KR101253058B1

KR101253058B1 - 경사 기능을 가지는 부상 유닛 및 부상 장치

Info

Publication number: KR101253058B1
Application number: KR1020050112088A
Authority: KR
Inventors: 이토 마사시; 니와 히사노부; 사이토 마사키
Original assignee: 씨케이디 가부시키 가이샤
Priority date: 2004-11-24
Filing date: 2005-11-23
Publication date: 2013-04-11
Also published as: TW200624359A; TWI380944B; KR20060058023A

Abstract

공기가 달아나기 쉬운, 기복 유리 기판의 단부에 있어서도, 확실하게 비접촉 상태에서 그 기판을 유지할 수 있는 부상 유닛, 및 그를 구비한 부상 장치를 얻는다.

다공질 유닛 41을 설치한 요동 기체 31를, 구면 축 받침에 의하여 받침대 21에서 지지한다. 또한, 받침대 21와 요동 기체 31와의 사이에 공기를 위치시키고, 요동 기체 31 및 다공질 유닛 41을 구면에 통하여 요동 가능하게 한다. 이 요동에 의하여, 공기가 분출하는 개량 부상 유닛 12의 상면 12a은 자유로이 경사 가능하게 된다. 기복이 있는 유리 기판을 쌓을 때, 개량 부상 유닛 12의 상면 12a은 기판의 경사에 따라 기울어진 상태가 된다. 이 상태에서 공기를 분출시킨다면, 기판은 상면 12a과 평행한 상태에서 부상하고, 부상력이 기판에 확실하게 작용한다. 이로 인하여, 상기 과제를 해결할 수 있다.

요동체, 부상 장치, O 링

Description

경사 기능을 가지는 부상 유닛 및 부상 장치{Surfacing Unit and Surface Apparatus having Gradient Function}

도 1은 제 1의 실시 형태에 있어서 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 단면도(도 2의 A-A 선단면도).

도 2는 제 1의 실시 형태에 있어서 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 사시도.

도 3은 유리 기판의 쌓임으로부터 부상까지의 모양을 도시한 모식도.

도 4는 유리 기판의 위치 갭이 수정된 상태를 도시한 평면도.

도 5는 제 2의 실시 형태에 있는 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 단면도.

도 6은 제 3의 실시 형태에 있는 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 단면도(도 7의 B-B선 단면도).

도 7은 제 3의 실시 형태에 있는 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 사시도.

도 8은 제 3의 실시 형태에 있는 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 분해 단면도.

도 9는 O링의 작용을 도시한 설명도.

도 10은 유리 기판의 쌓임으로부터 부상까지 모양을 도시한 모식도.

도 11은 제 4의 실시 형태에 있는 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 단면도.

도 12는 O링 부분을 넓힌 일부 단면도.

도 13은 제 4의 실시 형태에 있는 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 분해 단면도.

도 14는 제 5의 실시 형태에 있는 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 단면도.

도 15는 제 6의 실시 형태에 있는 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 단면도.

도 16은 제 6의 실시 형태에 있는 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 분해 단면도.

도 17은 그의 다른 실시 형태에 있는 경사 기능을 가지는 부상 유닛을 도시한 단면도.

도 18은 그 다른 실시 형태에 있는 경사 기능을 가지는 부상 유닛을 도시한 단면도.

도 19는 그 다른 실시 형태에 있는 경사 기능을 가지는 부상 유닛을 도시한 단면도(도 20의 C-C선 단면도).

도 20은 그 다른 실시 형태에 있는 경사 기능을 가지는 부상 유닛을 도시한 사시도.

도 21은 그 다른 실시 형태에 있는 경사 기능을 가지는 부상 유닛을 도시한 단면도.

도 22는 그 다른 실시 형태에 있는 경사 기능을 가지는 부상 유닛을 도시한 단면도.

도 23은 종래의 부상 유닛을 사용하여 유리 기판을 부상시킨 상태를 도시한 모식도.

도 24는 도 23에 있어서, 유리 기판의 단부(端部)를 확대하여 도시한 확대 단면도.

[부호의 설명]

12, 50, 112, 160, 190, 200, 240 - 경사 기능을 가지는 부상 유닛(개량 부상 유닛), 12a(44a), 50a(44a), 112a(137a), 160a(181a), 200a(230a), 240a(247a) - 분출면으로서의 상면, 21 - 받침대, 23 - 요동 수단 및 구면 축 받침을 구성하는 凹 모양 구면부, 24 - 받침대 유로를 구성하는 제 1 유로, 27 - 이탈 방지 수단 및 요동 규제 수단을 구성하는 凹부, 31 - 요동체를 구성하는 요동 기체, 33 - 요동 수단 및 구면 축 받침을 구성하는 凸 모양 구면부, 34 - 부통체, 37 - 요동체 유로를 구성하는 제 2 유로, 39 - 이탈 방지 수단 및 요동 규제 수단을 구성하는 이탈 방지 핀, 41 - 요동체를 구성하는 다공질 유닛, 44 - 다공질체, 47 - 요동체 유로를 구성하는 제 3 유로, 51 - 취부공, 52- 취부구, 54 - 수용공, 55 - 탄성 튜브, 81 - 균형 조정 수단을 구성하는 나사공, 82 - 균형 조정 수단을 구성하는 나사, 121, 161 - 지지체, 122, 162 - 축부, 123, 163 - 피고정부, 124, 164 - 구체부(球體部), 124a, 164a - 구면, 125, 165 - 지지체 유로로서의 공기 통로, 131 - 요동체를 구성하는 요동 본체, 132 - 지지 공간을 구성하는 수용 凹부, 133, 147, 186 - 실(seal) 수단으로서의 O링, 134, 184 - 요동체 유로로서의 공기 통로, 135 - 피지지부로서의 테이퍼면, 137, 181 - 요동체 유로로서의 다공질체, 141 - 요동체를 구성하는 폐색 부재, 143 - 삽통공, 145 - 환상구, 145a - 측벽면, 171 - 요동체로서의 요동 본체, 172 - 상부 구성체, 173 - 하부 구성체, 175 - 피지지부로서의 상 측 테이퍼면, 178 - 맞붙음 면 또는 맞붙음 부로서의 하측 테이퍼면, 179 - 삽통 구멍, 180 - 지지 공간으로서의 수용 공간, 185 - 환상구, 211, 241 - 지지체, 212 - 축부, 216, 244 - 지지체 유로로서의 공기 통로, 217, 246 - 구체부(球體部), 221, 245 - 요동체로서의 요동 본체, 222, 242 - 수용 凹부, 224 - 취부구, 225 - 실(seal) 장치구로서의 제2 凹부, 226, 243 - 실(seal) 수단으로서의 O링, 227 - 스냅 링, 230, 247 - 다공질체, 232, 248 - 요동체 유로로서의 공기 통로, 236 - 제 1 워셔, 237 - 제 2 워셔, 238 - 압압 수단 및 부세 수단으로서의 웨이브 워셔, G - 워크로서의 유리 기판.

본 출원은, 2004년 11월 24일에 출원된 일본국 특허 출원 제2004-338610호, 2005년 4월 11일에 출원된 일본국 특허 출원 제2005-113364호 및 2005년 4월 25일에 출원된 일본국 특허 출원 제2005-126195호에 기초하여 우선권을 주장하고, 그 출원 전체의 내용은 이 명세서 중에 참조에 의하여 수용되어 있다.

본 발명은 경사 기능을 가지는 부상 유닛, 및 그를 구비한 부상 장치에 관한 것이다.

종래, 액정 패널의 제조 공정에서는, 유리 기판의 위치 갭을 수정하는 장치가 설치되어 있다. 제조 공정에 있어서의 각종 처리 중에는 유리 기판의 정확한 위치 결정이 요구되는 것도 있고, 기판이 그러한 처리 공정으로 보내지기 전에, 이전 의 처리 및 반송 등에서 발생한 위치 갭이 수정된다. 여기에서는 배열(alignment) 이라고 부른다.

부상 유닛은 이러한 위치 갭을 수정하는 장치에 흔히 사용되고 있다. 부상 유닛으로부터 분출된 공기에 의하여 유리 기판을 부상시키고, 비접촉 상태에서 그 위치 갭을 수정하면, 접촉 지지된 상태에서 수정되는 경우의 문제, 즉 접동에 의한 손상 발생을 방지할 수 있게 된다(특허 문헌 1 참조).

도 23에 도시한 것과 같이, 부상 유닛 71은 베이스 72 위에 다수 배치되어 있다. 또한, 각 부상 유닛 71은 그 상면(후술하는 다공질체 74의 상면)에서 동일 평면을 형성하는 것과 같이 위치 결정되어 있다. 그리고, 부상 유닛 71의 상면으로부터 분출되는 공기에 의하여 유리 기판 G이 미소한 견격을 두고 지지되어 있다. 부상 유닛 71은 도 24에 도시한 것과 같이, 본체 73 및 그 본체 73의 상면측에 설치된 다공질체 74를 수비하고 있다. 그리고, 베이스 72의 내부에 형성된 통로 75, 및 본체 73의 내부에 형성된 공기 통로 76를 통하여 다공질체 74에 공기가 공급되고, 그에 의하여, 다공질체 74의 상면으로부터 공기가 분출된다.

여기에서, 유리 기판 G이 비접촉 지지된 상태에서는, 유리 기판 G에는 도 23에 도시된 것과 같이 기복이 발생한다. 즉, 부상 유닛 71의 상방에서 공기의 분출을 받아서 산으로 되고, 공기의 작용이 약한 부상 유닛 71들 사이에서 골이 되는 기복이 발생한다.

그러면, 도 24에 상세하게 도시한 것과 같이, 유리 기판 G의 단부(端部)에서는, 부상 유닛 71과의 사이가 개방된 상태로 된다. 이때, 부상 유닛 71의 상면으로 부터 분출된 공기는 그 많은 양이 개방 부분으로부터 외부로 방출되게 되어, 유리 기판 G에는 부상력이 충분하게 작용하지 않는다. 그 결과, 유리 기판 G이 부상 유닛 71 상면의 모퉁이에 접촉하는 것으로 되고, 비접촉 지지를 위하여 부상 유닛 71을 사용한 의미를 잃게 되는 문제가 있다.

또한, 도 23 및 도 24에서는, 설명의 편의상, 유리 기판 G의 기복을 과장하여 도시하였다. 그리고, 전술한 접촉의 문제점은 유리 기판 G에 한하지 않고, 박판 모양의 워크에서라면 동일하게 발생한다.

[특허 문헌 1] 특개2004-241465호 공보(제 7 부 제 15 행~제 17 행)

상기의 문제에 대처하는 것으로는, 부상 유닛의 설치 수를 증가시켜, 기복의 발맹을 억제하는 것이 고려된다. 그런데, 부상 유닛의 설치 수를 증가시키면 그 시간, 설치 비용 및 대량의 공기 소비에 의한 유지 비용이 증대하게 되어, 실용성에서 흠이 생기는 문제가 있다.

그래서, 본 발명은 구불거리는 워크의 단부(端部)에서도 확실하게 비접촉 상태에서 워크를 유지할 수 있는 부상 유닛, 및 그를 구비한 부상 장치의 제공을 주목적으로 하고 있다.

이하, 상기 과제를 해결하기 위한 유효한 수단 등으로, 필요에 대응한 작용, 효과, 보다 파고들어 구체적 수단 등을 도시하여 설명한다. 또한 이하에서는 이해를 용이하게 하기 위하여, 발명의 실시의 형태에 있어서 대응하는 구성을 괄호 등 으로 적절하게 표시하나, 이 괄호 등으로 나타난 구체적 구성에 한정되는 것은 아니다.

제 1의 경사 기능을 가지는 부상 유닛을 이하와 같이 구성하였다. 즉,

가압 기체가 분출하는 분출면과

상기 분출면의 수동적인 기울어짐을 자유롭게 하는 요동 수단을 구비하고,

상기 분출면으로부터 분출하는 가압 기체에 의하여, 상기 분출면과 비접촉 상태에서 워크를 지지하는 구성으로 한다.

상기 부상 유닛에서는, 분출면에 대하여 외력이 작용할 때, 요동 수단에 의하여, 분출면이 그 외력에 따라 기울어진 상태로 된다. 이때, 부상 유닛에서 워크를 비접촉 지지하는 때, 워크 자체에 기복이 발생하고, 그 워크가 우선 쌓이는 단계에서, 분출면이 워크의 경사에 따라 기울어진 상태로 된다. 그리고, 그 상태에서 가압 기체를 분출면으로부터 분출시킨다면, 워크는 그 저면이 분출면과 거의 평행하게 대면된 상태에서 부상하고, 가압 기체의 분출에 의하여 부상력을 워크에 대하여 확실하게 작용시키는 것이 가능하다. 이때, 워크의 기복에 의한 경사 때문에 가압 기체가 밖으로 달아나 접촉하기 쉬운 워크의 단부(端部)에 이 부상 유닛을 배치하면, 그 단부(端部)에 있어서도 확실하게 비접촉 상태에서 워크를 유지할 수 있다. 또한, 여기에서 말하는 경사는 설치면에 대한 경사를 말한다.

제 1의 경사 기능을 가지는 유닛의 적정한 예로서, 상기 분출면을 가지는 요동체를 받침대에 대하여 구면 축 받침 기구에 의하여 지지하고, 그에 의하여 상기 요동 수단을 가지는 것이 포함된다.

이 요동 수단에서는, 구면 축 받침 기구에 의하여 요동체를 지지하는 것으로 분출면의 자유로운 기울어짐을 가능하게 하기 때문에, 구성을 복잡하게 하지 않고, 분출면의 모든 방향으로의 자유로운 기울어짐을 실현하는 것이 가능하다.

상기 적정예에 있어서는, 또한, 상기 받침대 및 상기 요동체중, 일방에 凹 모양의 구면부를, 타방에 凸 모양의 구면부를 설치하고, 상기 구면부들을 합친 상태에서 요동체를 받침대에서 지지하며, 양자 사이에 가압 기체를 넣는 것으로 상기 구면 축 받침 기구를 구성하는 것이 바람직하다.

이러한 구성이라면, 요동체와 받침대 사이에 넣은 가압 기체에 의하여, 구면 축 받침 기구에 있는 마찰 저항이 없어지고, 작은 외력이 작용한 경우에만 분출면을 미끄러지도록 동작하여 기울어지게 하는 것이 가능하다. 또한, 받침대 및 요동체가 접촉하지 않게 되는 것으로부터, 분출면이 기울어지는 때에 전애를 발생시키지 않고, 크린룸 내에서의 설치에 적당하게 된다.

상기 적정예에 있어서는, 또한, 상기 받침대 및 상기 요동체의 내부에 양자를 연결하는 탄성 튜브를 설치하고, 상기 탄성 튜브 내를 통하여 상기 분출면에 가압 기체를 공급하는 것과 같이, 더욱 탄성 튜브의 주위에 요동체의 요동에 따른 탄성 튜브의 변형을 허용하는 변형 허용 공간을 형성하는 것이 바람직하다.

이 구성에서는, 받침대 및 요동체를 연결하는 것과 같이 설치된 탄성 튜브의 부세력에 의하여, 워크의 지지 작업 후에 요동체는 자연스럽게 초기 위치로 복귀한다. 이 경우, 초기 위치에서 분출면이 수평으로 되는 것에 의하여, 다음 회의 작업 시에 분출면 위에 워크를 쌓을 때, 요동체의 모퉁이 부분에 워크를 접촉시키지 않 고 적정하게 쌓는 작업을 행하는 것이 가능하다. 또한, 탄성 튜브의 주위에 변형 허용 공간이 형성되어 있는 것으로, 탄성 튜브는 요동체의 요동에 따라 변형 가능하고, 분출면의 자유로운 기울어짐을 저해하는 것은 아니다. 그리고, 분출면으로의 가압 기체의 공급이 탄성 튜브 내를 통하여 행하여지고, 당해 가압 기체는 도중에 누출되지 않아 전체로 분출면에 공급된다. 그러므로, 분출면에 충분한 가압 기체를 공급할 수 있고, 더욱더 부상 유닛으로의 가압 기체의 공급량을 억제하는 것이 가능하게 되어 유지 비용의 절감에도 이어진다.

제 2의 경사 기능을 가지는 부상 유닛은, 분출면으로부터 분출하는 가압 기체에 의하여, 상기 분출면과 비접촉 상태에서 워크를 지지하는 부상 유닛이고, 상기 부상 유닛을 이하와 같이 구성하였다. 즉,

상기 분출면을 구비하고, 동일한 곡률 반경을 가지는 凹 모양 구면부 및 凸모양 구면부 중의 일방을, 분출면과 반대측에 형성한 요동체와

상기 凹 모양 구면부 및 凸 모양 구면부 중의 타방을 형성하고, 구면부들을 합친 상태에서 요동체를 지지하는 받침대를 구비하고,

상기 받침대 및 상기 요동체의 사이에 가압 기체를 넣는 것으로, 요동체를 구면에 따라 요동 가능하게 하고, 이 요동에 의하여 분출면의 수동적인 기울어짐을 자유롭게 한다.

이 부상 유닛에서는, 요동체 또는 분출면에 대하여 외력이 작용할 때, 요동체는 그 외력에 따라 구면에 따르는 형태로 요동하고, 분출면도 기울어진 상태로 된다. 이때, 부상 유닛에서 워크를 비접촉 지지하는 때, 워크 자체에 기복이 발생 하게 되고, 워크가 우선 쌓이는 단계에서, 분출면이 워크의 경사에 따라 기울어진 상태로 된다. 그리고, 그 상태에서 가압 기체를 분출면으로부터 분출시키면, 워크의 저면과 분출면은 거의 평행하게 대면한 상태에서 부상하고, 가압 기체의 분출에 의하여 부상력을 워크에 대하여 확실하게 작용시키는 것이 가능하다. 이때, 워크의 기울어짐 때문에 가압 기체가 밖으로 달아나서 접촉하기 쉬운 워크의 단부에 이 부상 유닛을 배치하면, 그 단부에서도 확실하게 비접촉 상태에서 워크를 유지할 수 있다. 또한, 분출면의 자유로운 기울어짐을 구면 축 받침 기구에 의하여 실현하고, 게다가, 가압 기체의 존재에 의하여 구면 축 받침 기구에서는 마찰 저항이 없기 때문에, 전술한 제 1의 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 적정예와 동일한 작용 효과가 얻어진다.

제 2의 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 적정한 예에 있어서, 상기 받침대에 받침대 유로를 형성하고, 상기 요동체에는 상기 분출면에 이어지는 요동체 유로를 형성하며, 양자를 상기 凹 모양의 구면부 및 凸 모양의 구면부에서 개구시킨 때에, 그 개구들이 대치하는 것과 같이 구성된 것이 포함된다.

이 구성에서는, 받침대 유로에 가압 기체를 공급하면, 구면 축 받침 기구 부분으로의 가압 기체의 공급과, 분출면으로의 가압 기체의 공급을 동시에 행하는 것이 가능하다. 이때, 부상 유닛에 공급된 가압 기체의 공급 경로를 일체화할 수 있고, 배관 구성을 간소화할 수 있다.

상기 적정예에 있어서는, 더욱, 상기 요동체가 기울어진 상태에서도 상기 요동체 유로의 개구가 막히지 않기 때문에, 상기 받침대 유로의 개구 및 요동체 유로 의 개구 중 일방을 넓게(테이퍼 모양으로 넓게) 형성하는 것이 바람직하다.

이 구성에서는, 요동체가 기울어진 상태에서도, 요동체 유로의 개구가 막히게 되는 것을 회피할 수 있다. 이에 의하여, 가압 기체는 요동체 유로에 유입하는 때에 유통이 묶이지 않고, 분출면에 충분한 가압 기체를 공급할 수 있다.

상기 요동체를 구비하는 구성에 있어서는, 요동체가 받침대로부터 빠져나오는 것을 방지하는 이탈 방지 수단을 설치하는 것이 바람직하다.

이탈 방지 수단에 의하여, 요동체가 받침대로부터 빠져나오는 것을 방지할 수 있다. 이때, 요동체의 요동을 안정시키는 것이 가능하고, 또한, 요동체가 기울어진 상태를 안정하게 유지하는 것도 가능하다.

상기 요동체를 구비하는 구성에 있어서는, 요동체의 요동을 소정의 범위에서 규제하는 요동 규제 수단을 설치하는 것이 바람직하다.

요동 규제 수단을 설치하는 것에 의하여, 요동체의 요동이 소정의 범위 내에서 규제되기 때문에, 요동체의 요동을 안정시키는 것이 가능하다.

상기 요동체를 구비하는 구성에 있어서는, 요동체의 외주에는 통 모양을 이루는 부통체를 설치하고, 그 부통체에서 상기 받침대의 측면의 적어도 상부를 숨기는 것으로 구성하는 것이 바람직하다.

이 구성에서는, 통 모양을 이루는 부통체에 의하여 받침대의 측면 상부가 숨겨지기 때문에, 구면 축 받침 기구 부분을 통과한 가압 기체는 받침대의 측면과 부통체의 내면과의 사이를 통과하고, 받침대의 측면과 부통체의 내단부와의 사이에 형성된 개구 부분으로부터 배출된다. 그리고, 이 개구 부분은 하향으로 열리는 것 으로부터, 가압 기체도 하방향으로 향하여 배출된다. 이때, 배출된 가압 기체가 워크에 들어가는 것과 같은 염려를 줄일 수 있다.

이 구성에 있어서는, 또한, 상기 이탈 방지 수단 및 상기 요동 규제 수단을 받침대 측면에 형성된 凹부 및 상기 부통체에 설치하고, 선단이 상기 凹부에 유삽된 이탈 방지 핀으로 구성하는 것이 바람직하다.

부통체에 이탈 방지 핀을 설치하는 것에 의하여, 요동체가 받침대로부터 이탈되는 것을 방지할 뿐만 아니라, 요동체의 요동의 규제도 함께 행하여지게 되고, 이 핀만으로 이탈 방지 수단과 요동 규제 수단의 양 수단을 병용할 수 있다. 이때, 부품점 수를 적게 할 수 있고, 구성도 간편하게 하는 것이 가능하다. 또한, 이탈 방지 핀은 凹부에 유삽되어 있기 때문에, 요동체의 요동 자체는 허용되어 있다.

상기 요동체를 구비하는 구성에 있어서는, 요동체의 수평 방향의 중량 균형을 조정하는 균형 조정 수단을 설치하는 것이 바람직하다.

균형 조정 수단을 설치하고, 워크를 지지하지 않은 상태에서 분출면이 수평으로 되는 것에 의하여 요동체의 수평 방향의 중량 균형을 조정하는 것으로, 워크의 지지 작업 후에 분출면은 스스로 수평으로 된다. 이로 인하여, 다음 회의 작업 시에 있어서 분출면 위에 워크를 쌓을 때, 요동체의 모서리 부분에 워크를 접촉시키지 않게 되어 적정하게 쌓기 작업을 행하는 것이 가능하다.

또한, 상기 탄성 튜브를 구비한 구성에서는, 탄성 튜브에 의하여 요동체가 초기 위치로 부세되나, 이 경우 균형 조정 수단을 구비하는 것으로 초기 위치를 분출면이 수평으로 되는 위치로 하는 것이 가능하다.

제 3의 경사 기능을 가지는 부상 유닛은, 가압 기체가 분출하는 분출면을 구비하고, 그 분출면으로부터 분출시킨 가압 기체에 의하여 분출면과 비접촉 상태에서 워크를 지지하는 부상 유닛이고, 이 부상 유닛을 이하와 같이 구성하였다. 즉,

상기 분출면을 가지는 요동체와 설치면에 고정되어 요동체를 지지하는 지지체를 구비하고, 요동체 또는 지지체에 설치된 지지 공간 내에 요동체의 피지지부 및 지지체의 지지부를 배치하고, 그 피지지부 및 지지부를 상기 분출면이 지지체의 설치면에 대하여 수평으로 된 상태를 기준으로 하여 상기 요동체가 요동하는 것과 같이 구성하고,

상기 지지체에는 지지체 유로를 설치하고, 상기 요동체에는 상기 분출면에 이어지는 요동체 유로를 설치하며, 그 지지체 유로와 요동체 유로를 상기 지지 공간 내에서 연통시키고, 그 지지 공간 내의 가압 기체의 누출을 방지하는 실(seal) 수단을 설치하였다.

이 부상 유닛에서는, 요동체는 외력의 작용에 의하여 요동하고, 그 상면에 있는 분출면은 외력에 따라 기준 위치로부터 기울어진 상태로 된다. 이때, 부상 유닛에서 워크를 비접촉 지지하는 때, 워크 자체에 기복이 발생하고, 그 워크가 우선 쌓인 단계에서, 분출면이 워크의 경사에 따라 기울어진 상태로 된다. 그리고, 그 상태에서 가압 기체를 분출면으로부터 분출시키면, 워크는 그 저면이 분출면과 거의 평행하게 대면된 상태에서 부상하고, 가압 기체의 분출에 의하여 부상력을 워크에 대하여 확실하게 작용시키는 것이 가능하다. 이때, 워크의 기복에 의한 경사때문에 가압 기체가 외부로 밀려나와 접촉하기 쉬운 워크 단부에 이 부상 유닛을 배 치하면, 그 단부에 있어서도 확실하게 비접촉 상태에서 워크를 유지할 수 있다.

그리고, 지지체 유로에 공급된 가압 기체가 요동체 유로에 도입될 때, 그 가압 기체가 지지 공간 내에 유출되어도, 실 수단에 의하여 지지 공간으로부터 외부로 누출되지 않게 되어 있다. 이때, 지지체 유로에 공급된 가압 기체를 분출면으로부터 분출하는 것으로 되어 외부에 유출시키고, 무모하게 소비하여 끝내는 것을 억제할 수 있다.

제 3의 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 적정한 예에 있어서, 상기 지지부 및 상기 피지지부 중 일방을 구면, 타방을 절구 모양으로 형성된 테이퍼면으로 하고, 그 구면과 테이퍼면과의 맞붙음에 의하여, 상기 요동체가 요동하는 것으로 구성되는 것이 포함된다.

이 구성에서는, 구면과 테이퍼면과의 맞붙음에 의하여, 요동체가 요동 상태에서 지지체에 지지된다. 이때, 요동체가 지지체에 대하여 요동하는 때에, 지지부 및 피지지부와의 사이에 발생하는 접동 저항을 면 접촉과 같은 경우에 비하여 줄일 수 있다.

제 3의 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 다른 적정한 예에 있어서, 상기 지지부 또는 상기 피지지부 중 일방을 구체부(球體部)의 구면, 타방을 절구 모양으로 형성한 테이퍼면으로 하고, 그 구면과 테이퍼면과의 맞붙음에 의하여, 상기 요동체가 요동하게 되는 것으로 구성하며, 구면과 테이퍼면의 맞붙음 위치와는 다른 위치에서 상기 실 수단을 구체부(球體部)의 구면과 맞붙게 하고, 그 맞붙음에 의하여 실 수단이 실 기능 및 요동체의 유지 기능을 함께 가지는 구성으로 하는 것이 포함 된다.

이 구성에서는, 구면 및 테이퍼면과의 맞붙음에 의하여, 요동체가 접동 상태에서 지지체에 지지된다. 이때, 요동체가 지지체에 대하여 요동하는 때에, 지지부 및 피지지부와의 사이에 발생하는 접동 저항을 면접촉하는 경우에 비하여 줄일 수 있다. 또한, 실 수단은 지지 공간 내의 가압 기체가 외부에 누출되는 것을 방지할 수 있고, 요동체를 지지하는 기능을 가지기 때문에, 요동체를 보다 안정한 상태에서 지지할 수 있다.

이 적정예에 있어서는, 상기 실 수단과 구체부(球體部)의 구면과의 맞붙음 위치를, 상기 구체부를 좁힌 상기 테이퍼면과 구면과의 맞붙음 위치와는 상하 반대 측에 설치하는 것이 바람직하다.

이 구성에서는, 구체부의 상하에서, 일방에서 테이퍼면과의 맞붙음에 의하여 요동체가 지지되고, 타방에서 실 수단과 맞붙음에 의하여 그 지지 상태가 유지되는 것이 되어, 요동체의 지지를 보다 안정시키는 것이 가능하다.

제 3의 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 상기 어느 구성에 있어서도, 상기 요동체 및 상기 지지체를 각각의 연직 방향의 중심선이 일치하는 것과 같이 설치하고, 한편 그 중심선을 중심으로 하여 상기 지지 공간을 형성하는 것이 바람직하다.

이에 의한 구성이라면, 요동체가 지지체에 지지된 때에 치우친 상태에서 지지되는 것을 방지하고, 요동체를 균형되게 지지하는 것이 가능하다.

제 3의 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 상기 어느 구성에 있어서도, 상기 지지체 유로 및 상기 요동체 유로를 연직 방향으로 이어지는 일직선 상태에서 설치 하는 것이 바람직하다.

이러한 구성이라면, 각 유로가 직선 모양을 이루기 때문에 그 제조가 용이하고, 양 유로가 일직선 모양으로 되는 것으로부터, 가압 기체를 부드럽게 유통시키는 것이 가능하다.

이 구성에 있어서는, 더욱, 상기 지지체 유로의 도출 측 개구보다도, 상기 요동체 유로의 도입 측 개구를 넓게 형성하는 것이 바람직하다.

이렇게 형성된다면, 요동체가 기울어진 경우에도, 요동체 유로의 도입 측 개구 내에 지지체 유로의 도출 측 개구를 배치시키는 것이 가능하고, 개구 부분이 폐색되는 것을 방지하여 가압 기체의 부드러운 유통을 확보할 수 있다.

제 3의 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 상기 어느 구성에 있어서도, 상기 실 수단을 구체부의 구면과 밀접한 O링으로 하고, 그 O링을 지지 공간 내의 가압 기체의 압력이 링 내측으로부터 그 O링에 작용하는 것과 같이 배치하는 것이 바람직하다.

이 구성에서는, O링에는 그 링 내측으로부터 가압 기체의 압력이 작용하기 때문에, 그를 수용하여 O링은 그 외측에 확장한다. 이때, O링이 그 내측에서 축소하는 힘, 즉, 구면을 압압하는 압압력이 증가하게 된다. 이로 인하여, O링이 가압 기체의 압력을 수용하여 구체부와의 사이에서 발생하는 접동 저항의 높이를 억제할 수 있다.

또는 상기 실 수단을 구체부의 구면과 밀접한 O링으로 하고, 또한, 상기 요동체를 상부 구성체와 하부 구성체로 구성하며, 양 구성체를 일체화시키는 것에 의 하여, 상기 지지 공간과 상기 O링이 배치된 환상구를 형성하는 것도 좋다.

이에 의한다면, 요동체를 상부 구성체 및 하부 구성체에 있는 복수의 부재로부터 구성하고, 한 개의 O링에서 상부 구성체, 하부 구성체, 구체부의 삼자 사이를 실하는 것이 가능하게 된다. 이에 의하여, O링을 복수 설치할 필요가 없기 때문에 부품점 수가 적어도 되고, 제조 비용을 줄일 수 있다.

이 경우에 있어서는, 상기 지지 공간을 상기 구체부 전체가 수용되는 것과 같이 구성하고, 그 지지 공간 내에는 구체부의 구면과 상기 테이퍼면(상측 테이퍼면 175)과의 맞붙음 위치로는 상하 반대 측에서 구체부의 구면과 맞붙는 맞붙음면(하측 테이퍼면 178)을 설치하는 것이 바람직하다.

이 구성에서는, 구체부는 요동체를 요동하도록 지지하는 부분과는 별개로, 그 지지 부분과는 반대 측에서 맞붙음 면과 맞붙어 있기 때문에, 더 안정한 상태에서 구체부를 지지하는 것이 가능하다.

제 4의 경사 기능을 가지는 부상 유닛은, 가압 기체가 분출하는 분출면을 구비하고, 그 분출면으로부터 분출된 가압 기체에 의하여 분출면과 비접촉 상태에서 워크를 지지하는 부상 유닛이고, 이 부상 유닛을 이하와 같이 구성하였다. 즉,

구체부를 가지고, 그 구체부의 하단에는 연직 방향으로 이어지는 축부를 설치하며, 상기 축부에는 설치면에 고정된 피고정부를 설치하고, 상기 구체부의 구면에서 개구하는 지지체 유로를 더 설치한 지지체와,

상기 분출면을 가지는 분출부를 상면에 설치하고, 내부에는 상기 구체부를 수용하는 지지 공간을 설치하며, 그 내외를 연통하는 삽통 구멍의 개구부를 하면에 설치하여 그 삽통 구멍에 상기 축부를 삽통시키고, 지지 공간 내의 상부에는 하향의 절구 모양으로 형성된 테이퍼면을 설치하여 그 테이퍼면과 구체부의 구면을 맞붙게하며, 상기 분출부에 이어지는 때에 상기 지지 공간을 형성하는 면에서 개구하는 요동체 유로를 설치한 요동체를 더 구비하고,

상기 테이퍼면과 상기 구체부의 구면과의 맞붙음에 의하여, 상기 요동체가 상기 지지체에 대하여 요동하여 지지되는 것과 같이 구성하고,

상기 삽통 구멍의 내측 주연부에는 상기 지지 공간 내의 가압 기체의 누출을 방지하는 O링을 설치하고, O링의 링 내측과 맞붙는 측벽면을 설치하도록, 그 O링을 환상구에 배치하였다.

이 부상 유닛에서는, O링에는 그 링 외측으로부터 가압 기체의 압력이 작용하기 때문에, 그를 수용하여 O링은 그 내측에 축소하게 하나, 그 축소력은 구체부의 구면에 대한 압압력 뿐만 아니라, 측벽면에 대한 압압력으로 된다. 이 힘의 분산에 의하여, 구면에 대한 압압력은 측벽면을 설치하지 않은 구성에 비하여 상대적으로 작게 된다. 이로 인하여, O링이 가압 기체의 압력을 수용하여 접동 저항이 높게 되어도 그 높이를 억제하는 것이 가능하다.

제 5의 경사 기능을 가지는 부상 유닛은, 가압 기체가 분출하는 분출면을 구비하고, 그 분출면으로부터 분출시킨 분출 기체에 의하여 분출면과 비접촉 상태에서 워크를 지지하는 부상 유닛이고, 그 부상 유닛을 이하와 같이 구성하였다. 즉,

구체부를 가지고, 그 구체부의 하단에는 연직 방향으로 이어지는 축 부를 설치하며, 그 축 부에는 설치면에 고정된 피고정부를 설치하고, 구체부의 구면에서 개구하는 지지체 유로를 더 설치한 지지체와,

상기 분출면을 가지는 분출부를 상면에 설치하고, 내면에는 상기 구체부를 수용하는 지지 공간을 설치하며, 그 내외를 연통하는 삽통 구멍의 개구부를 하단에 설치하여 그 삽통 구멍에 상기 축 부를 삽통시키고, 지지 공간 내의 하부에는 상기 구체부의 구면 하부와 맞붙어 얻어진 맞붙음부를 설치하며, 상기 분출부에 이어지는 때에 상기 지지 공간을 형성하는 면에서 개구하는 요동체 유로를 설치한 요동체를 더 구비하고,

그 요동체에는, 상기 지지 공간 내의 상기 구면 중앙보다 상방 위치에 있어서 수평 방향으로 배치되고, 상기 구체와 요동체의 사이로부터의 가압 기체의 누출을 방지하는 O링을 설치하고,

상기 O링과 상기 구체부의 구면 상부와의 맞붙음에 의하여 상기 요동체가 상기 지지체에 대하여 요동하여 지지되는 것과 같이 구성하였다.

이 부상 유닛에서는, 지지체 유로를 통하여 가압 기체가 지지 공간 내에 이를 때, O링에는 링 확장 방향, 즉, 구면으로의 죄는 힘이 약해지는 방향으로 변형한다. 게다가, O링은 구체부의 구면 중심보다 상방에서 구면과 맞붙는 위치에서 배치되어 있다. 상기 지지 공간 내의 가압 기체의 압력이 높고 지지체에 대하여 요동체가 상방으로 지탱하는 올리는 힘이 작용하나, 이 힘은 O링을 무너뜨리는 방향으로의 힘은 되지 않기 때문에, 구체부의 구면을 압압하는 압압력이 증가하지 않는다.

이상과 같이, 가압 기체의 압력을 O링의 내주 측에 작용시키는 특징에 더하 여, O링을 구면 중심보다 상방에 배치하는 배치 상의 특징이 있는 것에 의하여, 가압 기체의 압력을 수용하여도 구체부의 구면과의 사이에서 발생하는 접동 저항의 높이를 한층 억제하는 것이 가능하다. 이때, 지지 공간 내의 가압 기체의 압력이 높아진 경우에 있어서도, 요동체를 부드럽게 요동시키는 것이 가능하다.

또한, 상기와 같이 지지 공간 내의 압력이 높아진 지지체에 대하여 요동체가 상방으로 이동하게 하는 힘은, 맞붙음부와 구체부의 구면 하부와의 맞붙음에 의하여 막아내고, O링에 의한 실 효과가 유지된다. 이 의미에서, 지지 공간 내의 압력이 높아지기 전 단계에서는, 맞붙음부와 구체부의 구면 하부와는 반드시 맞붙어있지 않아도 좋고, 적어도 상기 압력이 높아진 경우에 있어서 O링에 의한 실 효과가 손실되기 전에 맞붙음부와 구체부의 구면 하부가 맞붙는 위치 관계에 있는 것이 좋다.

또한, 상기 맞붙음부는 상향의 절구 모양으로 형성된 테이퍼면으로 형성하는 것이 바람직하다. 또한, O링은 요동체에 형성된 환상구에 수용하는 것이 바람직하다. 또한, 지지 공간 내에 있어서 O링보다 상방 공간으로 된 장소에서는 지지체와 요동체가 비접촉으로 유지되어 있는 것이 공기 진동 억제의 관점에서 좋다.

제 6의 경사 기능을 가지는 부상 유닛은, 가압 기체가 분출하는 분출면을 구비하고, 그 분출면으로부터 분출시킨 가압 기체에 의하여 분출면과 비접촉의 상태에서 워크를 지지하는 부상 유닛이고, 이 부상 유닛을 이하와 같이 구성하였다. 즉,

상기 분출면을 가지는 요동체 및 그 요동체를 지지하는 지지체를 구비하고,

상기 지지체에는 구체부를 설치하고, 그 구체부를 상기 요동체에 설치한 지지 공간 내에 수용하며,

상기 지지 공간 내에는 동일 지지 공간을 형성하는 내면과 상기 구체부의 구면 중앙보다 상부에 맞붙어 양자 사이를 실하는 때에, 그 맞붙음에 의하여 지지체에 요동체를 지지시키는 환상의 실 수단을 설치하고,

상기 지지체에는 구체부의 상기 실 수단과의 맞붙음 부분보다 상부에서 개구하는 지지체 유로를 설치하고, 상기 요동체에는 일단이 상기 분출면에 연결되고, 타단이 지지 공간을 형성하는 내면에서 개구한 지지 공간을 통하여 상기 지지체 유로의 상기 개구와 연통하는 요동체 유로를 설치하였다.

이 부상 유닛에서는, 요동체는 실 수단을 통하여 지지체에 지지된다. 이 요동체에 외력이 작용할 때, 구체부의 구면과 실 수단이 접동한 요동체는 요동한다. 이때, 요동체의 상면에 있는 분출면은 외력에 따라 기준 위치로부터 기울어진 상태로 된다. 그러므로, 이 부상 유닛에 의해서도, 워크의 기복에 의한 경사에 따라 분출면을 기울이고, 확실하게 비접촉 상태에서 워크를 유지할 수 있다. 또한, 지지체 유로에 공급된 가압 기체가 지지 공간을 통하여 요동체 유로에 도입될 때, 가압 기체의 압력이 실 수단에 작용하고, 그것을 받아들인 실 수단은 외측으로 확장한다. 이 확장에 의하여 실 수단이 구체부의 구면 및 지지 공간을 형성하는 내면을 압압하는 압압력이 증가하기 때문에, 가압 기체의 공급 상태에 있어서 실 수단에 의한 실 효과가 높아진다.

그리고, 상술한 필요한 지지체에 요동체를 요동하도록 지지하는 구성은, 지 지 공간 내에 설치된 실 수단에 구체부의 구면을 맞붙게하고, 그 실 수단을 통하여 지지하는 것이고, 극히 간략한 구성으로 된다. 또한, 높은 정확도의 가공이 불필요하게 된다. 구체부의 상하를 테이퍼면에서 협지하여 요동체를 요동하는 구성에서는 가공 및 달라붙음에 있어서 높은 정확도가 요구되나, 그에 비하여 비용을 줄일 수 있다.

제 7의 경사 기능을 가지는 부상 유닛은, 가압 기체가 분출하는 분출면을 구비하고, 그 분출면으로부터 분출시킨 가압 기체에 의하여 분출면과 비접촉 상태에서 워크를 지지하는 부상 유닛이고, 이 부상 유닛을 이하와 같이 구성하였다. 즉,

상기 요동체에는 구체부를 설치하고, 그 구체부를 상기 지지체에 설치한 지지 공간 내에 수용하며,

상기 지지 공간 내에는 동일한 지지 공간을 형성하는 내면과 상기 구체부의 구면 중앙보다 하단에 맞붙어 양자의 사이를 실하는 경우에, 이 맞붙음에 의하여 지지체에 요동체를 지지시키는 환상의 실 수단을 설치하고,

상기 요동체에는 일단이 상기 분출면에 연결되고, 타단이 상기 구체부의 상기 실 수단과의 맞붙음 부분보다 하부에서 개구하는 요동체 유로를 설치하며, 상기 지지체에는 요동체 유로의 상기 타단의 개구 및 지지 공간을 통하여 연통하는 지지체 유로를 설치하였다.

이 부상 유닛에서는, 요동체에 구체부를, 지지체에 지지 공간을 설치한 점에서 상위하나, 지지 공간 내에서의 실 수단과 구체부의 맞붙음에 의하여 요동체를 요동하도록 지지하고 있는 기술적 사상은 상기 제 6의 경사 기능을 가지는 부상 유닛과 동일하다. 또한, 지지체 유로에 공급된 가압 기체가 지지 공간을 통하여 요동체 유로에 도입될 때, 가압 기체의 압력에 의하여 실 수단이 외측에 확장하는 점에서도 동일하다. 그러므로, 이 제 7의 경사 기능을 가지는 부상 유닛에서도, 상기 제 6의 경사 기능을 가지는 부상 유닛과 동일한 작용 효과가 얻어진다.

제 6 및 제 7의 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 적정한 예로서는, 상기 실 수단과 상기 구체부의 구면과의 맞붙음 위치와 상하 반대측에서 상기 구면에 맞붙은 맞붙음 부재, 그 맞붙음 부재를 구면에 대하여 압압하는 압압 수단을 설치한 구성도 포함된다.

이 구성이라면, 구체부의 상하의 일방에서 실 수단과의 맞붙음에 의하여 요동체가 지지되게 되고, 타방에서 맞붙음 부재와 맞붙는 것으로 되어, 구체부를 안정한 상태에서 유지시킬 수 있다. 더욱이, 압압 수단의 압압력이 맞붙음 부재에 작용할 때, 맞붙음 부재와 구체부와의 맞붙음 성능이 보다 확실하게 유지되게 된다. 이로 인하여, 구체부의 유지를 안정화시키는 것이 가능하고, 나아가서는 요동체의 지지 및 요동의 안정화에 기여한다.

제 6 및 제 7의 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 다른 적정한 예로써, 이하와 같은 구성이 포함된다. 즉,

상기 요동체 또는 상기 지지체에 수용 凹부를 형성하여 상기 지지 공간을 설치하고,

상기 구체부를 가지는 지지체 또는 요동체는, 상기 구체부로부터 상기 수용 凹부의 개구부를 통하여 수용 凹부의 바깥까지 연직 방향으로 이어져서 설치된 축부를 구비하며,

상기 축부에는 적어도 2개의 워셔를 삽통시키고, 축부를 삽통하는 삽통 구멍의 내주연부에서 상기 구체부와 맞붙는 제 1 워셔 및 상기 제 1 워셔에 인접하는 제 2 워셔와의 사이에, 양 워셔를 축부의 축선 방향에 부세하는 부세 수단을 위치시키고,

상기 수용 凹부를 형성하는 주면에 환상의 취부구를 형성하고, 그 취부구에 상기 제 1 워셔가 상기 구체부와 맞붙은 상태에서 유지하는 스냅 링을 설치하였다.

이 구성이라면, 구체부의 상하의 일방에서 실 수단과 맞붙음에 의한 요동체가 지지되게 되고, 타방에서 제 1 워셔와 맞붙는 것으로 되고, 구체부를 안정된 상태에서 유지할 수 있다. 더욱이, 부세 수단의 부세력에 의한 제 1 워셔가 구면을 압압할 때, 제 1 워셔와 구체부의 맞붙음 상태가 보다 확실하게 유지되게 된다. 이에 의하여, 구체부의 지지를 안정화시키는 것이 가능하고, 나아가서는 요동체의 지지 및 요동의 안정화에 기여한다.

또한, 스냅 링에 있어서 제 1 워셔 및 구체부가 맞붙은 상태를 유지할 수 있기 때문에, 폐색 부재를 볼트에 체결하는 구성에 비교하여, 부품점 수가 적어진다. 이에 의하여, 비용의 절감에 기여할 수 있다. 제일, 스냅 링을 사용한 것으로는 그 링과 취부구의 사이에서 역회전이 발생하고, 워셔와 구체부와의 맞붙음 상태가 안정되지 않은 문제도 있다. 여기에서, 이 구성에서는 스냅 링과 제 1 워셔 사이에 제 2 워셔를 설치하고, 더욱 양 워셔의 사이에 부세 수단을 위치시키게 된다. 이 부세 수단의 부세력이 제 2 워셔를 통하여 스냅 링에도 작용하고, 역회전의 발생을 억제하는 것이 가능하다.

상기 어느 적정예에 있어서도, 상기 압압 수단 또는 상기 부세 수단은 판 스프링 중에서도 웨이브 워셔인 것이 바람직하다. 판 스프링은 박판에서 형성되어 있기 때문에, 부상 유닛의 구성을 간소화하고, 소형화에도 기여할 수 있다.

제 6 및 제 7의 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 상기 어느 구성에 있어서도, 상기 지지 공간을 형성하는 내저면에 상기 실 수단을 장착하는 원형 모양의 실 장착구를 형성하고, 상기 실 수단의 외경을 상기 실 장착구의 지름과 동일하게 하여, 그 실 수단을, 동일 수단이 실 장착구를 형성하는 저면 및 주면과 맞붙는 상태에서 실 장착구에 수용된 구성으로 하는 것이 바람직하다.

이 구성이라면, 지지 공간을 형성하는 내주면에 실 수단을 장착하는 장착구를 둘레 방향에 따라 형성할 필요가 없고, 장착구의 가공이 용이하게 된다. 또한, 실 장착구와 동일한 외경을 가지는 실 수단을 그 구에 배치하여 실 수단의 달라붙음이 완료하기 때문에, 그 작업은 더없이 간단해진다.

제 6 및 제 7의 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 상기 어느 구성에 있어서도, 상기 실 수단은 O링인 것이 바람직하다.

이에 의하여 O링을 사용하면, 그 가격이 안정적이어서 입수가 용이하기 때문에, 비용의 절감에 기여할 수 있다.

상기 어느 구성에 있어서도, 상기 분출면을 다공질체에 의하여 형성하는 것이 바람직하다.

이러한 구성이라면, 다공질체의 표면으로부터 가압 기체가 분출되기 때문에, 가압 기체가 다공질체를 통과할 때 꼬임에 의하여 적당하게 정압을 발생시키는 것이 가능하다. 게다가, 단순한 꼬임 통로보다도 균등하게 정압을 워크와의 사이에 발생시키는 것이 가능하다. 그 결과, 워크를 비접촉 상태에서 한층 안정하게 유지하는 것이 가능하다.

제 1의 부상 장치는, 다수의 부상 유닛을 구비하고, 그 부상 유닛의 분출면으로부터 분출되는 가압 기체에 의하여, 박판 모양의 워크를 비접촉 지지하는 부상 장치이고, 상기 다수의 부상 유닛 중, 평면 시야에 있는 네 개의 모퉁이 또는 단부에는, 상기 어느 경사 기능을 가지는 부상 유닛을 배치하였다.

워크를 부상시킬 때는, 기복 때문에 워크의 단부에서는 가압 기체가 밖으로 달아나 접촉되게 되나, 이 부상 장치에서는 그 단부에 경사 기능을 가지는 부상 유닛이 배치되어 있기 때문에, 그 단부에서도 확실하게 비접촉 상태에서 워크를 유지할 수 있다. 또한, 네 개의 모퉁이는 제일 가압 기체가 달아나기 쉬운 장소이기 때문에, 여기에서 경사 기능을 가지는 부상 유닛을 설치하게 되면, 종래에 비하여 더 확실하게 비접촉 상태의 유지가 가능하게 된다. 더욱이, 네 개의 모퉁이 또는 단부에의 경사 기능을 가지는 부상 유닛을 설치하는 것으로부터 부상 장치에서의 비용 증가의 억제가 가능하다.

제 2의 부상 장치는, 다수의 부상 유닛을 구비하고, 그 부상 유닛의 분출면으로부터 분출되는 가압 기체에 의하여 박판 모양의 워크를 비접촉 지지하는 부상 장치이고, 상기 다수의 부상 유닛 모두를, 상기 어느 경사 기능을 가지는 부상 유 닛으로 한다.

부상 유닛의 수를 종래의 부상 장치보다 작게 하면 부상 유닛 사이의 워크의 어지러움이 커지게 되나, 이 부상 장치에서는 모든 부상 유닛이 경사 기능을 가지는 부상 유닛이기 때문에, 어지러움이 크게 되어도 확실하게 비접촉 상태에서 워크를 유지할 수 있다. 부상 유닛의 수를 적게 하는 것으로, 부상 장치로의 가압 기체의 공급량이 줄어들고, 유지 비용의 절감을 나타내는 것이 가능하다. 또한, 부상 장치에의 부상 유닛의 설치 시에, 각 부상 유닛의 분출면의 높이 조정 등에 있어서 작업성을 양호하게 하는 것이 가능하다. 또한, 위치 갭을 수정하는 워크의 크기는 보통 동일하지 않고 작게 되기 때문에, 모든 부상 유닛을 경사 기능을 가지는 부상 유닛으로 하여, 작은 워크인 경우에도 확실하게 비접촉 상태에서 워크를 유지할 수 있다.

[제 1의 실시의 형태]

이하, 발명을 구체화한 제 1의 실시의 형태를 도면에 기초하여 설명한다. 또한, 도 1은 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 단면도(도2의 A-A선 단면도), 도2는 경사 기능을 가지는 부상 유닛의 사시도, 도 3은 유리 기판의 쌓아올림으로부터 부상까지 양상을 도시한 모식도, 도 4는 유리 기판의 위치 갭이 수정된 상태를 도시한 평면도이다. 그리고, 이하에서는, 상하는 연직 방향을 나타내는 것으로 한다.

도 4에 도시한 것과 같이, 워크로써의 유리 기판 G의 위치 갭을 수정하는 장치에서는, 유리 기판 G를 비접촉 지지하는 부상 장치를 구비하고 있다. 부상 장치는 , 이 도면에서는 도시되지 않은 베이스 2를 구비하고, 그 베이스 2 위에 다수의 부상 유닛이 설치되어 있다. 본 실시의 형태에서는, 각 부상 유닛 1이 전후 좌우 배치되고, 보다 구체적으로는 동일한 간격으로 격자 상으로 배치되어 있다. 또한, 부상 유닛 1의 설치 수는 대상이 되는 유리 기판 G의 면적 및 어지러운 정도 등을 고려하여 적정 증감되는 것으로 된다. 부상 유닛 1은 2 종류로 구성되어 있다. 한 개는 종래로부터 존재하는 일반적인 부상 유닛 11이고, 다른 한 개는 경사 기능을 가지는 부상 유닛 12(이하, 개량 부상 유닛 12이라 한다.)이다.

여기에서, 일반적 부상 유닛 11을 모두 사용하여 유리 기판 G을 비접촉 지지한 경우, 도 4의 전후 좌우 양 단부에서 접촉하고 있는 문제가 발생한다. 이때, 그 전후 좌우 양 단부에 개량 부상 유닛 12이 배치되어 있다.

또한, 각 부상 유닛 1은 그 상면에서 동일한 평면을 형성하는 것으로 적치되어 있다. 그리고, 각 부상 유닛 1의 상면으로부터 분출되는 공기에 의하여, 유리 기판 G이 미소한 간격을 가지고 지지되어 있다. 유리 기판 G의 주변에 설치된 복수의 수정 롤러S는, 위치 갭을 수정하기 위하여 설치되어 있다. 이 수정 롤러 S가, 도시되지 않은 구동 장치에 의하여 유리 기판 G의 측면에 접하는 방향(도 4에 도시된 화살표 방향)에 동시에 이동하는 것으로, 위치 갭이 수정된다.

다음으로, 상기 개량 부상 유닛 12의 구성에 관해서 상세하게 설명한다. 또한 일반 부상 유닛 11에 관하여는, 그 기본적인 구성은 종래와 동일하고, 또한 그 상면이 상술한 개량 부상 유닛 12의 상면 12a와 동일 평면을 형성하는 것과 같이 구성되어 있다. 그러므로, 그 상세한 설명은 생략한다.

도 1 및 도 2에 도시한 것과 같이, 개량 부상 유닛 12은 평면에서 보아 원 형상을 이루는 받침대 21를 구비하고 있다. 그 원의 중심을 통과하는 상하 방향의 중심선은 개량 부상 유닛 전체의 중심선으로 되고, 개량 부상 유닛 12을 구성하는 후술의 각 부 및 각 부재는 그 중심선을 기준으로 하여 설치되어 있다. 받침대 21에는 그 상면 21a에 凹 모양 구면을 이루는 凹모양 구면부 23가 형성되어 있다. 또한, 받침대 21에는 그 내부에 받침대 유로로써의 제 1 유로 24가 형성되어 있다. 제 1 유로 24는 凹 모양 구면부 23의 중앙부에 일방이 열리고, 타방은 저면 21b에서 열리는 것으로 형성되어 있다. 제 1 유로 24의 凹모양 구면부 23로의 개구부 24a는 테이퍼 모양으로 형성되고, 넓어지게 된다. 타방 저면 21b에서의 개구부 24b의 주위에는 O링 26이 설치되어 있다.

받침대 21는 베이스 2에 직접 쌓아 올려지고, 적정의 고정 수단으로 베이스 2에 고정된다. 베이스 2에는 그 상면 2a에서 개구하는 공기 유로 3가 형성되어 있고, 그 공기 유로 3의 개구에 상기 제 1 유로 24의 개구부 24b를 합치는 것에 의하여, 받침대 21가 쌓아 올려진다. 이 때문에, 베이스 2 외부로부터 공급되어 공기 유로 3를 유통하는 공기가 제 1 유로 24에 공급된다. 상기 O링 26에 의하여, 받침대 21의 저면 21b과 베이스 2의 상면 2a과의 사이는 실되기 때문에, 그 사이로부터 공기 누출이 방지되고 있다.

받침대 21에는, 그 凹 모양 구면부 23의 위에 평면으로 보아, 받침대 21보다 큰 지름의 원형 모양을 이루는 요동 기체 31가 설치되어 있다. 요동 기체 31는 후술하는 다공질 유닛 41과 함께 요동체를 구성하고 있다. 요동 기체 31는 그 상면 31a이 평탄하게 형성되어 있다. 이에 대하여, 그 하면측, 즉, 받침대 21측은 凸 모 양 구면을 이루는 凸 모양 구면부 33로 되어 있고, 그 凸 모양 부분과 상기 받침대 21의 凹 모양 구면부 23의 凹 모양 부분을 합쳐서 배치되어 있다. 그리고, 凸 모양 구면부 33는 그 곡률 반경이 凹 모양 구면부 23의 곡률 반경과 동일하게 형성되어 있다. 그러므로, 凸 모양 구면부 33와 凹모양 구면부 23는 凹凸이 포개어진 상태로 되어 있다.

상기 요동 기체 31는 그 요동 기체 31의 외경에 합쳐진 내경을 가지는 원통 모양의 부통체 34의 중공 부분에 수용되어 있다. 상술한 것과 같이, 평면 시에서 요동 기체 31의 외경은 받침대 21 보다 큰 지름이기 때문에, 이 부통체 34에 의하여, 요동 기체 31뿐만 아니라, 상기 받침대 21의 주위에도 거의 덮여 있다. 그리고, 부통체 34는 그 상면 34a이 요동 기체31의 상면 31a와 동일 평면을 이루는 상태에서 요동 기체 31에 볼트 36로 고정되어 있다.

또한, 요동 기체 31에는 그 내부에 제 2 유로 37가 형성되어 있다. 제 2 유로 37는 후술하는 제 3 유로 47과 함께 요동체 유로를 구성하고 있다. 제 2 유로 37는 요동 기체 31의 상면 31a의 중앙부에서 일방이 개구하고, 타방은 상기 凸 모양 구면부 33의 중앙부(정상 부분)에서 개구하는 것에 의하여 형성되어 있다. 그리고, 제 2 유로 37의 凸모양 구면부 33에서의 개구부 37a는 후술에 의한 요동 기체 31가 경사지고, 제 1 유로 24의 개구부 24a의 범위 내에서 존재하고, 좁게 형성되어 있다.

여기에서, 요동 기체 31는 상기 받침대 21로부터 이탈되지 않은 구성이 얻어진다. 그 구성에 대해서 설명한다. 상기 부통체 34의 하부에서는, 그 내면 34b가 받침대 21의 측면 21c과 대치하는 상태로 되나, 그 부통체 34의 하부에는 부통체 34의 내외를 관통하는 한 대의 관통공 38이 상호 반대 측에 위치하도록 형성되어 있다. 그리고, 이 관통공 38에는, 부통체 34의 외면 34c측으로부터 이탈 방지 핀39이 압입되고, 부통체 34의 외면 34c으로부터 돌출하지 않는 상태에서 부통체 34에 고정되어 있다. 한편, 상기 받침대 21의 측면 21c에는 한 대의 凹부 27가 상호 반대측에 위치하도록 형성되어 있다. 그리고, 이 凹부 27에는 상기 이탈 방지 핀 39의 선단부가 유삽되어 있다. 즉, 凹 부 27는 그 개구 면적이 이탈 방지 핀 39의 횡단면보다 약간 크게 형성되고, 이탈 방지 핀 39은 플레이를 사용하여 凹 부 27에 삽입되어 있다. 그러므로, 요동 기체 31 및 부통체 34는 그 플레이의 분에 역회전된 상태로 되고, 받침대 21로부터 이탈되지 않게 구성되어 있다. 또한, 이 역회전이 요동 기체 31의 경사를 허용한다. 그리고, 이 凹 부 27 및 이탈 방지 핀 39이 이탈 방지 수단 및 요동 규제 수단을 구성하고 있다.

요동 기체 31의 상면 31a에는 다공질 유닛 41이 설치되고, 볼트 42에 의한 요동 기체 31에 고정되어 있다. 다공질 유닛 41은 유닛 본체 43와 다공질체 44로 구성되어 있다. 유닛 본체 43에는 그 상면 43a에 수용구 45가 형성되고, 그 수용구 45에 다공질체 44가 상면 43a으로부터 돌출된 상태에서 수용되어 있다. 덧붙여, 다공질체 44의 상면 44a으로부터 凸 모양 구면부 33의 하단까지의 길이는 凸 모양 구면부 33의 곡률 반경보다 짧게 되어 있다. 수용구 45의 저면에는 유통구 46가 형성되어 있다. 또한, 유닛 본체 43에는 그 내부에 제 3 유로 47가 형성되어 있다. 제 3 유로 47는 유통구 46의 저면에서 일방이 열리고, 타방은 유닛 본체 43의 저면 43b의 중앙부에서 개구하는 것과 같이 형성되어 있다. 그리고, 유닛 본체 43의 저면 43b에서의 개구부 47a는 상기 제 2 유로 37의 개구부 37b보다 좁게 되어 있다. 또한, 그 개구부 47a의 주위에는 O링 49이 설치되어 있다.

상기 다공질체 44는 소결삼 불화 수지, 소결사 불화 수지와 같은 불소 수지에 의하여 형성되어 있다. 그리고, 상기 유통구 46에 공기가 공급될 때, 그 공기가 다공질체 44의 미세 구멍을 통과하고, 상면 44a으로부터 분출한다. 또한, 다공질체 44는 불소 수지 이외에도, 소결 나일론 수지, 소결 폴리아세탈 수지 등의 합성 수지 재료 및 소결 알루미늄, 소결동, 소결 스텐레스 등의 금속 재료, 소결 카르본, 소결 세라믹스 등으로 형성되는 것도 좋다.

상기 필수적으로 구성된 개량 부상 유닛 12에서는, 베이스 2의 공기 유로 3를 통하여 받침대 21의 제 1 유로 24에 공기가 공급될 때, 그 공기는 제 1 유로 24로부터 요동 기체 31의 제2 유로 37, 더욱 다공질 유닛 41의 제 3 유로 47 및 유통구 46를 통과하여 다공질체 44에 공급된다. 그렇게 하여, 다공질체 44의 상면 44a, 즉 개량 부상 유닛 12의 상면 12a으로부터 공기가 분출된다. 이 공기 분출에 의하여, 개량 부상 유닛 12의 상면 12a에 쌓아 올려진 유리 기판 G을 부상시키고, 그것을 비접촉 상태에서 지지하는 부상력이 발생한다. 또한, 본 실시의 형태에서는 개량 부상 유닛 12의 상면 12a(다공질체 44의 상면 44a)이 분출면으로 되어 있다.

또한, 제 1 유로 24에 공급된 공기는 받침대 21와 요동 기체 31와의 사이, 즉, 凹 모양 구면부 23와 凸 모양 구면부 33의 사이에서도 유통한다. 이 공기의 유통에 의하여 양자의 사이에는 공기 막이 생성하고, 이로 인하여 양자 사이에서의 마찰 저항이 없어지게 된다. 이와 같이, 받침대 21의 凹 모양 구면부 23와 요동 기체 31의 凸 모양 구면부 33에서 구면 축 받침이 구성되어 있다. 그리고, 이 구면 축 받침에 의하여, 요동 기체 31 및 다공질 유닛 41에 대하여 외부로부터 힘이 작용할 때, 요동 기체 31 및 다공질 유닛 41은 전술한 역회전 상태의 범위에서 그 힘에 따라, 凹 모양 구면부 23에 따라 회전 이동하고, 베이스 2의 상면 2a에 대하여 경사진 상태로 된다. 이를 따라 움직인다. 또한, 凹 모양 구면부 23와 凸 모양 구면부 33와의 사이를 유통하는 공기는, 凹 모양 구면부 23의 외주연 부분으로부터 유출하고, 받침대 21의 측면 21c과 부통체 34의 내면 34b과의 사이를 통과한 후, 부상 유닛 12의 하부에 있는 개구부 13로부터 배출된다. 그리고, 이 개구부 13는 하방향으로 향하여 개구하기 때문에, 공기도 하방향으로 향하여 배출된다.

다음으로, 상기와 같은 개량 부상 유닛 12과 일반적인 부상 유닛 11에서 구성된 복수의 부상 유닛 1을 사용한, 유리 기판 G의 위치 갭을 수정하는 장치의 동작을 설명한다. 이 동작 중에서, 유리 기판 G을 비접촉 지지하는 동작에 있어서는, 개량 부상 유닛 12의 동작을 도 3에 기초하여 특히 상세하게 설명한다. 또한, 도 3에서는, 동작을 알기 쉽게 하기 위하여, 부통체 34가 생략되어 있다.

전술한 것과 같이, 이 위치 갭 수정 장치에서는, 일반 부상 유닛 11 및 개량 부상 유닛 12이 베이스 2 위에 다수 설치되어 있다(도 4 참조). 그런데, 또한, 도시되지 않은 반송 수단에 의하여 유리 기판 G이 각 부상 유닛 1의 상면에 쌓여 있다.

여기에서, 유리 기판 G은 동일한 기판 G에 행하여진 각종 처리에 의하여, 쌓 이기 전 단계에서 그 자체로 하고 있는 정도의 기복이 발생하고 있다. 그러므로, 도 3(a)에 나타낸 것과 같이, 유리 기판 G이 쌓이기 전 상태에서, 기판 G와 개량 부상 유닛 12의 상면 12a이 비평행 상태로 되어 있다. 또한, 유리 기판 G이 쌓인 시점에서는, 凹 모양 구면부 23와 凸 모양 구면부 33와의 사이에 공기막을 생성하여 마찰 저항을 줄이기 위하여 공기가 제 1 유로 24에 공급되어 있다. 이에 의하여, 모방 동작이 가능한 상태로 되어 있다. 이 공기 공급에 의하여, 개량 부상 유닛 12의 상면 12a으로부터도 공기가 분출하는 것으로 되나, 유리 기판 G을 부상시키는 부상력이 발생하지 않는다.

그리고, 반송 수단에 의하여 유리 기판 G을 하강시키고, 각 부상 유닛 1 위에 쌓는다. 이때, 개량 부상 유닛 12에서는 도 3(b)에 나타낸 것과 같이, 요동 기체 31 및 다공질 유닛 41이 유리 기판 G의 경사에 따라 회전 이동하고, 기울어진 상태에 있어서 기판 G는 그 저면이 개량 부상 유닛 12의 상면 12a에 면접촉된 상태에서 접촉 지지된다.

다음으로, 각 부상 유닛 1에 베이스 2의 공기 유로 3를 통하여 공기를 공급하고, 각 부상 유닛 1의 상면으로부터 그 공기를 배출시킨다. 여기에서는 유리 기판G을 부상시키는 부상력의 발생에 충분한 공기가 공급된다. 이때, 부상력의 작용에 의하여 유리 기판 G은 각 부상 유닛 1의 상면으로부터 부상하고, 그 상면으로부터 미소한 간격을 이루어 비접촉 지지된다. 그리고, 개량 부상 유닛 12에서는 도 3(c)에 도시된 것과 같이, 그 상면 12a과 유리 기판 G의 저면(개량 부상 유닛 12측의 면)이 거의 평행하게 대면된 상태에서 부상하고, 그 상태에서 비접촉 지지된다. 그러므로, 개량 부상 유닛 12의 상면 12a으로부터 배출된 공기에 의하여 부상력이 유리 기판 G에 확실하게 작용하게 되고, 기판 G이 그 상면 12a에 접촉할 가능성은 거의 없게 된다. 이 개량 부상 유닛 12은 일반 부상 유닛 11을 사용하는 기판 G의 기복 때문에 접촉하게 되는 문제가 생기는 경우, 즉 도 4에 있는 전후 좌우의 양단부에 설치되어 있기 때문에, 그 접촉하는 문제를 해소할 수 있다.

그 후, 유리 기판 G의 주위에 설치된 복수의 수정 롤러 S에 의하여, 위치 갭이 수정된다. 이 실시 형태에서는 개량 부상 유닛 12의 사용에 의하여 유리 기판 G과 부상 유닛 1과의 접촉 문제가 해소되기 때문에, 이 위치 갭 수정시에 유리 기판 G에 손상이 없다.

이상 상술한 것과 같이, 본 실시의 형태에 있어서는, 이하의 우수한 효과를 가진다.

본 실시의 형태라면, 유리 기판 G 자체의 기복 때문에, 기판 G 및 개량 부상 유닛 12의 상면 12a이 비평행 상태로 되어 있고, 그 기판 G이 개량 부상 유닛 12의 상면 12a에 쌓일 때, 요동 기체 31 및 다공질 유닛 41이 유리 기판 G의 경사에 따라 회전 이동한다. 이 모방 동작에 의하여, 개량 부상 유닛 12의 상면 12a은 유리 기판 G의 경사에 따라 기울어지고, 그 상면 12a에 기판 G의 저면이 면접촉된 상태에서 기판 G은 개량 부상 유닛 12에 지지된다. 이 상태에서 공기를 그 상면 12a으로부터 배출시키면, 유리 기판 G은 그 저면이 상면 12a과 거의 평행하게 대면한 상태에서 부상하고, 공기 배출에 의하여 부상력을 기판 G에 대하여 확실하게 작용시키는 것이 가능하다. 그런데, 유리 기판 G의 기울어짐 때문에 공기가 밖으로 달아 나서 접촉하기 쉬운 기판 G의 단부에 그 개량 부상 유닛 12을 배치하면, 그 단부에 있어서도 확실하게 비접촉 상태에서 기판 G을 유지할 수 있다.

그리고, 이와 같은 개량 부상 유닛 12은, 유리 기판 G의 기복에 따라 부상력을 확실하게 작용시키는 것이 가능하기 때문에, 기판 G이 크게 되는 경우에도, 확실한 비접촉 유지가 가능하게 된다. 그러므로 부상 유닛 1의 설치 수를 적게 하여(부상력의 발생 장소를 적게 하여)보다 큰 기복이 유리 기판 G에 발생한 상태로 하는 것도 가능하게 된다. 그러므로, 부상 유닛 1의 설치 수를 적게 하여 비용도 줄일 수 있는 장점도 파생하여 생긴다.

본 실시의 형태에서는, 凹 모양 구면부 23와 凸 모양 구면부 33로 구성된 구면 축 받침에 의한 요동 기체 31 및 다공질 유닛 41을 지지하는 것으로, 개량 부상 유닛 12의 상면 12a의 자유로운 기울어짐을 가능하게 한다. 그러므로, 구성을 복잡하게 하지 않고, 그 상면 12a의 모든 방향으로의 자유로운 기울어짐을 실현하는 것이 가능하다.

본 실시의 형태에서는 받침대 21와 요동 기체 31와의 사이에 존재하는 공기에 의하여, 구면 축 받침에 있어서의 마찰 저항이 없어지게 되고, 작은 외력이 작용한 오직 개량 부상 유닛 12의 상면 12a을 미끄러지는 동작으로 기울어지는 것이 가능하다. 또한, 받침대 21와 요동 기체 31가 비접촉하게 되는 것으로부터, 상면 12a이 기울어지는 때에 먼지를 발생시키게 되고, 크린 룸 내에서의 설치에 적당하게 된다.

본 실시의 형태에서는 제 1 유로 24에 공기를 공급하면, 凹 모양 구면부 23 와 凸 모양 구면부 33의 사이에 공기 공급과 개량 부상 유닛 12의 상면 12a에의 공기 공급을 동시에 행하는 것이 가능하다. 이때, 개량 부상 유닛 12에의 공기 공급 경로를 일체화할 수 있고, 배관 구성을 간소화할 수 있다.

본 실시의 형태에서는 제 1 유로 24 및 제 2 유로 37를 묶어두는 부분에서는, 제 1 유로 24의 개구부 24a가 테이퍼 모양으로 형성되어 넓어지고, 제 2 유로의 개구부 37a는 좁아지게 된다. 그러므로, 요동 기체 31 및 다공질 유닛 41이 유리 기판 G의 경사에 따라 기울어진 모양이고, 그 개구부 24a의 범위 내에 제 2 유로 37의 개구부 37a가 배치되어 있다. 이에 의하여, 요동 기체 31 및 다공질 유닛 41이 기울어지고, 제 2 유로 37의 개구부 37a는 그 일부 또는 전부가 채워진 공기의 유통이 꼬이게 되고, 부상 유닛 12의 상면 12a에 충분한 공기를 공급할 수 있다.

본 실시의 형태에서는, 이탈 방지 핀 39이 받침대 21의 凹 부 27에 유삽되어 있기 때문에, 요동 기체 31 및 다공질 유닛 41의 기울어짐 동작이 규제됨과 동시에, 그것이 받침대 21로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 이때, 개량 부상 유닛 12의 상면 12a의 경사 동작이 안정되고, 또한, 그 경사 상태를 안정하게 유지하는 것이 가능하다. 게다가, 이탈 방지 및 요동 규제의 양 기능을 얻기 때문에, 부품점 수를 적게 할 수 있고, 구성도 간소화된다.

본 실시의 형태에서는, 부통체 34에 의하여 받침대 21의 측면 21c 상부가 숨겨지기 때문에, 구면 축 받침 부분, 즉, 凹 모양 구면부 23 및 凸 모양 구면부 33의 사이를 통과한 공기는, 받침대 21의 측면 21c과 부통체 34의 내면 34b의 사이를 통과하고, 개구부 13로부터 배출된다. 그리고, 이 개구부 13는 하향으로 열리는 것으로부터, 공기도 하방향에 향하여 배출된다. 그러므로, 그 배출된 공기가 유리 기판 G에 흡입되는 문제를 절감할 수 있다.

[제 2의 실시의 형태]

이하의 설명에서는, 상기 제 1의 실시의 형태와 다른 점에 있어서 도 5를 사용하여 설명하고, 동일 부분에 있어서는 설명을 생략한다. 또한, 개량 부상 유닛 50을 구성하는 후술의 각 부 및 각 부재는 개량 부상 유닛 50의 중심선을 기준으로 하여 설치되어 있다.

도 5에 도시한 것과 같이, 받침대 21의 내부에는 상하로 관통하는 공기 유로 3의 유로 지름보다 큰 지름 구멍의 취부공 51이 형성되어 있고, 유닛 본체 43의 저면 43b에는 취부공 51의 구멍 지름과 동일한 구경의 취부구 52가 형성되어 있다. 또한, 유닛 본체 43의 내부에는 일방이 취부구 52의 저면에서 열리고, 타방이 유통구 46의 저면에서 열리는 경우, 공기 유로 53가 형성되어 있다. 또한, 요동 기체 31의 내면에는 상하로 관통한 취부공 51보다 큰 구멍 지름의 수용 구멍 54이 형성되어 있다. 그리고, 취부공 51으로부터 취부구 52에 통하여 탄성 튜브 55가 삽입되어 있다.

탄성 튜브 55의 양단은, 취부공 51 및 취부구 52의 벽면에 접착되어 있다. 이 접착에 의하여, 탄성 튜브 55와 취부공 51 및 취부구 52의 벽면과의 사이가 기밀 상태로 되어 있다. 또한, 탄성 튜브 55에 의하여, 부상 유닛 50의 상면 50a이 수평으로 되는 위치에서 요동 기체 31 및 다공질 유닛 41이 위치되어 있다. 탄성 튜브 55의 내경은 공기 유로의 유로 지름과 동일하게 되고, 공기 유로 3로부터 공급된 공기는 탄성 튜브 55 내를 통과하여 다공질체 44에 공급된다. 여기에서, 본 실시의 형태에서는, 凹 모양 구면부 23와 凸 모양 구면부 33와의 구면 축 받침이 미끄러져 축 받침되도록 구성되어 있으나, 상기와 같은 기밀 상태로 되기 때문에, 양 구면부 23, 33 사이에 공기가 누출되는 것은 아니다.

탄성 튜브 55의 외주면과 수용공 54의 벽면과의 사이에는 변형 허용 공간으로서의 공극이 형성되어 있다. 이에 의하여, 유리 기판 G의 지지 작업시에 있어서 모방 동작에 수반한 탄성 튜브 55의 변형이 허용되고, 또한 모방 동작 시에 수용공 54의 하측 단부가 탄성 튜브 55에 충돌하는 것이 방지된다. 그러므로, 탄성 튜브 55를 설치한 구성에 있어서, 모방 동작을 저해하지는 않는다. 한편, 유리 기판 G의 지지 작업 후에는, 탄성 튜브 55의 부세력에 의하여 요동 기체 31 및 다공질 유닛 41이 초기 위치(상면 50a이 수평이 되는 위치)에 복귀한다.

이상 상술한 것에 의하여, 본 실시의 형태에서는 이하의 우수한 효과를 가진다.

본 실시의 형태에 있어서는, 탄성 튜브 55의 부세력에 의하여, 유리 기판 G의 지지 작업 후에는 요동 기체 31 및 다공질 유닛 41은 자연스럽게 초기 위치에 복귀한다. 이에 의하여, 다음 회의 작업시에 있어서 상면 50a 위에 유리 기판 G를 쌓을 때, 다공질체 44의 모퉁이 부분 등에 유리 기판 G을 접촉시키는 것으로 하여 적당하게 쌓기 작업을 행하는 것이 가능하다. 이 경우에, 탄성 튜브 55의 외주면과 수용공 54의 벽면과의 사이에 공극이 형성되어 있는 것으로 인하여, 모방 동작을 저해하지는 않는다.

또한, 다공질체 44로의 공기의 공급이 탄성 튜브 55 내를 통과하여 행하여지고, 당해 공기는 도중에서 누출되지 않고 전부 다공질체 44로 공급된다. 이로 인하여, 다공질체 44로 충분한 공기를 공급할 수 있고, 또한 부상 유닛 50에의 공기의 공급량을 누르는 것이 가능하게 되어 유지 비용의 절감이 가능하다.

또한, 탄성 튜브 55를 설치하는 것에 의하여, 요동 기체 31 및 다공질 유닛 41를 초기 위치에 복귀시키는 것이 기능과, 공기 누출을 방지하는 기능이 부가되어 있다. 이에 의하여, 구성을 복잡하기 않게 하고도, 양 기능을 부가하는 것이 가능하다.

[제 3의 실시 형태]

이어서, 제 3의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다. 도 6은 부상 유닛의 단면도(도 7의 B-B선 단면도), 도 7은 부상 유닛의 사시도, 도 8은 도 6을 분해한 단면도, 도 9는 O링의 작용을 도시한 설명도, 도 10은 유리 기판의 쌓음으로부터 부상까지의 모양을 도시한 모식도이다.

도 6에 도시한 것과 같이, 개량 부상 유닛 112은 지지체 121 및 그 지지체 121에 의하여 요동하여 지지되는 요동 본체 131을 구비하고 있다.

도 6 및 도 8에 도시한 것과 같이, 지지체 121는 상하 방향으로 이어지는 축부 122를 가지고, 그 기단부에는 피고정부 123가 설치되어 있다. 또한, 축부 122의 선단측에는 구면 형상을 이루는 지지부로서의 구체부 124가 설치되어 있다. 지지체 121에는 구체부 124의 상단 및 피고정부 123의 저면에 개구(이하, 각각 상측 개구, 하측 개구라 한다.)를 가지는 지지체 유로로서의 공기 통로 125가 설치되어 있다. 축부 122의 중심 축 선은 피고정부 123, 구체부 124 및 공기 통로 125의 중심을 통하는 상하 방향의 중심선과 일치하고, 그것은 개량 부상 유닛 112 전체의 중심선으로 되어 있다. 그리고, 개량 부상 유닛 112을 구성하는 후술의 각 부 및 각 부재는 이 중심선을 기준으로 하여 설치되어 있다.

도 6 내지 도 8에 도시된 것과 같이, 상기 요동 본체 131는 원주 형상의 외형을 이루고, 그 하면의 중앙부에 구체부 124를 수용 가능한 수용 凹부 132가 설치되어 있다. 수용 凹부 132의 개구 주연에는 단부 132b가 형성되어 있다. 이 단부 132b에는 실 수단으로서의 O링 133이 수용되어 있다.

요동 본체 131의 내부에는, 이 수용 凹부 132 내의 상면 132a에 개구(하측 개구)를 가지는 요동체 유로로서의 공기 통로 134가 형성되어 있다. 또한, 공기 통로 134의 타방 개구 (상측 개구)에 있어서는 후술한다. 공기 통로 134의 하측 개구는, 지지체 121에 형성된 상기 공기 통로 125의 상측 개구보다 넓게 형성되어 있다. 또한, 하측 개구의 주위 전체에 있어서 피지지부로서의 테이퍼면 135이 형성되어 있다. 그리고, 이 테이퍼면 135에 걸쳐진 공간과 수용 凹부 132 내의 공간이 연결되어 있어. 이러한 공간에 의하여 지지 공간이 형성되어 있다.

수용 凹부 132에는 지지체 121의 구체부 124가 수용되어 있다. 그 수용 상태에서는 구체부 124의 하부가 요동 본체 131의 하면으로부터 돌출된 상태로 있다. 또한, 상기 테이퍼면 135에 구체부 124의 구면 124a 상부가 맞붙고, 이 맞붙음에 의하여, 요동 본체 131가 지지체 121에 대하여 요동하여 지지되어 있다.

또한, 요동 본체 131는 그 상면 131a이 평탄하게 형성되고, 그 상면 131a에는 수용구 136가 형성되어 있다. 수용구 136에는 다공질체 137가 상면 131a로부터 돌출된 상태에서 수용되어 있다. 다공질체 137는 소결삼 불화 수지, 소결사 불화 수지로된 불소 수지에 의하여 형성되어 있다. 수용구 136의 저면에는 유통구 138가 형성되어 있다. 요동 본체 131에 형성된 상기 공기 통로 134는 그 유통구 138의 저면에서 개구하고, 그 개구가 상측 개구로 되어 있다. 그러므로, 유통구 138는 공기 통로 134 및 지지체 121의 공기 통로 125와 연통된 상태에 있다. 그리고, 이러한 공기 통로125, 134를 통하여 상기 유통구 138에 공기가 공급될 때, 그 공기가 다공질체 137의 미세공을 통과하고, 상면 137a으로부터 분출한다. 또한, 다공질체 137는 불소 수지 이외에도, 소결 나일론 수지, 소결 폴리아세탈 수지 등의 합성 수지 재료, 소결 알루미늄, 소결동, 소결 스텐레스 등의 금속 재료, 소결 카본, 소결 세라믹스 등으로 형성되어 있는 것도 좋다.

요동 본체 131의 하면에는 그 개구를 채우는 평판 모양의 폐색 부재 141가 설치되어 있다. 본 실시의 형태에서는 요동 본체 131와 폐색 부재 141에서 요동체가 구성되어 있다. 폐색 부재 141는 판상을 이루고, 평판 형상은 요동 본체 131과 동일하게 형성되어 있다. 폐색 부재 141는 그 상면 141a을 요동 본체 131의 하면과 합하는 것으로 설치되고, 그 상태에서 도시되지 않은 볼트 등의 고정 수단에 의하여 요동 본체 131에 고정된다. 그리고 요동 본체 131 측에 설치된 상기 O링 133에 의하여 요동 본체 131와 폐색 부재 141와의 사이가 실되어 있다.

폐색 부재 141의 중앙부에는 상기 지지체 121의 축부 122 및 피고정부 123를 삽통 가능한 삽통 구멍 143이 형성되어 있다. 그리고, 폐색 부재 141가 요동 본체 131에 달라붙을 때, 이 삽통 구멍 142에 지지체 121의 축부 122가 삽통된 상태로 된다.

또한, 폐색 부재 141에는 그 상면 141a의 삽통 구멍 143 주변부에는 환상구 145가 형성되어 있다. 환상구 145의 내측 주연 및 삽통 구멍 143의 주연은 동일한 평면을 구성하고, 그 평면 146은 폐색 부재 141의 상면 141a보다 밑에 위치되어 있다. 환상구 145에는 실 수단인 O링 147이 수용되어 있다. O링 147은 상기 지지체 121의 구체부 124의 구면 124a과 맞붙은 상태로 되어 있다. 그러므로, O링 147에 의하여 그 구면 124a과 폐색 부재 141의 삽통 구멍 143 주변부의 사이가 실되어 있다.

그러므로, O링 133, 147에 의하여 요동 본체 131 내의 공기가 외부에 누출되는 것을 방지하게 된다. 또한, O링 133, 147은 지지체 121, 요동 본체 131 및 폐색 부재 141의 각 부재를 제조하는 때에 발생된 오차를 그 체결에 의하여 흡수하는 기능도 나타낸다. 이에 의하여, 그러한 각 부재는 각각 높은 정확도의 가공이 불필요하게 되어 있다.

다음으로, 상기와 같은 구성을 가지는 개량 부상 유닛 112의 작용에 대하여 설명한다.

지지체 121는 베이스 2에 직접 쌓이고, 피고정부 123에서 도시하지 않은 볼트 등의 고정 수단에 의하여 베이스 2에 고정된다. 도 6에 도시한 것과 같이, 베이스 2에는 그 상면 2a에서 개수하는 공기 유로 103가 형성되어 있고, 그 공기 유로 103의 개구에 지지체 121의 공기 통로 125의 하측 개구를 합쳐 지지체 121가 쌓인다. 그러므로, 공기 유로 103를 유통하는 공기가 공기 통로 125에 공급된다. 또한, 베이스 2의 상면 2a과 피고정부 123의 저면과의 사이는 도시되지 않은 O링 등에 의하여 실된다.

공기 통로 125에 공급된 공기는, 요동 본체 131의 공기 통로 134 및 유통구 138를 통과하여 다공질체 137에 공급된다. 그리고, 다공질체 137의 상면 137a, 즉 개량 부상 유닛 112의 상면 112a로부터 공기가 분출된다. 이 공기 분출에 의하여, 개량 부상 유닛 112의 상면 112a에 쌓인 유리 기판 G을 부상시키고, 그를 비접촉 상태로 지지하는 부상력이 발생한다. 본 실시의 형태에서는 개량 부상 유닛 112의 상면 112a(다공질체 137의 상면 137a)이 분출면으로 되어 있다.

또한, 공기 통로 125의 상측 개구로부터 유출하는 공기의 일부는 구체부 124의 구면 124a과 테이퍼 면 135의 사이를 유통하여 수용 凹 부 132 내에도 도입되나, O링 133, 147의 실 기능에 의하여, 그 공기가 외부에 누출되는 것은 아니다.

그리고, 요동 본체 131에 대하여 외부로부터 힘이 작용할 때, 요동 본체 131 및 폐색 부재 141는 그 힘에 따라, 구체부 124의 구면 124a과 테이퍼 면 135과의 맞붙음 부분에서 접동하는 것으로부터, 지지체 121에 대하여 기울어진다. 그 기울어짐은 개량 부상 유닛 112의 상면 112a이 지지체 121의 설치면에 있는 베이스 2의 상면 2a에 대하여 수평으로 된 상태가 기준으로 되어 있다. 이때, 구체부 124와 테이퍼면 135의 접촉은 테이퍼면 135이 형성된 둘레 방향의 선 접촉이고, 양자의 사이에 생긴 접동 저항은 저감되게 된다. 또한, 요동 본체 131는 O링 147과 구체부 124의 구면 124a의 맞붙음 부분에서도 접동하여 기울어지고, 그 기울어짐 중 및 기울어짐 후의 상태에서도 O링 147과 구체부 124의 구면 124a의 사이의 실 기능은 유지되게 된다.

그런데, 개량 부상 유닛 112에서는 상술한 것과 같은 O링 147을 환상구 145에 수용된 구성을 채용한다. 여기에서, 그 의미에 관하여 설명한다.

도 9(a) 및 (b)에 도시한 것과 같이, O링 147에는 그 링의 외측에서 수용 凹 부 132 내에 도입된 공기의 압력을 받는다. 이에 의하여, O링 147은 그 내측에 축소되어 있다. 도 9(a)와 같이, O링 147의 수용 장소를 단차부 149에 설치한 구성으로 한 경우, O링 147의 내측에서는 구체부 124의 구면 124a과 맞붙는 것으로 된다. 그러므로, O링 147이 그 내측에 축소되어 있으면, 그 축소력의 대부분은 구면 124a에 대한 압압력으로 변화된다. 그러므로, 그 구성에서는 O링 147이 구면 124a을 압압하는 힘(실력)이 큰 폭으로 증대하고, O링 147과 구면 124a과의 접동 저항이 높아진다. 이때, 요동 본체 131가 외부로부터 힘을 받아 기울어지는 경우에, 그 경사 연동이 행하여지지 않는 문제가 있다.

이점, 개량 부상 유닛 112에서는, 도 9(b)에 도시한 것과 같이, O링 147을 환상구 145에 수용하고, O링 147의 내측과 맞붙는 측벽면 145a을 설치한 구성으로 되어 있다. 이 구성에서는 O링 147이 그 내측에 축소되어 있는 경우, 이러한 축소력은 구체부 124의 구면 124a에 대한 압압력으로 되고, 측벽면 145a에 대한 압압력으로도 된다. 보다 상세하게는, O링 147은 측벽면 145a의 상단부 부근에서 측벽면 145a에 압접되고, 그 압접 부분보다 하방 영역은 환상구 145 내에서의 변형력으로 쓰이고, 압접 부분보다 상방 영역이 구면 124a에 대한 압압력으로 변환된다. 이 힘의 분산에 의하여, 구면 124a에 대한 압압력은 측벽면 145a을 설치하지 않는 구성(도 9(a) 참조)에 비하여 상대적으로 작게 된다. 이에 의하여, O링 147이 수용 凹 부 132 내의 공기의 압력을 수용하여 접동 저항이 높아져도 그 높이가 억제되고, 요동 본체 131의 경사 연동이 행하여지기 쉬워진다.

다음으로, 상기와 같은 개량 부상 유닛 112와 일반 부상 유닛 11으로 구성된 복수의 부상 유닛 112을 사용한, 유리 기판 G의 위치 갭을 수정하는 장치의 동작을 설명한다. 그 동작 중에서, 유리 기판 G을 비접촉 지지하는 동작에 관해서는, 도 10에 기초하여 개량 부상 유닛 112의 동작을 특히 상세하게 설명한다.

이 위치 갭 수정 장치는 도 4에 도시한 수정 갭 장치와 동일한 구성으로 하고, 일반 부상 유닛 11 및 개량 부상 유닛 112이 베이스 2 위에 다수 설치되어 있다(도 4 참조). 그리고, 우선, 도시하지 않은 반송 수단에 의하여 유리 기판 G가 각 부상 유닛 1의 상면에 쌓인다.

여기에서, 유리 기판 G은, 동 기판 G에 행하여진 각종 처리에 의하여, 쌓이기 전 단계에서 그 자체의 기복이 발생하게 된다. 그러므로, 도 10(a)에 도시한 것과 같이, 유리 기판 G이 쌓이기 전 상태에서, 기판 G와 개량 부상 유닛 112의 상면 112a이 비평행 상태로 되어 있다. 그리고, 반송 수단에 의한 유리 기판 G을 하강시키고, 각 부상 유닛 1 위에 쌓는다. 이때, 개량 부상 유닛 112에서는 도 10(b)에 도시한 것과 같이, 요동 본체 131 및 폐색 부재 141가 유리 기판 G의 기울어짐에 따라 기울어진다. 유리 기판 G의 저면이 개량 부상 유닛 112의 상면 112a에 면접촉 된 상태에서 접촉 지지된다.

다음으로, 각 부상 유닛 1에 베이스 2의 공기 유로 103를 통하여 공기를 공급하고, 각 부상 유닛 1의 상면으로부터 공기를 분출시킨다. 이때, 그 공기의 분출에 의하여 부상력이 발생하고, 그 부상력에 의하여 유리 기판 G은 각 부상 유닛 1의 상면으로부터 부상함과 동시에, 그 상면으로부터 미소한 간격을 이루어 비접촉 지지된다. 그리고, 개량 부상 유닛 112에서는, 도 10(c)에 도시한 것과 같이, 그 상면 112a 및 유리 기판 G의 저면 (개량 부상 유닛 112 측의 면)이 거의 평행하게 대면된 상태에서 부상하고, 그 상태에서 비접촉 지지된다. 또한, 상면 112a으로부터의 유리 기판 G의 부상량은 실제로는 수 μm ~ 수십 μm정도이나, 설명의 편의상, 도 10(c)에서는 그 부상량을 크게하여 도시하였다. 그러므로, 개량 부상 유닛 112의 상면 112a으로부터 분출된 공기에 의한 부상력이 유리 기판 G에 확실하게 작용하게 되고, 기판 G이 그 상면 112a에 접촉할 가능성은 거의 없게 된다. 이 개량 부상 유닛 112는, 일반 부상 유닛 11을 사용하면 기판 G의 기복 때문에 접촉하는 문제가 발생하는 경우, 즉 도 9에 있는 전후좌우의 양 단부에 설치되어 있기 때문에, 그 접촉하는 문제를 해소할 수 있다.

그 후, 유리 기판 G의 주변에 설치된 복수의 수정 롤러 S에 의하여, 위치 갭이 수정된다. 그 실시 형태에서는 개량 부상 유닛 112의 사용에 의하여 유리 기판 G과 부상 유닛 1과의 접촉하는 문제가 해소되기 때문에, 그 위치 갭 수정시에 유리 기판 G에 해가 가하여지지는 않는다.

이상 상술한 것과 같이, 제 3의 실시 형태에 의하여 이하의 우수한 효과를 가진다.

본 실시의 형태에서는, 유리 기판 G 자체에 기복이 있고, 요동 본체 131 및 폐색 부재 141는 그 기복의 경사에 따라 기울어진다. 이 모방 동작에 의하여, 공기 분출에 의한 부상력을 유리 기판 G에 대하여 확실하게 작용시키는 것이 가능하다. 그래서 유리 기판 G의 경사 때문에 공기가 밖으로 달아나서 접촉하기 쉬워지는 기판 G의 단부에 이 개량 부상 유닛 112을 배치하면, 그 단부에 있어서도 확실하게 비접촉의 상태에서 기판 G을 유지할 수 있다.

그리고, 이러한 개량 부상 유닛 112은, 유리 기판 G이 기복이 있는 경우에도 여기에 따르는 부상력을 확실하게 작용시키는 것이 가능하기 때문에, 확실한 비접촉 유지가 가능하게 된다. 이때, 부상 유닛 1의 설치 수를 적게 하여(부상력의 발생 장소를 적게 하여) 보다 큰 기복이 유리 기판 G에 발생한 상태로 하는 것도 가능하게 된다. 그러므로, 부상 유닛 1의 설치수를 적게하여 비용을 절감할 수 있는 장점도 발생하게 된다.

또한, 본 실시의 형태에서는, 개량 부상 유닛 112은 그 외부에 공기가 누출되지 않는 것으로 구성되어 있다. 그러므로, 개량 부상 유닛 112의 상면 112a으로부터 분출시키기 위하여 공급된 공기를 그 상면 112a으로부터 분출하는 것이 되게 외부에 유출시키고, 무모하게 소비하여 끝나는 것을 억제할 수 있다. 공기의 무모한 소비는, 압축 공기 생성 때문에 압축 구동량의 증대를 초래하고, 더 나아가서는 유지 비용의 증대를 초래하는 결과가 생기나, 본 실시의 형태에 의하여 무모한 공기의 소비를 억제하는 것에 의하여 유지 비용을 내리는 것이 가능하다.

또한, 본 실시의 형태에서는 O링 147을 단순한 단차에서는 없는 환상구 145에 수용하고, O링 147의 내측과 맞붙는 측벽면 145a을 설치한 구성으로 된다. 그러므로, O링 147에 그 외측으로부터 수용 凹부 132 내의 공기의 압력이 작용하고, 구체부 124의 구면 124a을 압압하는 힘(실력)을 증가하는 것을 억제하며, 접동 저항의 높이를 억제할 수 있다. 이에 의하여, 요동 본체 131가 경사 연동하지 않게 되는 것을 억제할 수 있다.

[제 4의 실시 형태]

이하, 제 4의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다. 이 제 4의 실시 형태는, 상기 제 3의 실시 형태의 개량 부상 유닛 112에 관하여 이와는 다른 구성으로 한다. 명칭은 동일하게 개량 부상 유닛으로 설명한다. 또한, 도 11은 부상 유닛의 단면도, 도 12는 O링 부분을 확대한 일부 단면도, 도 13은 도 11을 분해한 단면도이다.

도 11 및 도 13에 도시한 것과 같이, 이 제 4 실시의 형태의 개량 부상 유닛 160은, 지지체 161 및 그 지지체에 의하여 요동으로 지지되는 요동체로서의 요동 본체 171를 구비하고 있다.

지지체 161는 제 3의 실시 형태의 지지체 121과 동일한 구성을 가진다. 즉, 축부 162, 피고정부 163 및 구체부 164를 구비함과 동시에, 지지체 유로로서의 공기 통로 165가 설치되어 있다. 공기 통로 165는 상측 개구와 하측 개구를 가진다. 그리고, 축부 162의 중심선은 피고정부 163, 지지부로서의 구체부 164 및 공기 통로 165의 중심을 통하는 상하 방향의 중심선과 일치하고, 이는 개량 부상 유닛 160 전체의 중심선으로 되어 있다. 그리고, 개량 부상 유닛 160을 구성하는 후술의 각 부 및 각 부재는 그 중심선을 기준으로 설치되어 있다.

상기 요동 본체 171는 원주 형상의 외형을 이루고, 상부 구성체 172와 하부 구성체 173로 구성되어 있다. 양 구성체 172, 173는 동일한 횡단면적을 가진다. 상부 구성체 172에는 그 하면의 중앙부에 구체부 164의 상부를 수용 가능한 상측 凹부 174가 형성되어 있다. 상측 凹부 174를 형성하는 측벽은 둘레 전체에 있는 피지지부로서의 상측 테이퍼면 175으로 되고, 상측 凹부 174는 하향의 절구 모양으로 형성되어 있다.

하부 구성체 173에는 그 상면의 중앙부에 구체부 124의 하부를 수용 가능한 하측 凹부 176가 형성되어 있다. 하측 凹부 176의 상측 개구 가장자리 부에는 단차부 177가 설치되어 있다. 단차부 177보다 아래에 위치하여 하측 凹부 176를 형성하는 측벽은 둘레 전체에 있는 맞붙음 면 또는 맞붙음 부로서의 하측 테이퍼면 178으로 되고, 하측 凹부 176는 상향의 절구 모양으로 형성되어 있다. 그리고, 하측 테이퍼면 178은 상기 상측 테이퍼면 175과 대칭으로 형성되어 있고, 상호 단차부 177를 돌아 상하를 바뀌게 한 형상을 이루고 있다. 또한, 하측 凹부 176의 아래는 하부 구성체 173의 하면에 관통하고, 하부 구성체 173의 하면 중앙부에는 관통공 179의 개구가 형성되어 있다. 관통공 179은 지지체 161의 축부 162 및 피고정부 163를 삽통 가능하게 형성되어 있다.

상부 구성체 172의 하면과 하부 구성체 173의 상면을 합쳐 양자를 도시하지 않은 볼트 등의 고정 수단에서 고정할 때, 상측 凹부 174와 하측 凹부 176에서 지 지 공간으로서의 수용 공간 180이 형성된다. 이 수용 공간 180에는 지지체 161의 구체부 164가 수용되고, 그 수용 상태에서는 관통공 179을 통하여 축부 162와 피고정부 163가 하부 구성체 173의 하면으로부터 돌출된 상태로 되어 있다. 또한, 구체부 164의 상부에서 구면 164a과 상측 테이퍼면 175이 맞붙고, 구체부 164의 하부에서 구면 164a과 하측 테이퍼면 178이 맞붙은 상태로 되어 있다. 상술한 것과 같이, 상측 테이퍼면 175과 하측 테이퍼면 178은 상하 대칭의 형상이기 때문에, 구면 164a과 맞붙는 위치와 상하 대칭으로 되어 있다. 그리고, 상부 구성체 172와 하부 구성체 173가 일체로 된 요동 본체 171는 상측 테이퍼면 175이 구체부 164의 구면 164a에 맞붙는 경우에, 지지체 161에 요동하여 지지된다. 그리고, 하측 테이퍼면 178과 구면 164a과 맞붙음에 의하여 그 지지 상태가 안정하게 유지된다.

또한, 요동 본체 171는 다공질체 181를 구비하고, 그 다공질체 181의 상면 181a로부터 공기를 분출시키는 것으로 구성되어 있다. 그 상세한 구성은 이하에서 설명된다. 또한, 다공질체 181 그 자체의 구성은 제 1 실시 형태에 관한 다공질체 137와 같다.

요동 본체 171를 구성하는 상부 구성체 172에는, 그 평탄한 상면 172a의 중앙부에는 수용구 182가 형성되어 있다. 수용구 182에는 다공질체 181가 상면 172a으로부터 돌출된 상태에서 수용되어 있다. 수용구 182의 저면에는 유통구 183가 형성되어 있다. 상부 구성체 172에는 그 내부에 요동체 유로로서의 공기 통로 184가 형성되어 있다. 그 공기 통로 184는 유통구 183의 저면에서 일방이 개구하고, 상기 상측 凹부 174의 아래에 있는 장소가 그 때때로 타방의 개구로 되어 있다. 그러므 로, 유통구 183는 요동 본체 171의 공기 통로 184(보다 상세하게는, 상부 구성체 172의 공기 통로 184) 및 지지체 161의 공기 통로 165와 연통된 상태로 되어 있다. 이러한 공기 통로 165, 184를 통하여 유통구 183에 공기가 공급될 때, 그 공기가 다공질체 181의 미세공을 통과하고, 상면 181a으로부터 분출한다.

그리고, 도 12에도 도시한 것과 같이, 상부 구성체 172와 하부 구성체 173를 일체화시킨 경우에, 상측 凹부 174의 개구 주변 부분의 하면과, 상기 하측 凹 부 176의 단차부 177에서 형성된 환상구 185에는, 실 수단으로서의 O링 186이 설치되어 있다. O링 186은 구체부 164의 구면 164a, 상측 凹부 174의 개구 부분의 하면, 및 단차부 177의 벽면과 맞붙은 상태에서 설치되어 있다. 단차부 177의 상하에는 대칭적인 테이퍼면 175, 178이 설치되어 있는 것으로부터, 상기 환상구 185는 수용 공간 180을 형성하는 벽면의 상하 방향의 중앙부에 배치되어 있다. 그러므로, O링 186은 구체부 164의 중심선을 기준으로 한 적도 부분에서, 둘레 방향 전체에 있는 구체부 164의 구면 164a과 맞붙은 상태로 되어 있다. 이 한 개의 O링 186에 의하여, 구체부 164, 상부 구성체 172 및 하부 구성체 173의 삼자 사이가 실되고, 요동 본체 171의 내부를 유통하는 공기가 외부에 누출되는 것을 방지하게 된다.

다음으로, 상기 구성을 가지는 개량 부상 유닛 160의 작용에 관하여 설명한다.

지지체 161는, 제 3의 실시 형태와 동일하게 베이스 2에 고정되고, 공기 통로 165에 공기가 공급된다. 이 공급 공기는 다공질체 181의 상면 181a, 즉 개량 부상 유닛 160의 상면 160a으로부터 공기가 분출된다. 이 공기 분출에 의하여 부상력 이 발생하고, 개량 부상 유닛 160의 상면 160a에 쌓인 유리 기판 G을 부상시킨다. 본 실시의 형태에서는 개량 부상 유닛 160의 상면 160a(다공질체 181의 상면 181a)이 분출면으로 되어 있다.

그리고, 공기 통로 165의 상측 개구로부터 유출하는 공기의 일부는, 구체부 164의 구면 164a와 상측 테이퍼면 175과의 맞붙음 부분을 통과하여 그 아래의 공간에 이르나, O링 186에 의하여, 그 공기가 외부에 누출되는 것은 아니다.

그리고, 요동 본체 171에 대하여 외부로부터 힘이 작용할 때, 요동 본체 171는 그 힘에 따라, 구체부 164 및 상하의 테이퍼면 175, 178과의 맞붙음 부분에서 접동되며, 지지체 161에 대하여 기울어진다. 이때, 구체부 164와 테이퍼면 175, 178과의 접촉은 테이퍼면 175, 178이 형성된 둘레 방향의 선 접촉이고, 양자의 사이에 생긴 접동 저항은 줄어들게 된다. 요동 본체 171는, O링 186과 구체부 164의 구면 164a과의 맞붙음 부분에서도 접동하여 기울어지고, 그 경사 중 및 경사 후의 상태에서도 O링 186과 구체부 164의 구면과의 사이의 실 기능은 유지되게 된다.

또한, O링 186은 구체부 164와 그 적도 부분에서 맞붙는 구성으로 되어 있기 때문에, 도 12에 도시한 것과 같이, 구체부 164의 구면 164a과 상측 테이퍼면 175과의 맞붙음 부분을 통과한 공기의 압력은, O링 186의 링 내측에 작용한다. 이를 수용하여, O링 186은 그 외측에 확장하게 한다. 그리고, 이 O링 186의 배치 구성에서는 O링 186이 그 내측에서 축소할 힘, 즉 압압력이 증가하기 어려워진다. 이에 의하여, O링 186이 공기의 압력을 받고, 구체부 164와의 사이에서 생기는 접동 저항의 높이가 억제되며, 요동 본체 171의 경사 연동이 행하여지기 쉬워진다.

상기 제 4의 실시 형태의 개량 부상 유닛 160을, 유리 기판 G의 위치를 수정하는 장치에 사용하면, 유리 기판 G를 부상시키는 때의 접촉 문제가 해소된다.

그러므로, 제 4의 실시 형태에서는, 이하의 우수한 효과를 가진다.

본 실시의 형태에서는, 유리 기판 G 자체에 기복이 있고, 요동 본체 171는 그 기복의 기울어짐에 따라 기울어진다. 이 모방 동작에 의하여, 공기 분출에 의한 부상력을 유리 기판 G에 대하여 확실하게 작용시키는 것이 가능하다. 그러므로, 제 3의 실시 형태와 동일한 효과를 얻는 것이 가능하다.

또한, 본 실시의 형태에서는, 개량 부상 유닛 160은 그 외부에 공기가 누출되지 않는 것으로 구성되게 된다. 이때, 개량 부상 유닛 160의 상면 160a으로부터 분출시킬 때 공급된 공기를 그 상면 160a으로부터 분출하는 것으로 외부에 유출시키고, 무모하게 소비하는 것을 억제할 수 있다.

본 실시의 형태에서는 요동 본체 171의 외부에 공기가 누출되는 것을 방지하는 O링 186은, 구체부 164의 적도 부분에서 구면 164a과 맞붙는 위치에서 배치되어 있다. 그러므로, O링 186에는 그 링 내측으로부터 공기의 압력이 작용하는 것으로 된다. O링 186은 이를 수용하여 그 외측에 확장하는 것으로부터, 구체부 164의 구면 164a을 압압하는 압압력은 증가하기 어려워진다. 이에 의하여, O링 186이 공기의 압력을 수용하여도 구체부 164의 구면 164a와의 사이에서 생기는 접동 저항을 높이는 것을 억제할 수 있다.

본 실시의 형태에서는 상부 구성체 172와 하부 구성체 173에서 형성된 환상구 185에 O링이 설치되고, 게다가 그 환상구 185에설치된 O링 186은 구체부 164의 구면 164a과도 맞붙는 것으로 구성되게 된다. 그러므로, 한 개의 O링 186에서 상부 구성체 172, 하부 구성체 173, 구체부 164의 삼자 사이를 실하는 것이 가능하게 된다. 이에 의하여, O링을 복수 설치할 필요가 없기 때문에 부품점 수가 적게 되고, 제조 비용을 줄일 수 있다.

[제5의 실시 형태]

이하, 제 5의 실시 형태를 도 14에 기초하여 설명한다. 이 제 5의 실시 형태에 있어서 개량 부상 유닛 190에 관하여는, 제 4의 실시 형태에서 설명한 개량 부상 유닛 160과의 상위 부분만을 설명하고, 그 다른 공통 부분에 있어서는 동일 부호를 붙여 설명을 생략한다.

본 실시 형태의 개량 부상 유닛 190은 상기 개량 부상 유닛 160과 비교하여, 다음의 점에서 다르게 된다. 즉, 상기 개량 부상 유닛 160에서는 하부 구성체 173에 단차부 177를 형성하고, 하부 구성체 173의 상단 부분에 환상구 185를 형성하나, 본 실시 형태의 개량 부상 유닛 190에서는 상기 환상구 185가 상부 구성체 172의 하단 부분에 형성되어 있다. 그 결과, 거기에 수용된 O링 186은 구체부 164의 구면 164a 중심보다도 상방으로 배치되어 있다. 그리고, O링 186의 죄는 힘은, 구면 164a과의 사이의 실을 확보하는 실력으로 되나, 구체부 164에 대한 요동 본체 171를 상방으로 올리는 힘으로도 된다. 또한, 그 결과, 본 실시 형태의 개량 부상 유닛 190에 있어서, 구체부 164의 구면 164a은 하측 테이퍼면 178과 맞붙음과 동시에 O링 186과도 맞붙으나, 상측 테이퍼면 175과는 비접촉 상태로 되고, 소정의 틈이 존재하게 된다.

그러므로, 제 5의 실시 형태에서는 이하의 우수한 효과를 가진다.

본 실시의 형태에서는, 유리 기판 G 자체에 기복이 있고, 요동 본체 171는 그 기복의 경사에 따라 기울어진다. 이 모방 동작에 의하여, 공기 분출에 의한 부상력을 유리 기판 G에 대하여 확실하게 작용시키는 것이 가능하다. 그러므로, 제 3 및 제 4의 실시 형태와 동일한 효과를 얻는 것이 가능하다.

또한, 본 실시의 형태에서는, 개량 부상 유닛 190은 그 외부에 누출되지 않는 것으로 구성되어 있다. 이때, 개량 부상 유닛 190의 상면 160a으로부터 분출시킬 때에 공급된 공기를 그 상면 160a으로부터 분출하는 것으로 되어 외부에 유출시키고, 아무것도 없이 소비하여 끝나는 것을 억제할 수 있다.

본 실시의 형태에서는, 요동 본체 171의 외부에 공기가 누출되는 것을 방지하는 O링 186은, 구체부 164의 외주보다 구면 164a과 맞붙는 위치에 배치되게 된다. 그러므로, O링 186에는 그 링 내측으로부터 공기의 압력이 작용하는 것으로 된다. O링 186은 이를 수용하여 그 외측으로 확장하는 것으로부터, 구체부 164의 구면 164a을 압압하는 압압력이 증가하기 어렵게 된다. 그럼에도, O링 186은 구체부 164의 적도 부분보다 상방에서 구면 164a과 맞붙은 위치에 배치되어 있다. 다공질체 181에 부여되는 공기의 압력이 높고 지지체 161에 대한 요동 본체 171가 상방에 대하여 높아지는 힘이 작용하나, 이 힘은 O링 186을 무너지게 하는 방향으로의 힘은 아니므로, 구체부 164의 적도 부분보다 상방에서 구면 164a을 압압하는 압압력이 증가하는 것은 아니다. 이상과 같이, 공기 압력을 O링 186의 내주측에 작용시키게 되는 제 3, 4 실시 형태와 동일한 특징에 더하여, O링 186을 구면 164a 중심보 다 상방에 배치하게 되는 배치 상의 특징을 가지는 것으로 인하여, 공기의 압력을 받고도 구체부 164의 구면 164a과의 사이에서 생긴 접동 저항의 높이를 한층 억제하는 것이 가능하다.

본 실시의 형태에서는, 상부 구성체 172와 하부 구성체 173에서 형성된 환상구 185에 O링이 설치되고, 게다가 그 환상구 185에 설치된 O링 186은 구체부 164의 구면 164a과 맞붙는 것에 의하여 구성되게 된다. 그러므로, 한 개의 O링 186에서 상부 구성체 172, 하부 구성체 173, 구체부 164의 삼자 사이를 실하는 것이 가능하게 된다. 이로 인하여, O링을 복수 설치할 필요가 없기 때문에 부품점 수가 적게 되고, 제조 비용을 줄일 수 있다.

본 실시의 형태에서는, 지지체 161 및 요동 본체 171와의 사이의 실을 O링 186으로만 행하는 것으로, 제 4의 실시 형태에 있어서 도시한 상측 테이퍼면 175과 구면 164a를 맞붙게 한 메탈 실을 수용하고, 상측 테이퍼면 175와 구면 164a과의 사이에 틈을 적극적으로 형성하게 된다. 그러므로, 상측 테이퍼면 175과 구면 164a의 사이의 공기의 유통이 원형으로 되게 되고, 상측 테이퍼면 175과 구면 164a의 사이를 공기가 유통하는 때에 염려되는 공기 진동의 발생을 억제하는 것이 가능하다.

[제 6의 실시 형태]

이어서, 제 6의 실시 형태를 도 15 및 도 16에 기초하여 설명한다. 또한, 도 15는 부상 유닛의 단면도이고, 도 16은 부상 유닛의 분해 단면도이다.

도 15 및 도 16에 도시된 것과 같이, 개량 부상 유닛 200은 지지체 211 및 그 지지체 211에 의하여 요동하여 지지되는 요동체로서의 요동 본체 221를 구비하게 된다.

상기 지지체 211는 받침부 212를 구비하게 된다. 받침부 212의 상단에는 상방향으로 이어지는 상측 축부 213가 형성되고, 하단에는 하방향으로 이어지는 하측 축부 214가 형성되게 된다. 상측 축부 213의 상단면에는 그 상단면으로부터 상방으로 이어지는 취부 축부 215가 설치되어 있다. 상측 축부 213, 하측 축부 214 및 취부 축부 215는 각각 횡단면 원형상으로 형성되고, 취부 축부 215의 횡단면적은 상측 축부 213의 각각보다 약간 작게 형성되게 된다. 그러므로, 상측 축부 213의 상단면 가운데, 취부 축부 215를 제외한 부분은 원 고리 모양의 구체 지지면 213a으로 되어 있다. 상측 축부 213, 취부 축부 215 및 하측 축부 214의 중심 축선은 동일하고, 그 축선은 지지체 211의 중심 축선으로 된다. 이 중심 축선에 따라, 지지체 211에는 취부 축부 215의 상단면 및 하측 축부의 하단면에서 개구(이하, 각각 상측 개구, 하측 개구라 한다.)를 가지는 지지체 유로로서의 공기 통로 216가 일직선 모양으로 설치되어 있다. 또한, 이 지지체 211의 중심 축선은 개량 부상 유닛 200의 중심선이고, 이를 기준으로 하여 후술하는 각 부 및 각 부재가 설치되게 된다.

도 16에 도시된 것과 같이, 상기 상측 축부 213 및 상기 취부 축부 215에는, 한 대의 평평한 워셔 236, 237 및 웨이브 워셔 238가 삽통되어 있다. 평평한 워셔 236, 237은 그 내주연부에 면 가공이 행하여진 것이 사용되고 있다. 각 워셔 236~238는, 받침부 212의 측으로부터 제 2 워셔 237, 압압 수단 및 부세 수단으로 서의 웨이브 워셔 238, 맞붙음 부재로서의 제 1 워셔 236의 순서로 상기 양 축부 213, 215에 삽통되고, 일 대칭의 평평한 워셔 236, 237의 사이에 웨이브 워셔 238가 위치된 상태로 되어 있다.

그리고, 취부 축부 215에는 구체부 217가 설치되어 있다. 상기 구체부 217에는 취부 축부 215의 횡단면과 거의 동일한 형상을 이루는 관통공 218이 형성되어 있다. 구체부 217에는 관통공 218의 중심선과 직교하는 일 대칭의 단면이 형성되어 있고, 관통공 218은 그 양 단면에서 개구되어 있다. 양 단면 가운데 하나는, 관통공 218의 개구를 제외한 부분이 상기 상측 축부 213의 구체 지지면 213a과 동일한 형상 및 동일한 면적을 이루는 원 고리 모양으로 형성된 구체 피 지지면 217b으로 되어 있다. 또한, 타방의 단부는 설명의 편의상, 상단면 217c으로 한다. 그리고, 구체 피 지지면 217b을 아래로 하여 구체부 217의 관통공 218에, 구체 피지지면 217b과 구체 지지면 213a이 맞붙기까지 취부 축부 215가 압입되고, 이로 인하여 취부 축부 215에 구체부 217가 설치되어 있다. 구체부 217의 구체 피 지지면 217b와 상단면 217c와의 사이는 취부 축부 215보다 길게 형성되어 있기 때문에, 구체부 217가 설치된 상태에서는 구체부 217의 상단면 217c보다 하방으로 취부 축부 215의 상단이 위치해 있다.

상기 하측 축부 214의 하단부에는 나사구 등의 피취부부 219가 형성되어 있다. 그리고, 이 피취부부 219에 의하여, 지지체 211가 베이스 2 등의 취부 대상에 설치되게 된다.

다음으로 도 15에 도시된 것과 같이, 상기 요동 본체 221는 종단면이 거의 T 자 형상을 이루는 것으로 형성되어 있다. 요동 본체 221의 하면의 중앙부에는, 상기 구체부 217를 수용 가능한 수용 凹 부 222가 형성되어 있다. 이 수용 凹부 222에 의하여 지지 공간이 형성되어 있다. 수용 凹부 222는 요동 본체 221의 하면에 형성된 제 2 凹부 225로 구성되어 있다.

상기 제 1 凹 부 223는, 요동 본체 221의 횡단면에 있어서 상기 지지체 211에 설치된 일 대칭의 평평한 워셔 236, 237의 외경과 거의 동일한 지름의 원 형상을 이루는 것으로 형성되어 있다. 제 1 凹부 223를 형성하는 내주면 223b에는 환상의 취부구 224가 형성되어 있다. 한편, 상기 제 2 凹부 225도 요동 본체 221의 횡단면에 있어서 원 형상을 이루는 것으로 형성되어 있다. 이 제 2 凹부 225의 저면 225a에는 실 수단으로서의 O링 226이 설치되어 있다. 이 O링 226은 제 2 凹부 225의 지름과 거의 동일한 외경을 가지는 것으로 하고, 제 2 凹부 225의 저면 225a 및 그 凹부를 형성하는 내주면 225b와 맞붙은 상태에서 배치되어 있다. 또한, 이 제 2 凹부 225는 제 1 凹부 223과 함께 지지 공간을 형성하고, 동시에 실 장착구도 형성된다.

상기 제 2 凹부 225에는 상기 지지체 211의 상기 구체부 217가 수용되어 있다. 그 수용 상태에서는 구체부 217의 구면 217a이 상부에서 상기 O링 226에 맞붙어 있다. 또한, O링 226과 구체부 217가 맞붙은 상태에서는 구체부 217의 상단면이 제 2 凹부 225의 저면으로부터 하방으로 분리된 상태에 있다. 이 O링 226과 구체부 217의 구면과의 맞붙음에 의하여 요동 본체 221가 지지체 211에 대하여 요동하여 지지되어 있다.

또한, 상기 구체부 217를 상기 제 2 凹부 225에 수용된 상태에서는, 상기 지지체 211에 설치된 각 워셔가 구체부 217 측에 붙게 되고, 제 1 워셔의 내주연부를 구체부 217의 구면 217a에 맞붙은 상태로 된다. 그리고, 그 상태에서 상기 제 1 凹부 223의 내주면 223b에 형성된 상기 취부구 224에 스냅 링 227이 설치되어 있다. 이에 의하여, 스냅 링 227이 제 2 워셔 237와 맞붙고, 각 워셔 236~238의 상기 받침부 212 측에의 이동이 규제되며, 제 1 워셔 236가 그 내주연부에서 구체부 217의 구면 217a과 맞붙은 상태에서 유지된다. 또한, 일 대칭의 평평한 워셔 236, 237의 사이에 있는 웨이브 워셔 238에 의하여, 제 1 워셔 236는 상방으로 부세되어 구체부 217의 구면 217a와 맞붙음 힘이 높아진다. 이에 더하여, 제 2 워셔 237를 통하여 스냅 링 227이 하방으로 부세되어 취부구 224의 벽면에 압압된다. 이에 의하여, 스냅 링 227과 취부구 224 사이에 역회전이 생기는 것이 방지된다.

상기 제 2 凹부 225의 저면에 있어서, 상기 O링 226의 내측에 있고, 상기 구체부 217의 상단면 217c과 대치하는 부분에는, 그 상단면 217c보다 큰 개구를 가지는 도입구 228가 형성되어 있다. 또한, 요동 본체 221는 그 상면 221a이 평탄하게 형성되고, 그 상면 221a에는 수용구 229가 형성되어 있다. 수용구 229에는 다공질체 230가 상면 221a으로부터 돌출된 상태에서 수용되어 있다. 다공질체 230는 소결삼 불화 수지, 소결사 불화 수지로 된 불소 수지에 의하여 형성되어 있다. 수용구 229의 저면에는 유통구 231가 형성되어 있다. 요동 본체 221에는 그 유통구 231의 저면과 상기 도입구 228의 저면에서 개구하고, 양구 228, 231을 연통하는 공기 통로 232가 일직선상으로 형성되어 있다. 이 공기 통로 232에 의하여, 유통구 231는 제 2 凹부 225의 링 226에서 실된 공간을 통하여 지지체 211의 공기 통로 216에도 연통된 상태로 되어 있다. 그리고, 이러한 공기 통로 216, 232를 통하여 상기 유통구 231에 공기가 공급될 때, 그 공기가 다공질체 230의 미세공을 통과하고, 상면 230a으로부터 분출한다. 본 실시의 형태에서는, 이 다공질체 230의 상면 230a이 분출면으로 되어 있다. 또한, 다공질체 230는 불소 수지 이외에도 소결 나일론 수지, 소결 폴리아세탈 수지 등의 합성 수지 재료와 소결 알루미늄, 소결 동, 소결 스텐레스 등의 금속 재료, 소결 카복시, 소결 세라믹스 등으로 형성되는 것도 바람직하다.

다음으로, 상기와 같이 구성된 개량 부상 유닛 200의 작용에 대해서 설명한다.

지지체 211는 그 하측 축부 214에 설치된 피취부부 219에 의한 취부 대상에 설치되고, 공기 통로 216에 공기가 공급된다. 이 공급 공기는 다공질체 230의 상면 230a, 즉 개량 부상 유닛 200의 상면 200a으로부터 공기가 분출된다. 이 공기 분출에 의한 부상이 발생하고, 개량 부상 유닛 200의 상면 200a에 쌓인 유리 기판 G를 부상시킨다.

그리고, 지지체 211의 공기 통로 216의 상측 개구로부터 유출하는 공기의 일부는, 제 2 凹부 225 내를 통과하여 도입구 228에 이르나, O링 226에 의하여 그 밖으로 공기가 누출되는 것은 아니다. 또한, 공기의 유통에 의한 O링 226의 내측의 내압이 높아지고, 그 내압이 내측으로부터 O링 226에 작용한다. 이로 인하여, O링 226은 넓은 지름으로 되고, 구체부 217의 구면 217a 및 제 2 凹부 225의 저면 225a 및 내주면 225b을 압압하는 힘이 높아지게 된다. 그리고, 이로 인하여 내압의 높아짐에 의하여 확실한 실력이 얻어지기 때문에, O링 226의 누르는 값은 10%이하에서 족하다.

그리고, 요동 본체 221에 대하여 외부로부터 힘이 작용하면, 요동 본체 221는 그 힘에 따라, 구체부 217의 구면 217a과 O링 226과의 맞붙음 부분에서 접동하고, 지지체 211에 대하여 기울어진다. 이때, 구면 217a 및 O링 226과의 접촉은 둘레 방향의 선 접촉이고, 양자의 사이에 발생하는 접동 저항은 줄어들게 된다. 요동 본체 221는 구체부 217의 구면 217a과 제 1 워셔 236의 내주연부와의 맞붙음 부분에서도 접동하여 기울어지고, 웨이브 워셔 238의 부세력에 의하여 그 기울어짐 중 및 기울어짐 후의 상태에서도 양자의 맞붙음 상태가 유지되어 있다. 또한, O링 226과 구체부 217의 구면 217a과의 사이의 실 기능도, 요동 본체 221의 기울어짐 중 및 기울어짐 후의 상태에서 유지된다.

그러므로, 상기 제 6의 실시 형태의 개량 부상 유닛 200을 유리 기판 G의 위치를 수정하는 장치에서 사용하면, 유리 기판 G을 부상시키는 때의 접촉 문제가 해소된다.

그러므로, 제 6의 실시 형태에 있어서는 이하의 우수한 효과를 가진다.

본 실시의 형태에서는 유리 기판 G 자체에 기복이 있고, 요동 본체 221는 그 기복의 기울어짐에 따라 기울어진다. 그 모방 동작에 의하여, 공기 분출에 의한 부상력을 유리 기판 G에 대하여 확실하게 작용시키는 것이 가능하다. 그러므로, 제 3 내지 제 5의 실시 형태와 동일한 효과를 얻는 것이 가능하다.

또한, 본 실시의 형태에서는, 개량 부상 유닛 200은 O링 226과 구체부 217의 구면 217a과 맞붙고, O링 226 및 제 2 凹부 225의 저면 225a 및 내주면 225b과의 맞붙음에 의하여, O링 226의 밖으로 공기가 누출되지 않는 것으로 구성되어 있다. 그러므로, 개량 부상 유닛 200의 상면 200a으로부터 분출시킬 때에 공급된 공기를 그 상면 200a으로부터 분출하는 것이 되어 외부에 유출시키고, 무모하게 소비하여 끝나는 것을 억제할 수 있다.

본 실시의 형태에서는, 제 2 凹부 225 내에 설치된 O링 226과 구체부 217의 구면 217a을 맞붙게 하고, 그 맞붙음에 의하여 지지체 211가 요동 본체 221를 요동하도록 지지하는 구성으로 되어 있다. 이 구성은 간소한 것이고, 또한, 높은 정확도의 가공도 불필요하다. 한편, 구체부 217의 상하를 테이퍼면으로 협지하여 요동 본체 221를 요동하게 하는 구성에서는 가공 및 달라붙음에 있어서 높은 정확도가 요구되나, 그에 비하여 비용을 절감할 수 있다.

본 실시의 형태에서는, 지지체 211에 구체부 217의 하부에서 그 구면 217a에 맞붙는 제 1 워셔 236가 설치되어 있다. 그러므로, 구체부 217의 하부가 제 1 워셔 236와 맞붙어, 구체부 217를 안정시킨 상태에서 유지할 수 있다. 또한, 웨이브 워셔 238의 부세력에 의하여 제 1 워셔 236가 구면 217a을 압압하는 힘이 높아지고, 제 1 워셔 236와 구체부 217의 맞붙음 상태가 확실하게 유지된다. 또한, 요동 본체 221가 기울어지는 때에, 그 기울어짐 중 및 기울어진 후에도 양자의 맞붙음 상태를 확실하게 유지할 수 있다. 이로 인하여, 구체부 217의 유지를 보다 안정화시키는 것이 가능하고, 더 나아가서는 요동 본체 221의 지지 및 요동의 안정화에 기여할 수 있다.

본 실시 형태에서는, 각 워셔 236~238의 하방향으로의 이동을 규제하고, 제 1 워셔 236가 구체부 217a에 맞붙은 상태가 스냅 링 227으로 유지되어 있다. 그러므로, 폐색 부재를 볼트로 체결하여 동일한 작용을 얻는 구성에 비하여, 부품점 수가 적게 된다. 이에 의하여, 비용의 저감에 기여할 수 있다. 당연하게는, 스냅 링 227을 사용한 만큼은 그 링 227과 취부구 224와의 사이에 역회전이 발생하고, 제 1 워셔 236와 구체부 217와의 맞붙음 상태가 안정되지 않은 문제도 있다. 여기에서, 본 실시의 형태에서는 스냅 링 227과 제 1 워셔 236와의 사이에 제 2 워셔 237를 설치하고, 더하여 양 워셔 236, 237의 사이에 웨이브 워셔 238를 두고 있다. 이 웨이브 워셔 238의 부세력이 제 2 워셔 237를 통하여 스냅 링 227에도 작용하고, 역회전의 발생을 억제하는 것이 가능하다.

본 실시의 형태에서는 제 2 凹부 225의 지름과 동일한 외경을 가지는 O링 226을, 제 2 凹부 225의 저면 225a 및 내주면 225b와 맞붙은 상태에서 설치되어 있다. 이로 인하여, 제 2 凹부 225를 형성하는 내주면 225b에 O링 226을 장착하는 장착구를 둘레 방향에 따라 형성할 필요가 없다. 또한, O링 226을 제 2 凹부 225의 저면 225a에 배치하는 것으로 O링 226의 달라붙음이 완료하기 때문에, 그 작업은 극히 간단하다.

[다른 실시의 형태]

또한, 상기 제 1로부터 제 6의 실시의 형태는 상기된 내용에 한정되지 않고, 예를 들어 다음의 실시에도 좋다.

상기 제 1의 실시의 형태에서는, 제 1 유로 24에 공급된 공기가 凹 모양 구면부 23와 凸 모양 구면부 33와의 사이를 유통하는 것으로 공기막을 생성시키게 되나, 다른 구성을 수용하는 것도 가능하다. 예를 들어, 凹 모양 구면부 23에 다공질체를 설치하여, 그 다공질체로부터 凸 모양 구면부 33에 향하여 공기를 분출시키는 구성, 양자의 사이를 단순한 미끄럼 축 수용하여 지지된 구성으로 되는 것이 바람직하다.

상기 제 1의 실시 형태에서는, 다공질체 44로의 공기 공급과 구면 축 받침 부분으로의 공기 공급을 제 2 유로 24인 공통의 경로에서 행하는 구성으로 되나, 각각 별개의 공급 경로에서 행하는 것으로 구성되는 것이 바람직하다.

상기 제 1의 실시의 형태에서는, 유리 기판 G가 쌓이는 시점에서는 양 구면부 23 33의 사이에 공기막을 생성하여 마찰 저항을 저감하면서 공기가 제 1 유로 24에 공급되고, 그 후, 유리 기판 G을 부상시키는 부상력의 발생에 충분한 공기가 공급된 구성에 있었다. 그러므로, 유리 기판 G이 쌓인 시점에서 상기 부상력의 발생에 충분한 공기가 공급되는 구성도 좋다. 이때, 공기막의 생성 동작과 유리 기판 G의 부상 동작이 동시에 완료되고, 위치 갭 수정 작업의 시간 효율의 향상을 실현하는 것이 가능하다.

상기 제 2의 실시의 형태에서는, 양 구면부 23, 33 사이를 단순한 미끄럼 축 수용하여 지지된 구성에 볼트 베어링을 설치한 구성도 바람직하다.

상기 제 2의 실시의 형태에 있어서, 부통체 34를 설치하지 않는 구성도 바람직하다. 이와 같이 구성하는 것에 의하여, 부상 유닛 50의 구성을 간소화하는 것이 가능하다. 또한, 이 경우, 탄성 튜브 55가 이탈 방지 수단 및 요동 규제 수단을 구성한다.

상기 제 1 및 제 2의 각 실시의 형태에서는, 요동 기체 31에 다공질 유닛 41을 볼트 42에서 고정하는 구성으로 되지만, 다공질 유닛을 생략하고, 요동 기체 31에 직접, 다공질체 44를 설치한 구성도 바람직하다. 이 경우, 요동 기체 31가 요동체를 구성하는 것으로 된다. 그리고, 이 구성에서는, 부품점 수가 적게 되기 때문에, 비용의 절감에 기여할 수 있다.

상기 제 1 및 제 2의 각 실시의 형태에서는, 받침대 21에 凹 모양 구면부 23를 설치하고, 요동 기체 31에 凸 모양 구면부 33를 설치하나, 양 구면부 23, 33를 각각 역으로 설치하는 것도 바람직하다. 즉, 받침대 21에 凸 모양 구면부를 설치하고, 요동 기체 31에 凹 모양 구면부를 설치한 구성으로 하는 것도 바람직하다.

상기 제 1 및 제 2의 각 실시의 형태에서는, 요동 기체 31의 하면측에 凸 모양 구면부 33를 형성하여 구면 축 수용을 구성하였으나, 구면 축 수용을 도 17에 도시한 구성으로 하는 것도 바람직하다. 즉, 도 17에서는, 요동 기체 61의 凸 모양 구면부 62를 요동 기체 61의 측면 부분에 설치한 구성으로 되어 있다. 이 요동 기체 61에는 그 상부에 다공질 유닛 63이 설치되어 있다. 하우징 64에는 공기 공급 구멍 65이 형성되어 있고, 이 공기 공급 구멍 65에 공기가 공급될 때, 요동 기체 61 내의 공기 통로 66를 끼워 다공질체 63a에 공기가 공급된다. 이로 인하여, 다공질체 63a의 상면으로부터 공기가 분출하고, 도시하지 않은 유리 기판을 부상시킨다. 또한, 공기 공급 구멍 65에 공급된 공기는 凸 모양 구면부 62와 하우징 64의 凹 모양 구면부 67와의 사이를 유통하고, 양자의 사이에 공기막을 생성한다. 이로 인하여, 요동 기체 61의 모방 동작이 가능하게 된다. 또한, 凸 모양 구면부 62와 凹 모양 구면부 67와의 사이는 단순한 미끄러짐 축 수용의 구성으로도 바람직하고, 볼 베어링을 설치한 구성으로 하는 것도 바람직하다.

상기 제 1 및 제 2의 각 실시의 형태에서는, 凹 모양 구면부 23와 凸 모양 구면부 33로 구성된 구면 축 받침을 설치하여 다공질 유닛 41의 요동을 가능하게 하나, 도 18에 도시된 것과 같이, 다공질 유닛 41과 베이스 2와의 사이에 베로스 68를 설치하여 다공질 유닛 41의 요동을 가능하게 하는 구성도 바람직하다. 또한, 베로스 68에도 한정되지 않고, 고무 등의 탄성체를 끼워놓는 것도 좋다. 이때, 이러한 끼움 부재가 요동 수단을 구성한다.

유리 기판 G이 부상 장치 위에 배치되어 있지 않은 상태(자연 상태)에 있어서 상면 112a이 수평으로 되기 위한 구성을, 상기 제 1 및 제 2의 각 실시의 형태에 부가하는 것도 바람직하다. 예를 들어, 도 19 및 도 20에 도시한 것과 같이, 유닛 본체 43의 측부에, 중심 측에 이어지는 나사 구멍 81을 같은 간격(90°간격)으로 4개 형성한다. 그리고, 각 나사 구멍 81에 육각 구멍의 나사 82를 끼운다. 이 경우, 각 나사 82의 끼워진 양을 조정하는 것으로, 자연 상태에 있어서 상면 112a이 수평으로 되는 것에 의하여 요동 기체 31 및 다공질 유닛 41의 수평 방향의 중량 균형을 조정하는 것이 가능하다. 이와 관련하여, 상면 112a으로부터 凸 모양 구면부 33의 하단까지 길이가 凸 모양 구면 33의 곡률 반경보다 짧게 되어 있기 때문에, 자연 상태에 있어서 양 구면부 23, 33의 사이에 공기막이 생성될 때, 요동 기 체 31 및 다공질 유닛 41은 수평 방향의 중량 균형이 조정되는 위치에서 자연히 복귀한다. 이상과 같이, 상기의 중량 균형을 조정하는 것으로, 유리 기판 G의 지지 작업 후에 상면 112a은 자연히 수평으로 되고, 다음의 작업시에 유리 기판 G의 쌓임 작업을 적당하게 행하는 것이 바람직하다.

상기 제 3의 실시 형태에서는, O링 147에 의한 구체부 124의 구면 124a과 폐색 부재 141의 상면 141a의 삽통 구멍 143의 주변과의 사이를 실하는 것으로 구성되나, 그 O링에 대하여 금속 실을 설치한 구성으로 하는 것도 바람직하다. 이 경우, 폐색 부재 141의 상면 141a의 삽통 구멍 143 주변부를 구면 모양으로 형성하는 것으로 된다. 이러한 구성에서는 그 금속 실 부분에서 가공을 높은 정확도로 행할 필요가 있기 때문에, O링 147을 설치한 구성에 비하여 비용은 증가한다. 그러나, 높은 정확도의 가공이 필요한 부분은, 삽통 구멍 143을 설치한 주변부에 대하여 부분적으로 된 것으로부터, 큰 폭의 비용 증가는 억제된다. 또한, O링에 의한 실 및 금속 실 등, 어느 실에 있어서도, 실 부분은 완전한 공기 유통 차단을 행하는 것이 바람직하나, 다소의 공기 누출이 있어 이를 허용하는 환경에서 실시에 있어서는 어떠한 문제가 없다.

상기 제 4의 실시 형태에서는, 환상구 185를 하부 구성체 173 측에 형성한 단차부 177와 상측 凹부 174의 개구 주변 부분의 하면에서 형성되나, 상부 구성체 172에도 단차부를 설치하여, 양 구성체 172, 173의 단차부들에서 이 환상구 185를 형성하는 것도 바람직하다(도 21 참조).

상기 제 3으로부터 제 5의 실시의 형태에서는, 구체부 124, 164를 지지체 121, 161에 설치하고, 구체부 124, 164와 맞붙는 테이퍼면 135 및 상측 테이퍼면 175을 요동 본체 131, 171에 설치하며, 그로 인하여, 요동 본체 131, 171를 요동으로 지지하는 구성으로 되나, 그 지지 구성은 역으로 있는 것도 바람직하다. 예를 들어, 제 4의 실시 형태의 구성에 있어서, 그 역의 지지 구성과 하부 구성을 도 21에 도시한다. 이 구성에서는, 지지체 191와 요동 본체 192 가운데, 지지체 191의 내부에 수용 공간 193이 설치되고, 지지체 191측에 요동 본체 192를 지지하는 테이퍼면 194이 형성되어 있다. 요동 본체 192는 상기 수용 공간 193 내에 수용된 구체부 195와, 그 구체부 195와 축부 196를 통하여 연결된 다공질 지지부 197가 설치되어 있다. 이러한 구성에 있어서, 요동 본체 192를 요동하여 지지하는 것이 가능하다.

또한, 이 경우, 지지체 191를 구성하는 상부 구성체 198를 또한 2개의 블록으로 구성하고, 이를 일체화시키는 것에 의하여 절구 모양의 상측 凹부 198a를 형성하는 것도 바람직하다. 이러한 구성에 있어서는, 하부 구성체에 요동 본체 192를 붙인 후에, 2개의 블록을 각각 붙이는 것으로 상부 구성체 198를 구성하는 것이 가능하게 된다. 이로 인하여, 축부 196를 삽통하는 삽통 구멍 199에 다공질 지지부 197를 삽통시키는 것이 가능하지 않은 경우에도, 상부 구성체 198를 용이하게 붙이는 것이 가능하다.

상기 제 6의 실시 형태에서는, 구체부 217를 지지체 211에 설치하고, 수용 凹 부 22 및 O링 226을 요동 본체 221에 설치하고, 그로 인하여 요동 본체 221를 요동하여 지지하는 구성으로 하나, 그 지지 구성은 역으로 하는 것도 바람직하다. 그 예로써, 도 22에 개량 부상 유닛 240을 도시한다. 이 구성에서는, 지지체 241에 수용 凹부 242가 형성되고, 그 수용 凹부 242에는 O링 243이 배치되어 있다. 또한, 지지체 241에는 수용 凹 부 242에 연통하는 공기 통로 244가 배치되어 있다. 한편, 요동 본체 245에는 구체부 246가 설치되어 있다. 또한, 요동 본체 245에는 일단이 다공질체 247로 되어 있고, 타단이 O링 243으로 실된 공간을 통하여 상기 지지체 241의 공기 통로 244에 연통하는 공기 통로 248가 형성되어 있다. 그러므로, 각 공기 통로 244, 248를 통하여 다공질체 247에 공기가 공급되고, 그로 인하여 다공질체 247의 상면 247a(개량 부상 유닛 240의 상면 240a)으로부터 공기가 분출한다. 그리고, 구체부 246가 수용 凹부 242 내에 수용되고, O링 243을 맞붙는 것으로 인하여, 요동 본체 245가 요동하여 지지된다. 이 지지 구성은 제 6의 실시 형태에 있어서 지지 구성의 상하를 역회전시킨 것이고, 그 상세한 설명은 생략한다. 이 개량 부상 유닛 240에 있어서도 상기 제 6의 실시 형태와 동일한 작용 효과가 얻어진다.

상기 제 6의 실시 형태에서는, 제 1 워셔 236와 제 2 워셔의 사이에 압압 수단 및 부세 수단으로 웨이브 워셔를 끼우나, 이러한 수단은 웨이브 워셔 이외의 구성에 있어서도 바람직하다. 예를 들어, 고무 등의 탄성체, 명 스프링 및 코일 스프링 등의 스프링을 사용하는 것도 좋다.

상기 제 6의 실시 형태에서는, 실 수단으로써 O링 226을 사용하였으나, 이외에 예를 들어, D링 등을 사용하는 것도 좋다.

상기 제 1로부터 제6의 각 실시의 형태에서는, 개량 부상 유닛 12, 50, 112, 160, 190, 200, 240을 도 4에 있는 전후 좌우의 양단부에만 설치한 구성으로 하였으나, 모두를 개량 부상 유닛 12, 50, 112, 160, 190, 200, 240으로 하는 것도 바람직하다. 이 구성에 있어서는, 상정한 것보다 작은 유리 기판 G이 쌓인 경우에도 확실하게 비접촉 지지를 행하는 것이 가능하다. 또한, 모두를 개량 부상 유닛 12, 50, 112, 160, 190, 200, 240으로 하면, 동 유닛 12, 50, 112, 160, 190, 200, 240을 설치한 경우에 확실하게 유리 기판 G을 비접촉 지지하는 것이 가능하기 때문에, 베이스 2 위에 쌓은 부상 유닛 1의 설치 수를 적게 하는 것이 가능하다. 이로 인하여, 개량 부상 유닛 12, 50, 112, 160, 190, 200, 240 각각 자체의 비용은 일반 부상 유닛 11에 비하여 증가하여도 전체로서의 설치 수를 적게 할 수 있기 때문에 그에 의하여 비용의 증가분이 상쇄되고, 비용의 증가를 억제할 수 있다.

또한, 네 개의 모서리는 모두 공기가 달아나기 쉬운 장소이기 때문에, 이러한 개량 부상 유닛 12, 50, 112, 160, 190, 200, 240을 설치한 구성에서도 좋다. 이 구성에서도, 종래에 비하면, 더 확실하게 비접촉 상태에서 유지가 가능하게 된다.

상기 각 실시의 형태에서는, 공기를 배출시키는 것으로 유리 기판 G을 부상시키는 것에 의하여 구성되나, 분출시킨 가압 기체로는 공기에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 질소 등의 기체도 좋다.

상기 제 1로부터 제 5의 각 실시의 형태에서는, 워크로서 유리 기판 G를 예로 들어 설명하였으나, 박판 모양의 워크라면 유리 기판 G에 한정되지 않는다.

본 발명에 따르면 공기가 달아나기 쉬운, 기복이 있는 유리 기판의 단부에 있어서도, 확실하게 비접촉 상태에서 그 기판을 유지할 수 있는 부상 유닛, 및 그를 구비한 부상 장치를 얻을 수 있다.

Claims

가압 기체가 분출하는 분출면 및

상기 분출면의 자유로운 경사를 가능하게 하는 요동 수단을 구비하고,

상기 요동 수단은 상기 분출면을 가지는 요동체를 받침대에 대하여 구면 축 받침에 의해 지지한 것으로 구성되며,

상기 구면 축 받침은 상기 받침대 및 상기 요동체 중 한 편에 凹 모양 구면부를, 다른 편에 凸 모양 구면부를 형성하고, 그 구면부 사이를 맞춘 상태에서 요동체를 받침대에서 지지하고, 양자의 사이에 가압 기체를 게재시키는 것으로 구성되고,

상기 분출면으로부터 분출하는 가압 기체에 의하여, 상기 분출면과 비접촉 상태에서 워크를 지지하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 1 항에 있어서,

상기 받침대 및 상기 요동체의 내부에 양자를 연결하는 탄성 튜브를 설치하고, 상기 탄성 튜브 내를 통하여 상기 분출면에 가압 기체를 공급하기 위하여 만들어지고, 또한 탄성 튜브의 주위에서 요동체의 요동에 따라 탄성 튜브의 변형을 허용하는 변형 허용 공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
분출면으로부터 분출하는 가압 기체에 의하여, 상기 분출면과 비접촉 상태에서 워크를 지지하는 부상 유닛에 있어서,

상기 분출면을 구비하고, 동일한 곡률 반경을 가지는 凹 모양의 구면부 및 凸 모양의 구면부 가운데 일방을 분출면과 반대측에 형성한 요동체 및

상기 凹 모양 구면부 및 凸 모양 구면부 가운데 타방을 형성하고, 구면부들을 합쳐진 상태에서 요동체를 지지하는 받침대를 구비하고,

상기 받침대와 상기 요동체 사이에 가압 기체를 넣는 것으로, 요동체를 구면에 따라 요동 가능하게 하고, 이 요동에 의하여 분출면의 자유로운 경사를 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 3 항에 있어서,

상기 받침대에 받침대 유로를 형성하고, 상기 요동체에는 상기 분출면에 이어지는 요동체 유로를 형성하며, 양자를 상기 凹 모양 구면 부 및 凸 모양 구면부에서 개구시키는 것과 동시에, 상기 개구들이 대치하는 것과 같이 구성된 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 4 항에 있어서,

상기 요동체가 기울어진 상태에서도 상기 요동체 유로의 개구가 막히지 않고, 상기 받침대 유로의 개구 및 요동체 유로의 개구 가운데 일방을 넓게 형성한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 1 항 내지 제 5 항의 어느 한 항에 있어서,

상기 요동체가 받침대로부터 나오는 것을 방지하는 이탈 방지 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 1 항 내지 제 5 항의 어느 한 항에 있어서,

상기 요동체의 요동을 소정의 범위에서 규제하는 요동 규제 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 1 항 내지 제 5 항의 어느 한 항에 있어서,

상기 요동체의 외주에는 통 모양을 이루는 부통체를 설치하고, 상기 부통체에서 상기 받침대의 측면의 적어도 상부를 숨기는 것과 같이 구성된 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 1 항 내지 제 5 항의 어느 한 항에 있어서,

상기 요동체의 수평 방향의 중량 균형을 조정하는 균형 조정 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
가압 기체가 분출하는 분출면을 구비하고, 상기 분출면으로부터 분출된 가압 기체에 의하여 분출면과 비접촉의 상태에서 워크를 지지하는 부상 유닛에 있어서,

상기 분출면을 가지는 요동체 및 설치면에 고정되어 요동체를 지지하는 지지체를 구비하고,

상기 요동체 또는 상기 지지체에 설치된 지지 공간 내에 요동체의 피지지부 및 지지체의 지지부를 배치하며,

상기 피지지부 및 상기 지지부를 상기 분출면이 지지체의 설치면에 대하여 수평으로 된 상태를 기준으로 하여 상기 요동체가 요동하도록 구성하고,

상기 지지체에는 지지체 유로를 설치하고, 상기 요동체에는 상기 분출면에 이어지는 요동체 유로를 설치하며, 상기 지지체 유로 및 상기 요동체 유로를 상기 지지 공간 내에서 연통시키고, 상기 지지 공간 내의 가압 기체의 누출을 방지하는 실 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 10 항에 있어서,

상기 지지부 및 상기 피지지부 가운데 일방을 구면, 타방을 절구 모양으로 형성한 테이퍼면으로 하고, 상기 구면 및 테이퍼면의 맞붙음에 의하여 상기 요동체가 요동하도록 구성된 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 10 항에 있어서,

상기 지지부 또는 상기 피지지부 가운데 일방을 구체부의 구면, 타방을 절구 모양으로 형성한 테이퍼면으로 하고, 상기 구면 및 상기 테이퍼면의 맞붙음에 의하여, 상기 요동체가 요동하도록 구성하며, 상기 구면과 상기 테이퍼면의 맞붙음 위치와는 다른 위치에서 상기 실 수단을 구체부의 구면과 맞붙게 하고, 그 맞붙음에 의하여 상기 실 수단이 실 기능과 요동체의 유지 기능을 함께하도록 구성된 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 12 항에 있어서,

상기 실 수단과 구체부의 구면의 맞붙음 위치를, 상기 테이퍼면과 구면의 맞붙음 위치와는 상기 구체부를 돌려 상하 반대 측에 설치한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 10 항 내지 제 13 항의 어느 한 항에 있어서,

상기 요동체 및 상기 지지체를 각각의 연직 방향의 중심선이 일치하도록 설치하고, 동시에 상기 중심선을 중심으로 하여 상기 지지 공간을 형성한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 10 항 내지 제 13 항의 어느 한 항에 있어서,

상기 지지체 유로 및 상기 요동체 유로를 연직 방향으로 이어지는 일직선 모양으로 설치한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 15 항에 있어서,

상기 지지체 유로의 도출 측 개구보다 상기 요동체 유로의 도입 측 개구를 넓게 형성한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 10 항 내지 제 13 항의 어느 한 항에 있어서,

상기 실 수단을 구체부의 구면과 밀접한 O링으로 하고, 상기 O링을 지지 공간 내의 가압 기체의 압력이 링 내측으로부터 상기 O링에 작용하도록 배치한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 10 항 내지 제 13 항의 어느 한 항에 있어서,

상기 실 수단을 구체부의 구면과 밀접한 O링으로 하고, 상기 요동체를 상부 구성체 및 하부 구성체로 구성하며, 양 구성체를 일체화시키는 것에 의하여, 상기 지지 공간 및 상기 O링이 배치된 환상구를 형성한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 18 항에 있어서,

상기 지지부 또는 상기 피지지부 중 한편을 구체부의 구면，다른 편을 유발 모양으로 형성된 테이퍼면으로 하여, 그 구면과 테이퍼면과의 접합에 의하여，상기 요동체가 자유롭게 요동되도록 구성하고, 상기 지지 공간을 상기 구체부 전체가 수용되도록 구성하고, 상기 지지 공간 내에서는 상기 구체부의 구면 및 상기 테이퍼면과의 맞붙음 위치가 상하 반대측에서 구체부의 구면과 맞붙는 맞붙음 면을 설치한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
가압 기체가 분출하는 분출면을 구비하고, 상기 분출면으로부터 분출시킨 가압 기체에 의하여 분출면과 비접촉 상태에서 워크를 지지하는 부상 유닛에 있어서,

구체부를 가지고, 상기 구체부의 하단에는 연직 방향으로 이어지는 축부를 설치하며, 상기 축부에는 설치면에 고정된 피고정부를 설치하고, 상기 구체부의 구면에서 개구하는 지지체 유로를 더 설치한 지지체와,

상기 분출면을 가지는 분출부를 상면에 설치하고, 내부에는 상기 구체부를 수용하는 지지 공간을 설치하며, 그 내외를 연통하는 삽통 구멍의 개구부를 하면에 설치하여 상기 삽통 구멍에 상기 축부를 삽통시키고, 상기 지지 공간 내의 상부에는 하향의 절구 모양으로 형성된 테이퍼면을 설치하여 상기 테이퍼면과 구체부의 구면을 맞붙게 하며, 상기 분출부에 이어지는 것과 동시에 상기 지지 공간을 형성하는 면에서 개구하는 요동체 유로를 더 설치한 요동체를 구비하고,

상기 테이퍼면과 상기 구체부의 구면과의 맞붙음에 의하여, 상기 요동체가 상기 지지체에 대하여 요동하여 지지되도록 구성하며,

상기 삽통 구멍의 내측 주연부에는 상기 지지 공간 내의 가압 기체의 누출을 방지하는 O링을 설치하고,

상기 O링의 링 내측 및 맞붙는 측벽면을 설치하여, 상기 O링을 환상구에 배치한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
가압 기체가 분출하는 분출면을 구비하고, 상기 분출면으로부터 분출시킨 가압 기체에 의하여 분출면과 비접촉 상태에서 워크를 지지하는 부상 유닛에 있어서,

구체부를 가지고, 상기 구체부의 하단에는 연직 방향으로 이어지는 축부를 설치하며, 상기 축부에는 설치면에 고정된 피고정부를 설치하고, 상기 구체부의 구면에서 개구하는 지지체 유로를 더 설치한 지지체 및

상기 분출면을 가지는 분출부를 상면에 설치하고, 내면에는 상기 구체부를 수용하는 지지 공간을 설치한 요동체를 구비하고,

상기 요동체는 상기 요동체의 내외를 연통하는 삽통 구멍의 개구부를 하단에 설치하여 상기 삽통 구멍에 상기 축부를 삽통시키고, 상기 지지 공간 내의 하부에는 상기 구체부의 구면 하단과 맞붙어 얻어진 맞붙음부를 설치하며, 상기 분출부에 연결되는 것과 동시에 상기 지지 공간을 형성하는 면에서 개구하는 요동체 유로를 설치히며,

상기 요동체에는, 상기 지지 공간 내의 상기 구면 중앙보다 상방 위치에서 수평 방향으로 배치되고, 상기 구체와 요동체의 사이로부터의 가압 기체의 누설을 방지하는 O링을 설치하며,

상기 O링과 상기 구체부의 구면 상부와의 맞붙음에 의하여, 상기 요동체가 상기 지지체에 대하여 요동하여 지지되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
가압 기체가 분출하는 분출면을 구비하고, 상기 분출면으로부터 분출시킨 가압 기체에 의하여 분출면과 비접촉의 상태에서 워크를 지지하는 부상 유닛에 있어서,

상기 분출면을 가지는 요동체 및 상기 요동체를 지지하는 지지체를 구비하고,

상기 지지체에는 구체부를 설치하고, 상기 구체부를 상기 요동체에 설치한 지지 공간 내에 수용하며,

상기 지지 공간 내에는 동일한 지지 공간을 형성하는 내면 및 상기 구체부의 구면 중앙보다 상부에 맞붙어 양자의 사이를 실하는 것과 동시에, 상기 맞붙음에 의하여 지지체에 요동체를 지지시키는 환상의 실 수단을 설치하고,

상기 지지체에는 구체부의 상기 실 수단과의 맞붙음 부분보다 상부에서 개구하는 지지체 유로를 설치하며, 상기 요동체에는 일단이 상기 분출면에 이어지고, 타단이 지지 공간을 형성하는 내면에서 개구하여 상기 지지 공간을 통하여 상기 지지체 유로의 상기 개구와 연통하는 요동체 유로를 설치한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
가압 기체가 분출하는 분출면을 구비하고, 상기 분출면으로부터 분출시킨 가압 기체에 의하여 분출면과 비접촉 상태에서 워크를 지지하는 부상 유닛에 있어서,

상기 분출면을 가지는 요동체 및 상기 요동체를 지지하는 지지체를 구비하고,

상기 요동체에는 구체부를 설치하고, 상기 구체부를 상기 지지체에 설치한 지지 공간 내에 수용하며,

상기 지지 공간 내에는 동일한 지지 공간을 형성하는 내면과 상기 구체부의 구면 중앙보다 하부에 맞붙어 양자의 사이를 실하는 것과 동시에 상기 맞붙음에 의하여 지지체에 요동체를 지지시키는 환상의 실 수단을 설치하고,

상기 요동체에는 일단이 상기 분출면에 이어지고, 타단이 상기 구체부의 상기 실 수단과의 맞붙음 부분보다 하부에서 개구하는 요동체 유로를 설치하며, 상기 지지체에는 요동체 유로의 상기 타단의 개구와 지지 공간을 통하여 연통하는 지지체 유로를 설치한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 22 항 또는 제 23 항에 있어서,

상기 실 수단과 상기 구체부의 구면과의 맞붙음 위치와 상하 반대측에서 상기 구면에 맞붙는 맞붙음 부재, 상기 맞붙음 부재를 구면에 대하여 압압하는 압압 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 22 항 또는 제 23 항에 있어서,

상기 요동체 또는 상기 지지체에 수용 凹부를 형성하여 상기 지지 공간을 설치하고,

상기 구체부를 가지는 지지체 또는 요동체는 상기 구체부로부터 상기 수용 凹부의 개구부를 통하여 수용 凹부의 외부까지 연직 방향으로 연장되어 설치된 축부를 구비하며,

상기 축부에는 적어도 2개의 워셔를 삽통시키고, 축부를 삽통하는 삽통 구멍의 내주연부에서 상기 구체부와 맞붙는 제 1 워셔 및 상기 제 1 워셔에 인접하는 제 2 워셔와의 사이에 양 워셔를 축부의 축선 방향으로 부세하는 부세 수단을 위치시키고,

상기 수용 凹부를 형성하는 주면에 환상의 취부구를 형성하고, 상기 취부구에 상기 제 1 워셔가 상기 구체부와 맞붙은 상태에서 유지하는 스냅 링을 설치한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 22 항 또는 제 23 항에 있어서,

상기 지지 공간을 형성하는 내저면에 상기 실 수단을 장착하는 원 형상의 실 장착구를 형성하고, 상기 실 수단의 외경을 상기 실 장착구의 지름과 동일하게 하여, 상기 실 수단 및 상기 수단이 실 장착구를 형성하는 저면 및 주면과 맞붙은 상태에서 실 장착구에 수용된 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
제 1 항 내지 제 5 항, 제 10항 내지 제 13 항, 및 제 20 항 내지 제 23 항의 어느 한 항에 있어서,

상기 분출면을 다공질체로 형성한 것을 특징으로 하는 경사 기능을 가지는 부상 유닛.
다수의 부상 유닛을 구비하고, 상기 부상 유닛의 분출면으로부터 분출된 가압 기체에 의하여, 박판 모양의 워크를 비접촉 지지하는 부상 장치에 있어서,

상기 다수의 부상 유닛 가운데, 상부에서 본 네 개의 모퉁이 또는 단부에는, 제 1 항 내지 제 5 항, 제 10항 내지 제 13 항, 및 제 20 항 내지 제 23 항의 어느 한 항에 기재된 경사 기능을 가지는 부상 유닛을 배치한 것을 특징으로 하는 부상 장치.
다수의 부상 유닛을 구비하고, 상기 부상 유닛의 분출면으로부터 분출된 가압 기체에 의하여 박판 모양의 워크를 비접촉 지지하는 부상 장치에 있어서,

상기 다수의 부상 유닛의 모두를 제 1 항 내지 제 5 항, 제 10항 내지 제 13 항, 및 제 20 항 내지 제 23 항의 어느 한 항에 기재된 경사 기능을 가지는 부상 유닛으로 한 것을 특징으로 하는 부상 장치.
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