KR101065641B1 - 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법 - Google Patents

평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101065641B1
KR101065641B1 KR1020090062451A KR20090062451A KR101065641B1 KR 101065641 B1 KR101065641 B1 KR 101065641B1 KR 1020090062451 A KR1020090062451 A KR 1020090062451A KR 20090062451 A KR20090062451 A KR 20090062451A KR 101065641 B1 KR101065641 B1 KR 101065641B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask
laser beam
axis
irradiated
stage
Prior art date
Application number
KR1020090062451A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20110004990A (ko
Inventor
박홍진
최이호
한재봉
전광진
송주종
서종현
이정현
엄태현
Original Assignee
주식회사 엘티에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엘티에스 filed Critical 주식회사 엘티에스
Priority to KR1020090062451A priority Critical patent/KR101065641B1/ko
Publication of KR20110004990A publication Critical patent/KR20110004990A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101065641B1 publication Critical patent/KR101065641B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/0102—Constructional details, not otherwise provided for in this subclass
    • G02F1/0107—Gaskets, spacers or sealing of cells; Filling and closing of cells
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

본 발명은 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법에 관한 것으로서, 본 발명의 평판 표시장치의 밀봉시스템은, 밀봉재에 의해 가결합된 한 쌍의 기판이 탑재되며, X축 및 상기 X축에 교차하는 Y축 방향을 따라 이송 가능하며, 상기 X축 및 상기 Y축에 교차하는 Z축을 중심으로 회전 가능한 기판 스테이지; 상기 한 쌍의 기판 사이에 배치된 밀봉재에 대응하는 위치에 배치된 투과 영역을 구비하는 마스크; 상기 마스크가 탑재되며, 상기 X축 및 상기 Y축 방향을 따라 이송 가능하고 상기 Z축을 중심으로 회전 가능하며, 상기 Z축 방향을 따라 상기 기판 스테이지의 상측에 배치되는 마스크 스테이지; 및 상기 마스크의 투과 영역을 통과하여 상기 밀봉재 측으로 레이저빔을 선택적으로 조사하기 위하여 레이저빔을 전송하는 다수의 광섬유가 일렬로 배치되는 레이저 헤드;를 포함하며, 상기 기판 스테이지 또는 상기 마스크 스테이지 중 하나는 상기 Z축 방향을 따라 이송 가능한 것을 특징으로 한다.

Description

평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법 {SEALING APPARATUS AND SEALING MERHOD FOR FLAT PANEL DISPLAY}
본 발명은 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 레이저 발진기와 연결된 다수의 광섬유를 이용하여 밀봉재에 레이저빔을 선택적으로 조사하여 복수의 유기 발광 표시장치를 동시에 효과적으로 밀봉할 수 있는 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 방법에 관한 것이다.
현재 널리 사용되고 있는 평판 표시장치(FPD, flat panel display)로는 액정 표시장치(LCD, liquid crystal display)와, 플라즈마 표시장치(PDP, plasma display panel)와, 유기 발광 표시장치(OLED, organic light emitting display)와, 그리고 전계 방출 표시장치(FED, field emission display) 등을 들 수 있다.
이러한 평판 표시장치는 주로 서로 마주하는 한 쌍의 기판, 각각의 기판 또는 하나의 기판에 형성되어 있는 한 쌍의 전극, 한 쌍의 전극 사이에 형성되어 있는 전기 광학 활성층 및 전기 광학 활성층이 외부로 유출되거나 외부로부터 오염되는 것을 방지하기 위하여 기판의 둘레에 형성되어 있는 밀봉재를 포함한다.
이중 유기 발광 표시장치는 매우 밝으며 양호한 색 대비비를 가지는 동시에 넓은 시야각을 얻을 수 있어, 다양한 발광 소자로서 최근에 매우 활발히 연구가 진행되고 있다. 유기 발광 표시장치의 경우 전기 광학 활성층으로 유기 발광층을 포함한다.
이러한, 유기 발광 표시장치의 전기 광학 활성층인 유기 발광층은 주위의 환경으로부터 산소 및 습기 등과 같은 물질이 유입되면, 이들과 쉽게 상호 작용하여 붕괴되기 쉬운 문제점이 있다. 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 유기 발광층을 주위의 환경으로부터 신속하게 완전히 밀봉하는 것이 요구된다.
이를 위하여, 유리밀봉재(frit)를 밀봉재로 이용하는 기술이 제안되었다.
이러한 밀봉 방법은, 유리밀봉재로 복수 개의 셀이 정의된 기판과, 유기 발광층, 전극 및 구동 소자 등을 갖춘 기판을 서로 평행하게 정렬한 후, 유리밀봉재를 가열하여 연화(softening)시킨 후 냉각하여 두 기판을 결합하는 것이다.
