KR101838544B1 - 반도체 및 lcd 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치 - Google Patents

반도체 및 lcd 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 제조설비의 배기덕트를 통해 배출되는 부산물 및 수분 등이 응집되는 응집물을 저장하여 한번에 배출하므로 인해 응집물 배출에 따른 추가적인 비용 손실과 동력 손실을 방지할 수 있는 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치에 관한 것이다.
구체적으로는, 반도체 및 LCD 제조공정에서 발생되는 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 유동되는 배기덕트와,
상기 배기덕트 내에서 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집되는 굴곡 및 절곡 부위 또는 연결부위에 설치되어 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물이 응집되며, 상기 응집물을 배기덕트 저면으로 이송시켜 배출시키는 스크류부와,
상기 배기덕트가 지면으로부터 지지될 수 있도록 하고, 바퀴부와 연결되어 있는 지지대와,
상기 배기덕트의 저면에 연결되어 배기덕트의 측방향으로 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물을 배출하는 배출부를 포함하여 구성된다.

Description

반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치{Apparatus for removal agglutinate for ventillation duct of semiconductor and liquid crystal display manufacturing equipment}
본 발명은 반도체 제조설비의 배기덕트를 통해 배출되는 부산물 및 수분 등이 응집되는 응집물을 저장하여 한번에 배출하므로 인해 응집물 배출에 따른 추가적인 비용 손실과 동력 손실을 방지할 수 있는 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치에 관한 것이다.
구체적으로는, 반도체 및 LCD 제조공정에서 발생되는 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 유동되는 배기덕트와,
상기 배기덕트 내에서 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집되는 굴곡 및 절곡 부위 또는 연결부위에 설치되어 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물이 응집되며, 상기 응집물을 배기덕트 저면으로 이송시켜 배출시키는 스크류부와,
상기 배기덕트가 지면으로부터 지지될 수 있도록 하고, 바퀴부와 연결되어 있는 지지대와,
상기 배기덕트의 저면에 연결되어 배기덕트의 측방향으로 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물을 배출하는 배출부를 포함하여 구성된다.
일반적으로, 반도체소자는 반도체 칼럼을 형성하는 칼럼 형성 공정, 상기 칼럼을 절단하여 웨이퍼로 만드는 웨이퍼 형성 공정, 상기 웨이퍼를 마스킹하는 마스킹 공정, 상기 웨이퍼 상에 박막을 입히는 박막처리 공정, 도핑 및 식각 공정, 그리고 처리된 웨이퍼를 소자의 형태로 절단하는 절단공정과 같은 일련의 처리공정을 통해 제조된다.
상기 반도체소자 제조 공정이 진행되는 중에 0.01 ~ 50μm 크기의 미세분진 및 가스가 발생하게 되는데, 이러한 미세분진은 환경오염 문제를 야기하기 때문에 그 처리가 매우 중요한 사안으로서 대두되고 있다.
특히, 상기 반도체소자 제조 공정 중에 배출되는 가스는 발화성 및 폭발성이 강하며, 인체에 유해한 요소들을 함유하고 있기 때문에, 상기 미세분진의 처리와 아울러 유독성 배출가스의 처리문제가 반도체소자 제조 공정에 있어서 매우 중요하게 부각되고 있는 실정이다.
예컨대, 미국 등록특허공보 특허 제05536298호는 회전 브러쉬 및 필터를 채용하여 반도체소자 제조공정 중에 발생하는 분진 및 가스를 제거하는 장치를 개시하고 있다.
이러한, 분진 및 가스 제거장치는 가스 공급원에 연결되어 있는 챔버를 구비한다. 상기 챔버 내에는 모터에 연결되어 있는 회전 브러쉬가 설치되어 있으며, 상기 챔버의 상부 양측에는 필터가 설치되어 있는 한 쌍의 집진실이 형성된다.
상기 한쌍의 집진실은 각각 가스 밸브를 통해 배기덕트와 연통된다.
상기 배기덕트의 소정 위치에는 가스의 유동을 활성화시키기 위한 블로어(blower)가 설치되며, 상기 블로어의 하부에는 유해가스 처리 장치가 설치된다.
