KR101290520B1 - 광발전 셀 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

광발전 셀의 미세한 크랙을 화상 데이터로부터 확실히 검출한다. 광발전 셀에 스트레스를 주어 스트레스가 주어지기 전과 후의 양자의 광발전 셀을 촬상하고, 이들 양자의 화상 데이터의 차분에 의거하여 결함의 유무를 판정한다.

Description

광발전 셀 검사 장치{PHOTOVOLTAIC CELL INSPECTING DEVICE}
본 발명은 미세한 크랙의 유무를 확실히 검지할 수 있는 광발전 셀 검사 장치에 관한 것이다.
실리콘을 주재료로 하는 광전 변환 셀을 복수 전기적으로 접속해서 패널 형상으로 한 광발전 모듈이 알려져 있다. 이 광발전 셀 및 광발전 모듈은 동작(출력) 검사가 곤란하고, 또한 아직 개발 단계에 있기 때문에 일반적으로 고비용으로 되어 있다.
상기 검사의 방법으로서는, 예를 들면 태양광의 대체가 되는 광원을 이용하여 광전 변환 출력을 평가하는 방법(방법 1), 전자선이나 레이저빔을 이용하여 유기되는 전류나 전압을 측정하는 방법이 일반적으로 사용되고 있다(방법 2).
또한, 발광 다이오드에 사용되는 갈륨 비소계 단결정 반도체로 이루어지는 광발전 모듈이 개발되고, 이 광발전 모듈에 관해서는 발광 다이오드와 같이 순방향으로 바이어싱함으로써 일렉트로루미네선스를 발생시키고, 이것을 관찰함으로써 검사하는 방법도 제안되어 있다(방법 3).
그러나, 상기 방법 1 및 방법 2는 검사에 있어서의 평가 방법이 복잡하고, 또한 특히 방법 1은(제품이 되는) 광발전 모듈 전체의 출력을 평가하므로 광발전 셀 개별의 평가가 행하여지는 것은 아니다. 또한, 방법 3은 현재의 상태에서 가장 보급되어 있는 실리콘계 재료를 사용한 광발전 셀에 있어서 채용할 수 없다.
그래서, 이하의 특허문헌 1에는 대형의 설비를 필요로 하지 않고, 간편하고 또한 정확히 광발전 셀(및 광발전 모듈)의 광전 변환 성능에 대해서 평가할 수 있는 방법이 제안되어 있다.
일본 특허 재공표 제 WO2006/059615 호 공보
특허문헌 1은 단결정, 다결정 중 적어도 한쪽의 반도체 실리콘에 대해서 순방향 전류를 주입했을 때 실온 하의 통상의 캐리어 주입 조건에 있어서도 일렉트로루미네선스가 관측되는 점과, 그 발광 강도가 소수 캐리어의 확산 길이(diffusion length)의 분포와 1대1로 대응하고 있는 점에 의거하여 다음과 같이 검사하는 점을 주요한 특징으로 하고 있다.
즉, 특허문헌 1은 실리콘 반도체를 주요 부재로 해서 구성된 광발전 셀에 대해서 순방향으로 직류 전류를 도입해서 발광시키고, 상기 셀의 발광 특성에 의해 평가한다는 방법이다.
그런데, 최근에는 실리콘계 재료를 사용한 광발전 셀의 두께가 점차 얇아지고 있다. 이러한 상황에 있어서 광발전 모듈은 제조 단계에 있어서 접촉 등에 의해 그 면에 미세한 상처(이하, 마이크로크랙이라고 함)가 발생한다.
이 마이크로크랙은 그대로 광발전 셀 자체의 제조 및 출하 단계로 되는 경우도 있을 정도로 검출이 곤란하다. 그리고, 마이크로크랙이 발생되어 있는 광발전 셀은, 예를 들면 광발전 모듈을 구성할 때 조립시에 사소한 변형이나 휨 등의 외면적인 힘을 받으면(이하, 이들을 스트레스라고 함), 마이크로크랙이 성장하여 광발전 모듈 전체가 사용 불가능하게 되는 경우가 있다.
특허문헌 1에 있어서의 방법에서는 일렉트로루미네선스가 생긴 광발전 셀을 촬상해서 얻은 화상 데이터를 해석함으로써 크랙을 발견한다. 그러나, 화상 데이터 중에는 소위 데이터 노이즈가 다수 포함되어 있는 것 이외에 마이크로크랙을 찾으려고 하면 상당한 배율로 데이터를 확대하거나 할 필요가 있고, 또한 그것이 마이크로크랙인가 노이즈인가를 판별하는 것이 곤란했다.
해결하려고 하는 문제점은 광발전 셀에 일렉트로루미네선스를 발생시켜서 촬상한 화상 데이터에 있어서 마이크로크랙과 노이즈를 판별하는 것이 매우 곤란하여 오검지가 다발하는 점이다.
본 발명의 광발전 셀 검사 장치는 광발전 셀에 스트레스를 주기 위한 스트레스 부여부와, 상기 스트레스 부여부에 의한 스트레스가 주어지기 전과 후의 양자의 광발전 셀을 촬상하는 촬상부와, 이 촬상부에서 얻은 양자의 화상 데이터의 차분에 의거하여 결함의 유무를 판정하는 처리부를 구비한 것을 가장 주요한 특징으로 한다.
<발명의 효과>
본 발명의 광발전 셀 검사 장치는 스트레스 부여부에 의해 광발전 셀에 스트레스를 주어서 존재하고 있는 마이크로크랙을 성장시키고, 스트레스가 주어지기 전후의 화상 데이터의 차분에 의거하여 결함의 유무를 판정하므로 존재 자체가 미세하고 또한 화상 데이터 중의 노이즈와 혼동해서 판별이 곤란한 마이크로크랙의 유무를 확실히 판별하는 것이 가능해진다는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 광발전 셀 검사 장치의 구성을 나타내고, (a)는 사시도, (b)는 (a)의 A화살표로부터 바라본 도면, (c)는 (a)의 B화살표로부터 바라본 도면이다(기본 구성예).
도 2는 본 발명의 광발전 셀 검사 장치의 구성을 도시하는 블록도이다(기본 구성예).
도 3은 본 발명의 광발전 셀 검사 장치의 다른 구성을 도시하는 도면이다(기본 구성예).
도 4는 본 발명의 광발전 셀 검사 장치의 구성을 도시하는 도면이다(광발전 셀 검사 장치의 본체 구성예).
도 5는 마이크로크랙 검사 상황을 도시하는 도면이다(광발전 셀 검사 장치의 본체 구성예).
도 6은 본 발명의 광발전 셀 검사 장치를 사용한 다른 구성을 도시하는 도면이다(실시예).
화상 처리 기술을 사용했을 경우에 있어서의 마이크로크랙과 노이즈를 판별해서 오검지를 억제한다는 목적을 스트레스 부여부에 의한 스트레스가 주어지기 전과 후의 양자의 광발전 셀을 촬상하고 양자의 화상 데이터의 차분에 의거하여 결함의 유무를 판정하는 것으로 실현했다.
기본 구성예
도 1∼도 3에는 본 발명의 광발전 셀 검사 장치(1)[이하, 검사 장치(1)로 기재함]에 관한 기본 구성예의 형태를 도시하고 있다. 검사 장치(1)는 그 주재료를 특별히 한정하지 않지만 본 예에서는, 예를 들면 현재의 상태에서 가장 보급되어 있는 실리콘을 주원료로 한, 예를 들면 직사각형의 광발전 셀(C)[이하, 셀(C)로 기재함]의 상처, 특히 마이크로크랙의 유무를 검사하는 것이다.
2는 셀(C)의 중앙 상방으로부터 설치면을 향해서 상기 셀(C)을 압박하는 스트레스 부여부이다. 스트레스 부여부(2)는 상기한 바와 같이 셀(C)의 상방으로부터 설치면을 향해서 압박하는 것이며, 도 1에 도시하는 구성에서는 서보 모터(2a)와, 이 서보 모터(2a)와 함께 하방으로 이동해서 셀(C)에 접촉해서 압박하는 프레스 헤드(2b)로 이루어진다. 또한, 프레스 헤드(2b)에는 로드셀(2c)이 설치되어 있다.
로드셀(2c)은 프레스 헤드(2b)에 의한 압박력을 측정하고 있다. 로드셀(2c)에 의한 측정 데이터는 후술되는 제어부(11)[스트레스 산출부(11A)]에 서보 모터(2a)의 구동 제어를 위해서 피드백된다.
한편, 도 3에 도시하는 스트레스 부여부(2)는 도 1의 셀(C)에 접촉하는 타입과는 달리 비접촉으로 압박하는 타입이다. 도 3에 도시하는 스트레스 부여부(2)는 서보 모터(2a)와 함께 셀(C)에 접촉하기 직전까지 하방으로 이동해서 그 위치에서 소정 압력의 공기를 분사하는 압공(壓空) 노즐(2c)을 갖고 있다.
