KR101309959B1 - 투명전극 제작 시스템 및 투명전극 제작방법 - Google Patents

투명전극 제작 시스템 및 투명전극 제작방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 투명전극 제작 시스템에 관한 것이며, 본 발명의 투명전극 제작 시스템은 기판을 장착한 상태에서 이송시키는 기판 이송부; 기판이송방향과 다른 방향을 따라서 왕복 이송되며 상기 기판 측으로 전극액을 분사하여 전극라인을 형성하는 이송 노즐부를 구비하는 전극라인 형성부; 전원을 인가받아 표면탄성파(surface acoustic wave)를 발생시킴으로써 상기 전극라인이 형성된 기판에 전극층이 형성되도록 전도성 잉크를 분사하는 증착유닛;을 포함하고, 상기 증착유닛은, 상기 기판과 이격되게 배치되는 압전 베이스, 상기 압전 베이스 상에 패터닝되는 진동 전극부를 포함하며, 전원을 인가받아 표면탄성파를 발생시키는 진동발생부; 상기 진동발생부에 전도성 잉크를 연속적으로 공급하는 유로부; 상기 유로부에 상기 전도성 잉크를 제공하는 공급부; 상기 진동발생부에서 표면탄성파에 의하여 미립화(atomized)된 전도성 잉크가 상기 기판에 증착되도록 상기 미립화된 전도성 잉크의 유동을 상기 기판 측으로 유도하기 위한 정전기력을 인가하는 정전기력 인가부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 투명도 및 전기 전도성이 우수한 대면적의 투명전극을 경제적으로 제작할 수 있는 투명전극 제작 시스템이 제공된다.

Description

투명전극 제작 시스템 및 투명전극 제작방법{SYSTEM FOR MAKING TRANSPARENT ELECTRODE AND METHOD FOR MAKING TRANPARENT ELECTRODE}
본 발명은 투명전극 제작 시스템 및 투명전극 제작방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대면적의 투명전극을 제작할 수 있는 투명전극 제작 시스템 및 투명전극 제작방법에 관한 것이다.
투명전극 기판은 전자디스플레이, 태양전지, 반도체 등의 투명전극은 물론 LCD의 화소전극 및 각종 센서에 이르기까지 핵심적으로 사용되고 있는 소재이며, 고화질, 대면적화, 유연화(Flexible), 박막화, 기능화 등의 요구를 만족시킬 수 있는 신소재 및 공정의 개발이 필요하다. 현재까지 가장 우수한 전기적 특성을 보이는 투명전극소재로 ITO(In2O3-SnO2)가 이용되고 있다.
그러나, 주원료인 인듐(In)에 의한 재료비의 상승 및 고갈 예상, 인듐의 확산으로 인한 소자열화, 수소 플라즈마(Plasma)하에서의 높은 환원성 및 유연한(flexible) 기판에서의 굽힘(Bending) 불안정성 등의 문제점이 제기되어 최근 들어 새로운 물질의 개발이 요구되고 있다.
특히, 최근 들어 중요하게 대두되고 있는 유기발광다이오드(OLED)나 유기태양전지(OPV:organic photovoltaic) 등에 사용되는 유연투명전극필름의 경우에는 전기전도도가 100 Ω/square 이하, 투과도 가 85% 이상의 성능이 요구되고 있다. 이를 위해서는 새로운 재료의 개발 또는 새로운 공정 및 장치기술이 요구된다.
일반적으로 금속은 전기전도도가 좋으나 투명도가 낮은 문제를 갖고 있으며, 탄소나노튜브, PEDOT 등과 같은 유기전도성 물질은 투명도는 좋으나 전도도가 좋지 않은 문제를 가지고 있어 투명전극으로 이용되기에는 한계를 보이고 있다.
이러한 문제를 해결하기 위하여, 금속을 이용하여 눈에 보이지 않는 구조물을 기판에 제작하고 그 사이를 유기전도성 물질 등으로 충전하는 구조의 투명전극에 대한 관심이 집중되고 있다.
다만, 상술한 구조의 투명전극은 금속의 전기전도도 이점과 유기전도성 물질의 투명도 이점을 통시에 활용할 수 있음에도 제작공정이 까다롭고 대면적의 투명전극 제작이 어려운 문제가 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 우수한 투명도 및 전기전도성을 가지는 투명전극을 대면적으로 제작할 수 있는 투명전극 제작 시스템 및 투명전극 제작방법을 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판을 장착한 상태에서 이송시키는 기판 이송부; 기판이송방향과 다른 방향을 따라서 왕복 이송되며 상기 기판 측으로 전극액을 분사하여 전극라인을 형성하는 이송 노즐부를 구비하는 전극라인 형성부; 전원을 인가받아 표면탄성파(surface acoustic wave)를 발생시킴으로써 상기 전극라인이 형성된 기판에 전극층이 형성되도록 전도성 잉크를 분사하는 증착유닛;을 포함하고, 상기 증착유닛은, 상기 기판과 이격되게 배치되는 압전 베이스, 상기 압전 베이스 상에 패터닝되는 진동 전극부를 포함하며, 전원을 인가받아 표면탄성파를 발생시키는 진동발생부; 상기 진동발생부에 전도성 잉크를 연속적으로 공급하는 유로부; 상기 유로부에 상기 전도성 잉크를 제공하는 공급부; 상기 진동발생부에서 표면탄성파에 의하여 미립화(atomized)된 전도성 잉크가 상기 기판에 증착되도록 상기 미립화된 전도성 잉크의 유동을 상기 기판 측으로 유도하기 위한 정전기력을 인가하는 정전기력 인가부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템에 의해 달성된다.
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또한, 상기 진동 전극부는 상호 이격되는 제1진동전극과 제2진동전극을 포함하고, 상기 제1진동전극과 상기 제2진동전극의 사이에는 상기 압전 베이스 상에 형성되는 가상의 분사영역이 형성되며, 상기 유로부는 상기 분사영역 상에 전도성 잉크를 공급할 수 있도록 배치될 수 있다.
또한, 상기 공급부는 전도성 잉크가 저장되는 저장부; 상기 진동발생부로부터 분사되는 전도성 잉크와 상기 유로부로부터 공급되는 전도성 잉크를 모니터하는 모니터부; 상기 진동발생부로부터 미립화되어 분사되는 전도성 잉크의 유량(flow rate)과 상기 진동발생부에 공급되는 전도성 잉크의 유량이 동일하도록 상기 저장부로부터 상기 유로부로 공급되는 전도성 잉크의 유량을 제어하는 공급제어부;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 진동 전극부는 복수개가 상기 압전 베이스 상에 일렬로 배치되고, 상기 유로부는 복수개가 상기 각각의 진동 전극부의 분사영역 상에 하나씩 마련되며, 상기 공급부는 일단부가 상기 저장부와 연결되고, 타단부는 여러 경로로 나누어져 상기 복수개의 유로부 각각에 연결되는 연결부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 분사영역 상에 공급되는 전도성 잉크가 변성되는 것이 방지되도록 상기 압전 베이스를 냉각시키기 위한 냉각수단을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 냉각수단은 상기 압전베이스의 하면에 장착되는 펠티에(Peltier) 소자일 수 있다.
또한, 상기 이송 노즐부는 상기 기판이송방향에 수직인 방향을 따라서 왕복이송될 수 있다.
또한, 상기 전극라인 형성부는 전극액을 분사하는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향의 수직방향을 따라서 배열되되, 고정된 위치에서 전극액을 분사하는 고정노즐부를 더 포함하고, 상기 이송 노즐부에 구비되는 복수개의 노즐은 상기 기판이송방향의 수직방향을 따라 배열될 수 있다.
또한, 상기 이송 노즐부는 복수개가 서로 다른 이송경로를 따라서 왕복 이송되되, 상기 복수개의 이송 노즐부 각각의 이송경로는 중복되지 않도록 설정될 수 있다.
또한, 상기 복수개의 이송 노즐부는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향을 따라서 나란히 배열되되, 상기 기판이송방향에 수직한 방향을 따라서 왕복 이송되는 제1멀티노즐부; 상기 제1멀티노즐부의 이송방향과 반대방향을 따라서 왕복 이송되는 제2멀티노즐부;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 목적은, 상기 목적에 따라, 투명전극 제작하는 방법에 있어서, 소정의 이송구간 내에서 왕복 이송되며 전극액을 분사함으로써 이송되는 기판 상에 전극라인을 형성하는 전극라인 형성단계; 전원을 인가받아 표면탄성파를 발생시킴으로써 상기 전극라인이 형성된 기판에 전도성 잉크를 분사하여 전극층을 적층하는 전극층 적층단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작방법에 의해 달성된다.
또한, 상기 전극라인 형성단계는 서로 다른 이송구간 내에서 이송되는 복수개의 노즐로부터 전극액을 분사함으로써 전극라인을 형성할 수 있다.
본 발명에 따르면, 노즐 또는 기판을 이송시켜 발생하는 상대속도를 이용하여 다양한 형태의 전극라인을 인쇄하고, 표면탄성파를 이용하여 전극층을 인라인 공정으로 적층함으로써 대면적의 투명전극을 용이하게 제작할 수 있는 투명전극 제작 시스템이 제공된다.
또한, 투명도 및 전도성이 우수한 투명전극을 경제적으로 제작할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 투명전극 제작 시스템의 개략적인 사시도이고,
도 2는 도 1의 투명전극 제작 시스템의 전극라인 형성부의 개략적인 사시도이고,
도 3은 도 1의 투명전극 제작 시스템의 증착유닛의 개략적인 사시도이고,
도 4는 도 4의 증착유닛의 진동발생부를 개략적으로 도시한 것이고,
도 5는 도 1의 투명전극 제작 시스템을 이용한 투명전극 제작방법의 전극라인 형성단계 공정을 개략적으로 도시한 것이고,
도 6은 도 1의 투명전극 제작 시스템을 이용한 투명전극 제작방법의 전극층 증착단계 공정을 개략적으로 도시한 것이고,
도 7은 도 6의 전극층 증착단계 공정의 동작원리를 개략적으로 도시한 것이고,
도 8은 도 1의 투명전극 제작 시스템을 이용한 투명전극 제작방법에 의하여 제작된 투명전극을 개략적으로 도시한 것이고,
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 투명전극 제작 시스템의 전극라인 형성부의 개략적인 사시도이고,
도 10은 도 9의 투명전극 제작 시스템을 이용한 투명전극 제작방법의 전극라인 형성단계 공정을 개략적으로 도시한 것이고,
도 11은 본 발명의 제3실시예에 따른 투명전극 제작 시스템의 증착유닛의 개략적인 사시도이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 투명전극 제작 시스템(1000)에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 투명전극 제작 시스템의 개략적인 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 투명전극 제작 시스템(1000)은 기판 이송부(1100)와 전극라인 형성부(1200)와 증착유닛(1300)을 포함한다.
상기 기판 이송부(1100)는 본 실시예의 투명전극 제작 시스템(1000)을 인라인(in-line) 시스템으로 구성하기 위하여 소정의 기판이송방향(D)을 따라서 기판(S)을 연속적으로 이송하는 부재이다.
본 실시예에서 기판이송부(1100)는 이송롤러가 기판(S)을 이송하는 구조의 롤투롤(roll-to-roll) 형태로 구성되나, 기판(S)을 연속적으로 이송하여 인라인 시스템을 구현할 수 있는 구조라면 상술한 내용에 제한되는 것은 아니다.
도 2는 도 1의 투명전극 제작 시스템의 전극라인 형성부의 개략적인 사시도이다.
도 2를 참조하면, 상기 전극라인 형성부(1200)는 기판(S)의 일면에 미세 선폭의 전극라인(120)을 형성하기 위한 것으로서, 고정노즐부(1210)와 이송노즐부(1220)와 제어부(1230)와 건조부(1240)를 포함한다.
상기 고정노즐부(121)는 기판(S)의 상측의 고정된 위치에 마련되는 것으로서, 챔버부(1211)와 복수개의 노즐(1212)을 포함한다.
