KR101284362B1 - Inspection jig and method of producing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 회로 기판 혹은 전자 부품 등의 전기적 검사에 사용되는 검사 지그에 관한 것으로서, 본 발명에 의하면, 검사 대상에 인접하여 배치되며, 프로브의 선단이 삽입되는 다수의 제1삽입공이 형성된 제1지지판과, 상기 제1지지판과 일정 간격 이격되어 나란하게 배치되며, 상기 프로브의 후단이 삽입되는 다수의 제2삽입공이 형성된 제2지지판과, 상기 프로브를 감싸도록, 상기 제1지지판와 제2지지판의 사이에 충전되는 충전제를 포함하며, 상기 제1지지판와 제2지지판은 상기 제1삽입공과 제2삽입공의 중심을 연결한 선이 상기 제1지지판의 표면과 직교하는 법선에 대해서 경사지도록 배치된 검사 지그가 제공된다.The present invention relates to an inspection jig used for electrical inspection of a circuit board or an electronic component, and, according to the present invention, is disposed adjacent to an inspection object and includes a first support plate having a plurality of first insertion holes into which a tip of a probe is inserted. And a second support plate spaced apart from the first support plate at a predetermined interval and formed with a plurality of second insertion holes into which a rear end of the probe is inserted, and between the first support plate and the second support plate to surround the probe. And a filler filled in the test jig, wherein the first support plate and the second support plate are arranged such that a line connecting the center of the first insertion hole and the second insertion hole is inclined with respect to a normal perpendicular to the surface of the first support plate. Is provided.

Description

검사 지그 및 그 제조방법{INSPECTION JIG AND METHOD OF PRODUCING THE SAME}Inspection jig and its manufacturing method {INSPECTION JIG AND METHOD OF PRODUCING THE SAME}

본 발명은 회로 기판 혹은 전자 부품 등의 전기적 검사에 사용되는 검사 지그에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 검사 대상에 형성된 검사용 단자에 전기적으로 접촉하는 복수의 프로브와 이를 지지하는 지지체를 포함하는 검사 지그 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to an inspection jig used for electrical inspection of a circuit board or an electronic component, and more particularly, an inspection jig including a plurality of probes electrically contacting an inspection terminal formed on an inspection object and a support supporting the same. And to a method for producing the same.

일반적으로, 회로 기판의 단락, 단선 등의 이상을 발견하기 위한 전기적 검사는, 검사 대상에 형성된 검사용 단자에 전기적으로 접촉하는 복수의 프로브(probe)를 구비한 검사 지그가 사용된다. 이러한 검사 지그는 검사 대상에 형성된 검사용 단자에 전기적으로 접촉하는 복수의 프로브와 프로브를 지지하는 지지체를 구비한다. In general, an inspection jig having a plurality of probes in electrical contact with an inspection terminal formed on an inspection object is used for an electrical inspection for detecting an abnormality such as a short circuit or disconnection of a circuit board. The inspection jig includes a plurality of probes electrically contacting the inspection terminals formed on the inspection object and a support for supporting the probes.

최근, 검사 대상에 형성된 검사용 단자가 다양화되고 있다. 예를 들면, 직사각형과 같은 길고 가는 단자가 형성된 검사 대상이 있다. 또한, 최근에 검사 대상으로 되는 회로 기판의 배선 패턴의 복잡화 또는 집적회로의 고집적화 등에 따라서, 길고 가는 단자의 짧은 쪽 방향의 폭이 매우 좁아지고 있다. 예를 들면, 짧은 쪽 방향의 폭이 20㎛∼30㎛인 매우 좁은 폭의 단자가 검사 대상에 형성되는 경우도 있다.In recent years, inspection terminals formed on inspection objects have been diversified. For example, there is an inspection object in which a long thin terminal such as a rectangle is formed. Moreover, in recent years, the width | variety of the shorter direction of a long thin terminal has become very narrow according to the complexity of the wiring pattern of the circuit board used as a test object, high integration of an integrated circuit, etc. For example, the terminal of the very narrow width | variety whose width | variety of a short direction is 20 micrometers-30 micrometers may be formed in a test object.

