KR101307310B1 - Pick up cylinder for elemnet of semiconductor - Google Patents

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Abstract

본 발명은 실린더 가이드와 실린더 바디, 그리고 실린더 바디와 버큠샤프트 등의 각 부품간 장착 구조에 있어 실린더 가이드에 대한 실린더 바디의 흔들림 없는 상하 이동 및 실린더 바디에 대한 버큠샤프트의 흔들림 없는 상하 이동, 그리고 버큠샤프트의 공회전 방지를 보장할 수 있는 구조를 제공하여 안정된 상하이동이 보장되도록 하는 듀얼 가이드형 반도체 소자용 픽업실린더에 관한 것으로,
실린더 바디와, 상기 실린더 바디가 안착되는 실린더 가이드와, 상기 실린더 바디를 관통하면서 실린더 가이드에 장착되어 실린더 바디의 상하 운동을 가이드 하기 위한 제1 및 제 2 가이드 샤프트와, 그리고 상기 실리더 바디에 장착되어 상하 운동이 이루어지는 것으로 단부에 반도체 소자 흡탈착을 위한 진공흡착부가 구비된 버큠샤프트를 포함하여 이루어지되, 상기 실린더 가이드에는 상기 실린더 바디 일부가 배열되기 위한 것으로 일측이 개방된 수용홈이 형성되고 상기 수용홈에는 슬라이딩블럭이 돌출 형성되어, 상기 슬라이딩블럭이 실린더 바디에 요입 형성된 슬라이딩로드를 타면서 실린더 바디의 뒤틀림없는 상하 이동을 가이드하는 것을 기술적 특징으로 한다.According to the present invention, in the mounting structure between the cylinder guide and the cylinder body, and each component such as the cylinder body and the shaft shaft, the vertical movement of the cylinder body relative to the cylinder guide and the vertical movement of the vibration shaft relative to the cylinder body, and the vibration The present invention relates to a pickup cylinder for a dual guide type semiconductor device, which provides a structure that can prevent the shaft from idling and ensures stable shankdong.
A cylinder body, a cylinder guide on which the cylinder body is seated, first and second guide shafts mounted to the cylinder guide while penetrating the cylinder body to guide the vertical movement of the cylinder body, and mounted to the cylinder body. It is made up and down movement is made to include a vacuum shaft having a vacuum suction portion for the semiconductor device adsorption and desorption at the end, the cylinder guide is to be arranged a portion of the cylinder body is formed in the receiving groove is open at one side A sliding block protrudes in the receiving groove, and the sliding block is technically characterized by guiding the up and down movement of the cylinder body while riding on the sliding rod recessed in the cylinder body.

Figure R1020110084380
Figure R1020110084380

Description

안정된 상하이동이 보장된 듀얼 가이드형 반도체 소자용 픽업실린더{PICK UP CYLINDER FOR ELEMNET OF SEMICONDUCTOR}PICK UP CYLINDER FOR ELEMNET OF SEMICONDUCTOR}

본 발명은 듀얼 가이드형 반도체 소자용 픽업실린더에 관한 것으로, The present invention relates to a pickup cylinder for a dual guide type semiconductor device,

보다 구체적으로는 반도체 소자 픽업시 정확한 위치 제어가 가능하도록 하기 위하여 안정된 실린더의 상하 이동 보장을 위한 가이드 샤프트를 2개 사용함과 더불어, More specifically, in order to enable accurate position control when picking up a semiconductor device, two guide shafts are used to ensure the up and down movement of a stable cylinder.

실린더 가이드와 실린더 바디, 그리고 실린더 바디와 버큠샤프트 등의 각 부품간 장착 구조에 있어 실린더 가이드에 대한 실린더 바디의 흔들림 없는 상하 이동 및 실린더 바디에 대한 버큠샤프트의 흔들림 없는 상하 이동, 그리고 버큠샤프트의 공회전 방지를 보장할 수 있는 구조를 제공하여 안정된 상하이동이 보장되도록 하는 듀얼 가이드형 반도체 소자용 픽업실린더에 관한 것이다.
In the mounting structure between the cylinder guide and the cylinder body, and each component such as the cylinder body and the shaft shaft, the cylinder body does not move up and down with respect to the cylinder guide, the vibration shaft does not move up and down with respect to the cylinder body, and the idle shaft is idle The present invention relates to a pick-up cylinder for a dual guide type semiconductor device, which provides a structure capable of guaranteeing prevention, thereby ensuring a stable shangdong.

통상적으로 반도체 제조 공정에는 칩 부품과 같은 반도체 소자를 픽업하여 조립공정으로 이송하기 위하여 픽업실린더가 사용되는데, In general, a pickup cylinder is used in a semiconductor manufacturing process to pick up a semiconductor element such as a chip component and transfer it to an assembly process.

이러한 픽업실린더는 정밀한 반도체 칩을 각 공정에 따라 정밀하게 움직이면서도 손상을 주지 않기 위해서 주로 진공흡입 방식을 사용하여 이송을 하게 된다.The pickup cylinder is mainly transferred by using a vacuum suction method in order to move the precise semiconductor chip precisely according to each process and not to damage.

이에 한 개의 반도체 소자 진공 흡입용 버큠샤프트와 공압에 의해 상하 이송되며 버큠샤프트를 이송시키는 피스톤로드를 포함하여 구성된 픽업실린더를 주로 사용하게 되는데, Therefore, a pickup cylinder composed of a single vacuum suction vacuum shaft and a piston rod which is vertically transferred by pneumatic and transfers the vacuum shaft is mainly used.

이러한 픽업실린더로는 하나의 실린더 바디에 버큠샤프트 하나가 설치된 싱글픽업실린더와, 하나의 실린더 바디에 두 개의 버큠샤프트가 설치된 더블픽업실린더가 있으며, Such pickup cylinders include a single pick-up cylinder in which one cylinder shaft is installed in one cylinder body, and a double pick-up cylinder in which two cylinder shafts are installed in one cylinder body.

또는 실린더 바디의 상하 이동을 가이드하는 피스톤로드(또는 가이드샤프트)의 경우 하나로 구성된 픽업실린더가 있는 반면, 실린더 바디의 안정된 상하 이동 도모를 위해 두 개로 형성된 소위 듀얼 가이드 픽업실린더가 있다.
Or in the case of a piston rod (or guide shaft) for guiding the vertical movement of the cylinder body, there is a single pickup cylinder, while there is a so-called dual guide pickup cylinder formed in two for stable up and down movement of the cylinder body.

그리고 픽업실린더를 구성하는 버큠샤프트 일단에는 흡입컵(suction cup)이 설치되어 피스톤로드에 의해 소정의 스트로크로 돌출되면(즉 하강하면) 반도체 소자의 표면에 맞닿음한 흡입컵에 공기흡입기와 같은 부압발생수단에 의해 부압 발생으로 상기 반도체 소자를 흡입고, 다시 피스톤로드의 상승에 따라 소정 스트로크로 인입하는 것에 의해 반도체 소자르 픽업하도록 구성된다.
When a suction cup is installed at one end of the vacuum shaft constituting the pickup cylinder and protrudes with a predetermined stroke by the piston rod (that is, when it is lowered), a negative pressure such as an air suction is applied to the suction cup which is in contact with the surface of the semiconductor element. The semiconductor device is configured to pick up the semiconductor element by suctioning the semiconductor element by the generation of negative pressure and drawing it in a predetermined stroke as the piston rod rises.

물론, 상기와 같은 구성 및 작동을 가지는 픽업실린더는 승하강시 위치 오차가 적어야 정밀한 반도체 칩 등의 반도체 소자에 적용될 수 있는 것인데, Of course, the pickup cylinder having the configuration and operation as described above can be applied to a semiconductor device such as a precise semiconductor chip when the position error at the time of lifting and lowering is small,

승하강시 오차가 적다는 것은 픽업실린더의 버큠샤프트 및 피스톤로드 등의 구성이 흔들리지 않고 안정된 상하 이동이 이루어져야 한다는 것을 의미한다.
The small error in the raising and lowering means that the structure of the pickup shaft and the piston rod of the pickup cylinder should be stable and move up and down without shaking.

그런데 종래 픽업실린더를 살펴보면, 이하 설명될 본 발명과 동일한 듀얼 가이드형으로 등록특허 제10-0580816호(2006.05.10)반도체 디바이스의 인라인 이송용 피벗 회전형 공압 픽커, 이를 이용한 픽커 모듈, 및 반도체 디바이스의 이송 방법이 개시되어 있다.
By the way, when looking at the conventional pickup cylinder, the same dual guide type of the present invention to be described below Patent No. 10-0580816 (2006.05.10) Pivot-type pivoting pneumatic picker for in-line transfer of a semiconductor device, a picker module using the same, and a semiconductor device The conveying method of is disclosed.

상기 등록특허 제10-0580816호는 이하 설명될 본 발명과 동일한 듀얼 가이드형 구조의 픽업실린더인데, 반도체 소자를 흡착하는 피벗 샤프트(즉, 버큠샤프트)로 피벗 회전 가능하도록 구성한 것을 기술적 특징으로 한다.Patent No. 10-0580816 discloses a pickup cylinder having a dual guide type structure, which is the same as the present invention to be described below, which is configured to pivot on a pivot shaft (that is, a shaft shaft) that absorbs a semiconductor device.

결국 피벗 샤프트 즉 버큠샤프트를 회전시킨다는 것은 회전된 이후의 안정성을 특별히 도모하지 않는 이상 샤프트 자체에 흔들림이 생겨 승하강시 오차가 발생될 수 있어 정확한 위치에 반도체 칩 이송에 한계가 있게 된다.
As a result, the rotation of the pivot shaft, i.e., the shaft shaft, may cause an oscillation in the shaft itself unless a special stability of the pivot shaft is achieved, and thus an error may occur when the shaft is moved up and down.

그런데 상기 등록특허 제10-0580816호에 개시된 구조를 살펴보면, 이러한 샤프트 자체에 생길 수 있는 공회전 등의 흔들림을 잡아줄 수 있는 어떠한 보강 구조를 제시하고 있지 못하며, However, when looking at the structure disclosed in the Patent No. 10-0580816, it does not suggest any reinforcing structure that can catch the shaking of the idle, such as may occur in the shaft itself,

나아가 본 발명에서 추구하는 안정된 상하이동을 위한 실린더 바디 및 실린더 등에 채용되는 어떠한 보강 구조를 제시하고 있지 못한바, Furthermore, it does not suggest any reinforcing structure to be employed in the cylinder body and the cylinder for the stable shandongdong pursued by the present invention,

개선이 요구되는 구조에 해당된다.
This corresponds to a structure that requires improvement.

특히 고도의 정밀성이 요구되는 반도체 분야의 특성상 반도체 소자 픽업시 정확한 위치 제어 및 이에 대한 정확도가 떨어지게 되면 추후 제품 불량으로까지 이어져 생산성 저하를 가져오게 된다는 문제점이 있다.
In particular, due to the characteristics of the semiconductor field that requires a high degree of precision, if the accurate position control and accuracy of the semiconductor device pickup are reduced, it may lead to product defects later, resulting in a decrease in productivity.

이에 본 발명은 상기한 종래 듀얼 가이드형 픽업실린더에 대한 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로, Therefore, the present invention has been made to improve the problem with the conventional dual guide type pickup cylinder,

실린더 바디의 안정된 상하 이동 도모를 위해 듀얼 가이드형으로 하면서도 이와 함께 실린더 가이드에 가이드블럭을 그리고 실린더 바디에 가이드로드를 형성하여 실린더 바디의 상하 이동시 가이드블럭이 가이드로드를 타고 이동될 수 있도록 하여 뒤틀림 없는 안정된 상하 이동이 보장되는 듀얼 가이드형 픽업실린더를 제공하고자 하는 것을 목적으로 한다.Dual guide type for stable up and down movement of the cylinder body, and guide block on the cylinder guide and guide rod on the cylinder body, so that the guide block can be moved on the guide rod when the cylinder body is moved up and down. An object of the present invention is to provide a dual guided pick-up cylinder with stable up and down movement.

뿐만 아니라 실린더 바디의 말단에 생길 수 있는 흔들림 현상을 방지하기 위하여 실린더 가이드에 대한 실린더 바디의 상하 운동을 보다 정밀하게 가이드해주기 위한 가이드블럭이 설치된 픽업실린더를 제공하고자 하는 것을 목적으로 한다.
In addition, an object of the present invention is to provide a pickup cylinder with a guide block for guiding the up and down motion of the cylinder body with respect to the cylinder guide more precisely in order to prevent a shaking phenomenon that may occur at the end of the cylinder body.

또한 버큠샤프트의 상하 이동에 있어서도 가이드샤프트에 버큠샤프트가 연결형성되어 상하 이동이 가이드될 뿐만 아니라 버큠샤프트가 삽입되어 함께 이동되는 장착블럭이 실린더 바디의 턱을 타고 이동될 수 있도록 하여 버큠샤프트의 상하 이동에 있어서도 뒤틀림 없는 안정된 상하 이동이 보장될 수 있는 구조를 가진 픽업실린더를 제공하고자 하는 것을 목적으로 한다.
In addition, the vertical shaft is connected to the guide shaft in the vertical shaft movement so that the vertical shaft can be guided up and down, and the mounting shaft which is moved by inserting the shaft shaft can be moved through the jaw of the cylinder body. An object of the present invention is to provide a pickup cylinder having a structure that can ensure stable up and down movement without distortion even in movement.

또한 진공흡착부가 구비된 버큠샤프트에 있어서도 상하 이동시 의도되지 않은 흔들림 내지 회전을 사전에 방지할 수 있는 구조를 가진 픽업실린더를 제공하고자 하는 것을 목적으로 한다.
Another object of the present invention is to provide a pickup cylinder having a structure capable of preventing unintentional shaking or rotation in advance when moving up and down even in a vacuum shaft provided with a vacuum suction unit.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 안정된 상하이동이 보장된 듀얼 가이드형 반도체 소자용 픽업실린더는, In order to achieve the above object, the pickup cylinder for the dual guide type semiconductor device of which the stable shandong copper of the present invention is guaranteed is

실린더 바디와, With cylinder body,

상기 실린더 바디가 안착되는 실린더 가이드와, A cylinder guide on which the cylinder body is seated;

상기 실린더 바디를 관통하면서 실린더 가이드에 장착되어 실린더 바디의 상하 운동을 가이드 하기 위한 제1 및 제 2 가이드 샤프트와, 그리고First and second guide shafts mounted to the cylinder guide while penetrating the cylinder body to guide the vertical movement of the cylinder body, and

상기 실리더 바디에 장착되어 상하 운동이 이루어지는 것으로 단부에 반도체 소자 흡탈착을 위한 진공흡착부가 구비된 버큠샤프트를 포함하여 이루어지되, It is mounted to the cylinder body to be made up and down movement, including a vacuum shaft having a vacuum suction portion for the semiconductor device adsorption-desorption at the end,

상기 실린더 가이드에는 상기 실린더 바디 일부가 배열되기 위한 것으로 일측이 개방된 수용홈이 형성되고 상기 수용홈에는 슬라이딩블럭이 돌출 형성되어,The cylinder guide is for arranging a portion of the cylinder body, the receiving groove is formed on one side is opened and the receiving groove is formed with a sliding block protruding,

상기 슬라이딩블럭이 실린더 바디에 요입 형성된 슬라이딩로드를 타면서 실린더 바디의 뒤틀림없는 상하 이동을 가이드하는 것을 기술적 특징으로 한다.
Technically, the sliding block guides the up and down movement of the cylinder body while riding the sliding rod formed in the cylinder body.

또한 본 발명의 듀얼 가이드형 반도체 소자용 픽업실린더는, 상기 실린더 바디에는 삽입 장착된 제2 가이드샤프트와 버큠샤프트 노출을 위한 전방홈이 형성되고 상기 전방홈에는 전방홈에 안치되는 것으로 제2 가이드샤프트와 버큠샤프트가 관통되는 장착블럭이 구비되는데,In addition, the pick-up cylinder for a dual guide type semiconductor device of the present invention has a second guide shaft inserted into the cylinder body and a front groove for exposing the shaft shaft, and the second guide shaft being placed in the front groove in the front groove. And a mounting block through which the shaft is penetrated,

상기 버큠샤프트에는 버큠샤프트 회전 방지를 위한 회전방지 홈이 형성되어, The vibration shaft is formed with an anti-rotation groove for preventing the rotation of the clutch shaft,

조임수단으로 상기 장착블럭을 관통해 상기 회전방지홈을 조임으로서 장착된 버큠샤프트의 공회전이 방지되도록 하는 것을 기술적 특징으로 한다.
It is a technical feature to penetrate the mounting block by tightening means to prevent idle rotation of the mounted shaft shaft by tightening the anti-rotation groove.

더욱이 전방홈의 일면에는 턱이 형성되고 전방홈에 안치되는 장착블럭에는 상기 턱을 수용하기 위한 대응홈이 형성되어, 버큠샤프트의 뒤틀립없는 상하 이동이 가이드되는 것을 기술적 특징으로 한다.
Furthermore, one side of the front groove is formed with a jaw and the mounting block placed in the front groove is formed with a corresponding groove for accommodating the jaw, characterized in that the up and down movement of the clutch shaft is guided up and down.

다음으로 본 발명의 듀얼 가이드형 반도체 소자용 픽업실린더는, Next, the pickup cylinder for a dual guide type semiconductor element of the present invention,

실린더 가이드의 저면에는 실린더 바디의 안정된 상하 이동을 보장하기 위한 가이드블럭이 구비되되, The bottom of the cylinder guide is provided with a guide block for ensuring a stable vertical movement of the cylinder body,

상기 가이드블럭은 실린더 가이드 저면에 장착되는 장착판과, 상기 장착판과 연결형성된 것으로 실린더 바디에 형성된 제1 블럭홈과 실린더 가이드에 형성된 제2 블럭홈에 삽입되는 삽입부로 이루어지는 것을 기술적 특징으로 한다.
The guide block may include a mounting plate mounted on a bottom surface of the cylinder guide, and an insertion portion inserted into the first block groove formed in the cylinder body and the second block groove formed in the cylinder guide.

상기한 구성을 가진 본 발명에 의하면, According to the present invention having the above configuration,

실린더 바디가 두 개의 가이드 샤프트를 통해 상하 이동이 이루어질 뿐만 아니라 상기 상하 이동시 실린더 바디에 형성된 슬라이딩로드를 따라 실린더 가이드에 형성된 슬라이딩블럭이 상하 이동됨으로써 실린더 바디 자체의 흔들림이 방지되어 안정된 상하 이동을 기대할 수 있게 되었다는 효과를 가진다.
The cylinder body is moved up and down through two guide shafts, and the sliding block formed on the cylinder guide is moved up and down along the sliding rod formed in the cylinder body when the vertical movement is performed, thereby preventing the shaking of the cylinder body itself, thus providing stable vertical movement. Has the effect.

또한 버큠샤프트의 상하 이동에 있어서도 제2 가이드샤프트와 버큠샤프트가 함께 관통 장착된 장착블럭이 구비되되, 상기 장착블럭의 대응홈이 실린더 바디에 형성된 턱을 따라 이동되게 됨으로써 버큠샤프트의 상하 이동 역시 흔들림이 방지되어 안정된 상하 이동을 기대할 수 잇게 되었다는 효과를 가진다.
In addition, the up and down movement of the shaft shaft is provided with a mounting block through which the second guide shaft and the shaft shaft are mounted together, and the corresponding groove of the mounting block is moved along the jaw formed in the cylinder body, so that the vertical shaft also moves up and down. This has the effect of being able to anticipate stable up and down movement.

또한 버큠샤프트 자체에 있어서도 흔들림 즉, 회전되는 현상이 방지되는 구조여서 역시 안정된 버큠샤프트의 상하 이동과 이에 따른 픽업시 정밀한 위치 제어가 가능하다는 효과를 가진다.
In addition, even in the shaft shaft itself, the shaking, that is, the structure that prevents the rotation is also prevented has the effect of vertical movement of the stable shaft shaft, and thereby precise position control during pickup.

그리고 본 발명의 듀얼 가이드형 반도체 소자용 픽업실린더는 실린더 가이드에 실린더 가이드와 실린더 몸체에 일부가 삽입되어 실린더 바디의 말단부 상하 이동을 안정되게 하는 가이드블럭이 더 구비되어 역시 픽업시 생길 수 있는 흔들림 등을 잡아주어 안정된 상하 이동이 보장되고 이에 따른 정확한 위치 제어가 이루어질 수 있다는 효과를 가진다.
The dual guide type semiconductor device pickup cylinder of the present invention is further provided with a guide block for stabilizing vertical movement of the distal end of the cylinder body by inserting a portion of the cylinder guide and the cylinder body into the cylinder guide. By holding a stable up and down movement is ensured and has the effect that accurate position control can be made accordingly.

도 1은 본 발명의 외관을 도시한 사시도인 것으로, (a)는 실린더 바디가 하강된 상태를 도시한 사시도이고, (b)는 승강상태의 사시도임.
도 2 역시 본 발명의 외관을 도시한 사시도로써, 도 1을 기준하여 저면 상태의 사시도를 도시한 것임.
도 3은 본 발명에 대한 분해 사시도임.
도 4는 본 발명에 따른 단면도인 것으로, (a)는 실린더 바디가 하강된 상태의 단면도이고, (b)는 승강상태의 단면도임.
도 5는 본 발명에 따른 버큠샤프트가 하강된 상태의 외관을 도시한 사시도인 것으로 도 1과는 반대방향 즉, 뒷면이 도시되게끔 나타낸 것임.1 is a perspective view showing the appearance of the present invention, (a) is a perspective view showing the cylinder body is lowered, (b) is a perspective view of the elevated state.
Figure 2 is also a perspective view showing the appearance of the present invention, showing a perspective view of the bottom state with reference to FIG.
3 is an exploded perspective view of the present invention.
4 is a cross-sectional view according to the present invention, (a) is a cross-sectional view of the cylinder body is lowered state, (b) is a cross-sectional view of the elevated state.
Figure 5 is a perspective view showing the appearance of the push shaft in the lowered state in accordance with the present invention to the opposite direction, that is, to show the back side shown in FIG.

이하 도면을 참조하여 본 발명에 따른 듀얼가이드형 픽업실린더를 보다 구체적으로 설명하도록 한다.
Hereinafter, a dual guide type pickup cylinder according to the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1, 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이 본 발명에 의한 반도체 소자용 픽업실린더는, As shown in FIG. 1, FIG. 2 and FIG. 5, a pickup cylinder for a semiconductor device according to the present invention,

실린더 바디(10)와, Cylinder body 10,

상기 실린더 바디가 안착되는 실린더 가이드(20)와, A cylinder guide 20 on which the cylinder body is seated;

상기 실린더 바디를 관통하면서 실린더 가이드에 장착되어 실린더 바디의 상하 운동을 가이드 하기 위한 제1 및 제 2 가이드 샤프트(31, 32)와, First and second guide shafts 31 and 32 mounted to the cylinder guide while penetrating the cylinder body to guide the vertical movement of the cylinder body;

상기 실리더 바디에 장착되어 상하 운동이 이루어지는 것으로 단부에 반도체 소자 흡탈착을 위한 진공흡착부(50)가 구비된 버큠샤프트(40)를 포함하여 이루어진다.
It is mounted on the cylinder body to the vertical movement and comprises a vacuum shaft 40 having a vacuum suction unit 50 for the semiconductor device adsorption and detachment at the end.

즉 상기와 같은 구성에 의해 버큠샤프트(40)가 장착된 실린더 바디(10)는 실린더 가이드의 듀얼 가이드 즉, 제1 및 제2 가이드샤프트(31, 32)를 타면서 상하 이동이 이루어지게 되고, That is, the cylinder body 10 equipped with the shaft shaft 40 is configured to move up and down while riding the dual guides, that is, the first and second guide shafts 31 and 32 of the cylinder guide.

버큠샤프트(40) 역시 실린더 바디(10) 내부에서 상하로 이동되게 된다.
The clutch shaft 40 is also moved up and down inside the cylinder body 10.

보다 구체적으로 도 3을 참조하여 설명하면,
More specifically, referring to FIG. 3,

상기 실린더 바디(10)에는 버큠샤프트(40) 관통을 위한 샤프트로드(10a)가 형성되어, 상기 샤프트로드(10a)를 통해 버큠샤프트(40)가 실린더 바디(10)에 삽입·장착된다.The cylinder body 10 is formed with a shaft rod 10a for penetrating the shaft shaft 40, and the shaft shaft 40 is inserted and mounted in the cylinder body 10 through the shaft rod 10a.

그리고 샤프트로드(10a)가 형성된 일측으로는 제1 가이드샤트프(31)와 제2 가이드샤트프(32)가 삽입·관통되기 위한 제1 및 제2 슬라이드 로드(10b, 10c)가 형성된다.
The first and second slide rods 10b and 10c for inserting and passing the first guide shaft 31 and the second guide shaft 32 are formed at one side where the shaft rod 10a is formed.

다음으로 실린더 가이드(20)를 살펴보면, Looking at the cylinder guide 20 next,

상기 실린더 가이드에는 일측이 개방된 수용홈(21)이 형성되는데 상기 수용홈에는 실린더 바디(10)의 일부가 배열되면서 실린더 가이드에 실린더 바디가 안치된다.
The cylinder guide is formed with a receiving groove 21 having one side open. The receiving groove has a portion of the cylinder body 10 arranged therein so that the cylinder body is placed in the cylinder guide.

그리고 수용홈(21) 상부로는 제1 및 제2 가이드샤프트 안착을 위한 제1 및 제2 안착홈(20a, 20b)이 형성되는데,In addition, first and second seating grooves 20a and 20b for seating the first and second guide shafts are formed on the upper side of the receiving groove 21.

제1 및 제2 슬라이딩로드(10b, 10c)를 통해 실린더 바디(10)에 삽입된 제1 및 제2 가이드샤프트(31, 32)가 상기 제1 및 제2 안착홈(20a, 20b)에 안치된 후 결합블럭(27)이 체결됨으로서 The first and second guide shafts 31 and 32 inserted into the cylinder body 10 through the first and second sliding rods 10b and 10c are placed in the first and second seating grooves 20a and 20b. After the coupling block 27 is fastened

실린더 바디 및 실린더 가이드에 대한 제1 및 제2 가이드샤프트의 장착이 완료되고, The mounting of the first and second guide shafts to the cylinder body and the cylinder guide is completed,

이를 통해 실린더 가이드에 대한 실린더 바디의 장착이 함께 완료된다.
This completes the mounting of the cylinder body to the cylinder guide.

특히 상기 수용홈의 저면에는 슬라이딩블럭(25)이 저면에 비해 돌출 형성되고, In particular, the sliding block 25 is formed on the bottom of the receiving groove protruding from the bottom,

이와 대응되는 위치의 실린더 바디에는 상기 가이드블럭이 삽입되는 슬라이딩로드(11)가 실린더 바디 전면 즉 상단에서 하단까지 형성되어 있는바,
A sliding rod 11 into which the guide block is inserted is formed in the cylinder body at a position corresponding thereto from the front of the cylinder body, that is, from the top to the bottom,

실린더 바디의 상하이동시, 슬라이딩블럭(25)이 실린더 바디에 요입 형성된 슬라이딩로드(11)를 타면서 실린더 바디의 이동이 이루어지는바 실린더 바디의 뒤틀림없는 즉 흔들림 없는 상하 이동을 가이드하게 된다.
Simultaneously with the movement of the cylinder body, the sliding block 25 rides on the sliding rod 11 formed in the cylinder body to move the cylinder body, thereby guiding the distortion-free movement of the cylinder body.

다음으로 실린더 바디(10)를 다시 살펴보면, Next, look again at the cylinder body (10),

상기 실린더 바디에는 삽입 장착된 제2 가이드샤프트(32)와 버큠샤프트(40) 노출을 위한 전방홈(15)이 형성되고, The cylinder body has a front groove 15 for exposing the second guide shaft 32 and the shaft shaft 40 inserted therein is formed,

상기 전방홈(15)으로 노출된 제2 가이드샤프트(32)와 버큠샤프트(40)의 일면을 감싸는 장착블럭(17)이 안치된다.The mounting block 17 surrounding one surface of the second guide shaft 32 and the clutch shaft 40 exposed to the front groove 15 is settled.

즉 상기 장착블럭(17)에는 제2 가이드샤프트(32)와 버큠샤프트(40)가 관통되는 제1 및 제2 장착공(17a, 17b)이 형성되어, That is, the mounting block 17 is formed with first and second mounting holes 17a and 17b through which the second guide shaft 32 and the shaft shaft 40 pass.

제1 장착공(17a)을 관통하는 제2 가이드샤프트(32)가 실린더 바디(10) 관통 후 실린더 가이드 단부에 체결됨으로써 장착블럭(17) 역시 전방홈(15)에서 이탈되지 않고 안치된다.
Since the second guide shaft 32 penetrating the first mounting hole 17a is fastened to the end of the cylinder guide after penetrating the cylinder body 10, the mounting block 17 is also disposed without being separated from the front groove 15.

아울러 정밀하고 안정된 반도체 소자의 픽업을 위해서는 장착블럭(17)의 제2 장착공(17b)과 실린더 바디의 샤프트로드(10a)를 관통하는 버큠샤프트(40)의 경우 버큠샤프트 자체가 흔들리거나 회전되는 현상을 방지할 필요가 있다.
In addition, in the case of the shaft shaft 40 penetrating through the second mounting hole 17b of the mounting block 17 and the shaft rod 10a of the cylinder body for picking up a precise and stable semiconductor element, the vibration shaft itself is shaken or rotated. It is necessary to prevent the phenomenon.

이에 본 발명에서는 상기 버큠샤프트(40) 외주면에 버큠샤프트 회전 방지를 위한 회전방지 홈(40a)을 형성하고, Accordingly, in the present invention, the anti-rotation groove 40a is formed on the outer circumferential surface of the push shaft 40 to prevent the push shaft from rotating.

조임수단(T)으로 상기 장착블럭(17)을 관통해 상기 회전방지홈(40a)을 조임으로서 장착블럭(17)과 실린더 바디(10)를 관통하는 버큠샤프트(40)의 미세한 흔들림 내지 회전을 방지한다.
Fine shaking or rotation of the shaft shaft 40 penetrating the mounting block 17 and the cylinder body 10 by tightening the anti-rotation groove 40a through the mounting block 17 with the tightening means T. prevent.

또한 상기 장착블럭(17)이 실린더 바디의 전방홈(15)에 안치됨에 있어 본 발명에서는 버큠샤프트의 안정된 상하 이동을 보완하게 되는데, In addition, since the mounting block 17 is placed in the front groove 15 of the cylinder body, in the present invention, a stable vertical movement of the clutch shaft is compensated for.

역시 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 As also shown in Figures 2 and 3

전방홈(15)의 일면에는 턱(15a)이 형성되고, One surface of the front groove 15 is formed with a jaw (15a),

상기 전방홈(15)에 안치되는 장착블럭(17)에는 상기 턱을 수용하기 위한 대응홈(19)이 형성되어Corresponding grooves 19 for accommodating the jaws are formed in the mounting block 17 placed in the front grooves 15.

버큠샤프트(40)의 상하 이동에 따른 장착블럭(17) 상하 이동시 대응홈(19)이 턱(15a)을 타고 이동될 수 있도록 한다.
When the mounting block 17 moves up and down in accordance with the up and down movement of the shaft shaft 40, the corresponding groove 19 may be moved on the chin 15a.

상기 구조를 통해 버큠샤프트는 뒤틀립없는 상하 이동이 장착블럭에 의해 가이드된다.
Through this structure, the shaft is guided by the mounting block without twisting up and down.

다음으로 실린더 가이드의 저면에는 실린더 바디의 안정된 상하 이동을 보장하기 위한 가이드블럭(60)이 구비된다.
Next, a guide block 60 is provided on the bottom of the cylinder guide to ensure stable up and down movement of the cylinder body.

즉 실런더 가이드(20)에 대한 실린더 바디(10)의 흔들림 없는 안정된 상하 이동이 슬라이딩로드(11)와 슬라이딩블럭(25)에 의해 1차적으로 이루어지지만, That is, the stable up and down movement of the cylinder body 10 with respect to the cylinder guide 20 is primarily performed by the sliding rod 11 and the sliding block 25.

상기 슬라이딩로드와 슬라이딩블럭은 실린더 가이드와 실린더 바디의 말단까지 상하 이동을 가이드해줄 수 없기에 Since the sliding rod and the sliding block can not guide the vertical movement to the end of the cylinder guide and the cylinder body

연속되는 실린더 바디의 업다운에 의해 실린더 가이드 말단에서는 실린더 바디의 미세한 흔들림이 일어날 수 있다.
Due to the continuous up and down of the cylinder body, minute shaking of the cylinder body may occur at the end of the cylinder guide.

이에 본 발명에서는 실린더 가이드의 저면에 가이드블럭(60)을 마련하게 되었는바, Accordingly, in the present invention, the guide block 60 is provided on the bottom of the cylinder guide.

상기 가이드블럭(60)은 The guide block 60 is

실린더 가이드(20) 저면에 장착되는 장착판(61)과, A mounting plate 61 mounted on the bottom of the cylinder guide 20,

상기 장착판과 연결형성된 것으로 실린더 바디에 형성된 제1 블럭홈(13)과 실린더 가이드에 형성된 제2 블럭홈(23)에 삽입되는 삽입부(62)로 이루어진다.
The insertion part 62 is connected to the mounting plate and is inserted into the first block groove 13 formed in the cylinder body and the second block groove 23 formed in the cylinder guide.

이에 상기 삽입부(62) 일면은 실린더 바디의 제1 블럭홈(13)에 삽입되고, 삽입부(62) 다른 일면은 실린더 가이드의 제2 블럭홈(23)에 삽입되는데, Accordingly, one surface of the insertion portion 62 is inserted into the first block groove 13 of the cylinder body, and the other surface of the insertion portion 62 is inserted into the second block groove 23 of the cylinder guide.

실린더 바디의 상하 이동은 실린더 바디의 제1 블럭홈(13)에 가이드블럭의 삽입부(62)가 삽입된 상태로 이루어지기에 Since the up and down movement of the cylinder body is made in the state that the insertion portion 62 of the guide block is inserted into the first block groove 13 of the cylinder body.

결국 가이드블럭은 실린더 바디의 상하 이동이 보다 안정적으로 즉, 실린더 바디의 말단에서 흔들리는 형상이 생기지 않도록 가이드 해주게 된다.
As a result, the guide block guides the cylinder body up and down more stably, i.e., it does not cause a shaking shape at the end of the cylinder body.

그리고 장착블럭의 상면으로 노출된 버큠샤프트 즉, 실린더 바디의 전방홈을 통해 노출된 버큠샤프트(40)에는 탄성부재(70)가 구비되는데, In addition, the elastic shaft 70 is provided on the virtual shaft exposed to the upper surface of the mounting block, that is, the virtual shaft 40 exposed through the front groove of the cylinder body.

상기 탄성부재에 의한 완충을 통해 역시 상하 움직임에 따른 흔들림을 최소화시킬 수 있어 바람직하다.
Through the buffer by the elastic member it is also preferable to minimize the shaking due to the vertical movement.

아울러 실린더 바디의 상면와 하면이 맞닿게 되는 실린더 가이드에는 실린더 바디(10)와 실린더 가이드(20)간 맞닿음시 생길 수 있는 소음이나 진동, 그리고 충력 등을 흡수하기 위한 완충수단(80)을 구비하는 것이 바람직하다.In addition, the cylinder guide that is in contact with the upper surface and the lower surface of the cylinder body is provided with a cushioning means (80) for absorbing the noise, vibration, and impulse generated when the cylinder body 10 and the cylinder guide 20 abuts It is preferable.

이에 본 발명에서는 제1 및 2 가이드샤프트(32) 양 단에 완충수단(80)을 구비하여 소음 및 진동, 충력 흡수를 도모하게 된다.
Accordingly, in the present invention, the shock absorbing means 80 is provided at both ends of the first and second guide shafts 32, so as to promote noise, vibration, and shock absorption.

보다 구체적으로 상기 완충수단(80)은 우레탄 재질의 우레탄 링(81)과 오링(82)으로 이루어지는 것이 바람직한데,More specifically, the buffer means 80 is preferably made of a urethane urethane ring 81 and the O-ring 82,

제1 및 제2 가이드샤프트에 우레탄링(81)과 오링(82)으로 구성된 완충수단을 구비함으로써 소음 및 진동, 충격 흡수를 도모할 뿐만 아니라 기존 볼트체결에 의한 문제점을 해소하였다.
The first and second guide shafts are provided with a cushioning means composed of urethane rings 81 and O-rings 82 to reduce noise, vibration and shock absorption, as well as solve the problems caused by conventional bolting.

즉 상기 오링(82)의 경우 제1 및 제2 가이드샤프트 하단에 형성된 홈에 끼워지는 형태인데, In other words, the O-ring 82 is inserted into a groove formed at the bottom of the first and second guide shafts.

기존 픽업 실린더의 경우 실린더 가이드(20) 하부에서 제1 및 제2 가이드샤프트(31, 32)를 볼트 조립을 통해 체결하게 되는데 이 경우 비틀림 현상 때문에 실린더 상하 작동시 문제가 발생된다. In the case of the existing pickup cylinder, the first and second guide shafts 31 and 32 are fastened by assembling the bolts under the cylinder guide 20. In this case, problems arise when the cylinder is operated up and down due to the torsion phenomenon.

따라서 본 발명에서는 실린더 가이드(20) 하부에 대한 제1 및 제2 가이드샤프트(31, 32) 체결을 볼트 체결을 통하지 않고 결합시키게 되며 특히 제1 및 제2 가이드샤프트(31, 32) 하단에 구비된 오링(82)을 이용하여 실린더 가이드와의 흔들림 없는 안정된 체결을 도모할 수 있게 된다.
Therefore, in the present invention, the first and second guide shafts 31 and 32 coupled to the lower portion of the cylinder guide 20 are coupled to each other without bolting. In particular, the lower ends of the first and second guide shafts 31 and 32 are provided. By using the O-ring 82, it is possible to achieve stable fastening without shaking with the cylinder guide.

다음으로 상기 완충을 위한 우레탄링은 제1 및 제2 가이드샤프트에만 구비되는 것이 아니라 장착블럭(17)의 하부 위치의 버큠샤프트(40)에도 함께 장착되어 역시 완충장치 역할을 하도록 함이 바람직하다.
Next, the urethane ring for the shock absorbing is preferably provided not only in the first and second guide shafts but also in the vacuum shaft 40 at the lower position of the mounting block 17 to serve as a shock absorber.

이상에서 본 발명을 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 특정 형상과 구조를 갖는 반도체 소자용 픽업실린더에 대해 설명하였으나, 본 발명은 이하 설명되는 청구범위 내에서 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.
In the above description of the present invention, a pickup cylinder for a semiconductor device having a specific shape and structure has been described with reference to the accompanying drawings. However, the present invention may be variously modified and changed by those skilled in the art within the scope of the following claims. However, such modifications and variations are to be construed as falling within the protection scope of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10: 실린더 바디 11: 슬라이딩로드 13: 제1블럭홈
15: 전방홈 15a: 턱 17: 장착블럭
19: 대응홈
20: 실린더가이드 21: 수용홈 23: 제2블럭홈
25: 슬라이딩블럭
31: 제1 가이드샤프트 32: 제2 가이드샤프트
40: 버큠샤프트 40a: 회전방지홈 T: 조임수단
50: 진공흡착부
60: 가이드블럭 61: 장착판 62: 삽입부
70: 탄성부재 80: 완충수단Description of the Related Art [0002]
10: cylinder body 11: sliding rod 13: first block groove
15: Front groove 15a: Jaw 17: Mounting block
19: Response Home
20: cylinder guide 21: receiving groove 23: second block groove
25: sliding block
31: first guide shaft 32: second guide shaft
40: shaft shaft 40a: anti-rotation groove T: tightening means
50: vacuum suction unit
60: guide block 61: mounting plate 62: insertion portion
70: elastic member 80: buffer means

Claims (4)

실린더 바디;
상기 실린더 바디가 안착되는 실린더 가이드;
상기 실린더 바디를 관통하면서 실린더 가이드에 장착되어 실린더 바디의 상하 운동을 가이드 하기 위한 제1 및 제 2 가이드 샤프트; 및
상기 실린더 바디에 장착되어 상하 운동이 이루어지는 것으로 단부에 반도체 소자 흡탈착을 위한 진공흡착부가 구비된 버큠샤프트를 포함하여 이루어지되,
상기 실린더 가이드에는 상기 실린더 바디 일부가 배열되기 위한 것으로 일측이 개방된 수용홈이 형성되고 상기 수용홈에는 슬라이딩블럭이 돌출 형성되어,
상기 슬라이딩블럭이 실린더 바디에 요입 형성된 슬라이딩로드를 타면서 실린더 바디의 뒤틀림없는 상하 이동을 가이드하는 것을 특징으로 하고.
상기 실린더 바디에는 삽입 장착된 제2 가이드샤프트와 버큠샤프트 노출을 위한 전방홈이 형성되고 상기 전방홈에는 전방홈에 안치되는 것으로 제2 가이드샤프트와 버큠샤프트가 관통되는 장착블럭이 구비되되,
상기 전방홈의 일면에는 턱이 형성되고,
상기 전방홈에 안치되는 장착블럭에는 상기 턱을 수용하기 위한 대응홈이 형성되어
버큠샤프트의 뒤틀림없는 상하 이동이 가이드되는 것을 특징으로 하는 안정된 상하이동이 보장된 듀얼 가이드형 반도체 소자용 픽업실린더.Cylinder body;
A cylinder guide on which the cylinder body is seated;
First and second guide shafts mounted to the cylinder guide while penetrating the cylinder body to guide vertical movement of the cylinder body; And
It is mounted to the cylinder body to be made up and down movement, including a vacuum shaft having a vacuum suction portion for the semiconductor element adsorption-desorption at the end,
The cylinder guide is for arranging a portion of the cylinder body, the receiving groove is formed on one side is opened and the receiving groove is formed with a sliding block protruding,
The sliding block is characterized by guiding the twisted up and down movement of the cylinder body while riding the sliding rod formed in the cylinder body.
The cylinder body is provided with a front groove for exposing the second guide shaft and the shaft shaft inserted into the cylinder body, and the front groove is provided with a mounting block through which the second guide shaft and the shaft shaft penetrates.
One side of the front groove is formed with a jaw,
A corresponding groove for accommodating the jaw is formed in the mounting block placed in the front groove.
Pick-up cylinder for a dual guide type semiconductor device with a stable shankdong, characterized by guiding the up and down movement of the shaft shaft without distortion. 제 1 항에 있어서,
상기 버큠샤프트에는 버큠샤프트 회전 방지를 위한 회전방지 홈이 형성되어,
조임수단으로 상기 장착블럭을 관통해 상기 회전방지홈을 조임으로서 장착된 버큠샤프트의 공회전이 방지되도록 하는 것을 특징으로 하는 안정된 상하이동이 보장된 듀얼 가이드형 반도체 소자용 픽업실린더.The method of claim 1,
The vibration shaft is formed with an anti-rotation groove for preventing the rotation of the clutch shaft,
The pick-up cylinder for a stable stable copper guide element, characterized in that the idle shaft is prevented from running through the mounting block by tightening means to prevent the idle rotation of the mounted shaft shaft. 삭제delete 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 실린더 가이드의 저면에는 실린더 바디의 안정된 상하 이동을 보장하기 위한 가이드블럭이 구비되되,
상기 가이드블럭은 실린더 가이드 저면에 장착되는 장착판과,
상기 장착판과 연결형성된 것으로 실린더 바디에 형성된 제1 블록홈과 실린더 가이드에 형성된 제2 블록홈에 삽입되는 삽입부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 안정된 상하이동이 보장된 듀얼 가이드형 반도체 소자용 픽업실린더.3. The method according to claim 1 or 2,
The lower surface of the cylinder guide is provided with a guide block for ensuring a stable vertical movement of the cylinder body,
The guide block and the mounting plate is mounted on the cylinder guide bottom,
The pick-up cylinder for a stable stable copper guide element, characterized in that the coupling plate and the insertion block is formed in the first block groove formed in the cylinder body and the second block groove formed in the cylinder guide.
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