JPWO2007132727A1 - Color filter manufacturing method and apparatus - Google Patents

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Abstract

【課題】 画面サイズに拘わらず、ガラス基板の大型化に拘わらず、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料を画素領域の中央部に塗布する。【解決手段】 インクジェットヘッドバー5の長手方向と平行な方向を画素の長手方向に設定し、インクジェットヘッドバー5の相対的な移動方向を画素の長手方向と直交する方向に設定する。【選択図】 図3PROBLEM TO BE SOLVED: To apply a color material ejected from an ink jet nozzle to a central portion of a pixel region regardless of an enlargement of a glass substrate regardless of a screen size. A direction parallel to the longitudinal direction of the inkjet head bar 5 is set as a longitudinal direction of the pixel, and a relative moving direction of the inkjet head bar 5 is set to a direction orthogonal to the longitudinal direction of the pixel. [Selection] Figure 3

Description

本発明は、インクジェットノズルを用いてガラス基板上にカラーフィルタを製造する方法およびその装置に関する。   The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a color filter on a glass substrate using an inkjet nozzle.

従来から、インクジェットノズルを用いてガラス基板上にカラーフィルタを製造する方法が提案されている(特許文献1参照)。   Conventionally, a method of manufacturing a color filter on a glass substrate using an inkjet nozzle has been proposed (see Patent Document 1).

具体的には、透明基板上に透明な着色材受容層を少なくとも設け、異なった色の画素間となるべき領域を撥着色材性を持った非着色領域とし、同一色となるべき画素同士が隣り合う箇所では、該同一色となるべき複数の画素部分を画素間領域も含めて切れ目なく着色材付与することで着色してカラーフィルタを製造するようにしている。   Specifically, at least a transparent colorant-receiving layer is provided on a transparent substrate, a region that should be between pixels of different colors is a non-colored region having color repellent properties, and pixels that are to have the same color are In adjacent locations, a color filter is manufactured by coloring the plurality of pixel portions that should have the same color, including the inter-pixel regions, without any discontinuities.

また、全画面を直線状に平行に主走査して描画する方法を採用し、同一色に着色すべき画素部が主走査方向と同一の方向に並ぶように画素配列を設計することによって、画素列に沿った直線状の主走査で全面描画を達成するようにしている。   In addition, by adopting a method in which the entire screen is drawn by performing main scanning in a straight line in parallel, the pixel arrangement is designed so that pixel portions to be colored in the same color are aligned in the same direction as the main scanning direction. Full-surface drawing is achieved by linear main scanning along the columns.

また、インクジェットノズルを用いてガラス基板上にカラーフィルタを製造するために、第1移動機構によりインクジェットヘッドを第1の方向に駆動し、第2移動機構によりカラーフィルタ用基板載置用の載置台を、第1の方向と異なる第2の方向に移動させ、しかも、ノズルがフィルタエレメントの縦列に沿うように第1移動機構を移動させ、かつノズルから吐出されるインク滴がフィルタエレメント内で重なり合うような吐出周期およびインクジェットヘッドの移動速度で、吐出周期および第1移動機構および第2移動機構を制御する方法が提案されている(特許文献2参照)。
特開平9−68611号公報 特開平10−260307号公報
Further, in order to manufacture a color filter on a glass substrate using an inkjet nozzle, the inkjet head is driven in the first direction by the first moving mechanism, and the mounting table for mounting the color filter substrate by the second moving mechanism. Are moved in a second direction different from the first direction, and the first moving mechanism is moved so that the nozzles follow the column of filter elements, and ink droplets ejected from the nozzles overlap in the filter elements. There has been proposed a method of controlling the discharge cycle and the first and second moving mechanisms with such a discharge cycle and the moving speed of the inkjet head (see Patent Document 2).
Japanese Patent Laid-Open No. 9-68611 JP-A-10-260307

特許文献1の方法を採用した場合であって、異なる画面サイズのそれぞれに対処する場合には、画面サイズ毎にピッチが異なるため、インクジェットノズルと画素の中央部とが一致する確率が低くなり、この結果、インクジェットヘッドによるスキャン回数が多くなり、全体としての塗布所要時間が長くなってしまうという問題がある。   In the case of adopting the method of Patent Document 1, when dealing with each of different screen sizes, since the pitch is different for each screen size, the probability that the inkjet nozzle and the central portion of the pixel match is low, As a result, there is a problem that the number of scans by the ink jet head increases and the time required for coating as a whole becomes long.

このような問題を解消させるために、インクジェットヘッドを回転させることによってインクジェットノズルのピッチを変更することが考えられるが、段取り換えに多くの時間がかかるという問題がある。   In order to solve such a problem, it is conceivable to change the pitch of the ink jet nozzles by rotating the ink jet head, but there is a problem that it takes a lot of time to change the setup.

また、近年の傾向としてカラーフィルタの大型化、カラーフィルタが形成されるガラス基板の大型化があり、このようにカラーフィルタ、ガラス基板が大型化した場合において、特許文献1のように全画面を直線状に平行に主走査して描画する方法を採用し、同一色に着色すべき画素部が主走査方向と同一の方向に並ぶように画素配列を設計した場合には、主走査の全範囲にわたって、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料が画素領域の中央部に塗布されるように位置決めすることは困難であり、実際には、一部の画素領域に対しては所望のカラー材料が塗布されず、結果的に不良品を製造してしまう可能性が高くなってしまうという問題もある。   Further, as a recent trend, there is an increase in the size of the color filter and an increase in the size of the glass substrate on which the color filter is formed. When the color filter and the glass substrate are increased in size in this way, When a method of drawing in parallel with main scanning in a straight line is adopted and the pixel arrangement is designed so that the pixel portions to be colored in the same color are aligned in the same direction as the main scanning direction, the entire range of main scanning It is difficult to position the color material discharged from the inkjet nozzle so that it is applied to the center of the pixel area. In fact, a desired color material is applied to a part of the pixel area. As a result, there is a problem that the possibility of producing a defective product increases.

特許文献2の方法を採用した場合には、異なる画面サイズのそれぞれに対処するためには、画面サイズ毎にピッチが異なるため、インクジェットノズルと画素の中央部とが一致する確率が低くなり、この結果、インクジェットヘッドによるスキャン回数が多くなり、全体としての塗布所要時間が長くなってしまうという問題がある。   In the case of adopting the method of Patent Document 2, since the pitch is different for each screen size in order to deal with each of the different screen sizes, the probability that the inkjet nozzle and the central portion of the pixel coincide with each other decreases. As a result, there is a problem that the number of scans by the ink jet head increases, and the time required for coating as a whole becomes long.

また、特許文献2の図4に示すように、全画面を直線状に平行に主走査して描画し、同一色に着色すべき画素部が主走査方向と同一の方向に並ぶように画素配列を設計しているので、カラーフィルタ、ガラス基板が大型化した場合に、主走査の全範囲にわたって、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料が画素領域の中央部に塗布されるように位置決めすることは困難であり、実際には、一部の画素領域に対しては所望のカラー材料が塗布されず、結果的に不良品を製造してしまう可能性が高くなってしまうという問題がある。   Further, as shown in FIG. 4 of Patent Document 2, the entire screen is drawn in a straight line parallel to the main scan, and the pixel array is arranged so that the pixel portions to be colored in the same color are aligned in the same direction as the main scan direction. Therefore, when the color filter and the glass substrate are enlarged, positioning is performed so that the color material discharged from the inkjet nozzle is applied to the center of the pixel area over the entire main scanning range. In reality, there is a problem that a desired color material is not applied to a part of the pixel regions, and as a result, there is a high possibility that a defective product is manufactured.

さらに、両移動機構に高い精度が必要になるので、全体としてコストアップを招いてしまう。   Furthermore, since high accuracy is required for both moving mechanisms, the cost increases as a whole.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、画面サイズに拘わらず、ガラス基板の大型化に拘わらず、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料を画素領域の中央部に塗布することができるカラーフィルタ製造方法およびその装置を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above problems, and applies a color material ejected from an inkjet nozzle to the center of a pixel region regardless of the size of a glass substrate regardless of the screen size. It is an object of the present invention to provide a color filter manufacturing method and an apparatus for the same.

請求項1のカラーフィルタ製造方法は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーとブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズルで前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、インクジェットヘッドバーの長手方向と平行な方向を前記画素の長手方向に設定し、インクジェットノズル毎のカラー材料の吐出/非吐出を予め設定しておき、インクジェットノズルに対するガラス基板の相対的位置情報と前記設定情報を基にインクジェットノズルのカラー材料の吐出を制御する方法である。   The color filter manufacturing method according to claim 1, wherein the inkjet nozzles are moved while relatively moving an inkjet head bar in which a plurality of inkjet heads having a plurality of inkjet nozzles are arranged and a glass substrate on which a black matrix is formed. In the color filter manufacturing method of applying a color material to the pixels of the black matrix, the direction parallel to the longitudinal direction of the inkjet head bar is set to the longitudinal direction of the pixels, and ejection / non-ejection of the color material for each inkjet nozzle is performed. This is a method of controlling discharge of the color material of the ink jet nozzle based on the relative position information of the glass substrate with respect to the ink jet nozzle and the setting information.

請求項2のカラーフィルタ製造方法は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーとブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズルで前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、インクジェットヘッドバーの長手方向と平行な方向を同一色の画素の配列方向に設定し、インクジェットノズル毎のカラー材料の吐出/非吐出を予め設定しておき、インクジェットノズルに対するガラス基板の相対的位置情報と前記設定情報を基にインクジェットノズルのカラー材料の吐出を制御する方法である。   The color filter manufacturing method according to claim 2, wherein the inkjet nozzles are moved while relatively moving an inkjet head bar in which a plurality of inkjet heads each having a plurality of inkjet nozzles are arranged and a glass substrate on which a black matrix is formed. In the color filter manufacturing method in which a color material is applied to the pixels of the black matrix, the direction parallel to the longitudinal direction of the inkjet head bar is set as the arrangement direction of the pixels of the same color, and the color material is discharged / not discharged for each inkjet nozzle. In this method, the discharge is set in advance, and the discharge of the color material of the inkjet nozzle is controlled based on the relative position information of the glass substrate with respect to the inkjet nozzle and the setting information.

請求項3のカラーフィルタ製造方法は、前記吐出/非吐出の設定を、ガラス基板の前記相対的な移動方向における座標に基づいて行う方法である。   According to a third aspect of the present invention, the discharge / non-discharge setting is performed based on coordinates in the relative movement direction of the glass substrate.

請求項4のカラーフィルタ製造方法は、1画素に対向するインクジェットノズルの数N、余剰ノズル数n、インクジェットノズルの液滴1滴当たりの量Q、前記相対的な移動方向での画素内吐出回数M、および1画素に塗布するカラー材料の量Vが数1の関係を有する方法である。   5. The color filter manufacturing method according to claim 4, wherein the number N of inkjet nozzles facing one pixel, the number n of surplus nozzles, the amount Q per droplet of the inkjet nozzle, and the number of ejections within the pixel in the relative movement direction. This is a method in which M and the amount V of the color material applied to one pixel have the relationship of Formula 1.

請求項5のカラーフィルタ製造方法は、前記吐出/非吐出の設定を、ガラス基板の前記画素の長手方向における座標に基づいて行う方法である。   The color filter manufacturing method according to claim 5 is a method in which the ejection / non-ejection setting is performed based on coordinates in a longitudinal direction of the pixels of the glass substrate.

請求項6のカラーフィルタ製造方法は、前記相対的な移動が終了する毎にインクジェットヘッドバー(5)を長手方向に移動させる方法であり、該長手方向の移動量は、長手方向の移動の前後におけるカラー材料の塗布領域が互いに重ならない移動量と画素の長手方向ピッチとを加算した値である。   The color filter manufacturing method according to claim 6 is a method of moving the ink-jet head bar (5) in the longitudinal direction every time the relative movement is completed, and the amount of movement in the longitudinal direction is before and after the movement in the longitudinal direction. Is a value obtained by adding the movement amount in which the color material application areas do not overlap each other and the longitudinal pitch of the pixels.

請求項7のカラーフィルタ製造方法は、前記相対的な移動毎に、インクジェットノズル(52)毎のカラー材料の吐出/非吐出の設定を変更する方法である。   The color filter manufacturing method according to claim 7 is a method of changing the discharge / non-discharge setting of the color material for each inkjet nozzle (52) for each relative movement.

請求項8のカラーフィルタ製造装置は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーを支持する支持部材と、ブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板を吸着保持する吸着テーブルと、インクジェットヘッドバーとガラス基板とを、所定の間隙を保持した状態で相対的に移動させる第1移動手段と、インクジェットヘッドバーとガラス基板とを、前記第1移動手段による移動方向と直交する方向に移動させる第2移動手段と、ガラス基板およびインクジェットノズルのディメンジョンを入力してディメンジョンデータを記憶する第1記憶手段を含むカラーフィルタ製造装置において、
前記ガラス基板とインクジェットバーの相対位置を検出する検出手段と、検出した相対位置に基づきインクジェットノズル毎のカラー材料の吐出を制御する吐出制御手段とを含むものである。
9. The color filter manufacturing apparatus according to claim 8, wherein a suction member for supporting and holding a glass substrate having a black matrix formed thereon, and a support member for supporting an inkjet head bar in which a plurality of inkjet heads each having a plurality of inkjet nozzles are arranged. And a first moving means for relatively moving the inkjet head bar and the glass substrate while maintaining a predetermined gap, and the inkjet head bar and the glass substrate are orthogonal to the moving direction by the first moving means. In a color filter manufacturing apparatus including second moving means for moving in the direction, and first storage means for storing the dimension data by inputting the dimensions of the glass substrate and the inkjet nozzle,
It includes a detecting means for detecting a relative position between the glass substrate and the ink jet bar, and a discharge control means for controlling the discharge of the color material for each ink jet nozzle based on the detected relative position.

