KR20070068580A - Glass conveyance system and method for glass conveyance using the same - Google Patents

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KR20070068580A KR1020050130339A KR20050130339A KR20070068580A KR 20070068580 A KR20070068580 A KR 20070068580A KR 1020050130339 A KR1020050130339 A KR 1020050130339A KR 20050130339 A KR20050130339 A KR 20050130339A KR 20070068580 A KR20070068580 A KR 20070068580A
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Abstract

A glass conveying system and a glass conveying method using the system are provided to directly convey/unload a glass from a cassette by adding a robot arm function for conveying the glass to a stage arranged in a process chamber, thereby reducing the system size and manufacturing cost. A glass conveying system includes a stage(120), a robot hand(185), a driving unit(160a,160b), and a glass plate(190). The stage includes a first driver(120a) and a second driver(120b). The robot hand is arranged in the second driver. The driving unit is located in the second driver and moves the robot hand. The glass plate is combined with the robot hand and conveys a glass(300).

Description

글라스 반송 시스템 및 이를 이용한 글라스 반송방법{GLASS CONVEYANCE SYSTEM AND METHOD FOR GLASS CONVEYANCE USING THE SAME}Glass conveying system and glass conveying method using same {GLASS CONVEYANCE SYSTEM AND METHOD FOR GLASS CONVEYANCE USING THE SAME}

도 1은 종래 기술에 따라 액정표시장치 제조장비에서 글라스 반송 과정을 도시한 평면도.1 is a plan view illustrating a glass conveying process in a liquid crystal display manufacturing apparatus according to the prior art.

도 2는 종래 기술에 따라 액정표시장치 제조장비에서 글라스 반송과정을 도시한 측면도.Figure 2 is a side view showing a glass conveying process in the liquid crystal display manufacturing apparatus according to the prior art.

도 3은 본 발명에 따라 액정표시장치 제조장비에서 글라스 반송과정을 도시한 평면도.3 is a plan view illustrating a glass conveying process in a liquid crystal display manufacturing apparatus according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따라 액정표시장치 제조장비에서 글라스 반송과정을 도시한 측면도.Figure 4 is a side view showing a glass conveying process in the liquid crystal display manufacturing apparatus according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 글라스 반송 시스템의 구조를 도시한 측면도.Figure 5 is a side view showing the structure of a glass conveying system according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 글라스 반송 시스템을 이용하여 글라스가 반송되는 모습을 도시한 도면.6 is a view showing a glass conveyed using the glass conveying system according to the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 글라스 반송 시스템에서 사용되는 반송바와 하모닉 드라이버를 도시한 도면.7 is a view showing a conveying bar and a harmonic driver used in the glass conveying system according to the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

120: 스테이지 120a: 제 1 구동부120: stage 120a: first drive unit

120b: 제 2 구동부 145: 지지패드120b: second drive unit 145: support pad

150: 베이스 160a: 구동기어150: base 160a: drive gear

160b: 구동모터 162: 반송바160b: drive motor 162: carrier bar

163: 반송기어 170: 반송모터163: conveying gear 170: conveying motor

175: 지지부 185: 로봇핸드175: support 185: robot hand

186: 스크류모터 187: 스크류블럭186: screw motor 187: screw block

188: 스크류 190: 글라스플레이트188: screw 190: glass plate

300: 글라스300: glass

본 발명은 글라스 반송 시스템에 관한 것으로서, 특히, 글라스 반송 로봇을 공정챔버의 스테이지에 설치함으로써, 장비 비용 절감 및 관리 비용을 줄일 수 있는 글라스 반송 시스템 및 이를 이용한 글라스 반송 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a glass conveying system, and more particularly, to a glass conveying system and a glass conveying method using the same by installing a glass conveying robot on a stage of a process chamber, thereby reducing equipment cost and management cost.

최근 들어 급속한 발전을 거듭하고 있는 액정표시장치는 소형, 경량화 되면서 성능은 더욱 강력해진 제품들이 생산되고 있다.Recently, liquid crystal display devices, which are rapidly developing, are being manufactured with smaller, lighter weight and more powerful products.

지금까지 정보 디스플레이 장치에 널리 사용되고 있는 CRT(cathode ray tube)가 성능이나 가격 측면에서 많은 장점이 있지만, 소형화 또는 휴대성의 측면에서는 많은 단점을 갖고 있었다.Cathode ray tube (CRT), which is widely used in information display devices, has many advantages in terms of performance and price, but has many disadvantages in terms of miniaturization or portability.

