KR101246713B1 - 디스크 브러쉬 - Google Patents

디스크 브러쉬 Download PDF

Info

Publication number
KR101246713B1
KR101246713B1 KR1020110120730A KR20110120730A KR101246713B1 KR 101246713 B1 KR101246713 B1 KR 101246713B1 KR 1020110120730 A KR1020110120730 A KR 1020110120730A KR 20110120730 A KR20110120730 A KR 20110120730A KR 101246713 B1 KR101246713 B1 KR 101246713B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
brush
disk
shaft
metal support
rubber magnet
Prior art date
Application number
KR1020110120730A
Other languages
English (en)
Inventor
유지성
김현숙
Original Assignee
주식회사 비앤티코퍼레이션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 비앤티코퍼레이션 filed Critical 주식회사 비앤티코퍼레이션
Priority to KR1020110120730A priority Critical patent/KR101246713B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101246713B1 publication Critical patent/KR101246713B1/ko

Links

Images

Classifications

    • AHUMAN NECESSITIES
    • A46BRUSHWARE
    • A46BBRUSHES
    • A46B7/00Bristle carriers arranged in the brush body
    • A46B7/04Bristle carriers arranged in the brush body interchangeably removable bristle carriers
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A46BRUSHWARE
    • A46BBRUSHES
    • A46B15/00Other brushes; Brushes with additional arrangements
    • A46B15/0002Arrangements for enhancing monitoring or controlling the brushing process
    • A46B15/0016Arrangements for enhancing monitoring or controlling the brushing process with enhancing means
    • A46B15/0026Arrangements for enhancing monitoring or controlling the brushing process with enhancing means with a magnetic means
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A46BRUSHWARE
    • A46BBRUSHES
    • A46B7/00Bristle carriers arranged in the brush body
    • A46B7/06Bristle carriers arranged in the brush body movably during use, i.e. the normal brushing action causing movement
    • A46B7/08Bristle carriers arranged in the brush body movably during use, i.e. the normal brushing action causing movement as a rotating disc
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A46BRUSHWARE
    • A46BBRUSHES
    • A46B2200/00Brushes characterized by their functions, uses or applications
    • A46B2200/30Brushes for cleaning or polishing

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

본 발명은 디스크 브러쉬에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 디스크 형상의 고무자석; 디스크 형상의 금속 지지부; 디스크 형상의 브러쉬 고정부; 브러쉬; 및 샤프트 고정부를 포함하는 디스크 브러쉬에 관한 것으로, 적은 노력과 시간으로 세정 공정에 사용되는 브러쉬를 세정장치로부터 교체 가능한 디스크 브러쉬를 제공한다.

Description

디스크 브러쉬{DISK BRUSH}
본 발명은 디스크 브러쉬에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 부품 및 소자 등은 미세한 먼지(파티클)에 무척 민감하게 반응하는 것으로, 미세한 먼지 단 하나가 작게는 부품, 크게는 장치의 특성을 좌우하게 된다. 상기와 같은 이유로 도체 제조 공정에서는 파티클을 최소화시키는데 주력하고 있으며, 공정 진행 상황에 따라 세정작업을 반복하여 실시하고 있는 것이 보통이다.
특히, 최근 들어 전자디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 대형 액정표시장치들이 선보이고 있는데, 이와 같은 액정표시장치들의 글라스에 피막 형성 등의 많은 표면처리 공정이 진행되며 이때, 세정작업은 필수적이며, 이와 같은 세정작업은 전용 세정장치를 이용하여 수행하게 된다.
이러한 세정처리를 하는 장치로서는 디스크 브러쉬 혹은 로울 브러쉬를 사용하여 표면에 부착되어 있는 파티클 또는 오염물을 제거하는 장치가 알려져 있다.
그러나 종래 세정 공정에 사용되는 브러쉬의 경우, 세정장치에서 브러쉬를 교체하기 위하여 a) 세정장치 분해 단계, b) 브러쉬 분리 단계, c) 새로운 브러쉬 결합 단계 및 d) 세정장치 조립 단계를 거쳐 브러쉬를 교체하여, 브러쉬 교체를 위한 많은 노력과 시간이 요구되는 문제점이 있다.
한편, 대한민국 공개특허 제2010-0069150호에서, 디스크 형상의 바디, 완충부 및 세정부를 포함하는 디스크 브러쉬 및 이를 포함하는 유리기판 세정장치가 개시되어 있으나, 마찬가지로 유리기판 세정장치에서 브러쉬를 교체하기 위하여 많은 노력과 시간이 요구되는 문제점이 있다.
KR 2010-0069150 A
본 발명의 목적은 세정장치에서 브러쉬를 교체하는 작업을 용이하게 하고, 세정장치와 브러쉬를 볼트로 결합시킬 때 발생되는 브러쉬의 파손, 잘못된 체결에 의한 브러쉬의 흔들림을 줄일 수 있는 브러쉬를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 디스크 형상의 고무자석; 상기 고무자석의 일면에 부착되는 디스크 형상의 금속 지지부; 상기 금속 지지부의 일면에 부착되는 디스크 형상의 브러쉬 고정부; 상기 브러쉬 고정부에 고정된 브러쉬; 및 샤프트 고정부를 포함하는 디스크 브러쉬를 제공한다.
본 발명은, 브러쉬와 세정장치를 결합시키는데 자석을 사용함으로써, 종래 TFT-LCD, 반도체 등에 사용되는 유리의 세정 공정에 사용되는 브러쉬를 세정장치로부터 교체하는데 적은 노력과 시간이 드는 브러쉬를 구현할 수 있다.
또한, 본 발명은 브러쉬와 세정장치를 결합시키는데 기존의 볼트 등을 사용하지 않아, 브러쉬의 파손을 방지할 수 있고, 볼트 체결시 발생할 수 있는 불량을 줄일 수 있어 브러쉬의 회전시 브러쉬의 흔들림을 방지할 수 있다.
도 1은 종래 디스크 브러쉬의 사시도이다.
도 2는 실시예 1에 따른 디스크 브러쉬의 사시도이다.
도 3은 실시예 1에 따른 디스크 브러쉬의 측면도이다.
도 4는 실시예 1에 따른 디스크 브러쉬의 평면도이다.
도 5는 실시예 1에 따른 디스크 브러쉬의 저면도이다.
도 6은 실시예 2에 따른 디스크 브러쉬의 저면도이다.
도 7은 실시예 3에 따른 디스크 브러쉬의 평면도이다.
도 8은 실시예 3에 따른 디스크 브러쉬의 저면도이다.
이하, 본 발명을 상세히 설명하고자 한다.
본 발명은 디스크 형상의 고무자석; 상기 고무자석의 일면에 부착되는 디스크 형상의 금속 지지부; 상기 금속 지지부의 일면에 부착되는 디스크 형상의 브러쉬 고정부; 상기 브러쉬 고정부에 고정된 브러쉬; 및 샤프트 고정부를 포함하는 디스크 브러쉬를 제공한다.
상기 고무자석은 디스크 브러쉬를 유리 세정 장치 등에서 교체가 용이하게 하기 위한 역할을 한다. 즉, 종래 디스크 브러쉬를 세정 장치로부터 교체하기 위해서는 세정장치의 디스크 브러쉬 드라이브 유닛(Disk Brush Drive Unit)을 모두 탈거하고 상, 하부 디스크 브러쉬를 교체한 후, 디스크 브러쉬 드라이브 유닛을 다시 결합하고 높이를 조절하는 과정을 거쳐, 디스크 브러쉬 교체시간이 약 12시간 이상 소요된다. 반면, 본 발명의 디스크 브러쉬는 고무자석을 포함함으로써 세정 장치로부터 용이하게 분리가 가능하고, 디스크 브러쉬의 부착시 세정 장치에 샤프트 고정부를 고정시키면 자연스럽게 세정 장치와 디스크 브러쉬가 밀착되어, 디스크 브러쉬 교체시간을 2시간 이내로 줄일 수 있다.
이때, 상기 금속 지지부는 자성을 띠는 스테인리스 스틸인 것이 바람직하고, SUS40 계열의 스테인리스 스틸인 것이 보다 바람직하다. 이때, 상기 SUS40계열은 자성을 띠어 고무자석과 밀착될 수 있으며, 산화를 방지할 수 있어 디스크 브러쉬의 세정력을 높이고, 철을 사용하는 기존의 브러쉬에 비하여 장시간 사용 가능한 장점이 있다.
또한, 상기 금속 지지부는 체결수단에 의하여 고무자석, 금속 지지부, 브러쉬 고정부 및 브러쉬가 고정될 때, 연질의 고무자석을 평평한 상태로 유지시킬 수 있는 역할을 하며, 이를 통해 세정장치와 디스크 브러쉬가 고무자석에 의하여 강하게 결합될 수 있도록 한다.
상기 브러쉬 고정부는 폴리염화비닐(PVC), 폴리아세탈(POM) 및 폴리에틸렌(PE)으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상인 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 디스크 브러쉬에 샤프트 고정부를 포함하는 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 샤프트 수납 홈 또는 샤프트 관통 홀을 포함하는 것이 바람직하다. 이때, 상기 샤프트 수납 홈 또는 샤프트 관통 홀은 세정장치의 샤프트가 삽입되어 디스크 브러쉬에 회전력을 전달할 수 있도록 하는 역할을 하며, 세정장치의 샤프트가 고무자석, 금속 지지부, 브러쉬 고정부 및 브러쉬를 관통하여 구비되거나, 샤프트가 수납되어 구비될 수 있으며, 디스크 브러쉬에 회전력을 전달할 수 있다면, 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 고무자석, 금속 지지부, 브러쉬 고정부 및 브러쉬는 체결수단에 의하여 체결될 수 있으며, 이때, 상기 체결수단을 위하여 고무자석, 금속 지지부, 브러쉬 고정부 및 브러쉬에 체결 홀 또는 체결 홈을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 디스크 브러쉬는 LCD 제조 공정 등에 사용되는 유리(Glass)의 세정 공정 브러쉬용인 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니다.
이하, 본 발명을 실시예에 의해 상세히 설명한다.
단, 하기 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐, 본 발명의 내용이 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.
<실시예 1>
본 실시예 1에 따른 디스크 브러쉬(1)는 도 2에 도시된 바와 같이, 고무자석(11), 금속 지지부(12), 브러쉬 고정부(13), 브러쉬(14) 및 샤프트 고정부(15a, 15b, 15c)를 포함한다.
이때, 상기 고무자석(11)은 세정장치와 디스크 브러쉬(1)의 결합 및 분리를 용이하게 하여, 세정장치로부터 디스크 브러쉬(1)를 교체하는데 시간과 비용을 줄일 수 있다.
또한, 디스크 브러쉬(1)는 샤프트 고정부(15)를 포함하는 것이 바람직하며, 실시예 1과 같이 샤프트 관통 홀(15a, 15b, 15c)을 포함하는 것이 보다 바람직하다. 상기 샤프트 관통 홀은 세정장치의 샤프트가 고정되어 디스크 브러쉬 회전시 회전방향으로 힘을 전달할 수 있도록 하여, 세정력을 높이는 역할을 한다. 이때, 상기 샤프트 관통 홀(15a, 15b, 15c)은 도 5와 같이, 고무자석(11), 금속 지지부(12), 브러쉬 고정부(13) 및 브러쉬(14)를 관통하여 구비될 수 있다.
또한, 디스크 브러쉬(1)는 체결수단(16a, 16b, 16c, 16d)에 체결나사가 체결되어 고무자석(11), 금속 지지부(12), 브러쉬 고정부(13) 및 브러쉬(14)가 고정될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
도 3은 실시예 1의 디스크 브러쉬(1)에 대한 측면도로, 고무자석(11), 금속 지지부(12), 브러쉬 고정부(13) 및 브러쉬(14)가 순차 적층되어 있는 모습을 나타낸다. 상기 금속 지지부(12)는 스테인리스 스틸인 것이 바람직하며, 보다 바람직하게 SUS40계열인 것이 좋다. 상기 고무자석(11)은 금속 지지부(12)에 부착되어 고무자석(11)이 세정장치에 평평하게 접촉되어 고무자석(11)의 세정장치에 대한 결합을 보다 강하게 하는 역할을 한다.
<실시예 2>
본 실시예 2는 상기 실시예 1에서 샤프트 관통 홀(15a, 15b, 15c)이 고무자석(11), 금속 지지부(12), 브러쉬 고정부(13) 및 브러쉬(14)를 관통하여 구비하는 것 대신에 하나의 샤프트 관통 홀(15a) 및 두 개의 샤프트 수납 홈(15b, 15c)이 구비된 디스크 브러쉬(1)에 관한 것이다. 즉, 세정장치의 샤프트가 고정되어 디스크 브러쉬(1)를 회전시킬 수 있다면, 도 6에 도시한 바와 같이, 샤프트 관통 홀(15a) 또는 샤프트 수납 홈(15b, 15c)이 함께 구비될 수 있다.
<실시예 3>
본 실시예 3은 상기 실시예 1에서 세 개의 샤프트 관통 홀(15a, 15b, 15c)을 구비하는 것 대신에 두 개의 샤프트 관통 홀(15a, 15b)을 구비하여, 세정장치의 샤프트가 상기 두 개의 샤프트 관통 홀(15a, 15b)에 고정되어 디스크 브러쉬(1)가 회전할 수 있도록 한다. 도 7은 실시예 3에 따른 디스크 브러쉬(1)의 평면도, 8은 실시예 3에 따른 디스크 브러쉬(1)의 저면도이다.
디스크 브러쉬: 1
고무자석: 11
금속 지지부: 12
브러쉬 고정부: 13
브러쉬: 14
샤프트 고정부: 15a, 15b, 15c
체결수단: 16a, 16b, 16c, 16d

Claims (6)

  1. 디스크 형상의 고무자석;
    상기 고무자석의 일면에 부착되는 디스크 형상의 금속 지지부;
    상기 금속 지지부의 일면에 부착되는 디스크 형상의 브러쉬 고정부;
    상기 브러쉬 고정부에 고정된 브러쉬; 및
    샤프트 고정부를 포함하는 디스크 브러쉬.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 금속 지지부는 자성을 띠는 스테인리스 스틸인 것을 특징으로 하는 디스크 브러쉬.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 브러쉬 고정부는 폴리염화비닐, 폴리아세탈 및 폴리에틸렌으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 디스크 브러쉬.
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 샤프트 고정부는 샤프트 수납 홈 또는 샤프트 관통 홀인 것을 특징으로 하는 디스크 브러쉬.
  5. 청구항 1에 있어서, 상기 디스크 브러쉬에 체결수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 브러쉬.
  6. 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항의 디스크 브러쉬는 유리 세정 공정 브러쉬용인 것을 특징으로 하는 디스크 브러쉬.
KR1020110120730A 2011-11-18 2011-11-18 디스크 브러쉬 KR101246713B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110120730A KR101246713B1 (ko) 2011-11-18 2011-11-18 디스크 브러쉬

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110120730A KR101246713B1 (ko) 2011-11-18 2011-11-18 디스크 브러쉬

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101246713B1 true KR101246713B1 (ko) 2013-03-25

Family

ID=48182435

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110120730A KR101246713B1 (ko) 2011-11-18 2011-11-18 디스크 브러쉬

