KR101222984B1 - Carriage unit of Rack Master - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판이 수납된 카세트를 입/출고하는 랙 마스터(Rack Master)의 케리지 유닛(Carriage unit) 상에 카세트가 정확하게 위치되었는지를 감지할 수 있는 랙 마스터의 케리지 유닛에 관한 것으로, 랙 마스터의 업-다운 프레임의 체인에 체결되어 승강 운동하는 플레이트; 카세트를 위치시켜 전후 운동하는 포크; 상기 플레이트에 설치되어 상기 포크를 전후 방향으로 이동시키는 다관절 로봇 암; 상기 포크상에 설치되어 카세트를 가이드하는 가이드 블록; 그리고 상기 플레이트 양측에 설치되어 카세트 위치를 감지하는 카세트 위치 감지 센서를 구비한 것이다.The present invention relates to a carriage unit of a rack master capable of detecting whether a cassette is correctly positioned on a carriage unit of a rack master that inputs / exports a cassette containing a substrate. A plate fastened to the chain of the up-down frame to move up and down; A fork that moves back and forth by positioning the cassette; An articulated robot arm installed on the plate to move the fork in the front and rear directions; A guide block installed on the fork to guide the cassette; And it is provided on both sides of the plate having a cassette position sensor for detecting the cassette position.

액정표시장치, 스토커 시스템, 랙 마스터, 케리지 유닛, 카세트 위치 감지 센서 LCD, Stalker System, Rack Master, Carriage Unit, Cassette Position Sensor

Description

랙 마스터의 케리지 유닛{Carriage unit of Rack Master}Carriage unit of rack master

도 1은 종래의 랙 마스터(Rack Master)를 개략적으로 나타낸 도면1 is a view schematically showing a conventional rack master

도 2a는 종래의 업-다운 프레임의 측면도2A is a side view of a conventional up-down frame

도 2b는 종래의 업-다운 프레임(16)의 정면도2B is a front view of a conventional up-down frame 16.

도 3은 종래의 케리지 유닛의 상세도3 is a detailed view of a conventional carriage unit

도 4는 본 발명에 따른 케리지 유닛의 상세도4 is a detailed view of a carriage unit according to the invention

도 5a는 본 발명에 따른 카세트가 케리지 유닛의 포크에 정확하게 위치 되었을 때의 설명도5A is an explanatory diagram when the cassette according to the present invention is correctly positioned in the fork of the carriage unit;

도 5b는 본 발명에 따른 카세트가 케리지 유닛의 포크에 부정확하게 위치되었을 때의 설명도5B is an explanatory view when the cassette according to the present invention is incorrectly positioned in the fork of the carriage unit;

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

22: 카세트 22a: 돌출부22: cassette 22a: protrusion

41: 플레이트 42: 구동부41: plate 42: drive part

43: 포크 44: 로봇 암43: fork 44: robot arm

45: 가이드 블록 49: 카세트 위치 감지 센서45: guide block 49: cassette position detection sensor

49a: 발광소자 49b: 수광소자49a: light emitting element 49b: light receiving element

본 발명은 기판이 수납된 카세트를 입/출고하는 랙 마스터(Rack Master)에 관한 것으로, 랙 마스터의 케리지 유닛(Carriage unit) 상에 카세트가 정확하게 위치되었는지를 감지할 수 있는 랙 마스터의 케리지 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a rack master for entering and leaving a cassette in which a substrate is stored, and to a carriage unit of a rack master capable of detecting whether a cassette is correctly positioned on a carriage unit of a rack master. It is about.

일반적인 물류 장비 중 하나인 스토커 시스템은 작업 대상물을 저장하기 위한 저장 시스템으로서 그 용도에 따라 다양한 구조와 기능을 가진다.One of the general logistics equipment, the stocker system is a storage system for storing a work object, and has various structures and functions according to its purpose.

이하 액정표시장치용 기판을 저장하는 종래의 스토커 시스템을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a conventional stocker system for storing a liquid crystal display substrate will be described.

일반적으로, 액정표시장치는 저전압 구동, 저소비 전력, 풀 칼라 구현, 경박 단소 등의 특징을 가지며, 시계, 계산기, PC용 모니터, 노트북 등으로부터 항공용 모니터, 개인 휴대용 단말기 등에 다양하게 적용되고 있다.In general, the liquid crystal display device has characteristics such as low voltage driving, low power consumption, full color, light weight and small size, and is widely applied to a aviation monitor, personal portable terminal, etc. from a clock, a calculator, a PC monitor, a notebook, and the like.

상기 액정표시장치의 액정표시패널은, 게이트 라인 및 데이터 라인에 의해 정의된 화소 영역에 박막 트랜지스터와 화소전극이 구비된 박막트랜지스터 기판, 컬러필터층과 공통전극이 구비된 컬러필터 기판, 그리고 상기 두 기판 사이에 게재된 액정층으로 이루어진다.The liquid crystal display panel of the liquid crystal display device includes a thin film transistor substrate having a thin film transistor and a pixel electrode in a pixel region defined by a gate line and a data line, a color filter substrate having a color filter layer and a common electrode, and the two substrates. It consists of a liquid crystal layer interposed between them.

상기와 같이 구성되는 액정표시장치의 제조공정은, 크게 어레이 공정, 셀 제조공정, 그리고 모듈공정으로 나뉘어진다.The manufacturing process of the liquid crystal display device configured as described above is largely divided into an array process, a cell manufacturing process, and a module process.

상기 액정표시패널의 제조에는 유리와 같은 기판이 이용되며, 상기 유리기판은 카세트(Cassette)라고 지칭되는 수납부에 수납된 상태로 각 공정 장치에 투입되 어 단위 공정을 거치게 된다.A substrate such as glass is used to manufacture the liquid crystal display panel, and the glass substrate is put into each processing apparatus in a state of being housed in an accommodating part called a cassette and subjected to a unit process.

그리고, 상기 액정표시장치의 유리기판은, 각 공정을 거치기 위해 각각의 공정에 사용되는 제조장비로 순차적으로 또는 그룹형태로 반송 또는 이송되어 각 공정을 거치게 된다.In addition, the glass substrate of the liquid crystal display device is conveyed or conveyed sequentially or in group form to manufacturing equipment used in each process to pass each process.

상기와 같이, 각 단위 공정이 끝나거나, 단위공정을 거쳐야 하는 다수의 카세트들을 입고, 저장 및 출고하는 시스템이 상기 스토커 시스템이다. 이와 같은 스토커 시스템은 크게 카세트를 보관하기 위한 선반(Shelf)과, 상기 카세트를 선반으로 로딩(Loading) 또는 언로딩(Unloading)하는 랙 마스터(Rack Master)로 구성된다.As described above, the stocker system is a system for receiving, storing, and shipping a plurality of cassettes that each unit process is completed or must go through a unit process. The stocker system is largely composed of a shelf for storing cassettes and a rack master for loading or unloading the cassettes into the shelves.

상기와 같이 카세트를 선반에 로딩/언로딩하는 종래의 랙 마스터를 설명하면 다음과 같다. A conventional rack master for loading / unloading a cassette into a shelf as described above is as follows.

도 1은 종래의 랙 마스터(Rack Master)를 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a view schematically showing a conventional rack master.

도 1을 참조하면, 종래의 스토커 시스템의 랙 마스터(10)는 레일(12)과 체결되어 레일(12)을 따라 운동하는 궤도차(14)와, 상기 궤도차(14)의 가장자리 양측에서 수직하게 신장되는 두개의 업-다운(Up-Down) 프레임(16)과, 상기 업-다운 프레임(16)의 상단부와 체결되어 상기 업-다운 프레임(16)을 고정시키는 탑 프레임(18)과, 상기 업-다운 프레임(16)과 체결되어 카세트(22)를 위치시켜 상하로 이송하고 상기 카세트를 상기 선반에 로딩/언로딩 하는 케리지 유닛(20)을 구비한다.Referring to FIG. 1, the rack master 10 of the conventional stocker system is coupled to the rail 12 and extends vertically on both sides of the track 14 moving along the rail 12 and at the edges of the track 14. Two up-down frames 16, a top frame 18 which is engaged with an upper end of the up-down frame 16 to fix the up-down frame 16, and the up And a carriage unit 20 engaged with the down frame 16 to position and transfer the cassette 22 up and down, and to load / unload the cassette onto the shelf.

상기 궤도차(14)는 상기 레일(12)과 체결되는 다수개의 바퀴를 구비하고, 상기 다수개의 바퀴를 이용하여 상기 레일(12)을 따라 운동한다. 상기 업-다운 프레 임(16)은 상기 궤도차(14)의 양측 가장자리에서 소정의 높이를 가지며 수직하게 신장되며, 상기 케리지 유닛(20)과 체결되는 체결수단(32)을 구비한다.The tracked vehicle 14 includes a plurality of wheels coupled to the rail 12, and moves along the rail 12 using the plurality of wheels. The up-down frame 16 has a predetermined height at both edges of the track 14 and extends vertically, and has fastening means 32 engaged with the carriage unit 20.

상기 궤도차(14)의 전면에 놓이는 상기 케리지 유닛(20)은 가장자리 측벽이 업-다운 프레임(16)의 체결수단(32)과 결합된다.The carriage unit 20 placed on the front face of the railroad car 14 has an edge sidewall coupled to the fastening means 32 of the up-down frame 16.

이와 같은 구조를 갖는 상기 랙 마스터(10)는 전체적으로 중앙이 비어 있는 직사각형 형태의 띠 형태를 가지며, 상기 케리지 유닛(20)에 카세트(22)를 적재하고 상기 궤도차(14)에 이동하여 원하는 위치로 이동하고 상기 카세트(22)를 양 측에 신장된 상기 업-다운 프레임(16)을 이용하여 상하로 운동시킴과 동시에 상기 케리지 유닛(20)의 암 유닛을 이용하여 카세트(22)를 전후로 이송시키게 된다. The rack master 10 having such a structure has a rectangular strip shape with an empty center as a whole, and loads the cassette 22 in the carriage unit 20 and moves the railcar 14 to a desired position. Move and move the cassette 22 up and down using the up-down frame 16 extended on both sides and simultaneously transfer the cassette 22 back and forth using the arm unit of the carriage unit 20. do.

도 2a는 종래의 업-다운 프레임의 측면도이고, 도 2b는 종래의 업-다운 프레임(16)의 정면도이다.2A is a side view of a conventional up-down frame, and FIG. 2B is a front view of a conventional up-down frame 16.

상기 업-다운 프레임(16)은, 도 2a 및 2b에 도시한 바와 같이, 케리지 유닛(20)과 체결되는 체결수단(32)과, 상기 체결수단(32)에 결합되어 상기 체결수단(32)을 상하로 운동시키는 체인(34)과, 상기 체인(34) 및 체결수단(32)을 감싸는 프레임(도시되지 않음)과, 프레임 내부의 이물이 외부로 유출되거나 외부로부터 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 프레임의 개구된 부분에 위치하는 체인(34)을 덮도록 형성된 방진필름(38)을 구비한다. 상기 방진 필름(38)은 체결수단(32)의 양측에 연결된 체인(34)을 덮고 상기 체결수단(32)의 상하 운동에 대응하기 위하여 상기 체결수단(32)에 형성된 다수개의 롤러(35)를 통과하도록 형성된다.As shown in FIGS. 2A and 2B, the up-down frame 16 is coupled to the carriage unit 20 and the coupling unit 32, and the coupling unit 32 is coupled to the coupling unit 32. Chain 34 to move up and down, the frame (not shown) surrounding the chain 34 and the fastening means 32, and to prevent foreign matter inside the frame from leaking out or from the outside It is provided with the anti-vibration film 38 formed to cover the chain 34 located in the opened portion of the frame. The anti-vibration film 38 covers a chain 34 connected to both sides of the fastening means 32 and uses a plurality of rollers 35 formed on the fastening means 32 to correspond to the vertical movement of the fastening means 32. It is formed to pass through.

물론, 도면에는 도시되지 않았지만, 상기 체인(34)은 승강 구동 모터의 기어 에 체결되어 상기 모터의 회전력을 전달 받아 상기 체결수단(32) 및 체결수단(32)에 연결된 케리지 유닛(20)을 승강시키게 된다.Of course, although not shown in the figure, the chain 34 is fastened to the gear of the lift drive motor to receive the rotational force of the motor to lift the carriage unit 20 connected to the fastening means 32 and the fastening means 32. Let's go.

여기서, 상기 케리지 유닛(20)을 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Here, the carriage unit 20 will be described in more detail as follows.

도 3은 종래의 케리지 유닛의 상세 구성도이다.3 is a detailed configuration diagram of a conventional carriage unit.

종래의 케리지 유닛은, 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 체결수단(32)에 체결되어 상기 체인(34)의 이동에 따라 승강 운동하는 플레이트(41)와, 상기 플레이트(41)에 설치되어 로봇 암(다관절 로봇 팔)을 구동하는 구동부(42)와, 상기 카세트(22)를 위치시켜 전후 운동하는 포크(43)와, 상기 구동부(42)의 구동에 의해 상기 포크(43)를 이동시키는 다관절 로봇 암(44)을 구비하여 구성된다.The conventional carriage unit, as shown in Figure 3, is fastened to the fastening means 32, the plate 41 and the lifting movement in accordance with the movement of the chain 34, and the plate 41 is installed on the robot A driver 42 for driving an arm (articulated robot arm), a fork 43 for positioning the cassette 22 back and forth, and a movement of the fork 43 by driving the driver 42. The articulated robot arm 44 is provided.

또한, 상기 포크(43)에는 카세트(22)가 상기 포크(43)의 정확한 위치에 위치되도록 가이드 하기 위한 가이드 블록(45)이 설치되고, 상기 가이드 블록(45) 중 대각선 방향의 상기 가이드 블록(45)에 상응하는 위치의 상기 포크(43)에 카세트 유무를 감지하기 위한 카세트 유무 감지 센서(48)가 설치된다. 여기서, 상기 가이드 블록(45)은 상기 카세트(22) 배면의 돌출부에 대응되는 위치의 상기 포크(43)상에 설치된다.In addition, the fork 43 is provided with a guide block 45 for guiding the cassette 22 to be positioned at the correct position of the fork 43, and the guide block in the diagonal direction of the guide block 45 ( A cassette presence sensor 48 for detecting the presence of a cassette is installed at the fork 43 at a position corresponding to 45. Here, the guide block 45 is installed on the fork 43 at a position corresponding to the protrusion of the rear surface of the cassette 22.

그리고, 상기 구동부(42)와 상기 포크(43)사이에는 케이블(46)이 연결되고, 상기 플레이트(41)에는 상기 케이블(46)을 가이드 하기 위한 케이블 가이드(47)가 설치된다. In addition, a cable 46 is connected between the driving unit 42 and the fork 43, and a cable guide 47 for guiding the cable 46 is installed at the plate 41.

이와 같이 구성된 종래의 랙 마스터의 동작을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the conventional rack master configured as described above are as follows.

상기 업-다운 프레임(16)과 체결된 케리지 유닛(20)의 포크(43)를 구동하여 상기 포크(43)에 적재물인 카세트(22)를 위치시키고, 상기 업-다운 프레임(16)의 체인(34)에 동력을 전달하여 상기 적재물을 상하로 이송한다. 이 때, 상기 포크(43)에 설치된 상기 카세트 유무 감지 센서(48)는 상기 카세트의 무게에 따라 상기 포크(43)위에 카세트가 있는지 없는지를 감지한다.The fork 43 of the carriage unit 20 coupled with the up-down frame 16 is driven to position the cassette 22 as a load on the fork 43, and the chain of the up-down frame 16 Power is transferred to the 34 to transfer the load up and down. At this time, the cassette presence sensor 48 installed in the fork 43 detects whether there is a cassette on the fork 43 according to the weight of the cassette.

그러나, 종래의 랙 마스터에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the following problems exist in the conventional rack master.

첫째, 상기 케리지 유닛의 포크에 설치된 카세트 유무 감지 센서에 의해 상기 포크에 카세트가 위치되었는지 아닌지를 판단할 수 있다. 그러나, 상기 카세트 배면의 돌출부가 상기 가이드 블록 사이의 정위치에 위치되면 별 문제는 없지만, 상기 카세트 배면의 돌출부가 상기 가이드 블록 상에 걸쳐서 위치되면 상기 카세트가 상기 포크 상에 고정되지 못하므로 카세트 이송 시, 상기 카세트가 낙하하여 상기 카세트내에 반입된 기판이 파손되거나 상기 선반과 간섭이 예상된다.First, it is possible to determine whether or not the cassette is located in the fork by the cassette presence sensor installed in the fork of the carriage unit. However, there is no problem if the protrusion of the cassette back is positioned between the guide blocks, but if the protrusion of the cassette back is positioned over the guide block, the cassette cannot be fixed on the fork because the cassette is not fixed. When the cassette is dropped, the substrate loaded into the cassette is damaged or interference with the shelf is expected.

본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 랙 마스터의 케리지 유닛에 카세트가 정확한 위치에 위치되었는가를 센싱할 수 있도록 하여 기판이 파손되거나 카세트가 선반과 간섭되는 것을 방지할 수 있는 랙 마스터의 케리지 유닛을 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, it is possible to sense whether the cassette is located at the correct position in the carriage unit of the rack master to prevent the substrate from being damaged or the cassette is interfered with the shelf. It is an object of the present invention to provide a carriage unit of a rack master.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 램 마스터의 케리지 유닛은, 랙 마스터의 업-다운 프레임의 체인에 체결되어 승강 운동하는 플레이트; 카세트를 위치시켜 전후 운동하는 포크; 상기 플레이트에 설치되어 상기 포크를 전후 방향으로 이동시키는 다관절 로봇 암; 상기 포크상에 설치되어 카세트를 가이드하는 가이드 블록; 그리고 상기 플레이트 양측에 설치되어 카세트 위치를 감지하는 카세트 위치 감지 센서를 구비함에 그 특징이 있다.Carriage unit of the ram master according to the present invention for achieving the above object, the plate is fastened to the chain of the up-down frame of the rack master lifting; A fork that moves back and forth by positioning the cassette; An articulated robot arm installed on the plate to move the fork in the front and rear directions; A guide block installed on the fork to guide the cassette; And it is characterized by having a cassette position detection sensor installed on both sides of the plate to detect the cassette position.

이하, 상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 랙 마스터의 케리지 유닛을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a carriage unit of a rack master according to the present invention having the above characteristics will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 랙 마스터와 케리지 유닛의 기본적인 구조는, 도 1 도 3에서 설명한 바와 같고, 종래와 차이가 있는 부분을 중점적으로 설명한다. 따라서, 종래와 동일한 부분은 종래와 동일한 부호를 부여하여 설명한다.The basic structures of the rack master and the carriage unit according to the present invention are the same as those described with reference to FIG. 1 and FIG. Therefore, the same parts as in the prior art will be described with the same reference numerals as in the prior art.

도 4는 본 발명에 따른 케리지 유닛의 상세 구성도이다.4 is a detailed configuration diagram of the carriage unit according to the present invention.

본 발명에 따른 케리지 유닛은, 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 체결수단(32)에 체결되어 상기 체인(34)의 이동에 따라 승강 운동하는 플레이트(41)와, 상기 플레이트(41)에 설치되어 로봇 암(다관절 로봇 팔)을 구동하는 구동부(42)와, 상기 카세트(22)를 위치시켜 전후 운동하는 포크(43)와, 상기 구동부(42)의 구동에 의해 상기 포크(43)를 이동시키는 다관절 로봇 암(44)을 구비하여 구성된다.As shown in FIG. 4, the carriage unit according to the present invention is mounted on the plate 41 and the plate 41 which are fastened to the fastening means 32 to move up and down as the chain 34 moves. To drive the robot arm (articulated robot arm), the fork 43 to move the cassette 22 back and forth, and the drive 42 to drive the fork 43. It is comprised with the articulated robot arm 44 which moves.

또한, 상기 포크(43)에는 카세트(22)가 상기 포크(43)의 정확한 위치에 위치되도록 가이드 하기 위한 가이드 블록(45)이 설치되고, 상기 포크(43)에 카세트가 있는가 없는가를 감지하기 위한 카세트 유무 감지 센서(48)가 설치된다. 여기서, 상기 가이드 블록(45)은 상기 카세트 배면의 돌출부에 대응되는 위치의 상기 포크(43)상에 설치된다.In addition, the fork 43 is provided with a guide block 45 for guiding the cassette 22 to be positioned at the correct position of the fork 43, and for detecting whether there is a cassette in the fork 43. The cassette presence sensor 48 is installed. Here, the guide block 45 is installed on the fork 43 at a position corresponding to the protrusion of the rear surface of the cassette.

그리고, 상기 구동부(42)와 상기 포크(43) 사이에는 케이블(46)이 연결되고, 상기 플레이트(41)에는 상기 케이블을 가이드 하기 위한 케이블 가이드(47)가 설치된다. In addition, a cable 46 is connected between the driving unit 42 and the fork 43, and a cable guide 47 for guiding the cable is installed at the plate 41.

또한, 상기 플레이트(41) 양측에는 상기 카세트가 정확한 위치에 위치되었는지를 감지하기 위한 카세트 위치 감지 센서(49)가 설치된다.In addition, cassette position detection sensors 49 are installed at both sides of the plate 41 to detect whether the cassette is positioned at the correct position.

상기 카세트 위치 감지 센서(49)는 상기 카세트(22)가 상기 포크상에 정위치 되었을 때의 높이에 상응하는 높이로 상기 플레이트(41) 양측에 설치되고 상기 다관절 로봇 암(44)의 동작에 제약을 주지 않는 위치에 형성된다.The cassette position sensor 49 is installed on both sides of the plate 41 at a height corresponding to the height when the cassette 22 is positioned on the fork, and is operated to operate the articulated robot arm 44. It is formed at a position without restriction.

상기 카세트 위치 감지 센서(49)의 일측에는 발광소자(49a)가 설치되고 타측에는 수광소자(49b)가 설치된다.One side of the cassette position sensor 49 is provided with a light emitting element 49a, and the other side is provided with a light receiving element 49b.

또한, 상기 카세트 위치 감지 센서(49)는 접이식 안테나 모양으로 설치되어 작업이 진행되지 않을 때는 상기 플레이트(41)밑으로 수용되도록 할 수 있다.In addition, the cassette position sensor 49 is installed in the shape of a foldable antenna may be accommodated under the plate 41 when the operation is not in progress.

따라서, 상기 카세트(22) 배면의 돌출부가 상기 가이드 블록(45)의 내측에 상응하는 위치에 정위치되면 상기 발광소자(49a)에서 발광된 광이 상기 수광소자(49b)에서 감지되고, 만약 상기 카세트(22) 배면의 돌출부 일부가 상기 가이드 블록(45)위에 걸쳐 위치되면 상기 카세트 배면의 돌출부의 높이만큼 상기 카세트(22)가 더 높게 상기 포크(43)에 위치되므로 상기 발광소자(49a)에서 발광된 광을 상기 카세트(22)가 차단하므로 상기 수광소자(49b)에서 상기 발광소자(49a)에서 발광된 광을 감지하지 못하게 되는 원리를 이용한다.Therefore, when the protrusion of the rear surface of the cassette 22 is positioned at a position corresponding to the inside of the guide block 45, the light emitted from the light emitting element 49a is detected by the light receiving element 49b. When a part of the protrusion of the rear surface of the cassette 22 is positioned over the guide block 45, the cassette 22 is located higher in the fork 43 by the height of the protrusion of the rear surface of the cassette, so that the light emitting element 49a is used. Since the cassette 22 blocks the emitted light, it uses the principle that the light receiving element 49b cannot detect the light emitted from the light emitting element 49a.

도 5a는 본 발명에 따른 카세트(22)가 케리지 유닛의 포크에 정확하게 위치 되었을 때의 설명도이고, 도 5b는 본 발명에 따른 카세트가 케리지 유닛의 포크에 부정확하게 위치되었을 때의 설명도이다.5A is an explanatory diagram when the cassette 22 according to the present invention is correctly positioned at the fork of the carriage unit, and FIG. 5B is an explanatory diagram when the cassette according to the present invention is incorrectly positioned at the fork of the carriage unit.

즉, 도 5a에 도시한 바와 같이, 카세트(22) 배면의 돌출부(22a)가 상기 포크(43)위에 설치된 가이드 블록(45)의 내측에 정확하게 위치되어 있으면, 상기 카세트 위치 감지 센서(49)의 발광소자(49a)에서 발광된 광이 상기 수광소자(49b)에서 센싱된다.That is, as shown in FIG. 5A, when the protrusion 22a on the rear surface of the cassette 22 is correctly positioned inside the guide block 45 provided on the fork 43, the cassette position sensor 49 Light emitted from the light emitting element 49a is sensed by the light receiving element 49b.

그러나, 도 5b에 도시한 바와 같이, 카세트(22) 배면의 돌출부(22a)가 상기 포크(43)위에 설치된 가이드 블록(45) 중 일부에 걸쳐 부정확하게 위치되어 있으면, 상기 카세트(22)의 일측 모서리가 상기 카세트 위치 감지 센서(49)보다 더 높게 되므로 상기 카세트 위치 감지 센서(49)의 발광소자(49a)에서 발광된 광이 상기 카세트(22)에 의해 차단되므로 상기 수광소자(49b)에서는 광이 센싱되지 않는다. However, as shown in FIG. 5B, if the protrusion 22a on the rear surface of the cassette 22 is incorrectly positioned over a part of the guide block 45 provided on the fork 43, one side of the cassette 22 Since the edge is higher than the cassette position sensor 49, the light emitted from the light emitting element 49a of the cassette position sensor 49 is blocked by the cassette 22, so that the light receiving element 49b has no light. This is not sensed.

따라서, 상기 카세트 위치 감지 센서(49)의 수광소자(49b)에서 광이 센싱되지 않으면, 카세트가 정확하게 상기 포크(43)에 위치 되지 않은 것으로 판단하여, 경보음을 울리거나 표시부를 통해 작업자에게 알려준다. Therefore, when light is not sensed by the light receiving element 49b of the cassette position sensor 49, it is determined that the cassette is not correctly positioned on the fork 43, and an alarm sounds or informs the operator through the display unit. .

이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It is obvious to them.

그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.Therefore, the above-described embodiments should be regarded as illustrative rather than restrictive, and thus, the present invention is not limited to the above description and may be modified within the scope of the appended claims and their equivalents.

상술한 본 발명에 따른 랙 마스터의 케리지 유닛에 있어서는 다음과 같은 효과가 있다.The carriage unit of the rack master according to the present invention described above has the following effects.

즉, 랙 마스터의 케리지 유닛에 카세트 위치 감지 센서를 설치하여 상기 캇트가 포크상에 정확하게 위치되었는가를 센싱하여 상기 카세트가 포크상에 부정확하게 위치될 경우 사용자에게 알려주므로, 상기 카세트가 낙하하여 기판이 파손되거나 카세트가 선반과 간섭되는 것을 방지할 수 있다. That is, a cassette position sensor is installed in the carriage unit of the rack master to sense whether the cut is correctly positioned on the fork, and notifies the user when the cassette is incorrectly positioned on the fork. It can prevent the breakage or the cassette from interfering with the shelf.

Claims (4)

랙 마스터의 업-다운 프레임의 체인에 체결되어 승강 운동하는 플레이트; A plate which is fastened to the chain of the up-down frame of the rack master and moves up and down; 카세트를 위치시켜 전후 운동하는 포크;A fork that moves back and forth by positioning the cassette; 상기 플레이트에 설치되어 상기 포크를 전후 방향으로 이동시키는 다관절 로봇 암;An articulated robot arm installed on the plate to move the fork in the front and rear directions; 상기 포크상에 설치되어 카세트를 가이드하는 가이드 블록; 그리고A guide block installed on the fork to guide the cassette; And 상기 플레이트 양측에 설치되어 상기 카세트가 상기 가이드 블록내에 위치되었는가를 감지하는 카세트 위치 감지 센서를 구비함을 특징으로 하는 랙 마스터의 케리지 유닛.And a cassette position detection sensor installed at both sides of the plate to detect whether the cassette is located in the guide block. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 카세트 위치 감지 센서는 상기 카세트가 상기 포크상에 정위치 되었을 때의 높이에 상응하는 높이로 상기 플레이트 양측에 설치됨을 특징으로 하는 랙 마스터의 케리지 유닛.And the cassette position sensor is installed on both sides of the plate at a height corresponding to the height when the cassette is positioned on the fork. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 카세트 위치 감지 센서는 일측에 발광소자와 타측에 수광소자를 구비함을 특징으로 하는 랙 마스터의 케리지 유닛.The cassette position sensor is a rack master carriage unit, characterized in that the light emitting element on one side and the light receiving element on the other side. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 카세트 위치 감지 센서는 접이식 안테나 모양으로 설치되어 작업이 진행되지 않을 때는 상기 플레이트밑으로 수용되도록 형성됨을 특징으로 하는 랙 마스터의 케리지 유닛.The cassette position detection sensor is installed in the shape of a folding antenna carriage unit of the rack master, characterized in that it is formed to be accommodated under the plate when the operation is not in progress.
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