일반적인 프로브 지지체에 프로브를 삽입하기 위해서 형성되어 있는 삽입공은 프로브 지지체의 표면에 대해서 수직 방향으로 관통하도록 형성되므로, 삽입되어 있는 프로브도 측정대상 단자와 수직으로 접촉한다. 따라서 프로브가 단자의 표면으로부터 불규칙한 방향으로 미끄러지면서 단자와 접촉하게 된다. 특히, 상술한 바와 같이 검사 대상의 단자가 길고 가는 모양으로서 단자 사이의 간격이 좁은 경우에는 더욱 문제가 된다. 경우에 따라서는 인접한 프로브가 서로 가까워지는 방향으로 미끄러지면서 동일한 단자에 접촉함으로써 회로가 단락되어 정확한 검사가 이루어지지 않는다.Since the insertion hole formed to insert the probe in the general probe support is formed to penetrate in the vertical direction with respect to the surface of the probe support, the inserted probe also contacts the terminal to be measured vertically. Thus, the probe comes into contact with the terminal by sliding in an irregular direction from the surface of the terminal. In particular, as described above, the terminal to be inspected is long and thin, which is more problematic when the interval between the terminals is narrow. In some cases, adjacent probes slide in close proximity to each other and contact the same terminals, causing short circuits and inaccurate inspection.

이러한 문제점을 해결하기 위한 시도로서, 공개특허 제2006-111248호에는 검사 대상을 향하는 프로브 안내 방향을 갖는 선단측 삽입공이 형성된 선단측 지지체와, 선단측 지지체에 대하여 소정의 틈을 사이에 두고 배치되고, 후단측 삽입공이 형성되어 있으며, 이 후단측 삽입공이 선단측 삽입공의 프로브 안내 방향에 대하여 긴 쪽 방향에 개략적으로 따라 경사진 프로브 안내 방향을 갖는 후단측 지지체와, 단자에 접촉하는 선단이 검사 대상 측에서 출몰할 수 있도록 선단측 삽입공에 삽입된 선단측 부분 및 후단측 삽입공에 삽입된 후단측 부분을 갖는 프로브를 구비하고 있으며, 프로브의 선단측 부분은 후단측 부분에 대하여 후단측 삽입공의 프로브 안내 방향에 경사지는 측에 어긋난 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 지그가 개시되어 있다.In an attempt to solve such a problem, Patent Publication No. 2006-111248 discloses a distal end support having a distal end insertion hole having a probe guide direction toward an inspection object, and is disposed with a predetermined gap therebetween. The rear end insertion hole is formed, the rear end insertion hole having the probe guide direction inclined along the long direction with respect to the probe guide direction of the front end insertion hole, and the tip contacting the terminal. A probe having a proximal end portion inserted into the proximal end insertion hole and a proximal end portion inserted into the proximal end insertion hole to be protruded from the target side, and the proximal end portion of the probe is inserted into the proximal end with respect to the proximal end portion. An inspection jig is disclosed, which is disposed at a position shifted from the side inclined to the probe guide direction of the ball. The.

또한, 공개특허 제2010-0124929호에는 다수의 세라믹 그린 시트를 적층 및 소결하여 획득되며, 프로브를 삽입할 수 있는 삽입공을 구비한 프로브 지지체로서, 상기 삽입공은 중심선이 상기 지지체의 표면과 직교하는 법선에 대해서 경사진 것을 특징으로 하는 프로브 지지체가 개시되어 있다.In addition, Korean Patent Publication No. 2010-0124929 discloses a probe support having a plurality of ceramic green sheets laminated and sintered and having an insertion hole into which a probe can be inserted, wherein the insertion hole has a centerline perpendicular to the surface of the support. A probe support characterized by being inclined with respect to the normal to be disclosed.

