KR101214352B1 - Method and apparatus for manufacturing color filter - Google Patents
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Abstract
화면 사이즈나 유리 기판의 대형화에 상관없이, 잉크젯 노즐로부터 토출되는 컬러 재료를 화소 영역의 중앙부에 도포하는 잉크젯 헤드 바(5)의 길이 방향과 평행한 방향을 화소의 길이 방향으로 설정하고, 잉크젯 헤드 바(5)의 상대적인 이동 방향을 화소의 길이 방향과 직교하는 방향으로 설정한다.
Irrespective of screen size or enlargement of the glass substrate, the direction parallel to the longitudinal direction of the inkjet head bar 5 for applying the color material discharged from the inkjet nozzle to the center of the pixel region is set to the pixel length direction, The relative movement direction of the bar 5 is set to the direction orthogonal to the longitudinal direction of the pixel.
Description
본 발명은, 잉크젯 노즐을 이용하여 유리 기판 상에 컬러 필터를 제조하는 방법 및 그 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method and apparatus for producing a color filter on a glass substrate using an inkjet nozzle.
종래부터, 잉크젯 노즐을 이용하여 유리 기판 상에 컬러 필터를 제조하는 방법이 제안되어 있다(특허 문헌 1 참조).Conventionally, the method of manufacturing a color filter on a glass substrate using an inkjet nozzle is proposed (refer patent document 1).
구체적으로는, 투명 기판 상에 투명한 착색재 수용층을 적어도 설치하고, 다른 색의 화소간이 되어야 할 영역을 발(撥) 착색재성을 가진 비착색 영역으로 하고, 동일색이 되어야할 화소끼리 인접하는 부분에서는, 상기 동일색이 되어야 할 복수의 화소 부분을 화소간 영역도 포함하여 빈틈없이 착색재를 부여함으로써 착색하여 컬러 필터를 제조하도록 하고 있다.Specifically, at least a transparent coloring material accommodating layer is provided on the transparent substrate, and an area to be inter pixel between different colors is used as a non-colored area having color coloring property, and adjacent portions of pixels to be the same color. In the above, a plurality of pixel portions which should be the same color are colored to produce a color filter by imparting a colorant without any gap including the inter-pixel region.
또한, 모든 화면을 직선상으로 평행하게 주(主) 주사하여 묘화하는 방법을 채용하고, 동일색으로 착색해야 할 화소부가 주 주사 방향과 동일한 방향으로 배열되도록 화소 배열을 설계함으로써, 화소열을 따른 직선상의 주 주사로 전면 묘화를 달성하도록 하고 있다.In addition, by adopting a method of main scanning and drawing all screens in a straight line in parallel, and designing a pixel array so that pixel portions to be colored in the same color are arranged in the same direction as the main scanning direction, Main drawing in a straight line is to achieve full drawing.
또한, 잉크젯 노즐을 이용해 유리 기판 상에 컬러 필터를 제조하기 위해서, 제1 이동 기구에 의해 잉크젯 헤드를 제1의 방향으로 구동하고, 제2 이동 기구에 의해 컬러 필터용 기판 재치(載置)용의 재치대를, 제1의 방향과 다른 제2의 방향으로 이동시키고, 또한, 노즐이 필터 엘리먼트의 종렬을 따르도록 제1 이동 기구를 이동시키고, 또한 노즐로부터 토출되는 잉크 방울이 필터 엘리먼트 내에서 서로 겹치는 토출 주기 및 잉크젯 헤드의 이동 속도로, 토출 주기 및 제1 이동 기구 및 제2 이동 기구를 제어하는 방법이 제안되어 있다(특허 문헌 2 참조).Moreover, in order to manufacture a color filter on a glass substrate using an inkjet nozzle, an inkjet head is driven by a 1st moving mechanism in a 1st direction, and the board | substrate for color filters is mounted by a 2nd moving mechanism. Move the mounting table in a second direction different from the first direction, and also move the first moving mechanism so that the nozzles follow the column of filter elements, and ink droplets discharged from the nozzles A method of controlling the discharge period, the first moving mechanism and the second moving mechanism at the overlapping discharge period and the moving speed of the inkjet head has been proposed (see Patent Document 2).
<특허 문헌 1> 일본국 특개평 9-68611호 공보<
<특허 문헌 2> 일본국 특개평 10-260307호 공보<
<발명이 해결하려고 하는 과제>Problem to be solved by invention
특허 문헌 1의 방법을 채용한 경우로서, 다른 화면 사이즈의 각각에 대처하는 경우에는, 화면 사이즈마다 피치가 다르기 때문에, 잉크젯 노즐과 화소의 중앙부가 일치할 확률이 낮아지고, 그 결과, 잉크젯 헤드에 의한 스캔 회수가 많아져, 전체적로서의 도포 소요 시간이 길어져 버리는 문제가 있다.In the case of adopting the method of
이러한 문제를 해소시키기 위해서, 잉크젯 헤드를 회전시킴으로써 잉크젯 노즐의 피치를 변경하는 것을 생각할 수 있는데, 절차 변경에 많은 시간이 걸린다는 문제가 있다.In order to solve this problem, it is conceivable to change the pitch of the ink jet nozzle by rotating the ink jet head, but there is a problem that a procedure change takes a long time.
또한, 최근의 경향으로서 컬러 필터의 대형화, 컬러 필터가 형성되는 유리 기판의 대형화가 있고, 이와 같이 컬러 필터, 유리 기판이 대형화된 경우에 있어서, 특허 문헌 1과 같이 전체 화면을 직선상으로 평행하게 주 주사하여 묘화하는 방법을 채용하여, 동일색으로 착색해야 할 화소부가 주 주사 방향과 동일한 방향으로 배열되도록 화소 배열을 설계한 경우에는, 주 주사의 전체 범위에 걸쳐서, 잉크젯 노즐로부터 토출되는 컬러 재료가 화소 영역의 중앙부에 도포되도록 위치 결정하는 것이 곤란하고, 실제로, 일부의 화소 영역에 대해서는 원하는 컬러 재료가 도포되지 않고, 결과적으로 불량품을 제조해 버릴 가능성이 높아진다는 문제도 있다.In recent years, there has been an increase in the size of the color filter and the increase in the size of the glass substrate on which the color filter is formed. In this case, when the color filter and the glass substrate are enlarged in this way, the entire screen is parallel and parallel as in
특허 문헌 2의 방법을 채용한 경우에는, 다른 화면 사이즈의 각각에 대처하기 위해서는, 화면 사이즈마다 피치가 다르기 때문에, 잉크젯 노즐과 화소의 중앙부가 일치할 확률이 낮아지고, 그 결과, 잉크젯 헤드에 의한 스캔 회수가 많아져, 전체적으로 도포 소요 시간이 길어져 버리는 문제가 있다.In the case of adopting the method of
또한, 특허 문헌 2의 도 4에 도시하는 바와같이, 전체 화면을 직선상으로 평행하게 주 주사하여 묘화하고, 동일색으로 착색해야 할 화소부가 주 주사 방향과 동일한 방향으로 배열되도록 화소 배열을 설계하고 있으므로, 컬러 필터, 유리 기판이 대형화된 경우에, 주 주사의 모든 범위에 걸쳐, 잉크젯 노즐로부터 토출되는 컬러 재료가 화소 영역의 중앙부에 도포되도록 위치 결정하는 것이 곤란하고, 실제로, 일부의 화소 영역에 대해서는 원하는 컬러 재료가 도포되지 않아, 결과적으로 불량품을 제조해 버릴 가능성이 높아져 버린다는 문제가 있다.In addition, as shown in Fig. 4 of
또한, 양 이동 기구에 높은 정밀도가 필요하게 되므로, 전체적으로 비용 상승을 초래하게 된다.In addition, since high precision is required for both moving mechanisms, the overall cost rises.
본 발명은, 상기의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 화면 사이즈나 유리 기판의 대형화에 상관없이, 잉크젯 노즐로부터 토출되는 컬러 재료를 화소 영역의 중앙부에 도포할 수 있는 컬러 필터 제조 방법 및 그 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.This invention is made | formed in view of the said problem, and provides the color filter manufacturing method and apparatus which can apply | coat the color material discharged from an inkjet nozzle to the center part of a pixel area irrespective of the screen size and enlargement of a glass substrate. It is aimed at.
<과제를 해결하기 위한 수단>MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS [
청구항 1의 컬러 필터 제조 방법은, 복수개의 잉크젯 노즐을 구비한 잉크젯 헤드를 복수개 배열한 잉크젯 헤드 바와 블랙 매트릭스를 표면에 형성한 유리 기판을 상대적으로 이동시키면서, 상기 잉크젯 노즐로 상기 블랙 매트릭스의 화소에 컬러 재료를 도포하는 컬러 필터 제조 방법에 있어서, 잉크젯 헤드 바의 길이 방향과 평행한 방향을 상기 화소의 길이 방향으로 설정하고, 잉크젯 노즐마다 컬러 재료의 토출/비토출을 미리 설정해 두고, 잉크젯 노즐에 대한 유리 기판의 상대적 위치 정보와 상기 설정 정보를 기초로 잉크젯 노즐의 컬러 재료의 토출을 제어하는 방법이다.The method of manufacturing a color filter according to
청구항 2의 컬러 필터 제조 방법은, 복수개의 잉크젯 노즐을 구비한 잉크젯 헤드를 복수개 배열한 잉크젯 헤드 바와 블랙 매트릭스를 표면에 형성한 유리 기판을 상대적으로 이동시키면서, 상기 잉크젯 노즐로 상기 블랙 매트릭스의 화소에 컬러 재료를 도포하는 컬러 필터 제조 방법에 있어서, 잉크젯 헤드 바의 길이 방향과 평행한 방향을 동일색의 화소의 배열 방향으로 설정하고, 잉크젯 노즐마다 컬러 재료의 토출/비토출을 미리 설정해 두고, 잉크젯 노즐에 대한 유리 기판의 상대적 위치 정보와 상기 설정 정보를 기초로 잉크젯 노즐의 컬러 재료의 토출을 제어하는 방법이다.The method of manufacturing a color filter according to
청구항 3의 컬러 필터 제조 방법은, 상기 토출/비토출의 설정을, 유리 기판의 상기 상대적인 이동 방향에 있어서의 좌표에 의거하여 행하는 방법이다.The color filter manufacturing method of
청구항 4의 컬러 필터 제조 방법은, 1화소에 대향하는 잉크젯 노즐의 수 N, 잉여 노즐수 n, 잉크젯 노즐(52)의 액적(液滴) 한방울당의 양 Q, 상기 상대적 이동 방향에서의 화소내 토출 회수 M, 및 1화소에 도포하는 컬러 재료의 양 V가 수식 1의 관계를 가지는 방법이다.The color filter manufacturing method of
<수식 1><
V≤M?(N-n)?Q(n은 1이상의 정수)V≤M? (N-n)? Q (n is an integer of 1 or more)
청구항 5의 컬러 필터 제조 방법은, 상기 토출/비토출의 설정을, 유리 기판의 상기 화소의 길이 방향에 있어서의 좌표에 의거하여 행하는 방법이다.The color filter manufacturing method of
청구항 6의 컬러 필터 제조 방법은, 상기 상대적인 이동이 종료할 때마다 잉크젯 헤드 바(5)를 길이 방향으로 이동시키는 방법이고, 상기 길이 방향의 이동량은, 길이 방향의 이동 전후에 있어서의 컬러 재료의 도포 영역이 서로 겹치지 않는 이동량과 화소의 길이 방향 피치를 가산한 값이다.The color filter manufacturing method of
청구항 7의 컬러 필터 제조 방법은, 상기 상대적인 이동마다, 잉크젯 노즐(52)마다 컬러 재료의 토출/비토출의 설정을 변경하는 방법이다.The color filter manufacturing method of
청구항 8의 컬러 필터 제조 장치는, 복수개의 잉크젯 노즐을 구비한 잉크젯 헤드를 복수개 배열한 잉크젯 헤드 바를 지지하는 지지 부재와, 블랙 매트릭스를 표면에 형성한 유리 기판을 흡착 유지하는 흡착 테이블과, 잉크젯 헤드 바와 유리 기판을, 소정의 간극을 유지한 상태에서 상대적으로 이동시키는 제1 이동 수단과, 잉크젯 헤드 바와 유리 기판을, 상기 제1 이동 수단에 의한 이동 방향과 직교하는 방향으로 이동시키는 제2 이동 수단과, 유리 기판 및 잉크젯 노즐의 디멘션(dimension)을 입력하여, 디멘션 데이터를 기억하는 제1 기억 수단을 포함하는 컬러 필터 제조 장치에 있어서,The color filter manufacturing apparatus of
상기 유리 기판과 잉크젯 바의 상대 위치를 검출하는 검출 수단과, 검출한 상대 위치에 의거하여 잉크젯 노즐마다 컬러 재료의 토출을 제어하는 토출 제어 수단을 포함하는 것이다.Detection means for detecting the relative position of the glass substrate and the inkjet bar, and ejection control means for controlling the ejection of the color material for each inkjet nozzle based on the detected relative position.
청구항 9의 컬러 필터 제조 장치는, 잉크젯 헤드 바의, 상기 제1 이동 수단에 의한 이동 방향과 직교하는 방향에 있어서의 도포 영역을, 유리 기판의 상기 제1 이동 수단에 의한 이동 방향과 직교하는 방향에 있어서의 도포 영역보다도 크게 설정한 것이다.The color filter manufacturing apparatus of
청구항 10의 컬러 필터 제조 장치는, 입력된 상대적 이동 방향의 유리 기판 화소 및 잉크젯 노즐의 위치 정보로부터, 유리 기판과 잉크젯 헤드 바의, 상기 제1 이동 수단에 의한 이동 방향에 있어서의 상대 위치마다의 각 잉크젯 노즐의 컬러 재료의 토출/비토출을 연산/판단하는 제1 연산 수단과, 제1 연산 수단에 의한 연산/판단 결과를 기억하는 제2 기억 수단을 더 포함하는 것이다.The color filter manufacturing apparatus of
청구항 11의 컬러 필터 제조 장치는, 입력된 상대적 이동 방향의 유리 기판 화소 및 잉크젯 노즐의 위치 정보로부터, 각 잉크젯 노즐의 상기 제1 이동 수단에 의한 이동 방향과 직교하는 방향에 있어서의 컬러 재료의 토출/비토출을 연산/판단하는 제2 연산 수단과, 제2 연산 수단에 의한 연산/판단 결과를 기억하는 제3 기억 수단을 더 포함하는 것이다.The color filter manufacturing apparatus of
<발명의 효과>EFFECTS OF THE INVENTION [
청구항 1의 컬러 필터 제조 방법은, 잉크젯 노즐로부터 토출되는 컬러 재료를 소정의 화소 영역의 도포해야 할 부분에 도포할 수 있다. 환언하면, 다른 컬러 재료를 도포해야 할 화소, 화소 주위의 블랙 매트릭스에 컬러 재료를 도포해 버리는 것을 방지할 수 있다.The color filter manufacturing method of
청구항 2의 컬러 필터 제조 방법은, 잉크젯 노즐로부터 토출되는 컬러 재료를 소정의 화소 영역의 도포해야 할 부분에 도포할 수 있다. 환언하면, 다른 컬러 재료를 도포해야 할 화소, 화소 주위의 블랙 매트릭스에 컬러 재료를 도포해 버리는 것을 방지할 수 있다.In the color filter manufacturing method of
청구항 3의 컬러 필터 제조 방법은, 잉크젯 노즐로부터 토출되는 컬러 재료를, 잉크젯 헤드 바와 유리 기판의 상대적 이동 방향에 있어서의 소정의 화소 영역의 도포 방향 화소폭의 거의 중앙부에 도포할 수 있다.The color filter manufacturing method of
청구항 4의 컬러 필터 제조 방법은, 토출하는 잉크젯 노즐의 선택 조합을 가능하게 할 수 있어, 도포 얼룩을 분산시킬 수가 있다.The color filter manufacturing method of
청구항 5의 컬러 필터 제조 방법은, 잉크젯 노즐로부터 토출되는 컬러 재료를, 화소 영역 중, 잉크젯 헤드 바와 유리 기판의 상대적 이동과 직교하는 방향에 있어서의 소정 위치에 도포할 수 있다. 환언하면, 인접하는 동일색의 화소 영역끼리의 경계, 즉, 블랙 매트릭스에 컬러 재료를 도포해 버리는 것을 방지할 수 있다.The color filter manufacturing method of
청구항 6의 컬러 필터 제조 방법은, 잉크젯 노즐에 의한 컬러 재료의 도포 위치를, 화소 영역을 넘어 변화시킴으로써, 화소 영역 내로의 균일한 컬러 재료의 도포를 달성할 수 있고, 또한, 화소 영역과 노즐 구멍의 조합을 바꾸어, 노즐 구멍으로부터의 토출 편차에 의한 색 얼룩을 억제할 수 있다.The color filter manufacturing method of
청구항 7의 컬러 필터 제조 방법은, 상대적인 이동마다 잉크젯 헤드와 유리 기판의 상대적 위치를 변화시켜, 컬러 재료를 화소 영역의 원하는 부분에 도포할 수 있다.In the method of manufacturing a color filter of
청구항 8의 컬러 필터 제조 장치는, 화면 사이즈나 유리 기판의 대형화에 상관없이, 잉크젯 노즐로부터 토출되는 컬러 재료를 화소 영역의 중앙부에 도포할 수 있다.The color filter manufacturing apparatus of
청구항 9의 컬러 필터 제조 장치는, 잉크젯 헤드 바를 유리 기판과의 상대적 이동과 직교하는 방향으로 이동시키는 경우에도, 모든 화소 영역에 컬러 재료를 도포할 수 있다.The color filter manufacturing apparatus of
청구항 10의 컬러 필터 제조 장치는, 화면 사이즈나 유리 기판의 대형화에 상관없이, 도포 방향의 소정의 화소 영역에만 컬러 재료를 도포할 수 있다.The color filter manufacturing apparatus of
청구항 11의 컬러 필터 제조 장치는, 화면 사이즈나 유리 기판의 대형화에 상관없이, 도포 방향과 직교하는 방향의 소정의 비도포 영역을 피하여, 소정의 화소 영역에만 컬러 재료를 도포할 수 있다.The color filter manufacturing apparatus of
도 1은 본원 발명의 컬러 필터 제조 장치의 일실시 형태를 나타내는 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows one Embodiment of the color filter manufacturing apparatus of this invention.
도 2는 잉크젯 헤드 바의 구성을 나타내는 개략도이다.2 is a schematic view showing the configuration of an inkjet head bar.
도 3은 R화소 영역에 컬러 재료가 도포된 상태를 나타내는 개략도이다.3 is a schematic view showing a state in which a color material is applied to the R pixel region.
도 4는 Y방향에 있어서의 잉크젯 노즐의 제어를 설명하는 개략도이다.4 is a schematic view for explaining the control of the inkjet nozzle in the Y direction.
도 5는 X방향에 있어서의 잉크젯 노즐의 제어를 설명하는 개략도이다.5 is a schematic view for explaining the control of the ink jet nozzle in the X direction.
도 6은 컬러 필터 제조 처리를 설명하는 플로우차트이다.6 is a flowchart for explaining a color filter manufacturing process.
도 7은 토출 데이터의 테이블의 일례를 나타내는 도면이다.7 is a diagram illustrating an example of a table of discharge data.
도 8은 잉크젯 노즐의 배열의 일례를 나타내는 도면이다.8 is a diagram illustrating an example of an arrangement of an inkjet nozzle.
도 9는 화소 영역과 액적의 관계를 개략적으로 나타내는 도면이다.9 is a diagram schematically illustrating a relationship between a pixel region and a droplet.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
2 : 유리 기판 3 : 흡착 테이블2: glass substrate 3: adsorption table
5 : 잉크젯 헤드 바 51 : 잉크젯 헤드5: inkjet head bar 51: inkjet head
52 : 잉크젯 노즐52: inkjet nozzle
이하, 첨부 도면을 참조하여, 본원 발명의 컬러 필터 제조 방법 및 그 장치의 실시의 형태를 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, with reference to an accompanying drawing, embodiment of the color filter manufacturing method of this invention and its apparatus is described in detail.
도 1은 본원 발명의 컬러 필터 제조 장치의 일실시 형태를 나타내는 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows one Embodiment of the color filter manufacturing apparatus of this invention.
이 컬러 필터 제조 장치는, 기대(1) 상에 흡착 테이블(3), 도포 갠트리(gantry)(4), 카메라 갠트리(6) 등을 지지하고 있다.This color filter manufacturing apparatus supports the adsorption table 3, the application |
흡착 테이블(3)은, 유리 기판(2)을 흡착 유지하는 것이며, 이 유리 기판(2)의 위치 결정을 달성하기 위해서, 도시하지 않은 구동 기구, 가이드 기구에 의해, θ방향으로 회전 구동됨과 더불어, Y방향으로 구동된다.The adsorption table 3 adsorbs and holds the
도포 갠트리(4)는, 잉크젯 헤드 바(5)를 유지하는 것이며, 유리 기판(2)에 컬러 재료를 도포하기 위해서, 도시하지 않은 구동 기구, 가이드 기구에 의해, X방향으로 구동된다. 또한, 유리 기판(2)에 대한 상대 위치를 조정하기 위해서, 잉크젯 헤드 바(5)는, 도시하지 않은 구동 기구, 가이드 기구에 의해, Z방향, Y방향으로 구동된다.The
카메라 갠트리(6)는, 유리 기판(2)의 얼라이먼트를 위한 얼라인먼트 카메라(7, 8), 및 유리 기판(2)의 화소 영역 내의 컬러 재료의 착탄 자국을 검출하기 위한 스캔 카메라(9)를 보유하는 것이며, 얼라인먼트, 화소 검출을 위해서, 도시하지 않은 구동 기구, 가이드 기구에 의해, X방향으로 구동된다. 또한, 도시하지 않은 구동 기구, 가이드 기구에 의해, 얼라인먼트 카메라(7, 8), 스캔 카메라(9)를 Y방향으로 구동한다.The
얼라인먼트 카메라(7, 8)는 유리 기판(2)의 마크(도시하지 않음)를 검출하는 것이며, 얼라인먼트 카메라(7, 8)에 의한 마크 검출 결과에 의거하여 흡착 테이블(3)을 회전시키고, 및/또는 Y방향으로 이동시킴으로써, 유리 기판(2)의 얼라인먼트를 달성할 수 있다.The
또한, X, Y는, 흡착 테이블(3)에 의해 흡착 유지된 유리 기판(2)의 상면과 평행한 평면을 규정하기 위하여 설정된 서로 직교하는 방향을 나타내고, Z는, X, Y에 의해 규정된 평면과 직교하는 방향을 나타낸다.In addition, X and Y represent the directions orthogonal to each other set in order to define the plane parallel to the upper surface of the
도 2는 잉크젯 헤드 바(5)의 구성을 나타내는 개략도이다.2 is a schematic view showing the configuration of the
이 잉크젯 헤드 바(5)는, 복수개의 잉크젯 헤드(51)를 정렬시켜 이루어지는 것이며, 각 잉크젯 헤드(51)는, 복수개의 잉크젯 노즐(52)을 정렬시켜 이루어지는 것이다. 그리고, 복수개의 잉크젯 헤드(51)의 정렬은, 모든 잉크젯 노즐(52)의 X방향의 간격, Y방향의 간격이 각각 소정의 간격이 되도록 설정되어 있다.The
또한, 잉크젯 노즐(52)은, 소정 개수를 단위로 하여 경사 방향으로 배열되어 있으므로, 도포 갠트리(4)를 X방향으로 구동하면서, 잉크젯 노즐(52)을 순차적으로 동작시킴으로써, Y방향으로 직선적으로 정렬시킨 상태에서 컬러 재료를 도포할 수 있다.In addition, since the
도 2에 도시하는 잉크젯 헤드 바(5)는, 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 컬러 재료 중 어느 하나를 도포하기 위한 것이며, 특별히 도시하지 않지만, 다른 컬러 재료를 도포하기 위한 잉크젯 헤드 바도 설치되어 있다.The
다만, 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 컬러 재료용 잉크젯 헤드 바(5)가 일체적으로 배열되어도 된다. 물론, 1색의 컬러 재료를 토출하는 잉크젯 헤드 바만이 설치되어도 된다.However, the inkjet head bars 5 for color materials of red (R), green (G) and blue (B) may be arranged integrally. Of course, only the inkjet head bar which discharges one color material may be provided.
도 8은 잉크젯 노즐(52)의 배열의 일례를 나타내는 도면이다.8 is a diagram illustrating an example of the arrangement of the
도 8에는, 노즐열, 노즐 번호에 의해 정해지는 잉크젯 노즐을 나타내고 있고, P는 Y방향의 잉크젯 노즐 피치, L1~L5는 잉크젯 노즐열 도포 방향 간격이다.8, the inkjet nozzle determined by the nozzle row and the nozzle number is shown, P is the inkjet nozzle pitch of a Y direction, L1-L5 is the inkjet nozzle row application | coating direction space | interval.
이어서, 상기 구성의 컬러 필터 제조 장치의 작용을 설명한다.Next, the effect | action of the color filter manufacturing apparatus of the said structure is demonstrated.
도 6은 컬러 필터 제조 처리를 설명하는 플로우차트이다.6 is a flowchart for explaining a color filter manufacturing process.
단계 SP1에 있어서, 도시하지 않은 반입 로봇 등에 의한 흡착 테이블(3)로의 유리 기판(2)의 반입이 행해진 후에, 단계 SP2에 있어서, 도시하지 않은 외형 규제 수단에 의해, 유리 기판(2)의 개략의 위치 결정을 달성한다. 그리고, 단계 SP3에 있어서, 흡착 테이블(3)에 의해 유리 기판(2)을 흡착하고, 그 후, 단계 SP4에 있어서, 카메라 갠트리(6)를 가게 하고, 단계 SP5에 있어서, 얼라인먼트 카메라(7, 8)에 의해 유리 기판(2)의 얼라인먼트 마크를 검출하고, Y방향,θ방향의 위치 결정을 행함으로써, 유리 기판(2)의 얼라인먼트를 달성하고, 단계 SP6에 있어서, 카메라 갠트리(6)를 오게 한다.In step SP1, after carrying in the
이어서, 단계 SP7에 있어서, 도포 갠트리(4)를 왕복 이동시킴과 더불어, X좌표치를 출력하고, 단계 SP8에 있어서, X좌표치에 의거하여 도포가 종단까지 행해졌는지 여부를 판정한다.Subsequently, in step SP7, the
또한, 이 처리와는 별도로, 단계 SP16에 있어서, 잉크젯 노즐(52)의 구멍의 위치 정보(좌표치)를 입력하고, 단계 SP17에 있어서, 유리 기판(2) 상의 모든 화소의 위치 정보(좌표치)를 입력하고, 단계 SP18에 있어서, 그 외의 파라미터(예를 들면, 컬러 재료의 토출 속도, 상대적 이동 속도, 제어 시스템의 지연 등을 고려하여 정해지는 오프셋(offset)치)를 입력한다. 그리고, 단계 SP19에 있어서, 데이터 테이블의 연산을 행하고, 단계 SP20에 있어서, 연산 결과를 토출 데이터 테이블에 기억시켜 둔다.In addition to this process, in step SP16, the positional information (coordinate value) of the hole of the
도 7은 토출 데이터 테이블의 일례를 나타내는 도면이며, 도포 주사 회수, 도포 방향 화소 번호, 도포 방향 화소 위치, 노즐열, 도포 갠트리 X좌표치, 모든 노즐의 토출 패턴이 설정되어 있다. 또한, XO는 초기 이동량, Pg는 Y방향에 있어 서의 화소 피치, L1~Ln는 노즐열 도포 방향 간격, m은 도포 방향의 화소의 번호이다. 초기 이동량(XO), 화소 피치(Pg)는, 도 3에 나타나 있다. 도 3은, 적색(R)의 컬러 재료만이 도포된 상태를 나타내고, X방향의 1번째의 화소까지의 거리가 초기 이동량(XO)이며, X방향에 있어서의 적색(R)의 컬러 재료가 도포된 화소의 간격이 화소 피치(Pg)이다.7 is a diagram showing an example of the discharge data table, in which the number of coating scans, the coating direction pixel number, the coating direction pixel position, the nozzle row, the coating gantry X coordinate value, and the discharge patterns of all the nozzles are set. XO is the initial movement amount, Pg is the pixel pitch in the Y direction, L1 to Ln are the nozzle row application direction intervals, and m is the number of pixels in the application direction. The initial movement amount XO and the pixel pitch Pg are shown in FIG. FIG. 3 shows a state in which only the red (R) color material is applied, the distance to the first pixel in the X direction is the initial movement amount (XO), and the red (R) color material in the X direction is shown in FIG. The interval of the applied pixel is the pixel pitch Pg.
그리고, 단계 SP8에 있어서 도포가 종단까지 행해지지 않는다고 판정된 경우에는, 단계 SP13에 있어서, 도포 갠트리(4)의 X좌표 출력치와 토출 데이터 테이블을 비교하여, 단계 SP14에 있어서, X좌표치와 토출 데이터가 일치하는지 여부를 판정하고, 일치하면, 단계 SP15에 있어서, 잉크젯 노즐(52)을 동작시켜 잉크를 토출한다.If it is determined in step SP8 that the coating is not performed to the end, in step SP13, the X coordinate output value and the ejection data table of the
도 5는 상기의 처리를 설명하는 개략도이다.5 is a schematic view illustrating the above process.
도포 대상이 되는 화소 영역과 X좌표치가 합치하는 잉크젯 노즐(52)을 토출을 위해서 동작시키고, 다른 잉크젯 노즐(52)을 동작시키지 않도록 함으로써, 도포 대상이 되는 화소 영역에 잉크를 도포한다. 구체적으로는, 잉크젯 노즐(52)을 유리 기판(2)에 대해서 상대적으로 이동시키면서 컬러 재료를 도포하고 있으므로, 컬러 재료의 토출 속도, 상대적 이동 속도, 제어 시스템의 지연 등을 고려하여 정해지는 오프셋(offset)치를 고려하여, 토출을 위한 잉크 젯 노즐(52)을 제어한다.The ink is applied to the pixel region to be applied by operating the
또한, 도 4는 Y방향에 있어서의 잉크젯 노즐(52)의 제어를 설명하는 개략도이다. 또한, 이 처리는 플로우차트에는 나타나지 않지만, 도 7에 나타나 있다.4 is a schematic diagram explaining control of the
유리 기판(2)에 있어서의 X방향으로 연장되는 블랙 매트릭스의 폭을 나타내 는 Y좌표 범위에 적어도 일부가 걸리는 잉크젯 노즐(52)을 동작시키지 않도록 함과 더불어, 도포 대상이 되는 화소 영역의 Y좌표 범위에 전체가 들어가는 잉크젯 노즐(52)을 토출을 위해서 동작시킴으로써, 도포 대상이 되는 화소 영역에 잉크를 도포한다.The Y-coordinate of the pixel region to be coated is not operated while the
그리고, 단계 SP14에 있어서 X좌표치와 토출 데이터가 일치하지 않는다고 판정된 경우, 또는 단계 SP15의 처리가 행해진 경우에는, 다시 단계 SP7의 처리를 행한다.When it is determined in step SP14 that the X coordinate value and the discharge data do not coincide, or when the process of step SP15 is performed, the process of step SP7 is performed again.
또한, 단계 SP8에 있어서 도포가 종단까지 행해졌다고 판정된 경우에는, 단계 SP9에 있어서, 소정 회수의 도포가 행해졌는지 여부를 판정한다.In addition, when it is determined in the step SP8 that the coating has been performed to the end, it is determined in step SP9 whether or not a predetermined number of coatings have been performed.
단계 SP9에 있어서 도포 회수가 소정 회수에 이르지 않는다고 판정된 경우에는, 단계 12에 있어서, 잉크젯 헤드 바(5)를 Y방향으로 이동시키고, 다시 단계 SP7의 처리를 행한다. 또한, Y방향의 이동 거리는, 예를 들면, 1개의 화소 영역에 도포하고 싶은 컬러 재료의 액적의 수에 의해 정해지는 거리여도 되지만, 이 거리에 대해서, Y방향의 화소 피치의 정수배를 가산한 거리여도 된다. 후자의 경우에는, 잉크젯 노즐이 다른 화소에 잉크를 토출하게 되므로, 잉크젯 노즐마다 착탄 자국의 사이즈의 편차가 있어도, 전체적으로 평균화할 수 있다. 여기서, 잉크젯 헤드 바(5)의 도포 영역을 유리 기판(2)의 도포 영역보다도 크게 설정해 두면, 후자와 같이 잉크젯 헤드 바(5)를 이동시켜도, 문제 없이 모든 화소에 컬러 재료를 도포할 수 있다.If it is determined in step SP9 that the number of coatings does not reach a predetermined number of times, in
또한, 단계 SP9에 있어서 소정 회수의 도포가 행해졌다고 판정된 경우에는, 단계 SP10에 있어서, 도포 처리를 종료하고, 단계 SP11에 있어서, 도시하지 않은 반출 로봇 등에 의해 유리 기판(2)을 반출하고, 그대로 일련의 처리를 종료한다.In addition, when it determines with application | coating of predetermined number of times in step SP9, in step SP10, an application | coating process is complete | finished and in step SP11, the
이상을 요약하면, 흡착 테이블(3)에의 유리 기판(2)의 반입이 행해진 후에, 카메라 갠트리(6)를 가게하여 유리 기판(2)의 마크를 검출하고, 검출 결과에 따라 흡착 테이블(3)을 동작시킴으로써, 유리 기판(2)의 얼라인먼트를 달성한다. 그 후, 카메라 갠트리(6)를 오게한다.Summarizing the above, after carrying in the
이어서, 도포 갠트리(4)를 가게하여 1회째의 왕로 도포를 행한다.Subsequently, the
그 후, 도포 갠트리(4)를 Y방향으로 미소하게 이동시킨 상태에서 오게함으로써 1회째의 귀로 도포를 행하고, 이 동안에, 카메라 갠트리(6)를 가게하여 스캔 카메라(9)에 의해 유리 기판(2)의 화소 영역 내의 컬러 재료의 착탄 자국의 검사를 행하고, 그 후, 카메라 캔트리(6)를 오게한다.Thereafter, the coating is applied to the first ear by bringing the
그 후, 도포 갠트리(4)를 Y방향으로 미소하게 이동시킨 상태에서 가게 함으로써, 2회째의 왕로 도포를 행한다.Subsequently, the second royal path coating is performed by letting the
그 후, 도포 갠트리(4)를 Y방향으로 미소하게 이동시킨 상태에서 오게 함으로써 2회째의 귀로 도포를 행한다.Thereafter, the coating is applied to the second ear by bringing the
그 후, 유리 기판(2)의 흡착 유지를 정지하고, 흡착 테이블(3)로부터 반출한다. 그 후, 상기의 일련의 처리를 반복적으로 행함으로써, 원하는 매수의 컬러 필터를 제조할 수 있다.Thereafter, the adsorption holding of the
즉, 한번의 컬러 재료의 도포를 행한 경우에는, 잉크젯 노즐(52) 끼리의 간격과 동일한 간격으로 컬러 재료가 부착되므로, 컬러 재료를 연속적으로 도포한 상 태는 되지 않는다.That is, in the case of applying the color material once, since the color material is attached at the same interval as the interval between the
그러나, 상기의 일련의 처리를 행한 경우에는, Y방향의 위치를 미소하게 변화시켜 도포를 행하므로, 최종적으로, 도 3에 도시하는 바와같이, 유리 기판(2) 상에 형성된 블랙 매트릭스(21)에 해당하는 화소 영역(22) 내에 컬러 재료(23)를 연속적으로 도포할 수 있다.However, in the case where the above series of processes are performed, the coating is performed by changing the position in the Y direction slightly, and finally, as shown in FIG. 3, the
이상의 설명으로부터 알 수 있듯이, 잉크젯 헤드 바(5)의 상대적인 이동을 행하게 하면서, 잉크젯 노즐(52)의 동작 타이밍을 제어하면 되므로, 유리 기판(2) 상에 형성된 블랙 매트릭스(21)에 해당하는 화소 영역(22) 내에 컬러 재료를 확실하게 도포할 수 있다.As can be seen from the above description, since the operation timing of the
예를 들면, 잉크젯 노즐(52)의 피치가 80㎛이며, 화소 사이즈가 70~100㎛×200~300㎛이고, 블랙 매트릭스의 폭이 30㎛이며, 잉크젯 노즐(52)의 토출 사이클이 10kHz 이상인 경우에 있어서, 300㎛{(70㎛+30㎛)×3}피치로 컬러 재료를 도포하는 경우에는, 상대적 스캔 속도를 210mm/s로 함으로써, 모든 잉크젯 노즐(52)을 10kHz로 구동시켜 컬러 재료의 도포를 행할 수 있다. 또한, 화소 사이즈가 바뀐 경우에는, 스캔 속도를 조정함으로써 용이하게 대처할 수 있다.For example, the pitch of the
또한, 잉크젯 헤드 바(5)의 상대적인 이동 방향과 직교하는 방향에 있어서의 화소 사이즈는 200~300㎛이고, 잉크젯 노즐(52)로부터 토출되는 컬러 재료의 액적에 대해서 충분히 큰 마진을 확보할 수 있다. 또한, 잉크젯 헤드 바(5)의 상대적인 이동 방향에 있어서의 화소 사이즈는 70~100㎛이며, 잉크젯 노즐(52)로부터 토출되는 컬러 재료의 액적에 대한 마진이 작아지는데, 잉크젯 노즐(52)을 동작시키 는 타이밍을 정밀도 좋게 제어한다. 이 결과, 유리 기판(2) 상에 형성된 블랙 매트릭스(21)에 해당하는 화소 영역(22) 내에 컬러 재료를 확실하게 도포할 수 있다.Further, the pixel size in the direction orthogonal to the relative movement direction of the
이상에는, 도포 갠트리(4)를 흡착 테이블(2)에 대해서 X방향으로 이동시키도록 한 실시 형태를 설명했는데, 도포 갠트리(4)를 고정하고, 흡착 테이블(3)을 이동시키도록 구성하는 것이 가능하다.As mentioned above, although embodiment which made the application |
또한, 흡착 테이블(3)의 1변을 유리 기판(2)의 장변보다도 크게 설정해 두는 것이 바람직하고, 유리 기판(2)의 반입 상태에 관계없이, 유리 기판(2)을 확실하게 흡착 테이블(3)에 흡착시킬 수 있다.Moreover, it is preferable to set one side of the adsorption table 3 larger than the long side of the
상기의 실시 형태에 있어서, 1화소에 대향하는 잉크젯 노즐(52)의 수 N, 잉여 노즐수 n, 잉크젯 노즐(52)의 액적 1방울당의 양 Q, 상기 상대적인 이동 방향에서의 화소 내 토출 회수 M, 및 1 화소에 도포하는 컬러 재료의 양 V가 수식 1의 관계를 가지는 것이 바람직하다.In the above embodiment, the number N of the
다시 설명한다.Explain again.
도 9에 화소 영역과 액적의 관계를 개략적으로 도시한다.9 schematically shows the relationship between the pixel region and the droplets.
도면에 있어서, 화소내 치수가 a, b로 표시되고, 화소 내 도포 영역이 c, d로 표시되며, 상대적 이동 방향의 액적수(상대 이동 방향 액적수)가 M으로 표시되며, 1화소에 대향하는 잉크젯 노즐(52)의 수(대향 노즐수, 또는 대향 노즐 액적 수)가 N으로 표시된다.In the figure, the intra-pixel dimensions are indicated by a and b, the intra-pixel application regions are indicated by c and d, the number of droplets in the relative movement direction (the relative number of droplets in the relative movement direction) is indicated by M, and facing one pixel. The number of the inkjet nozzles 52 (the number of opposing nozzles or the number of opposing nozzle droplets) to be expressed by N is represented.
또한, 1 화소에 대응하는 잉크젯 노즐(52)의 총 수는 상기 수 N보다도 1이상 많은 수이며, 이 총 수와 상기 수 N의 차이가 잉여 노즐수 n이다. 따라서, 1화소 에 컬러 재료를 도포하기 위한 잉크젯 노즐(52)의 조합수 i는, i=NCN?n이 된다.The total number of the
그리고, 컬러 재료를 화소에 도포하기 위해서 사용되는 (토출 상태가 선택되는) 잉크젯 노즐(52)의 조합을 변화시킴으로써, 도포 방향의 도포 얼룩을 분산시킬 수 있어, 도포 얼룩을 눈에 띄지않게 할 수 있다.Then, by changing the combination of the inkjet nozzles 52 (the ejection state is selected) used to apply the color material to the pixels, the coating stain in the application direction can be dispersed, making the coating stain inconspicuous. have.
<실시예><Examples>
노즐의 폭이 25400㎛, 노즐 해상도가 1440dpi, 노즐 피치(P)가 25400/1440=17.6㎛, 화소 사이즈가 a=300㎛, b=100㎛, 도포 영역 사이즈가 c=220㎛, d=20㎛, 대향 노즐수가 N=c/P=220/17.6≒12, 상대 이동 방향 액적수(M)가 1, 화소내 도포량(화소내의 충전량)(V)가 300pl, 액적 1방울당의 양(Q)이 40p1의 조건으로 도포 테스트를 실시했다.The nozzle width is 25400 μm, the nozzle resolution is 1440 dpi, the nozzle pitch P is 25400/1440 = 17.6 μm, the pixel size is a = 300 μm, b = 100 μm, application area size c = 220 μm, d = 20 [Mu] m, the number of opposing nozzles is N = c / P = 220 / 17.6x12, the number of droplets in the relative movement direction M is 1, the coating amount in the pixel (the amount of filling in the pixel) V is 300 pl and the amount Q per droplet. Application | coating test was done on the conditions of this 40p1.
이 조건 하에서, 화소내 도포량을 만족하는 잉여 노즐수 n은, 수식 1에 구체적 수치를 대입하여 구할 수 있고, 잉여 노즐수 n은 4이하가 된다.Under these conditions, the number of surplus nozzles n satisfying the intra-pixel coating amount can be obtained by substituting a numerical value into
이 결과, 잉크젯 노즐(52)의 조합수 i는 495가 된다.As a result, the combination number i of the
따라서, 495가지 이하의 조합(예를 들면, 50가지의 조합)의 잉크젯 노즐(52)을 사용하여(토출 상태를 선택하여) 컬러 재료의 도포를 행함으로써, 도포 얼룩을 분산시킬 수 있어, 도포 얼룩을 눈에 띄지 않게 할 수 있다.Therefore, by applying the color material (by selecting the ejection state) using the
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