상기 챔버부(1211)는 후술하는 복수개의 노즐(1212)에 연통되어 각 노즐(1212)에 전극액을 공급하기 위한 것으로서, 기판(S)의 폭방향, 즉, 기판이송방향(D)에 수직인 방향을 따라서 나란히 배열된다.
상기 복수개의 노즐(1212)은 챔버부(1211)로부터 공급되는 전극액을 기판(S)으로 분사하기 위한 경로로서, 챔버부(1211)의 하면에 복수개가 나란히 배치된다. 한편, 챔버부(1211)가 기판이송방향(D)에 수직인 방향을 따라서 길게 형성되므로, 이러한 챔버부(1211)의 길이방향을 따라서 하면에 배열되는 복수개의 노즐(1212) 역시 기판이송방향(D)에 수직인 방향을 따라서 나란히 배열된다.
한편, 고정노즐부(1210)는 소정위치에 고정된 상태이나, 연속적으로 이송되는 기판(S)과의 사이에서 상대적인 속도차이가 발생하므로, 고정노즐부(1210)로부터 하방으로 연속 분사되는 전극액에 의하여 기판(S)에는 상호 이격되는 복수개의 전극라인(120)이 기판이송방향(D)과 나란하게 인쇄될 수 있다.
한편, 본 실시예에서 노즐(1212)로부터 토출되는 전극액은 전기적 전도성을 가지는 액체 소재로서, 상술한 노즐(1212)의 내부에는 전압이 인가되기 위한 토출전극(미도시)이 배치되고, 전극액이 토출되는 노즐(1212)의 단부에 대향되는 위치에 대향전극(미도시)이 마련됨으로써, 고정노즐부(1210)는 토출전극과 대향전극의 전위차로부터 발생하는 정전기력에 의하여 전도성 전극액이 토출되는 EHD(ElectroHydroDynamics) 잉크젯의 구조를 가지나, 전도성 전극액을 토출할 수 있는 구조라면 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 이송노즐부(1220)는 기판(S)의 상측에서 기판이송방향(D)과 수직인 방향을 따라서 왕복이송되는 부재로서, 챔버부(1221)와 복수개의 노즐(1222)을 포함한다.
상기 챔버부(1221)는 기판이송방향(D)과 수직인 방향을 따라서 길게 형성되며, 상기 복수개의 노즐(1222)은 챔버부(1221)의 하면에 나란히 배열된다.
한편, 본 실시예에서 이송노즐부(1220) 역시, 상술한 고정노즐부(1210)와 마찬가지로 정전기력에 의한 전도성 전극액이 토출되는 형태의 EHD 잉크젯의 구조로 구성되는 것이 바람직하다.
상기 제어부(1230)는 이송노즐부(1220)가 소정의 구간을 왕복이송 하도록 이송노즐부(1220)를 제어하는 부재이다. 본 실시예에서 이송노즐부(1220)는 고정노즐부(1210)로부터 기판이송방향(D)을 따라서 소정간격 이격된 위치에서 기판이송방향(D)에 수직인 방향을 따라서 소정의 직선구간을 왕복하며 이송된다.
한편, 제어부(1230)는 이송노즐부(1220)의 이송경로, 이송속도, 이송주기 등의 제어가 가능하도록 설계됨으로써, 기판(S) 상에 최종 인쇄되는 그리드형 전극라인(120)의 밀도, 형태, 구조 등을 제어할 수 있다.
상기 건조부(1240)는 상술한 고정노즐부(1210)와 이송노즐부(1220)로부터 기판(S) 상에 분사된 전극액을 건조시키는 부재로서, 기판(S)의 상측에 기판이송방향(D)을 따라 이송노즐부(1220)로부터 이격되게 배치된다.
도 3은 도 1의 투명전극 제작 시스템의 증착유닛의 개략적인 사시도이고, 도 4는 도 4의 증착유닛의 진동발생부를 개략적으로 도시한 것이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 증착유닛(1300)은 상술한 전극라인 형성부(1200)를 통과하여 전극라인(120)이 형성된 기판(S) 상에 전도성 잉크를 증착하여 전극층(110)을 적층하기 위한 것으로서, 진동발생부(1310)와 유로부(1320)와 공급부(1330)와 정전기력 인가부(1340)와 냉각수단(1350)을 포함한다.
상기 진동발생부(1310)는 후술하는 유로부(1320)로부터 공급되는 전도성 잉크가 미립화(atomized)되도록 표면탄성파를 발생시키는 부재로서, 압전 베이스(1311)와 진동 전극부(1312)와 커버부(1315)와 전원부(1316)를 포함한다.
한편, 공급되는 전도성 잉크는 우수한 투명성 및 전기적 전도성을 가지는 고분자 물질로서, 본 실시예에서는 우수한 화학적 및 전기적 안정성을 가지는 PEDOT[poly(3,4-ethylenedioxythiophene)]이 이용되나, 소재가 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 압전 베이스(1311)는 후술하는 진동 전극부(1312)가 형성되는 부재로서, 전원이 인가된 진동 전극부(1312)에 의하여 표면탄성파를 발생시키는 부재이다. 본 실시예에서의 압전 베이스(1311)는 128˚Y-X 리튬나니오베이트(LiNbO3)가 사용되나, 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 진동 전극부(1312)는 소정의 전원을 인가받아 압전 베이스(1311)에 전달하기 위한 부재로서, 압전 베이스(1311) 상에 패터닝되며, 파장을 증폭시키기 위하여 압전 베이스(1311) 상의 가상의 영역인 분사영역을 기준으로 양쪽으로 제1진동전극(1313)과 제2진동전극(1314)이 대칭되게 형성된다.
상기 커버부(1315)는 비전도성 물질로서, 진동 전극부(1312)가 패터닝된 압전 베이스(1311)의 상면에 증착됨으로써 공급되는 전도성 잉크와 진동 전극부(1312) 사이의 전기적 반응을 방지하기 위한 것이다. 본 실시예에서 커버부(1315)는 투명한 비전도성 소재인 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane)이 사용되나, 투명한 비전도성의 소재라면 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 전원부(1316)는 진동 전극부(1312)에 소정의 전원을 인가하기 위한 것으로서, RF 소스부(미도시)와 RF 증폭기(미도시)를 포함한다. 상기 RF 증폭기는 상기 RF 소스부와 연결되어 진동 전극부(1312)에 증폭된 RF 전원을 인가한다.
상기 유로부(1320)는 진동발생부(1310)의 제1진동전극(1313)과 제2진동전극 (1314) 사이 영역인 분사영역(10) 상에 배치되어, 분사영역(10)에 전도성 잉크를 연속적으로 제공하는 부재이다.
상기 공급부(1330)는 유로부(1320)와 연결되어 유로부(1320)에 전도성 잉크를 공급하기 위한 것으로서, 저장부(1331)와 모니터부(1332)와 공급제어부(1333)를 포함한다.
상기 저장부(1331)는 유로부(1320)와 연결됨으로써 유로부(1320)로 공급되기 전의 전도성 잉크가 임시적으로 저장되는 장소이다.
상기 모니터부(1334)는 전도성 잉크의 유량을 모니터링하기 위한 것으로서, 보다 상세하게는, 진동발생부(1310)로부터 미립화되어 상방으로 분사되는 전도성 잉크와 유로부(1320)로부터 진동발생부(1310)의 분사영역(10) 상에 제공되는 전도성 잉크를 모니터링하기 위한 수단이다.
상기 공급제어부(1332)는 저장부(1331)로부터 유로부(1320) 측으로 전도성 잉크를 공급하되, 모니터링을 통하여 획득된 전도성 잉크의 유량정보를 이용하여 유로부(1320)에 공급되는 전도성 잉크의 유량을 제어하기 위한 부재이다.
공급제어부(1332)는 소정의 펌프로 구성되어 압력차를 이용하여 전도성 잉크의 유량을 제어할 수 있으며, 구동방식이 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 정전기력 인가부(1340)는 진동발생부(1310)에 의하여 미립화된 전도성 잉크가 상방으로 분사될 수 있도록 정전기력을 인가하는 것으로서, 제1전극(1341)과 제2전극(1342)과 전압 인가부(1343)를 포함한다.
상기 제1전극(1341)은 진동발생부(1310)의 상방에 배치되어 전도성 잉크의 증착 대상이 되는 기판(S)의 상측에 마련된다.
상기 제2전극(1342)은 기판(S)과 진동발생부(1310)의 사이에 배치되어 정전기력을 발생시킨다. 한편, 제2전극(1342)은 중앙부가 관통되게 형성됨으로써 미립화된 전도성 잉크의 입자들이 통과할 수 있도록 한다.
즉, 제2전극(1342)이 기판(S)과 진동발생부(1310)의 사이에 배치되는 경우에 분사되는 전도성 잉크가 기판(S)에 증착되지 않고 일부가 제2전극(1342)에 증착되는 현상을 방지하기 위하여 전도성 잉크의 이동경로에 배치되는 제2전극(1342)의 중심부는 관통되도록 하는 것이다.
상기 전압인가부(1343)는 제1전극(1341)과 제2전극(1342)에 전압을 인가하여 전위차가 발생하도록 함으로써 제1전극과 제2전극 사이에서의 정전기력 발생을 유도하는 부재이다.
상기 냉각수단(1350)은 압전 베이스(1311)를 냉각하기 위한 수단으로서, 본 실시예에서는 압전 베이스(1311)의 하면에 접촉하는 펠티에(Peltier) 소자로 구성되나, 압전 베이스(1311)를 냉각할 수 있는 것이라면 냉각수단(1350)은 펠티에 소자에 한정되는 것은 아니다.
지금부터는 상술한 투명전극 제작 시스템(1000)의 제1실시예를 이용한 투명전극 제작방법에 대하여 설명한다.
본 발명의 제1실시예에 따른 투명전극 제작 시스템을 이용하는 투명전극 제작방법(S100)은 전극라인 형성단계(S110)와 전극층 적층단계(S120)를 포함한다.
도 5는 도 1의 투명전극 제작 시스템을 이용한 투명전극 제작방법의 전극라인 형성단계 공정을 개략적으로 도시한 것이다.
도 5를 참조하여 설명하면, 상기 전극라인 형성단계(S110)는 기판 이송부(1100) 및 전극라인 형성부(1200)를 이용하여 기판(S) 상에 전극라인(110)을 형성하는 단계이다.
먼저, 기판 이송부(1100)에 의하여 기판(S)이 이송되면, 기판(S)은 고정 노즐부(1210)의 하방을 지나가게 된다. 이때, 고정노즐부(1210)의 복수개의 노즐(1212)로부터 전극액이 연속적으로 토출되고, 이로 인하여 이송중인 기판(S)의 상측에는 노즐(1212)과 동일한 개수의 전극라인이 연속 패터닝된다.
이때, 고정노즐부(1210)에서 분사되는 전극액으로 인하여 생성되는 기판(S) 상의 라인을 제1라인(L1)이라 정의한다.
한편, 상술한 과정에서 기판(S)이 지속적으로 이송되어 이송노즐부(1220)의 하측을 지나가게 되면, 기판이송방향(D)과 수직인 방향을 따라서 왕복 이송되는 이송노즐부(1220)의 다수개의 노즐(1222)로부터 토출되는 전극액은 하방에서 연속적으로 통과하는 기판(S)에 사선형의 전극라인을 형성한다.
즉, 이송노즐부(1220)를 사선으로 이송시키지 않고도, 이송노즐부(1220)의 단순 직선왕복 이송만으로도 이와 수직을 이루며 직선이송되는 기판(S)과의 사이에서 상대속도가 발생하므로 기판(S)에는 사선형의 전극라인이 생성된다.
이때, 이송노즐부(1220)에서 분사되는 전극액으로 인하여 생성되는 기판(S) 상의 라인을 제2라인(L2)이라 한다.
따라서, 제2라인(L2)은 복수개의 제1라인(L1)을 가로지르는 형태의 사선으로 인쇄되며, 제1라인(L1)과 제2라인(L2)은 상호 엇갈리는 그리드 형상을 형성하게 된다.
한편, 제어부(1230)를 통하여 이송노즐부(1220)의 이송속도, 이송경로, 이송주기를 제어함으로써, 기판(S)에 인쇄되는 전극라인(110)의 밀도, 형상을 제어할 수 있다. 즉, 예를 들면, 제어부(1230)가 이송노즐부(1220)의 이송속도를 빠르게 함으로써 제2라인(L2) 간의 간격은 줄어들고 더욱 조밀한 형태의 그리드형 전극라인(110)이 기판(S) 상에 인쇄될 수 있다.
다음으로, 이송노즐부(1220) 후방의 건조부(1240)가 인쇄된 전극라인(110)을 건조함으로써, 기판(S) 상에는 제1라인(L1)과 제2라인(L2)으로 구성되는 전극라인(110)이 최종 형성된다.
도 6은 도 1의 투명전극 제작 시스템을 이용한 투명전극 제작방법의 전극층 증착단계 공정을 개략적으로 도시한 것이고, 도 7은 도 6의 전극층 증착단계 공정의 동작원리를 개략적으로 도시한 것이다.
도 6 및 도 7을 참조하여 설명하면, 상기 전극층 형성단계(S120)는 기판 이송부(1100) 및 증착유닛(1300)을 이용하여 전극라인(110)이 형성된 기판(S) 상에 전도성 잉크를 증착하여 전극층(120)을 형성하고, 최종적으로 대면적의 투명전극(100)을 제작하는 단계이다.
상술한 전극라인 형성단계(S110)에서 전극라인(110)이 형성된 기판(S)이 기판 이송부(1100)에 의하여 이송되면, 증착유닛(1300)의 상측을 통과한다.
이때, 증착유닛(1300)은 전원부(1316)를 통하여 압전 베이스(1311)의 공진 주파수에 해당하는 주파수 대역의 RF 전원을 진동 전극부(1312)에 인가하고, 이에 따라 압전 베이스(1312)는 진동한다. 이때, 진동에 의하여 제1진동전극(1313)과 제2진동전극(1314) 사이의 분사영역(10)에서 표면탄성파가 발생하게 된다. 이러한 표면 탄성파는 유로부(1320)에서 공급되는 전도성 잉크를 미립화하기 위한 구동력으로 작동하게 된다.
이때, 저장부(1331)로부터 공급되는 전도성 잉크가 유로부(1320)를 통하여 분사영역(10) 상에 제공된다. 토출된 전도성 잉크는 압전 베이스(1311)로부터 발생하는 표면탄성파에 의하여 미립화(atomized) 된다.
정전기력 인가부(1340)의 전압 인가부(1343)는 제1전극(1341)에 고전압을 인가하게 되고, 제1전극(1341)과 제2전극(1342)의 사이에는 정전기력이 발생하게 된다. 미립화된 전도성 잉크 입자는 이러한 정전기력에 의하여 상방의 기판(S) 측으로 분사되고, 중앙부가 관통되게 형성되는 제2전극(1342)을 통과하여 기판(S)에 증착되며 전극층(120)을 형성하게 된다.
이와 동시에, 증착과정 중에 압전 베이스(1311)가 과도하게 가열되어 공급되는 전도성 잉크가 변성되는 것을 방지하기 위하여 냉각수단(1350)이 압전 베이스(1311)를 실시간으로 냉각한다.
한편, 상기와 같은 동작 중에 진동발생부(1310)의 분사영역(10) 상에 전도성 잉크가 끊임없이 연속적으로(continuously) 제공됨으로써 대면적의 기판(S)을 대상으로 전도성 잉크를 증착하여 전극층(120)을 최종 적증할 수 있다. 이러한 전도성 잉크 공급의 연속성은 공급 제어부(1333)에 의하여 유로부(1320)로부터 제공되는 전도성 잉크의 유량을 제어함으로써 구현되며, 전도성 잉크 공급의 연속성은 하기와 같은 방법으로 제어될 수 있다.
먼저, 제1진동전극(1313)과 제2진동전극(1314)과 분사영역(10) 상에 전도성 잉크를 공급하는 유로부(1320)의 단부를 검사체적(control volume)(20)으로 설정한다. 상기 언급한 전도성 잉크 분사의 연속성을 구현하기 위하여 설정된 검사체적(20) 내부는 정상상태(steady state)를 유지하여야 한다.
다시 말하면, 검사체적(20)으로부터 외부로 배출되는 전도성 잉크의 유량, 즉, 미립화되어 정전기력에 의하여 상방으로 분사되는 전도성 잉크의 유량은 유로부(1320)로부터 공급되는 전도성 잉크의 유량과 동일하게 제어되어야 한다.
이와 동시에, 모니터부(1334)는 분사되는 전도성 잉크와 공급되는 전도성 잉크를 모니터링하고, 모니터링을 통하여 획득된 정보를 공급제어부(1333)에 제공한다. 공급제어부(1333)는 전달되는 정보를 이용하여 유로부(1320)로 공급될 전도성 잉크의 유량을 결정한다. 따라서, 이와 같은 과정을 통하여 전도성 잉크 공급이 끊김없이 연속적으로 분사영역(10)에 제공되고, 이와 동시에 연속적인 증착공정이 진행될 수 있다.
도 8은 도 1의 투명전극 제작 시스템을 이용한 투명전극 제작방법에 의하여 제작된 투명전극을 개략적으로 도시한 것이다.
따라서, 도 8에 도시된 바와 같이, 상술한 본 실시예의 제작방법에 의하연, 연속적으로 이송되는 기판(S) 상에 그리드 형태의 전극라인(110)이 형성되고, 그 상측에는 전극층(120)이 적층됨으로써, 최종적으로 투명전극(100)이 제작될 수 있다.
다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 투명전극 제작 시스템(2000)에 대하여 설명한다.
본 발명의 제2실시예에 따른 투명전극 제작 시스템(2000)은 기판 이송부(1100)와 전극라인 형성부(2200)와 증착유닛(1300)을 포함한다. 다만, 본 실시예에서 상기 기판 이송부(1100)와 상기 증착유닛(1300)은 제1실시예에서 상술한 구성과 동일한 것이므로 중복설명은 생략한다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 투명전극 제작 시스템의 전극라인 형성부의 개략적인 사시도이다.
도 9를 참조하면, 상기 전극라인 형성부(2200)는 기판(S)의 일면에 미세 선폭의 전극라인(110)을 형성하기 위한 것으로서, 이송노즐부(2220)와 제어부(2230)와 건조부(1240)를 포함하며, 건조부(1240)는 제1실시예에서 상술한 구성과 동일한 것이므로 중복설명은 생략한다.
본 실시예에서는 제1실시예에서와 같이 위치 고정된 고정노즐부가 마련되는 것이 아니라, 왕복이송하는 한 쌍의 이송노즐부(2220)가 마련된다. 즉, 본 실시예에서 이송노즐부(2220)는 제1이송노즐부(2221)와 제2이송노즐부(2224)를 포함한다.
상기 제1이송노즐부(2221)는 챔버부(2222)와 복수개의 노즐(2223)을 포함하며, 상기 챔버부(2222)는 기판이송방향(D)을 따라서 길게 마련되되, 복수개의 노즐(2223)이 챔버부(2222)의 하면에 나란히 배열된다.
상기 제2이송노즐부(2224)는 챔버부(2225)와 복수개의 노즐(2226)을 포함하며, 상기 챔버부(2225)는 기판이송방향(D)을 따라서 길게 마련되되, 복수개의 노즐(2226)이 챔버부(2225)의 하면에 나란히 배열된다. 한편, 제2이송노즐부(2224)는 제1이송노즐부(2221)로부터 기판이송방향(D)을 따라서 소정간격 이격된 위치에 마련된다.
한편, 제1이송노즐부(2221)와 제2이송노즐부(2224)는 기판(S)의 중심을 기준으로 양측에 상호 대응되는 위치에 배치된다. 즉, 제1이송노즐부(2221)와 제2이송노즐부(2224)는 기판(S)의 길이방향을 따라 상호 이격된 위치에 배치되고, 기판(S)의 중심을 기준으로 폭방향으로 상호 마주보는 위치에 대향되게 배치된다.
상기 제어부(2230)는 이송노즐부(2220)가 기판이송방향(D)에 수직을 이루는 방향을 따라서 소정구간 내를 왕복이송하도록 이송노즐부(2220)를 제어하는 부재이다. 따라서, 상술한 바와 같이 제1이송노즐부(2221)와 제2이송노즐부(2224)는 기판(S)의 길이방향을 따라 이격되게 배치되므로, 각각의 왕복 이송경로는 서로 중복되지 않는다.
또한, 제어부(2230)는 제1이송노즐부(2221)와 제2이송노즐부(2224)의 이송을 제어하여, 기판(S)의 중심을 기준으로 각각의 폭방향 위치가 상호 대칭되도록 한다.
이하, 상술한 투명전극 제작 시스템의 제2실시예를 이용한 투명전극 제작방법에 대하여 설명한다.
본 발명의 제2실시예에 따른 투명전극 제작 시스템(S200)은 전극라인 형성단계(S210)와 전극층 적층단계(S120)를 포함한다. 다만, 전극층 적층단계(S120)는 제1실시예에서 상술한 것과 동일한 것이므로 중복설명은 생략한다.
도 10은 도 9의 투명전극 제작 시스템을 이용한 투명전극 제작방법의 전극라인 형성단계 공정을 개략적으로 도시한 것이다.
도 10에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 전극라인 형성단계(S210)에서는, 먼저, 기판(S)이 이송됨으로써 제1이송노즐부(2221)의 하방을 통과하고, 소정의 제1이송경로(P1)를 따라서 왕복이송되는 제1이송노즐부(2221)로부터 분사되는 전극액에 의하여 기판(S) 상에는 복수개의 사선형 전극라인(110)이 형성된다.
제1이송노즐부(2221)로부터 분사되는 전극액에 의하여 기판(S)에 형성되는 전극라인(110)을 제1라인(L1)이라 정의한다. 또한, 반복되는 왕복이송으로 인하여 후행(後行)하여 기판(S)에 인쇄되는 제1라인(L1)이 선행(先行)하여 인쇄된 제1라인(L1) 일부와 겹쳐져, 엇갈리게 되며, 제1이송노즐부(2221)로부터 분사되는 전극액만을 이용하는 경우에도 기판(S)의 일부영역에는 그리드 형상의 전극라인(110)이 인쇄된다.
한편, 기판(S)이 제1이송노즐부(2221)를 통과하여, 제2이송노즐부(2224)의 하방을 통과하면, 소정의 제2이송경로(P2)를 따라서 왕복이송되는 제2이송노즐부(2224)로부터 분사되는 전극액에 의하여 기판(S)에는 사선형의 제2라인(L2)이 인쇄된다.
이때, 제1이송노즐부(2221)가 좌측으로부터 우측을 향하여 이송되는 경우에, 제2이송노즐부(2224)는 우측으로부터 좌측을 향하는 이송경로로 이송되는 것이 바람직하다. 즉, 이에 의하면, 제1이송노즐부(2221)와 제2이송노즐부(2224) 각각의 이송방향의 기판(S)의 폭방향의 성분은 서로 반대방향이 된다.
또한, 제1이송노즐부(2221)와 제2이송노즐부(2224)는 기판(S)의 길이방향을 따라서 소정간격 이격된 위치에서 왕복 이송되므로, 제1이송경로(P1)와 제2이송경(P2)로는 중첩되지 않는다.
상술한 제2이송노즐부(2224)의 이송에 의하여 기판(S) 상에 제2라인(L2)이 인쇄됨으로써, 제1이송노즐부(2221)에 의하여 그리드 형태가 아닌 단일의 전극라인(110)이 인쇄된 영역 및 라인 자체가 인쇄되지 않은 영역 상에는 그리드 형태의 전극라인(110)이 최종 형성된다.
다음으로, 이송노즐부(2220)에 의하여 전극라인(110)의 인쇄가 완료된 기판(S)은 건조부(1240)에 의하여 건조된 후에, 제1실시예에서 설명한 전극층 적층단계(S120)와 동일한 공정을 통하여 전극층(120)을 적층한다.
다음으로 본 발명의 제3실시예에 따른 투명전극 제작 시스템(3000)에 대하여 설명한다.
본 발명의 제3실시예에 따른 투명전극 제작 시스템(3000)은 기판 이송부(1100)와 전극라인 형성부(1200)와 증착유닛(3300)을 포함한다. 다만, 본 실시예에서 상기 기판 이송부(1100)와 상기 전극라인 형성부(1200)는 제1실시예에서 상술한 구성과 동일한 것이므로 중복설명은 생략한다.
도 11은 본 발명의 제3실시예에 따른 투명전극 제작 시스템의 증착유닛의 개략적인 사시도이다.
도 11에 도시된 바와 같이, 상기 증착유닛(3300)은 전극라인 형성부(1200)를 통과하여 전극라인(110)이 형성된 기판(S) 상에 전도성 잉크를 증착하여 전극층(120)을 적층하기 위한 것으로서, 진동발생부(3310)와 유로부(3320)와 공급부(3330)와 정전기력 인가부(3340)와 냉각수단(1350)을 포함하며, 냉각수단(1350)은 제1실시예에서 상술한 구성과 동일한 것으로 중복 설명은 생략한다.
상기 진동발생부(3310)는 압전 베이스(1311)와 진동 전극부(3312)와 커버부(1315)와 전원부(1316)를 포함한다.
상기 진동 전극부(3312)는 제1진동전극(3313)과 제2진동전극(3314)으로 구성되는 패턴 복수개가 압전 베이스(1311) 상에서 일렬로 소정간격 이격되는 구조로 형성된다. 즉, 제1진동전극(3313)과 제2진동전극(3314) 사이의 영역을 분사영역(10)으로 정의하면, 본 실시예에서 전도성 잉크가 분사되는 분사영역(10)은 복수개가 마련되는 것이다.
한편, 상기 커버부(1315)와 전원부(1316)는 제1실시예의 구성과 동일한 것이므로 중복설명은 생략한다.
상기 유로부(3320)는 제1실시예의 유로부와 동일한 형상을 가지나, 복수개의 진동 전극부(3312)에 의하여 마련되는 복수개의 분사영역(10) 각각에 하나씩 구비됨으로써 멀티 유로부(332)를 구성한다.
상기 공급부(3330)는 저장부(3331)와 연결부(3332)와 모니터부(3333)와 공급제어부(3343)를 포함한다.
상기 저장부(3331)는 전도성 잉크를 저장하는 것으로서, 제1실시예와 동일하게 구성된다.
상기 연결부(3332)는 전도성 잉크가 유동할 수 있는 경로로서, 복수개의 유로부(3320) 각각의 단부와 저장부(3331)를 상호 연결하는 부재이다. 연결부(3332)는 저장부(3331)로부터 단일 경로를 가지고 연장되되, 복수개의 경로로 갈라짐으로써 복수개의 유로부(3320)에 각각 연결된다.
상기 모니터부(3333)는 각 분사영역(10)에 미립화되어 상방으로 분사되는 전도성 잉크와 유로부(3320)로부터 제공되는 잉크를 모니터링할 수 있도록 구비된다.
한편, 본 실시예에서와는 달리, 생산단가가 절감되도록 단일의 모니터부(3333)를 구비한 상태에서 어느 하나의 분사영역(10)만을 모니터링 하되, 모니터링이 되지 않는 분사영역(10)의 상황이 모니터링이 이루어진 분사영역(10)의 상황과 동일한 것으로 가정하여 전도성 잉크의 공급을 제어할 수도 있다.
상기 공급제어부(3334)는 모니터부(3333)로부터 제공되는 정보를 통하여 저장부(3331)로부터 연결부(3332)를 통해 각 유로부(3320)에 공급되는 전도성 잉크의 유량을 제어한다.
상기 정전기력 인가부(3340)는 제1전극(3341)과 제2전극(3342)과 전압인가부(3343)를 포함하고, 상기 제1전극(3341)과 상기 전압인가부(3343)는 제1실시예에서 설명한 것과 동일한 것이므로 중복설명은 생략한다.
상기 제2전극(3342)은 기판(S)과 압전 베이스(1311) 사이에 배치되며, 복수개의 분사영역(10)에서 상방으로 분사되는 전도성 잉크가 통과할 수 있도록 관통된다. 이때, 서로 이웃하는 분사영역(10)으로부터 분사되는 전도성 잉크의 분사경로의 사이 공간도 완전히 관통되게 형성됨으로써, 의도하지 않게 일부의 전도성 잉크가 제2전극(3342)에 증착되는 문제를 방지할 수 있다.
즉, 본 실시예의 제2전극(3342)은 제1실시예의 구성과 유사하며, 내부가 완전히 관통되게 형성됨으로써, 제2전극(3342)이 분사되는 전도성 잉크의 저항체 또는 방해물이 되는 것을 방지한다.
상기 전압인가부는 제1실시예서 상술한 구성과 동일한 것이므로 중복설명은 생략한다.
이하, 상술한 투명전극 제작 시스템의 제3실시예를 이용한 투명전극 제작방법(S300)에 대하여 설명한다.
본 발명의 제3실시예에 따른 투명전극 제작 시스템을 이용한 투명전극 제작방법(S300)은 전극라인 형성단계(S110)와 전극층 적층단계(S320)를 포함한다. 다만, 전극라인 형성단계(S110)는 제1실시예에서 상술한 것과 동일한 것이므로 중복설명은 생략한다.
먼저, 기판 이송부(1100)에 의하여 전극라인 형성단계(S110)로부터 전극라인(110)이 형성된 기판(S)이 이송되어, 증착유닛(3300)의 하측에 도달하면, 전원부(1316)를 통하여 압전 베이스(1311)의 공진 주파수에 해당하는 주파수 대역의 RF 전원을 진동 전극부(3312)에 인가하고, 각 분사영역(10)에 대응되는 압전 베이스(1311)가 진동함으로써 표면탄성파가 발생하도록 한다.
이때, 각 유로부(3320)로부터 분사영역(10) 상에 공급되는 전도성 잉크는 표면탄성파에 의하여 미립화되고, 정전기력 인가부(3340)에 의하여 형성되는 정전기력을 통하여 상방으로 분사되어 기판(S)에 증착된다.
한편, 중앙부가 완전히 관통되는 제2전극(3342)을 통하여 전도성 잉크가 분사되므로 전도성 잉크는 제2전극(3342)의 방해없이 기판(S)에 증착되어, 연속적으로 이송되는 기판(S0 상에 전극층을 형성한다.
또한, 제1실시예에서와 같이, 각 모니터부(3333)는 각 분사영역(10) 상에서 분사되는 전도성 잉크와 유로부(3320)로부터 공급되는 전도성 잉크를 모니터링하고, 획득된 유량정보를 공급제어부(3334)에 제공한다.
공급제어부(3334)는 저장부(3331)로부터 연결부(3332) 측으로 배출되는 전도성 잉크의 유량을 제어함으로써, 복수개의 유로부(3320)부터로부터 각 분사영역(10)에 공급되는 전도성 잉크의 유량을 동시에 제어할 수 있다.
본 실시예에서 복수개의 분사영역(10) 상에서 미립화되어 상방으로 분사되는 전도성 잉크의 유량과 각 유로부(3320)로부터 공급되는 전도성 잉크의 유량이 동일하도록 제어함으로써 전도성 잉크 분사의 연속성을 구현할 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
1000 : 본 발명의 제1실시예에 따른 투명전극 제작 시스템
1100 : 기판이송부 1200 : 전극라인 형성부
1210 : 고정노즐부 1220 : 이송노즐부
1230 : 제어부 1240 : 건조부
1300 : 증착유닛 1310 : 진동발생부
1320 : 유로부 1330 : 공급부
1340 : 정전기력 인가부 1350 : 냉각수단

Claims (13)

  1. 기판을 장착한 상태에서 이송시키는 기판 이송부;
    기판이송방향과 다른 방향을 따라서 왕복 이송되며 상기 기판 측으로 전극액을 분사하여 전극라인을 형성하는 이송 노즐부를 구비하는 전극라인 형성부;
    전원을 인가받아 표면탄성파(surface acoustic wave)를 발생시킴으로써 상기 전극라인이 형성된 기판에 전극층이 형성되도록 전도성 잉크를 분사하는 증착유닛;을 포함하고,
    상기 증착유닛은,
    상기 기판과 이격되게 배치되는 압전 베이스, 상기 압전 베이스 상에 패터닝되는 진동 전극부를 포함하며, 전원을 인가받아 표면탄성파를 발생시키는 진동발생부;
    상기 진동발생부에 전도성 잉크를 연속적으로 공급하는 유로부;
    상기 유로부에 상기 전도성 잉크를 제공하는 공급부;
    상기 진동발생부에서 표면탄성파에 의하여 미립화(atomized)된 전도성 잉크가 상기 기판에 증착되도록 상기 미립화된 전도성 잉크의 유동을 상기 기판 측으로 유도하기 위한 정전기력을 인가하는 정전기력 인가부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 진동 전극부는 상호 이격되는 제1진동전극과 제2진동전극을 포함하고, 상기 제1진동전극과 상기 제2진동전극의 사이에는 상기 압전 베이스 상에 형성되는 가상의 분사영역이 형성되며,
    상기 유로부는 상기 분사영역 상에 전도성 잉크를 공급할 수 있도록 배치되는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 공급부는 전도성 잉크가 저장되는 저장부; 상기 진동발생부로부터 분사되는 전도성 잉크와 상기 유로부로부터 공급되는 전도성 잉크를 모니터하는 모니터부; 상기 진동발생부로부터 미립화되어 분사되는 전도성 잉크의 유량(flow rate)과 상기 진동발생부에 공급되는 전도성 잉크의 유량이 동일하도록 상기 저장부로부터 상기 유로부로 공급되는 전도성 잉크의 유량을 제어하는 공급제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 진동 전극부는 복수개가 상기 압전 베이스 상에 일렬로 배치되고,
    상기 유로부는 복수개가 상기 각각의 진동 전극부의 분사영역 상에 하나씩 마련되며,
    상기 공급부는 일단부가 상기 저장부와 연결되고, 타단부는 여러 경로로 나누어져 상기 복수개의 유로부 각각에 연결되는 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 분사영역 상에 공급되는 전도성 잉크가 변성되는 것이 방지되도록 상기 압전 베이스를 냉각시키기 위한 냉각수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 냉각수단은 상기 압전베이스의 하면에 장착되는 펠티에(Peltier) 소자인 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이송 노즐부는 상기 기판이송방향에 수직인 방향을 따라서 왕복이송되는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 전극라인 형성부는 전극액을 분사하는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향의 수직방향을 따라서 배열되되, 고정된 위치에서 전극액을 분사하는 고정노즐부를 더 포함하고,
    상기 이송 노즐부에 구비되는 복수개의 노즐은 상기 기판이송방향의 수직방향을 따라 배열되는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 이송 노즐부는 복수개가 서로 다른 이송경로를 따라서 왕복 이송되되, 상기 복수개의 이송 노즐부 각각의 이송경로는 중복되지 않도록 설정되는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 복수개의 이송 노즐부는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향을 따라서 나란히 배열되되,
    상기 기판이송방향에 수직한 방향을 따라서 왕복 이송되는 제1멀티노즐부; 상기 제1멀티노즐부의 이송방향과 반대방향을 따라서 왕복 이송되는 제2멀티노즐부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작 시스템.
  11. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 투명전극 제작 시스템을 이용하여 투명전극 제작하는 방법에 있어서,
    소정의 이송구간 내에서 왕복 이송되며 전극액을 분사함으로써 이송되는 기판 상에 전극라인을 형성하는 전극라인 형성단계;
    전원을 인가받아 표면탄성파를 발생시킴으로써 상기 전극라인이 형성된 기판에 전도성 잉크를 분사하여 전극층을 적층하는 전극층 적층단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 전극라인 형성단계는 서로 다른 이송구간 내에서 이송되는 복수개의 노즐로부터 전극액을 분사함으로써 전극라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제작방법.
  13. 삭제
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