공개특허 제2006-111248호에 개시된 검사 지그(1)는 도 1에 도시된 바와 같이 프로브(5a, 5b)가 경사지도록 하기 위해서 선단측 지지체(2)와 후단측 지지체(3)를 중심이 어긋나는 관통공이 형성된 여러 개의 지지판(2a, 2b, 2c, 3a, 3b, 3c)을 이용하고 있다. 그러나 이러한 지지판은 소재 자체도 고가이며, 수많은 관통공을 형성하기 위한 가공비용이 매우 비싸다. 또한, 관통공을 형성하는 과정에서 불량이 발생하면 전체 지지판을 사용할 수 없다는 문제가 있었다. The inspection jig 1 disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-111248 has a center-shifted front end support 2 and rear end support 3 so as to tilt the probes 5a and 5b as shown in FIG. 1. Several support plates 2a, 2b, 2c, 3a, 3b and 3c having through holes formed therein are used. However, such a support plate is expensive, and the processing cost for forming a large number of through holes is very expensive. In addition, if a defect occurs in the process of forming the through hole there was a problem that the entire support plate can not be used.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 개선하기 위해서 안출된 것으로서, 최소한의 지지판 및 충전제를 이용하여, 검사 대상 단자가 길고 가는 모양으로 형성되며, 단자 사이의 간격이 매우 좁은 경우에도, 프로브를 확실하게 검사 대상의 단자에 접촉시킬 수 있는 전혀 새로운 검사 지그 및 그 생산방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to improve the above-mentioned conventional problems, using a minimum support plate and a filler, the terminal to be inspected is formed in a long and thin shape, even if the distance between the terminals is very narrow, the probe is surely It is an object of the present invention to provide an entirely new inspection jig and a method of producing the same that can be brought into contact with a terminal to be inspected.

본 발명에 의하면, 검사 대상에 인접하여 배치되며, 프로브의 선단이 삽입되는 다수의 제1삽입공이 형성된 제1지지판과, 상기 제1지지판과 일정 간격 이격되어 나란하게 배치되며, 상기 프로브의 후단이 삽입되는 다수의 제2삽입공이 형성된 제2지지판과, 상기 프로브를 지지하도록, 상기 제1지지판와 제2지지판의 사이에 충전되는 충전제를 포함하며, 상기 제1지지판와 제2지지판은 상기 제1삽입공과 제2삽입공의 중심을 연결한 선이 상기 제1지지판의 표면과 직교하는 법선에 대해서 경사지도록 배치된 검사 지그가 제공된다.According to the present invention, the first support plate is arranged adjacent to the inspection object, the first support plate formed with a plurality of first insertion holes into which the tip of the probe is inserted, and are arranged side by side with a predetermined distance from the first support plate, the rear end of the probe A second support plate having a plurality of second insertion holes formed therein, and a filler filled between the first support plate and the second support plate so as to support the probe, wherein the first support plate and the second support plate are connected to the first insertion hole. An inspection jig is provided in which a line connecting the center of the second insertion hole is inclined with respect to a normal perpendicular to the surface of the first supporting plate.

또한, 다수의 삽입공이 형성된 제1지지판과 제2지지판을 일정한 간격으로 이격된 상태로 나란하게 배치하는 단계와, 상기 제1지지판의 삽입공에 상기 프로브의 선단을 삽입하고, 상기 제2지지판의 삽입공에 상기 프로브의 후단을 삽입하는 단계와, 상기 제1지지판 또는 상기 제2지지판을 수평 이동하여, 상기 프로브가 상기 제1지지판 표면과 직교하는 법선에 대해서 경사지도록 하는 단계와, 케이스를 이용하여 상기 제1지지판과 상기 제2지지판 사이의 공간을 둘러싸는 단계와, 상기 케이스의 내면, 상기 제1지지판 및 상기 제2지지판에 의해서 둘러싸인 공간에 충전제를 주입하는 단계를 포함하는 검사 지그의 제조방법이 제공된다.The method may further include arranging the first support plate and the second support plate, each having a plurality of insertion holes, side by side at regular intervals, inserting the tip of the probe into the insertion hole of the first support plate, and Inserting a rear end of the probe into an insertion hole, horizontally moving the first support plate or the second support plate to incline the probe with respect to a normal perpendicular to the surface of the first support plate, and using a case Surrounding the space between the first support plate and the second support plate, and injecting filler into the space surrounded by the inner surface of the case, the first support plate and the second support plate. A method is provided.

본 발명에 의해서 제조된 검사 지그는 검사 대상과 접촉하는 프로브가 삽입되는 삽입공이 경사져 있기 때문에, 프로브가 단자와 접촉하여 압력이 가해졌을 때 프로브가 휘는 방향을 제어할 수 있다는 장점이 있다. 따라서 검사 대상의 단자가 길고 가는 모양인 경우에는 프로브가 단자의 짧은 방향을 따라서 휘지않고 단자의 긴 쪽 방향에 따라 휘면서 접촉하도록 하여, 프로브를 확실하게 검사 대상의 단자에 접촉시켜, 검사 대상의 적절한 검사를 행할 수 있다.The inspection jig manufactured by the present invention has an advantage that the direction in which the probe is bent when the probe is in contact with the terminal is exerted because the insertion hole into which the probe contacting the inspection object is inserted is inclined. Therefore, when the terminal to be inspected is long and thin, the probe is not bent along the short direction of the terminal but bent along the long direction of the terminal so that the probe is surely brought into contact with the terminal to be inspected. Appropriate inspection can be performed.

