KR101276421B1 - 마이크로렌즈 어레이 - Google Patents

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KR101276421B1
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닛토덴코 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 규소 화합물을, 붕소 화합물 또는 알루미늄 화합물과 반응시켜 얻어진 수지를 성형하여 제조되는 마이크로렌즈 어레이를 제공한다.
<화학식 1>
Figure 112009052515832-pat00001
(식 중, R1 및 R2는 각각 독립적으로 알킬기, 시클로알킬기, 알케닐기, 알키닐기 또는 아릴기를 나타내고, 복수개의 R1은 동일하거나 상이하고 복수개의 R2는 동일하거나 상이하고, X는 히드록시기, 알콕시기, 알킬기, 시클로알킬기, 알케닐기, 알키닐기 또는 아릴기를 나타내며, n은 4 내지 250임)
이 마이크로렌즈 어레이는 전력이 증가된 LED 및 단파장을 갖는 청색 광을 발광하는 LED에 적용한 경우에도, 우수한 내열성 및 내광성을 갖는다.
마이크로렌즈 어레이, LED, 규소 화합물, 붕소 화합물, 알루미늄 화합물

Description

마이크로렌즈 어레이{MICROLENS ARRAY}
본 발명은 마이크로렌즈 어레이에 관한 것이다. 더 구체적으로, 본 발명은 광전자 기기에 사용하기 위한 마이크로렌즈 어레이에 관한 것이다.
마이크로렌즈 어레이는 액정 프로젝터, 비디오 카메라, 뷰 파인더 및 휴대용 TV와 같은 광전자 기기에 사용된다. 예를 들어, LED 어레이로부터 집광하는 효과 또는 LED 어레이의 휘도를 개선하는 효과를 얻기 위해 사용된다(JP-A-2005-276849호 참조). 또한, 마이크로렌즈 어레이를 제조하기 위한 수지로는 아크릴 수지가 공지되어 있다(JP-A-2001-272507호 참조).
휘도 개선에 가능한 수단은 LED의 전력을 높여 발광량을 증가시키는 것이다. 그러나, 증가된 양의 광을 발광하는 LED는 더 많은 양의 열을 발생시킨다. 또한, 이러한 LED의 사용은, 아크릴 수지를 사용하여도 내열성이 불충분한 경우를 초래한다. 따라서, 우수한 내열성을 갖는 마이크로렌즈 어레이가 요망된다. 또한, LED의 청색 단파장에서도 우수한 내광성을 갖는 마이크로렌즈 어레이가 요망된다.
본 발명의 목적은 전력이 증가된 LED 및 단파장을 갖는 청색 광을 발광하는 LED에 적용한 경우에도, 우수한 내열성 및 내광성을 갖는 마이크로렌즈 어레이를 제공하는 것이다.
즉, 본 발명은 이하 항목을 제공한다.
하기 화학식 1로 표시되는 규소 화합물을, 붕소 화합물 또는 알루미늄 화합물과 반응시켜 얻어진 수지를 성형하여 제조되는 마이크로렌즈 어레이.
Figure 112009052515832-pat00002
(식 중, R1 및 R2는 각각 독립적으로 알킬기, 시클로알킬기, 알케닐기, 알키닐기 또는 아릴기를 나타내고, 복수개의 R1은 동일하거나 상이하고 복수개의 R2는 동일하거나 상이하고, X는 히드록시기, 알콕시기, 알킬기, 시클로알킬기, 알케닐기, 알키닐기 또는 아릴기를 나타내며, n은 4 내지 250임)
2. 1항목에 있어서, 상기 붕소 화합물은 하기 화학식 2로 표시되는 화합물인 마이크로렌즈 어레이.
Figure 112009052515832-pat00003
(식 중, Y1, Y2 및 Y3은 각각 독립적으로 수소 또는 알킬기를 나타냄)
3. 1항목에 있어서, 상기 알루미늄 화합물은 하기 화학식 3으로 표시되는 화합물인 마이크로렌즈 어레이.
Figure 112009052515832-pat00004
(식 중, Y4, Y5 및 Y6은 각각 독립적으로 수소 또는 알킬기를 나타냄)
4. 1항목에 있어서, R1 및 R2는 각각 메틸이고, X는 히드록시인 마이크로렌즈 어레이.
5. 2항목에 있어서, 상기 붕소 화합물은 트리이소프로필 보레이트인 마이크로렌즈 어레이.
6. 3항목에 있어서, 상기 알루미늄 화합물은 알루미늄 트리이소프로폭시드인 마이크로렌즈 어레이.
7. 상부에 장착된 1항목에 따른 마이크로렌즈 어레이를 포함하는 광전자 기기.
8. 상부에 장착된 1항목에 따른 마이크로렌즈 어레이를 포함하는 LED 어레이.
본 발명에 따르면, 전력이 증가된 LED 및 단파장을 갖는 청색 광을 발광하는 LED에 적용한 경우에도, 우수한 내열성 및 내광성을 갖는 마이크로렌즈 어레이를 제공할 수 있다.
본 발명의 마이크로렌즈 어레이는 액정 프로젝터, 비디오 카메라, 뷰 파인더 및 휴대용 TV와 같은 광전자 기기에 적합하게 사용할 수 있다.
본 발명의 마이크로렌즈 어레이는 하기 화학식 1로 표시되는 적어도 하나의 규소 화합물을, 적어도 하나의 붕소 화합물 또는 적어도 하나의 알루미늄 화합물과 반응시켜 얻어진 수지를 성형함으로써 제조된다. 이 수지로부터 얻어진 마이크로렌즈 어레이는 전력이 증가된 LED에 적용한 경우에도 우수한 내열성을 갖고, 단파장을 갖는 청색 광을 발광하는 LED에 적용한 경우에도 변색이 없으며 우수한 내광성을 갖는다.
하기 화학식 1로 표시되는 규소 화합물은 이하의 화합물이다.
<화학식 1>
Figure 112009052515832-pat00005
(식 중, R1 및 R2는 각각 독립적으로 알킬기, 시클로알킬기, 알케닐기, 알키닐기 또는 아릴기를 나타내고, 복수개의 R1은 동일하거나 상이하고 복수개의 R2는 동일하거나 상이하고, X는 히드록시기, 알콕시기, 알킬기, 시클로알킬기, 알케닐기, 알키닐기 또는 아릴기를 나타내며, n은 4 내지 250임)
화학식 1에서, R1 및 R2는 각각 독립적으로 알킬기, 시클로알킬기, 알케닐기, 알키닐기 또는 아릴기를 나타낸다. 이들 기의 각각의 탄소 원자수는 반응성, 안정성 및 수득률의 관점으로부터, 바람직하게는 1 내지 18, 더 바람직하게는 1 내지 12, 및 더욱 더 바람직하게는 1 내지 6이다. 이들의 예로는 메틸, 에틸, 프로필 및 이소프로필과 같은 알킬기, 시클로펜틸 및 시클로헥실과 같은 시클로알킬기, 비닐 및 알릴과 같은 알케닐기, 에티닐 및 프로피닐과 같은 알키닐기, 및 페닐 및 톨릴과 같은 아릴기를 들 수 있다. R1 및 R2는 각각 독립적으로 메틸인 것이 특히 바람직하다.
화학식 1에서, X는 히드록시기, 알콕시기, 알킬기, 시클로알킬기, 알케닐기, 알키닐기 또는 아릴기를 나타낸다. 히드록시 이외에 이들 기의 각각의 탄소 원자수는 반응성, 안정성 및 수득률의 관점으로부터, 바람직하게는 1 내지 18, 더 바람직하게는 1 내지 12, 및 더욱 더 바람직하게는 1 내지 6이다. 이들의 예로는 메톡시 및 에톡시와 같은 알콕시기, 메틸, 에틸, 프로필 및 이소프로필과 같은 알킬기, 시클로펜틸 및 시클로헥실과 같은 시클로알킬기, 비닐 및 알릴과 같은 알케닐기, 에티닐 및 프로피닐과 같은 알키닐기, 및 페닐 및 톨릴과 같은 아릴기를 들 수 있다. X는 히드록시인 것이 특히 바람직하다.
화학식 1에서, n은 반응 생성물의 내열성 및 가요성의 관점으로부터, 4 내지 250, 바람직하게는 4 내지 200, 및 더 바람직하게는 4 내지 160의 수이다.
화학식 1로 표시되는 규소 화합물의 예로는 양 말단이 실라놀기로 종결된 폴리디메틸실록산, 양 말단이 실라놀기로 종결된 폴리디페닐실록산, 한 말단이 실라놀기로 종결된 폴리디메틸실록산, 한 말단이 실라놀기로 종결된 폴리디페닐실록산, 및 양 말단이 실라놀기로 종결된 폴리메틸페닐실록산을 들 수 있다. 이러한 규소 화합물은 단독으로 또는 둘 이상의 조합으로 사용할 수도 있다. 이들 중 바람직한 것은, 양 말단이 실라놀기로 종결된 폴리디메틸실록산(여기서, R1 및 R2는 각각 메틸이고 X는 히드록시임)이다.
화학식 1로 표시되는 규소 화합물의 수 평균 분자량은 반응 생성물의 내열성 및 가요성의 관점으로부터, 바람직하게는 300 내지 20,000, 더 바람직하게는 300 내지 15,000, 및 더욱 더 바람직하게는 300 내지 12,000이다. 수 평균 분자량은 NMR 분광기 또는 GPC에 의해 측정할 수 있다.
수지를 제조하는데 있어서, 본 발명의 효과를 저하시키지 않는 한, 화학식 1로 표시되는 규소 화합물 이외에 하나 이상의 규소 화합물을 사용할 수도 있다. 그러나, 사용될 화학식 1로 표시되는 규소 화합물의 양은 내열성, 투명성 및 내광성의 관점으로부터, 반응하는 혼합물의 바람직하게는 30 내지 99 중량％, 더 바람 직하게는 50 내지 99 중량％, 및 더욱 더 바람직하게는 60 내지 99 중량％이다.
붕소 화합물은 하기 화학식 2로 표시되는 화합물이 바람직하다.
<화학식 2>
Figure 112009052515832-pat00006
(식 중, Y1, Y2 및 Y3은 각각 독립적으로 수소 또는 알킬기를 나타냄)
화학식 2에서 각 알킬기의 탄소 원자수는 바람직하게는 1 내지 12, 더 바람직하게는 1 내지 6, 및 더욱 더 바람직하게는 1 내지 3이다. 알킬기의 예로는 메틸, 에틸, 프로필 및 이소프로필을 들 수 있다. 이들 중 이소프로필이 바람직하다.
화학식 2로 표시되는 화합물의 예로는 붕산, 트리메틸 보레이트, 트리에틸 보레이트 및 트리이소프로필 보레이트를 들 수 있다. 이러한 화합물은 단독으로 또는 둘 이상의 조합으로 사용할 수도 있다. 이들 중 트리이소프로필 보레이트가 바람직하다.
반응하는 혼합물 중에 화학식 1로 표시되는 규소 화합물과 붕소 화합물의 중량비(규소 화합물/붕소 화합물)는 내열성, 투명성 및 내광성의 관점으로부터, 바람직하게는 95/5 내지 30/70, 더 바람직하게는 95/5 내지 50/50, 더욱 더 바람직하게는 95/5 내지 60/40, 및 가장 바람직하게는 95/5 내지 70/30이다.
알루미늄 화합물은 하기 화학식 3으로 표시되는 화합물이 바람직하다.
<화학식 3>
Figure 112009052515832-pat00007
(식 중, Y4, Y5 및 Y6은 각각 독립적으로 수소 또는 알킬기를 나타냄)
화학식 3에서 각 알킬기의 탄소 원자수는 바람직하게는 1 내지 12, 더 바람직하게는 1 내지 6, 및 더욱 더 바람직하게는 1 내지 3이다. 알킬기의 예로는 메틸, 에틸, 프로필 및 이소프로필을 들 수 있다. 이들 중 이소프로필이 바람직하다.
화학식 3으로 표시되는 화합물의 예로는 알루미늄 트리메톡시드, 알루미늄 트리에톡시드, 알루미늄 트리이소프로폭시드 및 알루미늄 트리부톡시드를 들 수 있다. 이들 화합물은 단독으로 또는 둘 이상의 조합으로 사용할 수도 있다. 이들 중 알루미늄 트리이소프로폭시드가 바람직하다.
반응하는 혼합물 중에 화학식 1로 표시되는 규소 화합물과 알루미늄 화합물의 중량비(규소 화합물/알루미늄 화합물)는 바람직하게는 99/1 내지 30/70이다.
화학식 1로 표시되는 규소 화합물과, 붕소 화합물 또는 알루미늄 화합물의 반응은 예를 들어, 용매의 부재하에서 교반하면서, 0 내지 100℃에서 1 내지 48시간 동안 행해질 수 있다. 반응에 알루미늄 화합물이 사용되었을 경우, 생성된 반응 혼합물은 여과될 수도 있고 휘발성 물질이 이로부터 제거될 수도 있다. 상술한 방식으로, 폴리보로실록산 또는 폴리알루미노실록산 수지를 얻을 수 있다.
수지는 25℃에서 측정된 점도가 바람직하게는 100 내지 20,000 mPaㆍs, 및 더 바람직하게는 1,000 내지 10,000 mPaㆍs이다. 점도값은 25℃의 온도 및 1 atm의 조건하에 레오미터로 측정된 값이다.
이 수지는 이후에 마이크로렌즈 어레이를 제조하기 위해 사용되지만, 수지는 미리 반경화 상태의 필름으로 형성될 수도 있다. 이 경우에, 수지를 폴리(에틸렌 테레프탈레이트) 필름, 유리판 등에 적용한 후에, 바람직하게는 80 내지 250℃ 및 더 바람직하게는 100 내지 200℃에서, 바람직하게는 1분 내지 2시간 및 더 바람직하게는 5분 내지 1시간 동안 가열하여 건조시킴으로써, 폴리보로실록산 또는 폴리알루미노실록산의 반경화 필름을 얻는 방법으로 사용될 수 있다. 건조 작업은 임의로 2회 이상 수행될 수도 있다. 이 필름의 두께는 바람직하게는 50 내지 5,000 ㎛ 및 더 바람직하게는 100 내지 4,000 ㎛이다.
본 발명의 바람직한 실시예에서, 마이크로렌즈 어레이는 바람직하게는 (a) 마이크로렌즈 어레이와 동일한 형상을 갖는 베이스 재료를 제조하는 단계; (b) 베이스 재료를 사용하여 마이크로렌즈 어레이의 형상과 상반되는 형상을 갖는 성형 다이를 제조하는 단계; 및 (c) 성형 다이를 사용하여 마이크로렌즈 어레이의 형상을 수지에 전사하는 단계를 포함하는 공정에 의해 제조된다.
단계 (a)에서, 베이스 재료는 바람직하게는 규소, 석영 유리, 구리 합금, 철 합금, 니켈 합금, 또는 수지판 또는 수지 필름 [예를 들어, 폴리이미드 또는 폴리(메틸 메타크릴레이트)]로 구성된 것이다. 또한, 기계가공, 에칭, 광 조사 등에 의해 타겟 마이크로렌즈 어레이의 형상과 동일한 형상이 형성되어 베이스 재료를 제조하는 것이 바람직하다. 마이크로렌즈는 바람직하게는 직경 0.7 내지 50 ㎛ 및 높이 0.35 내지 25 ㎛의 거의 반구 형상이다. 마이크로렌즈 어레이는 바람직하게는 이러한 마이크로렌즈가 일정한 피치로 배열되고 그리고/또는 배열되거나 최밀집 패킹 배열로 배치된 것을 포함한다.
단계 (b)에서, 마이크로렌즈 어레이 형상을 갖는 베이스 재료의 형상과 상반되는 형상을 갖는 성형 다이는 Au, Ag, Al, Cr, Ni 등을 하기 방식으로 전기 주조함으로써 제조될 수 있다. 베이스 재료의 표면은 이러한 금속을 이용하여 전기 도금함으로써 도금하여 바람직하게는 0.15 내지 0.5 mm의 두께를 갖는 퇴적물(deposit)을 형성하고, 이후 금속 퇴적물은 베이스 재료로부터 제거되어 성형 다이가 제조된다.
단계 (c)에서, 성형 다이는 마이크로렌즈 어레이 형상을 수지에 전사하기 위해 사용되는 것이 바람직하다. 특히, 반경화 수지 필름을 석영판으로 옮기는 단계와, 이후에 필름 상에 성형 다이를 배치하는 단계와, 생성된 조립체를 진공 라미네이터(laminator)로 0.1 내지 1.0 MPa 및 100 내지 180℃에서 0.5분 내지 5분 동안 가압하는 단계를 포함하는 방법으로 이용될 수 있다. 따라서, 마이크로렌즈 어레이 형상은 수지로 전사될 수 있다.
또한, 단계 (c)는 수지를 기판에 적용하는 단계, 마이크로렌즈 어레이의 형상과 상반되는 형상을 갖는 성형 다이에 대하여 수지를 가압하는 단계 및 수지를 경화하는 단계를 포함할 수도 있다.
본 발명의 마이크로렌즈 어레이는 액정 프로젝터, 비디오 카메라, 뷰 파인더 및 휴대용 TV와 같은 광전자 기기에 적합하게 사용할 수 있다. 따라서, 본 발명은 상부에 장착된 마이크로렌즈 어레이를 포함하는 광전자 기기 또는 LED 어레이를 제공한다. 이 광전자 기기 또는 LED 어레이는, 광전자 기기 또는 LED 어레이에 부합하도록 마이크로렌즈 어레이를 적절하게 제조하고, 광전자 기기에 마이크로렌즈 어레이를 사용하거나 또는 LED 어레이 위에 마이크로렌즈 어레이를 배치함으로써 얻어질 수 있다.
<실시예>
실시예 1
양 말단이 실라놀기로 종결된 실리콘 오일(화학식 1로 표시되는 규소 화합물로서, 여기서 R1 및 R2는 메틸이고, X는 히드록시이고, n은 4이며, 수 평균 분자량은 300임) 10.0 g(33.3 mmol)에 트리이소프로필 보레이트(화학식 2로 표시되는 화합물로서, 여기서 Y1, Y2 및 Y3은 이소프로필임) 4.22 g(22.4 mmol)을 첨가하였다. 이 혼합물을 실온에서 2시간 동안 교반하여 폴리보로실록산(25℃에서 점도: 1,000 mPaㆍs)을 얻었다. 그 후에, 코터를 이용하여 0.3 m/분의 라인 속도로, 폴리보로실록산을 두께 100 ㎛가 되는 양으로 폴리(에틸렌 테레프탈레이트) 필름에 도포하였다. 코팅을 건식 오븐에서 100℃로 10분 동안 건조하여 폴리보로실록산 필름을 형성하였다. 그 후에, 얻어진 필름을 조각으로 절단하고, 이 조각을 건식 오븐에 두고 130℃에서 10분 동안 추가로 건조하여 반경화 상태의 필름을 얻었다.
이후에, (폴리이미드로 이루어진) 베이스 재료를 레이저 제거에 의해 가공하 여 마이크로렌즈 어레이 (각 마이크로렌즈의 형상, 반구형; 직경, 10 ㎛; 높이, 5 ㎛; 마이크로렌즈는 7개의 열로 배열되어 있음)와 동일한 형상을 부여하였다. 이후에, 이 베이스 재료를 니켈 전기 주조하여 마이크로렌즈 어레이의 형상과 상반되는 형상을 갖는 전기 주조된 니켈 성형 다이 (크기, 1 cm × 2 cm; 두께, 0.2 mm)를 제조하였다. 한편, 얻어진 필름을 크기 1 cm × 2 cm로 절단하고, 이 필름편을 두께 0.5 mm의 석영판으로 옮겼다. 그 후에, 필름 상에 전기 주조된 니켈 성형 다이를 두었다. 생성된 조립체를 진공 라미네이터 [진공 라미네이터 V130, 니치고-모르톤 캄파니, 리미티드(Nichigo-Morton Co., Ltd.) 제작]를 사용하여 0.5 MPa 및 150℃에서 5분 동안 가압하여 마이크로렌즈 어레이 (각 마이크로렌즈의 형상, 반구형; 직경, 10 ㎛; 높이, 5 ㎛; 마이크로렌즈는 7개의 열로 배열되어 있음)의 형상을 필름에 전사하였다. 따라서, 폴리보로실록산 필름을 성형하여 마이크로렌즈 어레이를 얻었다.
얻어진 마이크로렌즈 어레이를 7개의 열로 배열된 LED [1.5-W 고전력 LED; SL-V-B40AC (청), 세미엘이디 코포레이션(SemiLEDs Corp.) 제작; 순방향 전류, 500 mA; 순방향 전압, 3.4V]를 포함하는 LED 어레이의 상측 상에 배치하여 상부에 장착된 마이크로렌즈 어레이를 갖는 LED 어레이를 얻었다. 그 후에, 이 LED 어레이를 120℃의 조건하에 연속 내열성/내광성 시험을 행하였다. 평가 기준으로서 휘도(luminance)를 사용하였다. 휘도는 Bm-9 [도프콘 테크노하우스 코포레이션(Topcon Technohouse Corp.) 제작]로 측정하였다. 1,000시간 후에 측정된 휘도는 시험 개시 시에 측정된 휘도와 비교하였다. 그 결과, 휘도 감소는 약 3.5％이 었다.
실시예 2
양 말단이 실라놀기로 종결된 실리콘 오일(화학식 1로 표시되는 규소 화합물로서, 여기서 R1 및 R2는 메틸이고, X는 히드록시이고, n은 13이며, 수 평균 분자량은 1,000임) 129 g(129 mmol)에 알루미늄 트리이소프로폭시드(화학식 3으로 표시되는 화합물로서, 여기서 Y4, Y5 및 Y6은 이소프로필임) 6.97 g(34.1 mmol)을 첨가하였다. 이 혼합물을 실온에서 2시간 동안 교반하여 백색 현탁액을 얻었다. 이 현탁액을 여과하고, 휘발성 물질을 회전식 증발기로 제거하여 폴리알루미노실록산 (25℃에서의 점도, 1,350 mPaㆍs)을 얻었다. 그 후에, 폴리알루미노실록산을 사용하여 실시예 1에서와 동일한 방식으로 반경화 상태의 필름을 얻었다. 이후에, 실시예 1에서와 동일한 방식으로 마이크로렌즈 어레이를 제조하고, 상부에 장착된 마이크로렌즈 어레이를 갖는 LED 어레이를 얻었다. 그 후에, 이 LED 어레이를 120℃의 조건하에 연속 내열성/내광성 시험을 행하였다. 1,000시간 후에 측정된 휘도는 시험 개시 시에 측정된 휘도와 비교하였다. 그 결과, 휘도 감소는 2.5％이었다.
비교예 1
수지로서 투명한 에폭시 수지 NT-8050 [닛토덴코 가부시끼가이샤(Nitto Denko Corp.) 제작]을 사용하여 실시예 1에서와 동일한 방식으로 마이크로렌즈 어레이를 제조하였다. 상부에 장착된 마이크로렌즈 어레이를 갖는 LED 어레이를 실시예 1에서와 동일한 방식으로 얻었다. 그 후에, 이 LED 어레이를 120℃의 조건하 에 연속 내열성/내광성 시험을 행하였다. 1,000시간 후에, 마이크로렌즈 어레이의 상태를 시험하였다. 그 결과, 마이크로렌즈 어레이가 황변된 것으로 밝혀졌다. 시험 개시 초기값으로부터 30％ 이상의 휘도 감소가 관찰되었다.
본 발명은 그 구체적인 실시예를 참조하여 상세하게 기재되었지만, 본 발명의 범주를 벗어나지 않으면서 본 발명 내에서 다양한 변경 및 변형이 이루어질 수 있다는 것은 당업자에게 명백할 것이다.
본 출원은 본원에 그 전체 내용이 참고로 포함되는 2008년 8월 27일자 출원된 일본 특허 출원 제2008-217518호에 근거한다.

Claims (8)

  1. 하기 화학식 1로 표시되는 규소 화합물을, 붕소 화합물 또는 알루미늄 화합물과 반응시켜 얻어진 수지를 성형하여 제조되는 마이크로렌즈 어레이.
    <화학식 1>
    Figure 112012087424787-pat00008
    (식 중, R1 및 R2는 각각 메틸기이고, X는 히드록시기이며, n은 4 내지 250임)
  2. 제1항에 있어서, 상기 붕소 화합물은 하기 화학식 2로 표시되는 화합물인 마이크로렌즈 어레이.
    <화학식 2>
    Figure 112009052515832-pat00009
    (식 중, Y1, Y2 및 Y3은 각각 독립적으로 수소 또는 알킬기를 나타냄)
  3. 제1항에 있어서, 상기 알루미늄 화합물은 하기 화학식 3으로 표시되는 화합물인 마이크로렌즈 어레이.
    <화학식 3>
    Figure 112009052515832-pat00010
    (식 중, Y4, Y5 및 Y6은 각각 독립적으로 수소 또는 알킬기를 나타냄)
  4. 삭제
  5. 제2항에 있어서, 상기 붕소 화합물은 트리이소프로필 보레이트인 마이크로렌즈 어레이.
  6. 제3항에 있어서, 상기 알루미늄 화합물은 알루미늄 트리이소프로폭시드인 마이크로렌즈 어레이.
  7. 상부에 장착된 제1항에 따른 마이크로렌즈 어레이를 포함하는 광전자 기기.
  8. 상부에 장착된 제1항에 따른 마이크로렌즈 어레이를 포함하는 LED 어레이.
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