KR101240820B1 - 플라즈마 디스플레이 패널 및 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

PDP의 패널 두께 정도까지 박형화가 가능한 패널의 구조 및 그 제조 방법을 제공한다. PDP의 전면측 글래스 기판(1)과 접촉하는 배면측 글래스 기판(2)의 면에 가스 도입 구멍(4)을 형성한다. 이 가스 도입 구멍(4)을 통하여, 진공화, 방전 가스의 도입을 행한다. 방전 가스의 도입 후, 챔버 내의 땜납 인두 승강ㆍ땜납 공급 기구가 초음파 땜납 인두의 선단을 가스 도입 구멍(4)에 삽입하고, 밀봉재(5)의 재료로 되는 땜납의 공급을 개시한다. 밀봉재(5)의 형성 처리가 대강 끝나면, 땜납의 고화 전에 초음파 땜납 인두를 빼고 밀봉재의 형성을 종료한다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널 및 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법{PLASMA DISPLAY PANEL AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 표시용 디바이스로서 이용되는 플라즈마 디스플레이 패널의 구조, 및 그 제조용의 챔버에 관한 것이다.

플라즈마 디스플레이 패널(PDP)은, 대화면화에 바람직한 풀 컬러 표시 장치로서 주목받음과 함께, 널리 일반적으로 보급된 제품이다. 특히 3전극 면방전형의 AC형 PDP는, 표시측의 글래스 기판(전면측 글래스 기판) 상에 면방전을 발생하는 복수의 표시 전극쌍을 ITO 등으로 구성한다. 또한 배면측의 글래스 기판(배면측 글래스 기판)에는, 그 표시 전극쌍과 표시 영역으로부터 보아 직교하는 어드레스 전극 및 그것을 피복하는 형광체층을 형성한다.

전면측 글래스 기판과 배면측 글래스 기판은 저융점 글래스 시일에 의해 봉입되어 있고, 배면측 글래스 기판에 설치된 가스 도입관으로부터 방전 가스를 도입한 후 이 가스 도입관을 밀봉하고, 절단하고 있다(도 9 #A 참조).

일본 특개 2005-303065호 공보에는, 불활성 가스 분위기 하에서 기밀 용접을 행함으로써, 진공 패키지를 제조하는 수단이 기재되어 있다.

일본 특개 2004-296308호 공보에는, 배면측 판글래스를 관통하는 구멍에 일단이 매립되는 배기관을 구비하고, 이 배기관을 통하여 감압한다는 취지가 기재되어 있다.

일본 특개 2000-149791호 공보에는, 평면형 표시 장치의 기밀 시에, 배기 구멍을 막는 배기관을 부착하고, 배기관으로부터 배기를 한 후에 배기 구멍을 막는 수단이 개시되어 있다. 일본 특개평 11-240739호 공보에도 마찬가지의 기재가 있다.

일본 특개평 11-326037호 공보에는, 관통 구멍을 통하여 진공으로 한 후에 간극 내에 게터를 배치하여 제조되는 적외선 검출기가 기재되어 있다.

그러나 상기 각 특허 문헌에도 각각 문제가 존재한다.

일본 특개 2005-303065호 공보에 기재된 기술에서는, 패키지 측방에 개구부를 형성하기 때문에, 전면측 글래스 기판과 배면측 글래스 기판을 접합시키는 구조를 갖는 PDP에서는 채용하기 어렵다.

일본 특개 2004-296308호 공보에 기재된 기술에서는, 배면측 글래스 기판으로부터 돌출되는 배기관의 타단을 밀봉한다. 따라서, PDP의 두께는 이 배기관의 길이에 좌우되게 되는 문제가 있다.

일본 특개 2000-149791호 공보 및 일본 특개평 11-240739호 공보에 기재된 기술에서는, PDP의 구조와는 관계가 없는 배기관의 부착 시에, 프릿 글래스 등에 의한 접합을 행하기 때문에, 제조 공정이 증가하는 문제가 있다.

일본 특개평 11-326037호 공보에 기재된 기술에서도, 밀봉용의 진공 밀봉용 땜납은 배면측 글래스 기판으로부터 돌출되기 때문에, 일본 특개 2004-296308호 공보와 마찬가지의 문제가 있었다.

본 발명의 목적은, PDP의 패널 두께 정도까지 박형화가 가능한 패널의 구조 및 그 제조 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 상기 및 그 밖의 목적과 신규의 특징은, 본 명세서의 기술 및 첨부 도면으로부터 명백하게 될 것이다.

본원에서 개시되는 발명 중, 대표적인 것의 개요를 간단히 설명하면, 다음과 같다.

본 발명의 대표적인 실시 형태에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은, 전면측 글래스 기판과, 배면측 글래스 기판을 갖고, 전면측 글래스 기판과 배면측 글래스 기판과의 사이에서 방전 가스를 밀봉하는 것으로서, 방전 가스를 도입하기 위한 빈 구멍이 전면측 글래스 기판 혹은 배면측 글래스 기판에 설치되고, 배면측 글래스 기판과 전면측 글래스 기판과의 사이에서 밀봉재가 빈 구멍으로부터의 대기의 진입을 방지하는 형태로 봉착되는 것을 특징으로 한다.

이 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 밀봉재가 전면측 글래스 기판 혹은 배면측 글래스 기판의 노출면보다 돌출되지 않는 것을 특징으로 해도 된다.

또한, 이 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 밀봉재는 시일의 봉착 온도 또는 보호막의 활성화 온도 이하에서 고화ㆍ용융하는 땜납을 재료로 하는 것을 특징으로 해도 된다.

이 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 전면측 글래스 기판 또는 배면측 글래스 기판 중 어느 하나의 방전 가스가 충전되는 쪽의 면에 뱅크가 형성되는 것을 특징으로 해도 된다.

이 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 뱅크는 상기 플라즈마 디스플레이 패널의 표시 영역에 밀봉재가 누출되는 것을 방지하기 위한 것인 것을 특징으로 해도 된다.

본 발명의 대표적인 실시 형태에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은, 전면측 글래스 기판과, 배면측 글래스 기판과, 전면측 글래스 기판과 배면측 글래스 기판과의 사이에서 방전 가스를 밀봉하는 시일재를 갖는 것으로서, 방전 가스를 도입하기 위한 홈이 시일재에 형성되고, 배면측 글래스 기판과 전면측 글래스 기판과의 사이에서 밀봉재가 빈 구멍으로부터의 대기의 진입을 방지하는 형태로 봉착되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 대표적인 실시 형태에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조용 챔버는, 전면측 글래스 기판과, 배면측 글래스 기판을 갖고, 전면측 글래스 기판과 배면측 글래스 기판과의 사이에서 방전 가스를 밀봉하는 것으로서, 방전 가스를 도입하기 위한 빈 구멍이 전면측 글래스 기판 혹은 배면측 글래스 기판에 형성되고, 빈 구멍으로부터 진공화함과 함께 방전 가스를 도입하는 배기ㆍ방전 가스 도입ㆍ방전 가스 회수 기구와, 빈 구멍에 땜납을 도입ㆍ과열하여 밀봉재를 형성하는 땜납 인두 승강ㆍ땜납 공급 기구를 갖는 것을 특징으로 한다.

이 플라즈마 디스플레이 패널의 제조용 챔버의 땜납 인두 승강ㆍ땜납 공급 기구는 초음파 땜납 인두를 포함하고, 초음파 땜납 인두의 과열부의 일부 혹은 전부의 직경이 빈 구멍의 내경보다 작고, 땜납 인두 승강ㆍ땜납 공급 기구는, 초음파 땜납 인두의 과열부를 빈 구멍에 삽입하여 땜납을 공급하는 것을 특징으로 해도 된다.

본 발명의 PDP에 의해, 가스 도입관 또는 배기관이 불필요하게 되어, 패널의 두께를 전면측 글래스 기판, 배면측 글래스 기판 및 그들의 밀봉용의 저융점 글래스 시일의 두께로 하는 것이 가능하게 된다.

또한，PDP의 구조와는 관계가 없는 배기관이나 그 부착 공정ㆍ설비가 불필요하게 되기 때문에, 코스트의 저감을 기대할 수 있다.

또한, 배기ㆍ가스 도입용의 구멍을 반드시 배면측 글래스 기판에 형성할 필요는 없어, 패널 설계의 자유도가 향상된다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 구조를 이용한 AC형 PDP의 상면 투시도.
도 2는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 구조를 이용한 밀봉 전의 AC형 PDP의 단면도.
도 3은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 구조를 이용한 밀봉 후의 AC형 PDP의 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 챔버의 구조를 도시하는 개념도.
도 5는 본 발명의 제1 실시 형태에서의 땜납의 도입 방법의 일례를 도시하는 도면.
도 6은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 구조를 이용한 AC형 PDP의 다른 상면 투시도.
도 7은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 구조를 이용한 AC형 PDP의 상면 투시도.
도 8의 (a)는 본 발명에 따른 구조를 이용한 밀봉 전의 AC형 PDP의 단면도, (b)는 본 발명에 따른 구조를 이용한 밀봉 후의 AC형 PDP의 단면도.
도 9는 종래의 AC형 PDP의 구조를 도시하는 단면도.

이하, 도면을 이용하여 본 발명의 실시 형태를 설명한다.

(제1 실시 형태)

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 구조를 이용한 AC형 PDP의 상면 투시도이다. 또한, 도 2는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 구조를 이용한 밀봉 전의 AC형 PDP의 단면도이다. 도 2의 단면도는, 도 1의 A-a 단면의 것이다. 도 3은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 구조를 이용한 밀봉 후의 AC형 PDP의 단면도이다.

이 AC형 PDP는, 전면측 글래스 기판(1), 배면측 글래스 기판(2), 시일(3), 가스 도입 구멍(4), 밀봉재(5)(도 3에 도시)를 포함하여 구성된다.

전면측 글래스 기판(1)은, 표시 장치로서의 플라즈마 디스플레이 텔레비전의 표시면으로 되는 글래스 기판이다. 이 전면측 글래스 기판(1)에는 ITO 및 금속 전극으로 작성된 표시 전극쌍, 유전체층, 그 유전체층을 보호하는 보호막 등으로 구성되어 있지만, 본 발명과는 직접 관련성이 없으므로 이들의 도시는 생략한다.

배면측 글래스 기판(2)은, 어드레스 전극 및 유전체층, 방전 공간을 구획하는 리브, 리브 사이에 형성된 형광체 등으로 구성되는 글래스 기판이다. 이들 개개의 구성 요소도 도시는 생략한다.

시일(3)은, 전면측 글래스 기판(1) 및 배면측 글래스 기판(2)을 기밀 밀봉하는 시일이다. 시일(3)은 표시면으로부터 보면, 전면측 글래스 기판(1)과 배면측 글래스 기판(2)의 중복 개소의 외주에 배치된다.

가스 도입 구멍(4)은, 전면측 글래스 기판(1) 혹은 배면측 글래스 기판(2)에 미리 형성된 빈 구멍이다. 시일(3)에 의한 전면측 글래스 기판(1) 및 배면측 글래스 기판(2)의 밀봉 후, 이 가스 도입 구멍(4)을 통하여 방전 가스가 PDP 내에 충전된다.

이 가스 도입 구멍(4)은, 전면측 글래스 기판(1) 혹은 배면측 글래스 기판(2)의 시일(3)에 밀폐되는 영역 내에 위치하는 빈 구멍이다. 단, 표시 영역(6)에는 리브 등의 구조물이 존재하기 때문에, 표시 영역(6)의 주위에 존재하게 된다.

도 3에 도시한 밀봉재(5)는, PDP 내부에 충전한 방전 가스를 밀폐하기 위한 1종류 또는 2종류 이상의 금속을 이용한 합금(땜납)이다.

다음으로, 이 PDP의 제조 과정에 대하여 설명한다. 또한, 전면측 글래스 기판(1)과 배면측 글래스 기판(2)의 시일(3)에 의한 봉착은 종래대로이므로 생략한다. 단, 이 봉착 기구를 도 4의 챔버 본체(100) 내에 설치하고, 동챔버 내에서 밀봉해도 된다.

이 전면측 글래스 기판(1) 및 배면측 글래스 기판(2)이 시일(3)에 의해 봉착된 PDP(밀봉재(5)에 의한 밀봉은 미실시의 것)를, 1) 진공화하는 기구와, 2) 방전 가스를 도입하는 기구와, 3) 초음파 땜납 인두에 의해 가스 도입 구멍(4)을 봉착하는 기구를 갖는 챔버에 설치한다.

도 4는 본 발명에 따른 챔버의 구조를 도시하는 개념도이다.

전술한 대로, 이 챔버 내에는, 전면측 글래스 기판(1) 및 배면측 글래스 기판(2)이 시일(3)에 의해 봉착된 PDP(200)가 설치된다.

이 챔버는, 챔버 본체(100), 로드 로크실(101, 102), 게이트 밸브(103, 104), 배기ㆍ방전 가스 도입ㆍ방전 가스 회수 기구(105), 땜납 인두 승강ㆍ땜납 공급 기구(106)를 포함하여 구성된다. 또한 이 도면에서는, PDP(200)를 챔버 내에 도입하는 기구 및 챔버 내에서 유지하는 기구, PDP(200)의 글래스 기판을 과열하는 기구, 상온으로 되돌아갔을 때에 원하는 압력으로 되도록 챔버 내의 가스압을 제어하는 기구 등은 생략하고 있다. 이들은, 일반적으로 이용되고 있는 방법이면 된다.

로드 로크실(101, 102)은 PDP 설치 시에, 챔버 내를 진공으로 유지하면서 챔버 내에 대기를 넣지 않고 PDP를 출납하기 위한 장치이다.

게이트 밸브(103, 104)는 로드 로크실(101, 102)이 진공 상태로 된 후에 챔버 본체(100)에 PDP를 삽발하기 위한 밸브 기구이다.

배기ㆍ방전 가스 도입ㆍ방전 가스 회수 기구(105)는 챔버 본체(100)의 배기(진공화), 진공화 종료 후의 방전 가스의 챔버 내에의 도입, 밀봉재(5) 고정 후의 방전 가스의 회수 등을 행하는 펌프 등이다.

땜납 인두 승강ㆍ땜납 공급 기구(106)는, 초음파 땜납 인두(8)의 승강(Z축), 땜납의 공급 등을 행하는 구동 부품이다. 기밀을 유지할 수 있으면 초음파 땜납 인두(8)의 미세 조정 기구(XY축) 등도 있어도 된다.

다음으로, 챔버 내에서의 처리에 대하여 설명한다.

작업자는 로드 로크실(101)에 연결한 도시하지 않은 봉착실에서, 패널의 주위를 시일 글래스에 의해 시일(3)을 형성하여 기밀함과 함께, 350℃ 정도까지 진공 가열함으로써 보호막의 활성화 처리를 행한다. 시일(3)의 재료로서 저융점 글래스를 이용할 때는 450℃ 정도까지 과열된다.

작업자는 냉각 후 로드 로크실(101)을 통하여, PDP(200)를 챔버 본체(100)에 도입한다.

PDP(200)의 고정 후에는, 작업자는 배기ㆍ방전 가스 도입ㆍ방전 가스 회수 기구(105)를 이용하여 챔버 내를 진공화하고, 원하는 진공도(본 실시예에서는 1.0×10^-5㎩ 이하)까지 도달한 후에 방전 가스를 원하는 압력(본 실시 형태에서는 500Torr)까지 도입한다.

그 후, 작업자는 땜납 인두 승강ㆍ땜납 공급 기구(106)를 이용하여 초음파 땜납 인두(8)의 선단이 가스 도입 구멍(4)에 들어가는 위치까지 이동시킨다. 도 5는 본 발명의 제1 실시 형태에서의 땜납의 도입 방법의 일례를 도시하는 도면이다.

본 실시 형태의 방식에서는, 가스 도입 구멍(4)보다도 작은 직경의 초음파 땜납 인두(8)를 챔버 내에 준비한다. 이 초음파 땜납 인두(8)를 가스 도입 구멍(4)에 삽입하도록 하여 땜납을 용해함으로써, 평탄한 선단의 초음파 땜납 인두를 배면측 글래스 기판(2)의 외부에 꽉 눌러댄 경우와 비교하여, 보다 접착 강도를 높이는 것이 가능하게 된다.

이 가스 도입 구멍(4)에 도입하는 땜납을 늘리면, 도 3과 같이 가스 도입 구멍(4)과 대향하는 위치의 전면측 글래스 기판(1)에 용융한 땜납이 도달하고, 땜납을 더 공급하면 가스 도입 구멍(4)의 주위의 전면측 글래스 기판(1) 및 배면측 글래스 기판(2) 사이로 땜납이 퍼져 간다. 이 땜납의 공급량을 조정함으로써, 밀봉재(5)가 배면측 글래스 기판(2)의 노출면으로부터 솟아오르지 않게 밀봉하는 것이 가능하게 된다.

