KR101278249B1 - 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치 및 방법 - Google Patents

유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 레이저 광선을 유리기판에 넓은 폭으로 확대조사하여 투과한 레이저 광선을 빔 스플리터로 반으로 분할하여, 나누어진 광선의 양에 따라서 결함유무을 검출하거나, 렌즈 어레이를 사용하여 변환값의 유무에 따라 결함 유무를 검출하는 장치에 관한 것으로, 액정디스플레이 유리기판, 유리기판의 에지(edge)부 상면과 각을 이루며 구비되고, 에지(edge)부에 레이저를 조사하는 광유닛, 유리기판과 상기 광유닛 사이에 구비되어, 레이저 광선을 넓은 폭으로 확대하는 제 1 콜리메이터(collimator), 제 1 콜리메이터(collimator)(201)와 유리기판 사이에 구비되어, 광유닛에서 조사되는 레이저 광선을 발산시키는 원기둥렌즈(cylindrical lens), 유리기판의 에지(edge)부 하면에 상기 광유닛에서 조사된 레이저와 동일한 광축상에 위치하며, 유리기판에서 투과되는 레이저 광선을 모으는 제 2 콜리메이터, 제 2 콜리메이터(collimator) 하부에 구비되고 광유닛에서 조사된 레이저와 동일한 광축상에 위치하며, 제 1 콜리메이터(collimator)부터 유리기판과 제 2 콜리메이터(collimator)를 투과한 상기 레이저 광선을 분할하는 빔 스플리터(beam splitter), 제 1 콜리메이터(collimator)부터 유리기판과 제 2 콜리메이터(collimator)를 투과하고 빔 스플리터(beam splitter)에 의해 분할된 레이저 광선의 투과량을 측정하기 위한 제 1 광센서, 제 1 광센서에서 측정된 상기 투과량을 증폭하는 제 1 증폭기, 제 1 증폭기를 통해 증폭된 아날로그 전기 신호를 디지털 값으로 변환해주는 제 1 A/D 변환기, 제 1 콜리메이터(collimator)부터 유리기판과 제 2 콜리메이터(collimator)를 투과하고 빔 스플리터(beam splitter)에 의해 분할되어 반사된 레이저 광선의 투과량을 측정하기 위한 제 2 광센서, 제 2 광센서에서 측정된 투과량을 증폭하는 제 2 증폭서, 제 2 증폭기를 통해 증폭된 아날로그 전기 신호를 디지털 값으로 변환해주는 제 2 A/D 변환기, 제 1 A/D 변환기(307)와 제 2 A/D 변환기(308) 값의 차이를 통해 결함 유무를 검출하는 제어부(313)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 유리기판 에지부의 결함 유무를 검출을 위한 방법은, 유리기판을 준비하는 단계, 광유닛에서 레이저 광선을 조사하는 단계, 조사된 레이저 광선을 제 1 광센서, 제 2 광센서로 감지하는 단계, 감지된 레이저 광선이 제 1 증폭기, 제 2 증폭기를 통해 증폭되는 단계, 증폭된 아날로그 전기신호를 제 1 A/D 변환기, 제 2 A/D 변환기를 통해 디지털 값으로 변환하는 단계, 제 1 A/D 변환기, 제 2 A/D 변환기를 통해 디지털 값으로 변환된 값을 비교하여 결함 유무를 검출하는 단계를 거쳐 이루어지는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 방법이다.

Description

유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치 및 방법{Apparatus for Detecting a Defect in Edge of Glass Plate and the Method Thereof}
본 발명은 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이의 유리기판 공정에서 발생하는 결함검출에 대한 오류를 없애기 위한 것으로, 레이저 빛을 이용하여 광학적으로 정확하게 검사할 수 있는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명은 TFT(Thin Film Transistor)판과, CF(Color Filter)판, PDP(Plasma Display Panel), EL(Electro Luminescent)등 평판 디스플레이(Flat Panel Display)의 유리기판의 성형, 절단, 세척 공정을 행하면서 발생하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
종래는 유리기판의 이동 방향과 수직으로 장착된 리니어 카메라와 광원으로 플래시 또는 평면광원을 통해 유리기판 결함을 검출하는 방법이 이용되었다. 이때, 검출 정밀도를 향상시키기 위해서는 리니어 카메라의 센서(Charge Coupled Device)의 pixel이 1024 이상이 필요함에 따라 데이터 처리속도의 지연으로 유리기판의 이송속도가 빠를 경우 검출이 불가능한 문제점이 있었다.
또한, 많은 데이터량으로 인한 처리속도 지연과, 유리기판의 고속이송으로 인한 상하 떨림으로 인하여 카메라의 정확한 추적이 불가능해져 초점을 잡지 못할 경우, 수 ㎛폭의 미세한 결함은 놓치게 되어 공정시 큰 손실을 초래하게 된다.
또한, 결함검출을 위해 카메라가 상시 작동됨에 따라 발생하는 데이터 저장을 위해 대용량 저장공간이 필요하다는 단점이 있다.
본 발명은 위에서 서술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 미세한 결함까지 검출할 수 있을 뿐만 아니라, 공정시 유리기판에 생성되는 이물질들을 제외한 결함검출이 가능한 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치 및 방법을 제공함을 그 목적으로 한다.
나아가, 유리기판의 고속이송으로 인한 상하 떨림에 구애받지 않고, 미세한 결함까지도 정확한 검출을 할 수 있는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치 및 방법을 제공함을 그 목적으로 한다.
더 나아가, 결함검출 시에만 카메라가 작동함으로, 검출사진 데이터 양이 간소화가 가능한 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치 및 방법을 제공함을 그 목적으로 한다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치는, 액정디스플레이 유리기판, 유리기판의 에지(edge)부 상면과 각을 이루며 구비되고, 에지(edge)부에 레이저를 조사하는 광유닛, 유리기판과 상기 광유닛 사이에 구비되어, 레이저 광선을 넓은 폭으로 확대하는 제 1 콜리메이터(collimator), 제 1 콜리메이터(collimator)(201)와 유리기판 사이에 구비되어, 광유닛에서 조사되는 레이저 광선을 발산시키는 원기둥렌즈(cylindrical lens), 유리기판의 에지(edge)부 하면에 상기 광유닛에서 조사된 레이저와 동일한 광축상에 위치하며, 유리기판에서 투과되는 레이저 광선을 모으는 제 2 콜리메이터, 제 2 콜리메이터(collimator) 하부에 구비되고 광유닛에서 조사된 레이저와 동일한 광축상에 위치하며, 제 1 콜리메이터(collimator)부터 유리기판과 제 2 콜리메이터(collimator)를 투과한 상기 레이저 광선을 분할하는 빔 스플리터(beam splitter), 제 1 콜리메이터(collimator)부터 유리기판과 제 2 콜리메이터(collimator)를 투과하고 빔 스플리터(beam splitter)에 의해 분할된 레이저 광선의 투과량을 측정하기 위한 제 1 광센서, 제 1 광센서에서 측정된 상기 투과량을 증폭하는 제 1 증폭기, 제 1 증폭기를 통해 증폭된 아날로그 전기 신호를 디지털 값으로 변환해주는 제 1 A/D 변환기, 제 1 콜리메이터(collimator)부터 유리기판과 제 2 콜리메이터(collimator)를 투과하고 빔 스플리터(beam splitter)에 의해 분할되어 반사된 레이저 광선의 투과량을 측정하기 위한 제 2 광센서, 제 2 광센서에서 측정된 투과량을 증폭하는 제 2 증폭서, 제 2 증폭기를 통해 증폭된 아날로그 전기 신호를 디지털 값으로 변환해주는 제 2 A/D 변환기, 제 1 A/D 변환기(307)와 제 2 A/D 변환기(308) 값의 차이를 통해 결함 유무를 검출하는 제어부(313)을 포함하여 이루어진다.
나아가, 유리기판을 투과한 레이저 광선이 유리기판 하부에 구비되어 레이저 광선이 투과되는 제 3 콜리메이터(collimator), 제 3 콜리메이터(collimator)를 투과한 상기 레이저 광선의 투과량을 측정하기 위한 제 3 광센서, 제 3 광센서(310)에서 측정된 상기 투과량을 증폭하는 제 3 증폭기, (311), 제 3 증폭기(311)를 통해 증폭된 아날로그 전기 신호를 디지털 값으로 변환해주는 제 3 A/D 변환기(312)를 더 포함한다.
위에서 서술한 바와 같이, 본 발명은 빔 스플리터를 이용하여 유리기판을 투과한 레이저를 분할하여, 반사된 투과량과 반사된 레이저 광선을 제외한 나머지 투과량을 비교하여 결함을 판단함으로써, 미세한 결함까지도 검출이 가능하고, 레이저 파장을 최적화할 경우, 공정시 유리기판에 생성되는 이물질을 제외한 결함검출이 가능하다. 따라서, 오작동에 의한 기계 멈춤이 발생하지 않음으로, 작업의 효율성을 향상시킨다.
나아가, 복수의 검출센서로 감지하기 때문에 종래기술보다 약 1/1000정도의 센서로 검출이 가능하여 속도가 향상된다.
더 나아가, 종래기술보다 간단한 회로구성만으로 빠른 검출이 가능하다.
더 나아가, 유리기판의 고속이송으로 인한 상하떨림 발생에 구애받지 않고 레이저 광선을 이용하여 정확한 결함검출이 가능하여 불량률을 최소화하며, 공정 효율을 높일 수 있다.
더 나아가, 결함검출시에만 촬영하여 이미지를 생성함으로, 불필요한 데이터가 저장되지않아, 멈춤 현상이 없는 처리가 가능하여, 공정시간을 단축할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 유리기판 결함검출 장치를 설명하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치에 관한 개념도 이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 렌즈 어레이를 이용한 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치에 관한 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제 1 콜리메이터, 제 2 콜리메이터를 이용한 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 방법에 관한 개념도이다.
도 6는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제 1 콜리메이터, 제 2 콜리메이터, 제 3 콜리메이터를 이용한 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 방법에 관한 개념도이다.
도 7는 본 발명의 일 실시 예에 따른 렌즈 어레이를 이용한 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 방법에 관한 개념도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시 예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 유리기판 결함검출 장치를 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 종래의 유리기판 결함검출 장치는 유리기판(100)의 에지(edge)부인 양끝과 수직으로 구비되어있는 복수의 라인 스캐너 카메라(101)와 유리기판(100)의 하부에 구비되며, 라인 스캐너 카메라(101)의 세로축에 설치되어있는 플래시(102)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에 있어서, 평면광원(102)는 상기 라인 스캐너 카메라(101)작동시 역광을 방지하기 위한 것으로, 상시 작동하여 이미지촬영을 돕는다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치 단면도이다. 도시된 바와 같이, 액정디스플레이 유리기판(100), 유리기판(100)의 에지(edge)부 상면과 각을 이루며 구비되고, 에지(edge)부에 레이저를 조사하는 광유닛(200), 유리기판(100)과 상기 광유닛(200) 사이에 구비되어, 레이저 광선을 넓은 폭으로 확대하는 제 1 콜리메이터(collimator)(201), 제 1 콜리메이터(collimator)(201)와 유리기판(100) 사이에 구비되어, 광유닛(200)에서 조사되는 레이저 광선을 발산시키는 원기둥렌즈(cylindrical lens)(202), 결함 유무를 검출하는 검출부(203)를 포함하여 이루어져 있다.
일 실시 예에 있어서, 에지부는 평판 디스플레이에 사용되는 유리기판에 있어서, 절단 공정에 의해 직사각형 모양으로 절단되어 생성된 모서리 부분을 에지라 칭한다.
일 실시 예에 있어서, 레이저를 조사하는 광유닛(200)은, 유리기판 공정시 발생하는 먼지나, 이물질, 물방울 및 오염물질을 굴절 없이 투과 가능한 레이저(laser)를 이용한 것으로, 적외선 레이저(infrared ray laser) 또는 자외선 레이저(ultraviolet ray laser)중 하나를 이용한 레이저로 구성되며, PCB 기판(Printed Circuit Board)과 발광소자로 이루어져 있어, 적외선 또는 자외선 중 어느 하나를 조사한다.
또한, 제 1 콜리메이터(collimator)(201)는, 넓은 폭으로 확산된 레이저 광선을 한점으로 집광시킬 수 있는 비구면렌즈, 구면렌즈 또는 굴절렌즈 중 어느 하나인 것을 특징으로 이루어져 있으며, 제 1 콜리메이터(201)에서 확산된 레이저 광선은 기판결함이 빈번하게 발생하는 양끝을 포함하고 빈 공간을 더 포함하여 조사되어 유리기판의 흔들림에도 결함 검출이 가능하다.
또한, 광유닛(200)과, 제 1 콜리메이터(201), 원기둥렌즈(202), 검출부(203)은 유리판(100) 양끝의 결함을 검출하기 위하여 유리기판의 양끝에 구비되어있다.
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도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치에 관한 개념도 이다. 도시된 바와 같이, 액정디스플레이 유리기판(100), 유리기판(100)의 에지(edge)부 상면과 각을 이루며 구비되고, 에지(edge)부에 레이저를 조사하는 광유닛(200), 유리기판(100)과 상기 광유닛(200) 사이에 구비되어, 레이저 광선을 넓은 폭으로 확대하는 제 1 콜리메이터(collimator)(201), 제 1 콜리메이터(collimator)(201)와 유리기판(100) 사이에 구비되어, 광유닛(200)에서 조사되는 레이저 광선을 발산시키는 원기둥렌즈(202), 유리기판(100)의 에지(edge)부 하면에 상기 광유닛(200)에서 조사된 레이저와 동일한 광축상에 위치하며, 유리기판에서 투과되는 레이저 광선을 모으는 제 2 콜리메이터(301), 제 2 콜리메이터(collimator)(301) 하부에 구비되고 광유닛(200)에서 조사된 레이저와 동일한 광축상에 위치하며, 제 1 콜리메이터(collimator)(201)부터 유리기판(100)과 제 2 콜리메이터(collimator)(301)를 투과한 상기 레이저 광선을 분할하는 빔 스플리터(beam splitter)(302), 제 1 콜리메이터(collimator)(201)부터 유리기판(100)과 제 2 콜리메이터(collimator)(301)를 투과하고 빔 스플리터(beam splitter)(302)에 의해 분할된 레이저 광선의 투과량을 측정하기 위한 제 1 광센서(303), 제 1 광센서(303)에서 측정된 상기 투과량을 증폭하는 제 1 증폭기(305), 제 1 증폭기(305)를 통해 증폭된 아날로그 전기 신호를 디지털 값으로 변환해주는 제 1 A/D 변환기(307), 제 1 콜리메이터(collimator)(201)부터 유리기판(100)과 제 2 콜리메이터(collimator)(301)를 투과하고 빔 스플리터(beam splitter)(302)에 의해 분할되어 반사된 레이저 광선의 투과량을 측정하기 위한 제 2 광센서(304), 제 2 광센서(304)에서 측정된 투과량을 증폭하는 제 2 증폭기(306), 제 2 증폭기(306)를 통해 증폭된 아날로그 전기 신호를 디지털 값으로 변환해주는 제 2 A/D 변환기(308), 유리기판(100)을 투과한 레이저 광선이 유리기판(100) 하부에 구비되어 레이저 광선이 투과되는 제 3 콜리메이터(collimator)(309), 제 3 콜리메이터(collimator)(309)를 투과한 상기 레이저 광선의 투과량을 측정하기 위한 제 3 광센서(310), 제 3 광센서(310)에서 측정된 상기 투과량을 증폭하는 제 3 증폭기, (311), 제 3 증폭기(311)를 통해 증폭된 아날로그 전기 신호를 디지털 값으로 변환해주는 제 3 A/D 변환기(312), 제 1 A/D 변환기(307)와 제 2 A/D 변환기(308) 값의 차이와 상기 제 3 A/D변환기(312) 값의 유무를 통해 결함을 검출하는 제어부(313)를 포함하여 이루어진다.
일 실시 예에 있어서, 제 1 콜리메이터(collimator)(201), 제 2 콜리메이터(collimator)(301), 제 3 콜리메이터(collimator)(309)는, 넓은 폭으로 확산된 레이저 광선을 한점으로 집광시킬 수 있는 비구면렌즈, 구면렌즈 또는 굴절렌즈 중 어느 하나로 이루어져 있다.
일 실시 예에 있어서, 결함(300)이 있는 유리기판이 도 2의 유리기판에 도시된 화살표 방향으로 이동할 때, 제 1 콜리메이터(201) 투과 후 넓은 폭으로 시준되는 레이저 광선이 유리기판의 결함(300)을 투과하면서, 결함(300)으로 인해 임의의 각으로 반사되는 레이저 광선이 제 2 콜리메이터(301)를 투과하고, 투과된 레이저 광선이 제 2 콜리메이터(301) 하부에 구비된 빔 스플레이터에 의해 반으로 나뉘어져 반사된 레이저 광선은 제 2 광센서(304), 제 2 증폭기(306), 제 2 A/D변환기(308)를 거쳐 연산부에서 값으로 계산된다.
또한, 제 2 콜리메이터(301)를 투과한 레이저 광선의 투과값은 제 1 광센서(303), 제 1 증폭기(305), 제 1 A/D변환기(307)을 거쳐 연산부에서 값으로 계산된 후, 반사값과 투과값을 비교하여, 두 값이 동일하지 않으면 결함(300)이 있는 것으로 판단하여 제어부에서 카메라(도시하지않음)와 유리판 하부에 역광방지를 위하여 구비된 플래시 또는 평면광원(도시하지않음)을 작동시켜 유리기판의 결함(300)위치를 이미지화한다.
또한, 더 정확한 결함검출을 위해 결함에 의해 임의의 값으로 반사되는 광선의 빛을 투과시키기 위한 제 3 광센서(310)를 더 포함하여, 제 3 광센서(310)로 투과된 레이저 광선을 제 3 광센서(310), 제 3 증폭기(311), 제 3 A/D변환기(312)를 거쳐 연산부에서 값으로 계산되면 결함(300)이 있는 것으로 판단하여 제어부에서 카메라(도시하지않음)와 유리판 하부에 역광방지를 위하여 구비된 플래시 또는 평면광원(도시하지않음)을 작동시켜 유리기판의 결함위치를 이미지화한다.
또한, 연산부에서 반사값과 투과값을 비교하는데 있어서, 빔 스플리터(302)에 의해 반으로 분할되는 값의 오차범위를 고려하여 제어부 측정값의 에러범위 내에서 5% 이하로 계산될 경우는 결함(300)이 없는 것으로 판단한다. 본 명세서에서 동일하다는 의미는 오차 범위 이내에 차이가 있는 경우를 포함한다.
또한, 제어부는, 빔 스플리터(302)의 가변설정이 가능하여 유리기판을 투과한 레이저 광선의 투과량을 반으로 분할하는데 있어서, 오차를 줄이기 위하여 제어부에 의해 빔 스플리터(302)의 상하좌우 이동을 하여 빛의 분할을 정확하게 하는 기능이 가능하다.
일 실시 예에 있어서, 카메라는 방범용 카메라나 컴퓨터 캠처럼 일상생활에서 일반적으로 사용되는 CCD(Charge Coupled Device) 카메라 또는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)를사용한다.
또한, 유리기판의 결함(300)을 카메라로 이미지화하기 위하여 역광을 방지하여 결함(300)을 선명하게 촬영 가능하도록 구비된 플래시는, 플래시의 빛으로 인해 내부적으로 손상이 되는 기판을 검출할 시를 염두하여 on/off가 가능한 것을 특징으로 한다.
일 실시 예에 있어서 빔 스플리터(beam splitter)(302)는 상하 좌우 이동이 가능한 조절부재를 더 포함하여 이루어져 광유닛(200)에서 조사되는 레이저 광선을 정확히 반으로 나눌 수 있도록 한다.
일 실시 예에 있어서, 제어부는, A/D변환기의 값에 따라 결함유무를 산출하는 연산부, 결함검출 유무에 따라 장치에 다음 지시를 내리는 지시부, 결함검출시 결함 이미지를 저장하는 저장부, 작업자에게 결함 이미지를 송부하며 검출 결과를 알려주는 통신부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
또한, 결함을 산출하는 연산부는, 제 1 A/D 변환기(307)의해 변환된 값과 제 2 A/D 변환기(308)에서 변환된 값을 비교하여 결함유무를 산출하거나, 제 3 A/D변환기(312)의 값 산출 유무에 따라 결함유무를 산출한다.
또한, 지시를 내리는 지시부는, 연산부에서 결함이 검출된 경우, 유리기판의 결함 이미지를 검출하라는 지시를 내리고, 연산부에서 결함이 검출되지 않은 경우, 광유닛의 레이저를 조사할 수 있게 지시를 한다.
또한, 결함 이미지를 저장하는 저장부는, 검출된 유리기판의 결함 이미지를 저장한다.
또한, 검출 결과를 알려주는 통신부는, 저장부에 저장된 결함 이미지를 작업자에게 전송하여 결함발생 결과를 알려준다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 렌즈어레이(400)를 이용한 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치에 관한 측면도이다. 도시된 바와 같이, 액정디스플레이 유리기판(100), 유리기판(100)의 에지(edge)부 상면과 각을 이루며 구비되고, 상기 에지(edge)부에 레이저를 조사하는 광유닛(200), 유리기판(100)과 광유닛(200) 사이에 구비되어, 레이저 광선을 넓은 폭으로 확대하는 제 1 콜리메이터(collimator)(201), 제 1 콜리메이터(collimator)(201)와 유리기판(100) 사이에 구비되어, 광유닛(200)에서 조사되는 레이저 광선을 발산시키는 원기둥렌즈(202), 유리기판(100)의 에지(edge)부 하면에 광유닛(200)에서 조사된 레이저와 동일한 광축상에 위치하며, 유리기판(100)에서 투과되는 상기 레이저 광선을 투과하는 렌즈 어레이(lens array)(400), 렌즈 어레이(lens array)(400) 하부에 구비되어있으며, 렌즈 어레이(lens array)(400)를 투과한 레이저 광선의 투과량을 측정하는 어레이 센서(array sensor)(401)로 이루어져 있다.
일 실시 예에 있어서, 광유닛(200)은, PCB 기판(Printed Circuit Board)과 발광소자로 이루어져 있으며, 제 1 콜리메이터(collimator)(201)는, 넓은 폭으로 확산된 레이저 광선을 한점으로 집광시킬 수 있는 비구면렌즈, 구면렌즈 또는 굴절렌즈 중 어느 하나인 것을 특징으로 이루어 진다.
일 실시 예에 있어서, 렌즈 어레이(400)하부에 구비되어있으며, 렌즈 어레이(400)을 투과한 레이저 광선의 투과량을 측정하는 어레이 센서(401)에서 감지된 투과량을 복수의 증폭기를 통해 증폭된 아날로그 전기신호를 디지털 값으로 변환하한다. 이후, 제어부에서 복수의 A/D 변환기에서 산출된 값 변동유무를 통해 결함을 검출한다.
일 실시 예에 있어서, 제어부는, 복수의 A/D변환기의 값의 변동 유무에 따라 결함유무를 산출하는 연산부, 결함검출 유무에 따라 장치에 다음 지시를 내리는 지시부, 결함검출시 결함 이미지를 저장하는 저장부, 작업자에게 결함 이미지를 송부하며 검출 결과를 알려주는 통신부를 포함하여 이루어져 있다.
또한, 결함을 산출하는 연산부는, 복수의 A/D 변환기 의해 변환된 값의 변동 유무에 따라, 결함의 위치와 결함의 크기 정도를 산출한다.
또한, 지시를 내리는 지시부는, 연산부에서 결함이 검출된 경우, 유리기판의 결함 이미지를 검출하라는 지시를 내리고, 연산부에서 결함이 검출되지 않은 경우, 광유닛의 레이저를 조사한다.
또한, 결함 이미지를 저장하는 저장부는, 검출된 유리기판의 결함 이미지와 결함위치, 결함크기의 정도를 수치로 저장한다.
또한, 검출 결과를 알려주는 통신부는, 저장부에 저장된 결함 이미지와 결함위치, 결함(300)크기의 정도의 수치를 작업자에게 전송하여 결함발생 결과를 알려준다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제 1 콜리메이터(201), 제 2 콜리메이터(301)를 이용한 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 방법에 관한 개념도 이다. 도시된 바와 같이, 유리기판을 준비하는 단계, 광유닛에서 레이저 광선을 조사하는 단계, 조사된 상기 레이저 광선을 제 1 광센서(303), 제 2 광센서(304)로 감지하는 단계, 감지된 레이저 광선을 제 1 증폭기(305), 제 2 증폭기(306)를 통해 증폭하는 단계, 증폭된 아날로그 전기신호를 제 1 A/D 변환기(307), 제 2 A/D 변환기(308)를 통해 디지털 값으로 변환하는 단계, 제 1 A/D 변환기(307), 상기 제 2 A/D 변환기(308)를 통해 디지털 값으로 전산부에서 변환된 값을 비교하여 결함 유무를 검출하는 단계, 다시 광유닛에서 레이저 광선을 조사하는 단계부터 다시 시작하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 방법이다.
일 실시 예에 있어서, 제 1 A/D 변환기(307), 제 2 A/D변환기(308)를 통해 디지털 값으로 전산부에서 변환된 값을 비교하여 결함 유무를 검출하는 단계는, 변환된 두 값이 동일하면 결함이 없는 것으로 판단하여 반복적인 결함검출단계를 진행한다. 또한, 연산부에서 두 값을 비교하는데 있어서, 빔 스플리터(302)에 의해 반으로 분할되는 값의 오차범위를 고려하여 제어부 측정값의 에러범위 내에서 5% 이하로 계산될 경우는 결함이 없는 것으로 판단한다.
도 6는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제 1 콜리메이터(201), 제 2 콜리메이터(301), 제 3 콜리메이터(309)를 이용한 유리기판 에지부의 결함검출을 위한 방법에 관한 개념도 이다. 도시된 바와 같이, 유리기판을 준비하는 단계, 광유닛에서 레이저 광선을 조사하는 단계, 조사된 레이저 광선을 제 1 광센서(303), 제 2 광센서(304), 제 3 광센서(310)로 감지하는 단계, 감지된 레이저 광선을 제 1 증폭기(305), 제 2 증폭기(306), 제 3 증폭기(311)를 통해 증폭하는 단계, 증폭된 아날로그 전기신호를 제 1 A/D 변환기(307), 제 2 A/D 변환기(308), 제 3 A/D 변환기를 통해 디지털 값으로 변환하는 단계, 제 1 A/D 변환기(307), 상기 제 2 A/D 변환기(308)를 통해 디지털 값으로 변환된 값이 차이가 나는 경우 또는 제 3 A/D 변환기에서 측정오차 이상의 디지털 값이 나오는 경우 결함을 검출하는 단계, 다시 광유닛에서 레이저 광선을 조사하는 단계부터 다시 시작하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 방법이다.
일 실시 예에 있어서, 제 1 A/D 변환기(307), 제 2 A/D변환기(308)를 통해 디지털 값으로 변환된 값을 비교하여 결함 유무를 검출하는 단계는, 변환된 두 값이 동일하면 결함이 없는 것으로 판단하여 반복적인 결함검출단계를 진행한다. 또한, 연산부에서 두 값을 비교하는데 있어서, 빔 스플리터(302)에 의해 반으로 분할되는 값의 오차범위를 고려하여 제어부 측정값의 에러범위 내에서 5% 이하로 계산될 경우는 결함이 없는 것으로 판단한다.
일 실시 예에 있어서, 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 방법에서 빔 스플리터(302)의 상하좌우 이동을 하는 단계를 더 포함하여, 광선을 반으로 분할하는 단계에서 오차를 줄이는 효과를 가질 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 결함에 의해 다른 각도로 반사된 빛을 제 3 콜리메이터(309)로 받아 결함을 검출하는 단계를 더 포함하여 결함 발생시, 결함에 의한 반사된 빛을 통해 검출이 가능함으로, 오차를 줄일 수 있는 효과를 가진다.
또한, 제 3 콜리메이터(309)는 유리기판의 하부에 구비되는 것에 한정되지 않고, 유리기판의 상부에 구비되는 것을 더 포함함으로써, 결함으로 임의의 반사각을 가진 레이저 광선이 상부로 반사되는 경우에도 결함검출이 가능하다.
도 7는 본 발명의 일 실시 예에 따른 렌즈어레이(400)를 이용한 유리기판 에지부의 결함검출을 위한 방법에 관한 개념도 이다. 도시된 바와 같이, 유리기판을 준비하는 단계, 광유닛에서 레이저 광선을 조사하는 단계, 조사된 레이저 광선이 렌즈 어레이(Lens array)(400)를 투과하는 단계, 렌즈 어레이 센서(Lens array)(401)로 감지한 레이저 광선을 어레이 센서(Array sensor)(401)로 감지하는 단계, 감지된 레이저 광선을 증폭기를 통해 증폭되는 단계, 증폭된 아날로그 전기신호를 A/D 변환기를 통해 디지털 값으로 변환하는 단계, A/D변환기를 통해 산출된 값이 시간에 따른 변동 유무에 따라 결함 유무를 판단하는 단계, 다시 광유닛에서 레이저 광선을 조사하는 단계부터 다시 시작하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 방법이다.
본 발명 명세서 전반에 걸쳐 사용되는 용어들은 본 발명 실시 예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 사용자 또는 운용자의 의도, 관례 등에 따라 충분히 변형될 수 있는 사항이므로, 이 용어들의 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
본 발명은 첨부된 도면에 의해 참조 되는 바람직한 실시 예를 중심으로 기술되었지만, 이러한 기재로부터 후술하는 특허청구범위에 의해 포괄되는 범위 내에서 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 다양한 변형이 가능하다는 것은 명백하다.
100 : 유리기판
101 : 카메라
102 : 평면광원
200 : 광유닛
201 : 제 1 콜리메이터(collimator)
202 : 원기둥렌즈(cylindrical lens)
203 : 검출부
300 : 결함
301 : 제 2 콜리메이터
302 : 빔 스플리터(beam splitter)
303 : 제 1 광센서
304 : 제 2 광센서
305 : 제 1 증폭기
306 : 제 2 증폭기
307 : 제 1 A/D변환기
308 : 제 2 A/D변환기
309 : 제 3 콜리메이터
310 : 제 3 광센서
311 : 제 3 증폭기
312 : 제 3 A/D변환기
400 : 렌즈 어레이(lens array)
401 : 어레이센서(array sensor)
S500 : 유리기판을 준비하는 단계
S501 : 광유닛에서 레이저 광선을 조사하는 단계
S502 : 조사된 레이저 광선을 제 1 광센서, 제 2 광센서로 감지하는 단계
S503 : 감지된 레이저 광선을 제 1 증폭기, 제 2 증폭기를 통해 증폭하는 단계
S504 : 증폭된 아날로그 전기신호를 제 1 A/D 변환기, 제 2 A/D 변환기를 통해 디지털 값으로 변환하는 단계
S505 : 제 1 A/D 변환기, 제 2 A/D 변환기를 통해 디지털 값으로 전산부에서 변환된 값을 비교하여 결함 유무를 검출하는 단계
S600 : 유리기판을 준비하는 단계
S601 : 광유닛에서 레이저 광선을 조사하는 단계
S602 : 조사된 레이저 광선을 제 1 광센서, 제 2 광센서, 제 3 광센서로 감지하는 단계
S603 : 감지된 레이저 광선을 제 1 증폭기, 제 2 증폭기, 제 3 증폭기를 통해 증폭하는 단계
S604 : 증폭된 아날로그 전기신호를 제 1 A/D 변환기, 제 2 A/D 변환기, 제 3 A/D 변환기를 통해 디지털 값으로 변환하는 단계
S605 : 제 1 A/D 변환기, 제 2 A/D 변환기를 통해 디지털 값으로 변환된 값 이 차이가 나는 경우 또는 제 3 A/D 변환기에서 측정오차이상의 디지털 값이 나오는 경우 결함을 검출하는 단계
S700 : 유리기판을 준비하는 단계
S701 : 광유닛에서 레이저 광선을 조사하는 단계
S702 : 조사된 레이저 광선이 렌즈 어레이를 투과하는 단계
S703 : 렌즈 어레이 센서로 감지한 레이저 광선을 어레이 센서로 감지하는 단계
S704 : 감지된 레이저 광선을 증폭기를 통해 증폭하는 단계
S705 : 증폭된 아날로그 전기신호를 A/D 변환기를 통해 디지털 값으로 변환하는 단계
S706 : A/D 변환기 값의 변화 유무에 따라 결함 유무를 판단하는 단계

Claims (25)

  1. 액정디스플레이 유리기판;
    상기 유리기판의 에지(edge)부 상면과 각을 이루며 구비되고, 상기 에지(edge)부에 레이저를 조사하는 광유닛;
    상기 유리기판과 상기 광유닛 사이에 구비되어, 상기 레이저 광선을 넓은 폭으로 확대하는 제 1 콜리메이터(collimator);
    상기 제 1 콜리메이터(collimator)와 상기 유리기판 사이에 구비되어, 상기 광유닛에서 조사되는 레이저 광선을 발산시키는 원기둥렌즈(cylindrical lens);
    상기 유리기판의 에지(edge)부 하면에 상기 광유닛에서 조사된 레이저와 동일한 광축상에 위치하며, 상기 유리기판에서 투과되는 상기 레이저 광선을 모으는 제 2 콜리메이터;
    상기 제 2 콜리메이터(collimator) 하부에 구비되고 상기 광유닛에서 조사된 레이저와 동일한 광축상에 위치하며, 상기 제 1 콜리메이터(collimator)부터 상기 유리기판과 상기 제 2 콜리메이터(collimator)를 투과한 상기 레이저 광선을 분할하는 빔 스플리터(beam splitter);
    상기 제 1 콜리메이터(collimator)부터 상기 유리기판과 상기 제 2 콜리메이터(collimator)를 투과하고 상기 빔 스플리터(beam splitter)에 의해 분할된 레이저 광선의 투과량을 측정하기 위한 제 1 광센서;
    상기 제 1 광센서에서 측정된 상기 투과량을 증폭하는 제 1 증폭기;
    상기 제 1 증폭기를 통해 증폭된 아날로그 전기 신호를 디지털 값으로 변환해주는 제 1 A/D 변환기;
    상기 제 1 콜리메이터(collimator)부터 상기 유리기판과 상기 제 2 콜리메이터(collimator)를 투과하고 상기 빔 스플리터(beam splitter)에 의해 분할되어 반사된 상기 레이저 광선의 투과량을 측정하기 위한 제 2 광센서;
    상기 제 2 광센서에서 측정된 상기 투과량을 증폭하는 제 2 증폭기;
    상기 제 2 증폭기를 통해 증폭된 아날로그 전기 신호를 디지털 값으로 변환해주는 제 2 A/D 변환기;
    상기 제 1 A/D 변환기와 상기 제 2 A/D 변환기 값의 차이를 통해 결함유무를 검출하는 제어부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  2. 액정디스플레이 유리기판;
    상기 유리기판의 에지(edge)부 상면과 각을 이루며 구비되고, 상기 에지(edge)부에 레이저를 조사하는 광유닛;
    상기 유리기판과 상기 광유닛 사이에 구비되어, 상기 레이저 광선을 넓은 폭으로 확대하는 제 1 콜리메이터(collimator);
    상기 제 1 콜리메이터(collimator)와 상기 유리기판 사이에 구비되어, 상기 광유닛에서 조사되는 레이저 광선을 발산시키는 원기둥렌즈(cylindrical lens);
    상기 유리기판의 에지(edge)부 하면에 상기 광유닛에서 조사된 레이저와 동일한 광축상에 위치하며, 상기 유리기판에서 투과되는 상기 레이저 광선을 모으는 제 2 콜리메이터;
    상기 제 2 콜리메이터(collimator) 하부에 구비되고 상기 광유닛에서 조사된 레이저와 동일한 광축상에 위치하며, 상기 제 1 콜리메이터(collimator)부터 상기 유리기판과 상기 제 2 콜리메이터(collimator)를 투과한 상기 레이저 광선을 분할하는 빔 스플리터(beam splitter);
    상기 제 1 콜리메이터(collimator)부터 상기 유리기판과 상기 제 2 콜리메이터(collimator)를 투과하고 상기 빔 스플리터(beam splitter)에 의해 분할된 레이저 광선의 투과량을 측정하기 위한 제 1 광센서;
    상기 제 1 광센서에서 측정된 상기 투과량을 증폭하는 제 1 증폭기;
    상기 제 1 증폭기를 통해 증폭된 아날로그 전기 신호를 디지털 값으로 변환해주는 제 1 A/D 변환기;
    상기 제 1 콜리메이터(collimator)부터 상기 유리기판과 상기 제 2 콜리메이터(collimator)를 투과하고 상기 빔 스플리터(beam splitter)에 의해 분할되어 반사된 상기 레이저 광선의 투과량을 측정하기 위한 제 2 광센서;
    상기 제 2 광센서에서 측정된 상기 투과량을 증폭하는 제 2 증폭기;
    상기 제 2 증폭기를 통해 증폭된 아날로그 전기 신호를 디지털 값으로 변환해주는 제 2 A/D 변환기;
    상기 유리기판 하부에 구비되어 상기 유리기판을 투과한 레이저 광선이 투과되는 제 3 콜리메이터(collimator);
    상기 제 3 콜리메이터(collimator)를 투과한 상기 레이저 광선의 투과량을 측정하기 위한 제 3 광센서;
    상기 제 3 광센서에서 측정된 상기 투과량을 증폭하는 제 3 증폭기;
    상기 제 3 증폭기를 통해 증폭된 아날로그 전기 신호를 디지털 값으로 변환해주는 제 3 A/D 변환기;
    상기 제 1 A/D 변환기와 상기 제 2 A/D 변환기 값의 차이와 상기 제 3 A/D변환기 값의 유무를 통해 결함유무를 검출하는 제어부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  3. 제 1 항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광유닛은,
    PCB 기판(Printed Circuit Board)과 발광소자로 이루어진 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 콜리메이터(collimator)는,
    넓은 폭으로 확산된 레이저 광선을 한점으로 집광시킬 수 있는 비구면렌즈, 구면렌즈 또는 굴절렌즈 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 2 콜리메이터(collimator)는,
    넓은 폭으로 확산된 레이저 광선을 한점으로 집광시킬 수 있는 비구면렌즈, 구면렌즈 또는 굴절렌즈 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  6. 제 2 항에 있어서, 상기 제 3 콜리메이터(collimator)는,
    넓은 폭으로 확산된 레이저 광선을 한점으로 집광시킬 수 있는 비구면렌즈, 구면렌즈 또는 굴절렌즈 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  7. 삭제
  8. 제 1 항 내지 제 2 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 빔 스플리터(beam splitter)는 상하 좌우 이동이 가능한 조절부재 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함 유무 검출을 위한 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 2 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제어부는,
    A/D변환기의 값에 따라 결함유무를 산출하는 연산부, 결함검출 유무에 따라 장치에 다음 지시를 내리는 지시부, 결함검출시 결함 이미지를 저장하는 저장부, 작업자에게 결함 이미지를 송부하며 검출 결과를 알려주는 통신부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 연산부는,
    상기 제 1 A/D 변환기 의해 변환된 값과 상기 제 2 A/D 변환기에서 변환된 값을 비교하여 결함유무를 산출하거나, 제 3 A/D변환기의 값 산출 유무에 따라 결함유무를 산출하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  11. 제 9 항에 있어서, 상기 지시부는,
    상기 연산부에서 결함이 검출된 경우, 상기 유리기판의 결함 이미지를 검출하라는 지시를 내리고, 상기 연산부에서 결함이 검출되지 않은 경우, 상기 광유닛의 레이저를 조사할 수 있게 지시하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  12. 제 9 항에 있어서, 상기 저장부는,
    검출된 상기 유리기판의 결함 이미지를 저장하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  13. 제 9 항에 있어서, 상기 통신부는,
    상기 저장부에 저장된 상기 결함 이미지를 작업자에게 전송하여 결함발생 결과를 알려주는 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  14. 액정디스플레이 유리기판;
    상기 유리기판의 에지(edge)부 상면과 각을 이루며 구비되고, 상기 에지(edge)부에 레이저를 조사하는 광유닛;
    상기 유리기판과 상기 광유닛 사이에 구비되어, 상기 레이저 광선을 넓은 폭으로 확대하는 제 1 콜리메이터(collimator);
    상기 제 1 콜리메이터(collimator)와 상기 유리기판 사이에 구비되어, 상기 광유닛에서 조사되는 레이저 광선을 발산시키는 원기둥렌즈(cylindrical lens);
    상기 유리기판의 에지(edge)부 하면에 상기 광유닛에서 조사된 레이저와 동일한 광축상에 위치하며, 상기 유리기판에서 투과되는 상기 레이저 광선을 투과하는 렌즈 어레이(lens array);
    상기 렌즈 어레이(lens array)하부에 구비되어있으며, 상기 렌즈 어레이(lens array)를 투과한 상기 레이저 광선의 투과량을 측정하는 어레이 센서(array sensor);
    상기 어레이 센서(array sensor)에서 측정된 상기 투과량을 증폭하는 복수의 증폭기;
    상기 복수의 증폭기를 통해 증폭된 아날로그 전기신호를 디지털 값으로 변환해 주는 복수의 A/D 변환기;
    상기 복수의 A/D 변환기에서 산출된 값이 시간에 따른 변동 유무에 따라 결함을 검출하는 제어부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 광유닛은,
    PCB 기판(Pinted Circuit Board)과 발광소자로 이루어진 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  16. 제 14 항에 있어서, 상기 제 1 콜리메이터(collimator)는,
    넓은 폭으로 확산된 레이저 광선을 한점으로 집광시킬 수 있는 비구면렌즈, 구면렌즈 또는 굴절렌즈 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  17. 제 14 항에 있어서, 상기 제어부는,
    상기 복수의 A/D변환기의 값의 변동 유무에 따라 결함유무를 산출하는 연산부, 결함검출 유무에 따라 장치에 다음 지시를 내리는 지시부, 결함검출시 결함 이미지를 저장하는 저장부, 작업자에게 결함 이미지를 송부하며 검출 결과를 알려주는 통신부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  18. 제 17 항에 있어서, 상기 연산부는,
    상기 복수의 A/D 변환기에 의해 변환된 값의 변동 유무에 따라, 결함의 위치와 결함의 크기 정도를 산출하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  19. 제 17 항에 있어서, 상기 지시부는,
    상기 연산부에서 결함이 검출된 경우, 상기 유리기판의 결함 이미지를 검출하라는 지시를 내리고, 상기 연산부에서 결함이 검출되지 않은 경우, 상기 광유닛의 레이저를 조사하도록 할 수 있게 지시하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  20. 제 17 항에 있어서, 상기 저장부는,
    검출된 상기 유리기판의 결함 이미지와 결함위치, 결함크기의 정도를 수치로 저장하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  21. 제 17 항에 있어서, 상기 통신부는,
    상기 저장부에 저장된 상기 결함 이미지와 결함위치, 결함크기의 정도의 수치를 작업자에게 전송하여 결함발생 결과를 알려주는 것을 특징으로 하는유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 장치.
  22. 삭제
  23. 유리기판을 준비하는 단계;
    광유닛에서 레이저 광선을 조사하는 단계;
    조사된 상기 레이저 광선을 제 1 광센서, 제 2 광센서, 제 3 광센서로 감지하는 단계;
    상기 감지된 레이저 광선을 제 1 증폭기, 제 2 증폭기, 제 3 증폭기를 통해 증폭하는 단계;
    상기 증폭된 아날로그 전기신호를 제 1 A/D 변환기, 제 2 A/D 변환기, 제 3 A/D 변환기를 통해 디지털 값으로 변환하는 단계 및
    상기 제 1 A/D 변환기, 상기 제 2 A/D 변환기를 통해 디지털 값으로 변환된 값이 차이가 나는 경우 또는 제 3 A/D 변환기에서 측정오차 이상의 디지털 값이 나오는 경우 결함을 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 방법.
  24. 유리기판을 준비하는 단계;
    광유닛에서 레이저 광선을 조사하는 단계;
    상기 조사된 레이저 광선이 렌즈 어레이(Lens array)를 투과하는 단계;
    상기 렌즈 어레이 센서(Lens array)로 감지한 레이저 광선을 어레이 센서(Array sensor)로 감지하는 단계;
    상기 감지된 레이저 광선을 증폭기를 통해 증폭되는 단계;
    상기 증폭된 아날로그 전기신호를 A/D 변환기를 통해 디지털 값으로 변환하는 단계 및
    상기 A/D변환기를 통해 산출된 값이 시간에 따른 변동 유무에 따라 결함 유무를 판단하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 방법.
  25. 제 23 항 또는 제 24 항에 있어서, 상기 레이저 광선은,
    적외선 또는 자외선 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유리기판 에지부의 결함유무 검출을 위한 방법.
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