를 두고 설치된다. 따라서 도 6의 평면도 상에서는 종대(27,29)와 횡대(31,33)의 구성요소가 오버랩되므로 이해의 편이를 위해 횡대(31,33) 및 이를 구동하는 구성요소들에 대하여 일점쇄선으로 표현하였다.

설치대 기동부는 종대(27,29)의 간격(L1)을 조정하기 위한 제2모터(37)와, 횡대(31,33)의 간격(L2)을 조정하기 위한 제3모터(39)를 가진다. 종대(27,29)와 직각방향으로 랙기어바(41,43)가 직각으로 연결되고 이 랙기어바(41,43)는 제2모터의 구동기어(37a)에 각각 치합한다. 따라서 제2모터(37)가 시계방향으로 회전하게 되면 종대(27,29)의 간격이 넓어지고, 반시계방향으로 회전하게 되면 좁아진다.

설치대 기동부는 도 6에서 일점쇄선으로 표현된 횡대(31,33)를 제3모터(39)에 의해 종대(27,29)와 동일한 방식으로 간격 조절하므로 이에 대한 반복 설명은 생략한다. 그리고 이러한 구동방식은 예시에 불과하며 기타 다양한 구동방식이 제안될 수 있다.

픽업조정부(45)가 픽업부(21)를 평면상에서 미세 조정하기 위한 수단으로 제공된다. 본 발명의 실시예에 의하면 픽업조정부(45)는 단지 평면상에서뿐만 아니라 입체적으로도, 즉 3차원적으로 조정하도록 되어 있다. 픽업조정부(45)는 상기 픽업부로 하여금 수평방향(x축 및 y축 방향), 수직방향(z축 방향) 및 지면에 수직을 이루는 축(z축)을 축중심으로 한 회전(θ축 방향)운동을 가능하게끔 할 수 있다. 이하, 이러한 동작을 위한 구성의 예를 도 5의 측면 구성도를 참조하여 설명한다.

제1레일(47)이 작업대에 설치되며, 직립대(49)가 제1레일(47)을 따라 기동 가능하게끔 직립하여 설치된다. 직립대(49)에는 그의 길이방향을 따라 제2레일(51)이 설치된다. 수평대(53)는 제2레일(51)을 따라 수직방향으로 기동되도록 직립대(49)에 설치된다. 수평대(53)에는 수평방향으로 제3레일(55)이 설치된다. 행거(57)는 제3레일(55)을 따라 기동 가능하도록 수평대(53)에 설치된다. 본 실시예에 의하면 행거(57)는 수직축(z)을 중심으로 회전 가능하게 설치된다. 행거회전구동부는 행거(57)를 수직축(z)을 중심으로 회전 구동시킨다.

도시되지는 않았지만 직립대(49)와 수평대(53)를 기동시키기 위한 구동수단은 서보모터가 사용될 수 있다. 행거(57)를 도면상 좌우방향으로 기동시키기 위한 행거구동모터(59)는 수평대(53) 상에 설치되고 있으며, 서보모터로 된 행거회전구동모터(61) 역시 수평대(53) 상에 설치되고 있다. 이들 모터와 동력전달구조는 주지된 바에 따르면 되므로 더 이상의 상세한 설명은 이를 생략한다.

제어부는 비젼부(5)로부터 제공되는 이미지신호에 의거하여 미리 입력된 피가공물(W)의 정위치와 대기 안착부(1)에 안착된 윈도우프레임(100) 상의 피가공물(W)의 현재 위치를 비교한 다음, 피가공물(W)이 플라즈마 챔버(3) 내부로 정위치에 공급될 수 있도록 상기 픽업조정부(45)를 위치제어한다. 그러면 픽업부(21)는 제어부의 명령대로 기동하여 하강하고 피가공물(W)을 홀딩하여 플라즈마 챔버(3) 내부에 공급한다.

이러한 구성에 의하면 윈도우프레임(100)은 약간 삐뚤게 플라즈마 챔버(3) 내부에 안착될 수 있겠으나, 피가공물(W)만은 항상 정확한 위치에 안착되게 된다. 따라서 피가공물(W)은 정확한 위치에 안착된 상태에서 플라즈마 처리가 되게 된다.

본 발명의 실시예에 의하면, 비젼부(5)는 색상을 식별할 수 있는 카메라를 포함할 수 있다. 비젼부(5)는 인쇄회로기판에 마킹된 인식표를 판독하여 위치판별을 하며, 시리얼번호, 바코드 또는 큐알(QR)코드 까지 판독하여 후속처리 여부를 결정하도록 할 수 있다. 예를 들어 색상을 판별할 수 있게 한다면 인쇄회로기판과 그 사이에 개입되는 간지를 구별할 수 있게 되며 이종 물품에 대한 상이한 취급을 하도록 제어할 수도 있을 것이다.

본 발명의 피가공물 공급장치는 비젼부(5)에 의해 획득한 신호를 바탕으로 하여 제품이 놓이게 되는 작업대 내지 베이스를 조정하는 것이 아닌 로딩장치 내지 언로딩장치를 위치 조정함으로써 위치 세팅을 간명하게 하고, 접근이 어려운 플라즈마 챔버(3) 내부로 피가공물(W)을 정확하게 투입하는데 획기적으로 기여하게 된다.

