KR101232754B1 - 기판지지대 및 이를 구비한 기판처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판에 대한 처리공정 중 발생하는 진동이나 정전기에 의해 가이드핀이 삽입홈으로부터 이탈되는 것이 방지되도록 구조가 개선된 기판지지대 및 이를 구비한 기판처리장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판지지대는 기판처리장치의 내부에 설치되며, 기판이 안착되는 기판지지대에 있어서, 평판 형상으로 형성되며, 상면에 대하여 하방으로 오목하게 형성되는 삽입홈이 형성되어 있는 지지판과, 기판의 안착 또는 상기 기판의 이탈을 방지하기 위한 것으로, 삽입홈에 삽입되는 가이드핀을 포함하며, 가이드핀의 무게중심은 삽입홈의 중심축으로부터 이탈되어 있다.

Description

기판지지대 및 이를 구비한 기판처리장치{Susceptor and apparatus for processing substrate having the same}
본 발명은 기판에 대한 처리공정시 기판을 지지하는 기판지지대 및 이를 구비한 기판처리장치에 관한 것이다.
기판처리장치는 기판에 대한 소정의 공정, 예를 들어 증착공정이나 식각공정 등을 진행하기 위한 장치이며, 이러한 기판처리장치의 일례가 도 1에 도시되어 있다.
도 1을 참조하면 기판처리장치는 챔버(1)와, 가스분사기(2)와, 기판지지대(3)를 가진다. 챔버(1)의 내부에는 기판에 대한 공정이 행해지는 공간부가 마련되어 있으며, 챔버의 일측면에는 기판의 반입/반출을 위한 슬롯이 관통 형성되어 있다. 가스분사기(2)는 챔버의 상부에 설치되며, 기판의 처리를 위한 공정가스를 분사한다. 기판지지대(3)는 가스분사기의 하방에 배치된다. 그리고, 기판지지대의 상면에는 하방으로 오목하게 삽입홈(3a)이 형성되어 있으며, 이 삽입홈에는 가이드핀(3b)이 삽입된다. 한편, 기판처리장치는 공정효율을 높이기 위하여 플라즈마를 유도하기 위한 플라즈마 발생기가 더 구비될 수 있다.
하지만, 종래의 경우 기판의 처리공정시 발생하는 정전기(예를 들어, 플라즈마 형성시 발생하거나, 기판과 가이드핀 사이에 발생하는 정전기)나 진동에 의해 가이드핀(3b)이 삽입홈(3a)에서 빠져 이탈되는 현상이 발생한다. 그리고, 이와 같이 가이드핀(3b)이 이탈하면 기판이 제대로 된 위치에 로딩되지 않거나, 기판의 중심이 틀어져 기판의 공정품질이 저하되고, 최악의 경우 기판처리장치의 가동을 중단하여야 하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판에 대한 처리공정 중 발생하는 진동이나 정전기에 의해 가이드핀이 삽입홈으로부터 이탈되는 것이 방지되도록 구조가 개선된 기판지지대 및 이를 구비한 기판처리장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판지지대는 기판처리장치의 내부에 설치되며, 기판이 안착되는 기판지지대에 있어서, 평판 형상으로 형성되며, 상면에 대하여 하방으로 오목하게 형성되는 삽입홈이 형성되어 있는 지지판과, 상기 기판의 안착 또는 상기 기판의 이탈을 방지하기 위한 것으로, 상기 삽입홈에 삽입되는 가이드핀을 포함하며, 상기 가이드핀의 무게중심은 상기 삽입홈의 중심축으로부터 이탈되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 상기 가이드핀은, 상기 삽입홈에 대응되는 형상으로 형성되어 상기 삽입홈에 삽입되는 삽입부와, 상기 삽입부의 상단으로부터 외측 방향으로 연장 형성되며, 상기 지지판의 상면에 접촉되는 헤드부를 가지며, 상기 헤드부의 무게중심은 상기 삽입부 상단의 중심으로부터 이탈되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따르면 상기 가이드핀의 삽입부가 상기 삽입홈에 삽입된 상태에서 상기 가이드핀이 회전되는 것이 방지되는 것이 바람직하다.
상기한 구성의 본 발명에 따르면, 가이드핀의 삽입홈에 삽입된 상태에서 회전하거나 삽입홈으로부터 이탈되는 것이 방지된다. 따라서, 기판이 제대로 된 위치에 로딩되지 않거나 기판의 중심이 틀어져 기판의 공정품질이 저하되는 현상과, 최악의 경우 기판처리장치의 가동을 중단해야 하는 문제점이 방지된다.
도 1은 종래의 기판처리장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치의 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 2에 도시된 가이드핀의 개략적인 사시도이다.
도 4는 가이드핀의 삽입홈으로부터 이탈이 방지되는 것을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 가이드핀 및 삽입홈의 개략적인 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 가이드핀의 개략적인 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판처리장치에 관하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치의 개략적인 구성도이며, 도 3은 도 2에 도시된 가이드핀의 개략적인 사시도이며, 도 4는 가이드핀의 삽입홈으로부터 이탈이 방지되는 것을 설명하기 위한 도면이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 기판처리장치(100)는 챔버(10)와, 가스분사기(20)와, 기판지지대(30)를 포함한다.
