KR101266200B1 - 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟 - Google Patents

엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟 Download PDF

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Abstract

본 발명은 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟에 관한 것으로, 고전압의 인가가 이루어지는 원통형 타겟 양단 내주면에 상기 원통형 타겟을 지지하는 원통형 백킹 튜브를 나사 결합함으로써 로터리 타겟의 제조과정을 단순화시켜 제조를 보다 용이하게 할 수 있도록 함에 그 목적이 있다. 이를 위해 구성되는 본 발명은 스퍼터링용 챔버에 회전 가능하게 설치되어 구동모터의 구동에 의해 회전되는 가운데 고전압을 인가하는 스퍼터링용 로터리 타겟에 있어서, 원통형 타겟과; 상기 원통형 타겟의 양단 내주면에 일단이 각각 나사 결합되어 상기 원통형 타겟을 지지하는 2개의 원통형 백킹 튜브와; 상기 원통형 타겟과 상기 백킹 튜브의 결합 위치 사이에 수밀과 기밀이 이루어질 수 있도록 하는 밀봉부재를 구비하고; 상기 일측 백킹 튜브를 통해 유입된 냉각수가 상기 원통형 타겟과 상기 타측 백킹 튜브를 경유하여 배출되어, 상기 원통형 타겟이 냉각수에 의해 직접 냉각되도록 구성된다.

Description

엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟{Capped-type rotary target for sputtering}
본 발명은 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 고전압의 인가가 이루어지는 원통형 타겟 양단 내주면에 상기 원통형 타겟을 지지하는 원통형 백킹 튜브를 나사 결합한 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟에 관한 것이다.
일반적으로 스퍼터링(Sputtering)이란 목적물 표면에 막의 형태로 부착하는 기술을 말하는 것으로, 이러한 스퍼터링은 세라믹이나 반도체 소재 등에 전자 회로를 만들기 위해 고진공 상태에서 고체를 증발시켜 박막(Thin film)이나 후막(Thick film)을 형성하는 경우에 사용된다.
다시 말해서, 전술한 바와 같은 스퍼터링(Sputtering)은 진공 중에 불활성가스(주로 아르곤 가스(Ar gas))를 도입시키면서 기판과 타겟(Target : 부착 되어지는 물질 Cr·Ti 등) 사이에 직류전압을 가하여 이온화시킨 아르곤을 타겟에 충돌시켜서 타겟 물질을 기판에 막 형성시키는 방법이다. 또한, 아르곤 가스와 같이 미량의 O2·N2가스를 넣는 것에 의해　반응성 스퍼터링(ITO·TiN 등)을 행할 수 있다.
전술한 바와 같은 스퍼터링은 건식도금법으로 분류되어 코팅하는 대상물을 액체나 고온기체에 노출시키지 않고 도금처리가 된다. 그에 따라, 여러 가지 기반재료(수지·Glass·Ceramic·기타)의 판재물·성형품에 예를 들면, 전극·실드(Shield)·마스킹(Masking)으로써 사용되어지고 있다.
한편, 전술한 바와 같이 코팅이나 박막과 같은 도금처리를 하는 스퍼터링 장비에서 고전압을 인가하는 전극으로써 로터리 타겟이 사용된다. 이러한 스퍼터링용 로터리 타겟은 원통형 백킹 튜브와, 상기 백킹 튜브의 외주면으로 결합 구성되는 원통형 타겟으로 이루어지되, 상기 원통형 타겟은 인듐(Indium)의 용융 결합에 의한 접합에 의해 백킹 튜브의 외주면 상에 결합되어 일체화된다.
전술한 바와 같은 인듐(Indium)은 주기율표 13족인 붕소족에 속하는 희유금속 원소로, 1863년에 페르디난드 라이크와 테오도르 리히터가 아연광석에서 밝은 은백색 광택이 나는 인듐을 발견해 독특한 남색(indigo)의 스펙트럼선을 내놓는다고 해서 인듐이라고 명명하였다.
그리고, 전술한 바와 같은 인듐(Indium)은 녹으면 깨끗한 유리 및 다른 표면에 달라붙거나 적시는 특이한 성질이 있기 때문에 유리·금속·석영·세라믹·대리석 사이를 용접 밀봉(鎔接密封)하는데 쓰이며, 내식성(耐蝕性)을 증가시키고 표면에 접착성 유막(油膜)을 형성하기 때문에 항공기용 엔진 베어링을 도장(塗裝)하는 데에도 쓰인다.
그러나, 전술한 바와 같이 스퍼터링용 로터리 타겟을 구성하는 원통형 백킹 튜브의 외주면 상에 원통형 타겟을 용융 결합되도록 하는 인듐(Indium)은 희귀금속에 속하여 고가라는 점에서 스퍼터링용 로터리 타겟의 제조에 따른 생산단가의 상승이 따르게 되는 문제가 있다.
아울러, 전술한 바와 같이 스퍼터링용 로터리 타겟을 구성하는 원통형 백킹 튜브의 외주면 상에 원통형 타겟을 용융 결합되도록 하는 인듐(Indium)은 희귀금속으로 그 공급량이 많지 않기 때문에 시장의 가격이 매우 불안정하여 수급에 문제가 따르는 문제가 있다.
본 발명은 종래 기술의 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 고전압의 인가가 이루어지는 원통형 타겟 양단 내주면에 상기 원통형 타겟을 지지하는 원통형 백킹 튜브를 나사 결합하여 로터리 타겟의 제조과정을 단순화하고 제조를 보다 용이하게 할 수 있도록 한 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟을 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 기술의 다른 목적은 고전압의 인가가 이루어지는 원통형 타겟 양단 내주면에 상기 원통형 타겟을 지지하는 원통형 백킹 튜브를 나사 결합하여 로터리 타겟의 구조를 단순화시킴으로써 원가의 절감을 통해 생산단가를 낮출 수 있도록 함에 있다.
아울러, 본 발명에 따른 기술은 고전압의 인가가 이루어지는 원통형 타겟 양단 내주면에 상기 원통형 타겟을 지지하는 원통형 백킹 튜브를 나사 결합한 로터리 타겟을 제조함으로써 로터리 타겟의 하중을 대폭적으로 줄일 수 있도록 함에 그 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위해 구성되는 본 발명은 다음과 같다. 즉, 본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟은, 스퍼터링용 챔버에 회전 가능하게 설치되어 구동모터의 구동에 의해 회전되는 가운데 고전압을 인가하는 스퍼터링용 로터리 타겟에 있어서, 원통형 타겟과; 상기 원통형 타겟의 양단 내주면에 일단이 각각 나사 결합되어 상기 원통형 타겟을 지지하는 2개의 원통형 백킹 튜브와; 상기 원통형 타겟과 상기 백킹 튜브의 결합 위치 사이에 수밀과 기밀이 이루어질 수 있도록 하는 밀봉부재를 제공하여; 상기 일측 백킹 튜브를 통해 유입된 냉각수가 상기 원통형 타겟과 상기 타측 백킹 튜브를 경유하여 배출되어, 상기 원통형 타겟이 냉각수에 의해 직접 냉각되도록 하고 있다.
상기 원통형 타겟의 양단 내주면에 각각 암나사부가 형성되고, 상기 암나사부에 각각 체결될 수 있도록 상기 백킹 튜브의 일단에 각각 숫나사부가 형성된다.
또한, 상기 암나사부의 끝단에 단턱이 형성되고, 상기 단턱과 상기 백킹 튜브의 선단 사이에 상기 밀봉부재가 위치된다.
전술한 바와 같은 본 발명의 구성에서 밀봉부재는 오링(O-ring) 또는 가스켓으로 이루어질 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 구성에서 상기 밀봉부재는 상기 원통형 타겟의 암나사부 내주면과 백킹 튜브의 숫나사부 외주면 상에 도포되어 상기 원통형 타겟의 암나사부에 상기 백킹 튜브의 나사 결합시, 상기 원통형 타겟의 암나사부 내주면과 상기 백킹 튜브의 숫나사부 외주면의 접합이 이루어지도록 하는 접합용제일 수도 있다.
전술한 바와 같은 접합용제는 용융 접합되는 인듐(Indium) 또는 접착제인 엘라스토머(elastomer, 탄성중합체)로 이루어질 수 있다.
본 발명의 기술에 따르면 고전압의 인가가 이루어지는 원통형 타겟 양단 내주면에 상기 원통형 타겟을 지지하는 원통형 백킹 튜브를 나사 결합함으로써 로터리 타겟의 제조과정을 단순화시켜 제조를 보다 용이하게 할 수가 있다.
또한, 본 발명에 따른 기술은 고전압의 인가가 이루어지는 원통형 타겟 양단 내주면에 상기 원통형 타겟을 지지하는 원통형 백킹 튜브를 각각 나사 결합시킬 수 있도록 하여 로터리 타겟의 구조를 단순화시킴으로써 원가의 절감을 통해 생산단가를 낮출 수가 있다.
아울러, 본 발명에 따른 기술은 고전압의 인가가 이루어지는 원통형 타겟 양단 내주면에 상기 원통형 타겟을 지지하는 원통형 백킹 튜브를 나사 결합한 로터리 타겟을 제조함으로써 로터리 타겟의 하중을 대폭적으로 줄일 수가 있다.
도 1 은 본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟을 보인 분리 사시도.
도 2 는 본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟을 보인 결합 사시도.
도 3 은 본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟을 분리하여 보인 단면 구성도.
도 4 는 본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟을 결합하여 보인 단면 구성도.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 1 은 본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟을 보인 분리 사시도, 도 2 는 본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟을 보인 결합 사시도, 도 3 은 본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟을 분리하여 보인 단면 구성도, 도 4 는 본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟을 결합하여 보인 단면 구성도이다.
도 1 내지 도 4 에 도시된 바와 같이 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟(100)은 백킹 튜브의 외주면 상에 원통형 타겟이 접합 조성물에 의해 접합된 구조의 종래 기술에 따른 스퍼터링용 로터리 타겟과는 전혀 다른 구조의 기술을 제공하고 있다.
다시 말해서, 본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟(100)은 도 1 내지 도 4 에 도시된 바와 같이 고전압을 인가하는 일정길이를 갖는 원통형 타겟(110)의 양단 각각의 내측에 백킹 튜브(120)가 나사 결합된 구조로 이루어진다.
본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟(100)을 보다 상세하기 설명하면 일정길이의 원통형으로 형성되어지되 양단 각각의 내주면에 일정깊이로 나사산이 형성된 암나사부(112)와 암나사부(112) 각각의 끝단에 형성된 단턱(114)이 구비되어 고전압을 인가하는 원통형 타겟(110)과, 상기 원통형 타겟(110)의 암나사부(112)에 대응하는 숫나사부(122)가 일단에 형성되어 상기 원통형 타겟(110)의 암나사부(112) 각각에 나사 결합을 통해 체결 고정되어 상기 원통형 타겟(110)을 지지하는 2개의 원통형 백킹 튜브(120)와, 상기 원통형 타겟(110)과 상기 백킹 튜브(120)의 결합 위치 사이에 수밀과 기밀이 이루어질 수 있도록 하는 밀봉부재를 구비하고 있다. 여기서, 상기 밀봉부재는 상기 원통형 타겟(110)의 암나사부(112)에 나사 결합을 통해 체결되는 백킹 튜브(120)의 선단과 상기 원통형 타겟(110)의 단턱(114)에 삽입 위치되어지되 암나사부(112) 상에 체결되는 백킹 튜브(120)의 체결력에 의해 고정되어 원통형 타겟(110)의 암나사부(112)와 백킹 튜브(120) 사이에 수밀과 기밀이 이루어질 수 있도록 하는 오링(O-ring)이나 가스켓(130)이 될 수도 있다.
전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟(100)은 고전압을 인가하는 상기 원통형 타겟(110)의 양단 내측에 각각 형성된 암나사부(112) 상의 단턱(114)에 오링(O-ring)이나 가스켓(130)을 삽입 설치한 상태에서 백킹 튜브(120)의 숫나사부(122)를 상기 원통형 타겟(110) 양단 각각의 암나사부(112) 상에 나사 결합을 통해 체결 고정함으로써 제조되어진다.
한편, 전술한 바와 같이 고전압을 인가하는 상기 원통형 타겟(110) 양단의 암나사부(112) 상의 단턱(114)에 오링(O-ring)이나 가스켓(130)를 삽입 설치한 상태에서 백킹 튜브(120)의 숫나사부(122)를 상기 원통형 타겟(110) 양단 각각의 암나사부(112) 상에 나사 결합을 통해 체결 고정하게 되면 백킹 튜브(120)의 체결력에 의해 단턱(114)과 백킹 튜브(120) 선단면에 의해 오링(O-ring)이나 가스켓(130)이 밀착 고정된다.
따라서, 전술한 바와 같이 백킹 튜브(120)의 나사 결합에 따른 체결력에 의해 단턱(114)과 백킹 튜브(120) 선단면 사이에 오링(O-ring)이나 가스켓(130) 밀착 고정됨으로써 일측 백킹 튜브(120)를 통해 유입되는 냉각수가 상기 원통형 타겟(110)과 타측 백킹 튜브(120)를 경유하여 배출되는 경우 상기 원통형 타겟(110)과 백킹 튜브(120) 사이에는 수밀과 기밀이 이루어진다.
전술한 바와 같은 원통형 타겟(110), 백킹 튜브(120) 및 오링(O-ring)이나 가스켓(130)로 이루어진 본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟(100)에는 보다 확실한 수밀과 기밀이 이루어질 수 있도록 하기 위한 다른 밀봉부재 즉, 접합용제(140)가 더 구성될 수 있다.
다시 말해서, 본 발명에 따른 구성에는 상기 원통형 타겟(110)의 암나사부(112) 내주면과 백킹 튜브(120)의 숫나사부(122) 외주면 상에 도포되어 상기 원통형 타겟(110)의 암나사부(112)에 백킹 튜브(120)의 나사 결합시 상기 원통형 타겟(110)의 암나사부(112) 내주면과 백킹 튜브(120)의 숫나사부(122) 외주면의 접합이 이루어지도록 하는 접합용제(140)가 더 구성될 수 있다.
전술한 바와 같은 접합용제(140)의 구성은 전술한 오링(O-ring)이나 가스켓(130)의 노후나 이상으로 인하여 수밀 및 기밀 기능이 저하되는 경우 보다 확실한 수밀과 기밀이 이루어질 수 있도록 함은 물론, 이러한 접합용제(140)는 상기 원통형 타겟(110)의 암나사부(112) 내주면과 백킹 튜브(120)의 숫나사부(122) 외주면의 접합이 이루어질 수 있도록 함으로써 상기 원통형 타겟(110)으로부터 백킹 튜브(120)가 분리되는 것을 방지하는 부가적인 기능도 갖는다.
본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟(100)을 구성하는 각각의 구성요소에 대하여 상세하게 살펴보면 다음과 같다. 먼저, 원통형 타겟(110)은 고전압의 인가가 이루어지는 것으로, 이러한 원통형 타겟(110)은 도 1 내지 도 4 에 도시된 바와 같이 일정길이의 원통형으로 형성되어지되 양단 각각의 내주면에 일정깊이로 나사산이 형성된 암나사부(112)와 암나사부(112) 각각의 끝단에 형성된 단턱(114)이 형성된 구성으로 이루어진다.
한편, 전술한 바와 같이 고전압을 인가하기 위한 상기 원통형 타겟(110)은 Al, Mo, Cu, ITO, W, TiW, AGO, Zn, ZnO, Ag, Si 및 AlSi 등의 재질로 이루어진다. 이때, 원통형 타겟(110)의 내부로는 고전압의 인가시 가열되는 원통형 타겟(110)을 냉각시키기 위한 냉각수의 유출입이 이루어진다.
본 발명을 구성하는 2개의 백킹 튜브(120)는 종래의 기술에 따른 스퍼터링용 로터리 타겟의 백킹 튜브와 같은 기능을 하는 것으로, 이러한 백킹 튜브(120)는 도 1 내지 도 4 에 도시된 바와 같이 원통형 타겟(110)의 암나사부(112)에 대응하는 숫나사부(122)가 일단에 형성되어 원통형 타겟(110)의 암나사부(112) 각각에 나사 결합을 통해 체결 고정된다.
전술한 바와 같은 백킹 튜브(120)는 종래의 기술에 따른 스퍼터링용 로터리 타겟의 백킹 튜브가 원통형 타겟(110)을 관통하여 결합되는 구조와는 완전히 그 구조를 달리하는 것으로, 이러한 백킹 튜브(120)는 원통형 타겟(110)의 암나사부(112)에 대응하는 숫나사부(122)가 형성되어 원통형 타겟(110) 암나사부(112) 양단에 각각 나사 결합을 통해 체결 고정된다.
본 발명을 구성하는 밀봉부재는 원통형 타겟(110) 암나사부(112) 양단에 각각 나사 결합을 통해 체결 고정되는 백킹 튜브(120)와 원통형 타겟(110) 사이에 냉각수의 수밀과 기밀이 이루어질 수 있도록 한다. 이러한 밀봉부재, 즉, 오링(O-ring)이나 가스켓(130)은 도 1, 3, 4 에 도시된 바와 같이 원통형 타겟(110)의 암나사부(112)에 나사 결합을 통해 체결되는 백킹 튜브(120)의 선단과 원통형 타겟(110)의 단턱(114)에 삽입 위치되어지되 암나사부(112)에 체결되는 백킹 튜브(120)의 체결력에 의해 고정되어 원통형 타겟(110)의 암나사부(112)와 백킹 튜브(120) 사이에 수밀과 기밀이 이루어질 수 있도록 한다.
전술한 바와 같이 백킹 튜브(120)의 선단과 원통형 타겟(110)의 단턱(114)에 삽입되어 원통형 타겟(110)의 암나사부(112)에 나사 결합을 통해 체결되는 백킹 튜브(120)의 체결력에 의해 밀착 고정되는 오링(O-ring)이나 가스켓(130)은 백킹 튜브(120)의 선단과 원통형 타겟(110)의 단턱(114) 사이를 수밀과 기밀이 이루어질 수 있도록 함으로써 원통형 타겟(110)과 백킹 튜브(120) 사이의 수밀과 기밀을 달성한다.
한편, 전술한 바와 같이 구성되는 밀봉부재는 오링(O-ring)이나 가스켓(130)외에도 접합용제(140)이 될 수도 있다.
전술한 바와 같은 본 발명에 따른 밀봉부재 즉, 오링(O-ring)이나 가스켓(130)에 더 부가하여 구성되는 다른 밀봉부재 즉, 접합용제(140)는 오링(O-ring)이나 가스켓(130)의 수밀과 기밀을 더욱 보강하는 한편 원통형 타겟(110)과 백킹 튜브(120)의 체결에 따른 결합 고정이 보다 견고하게 이루어질 수 있도록 한다. 이러한 접합용제(140)는 도 4 에 도시된 바와 같이 원통형 타겟(110)의 암나사부(112)와 백킹 튜브(120)의 숫나사부(122) 상에 도포되어 원통형 타겟(110)의 암나사부(112)에 백킹 튜브(120)를 나사 결합할 때 원통형 타겟(110)의 암나사부(112)와 백킹 튜브(120)의 숫나사부(122)가 접합되도록 함으로써 원통형 타겟(110)과 백킹 튜브(120)의 체결에 따른 결합 고정이 더욱 견고하게 이루어질 수 있도록 한다.
한편, 전술한 바와 같은 접합용제(140)는 인듐(Indium)이나 접착제인 엘라스토머(elastomer, 탄성중합체)로 이루어질 수 있다. 이때, 인듐(Indium)을 접합용제(140)로 사용하는 경우에는 용융시킨 상태에서 원통형 타겟(110)의 암나사부(112) 또는 백킹 튜브(120)의 숫나사부(122) 상에 도포하여 백킹 튜브(120)를 결합한 후 냉각을 통해 고화되도록 함으로써 원통형 타겟(110)의 암나사부(112)와 백킹 튜브(120)의 숫나사부(122)가 접합되도록 한다.
그리고, 접착제인 엘라스토머(elastomer, 탄성중합체)를 접합용제(140)로 사용하는 경우에는 액상의 엘라스토머를 원통형 타겟(110)의 암나사부(112) 또는 백킹 튜브(120)의 숫나사부(122) 상에 도포하거나 테이프 형태로 제조된 엘라스토머를 원통형 타겟(110)의 암나사부(112) 또는 백킹 튜브(120)의 숫나사부(122) 상에 접착시켜 원통형 타겟(110)의 암나사부(112)와 백킹 튜브(120)의 숫나사부(122)가 접합되도록 한다.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟(100)은 원통형 타겟(110), 백킹 튜브(120), 밀봉부재의 구성을 통해 제조할 수 있도록 함으로써 로터리 타겟의 제조과정을 단순화시켜 제조를 보다 용이하게 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟(100)은 원가의 절감을 통한 생산단가를 낮출 수가 있고, 로터리 타겟의 하중을 대폭적으로 줄일 수가 있다.
본 발명은 전술한 실시 예에 국한되지 않고 본 발명의 기술사상이 허용하는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수가 있다.
100. 엔캡방식 로터리 타겟 110. 원통형 타겟
112. 암나사부 114. 단턱
120. 백킹 튜브 122. 숫나사부
130. 오링 또는 가스켓 140. 접합용제

Claims (9)

  1. 스퍼터링용 챔버에 회전 가능하게 설치되어 구동모터의 구동에 의해 회전되는 가운데 고전압을 인가하는 스퍼터링용 로터리 타겟에 있어서,
    원통형 타겟과;
    상기 원통형 타겟의 양단 내주면에 일단이 각각 나사 결합되어 상기 원통형 타겟을 지지하는 2개의 원통형 백킹 튜브와;
    상기 원통형 타겟과 상기 백킹 튜브의 결합 위치 사이에 수밀과 기밀이 이루어질 수 있도록 하는 밀봉부재를 구비하고;
    상기 일측 백킹 튜브를 통해 유입된 냉각수가 상기 원통형 타겟과 상기 타측 백킹 튜브를 경유하여 배출되어, 상기 원통형 타겟이 냉각수에 의해 직접 냉각되는 것을 특징으로 하는 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 원통형 타겟의 양단 내주면에 각각 형성된 암나사부와;
    상기 암나사부에 각각 체결될 수 있도록 상기 백킹 튜브의 일단에 각각 형성된 숫나사부를 구비한 것을 특징으로 하는 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 암나사부의 끝단에 단턱이 형성되고, 상기 단턱과 상기 백킹 튜브의 선단 사이에 상기 밀봉부재가 위치되는 것을 특징으로 하는 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 밀봉부재는 오링(O-ring) 또는 가스켓인 것을 특징으로 하는 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟.
  8. 제 5 항 또는 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 밀봉부재는 상기 원통형 타겟의 암나사부 내주면과 백킹 튜브의 숫나사부 외주면 상에 도포되어 상기 원통형 타겟의 암나사부에 상기 백킹 튜브를 나사 결합할 때, 상기 원통형 타겟의 암나사부 내주면과 상기 백킹 튜브의 숫나사부 외주면의 접합이 이루어지도록 하는 접합용제인 것을 특징으로 하는 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 접합용제는 용융 접합되는 인듐(Indium) 또는 접착제인 엘라스토머(elastomer, 탄성중합체)로 이루어진 것을 특징으로 하는 엔캡 방식의 스퍼터링용 로터리 타겟.
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