JP4619859B2 - Spacer coating device, spacer coating method - Google Patents

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Description

本発明は、液晶表示装置等にスペーサを配置するスペーサ塗布装置に関する。   The present invention relates to a spacer coating device for arranging a spacer on a liquid crystal display device or the like.

従来より、液晶パネルの液晶を保持する基板間には、基板間の間隔を一定にするためにスペーサが挿入されている。
カラーTV用大型パネル対応では、現状ODF(液晶滴下)方式が採用されており、スペーサを従来のボールスペーサの散布により形成すると、液晶滴下時にボールスペーサが流されてしまうことから、フォトスペーサが現在主流となっている。
Conventionally, spacers have been inserted between the substrates holding the liquid crystal of the liquid crystal panel in order to keep the distance between the substrates constant.
For large color TV panels, the current ODF (liquid crystal dripping) method is adopted. If spacers are formed by spraying conventional ball spacers, the ball spacers are washed away when the liquid crystal is dripped. It has become mainstream.

フォトスペーサは、基板全面にフォトスペーサ材料をスピン塗布した後、フォトリソグラフィ工程により、カラム状のスペーサを各ピクセルの所定位置にのみ残し、溶剤処理によって有機材料を溶解除去することで、残った有機材料がフォトスペーサとなる。欠点は、材料の無駄、フォトリソグラフィと言う高価な工程が入る事がコスト上の問題点である。また基板の大型化に伴い、スピン塗布後のフォトスペーサ材料の基板内の膜厚の均一性を取るのも難しくなってきている。   The photo-spacer is formed by spin-coating a photo-spacer material on the entire surface of the substrate, and then leaving a column-shaped spacer only at a predetermined position of each pixel by a photolithography process, and dissolving and removing the organic material by solvent treatment. The material becomes a photo spacer. Disadvantages are cost problems due to waste of materials and the introduction of expensive processes such as photolithography. In addition, with the increase in size of the substrate, it has become difficult to obtain a uniform film thickness within the substrate of the photo spacer material after spin coating.

インクジェットプリンタは、インクの吐出量や配置位置の精密制御が可能であることから、インクに替え、スペーサが分散液中に分散された吐出液を吐出させ、乾燥すると基板等の処理対象物上にスペーサを配置することができる。乾燥及び熱処理によってスペーサが処理対象物の表面に固着され、また、無駄な材料が少ないことから、フォトスペーサ方式よりも有利である。   Inkjet printers allow precise control of the amount and position of ink discharged, so instead of ink, spacers discharge the liquid dispersed in the liquid dispersion and dry it onto a substrate or other processing object. Spacers can be placed. Since the spacer is fixed to the surface of the object to be processed by drying and heat treatment, and less wasted material, it is more advantageous than the photo spacer method.

しかしながら、処理対象物上に一定量の吐出液を吐出しても、その吐出液中に常に同じ個数のスペーサが含有されているとは限らない。スペーサが不足する配置位置があると、基板間の距離が不均一になり、色むら等の原因となる。   However, even if a certain amount of discharge liquid is discharged onto the object to be processed, the same number of spacers are not always contained in the discharge liquid. If there is an arrangement position where the spacer is insufficient, the distance between the substrates becomes non-uniform, resulting in uneven color.

スペーサの配置方法については、下記のような先行技術がある。
特開平11−24083号公報 特開2002−372717号公報 特開2002−72218号公報 特開2005−4094号公報
As for the arrangement method of the spacer, there are the following prior arts.
JP-A-11-24083 JP 2002-372717 A JP 2002-72218 A JP 2005-4094 A

本発明は、上記従来技術の課題を解決するために創作されたものであり、その目的は、負担の重い検査をせずに、所望の位置にスペーサを配置できる技術を提供することにある。   The present invention has been created to solve the above-described problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a technique capable of arranging a spacer at a desired position without performing a heavy inspection.

上記課題を解決するため、本発明は、スペーサが配置されるべき処理対象物上の配置位置を示す位置情報が記憶された制御装置と、前記スペーサを含む吐出液を吐出する第一の印刷ヘッドが配置された印刷装置と、前記処理対象物上の表面を検査する検査装置と、前記吐出液を吐出する第二の印刷ヘッドとが配置された修正装置とを有し、前記第一の印刷ヘッドは前記位置情報に従い、前記配置位置に前記吐出液を吐出するように構成され、前記検査装置は、前記位置情報に従い、前記配置位置を検査し、前記第二の印刷ヘッドは、前記検査の結果から特定された前記スペーサの不足位置に前記吐出液を吐出するように構成されたスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、前記印刷装置を複数有し、前記各印刷装置は前記位置情報が示す前記吐出位置に前記吐出液を吐出するように構成されたスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、前記修正装置を複数有し、前記各修正装置は前記位置情報が示す前記吐出位置を検査するように構成されたスペーサ塗布装置である。
また、本発明は、スペーサを含む吐出液を吐出する第一、第二の印刷ヘッドと、処理対象物上の表面を検査する検査装置とが配置されたスペーサ塗布装置により、前記処理対象物の所定の配置位置に前記スペーサを配置するスペーサ塗布方法であって、制御装置に予め処理対象物に応じた配置位置を示す位置情報を記憶させておき、前記第一の印刷ヘッドに配置された前記処理対象物の種類から前記処理対象物の前記配置位置を判別し、前記位置情報に基いて、前記第一の印刷ヘッドから前記吐出液を吐出させ、前記処理対象物を前記検査装置に移動させ、前記処理対象物の種類から前記配置位置を判別し、前記位置情報に基いて、前記配置位置を検査して、前記配置位置毎にスペーサ個数を計数して前記スペーサが不足する不足位置を特定し、前記不足位置に、前記第二の印刷ヘッドから前記吐出液を吐出させるスペーサ塗布方法である。
また、本発明は、前記スペーサ個数は、前記配置位置毎に表面を撮影し、画像解析によって前記スペーサを判別して計数するスペーサ塗布方法である。
In order to solve the above-described problems, the present invention provides a control device in which position information indicating an arrangement position on a processing object on which a spacer is to be arranged is stored, and a first print head that discharges a discharge liquid including the spacer. And a correction device in which a second print head for discharging the discharge liquid is disposed, and the first printing is performed. The head is configured to discharge the discharge liquid to the arrangement position according to the position information, the inspection apparatus inspects the arrangement position according to the position information, and the second print head is configured to perform the inspection. It is a spacer coating apparatus configured to discharge the discharge liquid to the insufficient position of the spacer specified from the result.
In addition, the present invention is a spacer coating apparatus that includes a plurality of the printing apparatuses, and each of the printing apparatuses is configured to discharge the discharge liquid to the discharge position indicated by the position information.
Further, the present invention is a spacer coating apparatus having a plurality of the correction devices, wherein each of the correction devices is configured to inspect the discharge position indicated by the position information.
Further, the present invention provides a first and second print heads for discharging a discharge liquid containing spacers, and a spacer coating device in which an inspection device for inspecting the surface of the processing object is provided, and the processing object is processed by the spacer coating apparatus. A spacer coating method in which the spacer is arranged at a predetermined arrangement position, wherein position information indicating an arrangement position corresponding to a processing object is stored in advance in a control device, and the arrangement is performed on the first print head. The arrangement position of the processing object is determined from the type of the processing object, the discharge liquid is discharged from the first print head based on the position information, and the processing object is moved to the inspection apparatus. The arrangement position is determined from the type of the processing object, the arrangement position is inspected based on the position information, the number of spacers is counted for each arrangement position, and the insufficient position where the spacer is insufficient is specified. , The lack of position is a spacer coating method of ejecting the ejection liquid from the second print head.
Further, the present invention is a spacer coating method in which the number of the spacers is obtained by photographing a surface for each arrangement position, and discriminating and counting the spacers by image analysis.

本発明は上記のように構成されており、印刷装置と修正装置がそれぞれ処理しようとする処理対象物の吐出位置が分かるため、配置位置毎に画像処理を行うことができる。従って、配置位置以外の領域を画像処理しなくて済み、画像処理の負担が軽い。
配置位置が並んだ列毎に画像処理することもできる。この場合、配置位置が並んだ列の間の領域は、画像処理しなくて済む。
The present invention is configured as described above, and since the discharge position of the processing object to be processed by the printing apparatus and the correction apparatus can be known, image processing can be performed for each arrangement position. Therefore, it is not necessary to perform image processing on regions other than the arrangement position, and the burden of image processing is light.
It is also possible to perform image processing for each column where the arrangement positions are arranged. In this case, it is not necessary to perform image processing on the area between the rows where the arrangement positions are arranged.

本発明では、位置情報を種類と対応付けて記憶している制御装置が、印刷装置と修正装置の動作を制御してもよいし、位置情報を中央制御装置に記憶させ、各印刷装置及び各修正装置に配置した個別制御装置で動作を制御してもよい。また、動作を制御する個別制御装置に位置情報を記憶させても良い。   In the present invention, the control device that stores the positional information in association with the type may control the operation of the printing device and the correction device, or the positional information is stored in the central control device, and each printing device and each The operation may be controlled by an individual control device arranged in the correction device. The position information may be stored in an individual control device that controls the operation.

本発明では、印刷装置と修正装置を分離したので、処理能力の比率に応じ、印刷装置の台数と修正装置の台数の比率を変えることができる。
処理対象物の種類に応じた配置位置の位置情報が与えられるので、処理対象物の一部領域を画像処理するだけで配置位置のスペーサ個数を計数することができる。処理対象物の全表面を撮影する場合に比べ、画像解析の負担が軽くなる。特に、吐出位置だけを撮影すると画像解析の負担を大幅に軽減させることができる。
印刷装置と修正装置で処理対象物の種類を確認し、種類に応じた配置位置の位置情報を得ているから、異なる種類の処理対象物を混在させても、配置位置を誤ることはない。
In the present invention, since the printing device and the correction device are separated, the ratio between the number of printing devices and the number of correction devices can be changed according to the ratio of the processing capabilities.
Since the position information of the arrangement position according to the type of the processing object is given, the number of spacers at the arrangement position can be counted only by performing image processing on a partial area of the processing object. Compared to photographing the entire surface of the processing object, the burden of image analysis is reduced. In particular, if only the discharge position is photographed, the burden of image analysis can be greatly reduced.
Since the type of the processing object is confirmed by the printing apparatus and the correction apparatus and the positional information of the arrangement position corresponding to the type is obtained, the arrangement position is not erroneous even if different types of processing objects are mixed.

図1の符号1は、本発明のスペーサ塗布装置を示している。
このスペーサ塗布装置1は、中央制御装置11と、一又は二以上の印刷装置121〜12mと、一又は二以上の修正装置131〜13nを有している。添字m、nは二以上の整数を表す。
各印刷装置121〜12mは同じ構成であり、それらを代表し、図3、図4の印刷装置12aを用いて説明する。
Reference numeral 1 in FIG. 1 represents the spacer coating apparatus of the present invention.
The spacer coating device 1 includes a central control device 11, one or more printing devices 12 1 to 12 m , and one or more correction devices 13 1 to 13 n . The subscripts m and n represent an integer of 2 or more.
Each of the printing apparatuses 12 1 to 12 m has the same configuration, and will be described using the printing apparatus 12a of FIGS. 3 and 4 as a representative.

図3は、印刷装置12aを横方向から見た側面図であり、図4は上方から見た平面図である。
印刷装置12aは印刷台21を有しており、印刷台21上には処理対象物6が配置されている。
FIG. 3 is a side view of the printing apparatus 12a viewed from the lateral direction, and FIG. 4 is a plan view of the printing apparatus 12a viewed from above.
The printing apparatus 12 a includes a printing stand 21, and the processing target 6 is disposed on the printing stand 21.

処理対象物6は、液晶装置の基板や、液晶装置に取りつけられるカラーフィルタ等であり、カラーフィルタである場合のスペーサ塗布の手順について説明する。但し、本発明の処理対象物6はカラーフィルタに限定されるものではない。   The processing object 6 is a substrate of a liquid crystal device, a color filter or the like attached to the liquid crystal device, and a procedure for applying a spacer in the case of a color filter will be described. However, the processing object 6 of the present invention is not limited to a color filter.

図14は、本スペーサ塗布装置1によって処理する前の処理対象物6の表面を説明するための平面図である。カラーフィルタの場合、その表面には、R、G、Bの各色に対応した赤、緑、青の窓部55R、55G、55Bが規則正しく配置されており、各色の窓部55R、55G、55Bは、BM(ブラックマトリクス)線56によって区分けされている。
BM線56は縦横に伸び、格子状に形成されており、横方向Xと縦方向Yの交差位置Ax、yが、スペーサを固定するために適した配置位置Ax、yになっている。
FIG. 14 is a plan view for explaining the surface of the processing object 6 before being processed by the spacer coating apparatus 1. In the case of a color filter, red, green, and blue window portions 55R, 55G, and 55B corresponding to each color of R, G, and B are regularly arranged on the surface, and the window portions 55R, 55G, and 55B of the respective colors are arranged. , BM (black matrix) lines 56.
The BM line 56 extends vertically and horizontally and is formed in a lattice shape, and the intersection position A x, y between the horizontal direction X and the vertical direction Y is an arrangement position A x, y suitable for fixing the spacer. .

図14及び後述する図15、図16では、配置位置Ax、yの処理対象物6〜8上の位置を示す添字のxは1〜4の範囲であり、yは1,2の範囲である。図14〜図16には、A1,1からA4,2の8個の配置位置が示されている。 In FIG. 14 and FIGS. 15 and 16 to be described later, the subscript x indicating the position of the arrangement position Ax, y on the processing object 6-8 is in the range of 1-4, and y is in the range of 1,2. is there. In FIG. 14 to FIG. 16, eight arrangement positions A 1,1 to A 4,2 are shown.

印刷装置12aには、個別制御装置20が設けられている。
処理対象物6上には、処理対象物6の種類を示す記号が配置されている。印刷台21には、その記号を読み取る読取装置28が設けられている。読取り装置28は、個別制御装置20を介して中央制御装置11に接続されており、処理対象物6上の記号が読取り装置28によって読み取られると、その結果は中央制御装置11に送信される。
An individual control device 20 is provided in the printing device 12a.
A symbol indicating the type of the processing object 6 is arranged on the processing object 6. The printing stand 21 is provided with a reading device 28 that reads the symbol. The reading device 28 is connected to the central control device 11 via the individual control device 20, and when a symbol on the processing object 6 is read by the reading device 28, the result is transmitted to the central control device 11.

中央制御装置11には、スペーサを配置すべき配置位置が処理対象物6の種類と対応付けて位置情報として記憶されており、印刷装置12aから送信された読み取り結果を記憶内容と照合し、その読み取り結果が示す種類に対応する位置情報を、読み取り結果を送信してきた印刷装置12aに返信する。従って、各印刷装置121〜12mに異なる種類の処理対象物6が配置された場合であっても、それらに対応する配置位置Ax,yの位置情報が各印刷装置121〜12mにそれぞれ返信される。 The central control device 11 stores the position where the spacer is to be arranged as position information in association with the type of the processing object 6, and compares the reading result transmitted from the printing device 12 a with the stored content. The position information corresponding to the type indicated by the reading result is returned to the printing apparatus 12a that has transmitted the reading result. Therefore, even when different kinds of processing object 6 is disposed in the printing devices 12 1 to 12 m, position A x corresponding to them, the position information of the y is the printing devices 12 1 to 12 m Will be replied to each.

受信した位置情報は、各121〜12mの個別制御装置20に記憶される。
印刷台21には不図示の搬送装置及び基板位置合わせ装置が設けられており、個別制御装置20はその搬送装置を制御し、処理対象物6を移動させる。
図3、図4の符号24は、処理対象物6の移動方向を示している。
The received position information is stored in the individual control devices 20 of 12 1 to 12 m .
The printing stand 21 is provided with a transport device and a substrate alignment device (not shown), and the individual control device 20 controls the transport device and moves the processing object 6.
3 and 4 indicate the moving direction of the processing object 6.

印刷台21上には、第一の印刷ヘッド23aが配置されている。第一の印刷ヘッド23は、移動装置22aに取りつけられており、処理対象物6の表面と平行な平面内で、処理対象物6の移動方向24とは垂直な方向に移動できるように構成されている。符号29aは、第一の印刷ヘッド23aの移動経路方向を示している。   A first print head 23 a is disposed on the printing stand 21. The first print head 23 is attached to the moving device 22a, and is configured to move in a direction perpendicular to the moving direction 24 of the processing object 6 within a plane parallel to the surface of the processing object 6. ing. Reference numeral 29a indicates the moving path direction of the first print head 23a.

