KR20040036986A - Glass Transfer System have Sensor which sense breakage of glass - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A substrate transfer device having a glass substrate damage sensing unit is provided to mount a sensor for sensing whether a glass substrate is damaged on a transfer robot or a transfer track, in order to immediately sense a damaged state in the middle of a process for transferring the glass substrate, thereby preventing a next process from proceeding. CONSTITUTION: A robot body(42) is formed to run on a ground or a rail, and carries out a rotation action. A robot arm(44) is located in an upper part of the robot body(42), horizontally or vertically moves support plates, and moves a glass substrate preserved on one side to other side. A sensor mounting portion(426) is fixed to the robot body(42), and has a hollow such that the support plates of the robot arm(44) can pierce through when the robot arm(44) operates. A glass substrate damage sensor(6) consists of a light emitting sensor(62) and a light receiving sensor(64) attached to upper/lower sides of the sensor mounting portion(426). If abnormality is detected, a controller propagates an abnormal signal.

Description

유리기판 파손감지 수단을 구비한 기판 이송장치{Glass Transfer System have Sensor which sense breakage of glass}Glass transfer system having a glass substrate breakage detection means {Glass Transfer System have Sensor which sense breakage of glass}

본 발명은 액정표시장치의 유리기판 이송시 파손을 감지할 수 있는 구조에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유리기판이 공정진행 중 파손되었을 때 이를 감지하여 다음공정으로 진행되도록 하지 않고 추출해 내기 위한 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a structure that can detect breakage when transferring a glass substrate of the liquid crystal display device, and more particularly, to a structure for detecting when the glass substrate is broken during the process and extracting it without proceeding to the next process. It is about.

일반적으로, 평판형 표시장치의 하나인 액정표시장치(LCD)는 음극선관(CRT)에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 CRT에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 플라즈마표시장치(PDP: Plasma Display Panel)나 전계방출표시장치(FED:Field Emission Display)와 함께 최근에 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼의 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.In general, a liquid crystal display (LCD), which is one of the flat panel display devices, has a better visibility than the cathode ray tube (CRT) and has a smaller average heat dissipation than the CRT having the same screen size, and also generates a small amount of heat. Along with plasma display panels (PDPs) and field emission displays (FEDs), they have recently been in the spotlight as the next generation display devices for mobile phones, computer monitors and televisions.

이러한 LCD는 특수하게 표면처리된 2개의 얇은 유리판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정물질을 주입해 상하 유리판 위의 전극의 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 영상을 표시하는 작동원리를 갖는데, 이 LCD는 문자가 표시되는 패널 스스로 빛을 내지 못하므로 표시내용을 시각적으로 인식할 수 있도록 하기 위하여 램프 등의 광원을 필요로 하게 된다.These LCDs operate by injecting a liquid crystal material, which is an intermediate between solid and liquid, between two specially surface-treated thin glass plates to change the arrangement of liquid crystal molecules with the voltage difference between the electrodes on the upper and lower glass plates to generate contrast and display an image. In principle, the LCD does not emit light by the panel on which characters are displayed, and thus requires a light source such as a lamp to visually recognize the display contents.

통상적으로, 노트북 컴퓨터라 불리는 휴대형 컴퓨터의 액정표시장치를 구성하는 LCD 모듈은 첨부된 도면의 도 1 에 도시된 것과 같이 LCD 모듈은, 영상을 출력하는 액정패널(10)과; 이 액정패널(10) 후면에 설치되는 상,하부 확산시이트(29, 26) 및 상,하부 프리즘시이트(28, 27)와, 도광판(24)과, 반사시이트(25)와, 램프(미도시)와, 이 램프를 둘러싸는 금속 반사판(23) 및, 이들 각 구성요소들을 지지하는 사각틀 형태의 합성수지 몰드프레임(21)으로 구성되어, 상기 액정패널(10)에 빛을 방출하는 백라이트 어셈블리(20) 및; 상기 액정패널(10)과 백라이트 어셈블리(20)의 각 모서리부를 고정되게 지지하여 주는 사각틀 형태의 금속 섀시(30)로 구성된다Typically, an LCD module constituting a liquid crystal display device of a portable computer called a notebook computer, as shown in FIG. 1 of the accompanying drawings, the LCD module includes: a liquid crystal panel 10 for outputting an image; The upper and lower diffusion sheets 29 and 26 and the upper and lower prism sheets 28 and 27, the light guide plate 24, the reflective sheet 25, and a lamp (not shown) provided on the rear surface of the liquid crystal panel 10. ), A metal reflector 23 surrounding the lamp, and a synthetic resin mold frame 21 having a rectangular frame shape for supporting each of these components, the backlight assembly 20 emitting light to the liquid crystal panel 10. ) And; The LCD panel 10 and the backlight assembly 20 is composed of a metal chassis 30 of the rectangular frame shape to support the fixed corners.

이와 같이 구성되는 액정표시장치 모듈 중 가장 섬세하게 다루어져야 하는 부분이 바로 액정패널(10)이다. 상기 액정패널(10)은 2개의 유리기판(11)(12)이 면결합된 상태를 이루고 있으며, 상기 2개의 유리기판(11)(12)이 접하는 내부공간에는 액정물질이 삽입되어 있다.The liquid crystal panel 10 is the most delicate part of the liquid crystal display module configured as described above. The liquid crystal panel 10 has a state in which two glass substrates 11 and 12 are surface bonded, and a liquid crystal material is inserted into an inner space where the two glass substrates 11 and 12 are in contact with each other.

2개의 유리기판(11)(12) 중 일측기판에는 형광물질이 도포되어 있으며, 타측 기판에는 박막 트랜지스터가 위치하고, 투명전극 등이 설치되어 전원이 인가됨에 따라 각 형광체의 조합으로써 화면을 구현하게 되는 것이다.One of the two glass substrates 11 and 12 is coated with a fluorescent material, and a thin film transistor is positioned on the other substrate, and a transparent electrode is installed to implement a screen by combining each phosphor as power is applied. will be.

그렇기 때문에 상기 액정패널(10)을 구성하는 유리기판(11)(12)은 취급시 상당한 주의를 요한데, 얇은 박판형의 유리를 사용하므로 유리기판(11)(12)이나 액정패널(10)로 제조되는 공정에서 유리기판(11)(12)이 이송되는 과정에서 발생하는 파손, 스크래치 등으로 인해 불량발생확률이 가장 높다.For this reason, the glass substrates 11 and 12 constituting the liquid crystal panel 10 require a great deal of care in handling. Since the thin glass plate is used, the glass substrates 11 and 12 or the liquid crystal panel 10 may be used. The probability of failure is highest due to breakage, scratches, etc. generated during the process of transferring the glass substrates 11 and 12 in the manufacturing process.

그런데, 현재 액정표시장치를 제조하는 공정에서는 유리기판이나 액정패널(10)의 존재유무를 확인하는 기판 감지장치는 많이 설치되어 있으나, 유리기판의 파손이나 스크래치를 감지하는 장치는 설치되어 있지 않아 공정과정에서 유리기판을 이송시 상기와 같은 문제가 발생하여도 다음공정으로 진행되어 불필요한 장비의 가동과 제조시간을 증가시키는 문제점이 발생하였다.By the way, in the current manufacturing process of the liquid crystal display device, there are many substrate sensing devices for checking the existence of the glass substrate or the liquid crystal panel 10, but there is no device for detecting breakage or scratch of the glass substrate. Even if the above problems occur during the transfer of the glass substrate in the process, the process proceeds to the next process, which causes unnecessary equipment operation and manufacturing time increase.

즉, 유리기판의 일부 파손된 상태로 이송이 진행되어도 기판 감지장치는 그대로 작동되기 때문에 유리기판이 존재하는 것으로 인식하고 이송이 완료된 후 다음공정까지 진행한다. 일례로 파손된 유리기판이 정지하지 않고 스핀 드라이 공정까지 진행하는 경우가 있는데 고속회전에 의해 유리기판이 완전파손되는 경우가 발생하고 상기 파편들로 인해 공정설비 자체를 셧다운시켜야 하므로 공정설비 자체에 심각한 영향을 초래한다.In other words, even if the transfer proceeds in a part of the broken state of the glass substrate, since the substrate sensing device is operated as it is, it is recognized that the glass substrate exists, and then the transfer is completed to the next process. For example, a damaged glass substrate may not be stopped but proceeds to a spin drying process. The glass substrate may be completely damaged by high-speed rotation, and the process equipment itself may be shut down due to the fragments. Effect.

또한, 비록 파손상태가 미비한 유리기판이라 하더라도 초기에 확인하면 재활용할 수 있는 잇점이 있으나 공정이 계속 진행되어 파손상태가 증가함에 따라 재활용이 불가능해지는 문제점이 있다.In addition, even if the broken state of the glass substrate is inadequate to check if the initial recovery, but there is a problem that can not be recycled as the process continues to increase the damage state.

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로써, 유리기판이 이송되는 와중에도 기판의 파손여부를 즉시 확인하여 불량기판이 다음 공정으로 진행되지 않도록 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art described above, provided with a glass substrate damage detection means for immediately checking whether the substrate is damaged even when the glass substrate is transported so that the defective substrate does not proceed to the next process. It is an object to provide a substrate transfer device.

도 1 은 종래 일반적인 액정표시장치 모듈을 도시한 개략적인 분리 사시도.1 is a schematic exploded perspective view showing a conventional liquid crystal display module according to the prior art.

도 2 는 본 발명에 의한 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치인 유리기판 이송로봇과 유리기판 이송트랙이 설치된 공정도2 is a process diagram in which a glass substrate transfer robot and a glass substrate transfer track are installed, which is a substrate transfer apparatus having a glass substrate breakage detecting means according to the present invention;

도 3 은 유리기판 이송로봇의 바람직한 일실시예를 도시한 사시도Figure 3 is a perspective view showing a preferred embodiment of the glass substrate transfer robot

도 4 는 유리기판 이송로봇이 카세트에서 유리기판을 인출해 내는 상태를 도시한 개략적인 사시도4 is a schematic perspective view showing a state in which the glass substrate transfer robot pulls out the glass substrate from the cassette;

도 5 는 로봇 아암에 의해 로봇 바디의 수평부로 유리기판이 진행하기 시작하는 때를 도시한 사시도5 is a perspective view showing when the glass substrate starts to advance to the horizontal portion of the robot body by the robot arm;

도 6 은 유리기판이 로봇 바디의 수평부로 진입하여 유리기판의 끝단부가 센서장착부를 관통하는 상태를 도시한 사시도6 is a perspective view illustrating a state where the glass substrate enters the horizontal portion of the robot body and the end portion of the glass substrate passes through the sensor mounting portion;

도 7 은 도 2의 A에서 기판을 로딩하는 유리기판 이송로봇를 확대도시한 평면도.FIG. 7 is an enlarged plan view of the glass substrate transfer robot loading the substrate in FIG. 2A; FIG.

도 8 은 도 2의 B를 확대도시한 평면도8 is an enlarged plan view of B of FIG. 2.

도 9 는 유리기판이 트랙이송중 모서리가 파손된 상태를 도시한 평면도.9 is a plan view showing a state in which the glass substrate is damaged the edge during the track transfer.

도 10 은 모서리가 파손된 유리기판을 이송트랙의 끝단부에서 센싱하는 상태를 도시한 평면도.FIG. 10 is a plan view illustrating a state in which a glass substrate having a broken edge is sensed at an end of a transfer track; FIG.

도 11 과 도 12 는 각각 유리기판이 진행할때 2개의 포토센서에 의해 유리기판을 센싱하는 상태를 도시한 평면도.11 and 12 are plan views illustrating a state in which the glass substrate is sensed by two photosensors as the glass substrate advances.

** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **** Explanation of symbols for main parts of drawings **

11,12: 유리기판4: 유리기판 이송로봇11,12: glass substrate 4: glass substrate transfer robot

42: 로봇 바디422: 수직부42: robot body 422: vertical portion

424: 수평부426: 센서장착부424: horizontal portion 426: sensor mounting portion

427: 중공44: 로봇 아암427: hollow 44: robot arm

442: 받침판6: 레이저 센서442: base plate 6: laser sensor

62: 발광센서64: 수광센서62: light emitting sensor 64: light receiving sensor

7: 포토센서7: Photo sensor

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 지면 또는 레일위를 운행할 수 있도록 형성되며 회전운동이 가능한 로봇 바디; 상기 로봇 바디의 상부에 위치하며 받침판을 구비하여 상기 받침판을 수평 또는 수직 운동시킴으로써 일측에 보관된 유리기판을 타측으로 이동시키는 로봇 아암; 상기 로봇 바디에 고정설치되며 로봇 아암의 선단부에 위치하여 로봇 아암의 작동시 상기 로봇 아암의 받침판이 관통되도록 중공을 갖는 프레임형태의 센서장착부; 상기 센서장착부의 상하에 부착된 발광센서와 수광센서로 이루어진 유리기판 파손 감지센서; 상기 유리기판 파손감지수단의 감지결과 이상이 발생하였을 때 이상신호를 전파하는 제어부를 포함하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is formed so as to travel on the ground or rail and the robot body capable of rotating movement; A robot arm positioned on an upper portion of the robot body and provided with a support plate to move the glass substrate stored on one side to the other side by horizontally or vertically moving the support plate; A frame-mounted sensor mounting part fixedly installed at the robot body and having a hollow to penetrate the support plate of the robot arm when the robot arm is operated when the robot arm is operated; Glass substrate breakage detection sensor consisting of a light emitting sensor and a light receiving sensor attached to the top and bottom of the sensor mounting portion; Provided is a substrate transfer apparatus having a glass substrate damage detection means including a control unit for propagating an abnormal signal when an abnormality in the detection result of the glass substrate damage detection means occurs.

또한, 본 발명은 2개의 롤러가 양방향으로 연속적으로 배치되고 상기 롤러사이에 유리기판의 가장자리가 맞물려 이송되는 기판이송 트랙; 상기 기판이송 트랙의 후단부에 설치되어 유리기판의 진행이 완료되도록 정지시키는 기판 스토퍼; 상기 기판이송 트랙의 후단부에 도착한 유리기판의 4모서리를 감지하는 센서; 상기센서에 의해 감지한 결과를 처리하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치를 제공한다.In another aspect, the present invention provides a substrate transfer track which is arranged in two directions in a continuous direction in both rollers and the edge of the glass substrate is engaged between the rollers; A substrate stopper installed at a rear end of the substrate transfer track to stop the glass substrate from being completed; A sensor for detecting four edges of the glass substrate arriving at the rear end of the substrate transfer track; It provides a substrate transfer apparatus having a glass substrate damage detection means comprising a control unit for processing the result detected by the sensor.

상기 포토센서는 정지된 유리기판의 4개 모서리부 중 후측 2개의 모서리부 수직상측에 형성된 것을 특징으로 한다.The photosensor is characterized in that formed on the vertical side of the rear two corners of the four corners of the stationary glass substrate.

본 발명의 구성에 대하여 첨부한 도면을 참조하면서 보다 상세하게 설명한다.The structure of this invention is demonstrated in detail, referring an accompanying drawing.

도 2 는 본 발명에 의한 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치인 유리기판 이송로봇(4)과 유리기판 이송트랙(5)이 설치된 공정도이다.2 is a process diagram in which a glass substrate transfer robot 4 and a glass substrate transfer track 5, which are substrate transfer apparatuses having a glass substrate breakage detecting means according to the present invention, are installed.

액정표시장치를 제조할 때 일부 공정에서는 도 2에 도시된 바와 같은 트랙 반송시스템이 이용된다. 이와 같은 트랙 반송시스템은 작업자가 직접 유리기판(11)을 이송시키지 않고 이송로봇(4)이나 이송트랙(5)에 의해 자동으로 운반되므로 사람의 힘을 필요로 하지 않고도 정해진 공정임무를 완수할 수 있다.In manufacturing a liquid crystal display, a track conveying system as shown in FIG. 2 is used in some processes. Such a track conveying system is automatically transported by the transport robot 4 or the transport track 5, without the operator directly transporting the glass substrate 11, so that a predetermined process task can be accomplished without requiring human force. have.

도 2 를 참고하면, 다수개의 유리기판(11)을 동시에 적층수납한 카세트(100)들이 공정설비의 일측 정해진 위치에 놓이게 되면, 유리기판 이송로봇(4)이 작동한다. 상기 유리기판 이송로봇(4)은 정해진 라인만을 움직이면서 카세트(100)에 적재되어 있는 유리기판(11)을 낱개로 꺼내어 기판이 트랙(5)에 로딩되기 전 트랙이송을 준비하는 예비로딩부(51)에 안착시킨다. 예비로딩부(51)에 안착된 유리기판(11)은 90도 회전되어 트랙(5)으로 진행한다.Referring to FIG. 2, when the cassettes 100 stacking a plurality of glass substrates 11 at the same time are placed at one side of a process facility, the glass substrate transfer robot 4 operates. The glass substrate transfer robot 4 removes the glass substrates 11 loaded on the cassette 100 by moving only a predetermined line, and prepares a track transfer before the substrate is loaded on the track 5. )). The glass substrate 11 seated on the preloading part 51 is rotated 90 degrees to proceed to the track (5).

이하 상기 도 2에 개략적으로 도시된 유리기판 이송로봇을 보다 자세하게 도 3과 도 4에 도시하였다.Hereinafter, the glass substrate transfer robot schematically illustrated in FIG. 2 is illustrated in FIGS. 3 and 4 in more detail.

도 3 은 상기 유리기판 이송로봇(4)의 바람직한 일실시예를 도시한 사시도이고, 도 4 는 상기 이송로봇(4)이 카세트(100)에서 유리기판(11)을 인출해 내는 상태를 도시한 개략적인 사시도이다.3 is a perspective view showing a preferred embodiment of the glass substrate transfer robot 4, Figure 4 shows a state in which the transfer robot 4 draws out the glass substrate 11 from the cassette 100; A schematic perspective view.

도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 유리기판 이송로봇(4)은 대략 레일을 따라 움직이거나 지면에서 바퀴로 이동가능하며 좌우 회전이 가능한 로봇 바디(42:body)와, 상기 로봇 바디(42) 위에 설치되어 수평이동과 일부 수직이동이 가능한 로봇 아암(44:arm)과, 로봇의 전단부에 설치된 파손감지센서(6)를 포함하여 이루어져 있다.Referring to FIG. 3, the glass substrate transfer robot 4 according to the present invention is a robot body 42 that can move along a rail or move from the ground to a wheel and can rotate left and right, and the robot body 42. Robot arm (44: arm) is installed above the horizontal movement and some vertical movement, and consists of a failure detection sensor (6) provided in the front end of the robot.

상기 로봇 바디(42)는 도시되지는 않았지만 저면에 형성된 레일 위를 움직이도록 되어 있으며, 기둥역할을 하는 수직부(422)와 로봇 아암(44)을 받치는 평평한 수평부(424)로 구성된다. 상기 로봇 바디(42)의 수직부(422)는 좌우로 회전이 가능하도록 모터(도시생략)가 설치되어 있어 로봇 아암(44)이 전후좌우 어느 위치의 유리기판(11)이라도 옮길수 있도록 회전시켜 준다.Although not shown, the robot body 42 is configured to move on a rail formed at a bottom thereof, and includes a vertical portion 422 serving as a pillar and a flat horizontal portion 424 supporting the robot arm 44. The vertical portion 422 of the robot body 42 is provided with a motor (not shown) to rotate left and right to rotate the robot arm 44 to move the glass substrate 11 at any position in front, rear, left and right. .

상기 로봇 바디(42)의 수평부(424)는 로봇 아암(44)의 저면에 바닥을 이루도록 형성되어 있으며, 특히 수평부(424) 전단부에는 로봇 아암(44)이 관통되는 중공을 갖는 형태로 사각의 프레임(이하 센서장착부)이 설치되어 있고, 상기 센서장착부(426)의 상부와 하부에는 센서(6)가 부착되어 있다.The horizontal portion 424 of the robot body 42 is formed to form a bottom on the bottom of the robot arm 44, in particular in the form having a hollow through which the robot arm 44 penetrates in front of the horizontal portion 424. A rectangular frame (hereinafter referred to as a sensor mounting portion) is provided, and a sensor 6 is attached to the upper and lower portions of the sensor mounting portion 426.

상기 센서(6)는 레이저 센서나 포토 센서와 같이 발광센서(62)와 수광센서(64)로 이루어져 센서장착부(426)의 상측에는 발광센서(62)가, 센서장착부(426)의 하측에는 수광센서(64)가 부착되어 발광센서(62)와수광센서(64)의 조합에 의해 대상물의 파손이나 스크래치 여부를 확인할 수 있다.The sensor 6 includes a light emitting sensor 62 and a light receiving sensor 64, such as a laser sensor or a photo sensor. The light emitting sensor 62 is positioned above the sensor mounting portion 426, and the light receiving sensor is received below the sensor mounting portion 426. The sensor 64 may be attached to determine whether the object is damaged or scratched by the combination of the light emitting sensor 62 and the light receiving sensor 64.

도 4 는 상기와 같은 구성의 유리기판 이송로봇(4)이 실제 카세트(100)에서 낱개의 유리기판(11)을 인출하거나 적재시키는 상태를 도시한 상태도이다.4 is a state diagram illustrating a state in which the glass substrate transfer robot 4 having the above-described configuration draws out or loads the individual glass substrates 11 from the actual cassette 100.

도면에서 보는 바와 같이 상기 로봇 아암(44)은 2개의 받침판(442)을 가지고 있으며 상기 받침판(442)은 아암(44)의 작동에 의해 전후로 이동된다. 상기 받침판(442)은 소정높이 상하운동이 가능하여 유리기판(11)을 들어올리거나 유리기판(11)을 내려놓는 작동이 가능하다.As shown in the figure, the robot arm 44 has two support plates 442 and the support plates 442 are moved back and forth by the operation of the arm 44. The support plate 442 can move up and down a predetermined height to lift the glass substrate 11 or to lower the glass substrate 11.

도 4 의 상태가 카세트(100)에 수납된 유리기판(11)을 인출하는 상태라면, 로봇 아암(44)의 받침판(442)을 유리기판(11)의 배면에 삽입한 후 약간 들어 올려 상기 받침판(442)을 다시 원위치로 복귀시켜야 한다.If the state of FIG. 4 is a state in which the glass substrate 11 housed in the cassette 100 is taken out, the supporting plate 442 of the robot arm 44 is inserted into the rear surface of the glass substrate 11, and then slightly lifted up. (442) must be returned to its original position.

이때, 받침판(442) 위에 안착된 유리기판(11)은 받침판(442)과 함께 센서장착부(426)의 사각중공(427)을 관통해서 원위치로 복귀하게 된다. 센서장착부(426)의 상측과 하측에는 전술한 바와 같이 센서가 부착되어 있는데 일례로 상기 센서가 레이저 센서(6)일 때 상측에는 레이저 센서의 발광센서(62)가, 하측에는 레이저 센서의 수광센서(64)가 설치된다.At this time, the glass substrate 11 seated on the supporting plate 442 passes through the square hollow 427 of the sensor mounting part 426 together with the supporting plate 442 to return to the original position. Sensors are attached to the upper and lower sides of the sensor mounting part 426 as described above. For example, when the sensor is the laser sensor 6, the light emitting sensor 62 of the laser sensor is located on the upper side, and the light receiving sensor of the laser sensor is located on the lower side. 64 is installed.

이와 같은 센서장착부(426)는 상기 유리기판(11)이 중공을 관통할 때 지속적으로 발광과 수광작동을 하며, 결국 유리기판(11)의 전면이 상기 중공(427)을 관통하게 될때는 상기 레이저 센서(6)에 의해 유리기판(11)이 전체적으로 스캐닝되는 효과가 이루어진다.The sensor mounting part 426 continuously emits light and receives light when the glass substrate 11 penetrates the hollow. As a result, the front surface of the glass substrate 11 penetrates the hollow 427. The glass substrate 11 is entirely scanned by the sensor 6.

이하 도 5와 도 6에 상기 센서장착부(426)와 유리기판(11)간의 스캔 작용에관하여 설명한다.Hereinafter, the scanning operation between the sensor mounting portion 426 and the glass substrate 11 will be described with reference to FIGS. 5 and 6.

도 5 는 로봇 바디(42)의 수평부(424)로 유리기판(11)이 진행하기 시작하는 때를 도시한 사시도이고, 도 6 은 유리기판(11)이 로봇 바디(42)의 수평부(424)로 진입하여 유리기판(11)의 끝단부가 센서장착부(426)를 관통하는 상태를 도시한 사시도로써, 유리기판(11)과 센서장착부(426)만을 개략적으로 도시하였다. 센서장착부(426)의 상측에 설치된 발광센서(62)에서는 레이저를 방사하고, 센서장착부(426)의 하측에 설치된 수광센서(64)에서는 상기 방사된 레이저를 지속적으로 수광한다.5 is a perspective view illustrating when the glass substrate 11 starts to advance to the horizontal portion 424 of the robot body 42, and FIG. 6 is a horizontal portion of the robot body 42. 424) is a perspective view illustrating a state in which the end portion of the glass substrate 11 penetrates the sensor mounting portion 426, and schematically shows only the glass substrate 11 and the sensor mounting portion 426. The light emitting sensor 62 installed above the sensor mounting unit 426 emits a laser, and the light receiving sensor 64 installed below the sensor mounting unit 426 continuously receives the emitted laser beam.

만일 단순하게 유리기판(11)이 완전한 불투명체이고, 레이저를 전혀 관통시킬 수 없다면 유리기판(11)이 센서장착부(426)의 중공(427)에 진입하기 시작할 때부터 센서장착부(426)를 완전히 관통할 때까지 수광센서(64)에서는 방사된 레이저를 감지하지 못하여야 한다.If the glass substrate 11 is completely opaque and cannot penetrate the laser at all, the glass substrate 11 completely penetrates the sensor mounting portion 426 since the glass substrate 11 starts to enter the hollow 427 of the sensor mounting portion 426. Until the light receiving sensor 64 should not detect the emitted laser.

그러나 만일 도 6에 도시된 유리기판(11)과 같이, 모서리의 일부가 파손되어 있다면, 파손된 부분으로 발광센서(62)에서 방사된 레이저가 관통하여 수광센서(64)에서 레이저를 인식하게 된다. 이와 같이 수광센서(64)에서 레이저가 인식되었다함은 유리기판이 파손되었음을 나타내므로 상기 수광센서(64)에서는 이를 제어부로 전송하여 이상신호를 발생시키고, 이송로봇(4)의 다음 공정을 중단한다.However, if a part of the edge is broken, such as the glass substrate 11 shown in FIG. 6, the laser emitted from the light emitting sensor 62 passes through the broken part to recognize the laser at the light receiving sensor 64. . Since the laser is recognized by the light receiving sensor 64 indicates that the glass substrate is broken, the light receiving sensor 64 transmits it to the controller to generate an abnormal signal and stops the next process of the transfer robot 4. .

작업자는 비상등, 비상벨 또는 디스플레이상에 나타나는 이상신호를 인지하게 되면, 이송로봇(4)이 카세트(100)에서 유리기판(11)을 인출하거나 카세트(100)로 적재하는 과정에서 발생되었음을 알게되고, 로봇 아암(44)상에 적치된불량기판(11)을 즉시 회수할 수 있게된다.When the operator recognizes an abnormal signal appearing on the emergency light, the emergency bell or the display, the worker knows that the transfer robot 4 is generated in the process of drawing the glass substrate 11 from the cassette 100 or loading the cassette into the cassette 100. It is possible to immediately recover the defective substrate 11 deposited on the robot arm 44.

다시 도 2 를 참조하면, 공정설비내에서 본 발명에 의한 이송로봇(4)이 카세트(100)에서 유리기판(11)을 인출할 때, 인출한 유리기판(11)을 이송트랙(5)의 예비로딩부(51)에 로딩할 때 및 이송트랙(5)상에서 반송되온 유리기판(11)을 이송로봇(4)이 인출할때, 상기 유리기판(11)을 다시 카세트(100)에 원위치 시킬때 등 이송로봇(4) 상에서 유리기판(11)의 파손을 감지할 수 있으므로 유용하게 적용시킬 수 있다.Referring back to FIG. 2, when the transfer robot 4 according to the present invention pulls out the glass substrate 11 from the cassette 100 in the process equipment, the extracted glass substrate 11 is transferred to the transfer track 5. When loading the preloading unit 51 and when the transport robot 4 pulls out the glass substrate 11 conveyed on the transport track 5, the glass substrate 11 is returned to the cassette 100 again. When the breakage of the glass substrate 11 on the transfer robot 4, such as when it can be usefully applied.

또한, 본 발명의 유리기판 이송로봇(4)은 유리기판(11)의 파손상태를 감지시 위치에 상관없이 스캔방식으로 전면을 검사할 수 있으므로 미세한 파손여부도 감지해낼 수 있다.In addition, since the glass substrate transfer robot 4 of the present invention can inspect the entire surface by a scan method regardless of the position when detecting the broken state of the glass substrate 11, the glass substrate transfer robot 4 can also detect whether there is a minute breakage.

도 7 은 도 2의 A에서 예비로딩부(51)에 기판(11)을 로딩시키는 상태를 확대도시한 것으로써, 이송로봇(4)에 의해 예비로딩부(51)에 로딩된 유리기판(11)의 4모서리를 감지하는 센서(7)를 유리기판의 상부에 설치하여 트랙(5)에 이송되기 전의 기판상태를 감지하는 구조를 도시한 것이다. 통상 유리기판(11)이 이송로봇(4)에 의해 로딩된 후 그 위치에서 90도 회전하여 트랙(5)으로 진행되므로 유리기판(11)이 로딩된 후 상태, 혹은 트랙(5)에 이송되기 위해 90도 회전된 상태 등을 정하여 선택적으로 센서(7)들을 설치할 수 있다.FIG. 7 is an enlarged view illustrating a state in which the substrate 11 is loaded on the preloading unit 51 in FIG. 2A, and the glass substrate 11 loaded on the preloading unit 51 by the transfer robot 4. The sensor 7 which detects the four edges of) is installed on top of the glass substrate to show the structure of sensing the state of the substrate before being transferred to the track 5. Since the glass substrate 11 is loaded by the transfer robot 4 and then rotated 90 degrees from the position to the track 5, the glass substrate 11 is loaded and then transferred to the state or the track 5. For example, the sensors 7 may be selectively installed in a state of being rotated by 90 degrees.

상기와 같이 모서리를 센싱할 수 있는 센서(7)를 4곳에 설치하여 유리기판(11)의 파손여부를 감지함으로써 트랙(5)위로 반송되기 전에 모서리가 파손된 불량 유리기판을 제거할 수 있다. 상기 센서(7)는 레이저 센서 또는 포토센서모두 가능하다.As described above, by installing four sensors 7 capable of sensing edges, the glass substrate 11 can be detected to remove broken glass substrates having broken edges before being transported onto the track 5. The sensor 7 can be either a laser sensor or a photosensor.

도 8 은 도 2의 B를 확대도시한 도면으로써, 도 3에 도시된 유리기판 이송로봇(4)에 의해 예비로딩부(51)에 로딩된 유리기판(11)이 트랙(5)으로 이송될때 상기 트랙(5)상에서 유리기판(11)이 파손되었을 경우 유리기판(11)의 파손여부를 감지하는 구조에 관한 것이다.FIG. 8 is an enlarged view of B of FIG. 2, when the glass substrate 11 loaded in the preloading unit 51 by the glass substrate transfer robot 4 shown in FIG. 3 is transferred to the track 5. When the glass substrate 11 is damaged on the track (5) relates to a structure for detecting whether the glass substrate 11 is damaged.

도 2 를 다시 참조하면, 예비로딩부(51)에 로딩된 유리기판(11)은 롤러(52)에 의해 트랙상으로 이동하게 된다. 상기 롤러(52)는 2개의 롤러가 맞물린 형태를 취하고 있는 이중롤러(Double Roller)로써, 유리기판(11)의 측면가장자리가 상기 이중롤러(52)에 맞물린 형태로 전진하게 된다.Referring to FIG. 2 again, the glass substrate 11 loaded in the preloading unit 51 is moved on the track by the roller 52. The roller 52 is a double roller having a form in which two rollers are engaged, and the side edge of the glass substrate 11 is advanced in the form of being engaged with the double roller 52.

이와 같은 트랙(5)의 저면에는 상기 유리기판(11)이 제대로 이송되고 있는 가를 감지하는 장치는 이미 기존에도 설치되어 있다. 이러한 유리기판(11)의 존재유무 감지장치는 다수 있으나 통상 기판이 진행하면서 접속된 마그네트 핀(도시생략)을 탈락시켰다가 복귀시키는 방법을 채택하여 기판의 존재유무를 결정한다.An apparatus for detecting whether the glass substrate 11 is properly transferred to the bottom of the track 5 is already installed. Although there are many such devices for detecting the presence or absence of the glass substrate 11, the existence of the substrate is determined by dropping and returning the connected magnet pin (not shown) as the substrate progresses.

그러나 도 9에 도시된 바와 같이 이중롤러(52)에 기판(11)이 비스듬하게 맞물린 채 진행하게 되면 유리기판(11)의 모서리부(112)가 롤러(52)와 부딪힘에 의해 모서리부 파손이 발생하게 된다. 이와 같이 파손된 유리기판(11)은 비스듬하게 트랙(5)을 따라 진행하므로 기판 감지장치는 기판이 존재한다고 인식한다.However, as shown in FIG. 9, when the substrate 11 is diagonally engaged with the dual roller 52, the edge portion 112 of the glass substrate 11 collides with the roller 52. Will occur. The broken glass substrate 11 proceeds obliquely along the track 5 so that the substrate sensing device recognizes that the substrate exists.

다시 도 8 을 참조하면, 도시된 부분은 유리기판(11)이 트랙반송이 완료되는 장소이다. 즉, 롤러(52)의 작동에 의해 트랙(5)을 따라 이동하던 유리기판(11)은 트랙(5) 위에서 세정공정 등을 마치면서 트랙(5)의 끝 부분까지 이송된다.Referring to FIG. 8 again, the portion shown is where the glass substrate 11 completes the track transfer. That is, the glass substrate 11 which has moved along the track 5 by the operation of the roller 52 is transferred to the end of the track 5 while finishing the cleaning process or the like on the track 5.

상술한 바와 같이 파손된 유리기판(11)이나 정상인 유리기판(11) 모두 1차적으로 트랙(5)의 단부에 형성된 기판 스토퍼(59)에 의해 진행이 차단된다. 본 발명에서는 기판 스토퍼(59)에 의해 정지된 유리기판(11)의 면적을 기준으로 할 때 상기 유리기판(11)의 모서리에 해당하는 위치의 수직 상측 또는 수직 하측부에 포토센서(7)가 설치된 것을 특징으로 한다. 상기 포토센서(7)는 유리기판(11)의 모서리 부분을 센싱할 수 있는 위치이면 특정장소를 막론하고 설치가능하다.As described above, both the damaged glass substrate 11 and the normal glass substrate 11 are primarily blocked by the substrate stopper 59 formed at the end of the track 5. In the present invention, when the area of the glass substrate 11 stopped by the substrate stopper (59) as a reference, the photosensor (7) in the vertical upper side or the vertical lower portion of the position corresponding to the edge of the glass substrate 11 Characterized in that installed. The photosensor 7 can be installed regardless of a specific place as long as it can sense the edge of the glass substrate 11.

도 8 의 실시예에서는 상기 포토센서(7)를 각 모서리에 대응하는 상측부에 4개 설치하였다. 이와 같이 포토센서(7)를 각 모서리부에 설치한 이유는 트랙반송시 유리기판(11)의 파손 발생은 대부분이 모서리부에서 발생한다는 경험과 확률때문이다. 그러므로 만일 유리기판(11)의 파손여부를 보다 정확히 감지해내기 위해서는 각 모서리 뿐 아니라 유리기판(11)의 가장자리부에 대응하는 위치에 보다 많은 센서를 장착하여도 무방하다.In the embodiment of FIG. 8, four photosensors 7 are provided at upper portions corresponding to each corner. The reason why the photosensor 7 is installed at each corner is due to the experience and probability that the breakage of the glass substrate 11 occurs at the corner at the time of transporting the track. Therefore, in order to more accurately detect whether the glass substrate 11 is damaged, more sensors may be installed at positions corresponding to the edges of the glass substrate 11 as well as each corner.

상기와 같이 포토센서(7)가 설치되면 유리기판(11)이 기판 스토퍼(59)에 의해 정지되었을 때 포토센서(7)가 감지하는 수치가 틀려지게 된다. 예를 들어 모서리부 수직 상측에 포토센서(7)가 설치되어 있는바, 유리기판(11)이 위치했을 때 모서리부를 센싱한 결과 값은 유리기판(11)이 정상일 경우 항상 일정한 값을 가져야 한다.When the photosensor 7 is installed as described above, when the glass substrate 11 is stopped by the substrate stopper 59, the value detected by the photosensor 7 is changed. For example, when the photosensor 7 is installed on the upper side of the edge vertically, when the glass substrate 11 is positioned, the result of sensing the edge portion should always have a constant value when the glass substrate 11 is normal.

만일 도 10에 도시된 바와 같이 모서리(112)가 파손된 유리기판(11)이 포토센서(7)에 의해 센싱되면 방사된 광이 반사되지 않아 정해진 수치가 나오지 않게 되며, 이러한 이상신호를 감지한 제어부에서는 작업자에게 이상신호를 전달한다.If the glass substrate 11 whose edge 112 is broken is sensed by the photosensor 7 as shown in FIG. 10, the emitted light is not reflected and a predetermined value does not come out. The controller transmits an abnormal signal to the worker.

알람, 비상등, 비상벨 등에 의해 이상신호를 접한 작업자는 유리기판 이송트랙(5)의 끝부분에 도달한 유리기판(11)이 파손되었슴을 감지할 수 있고 이에 따라 상기 파손된 유리기판(11)을 꺼내어 다음공정인 스핀 드라이 공정으로 진행되지 않도록 한다.An operator who has contacted an abnormal signal by an alarm, emergency light, emergency bell, or the like can detect that the glass substrate 11 that has reached the end of the glass substrate transfer track 5 has been broken and thus the broken glass substrate 11 Take it out so that it does not proceed to the next spin drying process.

도 11 에는 도 8과 같이 유리기판의 4개 모서리에 대응되도록 4개의 센서를 설치하지 않고 2개의 포토센서(7)를 설치한 상태를 도시하였다.FIG. 11 illustrates a state in which two photosensors 7 are installed without installing four sensors so as to correspond to four corners of the glass substrate as shown in FIG. 8.

상기 도 11에서는 2개의 포토센서(7)만이 설치되어 있으며 상기 2개의 포토센서(7)만으로도 유리기판(11)의 모서리 4곳을 모두 센싱할 수 있게 된다. 이를 위해서는 포토센서(7)에서 각각 2번의 센싱이 이루어져야 하며 상기 센싱은 시간간격을 두고 이루어 져야 한다.In FIG. 11, only two photosensors 7 are installed, and only the four photosensors 7 can sense all four corners of the glass substrate 11. To this end, two sensings must be made in the photosensor 7, respectively, and the sensing must be performed at a time interval.

2개의 포토센서(7)만으로 유리기판(11)의 모서리 4곳을 센싱하는 과정은 다음과 같다. 도 11에 도시된 바와 같이 유리기판(11)이 트랙(5)의 막바지로 진입하는 때에 유리기판(11)의 진행전단쪽 2곳 모서리가 포토센서(7)의 위치에 도달한다. 이때 제어부에서는 포토센서(7)에서 센싱하도록 신호를 보내어 1차센싱이 이루어지게 된다. 또는 지속적으로 센싱이 이루어지고 있다면 상기 진행전단쪽 2곳 모서리가 포토센서위치를 지날 때 센싱이 이루어지도록 한다.The process of sensing four corners of the glass substrate 11 with only two photosensors 7 is as follows. As shown in FIG. 11, when the glass substrate 11 enters the end of the track 5, the two leading edges of the glass substrate 11 reach the position of the photosensor 7. At this time, the control unit sends a signal to sense by the photosensor 7 is the primary sensing is made. Alternatively, if the sensing is continuously performed, the sensing is performed when the two front edges of the front end pass the photosensor position.

도 12는 유리기판(11)이 스토퍼(59)에 의해 정지된 상태를 도시한 것으로써, 1차 센싱이 이루어진후 계속 진행되는 유리기판(11)은 기판 스토퍼(59)에 의해 정지되고 정지된 유리기판(11)의 진행후단쪽 2곳 모서리의 수직 상측 또는 수직 하측에 위치한 포토센서(7)가 다시 2차 센싱을 하게 된다.12 illustrates a state in which the glass substrate 11 is stopped by the stopper 59. The glass substrate 11, which is continued after the first sensing is performed, is stopped and stopped by the substrate stopper 59. As shown in FIG. The photo sensor 7 located in the vertical upper side or the vertical lower side of the two corners of the advancing rear side of the glass substrate 11 performs second sensing again.

이와 같이 시간차를 두고 2번 센싱이 이루어짐으로써 2개의 포토센서만으로도 유리기판(11)의 모서리 4곳의 센싱이 가능해진다.As described above, the sensing is performed twice with a time difference, so that the sensing of four corners of the glass substrate 11 can be performed using only two photosensors.

상기 포토센서(7)는 유리기판(11)의 각 모서리부에 정확히 광을 방사할 수 있는 위치이면 충분하므로 모서리부의 상측이든 하측이든 자유롭게 설치할 수 있다.Since the photosensor 7 is a position capable of accurately emitting light at each corner of the glass substrate 11 is sufficient, it can be installed freely on the upper side or the lower side of the corner portion.

본 발명에서는 액정표시장치의 유리기판을 비롯하여 유리기판을 사용하는 공정에서 유리기판의 파손을 감지하는 구조에 관하여 2가지의 실시예를 제시하였다.In the present invention, two examples of the structure of detecting the breakage of the glass substrate in the process of using the glass substrate, including the glass substrate of the liquid crystal display device.

첫째는 카세트 또는 이송트랙 등 유리기판이 적재된 장소에서 유리기판을 옮기는 이송로봇에 파손감지장치를 설치하여 레이저 광을 이용한 스캔작용으로 유리기판의 파손여부를 확인할 수 있는 구조이며,First, the damage detection device is installed on the transfer robot that moves the glass substrate in the place where the glass substrate is loaded, such as cassette or transfer track, so that the glass substrate can be checked by the scanning action using laser light.

둘째는 유리기판 이송트랙의 완료부에 포토센서를 설치하여 반송 중 가장 파손되기 쉬운 부위인 모서리부를 센싱함으로써 유리기판의 파손여부를 확인할 수 있도록 한 구조이다.Second, the photo sensor is installed at the completion part of the glass substrate transfer track to sense whether the glass substrate is damaged by sensing the edge part, which is the most fragile part during transportation.

상기와 같은 2가지 실시예를 적용하여 유리기판 또는 액정패널을 이송시키는 공정에서 보다 확실하게 불량한 유리기판을 찾아내어 다음 공정으로 진행시키지 않음으로써 공정설비의 셧다운을 방지하고 유리기판이 완전파손되는 것을 차단하여 재활용할 수 있게된다.By applying the two embodiments as described above, in the process of transferring the glass substrate or the liquid crystal panel more reliably find the poor glass substrate and do not proceed to the next process to prevent the shutdown of the process equipment and that the glass substrate is completely damaged It can be blocked and recycled.

상술한 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 구체적으로 표현하기 위한 일례에 불과하며 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범주내에서 구성요소의 위치, 재질 등을 다양하게 변경적용할 수 있슴은 자명하다.The above embodiments are merely examples for expressing the technical idea of the present invention in detail, and it is apparent that various modifications may be made to the location, material, etc. of the components within the scope without departing from the technical spirit of the present invention.

유리기판을 이송시키는 장치의 일종인 이송로봇이나 이송트랙에 유리기판의 파손여부를 감지할 수 있는 센서를 장착하여 유리기판을 이송시키는 중간에 발생하거나 이미 파손된 상태를 즉각적으로 감지하여 다음 공정으로 진행시키지 않으므로 불필요한 작업을 생략할 수 있으며, 불량기판이 완파됨으로써 장비를 셧다운시키는 등의 공정중단을 방지할 수 있다.It is equipped with a sensor that can detect whether the glass board is damaged on the transfer robot or the transport track, which is a kind of device that transfers the glass board, and immediately detects the occurrence or damage already occurred in the middle of transferring the glass board to the next process. Since it does not proceed, unnecessary work can be omitted, and a defective board can be completed to prevent process interruption such as shutting down the equipment.

Claims (8)

지면 또는 레일위를 운행할 수 있도록 형성되며 회전운동이 가능한 로봇 바디;A robot body formed to move on the ground or the rail and capable of rotating; 상기 로봇 바디의 상부에 위치하며 받침판을 구비하여 상기 받침판을 수평 또는 수직 운동시킴으로써 일측에 보관된 유리기판을 타측으로 이동시키는 로봇 아암;A robot arm positioned on an upper portion of the robot body and provided with a support plate to move the glass substrate stored on one side to the other side by horizontally or vertically moving the support plate; 상기 로봇 바디에 고정설치되며 로봇 아암의 선단부에 위치하여 로봇 아암의 작동시 상기 로봇 아암의 받침판이 관통되도록 중공을 갖는 프레임형태의 센서장착부;A frame-mounted sensor mounting part fixedly installed at the robot body and having a hollow to penetrate the support plate of the robot arm when the robot arm is operated when the robot arm is operated; 상기 센서장착부의 상하에 부착된 발광센서와 수광센서로 이루어진 유리기판 파손 감지센서;Glass substrate breakage detection sensor consisting of a light emitting sensor and a light receiving sensor attached to the top and bottom of the sensor mounting portion; 상기 유리기판 파손감지수단의 감지결과 이상이 발생하였을 때 이상신호를 전파하는 제어부를 포함하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치Substrate transfer device having a glass substrate damage detection means including a control unit for propagating an abnormal signal when the detection result of the glass substrate damage detection means is abnormal 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유리기판 파손 감지센서는 레이저 센서인 것을 특징으로 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치.The glass substrate breakage detection sensor is a substrate transfer apparatus having a glass substrate breakage detection means, characterized in that the laser sensor. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유리기판은 액정표시장치의 액정패널, 상기 액정패널을 구성하는 유리기판, 또는 평판표시장치를 구성하는 유리재질의 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치.And the glass substrate comprises a liquid crystal panel of a liquid crystal display device, a glass substrate constituting the liquid crystal panel, or a glass substrate constituting a flat panel display device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제어부에서는 비상등, 비상벨, 모니터상에 디스플레이하여 이상신호를 전파하는 것을 특징으로 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치.And the control unit displays the emergency light, the emergency bell, and the monitor to propagate an abnormal signal to propagate the abnormal signal. 2개의 롤러가 양방향으로 연속적으로 배치되고 상기 롤러사이에 유리기판의 가장자리가 맞물려 이송되는 기판이송 트랙;A substrate transfer track in which two rollers are continuously arranged in both directions and the edge of the glass substrate is engaged between the rollers; 상기 기판이송 트랙의 후단부에 설치되어 유리기판의 진행이 완료되도록 정지시키는 기판 스토퍼;A substrate stopper installed at a rear end of the substrate transfer track to stop the glass substrate from being completed; 상기 기판이송 트랙의 후단부에 도착한 유리기판의 4모서리를 감지하는 센서;A sensor for detecting four edges of the glass substrate arriving at the rear end of the substrate transfer track; 상기 센서에 의해 감지한 결과를 처리하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치.And a control unit for processing a result detected by the sensor. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 센서는 레이저 센서 또는 포토센서인 것을 특징으로 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치.And the sensor is a laser sensor or a photo sensor. A substrate transfer apparatus having a glass substrate breakage detecting means. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 센서는 유리기판의 모서리 4곳을 감지하도록 4개 설치된 것을 특징으로 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치.The sensor is a substrate transfer apparatus having a glass substrate damage detection means, characterized in that four installed to detect the four corners of the glass substrate. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 센서는 유리기판의 모서리 4곳 중 2곳만을 감지하도록 2개 설치하되, 유리기판의 전방측 모서리 2곳을 감지한 후 시간간격을 두고 후방측 모서리 2곳을 감지하도록 셋팅된 것을 특징으로 하는 유리기판 파손감지수단을 구비한 기판 이송장치.The sensor is installed two to detect only two of the four corners of the glass substrate, after detecting the two front corners of the glass substrate is set to detect the two rear corners over time intervals Substrate transfer device having a glass substrate damage detection means.
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