KR101244290B1 - 레이저를 이용한 프릿 실링장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 레이저를 이용한 프릿 실링장치에 관한 것으로서, 레이저빔을 전송하는 제1광파이버; 레이저빔을 전송하는 제2광파이버; 상기 제1광파이버 및 상기 제2광파이버를 통해 전송된 레이저빔들이 입사되며, 입사된 레이저빔들을 프릿(frit) 상에 집광시키는 집광렌즈; 및 상기 제1광파이버로부터 출사되는 레이저빔 및 상기 제2광파이버로부터 출사되는 레이저빔이 상기 집광렌즈로 입사되는 입사각을 조정하기 위하여, 상기 제1광파이버의 출력단 및 상기 제2광파이버의 출력단의 각도를 조정하는 각도조정부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

레이저를 이용한 프릿 실링장치{APPARATUS FOR SEALING FRIT USING LASER}
본 발명은 레이저를 이용한 프릿 실링장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 적어도 2개의 레이저빔을 프릿에 조사하여 유기발광 소자를 밀봉하는 레이저를 이용한 프릿 실링장치에 관한 것이다.
근래에 디스플레이 장치는 휴대가 가능한 박형의 평판 표시 장치로 대체되는 추세이다. 평판 디스플레이 장치 중에서도 유기발광 디스플레이 장치는 자체 발광형 디스플레이 장치로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가져서 차세대 디스플레이 장치로 주목받고 있다.
유기발광 디스플레이 장치는 주변 환경으로부터 수분이나 산소가 유기발광 소자 내부로 유입될 경우, 전극 물질의 산화, 박리 등으로 유기발광 소자 수명이 단축되고, 발광 효율이 저하될 뿐만 아니라 발광색의 변질 등과 같은 문제점들이 발생한다.
따라서, 유기발광 디스플레이 장치의 제조에 있어서, 유기발광 소자를 외부로부터 격리하여 수분이 침투하지 못하도록 밀봉(sealing) 처리가 통상적으로 수행되고 있다. 이와 같은 밀봉 처리 방법으로써, 밀봉재로 프릿(frit)을 사용하여 유기발광 소자의 상하측에 배치된 기판 간의 밀착성 및 밀봉성을 향상시키는 방법이 고안되었다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 레이저를 이용한 프릿 실링장치는, 유기발광 소자(20)가 배치된 기판(10)의 일 영역의 외곽에 도포된 프릿(30)에 레이저빔(L)을 조사하여 프릿(30)을 용융, 경화시켜서 해당 영역 내부를 밀봉한다. 이때, 프릿(30)이 형성된 부분에 대응하는 위치에 관통홀을 가진 마스크(40)를 기판(10)과 레이저 소스 사이에 배치하여, 레이저빔(L)에 의해 유기발광 소자(20)가 손상되는 것을 방지한다.
그러나, 텔레비젼 등에서의 수요에 의해 유기발광 디스플레이 장치가 대면적화되면서 밀봉의 효과를 높이기 위하여 프릿의 폭이 넓어지고 두께가 두꺼워졌는데, 단일의 레이저빔을 직선방향으로 이동시키면서 프릿에 조사하여 프릿을 용융, 경화시키는 종래의 프릿 실링장치로는 넓고 두꺼워진 프릿을 가공할 수 없는 문제가 발생하였다.
일반적으로 단면에서 가우시안(Gaussian) 에너지 분포를 가지는 단일의 레이저빔으로는 넓어진 프릿의 폭 전체에 걸쳐 균일한 에너지를 공급할 수 없으므로, 프릿의 폭 전체에 걸쳐 양호한 실링 품질을 가질 수 없는 문제가 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 집광렌즈에 2개의 레이저빔을 입사시키고, 가공되는 프릿 상에서 집광렌즈에 의해 집광된 2개의 레이저빔의 일부 영역이 중첩되도록 광학계를 구성함으로써, 넓어진 프릿의 폭에 대응하여 프릿의 폭 전체에 걸쳐 균일한 에너지를 공급하여 유기발광 소자를 밀봉하는 품질을 향상시킬 수 있는 레이저를 이용한 프릿 실링장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 레이저를 이용한 프릿 실링장치는, 레이저빔을 전송하는 제1광파이버; 레이저빔을 전송하는 제2광파이버; 상기 제1광파이버 및 상기 제2광파이버를 통해 전송된 레이저빔들이 입사되며, 입사된 레이저빔들을 프릿(frit) 상에 집광시키는 집광렌즈; 상기 제1광파이버로부터 출사되는 레이저빔 및 상기 제2광파이버로부터 출사되는 레이저빔이 상기 집광렌즈로 입사되는 입사각을 조정하기 위하여, 상기 제1광파이버의 출력단 및 상기 제2광파이버의 출력단의 각도를 조정하는 각도조정부; 및 상기 집광렌즈의 광축을 회전축으로 하여 상기 제1광파이버 및 상기 제2광파이버를 회전시키는 회전부;를 포함하며, 상기 집광렌즈에 의해 집광된 2개의 레이저빔의 중심은, 상기 프릿이 도포된 방향과 교차하는 방향을 따라 서로 이격되게 배치되고, 상기 프릿의 폭 이내에 위치하는 것을 특징으로 한다.
삭제
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 레이저를 이용한 프릿 실링장치는, 레이저빔을 전송하는 광파이버; 상기 광파이버를 통해 전송된 레이저빔을 2개의 레이저빔으로 분할하는 광분할부; 상기 광분할부를 경유한 레이저빔들이 입사되며, 입사된 레이저빔들을 프릿(frit) 상에 집광시키는 집광렌즈; 상기 광분할부를 경유한 레이저빔들이 상기 집광렌즈로 입사되는 입사각을 조정하기 위하여, 상기 광분할부의 각도를 조정하는 각도조정부; 및 상기 집광렌즈의 광축을 회전축으로 하여 상기 광파이버 및 상기 광분할부를 회전시키는 회전부;를 포함하며, 상기 집광렌즈에 의해 집광된 2개의 레이저빔의 중심은, 상기 프릿이 도포된 방향과 교차하는 방향을 따라 서로 이격되게 배치되고, 상기 프릿의 폭 이내에 위치하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 레이저를 이용한 프릿 실링장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 광분할부는, 상기 광파이버를 통해 전송된 레이저빔이 입사되고, 입사된 레이저빔 중 일부는 투과시켜 상기 집광렌즈 측으로 전송하고, 나머지 일부는 반사시키는 빔스플리터; 및 상기 빔스플리터에 의해 반사된 레이저빔이 입사되고, 입사된 레이저빔을 반사시켜 상기 집광렌즈 측으로 전송하는 반사미러;를 포함한다.
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삭제
본 발명의 레이저를 이용한 프릿 실링장치에 따르면, 넓어진 프릿의 폭에 대응하기 위하여 프릿에 2개의 레이저빔을 조사하여 프릿의 폭 전체에 걸쳐 균일한 에너지를 공급함으로써, 폭이 넓은 프릿의 실링 품질을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 레이저를 이용한 프릿 실링장치에 따르면, 2개의 레이저빔을 광파이버를 이용하여 각각 전송한 후 하나의 집광렌즈를 통해 프릿에 조사함으로써, 프릿 실링장치의 광학계를 간단하게 구성할 수 있다.
또한, 본 발명의 레이저를 이용한 프릿 실링장치에 따르면, 광파이버들을 회전시킬 수 있는 회전부를 구비함으로써, 프릿이 도포된 임의의 방향에 대하여 프릿을 용이하게 가공할 수 있다.
도 1은 종래의 레이저를 이용한 프릿 실링장치를 이용한 실링방법의 일례를 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저를 이용한 프릿 실링장치의 구성을 개괄적으로 도시한 도면이고,
도 3은 도 2의 레이저를 이용한 프릿 실링장치에 의해 형성된 레이저빔들의 에너지 분포를 도시한 도면이고,
도 4는 도 2의 레이저를 이용한 프릿 실링장치의 회전부를 설명하기 위한 도면이고,
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저를 이용한 프릿 실링장치의 구성을 개괄적으로 도시한 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 레이저를 이용한 프릿 실링장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명에서는 기판(10)에 도포된 프릿(30)의 폭은 약 2 mm 이상인 경우를 예로 들어 설명한다. 휴대폰 등의 화면에 사용되는 유기발광 디스플레이 장치의 경우, 면적이 그다지 넓지 않아 내부의 유기발광 소자(20)를 밀봉하기 위한 프릿(30)의 폭이 약 0.6 내지 0.8 mm 정도에 지나지 않았다. 그러나, 텔레비젼 등의 화면에 사용되는 유기발광 디스플레이 장치의 경우, 대면적으로 인해 프릿(30)의 폭이 약 2 mm 이상이어야 유기발광 소자(20)를 밀봉하는 기능을 충실하게 수행할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저를 이용한 프릿 실링장치의 구성을 개괄적으로 도시한 도면이고, 도 3은 도 2의 레이저를 이용한 프릿 실링장치에 의해 형성된 레이저빔들의 에너지 분포를 도시한 도면이고, 도 4는 도 2의 레이저를 이용한 프릿 실링장치의 회전부를 설명하기 위한 도면이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저를 이용한 프릿 실링장치(100)는, 적어도 2개의 레이저빔을 프릿에 조사하여 유기발광 소자를 밀봉하기 위한 것으로서, 레이저부(110)와, 제1광파이버(120)와, 제2광파이버(130)와, 집광렌즈(140)와, 각도조정부(150)와, 회전부(160)를 포함한다.
상기 레이저부(110)는, 프릿(30)을 용융시키기 위한 레이저빔(L)을 생성하여 출사시킨다. 프릿(30)에 조사되는 레이저빔(L)은 연속파 레이저빔(L)이 바람직하다. 또한, 레이저빔(L)은 프릿(30)에서 흡수가 잘 되도록 적외선 영역, 예컨대 약 808 nm 영역의 파장을 가지는 것이 바람직하다.
도 2를 참조하면, 2개의 레이저부(110)가 마련되어 생성된 각각의 레이저빔(L)을 2개의 광파이버(120,130)를 통해 전송하는 것으로 도시되었으나, 하나의 레이저부를 이용하여 레이저빔(L)을 생성한 후 출사된 레이저빔(L)을 2개의 레이저빔(L)으로 분할한 후 각각의 레이저빔(L)을 2개의 광파이버(120,130)를 통해 전송하는 것도 가능하다.
상기 제1광파이버(120)와 상기 제2광파이버(130)는, 2개의 레이저빔(L)을 각각 전송한다. 본 실시예의 제1광파이버(120)와 제2광파이버(130)는, 출사되는 레이저빔(L)의 단면 에너지 분포가 가우시안 분포를 보이는 것이 이용될 수도 있고, 출사되는 레이저빔(L)의 단면 에너지 분포가 균질하게 되어 플랫탑(flattop) 분포를 보이는 것이 이용될 수도 있다.
본 실시예에서 제1광파이버의 출력단(121)과 제2광파이버의 출력단(131)은 광파이버 브라켓(170)에 설치된다.
상기 집광렌즈(140)는, 제1광파이버(120) 및 제2광파이버(130)를 통해 전송된 레이저빔들(L)이 입사되며, 입사된 레이저빔들(L)을 프릿(30) 상에 집광시킨다. 제1광파이버(120)를 통해 전송된 레이저빔(L)과 제2광파이버(130)를 통해 전송된 레이저빔(L)은 집광렌즈(140)의 서로 다른 영역으로 입사되고, 입사된 2개의 레이저빔(L)은 하나의 집광렌즈(140)를 통해 각각 집광되어 프릿(30) 상에 조사된다.
본 실시예에서는, 집광렌즈(140)로서 에프-세타 렌즈가 사용된다. 에프-세타 렌즈는 통과하는 레이저빔(L)을 집속할 뿐만 아니라, 작업영역의 가장자리측의 수차를 보정할 수도 있다.
상기 각도조정부(150)는, 제1광파이버의 출력단(121) 및 제2광파이버의 출력단(131)의 각도를 조정하기 위한 것으로서, 제1광파이버(120)로부터 출사되는 레이저빔(L) 및 제2광파이버(130)로부터 출사되는 레이저빔(L)이 집광렌즈(140)로 입사되는 입사각을 조정할 수 있다.
제1,2광파이버(120,130)로부터 출사된 레이저빔들(L)이 집광렌즈의 광축(LA)과 평행하게 집광렌즈(140)로 입사되면, 초점위치에 집광되는 2개의 레이저빔(L)은 전체 영역이 서로 중첩된다. 이렇게 되면, 프릿(30)의 특정 영역에 에너지 집중 현상이 발생하고, 프릿(30)의 전체 폭 중에서 일부 영역에만 레이저빔(L)이 조사되어 프릿(30)의 넓어진 폭 전체에 걸쳐 균일한 에너지를 공급할 수 없게 된다.
따라서, 본 발명에서는, 집광렌즈(140)에 입사되는 레이저빔들(L)의 입사각을 조정하여, 집광렌즈(140)에 의해 집광되는 2개의 레이저빔(L)이 프릿(30)이 도포된 방향과 교차하는 방향(B)을 따라 일부 영역만이 겹치며 레이저빔의 중심(LC)이 서로 이격되게 배치되도록 함으로써, 넓어진 프릿의 폭(W) 전체에 걸쳐 균일한 에너지를 공급할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 2개의 레이저빔(L)을 프릿이 도포된 방향과 교차하는 방향(B)을 따라 서로 이격되게 배치한 상태에서 레이저빔들(L)을 프릿이 도포된 방향(A)을 따라 이송시키면서 프릿(30)을 가공한다. 레이저빔들의 에너지 분포곡선(LE)을 통해 알 수 있듯이, 중첩된 부분에서 2개의 레이저빔(L)의 에너지가 합쳐져 전체적으로 플랫탑 형태에 가까운 에너지 분포를 얻을 수 있고, 이를 통해 프릿의 폭(W) 전체에 걸쳐 균일한 에너지를 공급할 수 있다.
2개의 레이저빔(L)이 프릿이 도포된 방향(A)을 따라 진행하는 동안, 레이저빔들의 중심(LC)은 프릿의 폭(W) 이내에 위치하는 것이 바람직하다. 레이저빔의 중심(LC)의 에너지 강도가 가장자리보다 강하므로, 레이저빔의 중심(LC)이 프릿의 폭(W) 이내에 위치하는 것이 프릿(30)을 용융시키는 효율 측면에서 유리하다.
본 실시예에서 각도조정부(150)는 나사부재(151)와, 탄성부재(152)로 구성될 수 있다. 광파이버 브라켓(170)에 나사부재(151)와 탄성부재(152)를 서로 반대 방향을 향해 힘을 작용할 수 있도록 설치하고, 나사부재(151)를 조이고 푸는 과정을 반복하여, 집광렌즈(140)에 입사되는 레이저빔(L)의 입사각을 조정할 수 있다. 이러한 각도조정부(150)의 구성은 일례에 불과하며, 통상의 기술자가 창작할 수 있는 다양한 방식으로 구성할 수 있다.
상기 회전부(160)는, 집광렌즈의 광축(LA)을 회전축으로 하여 제1광파이버(120) 및 제2광파이버(130)를 회전시킨다.
도 4에 도시된 바와 같이, 프릿(30) 내부에 위치한 유기발광 소자를 밀봉시키기 위하여 프릿(30)은 폐곡선 형상으로 도포되어 있다. 즉, 프릿(30)은 상하 방향으로 도포된 구간과 좌우 방향으로 도포된 구간을 모두 포함하고 있다. 따라서, 프릿(30)이 상하 방향으로 도포된 구간에서의 가공이 종료되고 좌우 방향으로 도포된 구간으로 진행될 때, 집광렌즈의 광축(LA)을 회전축으로 하여 회전부(160)를 이용하여 제1광파이버(120) 및 제2광파이버(130)를 90도 정도 회전시킨다.
본 실시예에서 회전부(160)는 베어링(161)과, 베벨기어(162)와, 모터(163)로 구성될 수 있다. 광파이버 브라켓(170)과 집광렌즈 브라켓(141) 사이에 베어링(161)을 설치하여 집광렌즈 브라켓(141)에 대하여 광파이버 브라켓(170)을 회전 가능하게 하고, 광파이버 브라켓(170)의 상면에 베벨기어(162)의 종동기어부를 형성한다. 또한, 베벨기어(162)의 종동기어부와 맞물리는 베벨기어(162)의 구동기어부를 모터(163)의 회전축에 연결함으로써, 집광렌즈의 광축(LA)을 회전축으로 하여 제1광파이버(120) 및 제2광파이버(130)를 회전시킬 수 있다. 이러한 회전부(160)의 구성은 일례에 불과하며, 통상의 기술자가 창작할 수 있는 다양한 방식으로 구성할 수 있다.
한편, 프릿이 도포된 방향(A)을 따라 레이저빔(L)을 이송시키는 것은 광파이버(120,130), 집광렌즈(140), 각도조정부(150) 및 회전부(160)를 포함하는 레이저빔 출력부 자체를 직선이송시키는 직선이송유닛 또는 프릿(30)이 도포된 기판(10)을 직선이송시키는 직선이송유닛에 의해 구현될 수 있다. 갠트리 구조물 상에 장착된 레이저빔 출력부 또는 기판(10)이 안착된 기판 지지부를 직선이송시키기 위해서는, 리니어 모터, 회전모터와 볼 스크류를 조합한 구성 등 통상의 기술자에게 잘 알려진 구성을 채용할 수 있으므로, 더 이상의 상세한 설명은 생략한다.
상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 레이저를 이용한 프릿 실링장치는, 넓어진 프릿의 폭에 대응하기 위하여 프릿에 2개의 레이저빔을 조사하여 프릿의 폭 전체에 걸쳐 균일한 에너지를 공급함으로써, 폭이 넓은 프릿의 실링 품질을 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 레이저를 이용한 프릿 실링장치는, 2개의 레이저빔을 광파이버를 이용하여 각각 전송한 후 하나의 집광렌즈를 통해 프릿에 조사함으로써, 프릿 실링장치의 광학계를 간단하게 구성할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 레이저를 이용한 프릿 실링장치는, 광파이버들을 회전시킬 수 있는 회전부를 구비함으로써, 프릿이 도포된 임의의 방향에 대하여 프릿을 용이하게 가공할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
한편, 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저를 이용한 프릿 실링장치의 구성을 개괄적으로 도시한 도면이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저를 이용한 프릿 실링장치(200)는, 적어도 2개의 레이저빔을 프릿에 조사하여 유기발광 소자를 밀봉하기 위한 것으로서, 레이저부(110)와, 광파이버(220)와, 광분할부(280)와, 집광렌즈(240)와, 각도조정부(250)와, 회전부(260)를 포함한다.
도 5에 있어서, 도 2 내지 도 4에 도시된 부재들과 동일한 부재번호에 의해 지칭되는 부재들은 동일한 구성 및 기능을 가지는 것으로서, 그들 각각에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 광파이버(220)는, 하나의 레이저빔(L)을 전송한다. 본 실시예의 광파이버(220)는, 출사되는 레이저빔(L)의 단면 에너지 분포가 가우시안 분포를 보이는 것이 이용될 수도 있고, 출사되는 레이저빔(L)의 단면 에너지 분포가 균질하게 되어 플랫탑(flattop) 분포를 보이는 것이 이용될 수도 있다. 본 실시예에서 광파이버의 출력단(221)은 광파이버 브라켓(170)에 설치된다.
상기 광분할부(280)는, 광파이버(220)를 통해 전송된 레이저빔(L)을 2개의 레이저빔(L)으로 분할하기 위한 것으로서, 빔스플리터(281)와, 반사미러(282)를 포함한다.
상기 빔스플리터(281)는, 광파이버(220)를 통해 전송된 레이저빔(L)이 입사되고, 입사된 레이저빔(L) 중 일부는 투과시켜 집광렌즈(240) 측으로 전송하고, 나머지 일부는 반사시킨다. 상기 반사미러(282)는, 빔스플리터(281)에 의해 반사된 레이저빔(L)이 입사되고, 입사된 레이저빔(L)을 반사시켜 집광렌즈(240) 측으로 전송한다.
빔스플리터(281)와 반사미러(282)는 광파이버 브라켓(170) 내부에 설치될 수 있고, 하나의 광파이버(220)를 통해 전송된 레이저빔(L)은 광분할부(280)를 통해 2개의 레이저빔(L)으로 분할될 수 있다.
상기 집광렌즈(240)는, 광분할부(280)를 경유한 레이저빔들(L)이 입사되며, 입사된 레이저빔들(L)을 프릿(30) 상에 집광시킨다. 빔스플리터(281)를 경유한 레이저빔(L)과 반사미러(282)를 경유한 레이저빔(L)은 집광렌즈(240)의 서로 다른 영역으로 입사되고, 입사된 2개의 레이저빔(L)은 하나의 집광렌즈(240)를 통해 각각 집광되어 프릿(30) 상에 조사된다.
상기 각도조정부(250)는, 광분할부(280), 즉 빔스플리터(281)와 반사미러(282) 각각의 각도를 조정하기 위한 것으로서, 빔스플리터(281)를 경유한 레이저빔(L) 및 반사미러(282)를 경유한 레이저빔(L)이 집광렌즈(240)로 입사되는 입사각을 조정할 수 있다.
본 실시예의 각도조정부(250)는 빔스플리터(281) 및 반사미러(282) 각각을 회동할 수 있도록 설치됨으로써, 빔스플리터(281)를 투과, 반사되는 레이저빔(L) 및 반사미러(282)에 의해 반사되는 레이저빔(L)의 각도를 조정할 수 있다.
상기 회전부(260)는, 집광렌즈의 광축(LA)을 회전축으로 하여 광파이버(220) 및 광분할부(280)를 회전시킨다. 도 2에 도시된 실시예와 마찬가지로, 회전부(260)는 베어링(161)과, 베벨기어(162)와, 모터(163)로 구성될 수 있다.
상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 레이저를 이용한 프릿 실링장치는, 하나의 광파이버를 이용하여 레이저빔을 전송하고 광분할부를 이용하여 이를 2개의 레이저빔으로 분할하는 광학계를 구비함으로써, 프릿이 도포되는 방향이 변경되는 구간에서 광파이버의 회전을 용이하게 할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
10 : 기판
20 : 유기발광 소자
30 : 프릿
100 : 레이저를 이용한 프릿 실링장치
120 : 제1광파이버
130 : 제2광파이버
140 : 집광렌즈
150 : 각도조정부
160 : 회전부

Claims (6)

  1. 레이저빔을 전송하는 제1광파이버;
    레이저빔을 전송하는 제2광파이버;
    상기 제1광파이버 및 상기 제2광파이버를 통해 전송된 레이저빔들이 입사되며, 입사된 레이저빔들을 프릿(frit) 상에 집광시키는 집광렌즈;
    상기 제1광파이버로부터 출사되는 레이저빔 및 상기 제2광파이버로부터 출사되는 레이저빔이 상기 집광렌즈로 입사되는 입사각을 조정하기 위하여, 상기 제1광파이버의 출력단 및 상기 제2광파이버의 출력단의 각도를 조정하는 각도조정부; 및
    상기 집광렌즈의 광축을 회전축으로 하여 상기 제1광파이버 및 상기 제2광파이버를 회전시키는 회전부;를 포함하며,
    상기 집광렌즈에 의해 집광된 2개의 레이저빔의 중심은, 상기 프릿이 도포된 방향과 교차하는 방향을 따라 서로 이격되게 배치되고, 상기 프릿의 폭 이내에 위치하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 프릿 실링장치.
  2. 삭제
  3. 레이저빔을 전송하는 광파이버;
    상기 광파이버를 통해 전송된 레이저빔을 2개의 레이저빔으로 분할하는 광분할부;
    상기 광분할부를 경유한 레이저빔들이 입사되며, 입사된 레이저빔들을 프릿(frit) 상에 집광시키는 집광렌즈;
    상기 광분할부를 경유한 레이저빔들이 상기 집광렌즈로 입사되는 입사각을 조정하기 위하여, 상기 광분할부의 각도를 조정하는 각도조정부; 및
    상기 집광렌즈의 광축을 회전축으로 하여 상기 광파이버 및 상기 광분할부를 회전시키는 회전부;를 포함하며,
    상기 집광렌즈에 의해 집광된 2개의 레이저빔의 중심은, 상기 프릿이 도포된 방향과 교차하는 방향을 따라 서로 이격되게 배치되고, 상기 프릿의 폭 이내에 위치하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 프릿 실링장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 광분할부는,
    상기 광파이버를 통해 전송된 레이저빔이 입사되고, 입사된 레이저빔 중 일부는 투과시켜 상기 집광렌즈 측으로 전송하고, 나머지 일부는 반사시키는 빔스플리터; 및
    상기 빔스플리터에 의해 반사된 레이저빔이 입사되고, 입사된 레이저빔을 반사시켜 상기 집광렌즈 측으로 전송하는 반사미러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 프릿 실링장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
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