KR20130082234A - 자성체를 포함하는 플렉시블 기판 및 이를 사용한 플렉시블 디스플레이의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 자성체를 포함하는 플렉시블(flexible) 기판 및 이를 사용한 플렉시블 디스플레이의 제조방법에 관한 것으로서, 상기한 본 발명의 플렉시블 디스플레이의 제조방법은, 플렉시블 디스플레이 제조공정에 있어서, 상기 공정은: 자성체를 포함하는 코팅층을 가지는 플렉시블 기판을 준비하는 단계; 플렉시블 기판과 캐리어 기판을 고정하는 단계; 및 상기 제공되어 진 기판에서 플렉시블 기판 상에 박막 트랜지스터(TFT)를 형성하고 캐리어 기판과 플렉시블 기판을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 플렉시블 디스플레이의 제조방법은 자성체를 포함하는 플렉시블 기판을 이용하므로, 종래의 점착제를 이용한 유리기판과 플라스틱 기판의 점착 또는 접착 공정 및 캐리어 기판의 탈착 공정이 제거되어 제조공정이 단축되고, 또한 점착층이나 접착층을 제거하는 공정 중에 발생되어 지는 여러 가지 불량의 가능성을 사전에 차단함으로써 제조비용을 줄일 수 있고, 제품의 생산성 및 수율을 향상시킬 수 있다.

Description

자성체를 포함하는 플렉시블 기판 및 이를 사용한 플렉시블 디스플레이의 제조방법{Flexible substrate comprising a magnetic substance and the preparing process of a flexible display using the same}
본 발명은 자성체를 포함하는 플렉시블(flexible) 기판 및 이를 사용한 플렉시블 디스플레이의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 플렉시블 기판에 자성체를 포함하는 코팅층을 형성하는 단계에 의해 자성체를 포함하는 플렉시블 기판을 제공하고 이를 사용하여 플렉시블 디스플레이를 제조하므로 기판 반송기술에 있어서 종래의 점착공정 등의 제조공정을 줄일 수 있어 플렉시블 제품의 양산성을 확보할 수 있을 뿐 아니라 종래의 문제점을 해소한 자성체를 포함하는 플렉시블 기판 및 이를 사용한 플렉시블 디스플레이의 제조방법에 관한 것이다.
플라스틱 표시소자(plastic Display)는 두께가 얇은 필름 형태의 플라스틱 기판(plastic substrate)을 사용하는 플렉시블 디스플레이로서, 유리 기판을 사용하는 기존의 유리 액정표시소자에 비하여 더 얇고 더 가볍고 외곽 디자인이 자유로우며 깨지지 않을 뿐 아니라 유연한 성질을 가지는 대표적인 차세대 디스플레이 중의 하나이다.
이와 같은 플렉시블 디스플레이에 사용되는 플라스틱 기판은 전술된 바와 같은 얇은 필름 형태를 갖기 때문에, 제조 공정에서 플라스틱 기판을 용이하게 취급할 수 있도록 트레이(tray) 혹은 캐리어 기판을 사용한다. 즉, 플라스틱 기판은 판 형태의 트레이 위에 고정된 상태로 취급된다. 이때 트레이 위에 플라스틱 기판을 고정하는 방법으로 트레이와 플라스틱 기판의 계면에 접착제나 점착제를 도포하여 트레이에 플라스틱 기판을 고정한다. 그런데, 접착제를 사용할 경우에는 트레이와 플라스틱 기판 간의 접착력에 의해 트레이에서 플라스틱 기판을 분리하는 과정에서 플라스틱 기판이 잘 떨어지지 않거나 변형되는 문제가 발생될 수 있다. 그리고 점착제를 사용할 경우에도 접착제에 비해서 트레이에서 플라스틱 기판을 쉽게 분리할 수 있지만, 트레이와 플라스틱 기판 사이에 기포가 존재할 수 있고, 이 기포는 플라스틱 기판을 열처리하는 과정에서 팽창하여 플라스틱 기판이 변형되거나 들뜨는 현상이 될 수 있다.
이와 같은 플라스틱 기판이 변형되거나 트레이에서 들뜨는 현상이 발생될 경우, 플라스틱 기판의 위치 정렬이 필요한 후속 공정에서 정확한 정렬이 힘들기 때문에 정밀한 작업을 수행하는 데 한계가 있어 제조되는 플렉시블 디스플레이의 신뢰성을 떨어뜨릴 수 있다. 또한, 트레이에 플라스틱 기판이 완전히 밀착되지 않으면 이송 중에 플라스틱 기판이 트레이에서 떨어져 나가는 문제가 발생될 수도 있다.
일반적인 표시장치는 전압이 인가되는 한 쌍의 전극을 콜로이드 용액에 담그면 콜로이드 입자가 어느 한쪽의 극성으로 이동하는 현상을 이용한 화상표시장치로서, 백라이트를 사용하지 않으며, 넓은 시야각, 높은 반사율, 읽기 쉬움 및 저소비전력 등의 특성을 갖는바, 전기종이(electric paper)로서 각광받을 것으로 기대된다. 이와 같은 전기종이와 같은 표시장치는 2개의 전극 사이에 전기 영동체가 개재된 구조를 가지며, 2개의 전극 중 하나 이상은 투명하여야 이미지를 표시할 수 있다. 이들 전극에 걸쳐 전위를 인가할 경우 전기 영동체 내의 대전입자가 한 전극 또는 다른 하나의 전극으로 이동하는데, 이것에 의해 뷰잉 시트(biewing sheet) 또는 대향 전극을 통하여 이미지를 볼 수 있다.
더우기, 위와 같은 전기종이와 같은 표시장치는 플렉시블(flexible)해야 되는데, 이러한 플렉시블 표시장치를 구현하기 위해서는 플라스틱 기판 또는 얇은 금속 포일(metal foil)과 같은 유연한 기판을 사용해야 한다.