請求項9のカラーフィルタ製造装置は、インクジェットヘッドバーの、前記第1移動手段による移動方向と直交する方向における塗布領域を、ガラス基板の前記第1移動手段による移動方向と直交する方向における塗布領域よりも大きく設定したものである。   The color filter manufacturing apparatus according to claim 9, wherein an application region of the inkjet head bar in a direction orthogonal to a moving direction of the first moving unit is a coating region of the glass substrate in a direction orthogonal to the moving direction of the first moving unit. Is set larger than

請求項10のカラーフィルタ製造装置は、入力された相対的移動方向のガラス基板画素およびインクジェットノズルの位置情報から、ガラス基板とインクジェットヘッドバーの、前記第1移動手段による移動方向における相対位置毎の各インクジェットノズルのカラー材料の吐出/非吐出を演算/判断する第1演算手段と、第1演算手段による演算/判断結果を記憶する第2記憶手段をさらに含むものである。   The color filter manufacturing apparatus according to claim 10, based on the glass substrate pixels and the ink jet nozzle position information in the relative movement direction that is input, for each relative position in the movement direction of the glass substrate and the ink jet head bar by the first moving means. The image processing apparatus further includes first calculation means for calculating / judging discharge / non-discharge of the color material of each inkjet nozzle and second storage means for storing calculation / judgment results by the first calculation means.

請求項11のカラーフィルタ製造装置は、入力された相対的移動方向のガラス基板画素およびインクジェットノズルの位置情報から、各インクジェットノズルの前記第1移動手段による移動方向と直交する方向におけるカラー材料の吐出/非吐出を演算/判断する第2演算手段と、第2演算手段による演算/判断結果を記憶する第3記憶手段をさらに含むものである。   The color filter manufacturing apparatus according to claim 11 discharges color material in a direction orthogonal to a moving direction of each ink jet nozzle by the first moving means from the input glass substrate pixel and ink jet nozzle position information in the relative moving direction. / The second calculation means for calculating / determining non-ejection and the third storage means for storing the calculation / judgment result by the second calculation means are further included.

請求項1のカラーフィルタ製造方法は、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料を所定の画素領域の塗布すべき箇所に塗布することができる。換言すれば、他のカラー材料を塗布すべき画素、画素の周囲のブラックマトリックスにカラー材料を塗布してしまうことを防止できる。   In the color filter manufacturing method according to the first aspect, the color material ejected from the ink jet nozzle can be applied to a portion to be applied in a predetermined pixel region. In other words, it is possible to prevent the color material from being applied to the pixel to which other color material is to be applied and the black matrix around the pixel.

請求項2のカラーフィルタ製造方法は、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料を所定の画素領域の塗布すべき箇所に塗布することができる。換言すれば、他のカラー材料を塗布すべき画素、画素の周囲のブラックマトリックスにカラー材料を塗布してしまうことを防止できる。   In the color filter manufacturing method according to the second aspect, the color material ejected from the ink jet nozzle can be applied to a portion to be applied in a predetermined pixel region. In other words, it is possible to prevent the color material from being applied to the pixel to which other color material is to be applied and the black matrix around the pixel.

請求項3のカラーフィルタ製造方法は、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料を、インクジェットヘッドバーとガラス基板との相対的移動方向における所定の画素領域の塗布方向画素幅のほぼ中央部に塗布することができる。   In the color filter manufacturing method according to claim 3, the color material discharged from the inkjet nozzle is applied to substantially the center of the pixel width in the application direction of a predetermined pixel region in the relative movement direction of the inkjet head bar and the glass substrate. Can do.

請求項4のカラーフィルタ製造方法は、吐出するインクジェットノズルの選択組み合わせを可能にすることができ、塗布むらを分散させることができる。   According to the color filter manufacturing method of the fourth aspect, it is possible to select and combine the ink jet nozzles to be discharged, and to disperse the coating unevenness.

請求項5のカラーフィルタ製造方法は、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料を、画素領域のうち、インクジェットヘッドバーとガラス基板との相対的移動と直交する方向における所定位置に塗布することができる。換言すれば、隣り合う同一色の画素領域同士の境界、すなわち、ブラックマトリックスにカラー材料を塗布してしまうことを防止できる。   In the color filter manufacturing method according to the fifth aspect, the color material discharged from the ink jet nozzle can be applied to a predetermined position in a direction orthogonal to the relative movement between the ink jet head bar and the glass substrate in the pixel region. In other words, it is possible to prevent the color material from being applied to the boundary between adjacent pixel regions of the same color, that is, the black matrix.

請求項6のカラーフィルタ製造方法は、インクジェットノズルによるカラー材料の塗布位置を、画素領域を超えて変化させることにより、画素領域内への均一なカラー材料の塗布を達成することができ、しかも、画素領域とノズル孔との組み合わせを変えて、ノズル孔からの吐出ばらつきによる色むらを抑制することができる。   The color filter manufacturing method of claim 6 can achieve uniform application of the color material in the pixel region by changing the application position of the color material by the ink jet nozzle beyond the pixel region, By changing the combination of the pixel region and the nozzle hole, it is possible to suppress the color unevenness due to the discharge variation from the nozzle hole.

請求項7のカラーフィルタ製造方法は、相対的な移動毎にインクジェットヘッドバーとガラス基板との相対的位置を変化させて、カラー材料を画素領域の所望の箇所に塗布することができる。   According to the color filter manufacturing method of the seventh aspect, the color material can be applied to a desired portion of the pixel region by changing the relative position of the inkjet head bar and the glass substrate for each relative movement.

請求項8のカラーフィルタ製造装置は、画面サイズに拘わらず、ガラス基板の大型化に拘わらず、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料を画素領域の中央部に塗布することができる。   The color filter manufacturing apparatus according to the eighth aspect can apply the color material discharged from the ink jet nozzle to the central portion of the pixel region regardless of the size of the glass substrate regardless of the screen size.

請求項9のカラーフィルタ製造装置は、インクジェットヘッドバーをガラス基板との相対的移動と直交する方向に移動させる場合であっても、全ての画素領域にカラー材料を塗布することができる。   The color filter manufacturing apparatus according to the ninth aspect can apply the color material to all the pixel regions even when the inkjet head bar is moved in a direction orthogonal to the relative movement with the glass substrate.

請求項10のカラーフィルタ製造装置は、画面サイズに拘わらず、ガラス基板の大型化に拘わらず、塗布方向の所定の画素領域のみにカラー材料を塗布することができる。   The color filter manufacturing apparatus according to the tenth aspect can apply the color material only to a predetermined pixel region in the application direction regardless of the size of the glass substrate regardless of the size of the glass substrate.

請求項11のカラーフィルタ製造装置は、画面サイズに拘わらず、ガラス基板の大型化に拘わらず、塗布方向と直交する方向の所定の非塗布領域を避けて、所定の画素領域のみにカラー材料を塗布することができる。   The color filter manufacturing apparatus according to claim 11 avoids a predetermined non-application area in a direction orthogonal to the application direction regardless of the size of the glass substrate regardless of the screen size, and applies a color material only to a predetermined pixel area. Can be applied.

以下、添付図面を参照して、本願発明のカラーフィルタ製造方法およびその装置の実施の形態を詳細に説明する。   Embodiments of a color filter manufacturing method and apparatus according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は本願発明のカラーフィルタ製造装置の一実施形態を示す斜視図である。   FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a color filter manufacturing apparatus according to the present invention.

このカラーフィルタ製造装置は、機台1上に吸着テーブル3、塗布ガントリー4、カメラガントリー6などを支承している。   This color filter manufacturing apparatus supports a suction table 3, a coating gantry 4, a camera gantry 6 and the like on a machine base 1.

吸着テーブル3は、ガラス基板2を吸着保持するものであり、このガラス基板2の位置決めを達成するために、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、θ方向に回転駆動されるとともに、Y方向に駆動される。   The suction table 3 holds the glass substrate 2 by suction. In order to achieve positioning of the glass substrate 2, the suction table 3 is rotated in the θ direction and driven in the Y direction by a drive mechanism and a guide mechanism (not shown). Is done.

塗布ガントリー4は、インクジェットヘッドバー5を保持するものであり、ガラス基板2にカラー材料を塗布するために、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、X方向に駆動される。また、ガラス基板2に対する相対位置を調整するために、インクジェットヘッドバー5は、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、Z方向、Y方向に駆動される。   The application gantry 4 holds the inkjet head bar 5 and is driven in the X direction by a drive mechanism and a guide mechanism (not shown) in order to apply a color material to the glass substrate 2. Further, in order to adjust the relative position with respect to the glass substrate 2, the ink jet head bar 5 is driven in the Z direction and the Y direction by a drive mechanism and a guide mechanism (not shown).

カメラガントリー6は、ガラス基板2のアラインメントのためのアラインメントカメラ7、8、およびガラス基板2の画素領域内のカラー材料の着弾痕を検出するためのスキャンカメラ9を保持するものであり、アラインメント、画素検出のために、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、X方向に駆動される。また、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、アラインメントカメラ7、8、スキャンカメラ9をY方向に駆動する。   The camera gantry 6 holds alignment cameras 7 and 8 for alignment of the glass substrate 2 and a scan camera 9 for detecting landing marks of the color material in the pixel region of the glass substrate 2. For pixel detection, it is driven in the X direction by a drive mechanism and a guide mechanism (not shown). Further, the alignment cameras 7 and 8 and the scan camera 9 are driven in the Y direction by a drive mechanism and a guide mechanism (not shown).

アラインメントカメラ7、8はガラス基板2のマーク(図示せず)を検出するものであり、アラインメントカメラ7、8によるマーク検出結果に基づいて吸着テーブル3を回転させ、および/またはY方向に移動させることにより、ガラス基板2のアラインメントを達成することができる。   The alignment cameras 7 and 8 detect marks (not shown) on the glass substrate 2, and the suction table 3 is rotated and / or moved in the Y direction based on the mark detection results by the alignment cameras 7 and 8. Thus, alignment of the glass substrate 2 can be achieved.

なお、X、Yは、吸着テーブル3により吸着保持されたガラス基板2の上面と平行な平面を規定すべく設定された互いに直交する方向を表し、Zは、X、Yにより規定された平面と直交する方向を表している。   X and Y represent directions orthogonal to each other set to define a plane parallel to the upper surface of the glass substrate 2 held by suction by the suction table 3, and Z represents a plane defined by X and Y. An orthogonal direction is shown.

図2はインクジェットヘッドバー5の構成を示す概略図である。   FIG. 2 is a schematic view showing the configuration of the inkjet head bar 5.

このインクジェットヘッドバー5は、複数個のインクジェットヘッド51を整列させてなるものであり、各インクジェットヘッド51は、複数個のインクジェットノズル52を整列させてなるものである。そして、複数個のインクジェットヘッド51の整列は、全てのインクジェットノズル52のX方向の間隔、Y方向の間隔がそれぞれ所定の間隔となるように設定されている。   The inkjet head bar 5 is formed by aligning a plurality of inkjet heads 51, and each inkjet head 51 is formed by aligning a plurality of inkjet nozzles 52. The alignment of the plurality of inkjet heads 51 is set such that the intervals in the X direction and the intervals in the Y direction of all the inkjet nozzles 52 are respectively predetermined intervals.

なお、インクジェットノズル52は、所定個数を単位として斜め方向に配列されているので、塗布ガントリー4をX方向に駆動しながら、インクジェットノズル52を順次動作させることによって、Y方向に直線的に整列させた状態でカラー材料を塗布することができる。   Since the inkjet nozzles 52 are arranged in an oblique direction with a predetermined number as a unit, the inkjet nozzles 52 are sequentially operated while driving the coating gantry 4 in the X direction, thereby linearly aligning in the Y direction. In this state, the color material can be applied.

図2に示すインクジェットヘッドバー5は、赤(R)、緑(G)、青(B)のカラー材料のいずれかを塗布するためのものであり、特には図示していないが、他のカラー材料を塗布するためのインクジェットヘッドバーも設けられている。   The ink jet head bar 5 shown in FIG. 2 is for applying any one of red (R), green (G), and blue (B) color materials. An inkjet head bar for applying the material is also provided.

ただし、赤(R)、緑(G)、青(B)のカラー材料用のインクジェットヘッドバー5が一体的に並べられていてもよい。もちろん、1色のカラー材料を吐出するインクジェットヘッドバーのみが設けられていてもよい。   However, the inkjet head bars 5 for the red (R), green (G), and blue (B) color materials may be integrally arranged. Of course, only an inkjet head bar that discharges one color material may be provided.

図8はインクジェットノズル52の配列の一例を示す図である。   FIG. 8 is a diagram illustrating an example of the arrangement of the inkjet nozzles 52.

図8には、ノズル列、ノズル番号により定まるインクジェットノズルを示しており、PはY方向のインクジェットノズルピッチ、L1〜L5はインクジェットノズル列塗布方向間隔である。   FIG. 8 shows inkjet nozzles determined by nozzle rows and nozzle numbers, where P is an inkjet nozzle pitch in the Y direction, and L1 to L5 are intervals in the inkjet nozzle row application direction.

次いで、上記の構成のカラーフィルタ製造装置の作用を説明する。   Next, the operation of the color filter manufacturing apparatus having the above configuration will be described.

図6はカラーフィルタ製造処理を説明するフローチャートである。   FIG. 6 is a flowchart for explaining the color filter manufacturing process.

ステップSP1において、図示しない搬入ロボットなどによる吸着テーブル3へのガラス基板2の搬入が行われた後に、ステップSP2において、図示しない外形規制手段によって、ガラス基板2の概略の位置決めを達成する。そして、ステップSP3において、吸着テーブル3によりガラス基板2を吸着し、その後、ステップSP4において、カメラガントリー6を往動させ、ステップSP5において、アラインメントカメラ7、8によりガラス基板2のアラインメントマークを検出し、Y方向、θ方向の位置決めを行うことによって、ガラス基板2のアラインメントを達成し、ステップSP6において、カメラガントリー6を復動させる。   In step SP1, after the glass substrate 2 is carried into the suction table 3 by a carrying robot (not shown) or the like, in step SP2, the rough positioning of the glass substrate 2 is achieved by outer shape regulating means (not shown). In step SP3, the glass substrate 2 is sucked by the suction table 3, and then the camera gantry 6 is moved forward in step SP4. In step SP5, the alignment mark of the glass substrate 2 is detected by the alignment cameras 7 and 8. The alignment of the glass substrate 2 is achieved by positioning in the Y direction and the θ direction, and the camera gantry 6 is moved back in step SP6.

次いで、ステップSP7において、塗布ガントリー4を往動/復動させるとともに、X座標値を出力し、ステップSP8において、X座標値に基づいて塗布が終端まで行われたか否かを判定する。   Next, in step SP7, the application gantry 4 is moved forward / backward, and the X coordinate value is output. In step SP8, it is determined whether or not the application has been performed to the end based on the X coordinate value.

また、この処理とは別に、ステップSP16において、インクジェットノズル52の孔の位置情報(座標値)を入力し、ステップSP17において、ガラス基板2上の全画素の位置情報(座標値)を入力し、ステップSP18において、その他のパラメータ(例えば、カラー材料の吐出速度、相対的移動速度、制御系の遅れなどを考慮して定められるオフセット値)を入力する。そして、ステップSP19において、データテーブルの演算を行い、ステップSP20において、演算結果を吐出データテーブルに記憶しておく。   Separately from this process, in step SP16, the position information (coordinate values) of the holes of the inkjet nozzle 52 is input, and in step SP17, the position information (coordinate values) of all the pixels on the glass substrate 2 is input. In step SP18, other parameters (for example, an offset value determined in consideration of the discharge speed of the color material, the relative movement speed, the delay of the control system, etc.) are input. In step SP19, the data table is calculated, and in step SP20, the calculation result is stored in the discharge data table.

図7は吐出データテーブルの一例を示す図であり、塗布走査回数、塗布方向画素番号、塗布方向画素位置、ノズル列、塗布ガントリーX座標値、全ノズルの吐出パターンが設定されている。なお、X0は初期移動量、PgはY方向における画素ピッチ、L1〜Lnはノズル列塗布方向間隔、mは塗布方向の画素の番号である。初期移動量X0、画素ピッチPgは、図3に示されている。図3は、赤(R)のカラー材料のみが塗布された状態を示しており、X方向の1番目の画素までの距離が初期移動量X0であり、X方向における赤(R)のカラー材料が塗布された画素の間隔が画素ピッチPgである。   FIG. 7 is a diagram showing an example of a discharge data table, in which the number of application scans, application direction pixel numbers, application direction pixel positions, nozzle rows, application gantry X coordinate values, and discharge patterns for all nozzles are set. X0 is an initial movement amount, Pg is a pixel pitch in the Y direction, L1 to Ln are nozzle row application direction intervals, and m is a pixel number in the application direction. The initial movement amount X0 and the pixel pitch Pg are shown in FIG. FIG. 3 shows a state in which only the red (R) color material is applied, the distance to the first pixel in the X direction is the initial movement amount X0, and the red (R) color material in the X direction. The pixel pitch Pg is an interval between pixels to which is applied.

そして、ステップSP8において塗布が終端までは行われていないと判定された場合には、ステップSP13において、塗布ガントリー4のX座標出力値と吐出データテーブルとを比較し、ステップSP14において、X座標値と吐出データとが一致しているか否かを判定し、一致していれば、ステップSP15において、インクジェットノズル52を動作させてインクを吐出する。   If it is determined in step SP8 that the application has not been performed to the end, in step SP13, the X coordinate output value of the application gantry 4 and the discharge data table are compared, and in step SP14, the X coordinate value is determined. In step SP15, the ink jet nozzle 52 is operated to eject ink.

図5は上記の処理を説明する概略図である。   FIG. 5 is a schematic diagram for explaining the above processing.

塗布対象となる画素領域とX座標値が合致するインクジェットノズル52を吐出のために動作させ、他のインクジェットノズル52を動作させないようにすることによって、塗布対象となる画素領域にインクを塗布する。具体的には、インクジェットノズル52をガラス基板2に対して相対的に移動させながらカラー材料を塗布しているので、カラー材料の吐出速度、相対的移動速度、制御系の遅れなどを考慮して定められるオフセット値を考慮して、吐出のためのインクジェットノズル52を制御する。   Ink is applied to the pixel area to be applied by operating the inkjet nozzle 52 whose X coordinate value matches the pixel area to be applied for ejection and not operating the other inkjet nozzles 52. Specifically, since the color material is applied while moving the inkjet nozzle 52 relative to the glass substrate 2, the discharge speed of the color material, the relative movement speed, the delay of the control system, etc. are taken into consideration. The inkjet nozzle 52 for ejection is controlled in consideration of the offset value determined.

また、図4はY方向におけるインクジェットノズル52の制御を説明する概略図である。なお、この処理はフローチャートには示されていないが、図7に示されている。
ガラス基板2におけるX方向に延びるブラックマトリックスの幅を表すY座標範囲に少なくとも一部がかかるインクジェットノズル52を動作させないようにするとともに、塗布対象となる画素領域のY座標範囲に全体が入るインクジェットノズル52を吐出のために動作させることによって、塗布対象となる画素領域にインクを塗布する。
FIG. 4 is a schematic diagram for explaining the control of the inkjet nozzle 52 in the Y direction. This process is not shown in the flowchart, but is shown in FIG.
An inkjet nozzle that prevents the inkjet nozzle 52 that at least partly covers the Y coordinate range representing the width of the black matrix extending in the X direction on the glass substrate 2 and that entirely enters the Y coordinate range of the pixel area to be coated. By operating 52 for ejection, ink is applied to the pixel area to be applied.

そして、ステップSP14においてX座標値と吐出データとが一致していないと判定された場合、またはステップSP15の処理が行われた場合には、再びステップSP7の処理を行う。   If it is determined in step SP14 that the X coordinate value does not match the ejection data, or if the process of step SP15 is performed, the process of step SP7 is performed again.

また、ステップSP8において塗布が終端まで行われたと判定された場合には、ステップSP9において、所定回数の塗布が行われたか否かを判定する。   If it is determined in step SP8 that the application has been performed to the end, it is determined in step SP9 whether or not a predetermined number of times of application has been performed.

ステップSP9において塗布回数が所定回数に達していないと判定された場合には、ステップ12において、インクジェットヘッドバー5をY方向に移動させ、再びステップSP7の処理を行う。なお、Y方向の移動距離は、例えば、1つの画素領域に塗布したいカラー材料の液滴の数により定まる距離であってもよいが、この距離に対して、Y方向の画素ピッチの整数倍を加算した距離であってもよい。後者の場合には、インクジェットノズルが異なる画素にインクを吐出することになるので、インクジェットノズル毎に着弾痕のサイズのばらつきがあっても、全体として平均化することができる。ここで、インクジェットヘッドバー5の塗布領域をガラス基板2の塗布領域よりも大きく設定しておけば、後者のようにインクジェットヘッドバー5を移動させても、問題なく全画素にカラー材料を塗布することができる。   If it is determined in step SP9 that the number of times of application has not reached the predetermined number, in step 12, the inkjet head bar 5 is moved in the Y direction, and the process of step SP7 is performed again. The moving distance in the Y direction may be a distance determined by the number of droplets of color material to be applied to one pixel area, for example, but an integral multiple of the pixel pitch in the Y direction is set to this distance. The added distance may be used. In the latter case, since the ink jet nozzles eject ink to different pixels, even if there is a variation in the size of the landing mark for each ink jet nozzle, it can be averaged as a whole. Here, if the application area of the inkjet head bar 5 is set larger than the application area of the glass substrate 2, even if the inkjet head bar 5 is moved as in the latter case, the color material is applied to all the pixels without any problem. be able to.

また、ステップSP9において所定回数の塗布が行われたと判定された場合には、ステップSP10において、塗布処理を終了し、ステップSP11において、図示しない搬出ロボットなどによりガラス基板2を搬出し、そのまま一連の処理を終了する。   If it is determined in step SP9 that the coating has been performed a predetermined number of times, the coating process is terminated in step SP10. The process ends.

以上を要約すれば、
吸着テーブル3へのガラス基板2の搬入が行われた後に、カメラガントリー6を往動させてガラス基板2のマークを検出し、検出結果に応じて吸着テーブル3を動作させることによって、ガラス基板2のアラインメントを達成する。その後、カメラガントリー6を復動させる。
In summary,
After the glass substrate 2 is carried into the suction table 3, the camera gantry 6 is moved forward to detect the mark on the glass substrate 2, and the suction table 3 is operated according to the detection result, whereby the glass substrate 2 is moved. Achieve the alignment. Thereafter, the camera gantry 6 is moved back.

次いで、塗布ガントリー4を往動させて1回目の往路塗布を行う。   Next, the application gantry 4 is moved forward to perform the first outward application.

その後、塗布ガントリー4をY方向に僅かに移動させた状態で復動させることによって1回目の復路塗布を行い、この間に、カメラガントリー6を往動させてスキャンカメラ9によりガラス基板2の画素領域内のカラー材料の着弾痕の検査を行い、その後、カメラガントリー6を復動させる。   Thereafter, the coating gantry 4 is moved backward in the Y direction to perform the first return coating, and during this time, the camera gantry 6 is moved forward and the pixel region of the glass substrate 2 is scanned by the scan camera 9. The landing marks of the inner color material are inspected, and then the camera gantry 6 is moved back.

その後、塗布ガントリー4をY方向に僅かに移動させた状態で往動させることによって、2回目の往路塗布を行う。   Thereafter, the second outward coating is performed by moving the coating gantry 4 in a state where the coating gantry 4 is slightly moved in the Y direction.

その後、塗布ガントリー4をY方向に僅かに移動させた状態で復動させることによって2回目の復路塗布を行う。   Thereafter, the second return coating is performed by moving the coating gantry 4 backward in a state of being slightly moved in the Y direction.

その後、ガラス基板2の吸着保持を停止し、吸着テーブル3から搬出する。その後、上記の一連の処理を反復的に行うことによって、所望枚数のカラーフィルタを製造することができる。   Thereafter, the suction holding of the glass substrate 2 is stopped, and the glass substrate 2 is unloaded from the suction table 3. Thereafter, a desired number of color filters can be manufactured by repeatedly performing the series of processes described above.

すなわち、一度のカラー材料の塗布を行った場合には、インクジェットノズル52同士の間隔と等しい間隔でカラー材料が付着するので、カラー材料を連続的に塗布した状態にはならない。   That is, when the color material is applied once, the color material adheres at an interval equal to the interval between the ink jet nozzles 52, so that the color material is not continuously applied.

しかし、上記の一連の処理を行った場合には、Y方向の位置を僅かに変化させて塗布を行うのであるから、最終的に、図3に示すように、ガラス基板2上に形成されたブラックマトリックス21の該当する画素領域22内にカラー材料23を連続的に塗布することができる。   However, in the case where the above-described series of processing is performed, since the coating is performed by slightly changing the position in the Y direction, the film is finally formed on the glass substrate 2 as shown in FIG. The color material 23 can be continuously applied in the corresponding pixel region 22 of the black matrix 21.

以上の説明から分かるように、インクジェットヘッドバー5の相対的な移動を行わせながら、インクジェットノズル52の動作タイミングを制御すればよいので、ガラス基板2上に形成されたブラックマトリックス21の該当する画素領域22内にカラー材料を確実に塗布することができる。   As can be seen from the above description, the operation timing of the ink jet nozzle 52 may be controlled while the ink jet head bar 5 is relatively moved, so that the corresponding pixel of the black matrix 21 formed on the glass substrate 2 is used. The color material can be reliably applied in the region 22.

例えば、インクジェットノズル52のピッチが80μmであり、画素サイズが70〜100μm×200〜300μmであり、ブラックマトリックスの幅が30μmであり、インクジェットノズル52の吐出サイクルが10kHz以上である場合において、300μm{(70μm+30μm)×3}ピッチでカラー材料を塗布する場合には、相対的スキャン速度を210mm/sとすることによって、全てのインクジェットノズル52を10kHzで駆動してカラー材料の塗布を行うことができる。また、画素サイズが変わった場合には、スキャン速度を調整することによって容易に対処することができる。
さらに、インクジェットヘッドバー5の相対的な移動方向と直交する方向における画素サイズは200〜300μmであり、インクジェットノズル52から吐出されるカラー材料の液滴に対して十分に大きいマージンを確保することができる。また、インクジェットヘッドバー5の相対的な移動方向における画素サイズは70〜100μmであり、インクジェットノズル52から吐出されるカラー材料の液滴に対するマージンが小さくなるが、インクジェットノズル52を動作させるタイミングを精度よく制御する。この結果、ガラス基板2上に形成されたブラックマトリックス21の該当する画素領域22内にカラー材料を確実に塗布することができる。
For example, when the pitch of the inkjet nozzles 52 is 80 μm, the pixel size is 70 to 100 μm × 200 to 300 μm, the width of the black matrix is 30 μm, and the ejection cycle of the inkjet nozzles 52 is 10 kHz or more, 300 μm { When a color material is applied at a pitch of (70 μm + 30 μm) × 3}, the color material can be applied by driving all the inkjet nozzles 52 at 10 kHz by setting the relative scanning speed to 210 mm / s. . Further, when the pixel size is changed, it can be easily dealt with by adjusting the scanning speed.
Furthermore, the pixel size in the direction orthogonal to the relative movement direction of the inkjet head bar 5 is 200 to 300 μm, and a sufficiently large margin can be secured for the droplets of the color material ejected from the inkjet nozzle 52. it can. Further, the pixel size in the relative movement direction of the inkjet head bar 5 is 70 to 100 μm, and the margin for the color material droplets ejected from the inkjet nozzles 52 is small, but the timing for operating the inkjet nozzles 52 is accurate. Control well. As a result, the color material can be reliably applied in the corresponding pixel region 22 of the black matrix 21 formed on the glass substrate 2.

以上には、塗布ガントリー4を吸着テーブル2に対してX方向に移動させるようにした実施形態を説明したが、塗布ガントリー4を固定し、吸着テーブル3を移動させるように構成することが可能である。   The embodiment in which the application gantry 4 is moved in the X direction with respect to the suction table 2 has been described above. However, the application gantry 4 can be fixed and the suction table 3 can be moved. is there.