이에 반하여, 액정표시장치는 소형화, 경량화, 저 전력 소비화 등의 장점을 갖고 있어 CRT의 단점을 극복할 수 있는 대체 수단으로 점차 주목받아 왔고, 현재는 디스플레이 장치를 필요로 하는 거의 모든 정보 처리 기기에 장착되고 있는 실정이다.On the other hand, liquid crystal displays have been attracting attention as an alternative means of overcoming the shortcomings of CRTs because they have advantages such as miniaturization, light weight, and low power consumption. Currently, almost all information processing devices that require display devices The situation is attached to.

상기와 같은 액정표시장치는 글라스 상에 순차적으로 마스크 공정을 진행하여 게이트 버스 라인과 데이터 버스 라인 및 TFT를 형성한 어레이 기판과, 상기 어레이 기판과 대응되도록 글라스 상에 R, G, B 칼라 필터층을 형성한 칼라필터기판을 얼라인(align) 시켜 합착한 다음, 액정을 주입하여 제조된다.In the above liquid crystal display, an array substrate having a gate bus line, a data bus line, and a TFT formed by sequentially performing a mask process on glass, and an R, G, B color filter layer on the glass so as to correspond to the array substrate. The formed color filter substrate is aligned and bonded to each other, and then manufactured by injecting liquid crystal.

이와 같이, 액정표시장치 제조를 위해서는 여러번의 마스크 공정, 세정공정, 검사 공정등이 수행되는데, 각각의 공정에서는 로봇암에 의해 공정장비 내로 글라스를 이동시킨 다음, 공정 챔버로 글라스 기판을 반송/반출하는 공정이 반복된다.As described above, in order to manufacture the liquid crystal display, a plurality of mask processes, cleaning processes, and inspection processes are performed. In each process, the glass is moved into the process equipment by a robot arm, and then the glass substrate is conveyed / exported to the process chamber. The process is repeated.

도 1은 종래 기술에 따라 액정표시장치 제조장비에서 글라스 반송 과정을 도시한 평면도이고, 도 2는 종래 기술에 따라 액정표시장치 제조장비에서 글라스 반송과정을 도시한 측면도이다.1 is a plan view showing a glass conveying process in the liquid crystal display manufacturing apparatus according to the prior art, Figure 2 is a side view showing a glass conveying process in the liquid crystal display manufacturing apparatus according to the prior art.

액정표시장치 제조공정에서 사용되는 공정장비(10)로 글라스가 로딩/언로딩(loading/unloading)한 다음, 글라스 이송용 로봇을 이용하여 공정챔버 내의 스테이지(20)에 글라스를 반출/반송하는 과정을 도시하였다.Process of loading / unloading glass to the process equipment 10 used in the manufacturing process of the liquid crystal display device, and then transporting / transporting the glass to the stage 20 in the process chamber using a glass transfer robot. Is shown.

도 1 및 도 2 에 도시된 바와 같이, 공정장비(10)에는 공정을 진행하기 위한 챔버와 다수개의 글라스가 적재된 카세트(40a, 40b) 및 상기 카세트(40a, 40b)로부터 글라스를 상기 챔버에 배치된 스테이지(20)에 안착하기 위한 로봇시스템(30)과 로봇암(31)이 배치되어 있다.1 and 2, the process equipment 10 includes a chamber for carrying out the process, cassettes 40a and 40b loaded with a plurality of glasses, and glass from the cassettes 40a and 40b to the chamber. The robot system 30 and the robot arm 31 for seating on the stage 20 are arranged.

상기 카세트(40a, 40b)는 공정을 진행할 글라스들이 적재된 것과 공정 챔버에서 공정이 완료된 글라스가 적재된 것으로 구분되어 상기 공정장비(10)에서 반복적으로 로딩/언로딩이 된다.The cassettes 40a and 40b are divided into those in which the glasses to be processed are loaded and those in which the glass is completed in the process chamber are loaded and repeatedly loaded / unloaded in the process equipment 10.

먼저, 카세트(40a, 40b)에 공정을 진행할 글라스들이 적재되어 공정장비(10) 내로 로딩되면, 상기 로봇시스템(30)의 컨트롤에 의해 상기 로봇암(31)이 상기 카세트(40a, 40b)에 적재된 글라스들을 순차적으로 공정챔버의 스테이지(20)에 안착시킨다.First, when glasses to be processed are loaded into the cassettes 40a and 40b and loaded into the process equipment 10, the robot arm 31 is controlled by the robot system 30 to the cassettes 40a and 40b. The stacked glasses are sequentially seated on the stage 20 of the process chamber.

이와 반대로 공정챔버에서 공정이 완료되면, 상기 스테이지(20)로부터 글라스를 카세트(40a, 40b)로 반송하고, 카세트(40a, 40b)에 적재한 다음, 다음 단계의 공정장비로 카세트를 운반한다.On the contrary, when the process is completed in the process chamber, the glass is conveyed from the stage 20 to the cassettes 40a and 40b, loaded into the cassettes 40a and 40b, and then the cassette is transported to the process equipment of the next step.

그러나, 상기와 같이 공정장비(10) 내에서의 글라스 반송 시스템은 카세트(40a, 40b)로부터 로봇암(31)이 글라스를 반출한 다음, 이를 인접한 공정챔버의 스테이지(20)로 이동하기 때문에 장비 내에서 글라스의 이동이 많은 단점이 있다.However, as described above, in the glass conveying system in the process equipment 10, the robot arm 31 takes out the glass from the cassettes 40a and 40b, and then moves the glass to the stage 20 of the adjacent process chamber. There are many disadvantages of moving the glass within.

아울러, 로봇암(31)과 스테이지가 별도의 구성시스템으로 되어 있기 때문에 장비가 대형화될 뿐 아니라, 로봇시스템(30), 로봇암(31), 스테이지(20)를 별도로 관리해야하는 문제가 있다.In addition, since the robot arm 31 and the stage are configured as a separate configuration system, not only the equipment is enlarged but also there is a problem that the robot system 30, the robot arm 31, and the stage 20 must be separately managed.

특히, 카세트(40a, 40b)로부터 로봇암(31)이 위치한 영역을 지나 스테이지(20)까지 글라스를 이동시키는 과정에서 글라스 파손위험이 매우 큰 단점이 있다.In particular, in the process of moving the glass from the cassettes 40a and 40b to the stage 20 through the area where the robot arm 31 is located, there is a great risk of glass breakage.

본 발명은, 공정챔버 내에 배치된 스테이지에 글라스를 이송하는 로봇암 기 능을 추가시킴으로써, 카세트로부터 직접 글라스를 반송/반출하도록 하여 장비 크기를 줄이고, 제조 비용을 줄일 수 있는 글라스 반송 시스템 및 이를 이용한 글라스 반송 방법을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention, by adding a robot arm function for transporting the glass to the stage disposed in the process chamber, the glass conveying system that can reduce the size of the equipment, manufacturing cost by using the same to transport the glass directly from the cassette The object is to provide a glass conveying method.

상기한 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 글라스 반송 시스템은,In order to achieve the above object, the glass conveying system according to the present invention,

제 1 구동부와 제 2 구동부를 구비한 스테이지;A stage having a first driver and a second driver;

상기 제 2 구동부에 배치되어 있는 로봇핸드;A robot hand disposed in the second drive unit;

상기 제 2 구동부에 배치되어 상기 로봇핸드를 이동시키는 구동수단; 및Drive means disposed on the second drive unit to move the robot hand; And

상기 로봇핸드와 체결되어 글라스를 반송하는 글라스플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.It is characterized in that it comprises a glass plate which is fastened to the robot hand and conveys the glass.

여기서, 상기 제 1 구동부에는 상기 제 2 구동부를 이동시키거나 상기 제 2 구동부에 동력을 전달하기 위하여 구동기어와 구동모터가 구비되고, 상기 구동수단은 복수개의 하모닉드라이버와 반송바를 포함하며, 상기 구동수단은 반송기어와 반송모터를 포함하고, 상기 반송바들은 상기 하모닉드라이버로 연결된 구조인 것을 특징으로 한다.Here, the first drive unit is provided with a drive gear and a drive motor to move the second drive unit or to transfer power to the second drive unit, the drive means includes a plurality of harmonic driver and the transfer bar, the drive The means may include a conveying gear and a conveying motor, and the conveying bars may be connected to the harmonic driver.

본 발명에 따른 글라스 반송 방법은,Glass conveying method according to the present invention,

글라스가 적재되어 있는 카세트를 제공하는 단계;Providing a cassette on which glass is loaded;

상기 카세트에 적재된 글라스를 반송하기 위하여 스테이지와 상기 스테이지와 일체로 구비된 로봇핸드를 제공하는 단계;Providing a stage and a robot hand integrated with the stage to convey the glass loaded on the cassette;

상기 스테이지로부터 상기 로봇핸드가 상승하여 상기 카세트에 적재된 글라 스를 반송하는 단계; 및Raising the robot hand from the stage to convey the glass loaded in the cassette; And

상기 글라스를 반송하는 로봇핸드를 상기 스테이지 내측으로 수납하면서 상기 글라스가 스테이지 상에 안착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.And placing the glass on the stage while accommodating the robot hand for transporting the glass into the stage.

여기서, 상기 로봇핸드는 하모닉드라이버의 구동에 의해 상하 또는 좌우로 이동하고, 상기 로봇핸드 상에는 글라스를 안착시키기 위한 글라스플레이트를 더 구비하며, 상기 글라스플레이트는 상기 로봇핸드를 따라 슬라이딩하면서 카세트에 적재된 글라스를 반출 또는 반송하는 것을 특징으로 한다.Here, the robot hand is moved up and down or left and right by the drive of the harmonic driver, and further comprises a glass plate for seating the glass on the robot hand, the glass plate is mounted in the cassette while sliding along the robot hand It is characterized by carrying out or conveying glass.

본 발명에 의하면, 공정챔버 내에 배치된 스테이지에 글라스를 이송하는 로봇암 기능을 추가시킴으로써, 카세트로부터 직접 글라스를 반송/반출하도록 하여 장비 크기를 줄이고, 제조 비용을 줄일 수 있다.According to the present invention, by adding the robot arm function for transferring the glass to the stage disposed in the process chamber, the glass can be conveyed / exported directly from the cassette to reduce the size of the equipment and reduce the manufacturing cost.

이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 실시 예를 자세히 설명하도록 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따라 액정표시장치 제조장비에서 글라스 반송과정을 도시한 평면도이고, 도 4는 본 발명에 따라 액정표시장치 제조장비에서 글라스 반송과정을 도시한 측면도이다.3 is a plan view showing a glass conveying process in the liquid crystal display manufacturing apparatus according to the present invention, Figure 4 is a side view showing a glass conveying process in the liquid crystal display manufacturing apparatus according to the present invention.

도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 공정장비(100)에는 공정을 진행하기 위한 챔버와 다수개의 글라스가 적재된 카세트(140a, 140b)로 구성되어 있다. 상기 챔버에 배치된 스테이지(120)에는 상기 카세트(140a, 140b)로부터 직접 글라스를 반송/반출할 수 있는 글라스 반송 시스템(130)이 구비되어 있다.As shown in Figures 3 and 4, the process equipment 100 is composed of a chamber for proceeding the process and a cassette (140a, 140b) on which a plurality of glasses are loaded. The stage 120 disposed in the chamber is provided with a glass conveying system 130 that can convey / carry glass directly from the cassettes 140a and 140b.

그래서, 상기 스테이지(120) 상에는 상기 글라스 반송 시스템(130)의 로봇암 (131)이 노출되어 있다.Thus, the robot arm 131 of the glass conveying system 130 is exposed on the stage 120.

본 발명에서는 공정챔버에서 공정을 진행하기 위해서는 상기 스테이지(120)에서 직접 상기 카세트(140a, 140b)로부터 글라스를 반출한 다음, 글라스를 상기 스테이지(120) 상에 안착시킨다.In the present invention, in order to proceed with the process in the process chamber, the glass is directly taken out from the cassettes 140a and 140b in the stage 120, and then the glass is seated on the stage 120.

또한, 공정챔버에서 공정이 완료되면, 상기 스테이지(120)에서 글라스를 직접 카세트(140a, 140b)에 적재한다.In addition, when a process is completed in the process chamber, the glass is directly loaded on the cassettes 140a and 140b in the stage 120.

이와 같이, 본 발명에서는 공정챔버에서 공정을 진행하기 위해서 스테이지(120)에 배치되어 있는 글라스 반송 시스템(130)을 이용하여 직접 카세트로부터 글라스를 반송할 수 있는 이점이 있다.As described above, in the present invention, there is an advantage in that the glass can be conveyed directly from the cassette by using the glass conveying system 130 disposed on the stage 120 to proceed the process in the process chamber.

도 5는 본 발명에 따른 글라스 반송 시스템의 구조를 도시한 측면도이다.5 is a side view showing the structure of the glass conveying system according to the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 글라스 반송 시스템은 베이스(150) 상에 제 1 구동부(120a)와 제 2 구동부(120b)로 구성된 스테이지(120)가 놓여있는 구조로 되어 있다. 상기 스테이지(120)는 상기 베이스(150) 상에 에어 베어링(air bearing)으로된 지지패드(145)에 안착되어 있다.As shown in FIG. 5, the glass conveying system has a structure in which a stage 120 including a first driver 120a and a second driver 120b is placed on the base 150. The stage 120 is seated on a support pad 145 which is an air bearing on the base 150.

상기 제 1 구동부(120a)에는 글라스(130)가 안착될 스테이지 역할을 하면서, 글라스(130)를 직접 반출/반송할 수 있는 글라스플레이트(190), 로봇핸드(185) 및 이들을 구동할 수 있는 구동수단이 구비되어 있다.The glass plate 190, the robot hand 185, and the drive capable of driving the glass 130, which can directly carry / transfer the glass 130, act as a stage on which the glass 130 is seated on the first driver 120a. Means are provided.

상기 글라스플레이트(190)와 로봇핸드(185)는 하모닉 드라이버(Harmonic Driver:180)와 반송바(162)로 구성된 구동수단들에 의해 글라스(300)를 반송/반출할 수 있도록 동작된다.The glass plate 190 and the robot hand 185 are operated to convey / carry out the glass 300 by driving means including a harmonic driver 180 and a conveyance bar 162.

보다 상세히 설명하면, 글라스플레이트(190) 하측에는 로봇핸드(185)가 배치되어 있고, 상기 로봇핸드(185)는 하모닉 드리이버(180) 및 반송바(162)와 지지부(175)로 연결되어 있다.In more detail, the robot hand 185 is disposed below the glass plate 190, and the robot hand 185 is connected to the harmonic driver 180, the carrier bar 162, and the support part 175.

상기 로봇핸드(185)에는 글라스(300)를 카세트로부터 반출/반송하기 위하여 슬라이드(slide) 기능이 있는데, 이것은 상기 로봇핸드(185)에 배치된 스크류(screw) 모터(186), 스크류블럭(187) 및 스크류(188)에 의해 작동된다.The robot hand 185 has a slide function for transporting and transporting the glass 300 from the cassette, which is a screw motor 186 and a screw block 187 disposed on the robot hand 185. ) And screw 188.

상기 스크류블럭(187)은 상기 글라스플레이트(190)와 고정되어 있기 때문에 상기 스크류(188)를 따라 이동하면 상기 글라스플레이트(190)를 로봇핸드(185) 표면을 따라 이동시키는 역할을 한다.Since the screw block 187 is fixed to the glass plate 190, when the screw block 187 moves along the screw 188, the screw block 187 moves the glass plate 190 along the surface of the robot hand 185.

그리고 상기 로봇핸드(185)의 상하운동은 상기 하모닉드라이버(180)와 반송바(162)의 구동으로 이루어지는데, 먼저 제 1 구동부(120a)에 배치되어 있는 반송기어(163)과 반송모터(170)의 동력이 상기 반송바(162)의 가장자리에 배치되어 있는 하모닉드라이버(180)에 전달되면, 상기 하모닉드라이버(180)의 동작에 따라 접혀있던 상기 반송바(163)가 펴지면서 상기 로봇핸드(185)가 스테이지(120)로부터 이격된다.In addition, the vertical movement of the robot hand 185 is performed by driving the harmonic driver 180 and the transfer bar 162. First, the transfer gear 163 and the transfer motor 170 disposed on the first drive unit 120a. When the power of) is transmitted to the harmonic driver 180 disposed at the edge of the conveyance bar 162, the conveyance bar 163 folded in accordance with the operation of the harmonic driver 180 is expanded to the robot hand ( 185 is spaced apart from the stage 120.

상기 스테이지(120)의 제 2 구동부(120b)는 상기 제 1 구동부(120a)를 움직이거나 상기 제 1 구동부(120a)에 동력을 전달할 수 있는 구동기어(160a)와 구동모터(160b)로 구성되어 있다.The second driving unit 120b of the stage 120 includes a driving gear 160a and a driving motor 160b capable of moving the first driving unit 120a or transmitting power to the first driving unit 120a. have.

이와 같이, 본 발명에서는 공정챔버에서 사용되는 스테이지 내측에 로봇시스템을 일체화함으로써, 액정표시장치의 공정장비 크기를 줄이고 관리 및 부대 비용 을 절감할 수 있는 효과가 있다.Thus, in the present invention, by integrating the robot system inside the stage used in the process chamber, there is an effect that can reduce the size of the process equipment of the liquid crystal display device and reduce the management and incident costs.

도 6은 본 발명에 따른 글라스 반송 시스템을 이용하여 글라스가 반송되는 모습을 도시한 도면이다.6 is a view illustrating a state in which glass is conveyed using the glass conveying system according to the present invention.

도 6에 도시한 바와 같이, 글라스 반송 시스템은 공정챔버에서 공정을 진행하기 위해 글라스가 놓여지는 스테이지(120) 기능과 카세트 또는 공정챔버에서 외부로 글라스를 반출/반송하는 기능을 한다.As shown in FIG. 6, the glass conveying system functions as a stage 120 in which the glass is placed to proceed the process in the process chamber and a function of carrying / transporting the glass from the cassette or the process chamber to the outside.

상기 스테이지(120)의 제 1 구동부(120a)에는 로봇암(185)을 수납할 수 있는 수납공간(400)이 형성되어 있다.The first driving unit 120a of the stage 120 has a storage space 400 for receiving the robot arm 185.

카세트로부터 글라스(300)를 스테이지(120)에 안착시키는 과정을 설명하면 다음과 같다.A process of seating the glass 300 on the stage 120 from the cassette is described below.

먼저, 제 2 구동부(120b)의 조절에 따라 상기 스테이지의 제 1 구동부(120a)는 카세트가 위치한 영역으로 이동한다. 이와 같이 상기 제 1 구동부(120a)를 이동시키는 동력은 상기 제 2 구동부(120b)에 설치되어 있는 구동기어(160a)와 구동모터(106b)로부터 전달받는다.First, the first driver 120a of the stage moves to the region where the cassette is located according to the adjustment of the second driver 120b. As such, the power for moving the first driving unit 120a is received from the driving gear 160a and the driving motor 106b installed in the second driving unit 120b.

그런 다음, 상기 제 1 구동부(120a)의 하모닉드라이버(180)의 동작에 따라 상기 하모닉드라이버(180)와 연결된 반송바(162)가 상승한다. 상기 반송바(162)는 카세트의 높이에 따라 다수개의 반송바들이 접혀진 구조로 되어 있고, 각각의 반송바들 사이에는 하모닉드라이버(180)가 배치되어 있다.Then, according to the operation of the harmonic driver 180 of the first driving unit 120a, the carrier bar 162 connected to the harmonic driver 180 is raised. The conveying bar 162 has a structure in which a plurality of conveying bars are folded according to a height of a cassette, and a harmonic driver 180 is disposed between each conveying bar.

상기 반송바(162)의 상승은 먼저 제 1 구동부(120a)에 배치되어 있는 반송기어(163)와 반송모터(170)의 동력을 받아 하모닉드라이버(180)가 구동되고, 상기 하 모닉드라이버(180)의 구동에 따라 접혀져 있던 반송바(162)가 펴지면서 상기 반송바(180)의 가장자리에 연결되어 있는 지지부(175)와 로봇핸드(185)가 상승하게 된다.The lift bar 162 is first driven by the transfer gear 163 and the transfer motor 170 arranged in the first drive unit 120a to drive the harmonic driver 180, and the harmonic driver 180. As the conveyance bar 162 which is folded according to the driving of) is expanded, the support 175 and the robot hand 185 connected to the edge of the conveyance bar 180 are raised.

상기 로봇핸드(185)가 상승되면, 상기 로봇핸드(185) 내측에 배치되어 있는 스크류모터(186)의 동작에 따라 스크류(188)를 따라 스크류블럭(187)이 이동하게 된다.When the robot hand 185 is raised, the screw block 187 moves along the screw 188 according to the operation of the screw motor 186 disposed inside the robot hand 185.

이와 같이 스크류블럭(187)이 상기 스크류(188)를 따라 이동하면 스크류블럭(187)과 연결되어 있는 글라스플레이트(190)가 슬라이딩 되면서 카세트 방향으로 전진한다.As such, when the screw block 187 moves along the screw 188, the glass plate 190 connected to the screw block 187 slides to move forward in the cassette direction.

이렇게 상기 글라스플레이트(190)가 카세트 내부로 삽입되어 글라스(300)가 놓여지면, 위에서 진행한 동작과 반대 동작을 진행한다.When the glass plate 190 is inserted into the cassette and the glass 300 is placed in this way, an operation opposite to the above operation is performed.

즉, 제 1 구동부(120a)의 반송모터(170)와 반송기어(163)가 하모닉드라이버(180)에 동력을 전달하여 펴져 있던 반송바(162)를 다시 접힘으로써, 상기 로봇핸드(185)가 제 1 구동부(120a)의 수납공간(400) 위치하도록 한다.That is, the transfer motor 170 and the transfer gear 163 of the first drive unit 120a transfer power to the harmonic driver 180 to fold the extended transfer bar 162, whereby the robot hand 185 The storage space 400 of the first driver 120a is positioned.

이때, 글라스플레이트(190)는 스크류모터(186)의 동작에 따라 상기 로봇핸드(185) 상부로 슬라이딩된다.In this case, the glass plate 190 is slid above the robot hand 185 according to the operation of the screw motor 186.

따라서, 상기 로봇핸드(185)가 제 1 구동부(120a)의 수납공간에 위치하면, 상기 글라스플레이트(190)에 안착된 글라스(300)는 제 1 구동부(120a) 상부면에 위치하게 된다.Therefore, when the robot hand 185 is located in the storage space of the first driver 120a, the glass 300 seated on the glass plate 190 is located on the upper surface of the first driver 120a.

이것은 스테이지(120) 상에 글라스(300)가 안착된 모습과 동일하다.This is the same as the glass 300 is seated on the stage 120.

이와 반대로 스테이지(120)에서 공정이 완료된 경우에 글라스(300)를 카세트로 반송하여 적재하는 방식은 이와 동일한 방식으로 진행된다.On the contrary, when the process is completed in the stage 120, the glass 300 is transferred to the cassette and loaded in the same manner.

