JP4594169B2 - IC handler - Google Patents

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本発明は、未検査部品用トレイ上で吸着した電子部品を放すことなく検査用ソケットに装填し、検査後の電子部品を良品トレイまたは不良品トレイに移載する部品移動装置を装備したICハンドラーに関するものである。   The present invention provides an IC handler equipped with a component moving device for loading an electronic component adsorbed on an uninspected component tray into an inspection socket without releasing it, and transferring the inspected electronic component to a non-defective product tray or a defective product tray. It is about.
従来のこの種のICハンドラーとしては、例えば特許文献1に開示されたものがある。この特許文献1に示されているICハンドラーでは、部品検査装置に電子部品を接続するための検査用ソケットが基台の一端部に設けられ、この一端部から他端側へ向かう方向(以下、この方向を単にY方向という)に一列に並ぶように複数の電子部品収納用のトレイが設けられている。   A conventional IC handler of this type is disclosed in Patent Document 1, for example. In the IC handler shown in Patent Document 1, an inspection socket for connecting an electronic component to a component inspection apparatus is provided at one end portion of a base, and a direction from the one end portion toward the other end (hereinafter, referred to as the following). A plurality of trays for storing electronic components are provided so that this direction is simply referred to as a Y direction).
これらのトレイは、未検査部品用トレイと、良品用トレイおよび不良品用トレイなどがあり、前記Y方向とは直交する水平方向(以下、この方向を単にX方向という)にトレイ移動装置によって移動し、これらのトレイと平行(Y方向)に並ぶように設けられたストッカーに対して出入れされる。これらのストッカーは、Y方向に複数設けられている。前記未検査部品用トレイには、未検査の電子部品が収納され、良品用トレイには、検査後に良品であると判定された電子部品が収納され、不良品用トレイには、検査後に不良品と判定された電子部品が収納される。   These trays include an uninspected component tray, a non-defective product tray, a defective product tray, and the like, and are moved by a tray moving device in a horizontal direction orthogonal to the Y direction (hereinafter, this direction is simply referred to as the X direction). Then, it is put in and out with respect to a stocker provided so as to be arranged in parallel (Y direction) with these trays. A plurality of these stockers are provided in the Y direction. The uninspected component tray stores uninspected electronic components, the good product tray stores electronic components that are determined to be non-defective after inspection, and the defective product tray has defective products after the inspection. Are stored.
前記未検査部品用トレイに収納された電子部品は、吸着ノズルを有する部品移動装置によってトレイから取出されて検査用ソケットに装填され、検査終了後に良品用トレイまたは不良品用トレイに移載される。
前記部品移動装置は、前記複数のトレイと平行にY方向に延びるレールと、このレールに沿って平行に移動可能でかつX方向に移動可能に構成されたヘッドユニットとを備えている。このヘッドユニットには、前記吸着ノズルを昇降させる吸着ヘッドが設けられている。
特開2003−262658号公報(第1図)
The electronic components stored in the uninspected component tray are taken out of the tray by a component moving device having a suction nozzle, loaded in an inspection socket, and transferred to a non-defective product tray or a defective product tray after the inspection is completed. .
The component moving device includes a rail extending in the Y direction in parallel with the plurality of trays, and a head unit configured to be movable in parallel along the rail and movable in the X direction. The head unit is provided with a suction head for raising and lowering the suction nozzle.
Japanese Patent Laid-Open No. 2003-262658 (FIG. 1)
特許文献1に記載された従来のICハンドラーでは、トレイから検査ソケットまで未検査部品を運搬するに際し、吸着ヘッドによる1回の吸着保持のみで電子部品を運搬できる。このため、トレイ受け渡し回数が減るので電子部品の損傷や、いずれかの電子部品運搬手段が故障することによる操業率の低下等の可能性を小さくすることができる。しかも、検査用ソケットからトレイまで検査済み部品を運搬するに際しても同じ吸着ヘッドによる1回の吸着保持のみで電子部品を運搬でき、より一層電子部品の損傷や、いずれかの電子部品運搬手段が故障することによる操業率の低下等の可能性を小さくすることができる。   In the conventional IC handler described in Patent Document 1, when an uninspected part is transported from the tray to the inspection socket, the electronic part can be transported by only one suction holding by the suction head. For this reason, since the number of times of tray delivery is reduced, it is possible to reduce the possibility of damage to the electronic components and a decrease in the operation rate due to failure of any electronic component transporting means. Moreover, even when inspected parts are transported from the inspection socket to the tray, the electronic parts can be transported with only one suction holding by the same suction head, and the electronic parts are further damaged or any of the electronic part transporting means breaks down. It is possible to reduce the possibility of a decrease in the operation rate due to the operation.
しかしながら、特許文献1に記載された従来のICハンドラーは、検査用ソケットから離間する方向にトレイが並べられている。このため、検査用ソケットから大きく離間した位置にあるトレイから電子部品を取出す場合や、このような位置にあるトレイに検査後の電子部品を載置する場合には、電子部品の移動距離が長くなり、タクトタイムが長くなるという問題があった。   However, in the conventional IC handler described in Patent Document 1, trays are arranged in a direction away from the inspection socket. For this reason, when an electronic component is taken out from a tray that is far away from the inspection socket, or when an electronic component after inspection is placed on the tray at such a position, the moving distance of the electronic component is long. As a result, there is a problem that the tact time becomes long.
本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、検査用ソケットと複数のトレイとの間で電子部品を移動させるに当たり、タクトタイムを短縮することができるICハンドラーを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve such problems, and it is an object of the present invention to provide an IC handler capable of shortening tact time when moving an electronic component between an inspection socket and a plurality of trays. Objective.
この目的を達成するために、本発明に係るICハンドラーは、被検査用電子部品が装填される複数の検査用ソケットを一端部において支持する基台と、この基台の前記一端部から他端側へ向かう方向に並ぶように、前記基台に複数設けられたトレイ用ストッカーと、前記ストッカーとの間でトレイの受け渡しが行われるとともに、トレイを基台上で前記ストッカーの並ぶ方向と、この方向とは直交する水平方向に移動させ、複数のトレイを前記ストッカーと平行に並べて支持するトレイ支持装置と、前記トレイ支持装置に支持された未検査部品用トレイ上で吸着した未検査の電子部品を前記検査用ソケットに装填しかつ検査終了後の電子部品をトレイ支持装置の検査済み部品用トレイに移載する部品移動装置とを備えてなり、前記部品移動装置が前記トレイ支持装置上のトレイに対して電子部品の受け渡しを行う位置は、前記複数のストッカーにおける基台の前記他端側に位置するストッカーより検査用ソケット側に位置付けられているものである。 In order to achieve this object, an IC handler according to the present invention includes a base for supporting a plurality of inspection sockets loaded with electronic components to be inspected at one end, and the one end to the other end of the base. The trays are transferred between a plurality of tray stockers provided on the base and the stockers so as to line up in the direction toward the side, and the trays are arranged on the base in a direction in which the stockers are arranged. A tray support device that moves in a horizontal direction orthogonal to the direction and supports a plurality of trays arranged in parallel with the stocker, and uninspected electrons adsorbed on a tray for uninspected parts supported by the tray support device A component moving device for loading the component into the inspection socket and transferring the electronic component after the inspection to the inspected component tray of the tray support device. Location is the position for transferring the electronic component relative to the tray on the tray support device is one that is positioned at the test socket side of the stocker located at the other end of the base in the plurality of stockers .
請求項に記載したICハンドラーは、請求項1に記載したICハンドラーにおいて、トレイ支持装置は、ストッカーとの間でトレイの受け渡しが行われる第1のトレイ保持部を有し、この第1のトレイ保持部をストッカーの並ぶ方向に移動させる第1の支持装置と、ストッカーと平行に並ぶ複数の第2のトレイ保持部を有し、これらの第2のトレイ保持部をストッカーの並ぶ方向に移動させる第2の支持装置と、前記第1のトレイ保持部と第2のトレイ保持部とにそれぞれ設けられ、前記第1のトレイ保持部と前記第2のトレイ保持部とがストッカーの並ぶ方向とは直交する水平方向に並ぶ状態で両トレイ保持部間においてトレイを搬送する移送手段とを備えているものである。 The IC handler according to claim 2 is the IC handler according to claim 1 , wherein the tray support device includes a first tray holding portion that transfers the tray to and from the stocker. A first support device that moves the tray holding portion in the direction in which the stockers are arranged, and a plurality of second tray holding portions that are arranged in parallel with the stockers, and these second tray holding portions are moved in the direction in which the stockers are arranged A second support device, and a first tray holding unit and a second tray holding unit, respectively, wherein the first tray holding unit and the second tray holding unit are arranged in a direction in which stockers are arranged. Is provided with transport means for transporting the tray between the tray holding sections in a state of being aligned in the orthogonal horizontal direction.
請求項に記載したICハンドラーは、請求項に記載したICハンドラーにおいて、移送手段を、第1のトレイ保持部の両側部と第2のトレイ保持部の両側部とにトレイの両側部を支承する一対の搬送用ベルトを有するコンベアとしたものである。 The IC handler according to claim 3 is the IC handler according to claim 2 , wherein the transfer means is arranged such that both sides of the tray are arranged on both sides of the first tray holding part and both sides of the second tray holding part. The conveyor has a pair of conveying belts to be supported.
請求項に記載したICハンドラーは、請求項または請求項に記載したICハンドラーにおいて、第1の支持装置の第1のトレイ保持部は、一対の搬送用ベルトの内側において、トレイを搬送用ベルトの上方であってストッカーとの間で、トレイの受け渡しが行われる上昇位置と搬送用ベルトに支承される下降位置との間で昇降させる第1の昇降装置を備えているものである。
請求項に記載したICハンドラーは、請求項ないし請求項のうちいずれか一つに記載したICハンドラーにおいて、第2の支持装置の第2のトレイ保持部は、一対の搬送用ベルトの内側において、トレイを搬送用ベルトの上方であって部品移動装置との間で、電子部品の受け渡しが行われる上昇位置と搬送用ベルトに支承される下降位置との間で昇降させる第2の昇降装置を備えているものである。
The IC handler according to claim 4 is the IC handler according to claim 2 or 3 , wherein the first tray holding portion of the first support device transports the tray inside the pair of transport belts. And a first lifting device that moves up and down between a raised position where the tray is transferred and a lowered position supported by the conveying belt.
The IC handler according to claim 5 is the IC handler according to any one of claims 2 to 4 , wherein the second tray holding portion of the second support device is a pair of transport belts. On the inner side, a second lifting / lowering that raises and lowers the tray between the raised position where the electronic parts are transferred and the lowered position supported by the conveying belt, above the conveying belt and with the component moving device. It is equipped with a device.
本発明に係るICハンドラーによれば、検査用ソケットから離間した位置にあるストッカーのトレイをトレイ支持装置によって検査用ソケットに近接する位置まで移動させることができる。また、検査用ソケットに近接する位置にあるトレイをトレイ支持装置によって、検査用ソケットとは離間する位置にあるストッカーに移動させることができる。したがって、本発明によれば、従来のICハンドラーに較べて部品移動装置の移動する距離が短くなり、タクトタイムを短縮することができる。 According to the IC handler of the present invention, the tray of the stocker at a position separated from the inspection socket can be moved to a position close to the inspection socket by the tray support device. Moreover, the tray in the position close to the inspection socket can be moved to the stocker at the position away from the inspection socket by the tray support device. Therefore, according to the present invention, the moving distance of the component moving device is shorter than that of the conventional IC handler, and the tact time can be shortened.
請求項ないし請求項記載の発明によれば、第1の支持装置のストッカーへのトレイの出入れ動作と、第2の支持装置のトレイ上での部品移動装置の電子部品の吸着、載置動作とを同時に行うことができる。したがって、第2の支持装置上でトレイに対して電子部品の吸着または載置が行われているときに、動作の対象ではないトレイをストッカーに対して出し入れすることができる。このため、トレイを交換するために電子部品の吸着、載置を行う動作を停止させる必要がないから、より一層タクトタイムを短縮することができる。 According to the invention of claims 2 to 5, wherein, out put the operation of the tray into the stocker of the first support device, suction of the electronic components of the component moving device on the tray of the second supporting device, the mounting Can be performed simultaneously. Therefore, when the electronic component is sucked or placed on the tray on the second support device, the tray that is not the object of operation can be taken in and out of the stocker. For this reason, since it is not necessary to stop the operation | movement which adsorb | sucks and mounts an electronic component in order to replace | exchange trays, tact time can be shortened further.
(第1の実施の形態)
以下、本発明に係るICハンドラーの一実施の形態を図1ないし図4によって詳細に説明する。
図1は本発明に係るICハンドラーの平面図、図2は同じく縦断面図、図3はトレイ移載装置の動作を説明するための構成図、図4は可動保持部の構成を示す図で、同図(a)は側面図、同図(b)は正面図である。
(First embodiment)
Hereinafter, an embodiment of an IC handler according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS.
1 is a plan view of an IC handler according to the present invention, FIG. 2 is a longitudinal sectional view, FIG. 3 is a configuration diagram for explaining the operation of a tray transfer device, and FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a movable holding portion. (A) is a side view, and (b) is a front view.
これらの図において、符号1で示すものは、この実施の形態によるICハンドラーを示す。
このICハンドラー1は、図1に示すように、基台2の後端部(図1においては上端部)に位置する検査領域Aと、前記基台2の前後方向の略中央部に位置する部品領域Bとの間において後述する複数の部品移動装置3A,3B、4A,4Bによって電子部品5(図2参照)を移動させるものである。なお、本明細書中においては、図1において上下方向を装置の前後方向としてY方向といい、図1において左右方向を装置の左右方向としてX方向といい、紙面に直交する方向を単にZ方向という。
In these drawings, the reference numeral 1 indicates an IC handler according to this embodiment.
As shown in FIG. 1, the IC handler 1 is located at an inspection region A located at the rear end portion (upper end portion in FIG. 1) of the base 2 and at a substantially central portion in the front-rear direction of the base 2. The electronic component 5 (see FIG. 2) is moved between the component region B by a plurality of component moving devices 3A, 3B, 4A, and 4B described later. In the present specification, the vertical direction in FIG. 1 is referred to as the Y direction as the longitudinal direction of the apparatus, the horizontal direction in FIG. 1 is referred to as the X direction as the lateral direction of the apparatus, and the direction orthogonal to the paper surface is simply the Z direction. That's it.
前記基台2の検査領域Aには開口2aが設けられ、被検査用の電子部品5が載置される検査用ソケット6が複数配設されたテストヘッド7が、この開口2aの下方において基台2に着脱可能に固着されている。前記検査用ソケット6は、基台2内においてICハンドラー1とは独立に床に載置される検査装置本体8(図2参照)に、テストヘッド7を介してあるいは直接に、検査用電流ケーブル(図示せず)を介して連結されている。   An inspection area A of the base 2 is provided with an opening 2a, and a test head 7 in which a plurality of inspection sockets 6 on which electronic components 5 to be inspected are placed is disposed below the opening 2a. The base 2 is detachably fixed. The inspection socket 6 is connected to an inspection apparatus main body 8 (see FIG. 2) mounted on the floor independently of the IC handler 1 in the base 2 via the test head 7 or directly. (Not shown).
また、この検査用ソケット6は、上方から電子部品5が装填される構成が採られ、基台2のX方向の略中央部に配設されている。この実施の形態においては、4個の検査用ソケット6が設けられている。これらの検査用ソケット6は、X方向に並ぶ2個の検査用ソケット6,6がY方向に2組並ぶように設けられている。電子部品5の検査は、検査用ソケット6に電子部品5が載置された状態で、電子部品5と検査装置本体8との間で検査用電流を入出力することにより実施される。前記検査用電流ケーブルのいずれか一方の端部あるいは中間部には、脱着可能なコネクタが配置されている。   The inspection socket 6 has a configuration in which the electronic component 5 is loaded from above, and is disposed at a substantially central portion in the X direction of the base 2. In this embodiment, four inspection sockets 6 are provided. These inspection sockets 6 are provided such that two sets of inspection sockets 6 and 6 arranged in the X direction are arranged in the Y direction. The inspection of the electronic component 5 is performed by inputting and outputting an inspection current between the electronic component 5 and the inspection apparatus body 8 in a state where the electronic component 5 is placed in the inspection socket 6. A detachable connector is disposed at one end or middle of the inspection current cable.
前記検査領域Bを含む基台2上には、この基台2のX方向の一端部(図1においては右側の端部)であって装置の前側に位置しトレイT(図2参照)を収納する複数のストッカー11,11‥‥と、これらのストッカー11と前記部品領域Bとの間でトレイTを移動させるとともに部品領域BにおいてY方向に並ぶように複数のトレイを支持するトレイ支持装置12と、基台2のX方向の一端部と中央部とに位置する固定レール13によって支持された第1の部品移動装置3A,3Bおよび第2の部品移動装置4A,4Bと、これらの部品移動装置3A,3B、4A,4Bによって吸着されて移動する電子部品5を下方から撮像するための複数の基台側撮像装置14とが設けられている。これらの基台側撮像装置14は、検査用ソケット6とトレイ支持装置12との間においてX方向に間隔をおいて2個並ぶように設けられている。   On the base 2 including the inspection region B, a tray T (see FIG. 2) is located at one end of the base 2 in the X direction (the right end in FIG. 1) and on the front side of the apparatus. , And a tray support device for moving the tray T between the stocker 11 and the component area B and supporting the plurality of trays so as to be aligned in the Y direction in the component area B. 12, the first component moving devices 3A and 3B and the second component moving devices 4A and 4B supported by fixed rails 13 positioned at one end and the center of the base 2 in the X direction, and these components A plurality of base-side imaging devices 14 are provided for imaging the electronic component 5 that is attracted and moved by the moving devices 3A, 3B, 4A, and 4B from below. Two of these base side imaging devices 14 are provided so as to be arranged between the inspection socket 6 and the tray support device 12 with an interval in the X direction.
前記ストッカー11は、図2に示すように、複数のトレイTを上下方向に重ねた状態で収容する構造をもち、図1に示すように、Y方向に並ぶ状態で複数設けられている。すなわち、これらのストッカー11は、基台2の前記後端部から前端側へ向かう方向に並ぶように複数設けられている。   As shown in FIG. 2, the stocker 11 has a structure in which a plurality of trays T are stacked in the vertical direction, and a plurality of stockers 11 are provided in a state aligned in the Y direction as shown in FIG. That is, a plurality of these stockers 11 are provided so as to be arranged in a direction from the rear end portion of the base 2 toward the front end side.
前記トレイTは、プラスチックによって平面視においてX方向に長い長方形の皿状に形成されている。このトレイTには、図1に示すように、電子部品5を収納するための凹陥部15が上方に向けて開口する状態で多数形成されている。   The tray T is formed of a plastic into a rectangular dish shape that is long in the X direction in plan view. As shown in FIG. 1, the tray T is formed with a large number of recessed portions 15 for accommodating the electronic components 5 so as to open upward.
前記ストッカー11は、図2および図3に示すように、トレイTの四隅を嵌合状態で保持する断面L字状の4本の支柱21と、トレイTを支承するためのフック22とを備えており、前記基台2の一側部に設けられたストッカー用フレーム23の上に搭載されている。前記ストッカー用フレーム23は、前記ストッカー11の下方となる部位にトレイ出し入れ口24が形成されており、このトレイ出し入れ口24を通してトレイTがストッカー11に対して出し入れできるように構成されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the stocker 11 includes four struts 21 having an L-shaped cross section for holding the four corners of the tray T in a fitted state, and hooks 22 for supporting the tray T. It is mounted on a stocker frame 23 provided on one side of the base 2. The stocker frame 23 is provided with a tray loading / unloading port 24 at a position below the stocker 11, and the tray T can be loaded into and unloaded from the stocker 11 through the tray loading / unloading port 24.
前記フック22は、平面視において前記トレイ出し入れ口24内に先端部が臨む前進位置と、この先端部が開口部分の外に出る後退位置との間で往復動する。また、各フック22には、前進位置と後退位置とのいずれか一方にフック22を移動させるアクチュエータ(図示せず)が接続されている。   The hook 22 reciprocates between a forward position where the tip portion faces the tray loading / unloading opening 24 in a plan view and a retracted position where the tip portion comes out of the opening portion. Each hook 22 is connected to an actuator (not shown) that moves the hook 22 to either the forward position or the backward position.
このフック22の前記先端部は、図示してはいないが、トレイTの側部に側方へ向けて開口するように形成された凹陥部内に係入するように形成されている。なお、図3に図示したフック22は、トレイTを支持している状態と放した状態とを容易に判別することができるように、前記先端部によってトレイTの下端を支承する構造として描いてある。また、このフック22は、上述したように平行移動する構造の他に、平面視において先端部が前記開口部分内に臨む横状態と、先端部が下方を指向するようにフック全体が約90°回り、先端部が前記開口部分の外に出る縦状態との間で回動する構造を採ることもできる。   Although not shown in the drawing, the tip end portion of the hook 22 is formed so as to engage with a recessed portion formed so as to open sideways on the side portion of the tray T. The hook 22 shown in FIG. 3 is drawn as a structure in which the lower end of the tray T is supported by the tip portion so that the state in which the tray T is supported and the state in which the tray T is released can be easily distinguished. is there. In addition to the structure that moves in parallel as described above, the hook 22 has a horizontal state in which the tip portion faces the opening portion in a plan view, and the entire hook is approximately 90 ° so that the tip portion is directed downward. It is also possible to adopt a structure that rotates and rotates between the vertical state where the tip end portion is out of the opening portion.
前記トレイ支持装置12は、図1〜図4に示すように、基台2上でX方向に延びる一対の固定レール31,31と、これらの固定レール31にX方向へ移動自在に支持された支持部材32と、この支持部材32をX方向に移動させるボールねじ式の駆動装置(図示せず)と、前記支持部材32にY方向に移動自在に支持された3組の可動保持部33と、これらの可動保持部33を一体的にY方向に移動させるボールねじ式の駆動装置(図示せず)と、ストッカー11の下方において前記可動保持部33との間でトレイTの受け渡しを行うトレイ移載装置34(図2および図3参照)などによって構成されている。   As shown in FIGS. 1 to 4, the tray support device 12 is supported by a pair of fixed rails 31, 31 extending in the X direction on the base 2 and movably supported by these fixed rails 31 in the X direction. A support member 32, a ball screw type driving device (not shown) for moving the support member 32 in the X direction, and three sets of movable holding portions 33 supported by the support member 32 so as to be movable in the Y direction. A tray that transfers the tray T between a ball screw type driving device (not shown) that integrally moves the movable holding portion 33 in the Y direction and the movable holding portion 33 below the stocker 11. It is comprised by the transfer apparatus 34 (refer FIG. 2 and FIG. 3) etc.
このトレイ支持装置12は、図14中に二点鎖線Xで示す位置(以下、この位置を部品受け渡し位置という)と、二点鎖線Yで示す位置(ストッカー11に隣り合う位置)との間で可動保持部33をX方向とY方向とに移動させる。前記部品受け渡し位置は、複数のストッカー11のうち最も検査用ソケット6に近接する位置にあるストッカー11より検査用ソケット6側に位置付けられている。   The tray support device 12 is located between a position indicated by a two-dot chain line X in FIG. 14 (hereinafter, this position is referred to as a component delivery position) and a position indicated by a two-dot chain line Y (a position adjacent to the stocker 11). The movable holding portion 33 is moved in the X direction and the Y direction. The component delivery position is positioned closer to the inspection socket 6 than the stocker 11 located closest to the inspection socket 6 among the plurality of stockers 11.
前記3組の可動保持部33には、未検査の電子部品5が収納された未検査品用トレイと、検査後に良品であると判定された電子部品5を収納する良品用トレイと、検査後に不良品であると判定された電子部品5を収納する不良品用トレイとが支持される。なお、この可動保持部33の台数は3台に限定されることはなく、必要に応じて増加したり減少させたりすることができる。   The three sets of movable holding portions 33 include an uninspected product tray in which uninspected electronic components 5 are stored, a non-inspected product tray in which electronic components 5 determined to be non-defective after inspection, and a post-inspection product tray. A defective product tray for storing the electronic component 5 determined to be defective is supported. The number of the movable holding portions 33 is not limited to three, and can be increased or decreased as necessary.
各可動保持部33は、図2および図4に示すように、前記支持部材32にY方向に移動自在に支持された板状支持台41と、この板状支持台41の上に設けられたトレイ昇降用シリンダ42と、Y方向に間隔をおいて互いに対向するように前記板状支持台41の上に立設された一対の縦板43と、前記2枚の縦板43,43の上端部どうしの間に横架された第1の受圧板44(図1参照)および第2の受圧板45と、前記縦板43のX方向の途中の部位に設けられた一対の側部ガイド部材46,46と、図1において左側の端部に設けられたトレイ用ストッパー47{図4(a)参照}と、縦板43の内側に設けられたベルトコンベア48とを備えている。   As shown in FIGS. 2 and 4, each movable holding portion 33 is provided on a plate-like support base 41 supported on the support member 32 so as to be movable in the Y direction, and on the plate-like support base 41. A tray elevating cylinder 42, a pair of vertical plates 43 erected on the plate-like support base 41 so as to face each other with an interval in the Y direction, and upper ends of the two vertical plates 43, 43 A first pressure receiving plate 44 (see FIG. 1) and a second pressure receiving plate 45, which are horizontally mounted between the two portions, and a pair of side guide members provided at a position in the middle of the vertical plate 43 in the X direction. 46, a tray stopper 47 (see FIG. 4A) provided at the left end in FIG. 1, and a belt conveyor 48 provided inside the vertical plate 43.
前記トレイ昇降用シリンダ42は、ピストンロッド42aが上下方向に移動するように板状支持台41の上に固定され、ピストンロッド42aによって後述するトレイ昇降用プレート49を昇降させる。なお、図4(b)はシリンダ42を支持する部材を省略して描いてある。
前記トレイ昇降用プレート49は、トレイTの下面を支承するためのもので、平面視においてX方向に長くなる長方形状に形成されており、前記板状支持台41に昇降ガイド50(図2参照)によって昇降自在に支持されている。このトレイ昇降用プレート49は、前記一対のベルトコンベア48,48の間にこれらのベルトコンベア48に対して接触することがないように挿入されている。
The tray lifting / lowering cylinder 42 is fixed on the plate-like support base 41 so that the piston rod 42a moves in the vertical direction, and the tray lifting / lowering plate 49 is lifted / lowered by the piston rod 42a. In FIG. 4B, the member that supports the cylinder 42 is omitted.
The tray elevating plate 49 is for supporting the lower surface of the tray T, and is formed in a rectangular shape that is long in the X direction in plan view. The elevating guide 50 (see FIG. 2) is provided on the plate-like support base 41. ). The tray elevating plate 49 is inserted between the pair of belt conveyors 48 so as not to contact the belt conveyors 48.
このように形成されたトレイ昇降用プレート49は、前記シリンダ42の駆動により、ベルトコンベア48の搬送面より低くなるような待機位置(図2参照)と、前記搬送面より高い位置であってトレイTが後述する第1の受圧板44と第2の受圧板45とに押付けられるような上昇位置との間で昇降する。   The tray lifting / lowering plate 49 formed in this way is at a standby position (see FIG. 2) that becomes lower than the conveying surface of the belt conveyor 48 by driving the cylinder 42, and at a position that is higher than the conveying surface. T ascends and descends between raised positions where it is pressed against a first pressure receiving plate 44 and a second pressure receiving plate 45 which will be described later.
前記縦板43は、ベルトコンベア48を前端部から後端部にわたって側方から囲むような長さに形成されている。
前記ベルトコンベア48は、トレイTの両側部を支承しながらトレイTをX方向に搬送し、可動保持部33内へのトレイTの搬入と可動保持部33からのトレイTの搬出とを行うためのものである。このベルトコンベア48の駆動軸51は、3組の可動保持部33をY方向に貫通するように形成され、これらの可動保持部33の全てのベルトコンベア48を同時に駆動する。
The vertical plate 43 is formed in such a length as to surround the belt conveyor 48 from the side from the front end portion to the rear end portion.
The belt conveyor 48 conveys the tray T in the X direction while supporting both sides of the tray T, and carries the tray T into the movable holding portion 33 and unloads the tray T from the movable holding portion 33. belongs to. The drive shaft 51 of the belt conveyor 48 is formed so as to penetrate the three sets of movable holding portions 33 in the Y direction, and drives all the belt conveyors 48 of these movable holding portions 33 simultaneously.
前記第1の受圧板44と第2の受圧板45は、トレイTの上下方向の位置を決めるともにトレイTの歪みを矯正するためのものである。これらの第1の受圧板44と第2の受圧板45の下面は、前記シリンダ42とトレイ昇降用プレート49とによって上昇させられたトレイTの上面が下方から当接するように平坦に形成されている。前記第1の受圧板44には、図4(a)に示すように、ベルトコンベア48によって搬入されたトレイTの端部を検出するための光学式センサ52が設けられている。   The first pressure receiving plate 44 and the second pressure receiving plate 45 are for determining the vertical position of the tray T and correcting the distortion of the tray T. The lower surfaces of the first pressure receiving plate 44 and the second pressure receiving plate 45 are formed flat so that the upper surface of the tray T raised by the cylinder 42 and the tray lifting / lowering plate 49 abuts from below. Yes. As shown in FIG. 4A, the first pressure receiving plate 44 is provided with an optical sensor 52 for detecting the end of the tray T carried in by the belt conveyor 48.
前記側部ガイド部材46は、トレイTのY方向の位置を決めるためのもので、図1に示すように、平面視において縦板43の上端部からベルトコンベア48の上方へ延びるように形成されている。この側部ガイド部材46の延在部分の下面は、図示してはいないが、上方に向かうにしたがって次第に側部ガイド部材46の先端に向かうように傾斜している。すなわち、ベルトコンベア48によって可動保持部33内に搬入されたトレイTが前記シリンダ42とトレイ昇降用プレート49とによって上昇させられることにより、このトレイTは、側部ガイド部材46の前記下面に両側部が下方から接触し、一対の側部ガイド部材46によってY方向に位置決めされる。   The side guide member 46 is for determining the position of the tray T in the Y direction. As shown in FIG. 1, the side guide member 46 is formed to extend from the upper end of the vertical plate 43 to above the belt conveyor 48 in a plan view. ing. Although not illustrated, the lower surface of the extending portion of the side guide member 46 is gradually inclined toward the tip of the side guide member 46 as it goes upward. That is, the tray T carried into the movable holding portion 33 by the belt conveyor 48 is raised by the cylinder 42 and the tray lifting / lowering plate 49, so that the tray T is placed on both sides of the lower surface of the side guide member 46. The parts contact from below and are positioned in the Y direction by the pair of side guide members 46.
前記トレイ用ストッパー47は、ベルトコンベア48によって可動保持部33内に搬送されたトレイTの搬送方向の位置を決めるためのもので、図4(a)に示すように、トレイTの後端面(可動保持部33内に搬入されるトレイTの進行方向前側の端面)が当接する縦面が形成されている。このトレイ用ストッパー47は、前記板状支持台41または縦板43にブラケット(図示せず)を介して支持されている。   The tray stopper 47 is for determining the position in the transport direction of the tray T transported into the movable holding portion 33 by the belt conveyor 48. As shown in FIG. A vertical surface is formed on which the front end surface of the tray T carried in the movable holding portion 33 abuts. The tray stopper 47 is supported on the plate-like support base 41 or the vertical plate 43 via a bracket (not shown).
前記トレイ移載装置34は、ストッカー11に下方からトレイTを搬入したりストッカー11の下端部からトレイTを搬出するためのものである。この実施の形態によるトレイ移載装置34は、図2および図3に示すように、ストッカー11毎に装備された複数の固定保持部61,61…によって構成されている。   The tray transfer device 34 is for carrying the tray T into the stocker 11 from below or carrying the tray T out from the lower end of the stocker 11. As shown in FIGS. 2 and 3, the tray transfer device 34 according to this embodiment includes a plurality of fixed holding portions 61, 61... Equipped for each stocker 11.
前記固定保持部61は、基台2上に載置された支持板62と、この支持板62の上にX方向に並ぶ状態で固定された第1のシリンダ63および第2のシリンダ64と、これらのシリンダ63,64のX方向の両側において前記支持板62に立設された一対の縦板65,65と、これらの縦板65の内側に設けられた一対のベルトコンベア66,66とを備えている。   The fixed holding portion 61 includes a support plate 62 placed on the base 2, a first cylinder 63 and a second cylinder 64 fixed on the support plate 62 in a state of being aligned in the X direction, A pair of vertical plates 65, 65 erected on the support plate 62 on both sides in the X direction of the cylinders 63, 64, and a pair of belt conveyors 66, 66 provided inside these vertical plates 65, I have.
前記第1および第2のシリンダ63,64は、ピストンロッド63a,64aが上下方向に移動するように前記支持板62に固定され、ピストンロッド63a,64aによって後述するトレイ支承部材67を昇降させる。   The first and second cylinders 63 and 64 are fixed to the support plate 62 so that the piston rods 63a and 64a move in the vertical direction, and a later-described tray support member 67 is moved up and down by the piston rods 63a and 64a.
これらの第1および第2のシリンダ63,64のうち装置左側に位置する第1のシリンダ63のピストンロッド63aの移動ストロークは、第2のシリンダ64のピストンロッド64aの移動ストロークより長くなるように形成されている。このように移動ストロークが異なる2種類のシリンダ63,64を装備しているのは、後述するようにトレイ支承部材67の上昇位置を相対的に高い位置と相対的に低い位置との2段階に切換えるためである。   Of these first and second cylinders 63 and 64, the movement stroke of the piston rod 63a of the first cylinder 63 located on the left side of the apparatus is longer than the movement stroke of the piston rod 64a of the second cylinder 64. Is formed. Equipped with two types of cylinders 63 and 64 having different movement strokes as described above is that the raised position of the tray support member 67 is divided into two stages, a relatively high position and a relatively low position, as will be described later. This is for switching.
前記トレイ支承部材67は、トレイTの下面を支承するためのもので、平面視においてX方向に長くなる長方形状に形成されており、前記支持板62または縦板65に設けられた昇降ガイド(図示せず)によって昇降自在に支持されている。また、このトレイ支承部材67は、図3に示すように、後述する一対のベルトコンベア66,66の間にこれらのベルトコンベア66に対して接触することがないように挿入されている。なお、図3においては、トレイ移載装置34の動作を理解し易いように、トレイ支承部材67は模式的に描いてある。   The tray support member 67 is for supporting the lower surface of the tray T, and is formed in a rectangular shape that is long in the X direction in plan view. The elevating guide (provided on the support plate 62 or the vertical plate 65) (Not shown) so as to be movable up and down. Further, as shown in FIG. 3, the tray support member 67 is inserted between a pair of belt conveyors 66, 66 described later so as not to contact the belt conveyors 66. In FIG. 3, the tray support member 67 is schematically drawn so that the operation of the tray transfer device 34 can be easily understood.
さらに、このトレイ支承部材67の平面視における大きさは、これが上昇することによりストッカー用フレーム23のトレイ出し入れ口24内に入ることができるような大きさに形成されている。
このように形成されたトレイ支承部材67は、第1のシリンダ63と第2のシリンダ64の駆動により、ベルトコンベア66の搬送面より低くなるような待機位置(図2参照)と、前記搬送面より高い位置であってストッカー11の下端部近傍の後述する上昇位置との間で昇降する。
Furthermore, the size of the tray support member 67 in a plan view is formed such that the tray support member 67 can enter the tray loading / unloading port 24 of the stocker frame 23 as it rises.
The tray support member 67 formed in this way has a standby position (see FIG. 2) that becomes lower than the conveying surface of the belt conveyor 66 by driving the first cylinder 63 and the second cylinder 64, and the conveying surface. It moves up and down between a higher position, which will be described later, in the vicinity of the lower end of the stocker 11.
第1のシリンダ63によってトレイ支承部材67を上昇させた場合のトレイ支承部材67の上昇位置は、例えば図3(b)に示すように、ストッカー11内の最も下に位置するトレイTがトレイ支承部材67によって前記フック22より上に押し上げられるような位置に設定されている。一方、第2のシリンダ64によってトレイ支承部材67を上昇させた場合のトレイ支承部材67の上昇位置は、図3(d)に示すように、ストッカー11内の最も下に位置してフック22に支持されたトレイTに、トレイ支承部材67に載せられたトレイTが下から重ねられるような位置に設定されている。   The raised position of the tray support member 67 when the tray support member 67 is raised by the first cylinder 63 is, for example, as shown in FIG. 3B, where the lowermost tray T in the stocker 11 is the tray support. The position is set such that the member 67 is pushed up above the hook 22. On the other hand, when the tray support member 67 is raised by the second cylinder 64, the raised position of the tray support member 67 is positioned at the lowest position in the stocker 11 to the hook 22 as shown in FIG. The position is set such that the tray T placed on the tray support member 67 is superimposed on the supported tray T from below.
前記ベルトコンベア66は、トレイTの両側部を支承しながらトレイTをX方向に搬送する構造が採られており、図2に示すように、搬送面が水平になるように前記縦板65に装着されている。このベルトコンベア66の搬送面の高さは、前記可動保持部33のベルトコンベア48の搬送面の高さと等しくなるように設定されている。   The belt conveyor 66 has a structure for transporting the tray T in the X direction while supporting both sides of the tray T. As shown in FIG. 2, the belt conveyor 66 is disposed on the vertical plate 65 so that the transport surface is horizontal. It is installed. The height of the conveyor surface of the belt conveyor 66 is set to be equal to the height of the conveyor surface of the belt conveyor 48 of the movable holding portion 33.
前記第1の部品移動装置3A,4Aは、図1および図2に示すように、基台2上の装置左側でY方向に延びる固定レール13と、この固定レール13に独立にY方向に移動自在に支持された2台の本体71,71と、これらの本体71,71をそれぞれ独立に駆動する二つのボールねじ式の駆動装置(図示せず)と、前記本体71から装置右側に突出しかつX方向に移動自在に支持されたヘッドユニット72と、このヘッドユニット72をX方向に移動させる駆動装置(図示せず)とから構成されている。前記本体71,71は、固定レール13上で干渉することなく駆動される。   As shown in FIGS. 1 and 2, the first component moving devices 3 </ b> A and 4 </ b> A move on the left side of the device on the base 2 in the Y direction, and move independently to the fixed rail 13 in the Y direction. Two freely supported main bodies 71, 71, two ball screw type driving devices (not shown) for independently driving these main bodies 71, 71, and protruding from the main body 71 to the right side of the device; The head unit 72 is supported so as to be movable in the X direction, and a drive device (not shown) that moves the head unit 72 in the X direction. The main bodies 71 and 71 are driven on the fixed rail 13 without interference.
前記ヘッドユニット72は、下端部に吸着ノズル73を有する吸着ヘッド74と、検査用ソケット6やトレイTの部品収納用凹陥部15の位置を検出するためのヘッド側撮像装置75とを備えている。前記吸着ヘッド74は、吸着ノズル73をZ方向に移動させるとともに、Z方向の軸線回りに回動させることができるように構成されている。
前記第2の部品移動装置4A,4Bは、第1の部品移動装置3A,3Bに対してY方向に延びる中心線に対して線対称となるように形成されている。このため、ここにおいては、第2の部品移動装置4A,4Bについては、第1の部品移動装置3A,3Bと同一符号を付して詳細な説明は省略する。
The head unit 72 includes a suction head 74 having a suction nozzle 73 at the lower end, and a head-side imaging device 75 for detecting the position of the inspection socket 6 and the component storage recess 15 of the tray T. . The suction head 74 is configured to move the suction nozzle 73 in the Z direction and to rotate around the axis line in the Z direction.
The second component moving devices 4A and 4B are formed so as to be symmetric with respect to the center line extending in the Y direction with respect to the first component moving devices 3A and 3B. For this reason, the second component moving devices 4A and 4B are denoted by the same reference numerals as those of the first component moving devices 3A and 3B, and detailed description thereof is omitted here.
これらの第1および第2の部品移動装置3A,3B、4A,4Bは、前記可動保持部33において上下方向に位置決めされた未検査品用トレイT上で電子部品5を吸着し、この電子部品5を検査用ソケット6に装填する。また、検査後の電子部品5を可動保持部33上の良品用トレイTまたは不良品用トレイTに移載する。これらの良品用トレイTと不良品用トレイTも可動保持部33上で上下方向に位置決めされた状態に保持される。   The first and second component moving devices 3A, 3B, 4A, and 4B adsorb the electronic component 5 on the uninspected product tray T that is positioned in the vertical direction in the movable holding portion 33, and this electronic component. 5 is loaded into the inspection socket 6. Further, the electronic component 5 after inspection is transferred to the non-defective product tray T or the defective product tray T on the movable holding portion 33. The non-defective product tray T and the defective product tray T are also held in a state of being vertically positioned on the movable holding portion 33.
これら第1および第2の部品移動装置3,4を含めこのICハンドラー1の動作を制御する制御手段(図示せず)は、検査装置本体8内の制御装置と不図示の連係用ケーブルで結ばれ、複数の検査用ソケット6への各電子部品5の各吸着ノズル73による装着が終了した情報を検査装置本体8内の制御装置に伝達し、検査装置本体8内の制御装置は検査が終わったことと検査結果の情報を、前記制御手段へ伝達する。   The control means (not shown) for controlling the operation of the IC handler 1 including the first and second component moving devices 3 and 4 is connected to the control device in the inspection apparatus main body 8 by a link cable (not shown). Then, information indicating that the attachment of each electronic component 5 to each of the plurality of inspection sockets 6 by the respective suction nozzles 73 is transmitted to the control device in the inspection device main body 8, and the control device in the inspection device main body 8 finishes the inspection. And information on the inspection result is transmitted to the control means.
また、ICハンドラー1の制御手段は、検査が終わったことと検査結果の情報を受けて、検査済みの電子部品5が良品である場合には良品用トレイTへ、不良品である場合には不良品用トレイTにそれぞれ電子部品5を移載するように、ヘッドユニット72を制御する。   Further, the control means of the IC handler 1 receives information on the completion of the inspection and the inspection result, and when the inspected electronic component 5 is a non-defective product, it is transferred to the non-defective product tray T. The head unit 72 is controlled so that the electronic components 5 are transferred to the defective product tray T, respectively.
次に、上述したように構成されたICハンドラー1の動作について説明する。このICハンドラー1によって、電子部品5を検査用ソケット6に装填するためには、先ず、トレイ支持装置12によって未検査品用トレイTをストッカー11から部品領域Bに搬送し、このトレイTの上の電子部品5を第1または第2の部品移動装置3A,3B、4A,4Bによって検査用ソケット6に移動させることによって行う。   Next, the operation of the IC handler 1 configured as described above will be described. In order to load the electronic component 5 into the inspection socket 6 by the IC handler 1, first, the tray supporting device 12 transports the uninspected tray T from the stocker 11 to the component area B, and The electronic component 5 is moved to the inspection socket 6 by the first or second component moving device 3A, 3B, 4A, 4B.
ストッカー11から未検査品用トレイTをトレイ支持装置12の固定保持部61に移載するためには、先ず、図3(a)に示すように、固定保持部61の第1のシリンダ63によってトレイ支承部材67を上昇位置に上昇させるとともに、第2のシリンダ64を伸長状態とする。このとき、前記トレイ支承部材67はストッカー11内の最も下に位置するトレイTに接触する。次に、同図(b)に示すように、ストッカー11のフック22を後退させ、同図(c)に示すように、第1のシリンダ63のピストンロッド63aを下降させる。   In order to transfer the uninspected product tray T from the stocker 11 to the fixed holding unit 61 of the tray support device 12, first, as shown in FIG. 3A, the first cylinder 63 of the fixed holding unit 61 is used. While raising the tray support member 67 to the raised position, the second cylinder 64 is set in the extended state. At this time, the tray support member 67 contacts the lowermost tray T in the stocker 11. Next, as shown in FIG. 4B, the hook 22 of the stocker 11 is retracted, and as shown in FIG. 4C, the piston rod 63a of the first cylinder 63 is lowered.
このピストンロッド63aの下降により、トレイ支承部材67とストッカー11内の多数のトレイTが下降し、第2のシリンダ64のピストンロッド64aによって支承されるようになる。その後、同図(d)に示すように、最下段のトレイTとその直ぐ上側のトレイTとの間に前記フック22を前進させ、同図(e)に示すように、第2のシリンダ64のピストンロッド64aを下降させる。このようにピストンロッド64aが下降することにより、トレイ支承部材67と最下段のトレイTとが下がり、このトレイTがベルトコンベア66上に支承される。   By the lowering of the piston rod 63a, the tray support member 67 and a large number of trays T in the stocker 11 are lowered and supported by the piston rod 64a of the second cylinder 64. Thereafter, as shown in FIG. 6D, the hook 22 is advanced between the lowermost tray T and the tray T immediately above it, and as shown in FIG. The piston rod 64a is lowered. As the piston rod 64 a is lowered in this way, the tray support member 67 and the lowermost tray T are lowered, and this tray T is supported on the belt conveyor 66.
このようにトレイTが固定保持部61上に移載されるまでの間に、予め可動保持部33を前記固定保持部61と隣接する位置に移動させておく。そして、固定保持部61のベルトコンベア66と、可動保持部33のベルトコンベア48とを動作させ、トレイTを固定保持部61内から可動保持部33内へ搬送する。なお、このとき、可動保持部33においては、トレイ昇降用プレート49を待機位置に位置付けておく。   In this manner, the movable holding portion 33 is moved to a position adjacent to the fixed holding portion 61 in advance until the tray T is transferred onto the fixed holding portion 61. Then, the belt conveyor 66 of the fixed holding unit 61 and the belt conveyor 48 of the movable holding unit 33 are operated to transport the tray T from the fixed holding unit 61 into the movable holding unit 33. At this time, in the movable holding portion 33, the tray lifting / lowering plate 49 is positioned at the standby position.
3組の可動保持部33のうち他の2組の可動保持部33には、良品用トレイTと不良品用トレイTとを上述した動作と同様の動作により搬送する。この搬送は、3組の可動保持部33をY方向に移動させ、良品用トレイTまたは不良品用トレイTを搬入する可動保持部33を所定のストッカー11の下方に位置する固定保持部61と対向させた状態で行う。   The non-defective product tray T and the defective product tray T are transported to the other two sets of the movable holding portions 33 among the three sets of the movable holding portions 33 by the same operation as described above. In this conveyance, three sets of movable holding portions 33 are moved in the Y direction, and the movable holding portion 33 for carrying in the non-defective product tray T or the defective product tray T is fixed to the fixed holding portion 61 located below the predetermined stocker 11. Perform in a state of facing each other.
トレイTが可動保持部33内に搬入され、センサ52によってトレイTの搬送方向後側の端部が検出されることにより、前記ベルトコンベア48が停止する。このときには、ベルトコンベア48によってトレイTの送り量が制御され、トレイTが可動保持部33内のX方向の所定位置に位置決めされる。なお、トレイTは、搬送方向前側の端部がストッパー47に当接することによっても停止する。可動保持部33上のトレイTのX方向の位置(目標位置)は、後述するように可動保持部33上にトレイTを保持させた状態で、前記撮像装置75によってトレイTを上方から撮像し、この撮像データに基づいて検出する。この位置検出は、例えばICハンドラー1の運転開始時や、トレイを交換したときなどに行う。
上述したようにベルトコンベア48が停止した後、可動保持部33のシリンダ42によってトレイ昇降用プレート49とともにトレイTを上昇させる。
When the tray T is carried into the movable holding portion 33 and the end portion on the rear side in the transport direction of the tray T is detected by the sensor 52, the belt conveyor 48 is stopped. At this time, the feed amount of the tray T is controlled by the belt conveyor 48, and the tray T is positioned at a predetermined position in the X direction in the movable holding portion 33. Note that the tray T also stops when the end on the front side in the transport direction comes into contact with the stopper 47. The position (target position) of the tray T on the movable holding unit 33 in the X direction is picked up from above by the imaging device 75 in a state where the tray T is held on the movable holding unit 33 as will be described later. Detecting based on this imaging data. This position detection is performed, for example, when the operation of the IC handler 1 is started or when the tray is replaced.
After the belt conveyor 48 is stopped as described above, the tray T is raised together with the tray lifting plate 49 by the cylinder 42 of the movable holding portion 33.
このようにトレイTが上昇すると、このトレイTは、一対の側部ガイド部材46,46によってX方向に位置決めされ、第1の受圧板44および第2の受圧板45とトレイ昇降用プレート49とによって挟圧されることにより歪みが矯正される。このため、トレイTは、可動保持部33にX方向とY方向とに位置決めされた状態で保持される。   When the tray T is raised in this way, the tray T is positioned in the X direction by the pair of side guide members 46, 46, and the first pressure receiving plate 44, the second pressure receiving plate 45, the tray lifting plate 49, The distortion is corrected by being pinched by. For this reason, the tray T is held by the movable holding portion 33 in a state of being positioned in the X direction and the Y direction.
トレイTが可動保持部33に保持された後、トレイ支持装置12は、3つのトレイTをそれぞれ保持する可動保持部33を一体として部品領域、すなわち図1中に二点鎖線Xで示す部品受け渡し位置に移動させる。この動作と平行して、第1および第2の部品移動装置3A,3B、4A,4Bのヘッドユニット72が同時あるいは順番にトレイTの上方に移動する。   After the tray T is held by the movable holding portion 33, the tray support device 12 integrates the movable holding portion 33 holding each of the three trays T into a component region, that is, a component delivery indicated by a two-dot chain line X in FIG. Move to position. In parallel with this operation, the head units 72 of the first and second component moving devices 3A, 3B, 4A, 4B move simultaneously or sequentially above the tray T.
前記可動保持部33に保持されたトレイTのX方向とY方向の位置は、第1の部品移動装置3または第2の部品移動装置4の後述する前記撮像装置75によってトレイTを上方から撮像し、この画像データに基づいて検出される。この位置の検出は、トレイTの所定の一箇所の部品収納用凹陥部15や、トレイTの対角線上に位置する複数の部品収納用凹陥部15を撮像することによって行う。この位置検出の結果、トレイTのX方向の位置が所定の位置に対してずれている場合、可動保持部33のベルトコンベア48の送り量を調節することによって位置ずれが補正される。トレイTのY方向の位置が所定の位置に対してずれている場合、可動保持部33をY方向に移動させることによって位置ずれが補正される。
上述したように可動保持部33が部品受け渡し位置に移動し、前記ヘッドユニット72がトレイTの上方に移動した後、吸着ヘッド74の駆動により吸着ノズル73が下降し、トレイT上の電子部品5を吸着する。
The positions of the tray T held in the movable holding unit 33 in the X direction and the Y direction are picked up from above by the imaging device 75 described later of the first component moving device 3 or the second component moving device 4. Then, it is detected based on this image data. The detection of this position is performed by imaging the component storage recess 15 at one predetermined location on the tray T or a plurality of component storage recesses 15 positioned on the diagonal of the tray T. As a result of this position detection, when the position of the tray T in the X direction is deviated from a predetermined position, the misalignment is corrected by adjusting the feed amount of the belt conveyor 48 of the movable holding portion 33. When the position of the tray T in the Y direction is deviated from the predetermined position, the misalignment is corrected by moving the movable holding portion 33 in the Y direction.
As described above, after the movable holding portion 33 is moved to the component delivery position and the head unit 72 is moved above the tray T, the suction nozzle 73 is lowered by driving the suction head 74 and the electronic component 5 on the tray T is moved. To adsorb.
吸着ノズル73が電子部品5を吸着した後、ヘッドユニット72は基台側撮像装置14の上方を通過してから検査用ソケット6の上方に移動する。
基台側撮像装置14の上方をヘッドユニット72が通過することにより、この基台側撮像装置14によって電子部品5が下方から撮像され、図示していない制御装置によって、吸着ノズル73に対する電子部品5の位置が検出される。電子部品5の吸着位置が所定の位置からずれている場合、第1、第2の部品移動装置3A,3B、4A,4Bは、この位置ずれが相殺されるように吸着ヘッド72の移動量を制御する。
After the suction nozzle 73 sucks the electronic component 5, the head unit 72 passes above the base side imaging device 14 and then moves above the inspection socket 6.
When the head unit 72 passes above the base side imaging device 14, the electronic component 5 is imaged from below by the base side imaging device 14, and the electronic component 5 for the suction nozzle 73 is controlled by a control device (not shown). The position of is detected. When the suction position of the electronic component 5 is deviated from the predetermined position, the first and second component moving devices 3A, 3B, 4A, and 4B can adjust the amount of movement of the suction head 72 so that the position shift is offset. Control.
しかる後、ヘッドユニット72は、吸着ノズル73を下降させて電子部品5を検査用ソケット6に装填する。このように検査用ソケット6に電子部品5が装填されることにより、部品検査装置本体8によって電子部品5に対して所定の検査が行われる。
検査終了後、ヘッドユニット72は、検査用ソケット6から電子部品5を上昇させ、3個ある可動保持部33のうち良品用トレイTまたは不良品用トレイTが位置する可動保持部33の上方に移動し、これらのトレイTに電子部品5を移載する。
Thereafter, the head unit 72 lowers the suction nozzle 73 and loads the electronic component 5 into the inspection socket 6. Thus, when the electronic component 5 is loaded in the inspection socket 6, the electronic component 5 is subjected to a predetermined inspection by the component inspection apparatus main body 8.
After the inspection, the head unit 72 raises the electronic component 5 from the inspection socket 6 and above the movable holding portion 33 where the non-defective product tray T or the defective product tray T is located among the three movable holding portions 33. The electronic component 5 is transferred to these trays T.
可動保持部33に保持されている未検査品用トレイT上の電子部品5が全て取出されトレイTが空になったり、良品用トレイTまたは不良品用トレイTが検査後の電子部品5で満たされたときは、先ず、これらの返却用のトレイTを有する可動保持部33を、返却用トレイを収納するストッカー11の下方に位置する固定保持部61と対向するように移動させる。そして、可動保持部33と固定保持部61のベルトコンベア48,66を動作させ、前記トレイTを可動保持部33から固定保持部61に搬送する。   All of the electronic components 5 on the uninspected product tray T held by the movable holding portion 33 are taken out, and the tray T becomes empty, or the good product tray T or the defective product tray T is the electronic component 5 after the inspection. When satisfied, first, the movable holding portion 33 having these return trays T is moved so as to face the fixed holding portion 61 located below the stocker 11 for storing the return trays. Then, the belt conveyors 48 and 66 of the movable holding unit 33 and the fixed holding unit 61 are operated to convey the tray T from the movable holding unit 33 to the fixed holding unit 61.
固定保持部33内に搬入されたトレイTは、固定保持部33の第1のシリンダ63によってストッカー11内の最下部に位置するトレイTに下方から重ねられ、フック22が開いた状態で第2のシリンダ64によってストッカー11内に挿入される。このようにトレイTがストッカー11内に収納された後、フック22が閉じられ、両シリンダ63,64のピストンロッド63a,64aが下降する。   The tray T carried into the fixed holding unit 33 is overlapped from below by the first cylinder 63 of the fixed holding unit 33 on the lowermost tray T in the stocker 11, and the second state with the hook 22 opened. The cylinder 64 is inserted into the stocker 11. After the tray T is stored in the stocker 11 in this way, the hook 22 is closed and the piston rods 63a and 64a of both cylinders 63 and 64 are lowered.
このように構成されたICハンドラー1においては、ストッカー11のトレイTをトレイ支持装置12によって検査用ソケット6に近接するような位置(部品受け渡し位置X)まで移動させることができる。また、このICハンドラー1においては、検査用ソケット6に近接する位置(部品受け渡し位置X)にあるトレイTをトレイ支持装置12によって検査用ソケット6とはY方向の反対側に位置するストッカー11に移動させることができる。トレイTの交換のための移動は必要ではあるが頻度は少なく、一方、検査毎に必要となる電子部品の移動は距離を短くしている。したがって、このICハンドラー11によれば、従来のICハンドラーに較べて部品移動装置の移動する距離が短くなり、タクトタイムを短縮することができる。また、トレイTと検査用ソケット6との間の電子部品5の移動は、第1および第2の部品移動装置3A,3B、4A,4Bのみで実施しており、複数の部品装置を使うものに較べて電子部品5の損傷が起き難い。   In the IC handler 1 configured as described above, the tray T of the stocker 11 can be moved to a position (component delivery position X) that is close to the inspection socket 6 by the tray support device 12. In the IC handler 1, the tray T at a position close to the inspection socket 6 (part delivery position X) is placed on the stocker 11 located on the opposite side of the inspection socket 6 in the Y direction by the tray support device 12. Can be moved. The movement for replacing the tray T is necessary, but the frequency is low. On the other hand, the movement of the electronic component required for each inspection shortens the distance. Therefore, according to this IC handler 11, compared with the conventional IC handler, the moving distance of the component moving device is shortened, and the tact time can be shortened. Further, the movement of the electronic component 5 between the tray T and the inspection socket 6 is performed only by the first and second component moving devices 3A, 3B, 4A, 4B, and uses a plurality of component devices. Compared to the above, the electronic component 5 is less likely to be damaged.
(第2の実施の形態)
請求項〜請求項に記載した発明に係るICハンドラーを図5によって詳細に説明する。
図5はICハンドラーの他の実施の形態を示す平面図で、これらの図において、前記図1〜図4によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。図5においては、トレイ支持装置やストッカーをこれらの上にトレイが載置されていない状態で描いてある。
(Second Embodiment)
The IC handler according to the invention described in claims 1 to 5 will be described in detail by FIG.
FIG. 5 is a plan view showing other embodiments of the IC handler. In these figures, the same or equivalent members as those described with reference to FIGS. Omitted as appropriate. In FIG. 5, the tray support device and the stocker are drawn in a state where the tray is not placed thereon.
図5に示すICハンドラー100の検査用ソケット6は、基台2のY方向の一端部(装置後側の端部)であって左側に位置付けられている。このICハンドラー100の複数のストッカー11は、基台2の右側の端部においてY方向に並ぶように設けられている。
この実施の形態によるICハンドラー100のトレイ移動装置12は、3組の可動保持部33がY方向にのみ移動し、かつ2台の固定保持部61がY方向に移動することによりこれらの固定保持部61によって複数のストッカー11に対してトレイTの受け渡しを行うことができるように構成されている。また、このICハンドラー100は、4個の電子部品5を一度に移動させる構造の部品移動装置101を備えている。
The inspection socket 6 of the IC handler 100 shown in FIG. 5 is positioned on the left side of one end portion (end portion on the rear side of the apparatus) in the Y direction of the base 2. The plurality of stockers 11 of the IC handler 100 are provided so as to be arranged in the Y direction at the right end of the base 2.
In the tray moving device 12 of the IC handler 100 according to this embodiment, the three sets of movable holding portions 33 move only in the Y direction, and the two fixed holding portions 61 move in the Y direction to fix and hold them. The unit 61 is configured so that the tray T can be delivered to the plurality of stockers 11. The IC handler 100 includes a component moving device 101 having a structure for moving four electronic components 5 at a time.
この実施の形態によるトレイ移動装置12は、ストッカー11の下方に位置する第1の支持装置110と、部品領域Bに位置する第2の支持装置111とから構成されている。この実施の形態によるICハンドラー100では、これらの支持装置110,111との間でトレイTを搬送する移送手段112を装備している。   The tray moving device 12 according to this embodiment includes a first support device 110 located below the stocker 11 and a second support device 111 located in the component region B. The IC handler 100 according to this embodiment is equipped with a transfer means 112 that conveys the tray T between the support devices 110 and 111.
前記第1の支持装置110は、基台2上でY方向に延びる固定レール113と、この固定レール113にY方向に移動自在に支持されたスライダ114と、このスライダ114をY方向に所定量だけ移動させるベルト駆動装置115と、前記スライダ114の上にY方向に並ぶ状態で搭載された2組の固定保持部61,61とによって構成されている。これらの固定保持部61,61の間隔は、ストッカー11の間隔と等しくなるように設定されている。この固定保持部61に装備されているトレイ支承部材67と第1および第2のシリンダ63,64によって本発明でいう第1の昇降装置が構成されている。   The first support device 110 includes a fixed rail 113 extending in the Y direction on the base 2, a slider 114 supported by the fixed rail 113 so as to be movable in the Y direction, and a predetermined amount of the slider 114 in the Y direction. The belt driving device 115 is moved only by two and the two fixed holding portions 61 and 61 mounted on the slider 114 in a state of being arranged in the Y direction. The interval between the fixed holding portions 61 and 61 is set to be equal to the interval between the stockers 11. The tray support member 67 and the first and second cylinders 63 and 64 provided in the fixed holding portion 61 constitute a first lifting device in the present invention.
前記第2の支持装置111は、3組の可動保持部33と、これらの可動保持部33をY方向に往復動させる部品領域移動装置121とから構成されている。この部品領域移動装置121は、基台2上をY方向に延びる一対の固定レール122,122と、この固定レール122の上にY方向に移動自在に支持された前記3組の可動保持部33をY方向に駆動するボールねじ式の駆動装置123とから構成されている。可動保持部33に装備されているトレイ昇降用プレート49とトレイ昇降用シリンダ42とによって本発明でいう第2の昇降装置が構成されている。前記ボールねじ式の駆動装置123は、前記両固定レール122,122どうしの間でY方向に延びるボールねじ軸123aを回転させ、このボールねじ軸123aに螺合するとともに板状支持台41に一体的に設けられたナット部材(図示せず)を移動させる。   The second support device 111 includes three sets of movable holding portions 33 and a component area moving device 121 that reciprocates these movable holding portions 33 in the Y direction. The component area moving device 121 includes a pair of fixed rails 122, 122 extending in the Y direction on the base 2, and the three sets of movable holding portions 33 supported on the fixed rail 122 so as to be movable in the Y direction. And a ball screw type driving device 123 for driving in the Y direction. The tray lifting plate 49 and the tray lifting cylinder 42 provided in the movable holding portion 33 constitute a second lifting device in the present invention. The ball screw type driving device 123 rotates a ball screw shaft 123a extending in the Y direction between the fixed rails 122, 122, and is screwed to the ball screw shaft 123a and integrated with the plate-like support base 41. The nut member (not shown) provided for this purpose is moved.
前記移送手段112は、図5に示すICハンドラー100においては、第1の支持装置110の2組の固定保持部61に設けられた2組のベルトコンベア66と、第2の支持装置111の3組の可動保持部33に設けられた3組のベルトコンベア48と、第1の支持装置110と第2の支持装置111との間に位置する中継用コンベア124とから構成されている。なお、図5に示すICハンドラー100においては、第1の支持装置110と第2の支持装置111との間に後述する部品移動装置101の固定レール131が横切るように設けられている。この固定レール131は、トレイの搬送面より高くなるように形成されており、トレイを通すための開口(図示せず)が形成されている。   In the IC handler 100 shown in FIG. 5, the transfer means 112 includes two sets of belt conveyors 66 provided on two sets of fixed holding portions 61 of the first support device 110 and three of the second support device 111. It is composed of three sets of belt conveyors 48 provided in the set of movable holding portions 33, and a relay conveyor 124 positioned between the first support device 110 and the second support device 111. In the IC handler 100 shown in FIG. 5, a fixed rail 131 of the component moving device 101 described later is provided so as to cross between the first support device 110 and the second support device 111. The fixed rail 131 is formed to be higher than the transport surface of the tray, and an opening (not shown) for passing the tray is formed.
この第2の支持装置111と前記第1の支持装置110との間でトレイTの受け渡しを行うためには、可動保持部33と固定保持部61とを中継用コンベア124の両側でX方向に一列に並べ、ベルトコンベア48,66および中継用コンベア124を動作させることによって行う。第2の支持装置111は、搬入されたトレイTを上下方向に位置決めした状態で装置後側(検査用ソケット6側)に移動し、検査用ソケット6に近接した位置において後述する部品移動装置101によって電子部品5の受け渡しが行われる。   In order to transfer the tray T between the second support device 111 and the first support device 110, the movable holding portion 33 and the fixed holding portion 61 are moved in the X direction on both sides of the relay conveyor 124. The belt conveyors 48 and 66 and the relay conveyor 124 are operated by arranging them in a line. The second support device 111 moves to the rear side of the device (inspection socket 6 side) with the loaded tray T positioned in the vertical direction, and moves to a component moving device 101 described later at a position close to the inspection socket 6. Thus, the electronic component 5 is delivered.
このように第2の支持装置111によってトレイTが検査用ソケット6側に移動することにより、複数あるストッカー11のうち検査用ソケット6との距離が相対的に長くなるストッカー11(例えば装置前側の端部に位置するストッカー11)のトレイTは、X方向とY方向とにおいて検査用ソケット6に接近することになる。   Thus, when the tray T moves to the inspection socket 6 side by the second support device 111, the stocker 11 (for example, the front side of the apparatus) whose distance from the inspection socket 6 becomes relatively long among the plurality of stockers 11 is increased. The tray T of the stocker 11) located at the end approaches the inspection socket 6 in the X direction and the Y direction.
前記可動保持部33に保持されたトレイTのX方向とY方向の位置は、第1の部品移動装置3または第2の部品移動装置4の後述するトレイティーチング用撮像装置139によってトレイTを上方から撮像し、この画像データに基づいて検出される。この位置の検出は、トレイTの所定の一箇所の部品収納用凹陥部や、トレイTの対角線上に位置する複数の部品収納用凹陥部15を撮像することによって行う。この位置検出の結果、トレイTのX方向の位置が所定の位置に対してずれている場合、可動保持部33のベルトコンベア48の送り量を調節することによって位置ずれが補正される。トレイTのY方向の位置が所定の位置に対してずれている場合、駆動装置123により可動保持部33を駆動することによって位置ずれが補正される。   The position of the tray T held in the movable holding portion 33 in the X direction and the Y direction is set so that the tray T is moved upward by a tray teaching imaging device 139 described later of the first component moving device 3 or the second component moving device 4. And then detected based on the image data. The detection of this position is performed by imaging the component storage recesses at a predetermined location on the tray T or a plurality of component storage recesses 15 positioned on the diagonal line of the tray T. As a result of this position detection, when the position of the tray T in the X direction is deviated from a predetermined position, the misalignment is corrected by adjusting the feed amount of the belt conveyor 48 of the movable holding portion 33. When the position of the tray T in the Y direction is deviated from a predetermined position, the misalignment is corrected by driving the movable holding portion 33 by the driving device 123.
部品移動装置101は、基台2の左側端部と、第1の支持装置110と第2の支持装置111との間とにおいてY方向に延びる一対の固定レール131,131と、これらの固定レール131にY方向に移動自在に支持された支持部材132と、この支持部材132をY方向に移動させるボールねじ式の駆動装置133と、前記支持部材132の上にX方向に延びるように設けられた一対の可動レール134と、これらの可動レール134にX方向に移動自在に支持され支持部材132から装置の後側に延びる移動部材135と、この移動部材135を支持部材132上でX方向に移動させるボールねじ式の駆動装置136と、前記移動部材135の先端部に設けられたヘッドユニット137と、ヘッド側撮像装置138およびヘッド側撮像装置139などによって構成されている。   The component moving device 101 includes a pair of fixed rails 131 and 131 extending in the Y direction between the left end portion of the base 2 and between the first support device 110 and the second support device 111, and these fixed rails. 131, a support member 132 supported movably in the Y direction, a ball screw type drive device 133 that moves the support member 132 in the Y direction, and a support member 132 that extends in the X direction. A pair of movable rails 134, a movable member 135 supported by these movable rails 134 so as to be movable in the X direction and extending from the support member 132 to the rear side of the apparatus, and the movable member 135 on the support member 132 in the X direction. A ball screw type driving device 136 to be moved, a head unit 137 provided at the tip of the moving member 135, a head side imaging device 138, and a head side imaging. It is constituted by such as location 139.
ヘッド側撮像装置138は検査ソケット6の撮像に用いられ、ヘッド側撮像装置139は可動保持部33に搬送されるトレイTの撮像に用いられる。所定のタイミングで撮像されるトレイTの所定の凹陥部あるいはフィデューシャルマークの位置から、ベルトコンベア48の搬送誤差、ボールねじ式駆動装置123の駆動量の補正量が算出される。これら補正量が加味されて、第2の支持装置111上の各トレイTは、電子部品5の吸着、載置に際して正しい位置に配置される。
これらの撮像装置138,139は、前記移動部材135のX方向の両端部に設けられている。
The head side imaging device 138 is used for imaging the inspection socket 6, and the head side imaging device 139 is used for imaging the tray T conveyed to the movable holding portion 33. From the position of a predetermined recessed portion or fiducial mark of the tray T imaged at a predetermined timing, a correction amount of the conveyance error of the belt conveyor 48 and the driving amount of the ball screw type driving device 123 is calculated. In consideration of these correction amounts, the respective trays T on the second support device 111 are arranged at correct positions when the electronic component 5 is sucked and placed.
These imaging devices 138 and 139 are provided at both ends of the moving member 135 in the X direction.
前記ヘッドユニット137は、前記移動部材135に支持された4個の単位ユニット140によって構成されている。
これらの単位ユニット140は、吸着ノズル73を昇降させるとともにZ方向の軸線回りに回動させる吸着ヘッド141と、この吸着ヘッド141を移動部材135に対してX方向とY方向とに移動させる移動装置142とを備えている。
The head unit 137 includes four unit units 140 supported by the moving member 135.
These unit units 140 include a suction head 141 that moves the suction nozzle 73 up and down and rotates it around an axis in the Z direction, and a moving device that moves the suction head 141 in the X direction and the Y direction with respect to the moving member 135. 142.
トレイ支持装置12と部品移動装置101とをこのように構成しても、検査用ソケット6から離間した位置にあるストッカー11のトレイTをトレイ支持装置12によって検査用ソケット6に近接する位置まで移動させることができる。基台2中央部に設定される部品領域B、すなわち部品受け渡し位置X(図5においては部品領域Bとして示す位置)に移動停止させた第2の支持装置の3組の可動保持部33のトレイTのうち未検査電子部品を収納するトレイTから、移動装置142による互いの位置調整を終えた4つの吸着ヘッド141により同時に4つの電子部品5が吸着され、その後移動部材135がX方向に移動することで、各吸着ヘッド141が2ヶずつ各基台側撮像装置14の上方を通過する。この通過時の撮像データに基づき各ヘッドの下端の吸着ノズル73に対する各電子部品5の吸着ずれが検知される。その後、移動部材135がY方向に移動し、この移動中に移動装置142により吸着ずれを織り込んだ形で、各吸着ヘッド141の互いの位置関係が各検査用ソケット6の互いの位置と一致するようにされる。各吸着ヘッド141が各検査用ソケット6の上方となるように移動部材135が位置決めされて停止し、各吸着ヘッド141が同時に下降し、各吸着ノズル73で各電子部品5を各検査用ソケット6に装着し、同時に各電子部品の検査が行われる。検査後はこの逆の経路で移動部材135が部品受け渡し位置Xに移動し、良品トレイあるいは不良品トレイに電子部品5が収納される。   Even if the tray support device 12 and the component moving device 101 are configured in this way, the tray T of the stocker 11 located at a position separated from the inspection socket 6 is moved to a position close to the inspection socket 6 by the tray support device 12. Can be made. The trays of the three sets of movable holding portions 33 of the second support device stopped to move to the component region B set at the center of the base 2, that is, the component delivery position X (the position shown as the component region B in FIG. 5). The four electronic components 5 are simultaneously sucked from the tray T for storing uninspected electronic components in T by the four suction heads 141 whose positions have been adjusted by the moving device 142, and then the moving member 135 moves in the X direction. As a result, two suction heads 141 pass over each base-side imaging device 14 by two. Based on the imaging data at the time of passing, the suction displacement of each electronic component 5 with respect to the suction nozzle 73 at the lower end of each head is detected. Thereafter, the moving member 135 moves in the Y direction, and the positional relationship of the suction heads 141 coincides with the position of each of the inspection sockets 6 in such a manner that suction displacement is woven into the movement device 142 during the movement. To be done. The moving members 135 are positioned and stopped so that the respective suction heads 141 are located above the respective inspection sockets 6, the respective suction heads 141 are simultaneously lowered, and the respective electronic components 5 are attached to the respective inspection sockets 6 by the respective suction nozzles 73. At the same time, each electronic component is inspected. After the inspection, the moving member 135 moves to the component delivery position X along the reverse path, and the electronic component 5 is stored in the non-defective product tray or the defective product tray.
このように構成されたICハンドラー1においても、ストッカー11のトレイTをトレイ支持装置12によって、Y方向に並ぶストッカー11のうち検査用ソケット6から最も遠いストッカー11より、検査用ソケット6に隣接する位置まで移動させ、その場所を部品受け渡し位置Xとすることができる。このため、このICハンドラー100においても、従来のICハンドラーに較べて部品移動装置の移動する距離が短くなり、タクトタイムを短縮することができる。また、トレイTと検査用ソケット6との間の電子部品5の移動は、トレイ支持装置12のみで実施しており、複数の部品装置を使うものに較べて電子部品5の損傷が起き難い。なお、2つ並ぶ各基台側撮像装置14,14を、Y方向検査用ソケット6に近付けることで、部品受け渡し位置XもY方向検査用ソケット6に近付けることができ、部品受け渡し領域Xと検査用ソケット6の間の各吸着ヘッド141の移動距離を短くできる(第1の実施の形態のように、Y方向検査用ソケット6側のストッカー111より、さらに検査用ソケット6に部品受け渡し位置Xを近付ければ、なお一層各吸着ヘッド141の移動距離を短くできる)ので、よりタクトタイムを短くすることができる。   Also in the IC handler 1 configured as described above, the tray T of the stocker 11 is adjacent to the inspection socket 6 by the tray support device 12 from the stocker 11 farthest from the inspection socket 6 among the stockers 11 arranged in the Y direction. The position can be moved to the position, and the place can be set as the part delivery position X. For this reason, also in this IC handler 100, compared with the conventional IC handler, the moving distance of the component moving device is shortened, and the tact time can be shortened. Moreover, the movement of the electronic component 5 between the tray T and the inspection socket 6 is performed only by the tray support device 12, and the electronic component 5 is less likely to be damaged than a device using a plurality of component devices. By moving the two base side imaging devices 14 and 14 close to the Y-direction inspection socket 6, the component delivery position X can also be brought closer to the Y-direction inspection socket 6. The moving distance of each suction head 141 between the sockets 6 can be shortened (as in the first embodiment, the parts delivery position X is further set to the inspection socket 6 from the stocker 111 on the Y-direction inspection socket 6 side. Since the moving distance of each of the suction heads 141 can be further shortened if they are close, the tact time can be further shortened.
上記各実施の形態においては、ICハンドラー1,100は、テストヘッド7が基台2に脱可能に固着されている。このため、テストヘッド7を基台2に装着して部品検査をすれば、基台が載置される床に基台から遊離してテストヘッドを載置するICハンドラーに較べ、外部環境の振動が床に伝達される場合であっても検査用ソケット6への吸着ノズル73の位置合わせを正確に実施できる。   In each of the above embodiments, the IC handler 1, 100 is fixed to the base 2 so that the test head 7 can be removed. For this reason, if the test head 7 is mounted on the base 2 and the parts are inspected, the vibration of the external environment is less than that of the IC handler where the test head is placed on the floor on which the base is placed. Even when the suction nozzle 73 is transmitted to the floor, the suction nozzle 73 can be accurately aligned with the inspection socket 6.
ICハンドラー1,100内の制御装置と検査装置本体8とは、不図示の信号線で連結され、ICハンドラー1,100は、電子部品5の検査時、検査装置本体8と連係して動作するので、検査装置本体8をICハンドラー1,100の一部としても良い。この場合、動作プログラムを一つで構成したり、制御装置を一つにまとめることが有効である。また、検査装置本体8を床に載置するのではなく、基台2の不図示の下部構造部材に載置させるようにしても良い。これにより、部品検査装置としての動作検査を、ICハンドラー1,100の生産向上で実施することもできる。また、一体としての運搬もできる。   The control device in the IC handler 1, 100 and the inspection device body 8 are connected by a signal line (not shown), and the IC handler 1, 100 operates in conjunction with the inspection device body 8 when inspecting the electronic component 5. Therefore, the inspection apparatus body 8 may be a part of the IC handlers 1 and 100. In this case, it is effective to configure a single operation program or combine control devices into one. Further, the inspection apparatus main body 8 may be placed on a lower structural member (not shown) of the base 2 instead of being placed on the floor. Thereby, the operation inspection as the component inspection apparatus can be performed by improving the production of the IC handlers 1 and 100. It can also be transported as a unit.
テストヘッド7は、基台2に脱可能に固着され、検査用ソケット6と検査装置本体8とを結ぶ不図示の検査用ケーブルはいずれか一端あるいは中間部に不図示のコネクタが配置されるので、検査対象の電子部品5が変更されるに対応して、検査用プログラムの変更を除けば、交換検査装置本体8に影響を与えることなく簡単にテストヘッド7の交換により、部品検査を実施することができる。ICハンドラー1,100内の制御装置と検査装置本体8の制御装置とは、不図示の信号線で情報の受け渡しを行い、それぞれの部品移載プログラムと部品検査プログラムを連係は取りながら並列実施しても良いが、ICハンドラー1,100内の制御装置で、部品移載制御と、部品検査制御の両方を実施させるようにしても良い。   The test head 7 is detachably fixed to the base 2, and a test cable (not shown) connecting the test socket 6 and the test apparatus main body 8 is provided with a connector (not shown) at either one end or an intermediate part. Corresponding to the change of the electronic component 5 to be inspected, component inspection is performed by simply replacing the test head 7 without affecting the replacement inspection apparatus body 8 except for the change of the inspection program. be able to. The control device in the IC handler 1 and 100 and the control device of the inspection apparatus main body 8 exchange information through a signal line (not shown), and execute the parts transfer program and the parts inspection program in parallel with each other. However, both the component transfer control and the component inspection control may be performed by the control device in the IC handler 1 or 100.
本発明に係るICハンドラーの平面図である。It is a top view of the IC handler concerning the present invention. 本発明に係るICハンドラーの縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the IC handler according to the present invention. トレイ移載装置の動作を説明するための構成図である。It is a block diagram for demonstrating operation | movement of a tray transfer apparatus. 可動保持部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a movable holding part. ICハンドラーの他の実施の形態を示す平面図である。It is a top view which shows other embodiment of IC handler.
符号の説明Explanation of symbols
1,100…ICハンドラー、3A,3B…第1の部品移動装置、4A,4B…第2の部品移動装置、5…電子部品、6…検査用ソケット、11…ストッカー、12…トレイ支持装置、33…可動保持部、61…固定保持部、42…シリンダ、48…ベルトコンベア、49…トレイ昇降用プレート、66…ベルトコンベア、67…トレイ支承部材、63…第1のシリンダ、64…第2のシリンダ、72,137…ヘッドユニット、73…吸着ノズル、101…部品移動装置、110…第1の支持装置、111…第2の支持装置。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,100 ... IC handler, 3A, 3B ... 1st component moving device, 4A, 4B ... 2nd component moving device, 5 ... Electronic component, 6 ... Inspection socket, 11 ... Stocker, 12 ... Tray support device, 33 ... Movable holding portion, 61 ... Fixed holding portion, 42 ... Cylinder, 48 ... Belt conveyor, 49 ... Tray lifting plate, 66 ... Belt conveyor, 67 ... Tray support member, 63 ... First cylinder, 64 ... Second Cylinder, 72, 137... Head unit, 73... Suction nozzle, 101 .. component moving device, 110... First support device, 111.

Claims (5)

  1. 被検査用電子部品が装填される複数の検査用ソケットを一端部において支持する基台と、
    この基台の前記一端部から他端側へ向かう方向に並ぶように、前記基台に複数設けられたトレイ用ストッカーと、
    前記ストッカーとの間でトレイの受け渡しが行われるとともに、トレイを基台上で前記ストッカーの並ぶ方向と、この方向とは直交する水平方向に移動させ、複数のトレイを前記ストッカーと平行に並べて支持するトレイ支持装置と、
    前記トレイ支持装置に支持された未検査部品用トレイ上で吸着した未検査の電子部品を前記検査用ソケットに装填しかつ検査終了後の電子部品をトレイ支持装置の検査済み部品用トレイに移載する部品移動装置とを備えてなり、
    前記部品移動装置が前記トレイ支持装置上のトレイに対して電子部品の受け渡しを行う位置は、前記複数のストッカーにおける基台の前記他端側に位置するストッカーより検査用ソケット側に位置付けられていることを特徴とするICハンドラー。
    A base supporting at one end a plurality of sockets for inspection loaded with electronic components to be inspected;
    A plurality of tray stockers provided on the base so as to line up in the direction from the one end to the other end of the base ,
    The tray is transferred to and from the stocker, and the tray is moved on the base in a direction in which the stocker is arranged and in a horizontal direction perpendicular to the direction, and a plurality of trays are arranged in parallel with the stocker. A tray support device to support;
    An uninspected electronic component adsorbed on an uninspected component tray supported by the tray support device is loaded into the inspection socket, and the electronic component after the inspection is transferred to the inspected component tray of the tray support device A component moving device
    Position where the component moving device for transferring the electronic component relative to the tray on the tray support device is positioned test socket side of the stocker located at the other end of the base in the plurality of stockers IC handler characterized by this.
  2. 請求項1記載のICハンドラーにおいて、
    トレイ支持装置は、
    ストッカーとの間でトレイの受け渡しが行われる第1のトレイ保持部を有し、この第1のトレイ保持部をストッカーの並ぶ方向に移動させる第1の支持装置と、
    ストッカーと平行に並ぶ複数の第2のトレイ保持部を有し、これらの第2のトレイ保持部をストッカーの並ぶ方向に移動させる第2の支持装置と、
    前記第1のトレイ保持部と第2のトレイ保持部とにそれぞれ設けられ、前記第1のトレイ保持部と前記第2のトレイ保持部とがストッカーの並ぶ方向とは直交する水平方向に並ぶ状態で両トレイ保持部間においてトレイを搬送する移送手段とを備えていることを特徴とするICハンドラー。
    The IC handler according to claim 1 ,
    Tray support device
    A first support device that has a first tray holding portion for transferring the tray to and from the stocker, and moves the first tray holding portion in the direction in which the stocker is arranged; and
    A second support device having a plurality of second tray holding portions arranged in parallel with the stocker, and moving the second tray holding portions in the direction in which the stockers are arranged;
    A state in which the first tray holding part and the second tray holding part are provided in the first tray holding part and the second tray holding part, respectively, and are arranged in a horizontal direction orthogonal to the direction in which the stockers are arranged. And an IC handler comprising a transfer means for transporting the tray between the tray holding sections.
  3. 請求項記載のICハンドラーにおいて、
    移送手段は、第1のトレイ保持部の両側部と第2のトレイ保持部の両側部とにトレイの両側部を支承する一対の搬送用ベルトを有するコンベアであることを特徴とするICハンドラー。
    The IC handler according to claim 2 ,
    2. The IC handler according to claim 1, wherein the transfer means is a conveyor having a pair of conveying belts that support both side portions of the tray on both side portions of the first tray holding portion and both side portions of the second tray holding portion.
  4. 請求項または請求項記載のICハンドラーにおいて、
    第1の支持装置の第1のトレイ保持部は、一対の搬送用ベルトの内側において、トレイを搬送用ベルトの上方であってストッカーとの間で、トレイの受け渡しが行われる上昇位置と搬送用ベルトに支承される下降位置との間で昇降させる第1の昇降装置を備えていることを特徴とするICハンドラー。
    The IC handler according to claim 2 or claim 3 ,
    The first tray holding portion of the first support device is configured to move the tray between the transport belt and the stocker at a position inside the pair of transport belts, and the transport position. An IC handler comprising a first lifting device that moves up and down between a lowered position supported by a belt.
  5. 請求項ないし請求項のうちいずれか一つに記載のICハンドラーにおいて、
    第2の支持装置の第2のトレイ保持部は、一対の搬送用ベルトの内側において、トレイを搬送用ベルトの上方であって部品移動装置との間で、電子部品の受け渡しが行われる上昇位置と搬送用ベルトに支承される下降位置との間で昇降させる第2の昇降装置を備えていることを特徴とするICハンドラー。
    In the IC handler according to any one of claims 2 to 4 ,
    The second tray holding portion of the second support device is located inside the pair of conveying belts, and is in a raised position where the tray is placed above the conveying belt and the electronic component is transferred to and from the component moving device. An IC handler comprising a second elevating device that elevates and lowers between the first elevating position and a lowered position supported by the conveyor belt.
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