KR101271176B1 - 기판 로딩 및 언로딩 장치 - Google Patents

기판 로딩 및 언로딩 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101271176B1
KR101271176B1 KR1020100113618A KR20100113618A KR101271176B1 KR 101271176 B1 KR101271176 B1 KR 101271176B1 KR 1020100113618 A KR1020100113618 A KR 1020100113618A KR 20100113618 A KR20100113618 A KR 20100113618A KR 101271176 B1 KR101271176 B1 KR 101271176B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
magnetic
conveyor
bar
roller
chamber
Prior art date
Application number
KR1020100113618A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20120052462A (ko
Inventor
장승일
Original Assignee
주식회사 엠엠테크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엠엠테크 filed Critical 주식회사 엠엠테크
Priority to KR1020100113618A priority Critical patent/KR101271176B1/ko
Publication of KR20120052462A publication Critical patent/KR20120052462A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101271176B1 publication Critical patent/KR101271176B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67709—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G13/00—Roller-ways
    • B65G13/02—Roller-ways having driven rollers
    • B65G13/06—Roller driving means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H49/00—Other gearings
    • F16H49/005—Magnetic gearings with physical contact between gears
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)

Abstract

본 발명은 기판 로딩 및 언로딩 장치에 관한 것으로, 특히 챔버 내부에서 기판 로딩과 언로딩을 동시에 수행할 수 있고, 기판 로딩 및 언로딩을 기어 어셈블리에 의하여 수행하는 것이 아니라, 자력에 의하여 수행함으로써, 파티클 발생을 억제할 수 있으며, 챔버 내부의 전선 배치를 최소화할 수 있는 기판 로딩 및 언로딩 장치에 관한 것이다.
본 발명인 기판 로딩 및 언로딩 장치에 관한 구성수단은, 기판에 대하여 공정을 수행하는 공간인 챔버, 상기 챔버 내부에서 승하강하는 마그네틱 콘베이어, 상기 마그네틱 콘베이어 상측으로 상기 챔버 내부에 고정 설치되되, 상기 챔버 내부로 로딩되는 상기 기판을 자력으로 상기 마그네틱 콘베이어 상부로 로딩시키는 상부 마그네틱 구동수단, 상기 마그네틱 콘베이어 하측으로 상기 챔버 내부에 고정 설치되되, 상기 마그네틱 콘베이어 상부에서 공정 수행이 완료된 상기 기판을 자력으로 상기 마그네틱 콘베이어 상부에서 챔버 외부로 언로딩시키는 하부 마그네틱 구동수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 로딩 및 언로딩 장치{apparatus for loading and unloading substrates}
본 발명은 기판 로딩 및 언로딩 장치에 관한 것으로, 특히 챔버 내부에서 기판 로딩과 언로딩을 동시에 수행할 수 있고, 기판 로딩 및 언로딩을 기어 어셈블리에 의하여 수행하는 것이 아니라, 자력에 의하여 수행함으로써, 파티클 발생을 억제할 수 있으며, 챔버 내부의 전선 배치를 최소화할 수 있는 기판 로딩 및 언로딩 장치에 관한 것이다.
평판디스플레이소자를 제조하기 위해서는 기판에 대하여 다수의 공정들이 챔버 내에서 이루어진다. 예를 들어, 기판에 대하여 세정을 수행하거나, 식각을 수행하거나 또는 패턴을 형성하는 공정이 챔버 내에서 이루어지고 있다.
이와 같이, 챔버 내에서 기판에 대하여 각 종 공정을 수행하기 위해서는 기판을 챔버 내로 로딩하거나, 공정이 완료된 기판을 언로딩하기 위한 장치들이 구비되어야 한다. 예를 들어 컨베이어 장치들이 챔버 내부에 구비되어, 기판을 이송시키는 동작을 수행한다.
도 1은 종래의 기판이송용 컨베이어장치(120)를 나타내는 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 기판이송용 컨베이어장치(120)는 공정라인과 공정라인 사이에 설치되는 테이블(121)과, 상기 테이블(121) 위에 설치되어 기판의 이송방향으로 회전하는 롤러(122)와, 상기 롤러(122)에 형성되어 상기 롤러(122)가 회전함에 따라 회전하고 실제 기판과 접촉하여 기판을 롤러(122)의 회전방향을 따라 이송시키는 접촉부(124)와, 기판의 이송방향을 따라 상기 테이블(121)의 양측면에 형성되어 이송되는 기판이 편향되어 외부로 벗어나는 것을 방지하는 가이드롤러(130)로 구성된다.
상기 컨베이어장치(120)의 측면에는 모터(140)가 설치되어 있으며, 상기 모터(140)의 구동축의 단부에는 제1기어(141)가 설치된다. 또한, 상기 컨베이어장치(120)의 측면에는 롤러(122)의 배열방향, 즉 롤러(122)가 회전함에 따라 이동하는 기판의 진행방향을 따라 회전축(142)이 설치된다.
상기 회전축(142)에는 제2기어(143)가 설치되어, 상기 모터(140)의 구동축 단부에 설치된 제1기어(141)와 맞물린다. 또한, 상기 롤러(122)에 대응하는 위치의 회전축(142)에는 복수의 제3기어(146)가 형성되며, 상기 롤러(122)의 단부에는 각각의 제3기어(146)와 맞물리는 제4기어(147)가 설치된다.
서로 맞물리는 제1기어(141) 및 제2기어(143)는 모터(140)의 구동력을 회전축(142)에 전달하고 제3기어(146) 및 제4기어(147)는 회전축(142)의 회전력을 롤러(122)에 전달한다.
결국, 모터(140)가 구동함에 따라 모터(140)의 구동축이 회전하면, 이 구동축의 회전력이 제1기어(141) 및 제2기어(143)를 통해 회전축(142)에 전달되며, 상기 회전축(142)의 회전력은 제3기어(146) 및 제4기어(147)를 통해 롤러(122)에 전달되어, 상기 롤러(122) 위에 놓인 기판이 이송되는 것이다.
서로 맞물리는 제1기어(141) 및 제2기어(143)와 제3기어(146) 및 제4기어(147)은 단순히 일측의 회전력을 타측으로 전달하는 것이 아니라, 회전방향을 전환한 상태로 전달한다.
즉, 제1기어(141) 및 제2기어(143)에 의해 모터(140)의 구동축의 회전력이 상기 구동축과 수직으로 배치된 회전축(142)에 전달되며, 제3기어(146) 및 제4기어(147)에 의해 회전축(142)의 회전력이 상기 회전축과 수직으로 배치된 롤러(122)로 전달된다.
이상에서 설명한 종래의 기판이송용 컨베이어 장치는 복수의 기어들을 사용하여 기판을 이송시키는 동작을 수행한다. 그런데, 이와 같은 기어들의 맞물림에 의하여 기판 이송 동작을 수행하게 되면, 기어들의 맞물림 동작에 의하여 파티클이 발생한다.
챔버 내에서 수행되는 기판 처리 공정은 파티클의 영향을 받지 않아야 함에도 불구하고, 기어들의 맞물림에 의하여 발생되는 파티클에 의하여 기판 불량을 유발하고 공정 효율을 떨어뜨리는 문제점을 발생한다.
한편, 상기와 같이 기어들의 맞물림에 의하여 발생하는 파티클을 제거하기 위하여, 기어 상부쪽에서 세정수를 뿌려주는 장치를 구비하기도 하지만, 이는 장비의 복잡도를 증가시키고, 장비 제조 단가를 상승시키며, 세정수에 의한 전기적인 문제 발생을 유발하는 단점을 가지고 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 챔버 내부에서 기판 로딩과 언로딩을 동시에 수행할 수 있고, 기판 로딩 및 언로딩을 기어 어셈블리에 의하여 수행하는 것이 아니라, 자력에 의하여 수행함으로써, 파티클 발생을 억제할 수 있으며, 챔버 내부의 전선 배치를 최소화할 수 있는 기판 로딩 및 언로딩 장치에 관한 것이다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 기판 로딩 및 언로딩 장치에 관한 구성수단은, 기판에 대하여 공정을 수행하는 공간인 챔버, 상기 챔버 내부에서 승하강하는 마그네틱 콘베이어, 상기 마그네틱 콘베이어 상측으로 상기 챔버 내부에 설치되되, 상기 챔버 내부로 로딩되는 상기 기판을 자력으로 상기 마그네틱 콘베이어 상부로 로딩시키는 상부 마그네틱 구동수단, 상기 마그네틱 콘베이어 하측으로 상기 챔버 내부에 고정 설치되되, 상기 마그네틱 콘베이어 상부에서 공정 수행이 완료된 상기 기판을 자력으로 상기 마그네틱 콘베이어 상부에서 챔버 외부로 언로딩시키는 하부 마그네틱 구동수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 마그네틱 콘베이어는, 승강 구동수단에 의하여 상하 이동되는 사각 프레임과, 상기 사각 프레임의 네 모서리 중, 서로 마주보는 두 모서리에 바(bar) 형태로 걸쳐져서 회전 가능하게 안착되되, 상기 바(bar)에는 복수개의 콘베이어 이송 롤러가 부착되어 있으며, 상기 바(bar)의 일단에는 콘베이어 마그네틱 롤러가 부착되어 있는 복수개의 콘베이어 롤러 바(bar)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 상부 마그네틱 구동수단은, 상기 바(bar)와 직교 방향으로 배치되는 상부 회전바와, 상기 상부 회전바에 서로 이격되어 부착되되, 상기 복수개의 콘베이어 롤러 바(bar)에 각각 부착되는 상기 콘베이어 마그네틱 롤러에 수직선상에 대응되는 위치에 부착되는 상부 구동 마그네틱 롤러와, 상기 상부 회전바를 회전 가능하도록 지지하기 위하여 상기 챔버 내벽에 부착되는 상부 지지대를 포함하여 구성되되, 상기 마그네틱 콘베이어가 상승된 후 기판 로딩 지점에 위치할 때, 상기 상부 구동 마그네틱 롤러가 부착된 상기 상부 회전바가 회전 구동되어, 상기 콘베이어 마그네틱 롤러가 부착된 상기 콘베이어 롤러 바가 비접촉식으로 회전되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 상부 구동 마그네틱 롤러의 회전 방향과 상기 콘베이어 마그네틱 롤러의 회전 방향은 서로 직교 방향인 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 상부 구동 마그네틱 롤러와 상기 콘베이어 마그네틱 롤러의 표면은 수지 몰딩되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하부 마그네틱 구동수단은, 상기 바(bar)와 직교 방향으로 배치되는 하부 회전바와, 상기 하부 회전바에 서로 이격되어 부착되되, 상기 복수개의 콘베이어 롤러 바(bar)에 각각 부착되는 상기 콘베이어 마그네틱 롤러에 수직선상에 대응되는 위치에 부착되는 하부 구동 마그네틱 롤러와, 상기 하부 회전바를 회전 가능하도록 지지하기 위하여 상기 챔버 내벽에 부착되는 하부 지지대를 포함하여 구성되되, 상기 마그네틱 콘베이어가 하강된 후 기판 언로딩 지점에 위치할 때, 상기 하부 구동 마그네틱 롤러가 부착된 상기 하부 회전바가 회전 구동되어, 상기 콘베이어 마그네틱 롤러가 부착된 상기 콘베이어 롤러 바가 비접촉식으로 회전되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 하부 구동 마그네틱 롤러의 회전 방향과 상기 콘베이어 마그네틱 롤러의 회전 방향은 서로 직교 방향인 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 하부 구동 마그네틱 롤러와 상기 콘베이어 마그네틱 롤러의 표면은 수지 몰딩되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 과제 및 해결수단을 가지는 기판 로딩 및 언로딩 장치에 의하면, 챔버 내부에서 기판 로딩과 언로딩을 동시에 수행할 수 있고, 기판 로딩 및 언로딩을 기어 어셈블리에 의하여 수행하는 것이 아니라, 자력에 의하여 수행하기 때문에, 파티클 발생을 억제할 수 있으며, 챔버 내부의 전선 배치를 최소화할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래의 기판이송용 컨베이어 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 로딩 및 언로딩 장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 로딩 및 언로딩 장치의 정면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 로딩 및 언로딩 장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 로딩 및 언로딩 장치의 구성요소인 마그네틱 컨베이어의 분리 사시도이다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 실시예에 따른 기판 로딩 및 언로딩 장치에 의한 기판 로딩 및 언로딩 동작을 설명하기 위한 공정도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 과제, 해결수단 및 효과를 가지는 본 발명인 기판 로딩 및 언로딩 장치에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 로딩 및 언로딩 장치(100)의 사시도이고, 도 3은 정면도이며, 도 4는 상부에 바라본 평면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 로딩 및 언로딩 장치(100)는 기판에 대하여 공정을 수행하는 공간인 챔버(10), 상기 챔버(10) 내부에서 승하강하는 마그네틱 콘베이어(20), 상기 마그네틱 콘베이어(20) 상측으로 상기 챔버(10) 내부에 설치되는 상부 마그네틱 구동수단(30) 및 상기 마그네틱 콘베이어(20) 하측으로 상기 챔버(10) 내부에 설치되는 하부 마그네틱 구동수단(40)을 포함하여 구성된다.
상기 챔버(10)는 기판에 대하여 세정, 식각 등의 각 종 공정을 수행하는 공간이다. 상기 챔버(10) 내부에서는 기판에 대하여 하나의 공정을 수행할 수도 있고, 두개 이상의 공정을 연속해서 수행할 수도 있다.
상기 기판에 대하여 공정을 수행하기 위하여 챔버(10) 내부로 기판이 로딩되고, 공정 수행이 완료된 기판을 챔버 외부로 언로딩해야 하기 때문에, 상기 챔버(10)에는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 기판 로딩을 위한 로딩 게이트(11)가 상기 챔버(10) 상부 측벽에 형성되고, 기판 언로딩을 위한 언로딩 게이트(13)가 상기 챔버(10) 하부 측벽에 형성된다.
상기 챔버(10) 내부에는 기판을 이송받고, 공정 수행이 완료된 기판을 챔버 밖으로 이송시키기 위한 마그네틱 콘베이어(20)가 구비된다. 이 마그네틱 콘베이어(20)는 다양한 형태로 승하강될 수 있도록 상기 챔버(10) 내부에 배치된다.
예를 들어, 후술하겠지만, 도 6a 내지 도 6c에 도시된 바와 같이, 상기 마그네틱 콘베이어(20) 하부를 지지하는 승강축(27)과, 이 승강축(28)에 동력을 전달하여 승하강시키는 승강동력부(28)를 통하여 상기 마그네틱 콘베이어(20)를 승하강시킬 수 있다.
상기 승강축(28)은 상기 챔버(10) 하부벽을 통과하여 승하강하기 때문에, 당연히 상기 승강축(28)이 통과할 수 있도록 상기 챔버(10) 하부벽에는 통과홀(미도시)이 형성되고, 챔버 내부가 챔버 외부와 차단될 수 있도록 상기 통과홀에는 벨로우즈와 같은 수단이 장착된다. 한편, 상기 승강동력부(28)는 유압, 공압, 기계적 동력에 의하여 동력을 발생하는 것이라면 모두 해당될 수 있다.
상기 챔버(10) 내부에서 승하강하는 상기 마그네틱 콘베이어(20)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 상부 마그네틱 구동수단(30)과 하부 마그네틱 구동수단(40) 사이에서 승하강을 수행한다.
구체적으로, 상기 마그네틱 콘베이어(20)는 상기 상부 마그네틱 구동수단(30) 바로 아래(기판 로딩 지점)까지 상승하여 상기 상부 마그네틱 구동수단(30)의 구동에 의하여 발생하는 자력 방향 변동을 통하여 기판을 이송받고, 상기 하부 마그네틱 구동수단(40) 바로 위(기판 언로딩 지점)까지 하강하여 상기 하부 마그네틱 구동수단(30)에 구동에 의하여 발생하는 자력 방향 변동을 통하여 기판을 챔버 밖으로 이송시킨다.
후술하겠지만, 상기 기판 로딩 지점은 기판을 이송받는 상기 마그네틱 콘베이어(20)의 챔버 내 위치로서, 상기 마그네틱 콘베이어(20)에 포함되는 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 상기 상부 마그네틱 구동수단(30)에 포함되는 상부 구동 마그네틱 롤러(33)와 소정 간격 이격 거리를 두고 바로 아래에 위치할 때의, 상기 마그네틱 콘베이어(20)의 챔버 내 위치를 의미한다. 상기 이격 거리는 상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33)의 회전에 따라 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 자력 방향의 변동에 따라 회전력을 발생시킬 수 있을 정도의 거리이면 다양하게 변경될 수 있다.
또한, 상기 기판 언로딩 지점은 기판을 챔버 밖으로 이송시키는 상기 마그네틱 콘베이어(20)의 챔버 내 위치로서, 상기 마그네틱 콘베이어(20)에 포함되는 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 상기 하부 마그네틱 구동수단(40)에 포함되는 하부 구동 마그네틱 롤러(43)와 소정 간격 이격 거리를 두고 바로 위에 위치할 때의, 상기 마그네틱 콘베이어(20)의 챔버 내 위치를 의미한다. 상기 이격 거리는 상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43)의 회전에 따라 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 자력 방향의 변동에 따라 회전력을 발생시킬 수 있을 정도의 거리이면 다양하게 변경될 수 있다.
상기와 같은 동작을 수행하는 상기 마그네틱 콘베이어(20)는 도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(10) 내부에 배치되고, 그 세부 구조는 도 5에 도시된 바와 같다. 도 5는 상기 마그네틱 콘베이어(20)의 분리 사시도이다.
상기 마그네틱 콘베이어(20)는 도 5에 도시된 바와 같이, 내부가 비어있는 사각 프레임(21), 상기 사각 프레임(21)의 네 모서리 중, 서로 마주보는 두 모서리에 바(bar) 형태로 걸쳐져서 회전 가능하게 안착되는 복수개의 콘베이어 롤러 바(bar)(22)를 포함하여 이루어진다.
상기 마그네틱 콘베이어(20)의 틀을 구성하는 상기 사각 프레임(21)은 상기 도 5에 도시된 바와 같이, 네개의 모서리 중, 서로 마주보고 있는 두 모서리에 결착홈(24)들이 소정 간격 이격되어 형성되어 있다.
상기 결착홈(24)은 상기 콘베이어 롤러 바(bar)(22)가 회전 가능하게 걸쳐지는 부분이다. 구체적으로, 상기 결착홈(24)에 안착되는 상기 콘베이어 롤러 바(22)의 대응 부분에 베어링(26)이 삽입되어 있고, 상기 베어링(26)이 상기 결착홈(24)에 삽입 고정됨에 따라, 상기 콘베이어 롤러 바(22)는 외력(자력)에 의하여 회전이 가능하게 된다.
상기 콘베이어 롤러 바(22)는 상술한 바와 같이, 상기 사각 프레임(21) 상에 회전 가능하게 안착되되, 상기 기판을 지지하면서 이송시킬 수 있는 콘베이어 이송 롤러(23)와 외부의 자기장에 반응하여 회전하는 콘베이어 마그네틱 롤러(25)를 구비하고 있다.
구체적으로, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 콘베이어 롤러 바(22)의 전체 부분 중, 상기 사각 프레임(21)의 내부에 위치하는 부분에 소정 간격 이격되어 복수개의 콘베이어 이송 롤러(23)가 부착되어 있다. 그리고, 상기 콘베이어 롤러 바(22)의 전체 부분 중 상기 사각 프레임(21)의 외부에 위치하는 부분, 즉 상기 콘베이어 롤러 바(22)의 일단(끝단)에 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 부착되어 있다.
후술하겠지만, 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)는 상기 상부 마그네틱 구동수단(30)에 포함되어 있는 상부 구동 마그네틱 롤러(33) 또는 상기 하부 마그네틱 구동 수단(40)에 포함되어 있는 하부 구동 마그네틱 롤러(43)가 회전함에 따라, 회전력을 발생하고, 결과적으로 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 일단(끝단)에 부착되어 있는 상기 콘베이어 롤러 바(22)가 회전하게 되며, 동시에 상기 콘베이어 이송 롤러(23)가 회전하게 된다. 따라서, 상기 콘베이어 이송 롤러(23) 상에 기판 일부가 안착되면, 상기 콘베이어 이송 롤러(23)가 회전하기 때문에, 상기 기판이 한 방향으로 이송될 수 있다.
상기와 같은 구성 및 동작을 가지는 상기 마그네틱 콘베이어(20) 상부에는 상부 마그네틱 구동수단(30)이 배치된다. 상기 상부 마그네틱 구동수단(30)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 마그네틱 콘베이어(20) 상측으로 상기 챔버(10) 내부에 설치된다.
상기 상부 마그네틱 구동수단(30)은 상기 마그네틱 콘베이어(20) 상측으로 상기 챔버 내부에서 고정되어 설치될 수도 있고, 상하로 이동 가능하게 설치될 수도 있다.
상기 상부 마그네틱 구동수단(30)은 상기 챔버(10)의 로딩 게이트(11)를 통해 상기 챔버(10) 내부로 로딩되는 상기 기판을 자력으로 상기 마그네틱 콘베이어(20) 상부로 로딩시키는 동작을 수행한다.
상기 상부 마그네틱 구동수단(30)의 세부적인 구조는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 상부 마그네틱 구동수단(30)은 상기 마그네틱 콘베이어(20)에 포함되는 바(bar) 형태의 콘베이어 롤러 바(bar)(22)와 직교 방향으로 배치되는 상부 회전바(31)와, 상기 상부 회전바(31)에 서로 이격되어 부착되는 복수개의 상부 구동 마그네틱 롤러(33)와 상기 상부 회전바(31)를 회전 가능하도록 지지하기 위하여 상기 챔버(10)의 내벽에 부착되는 상부 지지대(37)를 포함하여 구성된다.
상기 상부 회전바(31)는 상기 콘베이어 롤러 바(22)와 직교 방향으로 배치되되, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(10)의 일 내측벽에 근접하여 배치된다. 이와 같이, 상기 상부 회전바(31)가 상기 챔버(10)의 일 내측벽에 근접하여 배치되는 이유는 자력에 의하여 회전력을 가하고자 하는 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 상기 콘베이어 롤러 바(22)의 일단(끝단)에 부착되어 있기 때문이다.
상기 상부 회전바(31)에 부착되는 복수개의 상부 구동 마그네틱 롤러(33)는 상기 복수개의 콘베이어 롤러 바(22)의 일단(끝단) 각각에 부착되는 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)에 수직선상에 대응되는 위치에 부착된다.
구체적으로 설명하면, 상기 마그네틱 콘베이어(20)가 상기 상부 마그네틱 구동수단(30) 바로 아래 위치할 때(기판 로딩 지점에 위치할 때), 상기 상부 마그네틱 구동수단(30)에 포함되는 상기 복수개의 상부 구동 마그네틱 롤러(33) 각각과 상기 마그네틱 콘베이어(20)에 포함되어 있는 복수개의 콘베이어 마그네틱 롤러(25) 각각이 수직선상에서 상하로 근접하여 일대일로 대응된다.
이와 같은 배치 구조에서, 상기 상부 회전바(31)가 회전하면, 상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33)가 회전하게 되고, 이 상부 구동 마그네틱 롤러(33)의 회전에 따라 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)에 회전력이 가해진다.
상기 상부 회전바(31)의 회전은 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(10) 외부에 배치되는 상부 구동 동력부(35)에 발생되는 회전력에 의하여 이루어진다. 이와 같이 상기 상부 회전바(31)가 상기 상부 구동 동력부(35)에 의하여 회전되기 위해서는 상기 챔버(10) 내부에서 회전 가능하도록 지지되어야 한다.
이를 위하여, 상기 상부 지지대(37)가 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(10)의 상측 내벽에 부착된다. 상기 상부 지지대(37)는 상기 챔버(10)의 상측 내벽에 부착되되, 상기 상부 회전바(31)를 회전가능하게 지지한다. 예를 들어, 상기 상부 지지대(37)에 관통홀(미도시)이 형성되어 있고, 이 관통홀(미도시)을 통해 상기 상부 회전바(31)가 관통되어 배치되며, 상기 관통홀(미도시) 내부에 베어링(비도시)이 구비되어 있으면, 상기 상부 지지대(37)는 상기 상부 회전바(31)를 회전가능하도록 지지할 수 있다.
한편, 상술한 바와 같이, 상기 상부 마그네틱 구동수단(30)은 상기 챔버 내부에 고정되어 설치될 수도 있고, 상하로 이동 가능하게 설치될 수도 있다. 상기 상부 마그네틱 구동수단(30)이 상기 챔버 내부에 고정설치되는 경우에는 상기 상부 지지대(37)를 상기 챔버(10)의 상측 내벽에 고정되어 부착하면 된다.
그런데, 상기 상부 마그네틱 구동수단(30)이 상기 챔버 내부에서 이동 가능하게 설치되는 경우에는, 상기 상부 지지대(37)가 상기 챔버(10)의 상측 내벽에 고정되어 설치되면 안되고, 상하로 이동 가능하게 설치되어야 한다. 이와 같이, 상기 상부 지지대(37)가 상기 챔버(10)의 상측 내벽에서 상하로 이동 가능하게 설치되는 구조는 다양하게 구성될 수 있다.
예를 들어, 상기 상부 지지대(37)가 상기 챔버(10)의 상측 내벽에 부착되되, 내벽에 부착되어 상하로 슬라이딩 될 수 있는 구조를 가지면 된다. 이는 상기 챔버(10)의 내벽에 슬라이딩 가이드 홈을 상하로 형성하거나, 슬라이딩 가이드 홈을 가지는 부재를 부착하고, 상기 상부 가이드(37)에 슬라이더를 형성하여 상기 슬라이딩 가이드 홈에 끼움으로서, 상기 상부 지지대(37)가 상하로 이동될 수 있는 구조를 가질 수 있다. 물론, 상기 상부 지지대(37)를 상하로 이동시킬 수 있는 구동원(유압, 공압, 기계적 동력발생 원 등)과, 상기 상부 지지대(37)에 연결되어 상기 구동원의 구동력을 상기 상부지지대(37)에 전달할 수 있는 구동축이 구비된다.
이와 같이, 상기 상부 지지대(37)가 상하로 이동될 수 있도록 구성하는 이유는 챔버 내부에 존재하는 다른 구성요소 또는 기기들과 간섭이 발생하는 경우 간섭을 배제하기 위한 경우를 대비하기 위함이다. 또한, 상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33)와 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)간의 거리를 조절하여 회전력을 조정할 필요가 있는 경우를 대비하기 위함이다.
예를 들어, 상기 기판이 챔버 내부로 거의 들어와서 로딩이 완료되기 직전에는 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)의 회전력을 점점 줄임으로써, 상기 기판 로딩이 안정적으로 완료되도록 할 필요가 있다.
이와 같은 구조 및 동작을 가지는 상기 상부 마그네틱 구동수단(30)은 상기 마그네틱 콘베이어(20)가 상승된 후 기판 로딩 지점에 위치할 때, 상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33)가 부착된 상기 상부 회전바(31)가 회전 구동되어, 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 부착된 상기 콘베이어 롤러 바(22)를 비접촉식으로 회전시킨다.
상기와 같이, 상기 상부 회전바(31)가 회전 구동됨에 따라 상기 콘베이어 롤러 바(22)가 비접촉식으로 회전되는 것은 상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33)의 회전 방향과 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)의 회전 방향이 서로 직교 방향이기 때문이다.
상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33) 및 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25) 내부에는 N극과 S극의 자석이 교번으로 배치되어 있다. 상기 N극의 자석과 S극의 자석의 교번 배치 구조는 상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33)의 회전에 따라 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33)의 회전 방향과 직교 방향의 회전력을 발생시킬 수 있다면, 다양하게 구성할 수 있다.
다만, 상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33) 및 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25) 내부에 배치되는 N극과 S극의 자석은 헬리컬(helical) 형태로 교번적으로 배치하는 것이 상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33)가 회전함에 따라 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33)의 회전 방향과 직교 방향의 회전력을 발생시키기 용이하다. 즉, 상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33) 및 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25) 내부에 배치되는 N극과 S극의 자석이 각각 헬리컬(helical) 형태로 교번적으로 배치되기 때문에, 상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33)가 회전됨에 따라, 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33)의 회전방향의 직교 방향으로 회전될 수 있다.
한편, 상기 자석은 수분, 산소 및 산성액 등에 의하여 산화, 부식이 될 수 있기 때문에, 보호될 필요가 있다. 따라서, 상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33)와 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)의 표면은 수지 몰딩되는 것이 바람직하다.
상기와 같은 구성 및 동작을 가지는 상기 상부 마그네틱 구동수단(40)과 별도로 상기 마그네틱 콘베이어(20) 하부에는 하부 마그네틱 구동수단(40)이 배치된다. 상기 하부 마그네틱 구동수단(40)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 마그네틱 콘베이어(20) 하측으로 상기 챔버(10) 내부에 설치된다.
상기 하부 마그네틱 구동수단(40)은 상기 마그네틱 콘베이어(20) 하측으로 상기 챔버 내부에서 고정되어 설치될 수도 있고, 상하로 이동 가능하게 설치될 수도 있다.
상기 하부 마그네틱 구동수단(40)은 상기 챔버(10)의 언로딩 게이트(13)를 통해 상기 챔버(10) 외부로 언로딩되는 상기 기판을 자력으로 상기 마그네틱 콘베이어(20) 상부에서 이송시켜 언로딩시키는 동작을 수행한다.
상기 하부 마그네틱 구동수단(40)의 세부적인 구조는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같다. 참고로, 도 4는 상부 마그네틱 구동수단(30)이 보여지는 도면이나, 구조에 대해서는 하부 마그네틱 구동수단(40)과 동일하다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 하부 마그네틱 구동수단(40)은 상기 마그네틱 콘베이어(20)에 포함되는 바(bar) 형태의 콘베이어 롤러 바(bar)(22)와 직교 방향으로 배치되는 하부 회전바(41)와, 상기 하부 회전바(41)에 서로 이격되어 부착되는 복수개의 하부 구동 마그네틱 롤러(43)와 상기 하부 회전바(41)를 회전 가능하도록 지지하기 위하여 상기 챔버(10)의 내벽에 부착되는 하부 지지대(47)를 포함하여 구성된다.
상기 하부 회전바(41)는 상기 콘베이어 롤러 바(22)와 직교 방향으로 배치되되, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(10)의 일 내측벽에 근접하여 배치된다. 이와 같이, 상기 하부 회전바(41)가 상기 챔버(10)의 일 내측벽에 근접하여 배치되는 이유는 자력에 의하여 회전력을 가하고자 하는 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 상기 콘베이어 롤러 바(22)의 일단(끝단)에 부착되어 있기 때문이다.
상기 하부 회전바(41)에 부착되는 복수개의 하부 구동 마그네틱 롤러(43)는 상기 복수개의 콘베이어 롤러 바(22)의 일단(끝단) 각각에 부착되는 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)에 수직선상에 대응되는 위치에 부착된다.
구체적으로 설명하면, 상기 마그네틱 콘베이어(20)가 상기 하부 마그네틱 구동수단(40) 바로 위에 위치할 때(기판 언로딩 지점에 위치할 때), 상기 하부 마그네틱 구동수단(40)에 포함되는 상기 복수개의 하부 구동 마그네틱 롤러(43) 각각과 상기 마그네틱 콘베이어(20)에 포함되어 있는 복수개의 콘베이어 마그네틱 롤러(25) 각각이 수직선상에서 상하로 근접하여 일대일로 대응된다.
이와 같은 배치 구조에서, 상기 하부 회전바(41)가 회전하면, 상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43)가 회전하게 되고, 이 하부 구동 마그네틱 롤러(43)의 회전에 따라 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)에 회전력이 가해진다.
상기 하부 회전바(41)의 회전은 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(10) 외부에 배치되는 하부 구동 동력부(45)에 발생되는 회전력에 의하여 이루어진다. 이와 같이 상기 하부 회전바(41)가 상기 하부 구동 동력부(45)에 의하여 회전되기 위해서는 상기 챔버(10) 내부에서 회전 가능하도록 지지되어야 한다.
이를 위하여, 상기 하부 지지대(47)가(도 4에 도시된 상부 지지대(37)와 부착 위치만 다를 뿐, 구조는 동일함) 상기 챔버(10)의 하측 내벽에 부착된다. 상기 하부 지지대(47)는 상기 챔버(10)의 하측 내벽에 부착되되, 상기 하부 회전바(41)를 회전가능하게 지지한다. 예를 들어, 상기 하부 지지대(47)에 관통홀(미도시)이 형성되어 있고, 이 관통홀(미도시)을 통해 상기 하부 회전바(41)가 관통되어 배치되며, 상기 관통홀(미도시) 내부에 베어링(비도시)이 구비되어 있으면, 상기 하부 지지대(47)는 상기 하부 회전바(41)를 회전가능하도록 지지할 수 있다.
한편, 상술한 바와 같이, 상기 하부 마그네틱 구동수단(40)은 상기 챔버 내부에 고정되어 설치될 수도 있고, 상하로 이동 가능하게 설치될 수도 있다. 상기 하부 마그네틱 구동수단(40)이 상기 챔버 내부에 고정설치되는 경우에는 상기 하부 지지대(47)를 상기 챔버(10)의 상측 내벽에 고정되어 부착하면 된다.
그런데, 상기 하부 마그네틱 구동수단(40)이 상기 챔버 내부에서 이동 가능하게 설치되는 경우에는, 상기 하부 지지대(47)가 상기 챔버(10)의 상측 내벽에 고정되어 설치되면 안되고, 상하로 이동 가능하게 설치되어야 한다. 이와 같이, 상기 하부 지지대(47)가 상기 챔버(10)의 하측 내벽에서 상하로 이동 가능하게 설치되는 구조는 다양하게 구성될 수 있다.
예를 들어, 상기 하부 지지대(47)가 상기 챔버(10)의 하측 내벽에 부착되되, 내벽에 부착되어 상하로 슬라이딩 될 수 있는 구조를 가지면 된다. 이는 상기 챔버(10)의 내벽에 슬라이딩 가이드 홈을 상하로 형성하거나, 슬라이딩 가이드 홈을 가지는 부재를 부착하고, 상기 하부 가이드(47)에 슬라이더를 형성하여 상기 슬라이딩 가이드 홈에 끼움으로서, 상기 하부 지지대(47)가 상하로 이동될 수 있는 구조를 가질 수 있다. 물론, 상기 하부 지지대(47)를 상하로 이동시킬 수 있는 구동원(유압, 공압, 기계적 동력발생 원 등)과, 상기 하부 지지대(47)에 연결되어 상기 구동원의 구동력을 상기 하부지지대(47)에 전달할 수 있는 구동축이 구비된다.
이와 같이, 상기 하부 지지대(47)가 상하로 이동될 수 있도록 구성하는 이유는 챔버 내부에 존재하는 다른 구성요소 또는 기기들과 간섭이 발생하는 경우 간섭을 배제하기 위한 경우를 대비하기 위함이다. 또한, 상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43)와 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)간의 거리를 조절하여 회전력을 조정할 필요가 있는 경우를 대비하기 위함이다.
예를 들어, 상기 기판이 챔버 외부로 거의 빠져나가서 언로딩이 완료되기 직전에는 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)의 회전력을 점점 줄임으로써, 상기 기판 언로딩이 안정적으로 완료되도록 할 필요가 있다.
이와 같은 구조 및 동작을 가지는 상기 하부 마그네틱 구동수단(40)은 상기 마그네틱 콘베이어(20)가 하강된 후 기판 언로딩 지점에 위치할 때, 상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43)가 부착된 상기 하부 회전바(41)가 회전 구동되어, 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 부착된 상기 콘베이어 롤러 바(22)를 비접촉식으로 회전시킨다.
상기와 같이, 상기 하부 회전바(41)가 회전 구동됨에 따라 상기 콘베이어 롤러 바(22)가 비접촉식으로 회전되는 것은 상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43)의 회전 방향과 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)의 회전 방향이 서로 직교 방향이기 때문이다.
상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43) 및 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25) 내부에는 N극과 S극의 자석이 교번으로 배치되어 있다. 상기 N극의 자석과 S극의 자석의 교번 배치 구조는 상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43)의 회전에 따라 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43)의 회전 방향과 직교 방향의 회전력을 발생시킬 수 있다면, 다양하게 구성할 수 있다.
다만, 상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43) 및 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25) 내부에 배치되는 N극과 S극의 자석은 헬리컬(helical) 형태로 교번적으로 배치하는 것이 상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43)가 회전함에 따라 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43)의 회전 방향과 직교 방향의 회전력을 발생시키기 용이하다.
즉, 상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43) 및 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25) 내부에 배치되는 N극과 S극의 자석이 각각 헬리컬(helical) 형태로 교번적으로 배치되기 때문에, 상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43)가 회전됨에 따라, 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)가 상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43)의 회전방향의 직교 방향으로 회전될 수 있다.
한편, 상기 자석은 수분, 산소 및 산성액 등에 의하여 산화, 부식이 될 수 있기 때문에, 보호될 필요가 있다. 따라서, 상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43)와 상기 콘베이어 마그네틱 롤러(25)의 표면은 수지 몰딩되는 것이 바람직하다.
이상에서 설명한, 기판 로딩 및 언로딩 장치(100)는 챔버(10) 내부에서 마그네틱 콘베이어(20)와 상기 마그네틱 콘베이어(20)의 상부 및 하부에 배치되는 두개의 마그네틱 구동수단(30, 40)을 통하여 기판의 로딩과 언로딩을 모두 수행할 수 있다.
도 6a 내지 도 6b는 상술한 기판 로딩 및 언로딩 장치를 통한 기판의 로딩과 언로딩을 수행하는 과정을 보여주는 공정도이다.
먼저, 상기 챔버(10) 내부로 기판(S)을 로딩하기 위해서 상기 마그네틱 콘베이어(20)가 상승하여 기판 로딩 지점에 위치한다. 이 때, 상기 상부 마그네틱 구동수단에 포함되는 상부 구동 마그네틱 롤러(33)와 상기 마그네틱 콘베이어(20)에 포함되어 있는 콘베이어 마그네틱 롤러(25)는 자력에 의하여 서로 회전력을 발생시킬 수 있을 정도의 근접 거리를 유지한다.
이 상태에서, 도 6a에 도시된 바와 같이, 로딩 게이트(11)를 통해 기판(S)의 일부면이 상기 마그네틱 콘베이어(20)의 콘베이어 이송 롤러(23) 상에 안착되면, 상부 구동 동력부(35)를 구동시켜, 상부 구동 마그네틱 롤러(33)가 회전되도록 한다. 그러면, 상기 상부 구동 마그네틱 롤러(33)의 자력 방향 변화에 따라 상기 마그네틱 콘베이어(20)의 콘베이어 마그네틱 롤러(25)에 회전력이 발생하고, 결과적으로 콘베이어 롤러 바(22)에 부착되어 있는 콘베이어 이송 롤러(23)가 회전함에 따라 상기 기판(S)이 챔버 내부로 로딩된다(도 6a의 화살표 방향으로 로딩됨).
그런 후, 상기 마그네틱 콘베이어(20)는 상기 챔버(10)의 소정 위치에서 정지하고, 상기 기판(S)은 소정의 공정을 수행받게 된다. 상기 기판(S)은 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(10)의 중간 위치에서 세정, 식각 등과 같은 공정을 받을 수도 있고, 도 6c에 도시된 위치에서도 공정을 받을 수도 있다.
이와 같이, 상기 기판(S)에 대하여 공정을 모두 수행한 후에는 상기 기판(S)을 챔버 외부로 언로딩시키는 동작을 수행한다. 구체적으로, 상기 챔버(10) 외부로 기판(S)을 언로딩하기 위해서 상기 마그네틱 콘베이어(20)가 하강하여 기판 언로딩 지점에 위치한다. 이 때, 상기 하부 마그네틱 구동수단(40)에 포함되는 하부 구동 마그네틱 롤러(43)와 상기 마그네틱 콘베이어(20)에 포함되어 있는 콘베이어 마그네틱 롤러(25)는 자력에 의하여 서로 회전력을 발생시킬 수 있을 정도의 근접 거리를 유지한다.
이 상태에서, 도 6c에 도시된 바와 같이, 상기 기판(S)이 상기 마그네틱 콘베이어(20)의 콘베이어 이송 롤러(23) 상에 안착된 상태에서 언로딩 게이트(13)를 개방한 후, 하부 구동 동력부(45)를 구동시켜, 하부 구동 마그네틱 롤러(43)가 회전되도록 한다. 그러면, 상기 하부 구동 마그네틱 롤러(43)의 자력 방향 변화에 따라 상기 마그네틱 콘베이어(20)의 콘베이어 마그네틱 롤러(25)에 회전력이 발생하고, 결과적으로 콘베이어 롤러 바(22)에 부착되어 있는 콘베이어 이송 롤러(23)가 회전함에 따라 상기 기판(S)이 챔버 외부로 언로딩된다(도 6c의 화살표 방향으로 언로딩됨).
한편, 상기 마그네틱 콘베이어(20)의 승하강은 전술한 바와 같이, 승강 구동수단에 의하여 이루어진다. 예를 들어, 상기 승강 구동수단은 상기 마그네틱 콘베이어(20)를 구성하는 사각 프레임(21)을 지지하여 승하강하는 승강축(27)과 상기 승강축(27)에 동력을 발생하여 전달하는 승강 동력부(28)로 구성할 수 있다. 여기서 상기 승강 동력부(28)는 유압, 공압, 기계적 힘 등에 의하여 구성할 수 있다.
10 : 챔버 11 : 로딩 게이트
13 : 언로딩 게이트 20 : 마그네틱 컨베이어
21 : 사각 프레임 22 : 콘베이어 롤러 바(bar)
23 : 콘베이어 이송 롤러 24 : 결착홈
25 : 콘베이어 마그네틱 롤러 26 : 베어링
27 : 승강축 28 : 승강동력부
30 : 상부 마그네틱 구동수단 31 : 상부 회전바
33 : 상부 구동 마그네틱 롤러 35 : 상부 구동 동력부
37 : 상부 지지대 40 : 하부 마그네틱 구동수단
41 : 하부 회전바 43 : 하부 구동 마그네틱 롤러
45 : 하부 구동 동력부 47 : 하부 지지대
S : 기판

Claims (8)

  1. 기판에 대하여 공정을 수행하는 공간인 챔버;
    상기 챔버 내부에서 승하강하는 마그네틱 콘베이어;
    상기 마그네틱 콘베이어 상측으로 상기 챔버 내부에 설치되되, 상기 챔버 내부로 로딩되는 상기 기판을 자력으로 상기 마그네틱 콘베이어 상부로 로딩시키는 상부 마그네틱 구동수단;
    상기 마그네틱 콘베이어 하측으로 상기 챔버 내부에 설치되되, 상기 마그네틱 콘베이어 상부에서 공정 수행이 완료된 상기 기판을 자력으로 상기 마그네틱 콘베이어 상부에서 챔버 외부로 언로딩시키는 하부 마그네틱 구동수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하되,
    상기 마그네틱 콘베이어는, 승강 구동수단에 의하여 상하 이동되는 사각 프레임과, 상기 사각 프레임의 네 모서리 중, 서로 마주보는 두 모서리에 바(bar) 형태로 걸쳐져서 회전 가능하게 안착되되, 상기 바(bar)에는 복수개의 콘베이어 이송 롤러가 부착되어 있으며, 상기 바(bar)의 일단에는 콘베이어 마그네틱 롤러가 부착되어 있는 복수개의 콘베이어 롤러 바(bar)를 포함하여 구성되고,
    상기 상부 마그네틱 구동수단은, 상기 바(bar)와 직교 방향으로 배치되는 상부 회전바와, 상기 상부 회전바에 서로 이격되어 부착되되, 상기 복수개의 콘베이어 롤러 바(bar)에 각각 부착되는 상기 콘베이어 마그네틱 롤러에 수직선상에 대응되는 위치에 부착되는 상부 구동 마그네틱 롤러와, 상기 상부 회전바를 회전 가능하도록 지지하기 위하여 상기 챔버 내벽에 부착되는 상부 지지대를 포함하여 구성되되, 상기 마그네틱 콘베이어가 상승된 후 기판 로딩 지점에 위치할 때, 상기 상부 구동 마그네틱 롤러가 부착된 상기 상부 회전바가 회전 구동되어, 상기 콘베이어 마그네틱 롤러가 부착된 상기 콘베이어 롤러 바가 비접촉식으로 회전되고,
    상기 하부 마그네틱 구동수단은, 상기 바(bar)와 직교 방향으로 배치되는 하부 회전바와, 상기 하부 회전바에 서로 이격되어 부착되되, 상기 복수개의 콘베이어 롤러 바(bar)에 각각 부착되는 상기 콘베이어 마그네틱 롤러에 수직선상에 대응되는 위치에 부착되는 하부 구동 마그네틱 롤러와, 상기 하부 회전바를 회전 가능하도록 지지하기 위하여 상기 챔버 내벽에 부착되는 하부 지지대를 포함하여 구성되되, 상기 마그네틱 콘베이어가 하강된 후 기판 언로딩 지점에 위치할 때, 상기 하부 구동 마그네틱 롤러가 부착된 상기 하부 회전바가 회전 구동되어, 상기 콘베이어 마그네틱 롤러가 부착된 상기 콘베이어 롤러 바가 비접촉식으로 회전되며,
    상기 상부 지지대 및 하부 지지대는 슬라이더가 각각 형성되고, 상기 챔버 내벽에는 상하 방향으로 슬라이딩 가이드 홈이 형성된 부재가 상기 슬라이더에 대응하여 각각 부착되며, 상기 상부 지지대 및 하부 지지대는 상기 슬라이더가 상기 슬라이딩 가이드 홈에 끼워져서 상하로 슬라이딩되는 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 및 언로딩 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 상부 구동 마그네틱 롤러의 회전 방향과 상기 콘베이어 마그네틱 롤러의 회전 방향은 서로 직교 방향인 것을 특징으로 하는 기판 로딩 및 언로딩 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 상부 구동 마그네틱 롤러와 상기 콘베이어 마그네틱 롤러의 표면은 수지 몰딩되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 및 언로딩 장치.
  6. 삭제
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 하부 구동 마그네틱 롤러의 회전 방향과 상기 콘베이어 마그네틱 롤러의 회전 방향은 서로 직교 방향인 것을 특징으로 하는 기판 로딩 및 언로딩 장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 하부 구동 마그네틱 롤러와 상기 콘베이어 마그네틱 롤러의 표면은 수지 몰딩되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 및 언로딩 장치.


KR1020100113618A 2010-11-16 2010-11-16 기판 로딩 및 언로딩 장치 KR101271176B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100113618A KR101271176B1 (ko) 2010-11-16 2010-11-16 기판 로딩 및 언로딩 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100113618A KR101271176B1 (ko) 2010-11-16 2010-11-16 기판 로딩 및 언로딩 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120052462A KR20120052462A (ko) 2012-05-24
KR101271176B1 true KR101271176B1 (ko) 2013-06-04

Family

ID=46269028

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100113618A KR101271176B1 (ko) 2010-11-16 2010-11-16 기판 로딩 및 언로딩 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101271176B1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6050630B2 (ja) * 2012-07-27 2016-12-21 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理システム
TWI602757B (zh) * 2016-04-11 2017-10-21 由田新技股份有限公司 傳送裝置
JP7137049B2 (ja) * 2018-03-30 2022-09-14 澁谷工業株式会社 物品搬送装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH089627A (ja) * 1994-06-16 1996-01-12 Kanetetsuku Kk コンベア
JPH09279341A (ja) * 1996-04-17 1997-10-28 Anelva Corp トレイ搬送式インライン成膜装置
JPH11268809A (ja) * 1998-03-23 1999-10-05 Fujikoshi Engineering Kk 磁性動力伝達による搬送装置
KR20100024741A (ko) * 2008-08-26 2010-03-08 주식회사 에스에프에이 이송장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH089627A (ja) * 1994-06-16 1996-01-12 Kanetetsuku Kk コンベア
JPH09279341A (ja) * 1996-04-17 1997-10-28 Anelva Corp トレイ搬送式インライン成膜装置
JPH11268809A (ja) * 1998-03-23 1999-10-05 Fujikoshi Engineering Kk 磁性動力伝達による搬送装置
KR20100024741A (ko) * 2008-08-26 2010-03-08 주식회사 에스에프에이 이송장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120052462A (ko) 2012-05-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9022714B2 (en) Substrate processing system and substrate transferring method
US9252034B2 (en) Substrate processing system and substrate transferring method
KR100555620B1 (ko) 기판 운반시스템 및 운반방법
JP5152469B2 (ja) 基板搬送装置
JP5877016B2 (ja) 基板反転装置および基板処理装置
TWI544993B (zh) 具有可變機械手的四臂搬運機器人
KR101271176B1 (ko) 기판 로딩 및 언로딩 장치
WO2009090743A1 (ja) 基板搬送装置
CN114430727B (zh) 升降输送装置
KR20130113205A (ko) 호이스트 장치
KR101133438B1 (ko) 이송 로봇
CN113165671B (zh) 行驶车系统
KR20150008297A (ko) 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR102160135B1 (ko) 기판 처리 장치
KR101057791B1 (ko) 4방향 물류 리프터
KR101099531B1 (ko) 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR101126160B1 (ko) 기판 처리 장치
KR101613118B1 (ko) 경사 이송 시스템
KR20110037508A (ko) 기판처리장치 및 기판처리방법
KR20100035519A (ko) 기판처리장치
KR20100035520A (ko) 기판처리장치
KR20130094886A (ko) 다중 기판 처리장치 및 이를 이용한 다중 기판 처리방법
KR101052753B1 (ko) 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR101052750B1 (ko) 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
JP6182306B2 (ja) ケーブル収容装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee