KR101333539B1 - 감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치 및 방법 - Google Patents

감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치는 밀폐되어 일정한 공간을 형성한 본체(102)와, 본체(102)의 내부에 위치하여 박리액이 투입되는 경우, 박리액에 포함된 제1 박리 잔여물을 1차적으로 걸러주는 원통형의 제1 메쉬망(140)과 제1 메쉬망(140)의 외부를 감싸는 복수개의 구멍이 뚫린 회전 드럼(150)을 포함하고, 회전 드럼(150)의 좌우측 하단에 길이 방향의 봉의 형태로 위치하여 회전 드럼(150)을 고정 지지하는 구동기어가 설치된 제1 회전축(120)과 제2 회전축(130)이 형성되며, 제1 회전축(120) 또는 제2 회전축(130)에 연결되어 제1 회전축(120) 또는 제2 회전축(130)을 회동하는 제1 구동 모터(110)를 포함하는 상부 여과 장치(100); 상부 여과 장치(100)의 하부에 형성되어 제1 메쉬망(140)과 회전 드럼(150)을 거쳐 하부 방향으로 흘러내리는 박리액에 포함된 제2 박리 잔여물을 2차적으로 걸러주는 제2 메쉬망(220)을 포함하는 하부 여과 장치(200); 및 하부 여과 장치(200)의 내부에 형성되어 제2 메쉬망(220)의 상부면과 밀착되어 회전하는 회전 부재(310)와, 회전 부재(310)의 중앙부에 형성된 홈에 삽입되는 길이 방향의 회전봉(320)과 회전봉(320)의 상부 끝단에 연결되어 회전봉(320)을 모터의 구동력으로 회전시키는 제2 구동 모터(350)를 포함하는 자동 회전 장치(300)를 제공한다.

Description

감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치 및 방법{Continuous Filtering Device and Method of Peeling Process of Photo Sensitive Resin}
본 발명은 감광성 수지 조성물의 박리 공정으로서, 특히 미세한 박리 잔여물이 메쉬망에 막히지 않도록 모터형 자동 회전 장치의 회전에 의해 박리액의 박리 잔여물을 제거하는 감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치 및 방법에 관한 것이다.
포토리소그래피 공정에 사용되는 감광성 드라이 필름, LPR(Liquid photo resist), PSR(Photo sensitive resist)은 빛 또는 UV를 조사하면 경화되거나(Negative type), 용해되는(Positive type) 특성을 가지고 있다.
이러한 감광성 수지 조성물은 메탈에 회로를 형성하는 용도로 사용된다.
일반적으로 포토리소그래피 공정은 감광성 수지 조성물을 코팅 또는 인쇄한는 공정과, UV를 조사하는 노광 공정과, 선택적으로 경화 혹은 용해된 부분을 제거하는 현상 공정과, 제거된 부분에 존재하는 메탈을 에칭하는 에칭 공정 및 Resist 역할이 끝난 감광성 수지 조성물을 제거하는 박리 공정으로 이루어진다.
박리 공정은 박리액이 담긴 탱크에서 박리액을 펌프로 끌어올려 실제로 박리가 일어나는 박리존에 Dipping 또는 Spray 형태로 감광성 수지 조성물을 벗겨내는 형태로 이루어진다.
이렇게 벗겨진 박리 잔유물은 순환 공정이기 때문에 반드시 여과해야 한다.
박리 잔유물은 일반적으로 끈적 끈적하고 용해되지 않는 특성이 있기 때문에 벗겨진 후에 재순환하는 과정에서 여과가 되지 않으면 제품에 재부착하거나 필터를 막히게 하는 문제점이 있다.
이러한 문제점으로 인하여 여러가지 방법으로 박리 잔여물을 제거하는 방법이 사용되고 있다.
종래 기술은 박리액이 담긴 펌프에서 끌어올려져 박리에 실제적으로 사용된(잔여물이 함유된) 약품을 바로 박리 탱크로 순환시키지 않고, 여과 기능이 있는 회전형 드럼을 거쳐서 잔유물을 제거한 후, 박리 탱크로 박리액만을 보내어 연속 순환 작업이 이루어지도록 하는 방법이 사용되고 있다.