상기 구조의 분진 및 가스 제거 장치에서는, 가스 공급원을 통해 유입되는 가스 및 분진이 회전브러쉬의 회전에 의해 원심력을 부여받아 상기 챔버의 측벽을 향해 부세된다. 이때, 상기 가스에 포함되어 있던 액체들도 상기 측벽으로 부세된 후 중력에 의해 하향 이동하여 폴리머부재에 흡수되는데, 상기 분진들 중의 일부가 상기 액체에 흡수되어 폴리머부재로 흡수되므로 필터로 안내되는 분진의 양이 감소되게 된다.
상기 분진들은 집진실에 배치된 필터에 의해 추가로 여과되는데, 이때 필터로 안내되는 분진들의 양이 감소된 상태이므로 필터의 사용 수명이 연장될 수 있다. 상기 필터를 통과한 가스는 밸브 및 블로어를 통해 가스 처리 장치로 안내되는데, 상기 가스 처리 장치 산화, 환원, 중화, 흡수 등과 같은 화학적 처리 방식을 이용하여 유해가스를 제거한 후 정화된 가스를 배기덕트를 통해 외부로 배출한다.
그러나, 상기 가스 및 분진 처리 장치는 필터의 수명을 다소 연장시킬 수는 있지만, 필터에 눈막힘 현상이 발생할 경우에는 전체 장비를 해체하여 필터를 교체해주어야 한다는 문제가 존재한다.
관련 선행 기술로는 한국 공개특허공보 제10-2000-0073514호와 한국 등록특허공보 제10-0547555호가 있다.
이러한 문제점을 극복하기 위한 방안으로, 본 출원인은 한국 등록특허공보 제10-1327906호에서 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치를 출원하여 등록받은 바 있다.
상기 기술은, 반도체 제조설비의 배기덕트를 통해 배출되는 부산물 및 수분 등이 응집되는 응집물을 저장하여 한번에 배출하므로 인해 응집물 배출에 따른 추가적인 비용 손실과 동력 손실을 방지할 수 있는 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치에 관한 것이다.
이는 도 1과 유사하게 하부방향으로 응집물을 배출하는 구성을 갖고 있다.
그러나 본 출원인은, 상기 기술과 비교하여 다른 방향으로 응집물을 배출할 수 있는 구성을 새로 착안하게 되어 본 발명을 제안하기에 이르렀다.
미국 등록특허공보 특허 제05536298호(1996.07.16. 등록) 한국 공개특허공보 제10-2000-0073514호(2000.12.05.) 한국 등록특허공보 제10-0547555호(2006.03.23. 공고) 한국 등록특허공보 제10-1327906호(2013.11.13. 공고)
본 발명의 목적은, 반도체 제조설비의 배기덕트를 통해 배출되는 부산물 및 수분 등이 응집되는 응집물을 저장하여 한번에 배출하므로 인해 응집물 배출에 따른 추가적인 비용 손실과 동력 손실을 방지할 수 있는 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치를 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 안출된 것으로 본 발명에 따른 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치에 의하면,
반도체 및 LCD 제조공정에서 발생되는 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 유동되는 배기덕트와,
상기 배기덕트 내에서 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집되는 굴곡 및 절곡 부위 또는 연결부위에 설치되어 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물이 응집되며, 상기 응집물을 배기덕트 저면으로 이송시켜 배출시키는 스크류부와,
상기 배기덕트가 지면으로부터 지지될 수 있도록 하고, 바퀴부와 연결되어 있는 지지대와,
상기 배기덕트의 저면에 연결되어 배기덕트의 측방향으로 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물을 배출하는 배출부를 포함하여 구성되는 것을 기술적 특징으로 한다.
본 발명에 따른 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치에 의하면, 응집물을 저장하여 배출할 수 있으며, 배기덕트에 응집물이 적체되는 것을 방지하고, 응집된 응집물을 배기덕트의 저면에 저장하여 응집물을 배출하므로 반도체 제조설비를 정지시키지 않은 상태로 배기덕트 내의 응집물을 제거할 수 있게 되므로 청소 인력과 이에 따른 금전 손실을 감소시킬 수 있다.
도 1의 종래의 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치의 구성을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 3은 도 2의 A 및 B 영역의 확대도를 나타낸 것이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치에서 지지대의 구성을 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치에서 바퀴연결판의 구성을 나타낸 것이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 안되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 사항은 본 발명의 가장 바람직한 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 도면을 참조하여 설명하기에 앞서, 본 발명의 요지를 드러내기 위해서 필요하지 않은 사항 즉 통상의 지식을 가진 당업자가 자명하게 부가할 수 있는 공지 구성에 대해서는 도시하지 않거나, 구체적으로 기술하지 않았음을 밝혀둔다.
본 발명은 반도체 제조설비의 배기덕트를 통해 배출되는 부산물 및 수분 등이 응집되는 응집물을 저장하여 한번에 배출하므로 인해 응집물 배출에 따른 추가적인 비용 손실과 동력 손실을 방지할 수 있는 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치에 관한 것이다.
구체적으로는, 반도체 및 LCD 제조공정에서 발생되는 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 유동되는 배기덕트와,
상기 배기덕트 내에서 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집되는 굴곡 및 절곡 부위 또는 연결부위에 설치되어 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물이 응집되며, 상기 응집물을 배기덕트 저면으로 이송시켜 배출시키는 스크류부와,
상기 배기덕트가 지면으로부터 지지될 수 있도록 하고, 바퀴부와 연결되어 있는 지지대와,
상기 배기덕트의 저면에 연결되어 배기덕트의 측방향으로 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물을 배출하는 배출부를 포함하여 구성된다.
이러한 본 발명에 따른 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치를 설명하기 위한 도면을 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치의 구성을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 3은 도 2의 A 및 B 영역의 확대도를 나타낸 것이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치에서 지지대의 구성을 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치에서 바퀴연결판의 구성을 나타낸 것이다.
첨부된 도면의 도 2에 따른 본 발명에 의한 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치는, 주요하게, 배기덕트(10), 지지대(20), 바퀴부(30) 및 배출부(40)를 포함한다.
도 1과 비교하여 보면, 종래의 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치와 본 발명에 따른 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치의 차이점으로는 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물을 배출하는 배출부가 배기덕트(10)에 대하여 하부방향으로 구성되는 것이 아니라 측부방향으로 구성되는 것에 있다.
이에 따라. 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물이 지속적으로 누적됨에 따른 압력에 의해 배출부(40)의 파손을 야기하거나, 또는 응집물의 잔여물이 외부로 새는 것을 방지할 수 있도록 한다.
또한, 도 1과 도 2의 배기덕트(10)의 맨 상측을 보면 알 수 있듯이,
종래의 배기덕트(10)의 상측 플랜지(flange)는 D.C TYPE(더블클램프 타입)의 체결방식을 사용하였는데, 본 발명에 따른 배기덕트(10)의 상측 플랜지는 N.W TYPE(Norminal Width 타입)의 체결방식을 이용하여, 3단으로 구성되어 이어져 연결되거나 이격되는 클램프를 포함하도록 구성될 수 있다.
이때, N.W TYPE의 체결방식을 위하여 오링과 센터링을 더 포함할 수도 있을 것이다. 이는 당업자의 전문지식에 의한다.
배기덕트(10)는, 반도체 및 LCD 제조공정에서 발생되는 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 유동되는 구성으로서, 종래 다양한 기술(예를 들면, 등록특허공보 제10-1327906호)에 기재되어 있으므로 구체적인 설명은 생략한다.
이러한 배기덕트(10)에는 내부에 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물이 누적된 양을 시각적으로 확인할 수 있도록 투시판(11)이 구성될 수 있으며, 상기 투시판(11)이 구성된 배기덕트(10)의 일측면은 외부와 내부가 관통되도록 구성됨이 당연하다. 아울러, 도 2에서와 같이 투시판(11)의 외곽 측으로 볼트/너트 등의 체결수단을 이용하여 배기덕트(10)와 체결시킴으로써 고정이 가능하다.
이러한 배기덕트(10)의 내부에는 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집되는 굴곡 및 절곡 부위 또는 연결부위에 설치되어 상기 분진과, 부산물, 수분 및 응고체가 응집된 응집물이 응집되도록 하며,
아울러, 상기 응집물을 배기덕트 저면으로 이송시켜 배출시키는 스크류부가 구성될 수 있다. 이때 스크류부의 구성은 도면에 도시되지 않았으나, 특정대상을 이송시켜 배출시키는 역할을 위한 스크류부는 당업자에 의해 쉽게 도출될 수 있는 것이므로, 구체적인 설명은 생략한다.
이때, 배기덕트(10)는 그 저면(12)이 반구의 형태로 구성되어, 상기 응집물이 저면(12) 방향으로 이송되고 나면, 이후 배출부(40)를 통해 배출되기 쉽도록 모아지도록 할 수 있다.
또한, 배기덕트(10)는 외면 일측에 클린포트(13)가 형성될 수 있는데, 상기 클린포트(13)는 배기덕트(10)의 외면에서부터 외부방향으로 돌출된 내부가 비어있는 기둥 형태로 구성되고, 이 클린포트(13)와 배기덕트(10)가 연결되는 부위는 관통되어 있도록 구성된다.
이에 따라, 사용자는 클린포트(13)로 손을 넣어 배기덕트(10) 내부에 누적되는 응집물을 손으로 직접 꺼내 제거할 수 있는 장점이 있으며, 이로 인해 종래에는 응집물을 분해하는 공정이 반드시 요구되었는 반면, 클린포트(13)의 적용으로 인해 분해작업 없이 현장에서 사용자가 응집물을 제거할 수 있게 되는 이점이 있다.
이때, 클린포트(13)의 배기덕트(10)와 연결되는 일단의 반대측 일단에는 개폐되는 형태의 도어(도면에 미도시)가 형성될 수도 있다.
이때, 개폐되는 형태란, 본 발명의 출원시점에 있어서, 당업자의 기술적 수준에 의해 예측 가능한 모든 구성일 것이다.
지지대(20)는, 배기덕트(10)에 복수 개 연결되고, 다른 일단이 지면을 향하도록 구성됨으로써, 상기 배기덕트(10)가 지면으로부터 지지될 수 있도록 하는 역할을 한다.
이때, 지지대(20)의 개수는 다양하게 변경할 수 있으며, 이는 배기덕트(10)를 지면으로부터 안정적으로 지지할 수 있을 정도면 충분하다.
바퀴부(30)는, 지지대(20)의 지면방향으로 연장된 단부에 형성되어지며, 지면에 집적 닿는 구성으로서, 최종적으로 지지대(20)가 지면에 지지될 수 있도록 하는 역할을 한다.
이러한 바퀴부(30)는 바퀴(31)과 잠금장치(32)로 구성되어, 배기덕트(10)가 지면에 지지된 상태로 이동가능하도록 하는 한편, 잠금장치(32)를 통해 이동을 단속할 수도 있도록 한다.
다만, 바퀴(31)와 잠금장치(32)의 구성은 본 명세서에서 구체적으로 기재되지 않더라도, 당업자라면 충분히 예상할 수 있을 것이다.
배출부(40)는, 배기덕트(10)의 저면(12)에 연결되어, 상기 저면(12)에 모인 응집물을 외부로 배출하는 역할을 한다.
이를 위해 배출부(40)는, 배기덕트(10)의 저면(12)으로부터 상기 배기덕트(10)의 측부 방향으로 연장되도록 구성되며, 연장된 일측에 밸브(41)가 구성되고, 연장된 단부에 배출공(42)이 구성될 수 있다.
이때, 밸브(41)는 배출부(40)의 응집물 배출을 단속하기 위하여 개폐되는 밸브 구성으로서, 볼밸브, 전자식 밸브, 통상의 기계식 밸브 등 다양하게 구성될 수 있다.
배출공(42)은 배출부(40)의 연장된 단부를 개방시켜놓은 구성으로서, 밸브(41)가 개방되면 상기 응집물이 배출될 수 있도록 한다.
도 3을 참조하면,
배기덕트(10)의 저면(12)과, 상기 저면(12)을 제외한 배기덕트(10)의 나머지 영역과, 배출부(40)의 파이프 구성은,그 단부에 연결판이 구성되도록 하고, 각 단부의 연결판 2개가 볼트/너트 등의 체결수단을 통해 체결될 수 있도록 한다.
다만, 하기에서 바퀴연결판(201)이 기재될 것인데, 상기 바퀴연결판(201)은 구조의 설명을 위해 도면부호를 기재하면서 부호의 이름을 다르게 기재한 것일뿐, 위의 연결판들과 동일한 구조임을 이해할 수 있어야 한다.
한편, 상술된 본 발명에 따른 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치는, 응집물을 이송하여 배출하기 위하여 소정의 진동이 발생될 것이다.
이러한 진동이 배기덕트(10)를 통해 지지대(20)와 바퀴부(30)에 전달된다면, 아무리 바퀴부(30)의 바퀴(31)를 잠금장치(32)로 단속한다고 하더라도, 움직임을 완전히 방지할 수 없기 때문에, 진동을 흡수하여 절감할 수 있는 구조가 필요한 실정이다.
이를 위해, 본 발명의 다른 실시예 중, 도 4를 참조하면,
지지대(20)는, 배기덕트(10)로부터 소정의 각도만큼 기울어져 연장된 제1 지지대(21)와 상기 제1 지지대(21)에 연결되어 지면 방향으로 수직되게 연장된 제2 지지대(22)를 포함한다.
이때, 제2 지지대(22)의 일측은 측방향으로 관통된 관통홀(도면부호 미도시)이 형성되고, 이 관통홀의 양단에서 이의 높이방향으로 연장되어 관통홀을 막는 1쌍의 격벽(22a)이 형성된다.
그리고 1쌍의 격벽(22a) 내측으로는 스프링(22b)이 일단은 관통홀의 저면에 닿도록 위치되고, 이 스프링(22b)의 상측으로, 스프링(22b)의 다른 일단이 닿고 측벽이 상기 1쌍의 격벽(22a)의 내측면에 맞닿도록 진동소멸체(22c)가 위치된다.
따라서, 배기덕트(10)로부터 발생된 진동이 지지대(20)를 통해 전달되는 경우, 관통홀에 형성된 스프링(22b)을 따라 진동이 절단되어 스프링(22b)에 연결된 진동소멸체(22c)로 전달됨에 따라, 상기 진동소멸체(22c)는 진동을 인가받아 흔들리면서 점차적으로 인가된 진동을 공기 중으로 흘려보내어 약해짐에 따라 진동을 소멸시킬 수 있게 된다.
이는 진동소멸체(22c)가 스프링(22b)에만 연결되고, 1쌍의 격벽(22a)에 의해 지지됨에 따라 자유이동됨과 동시에 제한된 움직임을 가지므로 가능할 수 있다.
다른 한편, 도 5를 참조하는 실시예에서는,
지지대(20)와 바퀴부(30)를 연결하는 지지대(20) 측의 바퀴연결판(201)의 상측으로, 제1 판(202)과 축(203)과 제2 판(204)이 결합되어 'I'자 형태를 갖는 구성과, 이 구성에 스프링(205)이 삽입되도록 구성된 제2 진동소멸체가 복수 개로 일정 간격 이격되어 형성됨으로써,
스프링(205)을 통해 바퀴부(30)로 전달되는 진동을 흡수하여 외부 공기 중으로 방출시켜 소멸시킬 수 있다.
이때, 다른 실시형태로서 바퀴연결판의 크기에 대응되되, 중심측에 제2 지지대(22)의 크기보다 약간 큰 홀이 형성된 진동판을,
제2 지지대(22)에 상기 홀을 통해 삽입시킨 상태로, 복수 개의 제2 진동소멸체의 상측으로 위치시킴으로써, 진동을 더 흡수할 수 있도록 구성할 수도 있다.
이때, 상기 바퀴연결판(201)에는 볼트/너트 등의 체결수단을 도시하고 있지 않지만, 이는 다른 연결판 구성(도 3 참조)과 같이, 볼트/너트 등의 체결수단을 포함하고 있음을 이해할 수 있어야 한다.
상기에서 도면을 이용하여 서술한 것은, 본 발명의 주요 사항만을 서술한 것으로, 그 기술적 범위 내에서 다양한 설계가 가능한 만큼, 본 발명이 도면의 구성에 한정되는 것이 아님은 자명하다.
10 : 배기덕트
11 : 투시판
12 : 저면
13 : 클린포트
20 : 지지대
21 : 제1 지지대
22 : 제2 지지대
30 : 바퀴부
31 : 바퀴
32 : 잠금장치
40 : 배출부
41 : 밸브
42 : 배출공

Claims (2)

  1. 반도체 제조설비의 배기덕트를 통해 배출되는 부산물 및 수분 등이 응집되는 응집물을 저장하여 한번에 배출하므로 인해 응집물 배출에 따른 추가적인 비용 손실과 동력 손실을 방지할 수 있는 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치에 있어서,
    응집물이 유동되는 배기덕트와,
    상기 배기덕트 내에서 응집된 응집물을 배기덕트 저면으로 이송시켜 배출시키는 스크류부와,
    상기 배기덕트가 지면으로부터 지지될 수 있도록 하고, 바퀴부와 연결되어 있는 지지대와,
    상기 배기덕트의 저면에 연결되어 배기덕트의 측방향으로 상기 응집물을 배출하는 배출부와,
    상기 지지대와 바퀴부 사이에 구성된 바퀴연결판을 포함하되,
    상기 바퀴부는,
    상기 배기덕트와 지지대를 지면상에서 이송시키는 바퀴와,
    상기 바퀴의 이동을 단속하는 잠금장치로 구성되고,
    상기 배기덕트는,
    이의 일측면에 그 내부가 보이도록 하는 투시판이 형성되고,
    상기 지지대는,
    상기 배기덕트로부터 소정의 각도만큼 기울어져 연장된 제1 지지대와 상기 제1 지지대에 연결되어 지면 방향으로 수직되게 연장된 제2 지지대를 포함하며,
    상기 제2 지지대의 일측은 측방향으로 관통된 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀의 양단에서 이의 높이방향으로 연장되어 관통홀을 막는 1쌍의 격벽이 형성되고,
    상기 1쌍의 격벽 내측으로는 스프링(22b)이, 일단은 관통홀의 저면에 닿도록 위치되고, 다른 일단은 1쌍의 격벽의 내측면에 맞닿도록 구성된 진동소멸체에 닿도록 구성되며,
    상기 바퀴연결판은,
    이의 상측에 제1 판, 축 및 제2 판이 'I'자 형태로 결합되되, 축에 스프링(205)이 삽입되도록 구성된 제2 진동소멸체가 복수 개로 일정 간격 이격되어 형성됨으로써, 스프링(205)을 통해 바퀴부로 전달되는 진동을 흡수하여 소멸시키며,
    상기 바퀴연결판의 크기에 대응되되, 이의 중심에 제2 지지대의 크기보다 큰 홀이 형성된 진동판이, 이의 하측이 상기 바퀴연결판의 상측에 복수 개 형성된 제2 진동소멸체의 상측에 닿게 위치시키는 것을 특징으로 하는, 반도체 및 LCD 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치.
  2. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR200214697Y1 (ko) * 2000-08-31 2001-02-15 김회성 진동흡수가 가능한 카메라 삼각대
KR100575847B1 (ko) 2005-04-29 2006-05-03 이앙구 반도체 및 평판디스플레이 설비의 부산물 포집방법
KR101327906B1 (ko) * 2013-03-27 2013-11-13 주식회사 우진아이엔에스 반도체 및 ｌｃｄ 제조설비의 배기덕트용 응집물 제거장치

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