또한, 최소한의 지지판과 충전제를 통해서 프로브를 안정적으로 지지할 수 있으므로, 제조비용을 획기적으로 절감할 수 있다는 장점이 있다.In addition, since the probe can be stably supported through the minimum support plate and the filler, there is an advantage that the manufacturing cost can be drastically reduced.

도 1은 종래의 검사 지그의 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 검사 지그의 일실시예의 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 검사 지그의 단면도이다.
도 4는 검사 대상을 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 2에 도시된 검사 지그를 이용하여 검사 대상을 검사할 때의 프로브의 움직임을 설명하기 위한 단면도이다.
1 is a cross-sectional view of a conventional inspection jig.
2 is a plan view of one embodiment of an inspection jig according to the present invention.
3 is a cross-sectional view of the inspection jig shown in FIG.
4 is a plan view of the inspection object.
FIG. 5 is a cross-sectional view for describing a movement of a probe when inspecting an inspection target using the inspection jig illustrated in FIG. 2.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 일실시예에 대해서 상세히 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention.

다음에 소개되는 실시예는 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.The following embodiments are provided by way of example so that those skilled in the art can fully understand the spirit of the present invention. Therefore, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be embodied in other forms. In the drawings, the width, length, thickness, and the like of the components may be exaggerated for convenience. Like numbers refer to like elements throughout.

도 2는 본 발명에 따른 검사 지그의 일실시예의 평면도이며, 도 3은 도 2에 도시된 검사 지그의 단면도이다. 도 2와 3을 참고하면, 본 발명에 따른 검사 지그의 일실시예는 제1지지판(10), 제2지지판(20), 프로브(30), 케이스(40) 및 충전제(50)를 포함한다. 2 is a plan view of one embodiment of an inspection jig according to the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view of the inspection jig shown in FIG. 2 and 3, one embodiment of the inspection jig according to the present invention includes a first support plate 10, a second support plate 20, a probe 30, a case 40, and a filler 50. .

지지판(10, 20)에 형성된 삽입공(11, 21)에는 프로브(30)가 삽입되어 있다. 프로브(30)의 선단(31)은 제1지지판(10)을 관통한 후 검사 대상의 단자에 접하며, 프로브(30)의 후단(32)은 제2지지판(20)을 관통한 후 측정 장치의 단자에 접한다. 프로브(30)의 중단(33)은 충전제(50)에 의해서 안정적으로 지지된다. The probe 30 is inserted into the insertion holes 11 and 21 formed in the support plates 10 and 20. The tip 31 of the probe 30 passes through the first support plate 10 and contacts the terminal to be inspected, and the rear end 32 of the probe 30 passes through the second support plate 20 and then the Contact the terminal. The suspension 33 of the probe 30 is stably supported by the filler 50.

제1지지판(10)의 중심부에는 다수의 제1삽입공(11)이 형성되어 있다. 제1삽입공(11)은 프로브(30)의 선단(31)이 관통한다. A plurality of first insertion holes 11 are formed in the center of the first support plate 10. The front end 31 of the probe 30 penetrates through the first insertion hole 11.

제1삽입공(11)의 둘레에는 지지 포스트(22)를 삽입하기 위한 결합 홈(12, 13)들이 형성되어 있다. 결합 홈(12, 13)은 제1지지판(10)의 모서리 부분에 배치되는 4개의 홈(12)으로 이루어진 제1결합 홈(13)과 제1결합 홈(13)에서 각각 우측으로 일정 간격 떨어진 4개의 홈(13)으로 이루어진 제2결합 홈(12)으로 이루어진다. Engaging grooves 12 and 13 for inserting the support posts 22 are formed around the first insertion hole 11. The coupling grooves 12 and 13 are spaced apart to the right from the first coupling groove 13 and the first coupling groove 13 each consisting of four grooves 12 disposed at the corner portions of the first support plate 10. The second coupling groove 12 is composed of four grooves 13.

제1지지판(10)은 강도가 높고, 가공성이 우수한 엔지니어링 플라스틱으로 이루어진다. 예를 들면, 폴리아미드, 폴리아세탈, ABS, 폴리카보닛, 염화 비닐 등이 있다. The first support plate 10 is made of engineering plastics having high strength and excellent workability. For example, polyamide, polyacetal, ABS, polycarbonate, vinyl chloride and the like.

제2지지판(20)은 제1지지판(10)로부터 일정한 간격 이격되어 나란하게 배치된다. 제2지지판(20)의 제2삽입공(21)을 관통한 프로브(30)의 후단(32)은 측정 장치의 단자에 접한다. 제2지지판(20)에는 일단은 제2지지판(20)에 결합하며, 타단은 제1지지판(10) 방향으로 연장된 4개의 지지 포스트(22)가 결합된다. The second support plate 20 is arranged side by side spaced apart from the first support plate 10 by a predetermined interval. The rear end 32 of the probe 30 penetrating the second insertion hole 21 of the second support plate 20 is in contact with the terminal of the measuring device. One end of the second support plate 20 is coupled to the second support plate 20, and the other end thereof has four support posts 22 extending in the direction of the first support plate 10.

제1지지판(10)과 제2지지판(20)은 제1삽입공(11)과 제2삽입공(21)의 중심을 연결한 선이 제1지지판(10) 및 제2지지판(20)의 표면과 직교하는 법선에 대해서 경사지도록 배치된다. 즉, 동일한 프로브(30)가 삽입되는 제1삽입공(11)과 제2삽입공(21)의 중심축이 서로 어긋나도록, 제1지지판(10)이 제2지지판(20)에 대해서 도면상 좌측으로 수평 이동한 상태로 배치된다. The first support plate 10 and the second support plate 20 have a line connecting the center of the first insertion hole 11 and the second insertion hole 21 to each other of the first support plate 10 and the second support plate 20. It is arranged to be inclined with respect to a normal perpendicular to the surface. That is, the first support plate 10 is in relation to the second support plate 20 so that the central axes of the first insertion hole 11 and the second insertion hole 21 into which the same probe 30 is inserted are shifted from each other. It is arranged to move horizontally to the left.

제2지지판(20)의 지지 포스트(22)가 제1지지판(10)의 제1결합 홈(13)과 결합할 때에는 제1삽입공(11)과 제2삽입공(21)의 중심을 연결한 선이 제1지지판(10) 및 제2지지판(20)의 표면과 직교하는 법선과 나란하며, 제2지지판(20)의 지지 포스트(22)가 제1지지판(10)의 제2결합 홈(12)과 결합할 때에는 제1삽입공(11)과 제2삽입공(21)의 중심을 연결한 선이 제1지지판(10) 및 제2지지판(20)의 표면과 직교하는 법선에 대해서 경사진다. 제1결합 홈(13)은 제1지지판(10)과 제2지지판(20)에 프로브(30)를 삽입할 때 사용하며, 프로브(30)가 삽입된 후에는 지지 포스트(22)를 제2결합 홈(12)에 삽입함으로써, 제1삽입공(11)과 제2삽입공(21)의 중심을 연결한 선이 제1지지판(10) 및 제2지지판(20)의 표면과 직교하는 법선에 대해서 경사지도록 한다. When the support post 22 of the second support plate 20 is engaged with the first coupling groove 13 of the first support plate 10, the center of the first insertion hole 11 and the second insertion hole 21 is connected. One line is parallel with a normal line orthogonal to the surfaces of the first support plate 10 and the second support plate 20, and the support posts 22 of the second support plate 20 have a second coupling groove of the first support plate 10. When combined with (12), with respect to the normal line in which the line connecting the centers of the first insertion hole 11 and the second insertion hole 21 is perpendicular to the surfaces of the first support plate 10 and the second support plate 20. Incline The first coupling groove 13 is used when the probe 30 is inserted into the first support plate 10 and the second support plate 20. After the probe 30 is inserted, the support post 22 may be inserted into the second support plate 22. By inserting into the coupling groove 12, the normal line which the line connecting the center of the 1st insertion hole 11 and the 2nd insertion hole 21 orthogonal to the surface of the 1st support plate 10 and the 2nd support plate 20 is normal. Be inclined with respect to

검사 대상(5)과 접촉하는 프로브(30)가 삽입되는 제1삽입공(11)과 제2삽입공(21)의 중심을 연결한 선이 경사져 있기 때문에, 삽입된 프로브(30)는 검사 대상(5)의 단자(6)와 수직으로 접하는 것이 아니라 일정한 각도로 기울어진 상태로 접한다. 따라서 압력이 가해졌을 때 기울어진 상태로 자연스럽게 휘면서 검사 대상(5)의 단자(6)와 접촉한다. Since the line connecting the center of the first insertion hole 11 and the second insertion hole 21 into which the probe 30 in contact with the inspection object 5 is inserted is inclined, the inserted probe 30 is the inspection object. It is not in contact with the terminal 6 of (5) perpendicularly, but in an inclined state at an angle. Therefore, when pressure is applied, it bends in a naturally inclined state and contacts the terminal 6 of the inspection object 5.

도 4는 검사 대상을 나타내는 평면도이며, 도 5는 도 2에 도시된 검사 지그를 이용하여 검사 대상을 검사할 때의 프로브의 움직임을 설명하기 위한 단면도이다. 도 5의 (a)는 검사 대상(5) 단자(6)의 긴 쪽을 바라본 도면이며, (b)는 짧은 쪽을 바라본 도면이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 검사 대상(5)의 단자(6)가 길고 가는 모양인 경우에는 제1삽입공(11)과 제2삽입공(21)의 중심을 연결한 선이 검사 대상 단자(6)의 긴 쪽 방향으로 경사지도록 하면, 프로브(30)가 단자(6)의 짧은 방향을 따라서 휘지않고 단자(6)의 긴 쪽 방향에 따라 휘면서 접촉된다. 따라서 프로브(30)를 확실하게 검사 대상(5)의 단자(6)에 접촉시킬 수 있다.4 is a plan view illustrating an inspection object, and FIG. 5 is a cross-sectional view for describing a movement of a probe when an inspection object is inspected using the inspection jig illustrated in FIG. 2. FIG. 5A is a view of the long side of the terminal 6 of the inspection object 5, and (b) is a view of the short side. As shown in FIG. 5, when the terminal 6 of the inspection object 5 has a long and thin shape, a line connecting the center of the first insertion hole 11 and the second insertion hole 21 is a terminal to be inspected. When inclined in the long direction of (6), the probe 30 contacts while bending along the long direction of the terminal 6 without bending along the short direction of the terminal 6. Therefore, the probe 30 can be reliably brought into contact with the terminal 6 of the test object 5.

프로브(30)의 선단(31)과 후단(32)은 각각 제1지지판(10)과 제2지지판(20)에 삽입되어 지지되며, 프로브(30)의 중단(33)은 제1지지판(10)와 제2지지판(20) 사이를 충전하고 있는 충전제(50)에 의해서 지지된다. 충전제(50)는 다수의 지지판을 사용하지 않고도 프로브(30)를 경사진 상태로 지지하는 동시에 인접한 프로브(30)들이 서로 접하여 단락되는 것을 방지하는 역할을 한다.The front end 31 and the rear end 32 of the probe 30 are inserted into and supported by the first support plate 10 and the second support plate 20, respectively, and the stop 33 of the probe 30 is the first support plate 10. ) And the second support plate 20 is supported by the filler 50 filling. The filler 50 supports the probe 30 in an inclined state without using a plurality of support plates, and at the same time, serves to prevent adjacent probes 30 from shorting in contact with each other.

충전제(50)로는 프로브(30)가, 측정시 프로브(30)에 가해지는 압력에 의해서, 변형되는 것을 제한하지 않으면서, 프로브(30)들을 지지할 수 있으며, 절연성이 있는 것이면 특별하게 제한하지 않는다. 충전제(50)로는 삽입공(11, 21)을 통해서 유출되지 않을 정도로 점도가 높은 액상 물질을 사용할 수 있다. 예를 들어, 점도가 높은 액상 실리콘 오일을 사용할 수 있다. 단단한 고무재질인 경우에는 측정시 프로브(30)가 변형되는 것을 방해하기 때문에 사용할 수 없다. The filler 50 may support the probes 30 without limiting the deformation of the probe 30 by the pressure exerted on the probe 30 during measurement, and is not particularly limited so long as it is insulating. Do not. As the filler 50, a liquid substance having a high viscosity such that it does not flow out through the insertion holes 11 and 21 may be used. For example, high viscosity liquid silicone oil can be used. In the case of a hard rubber material, it cannot be used because it prevents the probe 30 from being deformed during measurement.

케이스(40)는 제1지지판(10)의 하면과 제2지지판(20)의 상면 사이의 공간을 감싸는 둘러싼다. 케이스(40)는 단면의 형상이 ㄷ인 두 개의 조각(41, 42)으로 이루어져 있다. 케이스(40)는 내부의 충전제(50), 특히, 액상의 충전제(50)가 외부로 흘러나오는 것을 방지하는 역할을 한다.The case 40 surrounds the space between the lower surface of the first support plate 10 and the upper surface of the second support plate 20. The case 40 is composed of two pieces 41 and 42 having a cross-sectional shape c. The case 40 serves to prevent the internal filler 50, in particular, the liquid filler 50 from flowing out.

검사 지그는 다음과 같은 방법으로 제조된다. 우선, 엔지니어닝 플라스틱으로 이루어진 제1지지판(10)과 제2지지판(20)에 삽입공(11, 21)과 결합 홈(12, 13)을 형성한다. 삽입공(11, 21)과 결합 홈(12, 13)은 마이크로드릴을 이용하여 형성하거나, 레이저를 이용하여 가공할 수 있다.Inspection jig is manufactured in the following way. First, insertion holes 11 and 21 and coupling grooves 12 and 13 are formed in the first support plate 10 and the second support plate 20 made of engineered plastic. The insertion holes 11 and 21 and the coupling grooves 12 and 13 may be formed using a microdrill or may be processed using a laser.

다음으로, 제2지지판(20)에 지지 포스트(22)를 결합한 후 지지 포스트(22)를 제1지지판(10)의 제1결합 홈(13)에 결합하여, 제1지지판(10)과 제2지지판(20)을 나란하게 배치한다. 이때, 제1삽입공(11)과 제2삽입공(12)의 중심을 연결한 선은 제1지지판(10) 및 제2지지판(20)의 표면과 직교하는 법선과 나란하다.Next, after the support posts 22 are coupled to the second support plate 20, the support posts 22 are coupled to the first coupling grooves 13 of the first support plate 10, whereby the first support plate 10 and the first support plate 10 are formed. 2 Place the support plate 20 side by side. In this case, a line connecting the centers of the first insertion hole 11 and the second insertion hole 12 is parallel with a normal perpendicular to the surfaces of the first support plate 10 and the second support plate 20.

다음으로, 프로브(30)의 선단(31)을 제1지지판(10)의 삽입공(11)에 삽입하고, 프로브(30)의 후단(32)을 제2지지판(20)의 삽입공(21)에 삽입한다.Next, the tip 31 of the probe 30 is inserted into the insertion hole 11 of the first support plate 10, and the rear end 32 of the probe 30 is inserted into the insertion hole 21 of the second support plate 20. ).

다음으로, 지지 포스트(22)를 제1지지판(10)의 제2결합 홈(12)에 결합한다. 이때, 제1지지판(10)은 제2지지판(20)에 대해 수평이동을 하게 되므로, 제1삽입공(11)과 제2삽입공(21)의 중심을 연결한 선은 제1지지판(10) 및 제2지지판(20)의 표면과 직교하는 법선에 대해서 경사진다. Next, the support post 22 is coupled to the second coupling groove 12 of the first support plate 10. At this time, since the first support plate 10 moves horizontally with respect to the second support plate 20, the line connecting the center of the first insertion hole 11 and the second insertion hole 21 is the first support plate 10. ) And a normal perpendicular to the surface of the second support plate 20.

다음으로, 단면이 ㄷ자 모양인 두 개의 케이스 부품(41, 42)을 결합하여, 제1지지판(10)의 하면과 제2지지판(20)의 상면 사이의 공간을 둘러싼다. Next, two case parts 41 and 42 having a U-shaped cross section are combined to enclose the space between the lower surface of the first support plate 10 and the upper surface of the second support plate 20.