챔버(10)는 기판에 대한 처리공정, 예를 들어 증착공정, 식각공정 등이 행해지는 곳이다. 챔버(10)의 내부에는 공간부(11)가 마련되어 있으며, 챔버의 일측 측면에는 기판의 반입/반출을 위한 슬롯(12)이 관통 형성되어 있다.
가스분사기(20)는 기판으로 공정가스를 분사하기 위한 것으로, 여기서 공정의 종류에 따라 공정가스로는 소스가스, 반응가스, 식각가스 등이 사용될 수 있다. 본 실시예의 경우, 가스분사기는 챔버의 상단부에 설치되며, 하면에 공정가스가 분사되는 다수의 분사공이 관통 형성된 샤워헤드의 구조를 가진다.
기판지지대(30)는 기판을 지지하기 위한 것으로, 지지판(31)과 가이드핀(32)을 포함한다.
지지판(31)은 평판 형상으로 형성되며, 구동축(33)에 결합되어 회전 및 승강가능하도록 공간부(11)에 설치된다. 그리고, 지지판(31)의 상면에는 하방으로 오목하게 삽입홈(311)이 형성된다. 이 삽입홈(311)은 기판의 모양, 예를 들어 기판이 원형인 경우 원 모양으로 서로 이격되게 복수로 형성된다.
가이드핀(32)은 기판의 안착 또는 기판이 지지판으로부터 이탈되는 것을 방지하기 위한 것이다. 즉, 가이드핀(32) 위에 기판이 안착되거나 또는 가이드핀이 기판 둘레에 배치되어 기판이 지지판으로부터 이탈되는 것을 방지하기 위한 것이다. 본 실시예의 경우, 가이드핀은 기판이 지지판으로부터 이탈되는 것을 방지하는 기능을 하며, 삽입부(321)와 헤드부(322)를 가진다.
삽입부(321)는 삽입홈(311)의 형성방향으로 길게 형성되며, 삽입홈(311)에 삽입된다. 이때, 삽입부(321)가 삽입홈(311)에 삽입된 상태에서 삽입부가 회전하는 것이 방지되도록, 삽입부(321)는 원형이 아닌 다른 형상으로 형성되는 것이 바람직한데, 본 실시예의 경우 도 3에 도시된 바와 같이, 삽입부(321)는 사각형 형상(단, 모서리 부분은 라운드 처리됨)으로 형성된다. 이때, 삽입홈(311)은 삽입부에 대응되는 형상으로 형성된다.
헤드부(322)는 삽입부(321)의 상단으로부터 외측 방향으로 연장 형성된다. 이때, 헤드부(322)는 삽입부(321) 상단의 중심에 대하여 비대칭적으로 형성되며, 헤드부(322)의 무게중심(G1)은 삽입부 상단의 중심으로부터 이탈되도록 형성된다. 즉, 도 3에서 도시된 바와 같이, 헤드부는 한쪽 방향(예를 들어, 지지판의 외측 방향)으로 치우치게 연장 형성되며, 이에 따라 헤드부의 무게중심(G1)은 삽입부 상단의 중심에 대하여 외측 방향으로 이격되게 배치된다.
그리고, 삽입부(321)가 사각형의 기둥 모양으로 형성되므로, 삽입부(321)의 무게중심은 삽입부의 중심축(수직 방향으로의 중심축)(X) 상에 존재한다. 그리고, 삽입홈(311)은 삽입부(321)에 대응되는 형상으로 형성되므로, 삽입홈(311)의 중심축은 삽입부의 중심축(X)과 일치된다. 그런데, 헤드부(322)의 무게중심(G1)이 삽입부 상단의 중심으로부터 외측 방향으로 이격되므로, 가이드핀 전체의 무게중심(G2) 역시 삽입부의 중심축(X)으로부터 외측 방향으로 이격되게 배치된다. 이때, 삽입부의 중심축(X)과 삽입홈의 중심축이 일치하는바, 가이드핀의 무게중심(G2)은 삽입홈의 중심축(X)으로부터 이탈된다.
이와 같이 구성된 가이드핀(30)이 삽입홈(311)에 정상적으로 삽입된 상태에서는, 도 4의 (A)에 도시된 바와 같이 헤드부(322)의 하면이 지지판(31)의 상면에 밀착되므로 안정적으로 삽입상태가 유지된다.
그러다가, 공정시 발생하는 정전기나 진동에 의해 가이드핀(32)이 상승하는 경우에는, 앞서 검토한 바와 같이 가이드핀의 무게중심(G2)이 삽입부의 중심축(X)으로부터 이탈되어 있으므로, 도 4의 (B)에 도시된 바와 같이 가이드핀(32)이 회전하게 되며, 이에 따라 가이드핀의 하단부가 삽입홈(311)의 내벽에 밀착되게 된다. 그리고, 이때 발생하는 마찰력에 의해 가이드핀(32)이 삽입홈으로부터 이탈되는 현상, 즉 가이드핀이 삽입홈에서 뽑히는 현상이 방지된다.
상술한 바와 같이, 본 실시예에 따르면 공정시 발생하는 정전기나 진동 등에 의해 가이드핀이 삽입홈에서 이탈하려고 할 때, 가이드핀의 하단부가 삽입홈의 내벽에 접촉하게 되며, 이때 발생하는 마찰력에 의해 가이드핀이 삽입홈에서 이탈하는 것이 방지된다. 또한, 가이드핀의 삽입부가 사각형 형상으로 형성되므로, 가이드핀이 삽입홈에 삽입된 상태에서 회전하는 것도 방지된다. 따라서, 기판이 제대로 된 위치에 로딩되지 않거나 기판의 중심이 틀어져 기판의 공정품질이 저하되는 현상과, 최악의 경우 기판처리장치의 가동을 중단해야 하는 문제점이 방지된다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 가이드핀 및 삽입홈의 개략적인 단면도이다.
도 5를 참조하면, 가이드핀의 삽입부(321A)의 하단에는 외측 방향으로 돌출된 걸림부(3211)가 형성되어 있다. 그리고, 삽입홈(311A)의 측면에는 오목하게 형성된 보조홈(3111)이 마련되어 있다.
가이드핀(32A)이 정상적으로 삽입홈(311A)에 삽입된 상태에서는 도 5의 (A)에서와 같이 가이드핀의 헤드부(322A)가 지지판(31A)의 상면에 밀착되므로 안정적으로 삽입상태가 유지된다.
그러다가, 공정시 발생하는 정전기나 진동에 의해 가이드핀(32A)이 상승하는 경우에는, 가이드핀이 기울어져 가이드핀의 하단부가 삽입홈(311A)의 내벽에 밀착된 상태로 상승하다가, 도 5의 (B)에 도시된 바와 같이 가이드핀(32A)의 걸림부(3211)가 보조홈(3111)에 걸리게 되므로 가이드핀(32A)이 삽입홈에서 뽑히는 현상이 방지된다.
본 실시예의 경우, 앞서 설명한 실시예보다 가이드핀이 삽입홈에서 이탈되는 현상을 더욱더 효율적으로 방지할 수 있다. 다만, 가이드핀 및 삽입홈의 형상이 앞서 설명한 실시예보다 복잡하므로, 형상 가공이 어려워지는 단점은 있을 것이다
한편, 가이드핀의 형상은, 가이드핀의 무게중심이 삽입홈의 중심축에서 이탈하는 범위 내에서 다양하게 변경될 수 있다. 예를 들어, 도 6의 (A) 및 (B)에 도시된 바와 같이, 다양한 형상으로 가이드핀은 형성될 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
예를 들어, 본 실시예의 경우에는 가이드핀이 기판의 둘레에 배치되어 기판이 기판지지대로부터 외측 방향으로 이탈되는 것을 방지하는 기능을 가지는 것으로 설명하였다. 하지만, 가이드핀이 소위 '안착핀의 기능', 즉 가이드핀의 상측에 기판이 안착되도록 발명을 구성할 수도 있다.
100...기판처리장치 10...챔버
20...가스분사기 30...기판지지대
31...지지판 311...삽입홈
32...가이드핀 321...삽입부
322...헤드부

Claims (4)

  1. 기판처리장치의 내부에 설치되며, 기판이 안착되는 기판지지대에 있어서,
    평판 형상으로 형성되며, 상면에 대하여 하방으로 오목하게 형성되는 삽입홈이 형성되어 있는 지지판과,
    상기 기판의 안착 또는 상기 기판의 이탈을 방지하기 위한 것으로, 상기 삽입홈에 삽입되는 가이드핀을 포함하며,
    상기 가이드핀은,
    상기 삽입홈에 대응되는 형상으로 형성되어 상기 삽입홈에 삽입되는 삽입부와,
    상기 삽입부의 상단으로부터 외측 방향으로 연장 형성되며, 상기 지지판의 상면에 접촉되는 헤드부와,
    상기 삽입홈의 측면에 오목하게 형성된 보조홈과,
    상기 가이드핀이 상승하여 기울어질 때 상기 보조홈에 걸리도록, 상기 삽입부의 하단에서 외측 방향으로 돌출되어 형성된 걸림부를 구비하며,
    상기 헤드부의 무게중심은 상기 삽입부 상단의 중심으로부터 이탈되어 있는 것을 특징으로 하는 기판지지대.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 가이드핀의 삽입부가 상기 삽입홈에 삽입된 상태에서 상기 가이드핀이 회전되는 것이 방지되는 것을 특징으로 하는 기판지지대.
  4. 내부에 공간부가 마련되어 있는 챔버;
    상기 챔버에 설치되며, 기판을 향하여 공정가스를 분사하는 가스분사기; 및
    제1항 또는 제3항에 기재된 기판지지대;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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