이러한 종래의 밀봉 방법에서는, 특히 유기 발광 표시장치와 같이 사이즈가 작고 열에 약한 전기 광학 활성층을 갖는 경우, 유리밀봉재의 가열시 전극이나 전기 광학 활성층이 열영향을 받는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 밀봉 방법으로는 최근에 그 활용도가 대폭 증가하고 표시장치의 수요에 부응하여 표시장치를 대량으로 생산할 수 없으며, 표시장치의 양품 수득률 또한 떨어지는 문제점이 있었다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 평판 표시장치용 한 쌍의 기판 사이를 용이하고 신속하게 밀봉하는 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 최근 대폭 증가하고 있는 평판 표시장치의 수요에 부응하여 평판 표시장치를 대량으로 생산할 수 있으며, 평판 표시장치의 양품 수득율을 높일 수 있는 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법을 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 평판 표시장치의 밀봉시스템은, 밀봉재에 의해 가결합된 한 쌍의 기판이 탑재되며, X축 및 상기 X축에 교차하는 Y축 방향을 따라 이송 가능하며, 상기 X축 및 상기 Y축에 교차하는 Z축을 중심으로 회전 가능한 기판 스테이지; 상기 한 쌍의 기판 사이에 배치된 밀봉재에 대응하는 위치에 배치된 투과 영역을 구비하는 마스크; 상기 마스크가 탑재되며, 상기 X축 및 상기 Y축 방향을 따라 이송 가능하고 상기 Z축을 중심으로 회전 가능하며, 상기 Z축 방향을 따라 상기 기판 스테이지의 상측에 배치되는 마스크 스테이지; 상기 마스크의 투과 영역을 통과하여 상기 밀봉재 측으로 레이저빔을 선택적으로 조사하기 위하여 레이저빔을 전송하는 다수의 광섬유가 일렬로 배치되는 레이저 헤드; 및 상기 레이저 헤드로부터 조사되는 레이저빔 중 상기 마스크에 의해 반사되는 레이저빔을 흡수하는 댐퍼;를 포함하며, 상기 기판 스테이지 또는 상기 마스크 스테이지 중 하나는 상기 Z축 방향을 따라 이송 가능하며, 상기 레이저 헤드로부터 조사되는 레이저빔은 상기 기판에 대하여 일정 각도 경사지게 조사되며, 상기 마스크에 의해 반사되는 레이저빔은 상기 댐퍼에 의해 흡수되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 평판 표시장치의 밀봉시스템에 있어서, 바람직하게는, 상기 한 쌍의 기판에는 평판 표시장치에 대응하는 셀 영역이 복수 개 마련되고, 각각의 셀 영역은 상기 밀봉재에 의해 구획된다.
삭제
본 발명의 평판 표시장치의 밀봉시스템에 있어서, 바람직하게는, 상기 댐퍼는 상기 레이저빔을 흡수하는 다수의 요철구조로 이루어진 흡수부와, 상기 흡수부를 냉각시키는 냉각부를 포함한다.
본 발명의 평판 표시장치의 밀봉시스템에 있어서, 바람직하게는, 상기 레이저 헤드로부터 상기 마스크에 조사되는 레이저빔이 상기 마스크와 이루는 입사각과, 상기 마스크에 의해 반사되어 상기 댐퍼에 입사되는 레이저빔이 상기 마스크와 이루는 반사각이 실질적으로 동일하도록, 상기 댐퍼는 상기 마스크에 대하여 경사지게 설치된다.
본 발명의 평판 표시장치의 밀봉시스템에 있어서, 바람직하게는, 상기 레이저 헤드는 상기 광섬유들이 일렬로 배열되도록 고정하는 브라켓과, 상기 광섬유들로부터 조사되는 레이저빔을 집속하는 집속렌즈를 더 포함한다.