마지막으로, 케이스(40)의 내면, 제1지지판(10)의 하면 및 제2지지판(20)의 상면에 의해서 둘러싸인 공간에 액상 실리콘 등 충전제(50)를 주입하여 제1지지판(10)의 하면 및 제2지지판(20)의 상면 사이의 공간을 충전한다. 제1지지판(10)의 제2결합 홈(12)이 개방되어 있으므로 제2결합 홈(12)을 통해서 충전제(50)를 주입할 수 있다. Finally, a filler 50 such as liquid silicone is injected into the space surrounded by the inner surface of the case 40, the lower surface of the first support plate 10, and the upper surface of the second support plate 20, thereby lowering the first support plate 10. And a space between the upper surface of the second support plate 20. Since the second coupling groove 12 of the first support plate 10 is open, the filler 50 may be injected through the second coupling groove 12.

삭제delete

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the scope of the invention as defined by the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention.

10: 제1지지판 11: 제1삽입공
12: 제1결합 홈 13: 제2결합 홈
20: 제2지지판 21: 제2삽입공
22: 지지 포스트 30: 프로브
31: 프로브 선단 32: 프로브 후단
33: 프로브 중단 40: 케이스
50: 충전제
10: first support plate 11: first insertion hole
12: first coupling groove 13: second coupling groove
20: second support plate 21: second insertion hole
22: support post 30: probe
31: Probe tip 32: Probe back
33: Stop probe 40: Case
50: filler

Claims (5)

검사 대상에 인접하여 배치되며, 프로브의 선단이 삽입되는 다수의 제1삽입공이 형성된 제1지지판과,
상기 제1지지판과 일정 간격 이격되어 나란하게 배치되며, 상기 프로브의 후단이 삽입되는 다수의 제2삽입공이 형성된 제2지지판과,
상기 프로브를 지지하도록, 상기 제1지지판와 제2지지판의 사이에 충전되는 액상 충전제와,
상기 액상 충전제가 외부로 흘러나오는 것을 방지하도록 상기 제1지지판과 상기 제2지지판 사이의 공간을 둘러싸는 케이스를 포함하며,
상기 제1지지판와 제2지지판은 상기 제1삽입공과 제2삽입공의 중심을 연결한 선이 상기 제1지지판의 표면과 직교하는 법선에 대해서 경사지도록 배치된 검사 지그.
A first support plate disposed adjacent to the inspection object and having a plurality of first insertion holes into which the tip of the probe is inserted;
A second support plate disposed to be parallel to the first support plate at a predetermined interval, and having a plurality of second insertion holes into which a rear end of the probe is inserted;
A liquid filler filled between the first support plate and the second support plate to support the probe;
A case surrounding a space between the first support plate and the second support plate to prevent the liquid filler from flowing out,
And the first supporting plate and the second supporting plate are arranged such that a line connecting the center of the first insertion hole and the second insertion hole is inclined with respect to a normal perpendicular to the surface of the first support plate.
삭제delete 삭제delete 다수의 삽입공이 형성된 제1지지판과 제2지지판을 일정한 간격으로 이격된 상태로 나란하게 배치하는 단계와,
상기 제1지지판의 삽입공에 프로브의 선단을 삽입하고, 상기 제2지지판의 삽입공에 상기 프로브의 후단을 삽입하는 단계와,
상기 제1지지판 또는 상기 제2지지판을 수평 이동하여, 상기 프로브가 상기 제1지지판 표면과 직교하는 법선에 대해서 경사지도록 하는 단계와,
케이스를 이용하여 상기 제1지지판과 상기 제2지지판 사이의 공간을 둘러싸는 단계와,
상기 케이스의 내면, 상기 제1지지판 및 상기 제2지지판에 의해서 둘러싸인 공간에 액상 충전제를 주입하는 단계를 포함하는 검사 지그의 제조방법.
Arranging the first support plate and the second support plate in which a plurality of insertion holes are formed side by side at a predetermined interval and spaced apart;
Inserting the front end of the probe into the insertion hole of the first support plate and inserting the rear end of the probe into the insertion hole of the second support plate;
Horizontally moving the first support plate or the second support plate such that the probe is inclined with respect to a normal perpendicular to the surface of the first support plate;
Surrounding the space between the first support plate and the second support plate by using a case;
Injecting a liquid filler into the inner surface of the case, the space surrounded by the first support plate and the second support plate.
삭제delete
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