KR101331653B1 - 관성센서 및 이의 폴링방법 - Google Patents

관성센서 및 이의 폴링방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 관성센서는 관성력을 검출하기 위해 변위가능하도록 지지된 구동부의 이동을 검출하기 위해 전극층이 형성되고 압전소자로 이루어진 센서부와, 상기 센서부와 전기적으로 연결된 IC와, 상기 센서부와 IC의 전기적 연결을 단속하기 위해 상기 센서부와 IC 사이에 연결된 스위치를 포함한다.

Description

관성센서 및 이의 폴링방법{Inertial Sensor and Polling Method using the same}
본 발명은 관성센서 및 이의 폴링방법에 관한 것이다.
최근 MEMS 기술을 이용한 소형 및 경량의 관성센서를 제작하기 용이해짐에 따라 기존의 시장을 넘어서 이동통신단말기를 포함한 가전제품으로 응용영역이 확대되고 있다. 그리고 센서의 기능 또한 지속적으로 발전됨에 따라, 하나의 센서로 하나의 축에 대한 관성력만 검출할 수 있는 단축센서에서, 하나의 센서로 2축 이상의 다축에 대한 관성력 검출이 가능한 다축센서인 관성센서로 그 기능이 진화하고 성능이 향상되고 있는 추세이다.
상기한 바와 같이 선행기술문헌을 포함한 종래기술에 따른 관성센서는 압전소자(piezo-electric element)를 이용한다. 상기 압전소자는 전압이 인가되면 변형이 발생하고 반대로 외부에서 힘이 인가되면 전하가 발생하는 특징으로 인해 각종 액츄에이터, 센서등에 다양하게 이용되고 있는 실정이다. 또한, 압전소자는 Aln, ZnO, quartz등 다양한 재료들이 있으나, 압전상수가 큰 PZT가 다양한 분야에서 많이 사용되고 있다.
그리고 압전소자는 그 특성을 향상시키기 위해 대부분 소자제조 후 동작되기 전에 폴링(poling)단계를 거치는데, 이는 온도와 전압을 인가하여 압전특성을 향상시키기 위한 것이다.
그러나, IC와 압전소자로 이루어진 센서부가 패키징되어 이루어짐에 따라, 상기 압전소자인 센서부를 폴링하기 위해 고전압을 인가할 경우, 상기 고전압이 IC에 가해져 IC의 손상이 발생되는 문제점을 지니고 있다.
KR 2010-0129217 A
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 관점은 압전소자로 이루어진 센서부와 IC의 전기적 연결을 단속하는 스위치를 포함하고, 상기 압전소자의 폴링시 상기 스위치를 OFF시킴에 따라 폴링시 고전압인가로 인한 IC의 손상을 방지할 수 있는 관성센서 및 그의 폴링방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 관성센서는 관성력을 검출하기 위해 변위가능하도록 지지된 구동부의 이동을 검출하기 위해 전극층이 형성되고 압전소자로 이루어진 센서부와, 상기 센서부와 전기적으로 연결된 IC와, 상기 센서부와 IC의 전기적 연결을 단속하기 위해 상기 센서부와 IC 사이에 연결된 스위치를 포함한다.
또한, 일실시예에 따른 관성센서의 상기 센서부는 상기 구동부를 진동시키기 위한 구동전극과 상기 구동부의 이동을 검출하는 감지전극을 포함하는 센서부 전극과, 센서부의 신호를 외부로 전송하고, 외부의 신호를 센서부에 전달하기 위해 IC와 전기적으로 연결된 센서부 패드와, 상기 센서부 전극과 상기 센서부 패드를 전기적으로 연결한 센서부 배선를 포함한다.
또한, 일실시예에 따른 관성센서는 외부의 전압을 센서부에 인가하기 위한 분극용 패키지 패드를 더 포함하고, 상기 센서부의 센서부 패드는 상기 분극용 패키지 패드에 전기적으로 연결된다.
또한, 일실시예에 따른 관성센서의 상기 IC는 상기 센서부와 전기적으로 연결된 센서측 IC패드와, 상기 IC의 신호를 외부로 전달하고, 외부의 신호를 IC에 전달하기 위한 입출력 ic패드를 포함한다.
또한, 일실시예에 따른 관성센서의 상기 센서측 IC패드는 상기 센서부의 센서부 패드에 전기적으로 연결된다.
또한, 일실시예에 따른 관성센서의 상기 스위치는 스위치의 제어를 위해 패키지 외부로부터 신호를 송수신하기 위한 패키지측 스위치 제어패드와, 상기 패키지측 스위치 제어패드와 연결된 스위치측 스위치 제어패드를 포함한다.
또한, 일실시예에 따른 관성센서는 상기 센서부와 전기적으로 연결되고, 상기 센서부의 폴링을 위해 패키지의 외부로부터 고전압을 인가받고, 상기 고전압을 상기 센서부에 전달하기 위한 분극용 패키지 패드를 더 포함한다.
또한, 일실시예에 따른 관성센서는 상기 IC에 전기적으로 연결되고 패키지 외부로부터 IC에 신호를 전달하고, IC의 신호를 패키지 외부로 전달하기 위한 입출력 패키지 패드를 더 포함한다.
본 발명에 따른 관성센서의 제1 실시예에 따른 폴링방법은 센서부와 IC 사이에 연결된 스위치의 ON/OFF 상태를 판단하는 스위치 상태 판단단계와, 상기 스위치가 ON상태인 경우 스위치 OFF신호를 인가하는 스위치 신호 인가단계와, 상기 센서부에 폴링을 위한 고전압을 인가하는 고전압 인가단계를 포함한다.
본 발명에 따른 관성센서의 제2 실시예에 따른 폴링방법은 패키지측 스위치 제어패드에 스위치 OFF 신호를 인가하는 스위치 OFF신호 인가단계와, 분극용 패키지 패드에 고전압을 인가하는 고전압 인가단계와, 상기 스위치를 ON 상태로 전환하는 스위치 ON 조작단계를 포함하고, 상기 스위치 ON 조작단계는 패키지측 스위치 제어패드에 스위치 ON신호를 인가한다.
본 발명에 따른 관성센서의 제3 실시예에 따른 폴링방법은 패키지측 스위치 제어패드에 스위치 OFF 신호를 인가하는 스위치 OFF신호 인가단계와, 분극용 패키지 패드에 고전압을 인가하는 고전압 인가단계와, 상기 스위치를 ON 상태로 전환하는 스위치 ON 조작단계를 포함하고, 상기 스위치 ON 조작단계는 패키지측 스위치 제어패드를 플로팅(floating)으로 유지한다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
본 발명은 압전소자로 이루어진 센서부와 IC의 전기적 연결을 단속하는 스위치를 포함하고, 상기 압전소자의 폴링시 상기 스위치를 OFF시킴에 따라 폴링시 고전압인가로 인한 IC의 손상을 방지할 수 있는 관성센서 및 그의 폴링방법을 제공하는 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 관성센서를 개략적으로 도시한 구성도.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 관성센서의 개략적으로 도시한 세부구성도.
도 3은 본 발명에 따른 관성센서를 이용한 제1 실시예에 따른 폴링방법을 개략적으로 도시한 순서도.
도 4는 본 발명에 따른 관성센서를 이용한 제2 실시예에 따른 폴링방법을 개략적으로 도시한 순서도.
도 5는 본 발명에 따른 관성센서를 이용한 제3 실시예에 따른 폴링방법을 개략적으로 도시한 순서도.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 관성센서를 개략적으로 도시한 구성도이다. 도시된 바와 같이, 도 1은 패키징된 관성센서를 도시한 것으로 센서부, 스위치 및 IC를 포함한다.
보다 구체적으로, 상기 센서부는 각속도 및 가속도인 관성력을 검출하기 위한 것으로서, 압전소자로 이루어지고 진동자를 진동시키고, 각속도의 영향에 따라 생기는 코리올리 힘을 검출하기 위해 전극층이 형성된다.
또한, 상기 IC는 상기 센서부와 전기적으로 연결되고, 상기 센서부의 신호 및 온도보상등을 위한 제어용 IC 또는 검출용 IC로 구현된다.
또한, 상기 스위치는 상기 센서부와 IC의 전기적 연결을 단속하기 위한 것이다. 보다 구체적으로, 상기 스위치는 상기 센서부의 폴링시 상기 센서부와 상기 IC의 전기적 연결을 단락시키기 위한 것이다. 도 1은 스위치가 패키지 내에 별도로 구비된 것을 도시한 것으로, 도 2와 같이 스위치가 IC내에 삽입되는 구조로 구현될 수 있다.
이와 같이 이루어짐에 따라, 압전소자인 상기 센서부의 폴링를 위해 고전압이 인가될 경우, 상기 스위치를 OFF시켜 IC로 고전압이 인가되지 않도록 차단함으로써 IC의 손상을 방지할 수 있게된다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 관성센서의 개략적으로 도시한 세부구성도이다. 도시한 바와 같이, 상기 관성센서는 센서부(100), IC(200) 및 스위치(300)를 포함한다.
보다 구체적으로, 상기 센서부(100)는 압전소자로 이루어지고, 센서부 전극(110), 센서부 배선(120) 및 센서부 패드(130)을 포함한다. 또한, 상기 센서부 전극(110)은 구동전극 및 감지전극을 포함한다.
그리고 상기 센서부(100)는 지지체에 의해 변위가능하도록 지지된 구동부를 포함하고, 상기 구동전극은 구동부를 진동시키기 위한 것이고, 상기 감지전극은 상기 구동부에 작용되는 소정방향의 힘을 검출하기 위한 것이다.
또한, 상기 센서부 패드(130)는 상기 IC(200)와 연결되어 센서부(100)의 신호를 외부로 전송하고, 외부의 신호를 센서부(100)로 전달하기 위한 것이다. 그리고 상기 센서부 패드(130)는 분극용 패키지 패드(410)와 전기적으로 연결되어 외부의 고전압을 센서부에 인가하기 위한 것이다.
이를 위해 상기 센서부 배선(120)은 상기 센서부 전극(110)와 센서부 패드(130)를 전기적으로 연결한다.
다음으로, 상기 IC(200)는 전술한 바와같이 상기 센서부(100)와 전기적으로 연결되고, 센서측 IC패드(210)와 입출력 IC패드(220)를 포함한다. 또한, 상기 IC(200)는 상기 센서부(110)의 신호 및 온도보상등을 위한 제어용 IC 또는 검출용 IC로 구현될 수 있다.
그리고 상기 센서측 IC패드(210)는 상기 센서부(100)의 센서부 패드(130)과 전기적으로 연결되고, 상기 센서부(100)에 신호를 전달하고, 센서부의 신호를 전달받기 위한 것이다.
그리고 상기 입출력 IC패드(220)는 상기 IC(200)의 신호를 외부로 전달하고, 외부의 신호를 IC(200)로 전달하기 위한 것이다. 이를 위해 상기 입출력 IC패드(220)는 입출력 패키지 패드(420)와 전기적으로 연결된다.
또한, 상기 스위치(300)는 전술한 바와 같이, 상기 센서부(100)와 IC(200)의 전기적 연결을 단속하기 위한 것이다.
보다 구체적으로, 상기 스위치(200)는 상기 센서부(100)의 폴링시 상기 센서부(100)와 상기 IC(200)의 전기적 연결을 단락시키기 위한 것이다.
이를 위해 상기 스위치(300)는 스위치 제어패드(310a,310b)를 포함한다. 그리고 상기 스위치 제어패드(310a,310b)는 패키지측 스위치 제어패드(310a)와 스위치측 스위치 제어패드(310b)로 이루어진다.
그리고 상기 패키지측 스위치 제어패드(310a)는 스위치(300)의 제어를 위해 패키지의 외부로 부터 신호를 전달받고, 스위치의 제어신호를 패키지 외부로 전달하기 위한 것으로, 상기 스위치측 스위치 제어패드(310b)에 전기적으로 연결된다.
또한, 상기 패키지측 스위치 제어패드(310a)는 제어신호를 인가하지 않고, 플로팅(floating)으로 두는 경우 ON되는 스위치를 이용할 수 있다.
또한, 상기 스위치측 스위치 제어패드(310b)는 상기 패키지측 스위치 제어패드(310a)의 신호를 전달받아 스위치(300)를 ON/OFF 하기 위한 것으로, 상기 패키지측 스위치 제어패드(310a)와 스위치(300)에 전기적으로 연결된다.
또한, 본 발명에 따른 관성센서는 분극용 패키지 패드(410)와 입출력 패키지 패드(420)를 더 포함하여 패키징된 관성센서로 이루어진다. 상기 분극용 패키지 패드(410)는 상기 센서부의 폴링을 위해 패키지 외부로 부터 고전압을 인가받고, 상기 고전압을 상기 센서부(100)에 전달하기 위한 것이다.
이를 위해 상기 분극용 패키지 패드(410)는 상기 센서부 패드((130)에 전기적으로 연결된다. 또한, 상기 센서부 패드(130)은 센서측 IC패드(210)와 전기적으로 연결됨에 따라 상기 분극용 패키지 패드(410)는 상기 센서측 IC패드(210)에도 전기적으로 연결된다.
그리고 상기 입출력 패키지 패드(420)는 패키지 외부로부터의 상기 IC(200)에 신호를 전달하고, IC(200)의 신호를 패키지 외부로 전달하기 위한 것이다. 이를 위해 상기 입출력 패키지 패드(420)는 상기 입출력 IC패드(220)와 전기적으로 연결된다.
이와 같이 이루어짐에 따라, 본 발명에 따른 관성센서는 센서부(100)의 폴링을 위해 상기 분극용 패키지 패드(410)에 고전압이 인가될 경우, 상기 스위치 제어패드(310a)에 스위치 OFF 신호가 인가되고, 상기 스위치측 스위치 제어패드(310b)에 스위치 OFF 신호가 인가되고, 상기 IC에 연결된 상기 스위치(300)는 OFF 된다.
그리고, 상기 분극용 패키지 패드(410)에 폴링을 위한 고전압이 인가되면, 인가된 고전압은 센서부 패드(130)에 인가되고, 센서부 패드(130)에 인가된 고전압은 센서부 배선(120)을 통해 센서부 전극(110)에 인가되어 분극된다.
그리고 상기한 바와 같이 폴링이 완료된 후 상기 스위치 제어패드(310a)에 스위치 ON 신호를 인가하며, 상기 스위치측 스위치 제어패드(310b)에 ON 신호가 인가되고, 상기 IC에 연결된 상기 스위치(300)는 ON 됨에 따라, 상기 센서부(100)와 상기 IC(200)은 센서측 IC패드(210) 및 센서부 패드(130)에 의해 전기적으로 연결된다.
또한, 상기 패키지측 스위치 제어패드(310a)는 제어신호를 인가하지 않고, 플로팅(floating)으로 두는 경우 ON되는 스위치를 이용할 경우, 폴링이 완료된 후 상기 스위치 제어패드(310a)를 플로팅으로 두면, 상기 IC에 연결된 상기 스위치(300)는 ON 됨에 따라, 상기 센서부(100)와 상기 IC(200)은 센서측 IC패드(210) 및 센서부 패드(130)에 의해 전기적으로 연결된다.
결국, 상기 스위치(200)에 의해 선택적으로 센서부(100)와 IC(300)를 전기적으로 연결시킴에 따라 폴링시 IC에 고전압이 가해짐에 따라 발생되는 IC의 손상을 방지할 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 관성센서를 이용한 제1 실시예에 따른 폴링방법을 개략적으로 도시한 순서도이다. 도시한 바와 같이, 폴링방법(S100)은 센서부와 IC사이에 연결된 스위치가 ON 상태인지 판단하는 스위치 상태 판단단계(S110)와, 스위치 신호 인가단계(S120)와 고전압 인가단계(S130)를 포함한다. 보다 구체적으로, 상기 스위치 상태 판단단계에서 스위치가 ON 상태인 경우, 스위치 신호 인가단계에서 스위치 OFF 신호를 인가한다. 그리고 고전압 인가단계에서 폴링을 위한 고전압을 인가한다.
한편, 스위치가 OFF상태 인 경우, 스위치 상태 판단단계(S110) 이후에, 고전압 인가단계에서 폴링을 위한 고전압을 인가한다.
도 4는 본 발명에 따른 관성센서를 이용한 제2 실시예에 따른 폴링방법을 개략적으로 도시한 순서도이다. 도시한 바와 같이, 상기 폴링방법(S200)은 패키지측 스위치 제어패드에 스위치 OFF 신호를 인가하는 OFF 신호 인가단계(S210)와, 분극용 패키지 패드에 고전압 인가단계(S220)와, 상기 스위치를 ON 상태로 전환하는 스위치 ON 조작단계인 패키지측 스위치 제어 패드에 스위치 ON 신호 인가단계(S230)를 포함한다.
보다 구체적으로, 상기 패키지측 스위치 제어패드에 스위치 OFF 신호를 인가한다. 이에 따라 센서부와 IC를 연결하는 스위치는 OFF된다. 그리고 분극용 패키지 패드에 고전압을 인가하면, 분극용 패키지 패드에 인가된 고전압은 센서부 패드로 인가되고, 센서부 배선을 통해 센서부 전극에 인가된다. 상기한 바와 같이 센서부의 폴링이 완료된 후 패키지측 스위치 제어패드에 스위치 ON신호를 인가하면, 센서부와 IC를 연결하는 스위치는 ON되고, 상기 센서부와 IC는 전기적으로 연결된다.
도 5는 본 발명에 따른 관성센서를 이용한 제3 실시예에 따른 폴링방법을 개략적으로 도시한 순서도이다. 도시한 바와 같이, 제3 실시예에 따른 폴링방법은 도 4에 도시한 제2 실시예에 따른 폴링방법과 비교하여 상기 스위치를 ON 상태로 전환하는 스위치 ON 조작단계만이 상이하다.
이를 위해, 상기 스위치를 제어신호를 인가하지 않고 플로팅(floating)으로 두는 경우 OFF되는 스위치를 이용한다.
즉, 상기 폴링방법(S300)은 패키지측 스위치 제어패드에 스위치 OFF 신호를 인가하는 OFF 신호 인가단계(S310)와, 분극용 패키지 패드에 고전압 인가단계(320)와, 패키지측 스위치 제어 패드를 플로팅으로 두는 플로팅유지단계 (S330)를 포함한다.
이에 따라, 상기 패키지측 스위치 제어패드에 스위치 OFF 신호를 인가하면, 센서부와 IC를 연결하는 스위치는 OFF된다. 그리고 분극용 패키지 패드에 고전압을 인가하면, 분극용 패키지 패드에 인가된 고전압은 센서부 패드로 인가되고, 센서부 배선을 통해 센서부 전극에 인가된다. 상기한 바와 같이 센서부의 폴링이 완료된 후 패키지측 스위치 제어 패드를 플로팅으로 두면 센서부와 IC를 연결하는 스위치는 ON 상태가 되고, 상기 센서부와 IC는 전기적으로 연결된다.
이와 같이 이루어짐에 따라, 압전소자인 상기 센서부의 폴링를 위해 고전압이 인가될 경우, 상기 스위치를 OFF시켜 IC로 고전압이 인가되지 않도록 차단함으로써 IC의 손상을 방지할 수 있게된다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
100: 센서부 110 : 센서부 전극
120 : 센서부 배선 130 : 센서부 패드
200 : IC 210 : 센서측 IC패드
220 : 입출력 IC패드 300 : 스위치
310a : 패키지측 스위치 제어패드 310b : 스위치측 스위치 제어패드
410 : 분극용 패키지 패드 420 : 입출력 패키지 패드

Claims (12)

  1. 관성력을 검출하기 위해 변위가능하도록 지지된 구동부의 이동을 검출하기 위해 전극층이 형성되고 압전소자로 이루어진 센서부;
    상기 센서부와 전기적으로 연결된 IC; 및
    상기 센서부와 IC의 전기적 연결을 단속하기 위해 상기 센서부와 IC 사이에 연결된 스위치를 포함하는 관성센서.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 센서부는
    상기 구동부를 진동시키기 위한 구동전극과 상기 구동부의 이동을 검출하는 감지전극을 포함하는 센서부 전극;
    센서부의 신호를 외부로 전송하고, 외부의 신호를 센서부에 전달하기 위해 IC와 전기적으로 연결된 센서부 패드; 및
    상기 센서부 전극과 상기 센서부 패드를 전기적으로 연결한 센서부 배선를 포함하는 것을 특징으로 하는 관성센서.
  3. 청구항 2에 있어서,
    외부의 전압을 센서부에 인가하기 위한 분극용 패키지 패드를 더 포함하고, 상기 센서부의 센서부 패드는 상기 분극용 패키지 패드에 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 관성센서.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 IC는
    상기 센서부와 전기적으로 연결된 센서측 IC패드; 및
    상기 IC의 신호를 외부로 전달하고, 외부의 신호를 IC에 전달하기 위한 입출력 ic패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 관성센서.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 센서측 IC패드는 상기 센서부의 센서부 패드에 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 관성센서.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 스위치는
    스위치의 제어를 위해 패키지 외부로부터 신호를 송수신하기 위한 패키지측 스위치 제어패드; 및
    상기 패키지측 스위치 제어패드와 연결된 스위치측 스위치 제어패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 관성센서.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 센서부와 전기적으로 연결되고, 상기 센서부의 폴링을 위해 패키지의 외부로부터 고전압을 인가받고, 상기 고전압을 상기 센서부에 전달하기 위한 분극용 패키지 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 관성센서.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 IC에 전기적으로 연결되고 패키지 외부로부터 IC에 신호를 전달하고, IC의 신호를 패키지 외부로 전달하기 위한 입출력 패키지 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 관성센서.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110080856A (ko) * 2010-01-07 2011-07-13 삼성전기주식회사 압전 소자의 폴링 장치 및 이를 이용한 폴링 방법

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5365768A (en) * 1989-07-20 1994-11-22 Hitachi, Ltd. Sensor
GB2381034B (en) * 2001-07-04 2005-02-16 John Phillip Chevalier Closure control apparatus comprising latch arrangement
EP2060871A3 (en) * 2007-11-19 2012-12-26 Hitachi Ltd. Inertial sensor
US20100206070A1 (en) * 2009-02-17 2010-08-19 Yung-Hung Chih Speed meter having pedometric function
KR101119283B1 (ko) * 2009-12-22 2012-06-05 삼성전기주식회사 관성 센서 및 그 제조 방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110080856A (ko) * 2010-01-07 2011-07-13 삼성전기주식회사 압전 소자의 폴링 장치 및 이를 이용한 폴링 방법

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