KR101327906B1 - 반도체 및 ｌｃｄ 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치 - Google Patents

반도체 및 ｌｃｄ 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 제조설비의 배기덕트를 통해 배출되는 부산물 및 수분 등이 응집되는 응집물을 저장하여 한번에 배출하므로 인해 응집물 배출에 따른 추가적인 비용 손실과 동력 손실을 방지할 수 있는 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치에 관한 것으로서, 반도체 및 LCD 제조공정에서 발생되는 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 유동되는 배기덕트와, 상기 배기덕트에서 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집되는 굴곡 및 절곡 부위 또는 연결부위에 설치되어 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물이 응집되며, 상기 응집물을 일측으로 이송시켜 하부로 배출시키는 스크류부와, 상기 스크류부의 일측 하단에 결합되어 상기 스크류부에서 하락되는 응집물을 저장하는 포집부와, 상기 스크류부와 포집부 간에 설치되어 상기 응집물의 유동을 차단하는 밸브와, 상기 포집부와 상기 밸브의 외측에 결합되어 상기 포집부와 상기 밸브를 결합 고정시키는 클램프를 포함한다.

Description

반도체 및 ＬＣＤ 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치{Apparatus for removal agglutinate for ventillation duct of semiconductor and liquid crystal display manufacturing equipment}
본 발명은 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 제조설비의 배기덕트를 통해 배출되는 부산물 및 수분 등이 응집되는 응집물을 저장하여 배출하는 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체소자는 반도체 칼럼을 형성하는 칼럼 형성 공정, 상기 칼럼을 절단하여 웨이퍼로 만드는 웨이퍼 형성 공정, 상기 웨이퍼를 마스킹하는 마스킹 공정, 상기 웨이퍼 상에 박막을 입히는 박막처리 공정, 도핑 및 식각 공정, 그리고 처리된 웨이퍼를 소자의 형태로 절단하는 절단공정과 같은 일련의 처리공정을 통해 제조된다.
상기 반도체소자 제조 공정이 진행되는 중에 0.01 ~ 50μm 크기의 미세분진 및 가스가 발생하게 되는데, 이러한 미세분진은 환경오염 문제를 야기하기 때문에 그 처리가 매우 중요한 사안으로서 대두되고 있다. 특히, 상기 반도체소자 제조 공정 중에 배출되는 가스는 발화성 및 폭발성이 강하며, 인체에 유해한 요소들을 함유하고 있기 때문에, 상기 미세분진의 처리와 아울러 유독성 배출가스의 처리문제가 반도체소자 제조 공정에 있어서 매우 중요하게 부각되고 있는 실정이다.
예컨대, 미합중국 특허 제 5,536,298호는 회전 브러쉬 및 필터를 채용하여 반도체소자 제조공정 중에 발생하는 분진 및 가스를 제거하는 장치를 개시하고 있다.
이러한, 분진 및 가스 제거장치는 가스 공급원에 연결되어 있는 챔버를 구비한다. 상기 챔버 내에는 모터에 연결되어 있는 회전 브러쉬가 설치되어 있으며, 상기 챔버의 상부 양측에는 필터가 설치되어 있는 한 쌍의 집진실이 형성된다. 상기 한쌍의 집진실은 각각 가스 밸브를 통해 배기덕트와 연통된다.
상기 배기덕트의 소정 위치에는 가스의 유동을 활성화시키기 위한 블로어(blower)가 설치되며, 상기 블로어의 하부에는 유해가스 처리 장치가 설치된다. 도면부호는 가스 중에 포함되어 있는 오일 및 수분을 처리하기 위한 폴리머 부재이다.
상기 구조의 분진 및 가스 제거 장치에서는, 가스 공급원을 통해 유입되는 가스 및 분진이 회전브러쉬의 회전에 의해 원심력을 부여받아 상기 챔버의 측벽을 향해 부세된다. 이때, 상기 가스에 포함되어 있던 액체들도 상기 측벽으로 부세된 후 중력에 의해 하향 이동하여 폴리머부재에 흡수되는데, 상기 분진들 중의 일부가 상기 액체에 흡수되어 폴리머부재로 흡수되므로 필터로 안내되는 분진의 양이 감소되게 된다.
상기 분진들은 집진실에 배치된 필터에 의해 추가로 여과되는데, 이때 필터로 안내되는 분진들의 양이 감소된 상태이므로 필터의 사용 수명이 연장될 수 있다.
상기 필터를 통과한 가스는 밸브 및 블로어를 통해 가스 처리 장치로 안내되는데, 상기 가스 처리 장치 산화, 환원, 중화, 흡수 등과 같은 화학적 처리 방식을 이용하여 유해가스를 제거한 후 정화된 가스를 배기덕트를 통해 외부로 배출한다.
그러나, 상기 가스 및 분진 처리 장치는 필터의 수명을 다소 연장시킬 수는 있지만, 필터에 눈막힘 현상이 발생할 경우에는 전체 장비를 해체하여 필터를 교체해주어야 한다는 문제가 존재한다.
관련 선행 기술로는 한국공개특허공보 제2000-0073514호가 있다.
본 발명은 반도체 제조설비의 배기덕트를 통해 배출되는 부산물 및 수분 등이 응집되는 응집물을 저장하여 한번에 배출하므로 인해 응집물 배출에 따른 추가적인 비용 손실과 동력 손실을 방지할 수 있는 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않는다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치는, 반도체 및 LCD 제조공정에서 발생되는 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 유동되는 배기덕트와, 상기 배기덕트에서 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집되는 굴곡 및 절곡 부위 또는 연결부위에 설치되어 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물이 응집되며, 상기 응집물을 일측으로 이송시켜 하부로 배출시키는 스크류부와, 상기 스크류부의 일측 하단에 결합되어 상기 스크류부에서 하락되는 응집물을 저장하는 포집부와, 상기 스크류부와 포집부 간에 설치되어 상기 응집물의 유동을 차단하는 밸브와, 상기 포집부와 상기 밸브의 외측에 결합되어 상기 포집부와 상기 밸브를 결합 고정시키는 클램프를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 스크류부는 상기 배기덕트 상에서 상기 응집물이 응집되는 위치에 설치되며, 상기 응집물을 하부에 설치되는 스크류를 통해 일측으로 이송시켜 상기 포집부로 배출할 수 있다.
상기 스크류부는 통 형상으로 형성되어 상기 배기덕트 상에 결합되고, 전면에 내부 점검창이 형성되어 내부 상태를 확인할 수 있으며, 상기 내부 점검창은 개방이 가능하도록 형성되어 상기 스크류부 내부에 적체되는 상기 응집물을 제거할 수 있도록 할 수 있다.
상기 포집부는 원통 또는 다각의 통 형상으로 형성되어 상면이 개구되고 하면이 폐쇄되며, 외주연에 내부 확인용 점검창이 형성되고, 하부에 이송이 가능하도록 이송부가 결합되며, 상측에 상기 밸브가 결합되어 상기 포집부를 개폐할 수 있다.
상기 포집부의 외주에는 배출장치가 결합되어 상기 포집부 내부의 응집물을 외부로 배출할 수 있다.
상기 포집부와 밸브 간에는 개스킷이 개재될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 배기덕트의 꺽여지거나 다른 배기덕트가 연결되는 응집위치에 스크류부가 설치되고, 스크류부의 일측 하부에 포집부가 연결되어 응집되는 응집물을 저장하여 배출할 수 있으므로, 배기덕트에 응집물이 적체되는 것을 방지하고, 응집된 응집물을 일정 주기에 포집부에 저장하여 응집물을 배출하므로 반도체 제조설비를 정지시키지 않은 상태로 배기덕트 내의 응집물을 제거할 수 있게 되므로 청소 인력과 이에 따른 금전 손실을 감소시킬 수 있으며, 필터등의 구성이 필요치 않게 되어 제조비용이 감소하는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치의 전체 구성을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 이물 포집장치에 배출관이 결합된 것을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 이물 포집장치의 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 어느 곳에서든지 동일한 부호로 표시한다. 또한 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치를 나타낸 도면으로서, 반도체 및 LCD 제조공정에서 발생되는 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 유동되는 배기덕트(10)와, 배기덕트(10)에 유동되는 반도체 및 LCD 제조공정에서 발생되는 분진과, 부산물, 수분 및 응고체 응집되는 위치인 굴곡부위 또는 연결부위에 설치되어 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집되는 응집물을 일측으로 이송시켜 하부로 배출시키는 스크류부(20)와, 스크류부(20)의 일측 하부에 결합되어 배출되는 응집물을 저장하는 포집부(30)와, 스크류부(20)와 포집부(30) 간에 설치되어 응집물을 유동을 차단하느 밸브(40)와, 밸브(40)와 포집부(30)를 결합시키도록 포집부(30)와 밸브(40)의 외주에 결합되는 클램프(60)를 포함한다.
상기 배기덕트(10)는 반도체 및 LCD 제조공정에서 발생되는 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 가스와 함께 유동된다.
이러한 상기 배기덕트(10)는 진행도중 꺽이거나 다른 배기덕트(10)와 연결되는 부위가 발생되는데 이러한 위치에는 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 적체되어 응집될 수 있다.
이로 인해 상기 배기덕트(10)가 막혀 분진과, 부산물, 수분, 응고체 및 가스가 제대로 유동될 수 없게 된다.
이렇게 상기 배기덕트(10)가 꺽여지거나 다른 배기덕트(10)와 연결되는 부위에 적체되는 분진과, 부산물, 수분 및 응고체를 외부로 배출하도록 스크류부(20)가 설치된다.
이러한 상기 스크류부(20)는 배기덕트(10) 상에 설치되어 배기덕트(10)에 적체되는 분진과, 부산물, 수분, 응고체가 응집되는 응집물을 일측으로 이송시켜 일측 하부에 결합되는 포집부(30)로 배출하게 된다.
상기 스크류부(20)는 배기덕트(10) 상에 결합되도록 통 형상으로 형성되어 하부에 길이방향을 따라 스크류(21)가 형성되고, 스크류부(20)의 전면에는 내부 점검창(22)이 형성되어 스크류부(20)의 내부를 확인할 수 있으며, 내부 점검창(22)을 개방하여 스크류부(20) 내부의 스크류(21)에 점착되어 응고될 수 있는 응집물을 제거할 수 있다.
상기 내부 점검창(22)에는 스크류부(20)의 내부를 확인 및 촬영할 수 있도록 점검구(25)가 형성되며, 이러한 점검구(25)는 개구된 형태로 형성되어 내부의 응집물이 외부로 토출되지 않도록 투명재질의 마개가 형성되며, 전면에 파손시 스크류부(20) 내부의 응집물 또는 스크류부(20)를 통과하는 가스가 배출되지 않도록 하는 차단체가 결합된다.
이러한 상기 차단체는 점검구(25)와 힌지로 결합된다.
상기 스크류(21)는 스크류부(20)의 외측 일단에 설치되는 모터(24)와 연결되어 모터(24)를 통해 작동된다.
이러한 상기 스크류부(20)는 배기덕트(10)에 응집되는 응집물을 스크류(21)를 작동시켜 스크류부(20)의 일측으로 이송시켜 포집부(30) 측으로 이송시키고, 이로 인해 응집물이 스크류부(20)의 일측에 형성된 배출구(23)를 통해 포집부(30)로 배출시킨다.
상기 스크류부(20)의 스크류(21)가 회전을 통해 응집물을 일측으로 이송시키는 과정에서 응집물이 스크류부(20)의 내벽이나 스크류(21)에 점착되어 응고될 수 있는데 이러한 응집물을 제거해야 응집물 배출 효과가 상승되므로, 내부 점검창(22)을 개방하여 스크류부(20) 내부의 응고된 응집물을 제거할 수 있다.
이렇게 상기 스크류부(20) 내부에 응고된 응집물을 제거할 수 있도록 내부 점검창(22)은 일측 또는 타측 또는 상측 방향으로 슬라이드 되어 개폐되도록 형성되거나, 내부 점검창(31)의 일측 또는 타측 또는 상측이 스크류부(20)의 외벽면에 힌지로 결합되어 개방되도록 형성될 수 있다.
상기 스크류부(20)의 스크류(21)는 스크류부(20)의 하부에 형성되어 스크류부(20)의 내부로 유입되는 응집물을 회전을 통해 일측으로 이송시켜 배출구(23)로 배출시킨다.
이러한 상기 스크류(21)가 설치되는 스크류부(20)의 하부는 스크류(21)가 설치되도록 하측으로 길이방향을 따라 돌출되는 스크류(21)홈이 형성되고, 스크류(21)홈에 스크류(21)가 삽입 설치될 수 있다.
상기 스크류부(20)의 일측 하부에 결합되는 포집부(30)는 원통형의 형상으로 형성되어 상부가 개구되고, 하부는 폐쇄되어 내부에 응집물이 저장될 수 있다.
이러한 상기 포집부(30)는 외주연에 내부를 관찰할 수 있는 점검창(31)이 형성되고, 하부에 포집부(30)를 이송시킬 수 있도록 이송부(50)가 결합된다.
상기 포집부(30)의 외주연 일측에는 포집부(30)에 저장되는 응집물의 양이 많을 경우 응집물을 외부로 배출시키는 배출관(91)이 형성되고, 배출관(91)과 연결되는 배출장치(90)를 통해 응집물이 강제 배출될 수 있다.
상기 이송부(50)는 바닥을 따라 이동되는 바퀴(53)와, 포집부(30)와 결합되는 결합부(51)와, 결합부(51)와 바퀴(53) 간에 설치되어 결합부(51)를 지지하는 지지부(52)로 구성된다.
상기 결합부(51)의 수직 방향 길이는 포집부(30)의 설치 높이에 따라 변경될 수 있다.
상기 이송부(50)에는 포집부(30)가 이동되지 않도록 고정되는 고정장치(54)가 설치된다.
상기 고정장치(54)는 바퀴(53)에 설치되어 바퀴(53)가 바닥에 고정되어 이송부(50)가 고정되도록 한다. 이로 인해 포집부(30)가 움직이지 않도록 고정되어 배기덕트(10)와 연결된 부위가 분리되지 않게 된다.
상기 스크류부(20)와 포집부(30) 사이에는 밸브(40)가 설치되는데 이러한 밸브(40)는 포집부(30)에 응집물이 많은 양 저장될 경우 밸브(40)를 차단하여 포집부(30)를 스크류부(20)와 분리하여 응집물을 포집부(30)에서 제거할 수 있도록 하기 위한 것이다.
상기 포집부(30)와 스크류부(20) 간에 설치되는 밸브(40)는 포집부(30)와 연결될 때 포집부(30)와 밸브(40)가 접촉되는 면에 형성되는 결합돌부(70)를 클램프(60)로 결합 고정시킨다. 이때, 상기 클램프(60)는 다수로 이루어지며, 다관절의 형상으로 형성되어 결합돌부(70)를 감싸며 결합된다.
이러한 상기 포집부(30)와 밸브(40)가 결합되는 결합돌부(70) 간에는 밀폐를 위한 개스킷(80)이 개재된다. 상기 개스킷(80)은 포집부(30) 내부 하측 대각선 방향으로 돌출 형성되는 역류방지판(81)이 형성된다. 이러한 상기 역류방지판(81)으로 인해 상기 스크류부(20)에서 배출되는 응집물이 포집부(30)의 바닥과 충돌후 비산될 때 포집부(30)의 상측으로 역류하지 않게 된다.
상기 결합돌부(70)는 개스킷(80)이 이탈되는 것을 방지하기 위하여 포집부(30)의 결합돌부(70)에는 결합돌기(71)가 형성되고, 밸브(40)의 결합돌부(70)에는 결합홈(72)이 형성되며, 개스킷(80)에는 포집부(30)의 결합돌부(70)와 접촉되는 면에 결합돌기(71)가 삽입되는 삽입홈(83)이 형성되고, 밸브(40)와 접촉되는 면에 밸브(40)의 결합돌부(70)에 형성된 결합홈(72)에 삽입되는 삽입부(82)가 형성된다.
상기 클램프(60)는 시중에서 일반적으로 사용되는 클램프(60)를 사용할 수 있다.
이러한 상기 클램프(60)는 상기와 같은 구성으로 한정되는 것이 아니라 필요에 따라 변형이 가능하다.
상기 밸브(40)는 통 형상으로 형성되는 몸체와 몸체 내부에 가로방향으로 설치되어 회전을 통해 몸체 내부의 통로를 개폐하는 개폐판(42)으로 구성된다.
상기 몸체는 길이방향 양단으로 다른 구성물인 포집부(30) 및 스크류부(20)와 결합될 수 있도록 결합돌부(70)가 외주연을 따라 형성된다.
그리고, 상기 개폐판(42)이 몸체 외부에 형성된 손잡이(41)의 회동으로 인해 수직방향과 수평 방향으로 회동되어 몸체의 통로를 개폐하게 된다.
이러한 구성으로 이루어지는 포집부(30)는 반도체 및 LCD 제조공정을 진행할 때 발생되는 분진과, 부산물, 수분 및 응고체 등이 배기덕트(10)의 꺽여지거나 다른 배기덕트(10)가 연결되는 위치에 설치된 스크류부(20)의 일측 하부에 설치되어 응집물이 스크류부(20)를 통해 일측으로 이송되어 배출되는 응집물이 저장된다.
이때, 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집되는 원리는 상기 배기덕트(10)가 꺽여지거나 다른 배기덕트(10)와 연결되는 부분에 가스가 정체되는 구간이 발생되는데 이러한 구간에서 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 서로 응집될 수 있다.
이렇게 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물은 배기덕트(10) 상의 꺽여지거나 다른 배기덕트(10)가 연결되는 위치에 스크류부(20)를 설치하고, 스크류부(20)의 일측 하부에 포집부(30)를 설치하여 응집되는 부산물을 포집부(30)에 저장하게 된다.
상기 응집물이 포집부(30)에 저장될 때 포집부(30)의 점검창(31)을 통해 응집물의 저장양을 확인한 뒤 일정양 이상 응집물이 포집부(30)에 저장되면 유동관과 포집부(30)와 호퍼에 연결되는 밸브(40)를 차단하여 응집물이 포집부(30)로 유입되지 않도록 한다.
그리고, 상기 포집부(30)와 밸브(40)를 결합 고정시키는 클램프(60)를 제거하여 포집부(30)와 밸브(40)를 분리시킨다.
그런뒤 포집부(30)와 결합된 이송부(50)의 고정장치(54)를 해제하여 이송부(50)를 통해 포집부(30)를 고정된 위치에서 이탈시켜 응집물을 포집부(30)에서 제거한다.
그런데, 반도체 및 LCD 제조공정에서 분진과, 부산물, 수분 및 응고체 등의 발생량이 많을 경우 응집되는 응집물을 제거하기 위하여 포집부(30)를 분리하는 횟수가 증가하게 되는 문제점이 발생된다.
이 때문에 포집부(30)의 외주연에 배출관(91)을 설치하여 외부의 배출장치(90)를 통해 포집부(30) 내부에 저장되는 응집물을 외부로 배출시키게 된다.
이와 같이 구성된 본 발명은 배기덕트의 꺽여지거나 다른 배기덕트가 연결되는 응집위치에 스크류부가 설치되고, 스크류부의 일측 하부에 포집부가 연결되어 응집되는 응집물을 저장하여 배출할 수 있으므로, 배기덕트에 응집물이 적체되는 것을 방지하고, 응집된 응집물을 일정 주기에 포집부에 저장하여 응집물을 배출하므로 반도체 제조설비를 정지시키지 않은 상태로 배기덕트 내의 응집물을 제거할 수 있게 되므로 청소 인력과 이에 따른 금전 손실을 감소시킬 수 있으며, 필터등의 구성이 필요치 않게 되어 제조비용이 감소하는 이점이 있다.
상기와 같은 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
10 : 배기덕트
20 : 스크류부 21 : 스크류
22 : 내부 점검창 23 : 배출구
24 : 모터 25 : 점검구
30 : 포집부 31 : 점검창
40 : 밸브 41 : 손잡이
42 : 개폐판
50 : 이송부 51 : 결합부
52 : 지지부 53 : 바퀴
54 : 고정장치
60 : 클램프
70 : 결합돌부 71 : 결합돌기
72 : 결합홈
80 : 개스킷 81 : 역류방지판
82 : 삽입부 83 : 삽입홈
90 : 배출장치 91 : 배출관

Claims (6)

  1. 반도체 및 LCD 제조공정에서 발생되는 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 유동되는 배기덕트;
    상기 배기덕트에서 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집되는 굴곡 및 절곡 부위 또는 연결부위에 설치되어 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물이 응집되며, 상기 응집물을 일측으로 이송시켜 하부로 배출시키는 스크류부;
    상기 스크류부의 일측 하단에 결합되어 상기 스크류부에서 하락되는 응집물을 저장하는 포집부;
    상기 스크류부와 포집부 간에 설치되어 상기 응집물의 유동을 차단하는 밸브; 및
    상기 포집부와 상기 밸브의 외측에 결합되어 상기 포집부와 상기 밸브를 결합 고정시키는 클램프;를 포함하고,
    상기 스크류부는 상기 배기덕트 상에서 상기 응집물이 응집되는 위치에 설치되며, 상기 응집물을 하부에 설치되는 스크류를 통해 일측으로 이송시켜 상기 포집부로 배출하는 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 스크류부는 통 형상으로 형성되어 상기 배기덕트 상에 결합되고, 전면에 내부 점검창이 형성되어 내부 상태를 확인할 수 있으며, 상기 내부 점검창은 개방이 가능하도록 형성되어 상기 스크류부 내부에 적체되는 상기 응집물을 제거할 수 있도록 하는 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 포집부는 원통 또는 다각의 통 형상으로 형성되어 상면이 개구되고 하면이 폐쇄되며, 외주연에 내부 확인용 점검창이 형성되고, 하부에 이송이 가능하도록 이송부가 결합되며, 상측에 상기 밸브가 결합되어 상기 포집부를 개폐하는 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 포집부의 외주에는 배출장치가 결합되어 상기 포집부 내부의 응집물을 외부로 배출하는 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 포집부와 밸브 간에는 개스킷이 개재되는 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치.
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