본 발명의 평판 표시장치의 밀봉시스템에 있어서, 바람직하게는, 상기 광섬유들 중 상기 투과 영역의 상측에 위치하는 광섬유로부터 레이저빔이 조사되도록, 각각의 광섬유로부터의 레이저빔의 온오프 여부를 제어하는 제어부를 더 포함한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 평판 표시장치의 밀봉방법은, 복수 개의 셀 영역을 구획하는 밀봉재가 배치된 한 쌍의 기판을, X축 및 상기 X축에 교차하는 Y축 방향을 따라 이송 가능하며 상기 X축 및 상기 Y축에 교차하는 Z축을 중심으로 회전 가능한 기판 스테이지에 탑재하는 기판 탑재단계; 상기 밀봉재에 대응하는 위치에 배치된 투과 영역을 구비하는 마스크를, 상기 X축 및 상기 Y축 방향을 따라 이송 가능하고 상기 Z축을 중심으로 회전 가능하며 상기 기판 스테이지의 상측에 배치된 마스크 스테이지에 탑재하는 마스크 탑재단계; 상기 기판 스테이지 또는 상기 마스크 스테이지를 이송 또는 회전시켜 상기 밀봉재와 상기 마스크의 투과 영역이 일치하도록 정렬하는 정렬단계; 상기 기판 스테이지 또는 상기 마스크 스테이지 중 하나는 상기 Z축 방향을 따라 이송 가능하며, 상기 기판 스테이지 또는 상기 마스크 스테이지 중 하나를 상기 Z축 방향을 따라 이송시켜 상기 기판과 상기 마스크를 밀착시키는 밀착단계; 및 일렬로 배치되는 다수의 광섬유를 통해 상기 투과 영역을 통과하여 상기 밀봉재에 레이저빔을 조사하는 레이저빔 조사단계;를 포함하며, 상기 레이저빔 조사단계에서는, 조사되는 레이저빔은 상기 기판에 대하여 일정 각도 경사지게 조사되며, 조사되는 레이저빔 중 상기 마스크에 의해 반사되는 레이저빔은 댐퍼에 의해 흡수되는 것을 특징으로 한다.
삭제
본 발명의 평판 표시장치의 밀봉방법에 있어서, 바람직하게는, 상기 레이저빔 조사단계에서는, 상기 마스크에 조사되는 레이저빔이 상기 마스크와 이루는 입사각과, 상기 마스크에 의해 반사되어 상기 댐퍼에 입사되는 레이저빔이 상기 마스크와 이루는 반사각이 실질적으로 동일하도록, 상기 댐퍼는 상기 마스크에 대하여 경사지게 설치된다.
본 발명의 평판 표시장치의 밀봉방법에 있어서, 바람직하게는, 상기 레이저빔 조사단계에서는, 상기 투과 영역의 상측에 위치하는 광섬유로부터 레이저빔이 조사되도록, 각각의 광섬유로부터의 레이저빔의 온오프 여부가 제어된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 대면적화 되어가는 평판 표시장치에 대응하여 전면적으로 레이저빔을 조사하여 복수 셀 영역의 유리밀봉재를 일괄적으로 가열하여 평판 표시장치를 용이하고 신속하게 밀봉할 수 있다.
또한, 일렬로 배열된 다수의 광섬유를 선택적으로 온오프시켜서 형성한 레이저빔을 평판 표시장치 측으로 조사하여 복수 개의 소형 평판 표시장치를 동시에 대량으로 생산할 수 있다.
또한, 기판 스테이지 및 마스크 스테이지를 복층구조로 배치하여 기판과 마스크의 정렬을 용이하게 할 수 있고, 레이저빔을 기판에 대해서 경사지게 조사할 수 있어서 유리밀봉재에 대한 가공효율을 증가시킬 수 있다.
또한, 레이저 헤드로부터 조사되는 레이저빔이 기판에 대하여 경사지게 조사되도록 레이저빔상기 헤드유닛의 회동각도에 맞대응하는 회동각도로 회동가능한 댐퍼유닛을 구비하여 레이저빔 중 일부가 마스크에 의해 반사되더라도 이를 완전 소멸시켜 주변이 레이저빔으로 오염되거나 손상되지 않도록 할 수 있다.
또한, 마스크 및 레이저 헤드의 수명을 증가시킬 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법을 이용하여 완성된 유기 발광 표시장치의 평면도이고, 도 2는 도 1의 유기 발광 표시장치를 Ⅱ-Ⅱ' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예를 통하여 제조된 유기 발광 표시장치(1)는 서로 마주하는 한 쌍의 기판(10,20)와, 한 쌍의 기판(10,20) 사이에 형성되어 있는 밀봉재(30)와, 한 쌍의 기판(10,20) 중 하나에 형성되어 있는 복수 개의 유기 발광 소자(40)를 포함한다.
일반적으로 유기 발광 소자(40)는 도면에 구체적으로 도시하지 않았지만 애노드 전극, 캐소드 전극 및 이들 사이에 형성되어 있는 유기 발광층을 포함하며, 이들과 전기적으로 연결되어 구동하기 위한 구동 박막 소자를 포함할 수 있다.
상부 기판(20) 및 하부 기판(10)은 투명한 재질로 이루어져 있으며, 후면 발광 또는 전면 발광 방식에 따라 두 기판(10,20) 중 하나는 불투명 기판일 수 있다.