また、吸着テーブル3の一辺をガラス基板2の長辺よりも大きく設定しておくことが好ましく、ガラス基板2の搬入状態に拘わらず、ガラス基板2を確実に吸着テーブル3に吸着させることができる。   Moreover, it is preferable to set one side of the suction table 3 to be larger than the long side of the glass substrate 2, and the glass substrate 2 can be reliably sucked to the suction table 3 regardless of the state of loading of the glass substrate 2. .

上記の実施形態において、1画素に対向するインクジェットノズル52の数N、余剰ノズル数n、インクジェットノズル52の液滴1滴当たりの量Q、前記相対的な移動方向での画素内吐出回数M、および1画素に塗布するカラー材料の量Vが数1の関係を有することが好ましい。   In the above embodiment, the number N of the inkjet nozzles 52 facing one pixel, the number of surplus nozzles n, the amount Q per droplet of the inkjet nozzles 52, the number of ejections M within the pixel in the relative movement direction, In addition, it is preferable that the amount V of the color material applied to one pixel has a relationship of Formula 1.

さらに説明する。   Further explanation will be given.

図9に画素領域と液滴との関係を概略的に示す。   FIG. 9 schematically shows the relationship between the pixel region and the droplet.

図において、画素内寸がa、bで表され、画素内塗布領域がc、dで表され、相対的移動方向の液滴数(相対移動方向液滴数)がMで表され、1画素に対向するインクジェットノズル52の数(対向ノズル数、または対向ノズル液滴数)がNで表されている。
また、1画素に対応するインクジェットノズル52の総数は前記数Nよりも1以上多い数であり、この総数と前記数Nとの差が余剰ノズル数nである。したがって、1画素にカラー材料を塗布するためのインクジェットノズル52の組み合わせの数iは、i=N−nとなる。
In the figure, the pixel internal dimensions are represented by a and b, the intra-pixel application areas are represented by c and d, the number of droplets in the relative movement direction (the number of droplets in the relative movement direction) is represented by M, and one pixel. The number of ink jet nozzles 52 (the number of opposed nozzles or the number of opposed nozzle droplets) that is opposed to is represented by N.
Further, the total number of inkjet nozzles 52 corresponding to one pixel is one or more more than the number N, and the difference between the total number and the number N is the surplus nozzle number n. Therefore, the number i of the combination of the ink jet nozzles 52 for applying a color material in one pixel, becomes i = N C N-n.

そして、カラー材料を画素に塗布するために使用される(吐出状態が選択される)インクジェットノズル52の組み合わせを変化させることによって、塗布方向の塗布むらを分散させることができ、塗布むらを目立ちにくくすることができる。
実施例
ノズルの幅が25400μm、ノズル解像度が1440dpi、ノズルピッチPが25400/1440=17.6μm、画素サイズがa=300μm、b=100μm、塗布領域サイズがc=220μm、d=20μm、対向ノズル数がN=c/P=220/17.6≒12、相対移動方向液滴数Mが1、画素内塗布量(画素内の充填量)Vが300pl、液滴1滴当たりの量Qが40plの条件で塗布テストを実施した。
Then, by changing the combination of the inkjet nozzles 52 used for applying the color material to the pixels (the ejection state is selected), the application unevenness in the application direction can be dispersed, and the application unevenness is less noticeable. can do.
Example Nozzle width 25400 μm, nozzle resolution 1440 dpi, nozzle pitch P 25400/1440 = 17.6 μm, pixel size a = 300 μm, b = 100 μm, application area size c = 220 μm, d = 20 μm, counter nozzle The number is N = c / P = 220 / 17.6≈12, the number M of droplets in the relative movement direction is 1, the coating amount in the pixel (filling amount in the pixel) V is 300 pl, and the amount Q per droplet is Q. A coating test was performed under the condition of 40 pl.

この条件下で、画素内塗布量を満足する余剰ノズル数nは、数1に具体的数値を代入することにより求めることができ、余剰ノズル数nは4以下となる。   Under this condition, the number of surplus nozzles n satisfying the application amount in the pixel can be obtained by substituting a specific numerical value into Equation 1, and the number of surplus nozzles n is 4 or less.

この結果、インクジェットノズル52の組み合わせの数iは495となる。   As a result, the number i of combinations of the inkjet nozzles 52 is 495.

したがって、495通り以下の組み合わせ(例えば、50通りの組み合わせ)のインクジェットノズル52を使用して(吐出状態を選択して)カラー材料の塗布を行うことによって、塗布むらを分散させることができ、塗布むらを目立ちにくくすることができた。   Therefore, application unevenness can be dispersed by applying a color material (selecting a discharge state) using 495 or less combinations (for example, 50 combinations) of inkjet nozzles 52. Unevenness could be made inconspicuous.

本願発明のカラーフィルタ製造装置の一実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows one Embodiment of the color filter manufacturing apparatus of this invention. インクジェットヘッドバーの構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of an inkjet head bar. R画素領域にカラー材料が塗布された状態を示す概略図である。It is the schematic which shows the state by which the color material was apply | coated to the R pixel area. Y方向におけるインクジェットノズルの制御を説明する概略図である。It is the schematic explaining control of the inkjet nozzle in a Y direction. X方向におけるインクジェットノズルの制御を説明する概略図である。It is the schematic explaining control of the inkjet nozzle in a X direction. カラーフィルタ製造処理を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining a color filter manufacturing process. 吐出データテーブルの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a discharge data table. インクジェットノズルの配列の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the arrangement | sequence of an inkjet nozzle. 画素領域と液滴との関係を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the relationship between a pixel area | region and a droplet.

符号の説明Explanation of symbols

2 ガラス基板
3 吸着テーブル
5 インクジェットヘッドバー
51 インクジェットヘッド
52 インクジェットノズル
2 Glass substrate 3 Suction table 5 Inkjet head bar 51 Inkjet head 52 Inkjet nozzle

Claims (11)