処理対象物6は、配置位置Ax,yのx方向、又はy方向の列が第一の印刷ヘッド23aの移動方向と平行に配置されている。
例えば、処理対象物6には位置情報の基準となる基点が設けられている場合、印刷装置21に配置されたセンサによって基点が検出され、個別制御装置20が配置位置Ax,yの座標と処理対象物6の移動量とから、配置位置Ax,yの最初の一乃至数列が第一の印刷ヘッド23aの移動範囲の下方位置に到達したことを検出すると、処理対象物6は静止される。
第一の印刷ヘッド23aは、図13に示すように、それぞれ複数のノズルN1〜Nnを有している。
The processing object 6 is arranged such that a row in the x direction or y direction of the arrangement positions A x, y is parallel to the moving direction of the first print head 23a.
For example, if the processing object 6 is provided with a base point serving as a reference for position information, the base point is detected by a sensor arranged in the printing device 21, and the individual control device 20 uses the coordinates of the placement position A x, y . When it is detected from the movement amount of the processing object 6 that the first one to several sequences of the arrangement positions A x, y have reached a position below the movement range of the first print head 23a, the processing object 6 is stopped. The
As shown in FIG. 13, the first print head 23a has a plurality of nozzles N 1 to N n , respectively.

第一の印刷ヘッド23aには、液供給系25が接続されている。液供給系25には、スペーサが分散液中に分散された吐出液が蓄液されており、個別制御装置20から入力される吐出信号により、各ノズルN1〜Nnの一個乃至全部から吐出液を吐出できるように構成されている。第一の印刷ヘッド23の移動と吐出は個別制御装置20によって制御される。 A liquid supply system 25 is connected to the first print head 23a. The liquid supply system 25 stores a discharge liquid in which spacers are dispersed in a dispersion liquid, and discharges from one or all of the nozzles N 1 to N n according to a discharge signal input from the individual control device 20. It is comprised so that a liquid can be discharged. The movement and ejection of the first print head 23 are controlled by the individual control device 20.

ノズルN1〜Nnは等間隔に一列に配置されているが、配置位置Ax、yの間隔は製品によって異なるため、一般的に配置位置Ax、yの間隔とノズルN1〜Nnの間隔は等しくない。 The nozzles N 1 to N n are arranged in a line at equal intervals. However, since the intervals between the arrangement positions A x and y differ depending on the product, the intervals between the arrangement positions A x and y and the nozzles N 1 to N n are generally used. The intervals are not equal.

第一の印刷ヘッド23aは印刷台21に対する角度が調節可能であり、ノズルN1〜Nnの列が、配置位置Ax、yに対して成す角度を調整することで、第一の印刷ヘッド23aがその移動方向29aに沿って移動したときに、各ノズルN1〜Nnが配置位置Ax,yの真上を通過するようにされている。 The angle of the first print head 23a with respect to the printing table 21 is adjustable, and the first print head is adjusted by adjusting the angle formed by the rows of the nozzles N 1 to N n with respect to the arrangement positions A x and y . 23a is when moving along the moving direction 29a, the nozzles n 1 to n n are positions a x, is to pass directly over of y.

個別制御装置20は、ノズルN1〜Nnが配置位置Ax,y上を通過するとき、各ノズルN1〜Nnから吐出液を吐出させる。
ノズルN1〜Nnの数Mと同数の列に位置する配置位置Ax,yに着弾されると、処理対象物6は、隣接するM個の列分だけ下流側に移動し、第一の印刷ヘッド23aの移動範囲の下方に、未吐出の配置位置Ax,yがM列配置され、それらの配置位置Ax,yに吐出液が吐出される。
Individual control unit 20, the nozzle N 1 to N n are positions A x, when it passes over y, to discharge the discharge liquid from the nozzles N 1 to N n.
When landing on the arrangement position A x, y located in the same number of rows as the number M of the nozzles N 1 to N n , the processing object 6 moves downstream by the number of adjacent M rows, and the first Below the movement range of the print head 23a, M rows of non-ejection arrangement positions A x, y are arranged , and the ejection liquid is ejected to these arrangement positions A x, y .

以上のように、処理対象物6の移動と、吐出が繰り返されると、処理対象物6上の各配置位置Ax,yに吐出液が吐出され、着弾する。 As described above, when the movement and the discharge of the processing object 6 are repeated, the discharging liquid is discharged and landed at the respective arrangement positions A x, y on the processing object 6.

図15の符号7は、印刷装置12aによって吐出液が吐出された後の処理対象物を示しており、符号51は着弾した吐出液、符号53はその吐出液51に含まれているスペーサを示している。スペーサ53は、直径4μm〜5μmの樹脂粒子や無機粒子である。
印刷装置12aで処理された後の処理対象物7は、各印刷装置121〜12mから取り出され、所望の修正装置131〜13nに移動される。
Reference numeral 7 in FIG. 15 indicates the object to be treated after the discharge liquid is discharged by the printing device 12a, reference numeral 51 indicates the discharged discharge liquid, and reference numeral 53 indicates the spacer included in the discharge liquid 51. ing. The spacer 53 is resin particles or inorganic particles having a diameter of 4 μm to 5 μm.
The object 7 to be processed after being processed by the printing device 12a is taken out from each of the printing devices 12 1 to 12 m and moved to desired correction devices 13 1 to 13 n .

各修正装置131〜13nは同じ構成であり、それらの一例の修正装置を図5、図6の符号13aで示して説明する。
図5は、修正装置13を横方向から見た側面図であり、図6は上方から見た平面図である。
Each of the correction devices 13 1 to 13 n has the same configuration, and an example of the correction device will be described with reference to reference numeral 13a in FIGS.
FIG. 5 is a side view of the correction device 13 viewed from the lateral direction, and FIG. 6 is a plan view viewed from above.

この修正装置13aは修正台31を有しており、修正台31上には吐出液が吐出された処理対象物7が配置されている。
上記印刷台21と同様に、修正台31には不図示の搬送装置及び基板位置合わせ装置が設けられており、その搬送装置によって処理対象物7は印刷台31上を移動される。
図5、図6の符号34aは、処理対象物7の移動方向を示している。
The correction device 13 a has a correction table 31, and the processing object 7 to which the discharge liquid is discharged is disposed on the correction table 31.
Similar to the printing table 21, the correction table 31 is provided with a transport device and a substrate alignment device (not shown), and the processing object 7 is moved on the printing table 31 by the transport device.
Reference numeral 34 a in FIGS. 5 and 6 indicates the moving direction of the processing object 7.

修正台31上には、検査装置33aと、第二の印刷ヘッド43aとが配置されている。処理対象物7の移動方向に対し、検査装置33aが上流側、第二の印刷ヘッド43aが下流側である。   On the correction table 31, an inspection device 33a and a second print head 43a are arranged. The inspection apparatus 33a is on the upstream side and the second print head 43a is on the downstream side with respect to the moving direction of the processing object 7.

検査装置33aと、第二の印刷ヘッド33aは、それぞれ移動装置32a、42aに取りつけられており、処理対象物7の表面と平行な平面内で、処理対象物7の移動方向34aとは垂直な方向にそれぞれ往復移動できるように構成されている。   The inspection device 33a and the second print head 33a are respectively attached to the moving devices 32a and 42a, and are perpendicular to the moving direction 34a of the processing object 7 in a plane parallel to the surface of the processing object 7. It is configured to be able to reciprocate in each direction.

符号39a、49aは、検査装置33aと第二の印刷ヘッド43aの移動経路方向をそれぞれ示している。
この第二の印刷ヘッド43a、及び後述する他の第二の印刷ヘッド43b、43cは、図13に示すように、第一の印刷ヘッド23aと同様の複数のノズルN1〜Nnをそれぞれ有している。ここでは各ノズルN1〜Nnは一列に配置されており、処理対象物7の配置位置Ax、yに対する角度は調節され、各ノズルN1〜Nnが配置位置Ax,yの真上を通過するようになっている。
Reference numerals 39a and 49a indicate movement path directions of the inspection device 33a and the second print head 43a, respectively.
As shown in FIG. 13, the second print head 43a and other second print heads 43b and 43c described later each have a plurality of nozzles N 1 to N n similar to the first print head 23a. is doing. Here, the nozzles N 1 to N n are arranged in a line, the angle with respect to the arrangement position A x, y of the processing object 7 is adjusted, and each nozzle N 1 to N n is true of the arrangement position A x, y . It is designed to pass over.

修正台31には、処理対象物7上の記号を読み取る読取装置38が取りつけられている。
修正装置13aには、個別制御装置30が設けられている。
A reading device 38 that reads a symbol on the processing object 7 is attached to the correction table 31.
An individual control device 30 is provided in the correction device 13a.

読取装置38は、個別制御装置30を介して中央制御装置11に接続されており、記号を読み取り、中央制御装置11に送信すると、中央制御装置11から処理対象物7の配置位置Ax,yの位置情報が送信される。 The reading device 38 is connected to the central control device 11 via the individual control device 30. When the reading device 38 reads a symbol and transmits it to the central control device 11, the arrangement position A x, y of the processing object 7 from the central control device 11. Position information is transmitted.

処理対象物7が移動し、最初の一乃至複数個の配置位置Ax,yが検査装置33aの移動範囲の下方位置に到達したところで、処理対象物7は一旦静止される。
検査装置33aは高精細のカメラであり、検査装置33aは移動経路39a上を移動しながら、配置位置Ax,y毎に表面を撮影し、撮影結果を個別制御装置30に出力する。
When the processing object 7 moves and the one or more arrangement positions A x, y reach the lower position of the moving range of the inspection apparatus 33a, the processing object 7 is temporarily stopped.
The inspection device 33 a is a high-definition camera, and the inspection device 33 a images the surface for each arrangement position A x, y while moving on the movement path 39 a and outputs the imaging result to the individual control device 30.

個別制御装置30では、撮影結果と配置位置Ax,yは対応づけられており、撮影結果を画像解析し、スペーサ個数を計数し、配置位置Ax,y毎に基準個数と比較し、基準個数未満の配置位置を不足位置特定する。図15の処理対象物7では、一カ所の配置位置A2,1のスペーサ個数が不足しており、画像解析により、この配置位置A2,1が不足位置として特定され、記憶される。 In the individual control device 30, the photographing result and the arrangement position A x, y are associated with each other, the image of the photographing result is analyzed, the number of spacers is counted, and the number of spacers is compared with the reference number for each arrangement position A x, y. The position where the number is less than the number of positions is specified. In the processing object 7 in FIG. 15, the lack of spacer number of positions A 2,1 of one place, by image analysis, the position A 2,1 is identified as missing positions, are stored.

処理対象物7が移動され、不足位置A2,1が第二の印刷ヘッド43aのノズルN1〜Nnの移動経路のいずれかの真下に位置したところで処理対象物7は一旦静止され、第二の印刷ヘッド42aが移動し、不足位置A2,1に対して吐出液を吐出する。このとき、スペーサが基準個数以上配置されている配置位置Ax,yには吐出液は吐出されない。 When the processing object 7 is moved and the shortage position A 2,1 is located directly below one of the movement paths of the nozzles N 1 to N n of the second print head 43a, the processing object 7 is temporarily stopped, and the first The second print head 42a moves and discharges the discharge liquid to the shortage position A2,1 . At this time, the discharge liquid is not discharged to the arrangement positions A x, y where the reference number or more spacers are arranged.

処理対象物7上の一乃至複数個の不足位置Am,nに第二の印刷ヘッド43aから吐出液が吐出された後、乾燥されると、各配置位置Ax,yに基準個数以上の個数のスペーサが配置された処理基板が得られる。
図16の符号8は、そのような処理基板を示しており、不足位置A2,1にスペーサが追加され、スペーサ不足が解消されている。
When the discharge liquid is discharged from the second print head 43a to one or a plurality of deficient positions Am, n on the processing target 7, and then dried, the arrangement position Ax, y is more than the reference number. A processed substrate on which a number of spacers are arranged is obtained.
Reference numeral 8 in FIG. 16 shows such a processed substrate, and a spacer is added to the shortage position A 2,1 to eliminate the shortage of spacer.

以上は、中央制御装置11を設け、中央制御装置11に配置位置Ax,yの位置情報を処理対象物6、7の種類に対応付けて記憶させていたが、各印刷装置121〜12m及び修正装置131〜13nの個別制御装置20、30に、配置位置Ax,yの位置情報を処理対象物6、7の種類に対応付けて記憶させてもよい。 Above, the central control unit 11 is provided, the arrangement position to the central control unit 11 A x, had been stored in association with the type of the processing object 6,7 position information of y, the printing devices 12 1 to 12 The position information of the arrangement positions A x, y may be stored in association with the types of the processing objects 6 and 7 in the individual control devices 20 and 30 of the m and correction devices 13 1 to 13 n .

その場合、図2のスペーサ塗布装置2のように、各印刷装置121〜12m及び修正装置131〜13nの個別制御装置20、30同士を接続し、互いに通信可能に構成することができる。例えば、一台の印刷装置12xに種類と配置位置の位置情報を入力するだけで、各個別制御装置20、30に、その位置情報を共有させることもできる。 In that case, like the spacer coating device 2 in FIG. 2, the individual control devices 20 and 30 of the printing devices 12 1 to 12 m and the correction devices 13 1 to 13 n are connected to each other so that they can communicate with each other. it can. For example, the position information can be shared by the individual control devices 20 and 30 only by inputting the position information of the type and the arrangement position to one printing apparatus 12 x .

次に、本発明の他の例について説明する。
上記修正装置13aでは、検査装置33aと第二の印刷ヘッド43aとが独立に往復移動可能に構成されていたが、本発明はそれに限定されるものではない。
Next, another example of the present invention will be described.
In the correction device 13a, the inspection device 33a and the second print head 43a are configured to be reciprocally movable independently, but the present invention is not limited thereto.

図7、図8の符号13bは、その一例の修正装置を示している。
この修正装置13b及び後述する修正装置13c、13dでは、上記修正装置13aと同じ部材には同じ符号を付して説明を省略する。
Reference numeral 13b in FIG. 7 and FIG. 8 represents an example of the correcting device.
In the correction device 13b and correction devices 13c and 13d described later, the same members as those of the correction device 13a are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

該修正装置13bは、検査装置33bと第二の印刷ヘッド43bとが一台の移動装置32bに取りつけられており、処理対象物7の移動方向34とは垂直な方向39b、49bに一緒に往復移動するように構成されている。   In the correcting device 13b, an inspection device 33b and a second print head 43b are attached to a single moving device 32b, and reciprocate together in directions 39b and 49b perpendicular to the moving direction 34 of the processing object 7. Is configured to move.

不足位置が検査装置33bによって見つけられると、第二の印刷ヘッド43bによって、不足位置にだけ吐出液が吐出され、スペーサが追加される。これにより、スペーサ不足が解消される。
また、修正装置には第二の印刷ヘッド又は検査装置を複数設けることができる。
When the insufficiency position is found by the inspection device 33b, the second printing head 43b ejects the discharge liquid only at the insufficiency position and adds a spacer. This eliminates the spacer shortage.
The correction device can be provided with a plurality of second print heads or inspection devices.

図9、図10の符号13cは、第二の印刷ヘッド43cの両脇に検査装置33c1、33c2がそれぞれ配置された修正装置を示している。検査装置33c1、33c2は第二の印刷装置43cの移動経路と同じ移動経路上を、第二の印刷ヘッド43cと一緒に往復移動するように構成されており、第二の印刷ヘッド43cが往復移動するときに、いずれか一方の検査装置33c1、33c2が先頭になり、先頭の方で処理対象物7の配置位置Ax,yを撮影し、不足位置を特定し、後続する第二の印刷ヘッド43cによって、不足位置に吐出液を吐出してスペーサ不足を解消することができる。 Reference numeral 13c in FIGS. 9 and 10 indicates a correction device in which inspection devices 33c 1 and 33c 2 are arranged on both sides of the second print head 43c. The inspection apparatuses 33c 1 and 33c 2 are configured to reciprocate together with the second print head 43c on the same movement path as the movement path of the second printing apparatus 43c. When reciprocating, one of the inspection devices 33c 1 and 33c 2 is at the head, and the position A x, y of the processing object 7 is photographed at the head, the insufficient position is identified, and the subsequent second By the second print head 43c, it is possible to discharge the discharge liquid to the shortage position to eliminate the shortage of spacers.

それとは逆に、一台の検査装置の両脇に第二の印刷ヘッドを配置すると、いずれか一方の第二の印刷ヘッドが検査装置の後尾となるから、検査装置で不足位置を特定し、後続する後尾の印刷ヘッドによって不足位置に吐出液を吐出し、スペーサ不足を解消することができる。   On the contrary, when the second print head is arranged on both sides of one inspection device, either one of the second print heads is the tail of the inspection device. By using the subsequent trailing print head, the discharge liquid can be discharged to the shortage position, and the shortage of spacers can be resolved.

以上の例では処理対象物6、7と第一、第二の印刷ヘッド及び検査装置とが移動していたが、処理対象物11を静止させ、第一、第二の印刷ヘッドと検査装置を、処理対象物6、7の表面に沿ってX軸方向、Y軸方向の二方向に移動させてもよい。   In the above example, the processing objects 6 and 7 and the first and second print heads and the inspection apparatus are moved. However, the processing object 11 is stopped and the first and second print heads and the inspection apparatus are moved. Further, it may be moved along the surfaces of the processing objects 6 and 7 in two directions, the X-axis direction and the Y-axis direction.

図11の印刷装置12bと図12の修正装置13dは、第一の印刷ヘッド23bが取りつけられた移動装置22bはレール上27上に配置されている。また、検査装置33dが取りつけられた移動装置32dと第二の印刷ヘッド43bが取りつけられた移動装置42dは、同じレール37上に配置されている。   In the printing device 12b in FIG. 11 and the correction device 13d in FIG. 12, the moving device 22b to which the first print head 23b is attached is arranged on the rail 27. Further, the moving device 32d to which the inspection device 33d is attached and the moving device 42d to which the second print head 43b is attached are arranged on the same rail 37.

レール27、37には、モータ等が内蔵されており、移動装置22b、32d、42dをレール27、37に沿って個別に往復移動させるように構成されている。図11、図12の符号24b、34dは、移動装置22b、32d、42dの往復移動の方向を示している。   The rails 27 and 37 incorporate a motor and the like, and are configured to reciprocate the moving devices 22b, 32d, and 42d along the rails 27 and 37 individually. Reference numerals 24b and 34d in FIGS. 11 and 12 indicate directions of reciprocation of the moving devices 22b, 32d, and 42d.

第一の印刷ヘッド23bと、検査装置33dと、第二の印刷ヘッド43bは、処理対象物6、7の表面と平行な平面内で、移動装置22b、32d、42dの移動方向とは垂直な方向29b、39d、49dに移動できるように構成されている。   The first print head 23b, the inspection device 33d, and the second print head 43b are perpendicular to the moving direction of the moving devices 22b, 32d, and 42d in a plane parallel to the surfaces of the processing objects 6 and 7. It is configured to be movable in the directions 29b, 39d, and 49d.

移動装置22b、32d、42dの位置や、第一、第二の印刷ヘッド23b、43d、検査装置33dの位置及び動作は個別制御装置20、30によって制御されており、上記各例と同様に、読取り装置28、38の読取結果から得られた配置位置Ax,yの位置情報に従い、吐出液の吐出と検査とスペーサの追加が行われる。 The positions of the moving devices 22b, 32d and 42d, and the positions and operations of the first and second print heads 23b and 43d and the inspection device 33d are controlled by the individual control devices 20 and 30, respectively. In accordance with the position information of the arrangement position A x, y obtained from the reading results of the reading devices 28 and 38, discharge of the discharge liquid, inspection, and addition of spacers are performed.

なお、上記処理対象物6〜8では、その種類を示す記号が処理対象物6〜8上に配置されていたが、種類を記載したタグや、種類を入力したICタグなどを取りつけても良い。   In addition, in the said processing target objects 6-8, although the symbol which shows the kind was arrange | positioned on the processing target objects 6-8, you may attach the tag which described the kind, the IC tag which input the kind, etc. .

また、上記検査装置33a、33b、33c1、33c2、33dでは、配置位置Ax,y毎に撮影していたが、検査装置が移動しながら配置位置Ax,yが並ぶ列を撮影し、画像解析を列毎に行い、配置位置Ax,y毎にスペーサ個数を計数してもよい。
また、複数の配置位置Ax,yを含む範囲を一括して撮影し、画像を各配置位置Ax,yを一個ずつ含む狭い範囲に区分けし、その範囲毎に画像解析を行ってもよい。
Further, in the inspection apparatus 33a, 33b, 33c 1, 33c 2, 33d, position A x, had taken every y, position A x while moving the inspection apparatus, the column y are aligned photographed Alternatively, image analysis may be performed for each column, and the number of spacers may be counted for each arrangement position A x, y .
In addition, a range including a plurality of arrangement positions A x, y may be captured in a lump, and an image may be divided into narrow ranges including one arrangement position A x, y one by one, and image analysis may be performed for each range. .

本発明のスペーサ塗布装置の一例An example of the spacer coating apparatus of the present invention 本発明のスペーサ塗布装置の他の例Other examples of the spacer coating apparatus of the present invention 印刷装置の第一例を説明するための側面図Side view for explaining a first example of a printing apparatus その平面図The plan view 修正装置の第一例を説明するための側面図Side view for explaining the first example of the correction device その平面図The plan view 修正装置の第二例を説明するための側面図Side view for explaining a second example of the correction device その平面図The plan view 修正装置の第三例を説明するための側面図Side view for explaining a third example of the correction device その平面図The plan view 印刷装置の第二例を説明するための平面図Plan view for explaining a second example of a printing apparatus 修正装置の第四例を説明するための平面図Plan view for explaining a fourth example of the correction device ノズルの配置を説明するための図Diagram for explaining nozzle arrangement 処理対象物の構造を説明するための平面図Plan view for explaining the structure of the processing object 処理対象物表面に吐出液が着弾した状態を説明するための平面図The top view for demonstrating the state where the discharge liquid landed on the process target surface 処理対象物の不足位置にスペーサが追加された状態を説明するための平面図The top view for demonstrating the state in which the spacer was added to the shortage position of the processing object

符号の説明Explanation of symbols

1、2……スペーサ塗布装置
6〜8……処理対象物
12、121〜12m、12a、12b……印刷装置
13、131〜13n、13a〜13d……修正装置
51……吐出液
52、53……スペーサ
23a、23b……第一の印刷ヘッド
33a、33b、33c1、33c2、33d……検査装置
43a〜43d……第二の印刷ヘッド
x,y……吐出位置
1〜Nn……吐出孔
1, 2... Spacer coating device 6 to 8... Processing object 12, 12 1 to 12 m , 12 a, 12 b... Printing device 13, 13 1 to 13 n , 13 a to 13 d. liquid 52, 53 ...... spacers 23a, 23b ...... first print head 33a, 33b, 33c 1, 33c 2, 33d ...... inspecting device 43 a to 43 d ...... second print head a x, y ...... discharge position N 1 to N n ...... Discharge hole

Claims (5)

スペーサが配置されるべき処理対象物上の配置位置を示す位置情報が記憶された制御装置と、
前記スペーサを含む吐出液を吐出する第一の印刷ヘッドが配置された印刷装置と、
前記処理対象物上の表面を検査する検査装置と、前記吐出液を吐出する第二の印刷ヘッドとが配置された修正装置とを有し、
前記第一の印刷ヘッドは前記位置情報に従い、前記配置位置に前記吐出液を吐出するように構成され、
前記検査装置は、前記位置情報に従い、前記配置位置を検査し、前記第二の印刷ヘッドは、前記検査の結果から特定された前記スペーサの不足位置に前記吐出液を吐出するように構成されたスペーサ塗布装置。
A control device in which position information indicating an arrangement position on the processing object on which the spacer is to be arranged is stored;
A printing apparatus in which a first print head for discharging a discharge liquid containing the spacer is disposed;
An inspection device for inspecting the surface on the processing object, and a correction device in which a second print head for discharging the discharge liquid is disposed,
The first print head is configured to discharge the discharge liquid to the arrangement position according to the position information,
The inspection apparatus inspects the arrangement position according to the position information, and the second print head is configured to discharge the discharge liquid to a shortage position of the spacer specified from the inspection result. Spacer coating device.
前記印刷装置を複数有し、前記各印刷装置は前記位置情報が示す前記吐出位置に前記吐出液を吐出するように構成された請求項1記載のスペーサ塗布装置。   The spacer coating apparatus according to claim 1, comprising a plurality of the printing apparatuses, wherein each of the printing apparatuses is configured to eject the ejection liquid to the ejection position indicated by the position information. 前記修正装置を複数有し、前記各修正装置は前記位置情報が示す前記吐出位置を検査するように構成された請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のスペーサ塗布装置。   The spacer coating apparatus according to claim 1, wherein a plurality of the correction devices are provided, and each of the correction devices is configured to inspect the discharge position indicated by the position information. スペーサを含む吐出液を吐出する第一、第二の印刷ヘッドと、
処理対象物上の表面を検査する検査装置とが配置されたスペーサ塗布装置により、前記処理対象物の所定の配置位置に前記スペーサを配置するスペーサ塗布方法であって、
制御装置に予め処理対象物に応じた配置位置を示す位置情報を記憶させておき、
前記第一の印刷ヘッドに配置された前記処理対象物の種類から前記処理対象物の前記配置位置を判別し、前記位置情報に基いて、前記第一の印刷ヘッドから前記吐出液を吐出させ、
前記処理対象物を前記検査装置に移動させ、
前記処理対象物の種類から前記配置位置を判別し、前記位置情報に基いて、前記配置位置を検査して、前記配置位置毎にスペーサ個数を計数して前記スペーサが不足する不足位置を特定し、
前記不足位置に、前記第二の印刷ヘッドから前記吐出液を吐出させるスペーサ塗布方法。
First and second print heads for discharging a discharge liquid containing spacers;
A spacer coating method in which an inspection device for inspecting a surface on a processing object is arranged, and a spacer coating method in which the spacer is arranged at a predetermined arrangement position of the processing object,
The position information indicating the arrangement position corresponding to the processing object is stored in advance in the control device,
Determining the arrangement position of the processing object from the type of the processing object arranged in the first print head, and causing the discharge liquid to be discharged from the first print head based on the position information;
Moving the processing object to the inspection device;
The arrangement position is determined from the type of the processing object, the arrangement position is inspected based on the position information, the number of spacers is counted for each arrangement position, and the insufficient position where the spacer is insufficient is specified. ,
A spacer coating method for discharging the discharge liquid from the second print head to the insufficient position.
前記スペーサ個数は、前記配置位置毎に表面を撮影し、画像解析によって前記スペーサを判別して計数する請求項4記載のスペーサ塗布方法。   The spacer application method according to claim 4, wherein the number of spacers is counted by photographing a surface for each arrangement position, discriminating the spacers by image analysis.
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