KR100987865B1 - Robot arm for carrying cassette - Google Patents
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Abstract
본 발명의 로봇 암은 카세트의 유, 무 확인용 센서 유닛을 케이블이 없이 센싱(sensing) 가능한 구조로 구성함으로써 케이블의 단선으로 인한 문제를 제거하기 위한 것으로, 본체; 상기 본체에 체결되어 구동하는 핸드부; 상기 핸드부의 끝 부분에 설치되는 플레이트; 상기 플레이트의 양 측면에 설치되는 반사부; 및 상기 각 반사부에 대응하여 마주보는 위치의 본체에 형성되는 센싱부를 포함한다.Robot arm of the present invention is configured to eliminate the problem caused by disconnection of the cable by configuring the sensor unit for the presence or absence of the cassette sensor (sensing) without the cable, the main body; A hand part fastened to the main body and driven; A plate installed at an end of the hand part; Reflection parts installed on both sides of the plate; And a sensing unit formed in the main body at a position facing each of the reflecting units.
스토커, 카세트, 글라스, 로봇 암Stalker, Cassette, Glass, Robot Arm
Description
도 1은 일반적인 스토커의 구조를 개략적으로 나타내는 단면도.1 is a cross-sectional view schematically showing the structure of a typical stocker.
도 2는 종래의 로봇 암을 개략적으로 나타내는 도면.2 is a schematic representation of a conventional robot arm.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 로봇 암을 개략적으로 나타내는 예시도.3 is an exemplary view schematically showing a robot arm according to an embodiment of the present invention.
도 4a 및 도 4b는 도 3에 도시된 로봇 암에 설치된 카세트 유, 무 확인용 센서 유닛의 반사부를 나타내는 사시도.4A and 4B are perspective views showing the reflecting unit of the cassette unit presence / absence confirmation sensor unit installed in the robot arm shown in FIG.
도 5는 도 4a 및 도 4b에 도시된 센서 유닛의 반사부를 자세히 나타내는 측면도.FIG. 5 is a side view showing in detail the reflector of the sensor unit shown in FIGS. 4A and 4B.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 유, 무 확인용 센서 유닛을 이용하여 로봇 암 위의 카세트 유, 무를 확인하는 방법을 개략적으로 나타내는 예시도.6A and 6B are exemplary views schematically illustrating a method of confirming whether cassettes are present or not on a robot arm by using a cassette unit having no cassettes or not, according to an exemplary embodiment of the present invention.
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **** Description of symbols for the main parts of the drawing **
170 : 본체 171 : 제 1 핸드부170: main body 171: first hand part
172 : 제 2 핸드부 173 : 관절부172: second hand portion 173: joint portion
175 : 플레이트 180,180A,180B : 반사부175:
183 : 반사판 185A,185B : 센싱부183:
본 발명은 로봇 암에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정표시장치의 생산 제품인 글라스를 담아두는 카세트를 스토커에 로딩(loading), 언로딩(unloading)하거나 각 프로세스 단계로 이송하기 위한 카세트 운반용 로봇 암에 관한 것이다.The present invention relates to a robot arm, and more particularly, to a cassette transport robot arm for loading, unloading or transferring a cassette containing glass, which is a product of a liquid crystal display, to a stocker. It is about.
최근 정보 디스플레이에 관한 관심이 고조되고 휴대가 가능한 정보매체를 이용하려는 요구가 높아지면서 기존의 표시장치인 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT)을 대체하는 경량 박막형 평판표시장치(Flat Panel Display; FPD)에 대한 연구 및 상업화가 중점적으로 이루어지고 있다. 특히, 이러한 평판표시장치 중 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 액정의 광학적 이방성을 이용하여 이미지를 표현하는 장치로서, 해상도와 컬러표시 및 화질 등에서 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터 등에 활발하게 적용되고 있다.Recently, with increasing interest in information display and increasing demand for using a portable information carrier, a lightweight flat panel display (FPD), which replaces a conventional display device, a cathode ray tube (CRT), is used. The research and commercialization of Korea is focused on. In particular, the liquid crystal display (LCD) of the flat panel display device is an image representing the image using the optical anisotropy of the liquid crystal, is excellent in resolution, color display and image quality, and is actively applied to notebooks or desktop monitors have.
이하, 상기 액정표시장치에 대해서 자세히 설명한다.Hereinafter, the liquid crystal display device will be described in detail.
일반적인 액정표시장치는 구동회로 유닛(unit)을 포함하는 액정표시패널, 상기 액정표시패널의 하부에 설치되어 상기 액정표시패널에 빛을 방출하는 백라이트(backlight) 유닛, 상기 백라이트 유닛과 액정표시패널을 지지하는 몰드 프레임(mold frame) 및 케이스(case) 등으로 이루어져 있다.A general liquid crystal display device includes a liquid crystal display panel including a driving circuit unit, a backlight unit disposed under the liquid crystal display panel to emit light to the liquid crystal display panel, and the backlight unit and the liquid crystal display panel. It consists of a mold frame (case) and a case (supporting).
특히, 상기 액정표시패널은 크게 컬러필터(color filter) 기판과 어레이(array) 기판 및 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판 사이에 형성된 액정층(liquid crystal layer)으로 구성된다. In particular, the liquid crystal display panel is largely composed of a color filter substrate and an array substrate and a liquid crystal layer formed between the color filter substrate and the array substrate.
이때, 상기 컬러필터 기판은 색상을 구현하는 서브컬러필터(적, 녹, 청)를 포함하는 컬러필터와 상기 서브컬러필터 사이를 구분하고 액정층을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스(black matrix), 그리고 상기 액정층에 전압을 인가하는 투명한 공통전극으로 이루어져 있다.In this case, the color filter substrate may include a black matrix that distinguishes between a color filter including a sub color filter (red, green, blue) that implements color and the sub color filter, and blocks light transmitted through the liquid crystal layer. And a transparent common electrode applying a voltage to the liquid crystal layer.
또한, 상기 어레이 기판은 상기 기판 위에 종횡으로 배열되어 복수개의 화소영역을 정의하는 복수개의 게이트라인과 데이터라인, 상기 게이트라인과 데이터라인의 교차영역에 형성된 스위칭소자인 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 상기 화소영역 위에 형성된 화소전극으로 구성된다.In addition, the array substrate is a thin film transistor (TFT) which is a switching element formed in a cross region of the gate line and the data line, the plurality of gate lines and data lines arranged vertically and horizontally on the substrate to define a plurality of pixel areas. ) And a pixel electrode formed on the pixel region.
이와 같이 구성된 상기 어레이 기판과 컬러필터 기판은 화상표시 영역의 외곽에 형성된 실런트(sealant)에 의해 대향하도록 합착되어 액정표시패널을 구성하며, 두 기판의 합착은 상기 어레이 기판 또는 컬러필터 기판에 형성된 합착키를 통해 이루어진다.The array substrate and the color filter substrate configured as described above are joined to face each other by sealants formed on the outer side of the image display area to form a liquid crystal display panel, and the bonding of the two substrates is formed on the array substrate or the color filter substrate. Is done through the key.
이러한 액정표시패널의 제조공정은 크게 어레이 기판에 스위칭소자를 형성하는 어레이공정과 컬러필터 기판에 컬러필터를 형성하는 컬러필터공정 및 셀(cell)공정으로 구분될 수 있는데, 상기 액정표시패널을 생산하는 장소는 매우 청정한 상태를 유지해야 하며, 그러기 위해서 상기 액정표시패널의 제조를 위한 기판(예를 들면, 글라스(glass))들은 카세트(cassette)에 수납된 상태로 공정간 이동하거나 임시 저장을 위해 스토커(stocker)의 내부에 저장되게 된다.The manufacturing process of the liquid crystal display panel can be largely divided into an array process of forming a switching element on an array substrate, a color filter process of forming a color filter on a color filter substrate, and a cell process. The place to be maintained should be kept very clean, so that the substrates (eg, glass) for manufacturing the liquid crystal display panel are stored in a cassette for inter-process movement or temporary storage. It will be stored inside the stocker.
이하, 이와 같이 카세트들을 저장하는 스토커를 자세히 설명한다.Hereinafter, the stocker storing the cassettes in this way will be described in detail.
도 1은 일반적인 스토커의 구조를 개략적으로 나타내는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view schematically showing the structure of a typical stocker.
도면에 도시된 바와 같이, 스토커(10) 내부에는 일정 공간의 통로(25)를 가지는 박스 형태의 스토커 본체(15)가 전후(前後) 방향으로 길게 형성되어 있으며, 상기 통로(25)의 양측에는 기판이 수납된 카세트(30)들이 적치(積置)되는 다수개의 선반(shelf)(16)들이 구비되어 있다.As shown in the drawing, the
이때, 상기 통로(25)에는 스태커(stacker)(20)라는 장비가 위치하여 상기 카세트(30)를 선반(16)으로 이동하거나 상기 선반(16)에 적치되어 있는 카세트(30)를 인출하여 이송할 수 있도록 되어 있다. 또한, 상기 스태커(20)는 스태커(20) 자체의 주행 및 카세트(30)의 이송을 위한 구동부(21, 22)를 구비하고 있다.At this time, a device called a stacker (20) is located in the passage (25) to move the cassette (30) to the shelf (16) or to draw and transport the cassette (30) stored on the shelf (16) I can do it. In addition, the
도면에는 도시하지 않았지만, 상기 스태커(20)에는 상기 카세트(30)를 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하여 각 프로세스 단계로 이송하는 로봇 암(robot arm)이 설치된다.Although not shown in the drawing, the
한편, 상기 통로(25)를 포함하는 스토커 본체(15)의 상부 천장(ceil)에는 공기를 정화하여 상기 스토커 본체(15)의 내부로 공급하는 다수개의 팬 필터 유닛(Fan Filter Unit; FFU)(40)이 설치되어 있으며, 상기 선반(16) 후위에는 유입되는 공기의 양을 조절하기 위한 공기유입조절셔터(shutter)(70)가 설치되어 있다.On the other hand, the upper ceiling (ceil) of the stocker
도면 중 미설명 부호 50은 스토커(10)가 설치되어 있는 청정실(clean room)의 바닥(access floor)을 나타낸다.
이와 같이 액정표시장치의 글라스 적재용 카세트는 다수의 글라스를 적재한 후 로봇에 의해 각 공정간 이동하면서 필요한 공정을 수행하는 필수 기구물로서 생산업체의 특성과 크기 및 글라스의 특성에 따라서 다양한 종류가 있으나 대체로 사 각박스형태로 제작되고 상, 하 다수의 글라스가 다단 수용이 가능토록 구성된다.As described above, the glass stacking cassette of the liquid crystal display device is an essential mechanism for carrying out necessary processes while moving a plurality of glasses by a robot, and there are various kinds according to the characteristics and size of the manufacturer and the glass. It is generally manufactured in the form of a square box, and the glass of the upper and lower parts is configured to accommodate multiple stages.
한편, 상기 카세트는 로봇 암에 의해 스토커에 보관되고 출고되게 되는데, 상기 로봇 암이 카세트를 로딩, 언로딩할 때 암 위에 카세트가 있는지 없는지를 확인하는 센서가 설치되어 있으며, 이를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.On the other hand, the cassette is stored in the stocker and shipped from the stocker by the robot arm, when the robot arm loads and unloads the cassette, a sensor is installed to check whether there is a cassette on the arm, it will be described in detail with reference to the drawings Explain.
도 2는 종래의 카세트 이송용 로봇 암을 개략적으로 나타내는 도면이다.Figure 2 is a schematic view showing a conventional robot arm for cassette transfer.
도면에 도시된 바와 같이, 로봇 암의 본체(70)는 스태커의 플레이트(plate)(60) 위에 설치되어 있으며, 제 1 핸드부(71) 및 제 2 핸드부(72)가 관절부(73)와 고정용 볼트(미도시)에 의해 상기 로봇 암 본체(70)에 체결되어 있다.As shown in the figure, the
이때, 상기 제 1 핸드부(71)의 끝 부분에는 카세트가 안착되는 플레이트(75)가 설치되며, 상기 플레이트(75)에는 상기 로봇 암이 카세트를 로딩, 언로딩할 때 암 위에 카세트가 있는지 없는지를 확인하는 핀(76)과 센서(미도시)가 설치되어 있다.At this time, the end of the
상기 핀(76)은 플레이트(75) 위에 카세트가 얹혀지게 되면 아래방향으로 이동하여 상기 플레이트(75) 하부에 설치된 센서를 감지시키고, 상기 플레이트(75) 위에 카세트가 없을 경우에는 상기 핀(76)은 원위치로 이동하게되어 카세트의 유, 무를 확인하게 된다.When the cassette is placed on the
이때, 상기 센서에 전원을 공급하기 위해 케이블(77)을 사용하게 되는데, 상기 로봇 암의 핸드부(71, 72)가 뻗었다 접힐 때 장시간 사용함에 따라 상기 케이블(77)이 마모하게 되어 단선되는 문제가 발생하고 있다.
In this case, a
이와 같이 로봇 암의 플레이트 위에 카세트가 바르게 안착되어 있는지를 확인하거나, 로봇 암에서 에러 발생 후 복귀시 인터로그(interlock)(어떤 기계 또는 장치에 의해 현재 처리중인 동작이 끝날 때까지 다른 동작이 개시되지 않도록 하는 일)용으로 사용하기 위해서는 센서가 필요하나, 상기 로봇 암의 반복적인 구동으로 케이블이 마모, 파손되는 손상이 발생하게 되는 문제점이 있었다.In this way, check whether the cassette is seated properly on the plate of the robot arm, or when the robot arm returns after an error, the interlock (other operations are not started until the end of the operation currently being processed by any machine or device). In order to prevent the use of the sensor, a sensor is required, but there is a problem that damage occurs that the cable is worn and broken by repeated driving of the robot arm.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 카세트의 유, 무 확인용 센서 유닛을 케이블이 없이 센싱 가능한 구조로 구성함으로써 케이블의 단선으로 인한 문제를 제거할 수 있는 카세트 이송용 로봇 암을 제공하는데 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, to provide a cassette transfer robot arm that can eliminate the problem caused by the disconnection of the cable by configuring the sensor unit for detecting the presence or absence of the cassette without the cable There is a purpose.
본 발명의 또 다른 목적 및 특징들은 후술되는 발명의 구성 및 특허청구범위에서 설명될 것이다.Further objects and features of the present invention will be described in the configuration and claims of the invention which will be described later.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 로봇 암은 본체, 상기 본체에 체결되어 구동하는 핸드부, 상기 핸드부의 끝 부분에 설치되는 플레이트, 상기 플레이트의 양 측면에 설치되는 반사부 및 상기 각 반사부에 대응하여 마주보는 위치의 본체에 형성되는 센싱부를 포함한다.In order to achieve the above object, the robot arm of the present invention is a main body, a hand part coupled to the main body to drive, a plate installed on the end of the hand portion, the reflecting portions provided on both sides of the plate and the respective reflections It includes a sensing unit formed in the main body of the position facing the corresponding.
이때, 상기 핸드부는 제 1 핸드부와 제 2 핸드부로 이루어질 수 있으며, 상기 반사부는 몸체, 상기 몸체의 상부에 위치하는 핀 및 상기 핀의 상하 이동에 따라 일정 각도로 기울어지는 반사판을 포함할 수 있다.In this case, the hand part may include a first hand part and a second hand part, and the reflecting part may include a body, a pin positioned on the upper part of the body, and a reflecting plate inclined at a predetermined angle according to the vertical movement of the pin. .
이때, 상기 반사부의 핀은 상기 플레이트 위에 카세트가 얹혀지는 경우에 상 기 핀 위로도 카세트가 얹혀져 상기 플레이트의 상부면과 동일한 높이가 될 때까지 아래방향으로 이동하도록 상기 플레이트의 상부면 위로 돌출되어 있을 수 있으며, 상기 반사부의 핀은 상기 플레이트 위의 카세트가 제거되는 경우에는 눌려진 위치에서 상부방향으로 이동하여 원래의 위치로 복원되도록 하는 스프링과 같은 탄성장치를 추가로 포함할 수 있다.In this case, when the cassette is placed on the plate, the reflector's pin may protrude above the upper surface of the plate to move downward until the cassette is placed on the pin to be flush with the upper surface of the plate. The reflector's pin may further include an elastic device such as a spring to move upward from the pressed position to the original position when the cassette on the plate is removed.
또한, 상기 센싱부는 상기 반사부의 반사판으로 광을 보내고 다시 반사판에 의해 반사된 광을 받도록 발광소자와 수광소자를 추가로 포함할 수 있다.The sensing unit may further include a light emitting device and a light receiving device to send light to the reflecting plate of the reflecting unit and receive light reflected by the reflecting plate.
또한, 상기 반사판은 상기 플레이트 위의 카세트 유, 무에 따라 상하로 이동하는 반사부의 핀과 연동하여 일정 각도로 기울어지도록 상기 핀에 연결되어 있을 수 있다.In addition, the reflector may be connected to the pin to be inclined at a predetermined angle in conjunction with the pin of the reflector moving up and down depending on the cassette on the plate.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 로봇 암의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the robot arm according to the present invention.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 로봇 암을 개략적으로 나타내는 예시도이다.3 is an exemplary view schematically showing a robot arm according to an embodiment of the present invention.
도면에 도시된 바와 같이, 로봇 암의 본체(170)는 스태커의 플레이트(160) 위에 설치되어 있으며, 제 1 핸드부(171) 및 제 2 핸드부(172)가 관절부(173)와 고정용 볼트(미도시)에 의해 상기 로봇 암 본체(170)에 체결되어 있다.As shown in the figure, the
이때, 상기 도면에는 제 1 핸드부(171) 및 제 2 핸드부(172)의 두 쌍의 핸드부(171, 172)로 이루어진 로봇 암을 예를 들어 나타내고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 운반하려는 카세트의 크기 및 이송하는 방식에 따라 적절한 개수의 핸드부가 설치될 수 있다.In this case, the robot arm including two pairs of
한편, 상기 제 1 핸드부(171)의 끝 부분에는 카세트가 안착되는 플레이트(175)가 설치되며, 상기 플레이트(175)의 양 측면에는 상기 로봇 암이 카세트를 로딩, 언로딩할 때 암 위에 카세트가 있는지 없는지를 확인하는 센서 유닛의 반사부(180A, 180B)가 설치되어 있다.On the other hand, the end of the
상기 반사부(180A, 180B)는 로봇 암의 본체(170)에 설치된 센싱부(185A, 185B)와 일체가 되어 센서 유닛을 구성하게 되는데, 레이저와 같은 광을 이용하여 상기 플레이트(175) 위에 카세트의 유, 무를 확인하게 된다. 이때, 상기 센서 유닛의 반사부(180A, 180B)와 센싱부(185A, 185B) 사이에는 케이블이 연결되어 있지 않으며, 상기 센싱부(185A, 185B)는 로봇 암의 본체(170)에 설치되어 로봇 암의 핸드부(171, 172)의 구동에 영향을 받지 않아 종래와 같은 케이블의 마모 및 파손의 문제가 발생하지 않게 된다.The
이하, 전술한 반사부의 구조 및 상기 반사부와 센싱부를 이용하여 카세트의 유, 무를 확인하는 방식을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a structure of the above-described reflector and a method of confirming the presence or absence of a cassette using the reflector and the sensing unit will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 4a 및 도 4b는 도 3에 도시된 로봇 암에 설치된 카세트 유, 무 확인용 센서의 반사부를 나타내는 사시도로써, 도 4a는 플레이트 위에 카세트가 없을 때의 반사부의 반사판의 위치를 나타내고 도 4b는 플레이트 위에 카세트가 얹혀질 때의 반사부의 반사판의 위치를 나타내고 있다.4A and 4B are perspective views showing the reflecting portion of the cassette presence / absence sensor installed in the robot arm shown in FIG. 3, and FIG. 4A shows the position of the reflecting plate of the reflecting portion when there is no cassette on the plate, and FIG. 4B shows the plate. The position of the reflecting plate of the reflecting portion when the cassette is placed thereon is shown.
또한, 도 5는 도 4a 및 도 4b에 도시된 센서 유닛의 반사부를 자세히 나타내는 측면도이다. In addition, FIG. 5 is a side view illustrating in detail a reflector of the sensor unit illustrated in FIGS. 4A and 4B.
도면에 도시된 바와 같이, 상기 센서 유닛의 반사부(180)는 몸체(181)와 상기 몸체(181)의 상부에 위치하여 카세트의 유, 무에 따라 상하로 이동하는 핀(182) 및 상기 핀(182)의 상하 이동에 따라 일정 각도로 기울어지는 반사판(183)으로 이루어져 있다.As shown in the figure, the
이때, 상기 핀(182) 위에 카세트가 얹혀지는 경우에는 상기 핀(182)은 아래방향으로 이동하게 되어, 상기 핀에 걸린 반사판(183)의 상부를 아래로 이동시켜 상기 반사판(183)을 일정 각도로 기울어지게 한다.In this case, when the cassette is placed on the
또한, 상기 핀(182) 위에 얹혀진 카세트가 제거되는 경우에는 아래방향으로 이동된 상기 핀(182)은 몸체 내부에 설치된 스프링(184)의 탄성력에 의해 위로 이동하게 되어, 상기 반사판(183)이 원래의 위치로 오게된다. 즉, 상기 반사판(183)은 로봇 암의 플레이트(175)와 수직하게 위치하여 센싱부와 평행한 상태를 유지하게 된다.In addition, when the cassette placed on the
상기와 같이 센싱부(185A, 185B)를 로봇 암의 몸체(170)에 부착하고, 핸드부 플레이트(175)에 반사판(183)을 부착하여 광을 이용하여 카세트의 유, 무를 확인하는 방식으로 센서 유닛을 구성하게되면 상기 반사부(180A, 180B)와 센싱부(185A, 185B)를 연결하여 신호를 전달하는 케이블을 제거할 수 있게 된다. 물론, 상기 센싱부(185A, 185B)에 전원을 공급하는 케이블(미도시)은 필요하나 본 발명과 같이 구성하게 되면 상기 전원부 케이블은 로봇 암의 구동에 영향을 받지 않아 종래와 같은 케이블의 마모 및 파손의 문제를 방지할 수 있게 된다.As described above, the
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 유, 무 확인용 센서 유닛 을 이용하여 로봇 암 위의 카세트 유, 무를 확인하는 방법을 개략적으로 나타내는 예시도이다.6A and 6B are exemplary views schematically illustrating a method of confirming whether cassettes are present or not on a robot arm by using a cassette unit having or without a sensor according to an embodiment of the present invention.
먼저, 도 6a에 도시된 바와 같이, 플레이트 위에 카세트가 안착되지 않았을 경우에는 센싱부(185)에서부터 발광된 광은 반사판(183)에 의해 반사되어 센싱부(185)가 수광하여 카세트의 유, 무를 알 수 있게 된다.First, as shown in FIG. 6A, when the cassette is not seated on the plate, the light emitted from the
이때, 상기 센싱부(185)는 상기 반사부의 반사판(183)으로 광을 보내고 다시 반사판(183)에 의해 반사된 광을 받도록 발광소자(미도시)와 수광소자(미도시)를 포함할 수 있다.In this case, the
또한, 도 6b에 도시된 바와 같이, 플레이트 위에 카세트가 안착되었을 경우에는 반사판(183)이 기울어짐으로 빛이 수광 되지 않음으로 카세트의 유, 무를 알 수 있다.In addition, as shown in FIG. 6B, when the cassette is seated on the plate, the
상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.Many details are set forth in the foregoing description but should be construed as illustrative of preferred embodiments rather than to limit the scope of the invention. Therefore, the invention should not be defined by the described embodiments, but should be defined by the claims and their equivalents.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 로봇 암은 센싱을 위한 케이블이 필요 없어 상기 케이블의 단선으로 인한 문제가 발생하지 않게 되어 로봇 암의 유지비용이 감소하게 되며, 수선을 위한 예비부품이 필요 없게 되어 초기 투자비용 및 러닝 비용이 감소하게 되는 효과를 제공한다.As described above, the robot arm according to the present invention does not require a cable for sensing, so that a problem due to disconnection of the cable does not occur, thereby reducing the maintenance cost of the robot arm and requiring no spare parts for repair. This reduces the initial investment and running costs.
Claims (7)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040039358A KR100987865B1 (en) | 2004-05-31 | 2004-05-31 | Robot arm for carrying cassette |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040039358A KR100987865B1 (en) | 2004-05-31 | 2004-05-31 | Robot arm for carrying cassette |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050114138A KR20050114138A (en) | 2005-12-05 |
KR100987865B1 true KR100987865B1 (en) | 2010-10-13 |
Family
ID=37288528
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040039358A KR100987865B1 (en) | 2004-05-31 | 2004-05-31 | Robot arm for carrying cassette |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100987865B1 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102175966B1 (en) * | 2014-03-25 | 2020-11-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | Cassette transferring apparatus and method of transferring cassette using the same |
KR102503287B1 (en) * | 2020-10-29 | 2023-02-23 | 세메스 주식회사 | Transport apparatus and control method thereof |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990027220A (en) * | 1997-09-29 | 1999-04-15 | 윤종용 | Cassette compartment with multiple sensors connected in series |
KR100277493B1 (en) | 1997-12-31 | 2001-01-15 | 윤종용 | Wafer Cassette Recognition Device |
KR20040013195A (en) * | 2002-08-05 | 2004-02-14 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Device of right angle auto sense for cassette |
KR20040021427A (en) * | 2002-09-04 | 2004-03-10 | 삼성전자주식회사 | In carrier having loading condition confirmation means of wafer cassette |
-
2004
- 2004-05-31 KR KR1020040039358A patent/KR100987865B1/en active IP Right Grant
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20050114138A (en) | 2005-12-05 |
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