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101246713B1 (ko)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101351412B1 (ko) 2013-04-12 2014-01-23 주식회사 로그테크놀러지 글라스 및 웨이퍼 세정용 디스크 브러시의 체결방법 및 그 장치
KR20160105275A (ko) 2015-02-27 2016-09-06 박승주 세정용 디스크 브러쉬 유니트
KR20170037153A (ko) 2015-09-25 2017-04-04 박승주 세정용 브러쉬
KR20170037179A (ko) 2015-09-25 2017-04-04 박승주 세정용 디스크 브러쉬
KR20170037165A (ko) 2015-09-25 2017-04-04 박승주 세정용 디스크 브러쉬 유니트

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03113730U (ko) * 1990-03-06 1991-11-21
KR20100069150A (ko) * 2008-12-16 2010-06-24 주식회사 티엔텍 디스크 브러쉬
KR20100091037A (ko) * 2009-02-09 2010-08-18 세메스 주식회사 글라스 기판 세정 유닛 및 이를 갖는 글라스 기판 세정 시스템
KR20110008979U (ko) * 2010-03-15 2011-09-21 엠.씨.케이 (주) 연마용 디스크 패드

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03113730U (ko) * 1990-03-06 1991-11-21
KR20100069150A (ko) * 2008-12-16 2010-06-24 주식회사 티엔텍 디스크 브러쉬
KR20100091037A (ko) * 2009-02-09 2010-08-18 세메스 주식회사 글라스 기판 세정 유닛 및 이를 갖는 글라스 기판 세정 시스템
KR20110008979U (ko) * 2010-03-15 2011-09-21 엠.씨.케이 (주) 연마용 디스크 패드

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101351412B1 (ko) 2013-04-12 2014-01-23 주식회사 로그테크놀러지 글라스 및 웨이퍼 세정용 디스크 브러시의 체결방법 및 그 장치
KR20160105275A (ko) 2015-02-27 2016-09-06 박승주 세정용 디스크 브러쉬 유니트
KR20170037153A (ko) 2015-09-25 2017-04-04 박승주 세정용 브러쉬
KR20170037179A (ko) 2015-09-25 2017-04-04 박승주 세정용 디스크 브러쉬
KR20170037165A (ko) 2015-09-25 2017-04-04 박승주 세정용 디스크 브러쉬 유니트

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101246713B1 (ko) 디스크 브러쉬
US8015987B2 (en) Vibration-type cleaning device for contact lenses
CN109986434A (zh) 手机用玻璃边框抛光系统
TWI823893B (zh) 多層培養容器操作系統、多層培養容器操作裝置及多層培養容器操作方法
TWI668751B (zh) Grinding method of workpiece
JP2007275997A (ja) ワーク支持装置
US20100186180A1 (en) Support structure for multiple workpiece support rollers
MY160764A (en) An apparatus for cleaning a substrate
US8777541B2 (en) Conveyor control apparatus of liquid crystal panel substrates and control method thereof
JP2009059750A (ja) 基板洗浄装置、及び基板洗浄方法
JP6218621B2 (ja) 半導体ウェハの方向整列装置および半導体ウェハの方向整列方法
JPH1022360A (ja) 基板搬送装置
JP6095151B2 (ja) 基板収容容器および異物除去方法
CN202097622U (zh) 工作台
JP2011103394A (ja) 基板処理装置
KR100912884B1 (ko) Tft-lcd 글라스 에칭용 회전 롤 브러쉬와 이를이용한 에칭방법
KR20150130587A (ko) 고정밀 디스크 회전장치
JP2016174077A (ja) 基板洗浄装置および基板洗浄方法
KR101149715B1 (ko) 기판 세정용 디스크 유닛 및 이를 갖는 기판 세정 장치
CN215494417U (zh) 一种小尺寸液晶屏偏光板贴附前清洗、定位装置
KR101323662B1 (ko) 기판 처리 장치용 서포트 플레이트
KR20090051937A (ko) 브러시 세정 유닛
KR100870147B1 (ko) 기판 처리 장치
KR20110137924A (ko) 렌즈 가공장치
JP2018167358A (ja) 保持具

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee