KR101294218B1 - 편광 필름 원반의 품질 판정 시스템 및 방법 - Google Patents

편광 필름 원반의 품질 판정 시스템 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 편광 필름 원반의 품질 판정 시스템 및 방법은, 자동 광학 검사기의 검사 결과 데이터를 이용하여 원반 품질 결정에 중요한 정보를 획득 및 이를 후공정에 전달해 줌으로써, 불량 원반에 대한 조기 경보 시스템으로서의 기능을 수행하여, 후공정에서 원반 품질에 따른 별도 프로세스를 구축, 추가 검사에 소요되는 비용 및 시간을 절감할 수 있으며, 결함 유출율이 높게 나타날 것으로 예상되는 원반을 자동 선별할 수 있다.

Description

편광 필름 원반의 품질 판정 시스템 및 방법{SYSTEM AND METHOD FOR EVALUATING QUALITY OF POLARIZED FILM}
본 발명은 편광 필름 원반의 품질 판정 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 자동 광학 검사기의 검사 결과 데이터를 이용하여 편광 필름 원반의 품질을 판정하는 시스템 및 방법에 관한 것이다.
LCD 광학재료로 사용되는 편광 필름을 생산하는 제조 업체에서는 고속으로 생산되는 제품의 실시간 검사를 위하여 인라인(IN-LINE) 자동 광학 검사 시스템(Automated Optical Inspection system, 이하 자동 광학 검사기)을 이용하고 있다. 일반적으로 인라인 자동 광학 검사기는 결함 발생 위치에 잉크 또는 바코드 마킹을 실시함으로써, 후공정에서 마킹된 부위를 폐기하거나 이에 대한 추가 검사가 수행될 수 있도록 한다.
그러나 ⅰ) 상기 결함이 특정 시점에 집중하여 연속적으로 발생하는 경우, ⅱ) 미세 결함 등 실제 결함 여부가 명확하게 구분되지 않는 경우에는, 상기 자동 광학 검사기의 과부하 및 H/W 성능 문제로 인하여 상기 결함 위치 전부를 마킹하지 못하는 상황이 발생될 수 있다.
결함 위치가 마킹되지 않은 제품은 후공정에서 불량으로 인식되지 않고 고객사까지 출시되는 상황이 나타날 수 있다. 이와 같은 이유로 후공정에서는 검사원들이 제품을 재차 최종 검사하는 단계를 가지고 있으나, 이러한 목시 검사 작업은 많은 비용과 시간을 소비하게 되는 문제점이 있다.
또한, 종래 기술에서는 원반 내에서 검출된 결함 개수만을 이용한 결함 발생율 정보만을 획득할 수 있었기 때문에, 결함의 유출(즉, 결함이 마킹에서 누락됨) 위험을 고려하지 못하는 문제점이 있었다.
따라서 본 발명은 편광 필름 원반의 품질 판정의 정확성 및 신뢰성을 개선시킬 수 있는 품질 판정 시스템 및 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 자동 광학 검사기의 검사 결과 데이터를 이용하여 원반 품질 결정에 중요한 정보를 획득 및 이를 후공정에 전달해 줌으로써, 불량 원반에 대한 조기 경보 시스템으로서의 기능을 수행하는 품질 판정 시스템 및 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 결함 유출율이 높게 나타날 것으로 예상되는 원반을 자동 선별할 수 있는 품질 판정 시스템 및 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 편광 필름 원반에 대한 결함 검사를 수행하는 자동 광학 검사기에 의해 획득된 검사 결과 데이터를 저장하는 저장부; 상기 검사 결과 데이터에 포함된 결함 위치 정보에 근거하여 검사 대상 원반의 단위 영역 별 결함 발생 밀도를 산출하고, 상기 결함 발생 밀도가 미리 지정된 수치 이상이 되는 결함 밀도 이상 영역의 수에 기초하여 상기 검사 대상 원반의 결함 밀도 이상 지수를 산출하는 결함 데이터 분석부; 및 상기 검사 대상 원반의 결함 밀도 이상 지수가 미리 지정된 허용치 이상인 경우 불량 원반으로 판정하는 원반 품질 판정부를 포함하는 편광 필름 원반의 품질 판정 시스템이 제공된다.
일 실시예에서, 상기 자동 광학 검사기의 검사 결과 데이터를 공통 포맷으로 변환하는 데이터 변환부를 더 포함하되, 상기 결함 데이터 분석부는 상기 공통 포맷으로 변환된 검사 결과 데이터에 기초하여 데이터 분석을 수행할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 결함 데이터 분석부는, 상기 검사 결과 데이터에 포함된 휘점 결함 정보에 근거하여, 상기 검사 대상 원반 내의 휘점 결함 개수를 상기 검사 대상 원반의 길이로 나눈 단위 길이당 휘점 결함 수를 더 산출하고,
상기 원반 품질 판정부는 상기 산출된 단위 길이당 휘점 결함 수에 근거하여 불량 원반 여부를 판정하되,
상기 단위 길이당 휘점 결함 수의 산출은, 상기 휘점 결함 중 상기 자동 광학 검사기에서 OK 판정된 휘점 결함과 NG 판정된 휘점 결함을 구분하여 각각 수행될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 검사 결과 데이터에는 상기 자동 광학 검사기에서 검출된 결함의 패턴 정보가 포함되고, 상기 패턴 정보는 상기 결함의 폭, 길이, 형태, 원형성, 선형성 정보를 포함하되,
상기 결함 데이터 분석부는, 상기 패턴 정보 중 적어도 하나에 근거하여, 검사 대상 원반의 외관 결함 수 또는 단위 길이당 외관 결함 수를 더 산출하고-여기서, 상기 외관 결함은 TAC 주름, PVA 주름, 하부 TAC 얼룩, 코팅층 스크래치, 점착층 스크래치 및 눌림성 스크래치 중 적어도 하나를 포함함-,
상기 원반 품질 판정부는, 상기 외관 결함 수 또는 상기 단위 길이당 외관 결함수가 미리 지정된 허용치 이상인 경우, 상기 검사 대상 원반을 불량 원반으로 판정할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 결함 데이터 분석부는, 상기 검사 대상 원반의 제1 단위 영역 별 결함 발생 밀도 및 제2 단위 영역 별 결함 발생 밀도를 각각 산출하되-여기서, 상기 제1 단위 영역은 상기 검사 대상 원반을 N × M 행렬 형태로 구획하였을 때의 각각의 구분 영역들에 해당하고, 상기 제2 단위 영역은 상기 검사 대상 원반의 길이를 L 등분하였을 때의 각각의 구분 영역들에 해당함-,
상기 결함 밀도 이상 영역의 수는, 상기 제1 단위 영역 별 결함 발생 밀도가 제3 허용치 이상인 제1 단위 영역의 수와 상기 제2 단위 영역 별 결함 발생 밀도가 제4 허용치 이상인 제2 단위 영역의 수를 합산한 값에 해당할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 결함 데이터 분석부는, 상기 단위 영역 별 결함 발생 밀도의 산출을, 미도공 상태의 편광 필름 원반 및 도공 상태의 편광 필름 원반에 대하여 각각 구분 수행하되,
상기 원반 품질 판정부는, 상기 미도공 상태의 편광 필름 원반에 대한 미도공 결함 밀도 이상 지수가 미리 지정된 제5 허용치 이상인 경우 및 상기 도공 상태의 편광 필름 원반에 대한 도공 결함 밀도 이상 지수가 미리 지정된 제6 허용치 이상인 경우 중 어느 하나에 해당하는 경우를 불량 원반으로 판정할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 결함 데이터 분석부는, 상기 미도공 결함 밀도 이상 지수에 제1 가중치를 부여한 값과 상기 도공 결함 밀도 이상 지수에 제2 가중치를 부여한 값을 합산한 밀도 이상 합산 지수를 산출하되,
상기 원반 품질 판정부는, 상기 산출된 밀도 이상 합산 지수가 미리 지정된 제7 허용치 이상인 경우, 불량 원반으로 판정할 수 있다.
여기서, 상기 밀도 이상 합산 지수와 대소 비교될 상기 제7 허용치는 상기 자동 광학 검사기에 의해 NG 판정된 결함이 마킹되지 않을 확률인 결함 유출율에 근거하여 산정될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 편광 필름 원반에 대한 결함 검사를 수행하는 자동 광학 검사기의 검사 결과 데이터를 이용하여 검사 대상 원반의 품질을 판정하는 방법에 있어서, 상기 검사 결과 데이터에 포함된 결함 위치 정보에 근거하여, 검사 대상 원반의 단위 영역 별 결함 발생 밀도를 산출하는 단계; 상기 결함 발생 밀도가 미리 지정된 수치 이상이 되는 결함 밀도 이상 영역의 수에 기초하여, 상기 검사 대상 원반의 결함 밀도 이상 지수를 산출하는 단계; 및 상기 검사 대상 원반의 결함 밀도 이상 지수가 미리 지정된 허용치 이상인 경우 불량 원반으로 판정하는 단계를 포함하는 편광 필름 원반의 품질 판정 방법이 제공된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 편광 필름 원반의 품질 판정의 정확성 및 신뢰성을 개선시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 자동 광학 검사기의 검사 결과 데이터를 이용하여 원반 품질 결정에 중요한 정보를 획득 및 이를 후공정에 전달해 줌으로써, 불량 원반에 대한 조기 경보 시스템으로서의 기능을 수행하여, 후공정에서 원반 품질에 따른 별도 프로세스를 구축, 추가 검사에 소요되는 비용 및 시간을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 결함 유출율이 높게 나타날 것으로 예상되는 원반을 자동 선별할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 편광 필름 원반에 대한 결함 검사를 수행하는 자동 광학 검사기(Automated Optical Inspection system)의 일 예를 도시한 도면.
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 편광 필름 원반의 품질 판정 시스템 및 그 시스템에서의 품질 판정 방법을 설명하기 위한 도면.
도 4는 편광 필름 원반에 대한 결함 마킹 맵을 예시한 도면.
도 5 및 도 6은 결함 데이터 분석부에 의한 결함 밀도 이상 영역 수의 산출 방법을 설명하기 위한 도면.
도 7a는 TAC 주름을 예시한 도면.
도 7b 및 도 7c는 TAC 주름에 대한 결함 특징을 설명하기 위한 도면.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 원반 품질 판정의 7가지 척도를 예시한 도면.
도 9는 결함 밀도 이상 지수와 결함 유출율 간의 상관 관계를 설명하기 위한 도면.
도 10은 결함 밀도 이상 지수에 근거한 불량 원반 판정 방법을 설명하기 위한 도면.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 이를 상세한 설명을 통해 상세히 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 본 명세서의 설명 과정에서 이용되는 숫자(예를 들어, 제1, 제2 등)는 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구분하기 위한 식별기호에 불과하다.
먼저, 본 발명의 이해를 돕기 위해 자동 광학 검사기에 관하여 간략히 살펴보기로 한다. 도 1은 편광 필름 원반에 대한 결함 검사를 수행하는 자동 광학 검사기(Automated Optical Inspection system)의 일 예를 도시한 도면이다.
제작된 편광 필름은 원반의 형태로 돌돌 말려 보존되게 되는데, 이와 같은 편광 필름 원반은 결함 검사시 권출부(미도시)를 통해서 송출되어 롤러(12)에 의해서 소정의 진행 방향으로 이송되게 된다. 이때, 편광 필름(10)의 이송 속도는 엔코더(11) 등과 같은 속도 감지 장치에 의해 센싱됨으로써, 추후 결함 위치 정보의 생성에 이용된다.
이때, 상기 자동 광학 검사기는 적어도 하나의 조명 장치(21)와 이에 대응하는 적어도 하나의 촬상 장치(22)를 포함하는 광학 장치(20)를 포함함으로써, 상기 이송 중인 편광 필름에 대한 광학 영상을 획득해낼 수 있다.
광학 장치(20)의 구성 및 설계 방식은 상기 자동 광학 검사기를 통해서 검출해내고자 하는 결함의 항목(즉, 종류 및 내용)에 따라 달라질 수 있는 것이지만, 일반적으로 자동 광학 검사기에서는 편광 필름에 대한 투과 검사, 반사 검사, 편광 차단 검사(소위, 크로스(cross) 검사) 등을 수행한다.
따라서, 광학 장치(20)는 검사하고자 하는 결함 항목에 따라 반사 조명(과 이에 대응되는 촬상 장치)과 투과 조명(과 이에 대응되는 촬상 장치)를 선택적으로 또는 병렬적으로 구동시킴으로써, 다양한 결함 유형들을 검출해내기 위한 광학 영상을 획득할 수 있도록 설계된다.
이와 같이 광학 장치(20)를 통해 획득된 광학 영상은 영상 분석/검사 장치(40)로 전달되고, 영상 분석/검사 장치(40)는 전달된 광학 영상에 대한 분석을 수행함으로써 편광 필름 원반에 존재하는 다양한 결함들을 검출해낸다. 또한, 영상 분석/검사 장치(40)는 검출된 결함들에 대한 데이터(이하, 검사 결과 데이터)를 생성하고 이를 저장한다.
이때, 상기 검사 결과 데이터에 따른 결함 발생 위치는 마킹 시스템(30)에 전달되게 되고, 상기 마킹 시스템(30)의 마킹 제어부(32)는 마킹 수단(31)을 제어함으로써 상기 결함 발생 위치에 상응하여 상기 편광 필름에 결함 표시가 마킹될 수 있도록 한다.
또한, 상기 검사 결과 데이터는 출력 장치(50), 표시 장치(60) 등에 전송되어 그 결과가 출력될 수 있으며, 관리자의 서버(70)로 전송되어 저장 및 관리될 수 있다.
상기와 같은 결함 검사가 완료된 편광 필름은 권취부(미도시)를 통해서 다시 돌돌 말림으로써 원래와 동일하게 원반의 형태로 보존될 수 있다.
이하, 도 2 및 도 3을 중심으로, 도 4 내지 도 10을 함께 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 편광 필름 원반의 품질 판정 방법 및 그 시스템에 관하여 설명한다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 편광 필름 원반의 품질 판정 시스템 및 그 시스템에서의 품질 판정 방법을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명에 따른 편광 필름 원반의 품질 판정 시스템 및 그 방법은 크게 도 2에 도시된 3가지 단계를 수행하도록 구현되어 있다. 즉, 자동 광학 검사기의 검사 결과 데이터 변환 단계[S100], 결함 데이터 분석 단계[S200] 및 원반 품질 판정 단계[S300]가 그것이다.
즉, 본 발명은 편광 필름 원반에 대한 광학적 결함 검사를 수행하는 자동 광학 검사기에 의해 획득된 검사 결과 데이터를 그 전제로 하여, 검사하고자 하는 편광 필름 원반(이하, 검사 대상 원반이라 함)의 품질을 판정하기 위한 신규한 방법을 제안한다. 본 발명에 따르는 편광 필름 원반의 품질 판정 방법 및 시스템에 의하면, 보다 신뢰성 높은 원반 품질 판정이 가능함은 물론, 원반 별 품질 수준의 척도가 될 수 있는 다양한 정보를 획득할 수 있어 이를 통해서 원반 별로 그 품질에 맞는 후공정 프로세스를 구축할 수 있도록 한다.
이는 후술할 설명을 통해 보다 명확히 이해될 수 있을 것이다. 이하, 도 3을 참조하여 상기 각 단계[S100, S200, S300]에 대하여 차례차례 설명하기로 한다. 다만, 이하 설명할 각 단계를 수행하는 주체는 앞서 설명한 자동 광학 검사기와 분리되어 독립적으로 구현될 수도 있고, 자동 광학 검사기에 일체로 결합된 형태로 구현될 수도 있다.
또한 후술할 원반 품질 판정 방법의 각 단계는 이를 실행하기 위한 명령어들의 프로그램이 구현됨으로써 컴퓨터를 통해 판독될 수 있는 기록 매체(예를 들어, 하드 디스크, CD-ROM 등)에 포함되어 제공될 수도 있음을 당업자들은 쉽게 이해할 수 있을 것이다.
검사 결과 데이터 변환 단계[S100]
자동 광학 검사기의 검사 결과 데이터는 일반적으로 데이터베이스(database) 또는 엑셀(excel)과 같은 파일 형식으로 저장된다. 자동 광학 검사기는 개별 원반 LOT에 대한 검사 결과로서 결함의 밝기, 폭, 길이, 크기(면적), 형태(원형성/선형성), 검출 광학군(투사/반사/편광차단) 등 다양한 데이터를 생성하여 저장할 수 있다.
이때, 상기 검사 결과 데이터의 데이터 전송에는 다수 사용자 또는 관리자의 접근성 확보를 위하여 FTP(file transfer protocol)가 사용될 수 있다. 이와 같이 전송된 검사 결과 데이터는 본 발명에 따른 원반 품질 판정 시스템 내의 저장부(110)에 저장될 수 있고, 분석 포맷의 일원화를 위하여 데이터 변환부(120)를 통해서 미리 지정된 공통 포맷으로 변환될 수 있다. 여기서, 상기 공통 포맷은 데이터 언어인 마크업 언어, 예를 들어 XML(Extensible Markup Language), HTML 등일 수 있다. 따라서, 이후 데이터 분석은 변환된 XML 등에서 수행될 수 있다.
다만, 상기와 같은 검사 결과 데이터 변환 단계[S100]는 라인별로 검사기 저장 데이터 형식이 다를 수 있음을 전제하여 이기종의 검사기로부터 획득된 데이터 분석을 위하여 일원화된 공통 포맷으로 변환시키기 위한 것인 바, 이와 달리 검사기의 저장 데이터 형식이 모두 동일한 경우에는 본 단계는 생략될 수 있다. 아울러 각각의 저장 데이터 형식이 상이한 경우에도 각각의 데이터 형식에 맞추어 데이터 분석을 수행할 수도 있으므로, 이러한 경우에도 생략 가능함은 물론이다.
결함 데이터 분석 단계[S200]
결함 데이터 분석 단계[S200]에서는 각 원반 LOT에 대하여 도 8에 도시된 바와 같이 총 7가지 품질 판정 척도를 산출하는 작업을 수행할 수 있다. 도 8을 참조할 때, 상기 7가지 품질 판정 척도에는 3가지 결함 밀도 이상 지수(전체 지수/ 미도공 지수/ 도공 지수), 2가지 휘점 결함 DPM(휘점 결함 DPM(OK), 휘점 결함 DPM(NG)), 중요 결함 수, 전체 마킹 DPM이 포함된다.
다만, 도 8에 예시된 품질 판정 척도가 모두 필수적인 것은 아니어서, 이 중 일부만이 이용될 수도 있으며, 이에 부가하여 다른 품질 판정 척도가 더 이용될 수도 있음은 물론이다.
즉, 본 실시예에서는 상기 7가지 품질 판정 척도 모두에 대한 분석 결과(수치)를 산출하고, 상기 7가지 척도 중 어느 하나라도 미리 지정된 허용치 이상의 값을 나타내는 원반은 불량 원반인 것으로 판단하는 경우를 가정하여 설명하겠지만, 상기 7가지 척도 중 적어도 하나에 대한 분석만을 수행하는 방식으로 불량 원반을 판단하는 것도 가능함은 자명하다 할 것이다.
이하, 상기 7가지 품질 판정 척도에 대하여 차례차례 설명하기로 한다. 본 단계를 통한 결함 데이터의 분석은 결함 데이터 분석부(130)를 통해 수행된다.
결함 밀도 이상 지수 산출
자동 광학 검사기는 개별 원반 LOT에 대하여 그림 4에 도시된 바와 같이 원반 폭/길이에 대한 마킹 위치를 기록한다. 본 명세서에서 원반의 길이는 자동 광학 검사기를 통해 원반이 이송되는 진행 방향에 대응하는 길이로 정의되고, 원반의 폭은 그 진행 방향에 직교하는 방향에 대응하는 길이로 정의된다.
본 발명의 원반 품질 판정 시스템에서의 결함 데이터 분석부(130)는 자동 광학 검사기의 검사 결과 데이터로부터 도 4에 도시된 바와 같은 '결함 마킹 맵(결함 위치 정보)'를 획득하고[S210], 이를 분석하여 원반의 구간별 결함 발생 밀도를 산출한다.
원반의 구간별 결함 발생 밀도의 산출은 원반을 소정의 단위 영역별로 구분하고, 이와 같이 구분된 단위 영역 각각에 대한 결함 발생 밀도를 산출함에 의할 수 있다[S212]. 이를 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
'구간별 결함 발생 밀도'는 도 5에 예시된 바와 같이 M/D 방향(원반 길이 방향)과 T/D 방향(원반 폭 방향)에 대하여 설정한 각 단위 영역별로 그 수치가 산출되며, 그 밀도 산출 방법은 하기 수학식 1과 같다.
[수학식 1]
MDi = MCi / (Wm * Hm),
TDi = TCi / (Wf * Hf)
여기서, MCi는 MDi 영역의 총 결함 개수이고, TCi는 TDi 영역의 총 결함 개수임
즉, M/D 방향에서의 각 단위 영역별 결함 발생 밀도(즉, MDi)는, 검사 대상 원반을 N × M 행렬 형태로 구획함에 의해 분할(구분)되는 각 단위 영역에 존재하는 총 결함 개수(즉, MCi)를 그 단위 영역의 면적(즉, Wm * Hm)으로 나눈 값으로 산출된다. 그리고 T/D 방향에서의 각 단위 영역별 결함 발생 밀도(즉, TDi)는, 검사 대상 원반의 길이를 L 등분함에 의해 분할(구분)되는 각 단위 영역에 존재하는 총 결함 개수(즉, TCi)를 그 단위 영역의 면적(즉, Wf * Hf)으로 나눈 값으로 산출된다.
여기서, 원반에 대한 M/D 방향의 단위 영역, T/D 방향의 단위 영역을 정의하는 Wm, Hm, Hf는 설정 파라미터(parameter)로써 설계상 적절한 값을 갖도록 가변적으로 구성될 수 있다. 그리고 Wf는 원반의 폭으로 설정된다.
이후, 결함 데이터 분석부(130)는 상술한 바에 따라 산출된 단위 영역별 결함 발생 밀도에 근거하여 결함 밀도 이상 영역 수를 산출한다[S214].
'결함 밀도 이상 영역 수'는 산출된 결함 발생 밀도에 대하여 상기 원반 품질 판정 시스템에 의해 미리 설정된 기준치를 초과하는 영역의 총 개수로 산출된다. 도 6은 각 단위 영역에 대한 M/D 방향의 결함 발생 밀도 및 T/D 방향의 결함 발생 밀도를 산출한 예를 나타낸 것이며, M/D 방향의 밀도 기준치는 3으로, T/D 방향의 밀도 기준치는 1로 각각 설정되어 있는 경우를 가정할 때, 상기 결함 밀도 이상 영역 수는 상기 기준치를 초과하는 영역인 M/D 방향의 4개와 T/D 방향의 1개를 합산한 5개로 계산될 수 있다.
즉, 상기 산출된 결함 밀도 이상 영역 수는 원반 내의 단위 영역 별로 결함이 밀집하여 발생한 정도(즉, 결함 밀집 정도)를 수치화하여 표현해놓은 것이다. 결함 밀집 정도가 높다는 것은 결함이 특정 시점(즉, 원반 내의 특정 구간)에 집중하여 연속적으로 발생하였다는 것을 의미한다.
따라서 결함이 특정 구간에 집중하여 연속적으로 발생되는 경우에는 자동 광학 검사기의 결함 검출 프로세스에 과부하를 주기 때문에 시스템의 성능 문제로 결함 전체를 마킹하지 못하게 되는 경우가 발생할 확률이 높아진다. 결함 밀도 이상 영역 수의 산출은 위와 같은 결함 유출 가능성(즉, NG 결함이 존재하나 마킹되지 않을 가능성)을 판단하는데 유용하게 이용될 수 있다. 즉, 결함 밀집 정도를 수치화한 밀도 수치는 결함 유출율과 밀접한 관계를 가지고 있기 때문에 원반 품질 판정의 주요 항목으로 구성된다.
상기와 같이 결함 밀도 이상 영역 수가 산출되면, 결함 데이터 분석부(130)는 그 산출된 결함 밀도 이상 영역 수를 미리 정의된 방식에 따라 지수화하여 표현한 결함 밀도 이상 지수를 산출한다[S216].
'결함 밀도 이상 지수'는 도 8에 예시된 바와 같이 'Total 지수', '미도공 지수', '도공 지수'로 구분되어 산출되는데, 이는 '결함 밀도 이상 영역 수'를 미도공 검사기와 도공 검사기 개별 및 이를 종합한 Total 지수로 구분하여 추후 EW(Early Warning) 지수를 이용한 불량 원반 판정 단계에서 이용하기 위함이다.
이러한 '미도공 지수' 및 '도공 지수'의 구분 산출을 위해, 본 발명의 원반 품질 판정 시스템에서의 결함 데이터 분석부(130)는 전술한 '결함 발생 밀도'의 산출 단계에서부터 미도공 상태의 편광 필름 원반 및 도공 상태의 편광 필름 원반의 경우를 구분하여 상기 밀도 산출 작업을 수행할 수 있다.
여기서, 상기 '미도공 지수' 및 '도공 지수'는 예를 들어 하기 수학식 2에 의해 산출될 수 있다.
[수학식 2]
미도공 지수 = (A/C) * 1000
도공 지수 = (B/C) * 1000
여기서, A는 미도공 상태의 편광 필름 원반에 대한 결함 밀도 이상 영역 수이고, B는 도공 상태의 편광 필름 원반에 대한 결함 밀도 이상 영역 수이며, C는 검사 대상인 편광 필름 원반의 길이를 나타낸다. 또한 상기 수학식 2에서 각 지수 산출을 위해 1000을 곱하는 것은 1000m 당 결함 발생 밀도를 산출하기 위함이다.
또한, 상기 'Total 지수'는 예를 들어 하기 수학식 3에서와 같이 미도공 검사기와 도공 검사기에 대한 개별 산출 데이터(여기서는 상기 '미도공 지수' 및 '도공 지수'를 의미함)에 미리 정해둔 가중치를 각각 부여함으로써 산출할 수 있다.
[수학식 3]
Total 지수 = 미도공 지수 * a1 + 도공 지수 * a2
= [(A*a1 + B*a2) / C] * 1000
여기서, a1은 미도공 지수에 부여할 가중치를 의미하고, a2는 도공 지수에 부여할 가중치를 의미하며, a1 및 a2는 0보다는 크고 1보다는 작거나 같은 값으로 설정될 수 있다.
Total 지수 산정을 위해, 이와 같이 미도공 지수 및 도공 지수를 구분하여 각각 소정의 가중치를 부여하는 이유는 미도공 상태의 편광 필름 원반에 존재하는 결함 밀도와 도공 상태의 편광 필름 원반에 존재하는 결함 밀도가 추후 불량 원반의 판정에 있어 서로 다른 중요도로 활용될 수 있기 때문이다. 따라서 위의 각 가중치는 편광 필름 제작의 공정 특성에 따라서 적절한 값으로 설정될 수 있다.
휘점 결함 DPM 산출
휘점 결함은 결함 크기가 작은 미세 결함으로써 목시 검사에 의해서도 시인이 어려워 불량 검출이 매우 어려운 결함 유형에 해당한다. 따라서 본 발명의 원반 품질 판정 시스템에서는 결함 유형별 DPM으로써 휘점 결함 DPM을 별도로 분류하고 이를 불량 원반 판정에 이용한다. 또한 상기 휘점 결함 DPM은 불량 원반 판정 이후의 후공정 프로세스에 전달됨으로써 후공정에 유용한 정보로서 활용된다.
상기 DPM(Defect per meter)은 원반 내 결함 발생 빈도를 수치화한 것으로써, 전체 결함 발생 개수를 원반 길이로 나눈 값으로 정의된다.
상기 휘점 결함 DPM 산출에 필요한 원반 내의 총 휘점 결함 개수는 자동 광학 검사기의 검사 결과 데이터에 포함된 휘점 결함(bright defect) 정보에 의해 획득될 수 있다[S220]. 자동 광학 검사기의 검사 결과 데이터에는 편광 차단 검사(즉, 크로스 검사)를 통해서 검출한 휘점 결함 정보를 포함할 수 있다. 편광 차단 검사에 의하면 모든 광(편광 포함)이 편광 필름을 투과하지 않아야 하지만, 편광 필름의 결함에 의해 일부 편광이 편광 필름의 일부 영역(위치)를 투과하는 휘점 결함이 발생할 수 있으며, 이러한 휘점 결함 정보는 상기 검사 결과 데이터에 기록되게 된다.
따라서 본 발명의 원반 품질 판정 시스템에서의 결함 데이터 분석부(130)는 상기 검사 결과 데이터에 포함된 휘점 결함 정보에 근거하여 원반 내 휘점 결함 개수를 산출할 수 있으며, 이에 의해 휘점 결함 DPM을 산출할 수 있다[S222]. 본 발명의 실시예에서 상기 휘점 결함 DPM은 하기 수학식 4와 같이 산출될 수 있다.
[수학식 4]
Figure 112010030001818-pat00001
Figure 112010030001818-pat00002

여기서, 상기 Si는 자동 광학 검사기를 통해 검출(모니터링)은 되었으나 결함 정도가 낮아 마킹 판정되지 않은 휘점 결함, 즉 OK 판정된 휘점 결함을 의미하고, Ti는 마킹 판정된(즉, NG 판정된) 휘점 결함을 의미한다.
상기 OK 판정된 휘점 결함(Si)은 각각의 단일 픽셀의 경우에는 결함으로 판정하기 어려운 미세한 결함이나, 이들 또한 그 개수가 많아지거나 한 곳에 집중하여 분포되게 되면 불량으로 판정될 수 있는 미세 결함들이기에 본 실시예에서는 NG 판정된 휘점 결함들에 대한 휘점 결함 DPM(즉, 상기 휘점 결함 DPM(NG) 참조)과 더불어 휘점 결함 DPM(OK)도 별도 산출하고 있는 것이다. 즉, 본 발명의 원반 품질 판정 시스템은 휘점 결함의 중요도를 감안하여, 휘점 결함 DPM(NG)과 휘점 결함 DPM(OK)를 모두 고려한다.
중요 결함 수 산출
본 발명의 실시예에 따른 원반 품질 판정 시스템은 앞서 설명한 '휘점 결함' 이외에도 다양한 중요 결함 유형을 선별 산출하도록 구성될 수 있다.
따라서 상기 중요 결함 개수는 본 발명의 시스템에서 정의해둔 특정 결함 유형의 발생 개수를 의미하며, 상기와 같은 중요 결함으로는 예를 들어 'TAC 주름', 'PVA 주름', '하부 TAC 얼룩', 'AS 코팅 스크래치', 'NCF T/D 스크래치(점착층 스크래치)', '눌림성 스크래치' 등이 이에 해당할 수 있다.
상기 PVA는 일반적으로 편광 특성을 나타내는 편광 소자로서 활용되는 물질로 편광 필름의 코어층을 구성하며, 상기 TAC은 상기 PVA를 지지 및 보호할 용도로서 활용되는 물질로서 상기 PVA 코어층의 양면에 적층되며, 점착층은 편광 필름을 추후 액정 패널에 부착시키기 위한 용도로 상기 TAC 상에 적층되는 것이다. 또한 상기 AS 코팅은 편광 필름의 정전기 방지용 코팅을 의미하며, 눌림성 스크래치는 자동 광학 검사 시의 롤러에 의한 눌림에 의해 발생하는 스크래치를 의미한다.
상기와 같은 6가지 결함 유형은 시인성이 낮으며 특정 영역에서 발생 빈도가 높아 자동 광학 검사기에서 발생 결함 전체를 마킹하지 못할 위험성이 높은 결함 군의 대표적 유형에 해당한다. 따라서 본 발명의 원반 품질 판정 시스템에서는 상기와 같은 중요 결함의 발생 건수를 자동 변별하여 원반 품질 판정에 함께 사용한다. 물론 상기 중요 결함은 일 예에 불과하며, 위의 예시와 다르게 선택되어도 무방하다.
상기와 같은 중요 결함 개수는 자동 광학 검사기의 검사 결과 데이터에 포함된 결함 패턴 정보에 근거하여 산출될 수 있다[S230]. 상기 검사 결과 데이터에는 검출 결함의 결함 발생 형태에 대하여 그 크기, 폭, 길이, 면적, 원형성/선형성 등에 대한 패턴 정보가 포함될 수 있다. 따라서 본 발명의 원반 품질 판정 시스템의 결함 데이터 분석부(130)는 외관상 나타난 결합의 특징을 상기 결함 패턴 데이터를 조합하여 수치화된 특징으로 변환함으로써 위에서 예시된 바와 같은 중요 결함들을 판별해낼 수 있다[S232].
예를 들어, 'TAC 주름'의 경우, 도 7a에 도시된 바와 같이, 일반적으로 그 결함 형태가 원형성은 낮으며, 결함의 길이/폭 비율이 높은(즉, 결함의 폭에 비해 길이가 큼) 외관상 특징을 가지고 있다. 이에 대하여 도 7b 및 도 7c를 참조하면, 결함의 길이를 결함의 폭으로 나눈 비율이 2 이상, 결함 면적을 결함의 가장 긴 거리를 지름으로 한 가상의 원의 면적으로 나눈 비율이 A 이하이고, 결함 면적이 B이상인 결함의 경우를 상기 'TAC 주름'으로 판별함이 그 예이다.
상기와 같이 본 발명의 원반 품질 판정 시스템에서의 결함 데이터 분석부(130)는 결함 마다가 갖는 위와 같은 결함의 외관상 특징에 근거한, 결함에 대한 특징적 데이터의 조합을 통하여 각 중요 결함 형태를 수치화하여 판별해낸다. 이때, 중요 결함 마다가 갖는 특징적 패턴 정보(결함 유형 변별 요소)는 자동 광학 검사기에서의 과거 검사 누적 데이터를 분석함을 통해서 획득할 수 있을 것이다. 이외에도 결함 유형별 변별 요소를 찾는 방법은 다양한 통계 방법을 사용할 수 있음은 물론이다.
'중요 결함 개수'는 상기 'TAC 주름'예시와 같이 미리 특정해둔 특정 결함 유형에 대하여 각각의 변별 요소를 설정하여 그 설정 조건에 부합되는 결함을 중요 결함으로 인식한다. 이 경우, 상기 '휘점 결함'의 경우와 유사하게 중요 결함 변별 시에도 OK 판정된 결함과 NG 판정된 결함을 함께 고려할 수 있다. 이는 마킹 판정에서 누락된 시인성이 약한 결함 발생 정보를 후공정에 제공할 수 있다는 점에서 매우 유용한 정보로서 활용될 수 있다. 이때 상기 중요 결함 개수는 DPM으로 표현될 수 도 있다.
전체 마킹 DPM 산출
'마킹 Total DPM'은 자동 광학 검사기에서 결함 마킹된 DPM으로 산출된다. '마킹 Total DPM'의 산출[S242]은 하기 수학식 5에 의할 수 있다.
[수학식 5]
Figure 112010030001818-pat00003

여기서, 결함 마킹(Mi) 개수는 자동 광학 검사기의 검사 결과 데이터에 포함된 결함 마킹 정보에 근거하여 산출할 수 있다[S240]. 상기 마킹 Total DPM은 원반 내의 결함 발생 빈도를 대표하는 값인 바, 추후 원반 품질 판정에 주요 항목으로 이용된다.
원반 품질 판정 단계[S300]
본 단계에서는 상술한 결함 데이터 분석 단계[S200]를 통해서 산출된 '결함 밀도 이상 지수'(Total/미도공/도공 지수), '휘점 결함 DPM(OK/NG)', '중요결함 개수' 및 '마킹 Total DPM' 의 총 7가지 정보를 이용하여 불량 원반을 선별한다. 이는 본 발명의 시스템의 원반 품질 판정부(140)에 의해 수행될 수 있다.
원반 품질 판정부(140)는 도 8에 예시된 바와 같이 원반 품질 판정의 7가지 척도 중 어느 하나의 항목이라도 미리 지정해둔 허용치(EW 기준, k1 ~ k7 참조)를 초과하는 경우, 해당 원반을 불량 원반으로 판정한다[S310, S320, S330, S340]. 상기 EW 기준은 불량 원반 선별 정확성이 양산 과정에서 검증된 적절한 값으로 설정될 수 있다.
도 9는 각 원반 LOT의 결함 유출율(즉, NG 결함이 마킹에서 누락된 비율)과 EW 지수 중 'Total 지수'를 매칭시킨 예를 도시하고 있다. 원반 품질 판정부(140)는, 만일 결함 유출율 0.3% 이하의 품질 수준을 확보해야 하는 경우, 상기 도 9에 근거하여 'EW 기준(Total 지수)'을 k1(여기서, k1 은 양의 수) 으로 설정함으로써, 상기 허용치를 초과하는 원반에 대해서는 불량 원반으로 판정한다.
따라서 불량 원반 판정의 정확성을 위해서는, 원반별 결함 유출율과 각 EW 지수의 매칭 관계를 통계적 상관 관계에 따라 누적 집계하는 작업을 통해서, 적합한 'EW 기준'을 설정할 필요가 있다.
상기와 같은 방법으로 적합한 'EW 기준'이 설정되면 설정된 EW 기준을 적용함으로써(도 9 및 도 10 참조), 그 기준(허용치)을 초과하는 불량 원반과 초과하지 않는 원반을 선별해낼 수 있다. 즉, 본 발명의 원반 품질 판정 시스템 및 방법에 의하면, 불량 원반에 대한 조기 경보(Early Warning)를 수행함으로써 결함 유출율이 높을 것으로 예상되는 원반 LOT에 대해서는 후공정에서 사전에 인지하여, 해당 원반에 대해 결함 유출율을 막을 수 있는 별도의 공정 프로세스를 마련할 수 있다. 또한 불량 원반으로 선별되지 않은 원반 LOT에 대해서는 후공정에서 별도 목시 검사를 수행하지 않거나 검사 프로세스를 간소화 할 수 있기 때문에 추가 검사의 시간과 비용을 절감할 수 있는 이점이 있다. 도 9는 총 8개 원반 LOT에 대하여 EW지수 k1이내의 6개 원반에 대해서는 후공정에서 별도 검사를 수행하지 않아도 유출율 0.3% 이하의 품질 수준을 확보할 수 있다는 것을 의미한다.
이상에서는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 쉽게 이해할 수 있을 것이다.
110 : 저장부
120 : 데이터 변환부
130 : 결함 데이터 분석부
140 : 원반 품질 판정부

Claims (16)

  1. 편광 필름 원반에 대한 결함 검사를 수행하는 자동 광학 검사기에 의해 획득된 검사 결과 데이터를 저장하는 저장부;
    상기 검사 결과 데이터에 포함된 결함 위치 정보에 근거하여 검사 대상 원반의 단위 영역 별 결함 발생 밀도를 산출하고, 상기 검사 대상 원반의 단위 영역들 중 상기 결함 발생 밀도가 미리 지정된 수치 이상이 되는 결함 밀도 이상 영역의 수를 산출하며, 상기 결함 밀도 이상 영역의 수에 기초하여 상기 검사 대상 원반의 결함 밀도 이상 지수를 산출하는 결함 데이터 분석부; 및
    상기 검사 대상 원반의 결함 밀도 이상 지수가 미리 지정된 허용치 이상인 경우 불량 원반으로 판정하는 원반 품질 판정부;를 포함하는 편광 필름 원반의 품질 판정 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 자동 광학 검사기의 검사 결과 데이터를 공통 포맷으로 변환하는 데이터 변환부를 더 포함하되,
    상기 결함 데이터 분석부는 상기 공통 포맷으로 변환된 검사 결과 데이터에 기초하여 데이터 분석을 수행하는 것을 특징으로 하는 편광 필름 원반의 품질 판정 시스템.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 결함 데이터 분석부는, 상기 검사 결과 데이터에 포함된 휘점 결함 정보에 근거하여, 상기 검사 대상 원반 내의 휘점 결함 개수를 상기 검사 대상 원반의 길이로 나눈 단위 길이당 휘점 결함 수를 더 산출하고,
    상기 원반 품질 판정부는 상기 산출된 단위 길이당 휘점 결함 수에 근거하여 불량 원반 여부를 판정하되,
    상기 단위 길이당 휘점 결함 수의 산출은, 상기 휘점 결함 중 상기 자동 광학 검사기에서 OK 판정된 휘점 결함과 NG 판정된 휘점 결함을 구분하여 각각 수행되는 것을 특징으로 하는 편광 필름 원반의 품질 판정 시스템.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 검사 결과 데이터에는 상기 자동 광학 검사기에서 검출된 결함의 패턴 정보가 포함되고, 상기 패턴 정보는 상기 결함의 폭, 길이, 형태, 원형성, 선형성 정보를 포함하되,
    상기 결함 데이터 분석부는, 상기 패턴 정보 중 적어도 하나를 조합하여 중요 결함에 대한 수치화 판별을 실시함으로써, 검사 대상 원반의 중요 결함 수 또는 단위 길이당 중요 결함 수를 더 산출하고-여기서, 상기 중요 결함은 TAC 주름, PVA 주름, 하부 TAC 얼룩, 코팅층 스크래치, 점착층 스크래치 및 눌림성 스크래치 중 적어도 하나를 포함함-,
    상기 원반 품질 판정부는, 상기 중요 결함 수 또는 상기 단위 길이당 중요 결함수가 미리 지정된 허용치 이상인 경우, 상기 검사 대상 원반을 불량 원반으로 판정하는 것을 특징으로 하는 편광 필름 원반의 품질 판정 시스템.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 결함 데이터 분석부는,
    상기 검사 대상 원반의 제1 단위 영역 별 결함 발생 밀도 및 제2 단위 영역 별 결함 발생 밀도를 각각 산출하되-여기서, 상기 제1 단위 영역은 상기 검사 대상 원반을 N × M 행렬 형태로 구획하였을 때의 각각의 구분 영역들에 해당하고, 상기 제2 단위 영역은 상기 검사 대상 원반의 길이를 L 등분하였을 때의 각각의 구분 영역들에 해당함-,
    상기 결함 밀도 이상 영역의 수는, 상기 제1 단위 영역 별 결함 발생 밀도가 제3 허용치 이상인 제1 단위 영역의 수와 상기 제2 단위 영역 별 결함 발생 밀도가 제4 허용치 이상인 제2 단위 영역의 수를 합산한 값에 해당하는 것을 특징으로 하는 편광 필름 원반의 품질 판정 시스템.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 결함 데이터 분석부는, 상기 단위 영역 별 결함 발생 밀도의 산출을, 미도공 상태의 편광 필름 원반 및 도공 상태의 편광 필름 원반에 대하여 각각 구분 수행하되,
    상기 원반 품질 판정부는,
    상기 미도공 상태의 편광 필름 원반에 대한 미도공 결함 밀도 이상 지수가 미리 지정된 제5 허용치 이상인 경우 및 상기 도공 상태의 편광 필름 원반에 대한 도공 결함 밀도 이상 지수가 미리 지정된 제6 허용치 이상인 경우 중 어느 하나에 해당하는 경우를 불량 원반으로 판정하는 것을 특징으로 하는 편광 필름 원반의 품질 판정 시스템.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 결함 데이터 분석부는, 상기 미도공 결함 밀도 이상 지수에 제1 가중치를 부여한 값과 상기 도공 결함 밀도 이상 지수에 제2 가중치를 부여한 값을 합산한 밀도 이상 합산 지수를 산출하되,
    상기 원반 품질 판정부는, 상기 산출된 밀도 이상 합산 지수가 미리 지정된 제7 허용치 이상인 경우, 불량 원반으로 판정하는 것을 특징으로 하는 편광 필름 원반의 품질 판정 시스템.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 밀도 이상 합산 지수와 대소 비교될 상기 제7 허용치는 상기 자동 광학 검사기에 의해 NG 판정된 결함이 마킹되지 않을 확률인 결함 유출율에 근거하여 산정되는 것을 특징으로 하는 편광 필름 원반의 품질 판정 시스템.
  9. 편광 필름 원반에 대한 결함 검사를 수행하는 자동 광학 검사기의 검사 결과 데이터를 이용하여 검사 대상 원반의 품질을 판정하는 방법에 있어서,
    상기 검사 결과 데이터에 포함된 결함 위치 정보에 근거하여, 검사 대상 원반의 단위 영역 별 결함 발생 밀도를 산출하는 단계;
    상기 검사 대상 원반의 단위 영역들 중 상기 결함 발생 밀도가 미리 지정된 수치 이상이 되는 결함 밀도 이상 영역의 수를 산출하는 단계;
    상기 결함 밀도 이상 영역의 수에 기초하여, 상기 검사 대상 원반의 결함 밀도 이상 지수를 산출하는 단계; 및
    상기 검사 대상 원반의 결함 밀도 이상 지수가 미리 지정된 허용치 이상인 경우 불량 원반으로 판정하는 단계;를 포함하는 편광 필름 원반의 품질 판정 방법.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 검사 결과 데이터에 포함된 휘점 결함 정보에 근거하여, 상기 검사 대상 원반 내의 휘점 결함 개수를 상기 검사 대상 원반의 길이로 나눈 단위 길이당 휘점 결함 수를 산출하는 단계; 및
    상기 단위 길이당 휘점 결함 수가 미리 지정된 허용치 이상인 경우, 상기 검사 대상 원반을 불량 원반으로 판정하는 단계를 더 포함하되,
    상기 단위 길이당 휘점 결함 수의 산출은, 상기 휘점 결함 중 상기 자동 광학 검사기에서 OK 판정된 휘점 결함과 NG 판정된 휘점 결함을 구분하여 각각 수행되는 것을 특징으로 하는 편광 필름 원반의 품질 판정 방법.
  11. 청구항 9에 있어서,
    상기 검사 결과 데이터에는 상기 자동 광학 검사기에서 검출된 결함의 패턴 정보가 포함되고, 상기 패턴 정보는 상기 결함의 폭, 길이, 형태, 원형성, 선형성 정보를 포함하되,
    상기 패턴 정보 중 적어도 하나를 조합하여 중요 결함에 대한 수치화 판별을 실시함으로써, 검사 대상 원반의 중요 결함 수 또는 단위 길이당 중요 결함 수를 더 산출하는 단계-여기서, 상기 중요 결함은 TAC 주름, PVA 주름, 하부 TAC 얼룩, 코팅층 스크래치, 점착층 스크래치 및 눌림성 스크래치 중 적어도 하나를 포함함-; 및
    상기 중요 결함 수 또는 상기 단위 길이당 중요 결함수가 미리 지정된 허용치 이상인 경우, 상기 검사 대상 원반을 불량 원반으로 판정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 편광 필름 원반의 품질 판정 방법.
  12. 청구항 9에 있어서,
    상기 단위 영역 별 결함 발생 밀도를 산출하는 단계는,
    상기 검사 대상 원반의 제1 단위 영역 별 결함 발생 밀도 및 제2 단위 영역 별 결함 발생 밀도가 각각 산출되되-여기서, 상기 제1 단위 영역은 상기 검사 대상 원반을 N × M 행렬 형태로 구획하였을 때의 각각의 구분 영역들에 해당하고, 상기 제2 단위 영역은 상기 검사 대상 원반의 길이를 L 등분하였을 때의 각각의 구분 영역들에 해당함-,
    상기 결함 밀도 이상 영역의 수는, 상기 제1 단위 영역 별 결함 발생 밀도가 제3 허용치 이상인 제1 단위 영역의 수와 상기 제2 단위 영역 별 결함 발생 밀도가 제4 허용치 이상인 제2 단위 영역의 수를 합산한 값에 해당하는 것을 특징으로 하는 편광 필름 원반의 품질 판정 방법.
  13. 청구항 9에 있어서,
    상기 단위 영역 별 결함 발생 밀도의 산출은, 미도공 상태의 편광 필름 원반 및 도공 상태의 편광 필름 원반에 대하여 각각 구분 수행하되,
    상기 검사 대상 원반의 불량을 판정하는 단계는,
    상기 미도공 상태의 편광 필름 원반에 대한 미도공 결함 밀도 이상 지수가 미리 지정된 제5 허용치 이상인 경우 및 상기 도공 상태의 편광 필름 원반에 대한 도공 결함 밀도 이상 지수가 미리 지정된 제6 허용치 이상인 경우 중 어느 하나에 해당하는 경우를 불량 원반으로 판정하는 것을 특징으로 하는 편광 필름 원반의 품질 판정 방법.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 미도공 결함 밀도 이상 지수에 제1 가중치를 부여한 값과 상기 도공 결함 밀도 이상 지수에 제2 가중치를 부여한 값을 합산한 밀도 이상 합산 지수를 산출하는 단계를 더 포함하되,
    상기 검사 대상 원반의 불량을 판정하는 단계는, 상기 산출된 밀도 이상 합산 지수가 미리 지정된 제7 허용치 이상인 경우, 불량 원반으로 판정하는 것을 특징으로 하는 편광 필름 원반의 품질 판정 방법.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 밀도 이상 합산 지수와 대소 비교될 상기 제7 허용치는 상기 자동 광학 검사기에 의해 NG 판정된 결함이 마킹되지 않을 확률인 결함 유출율에 근거하여 산정되는 것을 특징으로 하는 편광 필름 원반의 품질 판정 방법.
  16. 청구항 9 내지 청구항 15 중 어느 한 항의 방법을 실행하기 위한 프로그램이 기록되어 있고 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체.
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