KR101272954B1 - Double pick up cylinder for element of semiconductor - Google Patents

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Abstract

본 발명은 버큠샤프트의 상하 이동을 견인하는 피스톤로드를 실린더 외측으로 설치하고 외곽에는 피스톤로드가 결합된 연결체의 안정된 상하이동을 견인하기 위한 가이드블럭을 구비하여 높은 정밀성을 요구하는 반도체 분야의 특성상 반도체 소자 이송시 흔들림을 방지하여 제품 완성도를 높이기 위한 흔들림방지 구조가 구비된 반도체 소자용 더블픽업실린더에 관한 것으로,
실린더 바디와, 상기 실린더 바디에 삽입되고, 반도체 소자의 진공흡입을 위한 것으로 상하로 운동되는 제1 및 제2 버큠샤프트와, 상기 실린더 바디에 삽입되고, 공압에 의해 상하 운동이 이루어지면서 상기 제1 및 제2 버큠사프트를 이송시키는 제1 및 제2 피스톤로드와, 그리고 상기 제1 및 제2 버큠샤프트가 안치되는 것으로, 일단에서는 제1 및 제2 피스톤로드가 결합되어 제1 및 제2 버큠샤프트의 상하 운동을 견인하게 하고, 반도체 소자에 대한 진공흡입을 위한 진공이 제공되는 연결체를 포함하여 이루어지고,
상기 실린더 바디의 양 측으로는 연결체의 안정된 상하이동을 보장하기 위한 가이드블럭이 더 구비되는 것을 기술적 특징으로 한다.The present invention has a piston rod that pulls up and down the shaft shaft to the outside of the cylinder and has a guide block for pulling a stable shankdong of the connecting body coupled to the piston rod on the outside of the characteristics of the semiconductor field that requires high precision The present invention relates to a double pick-up cylinder for a semiconductor device equipped with an anti-shake structure for preventing shaking during transfer of semiconductor devices to increase product completion.
A first body and a second shaft which are inserted into the cylinder body, and are moved up and down for vacuum suction of the semiconductor element, and are inserted into the cylinder body and are vertically moved by pneumatic pressure. And first and second piston rods for transferring a second clutch shaft, and the first and second piston shafts are seated. At one end, the first and second piston rods are coupled to each other so that the first and second piston shafts are coupled. It comprises a connecting body which is to pull the vertical motion of the, provided with a vacuum for vacuum suction to the semiconductor element,
Both sides of the cylinder body is characterized in that the guide block is further provided to ensure a stable shankdong of the connecting body.

Description

정확한 위치 제어가 가능한 반도체 소자용 더블픽업실린더{Double pick up cylinder for element of semiconductor}Double pick up cylinder for semiconductor device with accurate position control {Double pick up cylinder for element of semiconductor}

본 발명은 반도체 소자용 더블 픽업실린더에 대한 것으로, The present invention relates to a double pickup cylinder for a semiconductor device,

보다 구체적으로는 가이드블럭을 설치하여 흔들림을 방지하는 등 버큠샤프트의 상하 이동을 정밀하게 가이드 할 수 있도록 하고 이와 함께 버큠사프트에는 축 흔들림 방지를 위해 듀얼부싱베어링을 구비하여 종국적으로는 반도체 소자 픽업시 정확한 위치 제어가 가능한 반도체 소자용 더블픽업실린더에 관한 것이다.
More specifically, it is possible to precisely guide the vertical movement of the shaft shaft by installing a guide block to prevent shaking, and at the same time, the shaft shaft is provided with a dual bushing bearing to prevent shaft shaking. A double pick-up cylinder for semiconductor devices capable of accurate position control.

통상적으로 반도체 제조 공정에는 칩 부품과 같은 반도체 소자를 픽업하여 조립공정으로 이송하기 위하여 픽업실린더가 사용되는데.In general, a pickup cylinder is used in a semiconductor manufacturing process to pick up a semiconductor element such as a chip component and transfer it to an assembly process.

이러한 픽업실린더는 정밀한 반도체 칩을 각 공정에 따라 정밀하게 움직이면서도 손상을 주지 않기 위해서 주로 진공흡입 방식을 사용하여 이송을 하게 된다.The pickup cylinder is mainly transferred by using a vacuum suction method in order to move the precise semiconductor chip precisely according to each process and not to damage.

이에 한 개의 반도체 소자 진공 흡입용 버큠샤프트와 공압에 의해 상하 이송하며 버큠샤프트를 이송시키는 피스톤로드를 포함하여 구성된 픽업실린더를 주로 사용하게 되는데, Therefore, a pickup cylinder composed of one semiconductor element vacuum suction vacuum shaft and a piston rod for vertically conveying the vacuum shaft by vertical pressure transfer is mainly used.

이러한 픽업실린더로는 하나의 실린더 몸체에 버큠샤프트가 하나가 설치된 싱글픽업실린더와, 하나의 실린더 몸체에 두 개의 버큠샤프트가 설치된 더블픽업실린더가 있다.
Such pickup cylinders include a single pick-up cylinder in which one cylinder shaft is installed in one cylinder body, and a double pick-up cylinder in which two cylinder shafts are installed in one cylinder body.

그리고 픽업실린더를 구성하는 버큠샤프트 하부에는 흡입컵(suction cup)이 설치되어 피스톤로드에 의해 소정의 스트로크로 돌출되면(즉 하강하면) 반도체 소자의 표면에 맞닿음한 흡입컵에 공기흡입기와 같은 부압발생수단에 의한 부압 발생으로 상기 반도체 소자를 흡입하고, 다시 피스톤로드의 상승에 따라 소정 스트로크로 인입하는 것에 의해 반도체 소자를 픽업하도록 구성된다.
In addition, a suction cup is installed at the lower portion of the vacuum shaft constituting the pickup cylinder, and when the piston is protruded by a predetermined stroke by the piston rod (that is, when it is lowered), a negative pressure such as an air suction is applied to the suction cup which is in contact with the surface of the semiconductor element. The semiconductor device is configured to pick up the semiconductor element by suctioning the semiconductor element due to the generation of negative pressure by the generating means and drawing it in a predetermined stroke as the piston rod rises.

물론, 상기와 같은 구성 및 작동을 가지는 픽업실린더는 승하강시 위치 오차가 적어야 정밀한 반도체 칩 등의 반도체 소자에 적용될 수 있는 것인데,Of course, the pickup cylinder having the configuration and operation as described above can be applied to a semiconductor device such as a precise semiconductor chip when the position error at the time of lifting and lowering is small,

승하강시 오차가 적다는 것은 픽업실린더의 버큠샤프트 및 피스톤로드가 흔들리지 않고 안정된 상하 이동이 이루어져야 한다는 것을 의미한다.
The low error in the ascending and descending means that the piston shaft of the pickup cylinder and the piston rod must be stable and move up and down.

그런데 종래 픽업실린더를 살펴보면, However, if you look at the conventional pickup cylinder,

특허등록 제10-0849229호(2008.07.23)『반도체 칩 이송용 진공 흡착 실린더』, 특허등록 제10-0992112호(2010-10.29.)『픽업실린더』와 같은 싱글픽업실린덛와,Patent registration No. 10-0849229 (July 23, 2008) "Vacuum adsorption cylinder for semiconductor chip transfer", Patent registration no. 10-0992112 (2010-10.29.) "Pickup cylinder",

특허등록 제10-0898641호(2009.05.13.)『반도체소자용 더블 픽업 실린더』와 같은 더블픽업실린더가 개시되어 있다.
A double pick-up cylinder such as Patent Registration No. 10-0898641 (2009.05.13.) "Double Pickup Cylinder for Semiconductor Devices" is disclosed.

특히 본원발명과 같은 하나의 실린더 몸체에 두 개의 버큠샤프트 및 피스톤로드를 포함하는 특허등록 제10-0898641호는 픽업실린더간의 피치를 조절할 수 있고 전기적으로 도체화한 픽업 실린더 장치를 제공하기 위한 것으로
In particular, Patent Registration No. 10-0898641, which includes two shaft shafts and a piston rod in one cylinder body as the present invention, is to provide an electrically conductive pickup cylinder device that can adjust the pitch between pickup cylinders.

위치 오차해소와 관련하여 반도체 칩과 같은 소자 두 개를 동시에 이송하여 작업시 정밀한 위치 오차를 유지할 수 있도록 즉, 더블픽업실린더라는 자체만으로부터 기인하는 위치 유지 효과를 얻을 수 있도록 한 것이어서, In order to solve the position error, two elements such as a semiconductor chip are simultaneously transferred to maintain a precise position error during work, that is, to obtain a position retention effect due to the double pick-up cylinder itself.

상기 특허에는 더블픽업실린더이기에 피스톤로드 및 버큠샤프트의 상하 이동시 발생되는 흔들림을 잡아주기 위한 구조는 전혀 개시가 되어 있지 않으며 The patent does not disclose a structure for catching the shake generated when the piston rod and the piston shaft move up and down because it is a double pick-up cylinder.

이로 인해 결국 정확한 위치 제어가 어렵다는 문제가 있어 개선이 요구되는 구조이다.
As a result, there is a problem that accurate position control is difficult, which requires improvement.

특히 고도의 정밀성을 요구되는 반도체 분야의 특성상 반도체 소자 픽업시 정확한 위치 제어가 요구되는데, 상기한 종래 기술들은 정확도가 떨어져 추후 제품불량으로까지 이어져 생산성 저하를 가져오게 된다는 문제점이 있다.
In particular, due to the characteristics of the semiconductor field that requires a high degree of precision, accurate position control is required when the semiconductor device is picked up. The above-described prior arts have a problem in that the accuracy is lowered, leading to product defects, resulting in a decrease in productivity.

이에 본 발명은 상기한 종래 더블픽업실린더에 대한 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로,Therefore, the present invention has been made to improve the problem with the conventional double pick-up cylinder,

더블픽업실린더를 구성함에 있어서 실린더 외측에는 피스톤로드 및 버큠샤프트의 상하 이동시 이의 상하 운동을 보다 정밀하게 가이드해주기 위한 가이드블럭을 설치하여 기존 더블픽업실린더에 비해 흔들림이 방지되면서 픽업작업에 있어 정밀도가 향상된 더블픽업실린더를 제공하고자 하는 것을 우선 목적으로 한다.In constructing the double pick-up cylinder, a guide block is installed on the outside of the cylinder to more accurately guide its up and down movement when the piston rod and the shaft are moved up and down. The first object is to provide a double pickup cylinder.

더욱이 버큠샤프트 내부에서도 상하 운동시 기존의 축흔들림을 보강하기 위하여 듀얼부싱베어링이 설치된 더블픽업실린더를 제공하고자 하는 것을 목적으로 한다.
Furthermore, it is an object of the present invention to provide a double pick-up cylinder equipped with a dual bushing bearing in order to reinforce the existing shaft shaking during vertical movement in the shaft shaft.

또한 피스톤로드가 결합되는 연결체와 피스톤로드 사이에 탄성부재를 구비시켜 버큠샤프트의 상승시 실린더 바디와 부닺힘에 있어 완충을 시킬 수 있는 구조를 제공하여 역시 흔들림 방지가 가능한 픽업실린더를 제공하고자 하는 것을 목적으로 한다.
In addition, by providing an elastic member between the connecting member and the piston rod to which the piston rod is coupled to provide a structure that can cushion the cylinder body and crushing when the shaft shaft is raised to provide a pickup cylinder that can also prevent shaking For the purpose of

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 소자용 더블픽업실린더는, The double pick-up cylinder for a semiconductor device of the present invention for achieving the above object,

실린더 바디와,With cylinder body,

상기 실린더 바디에 삽입되고, 반도체 소자의 진공흡입을 위한 것으로 상하로 운동되는 제1 및 제2 버큠샤프트와, First and second vibration shafts inserted into the cylinder body and vertically moved to vacuum suction of the semiconductor device;

상기 실린더 바디에 삽입되고, 공압에 의해 상하 운동이 이루어지면서 상기 제1 및 제2 버큠사프트를 이송시키는 제1 및 제2 피스톤로드와, 그리고 First and second piston rods inserted into the cylinder body and configured to transfer the first and second clutch shafts by vertical movement by pneumatic pressure; and

상기 제1 및 제2 버큠샤프트가 안치되는 것으로, 일단에서는 제1 및 제2 피스톤로드가 결합되어 제1 및 제2 버큠샤프트의 상하 운동을 견인하게 하고, 반도체 소자에 대한 진공흡입을 위한 진공이 제공되는 연결체를 포함하여 이루어지고, The first and second clutch shafts are settled, and at one end, the first and second piston rods are coupled to draw the vertical movement of the first and second piston shafts, and the vacuum for vacuum suction to the semiconductor device is Including the connection provided,

상기 실린더 바디의 양 측으로는 연결체의 안정된 상하이동을 보장하기 위한 가이드블럭이 더 구비되는 것을 기술적 특징으로 한다.
Both sides of the cylinder body is characterized in that the guide block is further provided to ensure a stable shankdong of the connecting body.

또한 본 발명의 실린더 바디는 상부 내측으로는 제1 및 제2 버큠샤프트가 삽입·수용되기 위한 제1수용부가 형성되고, 하부 외측으로는 제1 및 제 2 버큠사프트와 연동된 제1 및 제2 피스톤로드가 삽입·수용되기 위한 제2 수용부가 형성되어 있고,In addition, the cylinder body of the present invention has a first accommodating portion for inserting and accommodating the first and second vibration shafts in the upper inner side, and the first and second interlocked with the first and second vibration shafts in the lower outer side. The second accommodating part for inserting and receiving the piston rod is formed,

상기 가이드블럭과 만나는 연결체의 접면에는 슬라이딩 로드가 형성되고, A sliding rod is formed on a contact surface of the connecting member that meets the guide block,

상기 가이드블럭에는 슬라이딩 로드에 삽입되는 돌부가 형성되는 것을 기술적 특징으로 한다.
The guide block has a technical feature that the protrusion is inserted into the sliding rod is formed.

또한 본 발명의 제1 및 제2 버큠샤프트가 삽입된 실린더 바디의 이송로드에는 부싱베어링이 이송로드 상하로 구비되어, 부싱베어링에 끼워지는 제1 및 제2 버큠사프트의 상하 운동시 흔들림을 잡아주도록 된 것을 기술적 특징으로 한다.
In addition, the transfer rods of the cylinder body in which the first and second clutch shafts of the present invention are inserted are provided with bushing bearings up and down the transfer rods, so as to catch shaking during vertical movement of the first and second clutch shafts fitted to the bushing bearings. The technical features are as follows.

또한 본 발명의 제1 및 제2 피스톤로드가 결합되는 연결체와 제1 및 제2 피스톤로드 사이에는 탄성부재가 더 구비되는 것을 기술적 특징으로 한다.
In addition, the technical features that the elastic member is further provided between the connection member and the first and second piston rod coupled to the first and second piston rod of the present invention.

상기한 구성을 가진 본 발명에 따르면, According to the present invention having the above configuration,

진공흡입이 이루어지는 버큠샤프트는 내측에 구비되고 이를 상하 이송시키는 피스톤로드는 그 외측으로 위치하고, 또한 버큠샤프트와 피스톤로드의 상하 이동이 연결체를 통해 연결체의 돌부와 가이드블럭에 형성된 슬라이딩 로드에 따라 보강되도록 구성되어 The vacuum shaft in which the vacuum suction is formed is provided on the inner side, and the piston rod for vertically conveying it is located on the outside thereof, and the vertical shaft movement of the vacuum shaft and the piston rod is connected to the protrusion of the connecting body and the guide block through the connecting body. Configured to be reinforced

보다 안정된 상하 이동이 이루어져 흔들림 없이 정확한 위치로 반도체 소자 이송이 가능하게 되었다는 효과를 가진다.
The more stable vertical movement is achieved, the semiconductor device can be transferred to the correct position without shaking.

뿐만 아니라, 버큠샤프트에는 듀얼부싱베어링을 설치하여 버큠샤프트 자체의 상하 이동시 발생될 수 있는 축 흔들림을 방지하게 되었으며, In addition, the dual shaft bearing is installed on the shaft shaft to prevent shaft shaking that may occur when the shaft shaft itself moves up and down.

또한 연결체와 제1 및 제2 피스톤로드 사이에 위치한 탄성부재로 인해 버큠샤프트의 상승시 실린더와의 타격에 있어 완충이 가능하도록 하여 In addition, due to the elastic member located between the connecting body and the first and second piston rod, it is possible to cushion the impact on the cylinder when the shaft is raised

종국적으로 더블픽업에 있어 장치의 전체적인 흔들림을 잡아주어 픽업시 정확한 위치 제어가 가능한 더블픽억실린더를 얻을 수 있다는 효과를 가진다.
Eventually, the double pick-up has the effect of catching the overall shake of the device to obtain a double pick-up cylinder capable of accurate position control when picking up.

도 1은 본 발명의 더블픽업실린더를 도시한 외관 사시도로서, (A)는 피스톤로드 및 버큠샤프트가 상승된 상태이고 (B)는 피스톤로드 및 버큠샤프트가 하강된 상태.
도 2는 도 1의 방향에서 본 발명을 분해한 상태를 도시한 분해사시도.
도 3은 도 1의 반대편에서 본 발명의 더블픽업실린더를 도시한 외관 사시도.
도 4는 도 3의 방향에서 본 발명을 분해한 상태를 도시한 분해사시도.
도 5는 본 발명의 작동상태를 대략적으로 도시한 도면.1 is a perspective view showing a double pick-up cylinder of the present invention, (A) is a piston rod and the shaft shaft is raised and (B) is a piston rod and the shaft shaft is lowered.
2 is an exploded perspective view showing a state in which the present invention is disassembled in the direction of FIG.
3 is an external perspective view of the double pick-up cylinder of the present invention on the opposite side of FIG.
4 is an exploded perspective view illustrating a state in which the present invention is disassembled in the direction of FIG. 3;
5 is a diagram schematically illustrating an operating state of the present invention.

이하 도면을 참조하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명하도록 한다.
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

우선 이하 설명 및 도면을 참조할 때, 더블픽업실린더라는 점에서 본 발명은 피스톤로드가 2개 구비되어 제1·제2 피스톤로드로 명하였으며, 역시 버큠샤프트 또한 2개 구비되어 제1·제2 버큠샤프트로 명하였고, 이들은 서로 동일한 구조인 것으로 First of all, referring to the following description and drawings, the present invention is referred to as a first and second piston rod provided with two piston rods, and also two shaft shafts are provided with first and second piston rods. Ordered as a shaft, and they have the same structure

이하 설명에서는 제1 및 제2 피스톤로드 내지 제1 및 제2 버큠샤프트로 설명될 수도 있고, 또는 간단히 피스톤로드 내지 버큠샤프트로 설명될 수도 있다.
In the following description, the first and second piston rods may be described as the first and second piston shafts, or may be simply described as piston rods and the shaft shafts.

또한 버큠샤프트의 경우 본 발명의 도면에서는 각각 두 개의 샤프트를 구비하는 것으로 도시하였으나 이의 갯 수에 본 발명의 구성이 한정되는 것은 아니다.
In addition, in the figure of the present invention, the shaft is shown as having two shafts, but the number of the configuration of the present invention is not limited.

도 1 및 도 3은 본 발명의 외관을 도시한 사시도이고, 도 2 및 도 4는 본 발명에 대한 분해사시도인 것으로 도 1 내지 도 4를 참조하면1 and 3 are perspective views showing the appearance of the present invention, Figures 2 and 4 is an exploded perspective view of the present invention with reference to Figures 1 to 4

본 발명의 더블픽업실린더는,Double pick-up cylinder of the present invention,

몸체를 이루는 실린더 바디(10)에 연결체(40)가 결합되되, 상기 연결체(40)는 반도체 소자의 진공흡입을 위하여 상하로 운동하는 제1 및 제2 버큠샤프트(20)와 역시 상하로 운동하는 제1 및 제2 피스톤로드(30)를 통해 실린더 바디(10)에 연결된다.The coupling body 40 is coupled to the cylinder body 10 constituting the body, and the coupling body 40 is also vertically up and down with the first and second vacuum shafts 20 that move up and down for vacuum suction of the semiconductor device. It is connected to the cylinder body 10 via the moving first and second piston rods 30.

그리고 상기 제1 및 제2 피스톤로드(30)는 기존 더블픽업실린더와 마찬가지로 공압에 의해 상하 운동이 이루어지는 것으로 상기 실린더 바디 상면에 형성된 홀(10a)을 통해 제1 및 제2 피스톤로드를 상하 이동시키기 위한 공기가 제공된다.
In addition, the first and second piston rods 30 are moved up and down by pneumatic pressure similarly to the existing double pick-up cylinders to move the first and second piston rods up and down through the holes 10a formed in the upper surface of the cylinder body. Air is provided.

보다 구체적으로, More specifically,

본 발명은 실린더 바디(10)와, 상기 실린더 바디에 삽입되고 상하로 운동하는 제1 및 제2 버큠샤프트(20)와, 상기 실린더 바디에 삽입되고 상하 운동이 이루어지면서 상기 제1 및 제2 버큠사프트를 이송시키는 제1 및 제2 피스톤로드(30)와, 그리고 진공흡입을 위한 진공이 제공되는 연결체(40)를 포함하여 이루어진다.
The present invention provides a cylinder body (10), first and second reciprocating shafts (20) inserted into the cylinder body and moving up and down, and the first and second clutches being inserted into the cylinder body and made up and down. It comprises a first and second piston rod 30 for conveying the shaft, and a connecting body 40 provided with a vacuum for vacuum suction.

특히 상기 연결체(40)는 일면은 실린더 바디와 결합되고 후술될 실린더 바디의 제1 및 제2 수용부(11, 12)에 수용되면서 제1 및 제2 피스톤로드(30)에 의한 상하 운동이 이루어지는 것으로, In particular, the connecting body 40 is coupled to the cylinder body and accommodated in the first and second receiving portions 11 and 12 of the cylinder body to be described later, the vertical movement by the first and second piston rods 30 Made up of

상면에 제1 및 제2 버큠사프트(20)가 배열되는 제3 수용부(41a)가 마련되는 안치부(41)와, Settlement part 41 in which the 3rd accommodating part 41a by which the 1st and 2nd clutch shaft 20 is arrange | positioned at the upper surface is provided,

상기 안치부(41)의 상부에서 연결형성되는 것으로 제1 및 제2 버큠샤프트의 일단이 연결되어 생성된 흡입공기를 제1 및 제2 버큠샤프트(20)에 제공하기 위한 흡입노즐(43a)이 구비된 단부(43)와, The suction nozzle 43a for providing the first and second suction shafts 20 to the suction air generated by connecting one end of the first and second compression shafts to be connected to the upper part of the settlement part 41 is formed. The provided end 43,

그리고 상기 단부 반대편에 위치하는 것으로 제1 및 제2 버큠샤프트(20)의 타단과 제1 및 제2 피스톤로드(30)가 결합되는 것으로 연결부(42)로 이루어진다.

참고로 안치부(41)에서 언급된 상면은 도 2에 도시된 바와 같이 제1 및 제2 버큠사프트(20)가 안치되기 위해 보이는 면을 일컫는 것으로, 도 4에서 확인되는 안치부(41)는 상면의 반대편으로 저면이 된다.
And the other end of the first and second clutch shaft 20 and the first and the second piston rod 30 is located on the opposite side of the end portion is composed of a connecting portion (42).

For reference, the upper surface referred to in the mounting portion 41 refers to a surface which is shown to be placed in the first and second vertical shaft 20, as shown in Figure 2, the mounting portion 41 identified in FIG. The bottom side is opposite to the top surface.

상기 연결부(42)에 제1 및 제2 버큠샤프트의 타단과 제1 및 제2 피스톤로드가 결합됨으로써 제1 및 제2 피스톤로드(30)의 상하 운동에 의해 제1 및 제2 버큠샤프트(20)의 상하 운동이 견인되는 것이다.
The other end of the first and second piston shafts and the first and second piston rods are coupled to the connecting portion 42 so that the first and second piston shafts are moved by the vertical movement of the first and second piston rods 30. ) Up and down movement is towed.

그리고 연결부 하면에는 흡입노즐(43a)을 통해 제공되는 흡입공기가 제1 및 제2 버큠샤프트(20)를 지나면서 반도체 소자에 제공되도록 하기 위한 흡입공(42a)이 형성되어 있고, 상기 흡입공에는 진공흡착부(80)가 결합되어 In addition, a suction hole 42a is formed in the lower surface of the connection part to allow suction air provided through the suction nozzle 43a to be provided to the semiconductor device while passing through the first and second vacuum shafts 20. Vacuum suction unit 80 is combined

결국 제1 및 제2피스톤로드(30)의 상하 운동에 의해 이와 결합된 연결체(40)가 상하 이동되고 상기 연결체(40)와 결합된 제1 및 제2 버큠샤프트(20)의 상하 이동이 이루어지게 되는데, As a result, the vertical movement of the first and second piston rods 30 moves the coupling body 40 coupled thereto and the vertical movement of the first and second clutch shafts 20 coupled to the connecting body 40. Will be done,

흡입노즐(43a)로부터 제공된 흡입공기가 제1 및 제2 버큠샤프트(20)를 지나 흡입공(42a)을 통해 진공흡착부(80)에 도달함으로써 반도체 칩 등의 소자에 흡입력을 인가하여 소자를 로딩하게 되고, 반대로 흡입력을 해제하여 언로딩하게 된다.
The suction air supplied from the suction nozzle 43a passes through the first and second vacuum shafts 20 and reaches the vacuum suction unit 80 through the suction hole 42a to apply suction force to the device such as a semiconductor chip. It will be loaded and unloaded by releasing suction.

다음으로 상기 실린더 바디의 양측. 보다 구체적으로 바디 하단의 양측으로는 가이드블럭(50)이 더 구비되는데 상기 가이드블럭(50)은 연결체(40)의 안정된 상하 이동을 보장하기 위한 것이다.
Next, both sides of the cylinder body. More specifically, both sides of the lower end of the body is further provided with a guide block 50, the guide block 50 is to ensure a stable vertical movement of the connector (40).

즉 본 발명의 더블픽업실린더는 연결체(40)가 상하 이동할 때 가이드블럭(50)을 따라 상하 이동이 이루어지도록 하는데, That is, the double pick-up cylinder of the present invention is to be moved up and down along the guide block 50 when the connecting body 40 moves up and down,

구체적으로는 상기 가이드블럭(50)과 만나는 연결체의 접면에는 슬라이딩 로드(44)가 형성되고, 가이드블럭에는 슬라이딩 로드에 삽입되는 돌부(51)가 형성되어 Specifically, the sliding rod 44 is formed on the contact surface of the connecting body that meets the guide block 50, the protrusion 51 is inserted into the sliding rod is formed in the guide block

연결체의 상하 이동시 돌부(51)가 슬라이딩 로드(44)를 따라 움직이도록 하여(실제로는 돌부가 고정되게 슬라이딩 로드가 상하 운동되는 것임) 흔들림없이 일직선상으로 안정된 연결체의 상하 이동을 보장 즉, 상하 움직임에 대한 정밀 가이드 역할을 하게 된다.
When the connecting member moves up and down, the protrusion 51 moves along the sliding rod 44 (actually, the sliding rod is moved up and down so that the protrusion is fixed), thereby ensuring the vertical movement of the connecting member that is stable in a straight line without shaking, that is, It serves as a precision guide for vertical movement.

보다 바람직하게 각 연결체의 운동에 따른 흔들림을 잡아주는 것이 바람직하기에 본 발명의 가이드블럭은 실린더 양 측에 형성된 듀얼가이드블럭인 것이 바람직하다.
More preferably, the guide block of the present invention is preferably a dual guide block formed on both sides of the cylinder.

그리고 본 발명의 더블픽업실린더는 기존 더블픽업실린더의 구조와 달리 버큠샤프트의 상하 이동을 견인하는 피스톤로드(30)를 외측에 배치하고 피스톤로드 내측으로 버큠샤프트(20)를 배치하도록 한다.
In addition, the double pick-up cylinder of the present invention, unlike the structure of the conventional double pick-up cylinder to arrange the piston rod 30 to pull the vertical shaft up and down to the outside and to place the piston shaft 20 into the piston rod inside.

즉, 특히 도 2 및 도 4를 참조하면, 실린더 바디(10)는 상부 내측으로 제1 및 제2 버큠샤프트(20)가 삽입·수용되기 위한 제1 수용부(11)가 형성되고, 하부 외측으로는 제1 및 제2 버큠샤프트와 연동된 제1 및 제2 피스톤로드(30)가 삽입·수용되기 위한 제2 수용부(12)가 형성되어,That is, referring to FIGS. 2 and 4, the cylinder body 10 has a first accommodating part 11 for inserting and accommodating the first and second vacuum shafts 20 into the upper inner side, and the lower outer side. The second receiving portion 12 for inserting and accommodating the first and second piston rod 30 in cooperation with the first and second clutch shaft is formed,

연결체(40)를 상하 이동시키는 피스톤로드(30)의 상하 움직임이 실린더 바디(10)의 외측에서 이루어지도록 하고, 이와 동시에 실린더 바디의 외측에 구비된 가이드블럭(50)에 의해 연결체(40)의 안정된 상하 이동이 이루어지도록 하여The vertical movement of the piston rod 30 for moving the connecting body 40 up and down is performed outside the cylinder body 10, and at the same time, the connecting body 40 is provided by the guide block 50 provided at the outside of the cylinder body. ) To ensure stable up and down movement

상하 움직임에 따른 흔들림을 최소화시켜 정밀도가 최우선으로 요구되는 반도체 분야에서 제품 완성도를 높일 수 있게 되었다.

결국 제1 수용부(11)는 연결체의 단부(43)가 삽입·수용되는 공간을 말하고, 제2 수용부(12)는 연결체의 연결부(42) 중 제1 및 제2 피스톤로드가 결합된 부위가 삽입·수용되기 위한 공간으로,
상기 구성으로 인해 실리더 바디에서 제1 및 제2 버큠샤프트(20)는 내측에 위치되고, 제1 및 제2 버큠샤프트를 상하 이송시키는 제1 및 제2 피스톤로드(30)가 외측으로 위치되어 가이드블럭(50)과 함께 안정된 상하 이동을 이끌게 된다.
By minimizing the shaking caused by the vertical movement, it is possible to increase the product completeness in the semiconductor field where precision is the first priority.

As a result, the first accommodating part 11 refers to a space in which the end portion 43 of the connecting body is inserted and accommodated, and the second accommodating part 12 is coupled to the first and second piston rods of the connecting parts 42 of the connecting body. It is a space for the inserted part to be inserted and received.
Due to the configuration, the first and second piston shafts 20 are positioned inside the cylinder body, and the first and second piston rods 30 for vertically conveying the first and second piston shafts are positioned outward. Together with the guide block 50 leads to a stable vertical movement.

그리고 도 2 및 도 4를 참조하여 버큠샤프트가 삽입되는 실린더 바디(10)를 살펴보면, And looking at the cylinder body 10 is inserted into the shaft shaft with reference to Figures 2 and 4,

상기 실린더 바디에는 이송로드(13)가 형성되고 상기 이송로드에 제1 및 제2 버큠샤프트(20)가 각각 구비되는데, 버큠샤프트의 원활한 상하 이동과 상하 이동시 샤프트 축 흔들림을 잡아주기 위하여 본 발명에서는 듀얼부싱베어링(60)을 구비한다.
The cylinder body is provided with a transfer rod 13 and the first and the second shaft shaft 20 is provided on the transfer rod, respectively, in the present invention to catch the shaft shaft shake during smooth vertical movement and vertical movement of the shaft shaft The dual bushing bearing 60 is provided.

즉 듀얼부싱베어링(60)이란 부싱베어링이면서도 샤트프의 상부와 하부 각각 설치된다는 의미에서 듀얼부싱베어링이라 명하였는데,In other words, the dual bushing bearing 60 is called a dual bushing bearing in the sense that the bushing bearing is installed at the top and bottom of the shaft, respectively.

상기 듀얼부싱베어링(60)을 통해 버큠샤프트(20)의 상부와 하부을 동시에 잡아줌으로 인해 샤프트의 상하 움직임시 안정된 가이드 기능을 하게되고 이로 인해 흔들림이 방지되도록 한다.
Through the dual bushing bearing 60, the upper and lower portions of the shaft shaft 20 are simultaneously pulled to provide a stable guide function when the shaft moves up and down, thereby preventing shaking.

그리고 제1 및 제2 피스톤로드가 결합되는 연결체 즉 연결부(42)의 상부와 제1 및 제2 피스톤로드(30) 사이에는 탄성부재(70)가 더 구비되는데, 이 역시 탄성부재에 의한 완충을 통해 상하 움직임에 따른 흔들림을 최소화시키기 위해 도입된 구조이다.
In addition, an elastic member 70 is further provided between the first and second piston rods 30 to which the first and second piston rods are coupled, that is, the connection part 42, which is also cushioned by the elastic member. It is a structure introduced to minimize the shaking due to vertical movement through.

즉, 제1 및 제2 피스톤로드(30)의 상승에 의해 제1 및 제2 버큠샤프트(20)가 상승되는 경우 버큠샤프트의 일단과 결합되어 있는 연결부(42)의 상면이 상승하면서 실린더 바디(10)의 하면과 부딪히게 되는데,That is, when the first and second piston shafts 20 are lifted by the first and second piston rods 30, the upper surface of the connecting portion 42 coupled with one end of the cylinder shaft is raised and the cylinder body ( 10) is hit by

부딪히면서 실린더 바디에 충격을 가하게 되고 이로 인해 흔들림이 발생된다.
When hit, the cylinder body is shocked, which causes shaking.

상기와 같은 흔들림은 미세할 수 있으나, 정밀함이 우선시되는 반도체 분야에서는 제품 불량률로 연결될 수 있어 이에 대한 보강 역시 요구된다.
Such a shake may be minute, but in the semiconductor field where precision is a priority, it may be connected to a product failure rate, and thus reinforcement thereof is also required.

이에 본 발명에서는 피스톤로드(30)가 결합되는 연결체의 연결부(42)와 제1 및 제2 피스톤로드(30) 사이에 탄성부재(70)를 구비시켜 연결체 상승에 따른 충격을 완충시킬 수 있도록 하여 흔들림을 방지한다.
In the present invention, the elastic member 70 is provided between the connecting portion 42 and the first and second piston rod 30 of the connecting member to which the piston rod 30 is coupled to cushion the impact caused by the rising of the connecting member. To prevent shaking.

상기에서는 1개의 더블픽업실린더를 예시로 설명하였지만, 도 6에서도 도시된 바와 같이, 실 공정에서는 통상적으로 하나 또는 2개의 열을 가진 반도체 칩이 다수 개 배열되어 조립공정이 이루어지므로 갯수에 따라 본 발명의 더블실린더 다수 개를 반도체 칩 이송장치 축상에 장치하여 사용하게 된다.
In the above description, one double pick-up cylinder has been described as an example, but as shown in FIG. 6, in the actual process, a plurality of semiconductor chips having one or two rows are typically arranged and thus an assembly process is performed. A plurality of double cylinders are mounted on the semiconductor chip feeder shaft for use.

이상에서 본 발명을 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 특정 형상과 구조를 갖는 "더블픽업실린더"를 위주로 설명하였으나 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.
In the above description of the present invention with reference to the accompanying drawings, a description of the "double pickup cylinder" having a specific shape and structure, but the present invention can be variously modified and changed by those skilled in the art, such modifications and changes are present invention It should be interpreted as falling within the protection scope of.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10: 실린더 바디
11: 제1 수용부 12: 제2 수용부 13: 이송로드
20: 제1 및 제2 버큠샤프트
30: 제1 및 제2 피스톤로드
40: 연결체 41: 안치부 42: 연결부 43: 단부
42a: 흡입공 43a: 흡입노즐 44: 슬라이딩로드
50: 가이드블럭 51: 돌부
60: 부싱베어링 70: 탄성부재 80: 진공흡착부Description of the Related Art [0002]
10: cylinder body
11: 1st accommodating part 12: 2nd accommodating part 13: Feed rod
20: first and second clutch shaft
30: first and second piston rod
40: connecting body 41: settlement part 42: connecting part 43: end
42a: suction hole 43a: suction nozzle 44: sliding rod
50: guide block 51: protrusion
60: bushing bearing 70: elastic member 80: vacuum suction portion

Claims (4)

실린더 바디;
상기 실린더 바디에 삽입되고, 반도체 소자의 진공흡입을 위한 것으로 상하로 운동되는 제1 및 제2 버큠샤프트;
상기 실린더 바디에 삽입되고, 공압에 의해 상하 운동이 이루어지면서 상기 제1 및 제2 버큠샤프트를 이송시키는 제1 및 제2 피스톤로드; 및
상기 제1 및 제2 버큠샤프트가 안치되는 것으로, 일단에서는 제1 및 제2 피스톤로드가 결합되어 제1 및 제2 버큠샤프트의 상하 운동을 견인하게 하고, 반도체 소자에 대한 진공흡입을 위한 진공이 제공되는 연결체를 포함하여 이루어지되,
상기 연결체는
상면에 제1 및 제2 버큠샤프트가 배열되는 제3 수용부가 마련되는 안치부와,
상기 안치부의 상부에서 연결형성되는 것으로, 제1 및 제2 버큠샤프트의 일단이 연결되어 생성된 흡입공기를 제1 및 제2 버큠샤프트에 제공하기 위한 흡입노즐이 구비된 단부와, 그리고
상기 단부 반대편에 위치하는 것으로 제1 및 제2 버큠샤프트의 타단과 제1 및 제2 피스톤로드가 결합되는 연결부를 포함하여 이루어지고,
상기 실린더 바디에는
상부 내측으로는 상기 연결체의 단부가 삽입·수용되기 위한 제1수용부가 형성되고, 하부 외측으로는 상기 연결체의 연결부 중 제1 및 제2 피스톤로드가 결합된 부위가 삽입·수용되기 위한 제2 수용부가 형성되어 제1 및 제2 버큠샤프트를 내측에 위치시키고 상기 제1 및 제2 버큠샤프트를 상하 이송시키는 제1 및 제2 피스톤로드를 외측으로 위치시키는 것을 특징으로 하고,
상기 실린더 바디의 하단 양 측으로는 연결체의 안정된 상하이동을 보장하기 위한 가이드블럭이 더 구비되되,
상기 가이드블럭과 만나는 연결체의 접면에는 슬라이딩 로드가 형성되고,
상기 가이드블럭에는 슬라이딩 로드에 삽입되는 돌부가 형성되어
연결체의 상하 이동시 슬라이딩 로드에 돌부가 삽입되어 연결체의 안정된 상하 이동이 보장되는 것을 특징으로 하는 흔들림방지 구조가 구비된 반도체 소자용 더블픽업실린더.Cylinder body;
First and second vibration shafts inserted into the cylinder body and vertically moved for vacuum suction of the semiconductor device;
First and second piston rods inserted into the cylinder body and configured to transfer the first and second clutch shafts by vertical movement by pneumatic pressure; And
The first and second clutch shafts are settled, and at one end, the first and second piston rods are coupled to draw the vertical movement of the first and second piston shafts, and the vacuum for vacuum suction to the semiconductor device is Including the connections provided,
The connector
A settling portion provided with a third accommodation portion having first and second compression shafts arranged on an upper surface thereof;
An end portion having a suction nozzle for connecting the first and second clutch shafts to be connected to the upper part of the settled part and to provide suction air generated by connecting one end of the first and second clutch shafts;
Located opposite to the end and comprises a connecting portion to which the other end of the first and second piston shaft and the first and second piston rod are coupled,
The cylinder body
A first accommodating part is formed at an upper inner side for inserting and accommodating an end of the connecting body, and a lower accommodating part for inserting and accommodating a portion where the first and second piston rods are coupled among the connecting parts of the connecting body. A second receiving portion is formed to position the first and second piston shafts inward and to position the first and second piston rods for conveying the first and second piston shafts up and down;
Both sides of the lower end of the cylinder body is further provided with a guide block for ensuring a stable movement of the connecting body,
A sliding rod is formed on a contact surface of the connecting member that meets the guide block,
The guide block is formed with a protrusion is inserted into the sliding rod
A double pick-up cylinder for a semiconductor device with a shake prevention structure, characterized in that the protrusion is inserted into the sliding rod during the vertical movement of the connector to ensure a stable vertical movement of the connector. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 버큠샤프트가 삽입된 실린더 바디의 이송로드에는 부싱베어링이 이송로드 상하로 구비되어, 부싱베어링에 끼워지는 제1 및 제2 버큠사프트의 상하 운동시 흔들림을 잡아주도록 된 것을 특징으로 하는 흔들림방지 구조가 구비된 반도체 소자용 더블픽업실린더.The method of claim 1,
Bushing bearings are provided on the transfer rods of the cylinder body into which the first and second clutch shafts are inserted, and the transfer rods are disposed up and down to catch shaking during the vertical movement of the first and second clutch shafts fitted to the bushing bearings. Double pick-up cylinder for a semiconductor device equipped with a shake prevention structure. 제 3 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 피스톤로드가 결합되는 연결체와 제1 및 제2 피스톤로드 사이에는 탄성부재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 흔들림방지 구조가 구비된 반도체 소자용 더블픽업실린더.The method of claim 3, wherein
The double pick-up cylinder for a semiconductor device having an anti-shake structure, characterized in that the elastic member is further provided between the connecting member and the first and second piston rod coupled to the first and second piston rod.
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