複数個のインクジェットノズル(52)を備えたインクジェットヘッド(51)を複数個配列したインクジェットヘッドバー(5)とブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板(2)とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズル(52)で前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、
インクジェットヘッドバー(5)の長手方向と平行な方向を前記画素の長手方向に設定し、インクジェットノズル(52)毎のカラー材料の吐出/非吐出を予め設定しておき、インクジェットノズル(52)に対するガラス基板(2)の相対的位置情報と前記設定情報を基にインクジェットノズル(52)のカラー材料の吐出を制御することを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
While relatively moving an inkjet head bar (5) in which a plurality of inkjet heads (51) having a plurality of inkjet nozzles (52) are arranged and a glass substrate (2) having a black matrix formed thereon, In a color filter manufacturing method in which a color material is applied to pixels of the black matrix with an inkjet nozzle (52),
A direction parallel to the longitudinal direction of the inkjet head bar (5) is set as the longitudinal direction of the pixel, and discharge / non-discharge of the color material for each inkjet nozzle (52) is set in advance, and the inkjet nozzle (52) A method for producing a color filter, comprising: controlling ejection of a color material from an inkjet nozzle (52) based on relative position information of the glass substrate (2) and the setting information.
複数個のインクジェットノズル(52)を備えたインクジェットヘッド(51)を複数個配列したインクジェットヘッドバー(5)とブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板(2)とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズル(52)で前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、
インクジェットヘッドバー(5)の長手方向と平行な方向を同一色の画素の配列方向に設定し、インクジェットノズル(52)毎のカラー材料の吐出/非吐出を予め設定しておき、インクジェットノズル(52)に対するガラス基板(2)の相対的位置情報と前記設定情報を基にインクジェットノズル(52)のカラー材料の吐出を制御することを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
While relatively moving an inkjet head bar (5) in which a plurality of inkjet heads (51) having a plurality of inkjet nozzles (52) are arranged and a glass substrate (2) having a black matrix formed thereon, In a color filter manufacturing method in which a color material is applied to pixels of the black matrix with an inkjet nozzle (52),
The direction parallel to the longitudinal direction of the inkjet head bar (5) is set as the arrangement direction of pixels of the same color, and ejection / non-ejection of the color material for each inkjet nozzle (52) is set in advance, and the inkjet nozzle (52 ), The discharge of the color material of the inkjet nozzle (52) is controlled based on the relative position information of the glass substrate (2) and the setting information.
前記吐出/非吐出の設定は、ガラス基板(2)の前記相対的な移動方向における座標に基づいている請求項1または請求項2に記載のカラーフィルタ製造方法。 The color filter manufacturing method according to claim 1 or 2, wherein the discharge / non-discharge setting is based on coordinates in the relative movement direction of the glass substrate (2). 1画素に対向するインクジェットノズル(52)の数N、余剰ノズル数n、インクジェットノズル(52)の液滴1滴当たりの量Q、前記相対的な移動方向での画素内吐出回数M、および1画素に塗布するカラー材料の量Vが数1の関係を有する請求項1から請求項3の何れかに記載のカラーフィルタ製造方法。

The number N of the inkjet nozzles (52) facing one pixel, the number of surplus nozzles n, the amount Q per droplet of the inkjet nozzle (52), the number of ejections M within the pixel in the relative movement direction, and 1 The method for producing a color filter according to any one of claims 1 to 3, wherein an amount V of the color material applied to the pixel has a relationship of Formula 1.

前記吐出/非吐出の設定は、ガラス基板(2)の前記画素の長手方向における座標に基づいている請求項1または請求項2に記載のカラーフィルタ製造方法。 The color filter manufacturing method according to claim 1 or 2, wherein the ejection / non-ejection setting is based on coordinates in a longitudinal direction of the pixel of the glass substrate (2). 前記相対的な移動が終了する毎にインクジェットヘッドバー(5)を長手方向に移動させ、該長手方向の移動量は、長手方向の移動の前後におけるカラー材料の塗布領域が互いに重ならない移動量と画素の長手方向ピッチとを加算した値である請求項1または請求項2に記載のカラーフィルタ製造方法。 Each time the relative movement is completed, the inkjet head bar (5) is moved in the longitudinal direction, and the movement amount in the longitudinal direction is a movement amount in which the application areas of the color material do not overlap each other before and after the movement in the longitudinal direction. The color filter manufacturing method according to claim 1, wherein the value is a value obtained by adding a longitudinal pitch of pixels. 前記相対的な移動毎に、インクジェットノズル(52)毎のカラー材料の吐出/非吐出の設定を変更する請求項6に記載のカラーフィルタ製造方法。 The color filter manufacturing method according to claim 6, wherein the discharge / non-discharge setting of the color material for each inkjet nozzle is changed for each relative movement. 複数個のインクジェットノズル(52)を備えたインクジェットヘッド(51)を複数個配列したインクジェットヘッドバー(5)を支持する支持部材と、ブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板(2)を吸着保持する吸着テーブル(3)と、インクジェットヘッドバー(5)とガラス基板(2)とを、所定の間隙を保持した状態で相対的に移動させる第1移動手段と、インクジェットヘッドバー(5)とガラス基板(2)とを、前記第1移動手段による移動方向と直交する方向に移動させる第2移動手段と、ガラス基板(2)およびインクジェットノズル(52)のディメンジョンを入力し、データを記憶する第1記憶手段を含むカラーフィルタ製造装置において、
前記ガラス基板(2)とインクジェットバー(5)の相対位置を検出する検出手段と、検出した相対位置に基づきインクジェットノズル(52)毎のカラー材料の吐出を制御する
吐出制御手段とを含むことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
A support member for supporting an inkjet head bar (5) in which a plurality of inkjet heads (51) having a plurality of inkjet nozzles (52) are arranged, and a glass substrate (2) having a black matrix formed thereon are held by suction. First moving means for relatively moving the suction table (3), the inkjet head bar (5), and the glass substrate (2) while maintaining a predetermined gap, the inkjet head bar (5), and the glass substrate The second moving means for moving (2) in a direction orthogonal to the moving direction by the first moving means, and the dimensions of the glass substrate (2) and the ink jet nozzle (52) are inputted, and the first is stored. In the color filter manufacturing apparatus including the storage means,
Detecting means for detecting a relative position between the glass substrate (2) and the ink jet bar (5), and discharge control means for controlling discharge of the color material for each ink jet nozzle (52) based on the detected relative position. A color filter manufacturing apparatus.
インクジェットヘッドバー(5)の、前記第1移動手段による移動方向と直交する方向における塗布領域が、ガラス基板(2)の前記第1移動手段による移動方向と直交する方向における塗布領域よりも大きい請求項8に記載のカラーフィルタ製造装置。 The application area of the inkjet head bar (5) in the direction orthogonal to the moving direction of the first moving means is larger than the application area of the glass substrate (2) in the direction orthogonal to the moving direction of the first moving means. Item 9. The color filter manufacturing apparatus according to Item 8. 入力された相対的移動方向のガラス基板画素およびインクジェットノズル(52)の位置情報から、ガラス基板(2)とインクジェットヘッドバー(5)の、前記第1移動手段による移動方向における相対位置毎の各インクジェットノズル(52)のカラー材料の吐出/非吐出を演算/判断する第1演算手段と、第1演算手段による演算/判断結果を記憶する第2記憶手段をさらに含む請求項8に記載のカラーフィルタ製造装置。 Based on the positional information of the glass substrate pixel and the ink jet nozzle (52) in the relative movement direction that has been input, each of the glass substrate (2) and the ink jet head bar (5) for each relative position in the movement direction by the first moving means. 9. The color according to claim 8, further comprising: first computing means for computing / determining ejection / non-ejection of the color material of the inkjet nozzle (52), and second storage means for storing computation / judgment results by the first computing means. Filter manufacturing equipment. 入力された相対的移動方向のガラス基板画素およびインクジェットノズル(52)の位置情報から、各インクジェットノズル(52)の前記第1移動手段による移動方向と直交する方向におけるカラー材料の吐出/非吐出を演算/判断する第2演算手段と、第2演算手段による演算/判断結果を記憶する第3記憶手段をさらに含む請求項8に記載のカラーフィルタ製造装置。 Based on the positional information of the glass substrate pixel and the ink jet nozzle (52) in the relative movement direction that has been input, the color material is ejected / non-ejected in a direction orthogonal to the movement direction of the ink jet nozzle (52) by the first moving means. The color filter manufacturing apparatus according to claim 8, further comprising: a second calculation unit that performs calculation / determination; and a third storage unit that stores a calculation / determination result obtained by the second calculation unit.
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