위에 도시 및 설명된 구성은 본 발명의 기술적 사상에 근거한 바람직한 실시예에 지나지 아니한다. 당업자는 통상의 기술적 상식을 바탕으로 다양한 변경실시를 할 수 있을 것이지만 이는 본 발명의 보호범위에 포함될 수 있음을 주지해야 할 것이다.

1 : 대기 안착부 3 : 플라즈마 챔버
5 : 비젼부 7 : 포스트
9 : 가이드레일 11 : 카메라설치대
13 : 카메라 15 : 제1모터
17 : 나사봉 19 : 이동블럭
21 : 픽업부 23 : 픽업구동부
25 : 픽업베이스 27,29,31,33 : 흡착구설치대
35 : 흡착구 36 : 스프링
37 : 제2모터 39 : 제3모터
41,43 : 랙기어바 45 : 픽업조정부
47 : 제1레일 49 : 직립대
51 : 제2레일 53 : 수평대
55 : 제3레일 57 : 행거
59 : 행거구동모터 100 : 윈도우프레임
W : 피가공물(인쇄회로기판)

Claims (4)

1. 인쇄회로기판을 플라즈마 처리하기 위한 플라즈마 처리장치에서 상기 인쇄회로기판을 플라즈마 챔버(3) 내부에 공급하거나 그로부터 반출하기 위한 윈도우프레임 공급장치에 있어서;
   상기 인쇄회로기판을 파지하기 위한 것으로서, 가운데 중공이 마련되도록 사각 틀체로 되어 있으며 상기 틀체를 따라 다수의 클램프 수단이 설치되어 있는 윈도우프레임(100); 상기 윈도우프레임(100)을 상기 플라즈마 챔버(3) 내부에 투입하기 전에 대기시키기 위한 대기 안착부(1); 상기 대기 안착부(1)에 안착된 윈도우프레임(100)을 촬영하여 이미지신호를 얻을 수 있도록 상기 대기 안착부(1)의 직상부에 설치되는 비젼부(5); 상기 대기 안착부(1)에 안착된 윈도우프레임(100)을 부압으로써 홀딩하여 들어 올리거나 들어 올린 윈도우프레임(100)을 내려놓기 위한 픽업부(21); 상기 픽업부(21)를 대기 안착부(1)로부터 상기 플라즈마 챔버(3) 내부까지 이동시키며, 상기 플라즈마 챔버(3) 내부로부터 반출부까지 이동시키기 위한 픽업구동부(23); 상기 픽업부(21)를 평면상에서 미세 조정하기 위한 픽업조정부(45); 상기 이미지신호에 의거하여 미리 입력된 인쇄회로기판의 정위치와 상기 대기 안착부(1)에 안착된 윈도우프레임(100) 상의 인쇄회로기판의 현재 위치를 비교한 다음, 상기 인쇄회로기판이 상기 플라즈마 챔버(3) 내부에 정위치로 공급될 수 있도록 상기 픽업조정부(45)를 위치제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 플라즈마 처리장치의 윈도우프레임 공급장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 픽업조정부(45)는 상기 픽업부(21)로 하여금 수평방향(x축 및 y축 방향) 및 지면에 수직을 이루는 축을 축중심으로 한 회전운동(θ축 방향)을 하게끔 하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 플라즈마 처리장치의 윈도우프레임 공급장치.
   
3. 제1항에 있어서 상기 픽업부(21)는,
   작업대에 설치되는 제1레일(47); 상기 제1레일(47)을 따라 기동 가능하게끔 직립하여 설치되는 것으로서 수직방향의 제2레일(51)이 설치되는 직립대(49); 상기 제2레일(51)을 따라 수직방향으로 기동되도록 상기 직립대(49)에 설치되는 것으로서, 수평방향의 제3레일(55)이 설치되는 수평대(53); 상기 제3레일(55)을 따라 기동 가능하도록 상기 수평대(53)에 설치되되, 수직축을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 행거(57); 상기 행거(57)를 상기 수직축을 중심으로 회전 구동시키는 행거회전구동부; 상기 행거(57)의 하단부에 매달린 형태로 설치되는 픽업베이스(25); 흡입공이 직하방향으로 마련되도록 상기 픽업베이스(25) 상에 다수 설치되는 것으로서 상기 윈도우프레임(100)을 진공으로 흡착하여 상기 픽업베이스(25)에 부착시킬 수 있도록 하는 흡착구(35)를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 플라즈마 처리장치의 윈도우프레임 공급장치.
   
4. 제3항에 있어서;
   상기 흡착구(35)는, 상기 픽업베이스(25)에 마련되는 1쌍의 종대(27,29)와 1쌍의 횡대(31,33)로 구성됨으로써 평면상 사각 틀을 구성하는 흡착구설치대(27,29,31,33)에 각각 설치되되;
   상기 종대(27,29) 간의 간격(L1) 및 상기 횡대(31,33) 간의 간격(L2)이 설치대기동부에 의해 조정 가능하게 됨으로써 상기 사각 틀의 넓이가 조정될 수 있는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 플라즈마 처리장치의 윈도우프레임 공급장치.

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