KR101381219B1 - Locating device for wafer cassette - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치에 관한 것으로, 본 발명은 웨이퍼들이 적재되는 카세트가 안착되는 카세트 안착부재; 상기 카세트 안착부재에 안착된 카세트를 고정시키거나 그 고정을 해제시키는 카세트 고정유닛; 상하 방향 및 수평 방향으로 움직이면서 상기 카세트에 적재된 웨이퍼들을 정렬시키는 웨이퍼 정렬유닛; 상기 카세트의 수직 방향을 따라 상하로 움직이는 센서 고정유닛; 및 상기 센서 고정유닛에 장착되며, 상기 센서 고정유닛의 상하 움직임에 따라 카세트에 적재된 웨이퍼의 존재 및 기울어짐을 감지하는 복수 개의 센서들을 포함한다. 본 발명에 따르면, 카세트 내부에 적재된 웨이퍼들의 위치를 정확하게 감지하여 이송 로봇이 카세트 내부에 적재된 웨이퍼들을 꺼내거나 삽입시 웨이퍼의 파손을 방지하고, 또한 카세트 내부에 적재된 웨이퍼들의 위치를 감지하는 장치의 구조를 간단하게 할 뿐만 아니라 장치의 설치 공간을 최소화하게 된다.The present invention relates to a wafer cassette locating apparatus, the present invention provides a cassette seating member on which the cassette is loaded; A cassette fixing unit which fixes or releases the cassette seated on the cassette seating member; A wafer alignment unit for aligning wafers loaded in the cassette while moving in a vertical direction and a horizontal direction; A sensor fixing unit moving up and down along the vertical direction of the cassette; And a plurality of sensors mounted on the sensor fixing unit and detecting the presence and inclination of the wafer loaded in the cassette according to the vertical movement of the sensor fixing unit. According to the present invention, by accurately detecting the position of the wafers loaded in the cassette to prevent damage to the wafer when the transfer robot removes or inserts the wafers loaded in the cassette, and also detects the position of the wafers loaded in the cassette It not only simplifies the structure of the device but also minimizes the installation space of the device.

Description

웨이퍼 카세트 로케이팅 장치{LOCATING DEVICE FOR WAFER CASSETTE}Wafer cassette locating device {LOCATING DEVICE FOR WAFER CASSETTE}
본 발명은 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer cassette locating apparatus.
일반적으로 반도체소자는 웨이퍼 상에 노광, 식각, 이온주입, 확산, 금속증착, 소잉 등의 공정을 선택적이고도 반복적으로 수행하여 복수의 회로 패턴을 적층한 것이다. 반도체소자 제조 공정에서 웨이퍼는 각 단위 공정을 수행하는 제조장비로 이송된다. 웨이퍼가 각 단위 공정이 수행되는 제조장비로 이송될 때, 일반적으로 웨이퍼들이 웨이퍼 카세트 내부에 적층된 후 웨이퍼 카세트를 카세트 이송수단에 의해 제조장비로 이송된다. 이하, 웨이퍼 카세트를 카세트라 한다.In general, a semiconductor device stacks a plurality of circuit patterns by selectively and repeatedly performing a process such as exposure, etching, ion implantation, diffusion, metal deposition, sawing, etc. on a wafer. In the semiconductor device manufacturing process, the wafer is transferred to manufacturing equipment that performs each unit process. When the wafer is transferred to the manufacturing equipment where each unit process is performed, the wafers are generally stacked inside the wafer cassette and then the wafer cassette is transferred to the manufacturing equipment by the cassette conveying means. Hereinafter, the wafer cassette is called a cassette.
카세트가 제조장비에 놓여진 상태에서, 제조장비를 구성하는 이송 로봇에 의해 카세트에 적재된 웨이퍼들이 한 개씩 꺼내어져 제조장비의 구성 부품으로 이송되어 공정이 진행되며 그 공정이 완료되면 그 웨이퍼는 카세트에 다시 적재된다. 예를 들면, 상기 제조장비가 세정장비일 경우 세정장비에 카세트가 놓여진 상태에서 세정장비의 이송 로봇이 카세트에 적재된 웨이퍼들을 한 장씩 꺼내어 세정 챔버로 이송시키고, 세정 챔버에서 웨이퍼의 세정이 완료되면 이송 로봇이 웨이퍼를 다시 카세트 내부에 적재시키게 된다.In the state where the cassette is placed on the manufacturing equipment, the wafers loaded on the cassette are taken out one by one by the transfer robot constituting the manufacturing equipment and transferred to the component parts of the manufacturing equipment, and when the process is completed, the wafer is transferred to the cassette. Loaded again. For example, when the manufacturing equipment is a cleaning equipment, when the cassette is placed in the cleaning equipment, the transfer robot of the cleaning equipment takes out the wafers loaded in the cassette one by one, transfers them to the cleaning chamber, and when the cleaning of the wafer is completed in the cleaning chamber, The transfer robot loads the wafer back into the cassette.
이송 로봇이 카세트 내부에서 웨이퍼를 꺼낼 때 웨이퍼에 충돌하지 않고 정확하게 꺼내기 위하여, 제조장비에 놓여진 카세트에 적재된 웨이퍼들은 카세트 내부에서 정렬되어야 한다. 또한, 카세트의 각 웨이퍼 적재 공간에 웨이퍼의 유무를 감지하여야 할 뿐만 아니라 카세트의 적재 공간에 위치한 웨이퍼의 존재 상태를 감지하여야 한다.When the transfer robot takes the wafer out of the cassette, the wafers loaded in the cassette placed on the manufacturing equipment must be aligned inside the cassette in order to accurately eject the wafer without colliding with the wafer. In addition, it is necessary to detect the presence or absence of a wafer in each wafer loading space of the cassette, as well as the presence state of the wafer located in the loading space of the cassette.
한국 공개특허 특1998-027671호(이하, 선행기술이라 함)에는 카세트 내부에 적재된 웨이퍼의 위치를 감지하는 웨이퍼 오장착 감지장치가 개시되어 있다. 선행기술 1은 고정된 상태에 있는 센서고정구에 센서들이 장착되고, 카세트가 승강기에 놓여져 상하로 이동하면서 센서고정구에 장착된 센서들이 카세트 내부에 적재된 웨이퍼들의 위치를 감지하게 된다. 그러나 선행기술은 센서들이 장착된 센서고정구가 고정된 상태이고 카세트가 상하로 움직이면서 카세트 내부에 적재된 웨이퍼들의 위치를 감지하게 되므로 카세트 내부에 적재된 웨이퍼들의 위치를 빠르고 정확하게 감지하지 못하게 되고, 웨이퍼들의 위치를 감지한 후에 카세트가 움직이면서 웨이퍼의 위치가 변동될 가능성이 있다. 또한, 카세트가 승강기에 의해 상하로 움직이는 구조이므로 설치 공간을 많이 차지하게 되어 제조장비의 크기가 커지게 되는 단점이 있다.Korean Laid-Open Patent Publication No. 1998-027671 (hereinafter referred to as "the prior art") discloses a wafer misalignment detecting apparatus for detecting a position of a wafer loaded inside a cassette. Prior art 1 is mounted on the sensor fixture in a fixed state, the cassette is placed in the elevator to move up and down while the sensors mounted on the sensor fixture to detect the position of the wafers loaded in the cassette. However, in the prior art, since the sensor fixture equipped with the sensors is fixed and the cassette moves up and down to detect the position of the wafers loaded in the cassette, the position of the wafers loaded in the cassette cannot be detected quickly and accurately. There is a possibility that the position of the wafer may change as the cassette moves after detecting the position. In addition, since the cassette is moved up and down by a lift, it takes up a lot of installation space and has the disadvantage of increasing the size of the manufacturing equipment.
본 발명의 목적은 카세트 내부에 적재된 웨이퍼들의 위치를 빠르고 정확하게 감지하여 이송 로봇이 카세트 내부에 적재된 웨이퍼들을 꺼내거나 삽입시 웨이퍼의 파손을 방지하는 것이다.It is an object of the present invention to quickly and accurately sense the position of wafers loaded in a cassette to prevent breakage of the wafer when the transfer robot removes or inserts the wafers loaded in the cassette.
본 발명의 다른 목적은 카세트 내부에 적재된 웨이퍼들의 위치를 감지하는 장치의 구조를 간단하게 할 뿐만 아니라 장치의 설치 공간을 최소화하는 것이다.Another object of the present invention is to simplify the structure of the device for detecting the position of the wafers loaded inside the cassette as well as to minimize the installation space of the device.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 웨이퍼들이 적재되는 카세트가 안착되는 카세트 안착부재; 상기 카세트 안착부재에 안착된 카세트를 고정시키거나 그 고정을 해제시키는 카세트 고정유닛; 상하 방향 및 수평 방향으로 움직이면서 상기 카세트에 적재된 웨이퍼들을 정렬시키는 웨이퍼 정렬유닛; 상기 카세트의 수직 방향을 따라 상하로 움직이는 센서 고정유닛; 및 상기 센서 고정유닛에 장착되며, 상기 센서 고정유닛의 상하 움직임에 따라 카세트에 적재된 웨이퍼의 존재 및 기울어짐을 감지하는 복수 개의 센서들을 포함하는 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치가 제공된다.In order to achieve the object of the present invention, a cassette seating member on which a cassette is loaded is mounted; A cassette fixing unit which fixes or releases the cassette seated on the cassette seating member; A wafer alignment unit for aligning wafers loaded in the cassette while moving in a vertical direction and a horizontal direction; A sensor fixing unit moving up and down along the vertical direction of the cassette; And a plurality of sensors mounted to the sensor fixing unit and detecting a presence and inclination of the wafer loaded in the cassette according to the vertical movement of the sensor fixing unit.
상기 카세트 안착부재는 디귿자 형태로 형성된 베이스 프레임부과, 상기 베이스 프레임부의 하면에 구비된 플레이트부와, 상기 베이스 프레임부의 모서리부분에 각각 구비된 두 개의 수직 지지부들과, 상기 플레이트부에 구비되는 카세트 하부 삽입홈들을 포함하는 것이 바람직하다.The cassette seating member may include a base frame portion formed in a depression shape, a plate portion disposed on a lower surface of the base frame portion, two vertical support portions provided at corners of the base frame portion, and a cassette lower portion provided in the plate portion. It is preferable to include the insertion grooves.
상기 카세트 하부 삽입홈은 일정 폭과 길이를 갖는 가로 홈과, 일정 간격을 두고 위치하는 두 개의 세로 홈들로 이루어지며, 상기 가로 홈은 서로 평행하게 위치하는 두 개의 제1 블록들에 의해 형성되고, 상기 플레이트부에 제2 블록이 장착되고 상기 제2 블록에 상기 세로 홈이 형성된 것이 바람직하다.The cassette lower insertion groove is composed of a horizontal groove having a predetermined width and length, and two vertical grooves positioned at a predetermined interval, and the horizontal groove is formed by two first blocks positioned in parallel with each other. It is preferable that the second block is mounted to the plate portion and the vertical groove is formed in the second block.
상기 웨이퍼 정렬유닛은 수평 방향으로 직선 구동력을 발생시키는 수평 구동유닛과, 상기 수평 구동유닛을 상하로 구동시키는 상하 구동유닛과, 상기 수평 구동유닛에 결합되며 상기 수평 구동유닛과 상기 상하 구동유닛의 작동에 의해 수평방향과 상하 방향으로 움직이면서 카세트에 적재된 웨이퍼들을 정렬시키는 두 개의 정렬 바들을 포함하는 것이 바람직하다.The wafer alignment unit includes a horizontal driving unit for generating a linear driving force in a horizontal direction, a vertical driving unit for driving the horizontal driving unit up and down, and coupled to the horizontal driving unit to operate the horizontal driving unit and the vertical driving unit. It is preferable to include two alignment bars for aligning the wafers loaded in the cassette while moving in the horizontal direction and the vertical direction.
상기 센서 고정유닛은 디귿자 형태로 형성되는 센서 장착부재와, 상기 센서 장착부재를 상하 방향으로 직선으로 움직이는 장착부재 구동유닛을 포함하는 것이 바람직하다.The sensor fixing unit preferably includes a sensor mounting member formed in the form of a depression and a mounting member driving unit which moves the sensor mounting member in a vertical direction in a vertical direction.
상기 복수 개의 센서들은, 발광부와 수광부로 이루어지며 상기 카세트에 웨이퍼의 유무를 감지하는 제1 센서와, 발광부와 수광부로 이루어지며 상기 카세트에 적재된 웨이퍼의 기울기를 감지하는 제2 센서를 포함하는 것이 바람직하다.The plurality of sensors may include a first sensor including a light emitting unit and a light receiving unit and detecting the presence or absence of a wafer in the cassette, and a second sensor including a light emitting unit and a light receiving unit and detecting an inclination of the wafer loaded in the cassette. It is desirable to.
본 발명은 카세트에 적재된 웨이퍼들의 위치를 빠르고 정확하게 감지하게 된다. 카세트 내부에 적재된 웨이퍼들의 위치를 정확하게 감지하게 되므로 이송 로봇이 카세트로부터 웨이퍼들을 꺼낼 때 이송 로봇이 웨이퍼와 충돌하는 것을 방지하게 되고, 또한 이송 로봇이 웨이퍼들을 카세트에 넣을 때 정확한 위치에 웨이퍼를 넣게 된다. The present invention detects the position of wafers loaded in a cassette quickly and accurately. It accurately senses the position of the wafers loaded inside the cassette, thus preventing the transfer robot from colliding with the wafer when the transfer robot removes the wafers from the cassette and also allows the transfer robot to place the wafers in the correct position when placing the wafers in the cassette. do.
또한, 본 발명은 구성 부품 및 구조가 간단하여 장비의 크기가 최소화되므로 장비의 설치 공간을 작게 차지하게 된다.In addition, the present invention occupies a small installation space of the equipment because the components and structure is simple to minimize the size of the equipment.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치의 일실시예를 도시한 평면도,
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치의 일실시예를 도시한 정면도,
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치의 일실시예에 장착되는 카세트의 일실시예를 도시한 정면도,
도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치의 일실시예를 구성하는 웨이퍼 정렬유닛의 제1 실시예를 도시한 측면도,
도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치의 일실시예를 구성하는 웨이퍼 정렬유닛의 제2 실시예를 도시한 측면도,
도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치의 일실시예를 구성하는 센서 고정유닛을 도시한 측면도.
1 is a plan view showing one embodiment of a wafer cassette locating apparatus according to the present invention;
2 is a front view showing one embodiment of a wafer cassette locating apparatus according to the present invention;
3 is a front view showing one embodiment of a cassette mounted to one embodiment of the wafer cassette locating apparatus according to the present invention;
4 is a side view showing a first embodiment of a wafer alignment unit constituting an embodiment of the wafer cassette locating apparatus according to the present invention;
5 is a side view showing a second embodiment of a wafer alignment unit constituting an embodiment of the wafer cassette locating apparatus according to the present invention;
Figure 6 is a side view showing a sensor fixing unit constituting an embodiment of a wafer cassette locating apparatus according to the present invention.
이하, 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of a wafer cassette locating apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치의 일실시예를 도시한 평면도이다. 도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치의 일실시예를 도시한 정면도이다.1 is a plan view showing an embodiment of a wafer cassette locating apparatus according to the present invention. 2 is a front view showing one embodiment of a wafer cassette locating apparatus according to the present invention.
도 1, 2에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치의 일실시예는 베이스 프레임(100), 카세트 안착부재(200), 카세트 고정유닛(300), 웨이퍼 정렬유닛(400), 센서 고정유닛(500), 복수 개의 센서(S)들을 포함한다.As shown in Figures 1 and 2, one embodiment of the wafer cassette locating apparatus according to the present invention is a base frame 100, cassette seating member 200, cassette fixing unit 300, wafer alignment unit 400 , The sensor fixing unit 500 and a plurality of sensors (S).
상기 베이스 프레임(100)은 가운데 부분이 관통된 상면 플레이트(110)와, 상기 상면 플레이트(110)의 하면에 구비된 수직 지지대(120)를 포함한다.The base frame 100 includes a top plate 110 through which a center portion thereof is penetrated, and a vertical support 120 provided on a bottom surface of the top plate 110.
상기 카세트 안착부재(200)는 상기 베이스 프레임(100)의 상면 플레이트(110) 가운데 부분에 위치한다. 상기 카세트 안착부재(200)에 웨이퍼들이 적재되는 카세트(10)가 안착된다.The cassette seating member 200 is located at the center of the upper plate 110 of the base frame 100. The cassette 10 on which wafers are stacked is mounted on the cassette seating member 200.
상기 카세트 안착부재(200)는 디귿자 형태로 형성된 프레임부(210)과, 상기 프레임부(210)의 하면에 구비된 플레이트부(220)와, 상기 프레임부(210)의 모서리부분에 각각 구비된 두 개의 수직 지지부(230)들과, 상기 플레이트부(220)에 구비되는 카세트 하부 삽입홈(240)들을 포함한다.The cassette seating member 200 is provided in the frame portion 210 formed in the form of a depression, the plate portion 220 provided on the lower surface of the frame portion 210, and the corner portion of the frame portion 210, respectively Two vertical support portions 230, and the cassette lower insertion grooves 240 provided in the plate portion 220.
상기 프레임부(210)와 플레이트부(220)는 상기 베이스 프레임(100)의 상면 플레이트(110)의 관통된 가운데 부분에 위치한다. 상기 플레이트부(220)의 하면에 플레이트부(220)를 지지하는 수직 받침대(250)들이 구비된다. 상기 수직 받침대(250)들이 상기 프레임부(210)와 플레이트부(220)를 고정시킨다. 상기 베이스 프레임(100)을 기준으로 할 때 상기 베이스 프레임(100)의 앞부분(A)에 상기 프레임부(210)의 개구된 부분이 위치하게 된다. 상기 수직 지지부(230)는 설정된 높이를 갖는다. 상기 두 개의 수직 지지부(230)들은 서로 평행하게 위치하게 된다. 상기 카세트 하부 삽입홈(240)은, 평면으로 볼 때, 일정 폭과 길이를 갖는 가로 홈(241)과, 일정 간격을 두고 위치하는 두 개의 세로 홈(242)들로 이루어진다. 상기 가로 홈(241)은 서로 간격을 두고 평행하게 위치하는 두 개의 제1 블록(243)들에 의해 형성됨이 바람직하다. 상기 플레이트부(220)에, 세로 홈(242)이 구비된 제2 블록(244)이 두 개 장착된다. 상기 두 개의 제2 블록(244)들은 플레이트부(220)의 앞쪽 끝부분에 구비됨이 바람직하고, 상기 두 개의 제2 블록(244)들은 서로 일정 간격을 두고 위치한다. 상기 프레임부(210) 및 플레이트부(220)에 각각 카세트(10)의 유무를 감지하는 카세트 감지센서(S3)들이 구비된다.The frame portion 210 and the plate portion 220 are positioned in the center portion of the upper plate 110 of the base frame 100 through. Vertical pedestals 250 supporting the plate portion 220 are provided on the lower surface of the plate portion 220. The vertical pedestals 250 fix the frame portion 210 and the plate portion 220. When the base frame 100 is referred to, the opened portion of the frame portion 210 is positioned at the front portion A of the base frame 100. The vertical support 230 has a set height. The two vertical supports 230 are positioned parallel to each other. The cassette lower insertion groove 240, when viewed in plan view, consists of a horizontal groove 241 having a predetermined width and length, and two vertical grooves 242 positioned at a predetermined interval. The horizontal grooves 241 are preferably formed by two first blocks 243 positioned parallel to each other with a space therebetween. In the plate part 220, two second blocks 244 having vertical grooves 242 are mounted. The two second blocks 244 are preferably provided at the front end of the plate portion 220, and the two second blocks 244 are positioned at a predetermined interval from each other. Cassette detection sensors S3 are provided on the frame part 210 and the plate part 220 to detect the presence or absence of the cassette 10, respectively.
상기 카세트 고정유닛(300)은 상기 카세트 안착부재(200)에 안착된 카세트(10)를 고정시키거나 그 고정을 해제시킨다. 상기 카세트 고정유닛(300)은 직선 왕복 구동력을 발생시키는 구동유닛(310)과, 상기 구동유닛(310)의 직선 왕복 구동력에 따라 왕복 운동하면서 카세트(10)를 고정 및 해제시키는 고정부재(320)를 포함한다. 상기 구동유닛(310)은 상기 카세트 안착부재(200)의 하부에 위치하는 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 상기 카세트 안착부재(200)의 플레이트부(220) 하면에 장착됨이 바람직하다. 상기 구동유닛(310)은 유압 실린더를 포함한다. 상기 구동유닛(310)의 다른 실시예로 회전모터와 볼 스크류 어셈블리를 포함한다. 상기 구동유닛(310)은 다양한 형태로 구현될 수 있다. 상기 고정부재(320)는 일정 길이를 갖는 막대부(321)와 상기 막대부(321)의 양단부에 각각 구비된 홈(322)들로 이루어진다. 상기 고정부재(320)는 카세트 안착부재(200)의 플레이트부(220) 전면에 위치하며, 이때 상기 고정부재(320)의 두 개의 홈(322)들은 각각 두 개의 세로 홈(242)들에 대면되도록 위치한다.The cassette fixing unit 300 fixes or releases the cassette 10 seated on the cassette seating member 200. The cassette fixing unit 300 is a driving unit 310 for generating a linear reciprocating driving force, and a fixing member 320 for fixing and releasing the cassette 10 while reciprocating according to the linear reciprocating driving force of the driving unit 310. It includes. The drive unit 310 is preferably located below the cassette seating member 200, and more preferably mounted on the bottom surface of the plate portion 220 of the cassette seating member 200. The drive unit 310 includes a hydraulic cylinder. Another embodiment of the drive unit 310 includes a rotary motor and a ball screw assembly. The driving unit 310 may be implemented in various forms. The fixing member 320 includes a rod part 321 having a predetermined length and grooves 322 respectively provided at both ends of the rod part 321. The fixing member 320 is located in front of the plate portion 220 of the cassette seating member 200, wherein the two grooves 322 of the fixing member 320 face two vertical grooves 242, respectively. To be located.
도 3은 카세트의 일실시예를 도시한 정면도이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 카세트(10)는 하부판(11)과, 상기 하부판(11)의 상면에 일정 간격을 두고 수직으로 구비된 두 개의 수직부재(12)들과, 상기 두 개의 수직부재(12)들 상단에 구비된 상부판(15)을 포함한다. 상기 수직부재(12)들의 각 내측면에 웨이퍼가 삽입되는 다수 개의 홈(G)들이 구비된다. 웨이퍼가 카세트(10)에 적재될 때 웨이퍼가 수평상태에서 웨이퍼의 한쪽 끝부분은 한 개의 수직부재(12)의 홈(G)에 삽입됨과 동시에 웨이퍼의 다른 한쪽 끝부분은 다른 한 개의 수직부재(12)의 홈(G)에 삽입된다. 상기 카세트(10)에서 한 개의 웨이퍼가 삽입되는 공간을 웨이퍼 삽입공간이라 한다. 즉, 웨이퍼 삽입공간은 한 개의 수직부재(12)의 홈(G)과 그에 대면되는 다른 한 개의 수직부재(12)의 홈(G)에 의해 형성되는 공간이다. 상기 카세트(10)의 하부판 하면에 일정 폭과 길이를 갖는 막대 형태의 가로 돌기(13)가 구비된다. 상기 카세트(10)는 상기 카세트 안착부재(200)에 놓여지며, 이때 카세트(10)의 가로 돌기(13)는 카세트 안착부재(200)의 플레이트부(220)에 구비된 가로 홈(241)에 삽입되고, 카세트(10)의 두 개의 수직부재(12)들의 아래 각 끝부분(14)은 플레이트부(220)에 구비된 두 개의 세로 홈(242)에 각각 삽입된다. 또한, 카세트(10)가 카세트 안착부재(200)에 안착된 상태에서 카세트(10)의 수직부재(12)들은 수직 지지부(230)에 지지된다.3 is a front view showing one embodiment of a cassette. As shown in FIG. 3, the cassette 10 includes a lower plate 11, two vertical members 12 provided vertically at regular intervals on an upper surface of the lower plate 11, and the two vertical members. It includes a top plate 15 provided on top of the members (12). A plurality of grooves G are provided on each inner surface of the vertical member 12 to insert a wafer. When the wafer is loaded into the cassette 10, one end of the wafer is inserted into the groove G of one vertical member 12 while the wafer is horizontal, and the other end of the wafer is connected to the other vertical member ( It is inserted into the groove G of 12). The space in which one wafer is inserted in the cassette 10 is called a wafer insertion space. That is, the wafer insertion space is a space formed by the groove G of one vertical member 12 and the groove G of the other vertical member 12 facing it. A horizontal protrusion 13 having a rod shape having a predetermined width and length is provided on a lower surface of the lower plate of the cassette 10. The cassette 10 is placed on the cassette seating member 200, wherein the horizontal protrusions 13 of the cassette 10 are located in the horizontal groove 241 provided in the plate portion 220 of the cassette seating member 200. Each end portion 14 below the two vertical members 12 of the cassette 10 is inserted into two vertical grooves 242 provided in the plate portion 220, respectively. In addition, the vertical members 12 of the cassette 10 are supported by the vertical support part 230 while the cassette 10 is seated on the cassette seating member 200.
상기 카세트 안착부재(200)에 카세트(10)가 놓인 상태에서, 카세트 고정유닛(300)의 구동유닛(310)이 고정부재(320)를 당기게 되면 고정부재(320)가 카세트(10)를 눌러 고정하게 누르게 된다. 이때, 상기 고정부재(320)의 두 개의 홈(322)들 내부에 카세트(10)의 수직부재(12) 측면 일부분이 삽입된다. 한편, 상기 카세트 고정유닛(300)의 구동유닛(310)이 고정부재(320)를 밀게 되면 고정부재(320)가 카세트(10)의 고정을 해제시키게 된다.When the cassette 10 is placed on the cassette seating member 200, when the driving unit 310 of the cassette fixing unit 300 pulls the fixing member 320, the fixing member 320 presses the cassette 10. It is fixedly pressed. At this time, a portion of the side of the vertical member 12 of the cassette 10 is inserted into the two grooves 322 of the fixing member 320. Meanwhile, when the driving unit 310 of the cassette fixing unit 300 pushes the fixing member 320, the fixing member 320 releases the fixing of the cassette 10.
상기 웨이퍼 정렬유닛(400)은 상하 방향 및 수평 방향으로 움직이면서 상기 카세트(10)에 적재된 웨이퍼들을 일렬로 정렬시키게 된다. 상기 웨이퍼 정렬유닛(400)은 상기 카세트 안착부재(200)의 플레이트부(220) 아래에 위치하는 것이 바람직하다.The wafer alignment unit 400 aligns the wafers loaded in the cassette 10 in a row while moving in the vertical direction and the horizontal direction. The wafer alignment unit 400 is preferably located below the plate portion 220 of the cassette seating member 200.
상기 웨이퍼 정렬유닛(400)의 제1 실시예는, 도 1, 2, 4에 도시한 바와 같이, 수평 방향으로 직선 구동력을 발생시키는 수평 구동유닛(410)과, 상기 수평 구동유닛(410)을 상하로 구동시키는 상하 구동유닛(420)과, 상기 수평 구동유닛(410)에 결합되며 상기 수평 구동유닛(410)과 상기 상하 구동유닛(420)의 작동에 의해 수평방향과 상하 방향으로 움직이면서 카세트(10)에 적재된 웨이퍼들을 정렬시키는 두 개의 정렬 바(430)들을 포함한다.The first embodiment of the wafer alignment unit 400, as shown in Figures 1, 2, 4, the horizontal drive unit 410 for generating a linear driving force in the horizontal direction, and the horizontal drive unit 410 Up and down drive unit 420 for driving up and down, and the horizontal drive unit 410 is coupled to the cassette by moving in the horizontal direction and the vertical direction by the operation of the horizontal drive unit 410 and the up and down drive unit 420 ( Two alignment bars 430 for aligning the wafers loaded in 10).
상기 수평 구동유닛(410)은 받침 부재(411)와 상기 받침 부재(411)에 결합되는 제1 에어 실린더(412)를 포함한다. 상기 상하 구동유닛(420)은 제2 에어 실린더(421)를 포함한다. 상기 제2 에어 실린더(421)는 받침 부재(411)에 연결된다. 또한, 상기 제2 에어 실린더(421)의 몸통은 연결 부재(440)에 장착된다. 상기 받침 부재(411)에 복수 개의 가이드 봉(413)들이 구비되고 상기 연결 부재(440)에, 상기 가이드 봉(413)들이 각각 삽입되는 복수 개의 가이드 부시(414)가 구비된다. 상기 가이드 부시(414)는 가이드 봉(413)의 상하 움직임을 가이드 한다. 상기 연결 부재(440)는 상기 카세트 안착부재(200)의 플레이트부(220) 하면에 연결됨이 바람직하다. 한편, 상기 연결 부재(440)는 상기 베이스 프레임(100)에 연결될 수도 있다. 상기 두 개의 정렬 바(430)들은 하단이 한 개의 블록(450)에 연결된다. 상기 블록(450)은 제1 에어 실린더(412)에 연결된다. 상기 제1 에어 실린더(412)의 작동에 따라 두 개의 정렬 바(430)들과 블록(450)이 직선 왕복 운동하게 된다.The horizontal driving unit 410 includes a support member 411 and a first air cylinder 412 coupled to the support member 411. The vertical driving unit 420 includes a second air cylinder 421. The second air cylinder 421 is connected to the support member 411. In addition, the body of the second air cylinder 421 is mounted to the connecting member 440. A plurality of guide rods 413 are provided on the supporting member 411, and a plurality of guide bushes 414 to which the guide rods 413 are inserted are provided in the connection member 440. The guide bush 414 guides the vertical movement of the guide rod 413. The connection member 440 is preferably connected to the lower surface of the plate portion 220 of the cassette seating member 200. Meanwhile, the connection member 440 may be connected to the base frame 100. The two alignment bars 430 are connected to one block 450 at a lower end thereof. The block 450 is connected to the first air cylinder 412. As the first air cylinder 412 operates, the two alignment bars 430 and the block 450 linearly reciprocate.
상기 웨이퍼 정렬유닛(400)의 제2 실시예는, 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 수평 구동유닛(410)은 받침 부재(411)와 상기 받침 부재(411)의 상면에 장착되는 회전모터(415)와, 상기 회전모터(415)에 연결되는 볼 스크류 어셈블리(416)를 포함한다. 상기 상하 구동유닛(420)은 에어 실린더(422)를 포함할 수 있다. 상기 에어 실린더(422)는 상기 받침 부재(411)에 연결된다. 또한, 상기 에어 실린더(422)의 몸통은 연결 부재(440)에 장착된다. 상기 받침 부재(411)에 복수 개의 가이드 봉(413)들이 구비되고 상기 연결 부재(440)에 복수 개의 가이드 부시(414)가 구비된다. 상기 가이드 봉(413)은 가이드 부시(414)에 각각 삽입되며, 상기 가이드 부시(414)는 가이드 봉(413)의 상하 움직임을 가이드 한다. 상기 에어 실린더(422)의 작동에 따라 상기 수평 구동유닛(410)이 상하 직선 방향으로 움직인다. 상기 상하 구동유닛(420)은 연결 부재(440)에 의해 상기 카세트 안착부재(200)의 플레이트부(220) 하면에 연결됨이 바람직하다. 한편, 상기 상하 구동유닛(420)은 연결 부재(440)에 의해 상기 베이스 프레임(100)에 연결될 수도 있다. 상기 두 개의 정렬 바(430)들은 하단이 한 개의 무빙 블록(460)에 연결된다. 상기 무빙 블록(460)은 상기 볼 스크류 어셈블리(416)의 스크류에 연결된다. 상기 수평 구동유닛(410)의 작동에 따라 두 개의 정렬 바(430)들과 무빙 블록(460)이 직선 왕복 운동하게 된다. In the second embodiment of the wafer alignment unit 400, as shown in FIG. 5, the horizontal driving unit 410 is a rotating motor mounted to the support member 411 and the upper surface of the support member 411. 415 and a ball screw assembly 416 connected to the rotary motor 415. The vertical driving unit 420 may include an air cylinder 422. The air cylinder 422 is connected to the support member 411. In addition, the body of the air cylinder 422 is mounted to the connecting member 440. A plurality of guide rods 413 are provided on the support member 411, and a plurality of guide bushes 414 are provided on the connection member 440. The guide rods 413 are inserted into the guide bushes 414, respectively, and the guide bushes 414 guide the vertical movement of the guide rods 413. In accordance with the operation of the air cylinder 422, the horizontal driving unit 410 moves in the vertical direction. The up and down drive unit 420 is preferably connected to the lower surface of the plate portion 220 of the cassette seating member 200 by a connecting member 440. On the other hand, the vertical drive unit 420 may be connected to the base frame 100 by a connecting member 440. The two alignment bars 430 have a lower end connected to one moving block 460. The moving block 460 is connected to the screw of the ball screw assembly 416. According to the operation of the horizontal driving unit 410, the two alignment bars 430 and the moving block 460 are linear reciprocating motion.
상기 수평 구동유닛(410)과 상기 상하 구동유닛(420)은 각각 다양한 형태로 구현될 수 있다. The horizontal driving unit 410 and the vertical driving unit 420 may be implemented in various forms, respectively.
한편, 상기 카세트 안착부재(200)의 프레임부(210)와 플레이트부(220)의 일부분에 걸쳐 두 개의 장공들이 형성되며, 상기 두 개의 장공(H)들을 통해 두 개의 정렬 바(430)들이 각각 상하 직선 운동을 하게 된다. 즉, 상기 두 개의 정렬 바(430)들이 상측으로 움직일 때 상기 두 개의 정렬 바(430)들은 두 개의 장공(H)들을 통해 플레이트부(220)의 상면위로 돌출되고, 두 개의 정렬 바(430)들이 하측으로 움직일 때 상기 두 개의 정렬 바(430)들은 두 개의 장공(H)들을 통해 플레이트부(220)의 아래로 이동하게 된다. 또한, 상기 두 개의 정렬 바(430)들이 상측으로 이동한 상태에서 수평 방향, 즉 전후 방향으로 움직일 때 두 개의 정렬 바(430)들은 장공(H)을 따라 움직인다. 상기 두 개의 정렬 바(430)들이 웨이퍼들을 정렬시킬 때 충격을 최소화하기 위하여 두 개의 정렬 바(430)들에 각각 연성 재질의 튜브가 복개되는 것이 바람직하다.Meanwhile, two long holes are formed over a portion of the frame part 210 and the plate part 220 of the cassette seating member 200, and two alignment bars 430 are respectively formed through the two long holes H. Up and down linear motion. That is, when the two alignment bars 430 move upward, the two alignment bars 430 protrude above the upper surface of the plate part 220 through the two long holes H, and the two alignment bars 430. The two alignment bars 430 move downward of the plate part 220 through the two long holes H when they move downward. In addition, the two alignment bars 430 move along the long hole H when the two alignment bars 430 move in the horizontal direction, that is, in the front-rear direction. In order to minimize the impact when the two alignment bars 430 align the wafers, it is preferable that the flexible tubes be respectively covered by the two alignment bars 430.
상기 센서 고정유닛(500)은 상기 카세트 안착부재(200)에 안착된 카세트(10)의 수직 방향을 따라 상하로 움직인다. 상기 센서 고정유닛(500)은 디귿자 형태로 형성되는 센서 장착부재(510)와, 상기 센서 장착부재(510)를 상하 직선 방향으로 움직이는 장착부재 구동유닛(미도시)을 포함한다. 상기 센서 장착부재(510)는 평면에서 볼 때, 디귿자 형태로, 두 개 아암부(511)들과 두 개의 아암부(511)들의 한쪽 끝을 직선으로 연결하는 직선 막대 형태의 연결부(512)를 포함한다. 상기 센서 장착부재(510)는 상기 카세트 안착부재(200)를 감싸도록 상기 베이스 프레임(100)의 관통된 부분에 위치한다. 상기 센서 장착부재(510)의 개구된 부분은 베이스 프레임(100)을 정면에서 볼 때 오른 쪽에 위치하는 것이 바람직하다. 상기 장착부재 구동유닛은 베이스 프레임(100)의 상면 플레이트(110) 아래에 위치한다. 상기 장착부재 구동유닛은 연결수단(미도시)에 의해 베이스 프레임(100)에 연결됨이 바람직하다.The sensor fixing unit 500 moves up and down along the vertical direction of the cassette 10 seated on the cassette seating member 200. The sensor fixing unit 500 includes a sensor mounting member 510 formed in the form of a depression and a mounting member driving unit (not shown) for moving the sensor mounting member 510 in a vertical direction. The sensor mounting member 510 has a straight rod-shaped connecting portion 512 connecting the two arm parts 511 and one end of the two arm parts 511 in a straight line shape in a plan view. Include. The sensor mounting member 510 is positioned at a penetrated portion of the base frame 100 to surround the cassette mounting member 200. The opened portion of the sensor mounting member 510 is preferably located on the right side when the base frame 100 is viewed from the front. The mounting member driving unit is positioned below the upper plate 110 of the base frame 100. The mounting member driving unit is preferably connected to the base frame 100 by a connecting means (not shown).
상기 복수 개의 센서(S)들은 상기 센서 고정유닛(500)의 센서 장착부재(510)에 장착된다. 상기 복수 개의 센서들은 센서 장착부재가 카세트(10)를 따라 상하로 움직임에 의해 함께 상하로 움직이면서 카세트(10)에 적재된 웨이퍼의 존재 및 웨이퍼의 기울어짐을 감지하게 된다. 상기 복수 개의 센서(S)들은 카세트(10)에 웨이퍼의 유무를 감지하는 제1 센서(S11)(S12)와 상기 카세트(10)에 적재된 웨이퍼의 기울어짐을 감지하는 제2 센서(S21)(S22)를 포함한다. 상기 제1 센서는 발광부(S11)와 수광부(S12)로 이루어진다. 상기 제2 센서 또한 발광부(S21)와 수광부(S22)로 이루어진다.The plurality of sensors S are mounted on the sensor mounting member 510 of the sensor fixing unit 500. The plurality of sensors detect the presence of the wafer loaded on the cassette 10 and the inclination of the wafer while the sensor mounting member moves up and down together by moving up and down along the cassette 10. The plurality of sensors S may include a first sensor S11 (S12) for detecting the presence of a wafer in the cassette 10 and a second sensor S21 for detecting the inclination of the wafer loaded in the cassette 10 ( S22). The first sensor includes a light emitting part S11 and a light receiving part S12. The second sensor also includes a light emitting unit S21 and a light receiving unit S22.
상기 제1 센서의 발광부(S11)는 센서 장착부재(510)의 한쪽 아암부(511)에 장착되고 수광부(S12)는 다른 한쪽 아암부(511)에 장착된다. 상기 제1 센서의 발광부(S11)와 수광부(S12)를 연결하는 직선은 센서 장착부재(510)의 연결부(512)와 평행하다. 상기 제2 센서의 발광부(S21)는 한쪽 아암부(511)에 장착되고 수광부(S22)는 다른 한쪽 아암부(511)에 장착된다. 상기 제2 센서의 발광부(S21)와 수광부(S22)를 연결하는 직선은 상기 연결부(512)와 경사지도록(평행하지 않도록) 위치한다. 상기 제1 센서의 발광부(S11)에서 광을 조사하여 수광부(S12)에서 그 광을 감지하면 웨이퍼 삽입공간에 웨이퍼가 존재하지 않고 수광부(S12)에서 그 광을 감지하지 못하면 웨이퍼 삽입공간에 웨이퍼가 존재하는 것이다. 상기 제2 센서의 발광부(S21)에서 광을 조사하여 수광부(S22)에서 광을 감지하는 시간이 설정된 시간 이상이 되면 웨이퍼 삽입공간에 위치한 웨이퍼가 기울어져 있는 상태가 된다. 즉, 상기 제2 센서의 발광부(S21)와 수광부(S22)를 연결하는 직선이 제1 센서의 발광부(S11)와 수광부(S12)를 연결하는 직선과 기울어진 상태이므로 제1 센서에서 광을 감지하지 못하는 시간과 제2 센서에서 광을 감지하지 못하는 시간이 같지 않을 경우 그 웨이퍼 삽입공간에 위치하는 웨이퍼가 기울어진 것으로 감지(인식)하게 된다.The light emitting part S11 of the first sensor is mounted to one arm part 511 of the sensor mounting member 510, and the light receiving part S12 is mounted to the other arm part 511. The straight line connecting the light emitting part S11 and the light receiving part S12 of the first sensor is parallel to the connection part 512 of the sensor mounting member 510. The light emitting part S21 of the second sensor is mounted to one arm part 511 and the light receiving part S22 is mounted to the other arm part 511. The straight line connecting the light emitting part S21 and the light receiving part S22 of the second sensor is positioned to be inclined (not parallel) with the connection part 512. When light is emitted from the light emitting part S11 of the first sensor and the light is detected by the light receiving part S12, the wafer does not exist in the wafer insertion space and when the light is not detected by the light receiving part S12, the wafer is placed in the wafer insertion space. Will exist. When the light emitting unit S21 of the second sensor emits light and the light sensing unit S22 detects light for more than a predetermined time, the wafer positioned in the wafer insertion space is inclined. That is, since the straight line connecting the light emitting unit S21 and the light receiving unit S22 of the second sensor is inclined with the straight line connecting the light emitting unit S11 and the light receiving unit S12 of the first sensor, the light is emitted from the first sensor. If the time of not detecting the light is not equal to the time of not detecting the light from the second sensor, the wafer located in the wafer insertion space is detected (recognized) as being inclined.
이하, 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치의 작동과 효과를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation and effects of the wafer cassette locating apparatus according to the present invention will be described.
먼저, 웨이퍼들이 적재된 카세트(10)를 카세트 안착부재(200)에 안착시킨다. 카세트 감지센서(S3)가 카세트(10)의 존재를 감지하게 되면 카세트 고정유닛(300)의 구동유닛(310)이 고정부재(320)를 당겨 카세트(10)를 고정시킨다. 상기 카세트의 가로 돌기(13)가 가로 홈(241)에 삽입되고 수직부재(12)들의 하단부분이 세로 홈(242)들에 삽입된 상태에서 카세트 고정유닛(300)이 카세트(10)를 고정하게 되므로 카세트(10)의 고정이 견고하게 된다. 웨이퍼 정렬유닛(400)의 상하 구동유닛(420)이 정렬 바(430)들을 상측으로 이동시키고 이어 수평 구동유닛(410)이 정렬 바(430)들을 카세트(10) 쪽으로 수평으로 이동시키면서 카세트(10)에 적재된 웨이퍼들을 정렬시킨다. 정렬 바(430)들이 웨이퍼를 정렬시킨 후 수평 구동유닛(410) 및 상하 구동유닛(420)의 작동에 의해 수평이동 및 하강하게 된다.First, the cassette 10 loaded with wafers is seated on the cassette seating member 200. When the cassette sensor S3 detects the presence of the cassette 10, the driving unit 310 of the cassette fixing unit 300 pulls the fixing member 320 to fix the cassette 10. The cassette fixing unit 300 fixes the cassette 10 with the horizontal protrusion 13 of the cassette inserted into the horizontal groove 241 and the lower end portions of the vertical members 12 inserted into the vertical grooves 242. Since the cassette 10 is firmly fixed. The vertical driving unit 420 of the wafer alignment unit 400 moves the alignment bars 430 upward, and then the horizontal driving unit 410 moves the alignment bars 430 horizontally toward the cassette 10 while the cassette 10 moves upward. Align the wafers loaded. After the alignment bars 430 align the wafers, the alignment bars 430 move horizontally and descend by the horizontal driving unit 410 and the vertical driving unit 420.
센서 고정유닛(500)의 장착부재 구동유닛이 센서 장착부재(510)를, 도 6에 도시한 바와 같이, 카세트(10)를 따라, 위로 이동시키고 아래로 이동시키면서 센서 장착부재(510)에 장착된 복수 개의 센서(S)들이 카세트(10)에 적재된 웨이퍼들의 위치 및 기울어짐을 감지하게 된다. 상기 복수 개의 센서(S)들에 의해 감지된, 카세트(10)에 적재된 웨이퍼들의 위치 정보를 기초로 하여 이송 로봇이 카세트(10)에 적재된 웨이퍼들을 한 개씩 꺼내게 된다. 또한, 카세트(10)에서 꺼내어져 공정을 마친 웨이퍼를 이송 로봇이 카세트(10)의 카세트 삽입공간에 삽입하게 된다.The mounting member driving unit of the sensor fixing unit 500 mounts the sensor mounting member 510 to the sensor mounting member 510 while moving up and down along the cassette 10, as shown in FIG. 6. The plurality of sensors S detect the position and inclination of the wafers loaded on the cassette 10. On the basis of the position information of the wafers loaded in the cassette 10 detected by the plurality of sensors S, the transfer robot takes out the wafers loaded in the cassette 10 one by one. In addition, the transfer robot, which is removed from the cassette 10 and completed the process, is inserted into the cassette insertion space of the cassette 10.
상기 카세트(10)를 카세트 안착부재(200)로부터 분리하게 될 경우 카세트 고정유닛(300)의 구동유닛(310)이 고정부재(320)를 밀어 카세트(10)의 고정을 해제시킨다. 카세트(10)를 카세트 안착부재(200)로부터 꺼내게 된다.When the cassette 10 is separated from the cassette seating member 200, the driving unit 310 of the cassette fixing unit 300 pushes the fixing member 320 to release the cassette 10. The cassette 10 is taken out from the cassette seating member 200.
본 발명은 웨이퍼들이 적재된 카세트(10)가 고정되고, 복수 개의 센서(S)들이 장착된 센서 장착부재(510)가 상하로 움직이면서 카세트(10)에 적재된 웨이퍼들의 위치를 감지하게 되므로 카세트(10)에 적재된 웨이퍼의 위치를 정확하게 감지하게 된다. 즉, 카세트(10)가 카세트 안착부재(200)에 안착되어 고정 상태로 유지되고 복수 개의 센서(S)들이 움직이면서 카세트(10)에 적재된 웨이퍼들의 위치를 감지하게 되므로 복수 개의 센서(S)들이 웨이퍼들의 위치를 감지할 때 웨이퍼들의 흔들림이나 움직임이 없게 되어 웨이퍼들의 위치를 정확하게 감지하게 될 뿐만 아니라 복수 개의 센서(S)들이 웨이퍼의 위치를 감지한 후 웨이퍼의 움직임이나 흔들림이 없게 되어 이송 로봇이 설정된 웨이퍼를 정확하게 꺼낼 수 있게 된다.According to the present invention, the cassette 10 loaded with wafers is fixed, and the sensor mounting member 510 equipped with a plurality of sensors S moves up and down to sense the positions of the wafers loaded on the cassette 10. The position of the wafer loaded in 10) can be accurately detected. That is, since the cassette 10 is seated on the cassette seating member 200 and maintained in a fixed state, and the plurality of sensors S moves, the cassette 10 detects the positions of the wafers loaded on the cassette 10. When sensing the position of the wafers, there is no shaking or movement of the wafers to accurately detect the position of the wafers, and after the plurality of sensors S detect the position of the wafers, there is no movement or shaking of the wafers. The set wafer can be taken out correctly.
또한, 웨이퍼들이 적재된 카세트(10)가 움직이지 않고 복수 개의 센서(S)들이 장착된 센서 장착부재(510)가 상하로 움직이므로 카세트(10)가 승강기에 의해 상하로 움직이는 것보다 구조가 간단하다.In addition, since the cassette 10 on which the wafers are loaded does not move and the sensor mounting member 510 equipped with the plurality of sensors S moves up and down, the structure is simpler than that of the cassette 10 moving up and down by an elevator. Do.
본 발명은 웨이퍼 정렬유닛(400)이 카세트(10)에 적재된 웨이퍼들을 정렬시키게 되므로 이송 로봇이 웨이퍼를 꺼낼 때 이송 로봇과 웨이퍼가 충돌하는 것을 방지하게 될 뿐만 아니라 그 웨이퍼를 꺼내어 다른 구성 요소에 전달하게 될 때 정확한 위치에 전달하게 된다. 만일, 카세트(10)에 적재된 웨이퍼들이 정렬되지 않은 상태에서 웨이퍼의 위치만 감지하게 될 경우 이송 로봇이 웨이퍼를 꺼내어 다른 구성 요소에 전달할 때 정확한 위치에 전달하지 못하게 된다. 또한, 웨이퍼들을 정렬시키는 정렬 바(430)가 수평 및 수직 이동하면서 웨이퍼들을 정렬하게 되므로 구성 부품이 간단하게 되고 정렬 바(430)가 움직이는 공간이 작게 되어 장비의 크기를 감소시키게 된다.According to the present invention, since the wafer alignment unit 400 aligns wafers loaded in the cassette 10, when the transfer robot takes out the wafer, the transfer robot and the wafer not only collide with each other, but also take out the wafers to other components. When you deliver, you deliver at the correct location. If the wafers loaded on the cassette 10 are not aligned, only the position of the wafers is sensed, and thus the transfer robot may not transfer the wafers to the correct positions when the wafers are taken out and transferred to other components. In addition, since the alignment bar 430 for aligning the wafers aligns the wafers while moving horizontally and vertically, components are simplified and the space in which the alignment bar 430 moves is reduced, thereby reducing the size of the equipment.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 카세트(10)에 적재된 웨이퍼들의 위치를 정확하게 감지하게 되어 이송 로봇이 카세트(10)로부터 웨이퍼들을 꺼내거나 이송 로봇이 웨이퍼와 충돌하는 것을 방지하게 되고 또한 이송 로봇이 웨이퍼들을 카세트(10)에 넣을 때 정확한 위치에 웨이퍼를 넣게 된다.As described above, the present invention accurately detects the positions of the wafers loaded in the cassette 10, thereby preventing the transfer robot from removing the wafers from the cassette 10 or from colliding with the wafers. When the wafers are placed in the cassette 10, the wafers are placed at the correct positions.
또한, 본 발명은 구성 부품 및 구조가 간단하여 장비의 크기가 최소화되므로 장비의 설치 공간을 작게 차지하게 된다.In addition, the present invention occupies a small installation space of the equipment because the components and structure is simple to minimize the size of the equipment.
200; 카세트 안착부재 300; 카세트 고정유닛
400; 웨이퍼 정렬유닛 500; 센서 고정유닛
S; 센서 210; 프레임부
220; 플레이트부 410; 수평 구동유닛
420; 상하 구동유닛 430; 정렬 바
200; A cassette seating member 300; Cassette fixing unit
400; Wafer alignment unit 500; Sensor fixing unit
S; Sensor 210; The frame portion
220; Plate portion 410; Horizontal drive unit
420; Vertical drive unit 430; Alignment bar

Claims (7)

  1. 웨이퍼들이 적재되는 카세트가 안착되는 카세트 안착부재;
    상기 카세트 안착부재에 안착된 카세트를 고정시키거나 그 고정을 해제시키는 카세트 고정유닛;
    상하 방향 및 수평 방향으로 움직이면서 상기 카세트에 적재된 웨이퍼들을 정렬시키는 웨이퍼 정렬유닛;
    상기 카세트의 수직 방향을 따라 상하로 움직이는 센서 고정유닛;
    상기 센서 고정유닛에 장착되며, 상기 센서 고정유닛의 상하 움직임에 따라 카세트에 적재된 웨이퍼의 존재 및 기울어짐을 감지하는 복수 개의 센서들을 포함하며,
    상기 카세트 안착부재는 디귿자 형태로 형성된 프레임부과, 상기 프레임부의 하면에 구비된 플레이트부와, 상기 프레임부의 모서리부분에 각각 구비된 두 개의 수직 지지부들과, 상기 플레이트부에 구비되는 카세트 하부 삽입홈들을 포함하는 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치.
    A cassette seating member on which a cassette on which wafers are loaded is mounted;
    A cassette fixing unit which fixes or releases the cassette seated on the cassette seating member;
    A wafer alignment unit for aligning wafers loaded in the cassette while moving in a vertical direction and a horizontal direction;
    A sensor fixing unit moving up and down along the vertical direction of the cassette;
    It is mounted to the sensor fixing unit, and includes a plurality of sensors for detecting the presence and tilt of the wafer loaded in the cassette according to the vertical movement of the sensor fixing unit,
    The cassette seating member may include a frame portion formed in the form of a depression, a plate portion provided on the lower surface of the frame portion, two vertical support portions provided at each corner of the frame portion, and a cassette lower insertion groove provided in the plate portion. Wafer cassette locating device comprising.
  2. 삭제delete
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 카세트 하부 삽입홈은 일정 폭과 길이를 갖는 가로 홈과, 일정 간격을 두고 위치하는 두 개의 세로 홈들로 이루어지며, 상기 가로 홈은 서로 평행하게 위치하는 두 개의 제1 블록들에 의해 형성되고, 상기 플레이트부에 제2 블록이 장착되고 상기 제2 블록에 상기 세로 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치.The lower cassette insertion groove of claim 1, wherein the cassette lower insertion groove is formed of a horizontal groove having a predetermined width and length, and two vertical grooves positioned at a predetermined interval, and the horizontal groove is two first blocks positioned in parallel with each other. And a second block is mounted on the plate portion, and the vertical groove is formed on the second block.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 정렬유닛은 수평 방향으로 직선 구동력을 발생시키는 수평 구동유닛과, 상기 수평 구동유닛을 상하로 구동시키는 상하 구동유닛과, 상기 수평 구동유닛에 결합되며 상기 수평 구동유닛과 상기 상하 구동유닛의 작동에 의해 수평방향과 상하 방향으로 움직이면서 카세트에 적재된 웨이퍼들을 정렬시키는 두 개의 정렬 바들을 포함하는 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치.According to claim 1, wherein the wafer alignment unit is a horizontal drive unit for generating a linear driving force in the horizontal direction, a vertical drive unit for driving the horizontal drive unit up and down, coupled to the horizontal drive unit and the horizontal drive unit and And two alignment bars for aligning wafers loaded in the cassette while moving in the horizontal direction and the vertical direction by the operation of the vertical driving unit.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 두 개의 정렬 바들의 각 한쪽에 연성 재질의 튜브가 복개된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치.The wafer cassette locating apparatus according to claim 4, wherein a flexible tube is covered on one side of the two alignment bars.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 센서 고정유닛은 디귿자 형태로 형성되는 센서 장착부재와, 상기 센서 장착부재를 상하 방향으로 직선으로 움직이는 장착부재 구동유닛을 포함하는 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치.The wafer cassette locating apparatus of claim 1, wherein the sensor fixing unit comprises a sensor mounting member formed in a depression shape, and a mounting member driving unit moving the sensor mounting member in a vertical direction in a vertical direction.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 복수 개의 센서들은, 발광부와 수광부로 이루어지며 상기 카세트에 웨이퍼의 유무를 감지하는 제1 센서와, 발광부와 수광부로 이루어지며 상기 카세트에 적재된 웨이퍼의 기울어짐을 감지하는 제2 센서를 포함하는 웨이퍼 카세트 로케이팅 장치.The method of claim 6, wherein the plurality of sensors include a light emitting unit and a light receiving unit, and a first sensor configured to detect the presence or absence of a wafer in the cassette, and a light sensor and a light receiving unit. A wafer cassette locating device comprising a second sensor.
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