밀봉재(30)는 특정 파장의 빛을 잘 흡수하는 물질이 도핑된 유리밀봉재(frit)이며, 이를 용융시켜 형성된다. 밀봉재(30)는 철, 구리, 바나듐 및 네오디늄을 포함하는 군으로부터 선택된 하나 또는 그 이상의 흡수 이온을 함유하는 저온 유리밀봉재이다. 또한, 밀봉재(30)는 두 기판(10,20)의 열팽창 계수에 정합하거나 실질적으로 정합하도록 열팽창 계수를 낮추는 충전재(예를 들어, 전환 충전재, 부가 충전재)로 도핑될 수 있으며, 두 기판(10,20)을 결합하기 전에 소결될 수 있다.
이러한 유기 발광 표시장치(1)의 제조 방법에서는, 유기 발광 소자(40) 및 회로(circuitry)가 하부 기판(10)에 제공되며, 밀봉재(30)는 상부 기판(20) 및 하부 기판(10)의 둘레를 따라 폐곡선 모양으로 제공된다.
두 기판(10,20)은 정렬되어 밀봉재(30)에 의해 가결합된 후, 평판 표시장치의 밀봉시스템에 탑재된다. 이후, 밀봉재(30)가 레이저빔에 의해 가열되어 용융되면서 두 기판(10,20)은 완전히 밀봉된다. 본 실시예의 기판에는 복수 개의 셀 영역이 마련되고, 각각의 셀 영역은 밀봉재(30)에 의해 구획된다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시장치의 밀봉시스템에 대하여 구체적으로 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시장치의 밀봉시스템을 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 4는 도 3의 평판 표시장치의 밀봉시스템에서 마스크, 기판 및 레이저 헤드의 배치 구조를 도시한 배치도이고, 도 5는 도 3의 평판 표시장치의 밀봉시스템의 댐퍼의 개략도이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 실시예의 평판 표시장치의 밀봉시스템(100)은, 기판 스테이지(110)와, 마스크(120)와, 마스크 스테이지(130)와, 레이저빔을 조사하는 레이저 헤드(140)와, 댐퍼(150)를 포함한다.
상기 기판 스테이지(110)는, X축 및 Y축 방향을 따라 이송 가능하며, Z축을 중심으로 회전 가능하게 설치된다. 이때, Y축은 평면상에서 X축에 대하여 수직으로 교차하고, Z축은 X축 및 Y축에 대하여 각각 수직으로 교차하도록 구성된다.
기판 스테이지(110)는 밀봉재(30)에 의해 가결합된 한 쌍의 기판(10,20)이 탑재되는 탑재 위치와 Z축 방향에 대하여 높이를 달리하며 후술할 마스크 스테이지(130)의 하측에 배치되는 가공 위치 사이에 왕복 가능하며, 제1레일(111)에 의해서 X축 방향을 따라서 탑재 위치와 가공 위치 사이를 왕복 이송된다. 한 쌍의 기판(10,20) 사이에는 밀봉재(30)에 의해서 구획된 복수 개의 유기 발광 표시장치(1, 도 1 참조)를 포함한다.
본 실시예에서 기판 스테이지(110)는 X축 및 Y축 방향을 따라 이송 가능할 뿐만 아니라, Z축 방향을 따라 이송 가능하다.
한 쌍의 기판(10,20)은 밀봉재(30)에 의해 가결합된 상태로 기판 스테이지(110) 상에 배치된 후 마스크 스테이지(130)의 하측으로 이송되고, 기판 스테이지(110)는 X축 및 Y축 방향을 따라 미세 이송되고 Z축 방향을 따라 미세 회전되면서 기판(10,20)이 정렬될 수 있다.
상기 마스크(120)는, 한 쌍의 기판(10,20) 사이에 배치된 밀봉재(30)에 대응하는 위치에 배치된 투과 영역(121)을 구비한다. 레이저빔(L)은 투과 영역(121)을 통과하여 마스크(120)의 하측에 배치된 기판(10,20)에 도달되며, 기판(10,20)에 도달된 레이저빔에 의해 밀봉재(30)가 부분적으로 용융되면서 기판(10,20)의 합착이 이루어진다.
상기 마스크 스테이지(130)는, X축 및 Y축 방향을 따라 이송 가능하고, Z축을 중심으로 회전 가능하며, Z축 방향을 따라 기판 스테이지(110)의 상측에 배치된다. 마스크 스테이지(130)에는 마스크(120)가 탑재된다.
마스크 스테이지(130)는 마스크(120)가 탑재되는 탑재 위치와 Z축 방향에 대하여 기판 스테이지(110)의 상측에 배치되는 가공 위치 사이에 왕복 가능하며, 제2레일(131)에 의해서 X축 방향을 따라서 탑재 위치와 가공 위치 사이를 왕복 이송된다.