즉, 상기 하모닉드라이버(180)의 구동으로 반송바(162)를 편다음, 상기 로봇핸드(185)를 카세트 영역으로 상승시키고, 상기 로봇핸드(185)에 배치된 스크류모터(186)의 동작에 따라 글라스플레이트(190)를 슬라이딩시켜 공정이 완료된 글라스(300)를 카세트에 적재시킨다.That is, after the transfer bar 162 is opened by driving the harmonic driver 180, the robot hand 185 is raised to the cassette region, and the operation of the screw motor 186 disposed on the robot hand 185 is performed. Accordingly, the glass plate 190 is slid to load the glass 300 having completed the process in the cassette.

도 7은 본 발명에 따른 글라스 반송 시스템에서 사용되는 반송바와 하모닉 드라이버를 도시한 도면이다.7 is a view showing a carrier bar and a harmonic driver used in the glass conveying system according to the present invention.

도 7에 도시된 바와 같이, 글라스 반송 시스템에서 로봇핸드를 상하 및 전후로 이동시키는 수단인 하모닉드라이버(180)와 반송바(162)는 다수개의 반송바(162)가 하모닉드라이버(180)에 연결된 상태로 접혀지도록 되어 있다.As shown in FIG. 7, the harmonic driver 180 and the conveyance bar 162, which are means for moving the robot hand up and down and back and forth in the glass conveyance system, have a plurality of conveyance bars 162 connected to the harmonic driver 180. It is supposed to be folded.

따라서, 상기 하모닉드라이버(180)에 동력이 공급되면, 반송바(162)가 눕혀진 상태에서 상승하고, 상승하는 반송바(162)와 연결된 또 다른 반송바(162)도 상기 하모닉드라이버(180)에 의해 같은 동작을 한다.Therefore, when power is supplied to the harmonic driver 180, the carrier bar 162 rises in a lying down state, and another carrier bar 162 connected to the rising carrier bar 162 is also the harmonic driver 180. Do the same.

그래서 다수개가 하모닉드라이버(180)로 연결된 반송바(162)는 접혀진 상태로 배치될 수 있어, 최소의 공간에 위치할 수 있다.Thus, the plurality of carrier bars 162 connected to the harmonic driver 180 may be arranged in a folded state, and thus may be located in a minimum space.

그런 다음, 동력 공급에 따라 연결된 모든 반송바(162)들이 접혀진 상태에서 펴지기 때문에 높은 위치의 영역까지 로봇핸드를 이동시킬 수 있다.Then, the robot hand can be moved to an area of a high position because all the carrier bars 162 connected according to the power supply are unfolded in a folded state.

이와 같이, 본 발명에서는 공정챔버에서 글라스를 안착시킬 때 사용하는 스테이지에 글라스 반송을 위한 로봇 시스템을 일체화시킴으로써, 챔버 스테이지에서 곧바로 카세트로부터 글라스를 반출/반송할 수 있도록 하여 공정 택 타임을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, in the present invention, by integrating the robot system for conveying the glass into the stage used for seating the glass in the process chamber, the process stage can be shortened by allowing the glass to be taken out / conveyed immediately from the cassette at the chamber stage. It has an effect.

이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명은 공정챔버 내에 배치된 스테이지와 글라스 반송을 위한 로봇 시스템을 일체화하여 제조장비의 크기를 줄인 효과가 있다.As described in detail above, the present invention has the effect of reducing the size of the manufacturing equipment by integrating the robot system for glass transfer with the stage disposed in the process chamber.

또한, 카세트로부터 스테이지로 직접 글라스를 반출/반송할 수 있기 때문에 공정시간이 줄어들어 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.In addition, since the glass can be directly transported / transported from the cassette to the stage, there is an advantage of reducing the processing time and improving productivity.

또한, 제조장비에 별도로 로봇시스템을 구비하지 않아도 되기 때문에 비용투자를 줄일 수 있고, 아울러 관리 및 운용 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.In addition, since there is no need to provide a separate robotic system in the manufacturing equipment, it is possible to reduce the cost investment, and also to reduce the management and operating costs.

본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하 청구 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention as claimed in the following claims.

Claims (15)

제 1 구동부와 제 2 구동부를 구비한 스테이지;A stage having a first driver and a second driver; 상기 제 2 구동부에 배치되어 있는 로봇핸드;A robot hand disposed in the second drive unit; 상기 제 2 구동부에 배치되어 상기 로봇핸드를 이동시키는 구동수단; 및Drive means disposed on the second drive unit to move the robot hand; And 상기 로봇핸드와 체결되어 글라스를 반송하는 글라스플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 반송 시스템.And a glass plate coupled to the robot hand to convey glass. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 구동부에는 상기 제 2 구동부를 이동시키거나 상기 제 2 구동부에 동력을 전달하기 위하여 구동기어와 구동모터가 구비된 것을 특징으로 하는 글라스 반송 시스템.The glass conveying system of claim 1, wherein the first driving unit includes a driving gear and a driving motor to move the second driving unit or to transmit power to the second driving unit. 제 1 항에 있어서, 상기 구동수단은 복수개의 하모닉드라이버와 반송바를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 반송 시스템.The glass conveying system of claim 1, wherein the driving means comprises a plurality of harmonic drivers and a conveying bar. 제 1 항에 있어서, 상기 구동수단은 반송기어와 반송모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 반송 시스템.The glass conveying system of claim 1, wherein the driving means comprises a conveying gear and a conveying motor. 제 3 항에 있어서, 상기 반송바들은 상기 하모닉드라이버로 연결된 구조인 것을 특징으로 하는 글라스 반송 시스템. The glass conveying system of claim 3, wherein the conveying bars have a structure connected to the harmonic driver. 제 3 항에 있어서, 상기 반송바들은 하모닉드라이버에 의해서 접혀지거나 펴지는 것을 특징으로 하는 글라스 반송 시스템.4. The glass conveying system of claim 3, wherein the conveying bars are folded or unfolded by a harmonic driver. 제 1 항에 있어서, 상기 로봇핸드에는 상기 글라스플레이트를 슬라이딩시킬 수 있도록 이동수단이 구비된 것을 특징으로 하는 글라스 반송 시스템.The glass conveying system of claim 1, wherein the robot hand is provided with a moving unit to slide the glass plate. 제 7 항에 있어서, 상기 이동수단은 글라스플레이트와, 체결된 스크류블럭, 상기 스크류블럭을 슬라이딩시키는 스크류와, 상기 스크류블럭에 동력을 전달하는 스크류모터로 구성된 것을 특징으로 하는 글라스 반송 시스템.8. The glass conveying system according to claim 7, wherein the moving means comprises a glass plate, a screw block fastened, a screw sliding the screw block, and a screw motor transferring power to the screw block. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 구동부는 상기 제 1 구동부에 의해서 이동되는 것을 특징으로 하는 글라스 반송 시스템.The glass conveying system of claim 1, wherein the second driving unit is moved by the first driving unit. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 구동부에는 상기 로봇핸드가 수납될 수 있도록 수납공간이 형성된 것을 특징으로 하는 글라스 반송 시스템.The glass conveying system of claim 1, wherein an accommodation space is formed in the first driving unit to accommodate the robot hand. 제 10 항에 있어서, 상기 제 1 구동부에 배치된 로봇핸드가 수납공간에 수납되면 글라스를 안착시킬 스테이지로 사용되는 것을 특징으로 하는 글라스 반송 시스템.The glass conveying system according to claim 10, wherein the robot hand disposed in the first driving unit is used as a stage for seating the glass when the robot hand is accommodated in the storage space. 글라스가 적재되어 있는 카세트를 제공하는 단계;Providing a cassette on which glass is loaded; 상기 카세트에 적재된 글라스를 반송하기 위하여 스테이지와 상기 스테이지와 일체로 구비된 로봇핸드를 제공하는 단계;Providing a stage and a robot hand integrated with the stage to convey the glass loaded on the cassette; 상기 스테이지로부터 상기 로봇핸드가 상승하여 상기 카세트에 적재된 글라스를 반송하는 단계; 및Conveying the glass loaded on the cassette by raising the robot hand from the stage; And 상기 글라스를 반송하는 로봇핸드를 상기 스테이지 내측으로 수납하면서 상기 글라스가 스테이지 상에 안착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 반송 방법.And placing the glass on the stage while accommodating the robot hand for transporting the glass into the stage. 제 12 항에 있어서, 상기 로봇핸드는 하모닉드라이버의 구동에 의해 상하 또는 좌우로 이동하는 것을 특징으로 하는 글라스 반송방법.13. The glass conveying method of claim 12, wherein the robot hand moves vertically or horizontally by driving a harmonic driver. 제 12 항에 있어서, 상기 로봇핸드 상에는 글라스를 안착시키기 위한 글라스플레이트를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 글라스 반송방법.13. The glass conveying method according to claim 12, further comprising a glass plate for seating the glass on the robot hand. 제 14 항에 있어서, 상기 글라스플레이트는 상기 로봇핸드를 따라 슬라이딩하면서 카세트에 적재된 글라스를 반출 또는 반송하는 것을 특징으로 하는 글라스 반송방법.15. The glass conveying method according to claim 14, wherein the glass plate carries or conveys the glass loaded in the cassette while sliding along the robot hand.
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