박리 잔여물은 회전형 드럼을 이용하여 여과하게 되는데 박리 잔여물을 제거하는 드럼의 메쉬가 쉽게 막히는 문제점이 발생한다.
이러한 문제로 인하여 종래 기술의 박리 잔여물 여과 공정은 주기적으로 인원이 배치되어 드럼을 교체하거나 세척해야 하므로 작업 시간이 오래 걸리고 작업 능률이 저하되는 문제점이 있었다.
따라서, 종래 기술의 박리 잔여물 여과 공정은 박리액의 소모가 클 뿐만 아니라 때때로 박리액이 외부로 넘치는 문제까지 발생되게 되며 이로 인하여 순환 공정으로 박리 탱크로 돌아가야 하는 박리액을 순환되지 못하게 막는다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 미세한 박리 잔여물이 메쉬망에 막히지 않도록 모터형 자동 회전 장치의 회전에 의해 박리액의 박리 잔여물을 제거하는 감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 특징에 따른 감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치는,
밀폐되어 일정한 공간을 형성한 본체(102)와, 본체(102)의 내부에 위치하여 박리액이 투입되는 경우, 박리액에 포함된 제1 박리 잔여물을 1차적으로 걸러주는 원통형의 제1 메쉬망(140)과 제1 메쉬망(140)의 외부를 감싸는 복수개의 구멍이 뚫린 회전 드럼(150)을 포함하고, 회전 드럼(150)의 좌우측 하단에 길이 방향의 봉의 형태로 위치하여 회전 드럼(150)을 고정 지지하는 구동기어가 설치된 제1 회전축(120)과 제2 회전축(130)이 형성되며, 제1 회전축(120) 또는 제2 회전축(130)에 연결되어 제1 회전축(120) 또는 제2 회전축(130)을 회동하는 제1 구동 모터(110)를 포함하는 상부 여과 장치(100); 상부 여과 장치(100)의 하부에 형성되어 제1 메쉬망(140)과 회전 드럼(150)을 거쳐 하부 방향으로 흘러내리는 박리액에 포함된 제2 박리 잔여물을 2차적으로 걸러주는 제2 메쉬망(220)―상기 제2 메쉬망(220)은 상기 제1 메쉬망(140)보다 촘촘하게 형성하여 크기가 미세한 박리 잔여물을 걸러줌―을 포함하는 하부 여과 장치(200); 및 하부 여과 장치(200)의 내부에 형성되어 제2 메쉬망(220)의 상부면과 밀착되어 회전하는 회전 부재(310)와, 회전 부재(310)의 중앙부에 형성된 홈에 삽입되는 길이 방향의 회전봉(320)과 회전봉(320)의 상부 끝단에 연결되어 회전봉(320)을 모터의 구동력으로 회전시키는 제2 구동 모터(350)를 포함하는 자동 회전 장치(300)를 제공한다.
본 발명의 특징에 따른 감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 방법은,
제1 박리 잔여물이 포함된 박리액을 원통형의 제1 메쉬망(140)과 제1 메쉬망(140)의 외부를 감싸는 복수개의 구멍이 뚫린 회전 드럼(150)으로 투입하는 단계; 제1 메쉬망(140)과 회전 드럼(150)이 회전하면서 박리 잔여물을 걸러주고 박리액을 제1 메쉬망(140)과 회전 드럼(150)을 통과하여 하부 방향으로 흘러 내리는 단계; 및 흘러 내린 박리액에 포함된 제2 박리 잔여물을 제2 메쉬망(220)―상기 제2 메쉬망(220)은 제1 메쉬망(140)보다 촘촘하게 형성하여 크기가 미세한 박리 잔여물을 걸러줌―에 의해 걸러주고 걸러진 박리액을 하부 방향으로 흘러서 박리액 탱크로 이송하는 단계를 포함하며, 제2 메쉬망(220)의 상부면과 밀착되어 회전하는 회전 부재(310)의 회전에 의해 제2 메쉬망(220)에 막힌 박리 잔여물을 제거한다.
전술한 구성에 의하여, 본 발명은 감광성 수지 조성물의 박리 공정 후에 발생되는 박리액의 박리 잔여물을 효과적으로 제거하여 박리액의 수명을 연장시킬 뿐 아니라, 제품상에 재부착을 방지한다.
본 발명은 박리액의 박리 잔여물을 연속적으로 여과가 될 뿐 아니라 박리액 순환이 효과적이기 때문에 무인 자동화 개념의 도입이 가능하다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 상부 여과 장치를 나타낸 분리 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 상부 여과 장치의 원통형 여과망과 회전 드럼의 회전 메카니즘을 나타낸 도면이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 연속 여과 장치를 위에서 본 모습을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 연속 여과 장치에서 상부 여과 장치의 분리된 모습과 하부 여과 장치의 결합된 모습을 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 연속 여과 장치를 측면 단면을 나타낸 측단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 하부 여과 장치와 자동 회전 장치가 결합된 모습을 나타낸 사시도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 하부 여과 장치와 자동 회전 장치가 분리된 모습을 나타낸 분리 사시도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 회전 부재를 나타낸 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 "..부", "..기", "..모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
포토리소그래피의 박리 공정은 박리액이 담긴 탱크에서 박리액을 펌프를 이용하여 끌어올려 박리가 일어나는 박리존에 Dipping 또는 Spray 형태로 감광성 수지 조성물을 벗겨내는 형태로 이루어진다.
본 발명은 박리 공정에서 박리에 실제로 사용된 박리 잔여물(감광성 수지 조성물)이 함유된 박리액을 박리액 탱크로 바로 순환시키지 않고 여과 기능이 있는 연속 여과 장치를 거쳐서 박리 잔여물이 제거된 박리액을 박리액 탱크로 보내어 연속 순환 작업이 이루어지는 기술이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 상부 여과 장치를 나타낸 분리 사시도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 상부 여과 장치의 원통형 여과망과 회전 드럼의 회전 메카니즘을 나타낸 도면이고, 도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 연속 여과 장치를 위에서 본 모습을 나타낸 도면이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 연속 여과 장치에서 상부 여과 장치의 분리된 모습과 하부 여과 장치의 결합된 모습을 나타낸 도면이고, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 연속 여과 장치를 측면 단면을 나타낸 측단면도이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 하부 여과 장치와 자동 회전 장치가 결합된 모습을 나타낸 사시도이고, 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 하부 여과 장치와 자동 회전 장치가 분리된 모습을 나타낸 분리 사시도이고, 도 10은 본 발명의 실시예에 따른 회전 부재를 나타낸 도면이다.
본 발명의 실시예에 따른 감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치는 상부 여과 장치(100), 하부 여과 장치(200), 자동 회전 장치(300) 및 저장부(400)를 포함한다.
상부 여과 장치(100)는 제1 구동 모터(110), 제1 회전축(120), 제2 회전축(130), 제1 체인 기어(122), 제2 체인 기어(124), 원통형 여과망(140), 회전 드럼(150), 드럼 회전축(160), 드럼 기어(162), 드럼 고정부(164) 및 본체 받침판(170)을 포함한다.
상부 여과 장치(100)는 밀폐되어 일정한 공간을 형성한 본체(102)의 측면 일측에 제1 구동 모터(110)가 설치되고, 본체(102)의 내부에 위치하여 여과하고자 하는 박리액이 투입되는 원통형 여과망(140)과 원통형 여과망(140)의 외부를 감싸는 형태의 회전 드럼(150)을 설치한다.
원통형 여과망(140)은 원통 테두리를 따라 낮은 메쉬(덜 촘촘한)의 망으로 형성되어 1차적으로 크기가 큰 박리 잔여물을 박리액에서 걸러준다.
회전 드럼(150)은 원통형 여과망(140)보다 직경이 큰 원통으로서, 원통형 여과망(140)을 둘러싸는 형태로 형성되어 원통 테두리를 따라 복수개의 구멍이 뚫려 있으며 원통형 여과망(140)을 거쳐 박리액이 통과되면 뚫린 구멍을 통해 하부 방향으로 박리액을 내려 보낸다.
회전 드럼(150)의 좌우측 하단에는 길이 방향의 봉의 형태인 제1 회전축(120)과 제2 회전축(130)이 설치되어 원통형 여과망(140)과 회전 드럼(150)을 지지 고정한다.
제1 회전축(120)과 제2 회전축(130)은 봉의 형태이므로 원통형 여과망(140)과 회전 드럼(150)을 회전시키며, 원통형 여과망(140)과 회전 드럼(150)의 회전시 함께 회전한다. 제1 회전축(120)의 일단은 제1 체인 기어(122)가 형성되고 제1 체인 기어(122)와 제1 구동 모터(110)가 콘베어벨트로 연결되어 있으며, 제1 회전축(120)의 타단은 제2 체인 기어(124)가 형성되어 있다.
제2 체인 기어(124)는 원통형 여과망(140)과 회전 드럼(150)이 동시에 회전할 수 있도록 원통형 여과망(140)과 회전 드럼(150)이 고정되는 드럼 회전축(160)의 드럼 기어(162)와 콘베어벨트로 연결되어 있다.
드럼 회전축(160)은 원통형 여과망(140)과 회전 드럼(150)의 후면과 직접적으로 연결되어 고정되는 드럼 고정부(164)를 포함하고, 드럼 기어(162)에 의해 원통형 여과망(140)과 회전 드럼(150)을 회전시킨다.
제1 구동 모터(110)에 의한 구동력은 제1 체인 기어(122)를 거쳐 제1 회전축(120)으로 전달되고 제1 회전축(120)의 제2 체인 기어(124)를 거쳐 드럼 회전축(160)의 드럼 기어(162)로 전달되며, 드럼 기어(162)가 드럼 회전축(160)을 구동하면 원통형 여과망(140)과 회전 드럼(150)을 회전한다.
이때, 제2 회전축(130)은 원통형 여과망(140)과 회전 드럼(150)을 지지하고 회전시 함께 회전하면서 회전력을 증가시키는 역할을 한다.
본체(102)는 내부 공간의 상부에 원통형 여과망(140)과 회전 드럼(150)을 배치하고, 본체(102)의 내부 바닥면에는 회전 드럼(150)으로부터 일정 거리 하부 방향으로 이격되어 본체 받침판(170)이 형성된다.
본체 받침판(170)은 원통형 여과망(140)과 회전 드럼(150)으로부터 이송된 박리액을 모아서 본체 바닥홈(172)을 통해 하부 여과 장치(200)로 흘려 보낸다.
여기서, 본체 받침판(170)은 박리액을 본체 바닥홈(172)으로 모을 수 있도록 좌우측과 본체 바닥홈(172)이 형성된 전면, 바닥면이 경사지게 형성되어 있다.
하부 여과 장치(200)는 상부가 개방되고 상부 여과 장치(100)로부터 1차적으로 여과된 박리액이 이송되어 모아지도록 밀폐되어 일정한 공간을 형성하며 박리액에 포함된 박리 잔여물을 2차적으로 걸러주는 고밀도 여과망(220)을 내부 바닥면에 형성한 여과부 본체(210)를 포함한다.
하부 여과 장치(200)는 모아진 박리액을 높은 메쉬의 망으로 형성된 평판 형태의 고밀도 여과망(220)을 거쳐 박리액 탱크로 보내진다.
고밀도 여과망(220)은 원통형 여과망(140)의 메쉬보다 촘촘한 메쉬망으로 형성되어 2차적으로 크기가 미세한 박리 잔여물을 박리액에서 걸러준다.
여과부 본체(210)는 개방된 상부의 사각 테두리의 상부 일측에 상부 여과 장치(100)의 본체(102)를 탑재한다.
자동 회전 장치(300)는 고밀도 여과망(220)이 박리 잔여물로 막히는 것을 자동으로 제거하는 장치이다.
자동 회전 장치(300)는 여과부 본체(210)의 중앙부에 위치하고 고밀도 여과망(220)의 상부면과 밀착되어 위치하는 고무 패킹(312)을 포함한 회전 부재(310)와, 회전 부재(310)의 중앙부에 형성된 홈에 삽입되어 고정되는 길이 방향의 회전봉(320)과, 회전봉(320)을 상부 여과 장치(100)의 본체(102)의 전면에 고정시키는 제1 고정부(330)와 제2 고정부(340) 및 회전봉(320)의 상부 끝단과 연결되어 회전봉(320)을 모터의 구동력으로 회전시키는 제2 구동 모터(350)를 포함한다.
회전 부재(310)는 길이 방향의 막대 형상의 금속 부재와 금속 부재의 하부면에 금속 부재의 길이에 대응되는 고무 패킹(312)이 형성된다.
금속 부재는 길이 방향의 회전봉(320)이 삽입되어 고정되도록 중앙부에 홈이 형성되고 고무 패킹(312)은 고밀도 여과망(220)의 상부면과 밀착되어 맞닿아 있다.
도 10에 도시된 바와 같이, 회전 부재(310)의 형태는 홈을 중심으로 상하좌우로 길이 방향의 금속 부재가 연장되고, 각각의 금속 부재의 일측 끝단과 이웃하는 금속 부재의 일측 끝단과 길이 방향의 금속 부재로 연결되어 있는 구조이다.
고무 패킹(312)은 각각의 금속 부재의 하부면에 형성할 수 있고 일부의 금속 부재의 하부면에 형성할 수도 있다.
회전 부재(310)는 금속 부재와 고무 패킹(312)의 이단 형태로 이루어져 있지만 이에 한정하지 않고 금속 또는 탄성 재질로 하나로 형성할 수도 있다.
회전 부재(310)의 형태는 막대 형상, 원형, 사각형 등 다양한 형태로 형성할 수 있다.
제2 구동 모터(350)에 의한 구동력은 회전 부재(310)를 회전시키고, 회전 부재(310)의 하부면에 고정된 고무 패킹(312)을 회전시킨다.
회전 부재(310)는 제2 구동 모터(350)의 구동력으로 계속 회전하면서 고밀도 여과망(220)에 막혀 있는 박리 잔여물을 제거하게 된다.
고밀도 여과망(220)은 회전 부재(310)에 의해 박리 잔여물이 제거되므로 메쉬망을 통해 박리액을 저장부(400)로 흘려 보낸다.
저장부(400)는 고밀도 여과망(220)에 박리 잔여물이 남아 있고 고밀도 여과망(220)을 통과한 박리액을 복수개의 구멍이 뚫려 있는 금속망(410)을 통해 모아서 박리액 탱크로 보낸다.
본 발명의 실시예의 고밀도 여과망(220)은 원통형 여과망(140)의 메쉬보다 촘촘한 메쉬망으로 형성되는 것으로 기재하고 있지만, 이에 한정하지 않고 원통형 여과망(140)과 동일한 메쉬망으로 구성할 수도 있다.
이상에서 설명한 본 발명의 실시예는 장치 및/또는 방법을 통해서만 구현이 되는 것은 아니며, 본 발명의 실시예의 구성에 대응하는 기능을 실현하기 위한 프로그램, 그 프로그램이 기록된 기록 매체 등을 통해 구현될 수도 있으며, 이러한 구현은 앞서 설명한 실시예의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야의 전문가라면 쉽게 구현할 수 있는 것이다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100: 상부 여과 장치
102: 본체
110: 제1 구동 모터
120: 제1 회전축
122: 제1 체인 기어
124: 제2 체인 기어
130: 제2 회전축
140: 원통형 여과망
150: 회전 드럼
160: 드럼 회전축
162: 드럼 기어
164: 드럼 고정부
170: 본체 받침판
172: 본체 바닥홈
200: 하부 여과 장치
210: 여과부 본체
220: 고밀도 여과망
300: 자동 회전 장치
310: 회전 부재
312: 고무 패킹
320: 회전봉
330: 제1 고정부
340: 제2 고정부
350: 제2 구동 모터
400: 저장부
410: 금속망

Claims (6)

  1. 밀폐되어 일정한 공간을 형성한 본체(102)와, 상기 본체(102)의 내부에 위치하여 박리액이 투입되는 경우, 상기 박리액에 포함된 제1 박리 잔여물을 1차적으로 걸러주는 원통형의 제1 메쉬망(140)과 상기 제1 메쉬망(140)의 외부를 감싸는 복수개의 구멍이 뚫린 회전 드럼(150)을 포함하고, 상기 회전 드럼(150)의 좌우측 하단에 길이 방향의 봉의 형태로 위치하여 상기 회전 드럼(150)을 고정 지지하는 구동기어가 설치된 제1 회전축(120)과 제2 회전축(130)이 형성되며, 상기 제1 회전축(120) 또는 제2 회전축(130)에 연결되어 상기 제1 회전축(120) 또는 제2 회전축(130)을 회동하는 제1 구동 모터(110)를 포함하는 상부 여과 장치(100);
    상기 상부 여과 장치(100)의 하부에 형성되어 상기 제1 메쉬망(140)과 회전 드럼(150)을 거쳐 하부 방향으로 흘러내리는 박리액에 포함된 제2 박리 잔여물을 2차적으로 걸러주는 제2 메쉬망(220)―상기 제2 메쉬망(220)은 상기 제1 메쉬망(140)보다 촘촘하게 형성하여 크기가 미세한 박리 잔여물을 걸러줌―을 포함하는 하부 여과 장치(200); 및
    상기 하부 여과 장치(200)의 내부에 형성되어 상기 제2 메쉬망(220)의 상부면과 밀착되어 회전하는 회전 부재(310)와, 상기 회전 부재(310)의 중앙부에 형성된 홈에 삽입되는 길이 방향의 회전봉(320)과 상기 회전봉(320)의 상부 끝단에 연결되어 상기 회전봉(320)을 모터의 구동력으로 회전시키는 제2 구동 모터(350)를 포함하는 자동 회전 장치(300)
    를 포함하는 감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 회전 부재(310)는 길이 방향의 막대 형상의 금속 부재와, 상기 금속 부재의 하부면에 상기 금속 부재의 길이에 대응되는 고무 패킹(312)이 형성되는 감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 하부 여과 장치(200)는 상부가 개방되고 사각형 형태로 밀폐되어 일정한 공간을 형성하여 상기 제2 메쉬망(220)이 내부 바닥면에 형성되며, 상기 개방된 상부의 사각 테두리의 상부 일측에 상기 상부 여과 장치(100)의 본체(102)를 탑재하며,
    상기 자동 회전 장치(300)는 상기 회전 부재(310)가 상기 하부 여과 장치(200)의 중앙부에 위치하고 상기 회전봉(320)을 상기 상부 여과 장치(100)의 본체(102)의 전면에 고정시키는 감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 상부 여과 장치(100)의 본체(102)는 내부 공간의 상부에 상기 제1 메쉬망(140)과 회전 드럼(150)을 배치하고, 상기 회전 드럼(150)으로부터 하부 방향으로 이격되어 본체 받침판(170)이 형성되며,
    상기 본체 받침판(170)은 일측에 형성된 본체 바닥홈(172)으로 박리액을 모으기 위해서 좌우측, 전면 및 바닥면을 경사지게 하는 감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 상부 여과 장치(100)의 본체(102)는 상기 하부 여과 장치(200)의 개방된 상부의 사각 테두리 중 중앙부를 기준으로 일측으로 쏠린 위치에 탑재되는 감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치.
  6. 제1 박리 잔여물이 포함된 박리액을 원통형의 제1 메쉬망(140)과 상기 제1 메쉬망(140)의 외부를 감싸는 복수개의 구멍이 뚫린 회전 드럼(150)으로 투입하는 단계;
    상기 제1 메쉬망(140)과 회전 드럼(150)이 회전하면서 상기 박리 잔여물을 걸러주고 상기 박리액을 상기 제1 메쉬망(140)과 회전 드럼(150)을 통과하여 하부 방향으로 흘러 내리는 단계; 및
    상기 흘러 내린 박리액에 포함된 제2 박리 잔여물을 제2 메쉬망(220)―상기 제2 메쉬망(220)은 상기 제1 메쉬망(140)보다 촘촘하게 형성하여 크기가 미세한 박리 잔여물을 걸러줌―에 의해 걸러주고 걸러진 박리액을 하부 방향으로 흘러서 박리액 탱크로 이송하는 단계를 포함하며,
    상기 제2 메쉬망(220)의 상부면과 밀착되어 회전하는 회전 부재(310)의 회전에 의해 상기 제2 메쉬망(220)에 막힌 박리 잔여물을 제거하는 감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 방법.
KR1020120112382A 2012-09-07 2012-10-10 감광성 수지 조성물의 박리 공정에서의 연속 여과 장치 및 방법 KR101333539B1 (ko)

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