마스크 스테이지(130) 역시 X축 및 Y축 방향을 따라 미세 이송되고 Z축 방향을 따라 미세 회전되면서 마스크(120)가 정렬될 수 있다. 그러나, 기판(10,20)과 마스크(120)의 정렬 과정에서 마스크 스테이지(130)는 고정된 상태로 두고, 기판 스테이지(110) 만을 미세 이송 또는 미세 회전시켜서 기판(10,20)과 마스크(120)를 용이하게 정렬시킬 수 있다.
기판(10,20) 및 마스크(120)에는 정렬마크(11,12,122)가 형성되어 있다. 카메라(171)를 이용하여 이들 정렬마크(11,12,122)를 인식하고, 기판의 정렬마크(11,12)와 마스크의 정렬마크(122)가 일치하도록 기판 스테이지(110) 및 마스크 스테이지(130)를 미세 이송 또는 미세 회전시키면서 기판(10,20)과 마스크(120)를 정렬한다.
상기 레이저 헤드(140)는, 마스크의 투과 영역(121)을 통과하여 밀봉재(30) 측으로 레이저빔(L)을 선택적으로 조사하기 위하여 레이저빔(L)을 전송하는 다수의 광섬유(141)가 일렬로 배치된다. 레이저 헤드(140)는 광섬유(141)들이 일렬로 배열되도록 고정하는 브라켓(142)과, 광섬유(141)들로부터 조사되는 레이저빔(L)을 집속하는 집속렌즈(미도시)를 더 포함한다.
레이저 헤드(140)는 X축 이송부(161), Y축 이송부(162) 및 Z축 이송부(163)에 의해 각각 X축, Y축 및 Z축 방향을 따라서 상하 방향으로 이송될 수 있다.
상기 댐퍼(150)는, 레이저 헤드(140)로부터 조사되는 레이저빔(L) 중 마스크(120)에 의해 반사되는 레이저빔을 흡수하며, 레이저빔(L)을 흡수하는 다수의 요철구조(152)로 이루어진 흡수부(151)와, 흡수부(151)를 냉각시키는 냉각부(153)를 포함한다.
레이저 헤드(140)로부터 조사되는 레이저빔(L)은 기판(10,20) 또는 마스크(120)에 대하여 일정 각도 경사지게 조사되며, 마스크(120)에 의해 반사되는 레이저빔(L)은 댐퍼(150)에 의해 흡수된다.
본 실시예의 댐퍼(150)는, 레이저 헤드(140)로부터 마스크(120)에 조사되는 레이저빔(L)이 마스크(120)와 이루는 입사각(θ1)과, 마스크(120)에 의해 반사되어 댐퍼(150)에 입사되는 레이저빔(L)이 마스크(120)와 이루는 반사각(θ2)이 실질적으로 동일하도록, 마스크(120)에 대하여 경사지게 설치된다. 이와 같은 댐퍼(150)의 설치 각도로 인해 기판(10,20)에 조사된 후 마스크(120)에 의해 반사되는 레이저빔(L)의 대부분이 댐퍼(150)에 흡수되어 외부로의 레이저빔의 누출을 최소화시킬 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시장치의 밀봉방법을 설명하기 위한 개략도이다.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 실시예의 평판 표시장치의 밀봉방법은, 기판 탑재단계와, 마스크 탑재단계와, 정렬단계와, 밀착단계와, 레이저빔 조사단계를 포함한다.
상기 기판 탑재단계에서는, 복수 개의 셀 영역을 구획하는 밀봉재(30)가 배치된 한 쌍의 기판(10,20)을 기판 스테이지(110)에 탑재한다. 한 쌍의 기판(10,20)은 밀봉재(30)에 의해서 가결합된 상태이다.
상기 마스크 탑재단계에서는, 밀봉재(30)에 대응하는 위치에 배치된 투과 영역(121)을 구비하는 마스크(120)를, 기판 스테이지(110)의 상측에 배치된 마스크 스테이지(130)에 탑재한다.
이후, 기판 스테이지(110)와 마스크 스테이지(130)를 X축 방향을 따라 가공 위치로 이송시켜 마스크 스테이지(130)가 상측, 기판 스테이지(110)가 하측에 배치되도록 한다.
상기 정렬단계에서는, 기판 스테이지(110) 또는 마스크 스테이지(130)를 이송 또는 회전시켜 기판(10,20) 사이에 배치된 밀봉재(30)와 마스크의 투과 영역(121)이 일치하도록 정렬한다. 정렬마크(11,12,122)의 이미지 획득 후 미세 조정을 통하여 유기 발광 표시장치(1)의 밀봉재(30)와 투과 영역(121)이 정확하게 대응되도록 정렬한다.
상기 밀착단계에서는, 기판 스테이지(110)를 Z축 방향을 따라 상승시켜 기판(10,20)과 마스크(120)를 밀착시킨다.
상기 레이저빔 조사단계에서는 일렬로 배치되는 다수의 광섬유(141)를 통해 투과 영역(121)을 통과하여 밀봉재(30)에 레이저빔(L)을 조사한다. 레이저빔(L)을 조사하여 복수 개의 밀봉재(30)를 동시에 가열함으로써 두 기판(10,20) 사이를 밀봉할 수 있다.
이때, 조사되는 레이저빔(L)은 기판(10,20)에 대하여 일정 각도 경사지게 조사되며, 마스크(120)에 의해 반사되는 레이저빔(L)은 댐퍼(150)에 의해 흡수된다. 레이저빔(L)이 경사지게 조사됨으로써 다면적을 한번에 밀봉할 수 있으며, 수직하게 조사되는 광에 의해서 마스크(120)가 손상되는 것을 방지할 수도 있다.
또한, 레이저빔 조사단계에서의 댐퍼(150)는 마스크(120)에 의해 반사되는 레이저빔(L)을 최대한 흡수할 수 있는 위치로 설치된다. 즉, 마스크(120)에 조사되는 레이저빔(L)이 마스크(120)와 이루는 입사각(θ1)과, 마스크(120)에 의해 반사되어 댐퍼(150)에 입사되는 레이저빔(L)이 마스크(120)와 이루는 반사각(θ2)이 실질적으로 동일하도록, 댐퍼(150)는 마스크(120)에 대하여 경사지게 설치된다.
또한, 레이저빔 조사단계에서는, 투과 영역(121)의 상측에 위치하는 광섬유(141)로부터 레이저빔(L)이 조사되도록, 각각의 광섬유(141)로부터의 레이저빔(L)의 온오프 여부가 제어된다. 도 6을 참조하면, 레이저 헤드(140)의 단면을 도시한 것으로서, '●'은 투과 영역(121)에 상측에 위치하는 광섬유(141)를 통해 레이저빔(L)이 전송되어 기판(10,20) 측으로 레이저빔(L)이 조사되는 것을 표시하 고, '○'은 마스크(120)에서 투과 영역(121) 이외의 영역에 광섬유(141)가 위치하여 그 광섬유(141)를 통해서는 레이저빔(L)이 전송되지 않는 것을 표시한다.
상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법은, 복수의 셀 영역을 포함하는 대면적의 기판 측으로 전면적에 걸쳐 레이저빔을 조사하여 복수의 셀 영역의 밀봉재를 일괄적으로 가열하여 밀봉 공정을 진행할 수 있으므로, 복수의 평판 표시장치를 용이하고 신속하게 밀봉할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명의 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법은, 대면적의 기판 상의 복수 개의 평판 표시장치에 대해서 한 번에 초점을 잡을 수 있고 밀봉재를 가열하는 에너지를 균일하게 유지할 수 있고, 양품 수득률을 증가시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명의 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법은, 투과 영역의 상측에 위치하는 광섬유를 통해서만 레이저빔을 조사함으로써, 레이저 소스의 쓸데없는 소모를 방지할 수 있고, 마스크에 의해 반사되는 레이저빔의 위험성을 최대한 줄일 수 있으며, 다른 전기적 광학적 소자에 영향을 주지않고 밀봉재만을 일정한 온도로 균일하게 용융시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
본 실시예의 밀봉 기술들이 완전 밀봉된 유기 발광 표시장치의 제조와 관련하여 기술되었지만, 폭넓은 다양한 응용 및 장치에 사용될 수 있는 2개의 기판을 서로 밀봉하는데 동일하거나 유사한 밀봉 기술들이 사용될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 밀봉 기술들은 제한된 방식으로 해석되지 않 을 것이다.