상기한 플렉시블 표시장치의 제조방법에 대해서는 다양하게 제안되어 있는데, 예를 들어 대한민국 특허공개공보 제2010-0051499호는 "캐리어 기판을 제공하는 단계; 상기 캐리어 기판상에 용해 폴리머 재료를 이용하여 용해 코팅막을 형성하는 단계; 상기 용해 코팅막 상에 표시소자층을 형성하는 단계; 및 상기 캐리어 기판을 제거하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치 제조방법"을 개시하고 있으며, 플라스틱 기판용 트레이에 대해서는 대한민국 특허공개공보 제2011-0108138호에서 "플렉서블 디스플레이의 플라스틱 기판용 트레이로서, 플라스틱 기판이 탑재되는 판 형상의 트레이 몸체; 상기 트레이 몸체에 탑재될 상기 플라스틱 기판의 가장자리 둘레에 대응되는 상기 트레이 몸체의 부분에 설치되어 상기 플라스틱 기판을 상기 트레이 몸체에 고정하는 고정 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 플라스틱 기판용 트레이"를 개시하고 있다.
기존에는 플렉시블 표시장치를 구현하기 위해, 상기한 종래의 발명에서 개시된 바와 같이, 플렉시블 기판을 유리기판에 점착하여 사용하는 기술이 제안되었다. 이렇게 플렉시블 기판을 유리기판에 점착하여 사용한 종래기술에 따른 플렉시블 표시장치 제조방법에 대해 도 3 내지 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 3에서 도 5는 종래기술에 따른 플렉시블 표시장치 제조방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 플렉시블한 플라스틱 기판(105)을 준비하고, 이 플라스틱 기판(105) 상에 소자 제조공정을 진행하기 전에, 이 플라스틱 기판(105)은 얇은 두께로 구성되어 있으면서 휘기 쉬운 특성을 갖고 있어 제조공정을 수행하기 위해 테이블 상에 플라스틱기판(105)을 안착시키게 되면 휘어지는 상태가 된다. 이때, 플라스틱(105)의 휜 상태로 놓여 지게 되면 제조공정 수행이 어렵게 된다. 따라서, 도 3에 도시된 바와 같이, 이러한 문제점을 방지하기 위해, 캐리어 기판(103)으로 유리와 같은 재질로 이루어진 고정기판(rigid substrate)(103)을 준비한 후 상기 고정기판(103) 상에 상기 플라스틱 기판(105)을 점착제(104)를 사용하여 점착시킨다. 그런 다음, 상기 플라스틱 기판(105)이 점착된 고정기판(103)을 기판 반송시스템을 통해 제조공정 챔버로 로딩시켜 플라스틱 기판(105) 상에 소자 제조공정을 수행하게 된다. 이때, 상기 플라스틱 기판(105)상에 수행되는 소자 제조공정에 대해 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다. 도 4에 도시된 바와 같이, 캐리어 기판(103) 상에 점착된 플라스틱 기판(105) 상에 금속물질을 증착한 후 이를 마스크공정에 의해 선택적으로 패터닝하여 게이트 전극을 형성한다. 이후 상기 게이트 전극을 포함한 하부기판상에 질화규소(SiNx) 등으로 이루어진 게이트 절연막을 형성한다. 이어서, 상기 게이트 절연막 상부에는 수소화 비정질 실리콘층(hydroge-nated amorphous silicon) 등으로 이루어진 반도체층과, 상기 반도체층 표면에 n+ 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 실리콘층을 형성한다. 이때, 상기 n+ 실리콘층은 박막트랜지스터의 오믹(Ohmic) 컨택층으로 사용한다. 이어서, 상기 n+ 실리콘층과 반도체층을 마스크공정에 의해 선택적으로 패터닝한다. 그 다음, 상기 선택적으로 패터닝된 상기 n+ 실리콘층 및 반도체층을 포함한 상기 게이트 절연막 상에 금속물질을 증착한 후 이를 마스크공정에 의해 선택적으로 패터닝하여 소스전극과, 이 소스전극과 채널 길이만큼 이격되는 드레인 전극을 각각 형성한다. 이때, 상기 소스전극과 드레인 전극 사이에 위치하는 상기 n+ 실리콘층 부분이 외부로 노출된다. 이렇게 하여, 상기 소스전극과 드레인 전극은 그 아래의 반도체층, 게이트 전극과 함께 스위칭소자인 박막 트랜지스터를 구성한다. 이상 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor)를 도시한 것이 도 4의 TFT 층(106)이다. 이렇게 하여, 상기 플라스틱기판(105)상에 박막트랜지스터 어레이를 제조하는 공정을 완료하게 된다.
이어서, 도 4에 도시된 바와 같이, 이렇게 박막 트랜지스터 어레이를 제조하는 공정을 완료한 후 상기 플라스틱 기판(105)이 점착된 캐리어 기판(103)을 기판반송시스템에 의해 언로딩 후 상기 플라스틱 기판(105)과 캐리어 기판(103) 사이에 점착된 점착제(104)를 떼어냄으로써 캐리어 기판(103)과의 탈착공정을 완료하게 된다. 이렇게 하여 플렉시블한 플라스틱 기판(105) 상에 박막 트랜지스터 어레이 제조공정을 완료한다.
그러나, 상기 종래기술에 따른 플렉시블 표시장치 그 제조방법에 의하면 다음과 같은 문제점이 있다.
즉, 종래기술에 따른 플렉시블 표시장치 제조방법은 유리기판에 플라스틱 기판을 점착시키는 공정과 함께, 박막 트랜지스터 어레이 제조공정을 수행한 후 플라스틱 기판으로부터 고정기판을 떼어내는 탈착공정이 필요하므로 제조공정이 많아지고 그에 따른 제품의 양산성도 떨어지며 이에 따른 부수적인 공정불량으로 발생하게 된다.
또한, 유리재질로 구성된 캐리어 기판에 플라스틱 기판을 점착시키는 공정에서 점착제를 사용하게 되는데, 이 점착제는 약 150℃ 온도 이상에서 점착 기능이 떨어지기 때문에, 박막 트랜지스터 어레이 제조공정 중에 고온공정이 어렵게 되어 저온 공정을 진행해야 함으로 제품의 신뢰성이 저하된다.
그리고, 플라스틱 기판과 캐리어(고정) 기판을 점착제에 의해 점착한 후, 안정적으로 제조공정을 진행한 다음, 플라스틱 기판과 유리기판을 서로 탈착해야 하기 때문에 적정한 점착력을 유지할 수 있는 신규 점착제의 개발이 필요하고, 단가도 기존 점착제 대비 고가이다.
상기 설명한 이외에도 Seiko-Epson사의 경우 수용성 점착제(Water soluble adhesive)와 같은 점착층을 이용하여 박막 트랜지스터 막을 캐리어 기판에 형성한 후 이를 다시 플라시틱 기판으로 옮겨주는 방식도 있으나, 이 또한 공정 수가 늘어나는 단점과 기존의 점착층을 이용하는 방법과 크게 다르지 않아 양산성에는 한계가 있다.
특허문헌 1: 대한민국 특허공개공보 제2010-0051499호 특허문헌 2: 대한민국 특허공개공보 제2011-0108138호
본 발명은 상기한 종래의 기술을 감안하여 이러한 종래기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 본 발명의 주목적은 플라스틱 기판과 같은 플렉시블 기판을 반송하는 방법으로 자성체를 포함하는 플라스틱 기판과 하판의 캐리어 기판에 자장을 띄게 하는 기판 캐리어(substrate carrier) 반송기술을 적용함으로써 기존의 점착공정 등의 제조공정을 획기적으로 줄일 수 있어 플렉시블 제품의 양산성을 확보할 수 있는 플렉시블 디스플레이의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기한 본 발명의 플렉시블 디스플레이의 제조방법에 유용하게 사용될 수 있는 자성체를 포함하는 플렉시블 기판을 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 또한 상기한 명확한 목적 이외에 본 명세서의 전반적인 기술로부터 이 분야의 통상인에 의해 용이하게 도출될 수 있는 다른 목적을 달성함을 그 목적으로 할 수 있다.
상기한 본 발명의 목적은 플렉시블 디스플레이를 제조하는 과정에서 두께가 얇은 플라스틱 기판을 안정적으로 취급할 수 있는 플렉시블 디스플레이의 플라스틱 기판, 플라스틱 기판용 트레이, 이를 이용한 플라스틱 기판 고정 장치, 고정 방법 및 플라스틱 기판 분리방법을 제공하기 위해 예의 연구한 결과 기존 점착공정을 가지는 종래의 플라스틱 기판 반송기술을 개선하기 위해 자성체를 포함하는 플렉시블 기판과 그 제조기술을 제공하므로 달성될 수 있음을 밝혀 내에 완성되었다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플렉시블 디스플레이의 제조방법은;
플렉시블 디스플레이 제조공정에 있어서, 상기 공정은:
자성체를 포함하는 코팅층을 가지는 플렉시블 기판을 준비하는 단계;
플렉시블 기판과 캐리어 기판을 고정하는 단계; 및
상기 제공되어 진 기판에서 플렉시블 기판 상에 박막 트랜지스터(TFT)를 형성하고 캐리어 기판과 플렉시블 기판을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 구성에 따르면, 상기 자성체를 포함하는 코팅층을 가지는 플렉시블 기판을 준비하는 단계는 자성체로 퍼라이트(Ferrite), 금속(metal), 액체자성체(Ferrofuild)에서 선택된 하나 이상을 포함하는 조성물을 사용하여 플렉시블 기판 상에 코팅층을 형성하므로 완성됨을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 구성에 따르면, 상기 자성체를 포함하는 코팅층을 가지는 플렉시블 기판으로는 고투명 고분자 필름이나 기판으로 전투과율(Total Transmission)이 85%≤인 필름이나 기판임을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 구성에 따르면, 상기 필름이나 기판은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephthalate), 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylene naphthalate)와 같은 폴리에스테르(polyester)계 폴리머, 트리아세틸 셀룰로오스(triacetyl cellulose)와 같은 셀룰로오스(cellulose)계 폴리머, 폴리카보네이트(polycarbonate)계 폴리머, 폴리 메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate)와 같은 아크릴(acryl)계 폴리머에서 선택된 것임을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 구성에 따르면, 상기 자성체를 포함하는 코팅층을 가진 플렉시블 기판을 고정하는 캐리어 기판으로는 유리기판이 아닌 금속기판이나 자장이나 자성을 띌 수 있는 기판을 사용하는 것임을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 구성에 따르면, 상기 플렉시블 디스플레이는 액정을 이용하는 액정표시장치(LCD), 유기발광물질을 이용하는 자발광소자(OLED), 전기 영동체를 이용하는 전자종이를 포함하는 평판디스플레이를 모두 지칭함을 특징으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플렉시블 디스플레이의 제조방법은;
플렉시블 디스플레이 제조공정에 있어서, 상기 공정은:
고분자 투명필름 내부에 자성체나 도전성 미립자를 첨가제로 함유시켜 플렉시블 기판을 준비하는 단계;
플렉시블 기판과 캐리어 기판을 고정하는 단계; 및
상기 제공되어 진 기판에서 플렉시블 기판 상에 박막 트랜지스터(TFT)를 형성하고 캐리어 기판과 플렉시블 기판을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 구성에 따르면, 상기 자성체나 도전성 미립자로는 퍼라이트(Ferrite), 금속(metal), 액체자성체(Ferrofuild)에서 선택된 하나 이상을 사용함을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 구성에 따르면, 상기 플렉시블 기판으로는 고투명 고분자 필름이나 기판으로 전투과율(Total Transmission)이 85%≤인 필름이나 기판임을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 구성에 따르면, 상기 필름이나 기판은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephthalate), 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylene naphthalate)와 같은 폴리에스테르(polyester)계 폴리머, 트리아세틸 셀룰로오스(triacetyl cellulose)와 같은 셀룰로오스(cellulose)계 폴리머, 폴리카보네이트(polycarbonate)계 폴리머, 폴리 메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate)와 같은 아크릴(acryl)계 폴리머에서 선택된 것임을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 구성에 따르면, 상기 플렉시블 기판을 고정하는 캐리어 기판으로는 유리기판이 아닌 금속기판이나 자장이나 자성을 띌 수 있는 기판을 사용하는 것임을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 구성에 따르면, 상기 플렉시블 디스플레이는 액정을 이용하는 액정표시장치(LCD), 유기발광물질을 이용하는 자발광소자(OLED), 전기 영동체를 이용하는 전자종이를 포함하는 평판디스플레이를 모두 지칭함을 특징으로 한다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 자성체를 포함하는 플렉시블 기판은;
자성체를 포함하는 코팅층을 플렉시블 기판 표면 상에 도포하거나 또는 고분자 투명필름 내부에 자성체나 도전성 미립자를 첨가제로 함유시켜 얻어진 것으로, 상기 자성체나 도전성 미립자로는 퍼라이트(Ferrite), 금속(metal), 액체자성체(Ferrofuild)에서 선택된 하나 이상을 사용한 것임을 특징으로 한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 플렉시블 디스플레이의 제조방법은 자성체를 포함하는 플렉시블 기판을 이용하므로, 종래의 점착제를 이용한 유리기판과 플라스틱 기판의 점착 또는 접착 공정 및 캐리어 기판의 탈착 공정이 제거되어 제조공정이 단축되고, 또한 점착층이나 접착층을 제거하는 공정 중에 발생되어 지는 여러 가지 불량의 가능성을 사전에 차단함으로써 제조비용을 줄일 수 있고, 제품의 생산성 및 수율을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 기존과 같이 저온공정에서만 점착 특성이 있는 점착제를 사용하지 않기 때문에, 유리기판상에 제조하는 기존의 표준 공정과 동일한 공정으로 제조공정을 수행하므로 고온 공정으로도 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 더욱이, 본 발명에서 사용하는 캐리어 금속기판은 동일 사이즈, 동일 두께의 유리 대비 금속기판이 저렴하므로 기존 공정대비 저비용 확보가 가능하다.
또한, 본 발명에 따르면 플렉시블 기판과 캐리어 기판이 자성체를 포함하는 코팅층에 의해서 조절됨으로써 플렉시블 기판을 안정적으로 밀착시키고 고정할 수 있으며, 이로 인해 플렉시블 디스플레이를 제조하는 과정에서 두께가 얇은 플렉시블 기판을 안정적으로 취급할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 따라 플렉시블 기판 상에 자성체를 포함하는 투명 코팅층이 형성된 플렉시블 기판의 단면도이고,
도 2는 본 발명의 다른 실시형태에 따라 플렉시블 기판 내부에 자성체 또는 도전성 미립자가 첨가제로 편재화된 플렉시블 기판의 단면도이고,
도 3은 종래의 플레시블 디스플레이 제조공정 상에서 점착제를 이용하여 캐리어 기판과 플라스틱 기판을 어레이한 상태의 단면도이고,
도 4는 도 3에 디스플레이의 스위칭 소자인 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor)를 형성한 단면도이고,
도 5는 도 4와 같이 박막 트랜지스터를 형성한 후 레이저 공정에 의해서 점착층/접착층을 떼어내어 캐리어 기판과의 분리공정을 나타낸 단면도이고,
도 6은 본 발명의 일 실시형태에 따른 자성체를 포함하는 코팅층을 가지는 플렉시블 기판과 자성을 띄는 캐리어 기판과 부착되어 진 상태를 나타낸 단면도로, 상기에 박막 트랜지스터 스위칭 소자공정까지 이루어진 단면도이고,
도 7은 도 6에서 하부 캐리어 금속기판과 자성체를 포함하는 코팅층과의 자장 제거로 분리하는 공정을 도시한 단면도이다.
이하, 본 발명을 첨부도면을 참고로 바람직한 실시형태에 의해 보다 자세하게 설명하지만, 본 발명의 범주가 여기에 한정되는 것이 아님은 물론이다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 따라 플렉시블 기판 상에 자성체를 포함하는 투명 코팅층이 형성된 플렉시블 기판의 단면도이고, 도 2는 본 발명의 다른 실시형태에 따라 플렉시블 기판 내부에 자성체 또는 도전성 미립자가 첨가제로 편재화된 플렉시블 기판의 단면도이다.
도 1 또는 2에 도시된 본 발명에 따른 자성체를 포함하는 플렉시블 기판은 퍼라이트(Ferrite), 금속(metal), 액체자성체(Ferrofuild)에서 선택된 하나 이상의 자성체를 포함하는 코팅층을 플렉시블 기판 표면 상에 도포하거나 또는 고분자 투명필름 내부에 상기의 자성체나 도전성 미립자를 첨가제로 함유시켜 얻어진다. 이러한 본 발명에 따른 자성체를 포함하는 플렉시블 기판의 제조에 대해 아래에 자세하게 설명한다.
먼저, 플렉시블 기판에 자성체를 포함하는 코팅층을 형성하는 단계는 다음과 같다.
본 발명에 따른 제조방법은 폴리에틸렌테레프날레이트(PET), 폴리이미드(PI) 또는 폴리에틸렌스티레이트(PES)와 같은 투명 기재 필름(100) 상에, 투명 수지에 의하여 형성되는 코팅층(101)을 가지는 필름에 있어서, 상기 코팅층(101) 중에 자성체를 함께 지니는 미립자가 두께 방향에 농도 분포를 가지고 편재되고 있고, 또한 투명 기재 필름(100)에 도전성/자성 미립자가 균일하게 코팅되어 지도록 한다.
특히, 상기 코팅층(101) 중에 도전성/자성 미립자가 균일하게 분포하고 있다면, 도 6에서와 같이 자성체를 포함하는 플렉시블 기판에서 자성체 코팅층(108)과 자장을 띄는 캐리어 기판(107)과의 밀착성을 기판 전면에 균일하게 유지할 수 있게 된다.
상기 자성체를 포함하는 플렉시블 기판에 대해, 도전성/자성 미립자를 투명 기재 필름(100) 측에 비편재화 시키는 것이 바람직하다. 이를 위해서 도전성/자성을 함께 지닌 미립자를 수지 내에 균일하게 분산시킨 용액을 제조하는 것이 중요하다.
또한, 자성 인가체의 과도한 자력에 의해 도전성/자성 미립자가 투명 기재 필름(100)의 어느 한 부분으로 지나치게 편재되지 않도록 적당한 자력을 인가해야 한다. 도전성/자성체 미립자를 함유한 수지의 점도가 지나치게 크지 않아야 자성 인가체의 자력에 도전성/자성 미립자가 투명 기재 필름(100) 쪽에 균일하게 편재될 수 있다.
여기서, 자성 인가체는 투명 기재 필름(100)과 접촉하는 면은 일반적인 롤의 형태와 같으나, 그 롤의 내측의 자성 인가체가 매트릭스 구조로 이루어진 것을 특징으로 한다. 이 매트릭스 구조로 이루어진 자성 인가체에 의해서 마이크로 그라비아에 의해 기 코팅된 도전성/자성 미립자가 투명 기재 필름(100) 쪽으로 편재되는 형태가 자성 인가체의 매트릭스 구조와 동일하게 형성됨으로써 기존 도전성 입자를 코팅하는 방법보다 투명 기재 필름(100) 쪽에 정확하고 규칙적으로 배열할 수 있다. 상기의 기술은 투명 기재 필름(100) 위에 도전성/자성체 입자를 정확하고 규칙적으로 배열된 형태로 코팅이 가능함으로써, 기존 코팅 방법에서의 미립자 간의 뭉침 현상이 발생할 수 있는 문제점을 해소할 수 있으며 또한 배열은 전자파 차폐 기능에도 응용할 수 있다.
상기 자성체를 포함하는 플라스틱 기판에 대해, 코팅층(108)이 2종 이상의 투명 수지에 의해 형성되고 있는 것이 바람직하다. 자성체를 포함하는 코팅층(108)의 형성에는 특히 비중이 다른 2종 이상의 투명 수지를 이용하는 것으로, 외관 투명 도전층을 보다 용이하게 형성할 수가 있다.
또한, 본 발명은 상기 자성체를 포함하는 필름 또는 광학 소자를 탑재한 화상 표시 장치에 관한다. 본 발명의 자성체를 포함하는 플렉시블 기판 또는 필름을 이용한 편광판 등의 광학 소자는 내찰상성, 도전 특성이 우수하고, 또한 밀착 불량도 문제가 없고 또 광학 특성에도 뛰어나다. 또한, 광학 소자는 각종의 용도에 이용할 수 있고, 이것을 탑재한 액정 표시장치 등의 화상 표시장치는 표시 품위가 좋다.
본 발명의 바람직한 실시형태에 따르면, 상기 투명 기재 필름(100)으로서는 투명성, 기계적 강도, 열안정성, 수분 가림성, 등방성 등이 뛰어난 것이 바람직하게 사용될 수 있으며, 예를 들어 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephthalate), 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylene naphthalate) 등의 폴리에스테르(polyester)계 폴리머(polymer), 트리아세틸 셀룰로오스(triacetyl cellulose) 등의 셀룰로오스(cellulose)계 폴리머, 폴리카보네이트(polycarbonate)계 폴리머, 폴리 메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate) 등의 아크릴(acryl)계 폴리머 등의 투명 폴리머로부터 되는 필름(film)을 들 수 있다. 또, 폴리스티렌(polystyrene), 아크릴로니트릴(acrylonitrile)·스틸렌(stylene) 공중합체 등의 스틸렌(stylene)계 폴리머, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌(polypropylene), 노르보르넨 구조를 가지는 폴리오레핀(polyolefin), 에틸렌(ethylene)·프로필렌(propylene) 공중합체 등의 올레핀(olefine)계 폴리머, 염화비닐계 폴리머(polymer), 나일론(nylon)이나 방향족 폴리아미드(polyamide) 등의 아미드(aminde)계 폴리머 등의 투명 폴리머로부터 되는 필름도 언급된다. 또한, 아미드계 폴리머, 술폰(sulfone)계 폴리머, 폴리 에테르 술폰계 폴리머, 폴리 에테르 에테르 케톤(poly ether ether ketone)계 폴리머, 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide)계 폴리머, 비닐 알코올(vinyl alcohol)계 폴리머, 염화 비닐리덴(vinylidene)계 폴리머, 비닐 부티랄계 폴리머, 아릴레이트(allylate)계 폴리머, 폴리 옥시메틸렌(polyoxy methylene)계 폴리머, 에폭시(epoxy)계 폴리머나 상기 폴리머의 브렌드물 등의 투명 폴리머로부터 되는 필름 등도 언급된다.
본 발명의 바람직한 실시형태에 따르면, 상기 투명 기재 필름(100)의 두께는 적당하게 결정할 수 있지만, 일반적으로는 강도나 취급성 등의 작업성, 박층성 등의 관점으로부터 100 내지 300㎛ 정도가 바람직하고, 투명기재 필름(100)의 굴절률은 1.43 내지 1.60 정도, 바람직하기로는 1.45 내지 1.50 정도이다.
상기 자성체를 포함하는 코팅층(108)을 형성하는 투명 수지로는 하드 코트성이 뛰어나고(JISK5400의 연필 경도 시험으로 H 이상의 경도를 나타내는 것), 충분한 강도를 가지고, 광선 투과율이 우수한 것이면 특별히 제한은 없다. 예를 들면, 열경화형 수지, 열가소형 수지, 자외선 경화형 수지, 전자선 경화형 수지, 2액 혼합형 수지 등을 들 수 있다. 이러한 속에서도 자외선 조사에 의한 경화 처리에서, 간단한 가공 조작에서 효율적으로 광확산층을 형성할 수가 있는 자외선 경화형 수지가 매우 적합하다. 자외선 경화형 수지로서는, 폴리에스테르(polyester)계, 아크릴(acryl)계, 우레탄(urethane)계, 아미드(amide)계, 실리콘(silicone)계, 에폭시(epoxy)계 등을 들 수 있고, 자외선 경화형태의 모노머(monomer), 올리고머(oligomer), 폴리머(polymer) 등이 포함된다. 바람직하게 사용되는 자외선 경화형 수지는, 예를 들면 자외선 중합성의 관능기를 가지는 것, 그 중에서도 해당 관능기를 2개 이상, 특히 3 내지 6개 가지는 아크릴(acryl)계의 모노머(monomer)나 올리고머(oligomer)의 성분을 포함하는 것이 들 수 있다. 또 자외선 경화형 수지에는, 자외선 중합 개시제가 배합되고 있다.
그 외에 코팅층(108)을 형성하는 투명 수지로서는, 알콕시 실란 알콕시 티탄(alkoxy silane alkoxy titan) 등의 금속 알콕시드(alkoxide)를 이용한 졸(sol)-겔(gel)계 재료 등을 들 수 있다. 이러한 속에서도 알콕시 실란(alkoxy silane)이 바람직하다. 이것들에 의해 폴리실록산(polysiloxane) 구조가 형성된다. 알콕시 실란(alkoxy silane)의 구체적인 예는, 테트라메톡시 실란(tetra methoxy silane), 테트라 에톡시 실란(tetra ethoxy silane), 테트라 프로폭시 실란(tetra propoxy silane), 테트라 이소 프로폭시 실란(tetra iso propoxy silane), 테트라 부톡시 실란(tetra butoxy silane) 등의 테트라 알콕시 실란(tetra alkoxy silane)류, 메틸 트리 메톡시 실란(methoxy silane), 메틸 트리 프포폭시 실란(propoxy silane), 메티 트리 부톡시 실란(butoxy silane), 에틸 트리 메톡시 실란(methoxy silane), n-프로필 트리 메톡시 실란(methoxy silane), 이소프로필 트리 메톡시 실란(methoxy silane), 비닐 트리 메톡시 실란(methoxy silane), 3-글리시독시 프로필 트리 메톡시 실란(methoxy silane), 페닐 트리 메톡시 실란(methoxy silane) 등의 트리 알콕시 실란(alkoxy silane)류, 디메틸 디메톡시 실란(dimethyl dimethoxy silane), 디메틸 디에톡시 실란(dimethyl diethoxy silane), 디에틸 디메톡시 실란(diethyl dimethoxy silane), 디에틸 디에톡시 실란(diethyl diethoxy silane) 등을 들 수 있다. 이런 알콕시 실란(alkoxy silane)은 그 부분 축합물 등으로서 이용할 수 있다. 이러한 속에서도 테트라 알콕시 실란(tetra alkoxy silane)류 또는 이러한 부분 축합물 등이 바람직하다. 테트라 메톡시 실란(tetra methoxy silane), 테트라 에톡시 실란(tetra ethoxy silane) 또는 이러한 부분 축합물이 바람직하다. 또한 투명 수지를 2종 이상 이용하는 경우에는, 외관 투명 도전층을 형성하는 투명 수지로서 알콕시 실란(alkoxy silane)등의 금속 알콕시드(alkoxide)를 선택하고, 그 밖의 코트층을 형성하는 투명 수지로서, 아크릴(acryl)계, 아크릴 우레탄(acryl urethane)계 등의 자외선 경화형의 수지를 선택하는 것이 바람직하다.
상기 도전성/자성체 미립자로는, 퍼라이트(Ferrite)와 같은 초미립자 혹은 액체자성체(Ferrofluid)와 같은 것을 들 수 있다. 도전성/자성 초미립자의 평균입자 지름은 통상 0.1㎛ 이하 정도인 것이 바람직하다. 도전성/자성 미립자의 사용량은, 외관 투명 도전층이, 대전 방지성을 발휘할 수 있는 양으로 있으면 특히 제한은 없다. 통상, 전기 투명 수지(고형분) 100 중량부에 대해서, 5 내지 95 중량부, 더욱 바람직하기로는 10 내지 90중량부 배합할 수 있다.
상기 자성체를 포함하는 코트층의 형성법은 도전성/자성체 미립자가 투명기재 필름(100) 측에 편재되는 상태의 것을 형성하면 특별히 제한되지 않는다. 예를 들면, 투명기재 필름(100)에 도전성/자성체 미립자을 함유하는 투명 수지 용액을 도포한다. 도전성/자성 미립자가 편재하고 있을 때, 도전성 미립자의 밀도가 높아져, 그 결과 도전성이 발현해 표면 저항값은 작아진다. 매트릭스 구조의 자성인가체의 구조에서 선의 폭은 5 내지 25㎛, 선간 폭은 200 내지 400㎛ 정도 되고, 특히 선의 폭은 7 내지 14㎛, 선간 폭은 250 내지 350㎛의 것이 바람직하다. 또한, 선과 선의 크로스 되는 부분의 각도는 900이 바람직하다.
또한, 상기 투명 수지 용액의 도공은 와이어 바(wire bar) 등의 바 코터(bar coater), 마이크로그라비아 코터(microgravure coater), 다이코터(die coater), 캐스팅(casting), 스핀 코트(spin coat) 등의 적절한 방식으로 도공된다.
또한, 상기 투명 수지를 용해하는 용제로서는 톨루엔(toluene), 초산에틸(ethyl), 초산 부틸, 메틸 에틸 케톤(methyl ethylketone), 메틸 이소 부틸 케톤(methyl iso butyl ketone), 이소프로필 알코올(isopropyl alcohol), 에틸 알코올(ethylalcohol) 등의 일반적인 용제를 들 수 있다. 도전성/자성체 미립자의 편재화된 코팅의 확인은 TEM 관찰에 의해 실시할 수가 있다.
한편, 코트층(108)의 두께는 특히 제한되지 않지만, 1 내지 10㎛ 정도이고, 특히 바람직하기로는 3 내지 5㎛이다.
다음으로, 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 자성체를 포함하는 플렉시블 기판과 자장을 띄는 캐리어 기판과의 부착 및 탈착단계와 그에 따른 플렉시블 디스플레이의 제조공정에 대해 도면을 참고로 하여 설명한다.
도 6은 본 발명의 일 실시형태에 따른 자성체를 포함하는 코팅층을 가지는 플렉시블 기판과 자성을 띄는 캐리어 기판과 부착되어 진 상태를 나타낸 단면도로, 상기에 박막 트랜지스터 스위칭 소자공정까지 이루어진 단면도이고, 도 7은 도 6에서 하부 캐리어 금속기판과 자성체를 포함하는 코팅층과의 자장 제거로 분리하는 공정을 도시한 단면도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 먼저 캐리어 기판(carrier substrate)(107)으로 기존의 고정기판(rigid substrate)을 준비한다. 이때, 상기 고정기판은 기존의 유리기판이 아닌 저비용의 캐리어 금속(carrier metal) 기판을 사용한다. 여기서, 캐리어 기판으로 금속기판을 사용하는 이유는 기존의 점착층이나 접착층을 이용하여 캐리어 기판과 플라스틱 기판을 합지하는 것이 아닌 자성에 의해 기판들을 합지해야 하기 때문이다. 사용가능한 저비용의 캐리어 금속기판은 순철을 많이 사용한 금속기판일수록 가격이 저렴하고, 나중에 식각이 용이하므로, 순철을 많이 함유한 금속이 유리하다. 또한, 상기 캐리어 금속기판은 기존 장비를 활용할 수 있도록, 기존 유리기판과 동등한 벤딩(bending) 특성을 갖는 기판을 사용하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 캐리어 금속기판은 동일 사이즈, 동일 두께의 유리 대비 금속기판이 저렴하므로 저비용으로도 가능하다.
다음 공정으로, 상기 자성체를 포함하는 플라스틱기판(109)과 캐리어 기판(107)이 합지되어진 트레이를 기판 반송시스템을 통해 제조공정 챔버로 로딩시킨 다음, 상기 플라스틱 기판(109) 상에 소자 제조공정을 수행하게 된다. 이때, 상기 소자 제조공정으로는 표시 소자층을 제조하는 것을 의미하는데, 여기서는 박막 트랜지스터 제조공정에 대해 설명하지만, 칼라 필터층을 제조하는 공정도 포함될 수 있으며, 또는 이들 박막 트랜지스터 및 칼라 필터층을 제조하는 공정을 함께 포함할 수도 있다.
이때, 상기 플라스틱 기판(100)상에 수행되는 소자 제조공정에 대해 일반적인 박막 트랜지스터 제조공정을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 플라스틱 기판(100)상에 금속물질을 증착한 후 이를 마스크공정에 의해 선택적으로 패터닝하여 게이트 전극을 형성한다.
이때, 상기 금속물질로는 Al과 Al합금 등의 Al 계열 금속, Ag과 Ag합금 등의 Ag 계열금속, Mo과 Mo 합금 등의 Mo 계열 금속, Cr, Ti, Ta 등을 사용한다. 또한, 이들은 물질적 성질이 다른 두 개의 막, 즉 하부막과 그 위의 상부막을 포함할 수 있다. 상부막은 게이트 라인의 신호지연이나 전압강하를 줄일 수 있도록 낮은 비저항(resistivity)의 금속, 예를 들면 Al 계열금속 또는 Ag 계열 금속으로 이루어진다. 이와는 달리, 하부막은 다른 물질, 특히 ITO(indium tin oxide)나 IZO (indium zinc oxide)와의 물리적, 화학적, 전기적 접촉 특성이 우수한 물질, 예를 들어 Ti, Ta, Cr, Mo 계열 금속 등으로 이루어지거나, 또는 하부막과 상부막의 조합의 예로는 Cr/Al-Nd 합금을 들 수 있다. 그런 다음, 상기 게이트 전극을 포함한 플라스틱 기판(100)상에 질화규소(SiNx) 등으로 이루어진 게이트 절연막을 형성한다. 이어서, 상기 게이트절연막 상부에는 PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition)방법을 이용하여 수소화 비정질실리콘층(hydroge-nated amorphous silicon) 등으로 이루어진 반도체층과 n+ 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 실리콘층을 연속해서 형성한다. 이때, 상기 n+ 실리콘층은 박막 트랜지스터의 오믹(Ohmic)컨택층으로 사용한다. 이어서, 상기 n+ 실리콘층과 반도체층을 마스크 공정에 의해 선택적으로 패터닝한다. 그 다음, 상기 선택적으로 패터닝된 상기 n+ 실리콘층을 포함한 상기 게이트 절연막상에 금속물질을 증착한 후 이를 마스크공정에 의해 선택적으로 패터닝하여 소스전극과, 이 소스전극과 채널길이만큼 이격된 드레인 전극을 각각 형성한다. 이때, 상기 소스전극과 드레인 전극 사이에 위치하는 지역, 즉 채널지역에 위치하는 n+ 실리콘층 부분이 외부로 노출된다. 이렇게 하여, 상기 소스전극과 드레인 전극은 그 아래의 반도체층, 게이트 전극과 함께 스위칭 소자인 박막 트랜지스터를 구성한다. 이상까지의 공정이 진행되어진 후 형성되어진 단면을 도시하는 것이 도 6이며, 이는 플렉시블 디스플레이를 제조하기 위한 박막 트랜지스터(110) 제조공정의 전공정을 표현하는 것이다.
이렇게 하여, 플라스틱 기판(100)상에 표시장치용 박막 트랜지스터 어레이를 제조하는 공정을 완료하게 된다.
이어서, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 캐리어 기판(107)을 기존의 레이저 조사에 의한 점착층이나 접착층의 리프트 오프(Lift Off)가 아닌 캐리어 기판(107)에 인가된 자장을 제거함으로써 박막 트랜지스터(110)가 형성되어진 플라스틱 기판(109)과 분리한다.
상기한 본 발명의 상세한 설명에서는 플렉시블 기판상에 박막 트랜지스터를 형성하는 공정에 대해서만 기재하였지만, 컬러 필터층을 형성하는 공정 시에도 적용 가능함은 물론이다.
한편, 상기의 자성체를 포함하는 코팅층(108)이 함께하는 플라스틱 기판(109)를 기준으로 플렉시블 제조공정에 대해 기술하였지만 도 2와 같이 플라스틱기판의 내부에 자성체나 도전성 미립자를 포함하는 경우(102)의 경우에도 상기 플렉시블 제조공정 프로세스에서 동일하게 적용될 수 있을 것이다.
100: 플렉시블 투명기판 101: 자성체를 포함하는 코팅층
102: 자성체를 포함하는 플렉시블 기판 103: 캐리어기판 혹은 고정기판
104: 점착층/접착층 105: 플렉시블 투명기판
106: 박막 트랜지스터(TFT) 107: 자장을 띄는 캐리어금속 기판
108: 자성체를 포함하는 코팅층 109: 플렉시블 투명기판
110: 박막 트랜지스터(TFT)

Claims (13)

  1. 플렉시블 디스플레이 제조공정에 있어서, 상기 공정은:
    자성체를 포함하는 코팅층을 가지는 플렉시블 기판을 준비하는 단계;
    플렉시블 기판과 캐리어 기판을 고정하는 단계; 및
    상기 제공되어 진 기판에서 플렉시블 기판 상에 박막 트랜지스터(TFT)를 형성하고 캐리어 기판과 플렉시블 기판을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이의 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 자성체를 포함하는 코팅층을 가지는 플렉시블 기판을 준비하는 단계는 자성체로 퍼라이트(Ferrite), 금속(metal), 액체자성체(Ferrofuild)에서 선택된 하나 이상을 포함하는 조성물을 사용하여 플렉시블 기판 상에 코팅층을 형성하므로 완성됨을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이의 제조방법.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 자성체를 포함하는 코팅층을 가지는 플렉시블 기판으로는 고투명 고분자 필름이나 기판으로 전투과율(Total Transmission)이 85%≤인 필름이나 기판임을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이의 제조방법.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 필름이나 기판은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephthalate), 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylene naphthalate)와 같은 폴리에스테르(polyester)계 폴리머, 트리아세틸 셀룰로오스(triacetyl cellulose)와 같은 셀룰로오스(cellulose)계 폴리머, 폴리카보네이트(polycarbonate)계 폴리머, 폴리 메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate)와 같은 아크릴(acryl)계 폴리머에서 선택된 것임을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이의 제조방법.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 자성체를 포함하는 코팅층을 가진 플렉시블 기판을 고정하는 캐리어 기판으로는 유리기판이 아닌 금속기판이나 자장이나 자성을 띌 수 있는 기판을 사용하는 것임을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이의 제조방법.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 플렉시블 디스플레이는 액정을 이용하는 액정표시장치(LCD), 유기발광물질을 이용하는 자발광소자(OLED), 전기 영동체를 이용하는 전자종이를 포함하는 평판디스플레이를 모두 지칭함을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이의 제조방법.
  7. 플렉시블 디스플레이 제조공정에 있어서, 상기 공정은:
    고분자 투명필름 내부에 자성체나 도전성 미립자를 첨가제로 함유시켜 플렉시블 기판을 준비하는 단계;
    플렉시블 기판과 캐리어 기판을 고정하는 단계; 및
    상기 제공되어 진 기판에서 플렉시블 기판 상에 박막 트랜지스터(TFT)를 형성하고 캐리어 기판과 플렉시블 기판을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이의 제조방법.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 자성체나 도전성 미립자로는 퍼라이트(Ferrite), 금속(metal), 액체자성체(Ferrofuild)에서 선택된 하나 이상을 사용함을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이의 제조방법.
  9. 제 7항 또는 제 8항에 있어서, 상기 플렉시블 기판으로는 고투명 고분자 필름이나 기판으로 전투과율(Total Transmission)이 85%≤인 필름이나 기판임을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이의 제조방법.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 필름이나 기판은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephthalate), 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylene naphthalate)와 같은 폴리에스테르(polyester)계 폴리머, 트리아세틸 셀룰로오스(triacetyl cellulose)와 같은 셀룰로오스(cellulose)계 폴리머, 폴리카보네이트(polycarbonate)계 폴리머, 폴리 메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate)와 같은 아크릴(acryl)계 폴리머에서 선택된 것임을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이의 제조방법.
  11. 제 7항에 있어서, 상기 플렉시블 기판을 고정하는 캐리어 기판으로는 유리기판이 아닌 금속기판이나 자장이나 자성을 띌 수 있는 기판을 사용하는 것임을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이의 제조방법.
  12. 제 7항에 있어서, 상기 플렉시블 디스플레이는 액정을 이용하는 액정표시장치(LCD), 유기발광물질을 이용하는 자발광소자(OLED), 전기 영동체를 이용하는 전자종이를 포함하는 평판디스플레이를 모두 지칭함을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이의 제조방법.
  13. 자성체를 포함하는 코팅층을 플렉시블 기판 표면 상에 도포하거나 또는 고분자 투명필름 내부에 자성체나 도전성 미립자를 첨가제로 함유시켜 얻어진 것으로, 상기 자성체나 도전성 미립자로는 퍼라이트(Ferrite), 금속(metal), 액체자성체(Ferrofuild)에서 선택된 하나 이상을 사용한 것임을 특징으로 하는 자성체를 포함하는 플렉시블 기판.
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