KR101317741B1 - 네트가 설치된 이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 네트가 설치된 이송장치는 롤러(22)와 대상물(10) 사이에 네트(30)가 설치되고, 상기 네트(30)가 공기 중의 부유되는 이물질과 전위차를 형성하여 상기 이물질을 집진할 수 있기 때문에, 롤러(22)를 통해 이동되는 상기 대상물(10)에 이물질이 부착되는 것을 방지하는 효과가 있다.

Description

네트가 설치된 이송장치{Transfer apparatus with net}
본 발명은 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유리기판 및 상기 유리기판을 이송시키는 롤러 사이에 메쉬 형태의 집진망을 설치하여 유리기판에 먼지가 부착되는 것을 방지하는 정전기 방지를 위한 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정유리기판에서 고착성 이물질이나 유기 이물질이 제거되지 않은 액정유리기판을 사용하는 경우, 액정유리기판을 사용한 노트북 모니터, PDP 등과 같은 제품의 품질이 저하되고, 상기 부착된 이물질 등에 의해 불량이 발생되는 문제점이 있다.
그래서 제조 프로세스 공정 중에는 유리기판 패널의 표면에 부착된 고착성 이물질 등을 먼저 제거하는 공정이 필수적이다.
여기서 종래에는 이와 같은 제거작업을 진행하기 위한 제거 장치가 제안되었다.
그런데 유리기판에 붙은 이물질을 제거하기 위해 이물질 제거장치를 사용하는 경우, 유리기판의 손상이 발생될 수 있을 뿐만 아니라 별도의 제거장치로 인해 원가 상승하는 문제점이 있다.
특히 종래 기술에서 유리기판을 이송하는 이송장치의 롤러는 테프론과 같은 합성수지가 사용되고, 상기 합성수지 롤러와 유리기판의 마찰로 인해 다량의 정전기가 발생되고, 상기 정전기로 인해 유리기판의 표면에 먼지와 같은 파티클이 부착되는 문제점이 있다.
또한 종래의 유리기판 이송장치는 롤러가 노후화되는 경우 합성수지 재질이 박리되어 이송되는 유리기판 표면에 부착되는 문제점이 있다.
한국 등록특허 10-1022019
본 발명은 유리기판 및 상기 유리기판을 이송시키는 롤러 사이에 메쉬 형태의 집진망을 설치하여 유리기판에 먼지가 부착되는 것을 방지하는 정전기 방지를 위한 이송장치를 제공하는데 목적이 있다.
본 발명의 일측면에 따른 이송장치는 대상물(10)의 하측을 지지하면서 상기 대상물(10)을 이동시키도록 롤러(22)가 배치된 롤러유닛(20); 상기 롤러(22) 및 대상물(10) 사이에 배치되는 금속재질의 네트(30)를 포함하고, 상기 네트(30)는 상기 롤러(22)의 일부가 관통되게 배치되는 롤러홀(32)이 형성된 이송장치를 제공한다.
상기 네트(30)는 공기 중에 부유되는 이물질과 전위차를 형성시켜 상기 이물질을 집진하기 위한 것으로서, 공기가 소통되도록 형성된 메쉬홀(34)과, 상기 롤러(22)가 관통되어 지는 상기 롤러홀(32)을 포함할 수 있고, 상기 네트(30)에는 접지선(31) 연결될 수 있다.
상기 네트는 상기 롤러홀(32)을 기준으로 양측으로 분리되게 제 1, 2 네트부로 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 네트가 설치된 이송장치는 롤러(22)와 대상물(10) 사이에 네트(30)가 설치되고, 상기 네트(30)가 공기 중의 부유되는 이물질과 전위차를 형성하여 상기 이물질을 집진할 수 있기 때문에, 롤러(22)를 통해 이동되는 상기 대상물(10)에 이물질이 부착되는 것을 방지하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 1 실시예에 따른 이송장치가 도시된 사시도
도 2는 도 1의 정면도
도 3은 도 1의 측면도
도 4는 도 1에 도시된 네트의 평면도
도 5는 본 발명의 2 실시예에 따른 네트가 도시된 평면도
도 6은 본 발명의 3 실시예에 따른 네트가 도시된 분해 사시도
도 7은 도 6에 도시된 네트의 평면도
도 8은 본 발명의 4 실시예에 따른 네트가 도시된 사시도
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 구체적으로 살펴보기로 한다.
다만, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 용어가 동일하더라도 표시하는 부분이 상이하면 도면 부호가 일치하지 않음을 미리 말해두는 바이다.
그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 설정된 용어들로서 이는 실험자 및 측정자와 같은 사용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있으므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가진 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
또한, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하, 도면을 참고로 본 발명의 구체적인 내용을 설명한다.
도 1은 본 발명의 1 실시예에 따른 이송장치가 도시된 사시도이고, 도 2는 도 1의 정면도이고, 도 3은 도 1의 측면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 네트의 평면도이다.
도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 이송장치는 대상물(10)의 하측을 지지하면서 상기 대상물(10)을 이동시키도록 롤러(22)가 배치된 롤러유닛(20)과, 상기 롤러(22) 및 대상물(10) 사이에 배치되는 금속재질의 네트(30)를 포함한다.
상기 대상물(10)은 유리기판 등을 예로 들 수 있다.
상기 롤러유닛(20)은 상기 대상물(10)의 하측을 지지하고 회전되면서 상기 대상물(10)을 이동시키는 상기 롤러(22)와, 상기 롤러(22)에 결합되어 상기 롤러(22)를 회전시키는 구동축(24)과, 상기 구동축(24)과 연결되어 상기 구동축(24)에 구동력을 공급하는 구동장치(미도시)를 포함한다.
미도시된 상기 구동장치는 모터에서 생성되는 회전력을 동력전달부품을 통해 상기 구동축(24)을 회전시키고, 상기 구동축(24)에 고정된 복수개의 롤러(22)는 상기 구동축(24)의 회전에 의해 동시에 회전된다.
상기 네트(30)는 공기 중의 먼지와 같은 이물질을 집진하여 상기 대상물(10)에 이물질이 부착되는 것을 방지하기 위한 것으로서, 공기가 소통되도록 메쉬홀(34)이 형성된 메쉬형태로 형성되고, 상기 롤러(22)가 관통되는 롤러홀(32)을 포함한다.
상기 롤러홀(32)은 상기 대상물(10)과 접촉되는 상기 롤러(22)의 상단이 삽입되기 위한 것으로서, 상기 롤러(22)의 삽입 시 상기 네트(30)와 접촉되진 않는다. 다만, 상기 롤러(22)에서 분리되는 이물질 등을 집진하기 위해 상기 롤러(22)와 근접하게 배치되는 것이 바람직하다.
상기 네트(30)는 상기 대상물(10)의 하측에 소정간격 이격되어 배치되고, 이를 통해 상기 대상물(10)의 하측면에 부착될 가능성이 있는 이물질을 집진하게 된다.
상기 네트(30)는 공기 중에 부유 중인 이물질과 전위차를 형성시키기 위해 접지선(31)을 통해 접지된다.
여기서 상기 이송장치의 표면에는 부식을 방지하기 위한 코팅이 실시된다. 즉 상기 이송장치는 반도체 제조라인 또는 평판디스플레이 제조 라인과 같이 부식성이 높은 가스가 사용되는 환경에서 상기 대상물(10)을 이송시켜야 하기 때문에, 표면에 닉스 코팅을 실시하여 부식을 방지하고 이를 통해 내구성을 향상시킨다.
상기 닉스코팅(NIX Coating)(또는, 다이머(dimer))은 CVD 진공 증착에 의해 실시된다. 여기서 상기 닉스 코팅에 사용되는 다이머는, 패럴린 N(poly(Para-Xylene)), 패럴린 C(poly(Chloro-Para-Xylylene)), 패럴린 D(poly(Di-Chloro-Para-Xylylene)) 및, 패럴린 F(poly(tetrafluoro-[2,2]para-Xylylene)) 등 중에서 적어도 하나의 다이머를 사용할 수 있다. 또한, 상기 닉스 코팅에 의해 형성되는 닉스 코팅층(또는, 닉스 코팅막)의 두께는, 약 1 ㎛ ~ 70 ㎛ 범위일 수 있다.
여기서 고체상 다이머를 증발기(vaporizer)(미도시) 내에 장착하고, 압력을 미리 설정된 레벨(예를 들어, 약 1 Torr)로 조절하고 미리 설정된 온도(예를 들어, 170℃ ~ 200℃)로 가열하면, 상기 고체상 다이머가 기화되어 다이머 가스가 발생한다. 이후, 상기 기화된 다이머 가스는, 650℃ ~ 700℃로 유지되고 압력이 0.5 Torr로 조절된 열분해기(pyrolysis)(미도시)에 통과시켜 모노머(monomer)로 분해한다. 이후, 상기 열분해된 모노머는, 상온에서 10 mTorr ~ 100 mTorr 압력으로 조절된 상기 CVD 챔버에서 대상물의 표면에 고분자 상태로 증착(또는, 적층/축합)하여, 닉스 코팅층(또는, 닉스 코팅/닉스 고분자/닉스 코팅막)을 형성한다.
상기 닉스 고분자(또는, 패럴린 고분자)는, 상온 또는 진공 중에서 코팅이 이루어지므로, 열적 스트레스로 인한 모재의 변형을 방지하고, 핀홀 없이 모재의 측면뿐만 아니라 미세한 요철 부분까지 균일하게 코팅할 수 있다. 또한, 상기 닉스 코팅에 의해, 내화학성, 내열성 및, 내수성 등을 향상시킬 수 있다.
여기서 상기 닉스코팅의 대상물은 비금속계 재질 또는 금속계 재질을 사용 살 수 있고, 상기 비금속계 재질은, 유리, 세라믹, 아크릴, 테프론 및, PVC 등일 예로 들 수 있으며, 상기 금속계 재질은, 알루미늄, 스테인리스 스틸을 예로 들 수 있다.
상기 닉스코팅은 금속재질로 형성되어 공기 중의 이물질을 집진시켜야 하는 상기 네트(30)에는 반드시 실시되어야 하고, 상기 롤러유닛(20) 중 금속재질로 형성된 부품에도 실시되어야 한다.
그리고 상기 네트(30)는 상기 대상물(10)의 이동방향으로 길게 연장되어 형성되고, 본 실시예와 달리 여러 부분으로 나뉘어 배치되어도 무방하다.
특히 상기 네트(30)에는 집진 성능을 향상시키기 위해 인위적으로 전압을 걸어서 집진되는 이물질과 전위차를 크게 형성시켜도 무방하다.
도 5는 본 발명의 2 실시예에 따른 네트가 도시된 평면도이다.
도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 상기 네트(30)의 메쉬홀(36)은 원형으로 형성되고, 상기 네트(30)에 상기 메쉬홀(36)이 다수개 배열된다.
이 경우 상기 네트(30)의 표면적이 넓게 형성되기 때문에, 집진면적이 넓어서 더 많은 양의 이물질을 집진할 수 있는 효과가 있다.
이하 나머지 구성은 상기 1 실시예와 동일하기 때문에 상세한 설명을 생략한다.
도 6은 본 발명의 3 실시예에 따른 네트가 도시된 분해 사시도이고, 도 7은 도 6에 도시된 네트의 평면도이다.
도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 네트(130)는 롤러홀(32)을 기준으로 양측으로 분리가능하게 제작되고, 이를 통해 네트(130)의 교체가 용이하도록 구성된다.
이를 위해 상기 네트(130)는 롤러홀(32)의 일부가 형성되고 결합 시 완전한 롤러홀(32)을 형성시키는 제 1, 2 네트부(35a)(35b)와, 상기 제 1, 2 네트부(35a)(35b)를 결합시키는 결합부재(40)를 포함한다.
상기 결합부재(40)는 제 1, 2 네트부(35a)(35b)의 상측 및 하측에 배치되어 상기 제 1, 2 네트부(35a)(35b)에 각각 겹쳐지는 제 1, 2 결합판(42)(44)과, 상기 결합판(42)(44)을 결합시키는 체결수단(45)을 포함한다.
상기 제 1, 2 결합판(42)(44)은 상기 제 1, 2 네트부(35a)(35b)에 겹쳐지게 배치된 후 상기 체결수단(45)인 볼트/너트를 통해 고정되어 상기 제 1, 2 네트부(35a)(35b)를 고정시킨다.
이와 같이 구성된 네트(130)는 상기 롤러유닛(20)을 분해하거나 정지시키지 않고도 상기 네트(130)만을 분리할 수 있고, 이를 통해 집진된 이물질을 용이하게 제거할 수 있는 효과가 있다.
이하 나머지 구성은 상기 1 실시예와 동일하기 때문에 상세한 설명을 생략한다.
도 8은 본 발명의 4 실시예에 따른 네트가 도시된 사시도이다.
도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 네트(230)는 상기 1 실시예와 달리 가장자리에 테두리프레임(232)이 배치되고, 상기 테두리프레임(232)에 접지면(233)이 형성되며, 상기 접지면(233)에 접지선(31)이 연결된다.
이와 같이 테두리프레임(232)에 접지면(233)을 구성하는 경우, 접지가 용이하지 않은 구조 또는 위치에서 간편하게 접지선(31)을 연결시킬 수 있는 효과가 있다.
특히 상기 접지면(233)은 본 실시예와 달리 원형, 사각형, 삼각형 등 다양한 형태로 구성할 수 있고, 접지의 형태 또한 점접지, 선접지, 면접지 등 다양하게 구현할 수 있다.
이하 나머지 구성은 상기 1 실시예와 동일하기 때문에 상세한 설명을 생략한다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 대상물 20 : 롤러유닛
22 : 롤러 24 : 구동축
30 : 네트 32 : 롤러홀
34 : 메쉬홀

Claims (4)

  1. 대상물(10)의 하측을 지지하면서 상기 대상물(10)을 이동시키도록 롤러(22)가 배치된 롤러유닛(20);
    상기 롤러(22) 및 대상물(10) 사이에 배치되는 금속재질의 네트(30)를 포함하고,
    상기 네트(30)는 공기 중에 부유되는 이물질과 전위차를 형성시켜 상기 이물질을 집진하기 위한 것으로서, 공기가 소통되도록 형성된 메쉬홀(34)과, 상기 롤러(22)가 관통되는 롤러홀(32)을 포함하는 이송장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 네트(30)에는 접지선(31) 연결된 이송장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 네트는 상기 롤러홀(32)을 기준으로 양측으로 분리되게 제 1, 2 네트부로 구성된 이송장치.
KR1020130055182A 2013-05-15 2013-05-15 네트가 설치된 이송장치 KR101317741B1 (ko)

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