본 실시예에 있어서 평판 표시장치로 유기 발광 표시장치를 예를 들어 설명하나, 평판 표시장치는 이에 제한되지 않고 액정 표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 표시장치(PDP, plasma display panel), 또는 전계 방출 표시장치(FED, field emission display)일 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법을 이용하여 완성된 유기 발광 표시장치의 평면도이고,
도 2는 도 1의 유기 발광 표시장치를 Ⅱ-Ⅱ' 선을 따라 절단한 단면도이고,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시장치의 밀봉시스템을 개략적으로 도시한 평면도이고,
도 4는 도 3의 평판 표시장치의 밀봉시스템에서 마스크, 기판 및 레이저 헤드의 배치 구조를 도시한 배치도이고,
도 5는 도 3의 평판 표시장치의 밀봉시스템의 댐퍼의 개략도이고,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시장치의 밀봉방법을 설명하기 위한 개략도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100: 평판 표시장치의 밀봉시스템 110: 기판 스테이지
120: 마스크 121: 투과 영역
130: 마스크 스테이지 140: 레이저 헤드
141: 광섬유 150: 댐퍼

Claims (11)

  1. 밀봉재에 의해 가결합된 한 쌍의 기판이 탑재되며, X축 및 상기 X축에 교차하는 Y축 방향을 따라 이송 가능하며, 상기 X축 및 상기 Y축에 교차하는 Z축을 중심으로 회전 가능한 기판 스테이지;
    상기 한 쌍의 기판 사이에 배치된 밀봉재에 대응하는 위치에 배치된 투과 영역을 구비하는 마스크;
    상기 마스크가 탑재되며, 상기 X축 및 상기 Y축 방향을 따라 이송 가능하고 상기 Z축을 중심으로 회전 가능하며, 상기 Z축 방향을 따라 상기 기판 스테이지의 상측에 배치되는 마스크 스테이지;
    상기 마스크의 투과 영역을 통과하여 상기 밀봉재 측으로 레이저빔을 선택적으로 조사하기 위하여 레이저빔을 전송하는 다수의 광섬유가 일렬로 배치되는 레이저 헤드; 및
    상기 레이저 헤드로부터 조사되는 레이저빔 중 상기 마스크에 의해 반사되는 레이저빔을 흡수하는 댐퍼;를 포함하며,
    상기 기판 스테이지 또는 상기 마스크 스테이지 중 하나는 상기 Z축 방향을 따라 이송 가능하며,
    상기 레이저 헤드로부터 조사되는 레이저빔은 상기 기판에 대하여 일정 각도 경사지게 조사되며, 상기 마스크에 의해 반사되는 레이저빔은 상기 댐퍼에 의해 흡수되는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 밀봉시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 기판에는 평판 표시장치에 대응하는 셀 영역이 복수 개 마련되고, 각각의 셀 영역은 상기 밀봉재에 의해 구획되는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 밀봉시스템.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 댐퍼는 상기 레이저빔을 흡수하는 다수의 요철구조로 이루어진 흡수부와, 상기 흡수부를 냉각시키는 냉각부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 밀봉시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 레이저 헤드로부터 상기 마스크에 조사되는 레이저빔이 상기 마스크와 이루는 입사각과, 상기 마스크에 의해 반사되어 상기 댐퍼에 입사되는 레이저빔이 상기 마스크와 이루는 반사각이 실질적으로 동일하도록, 상기 댐퍼는 상기 마스크에 대하여 경사지게 설치되는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 밀봉시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 레이저 헤드는 상기 광섬유들이 일렬로 배열되도록 고정하는 브라켓과, 상기 광섬유들로부터 조사되는 레이저빔을 집속하는 집속렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 밀봉시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 광섬유들 중 상기 투과 영역의 상측에 위치하는 광섬유로부터 레이저빔이 조사되도록, 각각의 광섬유로부터의 레이저빔의 온오프 여부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 밀봉시스템.
  8. 복수 개의 셀 영역을 구획하는 밀봉재가 배치된 한 쌍의 기판을, X축 및 상기 X축에 교차하는 Y축 방향을 따라 이송 가능하며 상기 X축 및 상기 Y축에 교차하는 Z축을 중심으로 회전 가능한 기판 스테이지에 탑재하는 기판 탑재단계;
    상기 밀봉재에 대응하는 위치에 배치된 투과 영역을 구비하는 마스크를, 상기 X축 및 상기 Y축 방향을 따라 이송 가능하고 상기 Z축을 중심으로 회전 가능하며 상기 기판 스테이지의 상측에 배치된 마스크 스테이지에 탑재하는 마스크 탑재단계;
    상기 기판 스테이지 또는 상기 마스크 스테이지를 이송 또는 회전시켜 상기 밀봉재와 상기 마스크의 투과 영역이 일치하도록 정렬하는 정렬단계;
    상기 기판 스테이지 또는 상기 마스크 스테이지 중 하나는 상기 Z축 방향을 따라 이송 가능하며, 상기 기판 스테이지 또는 상기 마스크 스테이지 중 하나를 상기 Z축 방향을 따라 이송시켜 상기 기판과 상기 마스크를 밀착시키는 밀착단계; 및
    일렬로 배치되는 다수의 광섬유를 통해 상기 투과 영역을 통과하여 상기 밀봉재에 레이저빔을 조사하는 레이저빔 조사단계;를 포함하며,
    상기 레이저빔 조사단계에서는, 조사되는 레이저빔은 상기 기판에 대하여 일정 각도 경사지게 조사되며, 조사되는 레이저빔 중 상기 마스크에 의해 반사되는 레이저빔은 댐퍼에 의해 흡수되는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 밀봉방법.