본 실시 형태에서는, 땜납 인두의 선단은 충분히 땜납이 녹는 온도로 되도록 250℃ 정도로 가열되어 있다. 땜납 인두 승강ㆍ땜납 공급 기구(106)에 의해, 땜납 인두의 선단으로부터 주석 Sn-납 Pb-인듐 In계에서 인듐 In의 양을 조정하여 180℃ 정도에서 용융하도록 조정한 땜납을 원하는 양만큼 가스 도입 구멍(4)에 공급한다. 그 때, 땜납의 공급과 함께 60㎑, 10W의 초음파를 투입한다. 이와 같이 하여 땜납이 고화되어, 밀봉재(5)가 형성된다.

또한, 시일(3)의 봉착 온도에는 전술한 대로, 소재에 따라서 350℃부터 450℃까지의 폭이 있다. 상기에서는 180℃로 하였지만, 밀봉재(5)를 형성하는 땜납의 고화ㆍ용융 온도는 시일(3)의 재료의 봉착 온도 이하, 혹은 보호막의 활성화 온도 이하로 되도록 조정한다. 또한, 글래스 기판의 가열이 없어도 글래스 기판이 깨지는 일이 없도록 온도의 조정을 행하는 것이 바람직하지만, 글래스 기판이 깨지지 않도록 가온해도 된다.

땜납의 투입 및 밀봉재(5)의 형성의 일련의 처리가 끝나면, 땜납 인두 승강ㆍ땜납 공급 기구(106)에 의해 땜납 인두를 PDP(200)로부터 분리한다. 또한, 땜납이 고화되면 초음파 땜납 인두(8)를 삽발할 수 없게 되므로, 초음파 땜납 인두(8)를 빼는 타이밍은 공정 설계 시에 고려할 필요가 있다.

땜납이 고화된 후에, 챔버 본체(100) 내의 방전 가스를 배기ㆍ방전 가스 도입ㆍ방전 가스 회수 기구(105)를 이용하여 회수한다.

그 후, 로드 로크실(102)을 경유하여 PDP(200)를 취출한다. 또한, 라인의 형편에 의해, 이 챔버에는 로드 로크실 및 게이트 밸브가 2세트 준비되어 있지만, 1세트이어도 실용상의 문제는 없다.

이상과 같이 함으로써, 본 발명의 목적인 PDP의 패널 두께 정도까지 박형화를 하는 것이 가능하게 된다.

또한, 밀봉재(5)에 이용되는 땜납의 선정 조건에, 전면측 글래스 기판(1)의 표시 전극쌍, 배면측 글래스 기판(2) 상의 어드레스 전극에 쇼트 등의 악영향을 미치지 않는 것이 포함되는 것은 물론이다.

또한, 상기 설명에서는 배면측 글래스 기판(2)에 형성된 가스 도입 구멍(4)을 이용하여 진공화 등을 행하고 있었다. 그러나, 반드시 이에 구애되지 않는다. 본 발명에 의해 기판 글래스로부터 돌출되는 부분이 없으므로, 가스 도입 구멍(4)이 전면측 글래스 기판에 있어도 된다. 또한, 도 6은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 구조를 이용한 AC형 PDP의 다른 상면 투시도이다. 이 도면에서는 가스 도입 구멍(4) 대신에 시일(3)의 절단 개소(4b)를 형성하고 있다. 이 절단 개소(4b)로부터 진공화 등을 행하고, 땜납을 공급해도 된다.

또한, 전면측 글래스 기판(1) 및 배면측 글래스 기판(2)은 글래스제만은 아니다. 방전 가스의 기밀이라고 하는 기능을 유지할 수 있으면 다른 소재이어도 된다. 또한, 전면측 글래스 기판(1)은 표시 가능하도록 투과성을 갖는 것이 조건으로 되고, 배면측 글래스 기판(2)은, 구조적인 강도를 갖는 것이 조건으로 될 것이지만, 장래적으로 적용되는 소재가 어떤 것이라도 본 발명을 적용하는 것은 가능하다.

또한 상기에서는 밀봉재(5)에 땜납을 사용한다는 취지를 설명하였다. 그러나, 이에 구애되는 것은 아니다. 기밀성을 갖는 것이라면 전면측 글래스 기판(1) 및 배면측 글래스 기판(2)의 접합에 적용 가능한 다른 재료로 밀봉재(5)를 구성해도 된다.

또한 상기의 실시 형태에서는 밀봉재(5)의 재료로서 땜납을 충전할 때에, 전면측 글래스 기판(1) 및 배면측 글래스 기판(2)의 사이에서 쌍방으로 접촉하는 형태로의 충전을 상정하였다. 그러나, 가스 도입 구멍(4)만이 메워지는 형태, 즉 전면측 글래스 기판(1)에 땜납이 도달하지 않는 형태로 구성해도 된다.

(제2 실시 형태)

다음으로 본 발명의 제2 실시 형태에 대하여 도면을 이용하여 설명한다.

제1 실시 형태에서는, 가스 도입 구멍(4)에 공급하는 땜납은 공급 후의 제약은 특별히 없었다. 따라서, 공급량의 가감에 실패하면, 표시 영역(6)에 관련되는 구조체(배면측 글래스 기판(2) 상의 리브 등)에 땜납이 유입될 우려도 있다.

이 실시 형태에서는, 그것을 방지하는 구성을 제안한다.

도 7은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 구조를 이용한 AC형 PDP의 상면 투시도이다. 또한, 도 8의 (a)는 본 발명에 따른 구조를 이용한 밀봉 전의 AC형 PDP의 단면도이다. 도 8의 (b)는 본 발명에 따른 구조를 이용한 밀봉 후의 AC형 PDP의 단면도이다.

도 7에 보는 바와 같이, 본 실시 형태에서는 표시 영역(6)의 근방에 배면측 글래스 기판(2)에 설치한 도시하지 않은 리브와 같은 높이, 혹은 그것보다 낮은 높이의 뱅크(7)를 미리 형성해 둔다.

본 실시 형태에서는, 뱅크(7)는 전면측 글래스 기판(1)에 형성되어 있다(도 8의 (a) 참조). 그러나, 배면측 글래스 기판(2)의 도시하지 않은 리브의 구성과 동시에 배면측 글래스 기판(2) 상에 형성해도 된다. 또한, 시일(3)의 재료에 의해, 시일(3) 형성과 동시에 뱅크(7)를 형성해도 된다.

이에 의해 땜납의 퍼짐을 멈추거나, 혹은 소정 방향으로 제약을 거는 것이 가능하게 된다(도 8의 (b) 참조).

또한, 상기에서는 뱅크(7)는 가스 도입 구멍(4)과 표시 영역(6)의 사이에 직선 형상으로 놓여져 있지만, 반드시 이에 구애되는 것은 아니다. 예를 들면, 가스 도입 구멍(4)의 주위를 둘러싸도록 배치해도 문제는 없다.

상기에서는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조에 대하여 설명하였다. 그러나 이것만으로는 한정되지 않고, 진공 기밀을 필요로 하는 표시 디바이스, 예를 들면 밀봉을 필요로 하는 유기 일렉트로 루미네센스(유기 EL)에의 적용도 가능하다.

Claims (9)

1. 전면측 글래스 기판과, 배면측 글래스 기판을 갖고, 상기 전면측 글래스 기판과 상기 배면측 글래스 기판 사이를 시일에 의해 기밀 밀봉함과 함께, 방전 가스를 밀봉하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법으로서,
   상기 전면측 글래스 기판 또는 상기 배면측 글래스 기판에, 상기 방전 가스를 도입하기 위한 빈 구멍을 형성하고, 또한 상기 빈 구멍과 표시 영역 사이에, 상기 표시 영역에 밀봉재가 누출되는 것을 방지하기 위한 뱅크를 형성한 후,
   상기 빈 구멍으로부터 진공화함과 함께 상기 방전 가스를 도입하는 배기ㆍ방전 가스 도입ㆍ방전 가스 회수 기구를 구비한 제조용 챔버 내에 플라즈마 디스플레이 패널을 넣고, 그 후 배기ㆍ방전 가스 도입ㆍ방전 가스 회수 기구를 이용하여 제조용 챔버 내를 진공화한 후, 방전 가스를 도입하고,
   그 후 상기 제조용 챔버 내에서, 상기 배면측 글래스 기판과 상기 전면측 글래스 기판 사이는, 상기 빈 구멍으로부터 대기의 진입을 방지하는 밀봉재에 의해 봉착되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
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