스트레스 부여부(2)는 도 3의 것 이외에 정상인 셀(C)을 손상시키지 않는 정도의 외력에 의해, 예를 들면 셀(C)에 접촉 또는 비접촉으로 두드리거나 튕기는 등의 방법에 의해 스트레스가 부여되면 특별히 한정되지 않는다.
또한, 본 예에 있어서의 스트레스 부여부(2)는 셀(C)의 중앙 상방과 이 중앙 부위를 퇴피한 위치 사이에서 제어부(11)의 스위칭부(11C)에 의해 후술되는 카메라(5)와 함께 이동 가능한 구성으로 되어 있다.
3은 셀(C)에 있어서 스트레스 부여부(2)가 셀(C)을 압박하는 부위의 이면측에, 본 예에서는 예를 들면 접촉해서 설치된 거리 센서이다. 이 거리 센서(3)는 제어부(11)의 스트레스 검지부(11B)와 접속하고 있다. 거리 센서(3)는 스트레스 부여부(2)에 의해 아직 압박되어 있지 않은 상태를 기준으로 해서 압박되었을 때의 셀(C)의 휨 양을 검지한다. 거리 센서(3)는 본 예에서는 접촉식으로 되어 있지만 비접촉식이어도 좋다.
즉, 검사 장치(1)는[본 예에서는 로드셀(2c)과] 거리 센서(3)에 의해 마이크로크랙 등의 결함이 발생되어 있지 않은 셀(C)을 손상시키지 않고 검사에 필요한 정도로 상기 셀(C)에 스트레스를 줄 수 있는 것이다.
4는 셀(C)의 코너부를 적재하는 지지부이다. 이 지지부(4)는 본 예에 있어서는 직사각형의 셀(C)의 대각 위치에 설치된 고정 지지부(4A)(도시 해칭부)와 추종 지지부(4B)로 이루어진다.
고정 지지부(4A)는 설치면에 대해서 고정이며, 스트레스 부여부(2)에 의한 셀(C)의 휨에 추종되지 않는다. 한편, 추종 지지부(4B)는 스트레스 부여부(2)로부터 설치면 방향으로 셀(C)을 압박했을 경우에는 이 휨에 추종해서 설치면 방향으로 가라앉도록 높이가 변경된다.
지지부(4)는 고정 지지부(4A)만으로 구성해도 개의치 않지만, 특히 추종 지지부(4B)를 설치하고 있음으로써 셀(C)을 휘기 쉽게 할 수 있음과 아울러 스트레스 부여부(2)에 의한 손상을 억제할 수 있다.
5는 본 예의 경우에는 셀(C)의 중앙 상방에 있어서 스트레스 부여부(2)와 교대로 이동하는 촬상부로서의 카메라이다. 즉, 카메라(5)는 스트레스 부여부(2)에 의한 스트레스가 주어지기 전과 후의 셀(C)을 촬상한다.
상기가 셀(C) 주변에 설치되는 검사 장치(1)의 구성이며, 도 2에는 검사 장치(1) 전체의 구성을 도시하고 있다. 도 2에 있어서 검사 장치(1)는 전체가 처리부로서의 제어부(11)에 의해 제어되도록 구성되어 있다.
제어부(11)에는 스트레스 부여부(2)와 접속되고, 상기 스트레스 부여부(2)에 있어서의 스트레스량, 즉 압박력 등을 산출하는 스트레스 산출부(11A)를 갖고 있다. 또한, 제어부(11)에는 거리 센서(3)와 접속하고, 상기한 바와 같이 셀(C)의 휨 양을 검지하는 스트레스 검지부(11B)를 갖고 있다.
또한, 제어부(11)에는 카메라(5)에 의해 촬상된 스트레스 부여 전과 스트레스 부여 후의 양쪽 화상 데이터를 대조 처리하고, 이들 화상 데이터의 차분 처리를 행하는 화상 처리부(11C)를 설치하고 있다. 또한, 제어부(11)에는 이 화상 처리부(11C)의 차분 처리의 결과에 의거하여 마이크로크랙의 유무를 판별하는 판별부(11D)를 갖고 있다. 또한, 11E는 스트레스 부여부(2)와 카메라(5)의 위치 스위칭을 제어하는 스위칭부이다.
상기 구성의 검사 장치(1)는 기본 구성예에 있어서는 다음과 같이 해서 마이크로크랙의 유무를 판별한다. 기본 구성예에서는 셀(C)을 가열해서 그 열량 분포의 정도로 판별하는 방법을 채용한다. 이 때 카메라(5)는 적외선 카메라를 사용하고, 화상 처리부(11C)에 의해 처리된 적외선 화상 데이터에 의거하여 마이크로크랙의 유무의 판별이 이루어진다.
기본 구성예에서는 셀(C)을 가열하고, 그 후에 카메라(5)에 의해 스트레스 부여 전의 적외선 화상 데이터(A)를 얻는다. 이어서, 스위칭부(11E)에 의해 카메라(5)를 셀(C)의 중앙 상방으로부터 퇴피시킴과 아울러 스트레스 부여부(2)를 셀(C)의 중앙 상방에 위치시킨다.
그리고, 스트레스 부여부(2)를 작동시켜 셀(C)을 손상시키지 않을 정도로 휘게 한다. 이 때, 셀(C)에 마이크로크랙이 존재하면 크랙은 성장한다. 한편, 셀(C)에 마이크로크랙이 존재하지 않으면 전혀 손상되지 않는다.
스트레스 부여부(2)에 의해 셀(C)을 압박해서 스트레스를 부여한 후 상기 스트레스 부여부(2)가 다시 퇴피함과 아울러 다시 카메라(5)가 셀(C)의 중앙 상방에 위치한다. 그리고, 카메라(5)에 의해 스트레스 부여 후의 적외선 화상 데이터(B)를 얻는다.
적외선 화상 데이터(A, B)는 화상 처리부(11C)에 입력되고, 여기서 화상 데이터가 대조되어 적외선 화상 데이터(B)와 적외선 화상 데이터(A)의 차분 처리를 행한다. 즉, 적외선 화상 데이터(B)에는 스트레스 부여에 의해 존재한다고 하면 성장한 마이크로크랙이 비치고 있다.
적외선 화상 데이터(B)로부터 스트레스 부여 전의 적외선 화상 데이터(A)를 뺌으로써 적외선 화상 데이터(A)에 원래 비치고 있었던 노이즈와 (존재할 경우의)마이크로크랙이 제거된다. 그러면 차분 화상 데이터에는, 존재한다고 했을 경우에는 성장한 마이크로크랙만이 남게 된다. 물론, 존재하지 않으면 차분 화상 데이터 상에는 아무것도 남지 않는다.
판별부(11D)는 이 차분 화상 데이터 상에 어떠한 상의 존재가 있다고 판단했을 경우, 지금 검사한 셀(C)에는 마이크로크랙이 존재하는 것으로서 불량품 판별을 행한다. 물론, 아무것도 존재하지 않는 경우에는 양품 판별을 행한다.
이와 같이, 본 발명의 검사 장치(1)이면, 예를 들어 노이즈가 많은 상황 하에 있어도 스트레스를 부여하고, 스트레스 부여 전후의 화상 데이터의 차분을 취하므로 매우 미세한 마이크로크랙의 유무를 확실히 행할 수 있다.
광발전 셀 검사 장치의 본체 구성예
도 4에 도시하는 광발전 셀 검사 장치의 본체 구성예는 상기 기본 구성예에 있어서의 셀(C)을 가열하는 검사 방법 대신에 특허문헌 1에 제안되어 있는 셀(C)에 전류를 도입해서 일렉트로루미네선스를 발생시키는 방법(이하, EL법이라고 함)에 의한 검사 방법으로 했다.
검사 장치(1)는 기본 구성예의 구성에 추가해서 암실(6), 프로브(7), 시트(8), 전원(9)을 구비하고 있다. 암실(6)은 셀(C)의 발광 상태를 카메라(5)에 의해 촬상하기 쉽게 하기 위한 것이다. 기본 구성예의 구성 중 제어부(11)를 제외하는 구성은 암실(6) 내에 설치된다.
프로브(7)는 셀(C)의 표면측에 접속됨과 아울러 전원(9)의 마이너스극에 접속된 쌍을 이루는 빗살 모양으로 된 것이다. 이 프로브(7)는 빗의 톱니 1개가 셀(C)의 전극 1개에 대응하고 있다.
시트(8)는 셀(C)의 이면측에 접촉하도록 설치됨과 아울러 전원(9)의 플러스극에 접속되어 있다. 또한, 시트(8)는 광발전 셀 검사 장치의 본체 구성예의 경우 고정 지지부(4A) 및 추종 지지부(4B)에 적재되어 있다. 따라서, 셀(C)은 이 시트(8) 상에 적재함으로써 지지부(4)에 지지되게 된다.
EL법에 의해 셀(C)을 발광시키는 원리 및 그 상세한 방법이나 조건은 여기에서는 할애되지만, 본 발명의 검사 장치(1)에 있어서의 광발전 셀 검사 장치의 본체 구성예에 있어서는 다음과 같이 해서 마이크로크랙의 유무를 검사한다.
암실(6) 내에 있어서 전원(9)으로부터 프로브(7) 및 시트(8)를 통해서 셀(C)에 전류를 도입한다. 그리고, 스트레스 부여 전에 발광시킨 셀(C)을 카메라(5)에 의해 촬상하고, 도 5(a)에 도시되는 바와 같은 화상 데이터(A)를 얻는다. 그 후 스트레스 부여부(2)에 의해 셀(C)에 스트레스를 부여한다. 또한, 이 스트레스 부여시에 있어서는 셀(C)은 발광시키고 있지 않아도 좋다.
스트레스 부여 후에 다시 같은 조건에서 셀(C)을 발광시켜서 카메라(5)에 의해 촬상하고, 도 5(b)에 도시되는 바와 같은 화상 데이터(B)를 얻는다. 그리고, 화상 데이터(A, B)는 화상 처리부(11C)에 입력되고, 여기서 화상 데이터가 대조되어 화상 데이터(B)와 화상 데이터(A)의 차분 처리를 행한다.
화상 데이터(B)로부터 스트레스 부여 전의 화상 데이터(A)를 뺌으로써 도 5(c)에 도시되는 바와 같은 화상 데이터가 얻어진다. 즉, 화상 데이터(A)에 원래 비치고 있었던 노이즈와 (존재할 경우의)마이크로크랙이 제거된다. 그러면, 차분 화상 데이터에는 존재한다고 했을 경우에는 성장한 마이크로크랙만이 남고 존재하지 않았을 경우에는 아무것도 남지 않는다.
판별부(11D)는 이 차분 화상 데이터 상에 어떠한 상의 존재가 있다고 판단했을 경우, 지금 검사한 셀(C)에는 마이크로크랙이 존재하는 것으로서 불량품 판별을 행한다. 물론, 아무것도 존재하지 않는 경우에는 양품 판별을 행한다. 이와 같이 광발전 셀 검사 장치의 본체 구성예의 검사 장치(1)로도 기본 구성예와 같은 작용 효과를 얻을 수 있다.
실시예
도 6에 도시하는 실시예는 상기 기본 구성예 및 광발전 셀 검사 장치의 본체 구성예에서는 동일 개소에서 스트레스 부여와 스트레스 부여 전후의 촬상을 행하고 있었던 구성 대신에 셀(C)을 상류로부터 하류로 반송하는 과정에서 이들을 행해서 최종적으로 양품과 불량품을 분별하도록 구성되어 있다.
즉, 실시예는 셀(C)을 간헐적으로 적재해서 순차적으로 상류로부터 하류로 반송하는 반송부(10)를 갖고 있다. 이 반송부(10)는 벨트 컨베이어로 이루어지고, 반송 경로의 도중 부위에 스트레스 부여부(2)가 설치되어 있다.
그리고, 반송부(10)는 스트레스 부여부(2)가 설치된 위치를 중심으로 상류측(10A)과 하류측(10B)으로 분단되어 있다. 상류측(10A)과 하류측(10B)의 서로 대향하는 단부에는 셀(C)을 지지부(4)[고정 지지부(4A) 및 추종 지지부(4B)]에 개별적으로 적재하는 적재 컨베이어(10a, 10b)가 각각 설치되어 있다.
또한, 상류측(10A)에 있어서의 스트레스 부여부(2)가 설치된 부위 직전과, 하류측(10B)에 있어서의 스트레스 부여부(2)가 설치된 부위 직후에는 각각 카메라(5)(제 1 촬상부)와 카메라(5)(제 2 촬상부)가 설치되어 있다.
또한, 하류측(10B)에 있어서 스트레스 부여 후의 셀(C)을 촬상하는 카메라(5)가 설치된 위치의 하류에는 불량품으로 판별된 셀(C)을 불량품 회수 경로에 보내기 위한 분별부(10C)가 설치되어 있다. 이 분별부(10C)는 도 2에 있어서의 판별부(11D)로부터의 신호에 의해 제어되고 있다. 또한, 실시예에서는 도 2에 도시하는 제어부(11)의 구성에 있어서의 스위칭부(11E)는 불필요하다.
실시예에 있어서는 기본 구성예와 마찬가지로 셀(C)을 가열하고, 이것을 적외선 촬상용 카메라(5)에 의해 촬상하는 것으로서, 이하 검사 순서를 설명한다. 또한 이 때, 상류측(10A)의 카메라(5) 직전(상류)에는 가열 수단을 설치하고 있지만 도시는 생략되어 있다.
순차적으로 보내지는 셀(C)은 상류측(10A)으로부터 순차적으로 가열되어 직후에 카메라(5)에 의해 촬상되고[적외선 화상 데이터(A)], 스트레스 부여부(2)의 위치에 보내지면 여기서 스트레스가 부여된다.
스트레스가 부여된 후 셀(C)은 하류측(10B)으로 이행해서 카메라(5)에 의해 촬상되고[적외선 화상 데이터(B)], 하류측(10B)의 반송 중에 적외선 화상 데이터(B 및 A)에 의거하여 마이크로크랙의 유무가 판별된다.
마이크로크랙이 있는 것으로 판단된 불량품의 셀(C)은 제어부(11)의 판별부(11D)의 제어에 의거하여 분별부(10C)의 작동에 의해 회수 경로에 분별된다. 한편, 마이크로크랙이 없는 것으로 판단된 양품의 셀(C)은 분별부(10C)가 작동하지 않으므로 그대로 하류측(10B)의 더욱 하류의 양품 회수부, 포장, 조립 등의 공정으로 반송된다.
상술한 실시예에 있어서는 기본 구성예의 작용 효과에 추가하여 카메라(5)와 스트레스 부여부(2)의 스위칭의 시간을 단축할 수 있으므로 단시간에 또한 대량의, 즉 효율적으로 마이크로크랙의 검사가 가능하게 된다. 따라서 셀(C), 나아가서는 광발전 모듈이나 패널의 저렴화에 기여할 수 있다. 또한, 검사 전의 광발전 셀과 검사 후의 광발전 셀을, 검사 위치로 이동시킬 때에 광발전 셀에 미끄러짐에 의한 손상을 발생시키는 일이 없고, 아울러 검사 위치로 이동시키거나 검사 위로부터 이동하는 시간을 단출할 수 있어서, 대량으로 효율 좋은 검사가 가능하게 된다.
(산업상 이용 가능성)
스트레스 부여 전후의 화상 데이터에 의해 마이크로크랙의 유무를 판별하므로 카메라에 의한 촬상 상황에 좌우되지 않고 검사가 가능하다. 따라서, 옥내외를 막론하고 여러가지 상황 하에서도 적용할 수 있다.
1 : (광발전 셀)검사 장치 2 : 스트레스 부여부
3 : 거리 센서 4 : 지지부
4A : 고정 지지부 4B : 추종 지지부
5 : 카메라 11C : 화상 처리부
11D : 판별부

Claims (6)

  1. 광발전 셀의 결함을 검출하는 광발전 셀 검사 장치에 있어서,
    광발전 셀에 스트레스를 주기 위한 스트레스 부여부와,
    상기 스트레스 부여부에 의한 스트레스가 주어지기 전과 후의 양자의 광발전 셀을 촬상하는 제 1 촬상부 및 제 2 촬상부와,
    이 촬상부에서 얻은 양자의 화상 데이터의 차분에 의거하여 결함의 유무를 판정하는 처리부와,
    상기 광발전 셀의 코너부에 설치되어 고정적으로 지지하는 고정 지지부와,
    상기 스트레스 부여부에 의한 광발전 셀의 스트레스 부여 방향에 추종해서 지지하는 추종 지지부와,
    상기 스트레스 부여부에 의한 광발전 셀에 대한 스트레스량을 검지하는 스트레스 검지부를 구비하고,
    또, 광발전 셀을 간헐적으로 적재해서 순차적으로 상류로부터 하류로 반송하는 반송부를 구비하며,
    이 반송부의 도중 부위에 상류측으로부터 순차적으로 제 1 촬상부, 스트레스 부여부, 제 2 촬상부를 설치함과 아울러,
    제 2 촬상부의 하류에 분별부를 설치한 것을 특징으로 하는 광발전 셀 검사 장치.
  2. 삭제
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