  9. 삭제
  10. 제8항에 있어서,
    상기 레이저빔 조사단계에서는,
    상기 마스크에 조사되는 레이저빔이 상기 마스크와 이루는 입사각과, 상기 마스크에 의해 반사되어 상기 댐퍼에 입사되는 레이저빔이 상기 마스크와 이루는 반사각이 실질적으로 동일하도록, 상기 댐퍼는 상기 마스크에 대하여 경사지게 설치되는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 밀봉방법.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 레이저빔 조사단계에서는,
    상기 투과 영역의 상측에 위치하는 광섬유로부터 레이저빔이 조사되도록, 각각의 광섬유로부터의 레이저빔의 온오프 여부가 제어되는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 밀봉방법.
KR1020090062451A 2009-07-09 2009-07-09 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법 KR101065641B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090062451A KR101065641B1 (ko) 2009-07-09 2009-07-09 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090062451A KR101065641B1 (ko) 2009-07-09 2009-07-09 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110004990A KR20110004990A (ko) 2011-01-17
KR101065641B1 true KR101065641B1 (ko) 2011-09-19

Family

ID=43612294

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090062451A KR101065641B1 (ko) 2009-07-09 2009-07-09 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101065641B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030067232A (ko) * 2002-02-07 2003-08-14 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Ｕｖ조사장치 및 그를 이용한 액정표시소자의 제조방법
KR20050052861A (ko) * 2003-12-01 2005-06-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시 패널의 시일재 경화 장치
KR20070083149A (ko) * 2006-02-20 2007-08-23 삼성에스디아이 주식회사 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기전계 발광표시장치의제조방법
KR100837618B1 (ko) * 2006-12-29 2008-06-13 주식회사 엘티에스 유리기판의 밀봉시스템 및 밀봉방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030067232A (ko) * 2002-02-07 2003-08-14 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Ｕｖ조사장치 및 그를 이용한 액정표시소자의 제조방법
KR20050052861A (ko) * 2003-12-01 2005-06-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시 패널의 시일재 경화 장치
KR20070083149A (ko) * 2006-02-20 2007-08-23 삼성에스디아이 주식회사 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기전계 발광표시장치의제조방법
KR100837618B1 (ko) * 2006-12-29 2008-06-13 주식회사 엘티에스 유리기판의 밀봉시스템 및 밀봉방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110004990A (ko) 2011-01-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6666838B2 (ja) ラミネート封着シート
KR101565183B1 (ko) 유리 외피 실링 방법
US8654304B2 (en) Flat panel display and manufacturing method thereof
US7371143B2 (en) Optimization of parameters for sealing organic emitting light diode (OLED) displays
KR101453878B1 (ko) 평판 표시장치의 제조방법
CN101536133B (zh) 制造玻璃包封的方法
JP5530233B2 (ja) シーリング装置
EP2745974B1 (en) Laser beam irradiation apparatus and substrate sealing method
US20170279247A1 (en) Sealed device and methods for making the same
JP2009104841A (ja) 封止装置、封止方法、電子デバイス、および電子デバイスの製造方法
EA031860B1 (ru) Способ изготовления устройства отображения и устройство отображения
KR102253448B1 (ko) 레이저 결정화 장치 및 이를 이용한 결정층을 갖는 기판의 제조방법
CN101176182A (zh) 包封显示元件的方法
KR101189526B1 (ko) 레이저를 이용한 와이드 프릿 실링방법
KR101134608B1 (ko) 레이저를 이용한 프릿 밀봉 시스템
KR101065641B1 (ko) 평판 표시장치의 밀봉시스템 및 밀봉방법
KR100837618B1 (ko) 유리기판의 밀봉시스템 및 밀봉방법
KR102015845B1 (ko) 레이저 조사장치 및 이를 이용한 유기발광소자 제조방법
CN111816795A (zh) 激光装置
KR20140122312A (ko) 액정표시장치 및 그 제조 방법
JP2009015131A (ja) 表示装置の製造方法及び表示装置
KR100980497B1 (ko) 라인 빔을 이용한 표시장치용 밀봉시스템 및 밀봉방법
US11772191B2 (en) Substrate processing apparatus and method
US8927912B2 (en) Sealant curing apparatus
KR101578073B1 (ko) 기밀 밀봉 방법 및 기밀 밀봉된 기판 패키지

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee